本發(fā)明涉及真空規(guī)調(diào)節(jié)，尤其涉及一種用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置。

背景技術(shù)：

1、電容式薄膜真空規(guī)常用結(jié)構(gòu)是利用合金應(yīng)變膜片作為電容其中一個(gè)電極，與陶瓷基底上的導(dǎo)電鍍層形成一個(gè)平面電容。當(dāng)合金應(yīng)變膜片兩側(cè)壓力發(fā)生變化，產(chǎn)生壓力差，導(dǎo)致合金應(yīng)變膜片發(fā)生形變，從而改變合金應(yīng)變膜片與陶瓷基底上導(dǎo)電層的距離，改變電容值。通過(guò)對(duì)電容值的測(cè)量來(lái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)空間內(nèi)壓力的測(cè)量。這種結(jié)構(gòu)將待測(cè)氣體隔絕在合金應(yīng)變膜片之外，測(cè)量與氣體成分無(wú)關(guān)，是刻蝕工藝唯一能用的真空測(cè)量傳感器。由于工藝污染物會(huì)逐漸在合金應(yīng)變膜片上沉積，導(dǎo)致真空傳測(cè)量感器會(huì)有一定的零點(diǎn)漂移，每隔一段時(shí)間就需要通過(guò)調(diào)零旋鈕調(diào)至零點(diǎn)。

2、其中，調(diào)零旋鈕的端面是一字槽，一般通過(guò)一字螺絲刀調(diào)節(jié)，沒有專門的調(diào)節(jié)工具，并且調(diào)零旋鈕與外殼開孔位置并不固定，也無(wú)法通過(guò)外殼開孔定位，調(diào)零時(shí)必須直視能觀察到調(diào)零旋鈕的位置才能對(duì)準(zhǔn)一字槽調(diào)節(jié)。有些時(shí)候電容式薄膜真空規(guī)的安裝位置會(huì)被其它零部件遮擋，導(dǎo)致無(wú)法直接看到調(diào)零旋鈕，影響對(duì)電容式薄膜真空規(guī)的調(diào)零操作。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)或相關(guān)技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。

2、鑒于此，本發(fā)明提供的一種用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其中通過(guò)鏡面的設(shè)置，在非直視調(diào)零旋鈕的位置，就能夠通過(guò)調(diào)整頭對(duì)調(diào)零旋鈕進(jìn)行調(diào)零操作，降低工作人員調(diào)零操作的難度，提高工作效率。

3、具體而言，包括以下的技術(shù)方案：

4、本發(fā)明提供了一種用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，用于調(diào)整真空規(guī)的所述調(diào)零旋鈕，所述調(diào)零工裝裝置包括：

5、固定手柄，所述固定手柄內(nèi)部形成容納空間，所述固定手柄上設(shè)有至少一個(gè)槽口，所述槽口與所述容納空間連通；

6、轉(zhuǎn)動(dòng)手柄，設(shè)置于所述容納空間內(nèi)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄能夠在所述容納空間內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄遠(yuǎn)離所述容納空間的一側(cè)上設(shè)有調(diào)整頭；

7、支撐板，至少兩個(gè)支撐板設(shè)置于所述固定手柄朝向所述調(diào)整頭的一側(cè)上，所述支撐板上鉸接有支架，所述支架上設(shè)有鏡面。

8、可選地，所述固定手柄包括頂壁、環(huán)形部和用于連接所述頂壁和所述環(huán)形部的連接部，多個(gè)所述連接部間隔設(shè)置在所述頂壁和所述環(huán)形部之間，相鄰兩個(gè)所述連接部形成所述槽口。

9、可選地，所述調(diào)零工裝裝置還包括：

10、第一限位部，所述第一限位部設(shè)置于所述固定手柄和所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄上，所述第一限位部用于限制所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄的軸向移動(dòng)。

11、可選地，所述第一限位部包括第一凹槽和第一凸起，所述第一凸起與所述第一凹槽匹配；

12、所述第一凹槽設(shè)置于所述環(huán)形部朝向所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄的一側(cè)上，所述第一凸起設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄朝向所述環(huán)形部的一側(cè)上；或者

13、第一凸起設(shè)置于所述環(huán)形部朝向所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄的一側(cè)上，所述第一凹槽設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄朝向所述環(huán)形部的一側(cè)上。

14、可選地，所述調(diào)零工裝裝置還包括：

15、第二限位部，所述第二限位部設(shè)置于所述固定手柄和所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄上，所述第二限位部用于限制所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄的周向竄動(dòng)。

16、可選地，所述第二限位部包括第二凹槽和第二凸起，所述第二凸起與所述第二凹槽匹配；

17、第二凹槽設(shè)置于所述頂壁朝向所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄的一側(cè)上，所述第二凸起設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄朝向所述頂壁的一側(cè)上；或者

18、所述第二凸起設(shè)置于所述頂壁朝向所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄的一側(cè)上，所述第二凹槽設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄朝向所述頂壁的一側(cè)上。

19、可選地，所述調(diào)零工裝裝置還包括卡軸和卡孔，所述卡軸與所述卡孔緊配連接，其中，所述卡軸設(shè)置于所述支架上，所述卡孔設(shè)置于所述支撐板上；或者

20、所述卡孔設(shè)置于所述支架上，所述卡軸設(shè)置于所述支撐板上。

21、可選地，所述調(diào)零工裝裝置包括多個(gè)支撐板，所述支撐板與所述支架間隔設(shè)置，所述支架上設(shè)有鏡面，所述鏡面的投影側(cè)背離所述固定手柄設(shè)置。

