專利名稱：透明導(dǎo)電性膜及觸摸面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在透明塑料膜基材上利用濺射法層疊以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主的透明導(dǎo)電性薄膜形成的透明導(dǎo)電性膜，特別是涉及一種用于手寫筆輸入用觸摸面板時滑動耐久性優(yōu)異的透明導(dǎo)電性膜。還涉及一種使用于觸摸面板的上部電極等時，可得到平面性良好的觸摸面板的透明導(dǎo)電性膜。
背景技術(shù)：
在透明塑料基材上，層疊透明且電阻小的薄膜而成的透明導(dǎo)電性膜，利用其導(dǎo)電性的用途，作為例如液晶顯示器和場致發(fā)光(EL)顯示器等之類的平板顯示器或觸摸面板的透明電極等，廣泛用于電氣·電子領(lǐng)域的用途。由于便攜信息終端或帶觸摸面板筆記本電腦的普及，最近已逐漸要求具有現(xiàn)有以上的優(yōu)異手寫筆滑動耐久性的觸摸面板。雖然在觸摸面板上進(jìn)行手寫筆輸入時，固定電極側(cè)的透明導(dǎo)電性薄膜和可動電極(膜電極)側(cè)的透明導(dǎo)電性薄膜彼此接觸，但期望此時不會因手寫筆負(fù)荷而在透明導(dǎo)電性上產(chǎn)生裂紋、剝離等破壞，具有優(yōu)異的手寫筆滑動耐久性的透明導(dǎo)電性薄膜。作為改善手寫筆耐久性的方法，有將可動電極(薄膜電極)側(cè)的透明導(dǎo)電性薄膜設(shè)計(jì)為結(jié)晶質(zhì)的方法(專利文獻(xiàn)1 11)。但是，現(xiàn)有的透明導(dǎo)電性膜具有如下的課題。專利文獻(xiàn)1 7是在透明塑料膜基材上設(shè)置通過硅酮化合物的水解生成的基底層，進(jìn)而成膜結(jié)晶質(zhì)的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜。但是，這些透明導(dǎo)電性膜在使用后述的手寫筆滑動耐久性試驗(yàn)中記載的聚縮醛制的手寫筆，以5. ON的負(fù)荷進(jìn)行30萬次的直線滑動試驗(yàn)后，透明導(dǎo)電性薄膜發(fā)生剝離，結(jié)果產(chǎn)生白化，對手寫筆滑動的耐久性不充分。專利文獻(xiàn)8 11的透明導(dǎo)電性薄膜的特征為，通過盡可能減少濺射時的成膜氣氛中的水來成膜結(jié)晶質(zhì)的透明導(dǎo)電性薄膜。但是，為了制作這些透明導(dǎo)電性薄膜，要實(shí)施長時間的抽真空或需要能力非常高的真空泵，不適于產(chǎn)業(yè)上的應(yīng)用。另外，專利文獻(xiàn)11的透明導(dǎo)電性薄膜在使用后述的手寫筆滑動耐久性試驗(yàn)中記載的聚縮醛制的手寫筆，以5. ON的負(fù)荷進(jìn)行30萬次的直線滑動試驗(yàn)后，透明導(dǎo)電性薄膜發(fā)生剝離，結(jié)果產(chǎn)生白化，對手寫筆滑動的耐久性不充分。另外，將現(xiàn)有的結(jié)晶質(zhì)的透明導(dǎo)電性薄膜成膜而成的導(dǎo)電性膜，還存在如下的問題，即由于為了結(jié)晶化要進(jìn)行熱處理，此時基材的透明膜的殘余應(yīng)變被緩和，成為熱收縮率低的透明導(dǎo)電性膜，在用于超過10英寸的大型的觸摸面板的上部電極等時，不能通過熱處理使其適度地收縮而制成平面性良好的面板。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 (日本)特開昭60-131711號公報專利文獻(xiàn)2 (日本)特開昭61-79647號公報
專利文獻(xiàn)3
專利文獻(xiàn)4
專利文獻(xiàn)5
專利文獻(xiàn)6
專利文獻(xiàn)7
專利文獻(xiàn)8
專利文獻(xiàn)9
專利文獻(xiàn)10
專利文獻(xiàn)11
(日本)特開昭61-183809號公報 (日本)特開平2-194943號公報 (日本)特開平2-276630號公報 (日本)特開平8-64034號公報 (日本)特開平11-286078號公報 (日本)特開平2000-144379號公報 (日本)特開2000-238178號公報 (日本)特開2004-71171號公報 國際公開 W02000/051139

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題鑒于上述的現(xiàn)有的問題，本發(fā)明的目的在于，用產(chǎn)業(yè)上可以應(yīng)用的方法提供一種透明導(dǎo)電性膜，其用于觸摸面板時的手寫筆滑動耐久性優(yōu)異，特別是即使在使用聚縮醛制的手寫筆以5. ON的負(fù)荷進(jìn)行30萬次的滑動試驗(yàn)后，透明導(dǎo)電性薄膜也不會破壞。本發(fā)明的目的還在于，提供一種透明導(dǎo)電性膜，其通過使透明導(dǎo)電性膜具有適度的熱收縮率，在用于大型的觸摸面板的上部電極等時，通過熱處理使其收縮，從而可以制成平面性良好的觸摸面板。解決的課題的方法本發(fā)明是鑒于如上所述的狀況完成的，可以解決上述的課題的本發(fā)明的透明導(dǎo)電性薄膜，由以下的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。1、一種透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，其是在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主成分的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，所述透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑為30 lOOOnm，且晶粒的投影圓當(dāng)量徑的變動系數(shù)為 0. 00 0. 30。2、一種透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，其是在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主成分的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，所述透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的長徑為30 lOOOnm，且透明導(dǎo)電性薄膜的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部之比為 0. 00 0. 50。3、一種透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，其是在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以氧化銦為主成分的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，透明導(dǎo)電性膜的至少一方向在 120 0C 60分鐘條件下的收縮率為0. 20 0. 