專(zhuān)利名稱(chēng)：微滴沉積裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種按指令噴墨的噴墨打印機(jī)的微滴沉積裝置。
背景技術(shù)：
本發(fā)明特別地與打印機(jī)或其它微滴沉積裝置相關(guān)，其中由電信號(hào)產(chǎn)生聲壓波，以從腔中噴射流體(例如墨水)的微滴。裝置可以具有這種單一的微滴噴射腔，但更典型地具有帶有這種腔陣列的打印頭，每一個(gè)腔分別具有噴嘴，打印頭接收帶有數(shù)據(jù)的激發(fā)電信號(hào)，該信號(hào)按指令提供從腔中噴射微滴所需的能量。每一個(gè)腔通過(guò)由激發(fā)電信號(hào)導(dǎo)致其偏離的一壓電元件進(jìn)行限制，從而產(chǎn)生噴射微滴的聲學(xué)壓力波。參考已經(jīng)公開(kāi)的EP0277703、US4887100和WO91/17051的說(shuō)明書(shū)，將進(jìn)一步了解典型結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)。
這些說(shuō)明書(shū)所描述這樣的配置，即，在壓電材料是“人字形”結(jié)構(gòu)中，其中腔的縱向側(cè)由沿腔的縱向方向延伸的具有相反極性區(qū)域的壓電材料進(jìn)行限制，從而電信號(hào)的施加使得材料的兩部分區(qū)域沿相同的方向變形，并且當(dāng)從截面看時(shí)形成人字形的形狀。在EP0277703“端部噴射器”的打印頭文中描述了這樣的結(jié)構(gòu)，其中噴嘴設(shè)置在細(xì)長(zhǎng)的腔的端部，而壓電材料是沿腔的側(cè)部設(shè)置的。此外，打印頭可以是如WO91/17051中所描述的“側(cè)部噴射器”結(jié)構(gòu)的，其中所替代的是噴嘴設(shè)置在腔的一個(gè)沒(méi)有由壓電材料限制的長(zhǎng)邊側(cè)。這兩種設(shè)計(jì)都顯著第減小了用于給定的微滴噴射性能的驅(qū)動(dòng)電壓。
在打印期間，熱是由例如向壓電材料提供激發(fā)電信號(hào)的驅(qū)動(dòng)電路產(chǎn)生的。這些熱量散發(fā)到噴射腔中并使其內(nèi)部的噴射流體升溫。這降低噴射流體的粘性。噴射流體粘性的這種變化可以改變微滴噴射的速度，而導(dǎo)致在打印圖形上發(fā)生點(diǎn)位置的誤差。此外，如WO97/35167所述，由壓電材料的激發(fā)而產(chǎn)生的磁滯損耗可以導(dǎo)致噴射腔中墨水溫度的增加。在極端的情況，這種溫度的增加僅局部地作用于激活通道和其相鄰的通道。
我們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，在打印期間希望監(jiān)測(cè)微滴噴射流體的溫度，并根據(jù)監(jiān)測(cè)溫度調(diào)節(jié)激發(fā)信號(hào)的大小。在打印頭的外表面上接近壓電元件的位置安裝熱變電阻是公知技術(shù)，熱變電阻電連接于驅(qū)動(dòng)電路。在熱變電阻位置的任何溫度增加都導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)電路電阻值的減小，其用于減小施加到壓電元件上的激發(fā)電信號(hào)的大小。然而，通過(guò)打印頭的外殼和將熱變電阻粘附在外殼上的粘結(jié)層，從而提供在熱變電阻和壓電元件之間形成絕熱，導(dǎo)致了在熱變電阻上的溫度和微滴噴射流體之間的溫差。在打印期間如果打印頭的溫度迅速改變時(shí)，這種差異是相當(dāng)大的，這是因?yàn)轵?qū)動(dòng)電路針對(duì)噴射流體中溫度的改變是反應(yīng)緩慢的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例設(shè)法解決這些和其它的問(wèn)題。