22、可選地，所述調(diào)零旋鈕包括圓柱體和設(shè)置于所述圓柱體上的一字槽，所述調(diào)整頭包括：

23、連接桿，與所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄背離所述固定手柄的一側(cè)固定連接；

24、一字頭，設(shè)置于所述連接桿背離所述轉(zhuǎn)動(dòng)手柄的一側(cè)，所述一字頭與所述一字槽匹配。

25、可選地，所述調(diào)整頭還包括：

26、一對(duì)支撐桿，設(shè)置于所述連接桿上，一對(duì)所述支撐桿位于所述一字頭長(zhǎng)度方向的兩端，所述支撐桿朝向所述一字頭的一側(cè)上設(shè)有圓弧面，所述圓弧面與所述圓柱體的外側(cè)面配合，所述支撐桿背離所述連接桿的一側(cè)為平面?zhèn)龋銎矫鎮(zhèn)扰c所述圓弧面通過(guò)導(dǎo)向面過(guò)渡連接。

27、本發(fā)明實(shí)施例提供的用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其中，調(diào)零工裝裝置包括固定手柄和轉(zhuǎn)動(dòng)手柄，固定手柄形成一個(gè)容納空間，轉(zhuǎn)動(dòng)手柄設(shè)置于該容納空間內(nèi)，且轉(zhuǎn)動(dòng)手柄能夠在容納空間內(nèi)旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)動(dòng)手柄上連接有調(diào)整頭，通過(guò)調(diào)整頭隨著轉(zhuǎn)動(dòng)手柄的旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)對(duì)調(diào)零旋鈕的調(diào)整；固定手柄朝向調(diào)整頭的一側(cè)上設(shè)有支撐板，支撐板上鉸接有支架，支架背離固定手柄的一側(cè)上設(shè)有鏡面，通過(guò)調(diào)整支架與支撐板的角度，實(shí)現(xiàn)鏡面與支撐板角度的調(diào)整，通過(guò)鏡面的不同角度，能夠準(zhǔn)確找到調(diào)零旋鈕的所在位置，然后通過(guò)調(diào)整頭對(duì)調(diào)零旋鈕進(jìn)行調(diào)零，操作方便，降低了工作人員找調(diào)零旋鈕的難度，提高了調(diào)零旋鈕調(diào)零的效率。

28、上述說(shuō)明僅是本申請(qǐng)技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本申請(qǐng)的技術(shù)手段，而可依照說(shuō)明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本申請(qǐng)的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉本申請(qǐng)的具體實(shí)施方式。

技術(shù)特征：

1.一種用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，用于調(diào)整真空規(guī)的所述調(diào)零旋鈕，其特征在于，所述調(diào)零工裝裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其特征在于，所述固定手柄包括頂壁、環(huán)形部和用于連接所述頂壁和所述環(huán)形部的連接部，多個(gè)所述連接部間隔設(shè)置在所述頂壁和所述環(huán)形部之間，相鄰兩個(gè)所述連接部形成所述槽口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其特征在于，所述調(diào)零工裝裝置還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其特征在于，所述第一限位部包括第一凹槽和第一凸起，所述第一凸起與所述第一凹槽匹配；

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其特征在于，所述調(diào)零工裝裝置還包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其特征在于，所述第二限位部包括第二凹槽和第二凸起，所述第二凸起與所述第二凹槽匹配；

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其特征在于，所述調(diào)零工裝裝置還包括卡軸和卡孔，所述卡軸與所述卡孔緊配連接，其中，所述卡軸設(shè)置于所述支架上，所述卡孔設(shè)置于所述支撐板上；或者

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其特征在于，所述調(diào)零工裝裝置包括多個(gè)支撐板，所述支撐板與所述支架間隔設(shè)置，所述支架上設(shè)有鏡面，所述鏡面的投影側(cè)背離所述固定手柄設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其特征在于，所述調(diào)零旋鈕包括圓柱體和設(shè)置于所述圓柱體上的一字槽，所述調(diào)整頭包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，其特征在于，所述調(diào)整頭還包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于真空規(guī)的調(diào)零工裝裝置，用于調(diào)整真空規(guī)的調(diào)零旋鈕，調(diào)零工裝裝置包括：固定手柄，固定手柄內(nèi)部形成容納空間，固定手柄上設(shè)有至少一個(gè)槽口，槽口與容納空間連通；轉(zhuǎn)動(dòng)手柄，設(shè)置于容納空間內(nèi)，轉(zhuǎn)動(dòng)手柄能夠在容納空間內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)手柄遠(yuǎn)離容納空間的一側(cè)上設(shè)有調(diào)整頭；支撐板，至少兩個(gè)支撐板設(shè)置于固定手柄朝向調(diào)整頭的一側(cè)上，支撐板上鉸接有支架，支架上設(shè)有鏡面。通過(guò)鏡面的設(shè)置，在非直視調(diào)零旋鈕的位置，就能夠通過(guò)調(diào)整頭對(duì)調(diào)零旋鈕進(jìn)行調(diào)零操作，降低工作人員調(diào)零操作的難度，提高工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員：徐亞輝,張心強(qiáng),郜晨希,林琳,劉瑞琪,蘇濤,張沙,孫小孟,鄭旭,李超波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10