專利名稱：涂層形成方法、涂層形成設備、裝置、裝置制造方法及電子設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種使用液滴噴射裝置的涂層形成法和一種涂層形成設備，并涉及由此產生的裝置和制造方法及一種電子裝置。
這里，當布線圖在某一設備上形成時，會存在一種情況，例如同時有一個直線圖案和與直線圖案斜對著的一種斜線圖案，或者一種布線圖中同時存在不同寬度的線路。然而，當在普通噴射條件下利用液滴噴射設備形成這些不同的布線圖時，有時就會出現形成的圖案無法達到某種要求的精度的情況。
例如，在普通噴射條件下(噴射具有同一種尺寸的液滴)，當形成既有直線圖案又有斜線圖案的某個布線圖時，就會出現噴射的液滴的間隙不連續(xù)的情況，尤其是在斜線圖案中；因此，得到的布線圖就會存在傳導缺陷。因此，就會關系到設備質量可能下降。
為了解決上述問題，一種在母板上設置許多單位區(qū)域、從液滴噴頭將由液體成分制成的液滴噴射到單位區(qū)域而在母板上形成涂層的涂層形成方法，優(yōu)選包含下述步驟由液滴噴頭中形成的第一組噴嘴形成第一圖案；由與第一組噴嘴不同的第二組噴嘴形成第二圖案。
按照本涂層形成法，第一圖案由第一組噴嘴形成，而第二圖案由與第一組噴嘴不同的第二組噴嘴形成。因此，當形成直線圖案與斜線圖案(例如由第一組噴嘴形成)且液滴只噴射到直線圖案中的單位區(qū)域時，即使液滴間的間隙不足，也可由第二組噴嘴將液滴噴射到單位區(qū)域中的邊界部分，使其位于由第一組噴嘴噴射的液滴形成的直線圖案中各液滴的之間。因此，直線圖案中液滴的間隙就連接了起來。
同樣，在本發(fā)明的涂層形成方法中，優(yōu)選由第一組噴嘴將液滴噴射到單位區(qū)域，而由第二組噴嘴將液滴噴射到單位區(qū)域邊界部分。
這樣做的話，就由連續(xù)的液滴形成了一個涂層(圖案)；因此，得到的涂層(圖案)就具有極好的連續(xù)性。
此外，在依照本發(fā)明的涂層形成方法中，液體成分優(yōu)選包含某種導電成分。
這樣做的話，就可以形成一個導電涂層，比如布線圖。因此，就可以形成沒有線路斷點的連續(xù)性極好的布線圖。
同樣，在依照本發(fā)明的涂層形成法中，第一組噴嘴和第二組噴嘴優(yōu)選以交錯的方式排列在液滴噴頭中。
當使得第一組噴嘴中各個噴嘴間的間隔與相鄰單位區(qū)域之間的間隔相應時，液滴噴頭應該是傾斜的。這是因為第一組噴嘴中各噴嘴間的間隔通常比相鄰單位區(qū)域之間的間隔寬，并且顯然優(yōu)選要縮小第一組噴嘴中噴嘴間的間隔。在這種情形中，如果第一組噴嘴和第二組噴嘴是以交錯的方式排列的，則可以利用液滴噴頭相對較小的傾斜角，因為第一組噴嘴中各噴嘴間的間隔本來就很窄。
在依照本發(fā)明的涂層形成法中，優(yōu)選根據單位區(qū)域之間的間隔來確定液滴噴頭中噴嘴間的間隔。
依照本發(fā)明中的涂層形成法，液滴的噴射不用控制液滴噴頭的傾角θ。因此，由于液滴是從涂層形成設備中的某一特定的液滴噴頭噴射的，所以在涂層形成設備中，傾角調節(jié)裝置就不是必需有的。這樣，就不需要傾角調節(jié)裝置；這樣，就可以降低涂層形成設備的成本。
在一種依照本發(fā)明的涂層形成設備(它在母板上設置大量單位區(qū)域，通過液滴噴射頭將液體成分制成的液滴噴射到單位區(qū)域，而在母板上形成涂層)中，涂層形成設備優(yōu)選配置一個控制液滴噴射頭噴射操作(即液滴噴射頭上形成的噴嘴中的第一組噴嘴形成第一圖案而與第一組噴嘴不同的第二組噴嘴形成第二圖案)的控制部件。
本涂層形成設備配置了一種控制液滴噴射頭噴射操作的控制部件，以便由第一組噴嘴形成第一圖案而由與第一組噴嘴不同的第二組噴嘴形成第二圖案。因此，當形成直線圖案與斜線圖案(例如由第一組噴嘴形成)且液滴只噴射到直線圖案中的單位區(qū)域時，即使液滴間的間隙不足，也可由第二組噴嘴將液滴噴射到單位區(qū)域中的邊界部分，使其位于由第一組噴嘴噴射的液滴形成的直線圖案中各液滴的之間。因此，直線圖案中液滴的間隙就連接了起來。
同樣，在一種依照本發(fā)明的涂層形成設備中，液滴噴射裝置優(yōu)選配置一個控制液滴噴射頭傾斜角用的傾斜控制裝置。
這樣的話，就由傾角調整裝置來控制液滴噴射頭的傾角；因此，就可以比較容易地使噴嘴間的間隔相應相鄰單位區(qū)域間的間隔。
同樣，在依照本發(fā)明的涂層形成設備中，液滴噴射裝置優(yōu)選配置一個噴射量調節(jié)部件，用于調節(jié)液滴噴頭中從噴嘴出來的液滴噴射量。
