專利名稱：底板輸送夾具及采用該夾具的液晶顯示元件制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于制造采用薄板狀玻璃底板和塑料底板等的液晶顯示元件的底板輸送夾具及采用該夾具的液晶顯示元件制造方法。
液晶顯示元件用的玻璃底板為了消除顯示雙重像，謀求重量輕，以往就在研究薄板化。然而，玻璃底板由于脆性和易破裂性等問題，制造過程輸送玻璃底板單體時，批量生產(chǎn)級的薄板化界限厚度是0.7mm，制造采用0.5mm或0.3mm厚的大型玻璃(300×300mm以上)的液晶顯示元件有困難。
另一方面，為了代替玻璃底板，也在進行采用塑料底板的液晶顯示元件的開發(fā)。作為該制造方法，在例如特開平3-5718號公告(日本公開專利公告)中揭示了將塑料底板單體作成片狀輸送的方法或做成卷狀連續(xù)送出的方法。
然而，塑料底板由于性小，欠堅挺，熱變形溫度低，表面硬度低，易帶傷痕，加熱過程中容易產(chǎn)生翻轉(zhuǎn)、膨脹收縮之類變形等原因，底板單體輸送和卷狀連續(xù)送出兩種情況不論哪一種，液晶顯示元件制造都比用玻璃底板時更困難。
因此，例如特開昭60-41018公告(日本公開專利公告)提出以塑料底板固定在匾框狀框架上的形式進行工序間輸送來制造液晶顯示元件的方法，特開昭58-147713號公告(日本公開專利公告)提出以塑料底板周緣部壓接在支承體上的形式進行制造，然后截去壓接部的方法。
上述特開平3-5718號公告中還揭示了以脫模膜片上層疊高分子樹脂作塑料底板的方式制造的方法。上述脫模膜片是在作為支承體的膜片上涂敷硅類樹脂脫模劑后形成的。
上述硅類樹脂(例如硅酮)作為一般用途的脫模劑，有種種用法，可分為油型、漿型、溶液型、發(fā)熱膠著型、乳膠型、水溶性型和噴霧型等。例如密封剝離紙為了改善對密封粘貼面的剝離性，在剝離紙表面使用硅酮作為脫模層。又如在樹脂成形等過程中，也將它用作脫模劑，讓成形體簡便地從模具脫模。象這樣用作脫模劑的硅酮，其本身無粘著力，即使有，也是非常弱地被使用。
然而，上述以塑料底板固定在匾框狀框架上的形式進行制造的方法中，塑料底板彎入匾框的內(nèi)部，難以確保表面平坦。這時，液晶顯示元件制造過程中的各種印刷裝置、曝光裝置，為了輔助匾框內(nèi)部平坦，就需要例如特殊形狀的載物臺設計等，因而存在設備造價高，不能與玻璃底板互換等問題。
此外，以脫模膜片上層疊高分子樹脂做成塑料底板的方式制造液晶顯示元件的方法存在下列問題(1)脫模膜片等支承體僅限于使用一次，成本高。
(2)脫模膜片等支承體剛性低，工序間難輸送。
(3)可用的制造工序、設備和條件等限制較多。
尤其是具有柔性的塑料底板，因其材質(zhì)和厚度，容易沿吸附載物臺的孔、槽產(chǎn)生變形。因此，除產(chǎn)生印刷不良和取向處理欠佳外，還會卷入膠版印刷機的版內(nèi)，而剛印完后的工藝性干燥階段，在熱板表面上底板會出現(xiàn)受熱變曲、拱起的情況，無法進行穩(wěn)定的干燥。
(4)脫模膜片與高分子樹脂的粘合性差，在粘合力方面不能得到穩(wěn)定的輸送。尤其在進行加熱處理時，脫模膜片與高分子樹脂的界面上產(chǎn)生氣泡或部分剝離，不能進行以后工序的處理。
本發(fā)明正是鑒于上述以往的問題，其目的在于提供一種可降低液晶顯示元件制造成本，而且工序間輸送良好，可進行穩(wěn)定的制造，并可改善液晶顯示元件性能的底板輸送夾具及使用該夾具的液晶顯示元件制造方法。
為了達到上述目的，本發(fā)明的底板輸送夾具(下文簡稱為夾具)為表面支承著液晶顯示元件底板在工序間輸送的夾具，其中支承體表面設有粘附材料層，該粘附材料層可使保持夾具表面所貼附的底板用的粘附力，即使反復使用也基本上維持不變。
上述夾具在具有液晶顯示元件制造過程中進行輸送時所需剛性的材料，例如具有規(guī)定厚度的玻璃板和塑料板等所組成的支承體上，設置即便反復使用，粘附力也基本上維持不變的粘附材料層。
因此，將薄板狀玻璃底板和塑料底板貼附在上述夾具上，在液晶顯示元件制造過程進行輸送，即便該底板單體采用無強度和剛性的材料，也可共用以往的玻璃用液晶顯示元件制造生產(chǎn)線，制造液晶顯示元件。而且，上述夾具可反復使用，與用完就丟棄的夾具相比，可大幅度降低液晶顯示元件的制造成本。
上述粘附材料層需確保底板在貼附狀態(tài)下進行工序間輸送時對底板有足夠的粘附力，而且工序完畢后，底板能快速剝離。象這樣，作為能暫時粘附，其后又能剝離的粘附層的組成材料，可列舉出硅酮膠、硅酮橡膠、氟硅橡膠、丁基橡膠、聚氨酯橡膠、天然橡膠、丁二烯橡膠、乙烯丙烯橡膠、氯丁二烯橡膠、丁腈橡膠、腈基異戊二烯橡膠、丙烯酸橡膠、氟橡膠、氯磺化聚乙烯、氯化聚乙烯、表氯醇橡膠等。其中若考慮粘附性、耐熱性、耐油耐藥性、表面平坦性、抗光性、抗臭氧性等，則以丁基橡膠和硅酮橡膠為佳。
粘附力的大小可根據(jù)薄型玻璃底板和塑料底板等的材料、厚度、表面形狀、輸送工序條件、夾具剝離操作性等，用實驗方法綜合決定。粘附力的調(diào)整(增大～減小)可根據(jù)粘附材料層的表面形狀的變化(平滑～凹凸)，粘附材料層的形成面積的變化，根據(jù)與底板的粘附面積的增減(整面粘附～部分粘附)，粘附材料層的聚合度、交聯(lián)度、混合比、添加材料和硬化劑等的調(diào)整，借助于粘附劑硬度的變化(軟～硬)來進行。
作為粘附力的設定范圍，按每20mm寬的剝離粘附力表示時，大致以50g～800g為佳。剝離粘附力小于30g時，從夾具粘附材料層剝離薄型玻璃底板和塑料底板時的操作性能良好，但會因夾具上貼附著薄型玻璃底板和塑料底板進行輸送的工序的條件(加熱溫度、洗凈條件)而在粘附面上浸入氣泡和洗凈液或發(fā)生底板從夾具上剝離，不能獲得穩(wěn)定的工序間輸送。反之，剝離粘附力過大，則雖然能以底板貼附在夾具上的穩(wěn)定狀態(tài)進行輸送，但工序結(jié)束后的剝離操作性差，根據(jù)情況，有時會因剝離時的壓力而發(fā)生薄型玻璃底板和塑料等底板被損、變形等不合適的情況。因此，剝離粘附力最好小于800g。
上述結(jié)構(gòu)中，最好在上述支承體與粘附材料層之間設置中間層。這樣，即便選定支承體與粘附材料層之間熱膨脹數(shù)差別大的材料，由于又將中間層的熱膨脹系數(shù)設定在支承體與粘附材料層的熱膨脹系數(shù)之間，所以可在中間層緩解濕度變化所帶來熱膨脹系數(shù)差而引起的應力和壓力。預先在中間層形成粘附材料層，再將帶粘附材料層的中間層粘合到支承體上，這樣進行夾具制造可使粘附材料層做得更薄。而且將中間層和粘附材料層做成一體，還可改善在支承體上形成較薄的粘附材料層時的操作性，由此還可以減少液顯示元件的制造成本。
