層疊體制造裝置及層疊體的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種與加熱條件無關(guān)地能夠穩(wěn)定地連續(xù)生產(chǎn)較厚的層疊體的層疊體制造裝置及層疊體的制造方法。一種層疊體制造裝置（1），其在配置為上下一對(duì)的環(huán)帶（2a、2b）的內(nèi)側(cè)區(qū)域配置有液壓板（3），向環(huán)帶（2a、2b）之間連續(xù)地送入多個(gè)薄片材料（11）～薄片材料（13），利用液壓板（3）隔著環(huán)帶（2a、2b）對(duì)薄片材料（11）～薄片材料（13）進(jìn)行熱壓接而形成層疊體（10），其中，在環(huán)帶（2a、2b）的至少一者的與薄片材料（11）～薄片材料（13）相接觸的那一側(cè)的面的兩端部，以能夠裝卸的方式安裝一張厚度為200μm以下的耐熱性樹脂薄膜，形成層疊體（10）的10%～190%的厚度的帶狀間隔件（5）。
【專利說明】層疊體制造裝置及層疊體的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在1對(duì)環(huán)帶之間對(duì)薄片材料進(jìn)行熱壓接而形成層疊體的層疊體制造裝置及層疊體的制造方法。更詳細(xì)地說，涉及一種使用雙帶加壓裝置來形成300μπι以上的較厚的層疊體的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]在連續(xù)地制造電子元件的基板材料等層疊體時(shí)，使用了例如在1對(duì)環(huán)帶之間對(duì)薄片材料進(jìn)行熱壓接而形成層疊體的所謂的雙帶加壓裝置。該雙帶加壓裝置存在有為了能夠進(jìn)行連續(xù)的加壓而使用環(huán)帶、并利用配置于帶的內(nèi)側(cè)的輥進(jìn)行加熱?加壓的雙帶加壓裝置、向金屬箔流入電流而使其發(fā)熱的雙帶加壓裝置(參照專利文獻(xiàn)1)、利用加熱空氣等加熱介質(zhì)對(duì)帶進(jìn)行加熱.加壓的雙帶加壓裝置(參照專利文獻(xiàn)2)等。
[0003]其中，特別是液壓方式的雙帶加壓裝置自帶的內(nèi)側(cè)利用直接液壓對(duì)帶表面進(jìn)行加壓，能夠利用表面壓力對(duì)夾持于帶之間的層疊體進(jìn)行加壓，因此能夠連續(xù)制造整面均質(zhì)的層疊體。因此，被用于制造撓性基板等較薄的金屬箔層疊體，以往，也提出了一種通過使用特定的析出固化型不銹鋼帶而謀求提高了層疊體的表面平滑性的雙帶加壓裝置等(參照專利文獻(xiàn)3)。
[0004]另一方面，也提出了一種使用雙帶加壓裝置制造較厚的層疊體的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)4~專利文獻(xiàn)6。)。例如，在專利文獻(xiàn)4所記載的針對(duì)熱的覆銅板(熱対策銅張”板)中，利用雙帶加壓裝置層疊了厚度5 μ m~40 μ m的熱壓接性多層聚酰亞胺薄膜和厚度為5 μ m~2mm的金屬板、 陶瓷板。
[0005]此外，在專利文獻(xiàn)5所記載的方法中，利用雙帶加壓裝置，以利用環(huán)氧等的熱固化性樹脂使玻璃纖維固化而成的纖維強(qiáng)化熱固化性樹脂板(FRP)為基材，形成了厚度為0.5mm~0.7mm左右的電氣用銅箔層疊板。并且，在專利文獻(xiàn)6所記載的方法中，通過在層疊材料的兩側(cè)配置帶狀金屬薄板，形成了防止載熱體泄漏且厚度為0.1mm~2.0mm的電子設(shè)備用的貼金屬箔層疊板。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)_7] 專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開平9 - 314785號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2008 - 37062號(hào)公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)3:日本特開2005 - 306002號(hào)公報(bào)
[0011]專利文獻(xiàn)4:日本特開2003 - 71982號(hào)公報(bào)
[0012]專利文獻(xiàn)5:日本特開平1 — 214436號(hào)公報(bào)
[0013]專利文獻(xiàn)6:日本特開平5 - 116165號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]發(fā)明要解決的問題[0015]但是，在上述以往的雙帶裝置中，存在有無法連續(xù)且穩(wěn)定地制造較厚的層疊體、特別是加工厚度為300 μ m以上的層疊體這樣的問題。特別是在液壓方式的雙帶加壓裝置的情況下，在欲形成較厚的層疊體時(shí)，會(huì)產(chǎn)生加壓液的泄漏，由帶進(jìn)行的加熱.加壓變得不穩(wěn)定。
[0016]另一方面，在專利文獻(xiàn)5所記載的層疊板的制造方法中，通過在環(huán)帶的寬度方向兩端遍及表面整周地安裝帶狀膠帶，制造出厚度比較大的銅箔層疊體。在該方法中使用的雙帶加壓裝置由于加熱加壓方式不是借助于載熱體的液壓方式，因此雖然不用擔(dān)心由加壓液的泄漏引起的表面加壓力的不穩(wěn)定化，但是存在這樣的問題:伴隨著由連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)所引起的帶溫度的上升和下降的重復(fù)，易于產(chǎn)生褶皺、偏移、且耐久性也變差。
[0017]此外，在專利文獻(xiàn)6所記載的層疊板的制造方法中，通過配置帶狀金屬薄板來謀求防止加壓液的泄漏，但是該方法假定了在作為為了將熱固化性樹脂固化所需的溫度的180°C左右的比較低的溫度條件下進(jìn)行的運(yùn)轉(zhuǎn)，并不適合高溫條件下的加工。例如，在將聚酰亞胺薄膜等耐熱性薄膜與金屬箔層疊的情況下，有時(shí)將加熱溫度設(shè)為300°C以上，但是當(dāng)在這樣的高溫條件下重復(fù)進(jìn)行加壓與解壓時(shí)，帶狀金屬薄板產(chǎn)生塑性變形。
[0018]而且，若在該狀態(tài)下重復(fù)使用，則帶狀金屬薄板作為金屬材料慢慢脫落，變得無法獲得作為間隔件的效果。這樣，在專利文獻(xiàn)6所記載的方法中，無法解決特別是在加工溫度為高溫的情況下液壓不穩(wěn)定性這樣的問題，難以穩(wěn)定地連續(xù)生產(chǎn)較厚的層疊體。
[0019]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種與加熱條件無關(guān)地能夠穩(wěn)定地連續(xù)生產(chǎn)較厚的層疊體的層疊體制造裝置及層疊體的制造方法。
[0020]用于解決問題的方案
[0021]本發(fā)明人為了解決上述問題，認(rèn)真進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究，結(jié)果得到了以下所示的知識(shí)?？芍?在利用液壓方式的雙帶加壓裝置形成加工厚度較大的層疊體的情況下，特別是在形成總厚度為300μπι以上的層疊體的情況下，在帶的主要是寬度方向的兩端部產(chǎn)生了撓曲。
[0022]而且，由于該帶的撓曲，在位于比薄片材料靠外側(cè)的位置、并利用帶的內(nèi)側(cè)兩端部維持加壓液壓的金屬制密閉構(gòu)件(密閉框架)與帶之間產(chǎn)生間隙，金屬制密閉構(gòu)件變得無法發(fā)揮作用，產(chǎn)生了加壓液的泄漏。進(jìn)一步亦可知:由于該加壓液的泄漏不穩(wěn)定地增大，因此液壓變得不穩(wěn)定，無法對(duì)應(yīng)壓接的層疊體穩(wěn)定地進(jìn)行表面加壓。
[0023]因此，本發(fā)明人進(jìn)一步進(jìn)行研究，發(fā)現(xiàn)通過將層疊了耐熱性樹脂薄膜的特定厚度的帶狀間隔件安裝于至少一個(gè)環(huán)帶的靠薄片材料側(cè)的面、即使在加工厚度較大的情況下也能夠防止帶的撓曲，并得到本發(fā)明。另外，在專利文獻(xiàn)5所記載的制造方法中，因連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)而產(chǎn)生上述問題的理由被認(rèn)為是由于帶狀間隔件使用了如使氟系樹脂浸潰于纖維狀的基材而成的材料那樣地易于滑動(dòng)、而且與構(gòu)成環(huán)帶的鋼材之間的線熱膨脹系數(shù)之差較大的材料。
[0024]S卩，本發(fā)明的層疊體制造裝置包括:環(huán)帶，其配置為上下一對(duì)；以及熱壓接裝置，其配置在上述一對(duì)環(huán)帶中的每一個(gè)環(huán)帶的內(nèi)側(cè)區(qū)域；該層疊體制造裝置向上述環(huán)帶之間連續(xù)地送入多個(gè)薄片材料，并利用上述熱壓接裝置隔著上述環(huán)帶對(duì)上述薄片材料進(jìn)行熱壓接而形成層疊體，所形成的層疊體的厚度為300 μ m?2mm,
[0025]在上述環(huán)帶的至少一者中，在與上述薄片材料相接觸的那一側(cè)的面的兩端部，以能夠裝卸的方式安裝有一張厚度為200 μ m以下的耐熱性樹脂薄膜作為帶狀間隔件，該帶狀間隔件的總厚度為上述層疊體的厚度的10%?190%。
[0026]在該裝置中，也可以是，在上述環(huán)帶上重疊安裝有兩層以上的上述耐熱性樹脂薄膜作為帶狀間隔件。
[0027]此外，上述耐熱性樹脂薄膜能夠使用例如聚酰亞胺薄膜。
[0028]并且，也可以是，上述帶狀間隔件的總厚度為275 μ m以上。
