專利名稱：檢查裝置及液滴噴出檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于檢查噴出液滴的噴出噴嘴的噴出性能的檢查裝置、和用此檢查液滴噴嘴的噴出性能的液滴噴出檢查方法。
背景技術(shù)：
作為噴出墨水等的液滴進(jìn)行薄膜的形成或圖案等的形成的液滴噴出裝置，一般是應(yīng)用噴墨技術(shù)的裝置。該裝置具有從液狀材料供給部得到液狀材料(液狀體)的液滴噴出噴嘴、和將基板等對液滴噴出噴頭相對移動(dòng)的載物臺，并根據(jù)噴出數(shù)據(jù)而移動(dòng)液滴噴出噴嘴，將液滴噴出在基板上，進(jìn)行薄膜的形成的圖案的形成。
在這樣的裝置中，通常在使用這個(gè)進(jìn)行正式的液滴噴出之前，檢查所有液滴噴出噴嘴是否為正常的狀態(tài)，即，是否存在液體堵塞或附著有碎屑等的異常現(xiàn)象。
在該檢查方法中，通常將噴嘴檢查圖案繪制在容易觀察的白紙等液狀材料(墨水)，即，識別性高的紙上，并通過肉眼觀察或顯微鏡觀察，檢查從噴嘴是否正常地噴出液滴。
另外，尤其是在記錄紙上噴出墨水而進(jìn)行記錄的噴墨記錄裝置中，知道的有將記錄在記錄紙上的圖像用由線傳感器構(gòu)成的讀取元件讀取，由此判斷墨水的噴出狀態(tài)的裝置(參照例如，專利文獻(xiàn)1)。
專利文獻(xiàn)1特開平6-143548號公報(bào)然而，在使用在工業(yè)上的液滴噴出裝置中，為了提高生產(chǎn)性，傾向于增加液滴噴出噴頭的噴嘴數(shù)量。現(xiàn)今，使用例如在一個(gè)液滴噴出噴頭上以縱x橫為2×180排列了噴嘴而配置，而總共具有360個(gè)噴嘴的液滴噴出裝置。另外，這樣的液滴噴出噴頭構(gòu)成為對液滴噴出裝置設(shè)置多個(gè)，例如12個(gè)。
從而，這樣的液滴噴出裝置存在噴嘴的總數(shù)過多，而使在如上所述的用肉眼或顯微鏡進(jìn)行觀察的檢查中，該檢查需要的時(shí)間過長，降低生產(chǎn)效率的問題。
另外，在如上所述的將墨水噴出在記錄紙上的噴墨記錄裝置中，知道的有，通過由線傳感器構(gòu)成的讀取元件對噴出狀態(tài)進(jìn)行判斷的技術(shù)。但是現(xiàn)狀是，關(guān)于使用在工業(yè)上，且如上所述地具有很多噴嘴的液滴噴出噴頭，在短時(shí)間內(nèi)調(diào)節(jié)其噴出性能的技術(shù)，還未被提供。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述事實(shí)而做成的，其目的在于提供尤其在工業(yè)上使用的液滴噴出裝置中，能夠容易地而且在短時(shí)間內(nèi)檢查其液滴噴出噴頭的噴出性能的檢查裝置、和用此檢查液滴噴出性能的液滴噴出檢查方法。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的檢查裝置，是用于檢查噴出液滴的液滴噴出噴頭的噴出性能的檢查裝置，其特征在于，具有絕緣性基板、設(shè)置在所述基板上的用于接收所述液滴的液滴收容部、和以露出在所述液滴收容部的內(nèi)面部的狀態(tài)設(shè)置的多個(gè)電極，所述液滴收容部具備形成為對應(yīng)所噴出的液滴正常滴落時(shí)的狀態(tài)的大小而構(gòu)成的檢查體、和連接在所述檢查體的所述電極并檢查所述液滴收容部的導(dǎo)電性的檢測器。
