專利名稱：光學(xué)部件及其制造方法、微透鏡襯底及其制造方法、顯示裝置、攝像元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能良好地控制設(shè)置位置、形狀和尺寸的光學(xué)部件及其制造方法。本發(fā)明還涉及一種微透鏡的襯底及其制造方法、顯示裝置以及攝像元件。
背景技術(shù)：
例如，作為公知的一種透鏡等光學(xué)構(gòu)件的制造方法，是向基體(基片)上噴吐由液體材料構(gòu)成的液滴，然后使其固化。但是，在這種方法中，由于液滴與基體之間的接觸角，制約了光學(xué)構(gòu)件的形狀，因此，很難得到焦點(diǎn)距離調(diào)整適度的光學(xué)構(gòu)件。
還有，例如通過調(diào)整基體表面的浸潤性，形成所要求形狀的光學(xué)構(gòu)件的方法(例如參見專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2)。
(專利文獻(xiàn)1)日本專利1990-165932號公告(專利文獻(xiàn)2)日本專利2000-280367號公告然而，該方法還不能足夠精密地控制光學(xué)構(gòu)件的形狀、尺寸以及設(shè)置位置。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠良好地控制設(shè)置位置、形狀和尺寸的光學(xué)部件及其制造方法。
本發(fā)明的目的還在于提供一種能夠良好地控制透鏡的設(shè)置位置、形狀和尺寸的微透鏡的襯底及其制造方法；以及配有該微透鏡襯底的顯示裝置及攝像元件。
1.光學(xué)部件本發(fā)明的光學(xué)部件包括在基體上設(shè)置的基座構(gòu)件；以及在所述基座構(gòu)件的上表面設(shè)置的光學(xué)構(gòu)件。
這里所說的“基體”，是指有面的一種物體，在其面上能夠設(shè)置所述基座構(gòu)件。所述的面，只要能夠設(shè)置所述基座構(gòu)件，無論是平面還是曲面都可以。因此，只要求具有這樣的面，對所述基體本身的形狀沒有特別的限定。而且所述基座構(gòu)件也可以和基體設(shè)置成一個整體。
另外，所謂“基座構(gòu)件”，是指具有可以設(shè)置所述光學(xué)構(gòu)件的上表面的構(gòu)件，所謂“基座構(gòu)件的上表面”是指設(shè)置所述光學(xué)構(gòu)件的一面。所述基座構(gòu)件的上表面，只要能夠設(shè)置所述光學(xué)構(gòu)件，無論是平面還是曲面都可以。所謂“光學(xué)構(gòu)件”，是指具有能夠改變光的性質(zhì)或行進(jìn)方向功能的構(gòu)件。
根據(jù)本發(fā)明，由于具有上述構(gòu)成，因此通過控制所述基座構(gòu)件上表面的形狀和高度等，便可以獲得包括很好地控制了設(shè)置位置、形狀及尺寸的光學(xué)構(gòu)件的光學(xué)部件。詳細(xì)情況將在本實施中說明。
本發(fā)明的光學(xué)部件可以采取以下(1)～(10)所述方式。
(1)所述基座構(gòu)件可以由能透過特定波長光線的材料構(gòu)成。
這里所說的“透過”，是指入射到所述基座構(gòu)件上的光又從該基座構(gòu)件射出，但‘透過’不僅包括入射到所述基座構(gòu)件上的光全部從該基座構(gòu)件射出的情況，還包括入射到所述基座構(gòu)件上的一部分從該基座構(gòu)件射出的情況。
(2)所述光學(xué)構(gòu)件，可以具有透鏡、偏光元件或分光元件的功能。
(3)所述光學(xué)構(gòu)件，可以是圓球狀或者是橢圓球狀。
(4)所述光學(xué)構(gòu)件，可以是切開的圓球狀或者是切開的橢圓球狀。這里所說的“切開的圓球狀”，是指將圓球切成一個平面所得到的形狀，該圓球狀不僅包括正圓球狀，還包括近似于圓球的形狀。另外，所說的“切開的橢圓球狀”是指將橢圓球切成一個平面所得到的形狀，該橢圓球不僅包括純橢圓球，還包括近似于橢圓球的形狀。
在這種情況下，所述光學(xué)構(gòu)件的截面可以是圓或者是橢圓。在這種情況下，還可以對所述光學(xué)構(gòu)件付與透鏡或偏光元件的功能。
(5)所述基座構(gòu)件的上表面為三角形，所述光學(xué)構(gòu)件的形成可以采用向所述基座構(gòu)件的上表面噴吐液滴，形成光學(xué)構(gòu)件前身后，再使該光學(xué)構(gòu)件前身固化的方法。此時，對所述光學(xué)構(gòu)件可以付與分光元件的功能。
(6)所述光學(xué)構(gòu)件的形成可以采用通過附加能量，使可固化液體材料固化的方法。此時，所述光學(xué)構(gòu)件可以由紫外線固化性樹脂或熱固化性樹脂形成。
(7)所述基座構(gòu)件的上表面可以是圓形、橢圓形或者三角形任意一種。
(8)所述基座構(gòu)件的上表面可以是曲面。
(9)所述基座構(gòu)件的上表面和所述基座構(gòu)件側(cè)面部分相連接的面構(gòu)成的夾角可以是銳角。根據(jù)這種構(gòu)成，當(dāng)噴吐液滴，并使其在形成光學(xué)構(gòu)件前身后固化，形成光學(xué)構(gòu)件時，可以防止所述基座構(gòu)件的側(cè)面受所述液滴浸濕。其結(jié)果可以確實形成具有符合要求的形狀和尺寸的光學(xué)構(gòu)件。
這種情況，可以以倒錐體形狀形成所述基座構(gòu)件的上部分。這里所說的“所述基座構(gòu)件的上部分”，是指所述基座構(gòu)件中的所述上表面附近的區(qū)域。根據(jù)這種構(gòu)成，在噴吐液滴，形成光學(xué)構(gòu)件前身后使其固化，形成光學(xué)構(gòu)件時，既可以繼續(xù)保持所述基座構(gòu)件的穩(wěn)定性，又進(jìn)一步縮小了所述基座構(gòu)件的上表面與側(cè)面構(gòu)成的夾角。因此，可以確實防止所述基座構(gòu)件的側(cè)面受所述液滴浸濕。其結(jié)果可以確實形成具有符合要求的形狀和尺寸的光學(xué)構(gòu)件。
(10)所述光學(xué)構(gòu)件為微透鏡，具有微透鏡襯底功能。
此時，所述光學(xué)構(gòu)件的周圍可以用密封材料填充。因此可以將所述光學(xué)構(gòu)件確實固定在所述基座構(gòu)件的上表面上。
