專利名稱：絲網(wǎng)印刷裝置和具備該裝置的印刷系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及絲網(wǎng)印刷裝置，特別涉及印刷焊膏的印刷裝置和使用它的印刷系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
作為現(xiàn)有技術(shù)的絲網(wǎng)印刷機(jī)，有在特開(kāi)平5-200975號(hào)公報(bào)中表示的設(shè)備。該絲網(wǎng)印刷機(jī)具有具有基板搬入傳送器、基板搬出傳送器、升降機(jī)構(gòu)的載物臺(tái)部；作為開(kāi)口部具有轉(zhuǎn)印圖形的掩模；具有涂刷器、涂刷器升降機(jī)構(gòu)以及水平方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的涂刷器頭；控制這些機(jī)構(gòu)的控制裝置。在將搬入到裝置的基板放置在載物臺(tái)上后，升高載物臺(tái)部使基板接近掩模，通過(guò)涂刷器邊使掩模接觸基板，邊在掩模的開(kāi)口部中填充乳狀焊料等膏狀物，進(jìn)而通過(guò)使載物臺(tái)部下降，使基板和掩模分離，在基板上轉(zhuǎn)印焊膏，其后，通過(guò)從裝置中搬出基板，進(jìn)行印刷。
另外，如在特開(kāi)2000-62140號(hào)公報(bào)中記載的那樣，有使用具有彈性的涂刷器·橡膠、將焊膏通過(guò)絲網(wǎng)轉(zhuǎn)印在基板等上的設(shè)備。
再有，如特開(kāi)平10-086327號(hào)公報(bào)記載的那樣，公開(kāi)了把涂刷器主體形成為把金屬板貼合在橡膠上、使橡膠部分與掩模接觸的結(jié)構(gòu)，或者如實(shí)開(kāi)平07-011338號(hào)公報(bào)記載的那樣，公開(kāi)了反過(guò)來(lái)使金屬板部接觸掩模的結(jié)構(gòu)。
另外，在特開(kāi)2004-338248號(hào)公報(bào)中提出了為測(cè)定基板的厚度使伸長(zhǎng)部件抵接印刷臺(tái)上的印刷物、根據(jù)伸長(zhǎng)部件的伸長(zhǎng)量測(cè)定厚度的方法。
再有，正在使用的濃淡模板(template)匹配方法，該方法用攝像機(jī)識(shí)別基板和掩模的標(biāo)記，對(duì)于雙方的偏離量進(jìn)行位置修正，為使基板和掩模位置吻合，要求高速而且高精度地進(jìn)行定位，進(jìn)行根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化相互相關(guān)系數(shù)的定位。作為模板匹配的一例，有特公平02-642號(hào)公報(bào)或者特開(kāi)昭61-74028號(hào)公報(bào)公開(kāi)了的方法。
在上述特開(kāi)平5-200975號(hào)公報(bào)或特開(kāi)2004-338248號(hào)公報(bào)中，作為通過(guò)焊膏量的管理、能夠正確地印刷印刷結(jié)果的設(shè)備進(jìn)行處理。但是，現(xiàn)有技術(shù)中，使用絲網(wǎng)印刷法的軟焊料涂布工序，因?yàn)橛捎谑褂玫耐克⑵鳌そ饘傺谀５氖褂么螖?shù)所引起的損耗程度、供給的焊膏的狀態(tài)·粘度·供給量·供給位置的變化、金屬掩模的清掃狀況的變化、印刷時(shí)的溫度·濕度的變化、由于印刷基板和金屬掩模的制作精度差引起的位置偏離、印刷基板的翹曲·扭曲等，有時(shí)出現(xiàn)印刷不良的情況。
因此，在印刷焊膏后，出于觀察進(jìn)行了軟焊料印刷的外觀、排除不合格產(chǎn)品的目的，要使用檢查印刷后的軟焊料外觀的裝置的需求升高。特別近年來(lái)，多采用稱為CSP或BGA的電子部件，這些電子部件因?yàn)樵谘b載部件后端子部位于部件內(nèi)部，不能用軟釬焊外觀檢查裝置檢查，所以有必要在印刷焊膏后立即檢查軟焊料印刷后的外觀。
另外，在印刷焊膏后，即使觀察軟焊料印刷的外觀是OK，然而因?yàn)樵谘b載電子部件時(shí)，存在著由于軟焊料量和裝載壓力的失配、或軟焊料印刷位置和裝載位置的精度差引起的電子部件的浮起不良、產(chǎn)生軟焊料孔等的情況，所以在進(jìn)行軟釬焊后也有必要進(jìn)行外觀檢查，其結(jié)果是，追溯到前工序，需要變更印刷的條件或者去除不良的焊膏，該安排需要時(shí)間，同時(shí)存在著生產(chǎn)效率或生產(chǎn)率差的狀況長(zhǎng)期繼續(xù)的問(wèn)題。
再有，特開(kāi)2000-62140號(hào)公報(bào)或特開(kāi)平10-086327號(hào)公報(bào)的橡膠制的涂刷器在邊緣部易磨耗，1000次左右的印刷次數(shù)需要更換涂刷器。另外，對(duì)于較大口徑的圖形開(kāi)口，由于前端邊緣部的柔軟性而涂刷器陷入掩模開(kāi)口部?jī)?nèi)，把印刷膏掏出來(lái)，因此印刷膜厚度變薄，成為稱為紅眼的印刷不良的主要原因。
再有，如實(shí)開(kāi)平07-011338號(hào)公報(bào)所述那樣，通過(guò)采用金屬制的薄的平板的金屬涂刷器，不使其邊緣部局部變形，從而可以減少在上述橡膠制的情況下產(chǎn)生的由于掏出引起的印刷不良的情況，但是板厚、距涂刷器保持架的頸下長(zhǎng)度、腰部的強(qiáng)弱等的設(shè)定困難。
再有，關(guān)于基板和掩模的定位，在特公平02-642號(hào)公報(bào)所示的方法中，必須由用戶判斷把哪個(gè)部分作為模板好，需要熟練程度，同時(shí)也不方便。另一方面，根據(jù)特開(kāi)昭61-74028號(hào)公報(bào)的方法，能夠自動(dòng)登記最適合的模板，但是用戶必須預(yù)先決定模板的大小，再有，是不是標(biāo)記真正的大小這一點(diǎn)不明確，這成為識(shí)別錯(cuò)誤或者位置精度降低的主要原因。
作為現(xiàn)有的用于模板匹配的辭典，對(duì)于在基板中使用的標(biāo)記的形狀，由用戶預(yù)先指定圓形或正方形等的形狀。另外，為決定模板的大小需要輸入標(biāo)記尺寸，在以±0.01mm以內(nèi)的精度進(jìn)行位置運(yùn)算的情況下，要求輸入到0.001mm的尺寸，實(shí)際上正確輸入十分困難。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明，在為了使用0.4mm螺距CSP、0603芯片部件、0402芯片部件那樣的設(shè)備的超精細(xì)圖形印刷中，向用戶提供能夠簡(jiǎn)單地操作而且能夠得到高的定位精度的絲網(wǎng)印刷裝置以及圖像識(shí)別定位用基準(zhǔn)圖形登記方法或者圖像識(shí)別定位方法，同時(shí)對(duì)于基板凹凸、掩模平坦度、涂刷器平行度等微小變形的主要原因、獲得穩(wěn)定的涂刷器性能。進(jìn)而實(shí)現(xiàn)為確保低印刷壓力下的超精細(xì)節(jié)距印刷中的轉(zhuǎn)印量的、軟焊料填充力提高和減輕對(duì)于掩模的負(fù)荷的、用戶能夠簡(jiǎn)單地使用、能夠得到穩(wěn)定的印刷性的絲網(wǎng)印刷裝置用涂刷器以及具備所述涂刷器的絲網(wǎng)印刷裝置。
再有，提供一種焊膏印刷系統(tǒng)，其對(duì)于由于焊膏印刷工序引起的不良情況，在印刷焊膏前，對(duì)于焊膏印刷工序引起的生產(chǎn)率惡化的主要原因進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)視，預(yù)測(cè)、檢測(cè)由于不良情況出現(xiàn)等的影響的生產(chǎn)質(zhì)量，發(fā)出質(zhì)量預(yù)報(bào)、警報(bào)，同時(shí)通過(guò)早期去除、處理不良情況產(chǎn)生的主要原因，謀求提高生產(chǎn)效率和提高生產(chǎn)率。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的特征在于，在通過(guò)掩模在基板面上涂布焊膏的印刷單元中，具有作為新知識(shí)而存儲(chǔ)、積存、保存引起不良情況的產(chǎn)生的要素和對(duì)各要素的處理方法的積存設(shè)備；在實(shí)施焊膏印刷前掌握、檢查引起不良情況的產(chǎn)生的要素的狀態(tài)的監(jiān)視設(shè)備；判斷、預(yù)測(cè)各要素是否有使不良情況產(chǎn)生的可能的分析設(shè)備；根據(jù)分析結(jié)果向操作員發(fā)出預(yù)報(bào)、警報(bào)，消除產(chǎn)生不良情況的主要原因的處理設(shè)備。
