專利名稱：液狀體的噴出法、彩色濾光片的制法、有機(jī)el元件的制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及含有功能性材料的液狀體的噴出方法、彩色濾光片的制造 方法、有機(jī)EL元件的制造方法。
背景技術(shù)：
作為含有功能性材料的液狀體的噴出方法，己知有向基板上噴出含有 彩色濾光片材料的液狀體而制造彩色濾光片的方法(專利文獻(xiàn)1)。
在上述彩色濾光片的制造方法中，可以使具有可將液狀體以液滴的方 式噴出的多個(gè)噴嘴的多個(gè)液滴噴頭，按照噴嘴列在規(guī)定的方向上排列的方
式與基板對(duì)向。此外，采用的方法是在不使液體從位于噴嘴列的兩端部 的規(guī)定區(qū)域的噴嘴(未使用噴嘴)噴出的狀態(tài)下，使基板和液滴噴頭相對(duì) 移動(dòng)，同時(shí)從噴嘴(使用噴嘴)將液狀體適當(dāng)噴出到基板上的規(guī)定位置， 形成彩色濾光片的方法。由此，不使用位于噴嘴列的兩端部的規(guī)定區(qū)域的 噴出量比較多的噴嘴就可進(jìn)行液狀體的噴出，所以可以更均勻地噴出液狀 體。
不過，從上述液滴噴頭的多個(gè)噴嘴噴出的液滴的噴出量，實(shí)際上在噴 嘴間具有偏差。如果該偏差較大，則噴出后形成的薄膜產(chǎn)生不均，例如如 果是彩色濾光片，則存在所謂成為顏色不均的課題。
作為該噴嘴間的噴出量出現(xiàn)偏差的原因，可以舉出當(dāng)向用于從噴嘴以 液滴的形式使液狀體噴出的能量生成機(jī)構(gòu)(例如壓電元件或加熱元件等) 施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，驅(qū)動(dòng)電壓具有偏差的所謂電串?dāng)_。另夕卜，可以舉出通過 每個(gè)噴嘴的供給液狀體的流路不同而噴出液滴的壓力或速度在噴嘴間不 同的所謂機(jī)械串?dāng)_。
作為防止產(chǎn)生這樣的串?dāng)_現(xiàn)象的方法，已知有向每個(gè)相鄰的噴嘴的能 量生成機(jī)構(gòu)輸入不同的驅(qū)動(dòng)波形，不同時(shí)間驅(qū)動(dòng)的噴墨式打印方法(專利 文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)l:特幵2003 —159787號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2:特開平10—193587號(hào)公報(bào)
不過，考慮串?dāng)_現(xiàn)象，即便向每個(gè)相鄰的噴嘴(能量生成機(jī)構(gòu))輸入 不同的驅(qū)動(dòng)波形，在基板和液滴噴頭(多個(gè)噴嘴)的相對(duì)移動(dòng)方向(主掃 描方向)上，當(dāng)不同驅(qū)動(dòng)波形中的相同驅(qū)動(dòng)波形被反復(fù)施加給同一噴嘴， 則與其他噴嘴相比，液滴的噴出量會(huì)出現(xiàn)偏倚。因此，例如，如果是彩色 濾光片，則在主掃描方向上會(huì)生成線條狀的噴出不均。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是為了解決上述課題的至少一部分而完成的發(fā)明，用以下的 實(shí)施方式或應(yīng)用例可以實(shí)現(xiàn)。本應(yīng)用例的液狀體的噴出方法，其包括噴出工序，即與對(duì) 向配置多個(gè)噴嘴和具有膜形成區(qū)域的被噴出物并使之相對(duì)移動(dòng)的掃描同 步，向設(shè)置在每個(gè)上述噴嘴上的能量生成機(jī)構(gòu)施加分時(shí)生成的多個(gè)驅(qū)動(dòng)波 形的一部分，從上述多個(gè)噴嘴以液滴的形式將含有功能性材料的液狀體噴 出到上述膜形成區(qū)域，其特征在于，
在上述噴出工序中，在上述掃描過程中，向由上述多個(gè)噴嘴構(gòu)成的噴 嘴列中的、與上述膜形成區(qū)域相關(guān)的相鄰噴嘴的上述能量生成機(jī)構(gòu)，施加 上述多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形中互不相同的噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形，并且改變所施加的 上述不同的噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合至少一次以上。
根據(jù)該方法，在多個(gè)噴嘴和被噴出物的掃描中，從由多個(gè)噴嘴構(gòu)成的 噴嘴列中的與膜形成區(qū)域有關(guān)的噴嘴，以不同的噴出時(shí)間噴出液滴。另外， 由于對(duì)施加給不同噴嘴的能量生成機(jī)構(gòu)的不同噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組 合進(jìn)行至少一次以上的改變，所以由于相鄰噴嘴之間的噴出特性的偏差， 可以防止噴出量有偏倚的液滴在掃描方向被持續(xù)噴出。由此，可以避免噴 嘴列中的至少電串?dāng)_，同時(shí)可以分散與不同的噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形組合的 選擇相伴隨的、沿著掃描方向被噴出的液滴噴出量的偏倚。即，可以減輕 掃描方向上的線條狀的噴出不均。在上述應(yīng)用例的液狀體的噴出方法中，在上述噴出工序中， 可以進(jìn)行多次上述掃描，從上述多個(gè)噴嘴向上述膜形成區(qū)域噴出上述液 滴，使每一次上述掃描時(shí)施加給與上述膜形成區(qū)域有關(guān)的相鄰噴嘴的上述 能量生成機(jī)構(gòu)的上述不同噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合不同。
根據(jù)該方法，在多次掃描的每一次中，施加給與膜形成區(qū)域有關(guān)的相 鄰噴嘴的能量生成機(jī)構(gòu)的不同噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合不同，所以可以 進(jìn)一步減輕掃描方向上的線條狀的噴出不均。在上述應(yīng)用例的液狀體的噴出方法中，其特征在于，上述 被噴出物具有至少排列在上述掃描方向上的多個(gè)上述膜形成區(qū)域，在上述 噴出工序中，使得施加給上述相鄰噴嘴的上述能量生成機(jī)構(gòu)的上述不同噴 出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合，對(duì)于噴出的異種的上述液狀體的每種而言是不 同的。
根據(jù)該方法，在將異種的液狀體噴出到對(duì)應(yīng)的膜形成區(qū)域時(shí)，對(duì)于液 狀體的每種而言，使施加給與膜形成區(qū)域有關(guān)的相鄰噴嘴的能量生成機(jī)構(gòu) 的不同的噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合不同，所以可以將沿著掃描方向噴出 的液滴的噴出量的偏倚按照異種液狀體的每種來分散。即，即便將異種的 液狀體從多個(gè)噴嘴噴出，掃描方向的線條狀的噴出不均也不被強(qiáng)調(diào)。在上述應(yīng)用例的液狀體的噴出方法中，上述被噴出物具有 至少排列在上述掃描方向上的多個(gè)上述膜形成區(qū)域，在上述噴出工序中， 使得施加給上述相鄰噴嘴的上述能量生成機(jī)構(gòu)的上述不同噴出時(shí)間的驅(qū) 動(dòng)波形的組合，對(duì)于各上述膜形成區(qū)域而言是不同的。
根據(jù)該方法，可以將與不同的噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合的選擇相伴 隨的、掃描方向上的液滴的噴出量的偏倚按照各膜形成區(qū)域來分散。艮口， 可以在各膜形成區(qū)域抑制掃描方向的線條狀的噴出不均，使其不明顯。在上述應(yīng)用例的液狀體的噴出方法中，在上述噴出工序 中，可以對(duì)于各上述膜形成區(qū)域而言，從上述相鄰噴嘴的每一個(gè)沿著上述 掃描的方向噴出多個(gè)上述液滴，使每一次上述液滴噴出時(shí)施加給上述相鄰 噴嘴的上述能量生成機(jī)構(gòu)的上述不同噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合不同。
根據(jù)該方法，可以將與不同的噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合的選擇相伴 隨的、掃描方向上的液滴的噴出量的偏倚按每次液滴噴出來分散。即，可 以在每次液滴噴出時(shí)抑制掃描方向的液滴的噴出量的偏倚，使其不明顯。在上述應(yīng)用例的液狀體的噴出方法中，在上述噴出工序
