專利名稱：用于去除雜質(zhì)的基于襯里的組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基于襯里的組件。本發(fā)明尤其涉及維持或提高存儲在襯里中的內(nèi)容物的純度的基于襯里的組件。
背景技術(shù)：
許多制造過程需要使用超純液體，諸如酸、溶劑、堿、光致抗蝕劑、摻雜劑、無機的、有機的和生物的溶液、藥物以及放射性化學(xué)品。這種應(yīng)用需要超純液體中的粒子的數(shù)目和尺寸被最小化。特別地，由于超純液體使用在微電子制造過程的多個方面中，所以半導(dǎo)體制造商已經(jīng)設(shè)立了嚴(yán)格的用于工藝化學(xué)品和化學(xué)操作設(shè)備的粒子濃度規(guī)格。需要這種規(guī)格，這是因為制造過程期間使用的液體應(yīng)該包含高水平的粒子或泡沫，該粒子或泡沫可能沉積在硅的固體表面上。這能夠反過來使產(chǎn)品失效并降低了質(zhì)量和可靠性。因此，這種超純液體的存儲、運送和分配需要能夠為保持的液體提供足夠保護的容器。通常用于工業(yè)中的兩個類型的容器是由玻璃或塑料制成的簡單的剛性壁容器和可折疊的基于襯里的容器。通常使用剛性壁容器，這是因為它們的物理強度、厚的壁、廉價的成本以及易于制造。然而，這種容器在壓力分配液體時能夠引入氣液界面。這能夠使氣體溶解到容器中保持的的液體諸如光致抗蝕劑中，并且能夠在分配系中的液體中造成產(chǎn)生不期望的顆粒和氣泡。此外，一次性使用塑料袋/襯里可以例如在生物制藥工業(yè)中用于存儲、輸送、混合、反應(yīng)等。包括襯里的材料能夠以多種方式對襯里的內(nèi)容物進(jìn)行負(fù)面影響，例如:可濾取的和可提取的化學(xué)品可能從袋移動到內(nèi)容物，從而造成受污染的材料；袋可以溶解到內(nèi)容物中而使結(jié)構(gòu)弱化；可能發(fā)生在袋的內(nèi)容物和滲透入袋的氣體(如氧氣、水分、臭氧等)之間的化學(xué)反應(yīng)；表面粘附可以限制輸送的材料的量和/或引起內(nèi)容物(如生物淤積)中的不希望的反應(yīng)等。 因此，存在對于更好的襯里系統(tǒng)的需求，該襯里系統(tǒng)不僅可以維持襯里的內(nèi)容物的純度，還可以提高襯里的內(nèi)容物的純度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個實施例涉及一種用于存儲材料的襯里，該襯里包括至少兩層，其中，與材料接觸的層是活性層。可以通過將清除劑結(jié)合到如下的層中而使活性層有活性。襯里的至少一層可以包括聚合物或含氟聚合物。在一些實施例中，活性層可以被構(gòu)造成用于去除光致抗蝕劑中的微橋接組分。在一些實施例中，可以通過以惰性材料諸如玻璃覆蓋在如下的層的內(nèi)部而使活性層有活性。在進(jìn)一步的實施例中，襯里可以位于不銹鋼罐內(nèi)。本發(fā)明的另一個實施例涉及一種用于存儲材料的襯里，該襯里包括至少兩層，其中，不與材料接觸的層是活性層?？梢酝ㄟ^將清除劑結(jié)合至如下的層中而使活性層有活性。襯里的至少一層可以包括聚合物或含氟聚合物。本發(fā)明的又一實施例涉及一種基于襯里的組件，該基于襯里的組件包括用于存儲材料的襯里、定位有襯里的外包裝和位于襯里和外包裝之間的凈化包。凈化包可以包括清除劑。襯里可以包括至少兩層，其中，該層中的至少一層是活性層。本發(fā)明的另一個實施例涉及一種基于襯里的組件，該基于襯里的組件包括用于存儲危險氣體的容器、定位有容器的襯里和位于容器和襯里之間的吸氣劑。吸氣劑可以包括可透氣的包裝，該可透氣的包裝含有能夠吸引存儲在容器中的氣體或與該氣體反應(yīng)的材料。吸氣劑可以還使一部分構(gòu)造成在材料與來自容器的氣體反應(yīng)時改變顏色，從而表示氣體已經(jīng)從容器中泄漏。在一些實施例中，基于襯里的組件可以進(jìn)一步包括外容器，襯里和鋼筒位于該外容器內(nèi)。吸氣劑位于外容器與襯里之間。雖然公開了多個實施例，但是對于本領(lǐng)域中的一般技術(shù)人員，根據(jù)示出和描述本發(fā)明的說明性實施例的下列詳細(xì)描述，本發(fā)明的其它實施例會變得顯而易見。會認(rèn)識到的是，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，本發(fā)明的多個實施例能夠在多個明顯方面中變型。因此，附圖和詳細(xì)描述將被認(rèn)為在本質(zhì)上是說明性的而不是限制性的。


