專(zhuān)利名稱(chēng)：液滴噴出裝置和其驅(qū)動(dòng)方法以及它們的應(yīng)用的制作方法
技術(shù)區(qū)域本發(fā)明涉及一種在配置于載物臺(tái)的基板上涂敷液滴的液滴噴出裝置，詳細(xì)地說(shuō)是涉及設(shè)有控制該噴射動(dòng)作機(jī)構(gòu)的液滴噴出裝置和其驅(qū)動(dòng)方法、制膜裝置和制膜方法、濾色器的制造方法、有機(jī)電子發(fā)光(EL)裝置的制造方法、以及電子設(shè)備。
液滴噴出頭，通過(guò)裝載于在載物臺(tái)上配置的承載器上，設(shè)置為相對(duì)于載物臺(tái)例如能夠向該X方向移動(dòng)。另外，在所述載物臺(tái)上，設(shè)置能夠使基板例如向Y方向輸送的輸送機(jī)構(gòu)，由此，液滴噴出頭就能夠相對(duì)于基板來(lái)看向XY方向移動(dòng)。
但是，該液滴噴出頭，是將多個(gè)噴出液滴的噴嘴以縱橫對(duì)直的狀態(tài)設(shè)置于基板上并且俯視呈矩形狀，支撐該液滴噴出頭的軸設(shè)置為通過(guò)移動(dòng)裝置能夠移動(dòng)，由此相對(duì)于X方向和Y方向，噴嘴的列以傾斜的狀態(tài)能夠噴出液滴。在這里之所以將噴嘴的列設(shè)置為傾斜而噴出液滴，是由于使形成一定的相鄰噴嘴間的間距從表觀上看狹窄，并由此可以進(jìn)行精致的或具有連續(xù)性的薄膜或圖案的形成。
即，如

圖15(a)所示，將液滴噴出頭H的噴嘴N的列L相對(duì)于其移動(dòng)方向(X方向)以相互垂直的正直的狀態(tài)噴出液滴時(shí)，噴出液滴T間的間距P2與噴嘴N、N間的間距P1相同。
另一方面，如圖15(b)所示，將液滴噴出頭H的噴嘴N的列L相對(duì)于其移動(dòng)方向(X方向)以傾斜的狀態(tài)噴出液滴時(shí)，噴出液滴T間的間距P3比噴嘴N、N間的間距P1窄，所以從表觀上來(lái)看可以縮短噴嘴間的間距。
另外，在該裝置中，尤其是在噴出液狀材料中的溶劑揮發(fā)性高時(shí)等，在不能連續(xù)噴出液狀材料的噴嘴上，在其開(kāi)口處滯留的液狀材料隨著溶劑的揮發(fā)而引起粘度升高，嚴(yán)重時(shí)導(dǎo)致液狀材料固化，或在其上面粘附灰塵，進(jìn)而由于氣泡的混入等而引起噴嘴開(kāi)口處的堵塞，導(dǎo)致噴出不暢的問(wèn)題。
為防止這樣的噴出不良，在以往，是在載物臺(tái)的一側(cè)或兩側(cè)上設(shè)置沖洗區(qū)域。該沖洗區(qū)域是用于強(qiáng)制液滴噴出頭的各噴嘴噴出的場(chǎng)所，是對(duì)于長(zhǎng)時(shí)間不噴出的噴嘴為防止噴出不良而設(shè)置的。
但是，在此類(lèi)沖洗區(qū)域的沖洗中存在以下要改善的問(wèn)題。
一般在沖洗區(qū)域中，是使相對(duì)于載物臺(tái)(基板)的液滴噴出頭的移動(dòng)一次性停止，然后在該狀態(tài)下進(jìn)行沖洗。但是，通過(guò)這種方式使液滴噴出頭的移動(dòng)停止而進(jìn)行沖洗，就會(huì)使通過(guò)噴出形成薄膜或圖案的整個(gè)工藝的時(shí)間變長(zhǎng)，結(jié)果使生產(chǎn)率降低。
另外，為解決這類(lèi)問(wèn)題，也可以考慮邊使液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域進(jìn)行沖洗。但是，尤其在使液滴噴出頭傾斜配置時(shí)，部分噴嘴容易從沖洗區(qū)域露出，此時(shí)若也對(duì)露出的噴嘴進(jìn)行沖洗時(shí)，在其周邊液滴飛濺而引起污染，從而對(duì)目的制膜或圖案的形成帶來(lái)不良影響或裝置本身被污染而導(dǎo)致維護(hù)上的麻煩。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題，其目的在于提供一種能夠在不降低生產(chǎn)率并且可以防止對(duì)制膜及圖案形成產(chǎn)生不良影響或污染裝置的情況下而進(jìn)行沖洗的液滴噴出裝置和其驅(qū)動(dòng)方法，進(jìn)而提供制膜裝置和制膜方法、濾色器的制造方法、有機(jī)EL裝置的制造方法以及電子設(shè)備。
為達(dá)到所述目的，在本發(fā)明的液滴噴出裝置中，具有將設(shè)置于載物臺(tái)上方的相對(duì)于基板能夠向一個(gè)方向往復(fù)移動(dòng)并且在所述基板上噴出液滴的多個(gè)噴嘴縱橫對(duì)直配置的液滴噴出頭、相對(duì)于所述載物臺(tái)上的基板在所述一個(gè)方向上的至少一側(cè)設(shè)置的沖洗區(qū)域、以及控制所述液滴噴出頭動(dòng)作的控制裝置，所述液滴噴出頭是相對(duì)于所述一個(gè)方向使該噴嘴的列傾斜地設(shè)置，其特征在于，所述控制裝置設(shè)置為，在邊使所述液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)在該液滴噴出頭上進(jìn)行沖洗動(dòng)作的同時(shí)，在至少一個(gè)噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，能夠控制使所有噴嘴的沖洗動(dòng)作停止。
根據(jù)該液滴噴出裝置，由于是邊使液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)該沖洗不會(huì)降低生成率。另外，由于構(gòu)成的控制裝置使在至少一個(gè)噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，所有噴嘴的沖洗動(dòng)作停止，所以可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被清洗而引起對(duì)制膜或圖案形成產(chǎn)生的不良影響以及可以防止對(duì)裝置的污染。
在本發(fā)明的另一液滴噴出裝置中，具有將設(shè)置于載物臺(tái)上方的相對(duì)于基板能夠向一個(gè)方向往復(fù)移動(dòng)并且在所述基板上噴出液滴的多個(gè)噴嘴縱橫對(duì)直配置的液滴噴出頭、相對(duì)于所述載物臺(tái)上的基板在所述一個(gè)方向上的至少一側(cè)設(shè)置的沖洗區(qū)域、以及控制所述液滴噴出頭動(dòng)作的控制裝置，所述液滴噴出頭是相對(duì)于所述一個(gè)方向使該噴嘴的列傾斜地設(shè)置，其特征在于，所述控制裝置設(shè)置為，在邊使所述液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)在該液滴噴出頭上進(jìn)行沖洗動(dòng)作的同時(shí)，在噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，能夠控制使該噴嘴的沖洗動(dòng)作停止。
根據(jù)該液滴噴出裝置，由于是邊使液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)該沖洗不會(huì)降低生成率。另外，由于構(gòu)成的控制裝置使在噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，該噴嘴的沖洗動(dòng)作停止，所以可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被清洗而引起對(duì)制膜或圖案形成產(chǎn)生的不良影響以及可以防止對(duì)裝置的污染。
另外，在所述液滴噴出裝置中，所述控制裝置優(yōu)選能夠控制對(duì)于噴嘴在控制使沖洗動(dòng)作停止后，對(duì)于該噴嘴能夠使其進(jìn)行微振動(dòng)作。
由此可以進(jìn)一步精確的防止由于液滴噴出頭內(nèi)的液體揮發(fā)而引起的粘度上升。
另外，在所述液滴噴出裝置中，沖洗區(qū)域優(yōu)選相對(duì)于載物臺(tái)上的基板在所述一個(gè)方向上的兩側(cè)設(shè)置。
由此在所述一個(gè)方向上往復(fù)移動(dòng)時(shí)，由于在任一側(cè)都能進(jìn)行清洗，所以可以進(jìn)一步精確的防止由于液滴噴出頭內(nèi)的液體揮發(fā)而引起的粘度上升。
另外，在所述液滴噴出裝置中，所述控制裝置優(yōu)選能夠控制使液滴噴出頭在沖洗區(qū)域上向外測(cè)移動(dòng)時(shí)不進(jìn)行沖洗動(dòng)作，而僅在沖洗區(qū)域上向內(nèi)測(cè)移動(dòng)時(shí)才進(jìn)行沖洗動(dòng)作。
由此由于在僅向內(nèi)側(cè)，即向基板側(cè)移動(dòng)時(shí)才進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)使液滴在基板上噴出之前進(jìn)行沖洗，可以進(jìn)一步有效防止噴嘴的噴出不良。另外，由于在向外測(cè)移動(dòng)時(shí)不進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以可以減少液體的浪費(fèi)。
另外，在所述液滴噴出裝置中，所述液滴噴出頭設(shè)置為能夠向其四周方向回轉(zhuǎn)并且該回轉(zhuǎn)動(dòng)作可以通過(guò)所述控制裝置進(jìn)行控制，所述控制裝置優(yōu)選能夠控制在所述液滴噴出頭移動(dòng)至沖洗區(qū)域內(nèi)并且進(jìn)行清洗時(shí)，預(yù)先回轉(zhuǎn)該液滴噴出頭使該噴嘴的列相對(duì)于所述一個(gè)方向呈垂直，在全部噴嘴停止沖洗動(dòng)作后再次回轉(zhuǎn)使至傾斜位置。
由此，由于回轉(zhuǎn)該液滴噴出頭使該噴嘴的列相對(duì)于所述一個(gè)方向呈垂直，并且在該狀態(tài)下進(jìn)行沖洗，所以通過(guò)使液滴噴出頭變?yōu)閮A斜，可以防止一部分噴嘴從沖洗區(qū)域露出并且還可以防止在該狀態(tài)下行沖洗。
