專利名稱：打印機(jī)頭的制造方法及靜電作動(dòng)器的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴墨打印機(jī)的打印機(jī)頭和在這種打印機(jī)頭上使用的靜電作動(dòng)器。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的噴墨打印機(jī)通過驅(qū)動(dòng)加熱器元件或壓電元件，將小墨滴噴射在紙上，以打印圖像。日本未經(jīng)審查的專利申請(qǐng)公報(bào)第10-315466號(hào)公布了一種利用靜電作動(dòng)器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的方法。
圖1為具有靜電作動(dòng)器的打印機(jī)頭的橫截面圖。打印機(jī)頭1包括一個(gè)預(yù)定的基片2，其表面上以給定的間距作出凹部。每一個(gè)凹部的底部上有一個(gè)電極3。打印機(jī)頭1還包括一個(gè)部件5，該部件具有底板6和在基片2上的液體墨盒4的隔板。由導(dǎo)電材料制成的部件5放置在電極3上面。放置在基片2上的電極3面向相應(yīng)的液體墨盒的底板6，底板6和電極3之間的距離由基片2的凹部確定，使部件5與電極3絕緣。部件5的底板6具有預(yù)定的厚度，可起一個(gè)膜片的作用。在部件5上還放置著另一個(gè)具有噴嘴7的部件8。
在具有上述結(jié)構(gòu)的這個(gè)打印機(jī)頭1中，當(dāng)將電壓加在部件5和一個(gè)電極3之間的空間時(shí)，相應(yīng)的底板6被吸引并向著電極3彎曲。當(dāng)停止加電壓時(shí)，底板6恢復(fù)至原來狀態(tài)。因此，施加電壓在電極3和部件5之間產(chǎn)生靜電力，以改變打印機(jī)頭1的液體墨盒4的容積。由液體墨盒4的容積減小產(chǎn)生的壓力將油墨從一個(gè)噴嘴7噴出。
具有加熱器元件的噴墨打印機(jī)需要大的電能來驅(qū)動(dòng)加熱器元件。這樣，整個(gè)裝置消耗大量的能量。另一方面，具有壓電元件的噴墨打印機(jī)在壓電元件集成方面有困難，導(dǎo)致制造過程復(fù)雜。由于這些原因，提出了各種方法來解決這些問題，并改善具有加熱器元件或壓電元件的噴墨打印機(jī)的性能水平。
與具有加熱器元件或壓電元件的噴墨打印機(jī)相反，具有靜電作動(dòng)器的打印機(jī)頭仍有可能作進(jìn)一步改善，并可以解決具有加熱器元件或壓電元件的噴墨打印機(jī)所存在的問題。
如上所述，在傳統(tǒng)的具有靜電作動(dòng)器的打印機(jī)頭中，按照下列次序，在基片2上堆積具有底板6和液體墨盒4的隔板的部件5以及具有噴嘴7的部件8。然而，這個(gè)裝配過程復(fù)雜。這個(gè)過程還會(huì)損害部件5和部件8的定位精度，并可造成油墨在基片2、部件5和部件8之間泄漏。又因?yàn)椴考?放置在基片2上，因此必需將基片2和部件5的連接表面作得很平。這會(huì)造成在基片2上集成靜電作動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)電路方面的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了靜電作動(dòng)器和打印機(jī)頭的簡(jiǎn)單和精確的制造方法，其可以簡(jiǎn)單地集成驅(qū)動(dòng)電路。
為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種打印機(jī)頭的制造方法，該方法包括固定電極的形成步驟，用于在預(yù)定的基片上形成固定電極；犧牲層形成步驟，用于在固定電極上形成犧牲層；可動(dòng)電極形成步驟，用于在犧牲層上形成可動(dòng)電極；和犧牲層除去步驟，用于除去犧牲層，在固定電極和可動(dòng)電極之間形成空間。