說明書通過權(quán)利要求總結(jié)了并特別指出了和清楚地要求了被視為形成本發(fā)明的各個實施例的本主題，應(yīng)認(rèn)識到，根據(jù)結(jié)合附圖的下列說明，會更好地理解本發(fā)明，在附圖中:圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的實施例使用的類型的襯里。圖2A示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的襯里的層的放大的局部視圖。圖2B示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的襯里。圖2C示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例的襯里。圖3A示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的基于襯里的系統(tǒng)。圖3B示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例的基于襯里的系統(tǒng)。圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的基于襯里的組件。圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例的基于襯里的組件。圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例的基于襯里的組件的橫截面圖。
具體實施例方式本發(fā)明涉及新穎和有利的基于襯里的組件。本發(fā)明尤其涉及可以維持和/或提高存儲在襯里中的內(nèi)容物的純度的基于襯里的組件。在一些實施例中，柔性襯里可以在使用后被重復(fù)利用和/或被處理，從而在使用后無需清潔襯里。本發(fā)明的實施例可以在各個不同的工業(yè)中與各種液體一起使用。本發(fā)明的襯里可以例如包括但不限于:通常是超純液體的液體，諸如酸、溶劑、堿、光致抗蝕劑、摻雜劑、無機的、有機的和生物的溶液、藥物以及放射性化學(xué)品，該液體可以是非常昂貴的，例如約$2，500/L或更高；在維持產(chǎn)品的純度是重要的其它產(chǎn)品中，例如食品，諸如調(diào)味品；或可以合適地存儲在基于襯里的系統(tǒng)中的任何其它材料。圖1示出了襯里100，該襯里100可以使用在基于襯里的系統(tǒng)中，以保持所需的材料。襯里可以具有 配件10，該配件10用于填充和分配材料，并且取決于依據(jù)襯里的形狀，襯里100可以還具有一個或多個襯里壁20。襯里可以具有任何期望的形狀，諸如大致立方形、圓柱形、八角形、枕形狀或任何其它幾何體。在一些實施例中，可以使用包括塑料、尼龍、EVOH(乙烯醇共聚物)、聚烯烴或其它天然或合成聚合物中的一種或多種聚合物來制造襯里100。在進(jìn)一步的實施例中，可以使用聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚(2，6-萘二甲酸丁二醇酯)(PBN)、聚乙烯(PE)、線性低密度聚乙烯(LLDPE)、低密度聚乙烯(LDPE)、中密度聚乙烯(MDPE)、高密度聚乙烯(HDPE)和/或聚丙烯(PP)來制造襯里100。例如，使用PEN制造的襯里可以具有低滲透性，并因此允許較少的來自襯里100的外部的氣體滲入襯里壁20并污染儲存在襯里100內(nèi)的材料。使用PE、LLDPE、LDPE、MDPE, HDPE和/或PP制造的襯里還可以適于較大的存儲和分配系統(tǒng)，諸如約2000升或更少的材料的存儲。在其它替代的實施例中，可以使用含氟聚合物諸如但不限于聚三氟氯乙烯(PCTFE)、聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)和過氟烷氧基(PFA)來制造襯里100。