70%，120 °C 60分鐘熱處理后的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑為30 lOOOnm，且透明導(dǎo)電性薄膜的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部之比為0. 00 0. 50。4、如上述3所述的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，透明導(dǎo)電性膜的流動方向的在 120°C 60分鐘條件下的收縮率Hm和透明導(dǎo)電性膜的寬度方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率Htd滿足(1)式，0. 00%^ |Hm-HTD| ^ 0. 30% (1)。5、如上述3或4所述的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，120°C 60分鐘熱處理后的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的投影圓當(dāng)量徑的變動系數(shù)為0. 00 0. 30。6、一種透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，其是在基材的至少一面上層疊以氧化銦為主成分的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，所述基材由在透明塑料膜的至少一面上形成有固化型樹脂固化層的層疊膜構(gòu)成，透明導(dǎo)電性膜的至少一方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率為0. 20 0. 70%,120°C 60分鐘熱處理后的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑為30 lOOOnm，且透明導(dǎo)電性薄膜的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部之比為0. 00 0. 50。7、如上述6所述的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，所述固化型樹脂為紫外線固化型樹脂。8、如上述1 7所述的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，所述透明導(dǎo)電性薄膜以氧化銦為主成分，包含0. 5 8質(zhì)量％的氧化錫。9、如上述1 8中任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，所述透明導(dǎo)電性薄膜的厚度為10 200nm。10、一種觸摸面板，其將上述1 9中任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性膜用作可動電極側(cè)膜。發(fā)明效果如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在透明塑料膜基材上的至少一面上成膜透明導(dǎo)電性薄膜時，通過控制120°C 60分鐘熱處理后的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的粒徑、結(jié)晶質(zhì)部 /非晶質(zhì)部的比例、晶粒徑的變動系數(shù)，可以制作帶有非常優(yōu)異的手寫筆滑動耐久性的透明導(dǎo)電性膜。進(jìn)而，由于透明導(dǎo)電性膜也帶有適度的熱收縮性，因此，當(dāng)使用所得到的透明導(dǎo)電性膜時，可以制作手寫筆滑動耐久性優(yōu)異、且平面性良好的手寫筆輸入用觸摸面板。


圖1是用于獲得本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜的方法〔1〕中記載的薄膜、陰極和“距膜最近的陽極”的配置圖。圖2是表示有關(guān)本發(fā)明的晶粒的最長部的例子(其1)的圖。圖3是表示有關(guān)本發(fā)明的晶粒的最長部的例子(其2)的圖。圖4是表示有關(guān)本發(fā)明的晶粒的最長部的例子(其3)的圖。圖5是說明關(guān)于本發(fā)明的晶粒的最長部的例子(其4)的圖。
具體實(shí)施例方式<透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的結(jié)晶形態(tài)及特性>本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜是在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主的透明導(dǎo)電性薄膜而成的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑為30 lOOOnm，且晶粒徑的變動系數(shù)為0. 00 0. 30。另外，本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜的其它形態(tài)為，在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主的透明導(dǎo)電性薄膜而成的透明導(dǎo)電性薄膜，其特征在于，透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的長徑為30 lOOOnm，且透明導(dǎo)電性薄膜的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部的比為0. 00 0. 50。
在此，透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的投影圓當(dāng)量徑及長徑的定義如下。將在透射式電子顯微鏡下在透明導(dǎo)電性薄膜層中所觀察到的多角形狀的區(qū)域作為氧化銦的晶粒。對于在透射式電子顯微鏡下在透明導(dǎo)電性薄膜層中所觀察的氧化銦的所有的晶粒，求出面積，將用圓周率η除晶粒的面積所得的值的平方根的2倍的值作為晶粒的投影圓當(dāng)量徑，將投影圓當(dāng)量徑的平均值作為平均投影圓當(dāng)量徑，將用平均投影圓當(dāng)量徑除投影圓當(dāng)量徑的標(biāo)準(zhǔn)偏差得出的值作為變動系數(shù)。進(jìn)而，對于所有的晶粒測定最長部， 將這些測定值的平均值作為晶粒的長徑。在此，圖1 4中表示有關(guān)晶粒的最長部的例子。另外，透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部的比，由在透射式電子顯微鏡下觀察時的結(jié)晶質(zhì)部和非晶質(zhì)部的面積比計(jì)算出。需要說明的是，就透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的結(jié)晶質(zhì)部而言，將在透射式電子顯微鏡下觀察透明導(dǎo)電性薄膜層時，帶多角形狀的區(qū)域的部分定義為結(jié)晶質(zhì)部的氧化銦，將剩余的部分定義為非晶質(zhì)部。