中，優(yōu)選按照使施加上述多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形中的一部分的上述能量生成機(jī)構(gòu)的 數(shù)量在每個(gè)上述驅(qū)動(dòng)波形時(shí)大致相同的方式，設(shè)定上述不同噴出時(shí)間的驅(qū) 動(dòng)波形的組合。
根據(jù)該方法，在每個(gè)驅(qū)動(dòng)波形時(shí)施加的能量生成機(jī)構(gòu)的數(shù)量大致相 同，所以施加給與膜形成區(qū)域有關(guān)的相鄰噴嘴的能量生成機(jī)構(gòu)電負(fù)荷大致 相同。因此，每個(gè)驅(qū)動(dòng)波形的衰減方式大致相同，可以減輕與驅(qū)動(dòng)波形的 組合的選擇相伴隨的、掃描方向的液滴的噴出量的偏倚。在上述應(yīng)用例的液狀體的噴出方法中，其特征在于，向上 述能量生成機(jī)構(gòu)施加以規(guī)定的周期生成的上述多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形當(dāng)中的一部 分。
根據(jù)該方法，以規(guī)定的周期向與膜形成區(qū)域有關(guān)的相鄰噴嘴施加噴出 時(shí)間不同的驅(qū)動(dòng)波形。因此，在避免電串?dāng)_的同時(shí)，噴出時(shí)間之間的噴出 條件變得一樣，在掃描方向上，可以使液滴的噴出量穩(wěn)定化。在上述應(yīng)用例的液狀體的噴出方法中，可以向上述能量生 成機(jī)構(gòu)施加在一個(gè)周期內(nèi)生成的上述多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形中的一部分。
根據(jù)該方法，可以避免電串?dāng)_，同時(shí)在一個(gè)周期內(nèi)從相鄰噴嘴向膜形 成區(qū)域噴出多個(gè)液滴。即，能夠在更短的時(shí)間內(nèi)向膜形成區(qū)域噴出規(guī)定量 的液狀體。在上述應(yīng)用例的液狀體的噴出方法中，可以向上述能量生 成機(jī)構(gòu)施加非周期性生成的上述多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形中的一部分。
根據(jù)該方法，在每個(gè)噴出時(shí)間噴出條件不同，所以在掃描方向上生成 液滴的噴出量的變動(dòng)。由此，除了由噴嘴間的噴出特性的偏差引起的噴出 量的變動(dòng)之外，還有掃描方向的噴出量的變動(dòng)，可以二維地使噴出量的變 動(dòng)分散。這樣的被二維分散的噴出不均與線條狀(一維的)噴出不均相比， 辨識(shí)性更低，所以結(jié)果出現(xiàn)使噴出不均不明顯的效果。本應(yīng)用例的彩色濾光片的制造方法，是在基板上被劃分形 成的多個(gè)膜形成區(qū)域上具有至少三種顏色的著色層的彩色濾光片的制造 方法，其特征在于，具有使用上述液狀體的噴出方法將含有著色材料的 至少三種顏色的液狀體噴出到上述多個(gè)膜形成區(qū)域的噴出工序；和硬化被 噴出的上述液狀體，以形成上述至少三種顏色的著色層的硬化工序。
根據(jù)該方法，可以抑制掃描方向上的液滴的噴出量的偏倚，減輕由線 條狀的噴出不均引起的顏色不均，以良好的合格率制造彩色濾光片。本應(yīng)用例的有機(jī)EL元件的制造方法，是在基板上被劃分 形成的多個(gè)膜形成區(qū)域上至少具有發(fā)光層的有機(jī)EL元件的制造方法，其 特征在于，具有使用上述液狀體的噴出方法將含有發(fā)光層形成材料的液 狀體噴出到上述多個(gè)膜形成區(qū)域的噴出工序；和硬化被噴出的上述液狀 體，以形成上述發(fā)光層的硬化工序。
根據(jù)該方法，可以抑制掃描方向上的液滴的噴出量的偏倚，減輕由線 條狀的噴出不均引起的發(fā)光不均或亮度不均，以良好的合格率制造有機(jī) EL元件。


圖1是表示液滴噴出裝置的結(jié)構(gòu)的示意立體圖。
圖2 (a)是表示液滴噴頭的結(jié)構(gòu)的示意立體圖，(b)是表示液滴噴 頭的多個(gè)噴嘴的配置的示意俯視圖。
圖3是表示控制裝置和與控制裝置有關(guān)的各部的電結(jié)構(gòu)的框圖。 圖4是表示彩色濾光片的俯視圖。 圖5是表示彩色濾光片的制造方法的流程圖。 圖6 (a) (f)是表示彩色濾光片的制造方法的示意剖視圖。 圖7是表示驅(qū)動(dòng)波形和控制信號(hào)的關(guān)系的時(shí)間圖。 圖8是表示實(shí)施例1的液狀體的噴出方法的示意圖。 圖9是表示實(shí)施例2的液狀體的噴出方法的示意圖。 圖10是表示實(shí)施例3的液狀體的噴出方法的示意圖。 圖11是表示實(shí)施例4的液狀體的噴出方法的示意圖。 圖12是表示液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)的示意分解立體圖。 圖13是表示有機(jī)EL顯示裝置的示意剖視圖。 圖14 (a) (f)是表示有機(jī)EL元件的制造方法的示意剖視圖。 圖中2…膜形成區(qū)域，3、 3R、 3G、 3B…著色層，10…彩色濾光片， 22…噴嘴，29…作為能量生成機(jī)構(gòu)的壓電元件，30…液滴，IOOR、 IOOG、 100B…含有發(fā)光層形成材料的液狀體，603…作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元
件部，617R、 617G、 617B、 Lu…發(fā)光層，A…作為膜形成區(qū)域的發(fā)光層 形成區(qū)域，W…作為被噴出物的工件。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。其中，對(duì)于在以下的說明中 使用的各附圖，為了成為可以辨識(shí)各部的大小，適當(dāng)變更各部的縮放比例。 (實(shí)施方式1) <液滴噴出裝置>
首先，對(duì)于本實(shí)施方式的液滴噴出裝置的結(jié)構(gòu)，參照?qǐng)D1 圖3進(jìn)行 說明。圖1是表示液滴噴出裝置的結(jié)構(gòu)的示意立體圖。如圖1所示，液滴 噴出裝置100是向作為被噴出物的工件W上以液滴的形式噴出液狀體， 形成由液狀體構(gòu)成的膜的裝置。具有載置工件W的平臺(tái)104、和搭載有 向載置的工件W以液滴的形式噴出液狀體的多個(gè)液滴噴頭20 (參照?qǐng)D2) 的頭單元101。
此外，具有用于使頭單元101在副掃描方向(X方向)上驅(qū)動(dòng)的X 方向引導(dǎo)軸102、和使X方向引導(dǎo)軸102旋轉(zhuǎn)的X方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)103。另 外，具有用于在與副掃描方向垂直的主掃描方向(Y方向)引導(dǎo)平臺(tái) 104的Y方向引導(dǎo)軸105、和卡合在Y方向引導(dǎo)軸105上并旋轉(zhuǎn)的Y方 向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)106。具有這些X方向引導(dǎo)軸102和Y方向引導(dǎo)軸105配設(shè) 在上部的基臺(tái)107，該基臺(tái)107的下部具有控制裝置108。
進(jìn)而，為了對(duì)頭單元IOI的多個(gè)液滴噴頭20進(jìn)行清洗(恢復(fù)處理)， 具有沿著Y方向引導(dǎo)軸105移動(dòng)的清洗裝置109、和用于加熱被噴出的液 狀體并使溶劑蒸發(fā)、干燥的加熱器lll。清洗裝置109具有卡合在Y方向 引導(dǎo)軸105上并旋轉(zhuǎn)的Y方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)110。
頭單元101上具有將液狀體涂敷在工件W上的多個(gè)液滴噴頭20 (參 照?qǐng)D2)。此外，通過這些多個(gè)液滴噴頭20，根據(jù)從控制裝置108提供的 噴出用的控制信號(hào)，可以分開噴出液狀體。關(guān)于該液滴噴頭20，如后所 述。
X方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)103并不限于此，例如是步進(jìn)馬達(dá)等，當(dāng)從控制裝置 108供給了驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)時(shí)，使X方向引導(dǎo)軸102旋轉(zhuǎn)。使在X方向引
導(dǎo)軸102上卡合的頭單元101在X方向上移動(dòng)。
同樣地，Y方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)106、 IIO并不限于此，例如是步進(jìn)馬達(dá)等， 當(dāng)從控制裝置108供給了驅(qū)動(dòng)脈沖信號(hào)時(shí)，使在Y方向引導(dǎo)軸105上卡 合并旋轉(zhuǎn)且具備Y方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)106、 110的平臺(tái)104以及清洗裝置109 在Y方向上移動(dòng)。