在按次序形成固定電極、犧牲層和可動(dòng)電極后，利用犧牲層除去步驟除去犧牲層，在固定電極和可動(dòng)電極之間形成空間。這些步驟利用半導(dǎo)體制造工藝進(jìn)行。這樣，可以達(dá)到制造簡(jiǎn)單和定位精度高。另外，可以預(yù)先在基片上形成集成電路，如驅(qū)動(dòng)電路。因此，可以簡(jiǎn)單和精確地制造以及簡(jiǎn)單地集成驅(qū)動(dòng)電路。
本發(fā)明還提供了一種制造靜電作動(dòng)器的方法，該方法包括固定電極形成步驟，用于在預(yù)定的基片上形成固定電極；犧牲層形成步驟，用于在固定電極上形成犧牲層；可動(dòng)電極形成步驟，用于在犧牲層上形成可動(dòng)電極；和犧牲層除去步驟，用于除去犧牲層，形成在固定電極和可動(dòng)電極之間的空間。
在按次序形成固定電極、犧牲層和可動(dòng)電極后，利用犧牲層除去步驟除去犧牲層，在固定電極和可動(dòng)電極之間形成空間。這些步驟利用半導(dǎo)體制造工藝進(jìn)行。這樣，可以達(dá)到制造簡(jiǎn)單和定位精度高。另外，可以預(yù)先在基片上形成集成電路，如驅(qū)動(dòng)電路。因此，可以得到一種簡(jiǎn)單和精確地制造、以及簡(jiǎn)單地集成(例如)驅(qū)動(dòng)電路的靜電作動(dòng)器的制造方法。


圖1為傳統(tǒng)打印機(jī)頭的橫截面圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的打印機(jī)頭的橫截面圖；圖3(A)～3(C)為沿著圖2所示的打印機(jī)頭的A-A線所取的橫截面圖；圖4(A)～4(D)為表示靜電作動(dòng)器形成步驟的圖2所示的打印機(jī)頭的橫截面圖；圖5(E)～5(H)為在圖4(D)的步驟以后接著進(jìn)行的形成步驟的橫截面圖；圖6(I)～6(K)為在圖5(H)的步驟以后接著進(jìn)行的形成步驟的橫截面圖；圖7(L)～7(M)為在圖6(K)的步驟以后接著進(jìn)行的形成步驟的橫截面圖。
附圖標(biāo)記說明1，11-打印機(jī)頭，2，15-基片，3-電極，4-液體墨盒，5，8-部件， 6-底板，7，12-噴嘴，13-液體墨盒，14-驅(qū)動(dòng)電路， 16-絕緣層，17-固定電極， 18，20-絕緣層，19，21-犧牲層， 21-可動(dòng)電極，22-膜片， 23-空間，32-涂層。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施例。
(1)第一實(shí)施例(1-1)第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖2為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的打印機(jī)頭的橫截面圖。該橫截面圖是沿著穿過排成一排的多個(gè)噴嘴12中的一個(gè)噴嘴的中心的假想線所取的。圖3(A)～3(C)為沿著圖2的A-A線所取的橫截面圖。
打印機(jī)頭11為在行打印機(jī)中使用的行打印頭。排成一行的噴嘴12的長(zhǎng)度與用于打印的紙的寬度相當(dāng)，因此，噴嘴12排列成一個(gè)長(zhǎng)行。打印機(jī)頭11的靜電作動(dòng)器改變?cè)诿恳粋€(gè)液體墨盒13中的壓力。靜電作動(dòng)器由靜電力驅(qū)動(dòng)，將小墨滴從每一個(gè)噴嘴12噴出。另外，油墨可以通過圖中未示出的油墨通道送至液體墨盒13中。打印機(jī)頭11可利用半導(dǎo)體制造工藝，按預(yù)定的次序，將打印機(jī)頭部件堆積在基片15上面構(gòu)成。
圖4(A)～圖7(M)是說明圖2的打印機(jī)頭11的形成步驟的橫截面圖。在打印機(jī)頭11中，驅(qū)動(dòng)電路14是預(yù)先在基片15上形成的。如圖4(A)所示，利用(例如)化學(xué)氣相沉積(CVD)法和退火在基片15上形成一個(gè)絕緣層16。該絕緣層16為氧化硅膜或氮化硅膜。