構(gòu)成本發(fā)明的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑或長徑為30 lOOOnm。特別優(yōu)選為35 800nm。晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑或長徑小于30nm時，由于晶粒彼此的結(jié)合力弱，因此手寫筆滑動耐久性變差。相反，當(dāng)晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑或長徑超過IOOOnm時，由于耐彎曲性變差，因此撓性下降，明顯地背離了在塑料膜基材上形成透明導(dǎo)電性薄膜的意義，有時不適合用于觸摸面板的上部電極等。構(gòu)成本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的投影圓當(dāng)量徑的變動系數(shù)為0. 00 0. 30。特別優(yōu)選為0. 00 0. 25。如果晶粒的投影圓當(dāng)量徑的變動系數(shù)為0. 00 0. 30，實(shí)施手寫筆滑動時，由于透明導(dǎo)電性薄膜均勻地承受來自手寫筆的力， 因此可以抑制龜裂或白化的發(fā)生。當(dāng)晶粒的投影圓當(dāng)量徑的變動系數(shù)大于0. 30時，由于晶粒尺寸偏差變大，透明導(dǎo)電性薄膜變得不能均勻地承受來自手寫筆的力，因此，從手寫筆施加較大地的壓力的部位開始發(fā)生龜裂或白化，當(dāng)再繼續(xù)手寫筆滑動時，以此處為起點(diǎn)，滑動部分整體變差。氧化銦的晶粒徑一致是優(yōu)選的，因此變動系數(shù)也優(yōu)選為零，但可以穩(wěn)定地進(jìn)行制作的變動系數(shù)為0. 05以上。另外，本發(fā)明中的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的非結(jié)晶部相對于結(jié)晶質(zhì)部的比為 0.00 0.50。優(yōu)選為0.00 0.45。當(dāng)前述的比大于0. 50時，呈晶粒島狀地浮在非晶部之中的狀態(tài)，在這種狀態(tài)下，進(jìn)行手寫筆滑動耐久性試驗(yàn)時，非晶部分首先剝離，以該部分為開端，晶粒也剝離，透明導(dǎo)電性薄膜會受到破壞。如果前述的比為0. 50以下，不會成為晶粒島狀地浮在非晶部之中的狀態(tài)，成為晶粒彼此全部相聯(lián)的狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，即使進(jìn)行手寫筆滑動耐久試驗(yàn)，由于晶粒彼此相互支撐，因此可獲得手寫筆滑動耐久性非常高的透明導(dǎo)電性薄膜。構(gòu)成本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜的透明導(dǎo)電性薄膜優(yōu)選以氧化銦為主成分，包含 0.5 8質(zhì)量％氧化錫。相對于氧化銦，氧化錫相當(dāng)于添加雜質(zhì)。由于氧化錫的雜質(zhì)添加， 加入有氧化錫的氧化銦熔點(diǎn)增高。即，氧化錫的雜質(zhì)添加作用于阻礙結(jié)晶化的方向。優(yōu)選包含0. 5 8質(zhì)量％的氧化錫。若氧化錫不足0. 5%，結(jié)晶化進(jìn)行，但由于表面電阻變得高于實(shí)用性的水平，因此不理想。在氧化錫大于8質(zhì)量％的情況下，難以結(jié)晶化，手寫筆滑動耐久性變差。需要說明的是，本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜的表面電阻優(yōu)選10 1000Ω/ 口。構(gòu)成本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜的透明導(dǎo)電性薄膜的厚度優(yōu)選為10 200nm。當(dāng)透明導(dǎo)電性薄膜的厚度變得不足IOnm時，由于膜變得不均勻，因此手寫筆滑動耐久性變?nèi)?。另外，?dāng)透明導(dǎo)電性薄膜的厚度比200nm厚時，由于全光線透射率變得低于實(shí)用性的水平，因此不理想。需要說明的是，本發(fā)明的透明導(dǎo)電性薄膜的全光線透射率為60 95%。在本發(fā)明中，透明導(dǎo)電性薄膜的厚度優(yōu)選為10 lOOnm。當(dāng)透明導(dǎo)電性薄膜的厚度變得不足IOnm時，由于膜變得不均勻，因此手寫筆滑動耐久性變?nèi)?。另外，?dāng)透明導(dǎo)電性薄膜的厚度比IOOnm厚時，由于全光線透射率變得低于實(shí)用性的水平，因此不理想。<透明導(dǎo)電性膜的透明導(dǎo)電性薄膜的成膜方法>要想獲得本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜，重要的是以下的參數(shù)。在透明塑料膜基材的至少一面上成膜以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主的透明導(dǎo)電性薄膜的方法中，將濺射時的成膜氣氛的質(zhì)量數(shù)觀的氣體分壓相對于惰性氣體分壓之比設(shè)定為 5. O X ΙΟ"4 5. OX 10_2，且成膜中優(yōu)選將膜溫度保持在80°C以下，來在透明塑料膜上成膜透明導(dǎo)電性薄膜。為了使濺射時的成膜氣氛的質(zhì)量數(shù)觀的氣體分壓相對于惰性氣體分壓之比為5. O X ΙΟ"4以下，需要能力非常高的真空泵，經(jīng)濟(jì)上的實(shí)施變難。成膜氣氛中的質(zhì)量數(shù)為觀的氣體主要是一氧化碳、氮。特別是一氧化碳?xì)怏w在向透明導(dǎo)電性膜上成膜時較多地放出。質(zhì)量數(shù)觀的氣體主要是膜所包含的有機(jī)成分由于等離子分解出來的氣體。在成膜透明導(dǎo)電性薄膜時，由于非常多的有機(jī)成分自膜中揮發(fā)， 透明導(dǎo)電性薄膜的晶粒易變得不均勻。使有機(jī)成分的揮發(fā)量下降，關(guān)系到透明導(dǎo)電性薄膜的晶粒的均勻性的改善。有機(jī)成分的揮發(fā)量只要觀測質(zhì)量數(shù)觀的氣體即可。在本發(fā)明中發(fā)現(xiàn)，通過將濺射時的成膜氣氛的質(zhì)量數(shù)觀的氣體分壓相對于惰性氣體分壓之比控制為 5. OX 10_4 5. OX 10_2，可以使透明導(dǎo)電性薄膜的晶粒均勻化，可以成膜手寫筆滑動耐久性優(yōu)異的透明導(dǎo)電性薄膜。為了獲得本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜，以下的方法〔1〕、〔2〕、〔3〕及〔4〕比較理想?！?〕要成膜在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以均勻性高的氧化銦的晶粒為主的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，理想的是，膜和“距膜最近的陽極”之間的距離相對于陰極和“距膜最近的陽極”(其中，使膜移動的輥除外)之間的距離之比為0. 07以上。 關(guān)于膜、陰極和“距膜最近的陽極”的配置，參照圖1。