就清洗裝置109而言，在對(duì)液滴噴頭20進(jìn)行清洗時(shí)，向面對(duì)頭單元 101的位置移動(dòng)，與液滴噴頭20的噴嘴面密接，進(jìn)行如下處理，即對(duì)不 需要的液狀體的進(jìn)行吸引的加蓋、對(duì)附著有液狀體等的噴嘴面進(jìn)行擦拭的 擦除、從液滴噴頭20的所有噴嘴進(jìn)行液狀體的噴出的預(yù)噴出或者接收不 需要的液狀體并使其排出的處理。省略對(duì)清洗機(jī)構(gòu)109的詳細(xì)描述。
加熱器111并不限于此，例如是通過燈退火對(duì)工件W進(jìn)行熱處理的 機(jī)構(gòu)，對(duì)噴出到工件W上的液狀體進(jìn)行加熱，進(jìn)行用于使溶劑蒸發(fā)而變 換成膜的熱處理。該加熱器111的電源接通以及切斷也是由控制裝置108 來控制的。
就液滴噴出裝置100的涂敷動(dòng)作而言，從控制裝置108將規(guī)定的驅(qū)動(dòng) 脈沖信號(hào)輸送給X方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)103以及Y方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)106，使頭單 元101在副掃描方向(X方向)上相對(duì)移動(dòng)，使平臺(tái)104在主掃描方向(Y 方向)上相對(duì)移動(dòng)。此外，在該相對(duì)移動(dòng)期間，從控制裝置108供給噴出 用的控制信號(hào)，從各液滴噴頭20以液滴的形式向工件W的規(guī)定區(qū)域噴出 液狀體進(jìn)行涂敷。
圖2是表示液滴噴頭的結(jié)構(gòu)的示意圖。該圖(a)是表示液滴噴頭的 結(jié)構(gòu)的示意立體圖，該圖(b)是表示液滴噴頭的多個(gè)噴嘴的配置的示意 俯視圖。其中，該圖為了明確結(jié)構(gòu)而進(jìn)行了適當(dāng)放大或縮小。
如圖2 (a)所示，液滴噴頭20是由具有多個(gè)噴嘴22的噴嘴板21、 包括與各噴嘴22對(duì)應(yīng)并將其進(jìn)行分區(qū)的分區(qū)部24并形成有液狀體的流路 的貯備板23、和具有作為能量生成機(jī)構(gòu)的壓電元件(piezo) 29的振動(dòng)板 28構(gòu)成的三層結(jié)構(gòu)的所謂壓電方式噴墨頭。由噴嘴板21和貯備板23的 分區(qū)部24以及振動(dòng)板28構(gòu)成多個(gè)壓力生成室25。各噴嘴22分別與各壓 力生成室25連通。另外，壓電元件29按照與各壓力生成室25相對(duì)應(yīng)的 方式在振動(dòng)板28上配設(shè)有多個(gè)。
在貯備板23上設(shè)置有臨時(shí)貯存通過形成在振動(dòng)板28上的供給孔28a 從容器(省略圖示)供給的液狀體的共用流路27。另外，填充在共用流 路27中的液狀體通過供給口 26被提供給各壓力生成室25。
如圖2 (b)所示，液滴噴頭20具有兩個(gè)噴嘴列22a、 22b，多個(gè)(180 個(gè))噴嘴22分別以間距P,進(jìn)行排列。噴嘴22的直徑大約為28,。此外， 兩個(gè)噴嘴列22a、 22b相互間錯(cuò)開間距Pi的一半即噴嘴間距P2的狀態(tài)被配 設(shè)在噴嘴板21上。此時(shí)，間距P,大約為140pm。由此，當(dāng)從與噴嘴列22a、 22b正交的方向觀察時(shí)，360個(gè)噴嘴22成為以大致70jLim的噴嘴間距P2 排列的狀態(tài)。因此，具有兩個(gè)噴嘴列22a、 22b的液滴噴頭20的有效噴嘴 的全長為噴嘴間距P2X359 (大約25mm)。另外噴嘴列22a、 22b的間隔 大約為2.54mm。
液滴噴頭20在作為電信號(hào)的驅(qū)動(dòng)波形被施加給壓電元件29時(shí)，壓電 元件29自身產(chǎn)生變形，使得振動(dòng)板28產(chǎn)生變形。由此，引起壓力生成室 25的體積變動(dòng)，由此引起的泵作用對(duì)填充在壓力生成室25內(nèi)的液狀體加 壓，可以從噴嘴22將液狀體以液滴30的形式噴出。
其中，本實(shí)施方式的液滴噴頭20具有所謂兩串的噴嘴列22a、 22b， 但并不限于此，也可以為一串。進(jìn)而，使液狀體以液滴30的形式從噴嘴 22噴出的能量生成機(jī)構(gòu)，并不限于壓電元件29，還可以是作為電熱變換 元件的加熱器或作為電機(jī)械變換元件的靜電執(zhí)行元件等。
圖3是表示控制裝置以及與控制裝置有關(guān)的各部的電結(jié)構(gòu)的框圖。如 圖3所示，控制裝置108具有從外部信息處理裝置接收液狀體的噴出數(shù) 據(jù)的輸入緩沖存儲(chǔ)器120、和將臨時(shí)存儲(chǔ)在輸入緩沖存儲(chǔ)器120中的噴出 數(shù)據(jù)在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)(RAM)中展開并向關(guān)聯(lián)的各部發(fā)送控制信號(hào)的處理部 122。另外，還具有接收來自處理部122的控制信號(hào)并向X方向驅(qū)動(dòng)馬 達(dá)103和Y方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)106發(fā)送位置控制信號(hào)的掃描驅(qū)動(dòng)部123、和接 收同樣來自處理部122的控制信號(hào)并向液滴噴頭20發(fā)送驅(qū)動(dòng)電壓脈沖(驅(qū) 動(dòng)波形)的頭驅(qū)動(dòng)部124。
由輸入緩沖存儲(chǔ)器120接收的噴出數(shù)據(jù)包括表示工件W上的膜形 成區(qū)域的相對(duì)位置的數(shù)據(jù)、表示液狀體的液滴作為點(diǎn)如何配置在膜形成區(qū) 域的數(shù)據(jù)、和指定對(duì)液滴噴頭20的噴嘴列22a、 22b中的哪個(gè)噴嘴22進(jìn)
行驅(qū)動(dòng)(接通一斷開)的數(shù)據(jù)。
處理部122從儲(chǔ)存在作為存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)的RAM121中的噴出數(shù)據(jù)中將與 膜形成區(qū)域有關(guān)的位置的控制信號(hào)發(fā)送給掃描驅(qū)動(dòng)部123。掃描驅(qū)動(dòng)部 123接收該控制信號(hào)，并向X方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)103發(fā)送位置控制信號(hào)，使液 滴噴頭20在副掃描方向(X方向)上移動(dòng)。另外，向Y方向驅(qū)動(dòng)馬達(dá)106 發(fā)送位置控制信號(hào)，使保持有工件W的平臺(tái)104在主掃描方向(Y方向) 上移動(dòng)。由此，按照將液狀體的液滴30從液滴噴頭20噴出到工件W的 所需要的位置上的方式，使液滴噴頭20與工件W相對(duì)移動(dòng)。
另外，處理部122從儲(chǔ)存在RAM121的噴出數(shù)據(jù)中，將表示液狀體 的液滴30作為點(diǎn)如何配置在膜形成區(qū)域的數(shù)據(jù)，變換成每個(gè)噴嘴22的 4bit的噴出位圖數(shù)據(jù)，發(fā)送給頭驅(qū)動(dòng)部124。另外，根據(jù)指定對(duì)液滴噴頭 20的噴嘴列22a、 22b中的哪個(gè)噴嘴22進(jìn)行驅(qū)動(dòng)(接通一斷開)的數(shù)據(jù)， 將何時(shí)發(fā)出向液滴噴頭20的壓電元件29施加的驅(qū)動(dòng)電壓脈沖(驅(qū)動(dòng)波形) 的作為"時(shí)間檢測信號(hào)"的鎖存(LAT)信號(hào)和溝道(CH)信號(hào)發(fā)送給 頭驅(qū)動(dòng)部124。頭驅(qū)動(dòng)部124接收這些控制信號(hào)并向液滴噴頭20發(fā)送適 當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)電壓脈沖(驅(qū)動(dòng)波形)，從噴嘴22噴出液狀體的液滴30。
如圖2所示，各噴嘴列22a、 22b分別與獨(dú)立的共用流路27連通。因 此，當(dāng)向構(gòu)成各噴嘴列22a、 22b的180個(gè)噴嘴22的壓電元件29分別同 時(shí)施加驅(qū)動(dòng)波形時(shí)，在相鄰的噴嘴22之間，容易出現(xiàn)液滴的噴出量(體 積或重量)或噴出速度生成變動(dòng)的電、機(jī)械串?dāng)_。