在該檢查裝置中，所述液滴收容部在未接收噴出的液滴狀態(tài)下是空余空間，從而，以露出在該液滴收容部的內(nèi)面部的狀態(tài)設(shè)置的多個(gè)電極間不存在導(dǎo)電。如果以這樣的狀態(tài)從所述液滴噴出噴頭向液滴收容部噴出液滴，則在所噴出的液滴以正常的狀態(tài)滴落時(shí)，因?yàn)橐旱问杖莶啃纬蔀閷?yīng)此的大小，所以液滴將填滿液滴收容部。因而，露出在該液滴收容部的內(nèi)面部的多個(gè)電極將介由液滴互相導(dǎo)通。從而，如果在所述檢測器檢測到這些電極間的導(dǎo)電性，則確認(rèn)液滴噴出正常。
另一方面，在所噴出的液滴不以正常的狀態(tài)滴落時(shí)，即，在產(chǎn)生飛行曲線或噴出量少而沒有進(jìn)行正常的噴出時(shí)，液滴不填滿液滴收容部，從而在電極間不表現(xiàn)出充分的導(dǎo)電性。從而，如果用所述檢測器檢測到這個(gè)，則確認(rèn)不正常噴出液滴。
從而，通過對例如所有的噴嘴同時(shí)進(jìn)行這樣的噴出性能的檢查，關(guān)于多數(shù)的噴嘴，能夠極容易地而且在短時(shí)間內(nèi)檢查其噴出性能。
另外，在所述檢查裝置中，優(yōu)選的是，將所述檢查體一體地形成在根據(jù)所述液滴噴出噴頭進(jìn)行噴出處理的基體上。
在如上所述地使用檢查體對所有的噴嘴檢查其噴出性能，而判斷例如所有的噴嘴是否正常時(shí)，實(shí)際上對基體進(jìn)行噴出處理，但是此時(shí)，如果檢查體一體地形成在基體上，則由于對液滴噴出裝置的基體的位置早已決定了的事實(shí)等，因此能夠縮短從檢查到實(shí)際的噴出處理為止之間的時(shí)間。
另外，在所述檢查裝置中，優(yōu)選的是，在所述檢查體的基板上，覆蓋所述電極而形成絕緣層，且在所述絕緣層上形成以使所述基板露出的開口部，并將所述開口部作為所述液滴收容部。
如果這樣做，能夠防止以下情況發(fā)生，即，由于例如滴落的液滴潤濕而擴(kuò)散，從液滴收容部出來之后接觸連接在所述電極的配線部分，導(dǎo)致噴出性能的檢測精度的下降。
本發(fā)明的液滴噴出檢查方法，是使用所述檢查裝置而檢查液滴噴出噴頭的噴出性能的液滴噴出檢查方法，其特征在于，具有從所述液滴噴出噴頭向所述檢查裝置的檢查體的液滴收容部噴出液滴的工序、和用所述檢測器檢測露出在接收液滴的噴出的所述液滴收容部的內(nèi)面部的電極間的導(dǎo)電性的所述檢測器，并檢查液滴噴出噴頭的噴出性能的工序。
根據(jù)該液滴噴出檢查方法可知，通過在如上所述地將液滴噴出于液滴收容部之后用檢測器檢測電極間的導(dǎo)電性，能夠確認(rèn)液滴是否以正常的狀態(tài)滴落，并由此能夠檢測噴出性能。
從而，通過對例如所有的噴嘴同時(shí)地進(jìn)行這樣的噴出性能的檢查，能夠?qū)Χ鄶?shù)的噴嘴，極容易地而且在短時(shí)間內(nèi)檢查其噴出性能。


圖1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的概略構(gòu)成的立體圖。
圖2中的(a)、(b)是用于說明液滴噴出噴頭的概略構(gòu)成的圖。
圖3中的(a)～(c)是表示本發(fā)明的檢查裝置的一個(gè)實(shí)施方式的圖。
圖4中的(a)、(b)是表示液滴正常地滴落在液滴收容部的狀態(tài)的圖。
圖5中的(a)、(b)是表示液滴發(fā)生飛行曲線時(shí)的滴落狀態(tài)的圖。
圖6中的(a)、(b)是表示液滴的噴出量少時(shí)的滴落狀態(tài)的圖。
圖7中的(a)、(b)是表示關(guān)于配線(電極)的構(gòu)成的另一個(gè)變形例的圖。