這樣做的話，就可以通過噴射量調整部件來調整液滴噴射頭上每個噴嘴出來的液滴噴射量；因此，就可以調整圖案中某個形成涂層的厚度或寬度。尤其是，可以提高圖案結構的精度。
依照本發(fā)明的裝置優(yōu)選有一個由本發(fā)明的涂層形成設備形成的涂層。
這樣做的話，裝置的涂層(圖案)中就能具有極好的連續(xù)性。
依照本發(fā)明的一種裝置的制造方法(它在母板上設置許多單位區(qū)域，從液滴噴頭將來自液體成分制成的液滴噴射到單位區(qū)域而在基準板上形成涂層)優(yōu)選包括這些步驟由液滴噴射頭形成的第一組噴嘴形成第一圖案；由與第一組噴嘴不同的第二組噴嘴形成第二圖案；和在母板上形成涂層。
按照本發(fā)明中的裝置制造方法，可以制造一種具有極好連續(xù)性的涂層(圖案)的裝置。
本發(fā)明中的電子設備優(yōu)選配置按本發(fā)明的一個裝置。
這樣做的話，本發(fā)明中的裝置就具有優(yōu)質的產品質量。
如上所述，按照本發(fā)明，第一圖案由第一組噴嘴形成而第二圖案由與第一組噴嘴不同的第二組噴嘴形成。因此，當形成直線圖案與斜線圖案(例如由第一組噴嘴形成)且液滴只噴射到斜線圖案中的單位區(qū)域時，即使液滴間的間隙不足，也可由第二組噴嘴將液滴噴射到單位區(qū)域中的邊界部分，使其位于由第一組噴嘴噴射的液滴形成的斜線圖案中各液滴的之間。因此，就可以形成一個連續(xù)的涂層(圖案)；這樣，得到的涂層(圖案)就具有極好的連續(xù)性。這樣做的話，就可以提高產品的產量并保持穩(wěn)定的噴射操作；從而，就可以制造出高質量的設備。
圖2A和2B顯示了液滴噴頭的整體結構。圖2A是液滴噴頭一種重要部件的透視圖。圖2B是液滴噴頭的底視圖。
圖3是說明液滴噴頭中噴嘴排列的液滴噴頭的底視圖。
圖4是一個使用了本發(fā)明的涂層形成方法的等離子顯示裝置框圖。
圖5顯示了一種布線圖的實例。
圖6A至6C示出了圖5中所示的布線圖的形成過程。
圖7A和7B顯示了使用依照本發(fā)明的另一種涂層形成法的形成過程。
圖8A和8B為其中使用了依照本發(fā)明的涂層形成方法的一個液晶顯示裝置圖。圖8A為在某一圖像顯示區(qū)域內的一種等價電路。圖8B為每一像素總體結構的放大視圖。
圖9A到9C為其中使用了依照本發(fā)明的涂層形成方法的電場發(fā)射顯示器圖。圖9A為電子放電顯示的概要圖，圖9B為一種驅動電路圖。圖9C為電子放電裝置的一種重要部件的透視圖。


圖10A到10C顯示了電子設備的各個實例。圖10A為其中使用了本發(fā)明的移動電話實例透視圖。圖10B為其中采用本發(fā)明的信息處理設備實例透視圖。圖10C為其中使用了本發(fā)明的手表的實例透視圖。
圖1顯示了依照本發(fā)明的涂層形成設備示例。圖1中標號30表示一種涂層形成設備。涂層形成設備30配置了一個底座31、一個母板操作部件32、一個頭部移動部件33、一個液滴噴頭34、一個供液部件35以及一個控制部件40等。母板操作部件32和頭部移動部件33都裝配在基座31上。母板操作部件32裝配在基座31上。母板操作部件32裝配有一個沿Y軸方向擺放的導軌36。母板操作部件32可由例如線性電機(圖中未顯示)沿導軌36移動滑塊37。
平臺39固定在滑塊37上。母板S擺放在平臺39上，并保持在某一預設的位置。具體地講，平臺39具有一種平常已知的吸附固定(absorbing retaining)部件(圖中未示出)。吸附固定部件由平臺39操作；因此，母板S吸附和固定在平臺39上。母板S由平臺39上的例如定位銷(圖中未示出)來精確定位和固定在平臺39上的預定位置。
液滴噴頭沖洗用的沖洗區(qū)域41設置在平臺39上的母板S的兩側，也就是液滴噴頭34的移動方向(X軸方向)上的兩側。
頭部移動部件33包括豎立于基座31的后端的一對柱狀物33a和33a以及設置在柱狀物33a和33a上方的滑道33b。在頭部移動部件33上，滑道33b沿X方向設置，它與母板操作部件32的移動方向的Y軸垂直?；?3b由設置在柱狀物33a和33a上的固定墊板33c以及一對導軌33d和33d組成。在導軌33d和33d縱向方向運送液滴噴頭34的滑架42夾持著以便在頭部移動部件33中自由移動。導軌33d和33d上滑架42的運動由線性電機(圖中未示出)或相似的設備來驅動。這樣做的話，液滴噴頭34就可沿X軸方向移動。這里，滑架42可以沿導軌33d和33d縱向方向(也就是X軸方向)移動，例如，每一次移動1μm。這種移動由控制部件40來控制。