[0029]本發(fā)明的層疊體的制造方法，該方法為向配置為上下一對(duì)的環(huán)帶之間連續(xù)地送入多個(gè)薄片材料，利用配置于每一個(gè)上述環(huán)帶的內(nèi)側(cè)區(qū)域的熱壓接裝置隔著上述環(huán)帶對(duì)上述薄片材料進(jìn)行熱壓接而形成層疊體，其中，在上述環(huán)帶的至少一者的與上述薄片材料相接觸的那一側(cè)的面的兩端部，以能夠裝卸的方式安裝一張厚度為200 μ m以下的耐熱性樹脂薄膜而形成帶狀間隔件，以使得該帶狀間隔件的總厚度為上述層疊體的厚度的10%?190%，使用帶有該帶狀間隔件的環(huán)帶形成厚度為300 μ m?2mm的層疊體。
[0030]在該制造方法中，也可以是，在上述環(huán)帶上重疊安裝有兩層以上的上述耐熱性樹脂薄膜作為帶狀間隔件。
[0031]此外，也可以是，使用聚酰亞胺薄膜作為上述耐熱性樹脂薄膜。
[0032]并且，上述帶狀間隔件的總厚度能夠設(shè)為例如275 μ m以上。
[0033]進(jìn)而，也可以是，以300°C?400°C的溫度對(duì)樹脂薄膜與金屬箔或是對(duì)樹脂薄膜與金屬板進(jìn)行熱壓接，形成金屬箔層疊體。在該情況下，也能夠?qū)⒕埘啺繁∧せ蛉枷阕寰埘ケ∧ず陀摄~或銅合金、鋁或鋁合金、或者不銹鋼構(gòu)成的金屬箔或金屬板進(jìn)行層疊。
[0034]發(fā)明的效果
[0035]根據(jù)本發(fā)明，由于在環(huán)帶的至少一者上以能夠裝卸的方式安裝使用了一張厚度為200 μ m以下的耐熱性樹脂薄膜的特定厚度的帶狀間隔件，因此與加熱條件無關(guān)地能夠穩(wěn)定地連續(xù)生產(chǎn)較厚的層疊體。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0036]圖1是示意性表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的層疊體制造裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0037]圖2是圖1所示的層疊體制造裝置1的帶寬度方向上的剖視圖。
[0038]圖3是表示圖1所示的液壓板3的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0039]圖4是示意性表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的層疊體的制造方法的立體圖。
[0040]圖5是示意性表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的第1變形例的層疊體的制造方法的側(cè)視圖。
[0041]圖6是示意性表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的第2變形例的層疊體的制造方法的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0042]以下，參照附圖詳細(xì)說明用于實(shí)施本發(fā)明的方式。另外，本發(fā)明并不限定于以下說明的實(shí)施方式。
[0043](第1實(shí)施方式)
[0044][整體結(jié)構(gòu)]
[0045]首先，說明本發(fā)明的第1實(shí)施方式的層疊體制造裝置。圖1是示意性表示本實(shí)施方式的層疊體制造裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，圖2是其帶寬度方向上的剖視圖。另外，圖1中的箭頭X表示構(gòu)成層疊體的各個(gè)薄片材料的行進(jìn)方向。
[0046]如圖1所示，本實(shí)施方式的層疊體制造裝置1是液壓方式的雙帶加壓裝置，在上下方向上以能夠利用滾筒4旋轉(zhuǎn)的方式配置有一對(duì)環(huán)帶2a、2b，向其間送入構(gòu)成層疊體的各個(gè)薄片材料11?薄片材料13。此外，在各個(gè)環(huán)帶2a、2b的內(nèi)側(cè)區(qū)域分別配置有作為熱壓接裝置的液壓板3，利用這些液壓板3隔著環(huán)帶2a、2b對(duì)各個(gè)薄片材料11?薄片材料13進(jìn)行熱壓接。
[0047]并且，如圖2所示，在本實(shí)施方式的層疊體制造裝置1中，在環(huán)帶2a、2b的至少一者的與薄片材料11?薄片材料13相接觸的那一側(cè)的面的兩端部，以能夠裝卸的方式安裝有由耐熱性樹脂薄膜構(gòu)成的帶狀間隔件5。該層疊體制造裝置1也能夠制造較薄的層疊體，但是特別適合制造厚度為300 μ m?2mm的層疊體的情況。
[0048][環(huán)帶2a、2b]
[0049]環(huán)帶2a、2b的材質(zhì)只要是不銹鋼即可，能夠使用例如SUS300系列、400系列以及600系列的不銹鋼，特別是基于高溫下的耐力方面考慮適合SUS600系列。此外，其厚度、寬度也并不特別限定，但是基于層疊體的穩(wěn)定生產(chǎn)的觀點(diǎn)考慮，厚度優(yōu)選為0.5mm?3mm，更優(yōu)選為0.8mm?2.4mm。此外，基于相同的理由，優(yōu)選的是，環(huán)帶2a、2b的寬度設(shè)為700mm?lOOOmrn。
[0050][液壓板3]
[0051]圖3是表示液壓板3的結(jié)構(gòu)的俯視圖。如圖3所示，液壓板3配置為其加壓面31與環(huán)帶2a的內(nèi)表面相面對(duì)。此外，在液壓板31的加壓面31上，沿著其周緣32設(shè)有槽33，在該槽33內(nèi)安裝有液壓密閉框架34。
[0052]而且，液壓密閉框架34與環(huán)帶2a、2b接觸，在由液壓板3的加壓面31、液壓密閉框架34以及環(huán)帶2a、2b形成的空間內(nèi)填充液體介質(zhì)。該液體介質(zhì)能夠根據(jù)加工溫度適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行選擇，但是期望使用能夠承受例如在400°C的加工溫度下的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的液體介質(zhì)。特別是期望使用流動(dòng)點(diǎn)為一 45°C?一 15°C的液體介質(zhì)以能夠在從停止到連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的大范圍的溫度區(qū)域內(nèi)使用。
[0053]另外，用于對(duì)液體介質(zhì)進(jìn)行加熱的裝置既可以設(shè)置在層疊體制造裝置1的內(nèi)部，也可以設(shè)置在外部，但是基于溫度控制的容易度考慮，期望設(shè)置在環(huán)帶2a、2b附近。
[0054][帶狀間隔件5]
[0055]帶狀間隔件5由一張厚度為200 μ m以下的耐熱性樹脂薄膜或具有耐熱性樹脂層的耐熱薄膜構(gòu)成，總厚度為所形成的層疊體10的厚度的10%?190%。優(yōu)選的是，該帶狀間隔件5為重疊了兩層以上的耐熱性樹脂薄膜的結(jié)構(gòu)，但是也可以用1層形成。此外，也能夠使用將兩種以上的耐熱性樹脂薄膜層疊并一體化而實(shí)質(zhì)上成為單層的結(jié)構(gòu)。但是，當(dāng)一張耐熱性樹脂薄膜的厚度超過200 μ m時(shí)，在帶狀間隔件5的開始卷繞的部分穿過進(jìn)行熱壓接的部分時(shí)，會(huì)產(chǎn)生因由間隔件厚度形成的臺(tái)階所產(chǎn)生的液體介質(zhì)的泄漏。
[0056]此外，在由如沒有耐熱性的樹脂薄膜等那樣地除耐熱性樹脂薄膜以外的材料構(gòu)成了帶狀間隔件5的情況下，在300°C以上的加熱中，帶狀間隔件明顯地變形，難以維持層疊體10的厚度的10%?190%的厚度。并且，在僅由鋁、不銹鋼等金屬材料形成了帶狀間隔件5的情況下，雖然耐熱性沒有問題，但是塑性恢復(fù)欠缺，因此在連續(xù)使用時(shí)產(chǎn)生變形、老化f:石)，因此變得無法確保上述厚度。
[0057]在本實(shí)施方式的層疊體制造裝置1中，由于重復(fù)進(jìn)行加壓與解壓以及加熱與散熱冷卻，因此在連續(xù)生產(chǎn)中，帶狀間隔件5的老化、劣化成為問題。另一方面，耐熱性樹脂薄膜的相對(duì)于老化的恢復(fù)性優(yōu)異，并且，在不是利用粘合劑、粘接劑等將其固定，而是利用靜電等將其以能夠裝卸的方式安裝于環(huán)帶2a、2b時(shí)，在層間的滑移等的作用下，能夠獲得優(yōu)異的恢復(fù)性、緩沖性。而且，通過將間隔件5設(shè)為不使用粘合劑、粘接劑等而重疊了兩層以上的耐熱性樹脂薄膜的結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步提高恢復(fù)性和緩沖性。
[0058]并且，在帶狀間隔件5的厚度小于層疊體10的10%的情況和超過190%的情況下，由于帶狀間隔件5與層疊體10的厚度之差，環(huán)帶2a、2b產(chǎn)生撓曲。而且，金屬制的液壓密閉框架34無法追隨于該撓曲的大小，密封功能降低，產(chǎn)生液體介質(zhì)的泄漏。另外，期望的是，層疊體10的厚度與帶狀間隔件5的厚度之差設(shè)為小于270 μ m,由此，能夠可靠地抑制液體介質(zhì)的泄漏。
[0059]此外，期望的是，帶狀間隔件5的厚度為275 μ m以上。由此，能夠抑制由帶狀間隔件5與層疊體10的厚度之差所引起的環(huán)帶2a、2b的撓曲，因此能夠維持液壓密閉框架34的密封功能，防止液體介質(zhì)的泄漏。
[0060]構(gòu)成帶狀間隔件5的耐熱性樹脂薄膜的材料只要是能夠耐受400°C的溫度條件下的使用的材料即可，能夠使用例如聚酰亞胺薄膜、液晶樹脂薄膜等。此外，構(gòu)成帶狀間隔件5的耐熱性樹脂薄膜，除了耐熱性和耐壓性以外，還期望使用線熱膨脹系數(shù)與環(huán)帶2的線熱膨脹系數(shù)接近的材料。
[0061]具體地說，在環(huán)帶2a、2b由不銹鋼(線熱膨脹系數(shù):10X 10_6?18X 10_6)形成的情況下，期望的是，帶狀間隔件5由聚酰亞胺薄膜(線熱膨脹系數(shù):18X 10_6?20X 10_6)形成。由此，即使在以300度以上連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下，帶狀間隔件5也能夠追隨于環(huán)帶2a、2b的由加熱冷卻弓I起的膨脹和收縮。