進(jìn)一步，為了能夠提供這樣的印刷，即，通過(guò)在所述焊膏印刷系統(tǒng)中具備印刷軟焊料的外觀檢查設(shè)備、或軟釬焊外觀檢查設(shè)備，把檢查的信息向印刷單元反饋、作為新知識(shí)而保存、使用，從而能夠提供對(duì)應(yīng)于新產(chǎn)品、構(gòu)件的最佳的焊膏印刷，其特征在于具有向印刷裝置通信由檢查設(shè)備檢查的結(jié)果的信息的通信設(shè)備；和分析由檢查設(shè)備檢查的結(jié)果的信息、把新的不良事例作為新知識(shí)而在積存設(shè)備中進(jìn)行隨時(shí)整理、追加存儲(chǔ)的再分析設(shè)備。進(jìn)一步的特征在于，在所述焊膏印刷系統(tǒng)中，采用在所述印刷裝置的下游側(cè)配置部分地涂布焊膏的多個(gè)分配器(dispenser)單元、和修正軟釬焊不良部分的多個(gè)再加工單元的構(gòu)成，使得根據(jù)所述檢查結(jié)果可自動(dòng)修復(fù)不合格部位。
再有，在上述印刷系統(tǒng)中使用的絲網(wǎng)印刷機(jī)中，涂刷器的中間部分采用聚氨酯、接觸絲網(wǎng)的部位采用金屬、使金屬前端部具備階梯形狀。作為其他的方法的特征在于，具有使涂刷器中間部分具有蛇管形狀、在前端部使其具有階梯狀帶梯形狀的金屬制的一體型涂刷器。
另外，具有在印刷時(shí)即使在任意圖形的周圍存在類似圖形，也能自動(dòng)選擇正確的基準(zhǔn)圖形的設(shè)備。
另外，用于模板匹配的辭典區(qū)域具有不用用戶設(shè)定標(biāo)記形狀或標(biāo)記尺寸、自動(dòng)作為基準(zhǔn)圖形登記的設(shè)備。
通過(guò)采用以上的結(jié)構(gòu)，對(duì)于基板和掩模的定位中使用的各種圖形，能夠不需要熟練度而簡(jiǎn)單地應(yīng)對(duì)，進(jìn)而謀求提高印刷定位精度，即使在印刷過(guò)程中產(chǎn)生干擾，也能利用穩(wěn)定的涂刷器性能而謀求提高印刷生產(chǎn)率，有助于印刷質(zhì)量的穩(wěn)定化和減少出現(xiàn)不良情況。再有，即使在以低印刷壓力印刷時(shí)也能使印刷膜厚度穩(wěn)定，確保印刷厚度。另外，有助于降低掩模的失真變形進(jìn)行高精度印刷。有助于防止超薄形掩模的變形和長(zhǎng)壽命化。
另外，在實(shí)施印刷前，監(jiān)視成為印刷不良的主要原因，發(fā)出不良預(yù)報(bào)，同時(shí)排除不良情況的主要原因，從而謀求提高印刷生產(chǎn)率。另外，通過(guò)積存、分析印刷后的檢查信息，積存新的不良信息數(shù)據(jù)，能夠提高不良預(yù)報(bào)的精度以及擴(kuò)大檢測(cè)不良模式的范圍，同時(shí)在能夠修正不良的情況下，通過(guò)自動(dòng)進(jìn)行不良修正，謀求提高印刷生產(chǎn)率。


圖1是表示各單元的組合例的圖。
圖2是表示絲網(wǎng)印刷的一例的圖。
圖3是用于說(shuō)明絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作的圖。
圖4是表示人工模型的一例的圖。
圖5是表示相關(guān)映射的一例的圖。
圖6是表示檢索基板的任意圖形的結(jié)果的一例的圖。
圖7是表示相關(guān)值計(jì)算部～位置坐標(biāo)運(yùn)算部中的處理的流程的一例的圖。
圖8是表示關(guān)于標(biāo)記尺寸測(cè)量后的檢查、尺寸修正的一例的圖。
圖9是表示關(guān)于標(biāo)記尺寸測(cè)量后的檢查、尺寸修正的一例的圖。
圖10是表示尺寸計(jì)算部以及尺寸修正部中的處理流程的一例的圖。
圖11是表示復(fù)合式金屬涂刷器的一例的圖。
圖12是表示使用復(fù)合式金屬涂刷器的進(jìn)行印刷的一例的圖。
圖13是表示復(fù)合式金屬涂刷器的等價(jià)彈簧系統(tǒng)的圖。
圖14是表示用鋼彈簧形成涂刷器的例子的圖。
圖15是檢查單元的截面圖。
圖16是分配器單元的斜視圖。
具體實(shí)施例方式
圖1表示本發(fā)明的焊膏印刷系統(tǒng)的各裝置的配置。
作為本發(fā)明的印刷系統(tǒng)的代表例，除了絲網(wǎng)印刷單元200之外，其構(gòu)成還具有檢查在絲網(wǎng)印刷單元(以下稱印刷單元)200上印刷的結(jié)果的檢查單元300，以及根據(jù)情況、在檢查單元300檢測(cè)到印刷不良、但可修復(fù)的印刷狀態(tài)的情況下，用于修復(fù)它的多個(gè)分配器單元400。
歷來(lái)，在進(jìn)行焊膏的涂布的情況下，在印刷單元200中向掩模面上供給要涂布的焊膏、準(zhǔn)備完畢的基礎(chǔ)上，在指點(diǎn)識(shí)別標(biāo)記位置后，開(kāi)始自動(dòng)運(yùn)行，在印刷焊膏后，向下游裝置傳送基板。對(duì)此，如本發(fā)明，通過(guò)具有把引起不良情況的產(chǎn)生的要素和對(duì)于各要素的處理方法作為新知識(shí)存儲(chǔ)、積存、保存的積存設(shè)備；在實(shí)施焊膏印刷前把握、檢查引起不良情況的產(chǎn)生的要素的狀態(tài)的監(jiān)視設(shè)備；判斷、預(yù)測(cè)各要素是否有產(chǎn)生不良情況的可能的分析設(shè)備；根據(jù)分析的結(jié)果向操作員發(fā)出質(zhì)量預(yù)報(bào)、警報(bào)，消除產(chǎn)生不良情況的主要原因的處理設(shè)備，從而在印刷前，通過(guò)自動(dòng)地預(yù)測(cè)、修復(fù)生產(chǎn)質(zhì)量，能夠?qū)崿F(xiàn)維持生產(chǎn)質(zhì)量，不使不良流到下游的目的。進(jìn)而，通過(guò)組合印刷單元200和檢查單元300，能夠?qū)崿F(xiàn)積存新的不良信息數(shù)據(jù)的目的。
作為引起印刷不良的產(chǎn)生的要素有下面代表的項(xiàng)目。(1)涂刷器、掩模的磨損狀況，(2)掩模的損傷、張力不足、開(kāi)口部的網(wǎng)眼堵塞，(3)軟焊料的狀態(tài)(供給量、供給高度、供給位置、供給寬度、有無(wú)混入空氣)，(4)軟焊料的狀態(tài)(粘度、黏稠性、溫度、干燥程度)，(5)印刷單元內(nèi)的環(huán)境溫度、濕度，(6)生產(chǎn)用基板的尺寸偏差、翹曲、扭曲。
作為對(duì)于各要素的處理方法，分別有下面的代表的方法。(1)把涂刷器、掩模更換為新品，(2)更換新的掩?；蛘咔鍜呔W(wǎng)眼堵塞的部分，(3)以及(4)回收舊軟焊料后供給新軟焊料或者進(jìn)行滾動(dòng)操作，(5)進(jìn)行溫度、濕度控制，(6)篩選、排出不良基板。
關(guān)于(1)的涂刷器、掩模的磨損狀況，歷來(lái)是依賴熟練者對(duì)于實(shí)物用眼觀察進(jìn)行確認(rèn)，或者在單元200中供給焊膏后進(jìn)行幾次試印，在通過(guò)用眼觀察確認(rèn)或者別的檢查方法確認(rèn)印刷結(jié)果有無(wú)問(wèn)題的基礎(chǔ)上，開(kāi)始生產(chǎn)。
本發(fā)明的方法，對(duì)于在該生產(chǎn)中使用的涂刷器、掩模以及基板品種，通過(guò)使用印刷張數(shù)計(jì)數(shù)器等的監(jiān)視設(shè)備，對(duì)實(shí)際使用次數(shù)進(jìn)行使用次數(shù)計(jì)數(shù)，作為過(guò)去的不良發(fā)生率統(tǒng)計(jì)信息，把不良發(fā)生時(shí)刻的使用次數(shù)信息輸入、積存到積存設(shè)備，以積存的信息為基礎(chǔ)，通過(guò)分析設(shè)備比較分析過(guò)去的不良發(fā)生次數(shù)和現(xiàn)時(shí)刻的使用次數(shù)，把推測(cè)發(fā)生不良率信息作為質(zhì)量預(yù)報(bào)，通過(guò)在印刷單元的監(jiān)視器上顯示，使得操作員能夠容易地判斷是否可以無(wú)問(wèn)題地開(kāi)始生產(chǎn)。
作為適用的涂刷器以及掩模的材質(zhì)等的品種管理一例，通過(guò)利用設(shè)置在印刷單元上的信息讀入器自動(dòng)讀取或者手工輸入標(biāo)記于該涂刷器、該掩模以及相關(guān)生產(chǎn)用基板上的識(shí)別信息(3維條形碼等)，可以簡(jiǎn)單地管理。
關(guān)于涂刷器以及掩模的使用限度，歷來(lái)根據(jù)生產(chǎn)的印刷開(kāi)印次數(shù)或者使用的期間進(jìn)行管理，但是作為一例對(duì)于開(kāi)印次數(shù)或者使用期間信息，通過(guò)上述的識(shí)別信息，把涂刷器材質(zhì)、硬度、掩模的材質(zhì)、板厚以及生產(chǎn)適用基板的窄鄰接安裝狀況等的安裝密度信息等作為關(guān)聯(lián)系數(shù)，使用印刷單元內(nèi)的分析設(shè)備制作不良發(fā)生率預(yù)測(cè)曲線圖，與現(xiàn)在的實(shí)際使用次數(shù)比較，作為現(xiàn)時(shí)刻的質(zhì)量預(yù)報(bào)，能夠顯示推測(cè)不良率信息。
另外，對(duì)于所述不良發(fā)生率預(yù)測(cè)曲線圖，比較預(yù)先通過(guò)管理者功能中設(shè)定、輸入的與相關(guān)生產(chǎn)基板品種相對(duì)的目標(biāo)不良率和現(xiàn)時(shí)刻狀況，在判斷為使用次數(shù)限度的情況下，通過(guò)在印刷單元的監(jiān)視器上作為質(zhì)量預(yù)報(bào)而顯示涂刷器更換推薦標(biāo)記，使得操作員不用試印刷或者進(jìn)行生產(chǎn)確認(rèn)，把適用的涂刷器或者掩模更換為新品后能夠開(kāi)始生產(chǎn)。