液滴噴頭34附著在滑架42上，以通過裝配部件43自由旋轉。電機44安裝在裝配部件43上。液滴噴頭34的支撐軸(圖中未示出)與電機44相連。這樣做的話，液滴噴頭34就能夠沿其圓周方向旋轉。同樣，電機44也與控制部件40相連。通過這樣做，液滴噴頭34沿其圓周方向的旋轉角(諸如液滴噴頭的傾角)則由控制部件40控制。依照本發(fā)明的傾角控制裝置(圖中未示出)由上述結構中的電機44、支撐液滴噴頭34的支撐軸和控制部件40構成。
這里，如圖2A所示，液滴噴頭34配置了不銹鋼制成的一個噴嘴板12和一個振動板13。噴嘴板12和振動板13通過分隔裝置(槽板)14連接或附著在一起。由分隔裝置14在噴嘴板12和振動板13之間形成了許多的空間15和一個液體池16。每個空間15和液體池16都裝有液體成分。每個空間15和液體池16都通過一個供應口17連通。在噴嘴板中，水平和垂直地形成有多個規(guī)則的從空間15噴射液體成分的噴嘴孔18。向液體池16供應液體成分的孔19形成于振動板13。
同樣，如圖2B所示，壓電元件20附著于振動板13的一側表面上，另一側正對著空間15。壓電元件20放置在一對電極21之間。當對壓電元件20供電時，壓電元件20會彎曲而向外突起。附著壓電元件20的振動板13也因此彎曲，與壓電元件20一起向外突起。這樣的話，空間15的體積會變大。因此，與空間中所增加的體積相等的一定量的液體成分就會經過供應口17從液體池16流入空間15。同樣，當切斷壓電元件20電源時，壓電元件20和振動板13將恢復到它們的最初形狀。因此，空間15中的容量也會回到原始狀態(tài)。因而，空間15內部的液體成分中的壓力隨之增大；因此，會從噴嘴孔18向母板噴射出一個液滴22。
這里，具有上述結構的液滴噴頭34的底部形狀大致成一個矩形。噴嘴N(噴嘴孔18)在液滴噴頭34中以等間隔垂直成直角排列。在本實施例中，在噴嘴陣列中其中間排列有一個子噴嘴Nb(第二噴嘴)的噴嘴稱為主噴嘴(第一噴嘴)，噴嘴陣列沿垂直縱向排列。同樣，排列的子噴嘴中間也有一個主噴嘴(第一噴嘴)Na。
每種噴嘴N(噴嘴Na，噴嘴Nb)分別配置有壓電元件20。這樣做的話，噴射操作就可以獨立地進行。具體講，控制發(fā)送到壓電元件20的某種電信號形式的一個噴射波形，就可能調整和改變出自噴嘴N的液滴的噴射量。這里，噴射波形由控制部件40控制。在這種方式中，控制部件40可以用作噴射量調整部件，用于調整出自噴嘴N的液滴的噴射量。
這里，液滴噴頭34并不只限于使用上述壓電元件20的壓電-噴射式液滴噴射頭。例如，可以使用利用熱學手段的液滴噴射頭。在這種情況中，就可以通過改變供電持續(xù)時間來改變液滴的噴射量。
液體成分供應部件35由一個液體成分供應源45(用于向液滴噴頭34供應液體成分)和一個液體成分供應管46(用于將液體成分從液體成分供應源45供應到液滴噴頭34)組成。液體成分并不只限于任何特定的液體產品；而可以根據期望形成的涂層的要求，使用各種液體產品。例如，當形成的涂層用作布線圖時，就可以使用包括以下傳導粒子的液體成分。這里，根據形成涂層的要求，允許從液滴噴頭噴射包含絕緣粒子的液體成分，以形成某種絕緣圖案。
對于包含導體粒子的液體成分，也可以使用分散液(dispersionliquid)(其中導電粒子分散于分散介質中)。作為一種導電粒子，可以使用包含金、銀、銅、鈀和鎳中任意一種的金屬粒子。同樣，也可以使用導電聚合粒子或超導粒子。
導電粒子的直徑優(yōu)選在5nm到0.1μm之間。如果導電粒子的直徑大于0.1μm，按液滴噴法噴射液體成分(liquid member)會存在困難，這是因為液滴噴射裝置中的頭部的噴嘴會經常出現阻塞，這將在后面做出解釋。同樣，如果導電粒子的直徑小于5nm，涂層成分(coatingmember)與導電粒子的容積比率就會偏高，因此所得到的涂層中有機成分所占的比例就會過高。
在包含導電粒子的液體分散介質中，在室溫下汽壓優(yōu)選在0.001mmHg到200mmHg(大概為0.133Pa到26600Pa)之間。如果汽壓高于200mmHg，分散介質會在噴射后迅速蒸發(fā)；因此，很難形成優(yōu)質的涂層。
此外，在分散介質中，汽壓能在0.001mmHg到50mmHg(大概為0.133Pa到6650Pa)之間就更好。如果汽壓大于50mmHg，當按照液滴噴射法噴射液滴時，易因干燥而發(fā)生噴嘴的阻塞；因此，不容易執(zhí)行穩(wěn)定的噴射操作。