當(dāng)膜和“距膜最近的陽極”之間的距離相對于陰極和“距膜最近的陽極”之間的距離之比小于0. 07時，由于對膜的離子照射量變多，因此有機(jī)成分自膜中大量揮發(fā)，妨礙均勻的晶粒的形成?！?〕要成膜在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以均勻性高的氧化銦的晶粒為主的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，理想的是，抽成真空狀態(tài)時使膜不易卷緊。具體地說，理想的是，用50 ΙΟΟΝ/m這樣微弱的力將在膜上粘貼保護(hù)膜的、在膜上帶有滾花的膜卷繞。但是，當(dāng)用不足50N/m的力卷繞膜時，由于運(yùn)輸膜時會發(fā)生卷繞錯位，因此不合適。當(dāng)膜被卷緊時，由于有機(jī)成分自膜內(nèi)部跑出去的部位變少，因此在成膜透明導(dǎo)電性薄膜時，由于有機(jī)成分自膜中大量揮發(fā)，透明導(dǎo)電性薄膜的晶粒變得不均勻?！?〕要成膜在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以均勻性高的氧化銦的晶粒為主的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，理想的是，在成膜透明導(dǎo)電性薄膜前，使膜通過轟擊工序，所謂轟擊工序是在僅流過氬等惰性氣體或氧等反應(yīng)性氣體和惰性氣體的混合氣體的狀態(tài)下，施加電壓進(jìn)行放電，使等離子產(chǎn)生。具體而言，理想的是，在SUS靶等中，利用RF 濺射對膜進(jìn)行轟擊。通過轟擊工序，膜被暴露在等離子中，因此有機(jī)成分自膜中揮發(fā)，在成膜透明導(dǎo)電性薄膜時自膜中揮發(fā)的有機(jī)成分減少，因此透明導(dǎo)電性薄膜的晶粒尺寸的均勻性增加，使手寫筆滑動性改善?！?〕要成膜在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以均勻性高的氧化銦的晶粒為主的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，理想的是在成膜透明導(dǎo)電性薄膜前對膜進(jìn)行加熱之后使用。具體而言，理想的是，離線用干燥機(jī)等對膜加熱、在線用頂加熱器等對膜加熱。 通過對膜進(jìn)行加熱，可以使有機(jī)成分揮發(fā)，因此，在成膜透明導(dǎo)電性薄膜時可以使有機(jī)成分的揮發(fā)量減少，從而透明導(dǎo)電性薄膜的晶粒尺寸的均勻性增加，使手寫筆滑動性改善。另外，成膜中理想的是將基板溫度保持在80°C以下，在基板上形成透明導(dǎo)電性薄膜。當(dāng)達(dá)到為80°C以上時，由于來自于膜的有機(jī)成分大量地產(chǎn)生，阻礙具有均勻的晶粒的透明導(dǎo)電性薄膜的成膜，即阻礙手寫筆滑動耐久性優(yōu)異的透明導(dǎo)電性薄膜的成膜。另外，為了使透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的長徑為30 lOOOnm，且控制透明導(dǎo)電性薄膜的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部的比，如下的方法〔1〕、〔2〕、及〔3〕比較理想。〔1〕在透明塑料膜基材上的至少一面上成膜以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主的透明導(dǎo)電性薄膜的方法中，理想的是濺射時的水分壓相對于成膜氣氛的惰性氣體壓力之比設(shè)定為 8. OX 10_4 3. OX 10_3，且氧分壓設(shè)定為8. OX 10_3 30X 10 ,且成膜中將膜溫度保持在 80°C以下，在透明塑料膜上成膜透明導(dǎo)電性薄膜。已知當(dāng)成膜氣氛中包含水時，阻礙透明導(dǎo)電性薄膜的結(jié)晶質(zhì)化。因此，成膜氣氛中的水分量是重要的因素。為了控制在塑料膜上成膜時的水分量，理想的是觀察實(shí)際成膜時的水分量。將到達(dá)真空度用于成膜氣氛中的水分量的控制時，有如下的2點(diǎn)不適宜。首先作為第1點(diǎn)，當(dāng)通過濺射在塑料膜上進(jìn)行成膜時，膜被加熱，成膜氣氛中的水分量增加，比測定到達(dá)真空度時的水分量增加。第2點(diǎn)是用大量地投入透明塑料膜的裝置的情況。在這種裝置中，以輥卷的方式投入膜。當(dāng)將膜以輥卷方式投入到真空槽中時，輥的卷外部分的水易逸出，但輥的卷內(nèi)部分的水難以逸出。測定到達(dá)真空度時，膜輥卷停止，但成膜時膜輥移動，因此，由于含水較多的輥的卷內(nèi)部分被卷出，成膜氣氛中的水分量增加，比測定到達(dá)真空度時的水分量增加。在本發(fā)明中，在控制成膜氣氛中的水分量時，通過觀測濺射時的水分壓相對于成膜氣氛的惰性氣體壓力之比來進(jìn)行應(yīng)對。雖然理想的是濺射時的水分壓相對于成膜氣氛的惰性氣體壓力之比盡量低，但在將透明塑料膜大量地投入到成膜室內(nèi)的裝置之中，為了將在專利文獻(xiàn)11中有記載的那樣的水分壓相對于惰性氣體壓力之比控制在2. 5X ΙΟ"6 7. OX 10_4，需要實(shí)施長時間的抽真空或能力非常高的真空泵，經(jīng)濟(jì)上的實(shí)施變難。無論在將透明塑料膜大量地投入到成膜室內(nèi)的裝置方面還是在可容易地實(shí)現(xiàn)的水分壓相對于惰性氣體壓力之比方面，本發(fā)明都發(fā)現(xiàn)了具有結(jié)晶質(zhì)部且?guī)в蟹浅?yōu)異的手寫筆滑動耐久性的制造方法。作為水分壓相對于惰性氣體壓力之比，8. OX 10_4 3. OX 10_3 為可容易地實(shí)現(xiàn)的值。當(dāng)在該狀態(tài)中將氧分壓設(shè)定為8. OX 10_3 30 X 進(jìn)行成膜時， 可成膜具有結(jié)晶質(zhì)部的透明導(dǎo)電性薄膜，能夠得到具有非常優(yōu)異的手寫筆滑動耐久性的透明導(dǎo)電性膜。前述的氧分壓的范圍非常特殊。雖然一般在電阻值變得最低的氧分壓下制作透明導(dǎo)電性薄膜，但在本發(fā)明中，特征是在比電阻值變得最低時利用較高的氧分壓下成膜。使氧分壓為較高的值的意圖如下。當(dāng)在氧分壓高的狀態(tài)下成膜時，由于可彌補(bǔ)氧化銦的氧損失部分，因此可得到具有能量上非常穩(wěn)定的結(jié)晶結(jié)構(gòu)的膜。其結(jié)果，在透明塑料膜基材上晶粒的產(chǎn)生概率增大，進(jìn)而由于晶粒成長變得容易， 因此顯現(xiàn)非常優(yōu)異的手寫筆滑動耐久性。但是，當(dāng)使氧分壓大于30X 10_3Pa時，由于表面電阻超過實(shí)用的水平，因此不理想。在此，表面電阻的實(shí)用上的水平為50 1000 Ω / □左右。另外，理想的是，成膜中將基板溫度保持在80°C以下，從而在基板上形成透明導(dǎo)電性薄膜。當(dāng)為80°C以上時，由于來自膜的水、有機(jī)氣體等雜質(zhì)大量產(chǎn)生，因此妨礙具有結(jié)晶質(zhì)部的透明導(dǎo)電性薄膜的成膜，即，阻礙，手寫筆滑動耐久性優(yōu)異的透明導(dǎo)電性薄膜的成膜?！?