接著，對(duì)于(2)的掩模的損傷、開(kāi)口部的網(wǎng)眼堵塞，使用印刷單元中具備的識(shí)別攝像機(jī)，實(shí)施各印刷圖形部分的形狀識(shí)別，能夠判定OK/NG。另外，以規(guī)定推力把印刷頭上所具備的張力測(cè)量用桿在掩模的規(guī)定位置上加壓，通過(guò)用測(cè)力傳感器測(cè)定此時(shí)的反作用力，能夠判定OK/NG。本說(shuō)明書中考慮的方法，哪個(gè)都不只是簡(jiǎn)單的OK/NG判定，而是通過(guò)使用所述識(shí)別攝像機(jī)的監(jiān)視設(shè)備，測(cè)量開(kāi)口部的實(shí)際面積或張力的實(shí)際反作用力，通過(guò)積存設(shè)備的積存信息，通過(guò)核對(duì)積存的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)和SMT生產(chǎn)線的實(shí)際生產(chǎn)信息，使用印刷單元的分析設(shè)備制作產(chǎn)生不良預(yù)測(cè)曲線圖，顯示質(zhì)量預(yù)報(bào)。通過(guò)均在生產(chǎn)開(kāi)始前實(shí)施測(cè)定，推測(cè)現(xiàn)時(shí)刻的印刷不良的發(fā)生，通過(guò)在印刷單元的監(jiān)視器上顯示質(zhì)量預(yù)報(bào)，能夠有助于預(yù)防不良的發(fā)生。在檢查到掩模開(kāi)口的網(wǎng)眼堵塞的情況下，利用作為處理設(shè)備的版下清掃裝置，能夠?qū)τ谘谀Ｉ系娜我獾木W(wǎng)眼堵塞部位自動(dòng)進(jìn)行清掃。
另外在(3)中，歷來(lái)由操作員定期通過(guò)用眼觀察來(lái)監(jiān)視供給的焊膏是否是可無(wú)問(wèn)題進(jìn)行涂布的量、供給的焊膏的位置是否沒(méi)有問(wèn)題等。另一方面，根據(jù)在專利文獻(xiàn)1中記載的方法，提出了不需要焊膏量的監(jiān)視作業(yè)而發(fā)出警報(bào)、能夠補(bǔ)充焊膏的印刷機(jī)。但是如果不確認(rèn)在供給的焊膏中是否未混入空氣、則在現(xiàn)實(shí)中預(yù)防印刷不良是困難的。
因此，在掩模的印刷行程末端附近配置大的開(kāi)口部，在該部位不落下焊膏、而且使用粘貼有透明材料的掩模，使得從下部能夠監(jiān)視焊膏的狀態(tài)，使用印刷單元200所具有的識(shí)別用攝像機(jī)，通過(guò)透明材料從下部監(jiān)視焊膏向掩模上的供給狀態(tài)，由此能夠在生產(chǎn)開(kāi)始前監(jiān)視、確認(rèn)軟焊料的狀態(tài)(供給量、供給位置、供給寬度、有無(wú)空氣混入)。不用說(shuō)即使在自動(dòng)運(yùn)行中，按預(yù)先以印刷條件而設(shè)定的時(shí)間間隔、也同樣能夠自動(dòng)地監(jiān)視、確認(rèn)。
通過(guò)使用所述識(shí)別用攝像機(jī)的監(jiān)視設(shè)備確認(rèn)焊膏的狀態(tài)。其后，通過(guò)分析設(shè)備根據(jù)積存設(shè)備的數(shù)據(jù)庫(kù)信息和確認(rèn)數(shù)據(jù)分析由于焊膏的狀態(tài)(供給量、供給位置、供給寬度)引起的不良的發(fā)生的主要原因。另外，在分析設(shè)備中，核對(duì)涂刷器信息、生產(chǎn)基板的品種信息和焊膏的狀態(tài)，確認(rèn)一致性。例如，對(duì)于涂刷器尺寸以及基板尺寸，如果軟焊料供給寬度不一致，則顯示質(zhì)量預(yù)報(bào)。再有，通過(guò)在印刷單元中設(shè)置焊膏供給用注射器，處理設(shè)備能夠?qū)父嗖蛔愕牟课谎a(bǔ)充適當(dāng)量的焊膏。
再有，在通過(guò)所述監(jiān)視設(shè)備檢測(cè)到在焊膏內(nèi)部有氣泡的情況下，顯示質(zhì)量預(yù)報(bào)，作為處理措施，通過(guò)使用假基板自動(dòng)執(zhí)行涂刷器往復(fù)動(dòng)作，可通過(guò)焊膏的滾動(dòng)消去氣泡。
再有，在(4)中，即使是熟練的操作員也很難發(fā)現(xiàn)所供給的焊膏的粘度是否沒(méi)有問(wèn)題、所供給的焊膏的黏稠性是否未降低這樣的問(wèn)題。對(duì)于所供給的焊膏的溫度是否沒(méi)有問(wèn)題，采用從冰箱取出的焊膏的放置時(shí)間來(lái)管理，這是通常的方法。粘度以及黏稠性不能用非接觸性方式直接測(cè)定，但是粘度、黏稠性與溫度、干燥程度有相關(guān)關(guān)系，通過(guò)在積存設(shè)備中積存相關(guān)值信息，作為檢測(cè)、監(jiān)視焊膏的狀態(tài)即溫度、干燥程度的監(jiān)視設(shè)備而在印刷單元內(nèi)配置、使用紅外線溫度記錄器，從而測(cè)定所供給的焊膏的表面狀態(tài)的溫度偏差，以非接觸方式經(jīng)常監(jiān)視有沒(méi)有片段地干燥且成為印刷不良的主要原因的部位。
通過(guò)使用紅外線溫度記錄器的所述監(jiān)視設(shè)備，檢測(cè)焊膏的劣化狀態(tài)之后，通過(guò)由分析設(shè)備顯示質(zhì)量預(yù)報(bào)，在發(fā)生印刷不良前更換劣化的焊膏，由此能夠謀求生產(chǎn)率的改善。
再有，關(guān)于(5)由于印刷單元內(nèi)的環(huán)境溫度、濕度變化引起的不良的主要原因，通過(guò)使用在印刷單元內(nèi)部配置的、一個(gè)以上的溫度、濕度傳感器的監(jiān)視設(shè)備，經(jīng)常監(jiān)視有沒(méi)有急劇的溫度、濕度變化；印刷單元內(nèi)部溫度分布是否均勻，在以積存設(shè)備積存的信息為基礎(chǔ)，由分析設(shè)備判斷為異常的情況下顯示質(zhì)量預(yù)報(bào)。另外，作為處理設(shè)備、通過(guò)在印刷單元內(nèi)具備溫度、濕度控制裝置使得自動(dòng)實(shí)施溫度、濕度控制，能夠自動(dòng)調(diào)整溫度、濕度。作為監(jiān)視設(shè)備的另一例，也可以通過(guò)紅外線溫度記錄器對(duì)金屬掩模全部表面區(qū)域一起進(jìn)行溫度分布測(cè)量，在積存設(shè)備中保存、使用實(shí)際數(shù)據(jù)。
再有，關(guān)于(6)由于生產(chǎn)用基板的尺寸偏差、翹曲、扭曲引起的不良主要原因，通過(guò)對(duì)于在識(shí)別了識(shí)別標(biāo)記時(shí)對(duì)于基準(zhǔn)尺寸、標(biāo)記間距離的偏離大于等于規(guī)定值的情況下判定為NG，可以判定基板不良品。另外，關(guān)于翹曲、扭曲，使用在特開(kāi)2004-338248號(hào)公報(bào)中提出的方法，通過(guò)測(cè)定和比較基板邊緣部等大于等于兩個(gè)的部位可以檢測(cè)到。
在通過(guò)所述監(jiān)視設(shè)備檢測(cè)到異常的情況下，由分析設(shè)備顯示質(zhì)量預(yù)報(bào)，同時(shí)作為處理設(shè)備設(shè)置不良基板儲(chǔ)料器，通過(guò)從印刷單元排出不良基板進(jìn)行選擇管理，能夠不使不良品流入生產(chǎn)線。
這樣，使用能夠檢測(cè)對(duì)于(1)～(6)的代表性的印刷不良的要素的傳感器的監(jiān)視設(shè)備來(lái)經(jīng)常進(jìn)行監(jiān)視、檢測(cè)，在通過(guò)分析設(shè)備對(duì)與(1)～(6)的代表性的不良要素和對(duì)策有關(guān)的數(shù)據(jù)庫(kù)的存儲(chǔ)設(shè)備和信息進(jìn)行核對(duì)、分析的基礎(chǔ)上，發(fā)出質(zhì)量預(yù)報(bào)、警報(bào)，在判斷為不良的情況下，通過(guò)由處理設(shè)備進(jìn)行應(yīng)對(duì)處理，能夠把印刷不足等的不良防止在未發(fā)生時(shí)，提高生產(chǎn)率。
再有，在印刷單元200中印刷后，在檢查單元300中檢查印刷狀態(tài)，檢查有無(wú)不良部位，如有不良部位，則通過(guò)未圖示的通信設(shè)備，向印刷單元發(fā)送不良信息，同時(shí)也向修復(fù)用分配器單元400發(fā)送，通過(guò)修復(fù)不良部位，能夠謀求提高印刷系統(tǒng)的生產(chǎn)率。亦即，作為修復(fù)用分配器之一，存在這樣的結(jié)構(gòu)在印刷單元中，在多臺(tái)設(shè)置的分配器單元內(nèi)的至少一個(gè)單元內(nèi)設(shè)置吸引多余地涂布了焊膏的部分的焊膏的吸引用分配器，通過(guò)在那里吸取多余的焊膏進(jìn)行修復(fù)。另外，在印刷單元中，存在這樣的結(jié)構(gòu)，至少一個(gè)分配器單元具有供給和在印刷中使用的焊膏同種的焊膏的分配器，其僅在供給焊膏不充分而導(dǎo)致印刷不全的部位向欠缺部分追加涂布焊膏。