另一方面，如果在室溫下分散介質中的汽壓汽壓低于0.001mmHg，因為需要花費時間脫水，所以在涂層中容易殘留分散介質；這樣，在熱處理或光處理中，不容易得到優(yōu)質的導電層。
只要分散介質(dispersion medium)能分散導電粒子而不產生結塊，則對使用的分散介質沒有特別的限制。更具體一點，水、醇類(例如甲醇、乙醇，丙醇和丁醇)、烴(例如n-庚烷、n-辛烷、癸烷、甲苯、二甲苯、甲基異丙基苯、四甲基苯、茚、二戊烯、四氫化萘、十氫化萘和環(huán)己基苯)、醚(例如乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚、乙二醇甲乙基醚、乙二醇二甲基醚、乙二醇乙烷基醚、乙二醇甲乙基醚、1，2-二甲氧基乙烷、雙(2-氧基乙荃)醚，p-二惡烷和極性化合物(例如丙烯碳酸鹽、γ-丁內酯、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲亞砜和環(huán)己酮碳氫化合物、醚混合液)，醚類等都可以指定作為分散介質。在水、醇、烴、醚這些分散介質中間，粒子容易在其中分散，分散液體穩(wěn)定，并且在這種液滴噴射法，這些分散介質也容易使用，這種分散介質優(yōu)選。作為更優(yōu)的分散介質，可以指定水和烴。這些分散介質可以單獨使用，也可以與其它分散介質結合以混合物的形式使用。
當上述導電粒子分散在分散介質中時，分散物的密度優(yōu)選占總重量的1％到80％。這樣做的話，就可以根據導電層的厚度調整分散物的密度。如果分散物的密度大小80％的重量，容易出現聚合現象；這樣就不容易形成均勻的涂層。
其中分散有上述導電粒子的分散液(液體成分)的表面張力優(yōu)選在0.02N/m到0.07N/m之間。當按照液滴噴射法噴射液體成分時，如果表面張力小于0.02N/m，在噴嘴表面上墨狀合成物的可濕性會增加；這樣，容易出現浮動的彎曲(flying curve)。如果表面張力超過0.07N/m，噴嘴管頭的彎月形就不穩(wěn)定；因此，不容易控制噴射量和進行噴射定時。
為了調整表面張力，只要與母板S的接觸角度減小得合理，也可以向分散液中添加少量氟類、硅樹脂類，非離子類或其它類似的表面張力調節(jié)成份。非離子表面張力調節(jié)成份可以改善到達母板的液體成分的可濕性以及涂層的均勻性(leveling ability)。非離子表面張力調節(jié)成份對于防止在形成的涂層中產生汽泡及桔皮表面，很有用。
如果必要，分散液體中包含有機化合物(如醇、醚、酯和酮)也是可以按受的。
分散液的優(yōu)選粘度為1mPa.s到50mPa.s。當利用液滴噴射法噴射液滴時，分散液的粘度低于1mPa.s，噴嘴外圍就可能會被墨液污染。如果粘度大于50mPa.s，噴嘴孔常會被阻塞；這樣液滴的噴射就不會順暢。
控制部件40具有計算機及類似計算機的一種功能。控制部件40用于控制液滴噴射頭34的傾角以及出自噴嘴N的液滴噴射量。并且，控制部件40要提前輸入數據。這樣做的話，大量單位區(qū)域以格子的形式設置在母板S上，且液滴由主噴嘴Na噴射到單位區(qū)域上。另一方面，從子噴嘴Nb噴射的液滴被噴射到單位區(qū)域中間的邊界部分。這樣，就實現了對液滴噴頭34的噴射操作的控制。等離子顯示裝置接下來，以使用上述涂層形成設備1的布線圖形成法為例，說明依照本發(fā)明的涂層形成的方法。這里，以等離子顯示裝置中形成的布線圖為例進行說明。
圖4是一個等離子顯示裝置的框圖，其中等離子顯示裝置使用了依本發(fā)明的涂層形成法。等離子顯示裝置由圖4中標號52表示。等離子顯示裝置52配置有一個AC等離子顯示面板51(作為矩陣彩色顯示裝置)和一個驅動單元53(用于有選擇地照亮屏幕中的眾多單元)。
等離子顯示面板51是一種表面放電的等離子顯示面板，其中平行排列著一對吸持或保持電極Xd和Yd。在某種三電極矩陣中，該吸持電極Xd和Yd以及一個地址電極A對應每一個單元。吸持電極Xd和Yd在屏幕中沿直線方向(水平方向)延伸。吸持電極Yd用作掃描電極，用于逐線地選擇單元線以執(zhí)行尋址操作。地址電極A是一個數據電極，用于逐陣列地選擇某個單元陣列。地址電極A沿陣列方向(垂直方向)延伸。驅動單元53包括一個控制器54、一個幀存儲器55、一個X驅動電路56、Y驅動電路57、一個地址驅動電路58和一個供電電路(圖中未示出)。指示每個像素中RGB的照度水平(對比度)的多級圖像數據DR、DG和DB是從外部裝置與多種同步信號一起輸入到驅動單元53。