一方面，本發(fā)明提供一種微滴沉積裝置，它包含多個(gè)流體腔；壓電激發(fā)器裝置，對(duì)于每一個(gè)流體腔，該壓電激發(fā)器裝置可由電信號(hào)激發(fā)，以實(shí)施從該腔中的微滴噴射；用于向每一個(gè)所述激發(fā)器裝置循環(huán)地供給電信號(hào)以使其激發(fā)的裝置；用于測(cè)量的裝置，在將連續(xù)的電信號(hào)施加到所述激發(fā)器裝置之間的時(shí)間段內(nèi)，該裝置測(cè)量所述激發(fā)器裝置的與溫度相關(guān)的電特性，以提供一個(gè)大小取決于在與所述激發(fā)器裝置相關(guān)聯(lián)的流體腔中的流體的溫度的信號(hào)；以及依據(jù)與溫度相關(guān)的該信號(hào)的大小(例如振幅和/或持續(xù)時(shí)間)來(lái)調(diào)節(jié)激發(fā)電信號(hào)大小的裝置。
本申請(qǐng)的發(fā)明人已經(jīng)意識(shí)到在打印期間確保任何溫度傳感器應(yīng)直接與噴射流體相接觸的重要性。發(fā)明人還意識(shí)到任何這樣溫度的檢測(cè)都不能干涉打印頭標(biāo)準(zhǔn)的打印操作或打印速度。當(dāng)在施加連續(xù)電信號(hào)之間的一段時(shí)間段的整個(gè)范圍內(nèi)進(jìn)行溫度檢測(cè)時(shí)，這可以確保溫度的檢測(cè)不干涉激發(fā)電信號(hào)或降低打印的速度。
在一個(gè)實(shí)施例中，設(shè)置有在4到5kHz頻率范圍內(nèi)向激發(fā)裝置供給電信號(hào)的供給裝置，優(yōu)選的頻率為4.2kHz。該時(shí)間段可以具有240μs的持續(xù)時(shí)間。在一個(gè)實(shí)施例中，用于測(cè)量電特性的時(shí)間為42μs，它顯著地少于激發(fā)時(shí)間段的240μs。
在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，與溫度相關(guān)的電特性是電容。參照?qǐng)D1，本申請(qǐng)的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)并通過(guò)實(shí)驗(yàn)證實(shí)了，流體腔的壓電激發(fā)器的電容量相對(duì)于溫度基本上是線性函數(shù)關(guān)系的。其結(jié)果是，與溫度相關(guān)的信號(hào)的大小可以直接與墨水的溫度成正比例。
所述激發(fā)器裝置優(yōu)選地包含在所述腔的相應(yīng)壁的主要部分上延伸的壓電材料，每一個(gè)可激發(fā)的通道壁在施加激發(fā)電信號(hào)的作用下是可變形的，以從流體腔中噴射流體。因此，在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，提供了一種微滴沉積裝置，其包含多個(gè)流體腔，每一個(gè)流體噴射腔部分地由至少一個(gè)壁來(lái)限定，其中該壁可由一電信號(hào)激發(fā)以實(shí)施微滴從該腔中的噴射；用于向該壁循環(huán)地供給電信號(hào)以使其激發(fā)的裝置；用于測(cè)量的裝置，在將連續(xù)的電信號(hào)施加到該壁之間的時(shí)間段內(nèi)，該裝置測(cè)量該流體腔的該壁的與溫度相關(guān)的電特性，以提供一個(gè)大小取決于在流體腔中的流體溫度的信號(hào)；以及依據(jù)與溫度相關(guān)的該信號(hào)的大小，例如激發(fā)電信號(hào)的振幅和/或持續(xù)時(shí)間，來(lái)調(diào)節(jié)激發(fā)電信號(hào)大小的裝置。