另外，在這種情況下，優(yōu)選在沖洗區(qū)域上相對(duì)于所述液滴噴出頭該噴嘴的列進(jìn)行相對(duì)于所述一個(gè)方向呈垂直回轉(zhuǎn)的動(dòng)作。
由此就不會(huì)影響基板上的液滴噴出，并且可以進(jìn)行沖洗。
在本發(fā)明的制膜裝置中，其特征在于設(shè)有所述液滴噴出裝置。
根據(jù)該制膜裝置，由于設(shè)有所述液滴噴出裝置，所以不會(huì)產(chǎn)生由于沖洗引起的生產(chǎn)率下降，另外，也可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被沖洗而引起對(duì)制膜產(chǎn)生的不良影響或者對(duì)裝置的污染。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于，液滴噴出裝置具有將設(shè)置于載物臺(tái)上方的相對(duì)于基板能夠向一個(gè)方向往復(fù)移動(dòng)并且使在所述基板上噴出液滴的多個(gè)噴嘴縱橫對(duì)直配置的液滴噴出頭、和相對(duì)于所述載物臺(tái)上的基板在所述一個(gè)方向上的至少一側(cè)設(shè)置的沖洗區(qū)域，相對(duì)于所述一個(gè)方向?qū)⒃搰娮斓牧袃A斜地設(shè)置所述液滴噴出頭，沖洗是在邊使所述液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)通過(guò)在該液滴噴出頭上進(jìn)行沖洗動(dòng)作而進(jìn)行，之后，在至少一個(gè)噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，使全部噴嘴的沖洗動(dòng)作停止。
根據(jù)該液體噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，由于是邊使液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)該沖洗不會(huì)降低生成率。另外，由于構(gòu)成的控制裝置使在至少一個(gè)噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，所有噴嘴的沖洗動(dòng)作停止，所以可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被清洗而引起對(duì)制膜或圖案形成產(chǎn)生的不良影響以及可以防止對(duì)裝置的污染。
本發(fā)明的另一液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于，液滴噴出裝置具有將設(shè)置于載物臺(tái)上方的相對(duì)于基板能夠向一個(gè)方向往復(fù)移動(dòng)并且使在所述基板上噴出液滴的多個(gè)噴嘴縱橫對(duì)直配置的液滴噴出頭、和相對(duì)于所述載物臺(tái)上的基板在所述一個(gè)方向上的至少一側(cè)設(shè)置的沖洗區(qū)域，相對(duì)于所述一個(gè)方向?qū)⒃搰娮斓牧袃A斜地設(shè)置所述液滴噴出頭，沖洗是在邊使所述液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)通過(guò)在該液體噴出頭上進(jìn)行沖洗動(dòng)作而進(jìn)行，之后，噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，使該噴嘴的沖洗動(dòng)作停止。
根據(jù)該液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，由于是邊使液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)該沖洗不會(huì)降低生成率。另外，由于構(gòu)成的控制裝置在使噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，該噴嘴的沖洗動(dòng)作停止，所以可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被清洗而引起對(duì)制膜或圖案形成產(chǎn)生的不良影響以及可以防止對(duì)裝置的污染。
另外，在所述液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法中，優(yōu)選對(duì)于噴嘴在控制使沖洗動(dòng)作停止后，對(duì)于該噴嘴能夠使其進(jìn)行微振動(dòng)作。
由此可以進(jìn)一步精確的防止由于液滴噴出頭內(nèi)的液體揮發(fā)而引起的粘度上升。
另外，在所述液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法中，沖洗區(qū)域優(yōu)選相對(duì)于載物臺(tái)上的基板在所述一個(gè)方向上的兩側(cè)設(shè)置。
由此在所述一個(gè)方向上往復(fù)移動(dòng)時(shí)，由于在任一側(cè)都能進(jìn)行清洗，所以可以進(jìn)一步精確的防止由于液滴噴出頭內(nèi)的液體揮發(fā)而引起的粘度上升。
另外，在所述液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法中，優(yōu)選在液滴噴出頭在沖洗區(qū)域上向外測(cè)移動(dòng)時(shí)不進(jìn)行沖洗動(dòng)作，而僅在沖洗區(qū)域上向內(nèi)測(cè)移動(dòng)時(shí)才進(jìn)行沖洗動(dòng)作。
由此由于在僅向內(nèi)側(cè)，即向基板側(cè)移動(dòng)時(shí)才進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)使液滴在基板上噴出之前進(jìn)行沖洗，可以進(jìn)一步有效防止噴嘴的噴出不良。另外，由于在向外測(cè)移動(dòng)時(shí)不進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以可以減少液體的浪費(fèi)。
另外，在所述液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法中，所述液滴噴出頭設(shè)置為能夠向其四周方向回轉(zhuǎn)并且該回轉(zhuǎn)動(dòng)作可以通過(guò)所述控制裝置進(jìn)行控制，所述控制裝置優(yōu)選能夠控制在所述液滴噴出頭移動(dòng)至沖洗區(qū)域內(nèi)并且進(jìn)行清洗時(shí)，預(yù)先回轉(zhuǎn)該液滴噴出頭使該噴嘴的列相對(duì)于所述一個(gè)方向呈垂直，在全部噴嘴停止沖洗動(dòng)作后再次回轉(zhuǎn)使至傾斜位置。
由此，由于回轉(zhuǎn)該液滴噴出頭使該噴嘴的列相對(duì)于所述一個(gè)方向呈垂直，并且在該狀態(tài)下進(jìn)行沖洗，所以通過(guò)使液滴噴出頭變?yōu)閮A斜，可以防止一部分噴嘴從沖洗區(qū)域露出并且還可以防止在該狀態(tài)下進(jìn)行沖洗。
另外，在這種情況下，優(yōu)選在沖洗區(qū)域上相對(duì)于所述液滴噴出頭該噴嘴的列進(jìn)行相對(duì)于所述一個(gè)方向呈垂直回轉(zhuǎn)的動(dòng)作。
由此就不會(huì)影響基板上的液滴噴出，并且可以進(jìn)行沖洗。
在本發(fā)明的制膜方法中，其特征在于，具有所述液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法。
根據(jù)該制膜方法，由于具有所述液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，所以不會(huì)產(chǎn)生由于沖洗引起的生產(chǎn)率下降，另外，也可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被沖洗而引起對(duì)制膜產(chǎn)生的不良影響或者對(duì)裝置的污染。
本發(fā)明濾色器的制造方法，其特征在于，通過(guò)所述制膜方法形成濾色器。
根據(jù)該濾色器的制造方法，如所述不會(huì)降低生產(chǎn)率，另外，從能夠防止對(duì)制膜的不良影響以及對(duì)裝置的污染來(lái)看，可以提高濾色器的生產(chǎn)率并且還可以形成良好的濾色器。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，通過(guò)所述制膜方法形成有機(jī)EL裝置構(gòu)成要素的薄膜。
根據(jù)該有機(jī)EL裝置的制造方法，如所述不會(huì)降低生產(chǎn)率，另外，從能夠防止對(duì)制膜的不良影響以及對(duì)裝置的污染來(lái)看，可以提高有機(jī)EL裝置構(gòu)成要素的薄膜的生產(chǎn)率并且還可以形成良好的有機(jī)EL裝置構(gòu)成要素的薄膜。
本發(fā)明的電子設(shè)備，其特征在于，具有利用所述制膜方法形成的裝置。
根據(jù)該電子設(shè)備，由于具有利用所述制膜方法形成的裝置，所以可以以高生產(chǎn)率并且以良好的狀態(tài)形成。
圖2是表示用于說(shuō)明液滴噴出頭的簡(jiǎn)要構(gòu)成圖，(a)是表示主要部位的斜視圖，(b)是表示主要部位側(cè)的剖面圖。
圖3是表示用于說(shuō)明載物臺(tái)和沖洗區(qū)域之間的位置關(guān)系的俯視圖。
圖4中(a)和(b)是表示用于說(shuō)明沖洗區(qū)域與液滴噴出頭之間位置關(guān)系的俯視圖。
圖5中(a)和(b)是表示用于說(shuō)明液滴噴出頭移動(dòng)的俯視圖。
圖6是表示對(duì)于壓電子的外加電壓的波形。
圖7是表示基板上的濾色器區(qū)域的圖。