圖中，22-液滴、30-液滴噴出裝置、34-液滴噴出噴頭、39-載物臺、55-檢查裝置、60-檢查體、61-檢測器、62-液滴收容部、63-絕緣層、64-配線、64a-電極、S-基體(基板)。
具體實(shí)施例方式
下面，對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
首先，在對本發(fā)明的檢查裝置及液滴噴出檢查方法進(jìn)行說明之前，對本發(fā)明的液滴噴出裝置進(jìn)行說明。
圖1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的一個(gè)例子的圖，圖1中的符號30是主要用在工業(yè)上的液滴噴出裝置。該液滴噴出裝置30具有基底31、基板移動(dòng)裝置32、噴頭移動(dòng)裝置33、液滴噴出噴頭34、液體供給裝置35、和控制裝置40等?；?1在其上面設(shè)置了所述基板移動(dòng)裝置32、和噴頭移動(dòng)裝置33。
基板移動(dòng)裝置32設(shè)置在基底31上，并具有沿Y軸方向配置的導(dǎo)軌36。該基板移動(dòng)裝置32構(gòu)成為能通過例如線性馬達(dá)(未圖示)將滑塊37沿導(dǎo)軌36移動(dòng)。
在滑塊37上固定有載物臺39。從而，基板移動(dòng)裝置32成為載物臺39的移動(dòng)軸。該載物臺39用于保持并維持基板(基體)S的位置。即，該載物臺39具有公知的吸附保持裝置(未圖示)，并構(gòu)成為通過該吸附保持裝置的運(yùn)行，將基板S吸附并保持在載物臺39上。
對載物臺39上的基板S，在其兩側(cè)，即，后述的液滴噴出噴頭34的移動(dòng)方向(X軸方向)的兩側(cè)設(shè)置有用于對液滴噴出噴頭34進(jìn)行沖洗的沖洗區(qū)域F、F。在這些沖洗區(qū)域F、F上設(shè)置有接收來自液滴噴出噴頭34的沖洗液滴的容器50。容器50是沿所述載物臺39的移動(dòng)方向(Y軸方向)長長地形成的長方體，并在內(nèi)部收容了海面等吸收液滴的部件(未圖示)。
噴頭移動(dòng)裝置33具有設(shè)立在基底31的后部側(cè)的一對支撐臺33a、33a和設(shè)置在這些支撐臺33a、33a上的走行線33b，并將該走行線33b沿X軸方向，即，與所述基板移動(dòng)機(jī)構(gòu)32的Y軸方向正交的方向配置。走行線33b具有跨接在支撐臺33a、33a之間的支撐板33c、設(shè)置在該支撐板33c上的一對導(dǎo)軌33d、33d而形成，并用于保持在導(dǎo)軌33d、33d的長度方向上搭載液滴噴出噴頭34的滑動(dòng)件42能夠移動(dòng)?；瑒?dòng)件42構(gòu)成為通過線性馬達(dá)(未圖示)等的運(yùn)行，走行在導(dǎo)軌33d、33d上，并由此使液滴噴出噴頭34在X軸方向上移動(dòng)。在此，該滑動(dòng)件42可以在導(dǎo)軌33d、33d的長度方向，即，X軸方向上以例如1μm為單位移動(dòng)，并且這樣的移動(dòng)是由后述的控制裝置40控制。
液滴噴出噴頭34安裝在所述滑動(dòng)件42上，且可以介由安裝部43轉(zhuǎn)動(dòng)。在安裝部43上設(shè)置有馬達(dá)44，并在液滴噴出噴頭34的支撐軸(未圖示)是與馬達(dá)44連接。以這樣的構(gòu)成，液滴噴出噴頭34能夠在其周方向上轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，馬達(dá)44也與所述控制裝置40連接，并由此液滴噴出噴頭34的在其周方向的轉(zhuǎn)動(dòng)也被控制裝置40控制。
