專利名稱：液滴噴出裝置、及其液體供給裝置、電光裝置和電子機器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將液滴噴出到工件上的液滴噴出裝置、液滴噴出裝置的液體供給裝置、電光裝置和電子機器。
背景技術(shù)：
液滴噴出裝置，有時作為繪圖系統(tǒng)使用，該繪圖系統(tǒng)用噴墨方式將液滴噴出到工件上。該繪圖系統(tǒng)有時用于制造例如平板顯示器之類的電光元件。
用噴墨方式將液滴噴出的液滴噴出裝置包括噴出液滴的頭部、和對頭部供給液體的墨盒。已存在有以下技術(shù)，即，該頭部與墨盒之間，被用墨水供給導管連接(例如專利文獻1)。此墨水供給導管為了防止空氣等的透過，采用的是2重結(jié)構(gòu)的導管。從而，防止了空氣從外部環(huán)境侵入到導管內(nèi)的墨水中。
特開昭61-53052號公報(第3頁、第1圖)然而，這種2重結(jié)構(gòu)的墨水供給導管存在以下問題。
外側(cè)導管和內(nèi)側(cè)導管中雖然捕捉了來自外部環(huán)境的空氣，但是，如果外側(cè)導管和內(nèi)側(cè)導管之間空氣的量不斷增加，空氣量就會飽和，因而空氣有可能進入到內(nèi)側(cè)導管。
此外，內(nèi)側(cè)導管和外側(cè)導管在彎曲時，外側(cè)導管的內(nèi)周面與內(nèi)側(cè)導管的外周面會相互摩擦，存在導管破損的危險性。
因此，本發(fā)明的目的在于，解決上述課題，提供一種能夠促使從外部環(huán)境侵入的氣體主動脫離以防氣體進入到內(nèi)部的液體當中，并避免外側(cè)的第1導管和內(nèi)側(cè)的第2導管在彎曲時相互摩擦的液滴噴出裝置、液滴噴出裝置的液體供給裝置、電光裝置和電子機器。

發(fā)明內(nèi)容
上述目的通過下述的液滴噴出裝置來實現(xiàn)，第1發(fā)明為一種用于將液滴噴到工件上的液滴噴出裝置，其特征在于，具備容納液體的液體收容部；噴出液滴的頭部；以及，液體供給裝置，配置在所述液體收容部和所述頭部之間，用于將所述液體從所述液體收容部供給到所述頭部，所述液體供給裝置包括第1導管，將所述液體收容部與所述頭部之間連接來供給所述液體；第2導管，圍繞在所述第1導管外圍；以及，流體循環(huán)部，在形成在所述第1導管和所述第2導管之間的空間中，容納脫氣用的流體，將通過所述第2導管進入的所述脫氣用的流體中含有的氣體脫除到所述第2導管的外側(cè)，同時使所述脫氣用的流體循環(huán)。
通過第1發(fā)明的結(jié)構(gòu)，液體收容部容納液體。頭部噴出液體。液體供給裝置配置在液體收容部和頭部之間，將液體從液體收容部供給到頭部。
該液滴噴出裝置的第1導管，連接液體收容部與頭部之間來供給液體。第2導管圍繞在第1導管的外圍。在此第1導管和第2導管之間形成的空間里，容納有脫氣用的流體。該脫氣用的流體，通過流體循環(huán)部，將通過第2導管進入的脫氣用的流體中含有的氣體脫除到第2導管外側(cè)，同時使脫氣用的流體主動循環(huán)。
由此，能夠?qū)怏w從第1導管和第2導管間的空間里的脫氣用的流體中，脫除到外部環(huán)境，可靠地防止了外部環(huán)境的氣體進入到第1導管內(nèi)流動的液體中。
第2發(fā)明的特征在于，在第1發(fā)明的結(jié)構(gòu)中，所述流體循環(huán)部包括吸引部；循環(huán)導管，與所述空間連接，通過所述吸引部的吸引使所述脫氣用的流體循環(huán)；以及，過濾器，將所述氣體從循環(huán)著的所述脫氣用的流體中分離。
根據(jù)第2發(fā)明的構(gòu)成，流體循環(huán)部的循環(huán)導管，與第1導管和第2導管之間的空間連接，通過吸引部的吸引使脫氣用的流體循環(huán)，過濾器將氣體從脫氣用的流體中分離。
由此，通過吸引部的吸引，能夠在第1導管和第2導管之間的空間中使脫氣用的流體主動循環(huán)，同時通過過濾器將氣體可靠地脫除。
第3發(fā)明的特征在于，在第1發(fā)明或第2發(fā)明的構(gòu)成中，為了將所述第1導管和所述第2導管之間形成的所述空間沿長邊方向保持，在所述空間中配置有空間保持件。
根據(jù)第3發(fā)明的構(gòu)成，在第1導管和第2導管之間形成的空間內(nèi)，配置有空間保持件。該空間保持件，沿第1導管和第2導管的長邊方向，均等地保持空間。
由此，即使是在第1導管和第2導管彎曲的情況下，也能夠可靠地保持第1導管和第2導管間的空間，而且，能夠防止第1導管和第2導管中間的相互摩擦。
第4發(fā)明的特征在于，在第3發(fā)明的構(gòu)成中，所述空間保持件，被等間隔地配置在所述第1導管和所述第2導管的長邊方向上。
根據(jù)第4發(fā)明的構(gòu)成，空間保持件，以等間隔被配置在第1導管和第2導管的長邊方向上。
由此，空間保持件能夠等間隔可靠地保持第1導管和第2導管之間的空間。
