Ito導(dǎo)電玻璃的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種反射率在27％～55％之間的、自身具有半反半透性能的ITO導(dǎo)電玻璃，包括依次層疊的玻璃、第一低折射率層、第一高折射率層、第二低折射率層、第二高折射率層、第三低折射率以及ITO層；第一低折射率層的材料為SiO2或MgF2；第一高折射率層的材料為Nb2O5、TiO2、ZrO2或Si3N4；第二低折射率層的材料為SiO2或MgF2；第二高折射率層的材料為Nb2O5、TiO2、ZrO2或Si3N4；第三低折射率層的材料為SiO2或MgF2。這種ITO導(dǎo)電玻璃通過折射率高低結(jié)合的膜層結(jié)構(gòu)，使得ITO導(dǎo)電玻璃自身具有半反半透的性能，在用作觸控功能片或車載內(nèi)后視鏡時(shí)，不需要額外粘貼半反半透光學(xué)膜，在使用時(shí)視覺效果較好。
【專利說明】ITO導(dǎo)電玻璃

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種自身具備半反半透性能的IT0導(dǎo)電玻璃。

【背景技術(shù)】
[0002] IT0導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基片或硅硼基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用磁控濺射的方法依次 沉積二氧化硅（Si02)和氧化銦錫（通稱IT0)薄膜加工制作成的。
[0003] IT0是一種具有良好透明導(dǎo)電性能的金屬化合物，具有禁帶寬、可見光譜區(qū)光透射 率高和電阻率低等特性，IT0導(dǎo)電玻璃廣泛地應(yīng)用于平板顯示器件、太陽能電池、特殊功能 窗口涂層及其他光電器件領(lǐng)域，是目前LCD、TOP、0LED、觸摸屏等各類平板顯示器件廣泛采 用的透明導(dǎo)電電極材料。作為平板顯示器件的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，IT0導(dǎo)電玻璃其隨著平板顯 示器件的不斷更新和升級(jí)而具有更加廣闊的市場空間。
[0004] 現(xiàn)有的平板電腦、觸屏手機(jī)等智能觸控電子產(chǎn)品，有些需要在產(chǎn)品表面貼半反半 透光學(xué)膜，以實(shí)現(xiàn)半反半透的光學(xué)性能，在手機(jī)、平板等產(chǎn)品待機(jī)時(shí)可以起到鏡面反射效 果，可以用作鏡子用于整理妝容、或梳理頭發(fā)。
[0005] IT0導(dǎo)電玻璃作為觸控功能片時(shí)，往往需要在表面粘貼半反半透光學(xué)膜，以得到半 反半透的光學(xué)性能。傳統(tǒng)的半反半透光學(xué)膜是鍍?cè)赑ET柔性基材上再貼到手機(jī)、平板電腦 表面，而PET膜層存在一定的光吸收，手機(jī)、平板電腦使用時(shí)需要背光更亮才能進(jìn)行操作， 視覺效果較差。
[0006] 還有部分汽車的車載內(nèi)后視鏡具有半反半透功能，后視鏡上部分區(qū)域預(yù)留顯示方 向、時(shí)間、天氣等信息的窗口，從而即可以清楚觀察到后面的交通情況、避免后面車輛遠(yuǎn)視 燈打開時(shí)照射過來的光線經(jīng)后視鏡反射時(shí)并非全部強(qiáng)光反射，而是部分反射、部分透過，從 而避免強(qiáng)光反射時(shí)進(jìn)入司機(jī)眼睛內(nèi)而干擾司機(jī)正常駕駛；同時(shí)可以顯示方向、時(shí)間或天氣 等信息。目前此兼具半反半透和顯示功能的后視鏡做法是在顯示模塊上貼半反半透光學(xué) 膜，來實(shí)現(xiàn)顯示的同時(shí)達(dá)到半反半透效果。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0007] 基于此，有必要提供一種電阻介于30?120歐姆的、使用時(shí)視覺效果較好的、可以 用于電容屏或車載后視鏡的、自身具備半反半透性能等的IT0導(dǎo)電玻璃。
[0008] -種IT0導(dǎo)電玻璃，包括依次層疊的玻璃、第一低折射率層、第一高折射率層、第 二低折射率層、第二高折射率層以及IT0層；
[0009] 所述第一低折射率層的材料為Si02或MgF2 ;
[0010] 所述第一高折射率層的材料為Nb205、Ti02、Zr02或Si3N4 ;
[0011] 所述第二低折射率層的材料為Si02或MgF2 ;
[0012] 所述第二高折射率層的材料為Nb205、Ti02、Zr02或Si3N4 ;