在此，液滴噴出噴頭34具有如圖2(a)所示的例如不銹鋼制的噴嘴盤12和振動(dòng)板13，且兩者是介由隔板部件(貯存盤)14而接合。在噴嘴盤12和振動(dòng)板13之間介由隔板部件14形成有多個(gè)空間15和液體滯留部16。各空間15和液體滯留部16的內(nèi)部被液狀體填滿，且各空間15和液體滯留部16是介由供給部17連通。另外，在噴嘴盤12上形成有多個(gè)排列為縱橫的狀態(tài)的用于從空間15噴射液狀體的噴嘴孔18。另一方面，在振動(dòng)板13上形成有用于向液體滯留部16供給液狀體的孔19。
另外，與振動(dòng)板13的空間15對向的面的相反側(cè)的面上接合有如圖2(b)所示的壓電元件(壓電元件)20。該壓電元件20具有一對電極21，并且構(gòu)成為如果對這些電極21、21之間通電，則向外側(cè)突出地彎曲。還有，在這樣的構(gòu)成的基礎(chǔ)上，接合著壓電元件20的振動(dòng)板13，與壓電元件20一體地構(gòu)成的同時(shí)，向外側(cè)彎曲，由此增大空間15的容積。從而，相當(dāng)于所增大的份額的液態(tài)體從液體滯留部16介由供給口17流入空間15內(nèi)。另外，如果從這樣的狀態(tài)解除向壓電元件20的通電，則壓電元件20和振動(dòng)板13一同恢復(fù)為原始形狀。從而，由于空間15也還原為原始的容積，因此，空間15內(nèi)的液狀體的壓力上升，從噴嘴孔18向基板噴出液狀體的液滴22。
由這樣的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的液滴噴出噴頭34，其底面形狀形成為大致矩形狀，并且噴嘴18配置縱×橫為2×180。還有，在圖1中為了簡化而只表示了一個(gè)液滴噴出噴頭34，但是實(shí)際上為配備有多個(gè)并列的液滴噴出噴頭34(例如12個(gè))。
另外，作為液滴噴出噴頭34，除了使用所述的壓電元件20的壓電噴墨類型以外，可以采用例如作為能量產(chǎn)生元件的使用電熱轉(zhuǎn)換體的方式等。
液體供給裝置35具有連接在所述液滴噴出噴頭34的液體供給管道46、和連接在該液體供給管道46的貯存罐45。
控制裝置40由具有控制整個(gè)裝置的微型處理器等CPU或各種輸入輸出信號功能的電腦等構(gòu)成，并控制由液滴噴出噴頭34的噴出工作、及由基板移動(dòng)裝置32的移動(dòng)工作。
其次，對這樣的液滴噴出裝置30中的用于檢查液滴噴出噴頭34的噴出性能的本發(fā)明的檢查裝置進(jìn)行說明。
圖3中的(a)～(c)是表示本發(fā)明的檢查裝置的一個(gè)實(shí)施方式的圖，圖3(a)～(c)中符號S是基體，60是檢查體。檢查體60，在本實(shí)施方式中是如圖3(a)所示，一體地形成在進(jìn)行由所述液滴噴出噴頭34的噴出處理的基體S上，且如圖3(c)所示，與檢測器61一同構(gòu)成本發(fā)明的檢查裝置55。
該檢查體60將基體S作為其基板，而且形成在矩形狀的基體S的一邊側(cè)。在此，基體S是作為用于形成各種功能性薄膜或功能性元件的基底，并且對應(yīng)薄膜或元件的種類而由玻璃或硅等各種基板構(gòu)成。另外，在這樣的基板上也可以使用形成有TFT或配線、絕緣層等各種構(gòu)成要素的部件。包括這樣的基板和在之上形成了各種構(gòu)成要素的部件，在本發(fā)明中稱這些為基體。但是，在本實(shí)施方式中，基體S兼作為檢查體60的基板，因此，至少使其表面部為絕緣性的材質(zhì)。即，在本發(fā)明中，檢查體60的絕緣性的基板只要其表面部至少具有絕緣性，就可以使用硅等半導(dǎo)體或金屬等導(dǎo)體。