第5發(fā)明的特征在于，在第4發(fā)明的構(gòu)成中，所述空間保持件，是被固定在所述第1導管的外周面和所述第2導管的內(nèi)周面之間的環(huán)狀部件，所述空間保持件，具有用于讓所述第1導管通過的圓形通孔；以及，在所述第1導管的所述外周面和所述第2導管的所述內(nèi)周面之間，形成所述脫氣用的流體的流路的突起部。
根據(jù)第5發(fā)明的構(gòu)成，空間保持件是第1導管的外周面和第2導管的內(nèi)周面之間固定的環(huán)狀部件。該空間保持件包括通孔和突起部。該通孔是用于通過第1導管的圓形洞穴。突起部是用來在第1導管的外周面和第2導管的內(nèi)周面之間，形成脫氣用的流體的流路。
由此，脫氣用的流體能夠可靠地在第1導管和第2導管之間流動。
第6發(fā)明的特征在于，在第1發(fā)明的構(gòu)成中，所述脫氣用的流體，是與所述液體相同的液體、或者所述液體中含有的溶劑。
根據(jù)第6發(fā)明的構(gòu)成，脫氣用的流體是與液體相同的液體，或者液體中含有的溶劑。
由此，由于脫氣用的流體是與液體相同的液體或者液體中含有的溶劑，因此能夠防止與液體不同的異物的流動。
上述目的通過下述的液滴噴出裝置的液體供給裝置來實現(xiàn)，第7發(fā)明為一種液滴噴出裝置的液體供給裝置，被設置在用于將液滴從頭部噴出到工件上的液滴噴出裝置中，配置在液體收容部與所述頭部之間，用于將液體從所述液體收容部供給到所述頭部，其特征在于，所述液體供給裝置包括第1導管，將所述液體收容部與所述頭部之間連接來供給所述液體；第2導管，圍繞在所述第1導管外圍；以及，流體循環(huán)部，在形成在所述第1導管和所述第2導管之間的空間中，容納脫氣用的流體，將通過所述第2導管進入的所述脫氣用的流體中含有的氣體脫除到所述第2導管的外側(cè)，同時使所述脫氣用的流體循環(huán)。
由此，能夠從第1導管和第2導管間的空間里的脫氣用的流體中，將氣體脫除到外部環(huán)境，可靠地防止了外部環(huán)境的氣體進入到第1導管中流動的液體中。
上述目的通過下述的電光裝置來達到，第8發(fā)明為一種電光裝置，使用將液滴從頭部噴出到工件上的液滴噴出裝置來制造，其特征在于，被配置在液體收容部與所述頭部之間、用于將液體從所述液體收容部供給到所述頭部的液體供給裝置包括第1導管，將所述液體收容部與所述頭部之間連接來供給所述液體；以及，第2導管，圍繞在所述液體供給用的所述第1導管外圍，在形成在所述第1導管和所述第2導管之間的空間中，容納脫氣用的流體，通過流體循環(huán)部，將通過所述第2導管進入的所述脫氣用的流體中含有的氣體脫除到所述第2導管的外側(cè)同時使所述脫氣用的流體循環(huán)，通過從所述頭部對所述工件噴出所述液滴來制造。
由此，能夠從第1導管和第2導管間的空間里的脫氣用的流體中，將氣體脫除到外部環(huán)境，可靠地防止了外部環(huán)境的氣體進入到第1導管中流動的液體中。
第9發(fā)明是一種電子機器，其特征在于，裝載了第8發(fā)明所述的上述電光裝置。


圖1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的優(yōu)選實施方式的平面圖。
圖2是表示圖1的液滴噴出裝置的滑架、頭部等的立體圖。
圖3是從表示滑架、頭部等的圖2中的E方向看到的正面圖。
圖4是表示頭部的壓電振子的例子和液體儲存部的結(jié)構(gòu)例的圖。
圖5是表示液體供給裝置、液體容器和噴嘴等的立體圖。
圖6是表示液體供給裝置的液體循環(huán)部、第1導管、第2導管等的圖。
圖7是表示第1導管和第2導管結(jié)構(gòu)例的截面圖。
圖8是表示將過濾器機構(gòu)部和真空泵放大的圖。
圖9是表示用過濾器從脫氣用的流體中將溶存氣體脫除的原理的例子的圖。
圖10是表示第1導管和第2導管以及空間保持件的例子的部分切去的立體圖。
圖11是表示第1導管和第2導管以及空間保持件的分解立體圖。
圖12是表示第1導管和第2導管以及空間保持件的截面圖。
圖13是表示用本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的有機EL裝置的形狀例的截面圖。
圖14是表示用本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)例的截面圖。
圖15是表示作為具備用本發(fā)明的實施方式制造出來的顯示裝置的電子機器的一例的手機的立體圖。
圖16是表示作為電子機器的另一例的計算機的立體圖。圖中10—液滴噴出裝置，11—頭部，70—噴嘴面，91～96—第1導管，111～116—液體容器(也稱墨水罐)，121～126—噴嘴開口，401～406—第2導管，430—流體循環(huán)部，441—循環(huán)導管，443—真空泵(吸引部的一例)，444—過濾器機構(gòu)部，450—過濾器，480—脫氣用的流體的流路，481—繪圖用的墨水的流路，610—液體供給裝置、660—脫氣用的流體。
具體實施例方式
下面，參照附圖，對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行說明。