上述夾具中，最好在上述底板所形成的電極圖案的對準記號相對應位置設置提高可見光透過率用的透光部。這樣，在夾具上貼附底板的狀態(tài)下，可施行液晶顯示元件各制造工序中利用對準記號進行的位置對準。因此，可利用自動圖像識別技術(shù)進行高精度位置對準，能制造顯示品質(zhì)高的液晶顯示元件。
根據(jù)本發(fā)明所涉及的液晶顯示元件制造方法，先將底板貼附在具有上述結(jié)構(gòu)的夾具上，再輸送上述夾具通過液晶顯示元件制造工序，從而對貼附在夾具上的底板，依次進行形成液晶顯示元件的處理，規(guī)定工序完畢后，從底板輸送夾具上剝離底板，而后上述基板輸送夾具再次用于貼附新的底板，制作液晶顯示元件。
上述制造方法中，最好在底板貼附在上述夾具的狀態(tài)下，進行絕緣層和定向?qū)拥鹊挠∷⒐ば颉＿@些印刷工序需要更加均勻的印刷。因此，通過將底板貼在具有一定剛性的夾具上進行支持，可抑制尤其在塑料底板的情況下容易發(fā)生的沿印刷臺吸附孔、槽的變形，故而可確保良好的印刷。此外，將夾具粘附材料層的粘附力設定得大于某值，還可防止印刷時塑料底板卷入印刷滾筒。
上述制造方法中，最好在底板貼在上述夾具的狀態(tài)下進行絕緣層和定向?qū)拥谋簾ば颉＝^緣層和定向?qū)有纬晒ば蛑?，上述印刷以后立即就進行工藝性干燥，再正式焙燒，由于處于底板貼在具有一定剛性的夾具上的狀態(tài)，因而可防止例如熱板上的熱所引起的塑料底板的拱起，又如在100℃左右的溫度下進行正式焙燒時，也可防止底板變形等次妥狀況的發(fā)生，確保良好的熱處理。
上述制造方法中，液晶顯示元件制造工序最好對貼在夾具上的底板一邊加壓，一邊進行熱處理。例如，以較高溫度進行上述絕緣層和定向?qū)拥恼奖簾龝r，在發(fā)生溫度上升至焙燒溫度其后再下降至室溫的過程中，產(chǎn)生薄型玻璃板、塑料等底板與夾具(粘附材料層、支承體)的熱膨脹收縮系數(shù)差異、局部溫度不均等引起的應力和壓力。因此，底板與夾具之間產(chǎn)生氣泡，根據(jù)情況，有時存在底板剝離夾具的可能。但利用加熱的同時也加壓，可抑制氣泡的產(chǎn)生，防止底板剝離夾具。因此，熱處理溫度可取得較高，能制得絕緣特性好的絕緣層和取向特性好的定向?qū)?，從而提高液晶顯示元件的性能和可靠性。
本發(fā)明的其他目的、特征和優(yōu)點，通過下文所述會充分明白。通過下面參照附圖進行的說明，也會清楚本發(fā)明的利益。


圖1為本發(fā)明一實施例底板輸送夾具的截面模式圖。
圖2為說明上述夾具貼附底板的狀態(tài)的截面模式圖。
圖3為說明采用上述夾具制造液晶顯示元件的工序中上下對貼底板、密封材料硬化工序的截面模式圖。
圖4為本發(fā)明另一實施例的底板輸送夾具的截面模式圖。
圖5為本發(fā)明再一實施例的底板輸送夾具的截面模式圖。
圖6為比較例的底板輸送夾具有截面模式圖。
圖7為表示本發(fā)明又一實施例的液晶顯示元件定向?qū)有纬晒ば蛑性谡奖簾龝r的加熱和加壓條件隨時間變化的曲線圖。
圖8為表示另一比較例的液晶顯示元件定向?qū)有纬晒ば蛑性谡奖簾龝r加熱和加壓條件隨時間變化的曲線圖。
實施例1根據(jù)圖1至圖3對本發(fā)明一實施例說明如下。
如圖1所示，本實施例的底板輸送夾具(以下簡稱夾具)1做成在平板狀支承體2的表面上設置粘附材料層3。
支承體2由厚2mm的環(huán)氧樹脂板組成。如后文所述，粘附材料層3具有用以保持其表面貼附底板的粘附力即使反復使用也大致維持不變的特性。有這種可反復使用的自粘性的粘附材料層3由表面呈平滑薄片狀的硅酮樹脂(厚0.2mm，硬度為40°)組成。
為了使上述粘附材料層3永久粘合在支承體2的表面上，通過在該支承體表面涂敷硅酮類樹脂組成的粘合材料4，通過該材料將粘附材料層3粘合在支承體2上，制成上述夾具1。
對這樣制得的夾具1，確認支承體2和粘附材料層3之間無氣泡混入后，進行以下的剝離粘附力測定。首先，如后文所述，將作為液晶顯示元件底板用的丙烯酸類樹脂板(厚0.4mm)裁成寬20mm的帶狀，做成測試材料。再用滾筒將此測試材料按壓在粘附材料層3的表面上，形成測試材料貼附在粘附材料層3上的狀態(tài)。然后，進行測定，將測試材料從一端拉起脫開時的剝離力作為剝離粘附力。在常溫時和貼附狀態(tài)下進行100℃～3小時的加熱處理后，分別反復將上述測試(下文將上述用測試材料進行的測試稱為剝離測試)。
上述剝離測試的結(jié)果是，本實施例的夾具1，其剝離粘附力在常溫時約為300g，在加熱處理后為300g～400g，兩種情況下測試材料都不難從粘附材料層剝離，而且不存在反復使用造成的剝離粘附力減小或增大，說明剝離粘附特性良好。
下面說明液晶顯示元件生產(chǎn)線上上述夾具1的使用狀態(tài)。
首先，如圖2所示，在夾具1的粘附材料層3的表面上放置300mm×320mm×0.4mm(厚)的丙烯酸類樹脂做成的底板5，用滾筒按壓其表面，成為底板5貼附在粘附材料層3上的狀態(tài)。
其次，將粘貼有底板5的夾具1洗凈后，置于磁控管濺鍍裝置內(nèi)，以80℃的溫度在底板5上形成70nm(700A)的ITO透明導電膜，再對該導電膜進行布圖為規(guī)定電極圖案用的微細加工(涂敷保護膜、曝光、顯像、蝕刻、清洗保護膜)。
接著，用膠版印刷機印刷要求均勻涂敷的定向?qū)?，其后，立即用設定為100℃·3分鐘的熱板(ホツトプレ-ト)進行工藝性干燥，再依次進行定向?qū)拥恼奖簾?100℃-3小時)、摩擦處理、清洗。
又，在經(jīng)上述各工序制得的一對底板5.5的某一方印刷密封材料，另一方分布控制單元間隙用墊珠，然后如圖3所示，進行上下底板對貼、密封材料硬化。該圖中，6為各底板5.5表面上形成的透明導電膜電極，7為定向?qū)樱?為密封材料。上述工序中最高處理溫度條件是定向?qū)有纬晒ば虻?00℃焙燒溫度。
以上工序中底板5以貼附在夾具1上的狀態(tài)輸送，觀察貼附所制夾具1.1的對貼底板5.5，結(jié)果沒有發(fā)現(xiàn)底板5與夾具1的粘附材料層3之間的界面上有藥液和水浸入，而且可確認也沒有明顯的氣泡產(chǎn)生。
然后，將對貼底板5.5兩端的夾具1.1剝掉。這時的剝離粘附力換算成每20mm寬度的值是300g～400g，其剝離性良好。從夾具1.1剝離的底板5.5再截斷成規(guī)定形狀，并依次進行液晶注入和偏光板張貼，最后制得液晶顯示元件。