在檢查體60的基板(基體S)上形成有如圖3(a)所示地多個(gè)液滴收容部62…。這些液滴收容部62…用于接收從液滴噴出噴頭34噴出的液滴并將此收容，并且配置為對應(yīng)作為檢查對向的液滴噴出噴頭34的噴嘴構(gòu)成而形成。本實(shí)施方式中的液滴噴出噴頭34如上所述地以縱×橫為2×180排列噴嘴18而配置，進(jìn)而，并列地配置有多個(gè)該液滴噴出噴頭34(例如12個(gè))，因此，液滴收容部62…也對應(yīng)此而排列配置縱橫為2×(180×x)(但是，x表示液滴噴出噴頭34的個(gè)數(shù)，例如12個(gè))。
另外，這些液滴收容部62…，在本實(shí)施方式中是如圖3(a)、(c)所示地成為在俯視的狀態(tài)下為具有圓形的開口的空間部。即，如圖3(b)所示，在基板(基體S)上形成有絕緣層63，并且由于該絕緣層63以在俯視時(shí)為圓形狀的方式開口，因此，由開口部即空間部形成液滴收容部62。在此，關(guān)于絕緣層63，優(yōu)選的是，使其潤濕性與露出在液滴收容部62內(nèi)的基板(氣體S)面相同。作為用于這樣使?jié)櫇裥韵嗤奶幚?，可以采用例如等離子照射處理或紫外線照射處理。
另外，液滴收容部62具有對應(yīng)從后述的液滴噴出噴頭34噴出的液滴正常地滴落時(shí)的狀態(tài)的大小。具體來說，如果液滴正常地滴落時(shí)的滴落直徑(大小)為100，則如圖3(b)所示的液滴收容部62的內(nèi)徑(大小)為90以上，99.5以下，優(yōu)選的是95以上，98以下。
將下限值設(shè)為90以上并優(yōu)選為95以上是因?yàn)樵撓孪拗翟降?，對液滴的飛行曲線的檢查上的容許范圍、及對噴出量的下限值的檢查上的容許范圍變大，在考慮了對這些飛行曲線或噴出量的檢查精度的情況下，希望的是90以上，優(yōu)選的是95以上。另一方面，將上限值設(shè)為99.5以下，優(yōu)選為98以下是因?yàn)樵撋舷拗翟礁?，對液滴的飛行曲線的檢查上的容許范圍、及對噴出量的下限值的檢查上的容許范圍變小，在考慮了對這些飛行曲線或噴出量的檢查精度的情況下，希望的是99.5以下，優(yōu)選的是98以上。
另外，在所述基板(基體S)上如圖3(c)所示地每一個(gè)液滴收容部62形成有一對配線64、64。配線64是如圖3(b)所示地直接形成在基板(基體S)上，且所述絕緣層63是覆蓋配線64而形成在基板(基體S)上。另外，對液滴收容部62的一對配線64、64是如圖3(c)所示地以搭載在通過形成為在俯視時(shí)為圓形的液滴收容部62的中心的一條直線上的方式，配置為其端面之間互相對向。這些配線64、64是配置為如圖3(b)所示地其端面成為露出在液滴收容部62的內(nèi)面部的狀態(tài)。還有，這些配線的端面是作為本發(fā)明的電極64a。
另外，關(guān)于這些配線64，如圖3(c)所示地夾住液滴收容部62的一方側(cè)的所有配線62連接在一條共用配線65上，進(jìn)而該共用配線65接地。另一方面，夾住液滴收容部62的另一方側(cè)的配線62連接在形成在所有基板(基體S)上的端子部66，并介由這些端子部66與所述檢測器61連接。即，在所述端子部66介由能夠從此插拔地連接的連接端子與配線(未圖示)連接，進(jìn)而介由該配線與檢測器61連接。
檢測器61是用于檢測分別連接在配線的被檢測體即所述液滴收容部62內(nèi)的導(dǎo)電性(導(dǎo)電率)，并構(gòu)成為通過從例如內(nèi)置的電源向液滴收容部62側(cè)流過直流電流，并測定液滴收容部62的電阻，而檢測導(dǎo)電性(導(dǎo)電率)。