[0062]此外，基于上述恢復(fù)性的觀點(diǎn)考慮，期望的是，構(gòu)成帶狀間隔件5的耐熱性樹脂薄膜的彈性模量為3GPa以上，也基于該彈性模量的觀點(diǎn)考慮，聚酰亞胺薄膜是合適的。并且，聚酰亞胺薄膜與氟系樹脂等其他耐熱性樹脂薄膜相比，耐磨耗性也優(yōu)異。
[0063]并且，帶狀間隔件5的寬度能夠根據(jù)所加工的層疊體的寬度適當(dāng)?shù)剡x擇，但是基于抑制老化的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為20mm以上。另一方面，帶狀間隔件5的寬度越寬越合適，但是若其寬度超過200mm，則能夠形成層疊體10的區(qū)域變少。因此，帶狀間隔件5的寬度優(yōu)選為20mm?200mm,更優(yōu)選為50_?150mm。
[0064]上述帶狀間隔件5的至少一部分配置在夾著環(huán)帶2a、2b而與液壓板3的液壓密閉框架34相對(duì)峙的位置。而且，期望的是，帶狀間隔件5隔著環(huán)帶2a、2b位于液壓密閉框架34的正下方區(qū)域或正上方區(qū)域。由此，即使在層疊體10較厚的情況下，也能夠抑制環(huán)帶2a、2b的撓曲，保持液壓密閉框架34與環(huán)帶2a、2b之間的密合性。其結(jié)果，能夠有效且可靠地防止液體介質(zhì)的泄漏，能夠利用穩(wěn)定的液壓P對(duì)薄片材料11?薄片材料13進(jìn)行熱壓接。
[0065]此外，為了抑制環(huán)帶2a、2b的撓曲，帶狀間隔件5與薄片材料11?薄片材料13之間的距離為0mm較理想，但是由于薄片材料11?薄片材料13有時(shí)也產(chǎn)生曲折，因此該狀態(tài)下的連續(xù)生產(chǎn)是困難的。因此，期望的是，在帶狀間隔件5與薄片材料11?薄片材料13之間設(shè)置恒定的距離。[0066]具體地說,帶狀間隔件5與薄片材料11~薄片材料13之間的距離優(yōu)選為10mm~40mm,更優(yōu)選為12mm~30mm。在這些距離小于10mm的情況下，由于壓接加工時(shí)的曲折，有時(shí)薄片材料11~薄片材料13與帶狀間隔件5相接觸，或者薄片材料11~薄片材料13爬上帶狀間隔件5。此外，若這些距離超過40mm，則環(huán)帶2a、2b變得易于產(chǎn)生撓曲，液體介質(zhì)的液漏防止效果降低。
[0067]帶狀間隔件5的安裝方法并不特別限定，但是存在例如一邊使環(huán)帶2a、2b旋轉(zhuǎn)一邊在其左右兩端卷繞預(yù)定寬度的耐熱性樹脂薄膜以成為預(yù)定的厚度的方法。此時(shí)，為了不使帶狀間隔件5產(chǎn)生卷繞偏移、卷繞褶皺，期望的是一邊控制張力一邊進(jìn)行安裝。
[0068]另外，在使用一層由一種樹脂構(gòu)成的耐熱性樹脂薄膜或?qū)煞N以上的耐熱性樹脂薄膜一體化而實(shí)質(zhì)上設(shè)為單層的薄膜的情況下，優(yōu)選的是使帶狀間隔件5與伴隨著升溫?降溫的環(huán)帶2a、2b的長度方向的變化相對(duì)應(yīng)。具體地說，在安裝帶狀間隔件5時(shí)，優(yōu)選的是，使耐熱性樹脂薄膜重疊(才一〃一 9 7")(重疊安裝)與線膨脹相當(dāng)?shù)拈L度進(jìn)一步加上預(yù)定長度后的長度量。
[0069]如上詳細(xì)所述，在本實(shí)施方式的層疊體制造裝置1中，由于使用一張厚度為200 μ m以下的耐熱性樹脂薄膜，形成為總厚度為層疊體10的10%~190%的帶狀間隔件5，將該帶狀間隔件5以能夠裝卸的方式安裝于環(huán)帶2a、2b的至少一者的薄片材料側(cè)的面的兩端部，因此不僅在低溫下，即使在高溫下，也能夠穩(wěn)定地連續(xù)生產(chǎn)較厚的層疊體。
[0070](第2實(shí)施方式)
[0071][整體結(jié)構(gòu)]
[0072]接著，說明本發(fā)明的第2實(shí)施方式的層疊體的制造方法。圖4是示意性表示本實(shí)施方式的層疊體的制造方法的立體圖。另外，在圖4中，對(duì)與圖1所示的層疊體制造裝置1的構(gòu)成要素相同的元件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略其詳細(xì)說明。如圖4所示，在本實(shí)施方式的層疊體的制造方法中，使用例如上述第1實(shí)施方式的層疊體制造裝置1等，形成厚度為300 μ m~2mm的層疊體20。
[0073]具體地說，向配置為上下一對(duì)的環(huán)帶2a、2b之間連續(xù)地送入多個(gè)薄片材料，利用配置在每一個(gè)環(huán)帶2a、2b的內(nèi)側(cè)區(qū)域的熱壓接裝置，隔著環(huán)帶2a、2b對(duì)薄片材料進(jìn)行熱壓接而層疊體。而且，此時(shí)，環(huán)帶2a、2b的至少一者設(shè)為帶有帶狀間隔件5的環(huán)帶。
[0074][薄片材料]
[0075]在本實(shí)施方式的層疊體的制造方法中，例如，形成由樹脂薄膜22與金屬箔或是由樹脂薄膜22與金屬板21、23構(gòu)成的層疊體20。在層疊體20為電子電路用基板材料的情況下，樹脂薄膜22只要是在300°C以上可塑化的材料即可，例如能夠使用聚酰亞胺薄膜、全芳
香族聚酯薄膜等。
[0076]這些樹脂薄膜22既可以為單層，也可以為多層，但是在層疊體20為電子電路用基板材料的情況下，基于與金屬箔或金屬板21、23之間的粘接力和尺寸穩(wěn)定性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選在薄膜表面具有熱塑性成分、且內(nèi)部由非熱塑性成分構(gòu)成的材料。此外，例如宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX VT等熱壓接性聚酰亞胺樹脂薄膜由于在表面配置了熱塑性聚酰亞胺，在內(nèi)部以無縫方式配置了非熱塑性聚酰亞胺，因此特別優(yōu)選。
[0077]另一方面，在層疊體20為電子電路用基板材料的情況下，作為金屬箔21、23，優(yōu)選使用由銅或銅合金構(gòu)成的軋制箔、電解箔、鋁箔、鋁合金箔、由不銹鋼構(gòu)成的箔。金屬板21、23的情況也同樣地能夠使用由銅、銅合金、鋁、鋁合金或不銹鋼構(gòu)成的板狀體。
[0078][加工條件]
[0079]為了使用上述聚酰亞胺薄膜或全芳香族聚酯薄膜穩(wěn)定地生產(chǎn)滿足要求物理屬性的金屬箔層疊體，期望的是，將加熱溫度設(shè)為300°C以上，將壓接壓力設(shè)為2.5MPa。由此，例如在金屬箔21、23使用了銅箔的情況下，能夠?qū)冸x強(qiáng)度設(shè)為0.8N/mm以上。另外，期望的是，加工溫度設(shè)為315°C以上。
[0080]另外，為了達(dá)到上述各個(gè)條件，需要將液體介質(zhì)的流量(泄漏量)抑制為10L/分鐘以下，并維持該狀態(tài)。由此，能夠?qū)航訅毫图訜釡囟确€(wěn)定地控制在上述值的范圍內(nèi)。
[0081]在此，“液體介質(zhì)的流量”是指被加熱的液體介質(zhì)被泵送入由液壓板3的加壓面31、液壓密閉框架34以及環(huán)帶2a、2b所形成的空間內(nèi)的量。此外，“液體介質(zhì)的泄漏量”是指從上述空間漏出的液體介質(zhì)再次返回泵、加熱裝置的量。在本實(shí)施方式的層疊體的制造方法中，由于使液體介質(zhì)循環(huán)，因此液體介質(zhì)的流量與泄漏量成為基本上相同的量。
[0082]如上詳細(xì)所述，在本實(shí)施方式的層疊體的制造方法中，由于使用一張厚度為200 μ m以下的耐熱性樹脂薄膜，形成總厚度為層疊體10的10%?190%的帶狀間隔件5，將該帶狀間隔件以能夠裝卸的方式安裝于環(huán)帶2a、2b的至少一者的靠薄片材料側(cè)的面的兩端部，因此不僅在低溫下，即使在高溫下，也能夠穩(wěn)定地連續(xù)生產(chǎn)較厚的層疊體。另外，本實(shí)施方式中的除上述以外的結(jié)構(gòu)和效果與上述第1實(shí)施方式相同。
[0083]此外，在圖4中示出了將帶狀間隔件5安裝于上側(cè)的環(huán)帶2a的例子，但是，本發(fā)明并不限定于此，帶狀間隔件5既可以安裝于下側(cè)的環(huán)帶2b，而且也可以安裝于上下兩側(cè)的環(huán)帶2a、2b。而且，即使在這些情況下，也能夠獲得與使用了圖4所示的裝置的情況相同的效果。
[0084]而且，使用了利用本實(shí)施方式的層疊體制造裝置1制造的層疊體的電路板能夠進(jìn)行塑性加工，而且即使沒有支承體也能夠保持加工時(shí)的形狀，因此適合于立體成形的用途。例如，用于LED照明用途的以往的散熱基板由于利用環(huán)氧樹脂、環(huán)氧樹脂浸潰玻璃布基材等硬質(zhì)的材料形成有絕緣層，因此塑性加工較困難。
[0085]因此，以往，提出了一種在錐臺(tái)形狀的基座上利用粘合帶等粘貼撓性電路板、剛性基板、并能夠三維配置LED的LED燈泡。但是，該技術(shù)由于需要分別制造并組裝基座和安裝有LED的基板，因此生產(chǎn)率較低，而且，由于將基座與基板相粘接，因此可靠性也變差。
[0086]與此相對(duì)，利用本實(shí)施方式的層疊體制造裝置1所制造的層疊體不僅散熱性優(yōu)異，而且加工性和形狀保持性優(yōu)異，因此能夠應(yīng)用于例如殼體電路、LED照明用的基板、大電流用的基板等，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率和可靠性優(yōu)異的電路板。
[0087](第2實(shí)施方式的第1變形例)