作為上述各單元的組合，如圖1(a)所示，通過(guò)使印刷單元200和檢查單元300一體化，在印刷開(kāi)始前，在測(cè)定基板制作尺寸精度后，如果沒(méi)有問(wèn)題則開(kāi)始印刷，在預(yù)測(cè)到不良的情況下，立即發(fā)出警報(bào)，排除不良品，能夠向未圖示的不良品檢查儲(chǔ)料器排出。再有，因?yàn)槟軌蛴脵z查單元立即觀察、檢查印刷后當(dāng)時(shí)的狀態(tài)，所以通過(guò)溫度、風(fēng)等，能夠在焊膏的表面狀態(tài)不變化的階段內(nèi)進(jìn)行更高精度的檢查。
如圖1(b)所示，通過(guò)使印刷單元200和檢查單元300一體化、采用在檢查單元300的下游側(cè)連接一臺(tái)或者多臺(tái)分配器單元400的結(jié)構(gòu)，在也能夠應(yīng)對(duì)欠印刷等情況的同時(shí)，也能夠進(jìn)行使用不同種類的焊膏的涂布，能夠降低印刷成本。另外，通過(guò)設(shè)置多臺(tái)分配器單元，通過(guò)同時(shí)用不同的分配器單元進(jìn)行僅在該分配器單元接受的涂布范圍內(nèi)的涂布，能夠縮短間隔時(shí)間。再有，歷來(lái)僅在基板面上可能的印刷，也能進(jìn)行向基板凹部的內(nèi)側(cè)面、底面的涂布。另外，通過(guò)采用本結(jié)構(gòu)，把多臺(tái)設(shè)置的分配器單元400中的至少一臺(tái)設(shè)置為具有涂布粘接劑的分配器的結(jié)構(gòu)，在大型部件和芯片部件混存的印刷基板的制造中能夠提高設(shè)計(jì)的自由度。亦即，把與歷來(lái)把部件裝載面集中設(shè)計(jì)在單側(cè)面上等對(duì)應(yīng)的制品，在印刷單元200上印刷焊膏后，在分配器單元400中，涂布粘接劑之后后加芯片部件。亦即使用分配器即使在狹小區(qū)域也能夠涂布導(dǎo)電性粘接劑等異種材料。因此，歷來(lái)也有時(shí)不得不根據(jù)芯片部件和大型部件表面和生產(chǎn)工序而區(qū)分安裝區(qū)域，對(duì)于電路設(shè)計(jì)存在制約。但是，像本系統(tǒng)這樣，通過(guò)組合印刷單元200和分配器單元400，采用利用一臺(tái)分配器單元涂布粘接劑的結(jié)構(gòu)，能夠提高設(shè)計(jì)的自由度，更高密度安裝。另外，雖然未圖示，不過(guò)也可以不設(shè)置印刷單元200而并聯(lián)多臺(tái)分配器單元400，在其下游側(cè)配置檢查單元300。但是，在該結(jié)構(gòu)中與使用印刷單元200的結(jié)構(gòu)相比，印刷時(shí)間需要的多，不過(guò)通過(guò)多臺(tái)設(shè)置且進(jìn)行工序分割可以解決問(wèn)題。再有，在上述各結(jié)構(gòu)中，通過(guò)代替把多臺(tái)設(shè)置的分配器單元400內(nèi)的至少一臺(tái)作為涂布用的分配器，設(shè)置吸引除去在基板上涂布的多余的焊膏的吸引用分配器，通過(guò)在現(xiàn)場(chǎng)修復(fù)印刷不良的基板，可以大幅度提高印刷生產(chǎn)率。
再有，通過(guò)如圖1(c)所示采用印刷單元200、其下游側(cè)的檢查單元300和一臺(tái)或者多臺(tái)分配器單元400、再下游側(cè)的裝載機(jī)500以及回流軟釬焊裝置600的下游側(cè)的軟釬焊后的檢查單元300和重加工單元700的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)τ诒砻姘惭b工序的全工序結(jié)束的制品，收集引起印刷不良的主要原因信息。另外，在根據(jù)檢查軟釬接外觀的檢查單元300的信息可重加工的情況下，通過(guò)重加工單元700能夠?qū)τ谲涒F接不良部位實(shí)施點(diǎn)焊。
下面說(shuō)明各個(gè)單元的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作。
用圖2和圖3說(shuō)明由本發(fā)明中的絲網(wǎng)印刷裝置組成的印刷單元的結(jié)構(gòu)。圖2(a)表示從絲網(wǎng)印刷裝置的正面看的結(jié)構(gòu)和系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖，再有圖2(b)表示從側(cè)面看絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)和印刷機(jī)控制部的框線圖。另外，圖3(a)表示從側(cè)面看絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)中搬入基板進(jìn)行定位的狀態(tài)，圖3(b)表示印刷中的狀態(tài)。
在主體框架上設(shè)置版框支撐器，在版框支撐器上設(shè)置把具有印刷圖形作為開(kāi)口部的絲網(wǎng)21展開(kāi)的掩模20。在掩模20的上方配置涂刷器頭2，在涂刷器頭2上安裝涂刷器3。涂刷器頭2通過(guò)涂刷器移動(dòng)機(jī)構(gòu)6可在水平方向移動(dòng)，涂刷器3通過(guò)涂刷器升降機(jī)構(gòu)4可在上下方向移動(dòng)。在掩模20的下方設(shè)置有印刷臺(tái)10，其用于載放并保持作為印刷對(duì)象的基板5，使其正對(duì)掩模20。該印刷臺(tái)10具有XYθ臺(tái)11和臺(tái)升降機(jī)構(gòu)12，前者在水平方向移動(dòng)基板5并進(jìn)行和掩模20的定位，后者用于從接受傳送器26接受基板5、并且使基板5接近或者接觸絲網(wǎng)21表面。在印刷臺(tái)10的上面設(shè)置基板接受傳送器26，把由基板搬入傳送器25搬入的基板5接收到印刷臺(tái)10上，當(dāng)印刷結(jié)束后把基板5排出到基板搬出傳送器27上。
在全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷裝置中具有自動(dòng)進(jìn)行掩模20和基板5的定位的功能。亦即通過(guò)CCD攝像機(jī)15，拍攝分別在掩模20和基板5上設(shè)置的定位用標(biāo)記，進(jìn)行圖像處理并求出位置偏離量，驅(qū)動(dòng)XYθ臺(tái)11使修正該偏離量，進(jìn)行定位。
此外，具有處理來(lái)自各部分驅(qū)動(dòng)用的印刷控制部36或者CCD攝像機(jī)15的圖像信號(hào)的圖像輸入部37等的印刷機(jī)控制部30，設(shè)置在印刷機(jī)主體框架的內(nèi)部，用于進(jìn)行控制用數(shù)據(jù)的改寫或印刷條件的變更等的數(shù)據(jù)輸入部45、或用于監(jiān)視印刷狀況等或取入的識(shí)別標(biāo)記的顯示部40，配置在印刷機(jī)的外側(cè)。
下面說(shuō)明本發(fā)明的印刷裝置的動(dòng)作。
印刷乳狀焊料的基板5，通過(guò)基板搬入傳送器25供給基板接受傳送器26，被固定在印刷臺(tái)10上的規(guī)定的位置。基板固定后，把CCD攝像機(jī)15移動(dòng)到預(yù)先登記設(shè)定的基板標(biāo)記位置。接著，CCD攝像機(jī)15拍攝在基板5以及掩模20上設(shè)置的位置識(shí)別用標(biāo)記(未圖示)，向印刷機(jī)控制部30傳送。輸入控制部?jī)?nèi)的圖像輸入部37的圖像信號(hào)，使用在相關(guān)值運(yùn)算部31、形狀推測(cè)部32中預(yù)先登記的辭典部38的數(shù)據(jù)等識(shí)別標(biāo)記，用位置坐標(biāo)演算部33和尺寸計(jì)算部34求出掩模20和基板5的位置偏離量，根據(jù)其結(jié)果、XYθ臺(tái)控制部35使XYθ臺(tái)11動(dòng)作，修正、吻合基板5對(duì)于掩模20的位置。定位動(dòng)作完成后，CCD攝像機(jī)15進(jìn)行規(guī)定量退避動(dòng)作直至不干涉印刷臺(tái)10的位置。在CCD攝像機(jī)15退避結(jié)束后，印刷臺(tái)10上升，使基板5和在掩模20上展開(kāi)的絲網(wǎng)21接觸。其后，通過(guò)涂刷器升降圓筒4、涂刷器3下降到絲網(wǎng)面上，通過(guò)涂刷器頭2的移動(dòng)，把供給在絲網(wǎng)21上的焊膏50向絲網(wǎng)21的開(kāi)口部填充，轉(zhuǎn)印在基板5上。涂刷器3在水平方向行程一定距離后上升。然后，印刷臺(tái)10下降，絲網(wǎng)21和基板5分離，填充在絲網(wǎng)21的開(kāi)口部的焊膏50被轉(zhuǎn)印到基板5上。然后，印刷有焊膏的基板5通過(guò)基板搬出傳送器27送到下一工序。
此外，在基板5和掩模20上在相對(duì)的同一部位設(shè)置兩個(gè)以上的識(shí)別定位用的標(biāo)記，對(duì)于雙方的各個(gè)標(biāo)記，通過(guò)有上下方向兩視野的特殊的CCD攝像機(jī)15，從下識(shí)別掩模20的標(biāo)記，從上識(shí)別基板5的標(biāo)記，讀取規(guī)定的部位的標(biāo)記全部的位置坐標(biāo)，位置運(yùn)算和修正基板5對(duì)于掩模20的偏離量，使基板5對(duì)于掩模20進(jìn)行定位。