〕要成膜在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主的透明導(dǎo)電性薄膜，理想的是，使用離子輔助法或離子鍍膜法等活性化支撐法或大功率脈沖磁控管濺射鍍膜法向膜上成膜透明導(dǎo)電性薄膜。為了形成晶粒，需要蒸發(fā)原子所具有的能量。前述的方法與通常的成膜方法相，比蒸發(fā)原子所具有的能量大，因此，由于晶粒的產(chǎn)生概率增加及結(jié)晶成長變得容易，顯現(xiàn)非常優(yōu)異的手寫筆滑動耐久性。成膜條件優(yōu)選在導(dǎo)入4. OX 10_3 6. OX ICT2Pa氧后，導(dǎo)入氬使成膜壓力達(dá)到0. 15Pa之后，以放電電壓80V、 脈沖電位(日文原文〃一 7電位)+40V、放電電流120A進(jìn)行電弧放電。〔3〕用濺射法等在透明塑料膜基材上的至少一面上成膜以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主的透明導(dǎo)電性薄膜的情況下，理想的是，在要成膜透明導(dǎo)電性薄膜的一側(cè)涂布包含與透明導(dǎo)電性薄膜具有相同組成的、直徑20 500nm的微粒的涂層。由于前述的微粒成為透明導(dǎo)電性薄膜的結(jié)晶成長的核，因此促進(jìn)晶粒的成長，顯現(xiàn)非常優(yōu)異的手寫筆滑動耐久性。直徑小于20nm的微粒難以制作及得到。另外，當(dāng)使用大于500nm的微粒時，由于晶粒成長過大，在成膜透明導(dǎo)電性薄膜時，容易發(fā)生凸起，有時晶粒也會以該凸起為開端而剝離，透明導(dǎo)電性薄膜被破壞。上述微粒理想的是使其分散在向透明塑料膜上涂布的固化型樹脂固化層等中而使用。其中，相對于固化型樹脂固化層等的有機(jī)成分的總量，優(yōu)選以1 30質(zhì)量％的比例包含上述微粒。<用于獲得平面性優(yōu)異的觸摸面板的透明導(dǎo)電性膜>本發(fā)明的透明導(dǎo)電性薄膜的一種方式是在透明塑料膜基材上的至少一面上，層疊以氧化銦為主成分的透明導(dǎo)電性薄膜而成的透明導(dǎo)電性膜，透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑為30 lOOOnm，且透明導(dǎo)電性薄膜的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部之比為0. 00 0. 50，透明導(dǎo)電性膜的至少一個方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率為 0. 20 0. 70%。進(jìn)而，透明導(dǎo)電性膜的流動方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率Hm和透明導(dǎo)電性膜的寬度方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率Htd優(yōu)選滿足(1)式。0. 00%^ |Hm-HTD| ^ 0. 30% (1)進(jìn)一步優(yōu)選透明導(dǎo)電性膜的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑的變動系數(shù)為0. 00 0. 30。S卩，上述本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜由于具有適度的熱收縮性，因此用于觸摸面板的上部電極等時，可通過熱處理使其適度地收縮，制成平面性良好的膜。要對利用濺射法層疊了通常的以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜進(jìn)行結(jié)晶化處理，由于需要150°C左右的熱處理而不具有熱收縮性，相對于此，本
9發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜不會使基材的透明膜的殘余應(yīng)變緩和，可以獲得保持有熱收縮性的透明導(dǎo)電性膜。因此，在用于觸摸面板的上部電極時等，可通過熱處理使其適度地收縮而制成平面性良好的膜。即，優(yōu)選透明導(dǎo)電性膜的至少一個方向的120°C 60分鐘的收縮率為 0. 20 0. 70 %。收縮率進(jìn)一步優(yōu)選為0. 25 0. 65 %的范圍，特別優(yōu)選為0. 30 0. 50 %。另外，透明導(dǎo)電性膜的流動方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率Hm和透明導(dǎo)電性膜的寬度方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率Htd優(yōu)選滿足(1)式。0. 00%^ |Hm-HTD| ^ 0. 30% (1)在將本發(fā)明的透明導(dǎo)電性薄膜用于觸摸面板的上部電極等時，通過熱處理使其適度地收縮，制成平面性良好的膜的情況下，當(dāng)熱收縮性因方向不同而差異較大時，即使進(jìn)行熱處理，也不能得到平面性良好的觸摸面板。因而，流動方向的收縮率Hm和寬度方向的收縮率Htd之差優(yōu)選為0. 3 %以下?！赐该魉芰夏せ摹翟诒景l(fā)明中使用的透明塑料膜基材是將有機(jī)高分子熔融擠出或溶液擠出為膜狀， 根據(jù)需要沿長度方向及/或?qū)挾确较驅(qū)嵤├?、冷卻、熱固定而成的膜，作為有機(jī)高分子， 可舉出聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚2，6_萘二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丙二醇酯、尼龍6、尼龍4、尼龍66、尼龍12、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚醚砜、聚醚醚酮、聚碳酸酯、聚芳酯、丙酸纖維素酯、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚乙烯醇、聚醚酰亞胺、聚苯硫醚、 聚苯醚、聚苯乙烯、間規(guī)聚苯乙烯、降冰片烯系聚合物等。在這些有機(jī)高分子中，聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丙二醇酯、聚2， 6_萘二甲酸乙二醇酯、間規(guī)聚苯乙烯、降冰片烯系聚合物、聚碳酸酯、聚芳酯等較適合。另外，這些有機(jī)高分子也可以少量地共聚其它的有機(jī)聚合物的單體或摻合其它的有機(jī)高分子。在本發(fā)明中使用的透明塑料膜基材的厚度優(yōu)選為10 300μπι的范圍，特別優(yōu)選 70 260 μ m的范圍。若塑料膜的厚度為10 μ m以下，則機(jī)械強(qiáng)度不足，特別是對于用于觸摸面板時的手寫筆輸入的變形有變大的趨勢，耐久性不易充分。另一方面，當(dāng)厚度超過300 μ m 時，用于觸摸面板時，用于使膜形變的手寫筆負(fù)荷容易變大，非優(yōu)選。在本發(fā)明中使用的透明塑料膜優(yōu)選在至少一個方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率為0. 