三點(diǎn)聯(lián)動(dòng)定位工裝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種定位裝置，尤其是一種用于加熱盤和腔體的三點(diǎn)聯(lián)動(dòng)定位工裝，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前半導(dǎo)體設(shè)備在裝調(diào)時(shí)，要求加熱盤與腔體必須自身水平及相互同心，這樣可以保證沉積時(shí)氣體均勻，但目前還沒有這樣的專用定位設(shè)備，都是通過人工多種設(shè)備聯(lián)合進(jìn)行，操作復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種三點(diǎn)聯(lián)動(dòng)定位工裝。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:三點(diǎn)聯(lián)動(dòng)定位工裝，包括移動(dòng)支架，連接件，連桿，銷軸和鎖緊螺栓。移動(dòng)支架通過鎖緊螺栓和連接件固定在連桿的末端的滑槽內(nèi)。銷軸處于連桿的中心。
[0005]本發(fā)明特點(diǎn):結(jié)構(gòu)緊湊合理，由于采用三個(gè)移動(dòng)支架可以同時(shí)徑向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過銷軸上下位移使工裝定位在被測工件上，在進(jìn)行設(shè)備調(diào)試以滿足使用要求。
【附圖說明】
[0006]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0007]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0008]實(shí)施例
[0009]如圖1所示:三點(diǎn)聯(lián)動(dòng)定位工裝，包括移動(dòng)支架1，連接件2，連桿3，銷軸4和鎖緊螺栓5。移動(dòng)支架I通過鎖緊螺栓5和連接件2固定在連桿3的末端的滑槽內(nèi)。銷軸4處于連桿3的中心。
[0010]通過過鎖緊螺栓5固定在連桿3滑槽內(nèi)的不同位置，來實(shí)現(xiàn)移動(dòng)支架I的徑向移動(dòng)，定位時(shí)需要銷軸4由之上向下移動(dòng)使移動(dòng)支架I與被測工件良好的接觸。最后鎖緊螺栓5完成同心定位。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.三點(diǎn)聯(lián)動(dòng)定位工裝，其特征在于:包括移動(dòng)支架，連接件，連桿，銷軸和鎖緊螺栓；移動(dòng)支架通過鎖緊螺栓和連接件固定在連桿的末端的滑槽內(nèi)，銷軸處于連桿的中心。
【專利摘要】三點(diǎn)聯(lián)動(dòng)定位工裝，包括移動(dòng)支架，連接件，連桿，銷軸和鎖緊螺栓。移動(dòng)支架通過鎖緊螺栓和連接件固定在連桿的末端的滑槽內(nèi)。銷軸處于連桿的中心。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊合理，由于采用三個(gè)移動(dòng)支架可以同時(shí)徑向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過銷軸上下位移使工裝定位在被測工件上，在進(jìn)行設(shè)備調(diào)試以滿足使用要求。
【IPC分類】B25B11/00
【公開號(hào)】CN104959934
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510410191
【發(fā)明人】續(xù)震, 王燚
【申請(qǐng)人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2015年10月7日
【申請(qǐng)日】2015年7月14日