該裝置優(yōu)選地包含用于形成與溫度相關(guān)的該信號(hào)的裝置，以提供與溫度相關(guān)的電壓信號(hào)，以便由調(diào)節(jié)裝置疊加在激發(fā)電信號(hào)上。該形成裝置可以根據(jù)信號(hào)相對(duì)于溫度的線性變化或非線性變化而采用任何適當(dāng)?shù)呐渲谩?br> 在一個(gè)實(shí)施例中該測(cè)量裝置包含一測(cè)量電路，其包括兩個(gè)串聯(lián)連接的用于在其輸入端接受測(cè)量電壓的晶體管，該壁的一端連接于該晶體管的共同的輸出端，該壁的另一端連接于來(lái)自該電路的一輸出端，并且還包含連接于該輸出端的用于測(cè)量電壓在該輸出端的衰減率的裝置，以提供具有依據(jù)該流體腔中流體溫度的大小的信號(hào)。為了防止在測(cè)量期間該壁的過(guò)量加熱，5伏的電源可以連接到輸入端，以提供測(cè)量電壓。
優(yōu)選地，該壓電材料是這樣的，即，激發(fā)電信號(hào)的施加使其以剪切模式變形，以在流體腔中產(chǎn)生聲壓波，并從而噴射出該流體。
在一個(gè)優(yōu)選的設(shè)置中，壓電材料是沿每一個(gè)流體腔的側(cè)部設(shè)置的。微滴沉積裝置可以是“端部噴射器”或“側(cè)部噴射器”的結(jié)構(gòu)?？蛇x擇地，壓電材料可以設(shè)置在每一個(gè)流體腔的背部，如在WO00/16981公開(kāi)說(shuō)明書(shū)中所述的，因此當(dāng)向壓電材料施加激發(fā)信號(hào)時(shí)，使其朝向或背離噴射腔噴嘴的方向移動(dòng)，從而產(chǎn)生用于噴射所需的聲壓波。
本發(fā)明還提供包含一個(gè)流體噴射腔陣列的微滴沉積裝置，每一個(gè)流體噴射腔包含用于根據(jù)電激發(fā)信號(hào)而從其中噴射微滴的裝置，包含暴露于該腔中的流體以提供取決于流體溫度的信號(hào)的裝置，以及根據(jù)與溫度相關(guān)的信號(hào)用于調(diào)節(jié)激發(fā)電信號(hào)的裝置。優(yōu)選地，每一個(gè)流體噴射腔部分地由至少一個(gè)壁確定，其中該壁可由一電信號(hào)激發(fā)，以實(shí)施微滴從該腔中的噴射，該裝置包含利用壁的與溫度相關(guān)的電特性以提供信號(hào)的裝置。
本發(fā)明還提供一種操作微滴沉積裝置的方法，該裝置包含多個(gè)流體腔，以及壓電激發(fā)器裝置，對(duì)于每一個(gè)流體腔，該壓電激發(fā)器裝置可由電信號(hào)激發(fā)，以實(shí)施從該腔中的微滴噴射，該方法包含以下步驟向每一個(gè)所述激發(fā)器裝置循環(huán)地供給電信號(hào)以使其激發(fā)；在連續(xù)的電信號(hào)施加到所述激發(fā)器裝置之間的時(shí)間段內(nèi)，測(cè)量所述激發(fā)器裝置的與溫度相關(guān)的電特性，以提供一個(gè)大小取決于在與所述激發(fā)器裝置相關(guān)聯(lián)的流體腔中的流體的溫度的信號(hào)；以及依據(jù)與溫度相關(guān)的該信號(hào)的大小來(lái)調(diào)節(jié)激發(fā)電信號(hào)的大小。


下面將參照

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，其中圖1中示出了流體腔的操作壁的電容量隨溫度的變化；圖2是一端部噴墨器的人字形打印頭的示意圖；圖3是圖2的打印頭的一剖視圖；圖4中示出了一電容器的充電曲線；圖5中示出了用于提供在打印頭中流體溫度的指示信號(hào)的測(cè)量電路的設(shè)置；圖6中以方框圖的形式示出了包含測(cè)量電路的一檢測(cè)板；圖7中示出了測(cè)量電路的輸出特性。