剝離夾具1.1后的底板5.5，由于相互對貼，所以整體剛性增強，故而可以在從夾具1.1上取下的狀態(tài)下，在上述各工序間輸送，制作液晶顯示元件。
從底板5剝離的夾具1隨后經(jīng)過粘附材料層3清洗工序，再次回到新底板5的貼附工序，用于在上述各制造工序中輸送所貼的底板。這樣反復使用的夾具1，其性能在反復使用3次以上之后也未發(fā)現(xiàn)明顯變差。
實施例2下面說明本發(fā)明另一實施例。為了方便說明，與上述實施例附圖所示部件具有相同功能的部件標注相同的符號，并省略其說明。后文所述的其他實施例也同樣。
本實施例的夾具1，其支承體由厚1.6mm的鈉玻璃組成，粘附材料層3由表面平滑的丁基橡膠(厚0.5mm，硬度為40°)形成。粘合材料4采用一面為丙烯酸類、另一面為硅酮類的雙面帶。用此粘合材料4將粘附材料層3粘貼在支承體2的表面上。
這時也與上述實施例1相同，粘附材料層3與支承體2之間無氣泡混入，而且與上述相同的剝離測試其結(jié)果是，剝離粘附力在常溫時約為400g，在100℃-3小時加熱后為400g～600g，兩種情況都呈現(xiàn)良好的剝離粘附特性。
用滾筒將300mm×324mm×0.1mm(厚)的PES(聚醚砜)膜片作為底板5貼附在夾具1上，與實施例1相同，以底板5貼在夾具1上的狀態(tài)輸送經(jīng)過各種工序，直到摩擦工序。摩擦工序后進行觀察的結(jié)果是底板5與粘附材料層3的界面上無藥液和水滲入，而且可確認也沒有明顯的氣泡產(chǎn)生。
從底板5剝離夾具1時的剝離粘附力換算為每20mm寬度的值為300g～500g，剝離性良好。與實施例1相同，剝離后的塑料底板5以從夾具1取下的單體形式，在其后的工序間輸送，制作液晶顯示元件。夾具1經(jīng)粘附材料層3的清洗工序后，再次使用，且經(jīng)3次以上反復使用后也未發(fā)現(xiàn)明顯的性能下降。
實施例3本實例的夾具1與實施例2相同，也采用厚1.6mm的鈉玻璃作為支承體2，并在此支承體2上設置硅酮橡膠聚合體制成的粘附材料層3。
制作此夾具1時，首先，在支承體2上涂敷環(huán)氧樹脂作為粘合材料4，然后，在其上涂敷厚0.2mm的硅酮橡膠單體。然后，為了達以硅酮橡膠單體緩慢脫泡的目的，慢慢加熱，最后以100℃、4小時的條件進行硅酮橡膠所制成的粘附材料層3的聚合和粘合材料4的硬化，制得夾具1。這樣制得的夾具1，與上文所述相同，粘附材料層3與支承體之間無氣泡混入，而且上述剝離測試的結(jié)果為常溫時約350g，100℃-3小時加熱后為300g～500g，兩種情況下都呈現(xiàn)良好的剝離粘附特性。
用滾筒將300mm×324mm×0.4mm厚的丙烯酸類樹脂板作為底板5貼在上述夾具1上，此后與實施例2相同，以底板5貼附在夾具1上的狀態(tài)輸送經(jīng)過各工序，直至摩擦工序。
這期間還在定向?qū)佑∷⒑螅?20℃-2小時的焙燒條件進行定向?qū)有纬晒ば虻奶幚?。因此，此制造工序中的最高處理溫度為上述?20℃。
上述定向?qū)有纬晒ば蚪Y(jié)束后，對貼附在夾具1上的基板5的觀察結(jié)果是底板5與粘附材料層3的界面無藥液和水浸入，并且可確認也沒有明顯的氣泡產(chǎn)生。
在摩擦工序之前一直貼附在夾具1上輸送，待證實無異常后，將夾具1剝離。從底板5剝離該夾具1時的剝離粘附力換算成每20mm寬度的值為300g～500g，剝離特性良好。
與上文所述相同，后面的工序以底板5單體形式輸送制得液晶顯示元件。夾具1經(jīng)粘附材料層3清洗工序后，再次使用。這時，夾具1反復使用3次后也未發(fā)現(xiàn)顯著性能下降。
實施例4與實施例3相同，本實施例的夾具1做成用厚1.6mm的鈉玻璃作為支承體2，此支承體上設置硅酮橡膠聚合體組成的粘附材料層3。這時，在支承體2上依次涂敷環(huán)氧樹脂作為粘合材料4和厚0.2mm的硅酮橡膠單體緩慢脫泡的目的，慢慢加熱進行制作，這以前與實施例3相同，但加熱的最終條件與實施例3的100℃-4小時不同，本實施例定為170℃-2小時，來制得夾具1。
本實施例中，夾具1的支承體2與粘附材料層3之間無氣泡混入，而且上述剝離測試結(jié)果是常溫時約330g，100℃-3小時加熱后為300g～500g，兩種情況都呈現(xiàn)良好的剝離粘附特性。
用滾筒將300mm×324mm×0.4mm厚的丙烯酸類樹脂板作為底板5貼附在上述夾具1上，在與實施例1相同的條件下通過各工序，并在定向?qū)有纬晒ば?100℃、2小時)觀察帶有所制得夾具1的底板5。其結(jié)果是底板5與粘附材料層3的界面無藥液和水浸入，并且可確認也沒有明顯的氣泡產(chǎn)生。然后，與實施例3相同，以帶夾具1的狀態(tài)進行輸送，直到摩擦工序，證實無異常后，將夾具1剝離。從底板5剝離夾具1時的剝離粘附力換算成第20mm寬度的值為300g～500g，剝離特性良好。
比較例1采用實施例4的夾具1，僅改變定向?qū)有纬晒ば虻谋簾龡l件，其余液晶顯示元件制造工序與實施例4相同。即這時定向?qū)有纬晒ば虻谋簾龡l件設定為120℃、2小時。該工序結(jié)束后觀察附帶有所制得夾具1的基板5，結(jié)果是底板5與夾具1的粘附材料層3之間雖無藥液和水浸入，但確認數(shù)處存在直徑2cm左右的氣泡，所以在此階段停止向其他工序輸送。
實施例5如圖4所示，本實施例的夾具1做成在厚1.6mm的鈉玻璃所構(gòu)成的支承體2與表面平滑的硅酮橡膠(厚0.2mm，硬度為40°)所構(gòu)成的粘附材料層3之間，再設置中間層11。
該中間層由PET膜片(50μm厚)組成，在支承體2的上面涂敷環(huán)氧樹脂構(gòu)成的第1粘合材料4b，借助該材料貼在支承體2上。同時又在中間層11表面涂敷硅酮橡膠構(gòu)成的第2粘合材料4b，將粘附材料層3貼在此中間層上。這樣就制成上述夾具1。
這樣制得的夾具1在粘附材料層3與支承體2之間無氣泡混入，而且上述剝離測試的結(jié)果在常溫時約為300g，100℃-3小時加熱后為300g～400g，不論何種情況均呈現(xiàn)良好的剝離粘附特性。
用滾筒將300mm×324mm×0.4mm厚的環(huán)氧樹脂做成的底板5貼附在上述夾具1上。然后，與實施例1相同，通過各工序時將定向?qū)有纬晒ば虻臈l件設定為定向?qū)佑∷⒑笠?30℃-2小時進行焙燒。這時，整個液晶顯示元件制造工序的最高處理溫度為上述130℃。上述定向?qū)有纬晒ば蚪Y(jié)束后，觀察貼附有所制得夾具1的底板5的結(jié)果是，底板5與粘附材料層3的界面無藥液和水浸入，并且可確認也沒有明顯的氣泡產(chǎn)生。