在一些實施例中，襯里100可以包括多層。例如在某些實施例中，襯里100可以包括內(nèi)表面層、芯層和外層，或任何其它合適數(shù)目的層。該多個層可以包括一種或多種不同的聚合物或其它合適的材料。例如，內(nèi)表面層可以使用含氟聚合物(例如，PCTFE, PTFE, FEP、PFA等)來制造，芯層可以是阻氣層，該阻氣層使用諸如尼龍、EV0H、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、PCTFE等材料來制造。外層也可以使用任何各種合適的材料來制造，并可以取決于為內(nèi)表面層和芯層所選擇的材料。認(rèn)識到，此處描述的襯里的各種實施例可以根據(jù)本文公開的任何合適的材料的組合來制造。襯里100可以通過任何合適的方式制造，該方式包括但不限于焊接，或模制，包括吹塑模制、擠出吹塑模制或任何其它方法或者用于形成襯里100的方法的組
八
口 ο在一些實施例中，襯里100可以是可折疊的襯里，該可折疊的襯里可以是柔性的，而在其它實施例中襯里100可以是剛性的，并且在更進(jìn)一步的實施例中，襯里100可以是基本剛性但仍是可 折疊的，即，剛性可折疊的襯里。公開了可以根據(jù)本發(fā)明使用的類型的襯里的示例。 在2011年10月10日提交的題為“大致剛性的可折疊的襯里、容器和/或用于置換玻璃瓶的襯里和強化的柔性襯里”的國際PCT專利申請PCT/US11/55558 ;在2011年6月28日提交的題為“用于在壓力分配系統(tǒng)中使用的大體圓柱形襯里及其制造方法”的美國臨時申請61/501，925 ;在2011年3月29日提交的題為“基于襯里的分配器”的美國臨時申請61/468，832;在2011年8月19日提交的題為“基于襯里的分配系統(tǒng)”的美國臨時申請61/525，540 ;在2006年6月5日提交的題為“液體存儲和分配系統(tǒng)及其過程”美國專利申請11/915，996 ;在2011年10月10日提交的題為“嵌套吹塑模制襯里和外包裝及其制造方法”的國際PCT專利申請PCT/US 11/55560 ;在2010年10月7日提交的題為“具有除氣組件的材料存儲和分配系統(tǒng)及其方法”的國際PCT申請PCT/US 10/51786 ;在2010年7月9日提交的題為“大致剛性的可折疊的襯里和柔性的聯(lián)接的或非聯(lián)接的襯里及其制造方法以及用于限制襯里中的阻塞的方法”的國際PCT專利申請PCT/US 10/41629 ;在2008年2月26日公開的題為“聚四氟乙烯處理”的美國專利7，335，721 ;在2008年12月23日提交的題為“材料存儲和分配包裝及方法”的美國專利申請11/912,629;在2009年6月24日提交的題為“阻隔含氟聚合物薄膜基襯里及包括該襯里的包裝”的美國專利申請12/302，287 ；以及，在2008年12月2日提交的題為“用于外包裝容器的吹塑模制襯里及其制造方法”的國際PCT專利申請PCT/US08/85264，通過引用將上述全部內(nèi)容中的每一個并入本文。所述類型的襯里的可以與本發(fā)明的實施例一起使用的另一個實例是如下的襯里，該襯里使用在ATMI公司制造的NOWpak⑧存儲和分配系統(tǒng)中或與該系統(tǒng)相適合，這如在2006年6月5日提交的題為“液體存儲和分配系統(tǒng)和過程”的美國專利申請11/915,996中所公開的，通過引用將其全部內(nèi)容并入本文。在本發(fā)明的一個實施例中，基于襯里的系統(tǒng)可以維持和/或改進(jìn)襯里內(nèi)的內(nèi)容物的利用或純度。通常，在襯里的內(nèi)容物的純度是重要的情況下，可以基于襯里可以允許被引入內(nèi)容物中的雜質(zhì)的量來將襯里定級。例如，如果襯里僅允許非常小量的雜質(zhì)被引入穿過襯里壁，則該襯里被標(biāo)識為良好的。例如，在運送期間，雜質(zhì)諸如水、氧氣和/或胺可能通過擴散而污染襯里的內(nèi)容物。然而，根據(jù)一個實施例的襯里可以通過主動地從存儲在襯里中的內(nèi)容物去除雜質(zhì)來改進(jìn)內(nèi)容物的純度。