圖1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的優(yōu)選的實施方式的平面圖。
圖1所示的液滴噴出裝置10，可以作為繪圖系統(tǒng)使用。作為此繪圖系統(tǒng)一例，被安裝在所謂平板顯示器的一種的例如有機EL(電激發(fā)光)裝置的制造線上。此液滴噴出裝置10，可以形成例如構(gòu)成有機EL裝置各像素的發(fā)光元件。
液滴噴出裝置10，可以用作例如噴墨式繪圖裝置。液滴噴出裝置10，用于以液滴噴出法(噴墨法)形成有機EL裝置的發(fā)光元件。液滴噴出裝置10的頭部(也稱功能液滴噴頭)，可以形成有機EL裝置的發(fā)光元件。具體講，在有機EL裝置的制造工序中，通過將導入了發(fā)光功能材料的頭部，對經(jīng)過圍堰部形成工序和等離子體處理工序形成了圍堰部的基板(工件的一例)相對地進行掃描，液滴噴出裝置10就可以對應著基板的像素電極的位置，來形成空穴注入/輸送層以及發(fā)光層的成膜部。
通過預備例如2臺液滴噴出裝置10，就能夠由第1臺的液滴噴出裝置10形成空穴注入/輸送層，另1臺的液滴噴出裝置10形成R(紅)、G(綠)、B(藍)的3色發(fā)光層。
圖1的液滴噴出裝置10收納在腔室12中。腔室12具有另一個腔室13。在該腔室13中，收納有工件搬出搬入臺14。工件搬出搬入臺14，是用于將工件W搬入腔室12內(nèi)、或者將處理后的工件W從腔室12內(nèi)的臺30之上搬出的臺。
在圖1所示的腔室12中，收納有對頭部11進行維護的維護部15。此外，在腔室12的外側(cè)具有回收部16。
維護部15包括吸引單元400、清掃單元(擦拭單元)600、滲水(flashing)單元(未圖示)、噴出檢查單元(未圖示)或者重量測定單元(未圖示)等。
滲水單元，將從頭部11預備性噴出的液滴接收。吸引單元400，是用于從頭部11的噴嘴面的噴嘴處吸引液體和氣泡的單元。
清掃單元也稱擦拭單元，該擦拭單元600是借助清掃部件(擦拭部件)擦拭附著在噴嘴面上的液體等污垢的單元。噴出檢查單元檢查從頭部11噴出的液滴的噴出狀態(tài)。重量測定單元，測定從頭部11噴出液滴的重量。
回收部16例如具有回收液滴的液滴回收系；和，提供在擦拭之后使用的清洗用溶劑的清洗液供給系。
腔室12和腔室13被單獨實施空氣管理，使得腔室12和腔室13中的環(huán)境不發(fā)生變動。之所以如此使用腔室12和腔室13，是因為在例如制造有機EL元件的情況下不希望混入大氣中的水分等，要能夠排除大氣的影響。通過往腔室12和腔室13中連續(xù)導入干燥空氣并進行排氣，就可以維持干燥空氣的環(huán)境。
下面，對圖1所示的腔室12內(nèi)的構(gòu)成要素進行說明。
腔室12中收納有機架20、頭部11、滑架19、液體儲存部300、第1操作部21、第2操作部22、臺30、引導基臺17。
圖1的機架20沿X軸方向水平設置。引導基臺17沿Y軸方向設置。機架20位于引導基臺17的上方。X軸相當于第1移動軸，Y軸相當于第2移動軸。X軸與Y軸相互垂直，并相對Z軸也垂直。Z軸是在圖1中與紙面垂直的方向。
第1操作部21，用于沿機架20將滑架19和頭部11在X軸方向上直線來回移動以及實施定位。
第2操作部22具有臺30。該臺30，能夠可裝卸地安裝圖1所示的工件W。該第2操作部22的臺30，在從頭部11向工件W施與液滴時，保持工件W。而且，第2操作部22，能夠令工件W沿Y軸方向在引導基臺17上直線移動來實施定位。
第1操作部21，具有用于使滑架19和頭部11在X軸方向上直線移動來實施定位的電機21A。該電機21A，通過使用例如傳送螺桿，能夠令滑架19和此頭部11在X軸方向上直線移動。電機21A可以是此旋轉(zhuǎn)型的電機，也可以是線性電機。
第2操作部22的電機22A，能夠令臺30沿引導基臺17在Y軸方向上直線移動并實施定位。該電機22A可以使用旋轉(zhuǎn)傳送螺桿的旋轉(zhuǎn)型的電動機。作為電機22A，除了旋轉(zhuǎn)型電機之外，也可以使用線性電機。
第2操作部22的臺30，具有裝載面30A。該裝載面30A，是與圖1的Z軸方向垂直的面。裝載面30A具有吸附部30B。該吸附部30B，可以通過真空吸附來吸附工件W。這樣，工件W就不會相對裝載面30A錯位，能夠可裝卸地可靠固定。
下面，參照圖2和圖3，對滑架19和頭部11的結(jié)構(gòu)例進行說明。
圖2是表示滑架19和頭部11附近的形狀示例的立體圖，圖3是從圖2的E方向看到的正面圖的例子。
滑架19，可以通過圖1所示的電機21A在X軸方向上移動來定位?；?9使用頭固定器61，將頭部11可裝卸地固定。
如圖3所示，若電機62根據(jù)控制部200的指令動作，頭固定器61和頭部11的單元能夠沿Z軸方向上下移動來定位。然后，通過根據(jù)控制部200的指令，另一個電機63進行動作，使得頭部11能夠以U軸為中心在θ方向上旋轉(zhuǎn)。