圖8中(a)～(f)是表示用于說(shuō)明濾色器區(qū)域形成方法的工序順序的主要部位側(cè)的剖視圖。
圖9是表示設(shè)有有機(jī)EL元件的EL顯示器的一個(gè)例子的電路圖。
圖10是表示圖9所示的EL顯示器中象素部的平面構(gòu)造的擴(kuò)大俯視圖。
圖11中(a)～(e)是表示用于說(shuō)明有機(jī)EL元件制造方法的工序順序的主要部位側(cè)的剖視圖。
圖12中(a)～(c)是表示用于說(shuō)明接著圖3中工序的順序的主要部位側(cè)的剖視圖。
圖13中(a)～(c)是表示用于說(shuō)明接著圖4中工序的順序的主要部位側(cè)的剖視圖。
圖14是表示本發(fā)明的電子設(shè)備的具體例的圖，(a)是表示用于便攜式電話時(shí)的一個(gè)例子的斜視圖，(b)是表示用于信息處理裝置時(shí)的一個(gè)例子的斜視圖，(c)是表示用于手表時(shí)的一個(gè)例子的斜視圖。
圖15中(a)、(b)是表示用于說(shuō)明液滴噴出頭的狀態(tài)(格角)和噴出液滴之間的位置關(guān)系的圖。
圖中30是表示液滴噴出裝置，34是表示液滴噴出頭，39是表示載物臺(tái)，40是表示控制裝置，41是表示沖洗區(qū)域，S是表示基板。
圖1是表示將設(shè)有本發(fā)明的液滴噴出裝置的制膜裝置作為制造濾色器的裝置使用時(shí)的一實(shí)施例的示意圖，在圖1中，符號(hào)30是表示作為制膜裝置的液滴噴出裝置。該液滴噴出裝置30由基座31、基板移動(dòng)裝置32、頭移動(dòng)裝置33、液滴噴出頭34、供液裝置35、控制裝置40等構(gòu)成。在基座31的上面設(shè)置所述基板移動(dòng)裝置32和頭移動(dòng)裝置33。
基板移動(dòng)裝置32，是設(shè)置在基座31上，設(shè)有沿著Y軸方向配置的導(dǎo)軌36。該基板移動(dòng)裝置32的構(gòu)成，例如可以通過(guò)線性電動(dòng)機(jī)(圖未示)使滑塊37沿著導(dǎo)軌36移動(dòng)。
在滑塊37上固定載物臺(tái)39。該載物臺(tái)39是用于保持決定基板S的位置。即，該載物臺(tái)39，具有公知的吸附保持裝置(圖未示)，通過(guò)使該吸附保持裝置動(dòng)作使基板S吸附保持在載物臺(tái)39上?；錝，例如通過(guò)載物臺(tái)39的位置固定栓(圖未示)，可以在載物臺(tái)39的一定位置上正確地固定其位置并保持固定。
相對(duì)于載物臺(tái)39上的基板S，在其兩側(cè)，即后述的在液滴噴出頭34的移動(dòng)方向(X軸方向)的兩側(cè)上，設(shè)置用于在液滴噴出頭34上進(jìn)行沖洗的沖洗區(qū)域41。這些沖洗區(qū)域41、41沿著Y軸方向延伸形成俯視矩形狀，通過(guò)設(shè)置于載物臺(tái)39側(cè)方基座31上的容器開(kāi)口部等而形成。另外，此類(lèi)沖洗區(qū)域41、41，可以預(yù)先決定在該基座31上的位置，并且該位置能夠記憶在后述的控制裝置中。
頭移動(dòng)裝置33，設(shè)有立于基座31后部側(cè)的一對(duì)架臺(tái)33a、33a和設(shè)置于這些架臺(tái)33a、33a上的移動(dòng)路徑33b，該移動(dòng)路徑33b是沿著X軸方向，即與前述基板移動(dòng)裝置32的Y軸方向垂直的方向配置。移動(dòng)路徑33b由跨過(guò)架臺(tái)33a、33a之間的保持板33c和設(shè)置于該保持板33c上的一對(duì)導(dǎo)軌33d、33d構(gòu)成，并且能夠確保在導(dǎo)軌33d、33d的長(zhǎng)方向上搭載液滴噴出頭34的承載器42能夠移動(dòng)。承載器42的構(gòu)成可以使通過(guò)線性電動(dòng)機(jī)(圖未示)等的動(dòng)作，在導(dǎo)軌33d、33d上移動(dòng)，由此可以使液滴噴出頭34沿著X軸方向移動(dòng)。
在此，該承載器42例如可以在導(dǎo)軌33d、33d的長(zhǎng)方向即X軸方向以1μm單位移動(dòng)，該移動(dòng)可以通過(guò)控制裝置40來(lái)控制。所以，如前述通過(guò)在控制裝置40中記憶的沖洗區(qū)域41、41的位置，如后述可以通過(guò)該控制裝置40控制液滴噴出頭34的各動(dòng)作與沖洗區(qū)域41、41的位置之間的關(guān)系。
液滴噴出頭34，通過(guò)安裝部43使能夠回轉(zhuǎn)地安裝在所述承載臺(tái)42上。在安裝部43上設(shè)置發(fā)動(dòng)機(jī)44，液滴噴出頭34，其支撐軸(圖未示)連接在發(fā)動(dòng)機(jī)44上，在這種構(gòu)成下，液滴噴出頭34能夠在其四周方向上回轉(zhuǎn)。另外，發(fā)動(dòng)機(jī)44也連接在所述控制裝置40上，由此液滴噴出頭34，其向四周方向的回轉(zhuǎn)可以由控制裝置40控制。
這里液滴噴出頭34，如圖2(a)所示，例如設(shè)有不銹鋼制的噴嘴板12和振動(dòng)扳13，通過(guò)隔開(kāi)部件(reservoir plate)14將兩者接合。在噴嘴扳12和振動(dòng)板13之間，通過(guò)隔開(kāi)部件14而形成多個(gè)空間15和貯液池16。在各空間15和貯液池16的內(nèi)部充滿了液狀材料，各空間15和貯液池16是通過(guò)供液口17連通。另外，在噴嘴板12上，以縱橫對(duì)直的狀態(tài)形成多個(gè)用于由空間15噴射液狀材料的噴嘴孔18。另一方面，在振動(dòng)扳13上形成用于向貯液池16供給液狀材料的孔19。
另外，在振動(dòng)扳13的空間15的相對(duì)面的反面上，如圖2(b)所示接合壓電元件(piezo元件)20。該壓電元件20的構(gòu)成是位于一對(duì)電極21之間，一旦通電能夠向外突出并且能夠彎曲。并且，在這樣構(gòu)成下，接合壓電元件20的振動(dòng)扳13與壓電子形成一體并且同時(shí)能夠向外彎曲，由此可以增大空間15的容積。所以，相當(dāng)于空間15內(nèi)增大的容積部分的液狀材料通過(guò)供液口17從貯液池16流入。另外，若由該種狀態(tài)停止向壓電元件20通電時(shí)，壓電元件20和振動(dòng)扳13都返回至初始形狀。所以，空間15也返回至初始容積，由此空間15內(nèi)的液狀材料的壓力上升，并且由噴嘴孔18向基板噴出液狀材料的液滴22。
另外，由此構(gòu)成的液滴噴出頭34，其底面形狀大致呈矩形，如圖15(a)、(b)所示，噴嘴N(噴嘴孔18)是以縱橫對(duì)直的狀態(tài)配置為矩形。并且，在本實(shí)施例中，將在其綜方向、即長(zhǎng)邊方向上配置的噴嘴組設(shè)為噴嘴的列(噴嘴列)。另外，各噴嘴N(噴嘴孔18)各自獨(dú)立，并且通過(guò)設(shè)置壓電元件20，可以使其噴出動(dòng)作或后述的微振動(dòng)作能夠各自獨(dú)立進(jìn)行。
液體供給裝置35是由向液滴噴出頭34供給液狀材料的液體供給源45和用于由該液體供給源45向液滴噴出頭34輸送液體的液體供給管46構(gòu)成。
控制裝置40，由計(jì)算機(jī)等構(gòu)成，如前述，在記憶沖洗區(qū)域41的位置、具體的說(shuō)是與Y軸平行的兩邊的X坐標(biāo)的同時(shí)，還可以檢測(cè)并記憶液滴噴出頭34的位置信息即在液滴噴出頭34的導(dǎo)軌33d、33d上的位置(X坐標(biāo))和此時(shí)各噴嘴的位置(X坐標(biāo))。另外，根據(jù)這些記憶，可以對(duì)相對(duì)于各噴嘴一般的噴出動(dòng)作和沖洗動(dòng)作、以及后述的微振動(dòng)作進(jìn)行控制。
以下對(duì)根據(jù)控制裝置40具體控制沖洗動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。在本發(fā)明中，可以以幾種方式進(jìn)行控制，但是從大的方面來(lái)分可以分為兩類(lèi)控制方式。另外，以下所示的控制，都是將液滴噴出頭34以噴嘴的列能夠傾斜并且能夠移動(dòng)至所需角度地配置，將其噴嘴間的間距設(shè)置為表觀上所需間距。
第一種控制方式，是邊使液滴噴出頭34移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域41內(nèi)在該液滴噴出頭34上進(jìn)行沖洗動(dòng)作的同時(shí)，在至少其中一個(gè)噴嘴到達(dá)從沖洗區(qū)域41內(nèi)偏離的位置時(shí)，能夠?qū)⑵錂z測(cè)并且使全部噴嘴的沖洗動(dòng)作停止。
第二種控制方式，是邊使液滴噴出頭34移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域41內(nèi)在該液滴噴出頭34上進(jìn)行沖洗動(dòng)作的同時(shí)，在噴嘴到達(dá)從沖洗區(qū)域41內(nèi)偏離的位置時(shí)，能夠?qū)⒃搰娮旒聪鄬?duì)于從沖洗區(qū)域41內(nèi)偏離的各個(gè)噴嘴，能夠停止該沖洗動(dòng)作。
即，在這些方式中，首先如前述，預(yù)選將沖洗區(qū)域41的兩邊位置作為液滴噴出頭34的移動(dòng)方向的X軸上的坐標(biāo)記憶。此時(shí)，如圖3所示，沖洗區(qū)域41在載物臺(tái)39(基板S)的兩側(cè)時(shí)，記憶載物臺(tái)39(基板S)側(cè)即作為內(nèi)側(cè)X坐標(biāo)的X2、X3，進(jìn)而也記憶作為外測(cè)的X1、X4。
