本技術(shù)涉及半導(dǎo)體晶圓測試，具體為一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域都有應(yīng)用，晶圓是用于制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片。晶圓在檢測時(shí)候，需要通過吸盤對(duì)其進(jìn)行吸附固定，吸盤在吸附晶圓時(shí)，由于操作人員操作的不得當(dāng)，極其容易發(fā)生吸力過大的情況，這樣，會(huì)導(dǎo)致晶圓破損，大大增加了晶圓的報(bào)廢率，因此，需要設(shè)計(jì)一種半導(dǎo)體測試用晶圓固定裝置來解決上述問題。

2、經(jīng)檢索，公開號(hào)為：cn217881449u的中國專利公開了一種半導(dǎo)體測試用晶圓固定裝置，包括圓盤，所述圓盤的外側(cè)表面呈環(huán)形均勻安裝有夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)包括固定塊與連接桿，所述固定塊的內(nèi)側(cè)表面固定連接有連接桿。本實(shí)用新型通過設(shè)置有活動(dòng)螺桿與滑動(dòng)盤，通過轉(zhuǎn)動(dòng)活動(dòng)螺桿，可以使活動(dòng)螺套在其表面移動(dòng)，當(dāng)活動(dòng)螺套在移動(dòng)時(shí)，可以使滑動(dòng)盤在固定套的內(nèi)部移動(dòng)，從而使吸附盤產(chǎn)生吸力，從而通過吸附盤的吸力可以將晶圓進(jìn)行吸附，可以使吸附盤產(chǎn)生較小的吸力，從而可以防止晶圓受到較大的吸力，該裝置通過設(shè)置有扭力彈簧與轉(zhuǎn)動(dòng)夾持桿，通過扭力彈簧自身的彈力，通過多組轉(zhuǎn)動(dòng)夾持桿與晶圓的表面相抵觸，從而避免晶圓在檢測的過程中晃動(dòng)偏移，導(dǎo)致檢測不準(zhǔn)確。

3、但是：在該設(shè)備中，存在著一個(gè)問題，但是該設(shè)備在固定過程中固定的部分容易劃傷到晶圓的表面，嚴(yán)重的情況下，會(huì)使得晶圓破損。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、(一)解決的技術(shù)問題

2、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置。

3、(二)技術(shù)方案

4、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，包括底座，所述底座的頂部設(shè)置有固定組件，所述底座的頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件，所述底座的頂部固定連接有連接軸，所述連接軸的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定臺(tái)。通過設(shè)置底座，可以使得該設(shè)備的固定更加穩(wěn)定。

5、優(yōu)選的，所述固定臺(tái)的外壁上固定安裝有邊框，所述固定臺(tái)上開設(shè)有滑槽，所述滑槽的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有滑動(dòng)條。

6、優(yōu)選的，所述滑動(dòng)條的底部固定連接有滑動(dòng)柱，所述滑動(dòng)柱的數(shù)量為六個(gè)，所述滑動(dòng)條的數(shù)量為六個(gè)，所述滑動(dòng)條遠(yuǎn)離連接軸的一端固定連接有固定塊。通過設(shè)置固定塊，可以使得半導(dǎo)體晶圓能夠被固定。

7、優(yōu)選的，所述底座上開設(shè)有孔洞，所述孔洞內(nèi)設(shè)置有電機(jī)箱，所述電機(jī)箱內(nèi)固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端通過聯(lián)軸器固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸遠(yuǎn)離電機(jī)的一端固定連接有驅(qū)動(dòng)齒輪。通過設(shè)置驅(qū)動(dòng)齒輪，可以使得電機(jī)能夠讓驅(qū)動(dòng)齒輪帶動(dòng)從動(dòng)齒輪運(yùn)轉(zhuǎn)。

8、優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)齒輪嚙合連接有從動(dòng)齒輪，所述從動(dòng)齒輪的中間與連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述從動(dòng)齒輪上開設(shè)有弧形槽，所述弧形槽的內(nèi)壁與滑動(dòng)柱滑動(dòng)連接。通過設(shè)置弧形槽，可以使得滑動(dòng)柱能夠帶動(dòng)滑動(dòng)條移動(dòng)。

9、優(yōu)選的，所述固定臺(tái)的頂部設(shè)置有外殼，所述外殼的頂部固定安裝有靜電吸盤。通過設(shè)置靜電吸盤，可以使得設(shè)備能夠吸住半導(dǎo)體晶圓。