如圖2和圖3所示，頭部11包括噴嘴薄板(nozzle plate)64。噴嘴薄板64的下面是噴嘴面70。該噴嘴面70上，有多個噴嘴的噴嘴開口121至126。頭部11與液體儲存部300連接。該液體儲存部300，存儲用于噴到工件W上的液體，液體儲存部300也稱為功能液存儲部。液體儲存部300內(nèi)的液體，通過例如圖4(A)所示的壓電振子789的作用，能夠以噴墨方式從噴嘴開口121至126噴出。
圖4(A)表示配置在頭部11內(nèi)的多個壓電振子789的例子。該壓電振子789，對應著圖2所示的頭部11的各個噴嘴逐個排列。圖4(A)的控制部200，將信號傳遞給驅(qū)動部201，驅(qū)動部201驅(qū)動多個壓電振子789中的任意的壓電振子，來將液滴從與被驅(qū)動的壓電振子789所對應的圖2所示的噴嘴開口121至126中，以噴墨方式噴出。。
下面，就液體儲存部300，參照圖5、圖6和圖4(B)進行說明。
液體儲存部300，例如圖4(B)所示，具有多個液體容器(pack)111至116、和容納這些液體容器的收容體301。雖然本例的液體容器111至116表示為6個，但液體容器的數(shù)量沒有特別限定，1個或2個以上至5個、或者7個以上當然都可以。
各液體容器111至116，均由撓性材料制成，在各液體容器111至116中容納了相同種類或不同種類的液體。通過將壓縮空氣從外部注入收容體301內(nèi)，來將液體容器111至116加壓，能夠使液體分別從各液體容器111至116噴出。
圖5的各液體容器111至116，分別通過第1導管91至96可裝卸地與對應著頭部11的噴嘴81至86連接。
第1導管91的一個端部，可裝卸地與液體容器111的連接部111A連接。第1導管91的另一個端部，可裝卸地與頭部11的連接部81A連接。
同樣，第1導管92至96的一個端部，可裝卸地與液體容器112至116的連接部112A至116A連接。第1導管92至96的另一個端部，分別可裝卸地與頭部11一側(cè)的連接部82A至86A連接。
如圖5所示，頭部11具有多個噴嘴81至86。噴嘴81至86，分別具有噴嘴開口121至126。各噴嘴81，被幾十個或幾千個地排列在例如與圖5的紙面垂直的方向上，形成噴嘴列。其他的噴嘴82至86，也在與紙面垂直的方向上形成噴嘴列。噴嘴開口121至126，面沖噴嘴薄板64的噴嘴面70形成。
該噴嘴面70，在圖5的例子中朝向Z軸方向的下方向Z2。這樣，在噴嘴面70上，例如6個噴嘴列(噴嘴開口列)排列在與圖5的紙面垂直的方向上。
圖5除了頭部11和液體儲存部300之外，還表示了液滴噴出裝置的液體供給裝置610的結(jié)構(gòu)例。
該液體供給裝置610，具有第1導管91至96、第2導管401至406、以及流體循環(huán)部430。
此流體循環(huán)部430，用于促使脫氣用的流體主動循環(huán)，來將空氣從脫氣用的流體中排出到第2導管外側(cè)。該脫氣用的流體，容納在分別形成于第1導管91至96、和對應這些第1導管91至96的第2導管401至406之間的空間中。
圖6表示的是，液體供給裝置610的第1導管91至第2導管401的2重結(jié)構(gòu)體431、流體循環(huán)部430、頭部11和液體容器111的結(jié)構(gòu)例。
圖6所示的結(jié)構(gòu)例，與圖5所示的其他的由第1導管92和第2導管402的組合得到的2重結(jié)構(gòu)體、第1導管93和第2導管403的2重結(jié)構(gòu)體、第1導管94和第2導管404的2重結(jié)構(gòu)體、第1導管95和第2導管405的2重結(jié)構(gòu)體，還有第1導管96和第2導管406的2重結(jié)構(gòu)體相同。
因此，使用圖6，以第1導管91和第2導管401的2重結(jié)構(gòu)體431為代表來繪圖表示，并且以其結(jié)構(gòu)和作用等為代表進行說明。
圖6所示的頭部11的連接部81A，與第1導管91的一個端部連接。第1導管91的另一個端部，與液體容器111的連接部111A連接。液體容器也可以稱作墨水罐或是墨水容器。
圖6所示的塊體433，連接上述的連接部81A來固定。另一個塊體434，連接液體容器111的連接部111A來固定。第1導管91的一個端部，連通到塊體433之中，同時第1導管91的另一個端部，連通到塊體434之中。
第1導管91和第2導管401，都是由具有撓性的材料例如尼龍制成的、在長邊方向上內(nèi)徑不同的導管。第2導管401的內(nèi)徑比第1導管91的外徑大。第2導管401，相對該第1導管91同軸地配置在第1導管91的外周面的外側(cè)。第2導管401的一個端部，與塊體433連接并被固定，同時第2導管401的另一個端部與塊體434連接并被固定。
圖7(A)，分別表示了第1導管91和第2導管401的截面結(jié)構(gòu)例。第1導管91同軸地裝入到第2導管401中，如圖7(B)所示形成同軸狀。第1導管91的外周面91A，與第2導管401內(nèi)周面401A面對面。第1導管91的內(nèi)側(cè)，通有涂布用墨水298。第1導管91的外周面91A和第2導管401的內(nèi)周面401A之間，通有脫氣用的流體660。為了令該脫氣用的流體660，能使空氣無法從外部環(huán)境進入到涂布用墨水298中，在使空氣被包含在脫氣用的流體660中的狀態(tài)下，流體循環(huán)部430使脫氣用的流體主動循環(huán)，來對脫氣用的流體中的空氣進行脫除。