因此，在本實(shí)施方式中，處理部122向頭驅(qū)動(dòng)部124發(fā)送LAT信號(hào) 和CH信號(hào)，以便不是同時(shí)從與膜形成區(qū)域有關(guān)的相鄰噴嘴22噴出液滴。 具體而言，頭驅(qū)動(dòng)部124對(duì)應(yīng)于LAT信號(hào)以規(guī)定的周期產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)電壓脈 沖(驅(qū)動(dòng)波形)。此外，處理部122按照與工件W和液滴噴頭20的相對(duì) 移動(dòng)同步并將時(shí)序上不同的驅(qū)動(dòng)波形施加給與上述相鄰噴嘴22對(duì)應(yīng)的壓 電元件29的方式，向頭驅(qū)動(dòng)部124發(fā)送CH信號(hào)。進(jìn)而，在主掃描中， 按照對(duì)施加給與上述相鄰噴嘴22相對(duì)應(yīng)的壓電元件29的驅(qū)動(dòng)波形的組合 進(jìn)行至少一次以上的改變的方式，向頭驅(qū)動(dòng)部124發(fā)送控制信號(hào)。由此， 在避免電串?dāng)_的同時(shí)，減輕機(jī)械串?dāng)_的產(chǎn)生。
<彩色濾光片>
接著，對(duì)本實(shí)施方式的彩色濾光片進(jìn)行說明。圖4是表示彩色濾光片 的俯視圖。
如圖4所示，彩色濾光片10是在作為透明基板的玻璃基板1的表面 具有對(duì)多個(gè)膜形成區(qū)域2進(jìn)行分區(qū)的隔壁部4。在隔膜形成區(qū)域2形成有 三種顏色(R:紅、G:綠、B:藍(lán))的著色層3。關(guān)于各著色層3R、 3G、 3B，相同顏色的著色層3彼此配置成直線。g卩，彩色濾光片10具有條紋 方式的著色層3。
<彩色濾光片的制造方法>
接著，參照?qǐng)D5以及圖6對(duì)本實(shí)施方式的彩色濾光片的制造方法進(jìn)行 說明。圖5是表示彩色濾光片的制造方法的流程圖。圖6 (a) (f)是 表示彩色濾光片的制造方法的示意剖視圖。另外，本實(shí)施方式的彩色濾光 片10的制造方法是使用前述的液滴噴出裝置100和后述的液狀體的噴出 方法的方法。
如圖5所示，本實(shí)施方式的彩色濾光片10的制造方法具有在玻璃 基板1上形成隔壁部4的工序(步驟SO、和對(duì)形成有隔壁部4的玻璃基 板l的表面進(jìn)行處理的工序(步驟S2)。此外，還具有向己實(shí)施表面處 理的玻璃基板1噴出含有作為功能性材料的著色材料的三種顏色的液狀 體的工序(步驟S3)、和對(duì)已噴出的液狀體進(jìn)行干燥和硬化而形成著色層 3的工序(步驟S4)。進(jìn)而，還具有以覆蓋所形成的隔壁部4和著色層 3的方式形成平坦化層的工序(步驟S5)、和在平坦化層上形成透明電極 的工序(步驟S6)。
圖5的步驟Sl是隔壁形成工序。在步驟Sl中，如圖6 (a)所示， 首先在玻璃基板1的表面形成第一隔壁部4a以對(duì)膜形成區(qū)域2進(jìn)行分區(qū)。 作為形成方法，利用真空蒸鍍法或噴濺法使Cr或Al等金屬膜或金屬化合 物的膜在玻璃基板1的表面成膜以使其具有遮光性。此外，利用光刻法， 涂敷感光性樹脂(光致抗蝕劑)并進(jìn)行曝光、顯影、蝕刻，以便在膜形成 區(qū)域2上形成開口。接著，利用光刻法，以大約2pm的厚度涂敷感光性 的隔壁部形成材料，進(jìn)行曝光、顯影，在第一隔壁部4a上形成第二隔壁 部4b。隔壁部4成為由第一隔壁部4a和第二隔壁部4b構(gòu)成的所謂二層 圍堰結(jié)構(gòu)。其中，隔壁部4并不限于此，也可以是僅有使用具有遮光性的感光性隔壁部形成材料形成的第二隔壁部4b的一層結(jié)構(gòu)。然后，進(jìn)行至 步驟S2。
圖5的步驟S2是表面處理工序。在步驟S2中，在后來的液狀體的噴 出工序中，噴出的液狀體彈落于膜形成區(qū)域2并潤濕擴(kuò)展，由此對(duì)玻璃基 板l的表面實(shí)施親液處理。另外，對(duì)第二隔壁部4b的至少頭頂部實(shí)施疏 液處理，使得即便噴出的液狀體的一部分彈落于第二隔壁部4b也會(huì)收容 于膜形成區(qū)域2內(nèi)。
作為表面處理方法，對(duì)形成有隔壁部4的玻璃基板1進(jìn)行以02為處 理氣體的等離子體處理和以氟系氣體為處理氣體的等離子體處理。即，對(duì) 膜形成區(qū)域2實(shí)施親液處理，隨后對(duì)由感光性樹脂構(gòu)成的第二隔壁部4b 的表面(包括壁面)實(shí)施疏液處理。其中，如果形成第二隔壁部4b的材 料自身具有疏液性，也可以省掉后者的處理。然后，進(jìn)行至步驟S3。
圖5的步驟S3是液狀體的噴出工序。在步驟S3中，如圖6 (b)所 示，在液滴噴出裝置100的平臺(tái)104上載置已實(shí)施表面處理的玻璃基板1 。 此外，與載置有玻璃基板1的平臺(tái)104和液滴噴頭20向主掃描方向的相 對(duì)移動(dòng)同步，從填充了含有著色材料的液狀體液滴噴頭20的多個(gè)噴嘴22 向膜形成區(qū)域2噴出液滴30。關(guān)于向膜形成區(qū)域2噴出的液狀體的總噴 出量，為了在后來的干燥工序(步驟S4)中得到規(guī)定的膜厚，根據(jù)己預(yù) 先設(shè)定噴出次數(shù)等的噴出數(shù)據(jù)，從控制裝置108的處理部122向頭驅(qū)動(dòng)部 124發(fā)送適當(dāng)?shù)目刂菩盘?hào)進(jìn)行控制。詳細(xì)的液狀體的噴出方法如后所述。 然后，進(jìn)行至步驟S4。
圖5的步驟S4是干燥工序。在步驟S4中，如圖6 (c)所示，通過 液滴噴出裝置100所具有的加熱器111對(duì)玻璃基板1進(jìn)行加熱，從噴出的 液狀體中蒸發(fā)溶劑成分而使其硬化，形成著色材料構(gòu)成的著色層3。
圖5的步驟S5是平坦化層形成工序。在步驟S5中，如圖6 (e)所 示，以覆蓋著色層3和第二隔壁部4b的方式形成平坦化層6。作為形成 方法，可以舉出利用旋涂法、輥涂法等涂敷丙烯酸系樹脂并使其干燥的方 法。另外，還可以采用在涂敷感光性丙烯酸樹脂之后照射紫外線使其固化 的方法。膜厚大約為100nm。其中，如果形成有著色層3的玻璃基板1 的表面比較平坦，則可以省掉平坦化層形成工序。然后，進(jìn)行至步驟S6。
圖5的步驟S6是透明電極形成工序。在步驟S6中，如圖6 (f)所 示，在平坦化層6上，由ITO (Indium Tin Oxide)等構(gòu)成的透明電極7 成膜。作為成膜方法，可以舉出以ITO等導(dǎo)電材料為靶在真空中蒸鍍或?yàn)R 射的方法。膜厚大約為10nm。所形成透明電極7通過使用彩色濾光片10 的電光學(xué)裝置適當(dāng)加工成必要的形狀(圖案)。
在本實(shí)施方式中，首先，將含有R(紅色)的著色材料的液狀體噴出 到膜形成區(qū)域2，使其干燥，由此形成著色層3R，接著，按照G(綠色)、 B (藍(lán)色)的順序依次噴出含有不同著色材料的液狀體并進(jìn)行干燥，由此 如圖6 (d)所示形成三種顏色的著色層3R、 3G、 3B。其中，并不限于此， 例如，在步驟S3的液狀體的噴出工序中，將含有不同著色材料的三種顏 色的液狀體分別填充于不同的液滴噴頭20，在頭單元101上裝備各液滴 噴頭20，從各液滴噴頭20向所需要的膜形成區(qū)域2噴出液狀體。此外， 也可以使用在能使溶劑的蒸氣壓恒定而進(jìn)行干燥的減壓干燥裝置中安裝 玻璃基板1后進(jìn)行減壓干燥的方法。
<液狀體的噴出方法>
根據(jù)實(shí)施例對(duì)本實(shí)施方式的液狀體的噴出方法進(jìn)行更詳細(xì)的說明。
首先，參照?qǐng)D7對(duì)本實(shí)施方式的驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行說明。圖7是表示驅(qū)動(dòng) 波形和控制信號(hào)的關(guān)系的時(shí)間圖。
如圖7所示，對(duì)與各噴嘴22對(duì)應(yīng)的壓電元件29 (參照?qǐng)D2)，根據(jù)在 控制信號(hào)LAT的時(shí)間被鎖存的每一個(gè)噴嘴22的接通/斷開數(shù)據(jù)(噴出數(shù) 據(jù))，選擇的驅(qū)動(dòng)波形A1、 Bl、 Cl、 A2、 B2、 C2、…的一部分后進(jìn)行供 給。系外，在供給驅(qū)動(dòng)波形的時(shí)間，從噴嘴22噴出液滴30。其中，各驅(qū) 動(dòng)波形是被設(shè)計(jì)成通過提供給壓電元件29而噴出規(guī)定量的液滴30的相同 形狀、大小的波形。
驅(qū)動(dòng)波形的選擇是通過對(duì)驅(qū)動(dòng)波形的供給時(shí)間進(jìn)行規(guī)定的控制信號(hào) CH1 CH3進(jìn)行的。即，通過控制信號(hào)CH1選擇第一系統(tǒng)的時(shí)間的驅(qū)動(dòng) 波形Al、 A2、…；通過控制信號(hào)CH2選擇第二系統(tǒng)的時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形 Bl、 B2、…；通過控制信號(hào)CH3選擇第三系統(tǒng)的時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形Cl、 C2、…。