另外，在所述第一種方式中，是記憶位于液滴噴出頭34的最外部的噴嘴，即如圖4(a)中所示，相對(duì)于液滴噴出頭34的移動(dòng)方向的X軸方向呈傾斜配置的液滴噴出頭34的在X軸方向上最外位置的角隅的噴嘴N1、N2的位置。另外，根據(jù)液滴噴出頭34的移動(dòng)當(dāng)這些噴嘴N1、N2到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域41內(nèi)偏離的位置時(shí)，例如如圖4(a)所示，液滴噴出頭34從沖洗區(qū)域41側(cè)向載物臺(tái)39側(cè)移動(dòng)時(shí)，當(dāng)其噴嘴N2到達(dá)沖洗區(qū)域41內(nèi)側(cè)的坐標(biāo)X2時(shí)，能夠使全部的噴嘴N的沖洗動(dòng)作停止。
另外，這樣的沖洗動(dòng)作，可以使通過(guò)液滴噴出頭34位于沖洗區(qū)域41上的所有空間而進(jìn)行，但特別是在噴出液體較昂貴時(shí)，優(yōu)選液滴噴出頭34在沖洗區(qū)域41上向外測(cè)移動(dòng)時(shí)，不進(jìn)行沖洗動(dòng)作，如圖4(a)所示，僅在沖洗區(qū)域41上向內(nèi)側(cè)移動(dòng)時(shí)，才控制沖洗動(dòng)作。
由此，通過(guò)在基板S上噴出液滴之前進(jìn)行沖洗，可以進(jìn)一步有效地防止噴嘴N的噴出不良，并且也可以減少液體的浪費(fèi)。
另外，在這樣僅向內(nèi)側(cè)移動(dòng)時(shí)才進(jìn)行沖洗的情況下，作為該沖洗動(dòng)作的初始時(shí)間無(wú)特殊限定，但是，例如液滴噴出頭34在沖洗區(qū)域上向外側(cè)移動(dòng)并且一旦從沖洗區(qū)域偏離后，再次返回，如圖4(b)所示，當(dāng)該噴嘴N1到達(dá)沖洗區(qū)域41的外側(cè)坐標(biāo)X1時(shí)，對(duì)于全部噴嘴能夠進(jìn)行沖洗動(dòng)作。另外，液滴噴出頭34不從沖洗區(qū)域41上離開(kāi)，并且即全部的噴嘴N以位于沖洗區(qū)域41上的狀態(tài)改變移動(dòng)方向而折回時(shí)，例如可以在折回時(shí)刻對(duì)于全部噴嘴進(jìn)行沖洗動(dòng)作。
另一方面，在所述第二種方式中，記憶傾斜配置的液滴噴出頭34的全部噴嘴的位置。并且，根據(jù)液滴噴出頭34的移動(dòng)，這些噴嘴N到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域41內(nèi)偏離的位置時(shí)，對(duì)于該噴嘴N、即從沖洗區(qū)域41內(nèi)偏離的各個(gè)噴嘴N，使該沖洗動(dòng)作停止。例如如圖4(a)所示，在液滴噴出頭34從沖洗區(qū)域41側(cè)向載物臺(tái)39移動(dòng)的情況下，當(dāng)噴嘴N2到達(dá)沖洗區(qū)域41的內(nèi)側(cè)坐標(biāo)X2時(shí)，能夠控制僅使該噴嘴N2的沖洗動(dòng)作停止。并且，之后即使對(duì)于到達(dá)該X2的其它噴嘴N，也可以依次控制使該沖洗動(dòng)作停止。
另外，即使在這樣的沖洗動(dòng)作中，各個(gè)噴嘴N可以分別通過(guò)位于沖洗區(qū)域41上的所有空間，但是，如前述在噴出液體較昂貴時(shí)，也仍然優(yōu)選能夠控制液滴噴出頭34在沖洗區(qū)域41上向外測(cè)移動(dòng)時(shí)不進(jìn)行沖洗動(dòng)作，而是僅在沖洗區(qū)域41上向內(nèi)側(cè)移動(dòng)時(shí)進(jìn)行沖洗動(dòng)作。
另外，在這些方式中，在液滴噴出頭34上進(jìn)行沖洗時(shí)，也可以預(yù)先將該液滴噴出頭34回轉(zhuǎn)至使該噴嘴的列相對(duì)于X軸方向(一個(gè)方向)呈垂直的位置，并且在該狀態(tài)下能夠進(jìn)行沖洗。即如圖5(a)所示，在載物臺(tái)39上(基板S)進(jìn)行液滴噴出后，直接移向沖洗區(qū)域時(shí)，根據(jù)控制裝置40作用發(fā)動(dòng)機(jī)44，并且使液滴噴出頭34向以圖5(a)中兩點(diǎn)劃線所示，不傾斜其姿勢(shì)而向正直的姿勢(shì)回轉(zhuǎn)，由此在沖洗區(qū)域41上噴嘴列在Y軸方向上變?yōu)樽藙?shì)一至。另外也可以在這樣回轉(zhuǎn)液滴噴出頭34時(shí)，將其移動(dòng)動(dòng)作在如圖5(b)所示在到達(dá)沖洗區(qū)域41上后進(jìn)行。
另外，在回轉(zhuǎn)液滴噴出頭34進(jìn)行這樣沖洗時(shí)，對(duì)于該沖洗的控制也可以以前述的兩種控制方式進(jìn)行。
若根據(jù)這種方式進(jìn)行沖洗，通過(guò)傾斜液滴噴出頭34可以防止其一部分噴嘴從沖洗區(qū)域41上露出，并且還可以防止在這種狀態(tài)下的沖洗。
另外，在到達(dá)沖洗區(qū)域后進(jìn)行回轉(zhuǎn)動(dòng)作時(shí)，對(duì)基板上的液滴噴出無(wú)影響，并且還可以進(jìn)行沖洗。
另外，作為控制方式，尤其在采用所述的第二種方式時(shí)，由于在沖洗區(qū)41域上液滴噴出頭34中的噴嘴列的方向都與Y軸方向(一個(gè)方向)一致，所以構(gòu)成噴嘴列的各噴嘴能夠同時(shí)到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域41偏離的位置。所以，無(wú)論對(duì)于每個(gè)噴嘴其控制沖洗的方式如何，實(shí)際上通過(guò)對(duì)每個(gè)噴嘴列的沖洗進(jìn)行控制，在沖洗區(qū)域41外不噴出液滴，并且可以進(jìn)行沖洗動(dòng)作，從而由此可以簡(jiǎn)化控制。
另外，在進(jìn)行這樣的沖洗時(shí)，即使在回轉(zhuǎn)液滴噴出頭34的情況下，也仍然優(yōu)選能夠控制液滴噴出頭34在沖洗區(qū)域上向外側(cè)移動(dòng)時(shí)不進(jìn)行沖洗動(dòng)作，而僅在在沖洗區(qū)域上向內(nèi)側(cè)移動(dòng)時(shí)才進(jìn)行沖洗動(dòng)作。
另外，即使在前述兩種中任一控制方式中，在進(jìn)行沖洗動(dòng)作后，對(duì)于停止其沖洗動(dòng)作的噴嘴，優(yōu)選能夠控制使在印字前進(jìn)行微振動(dòng)作。
這里所述的微振動(dòng)作，是指對(duì)對(duì)應(yīng)于液滴噴出頭34的各個(gè)噴嘴的壓電元件20外加很小的電壓并且由此使振動(dòng)扳13產(chǎn)生很小的振動(dòng)，在如圖2(a)、(b)所示的空間15內(nèi)的液狀材料中給予微振動(dòng)，并且不使液體噴出而抑制液狀材料的粘度增加的動(dòng)作。
即，在向基板上噴出液體以及沖洗時(shí)，對(duì)于對(duì)壓電元件20外加以圖6中波形T表示的較大電壓，在微振動(dòng)動(dòng)作中，外加以圖6中波形B表示的較小電壓，并且如前述不使液滴噴出而能夠在液狀材料中僅給予微振動(dòng)。另外，在微振動(dòng)動(dòng)作中，包括在基板S上進(jìn)行液滴噴出動(dòng)作以前進(jìn)行的第一微振動(dòng)；在噴嘴間相對(duì)于不進(jìn)行噴出動(dòng)作的噴嘴其它的噴嘴在進(jìn)行噴出動(dòng)作時(shí)進(jìn)行的第二微振動(dòng)；在液滴噴出頭34的開(kāi)動(dòng)前進(jìn)行的第三微動(dòng)作；以及與這些無(wú)關(guān)的平時(shí)進(jìn)行的平時(shí)微動(dòng)作等，在本發(fā)明中，特別是在進(jìn)行沖洗動(dòng)作后，優(yōu)選能夠控制對(duì)于停止其沖洗動(dòng)作的噴嘴，能夠進(jìn)行所述第一微動(dòng)作。
通過(guò)如此控制，可以進(jìn)一步確保防止由于液滴噴出頭34內(nèi)液體溶劑揮發(fā)而引起的粘度上升。
以下對(duì)在利用該類(lèi)構(gòu)成的液滴噴出裝置30驅(qū)動(dòng)方法的制膜方法適用于濾色器的制造時(shí)的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。
在該例子中，首先將基板S設(shè)置在載物臺(tái)39上的一定位置，再在控制該位置的控制裝置40中通入電源。另外，通過(guò)控制裝置40使發(fā)動(dòng)機(jī)44啟動(dòng)，移動(dòng)液滴噴出頭34使其噴嘴間的間距為表觀上所需的間距，即如圖15(b)所示的液滴T間的間距P3，并且傾斜該噴嘴列。
作為所述基板S，可以使用具有一定機(jī)械強(qiáng)度并且透光性高的透明基板。具體的說(shuō)，可以使用透明玻璃基板、丙烯酸玻璃、塑料基板、塑料膠片以及它們的表面處理品等。
另外，在本例子中，例如如圖7所示，在長(zhǎng)方形形狀的基板S上從提高生產(chǎn)率的觀點(diǎn)來(lái)看，可以使多個(gè)濾色器區(qū)域形成矩陣狀。這些濾色器區(qū)域51可以在后面通過(guò)切斷基板S而用作適合于液晶顯示裝置的濾色器。另外，作為濾色器區(qū)域51，可以配置為如圖7所示將R的液狀材料、G的液狀材料、以及B的液狀材料分別形成一定的圖案、在本例中形成以往公知的條紋圖案。另外，作為該形成圖案，除條紋形外，還可以是鑲嵌形、三角形或四角形等。
在形成這樣濾色器區(qū)域51中，首先如圖8(a)所示，對(duì)于透明基板S的一面，形成黑色矩陣52。
作為形成該黑色矩陣52的方法，是通過(guò)將無(wú)透光性的樹(shù)脂(優(yōu)選黑色)以計(jì)算機(jī)等的方法涂敷為一定厚度(例如2μm)來(lái)進(jìn)行。對(duì)于以該黑色矩陣52的格子圍成的最小顯示要素即濾器單位53，例如可以將X軸方向的幅度大致設(shè)為30μm，將Y軸方向的長(zhǎng)度大致設(shè)為100μm。
以下，如圖8(b)所示，由所述液滴噴出頭34噴出液滴54，并且將其供給濾器單位53。對(duì)于噴出液滴54的量，設(shè)為在考慮加工工藝中液狀材料的體積減少后的足夠量。