脫氣用的流體660，可以直接使用繪圖用或涂布用的墨水298，或者使用含在墨水298中的溶劑。作為該溶劑，例如可以使用二甲苯、丙酮、癸烷、乙酸丁基卡必醇酯(BCTAC)等。
這樣，通過直接使用墨水298、或者作為主要成分包含在該墨水中的溶劑來作為脫氣用的流體660，能夠防止其他異物通入上述外周面91A和內(nèi)周面401A之間，而且，由于是使用正在使用的材料，因此可以降低成本。
下面，對圖5和圖6所示的流體循環(huán)部430的結(jié)構(gòu)進行說明。
流體循環(huán)部430，如圖6所示，具有循環(huán)導管441、作為吸引部的真空泵443、過濾器機構(gòu)部444。
循環(huán)導管441的一個端部，與塊體433連接并固定。過濾器機構(gòu)部444被串聯(lián)配置在循環(huán)導管441的中途。循環(huán)導管441的另一個端部，與塊體434連接并固定。循環(huán)導管441，可以例如使用具有撓性的材料來制作。
該循環(huán)導管441的一個端部，通過塊體433，與第1導管91和第2導管401之間的空間串聯(lián)連接。同樣，循環(huán)導管441的另一個端部，通過塊體434，與第1導管91和第2導管401之間的空間串聯(lián)連接。
由此，循環(huán)導管441的流路、和第2導管401與第1導管91之間的空間的流路，構(gòu)成脫氣用的流體660的循環(huán)路徑。
圖8和圖6所示的過濾器機構(gòu)部444，具有容器445和多層的過濾器450。各個過濾器450，與脫氣用的流體660的流動方向平行地配置。容器445，密封過濾器450，循環(huán)導管441中流動的脫氣用的流體660在容器445內(nèi)流動。
真空泵443與此容器445連接，通過真空泵443根據(jù)控制部200的指令動作，將作為溶存于脫氣用的流體660中的氣體的空氣，作為功能膜透過氣體從過濾器機構(gòu)部444之中排出至外部環(huán)境。
該過濾器機構(gòu)部444和循環(huán)導管441，可例如圖5所示，對包含各第1導管91至96和第2導管401至406的各個2重結(jié)構(gòu)體，共用地設置一組。
但是，不限于此，當然也可對各個第1導管和第2導管的2重結(jié)構(gòu)體，分別單獨設置流體循環(huán)部430。
圖8將過濾器機構(gòu)部444和真空泵443等放大表示。過濾器450可以平行配置至少一層，優(yōu)選是多層。該過濾器450，是用例如空心纖維制成的過濾器，僅從含有溶存氣體的脫氣用的流體660中透過溶存氣體。圖9表示的是，由該空心纖維制成的過濾器450，令從含有溶存氣體的脫氣用的流體660中，僅溶存氣體向過濾器450外部透過的情況。
從脫氣用的流體660中，只有溶存氣體通過真空泵443的吸引被脫除。
脫氣用的流體660可以借助真空泵443的動作，在循環(huán)導管441的流路、第2導管401和第2導管之間的空間流路內(nèi)、以及過濾器機構(gòu)部444的流路中，在圖6中沿例如逆時針方向被強制循環(huán)。
由此，脫氣用的流體660一邊被強制循環(huán)，一邊能夠僅將脫氣用的流體660中的溶存氣體強制地向外部環(huán)境脫除。
圖10和圖11，表示第1導管91至96與第2導管401至406的2重結(jié)構(gòu)體431的結(jié)構(gòu)例。第1導管91至96與第2導管401至406，被如上所述地同軸配置，而這些第1導管和第2導管，被配置為可以借助多個空間保持件470來保持一定空間的流路480。
該空間保持件470，沿第1導管的長邊方向，優(yōu)選被等間隔地配置。這樣，即使是在第1導管和第2導管被彎曲的情況下，第1導管和第2導管之間也不會相互摩擦，而且沿長邊方向能夠可靠保持第1導管和第2導管之間的空間，脫氣用的流體660的流路480能夠被可靠地保持為均等。
圖11表示的是空間保持件470、和第1導管91至96及第2導管401至406的分解立體圖。圖12表示的是空間保持件470的結(jié)構(gòu)例。
空間保持件470，具有圓形通孔476和多個突起部477。圖示例子中，4個突起部477在半徑方向上每隔90度形成。圓形通孔476，用來讓第1導管91至96的外周面通過來進行保持。突起部477的頂端部，保持著第2導管401至406的內(nèi)周面。
由此，第1導管91至96，能夠可靠地保持第1導管和第2導管之間的流路480。此外，即使是在第1導管和第2導管被彎曲的情況下，也可以保持第1導管的流路481的形狀，同時還可保持第1導管和第2導管之間的流路480的形狀。這樣可以確保涂布用墨水的流動，還可以確保脫氣用的流體的流動。