20 0. 70%。進(jìn)而，在本發(fā)明中使用的透明塑料膜的流動方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率Htffi和透明導(dǎo)電性薄膜的寬度方向的120°C 60分鐘的收縮率Htd優(yōu)選滿足 ⑴式。0. 00%^ |Hm-HTD| ^ 0. 30% (1)在用于觸摸面板的上部電極等時，通過熱處理使其適度地收縮，制成平面性良好的膜的情況下，重要的是如上所述使透明導(dǎo)電性膜具有適度的收縮性，因此，從同樣的原因考慮，基材的透明塑料膜也需要具有適度的熱收縮特性。需要說明的是，在透明導(dǎo)電性薄膜的成膜工序或后述的固化性樹脂固化層的涂布工序中，優(yōu)選通過使其幾乎不耗費(fèi)熱量的方式，使透明塑料膜的熱收縮特性達(dá)到與透明導(dǎo)電性膜的熱收縮特性相同程度。在本發(fā)明中使用的透明塑料膜基材在無損本發(fā)明的目的范圍內(nèi)，也可以對前述膜實(shí)施電暈放電處理、輝光放電處理、火焰處理、紫外線照射處理、電子束照射處理、臭氧處理等表面活性處理。當(dāng)在透明塑料膜基材上涂布固化型樹脂固化層，且在使該固化型樹脂固化層的表面形成凹凸的基礎(chǔ)上成膜透明導(dǎo)電性薄膜時，可以期待手寫筆滑動耐久性的改善。其效果主要有兩點(diǎn)。第一點(diǎn)是因透明導(dǎo)電性薄膜和固化型樹脂固化層的附著力增加，可以防止因手寫筆滑動引起的透明導(dǎo)電性薄膜的剝落，因此滑動耐久性改善。第二點(diǎn)是因手寫筆滑動，透明導(dǎo)電薄膜和玻璃接觸時的真正的接觸面積減少，玻璃面和透明導(dǎo)電性薄膜的滑動性變好，因此手寫筆滑動耐久性改善。另外，也可以在成膜透明導(dǎo)電性薄膜的面的相反側(cè)的面上設(shè)置固化型樹脂固化層。將本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜用于觸摸面板的可動電極時，由于進(jìn)行利用手寫筆或手指的輸入，因此未形成可動電極的透明導(dǎo)電性薄膜的面容易出現(xiàn)損傷等。將固化性樹脂固化層作為用于防止該損傷的硬涂層起作用。關(guān)于固化型樹脂固化層的詳細(xì)情況，下面做了記載〈固化型樹脂固化層〉本發(fā)明中使用的所述固化型樹脂只要是利用加熱、紫外線照射、電子束照射等施加能量進(jìn)行固化的樹脂即可，可舉出硅酮樹脂、丙烯酸樹脂、甲基丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、三聚氰胺樹脂、聚酯樹脂、聚氨酯樹脂等。但是，為了獲得120°C 60分鐘的收縮率為0. 20 0. 70%的層疊體，優(yōu)選在形成固化性樹脂固化層的工序中皆可能進(jìn)行低溫處理。從該觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選以紫外線固化性樹脂作為主成分。作為這類紫外線固化型樹脂，可以舉出例如多元醇的丙烯酸或甲基丙烯酸酯之類的多官能性的丙烯酸酯樹脂；如由二異氰酸酯、多元醇及丙烯酸或甲基丙烯酸的羥基烷基酯等合成的多官能性的聚氨酯丙烯酸酯樹脂等，根據(jù)需要，可以在這些多官能性樹脂中加入單官能性的單體，例如乙烯基吡咯烷酮、甲基丙烯酸甲酯、苯乙烯等使其共聚。另外，為了改善透明導(dǎo)電性薄膜和固化型樹脂固化層的附著力，有效的是對固化型樹脂固化層的表面進(jìn)行表面處理。作為具體的方法，可舉出用于增加羰基、羧基、羥基的照射輝光或電暈放電的放電處理法；用酸或堿進(jìn)行處理以使氨基、羥基、羰基等極性基增加的化學(xué)藥品處理法等。紫外線固化型樹脂通常添加光聚合引發(fā)劑使用。作為光聚合引發(fā)劑，沒有特別限制，可以使用吸收紫外線而產(chǎn)生自由基的公知的化合物，作為這類光聚合引發(fā)劑，可以列舉例如各種苯偶姻類、苯基酮類、二苯甲酮類等。光聚合引發(fā)劑的添加量優(yōu)選紫外線固化型樹脂每100質(zhì)量份通常設(shè)定為1 5質(zhì)量份。另外，在本發(fā)明中，除了作為主要的構(gòu)成成分的固化型樹脂以外，優(yōu)選在固化型樹脂固化層中并用與固化型樹脂非相溶的樹脂。通過在基體的固化型樹脂中少量并用非相溶的樹脂，可以在固化型樹脂中引起相分離，使非相溶樹脂以顆粒狀分散。利用該非相溶樹脂的分散微粒，可以使固化型樹脂固化層的表面形成凹凸，提高廣大區(qū)域中的粗糙度。在固化型樹脂為上所述的紫外線固化型樹脂的情況下，作為非相溶樹脂可例示聚酯樹脂、聚烯烴樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚酰胺樹脂等。在本發(fā)明中，在使用紫外線固化型樹脂作為固化型樹脂固化層的主要的構(gòu)成成分的固化型樹脂，使用高分子量的聚酯樹脂作為與固化型樹脂非相溶的高分子樹脂的情況下，它們的混合比例優(yōu)選紫外線固化型樹脂每100質(zhì)量份，聚酯樹脂為0. 1 20質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為0. 2 10質(zhì)量份、特別優(yōu)選為0. 5 5質(zhì)量份。
當(dāng)紫外線固化型樹脂每100質(zhì)量份，所述聚酯樹脂的混合量不足0. 1質(zhì)量份時，在固化型樹脂固化層表面形成的凸部變小，或有凸部減少的趨勢，表面粗糙度未提高，未顯現(xiàn)手寫筆滑動耐久性的進(jìn)一步的改良效果，因而不優(yōu)選。另一方面，當(dāng)紫外線固化型樹脂每 100質(zhì)量份，所述聚酯樹脂的混合量超過20質(zhì)量份時，該固化型樹脂固化層的強(qiáng)度下降，耐
藥品性容易變差。但是，由于聚酯樹脂與紫外線固化型樹脂在折射率上存在差異，因此固化型樹脂固化層的霧度上升，有使透明性變差的趨勢，故非優(yōu)選。相反，也可以積極地利用因高分子量的聚酯樹脂的分散顆粒引起的透明性變差，制成霧度高、具有防眩功能的防眩膜來使用。所述的紫外線固化型樹脂、光聚合引發(fā)劑及高分子量的聚酯樹脂分別溶解于通用的溶劑，制備涂布液。對使用的溶劑沒有特別限定，可以單獨(dú)地或者混合使用例如乙醇、異丙醇等之類的醇系溶劑；醋酸乙酯、醋酸丁酯等之類的酯系溶劑；二丁基醚、乙二醇單乙基醚等之類的醚系溶劑；甲基異丁基酮、環(huán)己酮等之類的酮系溶劑；甲苯、二甲苯、溶劑油等之類的芳香族烴系溶劑等。涂布液中的樹脂成分的濃度可以考慮適應(yīng)涂布法的粘度等適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行選擇。例如，涂布液中紫外線固化型樹脂、光聚合引發(fā)劑及高分子量的聚酯樹脂的總計(jì)量所占的比例通常為20 80質(zhì)量％。另外，在該涂布液中，也可以根據(jù)需要添加其它的公知的添加劑， 例如硅酮系流平劑等。在本發(fā)明中，所制備的涂布液被涂布在透明塑料膜基材上。對涂布法沒有特別限定，可以使用棒涂法、凹版涂布法、逆轉(zhuǎn)涂布法等現(xiàn)有公知的方法。所涂布的涂布液在下一道干燥工序中蒸發(fā)除去溶劑。在該工序中，均勻地溶解在涂布液中的高分子量的聚酯樹脂會形成微粒向紫外線固化性樹脂中析出。