液滴54的噴出，是在沿著頭移動(dòng)裝置33中導(dǎo)軌33d、33d向X軸方向邊往返移動(dòng)液滴噴出頭34邊進(jìn)行的，此時(shí)，每一循環(huán)或每數(shù)個(gè)循環(huán)使液滴噴出頭34移動(dòng)至沖洗區(qū)域41中，并在此進(jìn)行所述沖洗。此時(shí)，也可以通過(guò)所述兩種方式中的任何一種方式來(lái)進(jìn)行。另外，對(duì)于在印字前進(jìn)行微振動(dòng)還是不進(jìn)行微振動(dòng)、使液滴噴出頭34一次性回轉(zhuǎn)后進(jìn)行沖洗還是不進(jìn)行沖洗、進(jìn)而對(duì)于沖洗的定時(shí)(僅在沖洗區(qū)域41上向內(nèi)側(cè)移動(dòng)時(shí)才進(jìn)行沖洗等)等，可以任意選擇。
通過(guò)這種方式在基板S上的所有濾器單位53中充填液滴54后，利用加熱器進(jìn)行加熱處理使基板S加熱到一定溫度(例如大致70℃)。通過(guò)該加熱處理，液狀材料的溶劑蒸發(fā)并且液狀材料的體積減少。在該體積急劇減少時(shí)，反復(fù)進(jìn)行噴出工序和加熱工序直至作為濾色器能夠獲得足夠膜厚為止。通過(guò)該處理，液狀材料的溶劑蒸發(fā)，最終僅液狀材料的固形成分殘留并且膜化，如圖8所示形成色材料層。
然后，為了使基板S平坦化并且保護(hù)色材料層55，如8(d)所示，覆蓋色材料層55或黑色矩陣52，并且在基板S上形成保護(hù)膜56。在形成該保護(hù)膜56的過(guò)程中也可以采用旋涂法、滾涂法、開(kāi)裂法(ripping)等的方法，與色材料層55的形成相同，也可以使用如圖1所示的液滴噴出裝置30。
然后，如圖8(e)所示在該保護(hù)膜56的整個(gè)面上通過(guò)飛濺法或真空蒸鍍法等形成透明導(dǎo)電膜57。之后，將透明導(dǎo)電膜57進(jìn)行圖案制作，對(duì)應(yīng)于所述濾器單元58將象素電極58進(jìn)行圖案制作。但是若在液晶顯示盤(pán)的驅(qū)動(dòng)中使用TFT(Thin Film Transistor)時(shí)，就不須要該圖案制作。
在利用此類(lèi)液滴噴出裝置30的濾色器的制造中，尤其是由于邊移動(dòng)液滴噴出頭34邊進(jìn)行該沖洗動(dòng)作，所以可以防止由于該沖洗而引起的生產(chǎn)率下降。
另外，由于構(gòu)成的控制裝置40使噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域41內(nèi)偏離的位置時(shí)，所有噴嘴或離開(kāi)的各個(gè)噴嘴的沖洗動(dòng)作停止，所以可以防止由于從沖洗區(qū)域41露出并且被清洗而引起對(duì)制膜或圖案形成產(chǎn)生的不良影響以及可以防止對(duì)裝置的污染。進(jìn)而，由于防止了對(duì)制膜或圖案形成產(chǎn)生的不良影響，因此可以提高濾色器的生產(chǎn)率并且能夠制造出良好的濾色器。
另外，利用本發(fā)明的液滴噴出裝置30的驅(qū)動(dòng)方法的制膜方法，也可以適用于形成有機(jī)EL元件構(gòu)成要素的薄膜。圖9和圖10是表示用于說(shuō)明設(shè)有該類(lèi)有機(jī)EL元件的EL顯示器中一個(gè)例子的簡(jiǎn)圖，在這些圖中符號(hào)70是表示EL顯示器。
該EL顯示器70的構(gòu)成為，如電路9所示，在透明的顯示基板上分別布有多條掃描線131、相對(duì)于這些掃描線呈交叉方向延伸的多條信號(hào)線132、以及與掃描線131并列延伸的多條通用送電線133，在每個(gè)掃描線131和信號(hào)線132的交叉點(diǎn)上設(shè)置象素(象素區(qū)域素)71。
對(duì)于信號(hào)線132，可以設(shè)置具有移位記錄器、電平移位、視頻線、模擬開(kāi)關(guān)的數(shù)據(jù)側(cè)驅(qū)動(dòng)電路72。
另一方面，對(duì)于掃描線131，可以設(shè)置具有移位記錄器和電平移位的掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路73。另外，在各個(gè)象素區(qū)域71中，可以設(shè)置通過(guò)掃描線131向柵極供給掃描信號(hào)的開(kāi)關(guān)薄膜晶體管142、通過(guò)該開(kāi)關(guān)薄膜晶體管142保持從信號(hào)線132供給的圖像信號(hào)的保持電容cap、通過(guò)保持電容cap向柵極供給保持的圖像信號(hào)的電流薄膜晶體管143、通過(guò)該電流薄膜晶體管143在通用送電線133上接通電源時(shí)從通用送電線133流入驅(qū)動(dòng)電流的象素電極141、夾在該象素電極141和反射電極154之間的發(fā)光部140。
在這樣構(gòu)成下，若掃描線131被驅(qū)動(dòng)并且開(kāi)關(guān)薄膜晶體管142接通時(shí)，此時(shí)的信號(hào)線132的電位保持在保持電容cap中，根據(jù)保持電容cap的狀態(tài)，來(lái)決定電流薄膜晶體管143是接通還是關(guān)閉狀態(tài)。并且，通過(guò)電流薄膜晶體管143的通道，由通用送電線133向象素電極141流入電流，進(jìn)而通過(guò)發(fā)光部140向反射電極154流入電流，由此發(fā)光部140就可以根據(jù)流入的電流量進(jìn)行發(fā)光。
這里各象素71的平面構(gòu)造，如去除反射電極、有機(jī)EL元件后的狀態(tài)的擴(kuò)大俯視圖的圖10所示，平面形狀為長(zhǎng)方形的象素電極141的四邊，通過(guò)信號(hào)線132、通用送電線133、掃描線131以及圖未示的其它象素電極用的掃描線包圍構(gòu)成。
以下，對(duì)于設(shè)置于這類(lèi)EL顯示器70的有機(jī)EL元件的制造方法，利用圖11～圖13來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。另外，在圖11～13中，為簡(jiǎn)化說(shuō)明只圖示了單一的象素71。
首先準(zhǔn)備基板。在有機(jī)EL元件中，可以構(gòu)成為能夠從基板側(cè)將后述的由發(fā)光層發(fā)光的光取出，以及也可以從與基板相反的一側(cè)取出。若是將發(fā)光的光從基板側(cè)取出的構(gòu)成時(shí)，作為基板材料可以使用玻璃、石英、樹(shù)脂等的透明至半透明的材料，優(yōu)選使用玻璃。
另外，在基板上可以配置含有濾色器膜或熒光性物質(zhì)的色變換膜、或介電體反射膜以便控制發(fā)光色。
另外，若是將發(fā)光的光從與基板的反側(cè)取出的構(gòu)成時(shí)，基板以不透明為宜，此時(shí)可以使用在氧化鋁等的陶瓷、不銹鋼等的金屬板上實(shí)施表面氧化等的絕緣處理材料、熱固化性樹(shù)脂、熱可塑性樹(shù)脂等。
在本例中，作為基板如圖11(a)所示利用由鈉鈣玻璃等構(gòu)成的透明基板121。與此相反，根據(jù)須要可以將TEOS(四乙氧基硅烷)或氧氣等作為原料通過(guò)等離子CVD法形成由厚度約為200～500nm的硅氧化膜構(gòu)成的底層保護(hù)膜(圖未示)。
然后，將透明基板121的溫度設(shè)定約為350℃，在底層保護(hù)膜的表面上通過(guò)等離子CVD法形成厚度約為30～70nm的非晶形硅膜構(gòu)成的半導(dǎo)體膜200。然后對(duì)于該半導(dǎo)體膜200進(jìn)行激光退火或固相成長(zhǎng)法等的結(jié)晶化工序，使半導(dǎo)體膜200在聚硅膜上結(jié)晶。在激光退火法中，例如在激元激光器中使用激光光束長(zhǎng)度為400nm的線光束，其輸出強(qiáng)度例如設(shè)置為200mJ/cm2。對(duì)于光束，進(jìn)行相當(dāng)于其寬度方向上激光強(qiáng)度峰值的90％部分能夠重合的掃描。
然后，如圖11(b)所示，將半導(dǎo)體膜(聚硅膜)進(jìn)行圖案制作并設(shè)置為島狀半導(dǎo)體210，對(duì)于其表面，將TEOS或氧氣作為原料通過(guò)等離子CVD法形成由厚度約為60～150nm的硅氧化膜或氮化膜構(gòu)成的門(mén)絕緣膜220。另外，半導(dǎo)體膜210，形成了如圖10所示的電流薄膜晶體管143的通道區(qū)域和源·漏區(qū)域，在不同剖面位置上也形成成為開(kāi)關(guān)薄膜晶體管142的通道區(qū)域和源·漏區(qū)域的半導(dǎo)體膜。即，在如11～圖13所示的制造工序中同時(shí)形成兩種類(lèi)型的晶體管142、143，由于是以相同的程序制造，所以在以下的說(shuō)明中關(guān)于晶體管僅對(duì)電流薄膜晶體管143進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)于開(kāi)關(guān)薄膜晶體管142省略說(shuō)明。
以下，如圖11(c)所示，通過(guò)噴濺法形成由鋁、鉭、鉬、鈦、鎢等的金屬膜構(gòu)成的導(dǎo)電膜后，將其進(jìn)行圖案制作，從而形成柵極143A。
然后，在該狀態(tài)下打入高濃度的磷離子，在半導(dǎo)體膜210上相對(duì)于柵極143A進(jìn)行自身整合形成源·漏區(qū)域143a、143b。另外，沒(méi)有引入雜質(zhì)的部分形成通道區(qū)域143c。
然后，如圖11(d)所示，在形成層間絕緣膜230后，形成接觸孔232、234，在這些接觸孔232、234內(nèi)植入中繼電極236、238。
然后，如圖11(e)所示在層間絕緣膜230上形成信號(hào)線132、通用送電線133和掃描線(圖11未示)。這里所述的中繼電極和各配線可以在同一工序中形成。此時(shí)中繼電極236可以通過(guò)后述ITO膜形成。