第1導管91至96也可以稱為內(nèi)管，第2導管401至406也可以稱為外管。空間保持件470，也可以稱為流路用帶缺口環(huán)。
下面，參照圖6，對液體供給裝置610的動作例進行說明。
墨水298從圖6所示的液體容器111通過第1導管91，提供給頭部11一側(cè)。頭部11將墨水298從噴嘴開口121至126作成墨滴299噴出。
在這種情況下，墨水298在第1導管91的流路481內(nèi)流動，而相對于上述墨水298，空氣從外側(cè)環(huán)境通過(透過)第2導管401侵入脫氣用的流體660。
該空氣被脫氣用的流體660捕捉，通過真空泵443的作用，通過第1導管91與第2導管401之間的流路480、和循環(huán)導管441的流路，被以圖6中的逆時針方向主動循環(huán)。在循環(huán)導管441中流動的脫氣用的流體660，通過過濾器機構(gòu)部440的過濾器450，使脫氣用的流體660中含有的溶存氣體，通過真空泵443的吸引作為功能膜透過氣體向外部環(huán)境進行脫除。
由此，從外部侵入的空氣不會透過第1導管91，而肯定會被在第1導管91和第2導管401之間的流路480中流動的脫氣用的流體660捕捉循環(huán)，同時能夠主動地向外脫除。因此，能夠防止空氣混入流路481中流動的墨水。
再者，通過用控制部200的指令調(diào)整圖6所示的真空泵443的吸引力，能夠調(diào)整被循環(huán)的脫氣用的流體660的壓力。通過此壓力調(diào)整，也可以對墨水298的壓力進行控制。
此外，由于第1導管91和第2導管401，優(yōu)選用撓性導管制成，因此因頭部11的移動，第1導管91和第2導管401有時會彎曲。在這種情況下，圖10到圖12所示的空間保持件470，能夠分別使流路480、流路481中不會出現(xiàn)形狀變化并優(yōu)選以等間隔進行保持。而且，由于防止了第1導管的外周面對第2導管內(nèi)周面發(fā)生摩擦的這種問題，所以即使頭部反復移動，也能夠防止第1導管和第2導管的損傷。
這樣，就可以從墨水容器111至116向其各自對應的噴嘴開口提供墨水，對于用實施這種墨水供給的本發(fā)明的液滴噴出裝置10制造出來的圖1所示的工件W而言，可以提高其制造精度，提高電光裝置的制造品質(zhì)。具備這種電光裝置的電子機器的產(chǎn)品品質(zhì)，也就可以進一步提高。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的實施方式，可以用于制造電光裝置(設備)。作為該電光裝置(設備)，一般認為有液晶顯示裝置、有機EL(Electro-Luminescence電致發(fā)光)裝置、電子放出裝置、PDP(PlasmaDisplay Panel等離子顯示面板)裝置和電泳顯示裝置等。另外，電子放出裝置，是包含所謂的FED(Field Emission Display場發(fā)射顯示器)裝置的概念。另外，作為電光裝置，一般認為是包含金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕膜形成和光擴散體形成等的各種裝置。
圖13表示的是，將本發(fā)明的液滴噴出裝置作為繪圖裝置使用，用于作為平板顯示器的一種的有機EL裝置的制造的情況下的、有機EL裝置的結(jié)構(gòu)例。有機EL裝置701，是將撓性基板(圖示省略)的布線和驅(qū)動IC(圖示省略)，對由基板711、電路元件部721、像素電極731、圍堰部741、發(fā)光元件751、陰極761(對置電極)和密封用基板771構(gòu)成的有機EL元件702進行連接的裝置。
在有機EL元件702的基板711上，形成電路元件部721，在電路元件部721上，排列有多個像素電極731。而且，在各像素電極731之間，格子狀形成有圍堰部741，并在由圍堰部741產(chǎn)生的凹部開口744上，形成有發(fā)光元件751。在圍堰部741和發(fā)光元件751的上部整個面上，形成陰極761，在陰極761上，疊層有密封用基板771。
有機EL元件702的制造過程包括以下工序形成圍堰部741的圍堰部形成工序；用于適當?shù)匦纬砂l(fā)光元件751的等離子體處理工序；形成發(fā)光元件751的發(fā)光元件形成工序；形成陰極761的對置電極形成工序；和，將密封用基板771疊層在陰極761上來進行密封的密封工序。
換言之，有機EL元件702，通過在預先形成有電路元件部721和像素電極731的基板711(工件W)的規(guī)定位置上形成圍堰部741之后，依次進行等離子體處理、發(fā)光元件751和陰極761(對置電極)的形成，再將密封用基板771疊層在陰極761上來進行密封，制造出來。另外，有機EL元件702，由于受到大氣中的水分等的影響而容易劣化，所以優(yōu)選在干空氣或者非活性氣體(氮、氬、氦等)的環(huán)境下制造有機EL元件702。