[0088]接著，說明本發(fā)明的第2實(shí)施方式的第1變形例的層疊體的制造方法。在上述第2實(shí)施方式中，以制造在樹脂片22的兩面層疊了金屬箔或金屬板21、23的3層結(jié)構(gòu)的層疊體20的情況為例來進(jìn)行說明，但是本發(fā)明并不限定于此，例如也能夠同時(shí)形成多個(gè)層疊體。
[0089]圖5是示意性表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的第1變形例的層疊體的制造方法的側(cè)視圖。另外，在圖5中，對(duì)與圖1所示的層疊體制造裝置1的構(gòu)成要素相同的元件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略其詳細(xì)說明。如圖5所示，在本變形例的層疊體的制造方法中，將材料片16?材料片18與材料片11?材料片13 —起送入環(huán)帶2a、2b之間，形成兩個(gè)層疊體10、15。
[0090]在該情況下，帶狀間隔件5的厚度設(shè)為層疊體10、15的總厚度的10%?190%。由此，即使在同時(shí)形成多個(gè)層疊體的情況下，也與加熱條件無關(guān)地能夠穩(wěn)定地連續(xù)生產(chǎn)較厚的層疊體。另外，本變形例中的除上述以外的結(jié)構(gòu)和效果與上述第1及第2實(shí)施方式相同。
[0091](第2實(shí)施方式的第2變形例)
[0092]接著，說明本發(fā)明的第2實(shí)施方式的第2變形例的層疊體的制造方法。在上述第2實(shí)施方式中，將帶狀間隔件5安裝在了環(huán)帶2a、2b上，但是也能夠?qū)铋g隔件5與材料片11?材料片13 —起送入環(huán)帶2a、2b之間。
[0093]圖6是示意性表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的第2變形例的層疊體的制造方法的側(cè)視圖。另外，在圖6中，對(duì)與圖1所示的層疊體制造裝置1的構(gòu)成要素相同的元件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略其詳細(xì)說明。如圖6所示，在本變形例的層疊體的制造方法中，將帶狀間隔件5設(shè)為卷成卷(口 一>卷務(wù))的狀態(tài)，并將其與材料片11?材料片13 —起送入環(huán)帶2a、2b的兩端部之間。
[0094]在該方法中，能夠?qū)⒅鼐沓傻木碓俅巫鳛閹铋g隔件5進(jìn)行使用，但是在連續(xù)生產(chǎn)方面存在問題，而且層疊體制造裝置1的前后的抽出和卷取等裝置布局也存在問題。
[0095]實(shí)施例
[0096]以下，列舉本發(fā)明的實(shí)施例和比較例來具體地說明本發(fā)明的效果。在本實(shí)施例中，利用以下所示的方法和條件制造層疊體，并評(píng)價(jià)其性能。
[0097](實(shí)施例1)
[0098]<環(huán)帶的制作>
[0099]首先，作為帶狀間隔件，將厚度35 μ m的非熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX S)切斷為寬度130mm，并制作出長條帶狀物。接著，將該長條帶狀物對(duì)齊其寬度方向端部并安裝在預(yù)先制作的厚度1.4mm、寬度900mm的不銹鋼制環(huán)帶的比左右兩端部靠內(nèi)側(cè)20mm的位置。
[0100]具體地說，一邊使環(huán)帶旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，一邊從其左右兩端向帶內(nèi)側(cè)以不產(chǎn)生卷繞偏移、卷繞褶皺的方式進(jìn)行張力控制并卷繞9層。此時(shí)，利用另一個(gè)環(huán)帶一邊進(jìn)行加壓一邊進(jìn)行卷繞，從而將長條帶狀物卷繞在環(huán)帶的左右預(yù)定的位置，制作出帶有帶狀間隔件的環(huán)帶。
[0101]在該帶狀間隔件的卷繞操作中，不必使用粘接劑等，僅利用薄膜的柔軟性和伴隨著該操作而自然發(fā)生的靜電，環(huán)帶與帶狀間隔件、以及構(gòu)成帶狀間隔件的耐熱性樹脂片彼此就能夠以均勻且密合的狀態(tài)進(jìn)行卷繞。另外，制作出的帶狀間隔件的厚度為315μπι。
[0102]<雙帶加壓裝置的結(jié)構(gòu)>
[0103]將利用上述方法制作的帶間隔件的環(huán)帶安裝于液壓方式雙帶加壓裝置。該液壓方式雙帶加壓裝置具有利用液體介質(zhì)進(jìn)行加熱的機(jī)構(gòu)，包括對(duì)液體介質(zhì)進(jìn)行加熱的裝置和使加熱后的液體介質(zhì)加壓流入裝置主體的泵。而且，帶間隔件的環(huán)帶作為下側(cè)的帶以纏繞于驅(qū)動(dòng)及引導(dǎo)輥的方式自裝置橫向進(jìn)行安裝，之后，進(jìn)行張力和曲折調(diào)整。
[0104]<層疊體的制作>
[0105]接著，使用上述雙帶加壓裝置，在樹脂薄膜的兩側(cè)層疊金屬箔，制作出金屬箔層疊體。此時(shí)，樹脂薄膜使用了熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX VT/卷成卷/厚度25 μ m/寬度540mm)。此外，金屬箔的一者使用了軋制銅箔(日立電線株式會(huì)社制HPF —ST35E/卷成卷材(^ >卷務(wù))/厚度3511111/寬度540mm)，另一者使用了鋁箔(古河斯凱株式會(huì)社制H5052/卷成卷材/厚度300 μ m/寬度540mm)。
[0106]此時(shí)，將薄片材料的總厚度設(shè)為360 μ m，以各自的寬度方向中央成為環(huán)帶的寬度方向中央的方式一邊抽出一邊送入雙帶加壓裝置。此外，將液體介質(zhì)的設(shè)定溫度設(shè)為340°C、將設(shè)定壓力設(shè)為3.0MPa并進(jìn)行熱壓接，制作出在聚酰亞胺薄膜的一個(gè)面上層疊有銅箔、在另一個(gè)面上層疊有鋁箔的金屬箔層疊體。
[0107]另外，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的壓接部的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為340°C，壓力為3.0MPa，與所設(shè)定的溫度和壓力相同。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為5.0L/分鐘，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。
[0108]利用上述方法制作的實(shí)施例1的金屬箔層疊體的厚度為360 μ m，帶狀間隔件的厚度比層疊體的厚度小45 μ m，但是熱壓接工序等未產(chǎn)生問題，能夠制作出目標(biāo)層疊體。
[0109]<評(píng)價(jià)方法>
[0110]接著，利用以下所示的方法評(píng)價(jià)實(shí)施例1的金屬箔層疊體的性能。
[0111]( 1)薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)
[0112]自金屬箔層疊體切出540mm(整個(gè)寬度)X100mm大小的試樣。接著,為了保護(hù)其免受蝕刻液侵蝕，在鋁箔的表面粘貼了保護(hù)薄膜之后，將切出的試樣浸潰于氯化鐵水溶液中，通過蝕刻完全去除銅箔。之后，剝離鋁箔表面的保護(hù)薄膜，進(jìn)行水洗，使其自然干燥而獲得蝕刻去除了銅的層疊體。
[0113]接著，使用立體顯微鏡目視觀察轉(zhuǎn)印于聚酰亞胺薄膜表面的銅箔粗糙面的凹凸形狀，對(duì)通過目視觀察并根據(jù)色調(diào)差判斷為異常的部位進(jìn)行標(biāo)記。利用掃描型電子顯微鏡(SEM)將該標(biāo)記部位放大100倍進(jìn)行攝影，并使用該SEM圖像通過目視觀察來判斷壓接性。
[0114](2)銅箔的粘接強(qiáng)度
[0115]樹脂薄膜面與銅箔面之間的粘接強(qiáng)度依據(jù)日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JIS C6471 (1995)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下使用滑動(dòng)型支承金屬配件使用，通過測量90°剝離強(qiáng)度來進(jìn)行評(píng)價(jià)。測量是在除測量開始時(shí)的超調(diào)量等以外的穩(wěn)定區(qū)域中沿長度方向提取了金屬層疊體的寬度方向中央部以及比中央分別靠外側(cè)100mm的部位。沿長度方向?qū)?個(gè)部位、共計(jì)9個(gè)試樣進(jìn)行測量，將其平均值作為粘接強(qiáng)度。拉伸試驗(yàn)機(jī)使用了 Minebea株式會(huì)社制的拉伸試驗(yàn)機(jī)(型號(hào):TG — 2KN)。
[0116]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0117]僅使銅箔面以40°C浸潰接觸于氯化鐵水溶液60分鐘，在去除銅箔面之后，目視及利用電子顯微鏡(SEM)觀察轉(zhuǎn)印于壓接樹脂薄膜側(cè)的銅箔粗糙面的凹凸(銅箔粗糙面的負(fù)像)狀態(tài)，結(jié)果是粗糙面的凹凸良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。
[0118]此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度/室溫/日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JIS -C6471 — 1995/使用滑動(dòng)型支承金屬配件)為2.0N/mm。而且,對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到明顯的薄膜樹脂上的破壞，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物