在圖像數據DR、DG和DB裝入幀存貯器55后，圖像數據DR、DG和DB會被控制器54轉換為每一種顏色的子幀數據Dsf。然后，圖像數據DR、DG和DB被再次裝入幀存貯器55中。子幀數據Dsf為收集的二進制數據，這些二進制數據用于指示是否應該點亮由某一幀分割而成的每個子幀中的某一單元，以便顯示出對比度。吸持電極Xd的電壓由X驅動電路56供給。吸持電極Yd的電壓由Y驅動電路57供給。根據從幀存貯器55傳送來的子幀數據Dsf，地址驅動電路58會有選擇地供給尋址電壓。
圖5為圖4中所示的等離子顯示裝置中布線圖的一部分的放大視圖。在圖5中，在母板S上形成了一個直線圖案61和一個斜線圖案62，其中，直線圖案61是沿X軸方向延伸的；斜線圖案62與直線圖案61相連，它沿傾斜方向延伸到直線圖案61的擴展方向。斜線圖案62是一條連接圖4中的驅動電路和吸持電極的導線。另一方面，直線圖案61例如可以是一個吸持電極。
以下將對圖5中所示的布線圖60的形成過程進行說明。
首先，如圖6A所示，在母板S上設置由多個格子小方塊(bit)(單位區(qū)域)B形成的小方格圖(bit map)M。同樣，液滴噴頭34的傾角由控制部件40控制。如圖6A所示，液滴噴頭34的主噴嘴Na的排列與多個小方塊B的中心對應。這樣做的話，子噴嘴Nb或子小塊(sub-bit)Nb設置得相應于主噴嘴Na或主小塊(main-bit)Na之間的邊界部分，諸如形成小方格(單位區(qū)域)B的直線L的交點C，因為小方格(單位區(qū)域)B成正方形。
接下來，設置液滴噴射到小方格圖M上的小方格B的位置，以便與布線圖60的尺寸和形狀對應。其結果是，從液滴噴頭34的主噴嘴Na噴射出的液滴22就沖著小方格B的中心。如圖6B所示，這樣液滴22就沉積在了小方格B(單位區(qū)域)中。這里，噴出的液滴22的大小(體積)要使沉積液滴T的直徑比方格B的一邊的長度稍大一點。更具體地講，噴出的液滴22的大小(體積)要使垂直方向或水平方向相鄰的各個方格B之間各個沉積的液滴T的外周的部分相重疊。
通過按上述方法噴射液滴，沉積的相鄰液滴在方格B中重疊，而形成直線圖案61；因此，沉積的相鄰液滴就連接了起來。然而，形成斜線圖案62的液滴T間的距離等于方格B中圓點B(單位區(qū)域)對角線的長度，即等于傾斜排列的方格B之間的距離。液滴T之間的這種距離是方格B一邊長度的1.4倍。因此，傾斜相鄰的液滴T并不能重疊而連接在一起。
因此，從液滴噴頭34的主噴嘴Na噴射在方格B中的液滴形成斜線圖案62。這以后，如圖6C所示，子噴嘴Nb噴射液滴T，以沉積到對角排列的方格B與B之間的邊界部分。這樣，如圖6C所示，液滴T沉積在了直線L的交點C上。在這種情況下，從子噴嘴Nb噴出的液滴22的大小(體積)等于從主噴嘴Na噴出的液滴(T)的尺寸是可以接受的。在這種情況下，形成斜線圖案62的方格B中的液體成分的量實際上要比形成直線圖案61的方格B中的液體成分的量要大。這樣做的話，斜線圖案62的線寬要比直線圖案61的寬。同樣，斜線圖案62的線的厚度也要比直線圖案61的厚。
因此，控制部件40要提前對從子噴嘴Nb噴射的液滴(Ts)的噴射波型實施控制。這樣做的話，就可以使形成的液滴(Ts)比從主噴嘴Na噴射的液滴(T)足夠小。例如，優(yōu)選控制從子噴嘴Nb噴射的液滴(Ts)的大小，使在斜線圖案62中從主噴嘴Na噴出的液滴T之間重疊的液滴量與形成直線圖案61的液滴T與T之間的液滴量大致相等，如此控制比較恰當。
在由液滴T和Ts按這種方式形成直線圖案61和斜線圖案62之后，執(zhí)行脫水操作將液滴中的液體組成(液體成分)蒸發(fā)掉。這樣，導電粒子就留在了母板S上。此外，還要執(zhí)行烘焙操作熔結導電粒子；這樣，就可以得到由如圖5中所示的直線圖案61和斜線圖案62形成的布線圖60了。
在按上述方法形成的布線圖60中，從主噴嘴Na噴射的液滴沉積在斜線圖案中的斜對的方格B中。同時，從子噴嘴Nb噴射的液滴沉積在方格B與B之間的邊界部分，例如直線L的交點C上。這樣，在液滴T與T之間就沒有不連續(xù)的地方了；因此，液滴就可靠地連接在了一起。因此，由于在直線圖案61和斜線圖案62中均沒出現斷點，就可以完成可靠的布線圖60。
同樣，根據上述布線圖60的制造方法，可以形成優(yōu)質的布線圖60。而且，主噴嘴對應于每個方格B。子噴嘴Nb對應方格B與B之間的邊界部分。如圖1所示，類似于傳統的情況，不必在X軸方向移動液滴噴頭34就可以將液體噴射到方格B上。同樣，也可以不沿X軸方向移動液滴噴頭34就可以將液滴噴射到方格B與B之間的邊界部分。因此，就可以縮短時間，這對于以高速掃描速度噴射液體很必要。同樣，也可以提高圖案結構的精度。這樣做的話，就可以在很短的時間內高效地形成高精度、可靠的布線圖60。