此外，各發(fā)光元件751，由成膜部構(gòu)成，該成膜部是由空穴注入/輸送層752、和被R(紅)·G(綠)·B(藍)的任意一種顏色著色的發(fā)光層753構(gòu)成。發(fā)光元件形成工序包括形成空穴注入/輸送層752的空穴注入/輸送層形成工序；和，形成3色發(fā)光層753的發(fā)光層形成工序。
有機EL裝置701，通過在制造出有機EL元件702之后，將撓性基板的布線連接到有機EL元件702的陰極761上，同時將電路元件部721的布線連接到驅(qū)動IC上，制造出來。
下面，就對將本發(fā)明的實施方式的液滴噴出裝置10用于制造液晶顯示裝置的情況進行說明。
圖14，表示液晶顯示裝置801的截面結(jié)構(gòu)。液晶顯示裝置801，由彩色濾光器802、對置基板803、彩色濾光器802和對置基板803之間封入的液晶組成物804、背光(未圖示)構(gòu)成。在對置基板803的內(nèi)側(cè)面上，矩陣狀地形成有像素電極805、和TFT(薄膜晶體管)元件(圖示省略)。在與像素電極805相對的位置上，排列著彩色濾光器802的紅、綠、藍的著色層813。在彩色濾光器802和對置基板803各自內(nèi)側(cè)的面上，形成有將液晶分子排列在規(guī)定方向上的取向膜806，偏光板807被粘接在彩色濾光器802和對置基板803各自的外側(cè)面上。
彩色濾光器802具備具有透光性的透明基板811、在透明基板811上矩陣狀排列的多個像素(濾光器元素)812、在像素812上形成的著色層813、分隔各像素812的遮光性分隔件814。在著色層813和分隔件814的上面，形成有覆蓋(overcoat)層815和電極層816。
下面說明液晶顯示裝置801的制造方法。首先，將分隔件814制作在透明基板811上，然后在像素812的部分上形成R(紅)·G(綠)·B(藍)的著色層813。然后旋轉(zhuǎn)涂布透明丙烯酸樹脂涂料來形成覆蓋層815，再形成由ITO(Indium Tin Oxide氧化銦錫)構(gòu)成的電極層816，制成彩色濾光器802。
將像素電極805和TFT元件制作在對置基板803上。然后，在制成的彩色濾光器802和形成有像素電極805的對置基板803上，實施取向膜806的涂布，之后將它們貼合。然后，在將液晶組成物804封入彩色濾光器802和對置基板803之間以后，疊層偏光板807和背光。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的實施方式，可以用于形成上述彩色濾光器的濾光器元素(R(紅)·G(綠)·B(藍)的著色層813)。此外，通過使用對應于像素電極805的液體材料，也可以用來形成像素電極805。
此外，作為其他的電光裝置，除了金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕膜形成和光擴散體形成等之外，還包含制備品(preparation)形成。通過將上述的液滴噴出裝置用于各種電光裝置(設備)的制造，可以更有效率地制造各種電光裝置。
本發(fā)明的電子機器，裝載有上述電光裝置。這時，作為電子機器，除了裝有所謂平板顯示器的手機、個人電腦之外，還相當于各種電器制品。
圖15表示作為電子機器一例的手機1000的形狀示例。手機1000，具有主體部1001和顯示部1002。顯示部1002，使用作為上述這種電光裝置的一例的有機EL裝置701或液晶顯示裝置801。
圖16表示作為電子機器的另一例的計算機1100。計算機1100具有主體部1101和顯示部1102。顯示部1102，可以使用作為上述這種電光裝置的一例的有機EL裝置701或液晶顯示裝置801。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的實施方式，還可以用于對作為工件的一例的打印對象，進行黑白或者彩色打印(印字)。這時，液體儲存部是墨盒，該墨盒分別儲存1種或多種的墨水(例如，黑、黃、洋紅、青色、淺青、淺洋紅)。各墨水都為液體的一個例子。
雖然在上述的實施方式中，第1導管和第2導管都是撓性的導管，但不限于此，非撓性的導管也可。此外，圖6所示的流體循環(huán)部430，還可以通過循環(huán)用泵使脫氣用的流體660被強制地進行循環(huán)。過濾器450優(yōu)選是可交換的。此外，在上述的圖示例子中，作為墨罐的液體容器，配置在頭部11以外的位置，是所謂的脫架型(off-carriage type)。但是，不限于此，也可以是給裝載頭部11的滑架裝載液體容器的所謂上架型(on-carriagetype)。
雖然一般還考慮使用將例如耐墨水溶劑的材料、或氣體阻擋性高的材質(zhì)多層組合得到的墨水導管，但是因墨水溶劑的種類不同、導管材質(zhì)也不一樣，因此每次都必須制作專用的高價的多層導管。
而通過本發(fā)明的實施方式，只要考慮針對使用的墨水等液體的耐溶劑性來選定導管的材質(zhì)即可。
此外，由于在外層的第2導管和內(nèi)層的第1導管之間的空間的脫氣用的流體，將從外部環(huán)境透進來的氣體主動吸取，因此針對例如涂布用墨水的氣體阻擋性非常高，能夠提高噴墨繪圖的穩(wěn)定性，同時還能穩(wěn)定被涂布液體的功能特性。