2.光學(xué)部件的制造方法本發(fā)明的光學(xué)部件的制造方法包括以下步驟(a)在基體上形成基座構(gòu)件；(b)向所述基座構(gòu)件的上表面噴吐液體，形成光學(xué)構(gòu)件前身；(c)使所述光學(xué)構(gòu)件前身固化，形成光學(xué)構(gòu)件。
根據(jù)本發(fā)明，可以形成的光學(xué)部件包括在所述步驟(a)，調(diào)整所述基座構(gòu)件的上表面的形狀和高度以及設(shè)置位置等，在所述步驟(b)，通過調(diào)整所述液滴的噴吐量等，可以很好地控制光學(xué)構(gòu)件的設(shè)置位置、形狀以及尺寸。詳細(xì)情況將在本實施例中說明。
本發(fā)明的光學(xué)部件的制造方法可以采取以下(1)～(7)的方式。
(1)在所述步驟(a)，采用可通過特定波長光線的材料，形成所述基座構(gòu)件；(2)在所述步驟(b)，可以采用噴墨法(inkjet)噴吐所述液滴。根據(jù)此方法，可以對所述液滴的噴吐量進(jìn)行微調(diào)整，因此，可使在所述基座構(gòu)件的表面設(shè)置精密的光學(xué)構(gòu)件簡單易行；(3)在所述步驟(c)，可通過附加能量使所述光學(xué)構(gòu)件前身固化；(4)在所述步驟(a)，形成所述基座構(gòu)件，使所述基座構(gòu)件的上表面和所述基座構(gòu)件側(cè)面部分相連接的面構(gòu)成的夾角成為銳角。因此，在所述步驟(b)，可以防止所述基座構(gòu)件的側(cè)面被所述液滴浸濕。其結(jié)果，可以切實地形成具有符合要求的形狀和尺寸的光學(xué)構(gòu)件。
此時，在所述步驟(a)，可以將所述基座構(gòu)件的頂部形成倒錐體形狀。以此，即保持了所述基座構(gòu)件的穩(wěn)定性，又能夠進(jìn)一步縮小所述基座構(gòu)件的上表面與側(cè)面構(gòu)成的夾角。因此，在所述步驟(b)，可以確實防止所述基座構(gòu)件的側(cè)面被所述液滴浸濕。其結(jié)果，可以切實地形成具有所要求的形狀和尺寸的光學(xué)構(gòu)件。
(5)還有，在所述步驟(b)以前，可以調(diào)整所述基座構(gòu)件的表面對所述液滴的浸潤性。因此，能夠形成具有所要求的形狀和尺寸的光學(xué)構(gòu)件。這里，例如，通過在所述基座構(gòu)件的上表面形成對所述液滴具有吸濕性或抗?jié)裥缘哪?，就可以控制所述基座?gòu)件的上表面對所述液滴的浸潤性。
(6)所述光學(xué)構(gòu)件可以是微透鏡，所述光學(xué)部件可以是微透鏡襯底。
(7)還可以包括步驟(e)，用密封材料填充所述光學(xué)構(gòu)件的周圍。這樣，采用簡單易行的方法就可以將所述光學(xué)構(gòu)件固定到所述基座構(gòu)件的上表面。
3.光學(xué)構(gòu)件的制造方法本發(fā)明的光學(xué)構(gòu)件的制造方法包括以下步驟(a)在基體上形成基座構(gòu)件；(b)向所述基座構(gòu)件的上表面噴吐液體，形成光學(xué)構(gòu)件前身；(c)使所述光學(xué)構(gòu)件前身固化，形成光學(xué)構(gòu)件；(d)從所述基座構(gòu)件的上表面取下所述光學(xué)構(gòu)件。
根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)構(gòu)件的制造方法，由于所述光學(xué)構(gòu)件可單獨(dú)作為光學(xué)部件使用，因此，采用簡便的方法就可以從所述基座構(gòu)件的上表面取下所述光學(xué)構(gòu)件。
此時，在所述步驟(a)，采用可透過特定波長光線的材料形成所述基座構(gòu)件。
4.微透鏡襯底本發(fā)明的微透鏡襯底包括在基體上設(shè)置的基座構(gòu)件和在所述基座構(gòu)件的上表面設(shè)置的透鏡。
根據(jù)本發(fā)明，由于具有上述構(gòu)成，所以，通過控制所述基座構(gòu)件的上表面的形狀和高度等，可以獲得含有良好地控制了設(shè)置位置、形狀以及尺寸的透鏡的微透鏡襯底。
此時，所述基座構(gòu)件可由能透過特定波長光線的材料形成。
5.微透鏡襯底的制造方法本發(fā)明的微透鏡襯底的制造方法包括以下步驟(a)在基體上形成基座構(gòu)件；(b)向所述基座構(gòu)件的上表面噴吐液體，形成透鏡前身；(c)使所述透鏡前身固化，形成透鏡。
根據(jù)本發(fā)明的微透鏡襯底的制造方法，其中，在所述步驟(a)，調(diào)整所述基座構(gòu)件表面的形狀和高度以及設(shè)置位置，在所述步驟(b)，調(diào)整所述液滴的噴吐量等，因此，可以形成包括很好地控制了設(shè)置位置、形狀和尺寸的透鏡的微透鏡襯底。
此時，可在所述步驟(a)，采用可透過特定波長光線的材料形成所述基座構(gòu)件。
6.顯示裝置本發(fā)明的顯示裝置具有所述本發(fā)明的微透鏡襯底。作為這樣的顯示裝置，例如，可以列舉液晶顯示儀、液晶放映機(jī)以及有機(jī)E1顯示儀。
7.攝像元件本發(fā)明的攝像元件配有所述本發(fā)明的微透鏡襯底。作為這樣的攝像元件，例如，可以列舉的有固體攝像裝置(CCD等)的固體攝像元件。
圖1是本發(fā)明的一個實施方式涉及的光學(xué)部件的模式示意剖面圖。
圖2是圖1所示的光學(xué)部件的模式示意平面圖。
圖3是本發(fā)明的一個實施方式涉及的光學(xué)部件的模式示意剖面圖。
圖4是圖3所示的光學(xué)部件的模式示意平面圖。
圖5是本發(fā)明的一個實施方式涉及的光學(xué)部件的模式示意剖面圖。
圖6是圖5所示的光學(xué)部件的模式示意平面圖。
圖7是適用本發(fā)明的一個實施方式涉及的光學(xué)部件的模式示意剖面圖。
圖8是圖7所示的光學(xué)部件的模式示意平面圖。
圖9是當(dāng)圖1和圖2所示的光學(xué)構(gòu)件為透鏡時的模式示意剖面圖。
圖10是在圖1和圖2所示的光學(xué)構(gòu)件為偏光元件時的模式示意剖面圖。
圖11是本發(fā)明的一個實施方式涉及的光學(xué)部件的模式示意剖面圖。
圖12是圖11所示的光學(xué)部件的模式示意平面圖。
圖13中的圖13(a)～圖13(c)分別是圖1和圖2所示的光學(xué)部件的一個制造工藝的模式示意剖面圖。
圖14是本發(fā)明的一個實施方式涉及的光學(xué)構(gòu)件的取下方法模式示意剖面圖。
圖15是本實施方式的一個微透鏡襯底的實施例的模式示意剖面圖。
圖16是圖15所示的微透鏡襯底的模式示意平面圖。