將涂膜干燥后， 通過向塑料膜照射紫外線，紫外線固化型樹脂交聯(lián)·固化，形成固化型樹脂層。在該固化的工序中，高分子量的聚酯樹脂的微粒被固定在硬涂層中，并且在固化型樹脂固化層的表面形成凸起，使寬區(qū)域中的表面粗糙度得以改善。為了不對塑料膜的熱收縮性能產(chǎn)生影響，該溶劑干燥溫度優(yōu)選達(dá)到與塑料膜的玻璃化溫度相同程度。另外，固化型樹脂固化層的厚度優(yōu)選為0. 1 15μ m的范圍。更優(yōu)選為0. 5 IOym的范圍，特別優(yōu)選為1 8 μ m的范圍。在固化型樹脂不足0. 1 μ m的情況下，凸起變得難以充分地形成。另一方面，在超過15 μ m的情況下，從生產(chǎn)性的觀點(diǎn)考慮，非優(yōu)選。另外，即使在固化型樹脂固化層之上設(shè)置無機(jī)層也無妨。作為無機(jī)層，可列舉例如硅或鋁的氧化物或氮化物等。實(shí)施例下面，利用實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)地說明本發(fā)明。但本發(fā)明完全不受這些實(shí)施例限定。 需要說明的是，實(shí)施例中的各種測定評價用下述的方法進(jìn)行。(1)全光線透射率以JIS-K7361-1為標(biāo)準(zhǔn)，使用日本電色工業(yè)(株)制NDH2000，測定全光透射率。(2)表面電阻值以JIS-K7194為標(biāo)準(zhǔn)，用四端子法進(jìn)行測定。測定機(jī)使用株式會社三菱化學(xué) Analytech 制口 > 7 夕一 MCP-T350。(3)透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的結(jié)晶質(zhì)的判定方法
12
將層疊了透明導(dǎo)電性薄膜層的膜試料片裁成ImmX IOmm的大小，使導(dǎo)電性薄膜面朝外粘貼在適當(dāng)?shù)臉渲瑝K的上面。將其剪裁后，利用一般的超薄切片的技術(shù)制作與膜表面大致平行的超薄切片。用透射式電子顯微鏡(JE0L社制造，JEM-2010)對該切片進(jìn)行觀察，選擇沒有明顯的損傷的導(dǎo)電性薄膜表面部分，以加速電壓200kV、直接倍率40000倍進(jìn)行拍照。在透射式電子顯微鏡下觀察透明導(dǎo)電性薄膜層時，將具有多角形狀的區(qū)域的物質(zhì)定義為結(jié)晶質(zhì)的氧化銦(晶粒)。(4)透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的投影圓當(dāng)量徑的平均值及變動系數(shù)、晶粒的長徑對于在上述透射式電子顯微鏡下在透明導(dǎo)電性薄膜層中所觀察到的氧化銦的所有的晶粒，求出面積，將用圓周率η除晶粒的面積的值的平方根的2倍的值作為晶粒的投影圓當(dāng)量徑，將平均值作為平均投影圓當(dāng)量徑，將用平均投影圓當(dāng)量徑除標(biāo)準(zhǔn)偏差得出的值作為變動系數(shù)。另外，對于所有的晶粒測定最長部，將這些測定值的平均值作為晶粒的長徑。在此，圖2 5中表示關(guān)于晶粒的最長部的例子。(5)透明導(dǎo)電性薄膜的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部之比對于在上述透射式電子顯微鏡下在透明導(dǎo)電性薄膜層中所觀察·拍攝到的氧化銦的所有的晶粒，求出面積，將其與觀察·拍攝的面積之差作為非晶質(zhì)部的面積，計(jì)算出非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部之比。(6)透明導(dǎo)電性薄膜厚度(膜厚)將層疊透明導(dǎo)電性薄膜層而形成的膜試片裁成ImmXlOmm的大小，包埋在電子顯微鏡用環(huán)氧樹脂中。將其固定在超薄切片機(jī)的試樣臺上，制作與包埋的試片的短邊平行的截面薄切片。接著，在該切片的薄膜的沒有明顯的損傷的部位，通過使用透射式電子顯微鏡 (JE0L社制造，JEM-2010)，在加速電壓200kV、以明視野、觀察倍率1萬倍進(jìn)行拍照所得的照片求出膜厚。(7)透明導(dǎo)電性膜的收縮率測定以JIS C 2151為標(biāo)準(zhǔn)，用圖像測定器(Mitutoyo社制QS_L1020Z/AF)測定熱處理前的尺寸A和在保持于120士3°C的恒溫槽中放置60分鐘后的尺寸B，利用下述式計(jì)算出收縮率H。H(% ) = (A-B)/AX 100沿透明導(dǎo)電性膜的流動方向及寬度方向進(jìn)行取樣(20mmX 150mm)，測定透明導(dǎo)電性膜的流動方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率!1 和透明導(dǎo)電性膜的寬度方向在 1200C 60分鐘條件下的收縮率Htd。作為使用本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜制作的觸摸面板的評價，如下進(jìn)行。(8)手寫筆滑動耐久性試驗(yàn)作為一面板，使用透明導(dǎo)電性膜，作為另一側(cè)的面板，使用在玻璃基板上用等離子 CVD法形成的、由厚度為20nm的銦一錫復(fù)合氧化物薄膜(含氧化錫量10質(zhì)量％ )組成的透明導(dǎo)電性薄膜(日本曹達(dá)社制造，S500)。將這兩張面板Q50mmX 190mm)按照透明導(dǎo)電性薄膜對向的方式，隔著直徑30 μ m的環(huán)氧串珠進(jìn)行配置，制作觸摸面板。然后在聚縮醛制的手寫筆(頭端的形狀0. 8mmR)上施加5. ON的負(fù)荷，對面板進(jìn)行30萬次(往復(fù)15萬次)的直線滑動試驗(yàn)。此時的滑動距離設(shè)定為30mm、滑動速度設(shè)定為60mm/秒。該滑動耐久性試驗(yàn)后，通過目測觀察滑動部是否白化。進(jìn)而，測定用手寫筆負(fù)荷0. 5N按壓滑動部后的ON 電阻(可動電極(膜電極)和固定電極接觸時的電阻值。ON電阻優(yōu)選為IOkQ以下。(9)觸摸面板的平面性使熒光燈的光在觸摸面板的透明導(dǎo)電性膜的表面?zhèn)确瓷洌M(jìn)行目測確認(rèn)。此時，熒光燈無形變地映照在透明導(dǎo)電性膜表面時，判定為〇，在熒光燈形變地映照時，判定為χ。在實(shí)施例1 12及比較例1 6中使用的透明塑料膜基材，為兩面具有易粘接層的雙軸取向透明PET膜(東洋紡績社制，A4340，厚度188μπι)。作為固化型樹脂固化層，在 100質(zhì)量份含光聚合引發(fā)劑丙烯酸系樹脂(大日精化工業(yè)社制SEIKABEAM EXF-01J)中，混合共聚聚酯樹脂3質(zhì)量份(東洋紡績社制，vylon 200，重均分子量18000)，作為溶劑，加入甲苯/MEK (8/2 質(zhì)量比)的混合溶劑，使固體成分濃度為50質(zhì)量％，進(jìn)行攪拌使其均勻地溶解，制備涂布液。使用邁耶棒涂布制備好的涂布液，使涂膜的厚度為5 μ m。在80°C干燥 1分鐘后，使用紫外線照射裝置(EYE GRAPHICS社制UB042-5AM-W型)照射紫外線(光量 300mJ/cm2)，使涂膜固化?！矊?shí)施例1 12〕獲得透明導(dǎo)電性膜的方法采用上述的成膜方法。