[0013] 所述第三低折射率層的材料為Si02或MgF2 ;
[0014] 所述第一低折射率層的厚度為〇A?2000A;
[0015]所述第一高折射率層的厚度為oA?1000A;
[0016] 所述第二低折射率層的厚度為oA?2000A;
[0017]所述第二高折射率層的厚度為5A?丨〇〇〇A;
[0018] 所述第三低折射率層的厚度為〇A?丨500A。
[0019] 在一個(gè)實(shí)施例中，所述第一低折射率層的厚度為〇A?950入。
[0020] 在一個(gè)實(shí)施例中，所述第一高折射率層的厚度為0A?650入。
[0021] 在一個(gè)實(shí)施例中，所述第二低折射率層的厚度為600A?2000人。
[0022] 在一個(gè)實(shí)施例中，所述第二高折射率層的厚度為400A?600A。
[0023] 在一個(gè)實(shí)施例中，所述第三高折射率層的厚度為0A?500A。
[0024] 在一個(gè)實(shí)施例中，所述IT0層的厚度為丨〇〇人?600A。
[0025] 這種IT0導(dǎo)電玻璃，包括第一低折射率層、第一高折射率層、第二低折射率層、第 二高折射率層和第三低折射率層，折射率高低結(jié)合的合適厚度的膜層結(jié)構(gòu)，使得IT0導(dǎo)電 玻璃自身具有半反半透的性能，在用作智能便攜設(shè)備的觸控功能片或車載后視鏡時(shí)，不需 要額外粘貼半反半透光學(xué)膜，相對(duì)于傳統(tǒng)的觸控功能片，避免了PET膜層的光吸收，在使用 時(shí)視覺效果較好，同時(shí)在耐久性、耐摩擦性等方面更具有優(yōu)勢。
[0026] 具體的，這種IT0導(dǎo)電玻璃應(yīng)用到手機(jī)、平板電腦、車載后視鏡或其它方面上。用 在手機(jī)、平板電腦上時(shí)手機(jī)、平板電腦待機(jī)時(shí)可以作為鏡子用，而點(diǎn)亮?xí)r背光源也無需太亮 就可以對(duì)手機(jī)、平板電腦進(jìn)行操作；用作車載后視鏡則即可以部分反射、部分投射后面車輛 的遠(yuǎn)光燈照射過來的強(qiáng)光，避免過強(qiáng)的反射光反射進(jìn)入司機(jī)的眼睛而影響駕駛，同時(shí)也可 以顯示方向、時(shí)間、天氣的信息。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027] 圖1為一實(shí)施方式的IT0導(dǎo)電玻璃的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028] 圖2為如圖1所示的IT0導(dǎo)電玻璃的制備方法的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0029] 為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本 實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分 理解本實(shí)用新型。但是本實(shí)用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域 技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類似改進(jìn)，因此本實(shí)用新型不受下面公 開的具體實(shí)施的限制。
[0030] 如圖1所不的一實(shí)施方式IT0導(dǎo)電玻璃，包括依次層疊的玻璃10、第一低折射率 層20、第一高折射率層30、第二低折射率層40、第二高折射率層50、第三低折射率層60以 及IT0層70。
[0031] 玻璃10可以選擇浮法玻璃或者其他本領(lǐng)域常規(guī)的玻璃。
[0032]第一低折射率層20的材料為Si02或MgF2。Si02的折射率為1.48,MgF2的折射率 為1. 38。采用Si02或MgF2作為第一低折射率層20的材料，使得第一低折射率層20的折 射率相對(duì)較高。
[0033] 第一低折射率層20的厚度為〇A?2000A。一般而言，當(dāng)對(duì)半反半透導(dǎo)電膜顏色 要求不高時(shí)，第一低折射率層20的厚度可以為0,即在一個(gè)特別的實(shí)施方式中，第一低折射 率層20的厚度可以為0,也就是說，第一低折射率層20可以省略。
[0034] 在一個(gè)較優(yōu)的實(shí)施方式中，第一低折射率層2〇的厚度為〇A?950A。