具體實(shí)施例方式
首先參照?qǐng)D2，按照本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的平面陣列的按需噴墨打印機(jī)包含形成有多個(gè)平行流體腔或通道2的打印頭10，這里僅示出了九個(gè)通道并且其縱向軸線是在一個(gè)平面內(nèi)設(shè)置的。通道2由延伸覆蓋打印頭的整個(gè)上表面的蓋子(未示出)封閉。
通道是端部噴墨器的結(jié)構(gòu)，在其中形成有噴嘴6的噴嘴板5中終止于其相應(yīng)的端部，每一個(gè)流體噴射通道2都有一個(gè)噴嘴。例如墨水4的流體從流體噴射通道2中以微滴7的形式按需噴出，并沉積在打印表面9的打印線8上，在其與打印頭10之間有垂直于通道軸線平面的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
打印頭10具有平面基部20，通道2在其中以切割或其它方式由PZT壓電材料形成，以使其從噴嘴板5沿平行向后的方向延伸。通道2是具有矩形截面的長(zhǎng)且窄的形狀，并且具有沿通道的長(zhǎng)度方向延伸的相對(duì)側(cè)壁11。流體噴射通道2的側(cè)壁11設(shè)置有沿通道的長(zhǎng)度方向延伸的電極(未示出)，因此側(cè)壁基本上沿其整個(gè)的長(zhǎng)度橫向相對(duì)于通道的軸線可以以剪切模式移動(dòng)，以導(dǎo)致通道2中的墨水壓力發(fā)生變化從而實(shí)施微滴從噴嘴中的噴出。
通道2在它們遠(yuǎn)離噴嘴的端部與一橫向通道(未示出)相連接，該橫向通道又通過(guò)管道14連接于墨水儲(chǔ)存器(未示出)。用于激發(fā)流體噴射通道的側(cè)壁11的電連接件(未示出)被制成在基部20上的LSI芯片16上。典型地，芯片16連接32個(gè)用于供給電信號(hào)的分離電極，以移動(dòng)流體噴射通道2的相應(yīng)側(cè)壁，并且因此通常提供有多個(gè)芯片16以將激活電信號(hào)供給到陣列中的所有通道的側(cè)壁上。然而，芯片能夠連接的電極數(shù)量當(dāng)然是可以根據(jù)需要而改變的。
如圖3所示，通道側(cè)壁11具有極性相反的區(qū)域，以在電場(chǎng)的作用下使得它們偏轉(zhuǎn)成一人字形。陣列與可移動(dòng)的側(cè)壁11結(jié)合，該壁的形式為以剪切模式的夾在基壁25和頂壁27之間的激發(fā)器15、17、19、21和23，并且每一個(gè)由上壁部29和下壁部31形成的激發(fā)器，如箭頭3 3和35所示，以相反的方向垂直于包含通道軸線的平面而具有極性。
流體噴射通道2的內(nèi)壁分別由電極37、39、41、43和45覆蓋。因此，當(dāng)向一特定通道的電極上施加電壓時(shí)，如向在剪切模式激發(fā)器19和21之間的通道2的電極41上施加電壓時(shí)，而同時(shí)電極41任意一側(cè)的通道2的電極39和43接地，則電場(chǎng)以相反的方向施加到激發(fā)器19和21上。由于每一個(gè)激發(fā)器的上壁部29和下壁部31的極性相反，它們將以剪切的模式偏轉(zhuǎn)成其間人字形的通道2，如虛線47和49所示。從而將脈沖施加到激發(fā)器19和21之間的通道2中的墨水4上，這導(dǎo)致一聲壓波沿通道的長(zhǎng)度方向傳播，并從中噴射出墨水微滴7。
在打印過(guò)程中，熱由例如芯片16的裝置產(chǎn)生。這些熱散發(fā)到流體腔2中，并提升墨水4的溫度，這降低了墨水4的粘性。墨水的粘性的這種變化可以導(dǎo)致微滴噴射速度的變化，并從而導(dǎo)致打印圖像點(diǎn)的位置的誤差。為了探索避免這樣誤差的發(fā)生，在本微滴沉積裝置中，在打印過(guò)程中監(jiān)控墨水的溫度。這能夠使根據(jù)監(jiān)控溫度的響應(yīng)來(lái)調(diào)節(jié)施加到流體噴射腔2的壁11上的激發(fā)信號(hào)的大小，從而補(bǔ)償墨水粘性的降低。