在圖2(b)所示的印刷機(jī)控制部30中，通過(guò)圖像輸入部37取入由CCD攝像機(jī)15拍攝的任意圖形，即使在任意圖形的周圍存在類似的圖形，也用相關(guān)值計(jì)算部31運(yùn)算在辭典38中預(yù)先準(zhǔn)備的模型和通過(guò)CCD攝像機(jī)15拍攝的任意圖形的相關(guān)值。根據(jù)用相關(guān)值計(jì)算部31求得的相關(guān)值、由形狀推測(cè)部32進(jìn)行模型的形狀推測(cè)。把推測(cè)的形狀作為多個(gè)假基準(zhǔn)圖形而存儲(chǔ)設(shè)定。然后，由圖形位置坐標(biāo)運(yùn)算部33和目標(biāo)基準(zhǔn)圖形間距離比較、而且用尺寸計(jì)算部34求形狀尺寸，具有把差最小的組合的標(biāo)記作為基準(zhǔn)圖形登記在辭典38中的設(shè)備。
圖4表示預(yù)先準(zhǔn)備的辭典模型的一例。這里，取圓形、正方形、正三角形的辭典模型，但是也可以采用菱形、長(zhǎng)方形、三斗模樣等多種形狀。
歷來(lái)，實(shí)際用戶通過(guò)從稱為人工模型的辭典模型中選擇使用適合生產(chǎn)基板的圖形形狀，實(shí)施模型登記。另外，通過(guò)吻合圖形外形尺寸并輸入，確保模板匹配的精度。
圖5表示在任意圖形的周圍存在類似圖形的情況下進(jìn)行模板匹配的、相關(guān)映射的一例。圖中表示相關(guān)值的最大峰值的部位成為檢索用的第一候補(bǔ)。第二峰值成為第二候補(bǔ)，同樣第三峰值成為第三候補(bǔ)。這里以一維相關(guān)映射為例，但是使用2維相關(guān)其他公知的技術(shù)也可以得到同樣的結(jié)果。在該例中求到第三候補(bǔ)為止，但是候補(bǔ)數(shù)的指定可以是任意的。
根據(jù)圖5的檢索結(jié)果，即使存在類似圖形，也能夠選定在任意窗口內(nèi)的三個(gè)候補(bǔ)。但是，因?yàn)樵谌斯つＰ椭胁恢付▽?duì)于生產(chǎn)基板適用的標(biāo)記形狀的辭典，所以僅用它當(dāng)然很難判定在三個(gè)候補(bǔ)中哪個(gè)是正確的標(biāo)記。
圖6表示關(guān)于在基板21內(nèi)的兩個(gè)部位配置識(shí)別用圖形的情況、根據(jù)圖5的檢索結(jié)果在各窗口中選定候補(bǔ)標(biāo)記的狀態(tài)。因?yàn)樽R(shí)別用標(biāo)記是兩處，所以窗口區(qū)域也成為兩處。標(biāo)記檢索窗口1(W1)內(nèi)的結(jié)果，選定了3個(gè)候補(bǔ)M11、M12、M13，標(biāo)記檢索窗口2(W2)內(nèi)的結(jié)果，選定了3個(gè)候補(bǔ)M21、M22、M23。
但是，在圖6中，表示了在基板5中的標(biāo)記檢索結(jié)果，但是在未圖示的掩模20側(cè)，配置有與基板5的兩個(gè)部位的識(shí)別用圖形對(duì)應(yīng)的標(biāo)記。
掩模20側(cè)的識(shí)別用圖形，通常使用貫通孔或者半腐蝕或者在識(shí)別貫通孔或者半腐蝕部上為賦予對(duì)比度而埋入樹(shù)脂的フイデユ-シヤル標(biāo)記(獨(dú)立的基準(zhǔn)標(biāo)記)，在掩模側(cè)的識(shí)別用圖形的周圍不存在類似圖形的事例很多。因此，即使不熟練的用戶也能很容易判斷有無(wú)誤識(shí)別的主要原因。
因此，在掩模20中，在識(shí)別用圖形的周圍不存在類似圖形的事例中，使用在圖5中說(shuō)明的方法，進(jìn)而通過(guò)具有匹配率(對(duì)于相關(guān)值預(yù)先決定的得分)大于等于規(guī)定值的條件，能夠把匹配率具有大于等于規(guī)定值、相關(guān)值最高的圖形判斷為掩模的識(shí)別用圖形。
在該場(chǎng)合，由于窗口1(W1)以及窗口2(W2)的中心坐標(biāo)關(guān)系，因?yàn)樽鳛橐阎臄?shù)據(jù)預(yù)先設(shè)定和輸入印刷裝置，所以通過(guò)使用位置坐標(biāo)運(yùn)算部33計(jì)算根據(jù)相關(guān)檢索結(jié)果求得的各窗口中的識(shí)別用圖形的中心坐標(biāo)，在位置坐標(biāo)運(yùn)算部33中，能夠運(yùn)算、算出掩模的識(shí)別用圖形M1和M2的距離ML。
圖6記載的L尺寸，是M11和M21的標(biāo)記間的距離，但是因?yàn)長(zhǎng)的設(shè)計(jì)值和上述的ML相同，所以能夠把ML作為選定基準(zhǔn)值使用。
圖7表示相關(guān)值計(jì)算部～位置坐標(biāo)運(yùn)算部中的處理流程。在本處理中，是設(shè)定為窗口是兩處、標(biāo)記是設(shè)置3個(gè)的情況。根據(jù)圖7，在窗口1(W1)以及窗口2(W2)的標(biāo)記候補(bǔ)的組合中，能夠通過(guò)位置坐標(biāo)運(yùn)算部求出L尺寸與ML最接近的標(biāo)記，作為基準(zhǔn)圖形登記。在圖7中，在開(kāi)始時(shí)從No.1窗口中檢索。亦即，首先設(shè)定是第幾個(gè)窗口W(步驟110)。接著，檢索第N號(hào)候補(bǔ)(步驟111)。當(dāng)結(jié)束第N號(hào)的檢索時(shí)決定下一候補(bǔ)(N上加1，使其成為第N+1號(hào)的候補(bǔ)步驟112)。檢查N是否超過(guò)最大的候補(bǔ)數(shù)(步驟113)。如果沒(méi)有超過(guò)，則返回到步驟111，檢索第N+1號(hào)的候補(bǔ)。在超過(guò)的情況下，檢查是否結(jié)束全部的窗口(步驟114)。如果全部窗口未結(jié)束，則把窗口設(shè)定為下一窗口(W+1)(步驟117)，返回到設(shè)定窗口No.的步驟110。當(dāng)全部窗口的檢索結(jié)束時(shí)，求窗口W的標(biāo)記的第N號(hào)的候補(bǔ)、和到下一窗口W+1的標(biāo)記的第N號(hào)～第N+3號(hào)的全部的候補(bǔ)的組合的情況下各自的距離Lnn(步驟115)。如步驟118那樣記錄其結(jié)果。運(yùn)算已知的L和求得的Lnn的差，選擇登記最小的候補(bǔ)。
此外，在掩模側(cè)的識(shí)別用圖形中不使用フイデユ-シヤル標(biāo)記的情況下，因?yàn)樵谧R(shí)別用圖形的周圍存在類似圖形，所以不能把所述ML作為選定基準(zhǔn)值使用。在這樣的情況下，代替上述ML，也可以根據(jù)預(yù)先輸入印刷裝置的標(biāo)記坐標(biāo)和基板尺寸運(yùn)算求出選定基準(zhǔn)值L而使用。
下面使用圖8～10，說(shuō)明絲網(wǎng)印刷裝置，所述絲網(wǎng)印刷裝置的特征在于，具有計(jì)算在預(yù)先準(zhǔn)備的辭典38中記錄的辭典模型和任意圖形的相關(guān)值的相關(guān)值計(jì)算部31、根據(jù)由相關(guān)值計(jì)算部31求得的相關(guān)值進(jìn)行模型的形狀推測(cè)的形狀推測(cè)部32、和圖像測(cè)量計(jì)算任意圖形的尺寸的尺寸計(jì)算部34。
圖8示出了關(guān)于標(biāo)記尺寸測(cè)量后的檢查、尺寸修正、Lx＝Lx1的情況。如本圖那樣在標(biāo)記的尺寸運(yùn)算處理后，作為一例，對(duì)于X方向向印刷臺(tái)給予移動(dòng)指令、使標(biāo)記移動(dòng)標(biāo)記外形尺寸量的距離。接著讀取標(biāo)記邊緣坐標(biāo)，根據(jù)移動(dòng)前預(yù)先存儲(chǔ)的移動(dòng)前的標(biāo)記邊緣坐標(biāo)和移動(dòng)后的標(biāo)記邊緣坐標(biāo)計(jì)算標(biāo)記移動(dòng)量。在尺寸測(cè)量的標(biāo)記X方向外形尺寸(Lx)等于標(biāo)記邊緣坐標(biāo)量(Lx1)的情況下，判斷尺寸測(cè)量的標(biāo)記尺寸正確。
圖9示出了關(guān)于標(biāo)記尺寸測(cè)量后的檢查、尺寸修正、Lx＜Lx1的情況。如本圖那樣，在尺寸測(cè)量的標(biāo)記X方向外形尺寸(Lx)小于標(biāo)記邊緣移動(dòng)量(Lx1)的情況下，判斷尺寸測(cè)量的標(biāo)記尺寸不正確。
圖10表示尺寸計(jì)算部以及尺寸修正部中的處理流程。圖10是X方向的尺寸修正的具體的處理流程，但是對(duì)于Y方向也可以進(jìn)行同樣的處理。亦即，在對(duì)于X方向?qū)嵤┻\(yùn)算處理后，對(duì)于Y方向也執(zhí)行同樣的運(yùn)算處理。
在該處理中，首先，測(cè)量第N候補(bǔ)的標(biāo)記的外形尺寸(步驟210)。在該情況下，把a(bǔ)設(shè)定為X方向(步驟211)。在a方向上移動(dòng)載物臺(tái)，求移動(dòng)量(步驟212)。從標(biāo)記的一個(gè)端側(cè)開(kāi)始移動(dòng)，測(cè)定到達(dá)另一端的邊緣部的距離La1(步驟213)。判別移動(dòng)距離是否等于規(guī)定值La(步驟214)。在不相等的情況下求修正值(La/La1)(步驟216)。當(dāng)求X方向的修正值時(shí)，接著把a(bǔ)置換為y(步驟215，217)，進(jìn)行同樣的處理。