同樣，擁有這種布線圖的裝置(本實現例的等離子顯示裝備)也就擁有了可靠、優(yōu)質的布線圖60；因此，設備的質量也是可靠的。
這里，來自液滴噴射頭34的液滴的噴射操作并不只局限于上面所說明的從主噴嘴Na噴射液滴后再從子噴嘴Nb噴射液滴的這一種情況。也允許在子噴嘴Nb噴射液滴后再從主噴嘴Na噴射液滴。此外，也允許從主噴嘴Na和子噴嘴Nb同時噴射液滴。
同樣，也允許從主噴嘴Na和子噴嘴Nb對某一個點噴射多次液滴，以便將液滴鋪設到優(yōu)選的厚度。在這種情況中，根據需要可以在噴射操作之間安排一次烘焙處理。
同樣，在以上實施例中，噴嘴的排列要讓稱為主噴嘴Na之間有一個子噴嘴Nb。同樣，子噴嘴的排列也要使子噴嘴中間有一個主噴嘴。但本發(fā)明并不只局限于這樣的一種排列方式。在本發(fā)明中，也允許在稱作主噴嘴Na的噴嘴之間排列兩個或三個子噴嘴Nb。在這種情況中，有必要增大液滴噴頭34的傾角θ以使主噴嘴Na與方格B對應。這里，增加了子噴嘴Nb；因此，就可以更靈活地將液滴噴射到與方格并不對應的某一位置。這樣的話，就可能更加靈活地形成圖案。
同樣，允許依照形成的圖案，每一次掃描操作都可以改變液滴噴頭34的傾角θ；也允許適當地改變排列在主噴嘴中間子噴嘴Nb的數目。
在上述情況中，按照本發(fā)明形成的涂層是一個布線圖。但本發(fā)明并不只限于這些特征。本發(fā)明能適用于形成在裝置(如半導體裝置)上的所有涂層。對于這種設備，可能將其稱為如絕緣層、保護層、濾色鏡、照明裝置等類似的名稱。
下面，將對依照本發(fā)明的涂層形成法的其它示例進行說明。
在上述實施例中，通過控制液滴噴頭34的傾角θ將主噴嘴Na對準方格B的中心。與之不同，在本發(fā)明中，布線圖的形成過程中就沒有控制傾角θ。
在本實施例中，相同的裝置由與上述實施例中相同的標號表示；這樣，為避免重復說明，將只對與上述實施例不同的特征予以說明。
在當前實施例中，液滴噴頭34’的結構與上述液滴噴頭34的結構不同。如圖7A所示，液滴噴頭34’上配置了噴嘴N，其中主噴嘴Na的節(jié)距寬度等于方格B與B之間的中心距離(相鄰單位區(qū)域中心的距離)BP。也就是說，液滴噴頭34’是專用于以某一特定中心距離BP噴射液體成分。這里，子噴嘴Nb對應方格B與B之間的邊界部分，諸如線L的交叉點。
按照使用了上述結構液滴噴頭34’的涂層形成法，就沒有必要控制傾角θ，且如圖7B所示，母板S上沉積有液滴T和液滴Ts。因此，可以形成與上述實施例類似的布線圖60(見圖5)。
同樣，也沒有必要控制傾角θ。因此，就沒有必要在涂層形成設備30中的裝配部件43中安裝電機44。因此，可以降低涂層形成設備30的成本。同時，也可以完成高精度的涂層形成操作，而避免由傾角θ而產生的噴射精度惡化的情況。
在當前實施例中，說明了布線圖60的涂層形成法。然而，本發(fā)明不僅限于制造布線圖60這一種情況，而可以依照各種圖案形成涂層。例如，當中心距離BP相當大時，具體地講就是當方格圖M粗糙時，也可以根據中心距離BP使用裝配有大間距或節(jié)距寬度NP主噴嘴Na的液滴噴頭。
同樣，在當前實施例中，設置的節(jié)距寬度NP等于中心距離BP。然而，在本發(fā)明中，節(jié)距寬度NP也允許相應于中心距離BP。具體地講，節(jié)距寬度NP例如是中心距離BP的一半也是允許的。在這種情況下，可以按更好的方式，移動涂層形成設備30中的平臺39和液滴噴射頭34將液滴沉積在方格B上。液晶顯示設備接下來，作為將按本發(fā)明的制造法應用到一種裝置的情況，將對液晶顯示裝置進行說明。這里，在本實施例中的液晶顯示設備的制造方法與上面描述的布線圖形成方法基本相同；因此，將不再對重復內容進行說明。
圖8A和圖8B是液晶顯示設備圖。圖8A是在液晶顯示設備中形成圖像顯示區(qū)域的用于開關元件的各種元件與線路的等價電路圖。圖8B是液晶顯示設備的重要部件的放大視圖，說明了在每個像素和像素電極(pixel electrode)中設置的開關元件的結構。