在本實(shí)施方式中，使驅(qū)動(dòng)波形的供給時(shí)間的系統(tǒng)(以控制信號(hào)LAT為基準(zhǔn)的相對(duì)序列)和壓電元件29分別建立對(duì)應(yīng)關(guān)系，所述壓電元件29 對(duì)應(yīng)于和膜形成區(qū)域2有關(guān)的噴嘴22，由此不會(huì)出現(xiàn)噴出時(shí)間的重復(fù)。 由此，至少適當(dāng)減輕電串?dāng)_，由串?dāng)_引起的噴嘴間的噴出特性(噴出量或 噴出速度等)的偏差會(huì)相對(duì)緩和。另外，各系統(tǒng)的時(shí)間變得具有周期性， 所以噴出條件在各噴出時(shí)間之間一樣，可以使液滴30的噴出量在主掃描 方向上穩(wěn)定化。另外，在控制信號(hào)LAT的一個(gè)周期內(nèi)(l個(gè)鎖存期內(nèi))生 成三個(gè)驅(qū)動(dòng)波形，所以如果在一個(gè)鎖存期內(nèi)向相同壓電元件29施加三個(gè) 驅(qū)動(dòng)波形，可以從同一噴嘴22改變噴出時(shí)間來噴出三滴液滴30。迸而， 如果分別將一個(gè)鎖存期內(nèi)的三個(gè)驅(qū)動(dòng)波形施加給其他的壓電元件29,則 可以從三個(gè)噴嘴22以不同的噴出時(shí)間噴出液滴30。以后，向噴嘴22的 壓電元件29施加驅(qū)動(dòng)波形表現(xiàn)為向噴嘴22施加驅(qū)動(dòng)波形。
在液滴噴出裝置100中，例如，使液滴噴頭20 (多個(gè)噴嘴22)與玻 璃基板1在主掃描中的相對(duì)移動(dòng)速度為200mm/秒。另夕卜，使控制信號(hào)LAT 的周期即驅(qū)動(dòng)頻率為20kHz。在該噴出條件下，關(guān)于主掃描中一次噴出的
噴出分辨率，如果以一個(gè)鎖存期為基準(zhǔn)將三個(gè)驅(qū)動(dòng)波形中的一個(gè)施加給使 用的噴嘴22，大約為10pm。換言之，當(dāng)將三個(gè)驅(qū)動(dòng)波形施加給連續(xù)使用 的噴嘴22時(shí)，可以改變噴出時(shí)間在主掃描方向上以大約3.3nm的最小間 距噴出液滴。
(實(shí)施例1)
圖8是表示實(shí)施例1的液狀體的噴出方法的示意圖。詳細(xì)而言，是表
示噴嘴列的驅(qū)動(dòng)波形的選擇和膜形成區(qū)域中液滴的配置的示意圖。
如圖8所示，對(duì)噴嘴列22a的180個(gè)噴嘴22附以噴嘴編號(hào)。另外， 例示了向各噴嘴22施加的驅(qū)動(dòng)波形的波形選擇的方法。波形選擇中的編 號(hào)1是指在圖7的第一系統(tǒng)的時(shí)間生成的驅(qū)動(dòng)波形A1、 A2…。同樣地， 編號(hào)2是指在第二系統(tǒng)的時(shí)間生成的驅(qū)動(dòng)波形B1、 B2…，編號(hào)3是在第 三系統(tǒng)的時(shí)間生成的驅(qū)動(dòng)波形C1、 C2…。以下，將圖中帶有O的編號(hào)l 3成為波形選擇的系統(tǒng)編號(hào)1 3。
膜形成區(qū)域2的大小或X方向以及Y方向上的配置間距是設(shè)計(jì)事項(xiàng)， 但在實(shí)施例1中，相對(duì)于噴嘴22的配置間距(大約14(Him)，在一次的主 掃描中，兩個(gè)噴嘴22成為與各自的膜形成區(qū)域2相關(guān)聯(lián)的狀態(tài)。換言之，
按照使圖4所示的彩色濾光片10的條紋方向與噴嘴列方向一致的方式， 來相對(duì)配置液滴噴頭20和玻璃基板1。
在主掃描中，不使用的噴嘴是通過對(duì)膜形成區(qū)域2進(jìn)行分區(qū)的隔壁部 4的噴嘴22以及假想被噴出的液滴的至少一部分掛在隔壁部4上的噴嘴 22。即，使其不噴出。此外，在各膜形成區(qū)域2，分別從相鄰的噴嘴22 (使用的噴嘴)在主掃描方向上噴出兩滴液滴。在膜形成區(qū)域2，從X方 向引出的點(diǎn)劃線表示當(dāng)施加第一 第三系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波形時(shí)的液滴在主掃 描方向(Y方向)上的位置。其中，圖8是對(duì)于被噴出同種液狀體的膜形 成區(qū)域2，表示選擇波形的組合和針對(duì)此的液滴的配置圖案的圖。
波形選擇1是依次反復(fù)系統(tǒng)編號(hào)1 系統(tǒng)編號(hào)3使得與噴嘴編號(hào)l 180對(duì)應(yīng)。波形選擇2是相對(duì)于波形選擇1將系統(tǒng)編號(hào)1 系統(tǒng)編號(hào)3的 選擇順序錯(cuò)開一個(gè)。波形選擇3是相對(duì)于波形選擇2將系統(tǒng)編號(hào)1 系統(tǒng) 編號(hào)3的選擇順序錯(cuò)開一個(gè)。
實(shí)施例1的液狀體的噴出方法是以上述噴嘴列22a中的波形選擇為前 提的。S卩，為了不在相同時(shí)間施加驅(qū)動(dòng)波形，從第一 第三系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波 形中選擇(組合)兩個(gè)系統(tǒng)施加給與膜形成區(qū)域2有關(guān)的相鄰噴嘴22。
在應(yīng)用了波形選擇l時(shí)，例如，向噴嘴編號(hào)2的噴嘴22施加第二系 統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波形B1、 B2。向相鄰的噴嘴編號(hào)3的噴嘴22施加第三系統(tǒng)的驅(qū) 動(dòng)波形C1、 C2。由此，從噴嘴編號(hào)2、 3的各噴嘴22向膜形成區(qū)域2噴 出的液滴的配置如同A圖案那樣是4個(gè)液滴在主掃描方向上相互錯(cuò)開。
如果應(yīng)用波形選擇l向在主掃描方向上排列的各膜形成區(qū)域2反復(fù)噴 出液滴，通常向使用的噴嘴22施加同一系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波形。如此，在相鄰 的噴嘴22之間，盡管至少可以避免電串?dāng)_，但通過噴嘴22之間的噴出特 性偏差，所噴出的液滴的噴出量有可能生成偏差。如果從相鄰的噴嘴22 沿著主掃描方向連續(xù)噴出噴出量有偏差的液滴，則出現(xiàn)線條狀的噴出不均 而顯現(xiàn)出來。
在實(shí)施例1的液狀體的噴出方法中，為了抑制這樣的噴出不均，在主 掃描中，對(duì)于每個(gè)膜形成區(qū)域2，改變施加給相鄰噴嘴22的驅(qū)動(dòng)波形的 系統(tǒng)。具體而言，對(duì)于每個(gè)膜形成區(qū)域2應(yīng)用波形選擇1、 2、 3當(dāng)中的任 意，所以液滴的配置成為A圖案、B圖案、C圖案當(dāng)中的任意一個(gè)。可以
自A圖案至C圖案依次反復(fù)，還可以是隨機(jī)的。優(yōu)選相同液滴的噴制圖 案不是連續(xù)的。即，使由噴嘴22之間的噴出特性偏差引起的液滴的噴出 量的偏差在主掃描方向上分散。 (實(shí)施例2)
接著，關(guān)于實(shí)施例2的液狀體的噴出方法，以其與實(shí)施例1的不同點(diǎn) 為中心進(jìn)行說明。圖9是表示實(shí)施例2的液狀體的噴出方法的示意圖。
如圖9所示，實(shí)施例2的液狀體的噴出方法相對(duì)于實(shí)施例1而言，在 波形選擇1中第一 第三系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波形向噴嘴編號(hào)的分配方法是不同 的。具體而言，當(dāng)描述噴嘴列22a中驅(qū)動(dòng)波形的系統(tǒng)的排列順序時(shí)，為系 統(tǒng)編號(hào)1、 2、 3、 2、 3、 1、 3、 1、 2…(以下為其重復(fù))。通過這樣的波 形選擇，不會(huì)對(duì)相鄰噴嘴22施加相同系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波形。另外，按照被施 加相同系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波形的噴嘴22的數(shù)量(使用的噴嘴22的數(shù)量)在各系 統(tǒng)中大致相等的方式進(jìn)行設(shè)定。由此，使液滴噴出時(shí)的各驅(qū)動(dòng)波形的變形 方式大致均勻化，對(duì)由驅(qū)動(dòng)波形的變形引起的液滴的噴出量的偏倚進(jìn)行抑 制。其他噴出條件(波形選擇的方法)與實(shí)施例l相同。
艮口，由于在每個(gè)膜形成區(qū)域2應(yīng)用波形選擇1、2、3當(dāng)中的任意一個(gè)， 所以液滴的配置成為D圖案、E圖案、F圖案當(dāng)中的任意一種。 (實(shí)施例3)
接著，關(guān)于實(shí)施例3的液狀體的噴出方法，以其與實(shí)施例2的不同點(diǎn) 為中心進(jìn)行說明。圖10是表示實(shí)施例3的液狀體的噴出方法的示意圖。