另外，形成能夠覆蓋各配線上面的層間絕緣膜240，在對(duì)應(yīng)于中繼電極236的位置上形成接觸孔(圖未示)，在該接觸孔內(nèi)也形成能夠植入的ITO膜，進(jìn)而將該ITO膜進(jìn)行圖案制作，在由信號(hào)線132、通用送電線133和掃描線(圖未示)圍成的一定位置中，在源·漏區(qū)域143a中形成電連接的象素電極141。在這里被信號(hào)線132和通用送電線133、進(jìn)而被掃描線(圖未示)夾持的部分如后述形成為空穴注入層或發(fā)光層的形成場(chǎng)所。
然后，如圖12(a)所示，形成能夠包圍所述形成場(chǎng)所的隔壁150。該隔壁150作為隔開(kāi)部件發(fā)揮作用，例如優(yōu)選由聚亞酰胺等的絕緣材料形成。對(duì)于隔壁150的膜厚，例如可以形成使高度為1～2μm。另外，隔壁150，對(duì)于液滴噴出頭34噴出的液體優(yōu)選顯示疏液性的材料。為使隔壁150的表面顯示疏液性，例如可以采用將隔壁150的表面以氟類(lèi)化合物等進(jìn)行表面處理等之類(lèi)的方法。作為氟類(lèi)化合物，例如有CF4、SF5、CHF3等，作為表面處理例如可以舉出等離子處理、UV照射處理等。
另外，在該構(gòu)成下，在空穴注入層或發(fā)光層的形成場(chǎng)所即在這些形成材料的涂敷位置和其周?chē)母舯?50之間形成足夠高的段差111。
然后，如圖12(b)所示，使顯示基板121的上面以向上的狀態(tài)將空穴注入層的形成材料由所述的液滴噴出頭34，在由所述隔壁150包圍的涂敷位置即隔壁150內(nèi)進(jìn)行選擇性涂敷。
這樣使空穴注入層的形成材料噴出，是邊使液滴噴出頭34沿著頭移動(dòng)裝置33中的導(dǎo)軌33d、33d向X軸方向往復(fù)移動(dòng)邊進(jìn)行，此時(shí)每個(gè)循環(huán)或每數(shù)個(gè)循環(huán)將液滴噴出頭34移至沖洗區(qū)域41內(nèi)，在這里進(jìn)行所述的沖洗。此時(shí)如前面的濾色器制造相同，可以通過(guò)所述兩種方式中任何一種來(lái)進(jìn)行。另外，對(duì)于在印字前是否進(jìn)行微振動(dòng)、進(jìn)而是否進(jìn)行定時(shí)沖洗(僅將沖洗區(qū)域41移向內(nèi)側(cè)時(shí)才進(jìn)行沖洗等)等，也可以任意選擇。
作為所述空穴注入層的形成材料，聚合物的前體可以舉出聚四氫硫苯亞苯基的聚亞苯基亞乙烯基、1，1-雙(4-N，N-二甲苯基氨基苯基)環(huán)己烷、三(8-羥基喹啉)鋁等。
此時(shí)液狀的形成材料114A，由于流動(dòng)性高而向水平方向擴(kuò)展，但是由于包圍了涂敷位置并且形成隔壁150，所以形成材料114可以防止越過(guò)隔壁150而擴(kuò)展到其外測(cè)。
然后，如圖12(c)所示，通過(guò)加熱或光照射使液狀前體114A的溶劑蒸發(fā)，在象素電極141上形成固狀正孔注入層140A。
然后，如圖13(a)所示，使顯示基板121的上面以向上的狀態(tài)由液滴噴出頭34作為液狀材料將發(fā)光層的形成材料(發(fā)光材料)114B選擇性地涂敷在所述隔壁150內(nèi)的空穴注入層140A上。在噴出該發(fā)光層的形成材料時(shí)，每個(gè)循環(huán)或每數(shù)個(gè)循環(huán)使液滴噴出頭34移至沖洗區(qū)域41內(nèi)，在此進(jìn)行所述的沖洗。
作為發(fā)光層的形成材料，例如優(yōu)選使用含有共軛類(lèi)高分子有機(jī)化合物的前體和用于改變所得發(fā)光層的發(fā)光特性的熒光色素的材料。
共軛類(lèi)高分子有機(jī)化合物的前體，是指和熒光色素一起由噴出頭34噴出并且形成薄膜后，例如如下式(I)所示通過(guò)加熱固化生成的成為共軛類(lèi)高分子有機(jī)EL層的發(fā)光層的物質(zhì)，例如所述前體為锍鹽時(shí)，通過(guò)加熱處理脫锍基形成共軛類(lèi)高分子有機(jī)化合物的物質(zhì)。 該類(lèi)共軛高分子有機(jī)化合物為固體并具有很強(qiáng)的熒光，可以形成均勻的固體超薄膜。并且富有形成能與ITO電極粘接性高。并且，該類(lèi)化合物的前體，由于在固化后形成牢固的共軛類(lèi)高分子膜，所以在加熱固化前可以將前體溶液調(diào)節(jié)為能夠適用于利用后述液滴噴出頭的制膜法的一定粘度，從而簡(jiǎn)便并且在較短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行最適宜條件的膜形成。
作為該類(lèi)的前體，例如優(yōu)選PPV[聚(對(duì)亞苯基亞乙烯基)]或其衍生物的前體。PPV或其衍生物的前體可溶于有機(jī)溶劑，另外，由于能夠聚合化所以也可以獲得光學(xué)上高質(zhì)量的薄膜。另外，PPV由于具有強(qiáng)的熒光并且為雙鍵π電子在聚合物鏈上的非極性導(dǎo)電性高分子，所以可以得到高性能的有機(jī)EL元件。
作為該類(lèi)PPV或PPV衍生物的前體，可以舉出例如如化學(xué)式(II)所示的PPV[聚(對(duì)亞苯基亞乙烯基)]前體、MO-PPV[聚(2，5-二甲氧基-1，4-亞苯基亞乙烯基)]前體、CN-PPV{聚[2，5-雙己基氧代-1，4-亞苯基-(1-氰基亞乙烯基)]}前體、MEH-PPV{聚[2-甲氧基-5-(2’-乙基己基氧代)]-對(duì)亞苯基亞乙烯基}前體等。 PPV或PPV衍生物的前體，如前述可溶于水，在制膜后通過(guò)加熱進(jìn)行高分子化并且形成PPV層。在所述PPV前體中代表前體的含量相對(duì)于整個(gè)組合物優(yōu)選為0.01～10.0wt％，進(jìn)一步優(yōu)選0.1～5.0wt％。若前體的添加量過(guò)少，共軛類(lèi)高分子膜的形成就不充分，過(guò)多，組合物的粘度變高，有時(shí)會(huì)不利于通過(guò)使用液滴噴出頭的制膜方法而進(jìn)行的高精度的圖案案形成。
另外，作為發(fā)光層的形成材料，優(yōu)選至少含有一種熒光色素。由此可以改變發(fā)光層的發(fā)光特性，例如，可以提高發(fā)光層的發(fā)光效率，或?qū)τ糜谧鳛楦淖冏畲笪展獠ㄩL(zhǎng)(發(fā)色光)手段有效。即，熒光色素不是作為單一的發(fā)光層材料，還可以用于發(fā)揮發(fā)光功能自身的色素材料。例如可以將由共軛類(lèi)高分子有機(jī)化合物分子上的媒介物重組生成的激子的能量基本上轉(zhuǎn)移至熒光色素分子上。此時(shí)，發(fā)光由于僅是由高熒光色素分子產(chǎn)生的，所以也可以增加發(fā)光層的電流量子效率。所以通過(guò)在發(fā)光層的形成材料中添加熒光色素，同時(shí)發(fā)光層的發(fā)光光譜也成為熒光分子的熒光，所以作為用于改變發(fā)光色的方法段也是有效的。
另外，這里所述的電流量子效率是指根據(jù)發(fā)光功能用于考察發(fā)光性能的尺度，以下式定義。
ηE＝放射光子的能量/輸入電能并且，根據(jù)由熒光色素的涂料引起的最大吸收光波長(zhǎng)的變換，例如可以發(fā)出紅、藍(lán)、綠三原色光，其結(jié)果可以得到全彩色顯示體。
進(jìn)而通過(guò)攙雜熒光色素，可以大幅度地提高EL元件的發(fā)光效率。
作為熒光色素，在形成發(fā)出紅色發(fā)色光的發(fā)光層時(shí)，優(yōu)選使用具有紅色發(fā)色光的若丹明或若丹明衍生物。這些熒光色素由于是小分子所以可以溶于水，并且與PPV相溶好，從而容易形成均勻穩(wěn)定的發(fā)光層。作為該類(lèi)熒光色素，具體的可以舉出若丹明B、若丹明B堿、若丹明6G、若丹明101高氯酸鹽等，也可以將它們中的兩種以上混合使用。
另外，在形成發(fā)出綠色發(fā)色光的發(fā)光層時(shí)，優(yōu)選使用具有綠色發(fā)色光的喹丫酮和其衍生物。這些熒光色素與所述紅色熒光色素相同由于是低分子所以可以溶于水，并且與PPV相溶性良好，從而容易形成發(fā)光層。
另外，在形成發(fā)出藍(lán)色發(fā)色光的發(fā)光層時(shí)，優(yōu)選使用具有藍(lán)色發(fā)色光的二苯乙烯聯(lián)二苯和其衍生物。這些熒光色素與所述紅色熒光色素相同由于是低分子所以可以溶于水，并且與PPV相溶性良好，從而容易形成發(fā)光層。
另外，作為具有綠色發(fā)色光的其它熒光色素，可以舉出香豆素和其衍生物。這些熒光色素與所述紅色熒光色素相同由于是低分子所以可以溶于水，并且與PPV相溶性良好，從而容易形成發(fā)光層。作為這類(lèi)熒光色素具體的可以舉出香豆素、香豆素-1、香豆素-6、香豆素-7、香豆素120、香豆素138、香豆素152、香豆素153、香豆素311、香豆素314、香豆素334、香豆素337、香豆素343等。
另外，作為另外具有藍(lán)色發(fā)色光的熒光色素可以舉出四苯基丁二烯(TPB)或TPB衍生物。這些熒光色素與所述紅色熒光色素相同由于是低分子所以可以溶于水，并且與PPV相溶性良好，從而容易形成發(fā)光層。
對(duì)于以上的熒光色素各色可以僅使用1種也可以將兩種以上混合使用。
對(duì)于這些熒光色素，相對(duì)于所述共軛類(lèi)高分子有機(jī)化合物的前體固形成分優(yōu)選添加0.5～10wt％，進(jìn)一步優(yōu)選添加1.0～5wt％。熒光色素的添加量過(guò)多，很難維持發(fā)光層的耐氣候性和耐久性，另一方面，添加量若過(guò)少，即使通過(guò)添加所述的熒光色素也不能得到足夠的效果。
另外，對(duì)于所述前體和熒光色素，優(yōu)選使分散或溶解于極性溶劑調(diào)配為液狀材料，并且將該液狀材料由液滴噴出頭34噴出。極性溶劑，由于可以容易地將所述前體、熒光色素等溶解或均勻分散，所以可以防止在液滴噴出頭34的噴嘴孔18中由發(fā)光層形成材料中的固形成分引起的粘附或堵塞。
