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      三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置和機(jī)器人的制作方法

      文檔序號(hào):40233969發(fā)布日期:2024-12-06 16:55閱讀:15來源:國知局
      三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置和機(jī)器人的制作方法

      本技術(shù)實(shí)施例涉及工業(yè)自動(dòng)化及半導(dǎo)體設(shè)備,尤其涉及一種三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置和機(jī)器人。


      背景技術(shù):

      1、現(xiàn)有半導(dǎo)體設(shè)備中,被測晶圓傳輸技術(shù)大多采用三軸機(jī)器人實(shí)現(xiàn)傳片。設(shè)備開始測量時(shí),三軸機(jī)器人先從晶圓盒中按指令取出需要測試的晶圓,再傳輸至測量模塊進(jìn)行各類測試。由于測試項(xiàng)目、類別不同部分設(shè)備在傳動(dòng)部門和測試部分之間會(huì)有升降閥門,當(dāng)晶圓需要在無光環(huán)境下測試時(shí),則三軸機(jī)器人將片放置在測試模塊退出后,閥門需關(guān)閉。而開始送片和測試完成取片時(shí),閥門需要打開。

      2、此技術(shù)過程除了需要精準(zhǔn)的控制外,三軸機(jī)器人在進(jìn)測量模塊的時(shí)機(jī)和升降閥門的開關(guān)之間,也需要有嚴(yán)格的邏輯控制,目前主流控制基本都是通斷上位機(jī)軟件對(duì)閥門狀態(tài)進(jìn)行判斷,當(dāng)閥門處于打開狀態(tài)時(shí),程序才會(huì)允許三軸機(jī)器人執(zhí)行送片和取片的動(dòng)作。三軸機(jī)器人在執(zhí)行動(dòng)作前,邏輯也會(huì)加入升降閥門狀態(tài)的判斷。其中,升降閥門是通過兩邊的氣壓傳感器和限位傳感器進(jìn)行閥門上下2個(gè)位置進(jìn)行檢測,從而實(shí)現(xiàn)判斷。雖然此方法在邏輯上,可以避免三軸機(jī)器人撞擊閥門的事故,但是不排除程序出現(xiàn)錯(cuò)誤或者其他意外情況。


      技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

      1、本實(shí)用新型提供一種三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置和機(jī)器人,通過設(shè)置限位傳感器在閥門關(guān)閉時(shí)控制繼電器斷開控制器的控制回路,從而使三軸機(jī)器人不能在閥門關(guān)閉時(shí)執(zhí)行送/取片運(yùn)動(dòng)。

      2、第一方面,本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置,包括限位傳感器、繼電器和三軸機(jī)器人控制器;所述三軸機(jī)器人控制器控制所述三軸機(jī)器人做送/取片運(yùn)動(dòng);所述閥門位于所述三軸機(jī)器人的送/取片運(yùn)動(dòng)路徑上;所述繼電器包括電源端和開關(guān)端,所述限位傳感器與所述繼電器電源端連接;所述繼電器開關(guān)端位于所述三軸機(jī)器人控制器的控制回路中;所述限位傳感器在所述閥門處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)向所述繼電器電源端供電或斷電,以使所述繼電器開關(guān)端斷開所述三軸機(jī)器人控制器的控制回路。

      3、可選地,所述繼電器為觸點(diǎn)常閉式或常開式繼電器。

      4、可選地,所述電源端的正極端與所述限位傳感器的輸出端連接;所述電源端的負(fù)極端接地;所述限位傳感器的輸入端與外部電源連接。

      5、可選地,所述三軸機(jī)器人控制器包括第一引腳,所述第一引腳為定義所述三軸機(jī)器人朝向所述閥門運(yùn)動(dòng)方向的引腳,所述第一引腳與所述繼電器開關(guān)端的第一端連接,所述繼電器開關(guān)端的第二端接地;所述第一引腳、所述繼電器開關(guān)端和接地端構(gòu)成所述控制回路;所述第一引腳作為所述控制回路的正極端;所述接地端作為所述控制回路的負(fù)極端。

      6、可選地,所述三軸機(jī)器人控制器還包括第二引腳、第三引腳、第四引腳、第五引腳和第六引腳;所述第二引腳、第三引腳、第四引腳、第五引腳和第六引腳均接地。

      7、可選地,還包括主控板和上位機(jī);所述主控板的電源端作為所述外部電源與所述限位傳感器的輸入端連接,所述限位傳感器的輸出端分別與所述主控板的輸入端和所述繼電器電源端的正極端連接;所述主控板的輸出端與所述上位機(jī)的輸入端連接,所述上位機(jī)的輸出端與所述三軸機(jī)器人控制器連接;

      8、所述限位傳感器在所述閥門關(guān)閉時(shí)向所述主控板輸出電位信號(hào);所述主控板根據(jù)所述電位信號(hào)向所述上位機(jī)發(fā)送控制信號(hào);所述上位機(jī)根據(jù)所述控制信號(hào)向所述三軸機(jī)器人控制器發(fā)送控制指令,所述三軸機(jī)器人控制器根據(jù)所述控制指令控制三軸機(jī)器人禁止朝向所述閥門運(yùn)動(dòng)。