理屬性。[0119](實(shí)施例2)[0120]除了將耐熱性樹脂片的重疊安裝數(shù)設(shè)為15層、將帶狀間隔件的厚度設(shè)為525 μ m以外，以與上述實(shí)施例1相同的方法和條件制作出帶間隔件的環(huán)帶。然后，使用以與實(shí)施例1相同的條件安裝了該環(huán)帶的雙帶裝置，以與實(shí)施例1相同的條件制作出實(shí)施例2的金屬箔
層疊體。
[0121]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為334°C，壓力為2.8MPa，是比所設(shè)定的溫度和壓力稍微低的值。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為6.5L/分鐘，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。
[0122]利用上述方法制作的實(shí)施例2的金屬箔層疊體的厚度為360 μ m，帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的厚度大165μπι，但是熱壓接工序等未產(chǎn)生問題，能夠制作出目標(biāo)層疊體。
[0123]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0124]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例2的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為1.7N/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到大致薄膜樹脂上的破壞，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物理屬性。
[0125](實(shí)施例3)
[0126]除了將耐熱性樹脂片的重疊安裝數(shù)設(shè)為13層、將帶狀間隔件的厚度設(shè)為455 μ m以外，以與上述實(shí)施例1相同的方法和條件制作出帶間隔件的環(huán)帶。然后，使用以與實(shí)施例1相同的條件安裝了該環(huán)帶的雙帶裝置，制作出兩組在聚酰亞胺薄膜的一個(gè)面上層疊有銅箔、在另一個(gè)面上層疊有鋁箔的金屬箔層疊體。另外，除了將兩組材料片連續(xù)地送入雙帶裝置以外，以與上述實(shí)施例1相同的條件進(jìn)行制作。
[0127]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為330°C，壓力為2.7MPa，是比所設(shè)定的溫度和壓力低的值。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為7.5L/分鐘，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。
[0128]利用上述方法制作的實(shí)施例3的金屬箔層疊體1組的厚度為360 μ m，總厚度為720 μ m。此外，帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的總厚度小265 μ m,但是熱壓接工序等未產(chǎn)生問題，能夠制作出目標(biāo)層疊體。
[0129]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0130]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例3的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為1.5N/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到大致薄膜樹脂上的破壞，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物理屬性。
[0131](實(shí)施例4)
[0132]除了將耐熱性樹脂片的重疊安裝數(shù)設(shè)為29層、將帶狀間隔件的厚度設(shè)為1015 μ m(1.015mm)以外，以與上述實(shí)施例1相同的方法和條件制作出帶間隔件的環(huán)帶。然后，使用以與實(shí)施例1相同的條件安裝了該環(huán)帶的雙帶裝置，以與實(shí)施例3相同的方法和條件制作出兩組在聚酰亞胺薄膜的一個(gè)面上層疊有銅箔、在另一個(gè)面上層疊有鋁箔的金屬箔層疊體。
[0133]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為329°C，壓力為2.7MPa，是比所設(shè)定的溫度和壓力低的值。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為8.4L/分鐘，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。在本實(shí)施例中，液體介質(zhì)的泄漏量增大、低溫化的液體介質(zhì)的循環(huán)量增大的結(jié)果是，液體介質(zhì)的溫度和壓力比作為為了進(jìn)行熱壓接而充分安全的溫度和壓力的設(shè)定值降低，但是熱壓接工序的操作性沒有問題。
[0134]此外，利用上述方法制作的實(shí)施例4的金屬箔層疊體1組的厚度為360 μ m,總厚度為720μπι。此外，帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的總厚度大295μπι，但是能夠沒有問題地制作出目標(biāo)層疊體。
[0135]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0136]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例4的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為1.5N/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到大致薄膜樹脂上的破壞，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物理屬性。
[0137](實(shí)施例5)
[0138]利用與上述實(shí)施例1相同的方法，重疊安裝27層將厚度70 μ m的非熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX S)切斷為寬度130mm而成的長條帶狀物，制作出厚度為1890μπι (1.89mm)的帶狀間隔件。然后，利用與實(shí)施例1相同的方法將設(shè)置了該帶狀間隔件的環(huán)帶安裝于雙帶加壓裝置。
[0139]接著，使用該雙帶加壓裝置，除了將鋁箔改為厚度2000 μ (2mm)、寬度540mm的鋁板(古河斯凱株式會(huì)社制H5052/卷成卷材)以外，以與上述實(shí)施例1相同的方法和條件制作出實(shí)施例5的金屬板層疊體。
[0140]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為332°C，壓力為2.8MPa，是比所設(shè)定的溫度和壓力稍微低的值。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為6.5L/分鐘，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。
[0141]鋁板的長度方向的端面部分沒有成為作為產(chǎn)品所能夠使用的層疊體，但是熱壓接工序的操作性沒有問題。此外，利用上述方法制作的實(shí)施例5的金屬板層疊體的厚度為2060 μ m(2.06mm),帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的厚度小170 μ m，但是能夠沒有問題地制作出目標(biāo)層疊體。
[0142]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0143]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例5的金屬板層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為1.7N/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到大致薄膜樹脂上的破壞，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物理屬性。
[0144]另外，改為在本實(shí)施例中使用的鋁板，即使是在將厚度為2000 μ m(2mm)的鋁板(古河斯凱株式會(huì)社制H5052/板材)、寬度540mm、長度2000mm的板狀物以不間斷的方式連續(xù)地送入雙帶裝置的情況下，也同樣地能夠獲得金屬層疊體。
[0145](實(shí)施例6)
[0146]利用與上述實(shí)施例1相同的方法，重疊安裝42層將厚度7.5μπι的非熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX S)切斷為寬度130mm而成的長條帶狀物，制作出厚度為315 μ m的帶狀間隔件。然后，將設(shè)置了該帶狀間隔件的環(huán)帶安裝于雙帶加壓裝置，以與實(shí)施例1相同的方法和條件制作出實(shí)施例6的金屬箔層疊體。