然后，與實施例2相同，以帶夾具1的狀態(tài)進行輸送，直到摩擦處理工序，證實無異常后，將夾具1剝離。從底板5剝離夾具1時的剝離粘附力換算成每20mm寬度的值為350g～500g，剝離特性良好。后面的工序則輸送底板3單體來制作液晶顯示元件。而剝離的夾具1則經(jīng)粘附材料層3清洗工序后再次使用，重復使用3次以上之后也未發(fā)現(xiàn)明顯的性能下降。
實施例6
本實施例的夾具1在構(gòu)成上與實施例5的不同之處在于第2粘合材料4b由環(huán)氧樹脂構(gòu)成，并且使硅酮橡膠單體聚合來制得粘附材料層3。
制作此夾具1時，首先，在PET膜片(厚50μm)構(gòu)成的中間層11上涂敷環(huán)氧樹脂構(gòu)成的第2粘合材料4b，再在該涂敷面上涂敷0.2mm厚的硅酮橡膠單體。然后，為了達到該單體慢慢脫泡的目的，漸漸地加熱，最后在100℃、4小時的條件下進行粘附材料層3的硅酮橡膠的聚合和第2粘合材料4b的硬化。
另一方面在厚1.6mm的鈉玻璃組成的支承體2上涂敷環(huán)氧樹脂構(gòu)成的第1粘合材料4a，并將帶有上述已聚合粘附材料層3的中間層11粘合到上述涂敷面上，制成夾具1。
制成的夾具1在粘附材料3與支承體之間無氣泡混入，上述剝離測試結(jié)果是，常溫約為350g，100℃-3小時加熱后為300g～500g，均呈現(xiàn)良好的剝離粘附特性。
用滾筒將300mm×324mm×0.4mm厚的環(huán)氧樹脂構(gòu)成的底板5貼附在上述夾具1上，與實施例相同制作液晶顯示元件。此中間的定向?qū)有纬晒ば?定向?qū)佑⊥旰?，?00℃-2小時進行焙燒)之后，觀察底板5的結(jié)果與上文所述相同，底板5與粘附材料3的界面上無藥注和水浸入，而且可確認也沒有明顯的氣泡產(chǎn)生。在摩擦處理工序之后將夾具1剝離。這時，剝離粘附力換算成每20mm寬度的值為350g～500g，剝離特性良好。剝離后的夾具再使用時未發(fā)現(xiàn)性能下降。
實施例7與上述實施例1相同，本實施例的夾具1做成在厚2mm的環(huán)氧樹脂板構(gòu)成的支承體2上，用硅酮類樹脂制成的粘合材料4粘合片狀硅酮橡膠(厚0.2mm，硬度為40°)構(gòu)成的粘附材料層3。與實施例1的不同之處在于粘附材料層3對于波長365nm的UV光，透過率為50％。它可利用在調(diào)制硅酮橡膠原料時，去除諸如使該原料呈白色時所添加的ZnO等顏料制得。
上述夾具1中，粘附材料層3與支承體2之間未混入氣泡，上述剝離測試的結(jié)果是常溫時約為300g，100℃-3小時加熱后為300g～500g，均呈現(xiàn)良好的剝離粘附特性。
用滾筒將300mm×324mm×0.4mm的丙烯酸類樹脂制成的底板5貼附在上述夾具1上。然后，與實施例1相同，通過各工序，進行密封材料印刷、單元間隔控制墊珠分布、上下底板對貼和密封材料硬化。這時，上述密封材料8采用UV(紫外線)硬化型密封劑(日本國共立化學產(chǎn)業(yè)株式會社制)，上下底板5.5對貼時從夾具1.1兩側(cè)照射UV光(高壓水銀燈，356nm，2J)。這以前工序間的輸送是以底板5貼附在夾具1上的狀態(tài)進行的。
然后，觀察帶夾具1的對貼底板5.5，證實無異常后，剝掉夾具1。這時的剝離粘附力換算成每20mm寬度的值為300g～500g，剝離特性良好。以后用底板5.5如上文所述那樣制作液晶顯示元件。剝離的夾具1則經(jīng)清洗工序后再次使用，反復使用三次后也未發(fā)現(xiàn)性能下降。
實施例8與實施例1相同，本實施例的夾具1在厚2mm的環(huán)氧樹脂板制成的支承體2上，利用硅酮類樹脂制的粘合材料4粘合片狀硅酮橡膠(厚0.2mm，硬度為40°)構(gòu)成的粘附材料層3進行制作，又在底板5表面所設電極圖案的對準記號相對應的位置開直徑3mm的對準孔(透光部)12，如圖5所示。
上述夾具1在粘附材料層3與支承體2之間無氣泡混入，上述剝離測試的結(jié)果是常溫時為約300g，100℃-3小時加熱后為300g～400g，均呈現(xiàn)良好的剝離粘附特性。
用滾筒將300mm×324mm×0.1mm的PES(聚醚砜)膜片作為底板5貼附在上述夾具1上。然后，與實施例1相同，通過各種工序，進行上下底板5.5對貼、密封材料硬化。這以前工序間的輸送是以塑料底板5貼在夾具1上的狀態(tài)進行的。
上述制造工序中，在上述透明導電膜微細加工結(jié)束之后的工序，在夾具1上與對準記號相對應部位開對準孔12，因而沒有夾具1粘附材料層3表面反射光引起的干涉，容易進行記號圖像識別，取得良好的識別率。
上述工序結(jié)束，證實未發(fā)生夾具1上開對準孔12所帶來的異?，F(xiàn)象后，剝掉夾具1。從底板5剝離夾具1時的剝離粘附力換算成每20mm寬度的值為200g～400g，與實施例1相同，夾具剝離特性和重復使用性均良好。
實施例9采用實施例1的夾具1，用滾筒將300mm×324mm×0.55mm厚的鈉玻璃板作為液晶顯示元件的底板5貼附在該夾具上，再通過與上文所述相同的液晶顯示元件各工序制作該元件。
這樣，在上下底板5.5對貼后進行觀察的結(jié)果是玻璃制底板5與夾具1的粘附材料層3之間無藥液和水浸入，而且可確認也沒有明顯的氣泡產(chǎn)生。
剝掉對貼薄型玻璃底板5.5兩側(cè)的夾具1時，其剝離粘附力換算成每20mm寬度的值為300g～450g，剝離特性良好。已剝離夾具1的對貼薄型玻璃底板5.5因相互對貼而整體剛性增強，后面的截斷、液晶注入、偏光板張貼等工序中，能以從夾具1上取下的單體形式進行輸送，制作液晶顯示元件。剝離的夾具1與上文所述相同，再次從貼附底板5工序開始，重復使用，而且未發(fā)現(xiàn)其性能下降。
實施例10采用實施例1的夾具1，由滾筒將300mm×324mm×0.4mm厚的丙烯酸類樹脂制成的底板5貼在該夾具上，與實施例1相同通過各工序，但定向?qū)有纬蓷l件定為印刷定向?qū)雍笠?40℃、2.0×105Pa(2kgf/cm2)、1.5小時這種設定條件，一邊利用空氣加壓，一邊進行焙燒。
觀察上述定向?qū)有纬晒ば蚝笏玫膸A具1的底板5，其結(jié)果是未發(fā)現(xiàn)特殊異常。接著以底板5貼在夾具1上的狀態(tài)進行輸送，直到摩擦處理工序以后的上下底板對貼工序、密封材料硬化工序。然后，觀察對貼底板5.5，結(jié)果證實無異常狀況便剝掉夾具1。其剝離粘附力換算成每20mm寬度的值為350g～600g，剝離特性良好。此后的剝離粘附特性和夾具重復使用性也都與實施例1一樣良好。