如圖8A所示，液晶顯示裝置100由排列在矩陣中的大量的掃描線101和大量的數據線102、大量的像素電極130以及控制像素電極130用的大量像素開關TFT 110(后面稱為TFT)形成。掃描信號Q1、Q2到Qm以脈沖的方式在掃描線101中提供。圖像P1，P2到Pn都在數據線102中提供。此外，如后面要說明的那樣，掃描線101和數據線102均與TFT 110相連。TFT 110是由掃描信號Q1，Q2，…Qm以及圖像信號P1，P2，…Pn驅動。此外，形成的一個累積電容120用于將具有預設電平的圖像信號P1，P2到Pn保存一段時間。電容線103與累積電容120相連。
以下將參照圖8B對TFT 110進行描述。
如圖8B所示，TFT 110是所謂的底部門(bottom gate)TFT(反向交錯底部門)。更具體一點，絕緣母板100a為液晶顯示設備100的底部部件，上面依次堆疊的是在絕緣母板100a表面形成的一個母板保護層110I，一個門電極110G，一個門絕緣層110I，一個溝道區(qū)(channel area)110C和一個保護溝道的絕緣層112I。源區(qū)110S是一種高密度N-非晶硅層，它和漏區(qū)域110D形成于絕緣層112I的兩側。一個源極111S形成在源區(qū)110S的一個表面。漏極111D形成在漏區(qū)域110D的一個表面。
此外，夾層絕緣層112I和由透明電極比如ITO成分制成的像素電極130都形成在上述電極的表面。經夾層絕緣層112I的一個接觸孔，像素電極130與漏極111D相連。
這里，門電極(gate electrode)110G是掃描線101的一部分。此外，源極111S是數據線102的一部分。此外，像上面已說明的那樣，門電極110G和掃描線101是按照上述布線圖形成法形成的。
在這種液晶顯示設備中，根據掃描信號Q1，Q2，到Qm電力從掃描線101供應到門電極110g。門電極110G附近會形成電場；這樣，溝道區(qū)域110C就處于由這種電場產生的傳導狀態(tài)。此外，在這種傳導狀態(tài)下，電力是根據圖像信號P1，P2，…Pn從數據線102供應到源極111S上的；因此，電力就到達了像素電極130，像素電極130與對面的電極(facing electrodes)之間被施加電壓。也就是說，可以優(yōu)選通過控制掃描信號Q1，Q2，…Qm和圖像信號P1，P2，…Pn來驅動液晶顯示設備。
具有上述結構的液晶顯示設備中的門電極110G和掃描線101就是根據上述布線圖形成的方法形成的。因此，布線圖就不會存在例如不連通的缺點；因此，這種布線圖是優(yōu)質而可靠的。因此，這種液晶顯示設備也是可靠的。也就是說，具有與上面所說明的同樣的效果。
這里，依照本實施例的布線圖形成法并不只限制在形成門電極110G和掃描線101這一種情況。根據本實施例的布線圖形成法可以用在形成其它比如數據線102之類的方法中。場發(fā)射顯示設備接下來，作為應用了依本發(fā)明的制造法的一種裝置，將對場發(fā)射顯示設備(以下稱作FED)進行說明，這種場發(fā)射顯示設備配置有一種電場發(fā)射元件。這里，FED的制造方法與上述布線圖的制造方法相同；因此，就不再說明FED的制造方法。
圖9A到9C是FED的說明圖。在圖9A中，顯示了形成FED的陰極母板和陽極母板配置的總體結構。圖9B是FED中陰極母板中置配的一個驅動電路圖。圖9C為顯示陰極母板的一種重要部件的透視圖。
如圖9A所示，在FED 200中，陰極母板200a和陽極母板200b彼此相對設置。如圖9B所示，陰極母板200a包括一個門線(gateline)201，一個發(fā)射線202和一個與門線201和發(fā)射線202相連的電場發(fā)射元件203。換句話說，FED 200是一個簡單的矩陣驅動電路。門信號V1，V2，…Vm由門線201提供。發(fā)射信號W1，W2，…Wm由發(fā)射線202提供。同樣，陽極母板200b配置有某種具有RGB顏色的熒光成分。當一個電子與碰撞到它上面時，熒光成分就會被照亮。
如圖9C所示，電場發(fā)射元件203配置有一個發(fā)射電極203a，發(fā)射電極203a與發(fā)射線202和門電極203b(與門線201相連)相連。而且，發(fā)射電極203a配置有一個稱為發(fā)射電極頭205的突出部分，其中電極頭是從發(fā)射電極203a朝向門電極203b變窄的。在發(fā)射電極203a中，圓孔部分204形成在與發(fā)射電極頭205相應的的門電極203b上。發(fā)射電極頭205的尖部安排在圓孔部分204中。