參見圖4(B)，在打印機(jī)頭11中形成絕緣層16以后，進(jìn)行固定電極的形成步驟，形成靜電作動(dòng)器的固定電極17。換句話說，利用濺射或氣相沉積法來處理打印機(jī)頭11，形成帶有預(yù)定的圖形的導(dǎo)電層。這樣，形成固定電極17。導(dǎo)電層為由(例如)鋁、金或鉑制成的金屬膜。固定電極17通過在這個(gè)形成步驟中同時(shí)形成的一個(gè)互連的圖形與驅(qū)動(dòng)電路14中的一個(gè)區(qū)域連接。
參見圖4(C)，在打印機(jī)頭11中形成具有預(yù)定的厚度的絕緣層18。絕緣層18為(例如)氧化硅膜或氮化硅膜。
參見圖4(D)，在打印機(jī)頭11中，利用犧牲層形成步驟形成犧牲層19。犧牲層19起一個(gè)虛假層的作用，并在形成面向固定電極17的可動(dòng)電極后除去。犧牲層19用于在固定電極17和可動(dòng)電極之間形成一個(gè)空間。由(例如)多晶硅、金屬材料或絕緣材料制成的犧牲層19具有預(yù)定的厚度。多余的犧牲層19利用(例如)光刻法除去。在形成可動(dòng)電極后除去犧牲層19必需對(duì)其他部件沒有任何影響。換句話說，必需充分保持蝕刻犧牲層19對(duì)其他部件的選擇性。可以使用各種材料來制造犧牲層19，只要能達(dá)到不會(huì)損害實(shí)際使用的這種選擇性即可。
參見圖5(E)，在打印機(jī)頭11中形成犧牲層19后，形成由氧化硅或氮化硅制成的絕緣層20。參見圖5(F)，利用可動(dòng)電極形成步驟形成可動(dòng)電極21。如同固定電極17的形成一樣，可動(dòng)電極21也是由(例如)鋁、金或鉑構(gòu)成的金屬薄膜的導(dǎo)電層形成的。利用(例如)濺射或氣相沉積法，可以形成帶有預(yù)定的圖形的導(dǎo)電層?？蓜?dòng)電極21通過在這個(gè)形成步驟中同時(shí)形成的一個(gè)互連圖形與驅(qū)動(dòng)電路14中的一個(gè)區(qū)域連接。
參見圖5(G)，在膜片形成步驟中，在打印機(jī)頭11的可動(dòng)電極21上形成膜片22。可以使用不脆的而且楊氏模量大和有韌性的剛性材料來制造膜片22。詳細(xì)地說，膜片22是利用由(例如)氧化硅膜、氮化硅膜、硅、金屬膜、氧化鋁或氧化鋯構(gòu)成的陶瓷材料，在可動(dòng)電極21上形成的。如果膜片22由金屬材料制成，則膜片22可起可動(dòng)電極21的作用。
參見圖5(H)，利用犧牲層除去步驟，除去打印機(jī)頭11中的犧牲層19。這樣，在固定電極17和可動(dòng)電極21之間，形成寬度與犧牲層19的厚度相同的空間23。根據(jù)犧牲層19的材料的不同，可以在這個(gè)除去步驟中使用蝕刻工藝(如，干蝕刻或濕蝕刻)。
通過這些步驟，在打印機(jī)頭11的半導(dǎo)體15上，形成具有彼此面向的帶有預(yù)定的空間23的固定電極17和可動(dòng)電極21的靜電作動(dòng)器。
如果必要，可在打印機(jī)頭11的膜片上，形成由(例如)氮化硅構(gòu)成的保護(hù)層。參見圖6(I)，根據(jù)油墨通道和液體墨盒的圖形，形成另一個(gè)犧牲層31。在堆積了形成液體墨盒和油墨通道的隔板部件后，除去犧牲層31。因此，可以利用犧牲層31形成液體墨盒和油墨通道的空間。
犧牲層31的厚度比油墨通道和液體墨盒的高度小，并且由半導(dǎo)體制造工藝制造得非常均勻。犧牲層31由通過一定的反應(yīng)過程可使?fàn)奚鼘?1的容積擴(kuò)張的材料制成，因此，增加的厚度與油墨通道和液體墨盒的高度相當(dāng)。在此實(shí)施例中，這個(gè)反應(yīng)過程是通過加熱形成犧牲層31的泡沫材料(以后稱為泡沫狀的光致抗蝕劑)來進(jìn)行的。換句話說，利用在反應(yīng)過程中產(chǎn)生氣體的發(fā)泡劑和形成泡沫層的預(yù)定的基礎(chǔ)材料的混合物，來形成犧牲層31。
詳細(xì)地說，利用偶氮二異丁腈(azobisisobutyronitrile)(產(chǎn)品名VINYFORAZ，分解溫度114℃，制造商EIWA化學(xué)工業(yè)有限公司)作為發(fā)泡劑，和利用正型光致抗蝕劑(產(chǎn)品名PFR-9500G，制造商JSR)作基礎(chǔ)材料。在這個(gè)實(shí)施例中，1份發(fā)泡劑加入至49份基礎(chǔ)材料中。徹底攪拌這些材料，使之混合在一起。這樣，就形成了滿足上述條件的發(fā)泡的保護(hù)層。