[0147]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為340°C，壓力為3.0MPa，與所設(shè)定的溫度和壓力相同。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為5.0L/分鐘，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。
[0148]利用上述方法制作的實(shí)施例6的金屬箔層疊體的厚度為360 μ m，帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的厚度小45 μ m，但是熱壓接工序等未產(chǎn)生問題，能夠制作出目標(biāo)層疊體。
[0149]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0150]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例6的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為2.2N/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到明顯的薄膜樹脂上的破壞，具有較高的粘接強(qiáng)度，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物理屬性。
[0151](實(shí)施例7)
[0152]利用與上述實(shí)施例1相同的方法，重疊安裝3層將厚度125 μ m的非熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX S)切斷為寬度130mm而成的長條帶狀物，制作出厚度為375 μ m的帶狀間隔件。然后，將設(shè)置了該帶狀間隔件的環(huán)帶安裝于雙帶加壓裝置，以與實(shí)施例1相同的方法和條件制作出實(shí)施例7的金屬箔層疊體。
[0153]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為340°C，壓力為3.0MPa，能夠再現(xiàn)與所設(shè)定的溫度和壓力相同的值，而且極其穩(wěn)定。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為2.0L/分鐘，較少，由于自密閉框架泄漏的液體介質(zhì)非常少，因此可認(rèn)為能夠維持溫度和壓力均穩(wěn)定的條件。由此，熱壓接工序的操作性完全沒有問題，能夠制造出金屬箔層疊體。
[0154]利用上述方法制作的實(shí)施例7的金屬箔層疊體的厚度為360 μ m，帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的厚度稍微大15 μ m,能夠沒有任何問題地制作出目標(biāo)層疊體。
[0155]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0156]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例7的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸極其良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為2.lN/mm,對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到明顯的薄膜樹脂上的破壞，具有較高的粘接強(qiáng)度，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物理屬性。
[0157](實(shí)施例8)
[0158]使用與上述實(shí)施例1相同的雙帶加壓裝置，同時(shí)制作出4組在樹脂薄膜的兩面層疊了軋制銅箔而成的金屬箔層疊體。此時(shí)，樹脂薄膜使用了熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX VT/卷成卷/厚度50 μ m/寬度540mm)。此外，金屬箔在一個(gè)面上單面使用了軋制銅箔(日立電線株式會(huì)社制HPF - SP18E/卷成卷材/厚度18 μ m/寬度540mm)，在另一個(gè)面上使用了軋制銅箔(日立電線株式會(huì)社制HPF - SP18E/卷成卷材/厚度18 μ m/寬度 540mm)。
[0159]另外，除了將4組材料片連續(xù)地送入雙帶裝置以外，以與上述實(shí)施例1相同的條件進(jìn)行制作。此外，材料片的總厚度為344μπι。
[0160]在本實(shí)施例中，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為340°C，壓力為3.0MPa,是與所設(shè)定的溫度和壓力相同的值。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為3.4L/分鐘，較少，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。
[0161]利用上述方法制作的實(shí)施例8的金屬箔層疊體I組的厚度為86 μ m,總厚度為344 μ m0此外，帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的總厚度小29μπι，熱壓接工序等也未產(chǎn)生問題，能夠制作出目標(biāo)層疊體。
[0162]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0163]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例8的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為2.lN/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到明顯的薄膜樹脂上的破壞，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物理屬性。
[0164](實(shí)施例9)
[0165]在環(huán)帶上，作為帶狀間隔件，層疊了 5層將厚度25 μ m的熱粘接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX VT)切斷為寬度130mm而成的長條帶狀物和厚度30 μ mm、寬度130_的不銹鋼(SUS)箔的長條帶狀物的層疊物。具體地說，一邊利用電熱式熱風(fēng)產(chǎn)生機(jī)(株式會(huì)社LEISTER.TECHNOLOGIES制)以300°C?400°C的熱風(fēng)對(duì)將熱粘接性聚酰亞胺薄膜與SUS箔的帶狀物重疊而成的重疊物進(jìn)行加熱，一邊將熱粘接性聚酰亞胺薄膜設(shè)置于環(huán)帶的表面?zhèn)龋⒕砝@于環(huán)帶，制作出帶間隔件的環(huán)帶。
[0166]由此得到的帶間隔件的環(huán)帶中的帶狀間隔件的厚度為275μπι。然后，將設(shè)置了該帶狀間隔件的環(huán)帶安裝于雙帶加壓裝置，以與實(shí)施例1相同的方法和條件制作出實(shí)施例9的金屬箔層疊體。
[0167]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為340°C，壓力為2.9MPa，與所設(shè)定的溫度和壓力大致相同。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為5.91/分鐘，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。
[0168]利用上述方法制作的實(shí)施例9的金屬箔層疊體的厚度為360 μ m，帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的厚度小85 μ m，但是熱壓接工序等也未產(chǎn)生問題，能夠制作出目標(biāo)層疊體。
[0169]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0170]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例9的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸極其良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為1.9N/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到大致薄膜樹脂上的破壞，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物理屬性。
[0171](實(shí)施例10)
[0172]除了在預(yù)先制作的厚度1.4mm、寬度900mm的不銹鋼制環(huán)帶上的距其左右兩端38mm的位置重疊安裝了 9層帶狀物以外，以與上述實(shí)施例1相同的方法和條件制作出帶間隔件的環(huán)帶。然后，將設(shè)置了該帶狀間隔件的環(huán)帶安裝于雙帶加壓裝置，以與實(shí)施例1相同的方法和條件制作出實(shí)施例10的金屬箔層疊體。
[0173]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為12mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為340°C，壓力為3.0MPa，與所設(shè)定的溫度和壓力相同。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為5.0L/分鐘，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。