如圖IO所示，實(shí)施例3的液狀體的噴出方法相對(duì)于實(shí)施例2而言， 在波形選擇1中第一 第三系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波形向噴嘴編號(hào)的分配方法是相 同的，但對(duì)于來自相同噴嘴22的液滴的噴出，依次替換波形選擇1 6。 波形選擇2 6相對(duì)于波形選擇1，是將第一 第三系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波形的選 擇依次錯(cuò)開一個(gè)噴嘴。由此，液滴的配置成為G圖案、H圖案、J圖案中 的任意。由此，在與膜形成區(qū)域2有關(guān)的相鄰噴嘴22中，每當(dāng)噴出液滴 時(shí)，驅(qū)動(dòng)波形的系統(tǒng)就會(huì)改變。換言之，對(duì)于相同噴嘴22，在每次噴出 液滴時(shí)都施加不同的驅(qū)動(dòng)波形。因此，可以進(jìn)一步分散在各膜形成區(qū)域2 配置的液滴的噴出量的偏倚。 (實(shí)施例4)
接著，關(guān)于實(shí)施例4的液狀體的噴出方法，以其與實(shí)施例1的不同點(diǎn) 為中心進(jìn)行說明。圖11是表示實(shí)施例4的液狀體的噴出方法的示意圖。
如圖11所示，實(shí)施例4的液狀體的噴出方法相對(duì)于實(shí)施例1而言， 噴嘴列22a與膜形成區(qū)域2的相對(duì)配置是不同的。在實(shí)施例4中，被噴出 同種液狀體的膜形成區(qū)域2在主掃描方向(Y方向)上連續(xù)排列。在副掃 描方向(X方向)上，被噴出異種液狀體的膜形成區(qū)域2隔開規(guī)定的間隔 排列。因此，通過噴出一次而使用的噴嘴22的數(shù)量比實(shí)施例1少。進(jìn)而， 與實(shí)施例2 —樣，按照在每個(gè)驅(qū)動(dòng)波形使用的噴嘴22的數(shù)量大致相等的 方式進(jìn)行設(shè)定。由此，每個(gè)驅(qū)動(dòng)波形的噴出所引起的電負(fù)荷進(jìn)一步減小。 對(duì)于每個(gè)被噴出同種液狀體的膜形成區(qū)域2，施加給使用的噴嘴22的驅(qū)
動(dòng)波形的組合(波形選擇)不同，這一點(diǎn)與實(shí)施例l相同。所以，液滴的 配置成為K圖案、L圖案、M圖案的任意一種，由驅(qū)動(dòng)波形的變形引起 的液滴噴出量的偏倚被進(jìn)一步抑制。其中，在實(shí)施例4的情況下，在主掃 描中，將液滴配置在矩形的膜形成區(qū)域2的長度方向，所以從使用的噴嘴 22向各膜形成區(qū)域2噴出的液滴數(shù)量(噴出數(shù))不只是兩滴，還可以進(jìn) 一步增加。
在上述實(shí)施例1 實(shí)施例4中，為了方便起見，上述的說明僅著眼于 噴嘴列22a，但實(shí)際上就補(bǔ)齊噴嘴列22a的間距那樣的位置而言，也是從 噴嘴列22b (參照?qǐng)D2)進(jìn)行相同的噴出。
另外，向膜形成區(qū)域2賦予的液狀體的總噴出量(必須量)，根據(jù)所 要求的膜的特性(如果是彩色濾光片，則為透光率、色度、彩度等光學(xué)特 性)，考慮膜形成區(qū)域2的大小(面積)或液狀體的溶質(zhì)濃度來確定。因 此，在通過多次主掃描向膜形成區(qū)域2賦予上述總噴出量的情況下，優(yōu)選 在每次主掃描時(shí)使上述液滴的配置圖案不同。即，優(yōu)選在每次主掃描時(shí)使 波形選擇的組合不同。由此，可以進(jìn)一步分散液滴的噴出量的偏倚。
進(jìn)而，如果使多個(gè)噴嘴22 (液滴噴頭20)進(jìn)行副掃描，改變與膜形 成區(qū)域2有關(guān)的噴嘴22進(jìn)行主掃描，則可以使由噴嘴間的噴出特性偏差 引起的液滴噴出量的偏倚得到進(jìn)一步分散。
如此改變施加給與膜形成區(qū)域2有關(guān)的相鄰噴嘴22的不同噴出時(shí)間 的驅(qū)動(dòng)波形的組合，可以通過在每次主掃描時(shí)進(jìn)行至少一次來發(fā)揮相應(yīng)的作用和效果。
另外，在上述實(shí)施例1 實(shí)施例4中，相對(duì)于波形選擇l，在噴嘴列 方向上將第一 第三系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波形的選擇依次錯(cuò)開一個(gè)噴嘴來設(shè)定其 他的波形選擇，這在將液滴的配置圖案進(jìn)行噴出數(shù)據(jù)化時(shí)，可以沿襲引用 了波形選擇1的液滴的配置圖案，所以可以比較容易地進(jìn)行。
<液晶顯示裝置>
接著，簡單說明具有彩色濾光片的液晶顯示裝置。圖12是表示液晶 顯示裝置的結(jié)構(gòu)的示意分解立體圖。
如圖12所示，液晶顯示裝置200具有TFT (Thin Film Transistor) 透過型的液晶顯示面板220、和對(duì)液晶顯示面板220進(jìn)行照明的照明裝置 216。液晶顯示面板220具有具有彩色濾光片的對(duì)向基板201、具有連 接像素電極210和三個(gè)端子中的一個(gè)的TFT元件211的元件基板208、和 由一對(duì)基板201、 208夾持的液晶(省略圖示)。另外，在成為液晶顯示面 板220的外面?zhèn)鹊囊粚?duì)基板201、 208的表面，配設(shè)使透過的光偏向的上 偏振片214和下偏振片215。
對(duì)向基板201是由透明的玻璃等材料形成，在夾持液晶的表面?zhèn)?，?由隔壁部204進(jìn)行矩陣狀分區(qū)的多個(gè)膜形成區(qū)域，形成有紅色(R)、綠 色(G)、藍(lán)色(B)三種顏色的彩色濾光片205R、 205G、 205B。隔壁部 204是由下層圍堰202和上層圍堰203構(gòu)成，所述下層圍堰202是由Cr 等具有遮光性的金屬或其氧化膜形成并被成為黑矩陣，所述上層圍堰203 形成下層圍堰202上(在附圖中朝下)且由有機(jī)化合物形成。另外，還具 有作為對(duì)隔壁部204和彩色濾光片205R、 205G、 205B進(jìn)行覆蓋的平坦 化層的覆蓋層(OC層)206、和以覆蓋OC層206的方式形成的由ITO (Indium Tin Oxide)等透明導(dǎo)電膜等構(gòu)成的對(duì)向電極207。對(duì)向基板201 使用上述實(shí)施方式的彩色濾光片10的制造方法進(jìn)行制造(應(yīng)用實(shí)施例1 乃至4的任意一個(gè)實(shí)施例)。
元件基板208同樣是由透明玻璃等材料構(gòu)成，在夾持液晶的表面?zhèn)龋?隔著絕緣膜209具有形成為矩陣狀的像素電極210和與像素電極210對(duì)應(yīng) 形成的多個(gè)TFT元件211。 TFT元件211的三個(gè)端子當(dāng)中不與像素電極 210連接的其他兩個(gè)端子，和以相互絕緣的狀態(tài)按照圍繞像素電極210的
方式配設(shè)成格子狀的掃描線212以及數(shù)據(jù)線213連接。
照明裝置216例如使用白色的LED、 EL、冷陰極管等作為光源，只 要具有能夠向液晶顯示面板220射出來自這些光源的光的導(dǎo)光板或擴(kuò)散 板、反射板等結(jié)構(gòu)，可以是任意裝置。
由于本實(shí)施方式的液晶顯示裝置200具有對(duì)向基板201，所以具有顏 色不均等顯示不均少的高顯示質(zhì)量，所述對(duì)向基板201具有使用上述實(shí)施 方式的彩色濾光片10的制造方法制造的彩色濾光片205R、 205G、 205B。
另外，液晶顯示面板220作為有源元件，并不限于此TFT元件211， 可以具有TFD (Thin Film Diode)元件，進(jìn)而，只要是在至少一方的基板 具有彩色濾光片，可以是構(gòu)成像素的電極按照相互交叉的方式配置的無源 型的液晶顯示裝置。另外，上下偏振片214、 215可以與出于改善視角依 賴性的目的等而使用的相位差薄膜等光學(xué)功能性薄膜組合使用。
根據(jù)上述實(shí)施方式l，得到以下的效果。
(1) 上述實(shí)施例1的液狀體的噴出方法，是對(duì)在主掃描方向上排列 的每個(gè)膜形成區(qū)域2所應(yīng)用的波形選擇進(jìn)行切換，所以對(duì)與膜形成區(qū)域2 有關(guān)的相鄰噴嘴22施加不同噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形，至少減輕電串?dāng)_。再 有，可以抑制多個(gè)噴嘴22的噴出特性偏差所引起的液滴噴出量的偏倚， 可以降低主掃描方向上的線條狀噴出不均。
(2) 上述實(shí)施例2的液狀體的噴出方法，當(dāng)將時(shí)間不同的第一 第 三系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)波形向噴嘴列22a的各噴嘴22進(jìn)行分配時(shí)，就各系統(tǒng)的驅(qū) 動(dòng)波形而言，設(shè)定成使用的噴嘴22的數(shù)量大致相等。因此，除了上述實(shí) 施例1的效果之外，可以使各驅(qū)動(dòng)波形的變形大致均勻化，抑制液滴的噴 出量的偏倚。