即，如果從液滴噴出噴頭14飛行無曲線，且噴出量無減少地正常地噴出液滴，使之以正常的狀態(tài)滴落在液滴收容部62上，則液滴22將如圖4(a)所示的俯視圖、及圖4(b)所示的側(cè)面剖面圖地填滿液滴收容部62。于是，露出在該液滴收容部62的內(nèi)面部的電極64a、64a將介由液滴22互相導(dǎo)通。從而，如果用所述檢測器61檢測到這些電極64a、64a(配線64、64)之間的導(dǎo)電性，則能夠確認(rèn)正常地噴出液滴22。
另一方面，噴出的液滴沒有以正常的狀態(tài)滴落時(shí)，例如飛行上發(fā)生曲線時(shí)，如圖5(a)所示的俯視圖、及圖5(b)所示的側(cè)面剖面圖，由于液滴22的一部分位于液滴收容部62的外側(cè)，因此，液滴22不能填滿液滴收容部62，從而造成電極64a、64a之間不表現(xiàn)出導(dǎo)電性。從而如果用所述檢測器61檢測到這個(gè)，則能夠確認(rèn)未正常地噴出了液滴。
另外，在噴出量少時(shí)，液滴22不能很好地填滿液滴收容部62，從而電極64a、64a之間不表現(xiàn)出足夠的導(dǎo)電性。從而，如果用所述檢測器61檢測到這個(gè)，則能夠確認(rèn)未正常地噴出了液滴。還有，即使在噴出量少時(shí)，也由于濕潤度的某種程度的擴(kuò)散，時(shí)有在如圖6(a)所示地在俯視狀態(tài)下液滴22分別與電極64a、64a連接。但是，在這種情況下也由于如圖6(b)所示的側(cè)面剖面圖，與如圖4(a)、(b)所示的正常情況相比，液滴22與電極64a的接觸面積變小等事實(shí)，而導(dǎo)致導(dǎo)電率下降。從而，能夠預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)等求出正常地噴出而滴落時(shí)的導(dǎo)電率、和噴出量少時(shí)的導(dǎo)電率的臨界值，并根據(jù)該臨界值通過判斷是否大小的基準(zhǔn)，判斷噴出量正常、或少。
還有，關(guān)于檢測器61，如上所述地通過測定電阻而檢測導(dǎo)電性(導(dǎo)電率)，但是除此之外，可以使用例如檢測電流值的儀器等能夠定量地測定的任意的儀器。
其次，對使用了具有這樣的構(gòu)成的檢查裝置55的液滴噴出噴頭34的液滴噴出檢查方法進(jìn)行說明。
首先，將基體S設(shè)置在載物臺39上的規(guī)定位置上，并將檢查體60配置液滴噴出噴頭34的噴出位置。還有，在此之前、或者在這之后，根據(jù)需要從液滴噴出噴頭34進(jìn)行沖洗。該沖洗作為尤其在噴出的液狀體中的溶劑或分散劑的揮發(fā)性高的情況等下，液狀體的噴出不連續(xù)進(jìn)行的噴嘴中滯留在其開口的液狀由于溶劑(分散劑)的揮發(fā)而引起粘度上升，甚至液狀體固化，或者塵埃附著，進(jìn)而由于氣泡的混入而引起噴嘴開口發(fā)生堵塞，噴出不良的對策。
其次，根據(jù)需要通過基板移動(dòng)裝置32或噴頭移動(dòng)裝置33對液滴噴出噴頭34和檢查體60之間的相對位置進(jìn)行調(diào)整，并將檢查體50的各液滴收容部62的位置置于與液滴噴出的各噴頭34對應(yīng)的位置。
還有，如果這樣決定完畢位置，則從液滴噴出噴頭34各噴嘴同時(shí)或保持適當(dāng)?shù)拈g隔順次進(jìn)行噴出。
于是，在正常地噴出液滴，并以正常狀態(tài)滴落在液滴收容部62時(shí)，如圖4(a)、(b)所示地液滴22將良好地填滿液滴收容部62。