比較例2除定向?qū)有纬晒ば虻臈l件定為140℃、1個大氣壓、1.5小時外，其他在與實施例1相同的條件下經(jīng)過各種工序，并觀察定向?qū)有纬晒ば蚪Y(jié)束后所得的帶夾具1的底板5。其結(jié)果雖然底板5與粘附材料層3的界面無藥液和水浸入，但證實有多個直徑2cm的氣泡，因而在此階段停止向其他工序輸送底板。
比較例3如圖6所示，將日東電工株式會實所制雙面膠帶(No.5915)作為粘附材料層23粘合在厚1.6mm的鈉玻璃構(gòu)成的支承體22上，制成比較用的夾具21。該比較用夾具在支承體22與粘附材料層23之間無氣泡混入，外觀良好。但常溫時對丙烯酸類塑料底板呈現(xiàn)剝離困難的粘附力(每20mm的寬度上約為900g)。觀察塑料底板剝離部分的粘附材料層23的表面狀態(tài)，結(jié)果還發(fā)現(xiàn)粘附力大幅度變化，因而斷定夾具在再次使用性方面也不行。另外，100℃-3小時加熱后，剝離粘附力更加大，不能剝離。
比較例4將比較例3的粘附材料層23由日東電工株式會社制的雙面膠帶(No.5915)改為住友3M株式會社制的雙面膠帶(#4594HL)，制成比較用的夾具21。該夾具在支承體22與粘附材料層23之間無氣泡混入，常溫時對丙烯酸類塑料底板呈現(xiàn)較弱的粘附力(每20mm寬度上約30g)，有良好的剝離操作性。然而，100℃、3小時加熱處理時，塑料底板與粘附材料層23的界面上出現(xiàn)氣泡。
歸納上述實施例1～10、比較例1～4的結(jié)果列于表1。
〔表1〕
*)粘附力用20mm寬的丙烯酸類樹脂底板測定*)符號說明○好；×粘附力大；△粘附力小、熱處理工序中不能用；*粘附界面有氣泡；-不評價下面將定向?qū)有纬晒ば蛟偌毞殖捎∷?、工藝性干燥和正式焙燒等工序說明上述定向?qū)有纬晒ば驃A具使用狀態(tài)的評價結(jié)果。
例如，如表2所示，上述實施例1在環(huán)氧樹脂板構(gòu)成的支承體2上設置硅酮橡膠制成的粘附材料層3，制成夾具1。將丙烯酸類樹脂制成的底板5貼在此夾具1上，沿液晶顯示元件生產(chǎn)線進行輸送，在這期間的透明導電膜形成工序(ITO工序)之后，如上文所述，首先用膠版印刷機進行定向?qū)佑∷?，然后立即?00℃-3分鐘的條件用熱板進行工藝性干燥，再進行100℃-3小時的正式焙燒，從而在底板上形成定向?qū)印?br> 在這期間的定向?qū)佑∷⒅校话l(fā)生塑料底板5卷入印刷滾筒、印刷臺板吸附孔槽等引起的印刷不均勻等不良現(xiàn)象，確保印刷良好。工藝性干燥和正式焙燒時，也未發(fā)生加熱帶來的塑料底板5的拱起和變形，塑料底板5剝離夾具1或該底板5與粘附材料層3的界面有氣泡等不良現(xiàn)象，能確保工藝性干燥和正式焙燒處于良好狀態(tài)。
〔表2〕
*)符號說明○良好；×不良；-不評價上述實施例2在鈉玻璃構(gòu)成的支承體2上設置丁基橡膠制成的粘附材料層，制成夾具1后，將300mm×324mm×0.1mm的PES(聚醚砜)膜片構(gòu)成的底板5貼在此夾具1上，沿液晶顯示元件生產(chǎn)線輸送。實施例9則在與實施例1相同的夾具1上貼鈉玻璃制成的底板5，沿液晶顯示元件生產(chǎn)流水線輸送。
在上述實施例2和9的情況下，與實施例1相同，定向?qū)佑∷?、工藝性干燥和正式焙燒等工序中，都未發(fā)生加熱時底板拱起和變形，塑料底板從夾具上剝離，或該底板與夾具粘附材料的界面有氣泡等不良現(xiàn)象，能夠確保狀態(tài)良好。
再者，表2所示比較例2除定向?qū)诱奖簾龡l件為140℃-1.5小時以外，其他均以與實施例1相同的條件向各工序輸送。
這種情況下，定向?qū)佑∷r不發(fā)生塑料底板卷入印刷滾筒、印刷臺板吸附孔槽造成的印刷不均勻等不良現(xiàn)象，能確保印刷良好。工藝性干燥時，也不發(fā)生加熱帶來的塑料底板拱起和變形等不良現(xiàn)象，能確保良好的工藝性干燥。然而，正式焙燒結(jié)束后觀察帶夾具的塑料底板，結(jié)果證實塑料底板與夾具粘附材料的界面雖無藥液和水浸入，但存在多個直徑2cm左右的氣泡。
因此，正式焙燒溫度高時，如上述實施例那樣一邊加壓，一邊進行焙燒是有效的。至于用更高的溫度加熱時的正確加壓條件，下面列舉實施例11和比較例5進行說明。
實施例11采用實施例1的夾具1，與實施例1相同由滾筒將300mm×324mm×0.4mm厚的丙烯酸類樹脂板作為液晶顯示元件底板5貼在該夾具上，僅定向?qū)有纬晒ば蛑械恼奖簾龡l件改變，制造液晶顯示元件。
這時定向?qū)有纬晒ば蛑械恼奖簾龡l件示于圖7。如圖7所示，首先在室溫狀態(tài)下使壓力升至5.0×105Pa(5kgf/cm2)，然后開始加熱。接著進行150℃-1.5小時的正式焙燒，并在此加熱處理結(jié)束時，保持上述加壓狀態(tài)不變，使溫度降至室溫，隨后再將壓力狀態(tài)恢復為大氣壓。
在這樣的壓力和溫度條件下，利用程序控制進正式焙燒，因而正式焙燒中不發(fā)生加熱和冷卻時的底板拱起和變形、塑料底板剝離夾具或該底板與夾具粘附材料界面有氣泡等不良現(xiàn)象，能確保良好狀態(tài)。
然后，如上文所述，輸送到摩擦處理、上下底板對貼、密封材料硬化等工序，進行液晶顯示元件制造。觀察這時帶夾具的對貼塑料底板，證實無特殊異常現(xiàn)象后，剝掉夾具。
從底板剝離夾具時的剝離粘附力換算成每20mm寬度的值為350g～600g，剝離特性良好。而且以后的夾具剝離特性和夾具重復使用性能均同實施例1那樣良好。
比較例5相對于實施例11，只改變定向?qū)诱奖簾龡l件，來進行液晶顯示元件制作。這時的條件示于圖8。如圖8所示，在壓力升高后開始加熱，以5.0×105Pa的加壓狀態(tài)進行150℃-1.5小時的正式焙燒。這些均與實施例11相同。其后采用的條件是使壓力狀態(tài)恢復至大氣壓和溫度降至室溫同時開始。
觀察上述定向?qū)有纬晒ば蚪Y(jié)束后帶夾具的塑料底板，發(fā)現(xiàn)雖然該底板與夾具粘附材料的界面無藥液和水浸入，但存在多個直徑2cm左右的氣泡，因而在此階段停止輸送底板。
下面用比較例6說明定向?qū)有纬晒ば蚯皩⒌装鍙膴A具上取下在底板單體上進行定向膜形成的結(jié)果。
比較例6利用滾筒將300mm×324mm×0.1mm的PES(聚醚砜)膜片作為塑料底板貼在實施例1的夾具1上。