在泡沫抗蝕劑被旋轉(zhuǎn)涂層后，將打印機(jī)頭11在80℃下進(jìn)行固化再暴露在光線下，進(jìn)行顯影，以形成犧牲層31。
參見圖6(J)，將感光的環(huán)氧樹脂通過旋轉(zhuǎn)涂層送至打印機(jī)頭11，并通過使感光環(huán)氧樹脂凝膠化，在給定條件下進(jìn)行固化，形成涂層32。具有預(yù)定厚度的涂層32覆蓋整個(gè)犧牲層31。涂層32形成油墨通道、液體墨盒和噴嘴。在該實(shí)施例中，用于制造涂層32的被選擇的材料的固化溫度比犧牲層31的發(fā)泡溫度低。另外，材料的固化溫度比其發(fā)泡溫度高。
參見圖6(K)，進(jìn)行曝光過程，以確定打印機(jī)頭11中的噴嘴12的形狀。
然后，在130℃下，在反應(yīng)過程中對(duì)打印機(jī)頭11進(jìn)行熱處理10分鐘。參見圖7(L)，這個(gè)反應(yīng)過程造成的溫度升高使?fàn)奚鼘?1的材料發(fā)泡。因此，犧牲層31的厚度增加至液體墨盒13的厚度。在犧牲層31的厚度增加后，涂層32的固化完成。因而，含有大量氣泡的犧牲層31形成打印機(jī)頭11中的油墨通道和液體墨盒的結(jié)構(gòu)，并且，整個(gè)結(jié)構(gòu)被固化的涂層32覆蓋。
在從涂層32上除去一部分環(huán)氧樹脂材料以形成打印機(jī)頭11中的噴嘴12以后，利用光致抗蝕工藝，在半導(dǎo)體基片15的后表面上作出圖形。利用化學(xué)各向異性蝕刻方法，在半導(dǎo)體基片15的后表面上作出通向油墨通道的油墨供給孔(圖中未示出)。參見圖7(M)，在除去步驟中，利用甲醇作為溶劑，從油墨供給孔和噴嘴12上除去犧牲層31。這樣，在打印機(jī)頭11中形成液體墨盒13和油墨通道。
利用切割鋸，將打印機(jī)頭11的半導(dǎo)體基片15切成芯片。每一個(gè)芯片都安裝在給定的部件上，并通過油墨供給孔與墨盒連接。另外，由金屬絲粘接形成的半導(dǎo)體基片15上的驅(qū)動(dòng)電路的墊片與預(yù)定的區(qū)域連接。這樣，就完成了打印機(jī)頭11。
(1-2)第一實(shí)施例的實(shí)施在打印機(jī)頭11中(參見圖2和圖3(A))。當(dāng)將預(yù)定的電壓加在固定電極17和可動(dòng)電極21之間時(shí)，在固定電極17和可動(dòng)電極21之間產(chǎn)生的靜電力將可動(dòng)電極21吸引向固定電極17(參見圖3(A)和圖3(B))。這可增加液體墨盒13的容積，并將油墨通過圖中未示出的油墨通道送至液體墨盒13中。另外，在打印機(jī)頭11中，當(dāng)停止將電壓加在可動(dòng)電極21和固定電極17之間時(shí)，可動(dòng)電極21和固定電極17之間的靜電力消除。膜片22和可動(dòng)電極21的恢復(fù)力使液體墨盒13重新得到其原來的容積。這樣，液體墨盒13中的壓力增加，將小墨滴從打印機(jī)頭11的噴嘴12噴出(圖3(C))。在打印機(jī)頭11中，靜電作動(dòng)器由彼此相對(duì)的固定電極17和可動(dòng)電極21形成二個(gè)電極之間有預(yù)定的距離。驅(qū)動(dòng)該靜電作動(dòng)器可將小墨滴從噴嘴12噴出。
在如上述這樣工作的打印機(jī)頭11中(參見圖4(A)～圖5(J))，在半導(dǎo)體基片15上形成絕緣層16，然后按次序形成固定電極17，絕緣層18，犧牲層19，可動(dòng)電極21和膜片22。其次，除去犧牲層19，使得在固定電極17和可動(dòng)電極21之間形成可動(dòng)電極21工作所需要的空間23。因此，利用半導(dǎo)體制造工藝，可在打印機(jī)頭11中形成靜電作動(dòng)器。在打印機(jī)頭11中，例如固定電極和膜片一類的部件，利用半導(dǎo)體制造工藝以精確的定位形成，以便可以簡(jiǎn)單和精確地制造靜電作動(dòng)器。因?yàn)殪o電作動(dòng)器作在半導(dǎo)體基片15上，因此可以預(yù)先在半導(dǎo)體基片15上形成驅(qū)動(dòng)電路14。