(3) 上述實(shí)施例3的液狀體的噴出方法，是對(duì)于在主掃描方向上排 列的各膜形成區(qū)域2，改變每次噴出液滴時(shí)應(yīng)用的波形選擇，所以除了上 述實(shí)施例2的效果之外，可以抑制每個(gè)膜形成區(qū)域2的液滴噴出量的偏倚，
進(jìn)一步減輕主掃描方向上的線條狀噴出不均。
(4) 上述實(shí)施例4的液狀體的噴出方法，是對(duì)在主掃描方向上連續(xù) 排列的被噴出同種液狀體的膜形成區(qū)域2的每一個(gè)，應(yīng)用不同的波形選 擇，從與該膜形成區(qū)域2有關(guān)的相鄰噴嘴22噴出液滴。與實(shí)施例2—樣，
設(shè)定成每個(gè)驅(qū)動(dòng)波形使用的噴嘴22的數(shù)量大致相等，而且與實(shí)施例1相 比，被同時(shí)施加驅(qū)動(dòng)波形的使用的噴嘴22的數(shù)量減少。由此，除了實(shí)施 例1的效果之外，與液滴的噴出有關(guān)的電負(fù)荷進(jìn)一步減小，可以進(jìn)一步抑 制由驅(qū)動(dòng)波形的變形引起的液滴噴出量的偏倚。
(5)上述實(shí)施方式1的彩色濾光片10的制造方法，使用上述液狀體 的噴出方法，分別向需要的膜形成區(qū)域2噴出三種顏色的液狀體，進(jìn)行干 燥，由此形成著色層3R、 3G、 3B。因此，可以減輕主掃描方向上的線條 狀噴出不均，以高合格率制造彩色濾光片。
(實(shí)施方式2)
接著，對(duì)具有本實(shí)施方式的有機(jī)EL (電致發(fā)光)元件的有機(jī)EL顯 示裝置和有機(jī)EL元件的制造方法進(jìn)行說明。 <有機(jī)EL顯示裝置>
圖13是表示有機(jī)EL顯示裝置的示意剖視圖。如圖13所示，有機(jī)EL 顯示裝置600具備具有作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部603的元件基板 601、和與元件基板601隔開空間622并進(jìn)行密封的密封基板620。元件 基板601在基板上具有電路元件部602。發(fā)光元件部603在電路元件部602 上重疊形成，并由電路元件部602進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。在發(fā)光元件部603上，三種 顏色的發(fā)光層617R、 617G、 617B分別形成在作為膜形成區(qū)域的發(fā)光層形 成區(qū)域A上，呈條紋狀。元件基板601是以與三種顏色的發(fā)光層617R、 617G、 617B相對(duì)應(yīng)的三個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A為一組像素，該像素在元件 基板601的電路元件部602上被配置成矩陣狀。有機(jī)EL顯示裝置600是 來自發(fā)光元件部603的發(fā)光向元件基板601側(cè)射出的裝置。
密封基板620是由玻璃或金屬構(gòu)成，所以借助密封樹脂與元件基板 601接合，在被密封的內(nèi)側(cè)表面貼附有吸氣劑621。吸氣劑621對(duì)侵入到 元件基板601和密封基板620之間的空間622的水或氧進(jìn)行吸收，防止發(fā) 光元件部603因侵入的到水或氧而劣化。其中，可以省略該吸氣劑621。
元件基板601是在電路元件部602上具有多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A的 基板，其具有對(duì)各發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn)行分區(qū)的隔壁部618、在各發(fā)光 層形成區(qū)域A上形成的電極613、在電極613上層疊的空穴注入/輸送層 ，所述發(fā)光元件部603具有向多個(gè)發(fā) 光層形成區(qū)域A內(nèi)賦予含有發(fā)光層形成材料的三種液狀體而形成的發(fā)光 層617R、 617G、 617B。隔壁部618是由下層圍堰618a和對(duì)發(fā)光層形成 區(qū)域A進(jìn)行實(shí)質(zhì)分區(qū)的上層圍堰618b構(gòu)成，下層圍堰618a被設(shè)置成向 發(fā)光層形成區(qū)域A的內(nèi)側(cè)伸出，為了防止電極613和各發(fā)光層617R、 617G、 617B直接接觸而產(chǎn)生電短路，由Si02等無機(jī)絕緣材料形成。
元件基板601例如是由玻璃等透明的基板形成，在元件基板601上形 成由硅氧化物膜構(gòu)成的基底保護(hù)膜606，在該基底保護(hù)膜606上形成有由 硅構(gòu)成的島狀的半導(dǎo)體膜607。其中，半導(dǎo)體膜607上，通過高濃度P離 子注入形成有源區(qū)域607a以及漏區(qū)域607b。其中，未導(dǎo)入P離子的部分 成為溝道區(qū)域607c。進(jìn)而，形成覆蓋基底保護(hù)膜606和半導(dǎo)體膜607的 透明柵極絕緣膜608，在柵極絕緣膜608上形成由Al、 Mo、 Ta、 Ti、 W 等構(gòu)成的柵電極609，在柵電極609以及柵極絕緣膜608上形成透明的第 一層間絕緣膜611a和第二層間絕緣膜611b。柵電極609被設(shè)置在與半導(dǎo) 體膜607的溝道區(qū)域607c對(duì)應(yīng)的位置。另外，形成有貫通第一層間絕緣 膜611a和第二層間絕緣膜611b且分別與半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a、漏 區(qū)域607b連接的接觸孔612a、 612b。此外，在第二層間絕緣膜611b上， 由ITO (Indium Tin Oxide)等構(gòu)成的透明的電極613形成規(guī)定形狀的圖案 而被配置， 一個(gè)接觸孔612a與電源線613連接。另外，另一個(gè)接觸孔612b 與電源線614連接。由此，在電路元件部602上形成有與各電極613連接 的驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管615。其中，在電路元件部602上也形成保持電容 和開關(guān)用的薄膜晶體管，但在圖13中對(duì)它們的圖示進(jìn)行了省略。
發(fā)光元件部603具有作為陽極的電極613、在電極613上依次層疊 的空穴注入/輸送層617a、各發(fā)光層617R、 617G、 617B (總稱為發(fā)光層 Lu)、和以覆蓋上層圍堰618b和發(fā)光層Lu的方式層疊的陰極604。由空 穴注入/輸送層617a和發(fā)光層Lu構(gòu)成激發(fā)發(fā)光的功能層617。其中，只要 用透明的材料構(gòu)成陰極604和密封基板620以及吸氣劑621，就可以從密 封基板620側(cè)射出發(fā)出的光。
有機(jī)EL顯示裝置600具有與柵電極609連接的掃描線(圖示省略) 和與源區(qū)域607a連接的信號(hào)線(圖示省略)，當(dāng)通過由掃描線傳輸掃描信
號(hào)，開關(guān)用的薄膜晶體管(省略圖示)接通時(shí)，此時(shí)的信號(hào)線的電位由保
持電容來保持，根據(jù)該保持電容的狀態(tài)，決定驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管615的 導(dǎo)通 截止?fàn)顟B(tài)。此外，借助驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管615的溝道區(qū)域607c， 電流從電源線614流向電極613，進(jìn)而借助空穴注入/輸送層617a和發(fā)光 層Lu，電流流向陰極604。發(fā)光層Lu根據(jù)在其中流過的電流量進(jìn)行發(fā)光。 有機(jī)EL顯示裝置600通過這樣的發(fā)光元件部603的發(fā)光機(jī)制，可以顯示 所需要的文字或圖像等。另外，就有機(jī)EL顯示裝置600而言，發(fā)光層Lu 是使用上述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法而形成的，所以可以減輕由噴 嘴列22a (22b)的噴出特性偏差引起的發(fā)光不均、亮度不均等顯示不良， 具有高顯示質(zhì)量。
〈有機(jī)EL元件的制造方法〉
接著參照?qǐng)D14對(duì)作為本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部603 的制造方法進(jìn)行說明。圖14 (a) (f)是表示有機(jī)EL元件的制造方法 的示意剖視圖。其中，在圖14 (a) (f)中，在元件基板601上形成的 電路元件部602省略了圖示。