接著，與實施例1相同，將已貼附著塑料底板的夾具清洗后，置于磁控管濺鍍裝置內(nèi)，以80℃的溫度在塑料底板上形成70nm(700A)的ITO透明導電膜。然后，以塑料底板貼在夾具上的狀態(tài)進行輸送，直到透明導電膜微細加工(保護劑涂敷、曝光、顯像、蝕刻、防護劑清除)工序完畢。
觀察此階段帶夾具塑料底板的結(jié)果，證實該底板與夾具粘附材料的界面無藥液和水浸入，沒有明顯的氣泡。于是，在此階段從夾具剝離底板。
然后，將剝離夾具的塑料底板單體人工置于印制定向?qū)佑玫哪z版印刷機的臺板上，使之吸附固定，再進行印刷。這時，發(fā)生塑料底板局部卷入印刷滾筒的不良現(xiàn)象和印刷機臺板吸附槽形狀的印刷不均勻。又在印刷后的藝性干燥時，熱板上發(fā)生塑料底板拱起，局部干燥不勻，因而在此階段停止輸送底板。
綜上所述，上述各實施例中，使用在具有一定剛性的支承體2上形成可反復使用的粘附材料層3制成的夾具1，制造液晶顯示元件。這時，將薄型玻璃或塑料等構(gòu)成的底板5貼在夾具1上，以底板5貼在夾具1上的狀態(tài)沿各工序輸送，然后將底板5從夾具1上剝離。剝掉底板5的夾具1回到貼新底板5的工序，重復使用。
因此，能穩(wěn)定地制作以往不易制造的采用薄型玻璃底板、塑料底板的液晶顯示元件。而且，上述夾具1在支承體2上形成剝離粘附力即便反復使用也能大致保持不變的粘附材料層3，因而夾具1可重復使用，因此，與以往用完就丟棄的夾具相比，能大幅度減少液晶顯示元件的制造費用。
還可共用現(xiàn)有的玻璃的液晶顯示元件制造設備，能大幅度減少有關(guān)新設備開發(fā)或改造的投資。
向支承體2上形成粘附材料層3時，如實施例4和比較例1所示，最好在100℃以下溫度進行。即粘附材料層3形成時的溫度越低，相對于常溫為中心的溫度變化，粘附材料層3與支承體2熱膨脹系數(shù)之差引起的殘留應力和壓力越小。因此，在常溫下將薄型玻璃底板和塑料底板貼在夾具1的粘附材料層3上時，即使以后溫度變化，也能抑制底板5與粘附材料層3和支承體2的熱膨脹系數(shù)之差引起的應力和壓力，造成底板5從粘附材料層3剝離。
于是，薄型玻璃底板和塑料底板貼在夾具上輸送的工序中，諸如定向?qū)颖簾郎囟鹊瓤衫玫淖罡邷囟饶軌蚨ǖ幂^高。其結(jié)果是可獲得定向特性優(yōu)異的定向?qū)?，提高液晶顯示元件的性能和可靠性。
如實施例5和6所示，在支承體2與粘附材料層3之間設置中間層11而構(gòu)成的夾具1中，即使支承體2與粘附材料層3有較大熱膨脹系數(shù)差，將中間層11的熱膨脹系數(shù)定于支承體2和粘附材料層3的膨脹系數(shù)之間，也能借助中間層11緩解溫度變化所帶來的熱膨脹系數(shù)差造成的應力和壓力。
如實施例6所說明那樣，中間層11上先形成粘附材料層3，再將帶粘附材料層3的中間層11粘接在支承體2上時，可使粘附材料層3形成得較薄。因此，可進一步抑制加熱工序中粘附材料層3的膨脹壓力，提高底板5與夾具1的粘附力。
上述先在中間層11形成粘附材料層3后形成一體的方法與將另行作好的薄粘附材料層直接粘合在支承體上的夾具制造方法相比，可改善向支承體2上粘合的操作性，減少夾具制造費用。
如實施例7所示，制作夾具1使波長365nm的UV光至少30％以上(最好50％以上)能透過時，可通過夾具1將UV光照射到薄型波璃底板和塑料底板5，因而液晶顯示元件制造工序(例如上下底板對貼工序)中可用UV反應型密封材料。UV反應型密封材料在其硬化時不需要高的溫度條件，可以在接近常溫的溫度下進行硬化。因而與以往的熱硬化型密封材料相比，密封劑硬化后溫度降至常溫時，薄型玻璃和塑料底板5的收縮壓力作用于密封材料的應力大為減小，因而液晶顯示元件的性能和可靠性提高。
波長365nm的UV光透過率小于30％時，使密封材料硬化達到所需光照量的時間加長，生產(chǎn)效率變差。而且還會帶來粘附材料層3劣化造成夾具壽命縮短，溫度升高造成出現(xiàn)變形壓力，UV照射裝置大型化造成成本提高等問題。
如實施例8所示，在底板5所形成電極圖案的對準記號部分相對應部位開對準孔12，因而能抑制來自夾具1表面的反射干涉光，在夾具1上貼底板5的狀態(tài)下，借助對準記號，采用圖像識別技術(shù)高精度自動對位。這樣做成對電極圖案對準記號所對應的部分，使可見光透過率局部提高，因而可提高后面制造工序中的定位精度，制作顯示品質(zhì)優(yōu)良的液晶顯示元件。
如各實施例和比較例6所表明的那樣，在印刷必須均勻的絕緣層、定向?qū)幽z版印刷工序中，使夾具支承體具有一定程度的高剛性，以抑制尤其是塑料底板容易發(fā)生的卷入印刷滾筒和沿印刷臺板吸附孔、槽的變形，確保印刷良好。還在定向?qū)佑∷⒑蠊に囆愿稍飼r，防止諸如熱板上的熱所引起的塑料底板拱起，確保工藝性干燥良好。
如實施例10、比較例2和實施例11所示，對于需要較高處理溫度的絕緣層和定向?qū)颖簾ば?，由于底?與夾具1的粘附材料層3和支承體2之間熱膨脹收縮系數(shù)差、局部溫度不均勻所帶來的應力、壓力，有時會在底板5與夾具1之間產(chǎn)生氣泡，因此底板5容易從夾具1上剝離。這時，借助加熱的同時再加壓，可抑制氣泡的發(fā)生，防止底板5剝離夾具1。
尤其如實施例U和比較例5所示，在底板和夾具溫度升高到焙燒環(huán)境溫度，再下降至常溫的過程中，使焙燒爐加熱～冷卻程序與加壓～減壓程序在一定條件下同步，能較可靠地防止有時在底板與夾具之間產(chǎn)生氣泡，而導致從夾具上剝離的壓力和應力。
因此，可以使諸如定向?qū)有纬蓵r等的處理溫度定得較高，來增強液晶分子的定向性能、定向均勻性和可靠性，進而提高液晶顯示元件的性能和可造性。上述實施例中省略了絕緣層形成過程，但其形成過程與定向?qū)有纬蛇^程相同，可通過膠版印刷、工藝性干燥、正式焙燒處理來形成。絕緣層形成于定向?qū)优c透明電極之間，但可利用高處理溫度進行正式焙燒，增加絕緣性，以提高液晶顯示元件性能和可靠性。
上述各實施例并不限定本發(fā)明，可在本發(fā)明的范圍內(nèi)作種種變化。上述實施例中，對利用夾具1在工序間輸送的底板5，各實施例中列舉了薄玻璃板、丙烯酸類樹脂板、PES(聚醚砜)膜片、環(huán)氧樹脂板，但也可用其他塑料底板，如聚砜、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚酯、馬來酰亞胺樹脂等制成的底板。支承體2、粘附材料層3、中間層11間的粘合材料可采用粘合型、常溫硬化型和觸水反應型等各種材料制成的那些粘合材料。
如上所述，本發(fā)明的底板輸送夾具是一種在其表面支承液顯示元件底板沿各工序輸送的夾具，做成在支承體上設置一即便反復使用，用以保持貼附該表面的底板的粘附力也大致不變的粘附材料層。
