專利名稱：雙重耦合磁力傳遞機(jī)械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于真空設(shè)備中機(jī)械傳遞裝置。
目前，在很多超高真空設(shè)備中，常常要求樣品從一個(gè)室傳遞到另一個(gè)室并且要按照事先設(shè)定好的位置放置，或者將一處傳遞過來的樣品經(jīng)交接后傳到另一處，這樣一種功能需要有一個(gè)具有機(jī)械手的裝置在高真空設(shè)備中未完成，沒有特殊的裝置是非常困難的，甚至根本無法實(shí)現(xiàn)，只好在非真空情況下，采用人工方法將樣品移動(dòng)位置后再行處理，有時(shí)是不可行的。
為解決以上在超真空設(shè)備中移動(dòng)樣品的目的，本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)提供一種雙重耦合磁力傳遞機(jī)械手，利用磁力耦俁的方法以實(shí)現(xiàn)在真空設(shè)備中移動(dòng)樣品的目的。
本實(shí)用新型之結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)是這樣實(shí)現(xiàn)的該機(jī)械手由前后指、與前后指聯(lián)接之支桿與套管，中間法蘭及外面的耦合器(I)，耦合器(II)組成，其聯(lián)接是中間為法蘭盤，與真空設(shè)置箱體固定連接，法蘭中間有套管，套管里端為后指，與套管垂直固定，套管另一端為耦合器(II)，套管與法蘭中間裝有球面軸承，套管中間為支桿，支桿與套管緊密配合，支桿前端為前指，與支桿垂直固定，支桿后端裝有耦合器(I)耦合器(I)、(II)外面裝有支架，支架頂端與法蘭之間裝波紋管，耦合器(II)上固定有游標(biāo)，支架上與游標(biāo)對應(yīng)裝有直線尺，在耦合器(I)上同時(shí)裝有角度尺。
本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡單，制作容易，在真空設(shè)備中移動(dòng)樣品，靈活，使用安全方便。
本實(shí)用新型之結(jié)構(gòu)由以下實(shí)施例及附圖給出。


圖1為雙重耦合磁力傳遞機(jī)械手結(jié)構(gòu)原理圖。
其結(jié)構(gòu)由附圖所示1為前指，2為后指，3為球面軸承，4為連接法蘭，與真空設(shè)備控制腔聯(lián)接，5為波紋管，6為直線尺，7為游標(biāo)，8為角度尺，9為耦合器(I)，10為耦合器II)。
工作時(shí)由雙重耦合器分別驅(qū)動(dòng)前指1和后指2前后移動(dòng)來完成樣品的抓取工作，雙重耦合器可聯(lián)鎖，它們可同時(shí)移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)使手臂移動(dòng)與轉(zhuǎn)動(dòng)，在球面軸承和波紋管的配合下還可實(shí)現(xiàn)手臂的擺動(dòng)，這樣5個(gè)運(yùn)動(dòng)即可完成一個(gè)較復(fù)雜的樣品移動(dòng)及交接的功能，手指的形狀可根據(jù)樣品的形狀面更換。
權(quán)利要求1.一種雙重耦合磁力傳遞機(jī)械手，其特征在于該機(jī)械手由前后指(1)、與前后指聯(lián)接之支桿(11)與套管(12)，中間法蘭(4)及外面的耦合器(I)，耦合器(II)(9)組成，其聯(lián)接是中間為法蘭盤(4)，與真空設(shè)置箱體固定連接，法蘭中間有套管(12)，套管(12)里端為后指(2)，與套管垂直固定，套管(2)另一端為耦合器(II)(9)，套管與法蘭中間裝有球面軸承(3)，套管(12)中間為支桿(11)，支桿與套管緊密配合，支桿前端為前指(1)，與支桿垂直固定，支桿后端裝有耦合器(I)(10)耦合器(I)、(II)外面裝有支架，支架頂端與法蘭之間裝波紋管(5)，耦合器(II)上固定有游標(biāo)(7)，支架上與游標(biāo)對應(yīng)裝有直線尺(6)，在耦合器(I)上同時(shí)裝有角度尺(8)。
專利摘要本設(shè)備為一種真空設(shè)備中機(jī)械傳遞裝置,其結(jié)構(gòu)是中間為連接法蘭,與真空設(shè)備固定,中間裝有套管和支桿,支桿在套管內(nèi)可里外移動(dòng)且緊密配合,支桿前有前指,套管前有后指,在支桿和套管中分別裝有磁力耦合器,利用耦合器移動(dòng)和中間波紋管連接可使真空腔內(nèi)樣品移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng),優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡單,制作容易,在真空腔內(nèi)移動(dòng)樣品,使用方便靈活。
文檔編號B25J9/00GK2281247SQ9623936
公開日1998年5月13日 申請日期1996年12月11日 優(yōu)先權(quán)日1996年12月11日
發(fā)明者張振厚 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心