一種壓力傳感器批量測(cè)試夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及微電子領(lǐng)域，特別是涉及一種壓力傳感器批量測(cè)試夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]目前壓力傳感器的測(cè)試方法一般采用的是單個(gè)產(chǎn)品測(cè)試夾具，測(cè)試人員在不加壓力情況下測(cè)試傳感器輸出，然后插上軟管加壓，測(cè)試加壓輸出，然后根據(jù)儀表讀數(shù)判別。采用單個(gè)測(cè)試夾具的方式測(cè)試效率低，測(cè)試成本高，而且由于采用插軟管加壓的方式，使用一段時(shí)間必須更換軟管，無(wú)法實(shí)現(xiàn)多只同時(shí)加壓測(cè)試，不利于規(guī)模測(cè)試。因而，迫切需要既能方便加壓、又可方便計(jì)算機(jī)信號(hào)采集的批量測(cè)試夾具。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0004]壓力傳感器批量測(cè)試夾具，從上至下依次設(shè)有放置層、密封層和氣路層，芯片放置層用于安裝壓力傳感器，所述密封層用于芯片放置層與氣路層的密封連接，所述氣路層用于連接外部氣壓和壓力傳感器。
[0005]進(jìn)一步的，所述芯片放置層包括芯片卡槽和定向槽，定向槽用于防止芯片反裝，卡槽用于芯片外殼的定位。
[0006]進(jìn)一步的，所述密封層包括密封圈和固定卡位結(jié)構(gòu)，密封圈采用錐形結(jié)構(gòu)，固定卡位結(jié)構(gòu)用于密封圈的固定。
[0007]進(jìn)一步的，氣路層內(nèi)設(shè)有壓力腔。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:可以實(shí)現(xiàn)批量同時(shí)加壓進(jìn)行測(cè)試；方便結(jié)合探針測(cè)試方式，實(shí)現(xiàn)批量電信號(hào)測(cè)試，結(jié)合計(jì)算機(jī)采集技術(shù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)試和判別，實(shí)現(xiàn)高效的批量測(cè)試。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是一種壓力傳感器批量測(cè)試夾具的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中:1-放置層、2-密封層、3-氣路層、1-1-卡槽、1-2-定向槽、2-1-密封圈、2-2-固定卡位結(jié)構(gòu)、3-1-壓力腔。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面將對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0012]如圖1所示，壓力傳感器批量測(cè)試夾具，包括放置層1、密封層2、氣路層3，產(chǎn)品安裝在放置層上，每一個(gè)產(chǎn)品在密封層上都有對(duì)應(yīng)的密封圈和使得產(chǎn)品與氣路層密封連接，使用時(shí)只需要將氣壓接入氣路層即可使用。
[0013]放置層主要包括定向槽1-2、卡槽1-1，定向槽用于防止芯片反裝，卡槽用于芯片外殼的定位，方便按壓操作，保證芯片放置的一致性。
[0014]密封層主要包含固定卡位結(jié)構(gòu)2-2和密封圈2-1，密封圈形狀根據(jù)產(chǎn)品特性自行設(shè)計(jì)制作，采用錐形結(jié)構(gòu)，既保證密封性，也方便取產(chǎn)品，密封圈材質(zhì)采用氟橡膠材料，保證耐磨特性。固定卡位結(jié)構(gòu)用于密封圈的固定，放置長(zhǎng)時(shí)間使用密封圈的偏移，影響夾具的長(zhǎng)期使用。
[0015]氣路層結(jié)構(gòu)采用一次加工成型，氣路層內(nèi)設(shè)有壓力腔3-1，保證夾具的氣密性。
[0016]本實(shí)用新型的技術(shù)方案，也適用于各種壓力傳感器的批量測(cè)試。
[0017]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其它相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種壓力傳感器批量測(cè)試夾具，其特征在于:從上至下依次設(shè)有放置層、密封層和氣路層，芯片放置層用于安裝壓力傳感器，所述密封層用于芯片放置層與氣路層的密封連接，所述氣路層用于連接外部氣壓和壓力傳感器。2.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器批量測(cè)試夾具，其特征在于:所述芯片放置層包括芯片卡槽和定向槽，定向槽用于防止芯片反裝，卡槽用于芯片外殼的定位。3.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器批量測(cè)試夾具，其特征在于:密封層包括密封圈和固定卡位結(jié)構(gòu)，密封圈采用錐形結(jié)構(gòu)，固定卡位結(jié)構(gòu)用于密封圈的固定。4.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器批量測(cè)試夾具，其特征在于:氣路層內(nèi)設(shè)有壓力腔。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種壓力傳感器批量測(cè)試夾具，從上至下依次設(shè)有放置層、密封層和氣路層，芯片放置層用于安裝壓力傳感器,所述密封層用于芯片放置層與氣路層的密封連接,所述氣路層用于連接外部氣壓和壓力傳感器。本實(shí)用新型的有益效果是：可以實(shí)現(xiàn)批量同時(shí)加壓進(jìn)行測(cè)試；方便結(jié)合探針測(cè)試方式，實(shí)現(xiàn)批量電信號(hào)測(cè)試，結(jié)合計(jì)算機(jī)采集技術(shù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)試和判別，實(shí)現(xiàn)高效的批量測(cè)試。
【IPC分類】B25B11/00
【公開號(hào)】CN204976418
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520558592
【發(fā)明人】卞慶浩, 鄭重, 宋文靜, 薛靜靜, 毛靜, 宋波, 周?；?
【申請(qǐng)人】龍微科技無(wú)錫有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請(qǐng)日】2015年7月29日