作為該類(lèi)極性溶劑，具體的可以舉出水、甲醇、乙醇等與水相溶的醇；N，N-二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、二甲基咪唑啉(DMI)、二甲基亞砜(DMSO)等有機(jī)溶劑或無(wú)機(jī)溶劑，也可以將它們中的兩種以上進(jìn)行適當(dāng)?shù)鼗旌鲜褂谩?br> 另外，優(yōu)選在所述形成材料中添加潤(rùn)濕劑。由此可以有效地防止在形成材料在液滴噴出頭34的噴嘴孔18內(nèi)干燥凝固。作為潤(rùn)濕劑例如可以舉出甘油、二乙二醇等多元醇，也可以將它們中兩種以上混合使用。作為該潤(rùn)濕劑的添加量，相對(duì)于形成材料的總量?jī)?yōu)選為5～20wt％范圍。
另外，也可以添加其它的添加劑、成膜穩(wěn)定化材料，例如可以使用穩(wěn)定劑、粘度調(diào)節(jié)劑、抗老化劑、pH調(diào)節(jié)劑、防腐劑、樹(shù)脂溶膠、流平劑。
若將該類(lèi)發(fā)光層的形成材料114B由液滴噴出頭34的噴嘴孔18噴出時(shí)，形成材料114A涂敷在隔壁150內(nèi)的空穴注入層140A上。
此時(shí)由形成材料114A的噴出而形成的發(fā)光層，是通過(guò)將發(fā)出紅色發(fā)色光的發(fā)光層的形成材料、發(fā)出綠色發(fā)色光的發(fā)光層的形成材料、發(fā)出藍(lán)色發(fā)色光的發(fā)光層的形成材料分別噴出并涂敷于對(duì)應(yīng)的象素71上而形成。另外，對(duì)應(yīng)于各色的象素71可以預(yù)先決定使它們能夠有規(guī)則地配置。
通過(guò)這種方式將各色的發(fā)光層形成材料噴出并涂敷后，通過(guò)蒸發(fā)發(fā)光層形成材料114B中的溶劑，如圖13(b)所示在空穴層注入層140A上形成固形的發(fā)光層140B，由此可以獲得由空穴層注入層140A和發(fā)光層140B構(gòu)成的發(fā)光部140。這里對(duì)于發(fā)光層形成材料114B中溶劑的蒸發(fā)，根據(jù)須要進(jìn)行加熱或減壓等的處理，但是，發(fā)光層的形成材料，通常由于干燥性良好并且具有速干性，不需要進(jìn)行這樣特殊的處理，所以通過(guò)依次將各色的發(fā)光層形成材料噴出涂敷，可以根據(jù)涂敷順序形成各色的發(fā)光層140B。
之后，如圖13(c)所示，在透明基板121的整個(gè)表面上，或者在條紋狀狀上形成發(fā)射電極154，從而得到有機(jī)EL元件。
在由該類(lèi)液滴噴出裝置30制造有機(jī)EL元件構(gòu)成要素的空穴層注入層140A或放光層140B的過(guò)程中，特別是由于邊移動(dòng)液滴噴出頭34邊進(jìn)行其沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)該沖洗動(dòng)作可以防止生產(chǎn)率的下降。
另外，由于控制裝置40的構(gòu)成是使噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定沖洗區(qū)域41偏離的位置時(shí)，能夠停止全部噴嘴或各個(gè)偏離噴嘴的沖洗動(dòng)作，所以可以確切地防止由于從沖洗區(qū)域41露出并且被沖洗而引起的對(duì)制膜或圖案制作的不良影響或者對(duì)裝置的污染。進(jìn)而由于防止了對(duì)制膜或圖案的制作的不良影響，所以可以以高的生產(chǎn)率并且形成良好的空穴注入層140A或發(fā)光層140B。
另外，作為本發(fā)明的液滴噴出裝置和其驅(qū)動(dòng)方法、以及設(shè)有它們的制膜裝置和制膜方法，不僅可以用于尤其是作為濾色器或有機(jī)EL元件構(gòu)成要素的薄膜的制造，還可以用于其它各種薄膜或圖案的形成。例如可以用于投影用屏幕等的微型透鏡的形成。
以下對(duì)本發(fā)明的電子設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明電子設(shè)備中的裝置構(gòu)成要素或制造上形成的薄膜是通過(guò)利用所述的液滴噴出裝置30的驅(qū)動(dòng)方法的制膜方法而形成的。即本發(fā)明的電子設(shè)備，是將設(shè)有所述濾色器的液晶顯示裝置、或設(shè)有所述有機(jī)EL元件的EL顯示器等作為顯示裝置而設(shè)置的。
圖14(a)是表示便攜電話的一個(gè)例子的斜視圖。在圖14(a)中，500表示便攜電話主體，501表示由所述液晶顯示裝置或EL顯示器構(gòu)成的顯示裝置。
圖14(b)是表示文字處理機(jī)、電腦等的便攜型信息處理裝置的一個(gè)例子的斜視圖。在圖14(b)，600表示信息處理裝置、601表示鍵盤(pán)等的輸入部，603表示信息處理主體、602表示由所述液晶顯示裝置或EL顯示器等構(gòu)成的顯示裝置。
圖14(c)是表示手表型電子設(shè)備的一個(gè)例子的斜視圖。在圖14(c)中700是表示手表主體、701是表示由所述液晶顯示裝置或EL顯示器構(gòu)成的顯示裝置。
圖14(a)～(c)所示的電子設(shè)備，由于設(shè)有由所述液晶顯示裝置或EL顯示器構(gòu)成的顯示裝置，所以成品率高并且良好。
如以上說(shuō)明，根據(jù)本發(fā)明的液滴噴出裝置，由于是邊使液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)該沖洗不會(huì)降低生成率。另外，由于構(gòu)成的控制裝置使在至少一個(gè)噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，所有噴嘴的沖洗動(dòng)作停止，所以可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被清洗而引起對(duì)制膜或圖案形成產(chǎn)生的不良影響以及可以防止對(duì)裝置的污染。
根據(jù)本發(fā)明的另一液滴噴出裝置，由于是邊使液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)該沖洗不會(huì)降低生成率。另外，由于構(gòu)成的控制裝置使在噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，該噴嘴的沖洗動(dòng)作停止，所以可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被清洗而引起對(duì)制膜或圖案形成產(chǎn)生的不良影響以及可以防止對(duì)裝置的污染。
根據(jù)本發(fā)明的制膜裝置，由于設(shè)有所述液滴噴出裝置，所以不會(huì)產(chǎn)生由于沖洗引起的生產(chǎn)率下降，另外，也可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被沖洗而引起對(duì)制膜產(chǎn)生的不良影響或者對(duì)裝置的污染。
根據(jù)本發(fā)明的液體噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，由于是邊使液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)該沖洗不會(huì)降低生成率。另外，由于構(gòu)成的控制裝置使在至少一個(gè)噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，所有噴嘴的沖洗動(dòng)作停止，所以可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被清洗而引起對(duì)制膜或圖案形成產(chǎn)生的不良影響以及可以防止對(duì)裝置的污染。
根據(jù)本發(fā)明的另一液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，由于是邊使液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)進(jìn)行沖洗動(dòng)作，所以通過(guò)該沖洗不會(huì)降低生成率。另外，由于構(gòu)成的控制裝置在使噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，該噴嘴的沖洗動(dòng)作停止，所以可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被清洗而引起對(duì)制膜或圖案形成產(chǎn)生的不良影響以及可以防止對(duì)裝置的污染。
根據(jù)本發(fā)明的制膜方法，由于具有所述液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，所以不會(huì)產(chǎn)生由于沖洗引起的生產(chǎn)率下降，另外，也可以防止由于從沖洗區(qū)域露出并且被沖洗而引起對(duì)制膜產(chǎn)生的不良影響或者對(duì)裝置的污染。
根據(jù)本發(fā)明的濾色器的制造方法，如所述不會(huì)降低生產(chǎn)率，另外，從能夠防止對(duì)制膜的不良影響以及對(duì)裝置的污染來(lái)看，可以提高濾色器的生產(chǎn)率并且還可以形成良好的濾色器。
根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法，由于是通過(guò)所述制膜方法形成有機(jī)EL裝置構(gòu)成要素的薄膜，所以不會(huì)降低生產(chǎn)率，另外，從能夠防止對(duì)制膜的不良影響以及對(duì)裝置的污染來(lái)看，可以提高有機(jī)EL裝置構(gòu)成要素的薄膜的生產(chǎn)率并且還可以形成良好的有機(jī)EL裝置構(gòu)成要素的薄膜。