[0035] 第一高折射率層30的材料為Nb205、Ti02、Zr02或Si3N4。Nb205的折射率為2. 3， Ti02的折射率為2. 3,Zr02的折射率為2. 17,Si3N4的折射率為2. 0。采用Nb205、Ti02、Zr02 或Si3N4作為第一高折射率層30的材料，使得第一高折射率層30的折射率相對(duì)較低。
[0036] 第一高折射率層30的厚度可以為〇A?1000A。當(dāng)對(duì)半反半透導(dǎo)電膜的顏色要求 不高時(shí)，第一高折射率層30的厚度可以為0,也就是說，在一個(gè)特別的實(shí)施方式中，第一高 折射率層30可以省略。
[0037] 在一個(gè)較優(yōu)的實(shí)施例中，第一高折射率層30的厚度可以為〇A?650入。
[0038] 第二低折射率層40的材料為Si02或MgF2。Si02的折射率為1.48,MgF2的折射率 為1.38。采用Si02或MgF2作為第二低折射率層40的材料，使得第二低折射率層40的折 射率相對(duì)較高。
[0039] 第二低折射率層40的厚度為〇A?2000A。在一個(gè)特別的實(shí)施方式中，第二低折 射率層40的厚度可以為0,也就是說，第二低折射率層40可以省略。
[0040] 在一個(gè)較優(yōu)的實(shí)施例中，第二低折射率層40的厚度可以為600A?2000A。
[0041] 第二高折射率層50的材料為Nb205、Ti02、Zr02或Si3N4。Nb205的折射率為2. 3， Ti02的折射率為2. 3,Zr02的折射率為2. 17,Si3N4的折射率為2. 0。采用Nb205、Ti02、Zr02 或Si3N4作為第二高折射率層50的材料，使得第二高折射率層50的折射率相對(duì)較低。
[0042] 第二高折射率層50的厚度為5A?丨000人。
[0043] 在一個(gè)較優(yōu)的實(shí)施例中，第二高折射率層50的厚度可以為400A?600.人。
[0044] 第三低折射率層60的厚度為〇A?1500A。在一個(gè)特別的實(shí)施方式中，第三低折 射率層60的厚度可以為0,也就是說，第三低折射率層60可以省略。
[0045] 在一個(gè)較優(yōu)的實(shí)施例中，第三低折射率層60的厚度可以為〇A?500入。
[0046] 本實(shí)施方式中，IT0層70的厚度為100A?600A。
[0047] 這種IT0導(dǎo)電玻璃，包括第一低折射率層20、第一高折射率層30、第二低折射率層 40、第二高折射率層50和第三低折射率層60,折射率高低結(jié)合的合適厚度的膜層結(jié)構(gòu)，使 得IT0導(dǎo)電玻璃自身具有半反半透的性能，在用作觸控功能片時(shí)，不需要額外粘貼半反半 透光學(xué)膜，相對(duì)于傳統(tǒng)的觸控功能片，避免了PET膜層的光吸收，在使用時(shí)視覺效果較好， 同時(shí)在耐久性、耐摩擦性等方面更具有優(yōu)勢。
[0048] 具體的，這種IT0導(dǎo)電玻璃應(yīng)用到手機(jī)、平板電腦、車載后視鏡或其它方面上。用 在手機(jī)、平板電腦上時(shí)手機(jī)、平板電腦待機(jī)時(shí)可以作為鏡子用，而點(diǎn)亮?xí)r背光源也無需太亮 就可以對(duì)手機(jī)、平板電腦進(jìn)行操作；用作車載后視鏡則即可以部分反射、部分投射后面車輛 的遠(yuǎn)光燈照射過來的強(qiáng)光，避免過強(qiáng)的反射光反射進(jìn)入司機(jī)的眼睛而影響駕駛，同時(shí)也可 以顯示方向、時(shí)間、天氣的信息。
[0049] 如圖2所示的上述IT0導(dǎo)電玻璃的制備方法，包括如下步驟：
[0050] S10、提供玻璃10,清洗后干燥。
[0051] 玻璃10可以選擇浮法玻璃或者其他本領(lǐng)域常規(guī)的玻璃。
[0052] S20、在清洗后的玻璃10表面依次磁控濺射沉積第一低折射率層20、第一高折射 率層30、第二低折射率層40、第二高折射率層50、第三低折射率層60和IT0層70,得到IT0 導(dǎo)電玻璃。
[0053] 第一低折射率層20的材料為Si02或MgF2。Si02的折射率為1. 48,MgF2的折射率 為1. 38。采用Si02或MgF2作為第一低折射率層20的材料，使得第一低折射率層20的折 射率相對(duì)較高。
[0054] 第一低折射率層20的厚度為〇A?2000人。當(dāng)對(duì)半反半透導(dǎo)電膜顏色要求不高 時(shí)，第一低折射率層20的厚度可以為0,即在一個(gè)特別的實(shí)施方式中，第一低折射率層20的 厚度可以為〇,也就是說，第一低折射率層20可以省略。