另一方面，在飛行上發(fā)生曲線時(shí)，如圖5(a)、(b)所示地液滴22的一部分將落于液滴收容部62的外側(cè)。
另外，噴出量少時(shí)，如圖6(a)、(b)所示地液滴22將不能良好地填滿液滴收容部62。
因此，通過所述檢測器61對液滴收容部62內(nèi)的導(dǎo)電性進(jìn)行檢測，能夠?qū)σ旱螄姵鰢婎^34的噴出性能，即，對其所有噴嘴的每一個(gè)檢查噴出性能。關(guān)于該檢測，對每一個(gè)液滴收容部62順次進(jìn)行檢測，并將結(jié)果傳送到例如所述控制裝置40。這樣，通過檢測器61對所有噴嘴進(jìn)行噴出性能的檢查，能夠進(jìn)行液滴噴出噴頭34的液滴噴出檢查。
如果這樣檢查完畢液滴噴出，且其結(jié)果被輸入，則在控制裝置40中，所檢測的結(jié)果被判斷為所有的液滴收容部62，即，所有的噴嘴，其噴出正常時(shí)，通過基板移動(dòng)裝置32移動(dòng)基體S，進(jìn)而通過頭部移動(dòng)裝置33運(yùn)行液滴噴出噴頭34，對基體S的被處理部，進(jìn)行用于形成膜圖案等的正式的噴出。
另一方面，只要檢測出一個(gè)噴嘴異常，則不進(jìn)行通過基板移動(dòng)裝置32的基體S的移動(dòng)，當(dāng)然也中止通過液滴噴出噴頭34的正式的噴出。還有，通過警報(bào)等通知異常，而對液滴噴出噴頭34再次進(jìn)行調(diào)整。
對于這樣的使用檢查裝置55的液滴噴出噴頭34的液滴噴出檢查方法，通過從各噴頭將液滴噴出到液滴收容部62后，用檢測器61檢測電極64a、64a之間的導(dǎo)電性，能夠確認(rèn)液滴22是否以正常的狀態(tài)滴落，并由此能夠檢測各噴嘴的噴出性能。從而，對所有的噴嘴同時(shí)或順次進(jìn)行這樣的噴出性能的檢查，關(guān)于多個(gè)噴嘴，能夠極容易地而且在短時(shí)間內(nèi)檢查其噴出性能，并由此能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)性的效率。
另外，將檢查體60一體地形成在基體S上，因此，在噴斷所有的噴嘴是否正常時(shí)，檢查結(jié)束后，能夠立即對基體S進(jìn)行實(shí)際上的噴出處理，從而由于縮短從檢查到實(shí)際的噴出處理為止的時(shí)間，能夠進(jìn)一步提高生產(chǎn)性。另外，通過對液滴噴出噴頭34確定檢查體60的位置，能夠?qū)τ诨wS也同時(shí)確定位置，因此，能夠縮短確定這些位置所需的時(shí)間。進(jìn)而，能夠消除分別確定兩者的位置時(shí)的位差，因此，對實(shí)際上噴出而形成的薄膜或元件，也能夠提高其位置精度。
另外，尤其關(guān)于檢查體60，在其基板(基體S)上覆蓋配線64(電極64a)而形成絕緣層63，并在該絕緣層63上形成開口部而將該開口部作為液滴收容部62，因此，能夠防止由于例如滴落的液滴潤濕度擴(kuò)散，從液滴收容部62冒出而接觸與電極64a連接的配線64等事實(shí)，導(dǎo)致噴出性能的檢測精度下降的問題。
還有，在所述實(shí)施方式中，將檢查體60與基體S一體地形成，但是將基體S另外獨(dú)立于檢查體60形成也可，在這種情況下，可以對多個(gè)基體S的處理循環(huán)使用一個(gè)檢查體60。
另外，在所述實(shí)施方式中，在基板(基體S)上覆蓋配線64(64a)而形成絕緣層63，但是也可以在去掉該絕緣層63的基板(基體S)上只形成配線64(電極64a)。如這樣做，則能夠通過進(jìn)一步簡化檢查體60的構(gòu)成而控制成本在低的程度。