由于多層導管被一體化形成，因此由多種材料構(gòu)成的導管在使用后只能直接廢棄，而若是本發(fā)明的實施方式，可以將第1導管與第2導管分開，對各導管逐一進行適當?shù)膹U棄或重復利用。
本發(fā)明并不限于上述實施方式，可以在不脫離權(quán)利要求的范圍里進行種種變更。再有，也可以將上述的各實施方式相互組合來構(gòu)成。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，用于將液滴噴到工件上，其特征在于，具備容納液體的液體收容部；噴出液滴的頭部；以及，液體供給裝置，配置在所述液體收容部和所述頭部之間，用于將所述液體從所述液體收容部供給到所述頭部，所述液體供給裝置包括第1導管，將所述液體收容部與所述頭部之間連接來供給所述液體；第2導管，圍繞在所述第1導管外圍；以及，流體循環(huán)部，在形成在所述第1導管和所述第2導管之間的空間中，容納脫氣用的流體，將通過所述第2導管進入的所述脫氣用的流體中含有的氣體脫除到所述第2導管的外側(cè)，同時使所述脫氣用的流體循環(huán)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述流體循環(huán)部包括吸引部；循環(huán)導管，與所述空間連接，通過所述吸引部的吸引使所述脫氣用的流體循環(huán)；以及，過濾器，將所述氣體從循環(huán)著的所述脫氣用的流體中分離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征在于，為了將所述第1導管和所述第2導管之間形成的所述空間沿長邊方向保持，在所述空間中配置有空間保持件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述空間保持件，被等間隔地配置在所述第1導管和所述第2導管的長邊方向上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述空間保持件，是被固定在所述第1導管的外周面和所述第2導管的內(nèi)周面之間的環(huán)狀部件，所述空間保持件，具有用于讓所述第1導管通過的圓形通孔；以及，在所述第1導管的所述外周面和所述第2導管的所述內(nèi)周面之間，形成所述脫氣用的流體的流路的突起部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述脫氣用的流體，是與所述液體相同的液體、或者所述液體中含有的溶劑。
7.一種液滴噴出裝置的液體供給裝置，被設置在用于將液滴從頭部噴出到工件上的液滴噴出裝置中，配置在液體收容部與所述頭部之間，用于將液體從所述液體收容部供給到所述頭部，其特征在于，所述液體供給裝置包括第1導管，將所述液體收容部與所述頭部之間連接來供給所述液體；第2導管，圍繞在所述第1導管外圍；以及，流體循環(huán)部，在形成在所述第1導管和所述第2導管之間的空間中，容納脫氣用的流體，將通過所述第2導管進入的所述脫氣用的流體中含有的氣體脫除到所述第2導管的外側(cè)，同時使所述脫氣用的流體循環(huán)。
8.一種電光裝置，使用將液滴從頭部噴出到工件上的液滴噴出裝置來制造，其特征在于，被配置在液體收容部與所述頭部之間、用于將液體從所述液體收容部供給到所述頭部的液體供給裝置包括第1導管，將所述液體收容部與所述頭部之間連接來供給所述液體；以及，第2導管，圍繞在所述液體供給用的所述第1導管外圍，在形成在所述第1導管和所述第2導管之間的空間中，容納脫氣用的流體，通過流體循環(huán)部，將通過所述第2導管進入的所述脫氣用的流體中含有的氣體脫除到所述第2導管的外側(cè)同時使所述脫氣用的流體循環(huán)，通過從所述頭部對所述工件噴出所述液滴來制造。
9.一種電子機器，其特征在于，裝載了權(quán)利要求8所述的所述電光裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液滴噴出裝置、液滴噴出裝置的液體供給裝置、電光裝置和電子機器，能夠使從外部環(huán)境侵入的氣體主動脫除，以防氣體進入到內(nèi)部的液體當中，且避免外側(cè)的第1導管和內(nèi)側(cè)的第2導管在彎曲時相互摩擦。包括收容液體的液體收容部；頭部；以及，配置在液體收容部和頭部之間、將液體從液體收容部供給到頭部的液體供給裝置。液體供給裝置包括第1導管，連接液體收容部與頭部之間并供給液體；第2導管，圍繞在第1導管外圍；以及，流體循環(huán)部，在形成在第1導管和第2導管之間的空間中，容納脫氣用的流體，將通過第2導管進入的脫氣用的流體中含有的氣體脫除到第2導管的外側(cè)，同時使脫氣用的流體循環(huán)。
文檔編號B41J2/18GK1746032SQ20051009168
公開日2006年3月15日 申請日期2005年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月7日
發(fā)明者巖田裕二 申請人:精工愛普生株式會社