圖17中的圖17(a)～圖17(e)是分別表示圖15和圖16所示的微透鏡襯底的一個制造工藝的模式示意剖面圖。
圖18中的圖18(a)及圖18(b)是分別表示圖15和圖16所示的微透鏡襯底的一個制造工序的模式示意剖面圖。
圖19是本實施方式的一個實施例涉及的微透鏡襯底的模式示意剖面圖。
圖20是圖19所示的微透鏡襯底的模式示意平面圖。
圖21中的圖21(a)～圖21(e)分別是圖19和圖20所示的微透鏡襯底的一個制造工藝的模式示意剖面圖。
圖22是本實施方式的微透鏡襯底的一個實施例的模式示意剖面圖。
圖23是圖22所示的微透鏡襯底的模式示意平面圖。
圖24中的圖24(a)～圖24(e)分別是圖22和圖23所示的微透鏡襯底的一個制造工藝的模式示意剖面圖。
圖25中的圖25(a)～圖25(b)分別是本實施方式的一實施例涉及的光學(xué)構(gòu)件取下方法的模式示意剖面圖。
圖26是圖15所示的微透鏡襯底的一個變形例的模式示意剖面圖。
圖27是適用本發(fā)明的一個實施方式涉及的光學(xué)部件的模式示意剖面圖。
圖28是圖27所示的光學(xué)部件的模式示意平面圖。
圖29是圖13(c)的剖面放大圖。
圖30是一般的光學(xué)部件制造方法的模式示意剖面圖。
具體實施例方式
下面就本發(fā)明的優(yōu)選實施方式參照附圖進(jìn)行說明。
1.部件的構(gòu)造圖1是適用本發(fā)明的光學(xué)部件100的一個實施方式模式示意剖面圖。圖2是圖1所示的光學(xué)部件100的模式示意平面圖。另外，圖1是表示圖2的A-A線的剖面圖。
圖3、圖5和圖7分別是改變了圖1所示的光學(xué)部件100的基座構(gòu)件12形狀的變形例的模式示意剖面圖；圖4、圖6和圖8分別是圖3、圖5和圖7所示的光學(xué)部件101、102及103的模式示意平面圖。
圖11是改變圖1所示的光學(xué)部件100的基座構(gòu)件12以及光學(xué)構(gòu)件14形狀的變形例的模式示意剖面圖；圖12是圖11所示的光學(xué)部件104的模式示意平面圖。
還有，圖27是改變圖1所示的光學(xué)部件100的基座構(gòu)件12以及光學(xué)構(gòu)件14形狀的變形例的模式示意剖面圖；圖28是圖27所示的光學(xué)部件105的模式示意平面圖。
本實施方式的光學(xué)部件100包括基體10上設(shè)置的基座構(gòu)件12；以及在基座構(gòu)件12的上表面12a上設(shè)置的光學(xué)構(gòu)件14。光學(xué)構(gòu)件14，例如，可以具有對入射光聚光、偏光或分光功能，下面主要參照圖1和圖2，就本實施方式的光學(xué)部件100的各個結(jié)構(gòu)要素進(jìn)行說明。
(基體)作為基體10，例如，可以列舉硅襯底和GaAs襯底等的半導(dǎo)體襯底以及玻璃襯底等。
(基座構(gòu)件)(A)材質(zhì)在本實施方式的光學(xué)部件100中，基座構(gòu)件12是由可透過特定波長光線的材質(zhì)構(gòu)成的。具體地說，基座構(gòu)件12由能夠使入射光透過光學(xué)構(gòu)件14的材質(zhì)構(gòu)成。例如，基座構(gòu)件12的形成，可以采用聚酰亞胺、丙烯類樹脂、環(huán)氧樹脂或者氟化乙烯樹脂。本實施方式給出的基座構(gòu)件12是由可透過特定波長光線的材質(zhì)構(gòu)成的。但是，基座構(gòu)件12也可以由吸收特定波長光線的材質(zhì)形成。
另外，基座構(gòu)件12還可以與基體10形成一體。也就是說，基座構(gòu)件12和基體10由同一種材料形成。
像這種基座構(gòu)件12，例如，可通過在基體10上形成圖案的方式形成。
(B)立體形狀圖3至圖8示出的是改變圖1和圖2所示的基座構(gòu)件12的立體形狀的變形例(光學(xué)構(gòu)件101、102、103)。如圖1至圖8所示，基座構(gòu)件的立體形狀雖然沒有特別限制，但其構(gòu)造至少需要在其上表面上能夠設(shè)置光學(xué)構(gòu)件。例如，如圖1所示，光學(xué)構(gòu)件100的基座構(gòu)件12，在上表面12a上能夠設(shè)置光學(xué)構(gòu)件14。
另外，如圖3和圖4所示，基座構(gòu)件22的上表面22a與側(cè)面22b的夾角θ可以設(shè)置成銳角。這里所說的基座構(gòu)件22的側(cè)面22b是指在基座構(gòu)件22的側(cè)面部分與上表面22a相連接的一面。在基座構(gòu)件22中，基座構(gòu)件22的側(cè)面部分，即為基座構(gòu)件22的側(cè)面22b。
光學(xué)構(gòu)件14的形成是采用向基座構(gòu)件22的上表面22a噴吐液滴，形成光學(xué)構(gòu)件前身(將在下面闡述)后，再使該光學(xué)構(gòu)件前身固化的方法形成的。因此，基座構(gòu)件22的上表面22a與側(cè)面22b構(gòu)成的夾角θ為銳角，因此，在向基座構(gòu)件22的上表面22a噴吐液體時，可以防止基座構(gòu)件22的側(cè)面22b被液滴浸濕。其結(jié)果可以切實形成具有符合要求的形狀和尺寸的光學(xué)構(gòu)件14。
此外，如圖5和圖6所示，可以將基座構(gòu)件32的立體形狀的上部分32c設(shè)置成倒錐體形狀。在這種情況下，基座構(gòu)件32的上表面32a與側(cè)面32b(在基座構(gòu)件32的側(cè)面部分與上表面32a相連接的一面)的夾角θ也為銳角。根據(jù)這種構(gòu)成，既可持續(xù)保持基座構(gòu)件32的穩(wěn)定性，又進(jìn)一步縮小了基座構(gòu)件32上表面32a與側(cè)面32b形成的夾角θ。因此，可以確實防止基座構(gòu)件32的側(cè)面32b被液滴浸濕。其結(jié)果可以切實形成具有符合要求的形狀和尺寸的光學(xué)構(gòu)件14。
(C)上表面的形狀基座構(gòu)件的上表面的形狀可根據(jù)在基座構(gòu)件的上表面上形成的光學(xué)構(gòu)件的功能和用途來確定。換言之，通過控制基座構(gòu)件的上表面的形狀，便可以控制光學(xué)構(gòu)件的形狀。
例如，光學(xué)部件100(參見圖1和圖2)，其基座構(gòu)件12的上表面12a的形狀是圓形。另外，圖3～圖8所示的光學(xué)部件101～103中，基座構(gòu)件的上表面的形狀也是圓形。