圖2A示出了具有兩層的襯里200的剖視側(cè)視圖，該兩層包括:內(nèi)層222，該內(nèi)層222與襯里的內(nèi)容物接觸；活性層224，該活性層224可以在雜質(zhì)可能達(dá)到存儲的內(nèi)容物之前捕捉(trap)決定性的雜質(zhì)。雖然圖2A示出了兩層，但是可以理解，任何數(shù)目的層可以用于形成包括超過兩層的襯里壁。另外，在具有超過兩層的替代實施例中，活性層224可以相對于內(nèi)層位于任何層處?？梢酝ㄟ^可以在襯里的期望層中結(jié)合、吸引和/或捕捉特定雜質(zhì)或特定等級的雜質(zhì)的化合物或材料來將活性層224制成活性的?？梢越Y(jié)合到襯里層中的合適的化合物或材料的實例可以包括但不限于:例如，已知的用于捕捉水分的干燥劑，諸如硅膠、氧化鋁、硫酸鈣、氯化鈣、蒙脫石粘土和/或沸石；用于捕捉氧的容易氧化的物質(zhì)，例如鐵、鈉或鋰；和/或用于捕捉和/或去除不想要的有機元素的各種合適的碳基化合物。盡管上文的化合物和材料作為實例提供，可以理解，任何其它合適的化合物或材料、或者化合物或材料的組合可以被包含在襯里層中以便吸引或結(jié)合不期望的雜質(zhì)。通常，可以結(jié)合到活性層中的清除劑的特性可以包括但不限于如下項的一種或多種:具有可忽略的低蒸氣壓；具有高容量；具有緊密地結(jié)合到雜質(zhì)的能力；相對于存儲在襯里中的工作液體是惰性的；相對低的成本；容易結(jié)合到活性層的基材中；或在制造、運送或填充期間易于操作。在又一實施例中，如圖2B中所示，例如，襯里400的內(nèi)表面420可以制成活性的，以從存儲在襯里400中的工作內(nèi)容物C主動地吸引雜質(zhì)428。例如，可以通過受體425 (為了說明性目的而以大比例示出)共 價地附接到如下的內(nèi)表面420來將襯里400的內(nèi)表面420制成活性的。通過共價地連接受體425，盡管受體可以與襯里的內(nèi)容物相互作用，但受體425不可以從襯里400的內(nèi)表面420移動。例如，如上所述，任何合適的元素或化合物可以被結(jié)合到襯里層中，該襯里層可以吸引和結(jié)合到可以存在于工作液體中的給定的雜質(zhì)或雜質(zhì)組。通常，受體425可以被選定成使得它具有對于目標(biāo)雜質(zhì)428的高的特異性和高的結(jié)合常數(shù)，使得受體可以僅去除雜質(zhì)且不影響工作內(nèi)容物C。高的結(jié)合常數(shù)可以是理想的，這是由于通常襯里的內(nèi)容物中的雜質(zhì)的水平可能已經(jīng)必要地低。在一個實施例中，例如，適當(dāng)?shù)那怀叽绲墓诿芽梢员还矁r地固定成從襯里的內(nèi)容物吸收Na+并將它結(jié)合到襯里的內(nèi)表面。在其它實施例中，其它螯合劑可以合適地用于去除多種金屬。在另一個實施例中，例如，活性層可以被構(gòu)造為去除光致抗蝕劑中的微橋接組分。在另一個實施例中，如圖2C中所示，例如，襯里240的內(nèi)表面可以被覆蓋有惰性材料，而不限于玻璃244，使得可以被引入襯里240中或由襯里240生成的雜質(zhì)的量可以大致為零。在該實施例中，通過例如真空技術(shù)，諸如電子束沉積、等離子體放電、真空蒸鍍、濺射和化學(xué)等離子體增強化學(xué)淀積技術(shù)，諸如繼之是后處理的液體和/或氣體，或任何其它合適的技術(shù)或技術(shù)的組合，玻璃層244可以被沉積在襯里240的內(nèi)表面上。玻璃覆層244可以被應(yīng)用于任何類型的柔性襯里，而無論襯里可能包括了何種材料。此外，覆層244還可以被應(yīng)用于襯里的配件和其它基于襯里的組件元件，諸如但不限于連接器管、閥、帽等。玻璃覆層的其它優(yōu)點包括以下項中的一個或多個:覆層可以大體是無孔的氣體阻隔件；覆層可以大體是光學(xué)透明的，使得襯里的內(nèi)容物可以被看見；覆層可以承受高溫處理以用于消毒；可以在襯里制造之前或之后沉積覆層，以允許制造過程的靈活性；覆層是非脆性的；覆層具有良好的粘附；覆層可以易于重新使用；和/或覆層可以是相對低成本的。