[0055] 在一個(gè)較優(yōu)的實(shí)施方式中，第一低折射率層20的厚度為〇A?950A。
[0056] 第一高折射率層30的材料為Nb205、Ti02、Zr02或Si3N4。Nb205的折射率為2. 3， Ti02的折射率為2. 3,Zr02的折射率為2. 17,Si3N4的折射率為2. 0。采用Nb205、Ti02、Zr02 或Si3N4作為第一高折射率層30的材料，使得第一高折射率層30的折射率相對(duì)較低。
[0057] 第一高折射率層30的厚度可以為〇A?1000A。當(dāng)對(duì)半反半透導(dǎo)電膜的顏色要求 不高時(shí)，第一高折射率層30的厚度可以為0,也就是說，在一個(gè)特別的實(shí)施方式中，第一高 折射率層30可以省略。
[0058] 在一個(gè)較優(yōu)的實(shí)施例中，第一高折射率層30的厚度可以為〇A?650入。
[0059] 第二低折射率層40的材料為Si02或MgF2。Si02的折射率為1. 48,MgF2的折射率 為1. 38。采用Si02或MgF2作為第二低折射率層40的材料，使得第二低折射率層40的折 射率相對(duì)較高。
[0060] 第二低折射率層40的厚度為0A?2000A。在一個(gè)特別的實(shí)施方式中，第二低折 射率層40的厚度可以為0,也就是說，第二低折射率層40可以省略。
[0061] 在一個(gè)較優(yōu)的實(shí)施例中，第二低折射率層40的厚度可以為600A?2000A。
[0062] 第二高折射率層50的材料為Nb205、Ti02、Zr02或Si3N4。Nb205的折射率為2. 3， Ti02的折射率為2. 3,Zr02的折射率為2. 17,Si3N4的折射率為2. 0。采用Nb205、Ti02、Zr02 或Si3N4作為第二高折射率層50的材料，使得第二高折射率層50的折射率相對(duì)較低。
[0063] 第二高折射率層50的厚度為5A?丨000A。
[0064] 在一個(gè)較優(yōu)的實(shí)施例中，第二高折射率層50的厚度可以為400人?600人。
[0065] 第三低折射率層60的厚度為〇A?丨500A。在一個(gè)特別的實(shí)施方式中，第三低折射 率層60的厚度可以為0,也就是說，第三低折射率層60可以省略。
[0066]在一個(gè)較優(yōu)的實(shí)施例中，第三低折射率層60的厚度可以為〇A?500入。
[0067]本實(shí)施方式中，IT0層70的厚度為丨〇〇A?60〇A。
[0068]這種方法制得的IT0導(dǎo)電玻璃，包括第一低折射率層20、第一高折射率層30、第二 低折射率層40、第二高折射率層50和第三低折射率層60,折射率高低結(jié)合的合適厚度的膜 層結(jié)構(gòu)，使得IT0導(dǎo)電玻璃自身具有半反半透的性能，在用作觸控功能片時(shí)，不需要額外粘 貼半反半透光學(xué)膜，相對(duì)于傳統(tǒng)的觸控功能片，避免了PET膜層的光吸收，在使用時(shí)視覺效 果較好，同時(shí)在耐久性、耐摩擦性等方面更具有優(yōu)勢。
[0069]具體的，這種IT0導(dǎo)電玻璃應(yīng)用到手機(jī)、平板電腦、車載后視鏡或其它方面上。用 在手機(jī)、平板電腦上時(shí)手機(jī)、平板電腦待機(jī)時(shí)可以作為鏡子用，而點(diǎn)亮?xí)r背光源也無需太亮 就可以對(duì)手機(jī)、平板電腦進(jìn)行操作；用作車載后視鏡則即可以部分反射、部分投射后面車輛 的遠(yuǎn)光燈照射過來的強(qiáng)光，避免過強(qiáng)的反射光反射進(jìn)入司機(jī)的眼睛而影響駕駛，同時(shí)也可 以顯示方向、時(shí)間、天氣的信息。
[0070] 下面為具體實(shí)施例。
[0071] 實(shí)施例1
[0072]將浮法玻璃洗凈后干燥。
[0073] 在工作壓強(qiáng)為2XKT3mbar的條件下，在浮法玻璃表面依次沉積厚度為925A的 31〇2層、厚度為15.3人的吣2〇5層、厚度為673.6人的31〇 2層、厚度為401.2人的吣2〇5層和 厚度為250A的IT0層，得到所需反射率為（30±3)%的半反半透11'0導(dǎo)電玻璃。
[0074] 實(shí)施例2
[0075]將浮法玻璃洗凈后干燥。
[0076]在工作壓強(qiáng)為3Xl(T3mbar的條件下，在浮法玻璃表面依次沉積厚度為110.4A的 Ti02層、厚度為1108A的Si02層、厚度為420.1A的Ti02層和厚度為250A的IT0層，得 到所需的反射率為（40±4) %的IT0導(dǎo)電玻璃。