另外，對于配線64(電極64a)的構(gòu)成，也不只限于所述實(shí)施方式，而可以采用各種方式。例如，如圖7(a)所示，對液滴收容部62不僅配設(shè)一對的配線64(電極64a)，而將2對配線64設(shè)置為十字狀，分別對對向的配線64之間的導(dǎo)電率進(jìn)行測定也可。通過采用這樣的構(gòu)成，在滴落的液滴如圖7(a)中的兩點(diǎn)的點(diǎn)劃線所示地發(fā)生局部變形，并有一部分未連接在電極64a的情況下，也能夠檢測出該情況，從而能夠提高檢測精度。
進(jìn)而，如圖7(b)所示，在露出在液滴收容部62內(nèi)的底面的中心部設(shè)置共用電極67，并在液滴收容部62的周圍將多個(gè)例如4條配線64設(shè)置成放射狀，分別對共用電極67和各配線64之間的導(dǎo)電率也可。即使采用這樣的構(gòu)成，也與如圖7(a)所示的情況相同地能夠?qū)λ温涞囊旱伟l(fā)生變形等情況下檢測到該情況，從而提高檢測精度。
權(quán)利要求
1.一種檢查裝置，是用于檢查噴出液滴的液滴噴出噴頭的噴出性能的檢查裝置，其特征在于，具有絕緣性基板、設(shè)置在所述基板上的用于接收所述液滴的液滴收容部、和以露出在所述液滴收容部的內(nèi)面部的狀態(tài)設(shè)置的多個(gè)電極，所述液滴收容部具備形成為對應(yīng)所噴出的液滴正常滴落時(shí)的狀態(tài)的大小而構(gòu)成的檢查體、和連接在所述檢查體的所述電極并檢查所述液滴收容部的導(dǎo)電性的檢測器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，將所述檢查體一體地形成在根據(jù)所述液滴噴出噴頭被進(jìn)行噴出處理的基體上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于，在所述檢查體的基板上，覆蓋所述電極而形成絕緣層，且在所述絕緣層上形成以使所述基板露出的開口部，并將所述開口部作為所述液滴收容部。
4.一種液滴噴出檢查方法，是使用如權(quán)利要求1～3中的任何一項(xiàng)所述的檢查裝置而檢查液滴噴出噴頭的噴出性能的液滴噴出檢查方法，其特征在于，具有從所述液滴噴出噴頭向所述檢查裝置的檢查體的液滴收容部噴出液滴的工序、和用所述檢測器檢測露出在接收液滴的噴出的所述液滴收容部的內(nèi)面部的電極間的導(dǎo)電性，檢查液滴噴出噴頭的噴出性能的工序。
全文摘要
一種檢查裝置，是用于檢查噴出液滴的液滴噴出噴頭的噴出性能的檢查裝置(55)，具有絕緣性的基板(S)、設(shè)置在所述基板(S)上的用于接收液滴的液滴收容部(62)、和以露出在液滴收容部(62)的內(nèi)面部的狀態(tài)設(shè)置的多個(gè)電極(64a)，且液滴收容部(62)配備形成為對應(yīng)所噴出的液滴滴落時(shí)的狀態(tài)的大小而構(gòu)成的檢查體(60)、和連接在檢查體(60)的電極(64a)并檢查液滴收容部(62)的導(dǎo)電性的檢測器(61)。從而，提供在工業(yè)上使用的液滴噴出裝置中，能夠容易地而且在短時(shí)間內(nèi)檢查其液滴噴出噴頭的噴出性能的檢查裝置、和用此檢查液滴噴出性能的液滴噴出檢查方法。
文檔編號B41J2/135GK1715050SQ200510081
公開日2006年1月4日 申請日期2005年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月1日
發(fā)明者森俊正 申請人:精工愛普生株式會社