玻璃覆層可以包括硅基材料，或其它合適的材料，或材料的組合，例如但不限于氧化鋁、硅鋁等。 在另一個實施例中，如圖3A中所示，襯里320可以和外包裝350 —起使用，如現(xiàn)有技術(shù)中的一般技術(shù)人員會理解。在襯里320與外包裝350之間的空間中，可以放置凈化包390。凈化包390可以采取任何適當(dāng)?shù)男螤睿⒖梢跃哂腥魏芜m當(dāng)?shù)某叽?。一個實施例中的凈化包390能夠執(zhí)行與上述活性層大致相同的功能，即，在雜質(zhì)進(jìn)入存儲了工作內(nèi)容物的襯里320的內(nèi)部之前凈化包390捕捉雜質(zhì)。凈化包390可以包括但不限于與上述相關(guān)于包括了活性層的實施例類似的清除劑。在另一個實施例中，如圖3B中所示，基于襯里的系統(tǒng)392可以包括襯里394、外包裝398和凈化包397，該凈化包397可以位于襯里394和外包裝398之間，如參考圖3A描述的。然而，襯里394可以還包括如上所述的活性層396。活性層可以是襯里的任何期望的層。如圖4和圖5中所示，本發(fā)明的另一個實施例可以是一種基于襯里的組件，該基于襯里的組件通常提供用于相對較安全的危險氣體的存儲和/或傳送，例如，砷化氫和磷化氫。例如，當(dāng)氣體被存儲在筒或其它容器中時，氣體可能由于各種很大程度上意外的原因而泄漏出容器。此處公開實施例是用于降低由已經(jīng)從容器和/或襯里泄漏的危險氣體形成的威脅、使該威脅最小化或大致排除該威脅。如可以在圖4中觀察到，根據(jù)一個實施例的基于襯里的系統(tǒng)500可以包括容器，該容器可以例如是可以存儲危險氣體HG的筒520。筒520可以被封閉在阻隔袋或襯里540內(nèi)。系統(tǒng)可以還包括吸氣劑560，該吸氣劑560可以被放置在鋼筒520和阻隔袋540之間。吸氣劑560可以包括含有材料562的可透氣包裝，諸如洗滌器，在發(fā)生泄漏時，該材料562能夠吸引并與筒中含有的毒性氣體反應(yīng)。這種洗滌器材料的實例可以包括但不限于與材料一起浸潰的活性的氧化鋁化合物以操作特定氣體諸如硫化氫，和/或以下中的一個或多個:甲基硫醇；乙醛；揮發(fā)性有機化合物；二甲基硫醚；二甲基二硫醚；和/或堿性材料。在一些實施例中，吸氣劑包的尺寸可以被設(shè)置成收容可能泄漏的氣體的量，但是設(shè)想了任何合適的尺寸。在一些實施例中，吸氣劑也可以被選擇或被構(gòu)造為使得包裝可以完全地或部分地改變顏色以表示何時吸氣劑材料與危險氣體反應(yīng)。在該方法中，吸氣劑可以還充當(dāng)危險氣體已經(jīng)泄漏的警告。在另一個實施例中，如圖5中所示，如例如圖4中所示的系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括外容器680，該外容器680可以比阻隔袋640堅固。例如，外容器680可以是紙板盒或任何其它合適的材料諸如 木材、金屬或材料的組合的容器。在該實施例中，吸氣劑660可以位于阻隔袋640的外壁和外容器680的內(nèi)壁之間的空間中。在又一個實施例中，吸氣劑可以被放置在如圖4中所示的筒和襯里之間，并且另一個吸氣劑可以被放置在如圖5中所示的襯里和外容器之間。在本發(fā)明的另一個實施例中，基于襯里的系統(tǒng)可以包括金屬外包裝。在一個實施例中，外包裝可以由不銹鋼組成。盡管參照不銹鋼外包裝描述了實施例，但是會認(rèn)識到，在其它實施例中，外包裝可以由其它金屬或金屬合金，或者由金屬或合金的組合組成。例如，不銹鋼可以用于存儲和分配材料，該材料是且必須保持大致超純的。另外，不銹鋼罐可以用于存儲和分配危險的和/或極其危險的材料、空氣和水分敏感的材料，和/或自燃的和/或易燃的材料。常規(guī)的不銹鋼罐用于將期望的內(nèi)容物直接存儲到罐中并直接從罐分配期望的內(nèi)容物。在已經(jīng)分配罐的內(nèi)容物之后，罐可能通常需要在重新使用前被徹底清潔和/或殺菌。在本發(fā)明的一個實施例中，如圖6中所示，基于襯里的系統(tǒng)可以包括不銹鋼外包裝602和位于外包裝602的內(nèi)部的襯里608。如可以看到的，期望的內(nèi)容物C可以被存儲在襯里608中，且可以不與外包裝602接觸。