[0077]對(duì)實(shí)施例1和實(shí)施例2制得的IT0導(dǎo)電玻璃利用日本電色的SD-6000進(jìn)行反射率 測試試驗(yàn)，實(shí)施例1制得的IT0導(dǎo)電玻璃的550nm處反射率為42. 7%，反射a*為0. 65,反 射b*為3. 18 ;實(shí)施例2制得的IT0導(dǎo)電玻璃的峰值反射率為28. 8%，反射a*為-7. 8,反 射b* 為-0. 36。
[0078] 實(shí)施例3
[0079]將浮法玻璃洗凈后干燥。
[0080] 在工作壓強(qiáng)為8X10_4mbar的條件下，在浮法玻璃表面依次沉積厚度為330A的 Nb205層、厚度為1 〇〇〇A的Si〇2層、厚度為430A的Nb2o5層和厚度為200A的IT0層，得到 所需的反射率為（50±5)%的IT0導(dǎo)電玻璃。
[0081] 實(shí)施例4
[0082]將浮法玻璃洗凈后干燥。
[0083] 在工作壓強(qiáng)為1Xl(T3mbar的條件下，在浮法玻璃表面依次沉積厚度為850/\的 3102層、厚度為146人的21〇2層、厚度為11〇〇人的1^2層、厚度為577人的3^4層和厚度 為300.A的ITO層，得到所需的反射率為（30±3)%的ITO導(dǎo)電玻璃。
[0084] 實(shí)施例5
[0085]將浮法玻璃洗凈后干燥。
[0086] 在工作壓強(qiáng)為1 X l(T3mbar的條件下，在浮法玻璃表面依次沉積厚度為1〇〇人的 Si02層、厚度為75A的Ti〇2層、厚度為700A的Si〇2層、厚度為350A的Zr〇2層和厚度為 300A的IT0層，得到所需的反射率為（40±4) %的IT0導(dǎo)電玻璃。
[0087] 以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)， 但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬 于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1. 一種ITO導(dǎo)電玻璃，其特征在于，包括依次層疊的玻璃、第一低折射率層、第一高折 射率層、第二低折射率層、第二高折射率層、第三低折射率層以及ITO層； 所述第一低折射率層的材料為SiO2或MgF2 ; 所述第一高折射率層的材料為Nb205、Ti02、ZrO2或Si 3N4 ; 所述第二低折射率層的材料為SiO2或MgF2 ; 所述第二高折射率層的材料為Nb205、Ti02、ZrO2或Si 3N4 ; 所述第三低折射率層的材料為SiO2或MgF2 ; 所述第一低折射率層的厚度為OA?2000A; 所述第一高折射率層的厚度為OA?丨000A; 所述第二低折射率層的厚度為OA?2000A; 所述第二高折射率層的厚度為5Λ?1000A; 所述第三低折射率層的厚度為OA?1500A。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO導(dǎo)電玻璃，其特征在于，所述第一低折射率層的厚度為 OA ?950A。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO導(dǎo)電玻璃，其特征在于，所述第一高折射率層的厚度為 OA?650A。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO導(dǎo)電玻璃，其特征在于，所述第二低折射率層的厚度為 600A?2000A。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO導(dǎo)電玻璃，其特征在于，所述第二高折射率層的厚度為 400A ?600A。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO導(dǎo)電玻璃，其特征在于，所述第三低折射率層的厚度為 OA?500A。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1?6中任一項(xiàng)所述的ITO導(dǎo)電玻璃，其特征在于，所述ITO層的厚度 為 IOOA ?600A。
【文檔編號(hào)】B32B17/06GK204079782SQ201420445687
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年8月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月7日
【發(fā)明者】劉玉華, 方鳳軍, 陳立, 譚偉, 杜曉峰 申請(qǐng)人:宜昌南玻顯示器件有限公司