例如，把光學(xué)構(gòu)件作為透鏡或者偏光元件使用時，將基座構(gòu)件的上表面的形狀設(shè)置成圓形。這樣，光學(xué)構(gòu)件的立體形狀可以形成圓球狀或者切開的圓球狀，可把所獲得的光學(xué)構(gòu)件作為透鏡或者偏光元件使用。圖9示出的是把圖1和圖2所示的光學(xué)部件100的光學(xué)構(gòu)件14作為透鏡使用的例子。即，如圖9所示，可以用光學(xué)構(gòu)件(透鏡)14進(jìn)行聚光。另外，圖10示出的是把圖1和圖2所示的光學(xué)部件100的光學(xué)構(gòu)件14作為偏光元件使用的例子。即，如圖10所示，可以用光學(xué)構(gòu)件(偏光元件)14改變光的行進(jìn)方向。
另外，這里雖然沒有給出圖示，但，例如光學(xué)構(gòu)件作為各向異性透鏡或者偏光元件使用時，基座構(gòu)件的上表面的形狀設(shè)置成橢圓形。因此，光學(xué)構(gòu)件的立體形狀可以形成橢圓球形或者切開的橢圓球形，可以將所得到的光學(xué)構(gòu)件作為各向異性透鏡或者偏光元件使用。
或者，例如，把光學(xué)構(gòu)件作為分光元件(棱鏡)使用時，可將基座構(gòu)件的上表面的形狀設(shè)置成三角形。該光學(xué)構(gòu)件的形成方法是其基座構(gòu)件的形狀為三角形，對其上表面噴吐液滴，形成光學(xué)構(gòu)件前身后，再使該光學(xué)構(gòu)件前身固化而獲得光學(xué)構(gòu)件。像這樣形成的所述光學(xué)構(gòu)件可以作為分光元件使用。關(guān)于詳細(xì)的制造方法將在后面闡述。圖11和圖12示出的是把光學(xué)構(gòu)件作為棱鏡使用的例子。圖11是圖1 2的A-A線的剖面圖。如圖11和圖12所示，基座構(gòu)件52為三角形柱狀。因此，基座構(gòu)件52的上表面52a的形狀為三角形。光學(xué)構(gòu)件24具有分光元件功能(棱鏡)。具體地說，如圖12所示，入射到光學(xué)構(gòu)件24的光在出射時被分光。
另外，上述基座構(gòu)件12、22、32、42以及52的任何一個的上表面都表示為由平面構(gòu)成的。但是，如圖27和28所示，基座構(gòu)件62的上表面62a也可以是曲面的。在圖27和圖28所示的光學(xué)構(gòu)件105中，可以將近似圓球狀的光學(xué)構(gòu)件34設(shè)置在基座構(gòu)件62的上表面62a上。
(光學(xué)構(gòu)件)(A)立體形狀光學(xué)構(gòu)件具有滿足其用途和功能要求的形狀。關(guān)于光學(xué)構(gòu)件的立體形狀，將在“基座構(gòu)件”一項中一并說明，故此處予以省略詳細(xì)說明。
(B)材質(zhì)關(guān)于光學(xué)構(gòu)件14的形成方法，例如，對可固化的液體材料施加熱能或者光能等，使其硬化而形成。具體地說，在本實施方式中，是采用向基座構(gòu)件12的上表面12a噴吐由所述液體材料構(gòu)成的液滴，形成光學(xué)構(gòu)件前身(將在后面闡述)后，再使該光學(xué)構(gòu)件前身硬化形成光學(xué)構(gòu)件14。
作為所述液體材料，例如，可列舉紫外線硬化性樹脂和熱硬化性樹脂的前身。作為紫外線硬化性樹脂，例如，可列舉的有紫外線硬化性的丙烯樹脂和環(huán)氧樹脂。另外，作為熱硬化性樹脂可給出的例子是熱硬化性的聚酰亞胺樹脂。
2.光學(xué)構(gòu)件的制造方法下面，圍繞圖1和圖2所示的光學(xué)構(gòu)件100的制造方法，參照附圖13(a)～圖13(c)進(jìn)行說明。圖13(a)～圖13(c)分別是圖1和圖2所示的光學(xué)構(gòu)件100的一個制造工序的模式示意剖面圖。
首先，在基體10上形成基座構(gòu)件12(參見圖13(a))?；鶚?gòu)件12的形成，可以根據(jù)基座構(gòu)件12的材質(zhì)和形狀以及尺寸大小，來選擇適當(dāng)?shù)姆椒?例如，可以選擇選擇生長法、干式蝕刻法、濕式蝕刻法、光敏蝕刻法及復(fù)制法等)。
接著，形成光學(xué)構(gòu)件14(參見圖13(b))。具體地說，對基座構(gòu)件12的上表面12a噴吐形成光學(xué)構(gòu)件14的液體材料的液滴14b，形成光學(xué)構(gòu)件前身14a。如上所述，所述液體材料具有經(jīng)給予能量15能夠硬化的性質(zhì)。
作為液滴14b的噴吐方法，例如，可列舉分配涂敷法或者噴墨法。用分配涂敷法噴吐液滴的方法是一般采用的方法，對于較大范圍噴吐液滴14b有效。另外，噴墨法是使用噴墨頭噴吐液滴的方法。關(guān)于噴吐液滴的位置，可以μm為單位來控制。噴吐的液滴數(shù)量可以微微米為單位來控制，因此，能夠制作出構(gòu)造精密的光學(xué)構(gòu)件。
而且，在液滴14b噴吐以前，根據(jù)需要，可通過對基座構(gòu)件12的上表面12a進(jìn)行吸濕性處理或者進(jìn)行抗?jié)裥蕴幚?，便可以控制上表?2a對液滴14b的浸潤性。因此，能夠形成具有特定形狀及尺寸的光學(xué)構(gòu)件14。
接著，使光學(xué)構(gòu)件前身14a硬化，形成光學(xué)構(gòu)件14(參見圖13(c))。具體地說，對光學(xué)構(gòu)件前身14a給予熱能或光能等。在使光學(xué)構(gòu)件前身14a硬化時，要根據(jù)所述液體材料類型，采用適當(dāng)?shù)姆椒ā＞唧w地說，例如，可列舉的有，可采用給予熱能或者用紫外線或者用激光等的光照射方法。通過以上制造步驟，便可獲得包括光學(xué)構(gòu)件14在內(nèi)的光學(xué)部件100(參見圖1和圖2)。
還可以，從所獲得的光學(xué)部件100上取下光學(xué)構(gòu)件14，把光學(xué)構(gòu)件14作為單獨(dú)的光學(xué)部件使用。例如，如圖14所示，通過向基座構(gòu)件12和光學(xué)構(gòu)件14的結(jié)合部位吹氣體16(例如氬氣或者氮?dú)獾榷栊詺怏w)，就可以取下光學(xué)構(gòu)件14?；蛘咴诠鈱W(xué)構(gòu)件14上粘貼膠帶(無圖示)，揭下膠帶，就可以從基座構(gòu)件12的上表面12a上取下光學(xué)構(gòu)件14。
3.作用效果關(guān)于本實施方式的光學(xué)部件以及其制造方法具有以下作用效果。