[0174]而且，熱壓接工序的操作性沒有插入材料和壓接層疊體的由曲折引起的與間隔件相接觸、爬上間隔件等問題，能夠獲得良好的金屬箔層疊體。此外，利用該方法制作的實(shí)施例10的金屬箔層疊體的厚度為360 μ m，帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的厚度小45 μ m,但是能夠沒有問題地制作出目標(biāo)層疊體。
[0175]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0176]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例10的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為2.0N/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到明顯的薄膜樹脂上的破壞，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物理屬性。
[0177](實(shí)施例11)
[0178]使用與上述實(shí)施例1相同的雙帶加壓裝置，除了取代熱壓接性聚酰亞胺薄膜而使用由熔融液晶聚合物(全芳香族聚酯樹脂)構(gòu)成的、厚度25μπι、寬度540mm的薄膜(日本GORE-TEX株式會(huì)社制BIAC BC25/液晶轉(zhuǎn)變溫度315°C /卷成卷)、并且取代軋制銅箔而使用電解銅箔(古河電氣工業(yè)株式會(huì)社制FWL - WS/卷成卷材)以外，以與實(shí)施例1相同的方法和條件制作出實(shí)施例11的金屬箔層疊體。
[0179]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為340°C，壓力為3.0MPa，與所設(shè)定的溫度和壓力相同。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為5.0L/分鐘，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。
[0180]利用該方法制作的實(shí)施例11的金屬箔層疊體的厚度為343 μ m，帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的厚度小28 μ m，但是熱壓接工序等也未產(chǎn)生問題，能夠制作出目標(biāo)層疊體。[0181]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0182]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例11的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為0.8N/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到明顯的薄膜樹脂上的破壞。該粘接強(qiáng)度值是作為電子電路等的基板用而能夠使用的下限的物理屬性。這樣，出現(xiàn)粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)比其他實(shí)施例低的結(jié)果的原因是作為樹脂薄膜的樹脂的凝集力的影響，作為制造方法沒有問題地進(jìn)行金屬箔與樹脂薄膜之間的熱壓接。
[0183](實(shí)施例12)
[0184]將I層厚度35 μ m的非熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX S)卷繞于環(huán)帶，除了在該卷繞的末尾的大約50mm的長度上設(shè)置了重疊于第I層的帶狀物的部分以外，以與上述實(shí)施例1相同的方法和條件制作出帶間隔件的環(huán)帶。
[0185]然后，使用以與實(shí)施例1相同的條件安裝了該環(huán)帶的雙帶裝置，以與實(shí)施例1相同的條件制作出在樹脂薄膜的兩側(cè)層疊了金屬箔的金屬箔層疊體。此時(shí)，樹脂薄膜使用了熱壓接聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEXVT/卷成卷/厚度12.5 μ m)。此外，金屬箔兩面均使用了軋制銅箔(JX日礦日石金屬株式會(huì)社制BHY - 22B - T/卷成卷材/厚度150 μ m/ 寬度 540mm)。
[0186]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離為30mm。此外，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為330°C，壓力為2.8MPa，是比所設(shè)定的溫度和壓力低的值。并且，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為7.7L/分鐘，該量是自密閉框架泄漏、并返回液體介質(zhì)加熱裝置而進(jìn)行循環(huán)的量。
[0187]利用上述方法制作的實(shí)施例12的金屬箔層疊體I組的厚度為312.5 μ m,帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的總厚度小277.5μπι，但是熱壓接工序等未產(chǎn)生問題，能夠制作出目標(biāo)層疊體。
[0188]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0189]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)實(shí)施例12的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸良好地轉(zhuǎn)印于薄膜表面，薄膜樹脂的熱塑成分充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)在兩面均為1.2N/mm,對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到大致薄膜樹脂上的破壞，作為電子電路等的基板用，沒有問題并具有充分的物理屬性。
[0190](比較例I)
[0191]使用未設(shè)有帶狀間隔件的雙帶加壓裝置，以與實(shí)施例1相同的方法和條件制作出層疊體。其結(jié)果，在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為20L/分鐘以上，極其大，無法測量。此外，大量液體介質(zhì)自密閉框架泄漏的結(jié)果是，在雙帶加壓裝置的壓接部的帶內(nèi)側(cè)測量到液體介質(zhì)的溫度小于280°C、壓力為IMPa以下并較大地發(fā)生變動(dòng)，無法進(jìn)行金屬箔層疊體的制作。
[0192](比較例2)
[0193]以與實(shí)施例1相同的方法，在環(huán)帶上卷繞I層將厚度為35μπι的非熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX S)切斷為寬度130mm而成的長條帶狀物，制作出設(shè)置了厚度為35μπι的單層帶狀間隔件的帶間隔件的環(huán)帶。然后，將該帶間隔件的環(huán)帶安裝于雙帶加壓裝置，以與實(shí)施例1相同的方法和條件制作出比較例2的金屬箔層疊體。
[0194]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離維持為30mm，但是在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為14L/分鐘，較大，大量液體介質(zhì)自密閉框架泄漏。其結(jié)果，在雙帶加壓裝置的壓接部的帶內(nèi)側(cè)測量到液體介質(zhì)的溫度為288°C、壓力為1.2MPa并較大地降低，無法完全維持設(shè)定值。
[0195]這樣，熱壓接工序的操作性因產(chǎn)生壓力變動(dòng)而不良，但是由于工序通過性勉強(qiáng)得以維持，因此提取到金屬箔層疊體。所提取的比較例2的金屬箔層疊體的厚度為360 μ m，但是帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的厚度小325μπι。因此，可認(rèn)為無法充分地抑制液體介質(zhì)的泄漏。
[0196]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0197]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)比較例2的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸未轉(zhuǎn)印于薄膜表面，存在有許多薄膜樹脂的熱塑成分未充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸的部位。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為0.5N/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到薄膜樹脂與銅箔的界面上的剝離，物理屬性值比實(shí)施例差。
[0198](比較例3)
[0199]以與實(shí)施例1相同的方法，在環(huán)帶上卷繞20層將厚度為35 μ m的非熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX S)切斷為寬度130mm而成的長條帶狀物，制作出設(shè)有厚度為700 μ m的帶狀間隔件的帶間隔件的環(huán)帶。然后，將該帶間隔件的環(huán)帶安裝于雙帶加壓裝置，以與實(shí)施例1相同的方法和條件制作出比較例3的金屬箔層疊體。