因此，先在夾具上貼底板，再送經(jīng)液晶顯示元件各制作工序，對于貼在夾具上的底板依次進行形成液晶顯示元件的處理，到規(guī)定工序完畢后，可將底板從夾具上剝離，然后將上述夾具再次用于貼新底板，來制作液晶顯示元件。
因此，通過將薄型玻璃底板和塑料底板貼在上述夾具上沿液晶顯示元件制造工序輸送，即便采用單體無剛性和強度的薄玻璃和塑料作為底板材料，也能共用以往玻璃的液晶顯示元件生產(chǎn)線來制造液晶顯示元件。而且上述夾具可以反復使用，與用過即丟棄的夾具相比，可大幅度減少液晶顯示元件制造費用。
做成上述支承體與粘附材料層之間設置中間層時，將中間層熱膨脹系數(shù)定于粘附材料層和支承體的熱膨脹系數(shù)之間，可由中間層緩解隨溫度變化熱膨脹系數(shù)差造成的應力和壓力。先在中間層形成粘附材料層，然后進行夾具的制造，將帶粘附材料層的中間層粘合在支承體上，這樣可使粘附材料層形成得更薄。因此，可抑制加熱工序中粘附材料層的膨脹壓力，提高底板與夾具的粘附力。中間層上先形成粘附材料層，還可改善向支承體上粘合的操作性，降低夾具制作費用。
做成在上述底板所形成電極圖案的對準記號的對應位置設置提高可見光透過率用的透光部時，就能以底板貼附于的狀態(tài)，利用液晶顯示元件制造的各個工序中的對準記號進行對位。因此，可實施采用圖像自動識別技術(shù)的高精度對位，從而能夠制造顯示品質(zhì)優(yōu)良的液晶顯示元件。
本發(fā)明的液晶顯示元件制造方法，在底板貼在夾具上的狀態(tài)下，進行絕緣層和定向?qū)拥鹊挠∷ⅰ?br> 因此，能抑制尤其是塑料底板時容易發(fā)生的沿印刷臺板吸附孔、槽的變形，確保印刷良好，而且能防止印刷時塑料底板卷入印刷滾筒。
上述制造方法而且以底板貼在夾具上的狀態(tài)進行絕緣層和定向?qū)有纬蓵r的焙燒工序，這時可防止絕緣層和定向?qū)有纬晒ば蛑性诠に囆愿稍锖洼^低溫正式焙燒的場合，因諸如熱板上的熱造成的塑料底板拱起和底板變形等問題，從而確保良好的熱處理。
上述制造方法，在液晶顯示元件制造工序中，對于貼在底板輸送夾具上的底板一邊加壓一邊進行熱處理時，例如，以較高溫度進行上述絕緣層和定向?qū)拥谋簾龝r，可確實防止因升降溫過程中薄玻璃底板、塑料底板和夾具的熱膨脹收縮系數(shù)差以及局部溫度不均勻所引起的應力、壓力在底板與夾具之間產(chǎn)生氣泡。因此，例如可使處理溫度取得更高，以獲得絕緣特性優(yōu)異的絕緣層和定向特性優(yōu)異的定向?qū)拥?，因而可使液晶顯示元件的性能和可靠性得到提高。
本發(fā)明詳細說明中所提及的具體實施方式

或者實施例畢竟是說明本發(fā)明技術(shù)內(nèi)容的，不應被狹義地視作僅僅限定這些具體例，在本發(fā)明的實質(zhì)和下文記載的權(quán)利要求范圍內(nèi)是可以進行各種修改再實施的。
權(quán)利要求
1.一種支承液晶顯示元件底板在工序間輸送的底板輸送夾具，其特征在于該夾具包含支承體；設于上述支承體上，且用來保持表面所貼上述底板的粘附力即使反復使用也大致維持不變的粘附材料層。
2.如權(quán)利要求1所述的底板輸送夾具，其特征在于上述粘附材料層由表面平滑的硅酮橡膠構(gòu)成。
3.如權(quán)利要求2所述的底板輸送夾具，其特征在于上述支承體由厚2mm的環(huán)氧樹脂板組成；上述粘附材料層厚度為0.2mm。
4.如權(quán)利要求1所述的底板輸送夾具，其特征在于該夾具還包含將上述粘附材料層粘合在上述支承體表面上的粘合層。
5.如權(quán)利要求4所述的底板輸送夾具，其特征在于上述粘合層由硅酮類樹脂構(gòu)成。
6.一種支承液晶顯示元件底板在各工序間輸送的底板輸送夾具的制造方法，其特征在于該方法包括以下步驟準備支承體；在常溫到100℃以下的溫度范圍內(nèi)，形成設于上述支承體上，且用來保持表面所貼上述底板的粘附力即使反復使用也大致維持不變的粘附材料層。
7.如權(quán)利要求1所述的底板輸送夾具，其特征在于上述粘附材料層由表面平滑的丁基橡膠構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求7所述的底板輸送夾具，其特征在于上述支承體由厚1.6mm的鈉玻璃組成；上述粘附材料層厚度為0.5mm。
9.如權(quán)利要求1所述的底板輸送夾具，其特征在于該夾具還包含將上述粘附材料層粘合在上述支承體表面上用的粘合層，該粘合層為一面是丙烯酸類，一面是硅酮類的雙面膠帶。
10.如權(quán)利要求1所述的底板輸送夾具，其特征在于上述粘附材料層由表面平滑的硅酮橡膠聚合體構(gòu)成。
11.一種支承液晶顯示元件底板在各工序間輸送的底板輸送夾具的制造方法，其特征在于該方法包括下列步驟準備支承體；支承體上涂敷環(huán)氧樹脂，形成粘合層；粘合層上涂敷硅酮橡膠單體；為達到從硅酮單體緩慢脫泡的目的，漸漸加熱，最后以100℃、4小時的條件進行硅酮橡膠所構(gòu)成的粘附材料層的聚合和粘合層的硬化。
12.一種支承液晶顯示元件底板在各工序間輸送的底板輸送夾具的制造方法，其特征在于該方法包括下列步驟準備支承體；支承體上涂敷環(huán)氧樹脂，形成粘合層；粘合層上涂敷硅酮橡膠單體，為達到從硅酮單體緩慢脫泡的目的，漸漸加熱，最后以170℃、2小時的條件進行硅酮橡膠所構(gòu)成的粘附材料層的聚合和粘合層的硬化。
13.如權(quán)利要求1所述的底板輸送夾具，其特征在于該夾具還包含設于上述支承體與上述粘附材料層之間的中間層。
14.如權(quán)利要求13所述的底板輸送夾具，其特征在于該夾具還包含將上述中間層貼在上述支承體表面上的第1粘合層；將上述中間層貼在上述粘附材料層表面上的第2粘合層。
15.如權(quán)利要求14所述的底板輸送夾具，其特征在于上述中間層由PET膜構(gòu)成；上述第1粘合層由環(huán)氧樹脂構(gòu)成；上述第2粘合層由硅酮類樹脂構(gòu)成。
16.如權(quán)利要求14所述的底板輸送夾具，其特征在于上述中間層由PET膜構(gòu)成；上述第1粘合層由環(huán)氧樹脂構(gòu)成；上述第2粘合層由環(huán)氧樹脂構(gòu)成；上述粘附材料層由硅酮單體聚合而成。