(1)第一，可以嚴(yán)密控制光學(xué)構(gòu)件14的尺寸及形狀。也就是說，光學(xué)構(gòu)件14的形狀，可以根據(jù)液滴14b的噴吐量來控制。這樣，就可以獲得包括其形狀及尺寸均滿足要求的光學(xué)構(gòu)件14的光學(xué)部件。
關(guān)于上述的作用效果參照附圖進(jìn)行詳細(xì)說明。圖29是所述本實施方式涉及的光學(xué)部件100的制造步驟(參見圖13(a)～圖13(c))中，基座構(gòu)件12與光學(xué)構(gòu)件前身14a的結(jié)合部近旁的模式示意剖面圖，具體地說，是圖13(c)的剖面放大圖。圖30是一般的光學(xué)部件的制造方法的模式示意剖面圖。
首先，在詳細(xì)描述本實施方式的作用效果之前，就一般的光學(xué)構(gòu)件的制造方法，參照附圖30進(jìn)行說明。
(a)一般光學(xué)部件的制造方法作為光學(xué)構(gòu)件的一種制造方法，眾所周知的是向基體10上噴吐液體材料，形成光學(xué)構(gòu)件前身后，使該光學(xué)構(gòu)件前身硬化，而獲得光學(xué)構(gòu)件的方法。
圖30是表示將形成光學(xué)構(gòu)件的液體材料噴在基體10上的狀態(tài)剖面圖。具體地說，圖30是使所述光學(xué)構(gòu)件前身硬化前的狀態(tài)，即是表示將由液體材料構(gòu)成的光學(xué)構(gòu)件前身92a設(shè)置在基體10上的狀態(tài)。
在圖30中，如果設(shè)γs為基體10的表面張力、設(shè)γL為液體材料(光學(xué)構(gòu)件前身)的表面張力、設(shè)γSL為基體10與液體材料的界面張力、設(shè)液體材料對于基體10的接觸角為θ，則γS，γL，γSL，之間的關(guān)系，可用下列公式表示γs＝γsL+2Lcos θ……….(1)由液體材料形成的光學(xué)構(gòu)件前身92a的曲率受到了公式(1)的接觸角θ的限制。也就是說，光學(xué)構(gòu)件前身92a硬化后，獲得的光學(xué)構(gòu)件的曲率主要取決于基體10及所述液體材料的材質(zhì)。光學(xué)構(gòu)件的曲率，是決定光學(xué)構(gòu)件形狀的一個重要因素。因此，該制造方法很難控制所形成的光學(xué)構(gòu)件形狀。
而且，在這種情況下，雖然這里沒有圖示，但在基體10表面上的特定位置，形成調(diào)整浸濕角的膜以后，再通過噴吐液體材料的液滴，使得液體材料的接觸角θ增大的方法是人們所熟知的。利用這種方法，可在某種程度上控制光學(xué)構(gòu)件的形狀。但是，要想通過形成這種調(diào)整浸濕角的膜，控制光學(xué)構(gòu)件的形狀是有限的。
(b)本實施方式的光學(xué)部件的制造方法。
針對上述缺欠，本實施方式的光學(xué)部件的制造方法，如圖29所示，光學(xué)構(gòu)件的前身14a可以在基座構(gòu)件12的上表面12a上形成。因此，基座構(gòu)件12的側(cè)面12b只要不因光學(xué)構(gòu)件前身14a而浸濕，基座構(gòu)件12的表面張力就不會作用于光學(xué)構(gòu)件前身14a，主要是光學(xué)構(gòu)件前身14a的表面張力γL起作用。因此，通過調(diào)整形成光學(xué)構(gòu)件前身14a所用的液滴數(shù)量，就能控制光學(xué)構(gòu)件前身14a的形狀。進(jìn)而，就可以獲得具有滿意的形狀和尺寸的光學(xué)構(gòu)件14。
(2)第二，可以嚴(yán)密控制光學(xué)構(gòu)件14的設(shè)置位置。
如上所述，光學(xué)構(gòu)件14是通過向基座構(gòu)件12的上表面12a噴吐液滴14b，形成光學(xué)構(gòu)件前身14a后，再使光學(xué)構(gòu)件前身14a硬化而形成的(參見圖13(b))。一般情況，噴吐的液滴的落點(diǎn)位置很難嚴(yán)格控制。但是，根據(jù)本方法，則不用特別進(jìn)行位置調(diào)整，就可以在基座構(gòu)件12的上表面12a上形成光學(xué)構(gòu)件14。即，僅向基座構(gòu)件12的上表面12a上噴吐液滴14b，不用進(jìn)行位置調(diào)整就可以形成光學(xué)構(gòu)件前身14a。換言之，用形成基座構(gòu)件12時的定位精度，就可以形成光學(xué)構(gòu)件14。因此，很容易獲得設(shè)置位置受到控制的光學(xué)構(gòu)件14。
(3)第三，通過設(shè)定基座構(gòu)件12的上表面12a的形狀，便可以設(shè)定光學(xué)構(gòu)件14的形狀。即，通過適當(dāng)選擇基座構(gòu)件12的上表面12a的形狀，就可以形成具有特定功能的光學(xué)構(gòu)件14。因此，通過改變基座構(gòu)件12的上表面12a的形狀，還能夠在同一個基體上，設(shè)置多個具有不同功能的光學(xué)構(gòu)件。
(4)第四，通過控制基座構(gòu)件12的高度，便可控制基體10與光學(xué)構(gòu)件14的距離。因此，很容易調(diào)整基體10與光學(xué)構(gòu)件14的位置，采用簡便的方法，就可以形成設(shè)置位置受到控制的光學(xué)構(gòu)件14。
本發(fā)明不僅限于上述實施方式，可以進(jìn)行各種變形。例如，本發(fā)明包括與本實施方式中說明的構(gòu)成實質(zhì)上相同的構(gòu)成(例如，功能、方法以及結(jié)果相同的構(gòu)成，或者目的及結(jié)果相同的構(gòu)成)。另外，本發(fā)明還包括可以置換在實施方式中闡述的非本質(zhì)性構(gòu)成的部分。本發(fā)明還包括與本實施方式中說明的構(gòu)成具有同樣作用效果的構(gòu)成或者能夠達(dá)到同樣目的的構(gòu)成。而且，本發(fā)明還包括在本實施方式說明的構(gòu)成中附加公知技術(shù)的構(gòu)成。
實施例下面，就采用上述實施方式的實施例進(jìn)行說明。實施例1～3的任何一個給出的都是將本實施方式的光學(xué)構(gòu)件100用于微透鏡襯底的例子。例如，微透鏡襯底可以設(shè)置在液晶顯示面版的象素部分、固體攝像裝置(CCD)的受光面、以及光纖的光偶合部分。另外，實施例4是表示取下在實施例1所獲得的光學(xué)構(gòu)件14的方法。