[0200]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離維持為30mm，但是在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為15L/分鐘，較大，大量液體介質(zhì)自密閉框架泄漏。其結(jié)果，在雙帶加壓裝置的壓接部的帶內(nèi)側(cè)測量到液體介質(zhì)的溫度為283°C、壓力為1.0MPa并較大地降低，無法完全維持設(shè)定值。
[0201]這樣，熱壓接工序的操作性因產(chǎn)生壓力變動(dòng)而不良，但是由于工序通過性勉強(qiáng)得以維持，因此提取到金屬箔層疊體。所提取的比較例3的金屬箔層疊體的厚度為360 μ m，但是帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的厚度大340 μ m。因此，可認(rèn)為無法充分地抑制液體介質(zhì)的泄漏。
[0202]<評(píng)價(jià)結(jié)果>
[0203]以與實(shí)施例1相同的方法對(duì)比較例3的金屬箔層疊體中的薄膜與銅箔之間的壓接狀態(tài)進(jìn)行了評(píng)價(jià)，粗糙面的凹凸未轉(zhuǎn)印于薄膜表面，存在有許多薄膜樹脂的熱塑成分未充分地填充于銅箔粗糙面的凹凸的部位。此外，銅箔與樹脂薄膜之間的粘接強(qiáng)度(剝離強(qiáng)度)為0.5N/mm，對(duì)破壞面進(jìn)行觀察后的結(jié)果是，觀察到薄膜樹脂與銅箔的界面上的剝離，物理屬性值比實(shí)施例差。
[0204](比較例4)
[0205]以與實(shí)施例1相同的方法，在環(huán)帶上卷繞10層將厚度30 μ m的鋁箔(古河斯凱株式會(huì)社制H5052)切斷為寬度130mm而成的長條帶狀物，制作出設(shè)有厚度為300 μ m的帶狀間隔件的帶間隔件的環(huán)帶。此時(shí)，在將帶狀物卷繞于帶的操作中，伴隨著帶繞圈而進(jìn)行卷繞，鋁箔產(chǎn)生些許褶皺，使該卷繞褶皺完全消失是困難的。
[0206]這樣，雖然無法制作與實(shí)施例相同的致密且均勻的帶間隔件的環(huán)帶，但是仍將該帶間隔件的環(huán)帶安裝于雙帶加壓裝置，以與實(shí)施例1相同的方法和條件制作出比較例4的
金屬箔層疊體。
[0207]其結(jié)果，壓接開始時(shí)的在雙帶加壓裝置的壓接部的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度為340°C，壓力為3.0MPa，而且在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量為5.0L/分鐘。但是，伴隨著連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的進(jìn)行，液體介質(zhì)的流量上升到20L/分鐘以上，由此，液體介質(zhì)的溫度與壓力不穩(wěn)定地發(fā)生變動(dòng)，并且降低至小于300°C的溫度，而且壓力降低至IMPa以下，變得無法控制壓力。
[0208]可認(rèn)為這是由于作為金屬材料的鋁箔在重復(fù)加壓與解壓以及加熱與散熱冷卻的期間被不可逆地軋制而產(chǎn)生延伸，產(chǎn)生局部的松弛褶皺，并且材料變脆，碎裂為小片而脫落。此外，在壓接運(yùn)轉(zhuǎn)開始之初，所獲得的金屬箔層疊體的厚度為360 μ m，帶狀間隔件的厚度比所獲得的層疊體的厚度小60 μ m，但是在運(yùn)轉(zhuǎn)進(jìn)行時(shí)產(chǎn)生變動(dòng)，無法制作出穩(wěn)定的金屬箔層疊體。
[0209](比較例5)
[0210]將厚度125 μ m的非熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX S)層疊于厚度25 μ m的熱壓接性聚酰亞胺薄膜(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制UPILEX VT)的上下表面，通過350°C的加熱輥加壓處理而進(jìn)行一體化，制作出總厚度為275 μ m且表面由非熱壓接性聚酰亞胺構(gòu)成的耐熱樹脂薄膜。將其切斷為寬度130mm，使用端部切割為固定長度的長條帶狀物制作出單層的帶狀間隔件。
[0211]具體地說，在環(huán)帶上卷繞I層該帶狀物，在該卷繞的末尾，在大約50mm的長度上設(shè)置層疊于第I層的帶狀物的部分。即，存在帶狀間隔件的厚度為275 μ m的部分和極少一部分為550 μ m的部分。除此以外，使用以與實(shí)施例1相同的方法安裝了以與實(shí)施例1相同的條件制作的帶間隔件的環(huán)帶的雙帶加壓裝置，以與實(shí)施例1相同的方法和條件制作出金屬
箔層疊體。
[0212]此時(shí)，從金屬箔的寬度方向兩端部到帶狀間隔件的端部之間的距離維持為30mm，但是在泵出口處測量到的液體介質(zhì)的流量在6.1L/分鐘?12.1L/分鐘之間較大地發(fā)生變動(dòng)，大量液體介質(zhì)不穩(wěn)定地自密閉框架泄漏。其結(jié)果，在雙帶加壓裝置的帶內(nèi)側(cè)測量到的液體介質(zhì)的溫度在293 °C?298 °C之間變動(dòng)，而且，壓力在2.6MPa?2.9MPa之間變動(dòng)。而且，不僅無法維持設(shè)定值，而且由于變動(dòng)而無法制作穩(wěn)定的金屬箔層疊體。
[0213]可認(rèn)為這是由于如下原因而產(chǎn)生的:在帶狀間隔件的重疊部穿過雙帶加壓裝置的壓接區(qū)時(shí)，在間隔件表面由于275μπι的急劇的高度差的影響，液體介質(zhì)泄漏，在朝向穩(wěn)定化的恢復(fù)未完成的期間，斷續(xù)地使間隔件的厚度臺(tái)階部穿過。
[0214]將這些實(shí)施例1?實(shí)施例12及比較例I?比較例5的結(jié)果等匯總表示在下述表
1、2 中。
[0215][表 I]
【權(quán)利要求】
1.一種層疊體制造裝置，該層疊體制造裝置包括:環(huán)帶，其配置為上下一對(duì)；以及熱壓接裝置，其配置在上述一對(duì)環(huán)帶中的每一個(gè)環(huán)帶的內(nèi)側(cè)區(qū)域；該層疊體制造裝置向上述環(huán)帶之間連續(xù)地送入多個(gè)薄片材料，并利用上述熱壓接裝置隔著上述環(huán)帶對(duì)上述薄片材料進(jìn)行熱壓接而形成層疊體，其中，所形成的層疊體的厚度為300 μ m?2mm,在上述環(huán)帶的至少一者中，在與上述薄片材料相接觸的那一側(cè)的面的兩端部，以能夠裝卸的方式安裝有一張厚度為200 μ m以下的耐熱性樹脂薄膜作為帶狀間隔件，該帶狀間隔件的總厚度為上述層疊體的厚度的10%?190%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊體制造裝置，其特征在于，在上述環(huán)帶上重疊安裝有兩層以上的上述耐熱性樹脂薄膜作為帶狀間隔件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的層疊體制造裝置，其特征在于，上述耐熱性樹脂薄膜為聚酰亞胺薄膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的層疊體制造裝置，其特征在于，上述帶狀間隔件的總厚度為275 μ m以上。
5.一種層疊體的制造方法，該方法為向配置為上下一對(duì)的環(huán)帶之間連續(xù)地送入多個(gè)薄片材料，利用配置于每一個(gè)上述環(huán)帶的內(nèi)側(cè)區(qū)域的熱壓接裝置隔著上述環(huán)帶對(duì)上述薄片材料進(jìn)行熱壓接而形成層疊體，其中，在上述環(huán)帶的至少一者的與上述薄片材料相接觸的那一側(cè)的面的兩端部，以能夠裝卸的方式安裝一張厚度為200 μ m以下的耐熱性樹脂薄膜而形成帶狀間隔件，以使得該帶狀間隔件的總厚度為上述層疊體的厚度的10%?190%，使用帶有該帶狀間隔件的環(huán)帶來形成厚度為300 μ m?2mm的層疊體。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的層疊體的制造方法，其特征在于，在上述環(huán)帶上重疊安裝有兩層以上的上述耐熱性樹脂薄膜作為帶狀間隔件。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的層疊體的制造方法，其特征在于，使用聚酰亞胺薄膜作為上述耐熱性樹脂薄膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求5至7中任一項(xiàng)所述的層疊體的制造方法，其特征在于，將上述帶狀間隔件的總厚度設(shè)為275 μ m以上。
9.根據(jù)權(quán)利要求5至8中任一項(xiàng)所述的層疊體的制造方法，其特征在于，以300°C?400°C的溫度對(duì)樹脂薄膜與金屬箔或是對(duì)樹脂薄膜與金屬板進(jìn)行熱壓接，形成金屬箔層疊體。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的層疊體的制造方法，其特征在于，上述樹脂薄膜為聚酰亞胺薄膜或全芳香族聚酯薄膜，上述金屬箔或金屬板由銅或銅合金、招或招合金、或者不銹鋼構(gòu)成。
【文檔編號(hào)】B32B37/10GK103747959SQ201280038930
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2012年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2011年8月9日
【發(fā)明者】加藤孝清, 笠原純也, 高田隆久 申請人:宇部愛科喜模株式會(huì)社