根據(jù)本發(fā)明的電子設(shè)備的制造方法，由于設(shè)有利用所述制膜方法形成的裝置，所以可以高生產(chǎn)率的形成良好的電子設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，具有將設(shè)置于載物臺(tái)上方的相對(duì)于基板能夠向一個(gè)方向往復(fù)移動(dòng)并且使在所述基板上噴出液滴的多個(gè)噴嘴縱橫對(duì)直配置的液滴噴出頭、相對(duì)于所述載物臺(tái)上的基板在所述一個(gè)方向上的至少一側(cè)設(shè)置的沖洗區(qū)域、以及控制所述液滴噴出頭動(dòng)作的控制裝置，所述液滴噴出頭是相對(duì)于所述一個(gè)方向?qū)⒃搰娮斓牧袃A斜地設(shè)置，其特征在于，所述控制裝置設(shè)置為，在邊使所述液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)在該液滴噴出頭上進(jìn)行沖洗動(dòng)作的同時(shí)，在至少一個(gè)噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，能夠控制使所有噴嘴的沖洗動(dòng)作停止。
2.一種液滴噴出裝置，具有將設(shè)置于載物臺(tái)上方的相對(duì)于基板能夠向一個(gè)方向往復(fù)移動(dòng)并且使在所述基板上噴出液滴的多個(gè)噴嘴縱橫對(duì)直配置的液滴噴出頭、相對(duì)于所述載物臺(tái)上的基板在所述一個(gè)方向上的至少一側(cè)設(shè)置的沖洗區(qū)域、以及控制所述液滴噴出頭動(dòng)作的控制裝置，所述液滴噴出頭是相對(duì)于所述一個(gè)方向?qū)⒃搰娮斓牧袃A斜得設(shè)置，其特征在于，所述控制裝置設(shè)置為，在邊使所述液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)在該液滴噴出頭上進(jìn)行沖洗動(dòng)作的同時(shí)，在噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，能夠控制使該噴嘴的沖洗動(dòng)作停止。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述控制裝置，對(duì)于噴嘴在控制使沖洗動(dòng)作停止后，控制使對(duì)于該噴嘴進(jìn)行微振動(dòng)作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述沖洗區(qū)域是相對(duì)于載物臺(tái)上的基板設(shè)置于所述一個(gè)方向上的兩側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述控制裝置能夠控制，使所述液滴噴出頭在沖洗區(qū)域上向外側(cè)移動(dòng)時(shí)不進(jìn)行沖洗動(dòng)作，僅在沖洗區(qū)域上向內(nèi)側(cè)移動(dòng)時(shí)才進(jìn)行沖洗動(dòng)作。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，構(gòu)成為能夠使所述液滴噴出頭向其四周方向回轉(zhuǎn)并且該回轉(zhuǎn)動(dòng)作能夠通過(guò)所述控制裝置進(jìn)行控制，其特征在于，所述控制裝置，在所述液滴噴出頭移動(dòng)至沖洗區(qū)域內(nèi)并且進(jìn)行清洗時(shí)，能夠控制預(yù)先回轉(zhuǎn)該液滴噴出頭使該噴嘴的列相對(duì)于所述一個(gè)方向呈垂直，在全部噴嘴停止沖洗動(dòng)作后再回轉(zhuǎn)使至傾斜位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，其特征在于，在沖洗區(qū)域上進(jìn)行相對(duì)于所述液滴噴出頭該噴嘴的列能夠相對(duì)于所述一個(gè)方向呈垂直回轉(zhuǎn)的動(dòng)作。
8.一種制膜裝置，配置有權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置。
9.一種液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，在配置于載物臺(tái)的基板上涂敷液滴，其特征在于，所述液滴噴出裝置具有將設(shè)置于載物臺(tái)上方的相對(duì)于所述基板能夠向一個(gè)方向往復(fù)移動(dòng)并且使在所述基板上噴出液滴的多個(gè)噴嘴縱橫對(duì)直配置的液滴噴出頭、和相對(duì)于所述載物臺(tái)上的基板在所述一個(gè)方向上的至少一側(cè)設(shè)置的沖洗區(qū)域，相對(duì)于所述一個(gè)方向使該噴嘴的列傾斜地設(shè)置所述液滴噴出頭，沖洗是在邊使所述液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)通過(guò)在該液滴噴出頭上進(jìn)行沖洗動(dòng)作而進(jìn)行，之后，在至少一個(gè)噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，使全部噴嘴的沖洗動(dòng)作停止。
10.一種液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，在配置于載物臺(tái)的基板上涂敷液滴，其特征在于，所述液滴噴出裝置具有將設(shè)置于載物臺(tái)上方的相對(duì)于所述基板能夠向一個(gè)方向往復(fù)移動(dòng)并且使在所述基板上噴出液滴的多個(gè)噴嘴縱橫對(duì)直配置的液滴噴出頭、和相對(duì)于所述載物臺(tái)上的基板在所述一個(gè)方向上的至少一側(cè)設(shè)置的沖洗區(qū)域，相對(duì)于所述一個(gè)方向使該噴嘴的列傾斜地設(shè)置所述液滴噴出頭，沖洗是在邊使所述液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)通過(guò)在該液滴噴出頭上進(jìn)行沖洗動(dòng)作而進(jìn)行，之后，在噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，使該噴嘴的沖洗動(dòng)作停止。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于，在停止噴嘴的沖洗動(dòng)作后，對(duì)于該噴嘴能夠使其進(jìn)行微振動(dòng)作。
12.根據(jù)權(quán)利要求9～11中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于，所述沖洗區(qū)域是相對(duì)于載物臺(tái)上的基板設(shè)置于在所述一個(gè)方向上的兩側(cè)。
13.根據(jù)權(quán)利要求9～12中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于，液滴噴出頭，在沖洗區(qū)域上向外測(cè)移動(dòng)時(shí)不進(jìn)行沖洗動(dòng)作，僅在沖洗區(qū)域上向內(nèi)側(cè)移動(dòng)時(shí)才進(jìn)行沖洗動(dòng)作。
14.根據(jù)權(quán)利要求9～13中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，構(gòu)成為能夠使所述液滴噴出頭向其四周方向回轉(zhuǎn)并且該回轉(zhuǎn)動(dòng)作能夠通過(guò)所述控制裝置進(jìn)行控制，其特征在于，在所述液滴噴出頭移動(dòng)至沖洗區(qū)域內(nèi)并且進(jìn)行清洗時(shí)，預(yù)先回轉(zhuǎn)該液滴噴出頭使該噴嘴的列相對(duì)于所述一個(gè)方向呈垂直，在全部噴嘴停止沖洗動(dòng)作后再回轉(zhuǎn)使至傾斜位置。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方法，其特征在于，在沖洗區(qū)域上相對(duì)于所述液滴噴出頭該噴嘴的列能夠進(jìn)行相對(duì)于所述一個(gè)方向呈垂直回轉(zhuǎn)的動(dòng)作。
16.一種制膜方法，其特征在于，具有權(quán)利要求9～15中任一項(xiàng)所述的驅(qū)動(dòng)方法。
17.一種濾色器的制造方法，其特征在于，通過(guò)權(quán)利要求16所述的制膜方法形成濾色器。
18.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，通過(guò)權(quán)利要求16所述的制膜方法形成有機(jī)EL裝置的構(gòu)成要素的薄膜。
19.一種電子設(shè)備，具有利用權(quán)利要求16所述的制膜方法形成的裝置。
全文摘要
一種液滴噴出裝置及其驅(qū)動(dòng)方法、制膜裝置及其制膜方法，不降低生產(chǎn)率并且可以防止對(duì)制膜或圖案制作產(chǎn)生的不良影響或?qū)ρb置產(chǎn)生的污染，該液滴噴出裝置(40)設(shè)有能夠向X軸方向往復(fù)移動(dòng)并且將多個(gè)噴嘴縱橫對(duì)直配置的液滴噴出頭(34)、相對(duì)于所述載物臺(tái)(39)上的基板(S)在至少一側(cè)設(shè)置的沖洗區(qū)域(41)、以及控制液滴噴出頭動(dòng)作的控制裝置(40)，液滴噴出頭(34)是相對(duì)于X軸方向傾斜配置?？刂蒲b置(40)在邊使所述液滴噴出頭移動(dòng)邊在沖洗區(qū)域內(nèi)進(jìn)行沖洗動(dòng)作的同時(shí)，在至少一個(gè)噴嘴到達(dá)從預(yù)先設(shè)定的沖洗區(qū)域內(nèi)偏離的位置時(shí)，能夠控制使所有噴嘴的沖洗動(dòng)作停止。
文檔編號(hào)B41J2/01GK1442305SQ031068
公開(kāi)日2003年9月17日 申請(qǐng)日期2003年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月4日
發(fā)明者臼田秀范 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社