有利地，基于襯里的系統(tǒng)600可以與常規(guī)的不銹鋼填充和/或分配系統(tǒng)一起使用，而基于襯里的系統(tǒng)600還可以提供包括了在外包裝602的內(nèi)部的一次性襯里608的 附加的優(yōu)點。由此，襯里可以為存儲在襯里中的材料的內(nèi)容物C提供附加的保護。例如，在一些實施例中，襯里608可以有助于確保、維持和/或提高存儲在襯里中的內(nèi)儲物的純度。另外，襯里608可以有助于防止或降低危險的內(nèi)容物從基于襯里的系統(tǒng)600中逸出的風(fēng)險。此外，由于外包裝602通常不與襯里608的內(nèi)容物C接觸，因此外包裝602可以具有延長的使用壽命。在一些實施例中，襯里608可以是任何合適的襯里，并且包括但不限于例如剛性可折疊的和/或柔性的襯里、或本文中引用的任何其它的襯里。另外，基于襯里的系統(tǒng)600的襯里可以包括本文中公開的其它特性中的任一種。在一些實施例中，襯里可以被構(gòu)造為與現(xiàn)有的罐系統(tǒng)配合，例如包括不銹鋼罐系統(tǒng)。在一個實施例中，襯里608可以在襯里的頂部擋圈610處較厚，從而允許襯里的擋圈610在連接件612或外包裝的帽與外包裝602自身之間形成密封。在使用中，在襯里608和外包裝602之間的環(huán)形空間614可以是加壓的，例如以可接受的量的氣體，例如氮氣，或任何其它合適的氣體。例如，環(huán)形空間中的氮氣的覆蓋可以大致防止氧氣或水分穿過襯里608的壁而擴散到襯里608的內(nèi)部中。襯里的內(nèi)容物可以通過(直接的或間接的)壓力分配、壓力輔助泵分配或通過泵分配來進(jìn)行分配。通常，工業(yè)中使用的不具有襯里的由鋼制成的現(xiàn)有技術(shù)的罐需要通過泵分配或直接的壓力分配來分配罐的內(nèi)容物。直接的壓力分配包括將氣體源直接引入罐中，從而在襯里的內(nèi)容物上施加壓力，然后這可以使襯里的內(nèi)容物移動到導(dǎo)管中并移動出罐。由本發(fā)明的一些實施例許可的優(yōu)點中的一個優(yōu)點包括可以通過間接的壓力分配來分配襯里608的內(nèi)容物C。因此，氣體或液體可以被引入環(huán)形空間614中，從而壓扁襯里608并將襯里的內(nèi)容物C壓迫出襯里608。通過間接壓力分配來分配可以比直接壓力分配有利，這是因為直接壓力分配內(nèi)在地具有以引入襯里中和/或在襯里的內(nèi)容物中形成氣泡的氣體來污染襯里的內(nèi)容物的風(fēng)險。然而，本發(fā)明的實施例也可以通過直接壓力分配來進(jìn)行分配。在前面的描述中，已經(jīng)為了說明和描述的目的，呈現(xiàn)了本發(fā)明的多個實施例。它們不是旨在窮舉性的或?qū)⒈景l(fā)明限制于公開的精確的形式。根據(jù)以上教導(dǎo)能夠進(jìn)行明顯的變型或變體。選擇和描述實施例以提供本發(fā)明的原理的最佳說明和它的實際應(yīng)用，并以使本領(lǐng)域中的一般技術(shù)人員中的任一個技術(shù)人員能夠如適于特定的設(shè)想的使用、以各種實施例和以各種變型來利用本發(fā)明。如通過所附權(quán)利要求所確定的，所有這種變型和變體在根據(jù)它們的廣度解釋的情況下在本發(fā)明的范圍內(nèi)，并且它們被公平地、合法地和公正地賦予權(quán)利?！?br> 權(quán)利要求
1.一種用于存儲材料的襯里，所述襯里包括至少兩層，其中，與所述材料接觸的層是活性層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯里，其中，所述活性層通過將清除劑至結(jié)合至所述層中而具有活性。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的襯里，其中，所述襯里的至少一層包括聚合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的襯里，其中，所述襯里的至少一層包括含氟聚合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的襯里，其中，所述活性層被構(gòu)造為用于去除光致抗蝕劑中的微橋接組分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯里，其中，所述活性層通過利用惰性材料覆蓋所述層的內(nèi)部而具有活性。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的襯里，其中，所述惰性材料包括玻璃。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯里，其位于不銹鋼罐中。