      9、可選地,還包括氣壓柱,所述氣壓柱位于所述閥門在第一方向的一側(cè)且與閥門固定連接,所述限位傳感器和所述氣壓柱位于所述閥門在所述第一方向的同一側(cè);所述第一方向與所述閥門的升降方向垂直且與所述閥門處于同一平面;

      10、所述氣壓柱沿所述閥門升降方向移動(dòng)以帶動(dòng)所述閥門升降;在所述閥門關(guān)閉時(shí),所述氣壓柱進(jìn)入所述限位傳感器的觸發(fā)范圍;所述限位傳感器向所述繼電器供電或斷電,以使所述繼電器斷開所述三軸機(jī)器人控制器的控制回路。

      11、第二方面,本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種機(jī)器人,包括如第一方面任一項(xiàng)所述的三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置。

      12、本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置和機(jī)器人,安全互鎖裝置包括限位傳感器、繼電器和三軸機(jī)器人控制器;三軸機(jī)器人控制器控制三軸機(jī)器人做送/取片運(yùn)動(dòng);閥門位于三軸機(jī)器人的送/取片運(yùn)動(dòng)路徑上;繼電器包括電源端和開關(guān)端,限位傳感器與繼電器電源端連接;繼電器開關(guān)端位于三軸機(jī)器人控制器的控制回路中;限位傳感器在閥門處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)向繼電器電源端供電或斷電,以使繼電器開關(guān)端斷開三軸機(jī)器人控制器的控制回路;上述技術(shù)方案通過設(shè)置限位傳感器在閥門關(guān)閉時(shí)控制繼電器斷開三軸機(jī)器人控制器的控制回路,從而使三軸機(jī)器人不能在閥門關(guān)閉時(shí)執(zhí)行送/取片運(yùn)動(dòng),解決了僅依靠軟件程序控制三軸機(jī)器人,在軟件出錯(cuò)時(shí)會(huì)導(dǎo)致三軸機(jī)器人與閥門碰撞的問題,提升了設(shè)備的運(yùn)動(dòng)安全質(zhì)量。



      技術(shù)特征:

      1.一種三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置,其特征在于,包括限位傳感器、繼電器和三軸機(jī)器人控制器;所述三軸機(jī)器人控制器控制所述三軸機(jī)器人做送/取片運(yùn)動(dòng);所述閥門位于所述三軸機(jī)器人的送/取片運(yùn)動(dòng)路徑上;

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置,其特征在于,所述繼電器為觸點(diǎn)常閉式或常開式繼電器。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置,其特征在于,所述電源端的正極端與所述限位傳感器的輸出端連接;所述電源端的負(fù)極端接地;所述限位傳感器的輸入端與外部電源連接。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置,其特征在于,還包括氣壓柱,所述氣壓柱位于所述閥門在第一方向的一側(cè)且與閥門固定連接,所述限位傳感器和所述氣壓柱位于所述閥門在所述第一方向的同一側(cè);所述第一方向?yàn)榕c所述閥門的升降方向垂直且與所述閥門處于同一平面的方向;

      5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置,其特征在于,所述三軸機(jī)器人控制器包括第一引腳,所述第一引腳為定義所述三軸機(jī)器人朝向所述閥門運(yùn)動(dòng)方向的引腳,所述第一引腳與所述繼電器開關(guān)端的第一端連接,所述繼電器開關(guān)端的第二端接地;所述第一引腳、所述繼電器開關(guān)端和接地端構(gòu)成所述控制回路;所述第一引腳作為所述控制回路的正極端;所述接地端作為所述控制回路的負(fù)極端。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置,其特征在于,所述三軸機(jī)器人控制器還包括第二引腳、第三引腳、第四引腳、第五引腳和第六引腳;所述第二引腳、第三引腳、第四引腳、第五引腳和第六引腳均接地。

      7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置,其特征在于,還包括主控板和上位機(jī);

      8.一種機(jī)器人,其特征在于,包括如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置。


      技術(shù)總結(jié)
      本技術(shù)實(shí)施例提供的一種三軸機(jī)器人與閥門安全互鎖裝置和機(jī)器人,安全互鎖裝置包括限位傳感器、繼電器和三軸機(jī)器人控制器;三軸機(jī)器人控制器控制三軸機(jī)器人做送/取片運(yùn)動(dòng);閥門位于送/取片運(yùn)動(dòng)路徑上;限位傳感器在閥門處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)向繼電器電源端供電或斷電,以使繼電器開關(guān)端斷開控制器的控制回路;上述技術(shù)方案通過設(shè)置限位傳感器在閥門關(guān)閉時(shí)控制繼電器斷開控制器的控制回路,從而使三軸機(jī)器人不能在閥門關(guān)閉時(shí)執(zhí)行送/取片運(yùn)動(dòng),解決了僅依靠軟件程序,在軟件出錯(cuò)時(shí)會(huì)導(dǎo)致三軸機(jī)器人與閥門碰撞的問題,提升了設(shè)備的運(yùn)動(dòng)安全質(zhì)量。

      技術(shù)研發(fā)人員:蘇恒中,相宇陽,俞勝武,陳劍
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:無錫卓??萍脊煞萦邢薰?br/>技術(shù)研發(fā)日:20240103
      技術(shù)公布日:2024/12/5
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