這些實(shí)施例中的透明導(dǎo)電性薄膜制作條件記載于表1。另外，在各實(shí)施例中，通用的制作條件如下。將膜投入到真空槽中，抽真空至2.0 X 10_4。然后，導(dǎo)入氧，使氧分壓為1.5X10_2， 其后，作為惰性氣體導(dǎo)入氬，使總壓力為0. 5Pa。實(shí)施例7的轟擊工序中的導(dǎo)入氣體也與前述相同。向包含氧化錫的氧化銦燒結(jié)靶或不含氧化錫的氧化銦燒結(jié)靶，以lW/cm2的電力密度輸入電力，利用DC磁控管濺射法成膜透明導(dǎo)電性薄膜。對于膜厚，改變膜通過靶上時的速度進(jìn)行控制。另外，關(guān)于濺射時的成膜氣氛的質(zhì)量數(shù)觀的氣體分壓相對于惰性氣體壓力之比，用氣體分析裝置(INFIC0N社制Transpector-XPR； )進(jìn)行測定。成膜透明導(dǎo)電性薄膜而成的膜經(jīng)150°C 1小時熱處理后，實(shí)施表2記載的測定。將測定結(jié)果示于表2?！脖容^例1 6〕關(guān)于這些比較例的透明導(dǎo)電性薄膜制作條件，與實(shí)施例同樣地記載于表1。另外， 對于各比較例共用的制造條件與實(shí)施例1 13相同。成膜透明導(dǎo)電性膜薄膜的膜，實(shí)施表 2所述的測定。將測定結(jié)果示于表2。[表1]
權(quán)利要求
1.一種透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，其是在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主成分的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，所述透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑為30 lOOOnm，且晶粒的投影圓當(dāng)量徑的變動系數(shù)為 0. 00 0. 30。
2.一種透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，其是在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主成分的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，所述透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的長徑為30 lOOOnm，且透明導(dǎo)電性薄膜的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部之比為 0. 00 0. 50。
3.—種透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，其是在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以氧化銦為主成分的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，透明導(dǎo)電性膜的至少一方向在 1200C 60分鐘條件下的收縮率為0. 20 0. 70%，120°C 60分鐘熱處理后的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑為30 lOOOnm，且透明導(dǎo)電性薄膜的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部之比為0. 00 0. 50。
4.如權(quán)利要求3所述的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，透明導(dǎo)電性膜的流動方向的在 120°C 60分鐘條件下的收縮率Hm和透明導(dǎo)電性膜的寬度方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率Htd滿足(1)式，0. 00%≤ |Hb-Htd| ≤ 0. 30% (1)。
5.如權(quán)利要求3或4所述的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，120°C60分鐘熱處理后的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的投影圓當(dāng)量徑的變動系數(shù)為0. 00 0. 30。
6.一種透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，其是在基材的至少一面上層疊以氧化銦為主成分的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，所述基材由在透明塑料膜的至少一面上形成有固化型樹脂固化層的層疊膜構(gòu)成，透明導(dǎo)電性膜的至少一方向在120°C 60分鐘條件下的收縮率為 0. 20 0. 70%,120°C 60分鐘熱處理后的透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑為30 lOOOnm，且透明導(dǎo)電性薄膜的非晶質(zhì)部相對于結(jié)晶質(zhì)部之比為0. 00 0. 50。
7.如權(quán)利要求6所述的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，所述固化型樹脂為紫外線固化型樹脂。
8.如權(quán)利要求1 7所述的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，所述透明導(dǎo)電性薄膜以氧化銦為主成分，包含0. 5 8質(zhì)量％的氧化錫。
9.如權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性膜，其特征在于，所述透明導(dǎo)電性薄膜的厚度為10 200nm。
10.一種觸摸面板，其將權(quán)利要求1 9中任一項(xiàng)所述的透明導(dǎo)電性膜用作可動電極側(cè)膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種透明導(dǎo)電性膜，其可以制造在用于觸摸面板時的手寫筆滑動耐久性優(yōu)異、并且平面性優(yōu)異的觸摸面板。透明導(dǎo)電性膜是在透明塑料膜基材上的至少一面上層疊有以結(jié)晶質(zhì)的氧化銦為主的透明導(dǎo)電性薄膜的透明導(dǎo)電性膜，透明導(dǎo)電性薄膜的氧化銦的晶粒的平均投影圓當(dāng)量徑為30～1000nm，且晶粒的投影圓當(dāng)量徑的變動系數(shù)為0.00～0.30。透明導(dǎo)電性薄膜優(yōu)選包含0.5～8質(zhì)量％氧化錫的氧化銦。
文檔編號B32B9/00GK102165535SQ2009801379
公開日2011年8月24日 申請日期2009年8月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月26日
發(fā)明者多多見央, 大谷壽幸, 村上英生 申請人:東洋紡織株式會社