9.根據(jù)一種用于存儲材料的襯里，所述襯里包括至少兩層，其中，不與所述材料接觸的層是活性層。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的襯里，其中，所述活性層通過將清除劑結(jié)合到所述層中而具有活性。
11.根據(jù)權(quán)利要求1 0所述的襯里，其中，所述襯里的至少一層包括聚合物。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的襯里，其中，所述襯里的至少一層包括含氟聚合物。
13.—種基于襯里的組件,包括: 襯里，所述襯里用于存儲材料； 外包裝，所述襯里位于所述外包裝內(nèi)；以及 凈化包，所述凈化包位于所述襯里和所述外包裝之間。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的基于襯里的組件，其中，所述凈化包包括清除劑。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的基于襯里的組件，其中，所述襯里包括至少兩層，其中，所述層中的至少一層是活性層。
16.一種基于襯里的組件，包括: 容器，所述容器用于存儲危險氣體； 襯里，所述容器位于所述襯里內(nèi)；以及 吸氣劑，所述吸氣劑位于所述容器和所述襯里之間。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的基于襯里的組件，其中，所述吸氣劑包括可透氣的包裝，所述可透氣的包裝容納有能夠吸引存儲在所述容器中的所述氣體或與所述氣體反應(yīng)的材料。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的基于襯里的組件，其中，所述吸氣劑包括如下的部分:所述部分被構(gòu)造成當(dāng)所述材料與來自所述容器的氣體反應(yīng)時改變顏色，從而表示氣體已經(jīng)從所述容器泄漏。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的基于襯里的組件，進(jìn)一步包括外容器，所述襯里和筒位于所述外容器內(nèi)。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的基于襯里的組件，進(jìn)一步包括吸氣劑，所述吸氣劑位于所述外容器與所述襯里之間。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于存儲材料的襯里，該襯里包括至少兩層，其中，與材料接觸的層是活性層。通過將清除劑結(jié)合到工作層中而使該層有活性。襯里的至少一層包括聚合物或含氟聚合物。在一些實施例中，活性層可以被構(gòu)造為用于去除光致抗蝕劑中的微橋接組分。在一些實施例中，通過以惰性材料諸如玻璃覆蓋活性層的內(nèi)部而使該層有活性。在進(jìn)一步的實施例中，襯里位于不銹鋼罐內(nèi)。本發(fā)明還涉及一種基于襯里的組件，該基于襯里的組件包括襯里，該襯里用于存儲材料；外包裝，襯里置位于該外包裝內(nèi)；以及，凈化包，該凈化包位于襯里和外包裝之間。
文檔編號B32B1/02GK103249644SQ201180052438
公開日2013年8月14日 申請日期2011年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月27日
發(fā)明者格倫·湯姆, 勞倫斯·H·杜波依斯 申請人:高級技術(shù)材料公司