在本裝置中，可激發(fā)的側(cè)壁11的與溫度相關(guān)的電特性用于監(jiān)控打印過(guò)程中的墨水4的溫度。當(dāng)壁11直接與墨水4相接觸時(shí)，墨水4在溫度上的任何迅速改變都可以被檢測(cè)出來(lái)并迅速地作出反應(yīng)。
參照?qǐng)D1，本申請(qǐng)的發(fā)明者已經(jīng)發(fā)現(xiàn)并通過(guò)實(shí)驗(yàn)證實(shí)了，通道2的壁11的電容量相對(duì)于溫度基本上是線性函數(shù)關(guān)系。其結(jié)果是，與溫度相關(guān)的信號(hào)的大小可以與墨水的溫度成正比例。圖4中示出了一電容器的標(biāo)準(zhǔn)充電曲線。
參照?qǐng)D5，測(cè)量電路60是用來(lái)提供具有取決于通道2中墨水溫度的大小的信號(hào)的。
電路60包含兩個(gè)輸入電阻62、64，其中每一個(gè)電阻分別連接于一對(duì)串聯(lián)連接的晶體管66、68中一個(gè)的柵極。通道2的壁在70處表示為被測(cè)量的電容C，電容器70在其一側(cè)連接于晶體管66、68的共同連接的漏極，而在其另一側(cè)連接于第一輸出電阻72。第二輸出電阻74連接于晶體管68的源極。5伏的輸入電壓施加到晶體管66的源極上，而輸出端76連接于電容器70的另一側(cè)上。測(cè)量電路是足夠簡(jiǎn)單的，它可以采用例如作為芯片16的一部分安裝在打印頭上的ASIC碼來(lái)執(zhí)行。
圖6示出了裝載有測(cè)量電路60、電源82、控制器84和比較電路86的測(cè)試板80。
測(cè)量電路60的輸出被供給到比較電路86上。在觸點(diǎn)76的輸出如圖7所示，其中示出了電容器70的充電電流Ic或在觸點(diǎn)76上的電壓Vo相對(duì)于時(shí)間t的函數(shù)曲線。
可以看出，電流或電壓急劇地增加，然后在變?yōu)樨?fù)值之前衰減到零。電容器70的電容量與衰減或充電時(shí)間t(ch)成比例。比較電路86是用于測(cè)量這個(gè)時(shí)間而設(shè)置的?？梢允褂每刂破?4來(lái)設(shè)置比較器86，以測(cè)量其衰減到如96％的一預(yù)定的百分比。
申請(qǐng)人發(fā)現(xiàn)，充電/衰減時(shí)間比在通道2的激活之間的時(shí)間短，從而可以做出激活通道2的壁的電容量的測(cè)量。因此不干涉打印操作。
例如，當(dāng)一個(gè)每英寸200點(diǎn)的打印頭在4.2kHz的頻率操作時(shí)，壁的電容量的測(cè)量可以在42微秒的時(shí)間段內(nèi)做出，這正好處在通道激活之間的240微秒時(shí)間段內(nèi)。更快的測(cè)量還可以適用于更快的打印頭。
由于墨水4的溫度偏離室溫而造成的壁電容量的任何改變，將改變衰減或充電時(shí)間t(ch)，根據(jù)比較電路8 6輸出一個(gè)表示在通道2中墨水溫度的信號(hào)相適應(yīng)。隨后信號(hào)形成能夠使信號(hào)疊加在施加到壁上的激發(fā)電信號(hào)上的形狀。這又改變了微滴從噴射腔2中噴射出來(lái)的速度，從而避免其滴落位置的誤差。
