本技術(shù)涉及半導(dǎo)體晶圓加工處理領(lǐng)域，具體為一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域尤其晶圓前道制程中，其中每個制程都具有多個細(xì)節(jié)步驟，因此晶圓需要在多個制程以及各個步驟間進(jìn)行搬運(yùn)，這個過程中需要采用大量的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人來完成晶圓的上下料，以便進(jìn)一步完成晶圓加工、清洗、檢測等工序；

2、通常的在搬運(yùn)過程中，需要進(jìn)行穩(wěn)定的平移過程中，因?yàn)榫A大多為片形材料，但是常規(guī)的機(jī)械臂，需要工作空間較大，其手臂會因各種方向或動作與其他設(shè)備發(fā)生干涉，因此導(dǎo)致整體占據(jù)機(jī)械臂空間較大，進(jìn)而造成其他方面成本增加以及效率的降低，進(jìn)而影響整個設(shè)備的適用性與穩(wěn)定性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)。

2、本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案；

3、一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)，包括下臂組件和上臂組件，所述下臂組件通過法蘭裝配在轉(zhuǎn)塔組件上，上臂組件的輸出端連接腕部組件；所述下臂組件中下臂轉(zhuǎn)軸的下端裝配在轉(zhuǎn)塔組件中，轉(zhuǎn)塔組件將動力以下臂轉(zhuǎn)軸為軸心傳輸至下臂組件，并且下臂組件以上臂轉(zhuǎn)軸為軸心將動力輸出至上臂組件中的腕部連接座。

4、進(jìn)一步的，所述下臂組件包括下臂殼體、下臂底蓋、下臂主動輪和下臂從動輪；所述下臂轉(zhuǎn)軸通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接并深入下臂殼體中，所述下臂主動輪固定在下臂殼體內(nèi)，并通過下臂脹緊套與下臂轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接；

5、進(jìn)一步的，所述下臂主動輪和下臂從動輪通過下臂張緊輪及皮帶構(gòu)成輪帶傳動；

6、進(jìn)一步的，所述下臂從動輪固定連接在上臂連接座下方，并轉(zhuǎn)動套設(shè)在上臂轉(zhuǎn)軸；上臂連接座的上端面固定連接上臂組件，并通過下臂交叉滾子軸承轉(zhuǎn)動安裝在下臂殼體上；所述上臂轉(zhuǎn)軸下端固定在下臂底蓋上，上端深入上臂組件；

7、進(jìn)一步的，所述上臂組件包括上臂殼體、上臂底蓋、上臂主動輪和上臂從動輪；所述上臂主動輪固定在上臂殼體內(nèi)，并通過上臂脹緊套與上臂轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接；

8、進(jìn)一步的，所述上臂主動輪和上臂從動輪通過上臂張緊輪及皮帶構(gòu)成輪帶傳動；

9、進(jìn)一步的，所述上臂從動輪固定連接在腕部連接座下方；腕部連接座下方通過上臂交叉滾子軸承轉(zhuǎn)動安裝在上臂殼體上；

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果如下：

11、采用本實(shí)用新型，優(yōu)化整體結(jié)構(gòu)，采用雙臂結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)在有限的縱向空間內(nèi)，執(zhí)行末端的自由控制，雙臂結(jié)合雙輪帶傳動，將轉(zhuǎn)動角轉(zhuǎn)化后，再次反轉(zhuǎn)，并且運(yùn)行末端運(yùn)動過程中，在豎直空間內(nèi)無干擾；降低整體的空間占用，提高設(shè)備內(nèi)部的使用效率；若結(jié)合外部升降組件，可實(shí)現(xiàn)高效的多維搬運(yùn)動作。

技術(shù)特征：

1.一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)，包括下臂組件(6)和上臂組件(7)，其特征在于，所述下臂組件(6)通過法蘭裝配在轉(zhuǎn)塔組件(5)上，上臂組件(7)的輸出端連接腕部組件(8)；所述下臂組件(6)中下臂轉(zhuǎn)軸(63)的下端裝配在轉(zhuǎn)塔組件(5)中，轉(zhuǎn)塔組件(5)將動力以下臂轉(zhuǎn)軸(63)為軸心傳輸至下臂組件(6)，并且下臂組件(6)以上臂轉(zhuǎn)軸(73)為軸心將動力輸出至上臂組件(7)中的腕部連接座(76)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述下臂組件(6)包括下臂殼體(61)、下臂底蓋(62)、下臂主動輪(64)和下臂從動輪(65)；所述下臂轉(zhuǎn)軸(63)通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接并深入下臂殼體(61)中，所述下臂主動輪(64)固定在下臂殼體(61)內(nèi)，并通過下臂脹緊套(67)與下臂轉(zhuǎn)軸(63)轉(zhuǎn)動連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述下臂主動輪(64)和下臂從動輪(65)通過下臂張緊輪(68)及皮帶構(gòu)成輪帶傳動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述下臂從動輪(65)固定連接在上臂連接座(66)下方，并轉(zhuǎn)動套設(shè)在上臂轉(zhuǎn)軸(73)；上臂連接座(66)的上端面固定連接上臂組件(7)，并通過下臂交叉滾子軸承(69)轉(zhuǎn)動安裝在下臂殼體(61)上；所述上臂轉(zhuǎn)軸(73)下端固定在下臂底蓋(62)上，上端深入上臂組件(7)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上臂組件(7)包括上臂殼體(71)、上臂底蓋(72)、上臂主動輪(74)和上臂從動輪(75)；所述上臂主動輪(74)固定在上臂殼體(71)內(nèi)，并通過上臂脹緊套(77)與上臂轉(zhuǎn)軸(73)轉(zhuǎn)動連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上臂主動輪(74)和上臂從動輪(75)通過上臂張緊輪(78)及皮帶構(gòu)成輪帶傳動。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上臂從動輪(75)固定連接在腕部連接座(76)下方；腕部連接座(76)下方通過上臂交叉滾子軸承(79)轉(zhuǎn)動安裝在上臂殼體(71)上。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體晶圓加工處理領(lǐng)域，具體為一種雙臂搬運(yùn)結(jié)構(gòu)，包括下臂組件和上臂組件，所述下臂組件通過法蘭裝配在轉(zhuǎn)塔組件上，上臂組件的輸出端連接腕部組件；所述下臂組件中下臂轉(zhuǎn)軸的下端裝配在轉(zhuǎn)塔組件中，轉(zhuǎn)塔組件將動力以下臂轉(zhuǎn)軸為軸心傳輸至下臂組件，并且下臂組件以上臂轉(zhuǎn)軸為軸心將動力輸出至上臂組件中的腕部連接座；采用本技術(shù)，優(yōu)化整體結(jié)構(gòu)，采用雙臂結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)在有限的縱向空間內(nèi)，執(zhí)行末端的自由控制，雙臂結(jié)合雙輪帶傳動，將轉(zhuǎn)動角轉(zhuǎn)化后，再次反轉(zhuǎn)，并且運(yùn)行末端運(yùn)動過程中，在豎直空間內(nèi)無干擾；降低整體的空間占用，提高設(shè)備內(nèi)部的使用效率；若結(jié)合外部升降組件，可實(shí)現(xiàn)高效的多維搬運(yùn)動作。

技術(shù)研發(fā)人員：戴曉松,譚良恒,石成林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：菲科半導(dǎo)體（張家港）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240327
技術(shù)公布日：2024/12/26