10、(三)有益效果

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，具備以下有益效果：

12、1、該一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，通過設(shè)置固定組件，可以使得該設(shè)備能夠?qū)π枰獧z測的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行固定工作，通過設(shè)置固定組件，可以使得半導(dǎo)體晶圓被牢牢固定住，通過設(shè)置邊框，可以對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行一個(gè)初步限位，通過設(shè)置固定臺(tái)，可以為半導(dǎo)體晶圓提供一個(gè)固定的承載物，通過在固定臺(tái)上開設(shè)六個(gè)滑槽，可以使得滑動(dòng)條能夠被限位，使得滑動(dòng)條只能按照直線軌跡移動(dòng)，通過設(shè)置滑動(dòng)條，可以使得滑動(dòng)條移動(dòng)時(shí)能夠帶動(dòng)固定塊對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行固定，通過設(shè)置固定塊，可以使得半導(dǎo)體晶圓能夠被固定。

13、2、該一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，通過設(shè)置驅(qū)動(dòng)組件，可以為固定組件的運(yùn)作提供動(dòng)力源，通過設(shè)置電機(jī)，可以使得電機(jī)為驅(qū)動(dòng)組件的運(yùn)轉(zhuǎn)提供動(dòng)力源，通過設(shè)置驅(qū)動(dòng)齒輪，可以使得電機(jī)能夠通過驅(qū)動(dòng)齒輪帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件的運(yùn)作，通過設(shè)置從動(dòng)齒輪，再加上在從動(dòng)齒輪上開設(shè)六個(gè)弧形槽以及六個(gè)滑動(dòng)柱的設(shè)置，可以使得驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)從動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，從動(dòng)齒輪可以帶動(dòng)滑動(dòng)柱進(jìn)而帶動(dòng)滑動(dòng)條和固定塊的移動(dòng)。

技術(shù)特征：

1.一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的頂部設(shè)置有固定組件(2)，所述底座(1)的頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件(3)，所述底座(1)的頂部固定連接有連接軸(33)，所述連接軸(33)的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定臺(tái)(24)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，其特征在于：所述固定臺(tái)(24)的外壁上固定安裝有邊框(26)，所述固定臺(tái)(24)上開設(shè)有滑槽(23)，所述滑槽(23)的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有滑動(dòng)條(22)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，其特征在于：所述滑動(dòng)條(22)的底部固定連接有滑動(dòng)柱(21)，所述滑動(dòng)柱(21)的數(shù)量為六個(gè)，所述滑動(dòng)條(22)的數(shù)量為六個(gè)，所述滑動(dòng)條(22)遠(yuǎn)離連接軸(33)的一端固定連接有固定塊(25)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，其特征在于：所述底座(1)上開設(shè)有孔洞，所述孔洞內(nèi)設(shè)置有電機(jī)箱(30)，所述電機(jī)箱(30)內(nèi)固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端通過聯(lián)軸器固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸遠(yuǎn)離電機(jī)的一端固定連接有驅(qū)動(dòng)齒輪(31)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)齒輪(31)嚙合連接有從動(dòng)齒輪(32)，所述從動(dòng)齒輪(32)的中間與連接軸(33)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述從動(dòng)齒輪(32)上開設(shè)有弧形槽(20)，所述弧形槽(20)的內(nèi)壁與滑動(dòng)柱(21)滑動(dòng)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，其特征在于：所述固定臺(tái)(24)的頂部設(shè)置有外殼，所述外殼的頂部固定安裝有靜電吸盤(4)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體晶圓測試技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種具有調(diào)節(jié)功能的固定裝置，包括底座，所述底座的頂部設(shè)置有固定組件，所述底座的頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件，所述底座的頂部固定連接有連接軸，所述連接軸的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定臺(tái)。所述固定臺(tái)的外壁上固定安裝有邊框，所述固定臺(tái)上開設(shè)有滑槽，所述滑槽的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有滑動(dòng)條。該設(shè)備可以很好地固定半導(dǎo)體晶圓，且不會(huì)與晶圓的表面接觸從而不會(huì)損壞晶圓表面。

技術(shù)研發(fā)人員：彭發(fā)英,賀雙翻
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市泛恩實(shí)業(yè)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240417
技術(shù)公布日：2024/12/26