如上所述，在優(yōu)選實(shí)施例中單一芯片16僅將激發(fā)電信號(hào)施加到32個(gè)電極上，從而控制微滴從一組32個(gè)通道中的噴射。因此，典型地設(shè)置有多個(gè)芯片16，每一個(gè)芯片控制流體從相應(yīng)的通道組中的噴射。在一個(gè)實(shí)施例中，每一組中的一個(gè)壁的電容量是由相應(yīng)分別的芯片16規(guī)則地測(cè)量，并相應(yīng)地調(diào)節(jié)施加到該組通道壁上的激發(fā)通道的大小。因此，通過(guò)測(cè)量陣列中每一個(gè)第32壁的電容量，通過(guò)陣列根據(jù)激發(fā)次序可以改變激發(fā)電信號(hào)的大小。為了增加穿過(guò)陣列的溫度靈敏性，可以減小每一組中壁的數(shù)量。
本發(fā)明的優(yōu)越性在于，通過(guò)使用激活的通道可以測(cè)量穿過(guò)多個(gè)通道打印頭的溫度的均勻性。進(jìn)一步的優(yōu)越性在于，測(cè)量電路是足夠簡(jiǎn)單的，它可以采用例如作為芯片16的一部分安裝在打印頭上的ASIC碼來(lái)執(zhí)行。此外，使用一個(gè)5伏的電源，即使當(dāng)每一秒鐘都進(jìn)行測(cè)量時(shí)，也沒(méi)有帶來(lái)打印頭熱量的增加。
應(yīng)當(dāng)理解，僅通過(guò)示例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了上面描述，在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以做出詳細(xì)的修改。
例如，雖然本發(fā)明是參照“端部噴射器”的打印頭來(lái)描述的，但其同樣可以應(yīng)用于“側(cè)部噴射器”或任何其他形式的打印頭。
此外，可以使用任何適當(dāng)?shù)难b置來(lái)檢測(cè)激活通道的壁的電容量或其它適當(dāng)?shù)碾娞匦?。例如，可以使用?shù)字檢測(cè)電路以避免在檢測(cè)所選擇的電特性期間發(fā)生與產(chǎn)生噪音相關(guān)聯(lián)的問(wèn)題。
在說(shuō)明書(shū)中公開(kāi)的(包含權(quán)利要求)和/或在附圖中示出的每一個(gè)特征，可以在本發(fā)明中獨(dú)立地與其它公開(kāi)的和/或示出的特征相組合。
權(quán)利要求
1.一種微滴沉積裝置，它包含多個(gè)流體腔；壓電激發(fā)器裝置，對(duì)于每一個(gè)流體腔，該壓電激發(fā)器裝置可由電信號(hào)激發(fā)，以實(shí)施從該腔中的微滴噴射；用于向每一個(gè)所述激發(fā)器裝置循環(huán)地供給電信號(hào)以使其激發(fā)的裝置；用于測(cè)量的裝置，在將連續(xù)的電信號(hào)施加到所述激發(fā)器裝置之間的時(shí)間段內(nèi)，該裝置測(cè)量所述激發(fā)器裝置的與溫度相關(guān)的電特性，以提供一個(gè)大小取決于在與所述激發(fā)器裝置相關(guān)聯(lián)的流體腔中的流體的溫度的信號(hào)；以及依據(jù)與溫度相關(guān)的該信號(hào)的大小來(lái)調(diào)節(jié)激發(fā)電信號(hào)大小的裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的微滴沉積裝置，其特征在于，供給裝置設(shè)置成，以便在4到5kHz頻率范圍內(nèi)向該激發(fā)器裝置供給電信號(hào)。
3.如權(quán)利要求2所述的微滴沉積裝置，其特征在于，該供給裝置設(shè)置成，以便以4.2kHz的頻率供給電信號(hào)。
4.如前述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的微滴沉積裝置，其特征在于，所述時(shí)間段具有240μs的持續(xù)時(shí)間。