但是，印刷裝置的攝像機(jī)坐標(biāo)系，使用在半導(dǎo)體制造中使用的基于超高精細(xì)、直接描繪的玻璃干板(光掩模)，修正機(jī)械驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的絕對(duì)精度。因此，可以充分信賴通過(guò)指令值移動(dòng)攝像機(jī)到任意位置的時(shí)的精度。另外，即使使用利用直線電動(dòng)機(jī)等的全閉合伺服系統(tǒng)等的技術(shù)，攝像機(jī)移動(dòng)的距離也成為可充分信賴的精度。
因此，通過(guò)使用上述技術(shù)等，能夠判斷用攝像機(jī)讀取的圖像的尺寸是否正確。再有，在攝像機(jī)的分辨率的校正以及自故障診斷中也可以應(yīng)用。
另外，當(dāng)使用根據(jù)本發(fā)明的定位方法時(shí)，在檢查判定生產(chǎn)運(yùn)行中定位前讀取的標(biāo)記尺寸、和定位移動(dòng)印刷標(biāo)記后的標(biāo)記位置是否正確，同時(shí)，因?yàn)闇y(cè)定標(biāo)記尺寸，所以能夠經(jīng)常根據(jù)印刷裝置的攝像機(jī)的故障診斷進(jìn)行自動(dòng)校正。
因此，通過(guò)使用根據(jù)本發(fā)明的定位方法，不僅能夠在生產(chǎn)中不中斷裝置經(jīng)常自故障診斷有無(wú)精度失常，而且能夠自動(dòng)校正。
如上所述，在本發(fā)明中，對(duì)于任意的圖形，即使不指定標(biāo)記形狀或標(biāo)記尺寸，也能夠把標(biāo)記作為基準(zhǔn)圖形進(jìn)行登記。
另外，在熟練操作者正減少的期間，即使是不熟練的用戶也能夠簡(jiǎn)單而且容易地確?；鶞?zhǔn)標(biāo)記登記時(shí)間的縮短和正確度，能夠有助于高密度安裝生產(chǎn)的效率化、省力化。
進(jìn)一步可以明白，本發(fā)明即使在不使用掩模的裝載機(jī)等中的基板的定位中也可以使用。
進(jìn)而，通過(guò)使用本發(fā)明，能夠統(tǒng)一、共同作為SMT生產(chǎn)線中的各裝置間分散的基準(zhǔn)標(biāo)記登記方法，也能夠謀求各裝置的操作方法的簡(jiǎn)易化、共同化。
在印刷機(jī)控制部中，具有控制未圖示的印刷壓力的印刷壓力控制部，能夠通過(guò)生產(chǎn)的基板的安裝密度或開(kāi)口徑的不同以及使用的涂刷器的彈簧常數(shù)而簡(jiǎn)單地選擇設(shè)定適當(dāng)?shù)挠∷毫?。另外，進(jìn)行反饋控制，使通過(guò)掩模按壓基板的涂刷器前端的壓力不變。
下面使用圖11、圖12說(shuō)明在本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷裝置中使用的涂刷器以及裝備該涂刷器的絲網(wǎng)印刷裝置。
圖11表示復(fù)合式金屬涂刷器的一例。
涂刷器保持架分割為固定涂刷器3的第二涂刷器保持架52和在驅(qū)動(dòng)部側(cè)設(shè)置的第一涂刷器保持架51兩個(gè)，其間配置彈性構(gòu)件53。
接觸絲網(wǎng)21的涂刷器3部用金屬構(gòu)成。第一涂刷器保持架和第二涂刷器保持架的中間部的彈性構(gòu)件53用硬度80度的聚氨酯橡膠形成。進(jìn)而，涂刷器3采用階梯的金屬涂刷器，把涂刷器保持架側(cè)的厚度作為0.25mm的金屬板，具有耐久性，取前端部的厚度為0.05mm。另外，通過(guò)用添加法制作金屬涂刷器，可以把前端邊緣部的棱線粗細(xì)高精度地制作為小于等于0.5μm。
如圖12所示的絲網(wǎng)印刷的實(shí)例，通常，在基板5表面上涂敷的電路絕緣用的圖形保護(hù)膜55厚度為20μm左右，有時(shí)在被印刷的基板的電極墊56部周圍覆蓋，結(jié)果在絲網(wǎng)21和電極墊56間產(chǎn)生間隙。進(jìn)而在保護(hù)膜55上面也施行用于表記設(shè)備號(hào)碼、或基板名稱等的絲綢印刷57。因?yàn)榻z綢印刷57的厚度為30～40μm厚，所以當(dāng)合計(jì)保護(hù)膜55的厚度量時(shí)產(chǎn)生50～60μm厚的間隙。對(duì)于從絲網(wǎng)21表面到電極墊56表面的深度20～60μm的間隙、印刷焊膏50時(shí)，當(dāng)沒(méi)有填充焊膏50的力時(shí)，焊膏達(dá)不到電極墊56表面，產(chǎn)生未轉(zhuǎn)印的部分。
根據(jù)本發(fā)明，利用對(duì)于構(gòu)成彈性構(gòu)件53的聚氨酯橡膠部的彎曲應(yīng)力的反作用力，能夠產(chǎn)生填充焊膏50的力。對(duì)于圖12(b)的印刷壓力P，因?yàn)镕1以及F2分別是，F(xiàn)1＝P.COSΘ，F(xiàn)2＝P.COSΘ，聚氨酯橡膠53部由于彎曲Θ變小，所以F1＜F2，對(duì)于涂刷器3在直角方向作用的力變大。由此，印刷時(shí)焊膏的滾動(dòng)力(向箭頭方向的移動(dòng)力)也變大，向絲網(wǎng)開(kāi)口部的填充力上升，也能向距絲網(wǎng)21的間隙大的電極墊56上填充焊膏。
另外，通過(guò)聚氨酯橡膠部柔軟變形，不僅局部的凹凸，即使基板整體成為凸起狀態(tài)或者凹下的狀態(tài)，也能夠容易地跟隨。通過(guò)采用本結(jié)構(gòu)，解決了對(duì)于現(xiàn)有的金屬涂刷器以及附有背板的金屬涂刷器中的基板的凹凸的跟隨性的問(wèn)題。進(jìn)一步可提供在掩模和涂刷器滑動(dòng)時(shí)吸收所產(chǎn)生的微振動(dòng)、沒(méi)有印刷振動(dòng)的良好的印刷精加工表面。
再有，在金屬前端的階梯狀階梯部金屬涂刷器，不落入開(kāi)口部孔內(nèi)，但是對(duì)于由于絲綢印刷部的厚度等的微小的凹凸或階差部的變形，在印刷時(shí)靈敏度良好地跟隨。這里所說(shuō)的印刷時(shí)靈敏度的良好度是涂刷器的彈簧常數(shù)大小的差。因?yàn)閺椈烧褡拥闹芷赥用下式T＝2π(W/gk)1/2求出，所以隨彈簧常數(shù)k增大周期縮短，亦即振動(dòng)頻率升高靈敏度提高，能夠所謂靈敏地反應(yīng)。反過(guò)來(lái)隨彈簧常數(shù)k減小，振動(dòng)周期變長(zhǎng)，振動(dòng)頻率降低，作為涂刷器的反應(yīng)變得遲鈍。
圖13表示復(fù)合式金屬涂刷器的等價(jià)彈簧系統(tǒng)實(shí)例。
設(shè)由在涂刷器中間部設(shè)置的聚氨酯橡膠部引起的彎曲為δ1，金屬涂刷器前端的階梯部的彎曲為δ2，當(dāng)僅著眼于在前端上施加的負(fù)荷重W時(shí)，可以視為串聯(lián)如圖13所示的彈簧常數(shù)k1和彈簧常數(shù)k2的兩個(gè)彈簧。彎曲的理論值根據(jù)δ1＝WI3/3EI，如果知道在涂刷器中使用的材質(zhì)以及截面尺寸形狀，則可以計(jì)算δ1以及δ2的值。另外，根據(jù)虎克定律，因?yàn)閗＝W/δ所以能夠計(jì)算求彈簧常數(shù)。這里設(shè)合成彈簧常數(shù)為K，通過(guò)(1/K)＝(1/k1)+(1/k2)，能夠求圖13所示的合成彈簧常數(shù)。
圖14(a)表示原理說(shuō)明圖，(b)表示具有不同彈簧常數(shù)的涂刷器的彈簧部的實(shí)施例，(c)表示整體結(jié)構(gòu)。本圖是對(duì)于圖11所示的發(fā)明進(jìn)一步通過(guò)別的方法在涂刷器高度方向上具有兩種以上的彈簧常數(shù)的實(shí)施例。構(gòu)成為在涂刷器保持架和涂刷器的中間部具有彈簧形狀的彈性體(彈簧)，進(jìn)而在前端部作為具有不同曲折次數(shù)和不同曲折長(zhǎng)度的彈簧形狀、或者階梯狀的帶梯形狀的金屬制的一體型涂刷器。通過(guò)采用本結(jié)構(gòu)，如圖14(a)所示，能夠在垂直方向柔軟地變形且能夠柔軟地追隨凹凸的構(gòu)件。
通過(guò)使用根據(jù)本圖的實(shí)施例的具有彈簧狀部的一體型涂刷器，能夠?qū)崿F(xiàn)和圖11所示的復(fù)合式涂刷器同等的性能。另外，能夠比復(fù)合式涂刷器大幅度地減少使用的構(gòu)件數(shù)，同時(shí)，為一體型的制作方法，可以考慮添加法或成形擠壓法等多樣的方法，能夠降低成本。再有能夠降低涂刷器質(zhì)量，用較低印刷壓力產(chǎn)生有效的填充力，能夠得到良好的印刷效果。
下面關(guān)于印刷結(jié)束后在下一工序側(cè)設(shè)置檢查單元的情況進(jìn)行說(shuō)明。
圖15表示檢查單元的結(jié)構(gòu)。