這也可以簡(jiǎn)化形成步驟。另一方面，如果單獨(dú)形成驅(qū)動(dòng)電路，則必需使每一個(gè)液體墨盒的固定電極和可動(dòng)電極與驅(qū)動(dòng)電路連接，這需要較長(zhǎng)的制造時(shí)間。然而，在這個(gè)實(shí)施例中，靜電作動(dòng)器是在預(yù)先在半導(dǎo)體基片15上形成驅(qū)動(dòng)電路14之后形成的，因此可防止在形成驅(qū)動(dòng)電路14過程中的雜質(zhì)造成的污染。這可使靜電作動(dòng)器的制造工藝簡(jiǎn)單。
在用半導(dǎo)體制造工藝形成犧牲層19后，除去犧牲層19，以便在可動(dòng)電極21和固定電極17之間形成空間23，因此空間23的精度高，并且具有預(yù)定的高度。這樣，可以減小靜電作動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)力的差別，以減少在打印機(jī)頭11中的油墨容積的不規(guī)則性。
另外，因?yàn)槟て?2用沉積工藝制成，因此可以精確地控制厚度，減小厚度的不規(guī)則性。
在打印機(jī)頭11中形成靜電作動(dòng)器后，利用相同的半導(dǎo)體制造工藝，形成犧牲層31和涂層32。然后利用光，通過噴嘴圖形(圖6(K))，使涂層32曝光。使?fàn)奚鼘?1發(fā)泡，以保持液體墨盒13的高度。然后，固化涂層32，并除去犧牲層31。
在打印機(jī)頭11中形成靜電作動(dòng)器后，可以利用半導(dǎo)體制造工藝進(jìn)行以后的制造。這可使噴嘴12的定位精度大大提高。另外，還可防止例如部件之間的油墨泄漏一類的問題，可以簡(jiǎn)單和精確地進(jìn)行制造。
在犧牲層31發(fā)泡和保持液體墨盒13的高度后，固化作為形成液體墨盒的一個(gè)部件的涂層32。再除去發(fā)泡的犧牲層31，形成液體墨盒13。這可以減小除去犧牲層的時(shí)間，并以高的精度形成液體墨盒13。
(1-3)第一實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)上述結(jié)構(gòu)可以得出允許簡(jiǎn)單地集成驅(qū)動(dòng)電路的打印機(jī)頭。通過在固定電極上形成犧牲層和可動(dòng)電極，然而除去犧牲層，形成固定電極和可動(dòng)電極之間的空間，可以簡(jiǎn)單和精確地制造這個(gè)打印機(jī)頭。
另外，在形成帶有犧牲層的與液體墨盒空間和將油墨送入液體墨盒的油墨通道空間相適應(yīng)的模型后，可以在模型上放置形成液體墨盒和油墨通道隔板的涂層。然后，除去模型，即除去犧牲層。結(jié)果，可將半導(dǎo)體制造工藝用于形成作為靜電作動(dòng)器驅(qū)動(dòng)對(duì)象的液體墨盒。這樣，也可以簡(jiǎn)單和精確地制造打印機(jī)頭。
特別是，因?yàn)榛晒铇?gòu)成，因此易于使用半導(dǎo)體制造工藝。另外，還可以簡(jiǎn)單地集成驅(qū)動(dòng)電路。
換句話說，通過預(yù)先在基片上形成將電壓加在固定電極和可動(dòng)電極之間的驅(qū)動(dòng)電路，可以容易地集成驅(qū)動(dòng)電路。
(2)其他實(shí)施例在上述實(shí)施例中，說明了在由硅構(gòu)成的半導(dǎo)體基片上形成的打印機(jī)頭。然而，本發(fā)明不是僅限于這種材料，可以按照需要使用各種材料制造基片。例如，可用玻璃基片代替硅基片。當(dāng)使用玻璃基片時(shí)，形成驅(qū)動(dòng)電路用的薄膜晶體管，使得可以集成驅(qū)動(dòng)電路，另外，當(dāng)使用玻璃基片時(shí)，可在矩形的玻璃基片上，一起形成多個(gè)打印機(jī)頭。再將打印機(jī)頭分開成單個(gè)，使每個(gè)打印機(jī)頭可以用作具有細(xì)長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的打印機(jī)頭(例如，行打印機(jī)頭)。與圓形的硅基片相反，矩形的玻璃基片可以有效地由一個(gè)基片形成大量的打印機(jī)頭。