5.如前述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的微滴沉積裝置，其特征在于，與溫度相關(guān)的電特性是電容。
6.如前述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的微滴沉積裝置，其特征在于，所述激發(fā)器裝置包含在所述腔的相應(yīng)壁的主要部分上延伸的壓電材料，每一個(gè)可激發(fā)的通道壁在施加激發(fā)電信號(hào)的作用下是可變形的，以從流體腔中噴射流體。
7.如權(quán)利要求6所述的微滴沉積裝置，其特征在于，該測(cè)量裝置包含一測(cè)量電路，其包括兩個(gè)串聯(lián)連接的用于在其輸入端接受測(cè)量電壓的晶體管，該壁的一端連接于該晶體管的共同的輸出端，該壁的另一端連接于來(lái)自該電路的一輸出端，并且還包含連接于該輸出端的用于測(cè)量電壓在該輸出端的衰減率的裝置，以提供具有依據(jù)該流體腔中流體溫度的大小的信號(hào)。
8.如權(quán)利要求7所述的微滴沉積裝置，其特征在于，5伏的電源連接到輸入端，以提供測(cè)量電壓。
9.如權(quán)利要求6到8中任意一項(xiàng)所述的微滴沉積裝置，其特征在于，該壓電材料是這樣的，即，激發(fā)電信號(hào)的施加使其以剪切模式變形，以在流體腔中產(chǎn)生聲壓波，并從而噴射出該流體。
10.如權(quán)利要求6到9中任意一項(xiàng)所述的微滴沉積裝置，其特征在于，該壓電材料是沿每一個(gè)流體腔的側(cè)部設(shè)置的。
11.一種操作微滴沉積裝置的方法，該微滴沉積裝置包含多個(gè)流體腔，以及壓電激發(fā)器裝置，對(duì)于每一個(gè)流體腔，該壓電激發(fā)器裝置可由電信號(hào)激發(fā)，以實(shí)施從該腔中的微滴噴射，該方法包含以下步驟向每一個(gè)所述激發(fā)器裝置循環(huán)地供給電信號(hào)以使其激發(fā)；在連續(xù)的電信號(hào)施加到所述激發(fā)器裝置之間的時(shí)間段內(nèi)，測(cè)量所述激發(fā)器裝置的與溫度相關(guān)的電特性，以提供一個(gè)大小取決于在與所述激發(fā)器裝置相關(guān)聯(lián)的流體腔中的流體的溫度的信號(hào)；以及依據(jù)與溫度相關(guān)的該信號(hào)的大小來(lái)調(diào)節(jié)激發(fā)電信號(hào)的大小。
12.一種參照附圖的基本上如此所描述的微滴沉積裝置。
13.一種參照附圖的基本上如此所描述的操作微滴沉積裝置的方法。
全文摘要
一種微滴沉積裝置，其包含多個(gè)流體腔(2)，每一個(gè)流體噴射腔部分地由至少一個(gè)壁(11)來(lái)限定，以實(shí)施從該腔中的微滴噴射。該裝置設(shè)置有用于向壁(11)循環(huán)地供給電信號(hào)以使其激發(fā)的裝置(16)；用于測(cè)量的裝置(60)，在將連續(xù)的電信號(hào)施加到壁之間的時(shí)間段內(nèi)，該裝置測(cè)量所述激發(fā)器裝置的與溫度相關(guān)的電特性，以提供一個(gè)大小取決于在與所述激發(fā)器裝置相關(guān)聯(lián)的流體腔中的流體溫度的信號(hào)；以及依據(jù)與溫度相關(guān)的該信號(hào)的大小來(lái)調(diào)節(jié)激發(fā)電信號(hào)大小的裝置。
文檔編號(hào)B41J2/045GK1466522SQ018163
公開(kāi)日2004年1月7日 申請(qǐng)日期2001年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月26日
發(fā)明者W·扎普卡, B·尼爾松, M·德羅斯, J·布呂納爾, W 扎普卡, 匏, 濫啥 申請(qǐng)人:薩爾技術(shù)有限公司