檢查單元300由具有在臺(tái)架61上對(duì)于基板輸送方向在直角方向可移動(dòng)的直線電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)方式的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)62(或者由伺服電動(dòng)機(jī)和球螺絲組成的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu))的門型框、在該框上配置的、設(shè)置有由經(jīng)過(guò)框上部在基板輸送方向上可移動(dòng)的直線電動(dòng)機(jī)65(或者伺服電動(dòng)機(jī)和球螺絲)組成的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)臺(tái)67、和在其上安裝的攝像用攝像機(jī)66組成。攝像機(jī)66面對(duì)基板5離開(kāi)規(guī)定的間隔而配置，使得能夠拍攝基板面。
但是在圖2或者圖3中說(shuō)明的、用印刷單元200印刷的制品中，作為印刷不良，代表性地產(chǎn)生下面3種狀態(tài)。(1)在電極部分未正常印刷焊膏、存在一部分欠缺的部分。(2)焊膏附著到相鄰的電極側(cè)、或者焊膏涂布到電極之外的所謂的下陷、跨接或滲入這樣的狀態(tài)。(3)對(duì)于電極整體偏離地印刷的狀態(tài)。
在本檢查單元300中，檢測(cè)這些狀態(tài)，判別是哪種不良，通過(guò)通信設(shè)備向印刷單元反饋信息，此時(shí)通過(guò)印刷單元的再分析設(shè)備對(duì)于各種不良模式、作為一例實(shí)施ABC評(píng)價(jià)，通過(guò)加工大分類的信息，能夠提高核對(duì)判定印刷單元的存儲(chǔ)設(shè)備的數(shù)據(jù)庫(kù)信息的處理效率，也能夠大幅度縮短處理時(shí)間。作為ABC評(píng)價(jià)以外的方法也可以采用其他的統(tǒng)計(jì)方法。進(jìn)而從3維檢查單元等中的龐大的檢查信息對(duì)于操作員能夠容易地完成能夠判斷的必要充分的質(zhì)量預(yù)報(bào)信息。再有，根據(jù)不良的狀態(tài)，通過(guò)由下一分配器單元400進(jìn)行修復(fù)，極力抑制不良品的產(chǎn)生。
首先，在印刷單元200中被印刷的基板5被轉(zhuǎn)送到連接于印刷單元200的基板排出傳送器27上的檢查單元300的基板接受傳送器63?；褰邮軅魉推?3上的基板在規(guī)定位置停止，轉(zhuǎn)送給基板臺(tái)68上。在基板臺(tái)68上設(shè)置基板保持機(jī)構(gòu)69(例如吸引吸附機(jī)構(gòu)或者機(jī)械卡盤)保持基板5使其不能移動(dòng)。在檢查單元300中，設(shè)置檢查單元300的驅(qū)動(dòng)部以及用于根據(jù)用攝像機(jī)拍攝的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理、判定印刷的好壞的控制部60C，檢查單元300即使單獨(dú)也能動(dòng)作。但是，在單獨(dú)動(dòng)作的情況下，為預(yù)先存儲(chǔ)印刷的多個(gè)圖形數(shù)據(jù)等而在控制部60C中需要大的存儲(chǔ)器。如果在與印刷單元200或者分配器單元400聯(lián)動(dòng)的情況下，因?yàn)榭梢詮挠∷卧?00或者分配器單元400側(cè)的控制部接受印刷位置數(shù)據(jù)等而使用，所以不需要大的存儲(chǔ)器。
另外，雖然未圖示，但是通過(guò)不設(shè)置基板臺(tái)68，從基板接受傳送器63突出設(shè)置阻止基板5的移動(dòng)的止動(dòng)器，通過(guò)止動(dòng)器停止基板后使接受傳送器63停止，也能夠把基板5定位在規(guī)定位置。
接著通過(guò)攝像機(jī)66觀察基板定位標(biāo)記，從其位置求出用印刷單元涂布的焊膏的涂布(印刷)位置，移動(dòng)攝像機(jī)到軟焊料涂布位置，拍攝涂布的狀態(tài)。拍攝的圖像由在控制部60C中設(shè)置的圖像處理部進(jìn)行圖像處理，判定在正規(guī)的印刷位置是否正常地印刷了焊膏。通過(guò)移動(dòng)攝像機(jī)66，執(zhí)行印刷整個(gè)區(qū)域的檢查。如果判定結(jié)果正常，則印刷處理在此結(jié)束。但是，如果在檢查單元300的下游側(cè)設(shè)置分配器單元400，則分配器單元400僅使輸送功能動(dòng)作，把檢查結(jié)束的基板5輸送到分配器單元出口。
如果，在檢查單元300判斷為不良的情況下，則向印刷單元200的控制部發(fā)送先前敘述的(1)～(3)中哪個(gè)狀態(tài)在何處發(fā)生這樣的數(shù)據(jù)，同時(shí)在印刷單元200內(nèi)設(shè)置的顯示裝置上顯示該檢查結(jié)果。此外，雖然在檢查單元300中未進(jìn)行圖示，但是也可以設(shè)置用于進(jìn)行檢查條件的變更的輸入設(shè)備或者用于監(jiān)視檢查狀況等的顯示裝置。另外，也向在分配器單元400中設(shè)置的控制部70C發(fā)送相同的數(shù)據(jù)。
在分配器單元400中，當(dāng)缺陷是上述(1)欠印刷的情況時(shí)，僅對(duì)該印刷欠缺部分通過(guò)分配器供給焊膏而修復(fù)欠缺。另外，如果是像(2)那樣下堆、跨接或者滲入的缺陷，則把相應(yīng)基板輸送到設(shè)置有吸引用分配器的分配器單元上，通過(guò)吸引和去除有缺陷的部分(電極以外的)的焊膏而修復(fù)該部分。進(jìn)而，在缺陷是(3)的偏離引起的情況下，判斷能否修復(fù)，在可能修復(fù)的情況下和(2)的情況相同，把相應(yīng)基板輸送到設(shè)置有吸引用分配器的分配器單元，在那里通過(guò)吸引去除需要修復(fù)的部位的焊膏，其后，向設(shè)置有向電極部分噴出用分配器的分配器單元輸送，在那里向相應(yīng)部分的電極追加涂布焊膏。再有，在(3)的偏離的情況下，向印刷單元200側(cè)發(fā)送其偏離量，由管理者判斷是掩模缺陷、或是印刷上的錯(cuò)誤，如是掩模的缺陷，則更換為正常的掩模。另外，如是印刷上的問(wèn)題(定位不良等)，則修正印刷條件。
分配器單元，為進(jìn)行上述動(dòng)作，成為圖16所示的結(jié)構(gòu)。
和先前的檢查單元相同，構(gòu)成為在作為基板輸送路徑的基板接受傳送器72上直角設(shè)置門型的框架84部分，為吸引焊膏并從印刷面去除，設(shè)置吸引用的分配器、或者用于涂布焊膏的焊膏噴出用分配器83中的任何一種或兩種。另外設(shè)置用于從基板接受傳送器接受基板5、搭載基板5的基板臺(tái)78和在基板臺(tái)78上保持基板的基板保持機(jī)構(gòu)79。在圖16中采用設(shè)置噴出用分配器的結(jié)構(gòu)。此外，構(gòu)成為能夠安裝、拆除吸引用的分配器和涂布用的分配器。在分配器單元400的主體側(cè)支持框架84，設(shè)置有在基板輸送方向上可移動(dòng)框架84的伺服電動(dòng)機(jī)75上設(shè)置圓頭螺釘(未圖示)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。此外，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)也可以采用直線電動(dòng)機(jī)方式。在框架84上，設(shè)置由保持分配器83使其相對(duì)基板輸送方向在直角方向上移動(dòng)的移動(dòng)臺(tái)87、和用于使移動(dòng)臺(tái)87移動(dòng)的伺服電動(dòng)機(jī)85和球螺絲86組成的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)也可以采用直線電動(dòng)機(jī)。另外，在移動(dòng)臺(tái)87上設(shè)置用于上下移動(dòng)安裝了分配器83的臺(tái)80的Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)88。此外，未圖示的有在臺(tái)80上設(shè)置的為觀察基板的定位標(biāo)記的攝像機(jī)、或測(cè)量基板5和分配器83的間隔的距離傳感器。另外，在本單元的下部，設(shè)置有用于控制單元內(nèi)的各裝置的控制部70C，該控制部70C構(gòu)成為能夠和印刷單元200或檢查單元300的控制部進(jìn)行信號(hào)交換。
如上所述，在本發(fā)明中，通常在印刷單元中在基板上印刷前，通過(guò)印刷單元具有的質(zhì)量預(yù)報(bào)系統(tǒng)預(yù)測(cè)質(zhì)量，如果沒(méi)有問(wèn)題則實(shí)施印刷。由此，能夠高效率地進(jìn)行高生產(chǎn)率的印刷。再有，由檢查單元檢查印刷后的基板，如果在印刷部位有不良，是可修復(fù)的不良，則可以使用分配器單元進(jìn)行修正，能夠減低印刷不良。
另外，因?yàn)樵趩卧獑挝粌?nèi)構(gòu)成各部分，所以能夠簡(jiǎn)單地變更模板。
再有，即使由于組合印刷單元和分配器單元而有必要使用不同焊膏或者粘接材料等進(jìn)行印刷的情況下，也不需要準(zhǔn)備多張不同的掩模進(jìn)行印刷，不需要變更掩模等的作業(yè)時(shí)間，通過(guò)謀求縮短印刷時(shí)間或者提高設(shè)計(jì)自由度以及處理的自由度，能夠有助于高密度安裝。