在上述實(shí)施例中，半導(dǎo)體制造工藝應(yīng)用于打印機(jī)頭，以形成液體墨盒。然而，本發(fā)明不是僅限于該工藝。例如液體墨盒一類的部件，也可以通過粘接形狀與液體墨盒或油墨通道相同的樹脂材料形成。
雖然，在上述實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)電路與打印機(jī)頭作成一個(gè)整體，但本發(fā)明也可將驅(qū)動(dòng)電路作為一個(gè)單獨(dú)部件分開。
雖然，本發(fā)明的上述實(shí)施例用于打印機(jī)頭，但本發(fā)明的應(yīng)用不是僅限于打印機(jī)頭，可以用在各種元件和裝置中作為靜電作動(dòng)器。
如同在上述的本發(fā)明中一樣，在形成于固定電極上的犧牲層上形成可動(dòng)電極后，再除去犧牲層，形成在固定電極和可動(dòng)電極之間的空間。這樣，就提供了一種可簡(jiǎn)單地集成驅(qū)動(dòng)電路的制造打印機(jī)頭的簡(jiǎn)單和精確的方法。另外，還提供了一種制造用于這種打印機(jī)頭的靜電作動(dòng)器的簡(jiǎn)單和精確的方法。
工業(yè)應(yīng)用性本發(fā)明涉及打印機(jī)頭的制造方法和靜電作動(dòng)器的制造方法，本發(fā)明可應(yīng)用于噴墨打印機(jī)。
權(quán)利要求
1.打印機(jī)頭的制造方法，它通過使可動(dòng)電極移動(dòng)，改變液體墨盒的容積，將小墨滴從預(yù)定的噴嘴噴出；該可動(dòng)電極由在固定電極和可動(dòng)電極之間產(chǎn)生的靜電力驅(qū)動(dòng)移動(dòng)；該方法包括固定電極形成步驟，用于在預(yù)定的基片上形成固定電極；犧牲層形成步驟，用于在固定電極上形成犧牲層；可動(dòng)電極形成步驟，用于在犧牲層上形成可動(dòng)電極；和犧牲層除去步驟，用于除去犧牲層，在固定電極和可動(dòng)電極之間形成空間。
2.如權(quán)利要求1所述的打印機(jī)頭的制造方法，還包括在可動(dòng)電極的頂面上形成模型的模型形成步驟，該模型與至少是液體墨盒的空間和將油墨送入液體墨盒的油墨通道空間相適應(yīng)；沉積步驟，用于沉積液體墨盒和油墨通道的隔板和噴嘴的隔板，以覆蓋該模型；和用于除去該模型的模型除去步驟。
3.如權(quán)利要求1所述的打印機(jī)頭的制造方法，其中該基片為硅基片。
4.如權(quán)利要求3所述的打印機(jī)頭的制造方法，其中用于將電壓加在固定電極和可動(dòng)電極之間的驅(qū)動(dòng)電路預(yù)先形成于基片上。
5.如權(quán)利要求1所述的打印機(jī)頭的制造方法，其中該基片為玻璃基片。
6.如權(quán)利要求1所述的打印機(jī)頭的制造方法，其中具有薄膜晶體管的用于將電壓加在固定電極和可動(dòng)電極之間的驅(qū)動(dòng)電路預(yù)先形成于基片上。
7.靜電作動(dòng)器的制造方法，它利用在固定電極和可動(dòng)電極之間產(chǎn)生的靜電力使可動(dòng)電極移動(dòng)，該方法包括固定電極形成步驟，用于在預(yù)定的基片上形成固定電極；犧牲層形成步驟，用于在固定電極上形成犧牲層；可動(dòng)電極形成步驟，用于在犧牲層上形成可動(dòng)電極；和犧牲層除去步驟，用于除去犧牲層，在固定電極和可動(dòng)電極之間形成空間。
全文摘要
在可動(dòng)電極形成于固定電極上的犧牲層上之后，除去犧牲層，形成在固定電極和可動(dòng)電極之間的空間。這樣，可簡(jiǎn)單和精確地制造以及簡(jiǎn)單地集成驅(qū)動(dòng)電路。
文檔編號(hào)B41J2/055GK1498167SQ02806
公開日2004年5月19日 申請(qǐng)日期2002年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月16日
發(fā)明者谷川徹, 牛濱五輪男, 輪男 申請(qǐng)人:索尼公司