在這種FED 200，門線201中的門信號V1，V2…Vm和發(fā)射線202中的發(fā)射信號W1，W2…Wm是受控的。通過這么做，發(fā)射電極203a和門電極203b之間被施加電壓。由于電解作用，電子210從發(fā)射電極頭205朝向圓孔部分204運動；因此，就從發(fā)射電極頭205的末端放出電子210。這里，電子210就與陽極母板200b中的熒光成分接觸；從而點亮了熒光成分而可以如愿地驅動FED 200。
具有上述結構的FED中的發(fā)射電極203a和發(fā)射線202就是根據上述布線圖形成的方法形成的。因此，布線圖就不會有例如不連通的缺點；因此，這種布線圖是優(yōu)質而可靠的。因此，這種設備也是可靠的。也就是說，具有與上面所說明的同樣的效果。
這里，依照本實施例的布線圖形成法并不只限制在形成發(fā)射電極203a和發(fā)射線202這樣的一種情況。根據本實施例的布線圖形成法可以用于形成其它比如門電極203b、門線201之類方法中。
這里，按照本發(fā)明的裝置可以是具有布線圖的其它裝置。例如，按照本發(fā)明的裝備可以可靠地用于制造形成某種有機的電發(fā)光或電泳設備的布線圖。
接下來，將說明裝配了應用上述制造方法的顯示裝置(如上面的等離子顯示設備)的一種電子設備實例。
圖10A是一個移動電話實例的透視圖。在圖10A中，移動電話機由標號600表示。使用了以上顯示裝置的顯示部件由標號601表示。
圖10B是顯示移動信息處理設備(如文字處理器和個人計算機)實例的透視圖。在圖10B中，信息處理設備由標號700表示。標號701表示一種輸入部件，如鍵盤。使用了以上顯示裝置的顯示部件由標號702表示。標號703表示一種信息處理設備單元。
圖10C是顯示電子表設備實例的透視圖。在圖10C中，手表單元由標號800表示。使用了以上顯示設備的顯示部件由標號801表示。
圖10A到10C所示的電子設備都裝配有上述的顯示設備；因此，這些電子設備具有優(yōu)質的產品質量。
權利要求
1.一種涂層形成方法，用于在母板上設置多個單位區(qū)域、從液滴噴射頭將液體成分制成的液滴噴射到單位區(qū)域而在母板上形成涂層，其步驟包括由液滴噴頭中形成的第一組噴嘴形成第一圖案；及由與第一組噴嘴不同的第二組噴嘴形成第二圖案。
2.根據權利要求1所述的涂層形成方法，其中由第一組噴嘴將液滴噴射到單位區(qū)域；及由第二組噴嘴將液滴噴射到單位區(qū)域的邊界部分。
3.根據權利要求1所述的涂層形成方法，其中液體成分包含傳導成份。
4.根據權利要求1所述的涂層形成方法，其中第一組噴嘴和第二組噴嘴以交錯的方式排列在液滴噴頭中。
5.根據權利要求1所述的涂層形成方法，其中液滴噴射頭中噴嘴之間的間隔由單位區(qū)域之間的間隔確定。
6.一種涂層形成設備，用于在母板上設置多個單位區(qū)域、從液滴噴射頭將液體成分制成的液滴噴射到單位區(qū)域而在母板上形成涂層，其中涂層形成設備配置了一個控制部分，用于控制由液滴噴頭上形成的噴嘴中的第一組噴嘴形成第一圖案的液滴噴頭的噴射操作以及由與第一組噴嘴不同的第二組噴嘴形成第二圖案的液滴噴頭的噴射操作。
7.根據權利要求6所述的涂層形成設備，其中液滴噴射裝置配置了一個控制液滴噴頭傾角的傾斜控制裝置。
8.根據權利要求6所述的涂層形成設備，其中液滴噴射裝置配置了一個用于調整從液滴噴頭中的噴嘴噴出液滴量的噴射量調整裝置。
9.一種裝置，其具有由根據權利要求6所述的涂層形成設備加工形成的涂層。
10.一種裝置制造方法，該裝置如此制造，即在母板上設置多個單位區(qū)域、從液滴噴頭將液體成分制成的液滴噴射到單位區(qū)域而在母板上形成涂層，其步驟包括由在液滴噴射頭中形成的第一噴嘴組形成第一圖案；由與第一噴嘴組不同的第二噴嘴組形成第二圖案；及在母板上形成涂層。
11.一種電子設備，裝配有權利要求9所述的裝置。
全文摘要
在母板(S)上設置大量單位區(qū)域(bit)B。將由某種液體成分制成的液滴從液滴噴頭(34)噴射到單位區(qū)域B，以便在母板(S)上形成一個涂層。由噴射頭(34)中的N個噴嘴組成的第一組噴嘴Na形成第一圖案。與第一組噴嘴Na不同的第二組噴嘴Nb形成第二圖案。這樣做的話，當在基準板上形成具有不同特征的圖案時，就可以使用這種液滴噴射設備保持穩(wěn)定的噴射操作，形成精度較好的圖案。
文檔編號B41J2/01GK1452235SQ03122
公開日2003年10月29日 申請日期2003年4月16日 優(yōu)先權日2002年4月19日
發(fā)明者小山實, 平井利充 申請人:精工愛普生株式會社