進(jìn)一步，因?yàn)闅v來(lái)印刷機(jī)和分配器裝置和檢查裝置分別獨(dú)立，需要分別設(shè)置數(shù)據(jù)輸入裝置、或顯示裝置、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置等，但是通過(guò)采用本系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，可以使這些成為公共的，能夠謀求裝置的小型化。
權(quán)利要求
1.一種焊膏印刷系統(tǒng)，具有通過(guò)掩模在基板面上涂布焊膏的印刷單元，其特征在于，具有作為知識(shí)而存儲(chǔ)、積存、保存引起不良情況的產(chǎn)生的要素和對(duì)各要素的處理方法的積存設(shè)備；在所述印刷單元中實(shí)施焊膏印刷之前，掌握、檢查引起不良情況的產(chǎn)生的要素狀態(tài)的監(jiān)視設(shè)備；判斷、預(yù)測(cè)各要素是否有產(chǎn)生不良情況的可能性，能夠根據(jù)分析結(jié)果向操作員發(fā)出質(zhì)量預(yù)報(bào)、警報(bào)的分析設(shè)備；以及消除不良情況產(chǎn)生的主要原因的處理設(shè)備。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊膏印刷系統(tǒng)，其特征在于，具有在所述印刷單元中實(shí)施焊膏印刷之后檢查印刷結(jié)果的檢查單元；向所述印刷單元通信通過(guò)所述檢查單元檢查的結(jié)果的信息的通信設(shè)備；以及分析由所述檢查單元檢查的結(jié)果的信息，把新的不良事例作為新知識(shí)而在積存設(shè)備中進(jìn)行隨時(shí)整理、追加存儲(chǔ)的再分析設(shè)備。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊膏印刷系統(tǒng)，其特征在于，具有在所述印刷單元中實(shí)施焊膏印刷之后，在把焊膏加熱～冷卻軟釬焊之后，檢查軟釬焊外觀的檢查單元；向所述印刷單元通信通過(guò)所述檢查單元檢查的結(jié)果的信息的通信設(shè)備；以及分析由所述檢查單元檢查的結(jié)果的信息，把新的不良事例作為新知識(shí)而在積存設(shè)備中進(jìn)行隨時(shí)整理、追加存儲(chǔ)的再分析設(shè)備。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中所述的焊膏印刷系統(tǒng)，其特征在于，構(gòu)成為在所述印刷單元的下游側(cè)配置部分地涂布焊膏的多個(gè)分配器單元、或者修正軟釬焊不良部分的多個(gè)再加工單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的焊膏印刷系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述檢查單元檢測(cè)到欠印刷的印刷缺陷時(shí)，為了修復(fù)所述欠印刷部分，用所述分配器單元向該部位涂布焊膏。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的焊膏印刷系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述檢查單元檢測(cè)到焊膏的下堆、跨接或者滲入的印刷缺陷時(shí)，把該基板輸送到所述多個(gè)分配器單元內(nèi)的具有吸引用分配器的分配器單元上，在那里吸引多余的焊膏。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的焊膏印刷系統(tǒng)，其特征在于，構(gòu)成為當(dāng)所述檢查單元檢測(cè)到印刷偏離時(shí)，從所述檢查單元向所述印刷單元或者所述分配器單元發(fā)送發(fā)生偏離的基板、位置信息以及偏離量。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的焊膏印刷系統(tǒng)，其特征在于，構(gòu)成為所述多個(gè)分配器單元中的至少一個(gè)單元的分配器供給粘接劑等焊膏以外的異種材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊膏印刷系統(tǒng)，其特征在于，構(gòu)成為涂刷器具有包含前端部以及中間部在內(nèi)的大于等于兩個(gè)部位的彈簧常數(shù)不同的部位，所述涂刷器構(gòu)成印刷所述焊膏的印刷單元，并從絲網(wǎng)印刷裝置的掩模開(kāi)口部向基板面壓入焊膏。
10.一種絲網(wǎng)印刷裝置，使用基板表面的大于等于兩個(gè)部位的任意圖形，基于圖像處理使該基板與絲網(wǎng)位置吻合，在基板面上通過(guò)掩模由涂刷器涂布焊膏，其特征在于，構(gòu)成為涂刷器保持架由在驅(qū)動(dòng)部側(cè)設(shè)置的第一涂刷器保持架和通過(guò)聚氨酯橡膠連接的第二涂刷器保持架組成，在所述第二涂刷器保持架上安裝涂刷器。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的絲網(wǎng)印刷裝置，其特征在于，由所述涂刷器的截面形狀為階梯狀地設(shè)置了階差的金屬涂刷器構(gòu)成。
12.一種絲網(wǎng)印刷裝置，使用基板表面的大于等于兩個(gè)部位的任意圖形，基于圖像處理使該基板與絲網(wǎng)位置吻合，在基板面上通過(guò)掩模由涂刷器涂布焊膏，其特征在于，設(shè)有涂刷器，該涂刷器具有包含使用的涂刷器的前端部以及中間部在內(nèi)的大于等于兩個(gè)的部位的彈簧常數(shù)不同的部位。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的絲網(wǎng)印刷裝置，其特征在于，具有通過(guò)即使在任意圖形的周圍存在類似圖形，也計(jì)算預(yù)先準(zhǔn)備的辭典模型和任意圖形間的相關(guān)值的相關(guān)值計(jì)算部；根據(jù)由所述相關(guān)值計(jì)算部求得的相關(guān)值，進(jìn)行模型的形狀推測(cè)的形狀推測(cè)部；以及作為多個(gè)假基準(zhǔn)圖形而存儲(chǔ)和設(shè)定，對(duì)圖形位置坐標(biāo)進(jìn)行圖像測(cè)量運(yùn)算的位置坐標(biāo)運(yùn)算部，來(lái)與目標(biāo)基準(zhǔn)圖形間距離進(jìn)行比較，把差最小的組合的標(biāo)記作為基準(zhǔn)圖形而登記的設(shè)備。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的絲網(wǎng)印刷裝置，其特征在于，具有計(jì)算預(yù)先準(zhǔn)備的辭典模型和任意圖形間的相關(guān)值的相關(guān)值計(jì)算部；根據(jù)由所述相關(guān)值計(jì)算部求得的相關(guān)值，進(jìn)行模型的形狀推測(cè)的形狀推測(cè)部；以及對(duì)任意圖形的尺寸進(jìn)行圖像測(cè)量運(yùn)算的尺寸計(jì)算部。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的絲網(wǎng)印刷裝置，其特征在于，計(jì)算任意圖形的尺寸的尺寸計(jì)算部具有在按計(jì)算結(jié)果的外形尺寸量的距離量使基板移動(dòng)后，測(cè)量該圖形的移動(dòng)距離，修正圖像測(cè)定誤差的尺寸修正部。
全文摘要
提供一種絲網(wǎng)印刷裝置和具備該裝置的印刷系統(tǒng)。在裝配有絲網(wǎng)印刷裝置的焊膏印刷系統(tǒng)中，在謀求提高絲網(wǎng)印刷裝置的印刷精度的同時(shí)，需要即使在絲網(wǎng)印刷機(jī)中發(fā)生印刷不良，也能對(duì)于在系統(tǒng)內(nèi)可能修補(bǔ)的不良在系統(tǒng)內(nèi)進(jìn)行修補(bǔ)，提高產(chǎn)品的生產(chǎn)率。為此，把在絲網(wǎng)印刷裝置的印刷中使用的涂刷器做成使用具有兩級(jí)彈力的金屬涂刷器的結(jié)構(gòu)，同時(shí)做成配置在印刷結(jié)束后檢查印刷狀態(tài)的檢查單元、和根據(jù)檢查結(jié)果進(jìn)行印刷基板的不良修復(fù)用的分配器單元的結(jié)構(gòu)，同時(shí)采用向絲網(wǎng)印刷裝置發(fā)送檢查結(jié)果，能夠在下一基板的印刷中反映的系統(tǒng)。
文檔編號(hào)B41F15/14GK1939716SQ200610141
公開(kāi)日2007年4月4日 申請(qǐng)日期2006年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月30日
發(fā)明者栗原弘邦, 本間真, 矢作睦行, 川邊伸一郎, 向井范昭 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)