(實施例1)1.微透鏡襯底的構(gòu)造圖15是表示實施例1涉及的微透鏡襯底200的模式示意剖面圖。圖16是圖1 5所示的微透鏡襯底200的模式示意平面圖。另外，圖15是沿著圖16A-A線剖開的剖面的模式圖。
如圖15所示，微透鏡襯底200可以設(shè)置多個光學(xué)構(gòu)件114。光學(xué)構(gòu)件114設(shè)置在基座構(gòu)件112的上面112a上?；鶚?gòu)件112設(shè)置在基體110上。
本實施例中，圍繞以下構(gòu)成情況加以說明基體110是由玻璃襯底構(gòu)成；基座構(gòu)件112是由聚酰亞胺樹脂構(gòu)成；以及光學(xué)構(gòu)件114是由紫外線硬化性樹脂構(gòu)成。
另外，為了固定光學(xué)構(gòu)件114，必要時，可在光學(xué)構(gòu)件114的周圍填充密封材料160(參見圖26)。而且，將在后面闡述的實施例2及實施例3也一樣，根據(jù)需要，也可以在光學(xué)構(gòu)件114的周圍填充密封材料160。密封材料160最好采用比構(gòu)成光學(xué)構(gòu)件114的材料折射率小的材料。密封材料160沒有特別限定，例如可以使用樹脂材料。
2.微透鏡襯底的制造方法下面，就本實施例的微透鏡襯底200的制造方法進(jìn)行說明。圖17(a)～圖1 7(e)以及圖18(a)和圖18(b)分別是圖15及圖16所示的微透鏡襯底200的一個制造工藝的模式示意剖面圖。
首先，在由玻璃襯底形成的基體110上，涂敷聚酰亞胺前身之后，在大約在150℃的溫度下進(jìn)行熱處理，(參見圖17(a))。由此，形成樹脂層112x。該樹脂層112x呈能夠保持形狀的狀態(tài)，而且又是沒有完全硬化的狀態(tài)。
然后，在樹脂層112x上形成保護(hù)層R1后，使用具有特定圖案的掩膜130，進(jìn)行光刻步驟(參見圖17(b))。以此，形成特定圖案的保護(hù)層R1(參見圖17(c))。
接著，將保護(hù)層R1作為掩膜，例如，通過使用堿性溶液進(jìn)行濕式蝕刻，使樹脂層112x形成圖案(參見圖17(d))。然后，去掉保護(hù)層R1，在大約350℃的溫度下進(jìn)行熱處理，從而使基座構(gòu)件112完全硬化(參見圖17(e))。
接著，用噴墨頭117向基座構(gòu)件112的上面112a噴吐液體材料液滴114b，形成光學(xué)構(gòu)件前身(透鏡前身)114a。該光學(xué)構(gòu)件前身114a通過后來的硬化步驟，可以轉(zhuǎn)化成光學(xué)構(gòu)件114(參見圖15和圖16)。另外，在本實施例中，圍繞采用紫外線硬化性樹脂作為所述液體材料的前身，采用噴墨方法噴吐液滴114b的情況進(jìn)行說明。根據(jù)需要，經(jīng)多次噴吐液滴114b，可在基座構(gòu)件112的上面112a上形成具有符合要求的形狀和尺寸的光學(xué)構(gòu)件前身114a。
再接著，對光學(xué)構(gòu)件前身114a進(jìn)行紫外線115的照射，形成光學(xué)構(gòu)件114(參見圖18(b))。根據(jù)光學(xué)構(gòu)件114a的形狀與尺寸及材質(zhì)，適當(dāng)?shù)卣{(diào)整紫外線的照射量。通過以上步驟可形成光學(xué)構(gòu)件(透鏡)114。這樣，可得到包括光學(xué)構(gòu)件114在內(nèi)的微透鏡襯底200(參見圖15和圖16)。
根據(jù)本實施例的微透鏡襯底200及其制造方法，與本實施方式的光學(xué)部件及其制造方法具有同樣的作用效果。
(實施例2)1.微透鏡襯底的構(gòu)造圖19是實施例2涉及的微透鏡襯底300的模式示意剖面圖。圖20是圖19所示的微透鏡襯底300的模式示意平面圖。另外，圖19是沿著圖20的A-A線剖開的剖面模式示意圖。
本實施例涉及的微透鏡襯底300，在基座構(gòu)件132具有帽檐形狀這一點(diǎn)上，與實施例1的微透鏡襯底200具有不同的結(jié)構(gòu)。但其他構(gòu)成均與實施例1的微透鏡襯底200一樣，因此，結(jié)構(gòu)相同地方的說明予以省略。
基座構(gòu)件132和實施例1的基座構(gòu)件112一樣，由聚酰亞胺樹脂形成，如圖19和圖20所示，基座構(gòu)件132具有帽檐形狀。換言之，基座構(gòu)件132的上部分132c形成倒錐體形狀。在這種情形下，基座構(gòu)件132的上表面132a與側(cè)面132b(在基座構(gòu)件132的側(cè)面部分與上表面132a相連接的面)形成的夾角θ為銳角。根據(jù)這種構(gòu)成，可以進(jìn)一步縮小基座構(gòu)件132的上表面132a與側(cè)面132b形成的夾角θ。因此，可以確實防止基座構(gòu)件132的側(cè)面132b被液滴浸濕，從而形成更準(zhǔn)確的符合要求的形狀和尺寸的光學(xué)構(gòu)件14。
2.微透鏡襯底的制造方法下面，就本實施例涉及的微透鏡襯底300的制造方法進(jìn)行說明。圖21(a)至圖21(e)分別是圖19和圖20所示的微透鏡襯底300的一個制造步驟的模式示意剖面圖。
本實施例的微透鏡襯底300的制造方法，除了基座構(gòu)件132的圖案形成步驟以外，其他均與實施例1的微透鏡襯底200的制造方法相同。因此，這里主要說明基座構(gòu)件132的圖案形成步驟。
首先，在由玻璃襯底形成的襯底10上形成樹脂層112x后，再形成特定型式的保護(hù)層R1(參見圖21(a)至圖21(c))。此前的步驟都和實施例1的制造方法相同。
然后，在不會使保護(hù)層發(fā)生質(zhì)變的溫度(例如130℃)下進(jìn)行熱處理。在熱處理時，最好從樹脂層112x的上表面向下加熱，使樹脂層112x的上表面(保護(hù)層R1方)的硬化程度大于樹脂層112x中的襯底110部分。
接著，將保護(hù)層R1作為掩膜，對樹脂層112x進(jìn)行濕式蝕刻。在該工序中，保護(hù)層R1的正下方部分，即樹脂層112x的上部分，因蝕刻液的滲入速度慢，因此，較其他部分難以蝕刻。另外，通過所述熱處理，樹脂層112x的上表面部分的硬化程度大于襯底110部分的硬化程度。因此，樹脂層112x的上表面部分，在蝕刻中的蝕刻率也小于襯底110部分。因此，在該濕式蝕刻時，樹脂層112x的上表面較襯底110部分的蝕刻速度遲緩，所以，樹脂層112x的上表面部分比襯底110部分殘留的更多。從而，可得到上部分132c為倒錐體形狀的基座132(參見圖21(d))。然后，去掉保護(hù)層R1(參見圖21(e))。