17.一種支承液晶顯示元件底板在各工序間輸送的底板輸送夾具的制造方法，其特征在于該方法包括下列步驟(a)準備支承體；(b)準備中間層；(c)在上述中間層涂敷用來貼在粘附材料層表面上的第2粘合材料；(d)在第2粘合材料涂敷面上形成用來保持表面所貼上述底板的粘附力即使反復使用也大致維持不變的粘附材料層；(e)加熱，對上述粘附材料層進行緩慢脫泡，再進行該粘附材料層的聚合和第2粘合材料的硬化；(f)在上述支承體上涂敷將上述中間層貼在上述支承體上用的第1粘合材料；(g)將上述已聚合的粘附材料層粘合在上述第1粘合材料涂敷面上。
18.如權(quán)利要求17所述的制造方法，其特征在于上述步驟(b)的中間層為PET膜；上述步驟(c)的第2粘合材料由環(huán)氧樹脂組成；上述步驟(d)的粘附材料層由硅酮橡膠單體組成；上述步驟(e)中，漸漸加熱，最后以100℃、4小時的條件進行聚合和硬化；上述步驟(f)的第1粘合材料由環(huán)氧樹脂組成。
19.如權(quán)利要求1所述的底板輸送夾具，其特征在于上述粘附材料層中，波長365nm的UV光透過率至少在30％以上。
20.如權(quán)利要求1所述的底板輸送夾具，其特征在于上述粘附材料層中，365nm的UV光的透過率至少在50％以上。
21.如權(quán)利要求1所述的底板輸送夾具，其特征在于該夾具還包含設于上述底板所形成電極圖案對準記號相對應位置，以提高可見光透過率的透光部。
22.如權(quán)利要求13所述的底板輸送夾具，其特征在于該夾具還包含設于上述底板所形成電極圖案對準記號相對應位置，以提高可見光透過率的透光部。
23.一種液晶顯示元件制造方法，其特征在于該制造方法的包括以下步驟將底板貼在板輸送用夾具上，該夾具包含支承體和設于該支承體上，用于保持表面所貼上述底板的粘附力即使反復使用也大致維持不變的粘附材料層；接下來輸送上述底板輸送夾具經(jīng)過液晶顯示元件制造工序，對貼在底板輸送夾具上的底板依次進行液晶顯示元件形成處理；規(guī)定處理步驟完畢后，將底板從底板輸送夾具上剝離，隨后再貼新底板，從而再次使用上述底板輸送夾具制作液晶顯示元件。
24.一種液晶顯示元件制造方法，其特征在于該方法的包括以下步驟將底板貼在底板輸送用夾具上，該夾具包含支承體，設于該支承體上、且用于保持表面所貼上述底板的粘附力即使反復使用也大致維持不變的粘附材料層以及設于支承體和粘附材料層之間的中間層；接下來輸送上述底板輸送夾具經(jīng)過液晶顯示元件制造工序，對貼在該底板輸送夾具上的底板依次進行液晶顯示元件形成處理；規(guī)定處理步驟完畢后，將底板從底板輸送夾具上剝離，隨后再貼新底板；從而再次使用上述底板輸送夾具制作液晶顯示元件。
25.一種液晶顯示元件制造方法，其特征在于該方法包括下列步驟將底板貼在底板輸送用夾具上，該夾具包含支承體，設于該支承體上、且用于保持表面所貼上述底板的粘附力即使反復使用也大致維持不變的粘附材料層，以及設于上述底板所形成電極圖案對準記號相對應位置、以提高可見光透率的透光部；接下來輸送上述底板輸送夾具經(jīng)過液晶顯示元件制造工序，對貼在該底板輸送夾具上的底板依次進行液晶顯示元件形成處理；規(guī)定處理步驟完畢后，將底板從底板輸送夾具上剝離，隨后再貼新底新板；從而再次使用上述底板輸送夾具制作液晶顯示元件。
26.如權(quán)利要求23所述的制造方法，其特征在于該方法還包括印刷絕緣層和定向?qū)拥牟襟E，該步驟在底板貼在上述底板輸送夾具上的狀態(tài)下進行。
27.如權(quán)利要求26所述的制造方法，其特征在于該方法還包括絕緣層和定向?qū)有纬蓵r進行的焙燒步驟，該步驟在底板貼在上述底板輸送夾具上的狀態(tài)下進行。
28.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在于該方法還包括印刷絕緣層和定向?qū)拥牟襟E，該步驟在底板貼在上述底板輸送夾具上的狀態(tài)下進行。
29.如權(quán)利要求28所述的制造方法，其特征在于該方法還包括絕緣層和定向?qū)有纬蓵r進行的焙燒步驟，該步驟在底板貼在上述底板輸送夾具上的狀態(tài)下進行。
30.如權(quán)利要求25所述的制造方法，其特征在于該方法還包括印刷絕緣層和定向?qū)拥牟襟E，該步驟在底板貼在上述底板輸送夾具上的狀態(tài)下進行。
31.如權(quán)利要求30所述的制造方法，其特征在于該方法還包括絕緣層和定向?qū)有纬蓵r進行的焙燒步驟，該步驟在底板貼在上述底板輸送夾具的狀態(tài)下進行。
32.如權(quán)利要求23所述的制造方法，其特征在于液晶顯示元件的制造步驟還包括一邊加壓，一邊對底板輸送夾具所貼底板進行熱處理的步驟。
33.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在于液晶顯示元件的制造步驟還包括一邊加壓，一邊對底板輸送夾具所貼底板進行熱處理的步驟。
34.如權(quán)利要求25所述的制造方法，其特征在于液晶顯示元件的制造步驟還包括一邊加壓，一邊對底板輸送夾具所貼底板進行熱處理的步驟。
35.如權(quán)利要求32所述的制造方法，其特征在于上述加壓采用140℃、2.0×155Pa、1.5小時、空氣的條件進行。
36.如權(quán)利要求33所述的制造方法，其特征在于上述加壓采用140℃、2.0×10～5Pa、1.5小時、空氣的條件進行。
37.如權(quán)利要求34所述的制造方法，其特征在于上述加壓采用140℃、2.0×105Pa、1.5小時、空氣的條件進行。
38.如權(quán)利要求32所述的制造方法，其特征在于上述加壓采用150℃、2.0×105Pa、1.5小時、空氣的條件進行。
39.如權(quán)利要求33的所述的制造方法，其特征在于上述加壓采用150℃、5.0×105Pa、1.5小時、空氣的條件進行。
40.如權(quán)利要求34所述的制造方法，其特征在于上述加壓采用150℃、5.0×105Pa、1.5小時、空氣的條件進行。
全文摘要
底板輸送夾具是表面支承液晶顯示元件底板在各工序間輸送的夾具，其支承體上設置粘附材料層，可維持用于保持表面所貼底板的粘附力即使反復使用也大致不變。利用將薄玻璃和塑料等制成的底板貼在夾具上，沿液晶顯示元件制造工序輸送，即便底板單體采用無強度和剛性的薄玻璃和塑料等材料，也能沿用以往玻璃的液晶顯示元件生產(chǎn)線制造該元件。上述夾具還可反復使用，與用完即丟棄的夾具相比，可大幅度減少液晶顯示元件制造成本。
文檔編號B32B27/08GK1118075SQ951006
公開日1996年3月6日 申請日期1995年3月11日 優(yōu)先權(quán)日1994年7月18日
發(fā)明者巖本誠 申請人:夏普株式會社