此后的工序與實施例1的制造方法相同。因此，可獲得微透鏡襯底300(參見圖19和圖20)。
根據(jù)本實施例的微透鏡襯底300及其制造方法，具有和本實施方式的光學(xué)部件及其制造方法同樣的作用效果。
(實施例3)1.微透鏡襯底的構(gòu)造圖22是實施例1涉及微透鏡襯底400的模式示意剖面圖。圖23是圖22所示的微透鏡襯底400的模式示意平面圖。另外，圖22是沿著圖23的A-A線剖開的剖面模式示意圖。
如圖22所示，在本實施例的微透鏡襯底400中，基座構(gòu)件152和基體110形成一整體，由與基體110一樣的材質(zhì)(玻璃襯底)構(gòu)成這一點(diǎn)與實施例1的構(gòu)成不同。但是，其他構(gòu)成與實施例1的微透鏡襯底200一樣，因此，結(jié)構(gòu)相同地方的說明予以省略。
2.微透鏡襯底的制造方法下面，就本實施例微透鏡襯底400的制造方法進(jìn)行說明。圖24(a)至圖24(e)分別是圖22和圖23所示的微透鏡襯底400的一個制造工序的模式示意剖面圖。
首先，在由玻璃襯底形成的襯底110上，層壓形成干式薄膜保護(hù)膜，(參見圖24(a))。
然后，使用特定圖案的掩膜230進(jìn)行光敏蝕刻步驟(參見圖24(b))，從而形成特定圖案的保護(hù)層R2(參見圖24(c))。
接著，以保護(hù)層R2為掩膜，使由玻璃襯底構(gòu)成的基體110形成圖案(參見圖24(d))。通過該圖案，使基座構(gòu)件152與基體110形成一體。即鄰接的基座構(gòu)件152之間用切口分開。
作為圖案形成的方法可列舉的有氟酸濕式蝕刻、離子束蝕刻、激光精密加工以及噴砂等方法。其中，當(dāng)圖案形成面積比較大時，采用噴砂方法有效。噴砂方法，是向加工品噴涂顆粒直徑為1μm至幾十μm的微粒子進(jìn)行蝕刻的方法，可以獲得20μm程度的分辯率?？捎糜趪娚胺椒ǖ奈⒘Ｗ永缬蠸iC和AIO2等。然后，去掉保護(hù)層R2(參見圖24(e))。
此后的制造工序與實施例1的制造方法相同。因此可獲得微透鏡襯底400(參見圖22與圖23)。
根據(jù)本實施例的微透鏡襯底400及其制造方法，具有和本實施例涉及的光學(xué)部件以及它的制造方法同樣的作用效果。
(實施例4)1.光學(xué)構(gòu)件114的取下方法在實施例4中，主要闡述如何從實施例1中獲得的微透鏡襯底200上取下光學(xué)構(gòu)件14的方法。圖25(a)與圖25(b)分別是表示取下本實施例涉及的光學(xué)構(gòu)件114的方法的模式示意剖面圖。被取下來的光學(xué)構(gòu)件114可以單獨(dú)作為其他設(shè)備的部件使用。具體地說，光學(xué)構(gòu)件114作為球透鏡部件，可以作為其他裝置的部件使用。
首先，在實施例1的微透鏡襯底200的光學(xué)構(gòu)件114上設(shè)置粘接片150(參見圖25(a))。然后，再通過揭下粘接片150，將光學(xué)構(gòu)件114從基座構(gòu)件112上取下來(參見圖25(b))。采用以上步驟就可以取下光學(xué)構(gòu)件114。此時，如果事先對基座構(gòu)件112的上表面112a施行抗?jié)裉幚?，則很容易取下來。
另外，在本實施例中給出的是從實施例1的微透鏡襯底200上取下光學(xué)構(gòu)件114的方法，但是采用本實施例的方法，也可以從實施例2或者實施例3的微透鏡襯底300、400上取下光學(xué)構(gòu)件114。
還有，在本實施例中，介紹的是從微透鏡襯底上取下具有透鏡功能的光學(xué)構(gòu)件的方法，但是在從光學(xué)部件上取下具有非透鏡功能的光學(xué)構(gòu)件時，也可以采用與本實施例相同的方法。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
附圖標(biāo)記說明10，110基體；
12，22，32，42，52，62，112，132，152 基座構(gòu)件；12a，22a，32a，42a，52a，62a，112a，132a，152a基座構(gòu)件的上表面；12b，22b，32b 基座構(gòu)件的側(cè)面；32c基座構(gòu)件的上部分；14，24，34，114 光學(xué)構(gòu)件；14a光學(xué)構(gòu)件前身；14b液滴；15能量；16氣體；17液滴噴吐口；100，101，102，103，104，105光學(xué)部件；112x 樹脂層；114a光學(xué)構(gòu)件前身；114b液滴；115紫外線；117噴墨頭；130，230掩膜；
150粘接片；160密封材料；200，210，300，400 微透鏡襯底；R1，R2 保護(hù)層
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)部件，包括設(shè)置在基體上的基座構(gòu)件；以及設(shè)置于所述基座構(gòu)件的上表面的光學(xué)構(gòu)件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述基座構(gòu)件由可透過特定波長光線的材料形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件具有透鏡功能。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件具有偏光元件功能。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件具有分光元件功能。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件為圓球狀或橢圓球狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件為部分切除的圓球狀或部分切除的橢圓球狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述基座構(gòu)件的上表面為三角形；所述光學(xué)構(gòu)件是通過向所述基座構(gòu)件的上表面噴吐液滴，形成光學(xué)構(gòu)件前身之后，使該光學(xué)構(gòu)件前身固化而形成的。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件的截面是圓或橢圓。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件是通過施加能量使可固化的液體材料固化而形成的。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件是由紫外線固化型樹脂形成的。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件是由熱固化型樹脂形成的。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述基座構(gòu)件的上表面為圓形、橢圓形或者三角形中的任意一種形狀。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述基座構(gòu)件的上表面為曲面。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述基座構(gòu)件的上表面與所述基座構(gòu)件的側(cè)面部分中的連接到該上表面的面所形成的夾角為銳角。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述基座構(gòu)件的上部為倒錐體形狀。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述基座構(gòu)件與所述基體形成一個整體。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件為微透鏡，具有微透鏡襯底的功能。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)部件，其中，所述光學(xué)構(gòu)件的周圍填充了密封材料。
20.一種光學(xué)部件的制造方法，包括以下步驟(a)在基體上形成基座構(gòu)件；(b)向所述基座構(gòu)件的上表面噴吐液滴，形成光學(xué)構(gòu)件前身；(c)使所述光學(xué)構(gòu)件前身固化，形成光學(xué)構(gòu)件。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的光學(xué)部件的制造方法，其中，在所述步驟(a)中，所述基座構(gòu)件采用能夠透過特定波長的光的材料形成。
22.根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的光學(xué)部件的制造方法，其中，在所述步驟(b)中，采用噴墨法進(jìn)行所述液滴的噴吐。
23.根據(jù)權(quán)利要求20至22中任一項所述的光學(xué)部件的制造方法，其中，在所述步驟(c)中，所述光學(xué)構(gòu)件前身的固化是采用施加能量的方法進(jìn)行的。
24.根據(jù)權(quán)利要求20至23中任一項所述的光學(xué)部件的制造方法，其中，在所述步驟(a)形成所述基座構(gòu)件，以使所述基座構(gòu)件的上表面與所述基座構(gòu)件的側(cè)面中的連接到該上表面的面構(gòu)成的夾角為銳角。
25.根據(jù)權(quán)利要求20至24中任一項所述的光學(xué)部件的制造方法，其中，在所述步驟(a)中，所述的基座構(gòu)件的上部形成倒錐體形狀。
26.根據(jù)權(quán)利要求20至25中任一項所述的光學(xué)部件的制造方法，在所述步驟(b)之前，還包括步驟(d)，調(diào)整所述基座構(gòu)件的上表面相對于所述液滴的浸潤性。
27.根據(jù)權(quán)利要求20至26中任一項所述的光學(xué)部件的制造方法，其中，所述光學(xué)構(gòu)件為微透鏡，所述光學(xué)部件為微透鏡襯底。
28.根據(jù)權(quán)利要求20至27中任一項所述的光學(xué)部件的制造方法，還包括步驟(e)，對所述光學(xué)構(gòu)件的周圍用密封材料進(jìn)行填充。
29.一種光學(xué)部件的制造方法，包括以下步驟(a)在基體上形成基座構(gòu)件；(b)向所述基座構(gòu)件的上表面噴吐液滴，形成光學(xué)構(gòu)件前身；(c)使所述光學(xué)構(gòu)件前身固化，形成光學(xué)部件；(d)從所述基座構(gòu)件上面取下所述光學(xué)構(gòu)件。
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的光學(xué)部件的制造方法，其中，在所述步驟(a)，采用能夠透過特定波長的光的材料，形成所述基座構(gòu)件。
31.一種微透鏡襯底，包括在襯底上設(shè)置的基座構(gòu)件和在所述基座構(gòu)件的上表面設(shè)置的透鏡。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的微透鏡襯底，其中，所述基座構(gòu)件是由能夠透過特定波長的光的材料形成的。
33.一種微透鏡襯底的制造方法，包括(a)在基體上形成基座構(gòu)件；(b)向所述基座構(gòu)件的上表面噴吐液滴，形成透鏡前身；(c)使所述透鏡前身固化，形成透鏡。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的微透鏡襯底的制造方法，其中，在所述步驟(a)中，采用能夠透過特定波長的光的材料形成所述基座構(gòu)件。
35.一種顯示裝置，具有根據(jù)權(quán)利要求31或32所述的微透鏡襯底。
36.一種攝像元件，具有根據(jù)權(quán)利要求31或32所述的微透鏡襯底。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠很好地控制其設(shè)置位置、形狀以及尺寸的光學(xué)部件及其制造方法。本發(fā)明的光學(xué)部件(100)包括基體(10)上設(shè)置的基座構(gòu)件(12)；以及在基座構(gòu)件(12)的上表面(12a)設(shè)置的光學(xué)構(gòu)件(14)。
文檔編號B41J2/01GK1490635SQ031569
公開日2004年4月21日 申請日期2003年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月25日
發(fā)明者金子剛, 鬼頭聰, 平松鐵夫, 夫 申請人:精工愛普生株式會社