本實(shí)施方式的發(fā)光元件部603的制造方法，具有在與元件基板601 的多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A對(duì)應(yīng)的位置上形成電極613的工序、和以在電 極613上掛住一部分的方式形成下層圍堰618a進(jìn)而在下層圍堰618a上以 實(shí)質(zhì)上對(duì)發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn)行分區(qū)的方式形成上層圍堰618b的隔壁部 形成工序。另外，還具有對(duì)由上層圍堰618b分區(qū)的發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn) 行表面處理的工序、向已實(shí)施表面處理的發(fā)光層形成區(qū)域A賦予含有空 穴注入/輸送層形成材料的液狀體而噴出描繪空穴注入/輸送層617a的工 序、對(duì)噴出的液狀體進(jìn)行干燥而使空穴注入/輸送層617a成膜的工序。另 外，還具有對(duì)形成有空穴注入/輸送層617a的發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn)行表面 處理的工序、向已實(shí)施表面處理的發(fā)光層形成區(qū)域A噴出含有發(fā)光層形 成材料的三種液狀體的噴出工序、和對(duì)噴出的三種液體進(jìn)行干燥而使發(fā)光 層Lu成膜的工序。進(jìn)而，還具有以覆蓋上層圍堰618b和發(fā)光層Lu的方 式形成陰極604的工序。各液狀體向發(fā)光層形成區(qū)域A的賦予是使用上 述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法進(jìn)行的。
在電極(陽極)形成工序中，如圖14 (a)所示，在與已形成電路元
件部602的元件基板601的發(fā)光層形成區(qū)域A相對(duì)應(yīng)的位置上形成電極 613。作為形成方法，例如使用ITO等透明電極材料在真空中利用濺射法 或蒸鍍法在元件基板601的表面形成透明電極膜。隨后，可以舉出利用光 刻法僅殘留必要的部分而進(jìn)行蝕刻形成電極613的方法。然后，進(jìn)行至隔 壁部形成工序。
在隔壁部形成工序中，如圖14 (b)所示，以覆蓋元件基板601的多 個(gè)電極613的一部分的方式形成下層圍堰618a。作為下層圍堰618a的材 料，使用作為無機(jī)材料的絕緣性的Si02 (氧化硅)。作為下層圍堰618a 的形成方法，例如可以舉出如下的方法對(duì)應(yīng)于后來形成的發(fā)光層Lu， 使用抗蝕劑等掩蔽各電極613的表面。然后將被掩蔽的元件基板601投入 到真空裝置中，以Si02為靶或原料進(jìn)行濺射或真空蒸鍍，由此形成下層 圍堰618a。關(guān)于抗蝕劑等的掩蔽，后來被剝離。其中，下層圍堰618a是 由SiCb形成的，所以只要其膜厚為200nm，則就具有足夠的透明性，后 來即便層疊空穴注入/輸送層617a以及發(fā)光層Lu，也不會(huì)阻礙發(fā)光。
接著，按照對(duì)各發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn)行實(shí)質(zhì)分區(qū)的方式在下層圍堰 618a上形成上層圍堰618b。作為上層圍堰618b的材料，優(yōu)選對(duì)后述含有 發(fā)光層形成材料的三種液狀體IOOR、 IOOG、 100B的溶劑具有耐久性的材 料，進(jìn)一步優(yōu)選能夠通過以氟系氣體為處理氣體的等離子體處理進(jìn)行疏液 化例如所謂丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、感光性聚酰亞胺等的有機(jī)材料。作為 上層圍堰618b的形成方法，例如利用輥涂法或旋涂法在形成有下層圍堰 618a的元件基板601的表面涂敷感光性的上述有機(jī)材料并使其干燥，形 成厚度約為2pm的感光性樹脂層。此外，可以舉出使以與發(fā)光層形成區(qū) 域A對(duì)應(yīng)的大小設(shè)置有開口部的掩模與元件基板601在規(guī)定的位置對(duì)向 并進(jìn)行曝光、顯影，由此形成上層圍堰618b的方法。由此，形成具有下 層圍堰618a和上層圍堰618b的隔壁部618。然后，進(jìn)行至表面處理工序。
在對(duì)發(fā)光層形成區(qū)域A進(jìn)行表面處理的工序中，對(duì)于形成有隔壁部 618的元件基板601的表面，首先以02氣為處理氣體進(jìn)行等離子體處理。 由此，使電極613的表面、下層圍堰618a的伸出部以及上層圍堰618b的 表面(包括壁面)活化而進(jìn)行親液處理。接著，以CF4等氟系氣體為處理 氣體進(jìn)行等離子體處理。由此氟系氣體僅與由作為有機(jī)材料的感光性樹脂
形成的上層圍堰618b的表面生成反應(yīng)而進(jìn)行疏液處理。然后，進(jìn)行至空 穴注入/輸送層形成工序。
在空穴注入/輸送層形成工序中，如圖14 (c)所示，將含有空穴注入 /輸送層形成材料的液狀體90賦予給發(fā)光層形成區(qū)域A。作為賦予液狀體 90的方法，使用圖1的液滴噴出裝置100。從液滴噴頭20噴出的液狀體 90作為液滴彈落于元件基板601的電極613后潤濕擴(kuò)展。液狀體90是根 據(jù)發(fā)光層形成區(qū)域A的面積以液滴的形式而被噴出必需量。然后進(jìn)行至 干燥 成膜工序。
在干燥，成膜工序中，通過用例如液滴噴出裝置ioo所具有的加熱器 111 (燈退火等)對(duì)元件基板601進(jìn)行加熱，使液狀體90的溶劑成分干燥 而將其除去，在電極613的被下層圍堰618a分區(qū)的區(qū)域形成空穴注入/輸 送層617a(參照該圖(d))。在本實(shí)施方式中，作為空穴注入/輸送層形成 材料，使用PEDOT (聚乙烯二氧基噻吩Polyethylene DioxyThiophene)。 其中，此時(shí)，在各發(fā)光層形成區(qū)域A形成由相同材料構(gòu)成的空穴注入/輸 送層617a，但也可以對(duì)應(yīng)后來形成的發(fā)光層Lu，對(duì)每個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域 A改變空穴注入/輸送層617a的材料。然后進(jìn)行至下一道表面處理工序。
在下一道表面處理工序中，在使用上述的空穴注入/輸送層形成材料 形成空穴注入/輸送層617a的情況下，其表面相對(duì)于三種液狀體100R、 100G、 100B具有疏液性，所以按照至少使其發(fā)光層形成區(qū)域A的區(qū)域內(nèi) 再次具有親液性的方式進(jìn)行表面處理。作為表面處理的方法，涂敷并干燥 三種液狀體100R、 100G、 100B所使用的溶劑。作為溶劑的涂敷方法，可 以舉出噴射法、旋涂法等方法。然后進(jìn)行至液狀體的噴出工序。
在液狀體的噴出工序中，如圖14 (d)所示，向多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域 A賦予含有發(fā)光層形成材料的三種液狀體100R、 100G、 100B。液狀體100R 含有發(fā)出紅色光的發(fā)光層形成材料，液狀體IOOG含有發(fā)出綠色光的發(fā)光 層形成材料，液狀體100B含有發(fā)出藍(lán)色光的發(fā)光層形成材料。已彈落的 各液狀體IOOR、 IOOG、 100B在發(fā)光層形成區(qū)域A潤濕擴(kuò)展，截面形狀 上溢成圓弧狀。作為賦予這些液狀體IOOR、 IOOG、 100B的方法，使用上 述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法。其中，各發(fā)光層形成材料可以使用適 于濕式涂敷方法的公知材料。然后進(jìn)行至干燥 成膜工序。
在干燥*成膜工序中，如圖14 (e)所示，使被噴出的各液狀體100R、 100G、 100B的溶劑成分干燥而將其除去，在各發(fā)光層形成區(qū)域A的空穴 注入/輸送層617a上，各發(fā)光層617R、 617G、 617B以層疊的方式成膜。 作為被噴了各液狀體100R、 100G、 100B的元件基板601的干燥方法，優(yōu) 選能使溶劑的蒸發(fā)速度大致恒定的減壓干燥。然后進(jìn)行至陰極形成工序。
在陰極形成工序中，如圖14 (f)所示，以覆蓋元件基板601的各發(fā) 光層617R、 617G、 617B和上層圍堰618b的表面的方式形成陰極604。 作為陰極604的材料，優(yōu)選組合使用Ca、 Ba、 Al等金屬或LiF等氟化物。 特別優(yōu)選在接近發(fā)光層617R、 617G、 617B的一側(cè)形成功函數(shù)小的Ca、 Ba、 LiF的膜，在遠(yuǎn)離的一側(cè)形成功函數(shù)大的Al等的膜。另外，可以在 陰極604上層疊SiO2、 SiN等保護(hù)層。如此，可以防止陰極604的氧化。 作為陰極604的形成方法，可以舉出蒸鍍法、濺射法、CVD法等。特別 從可以防止發(fā)光層617R、 617G、 617B的因熱出現(xiàn)的損傷的觀點(diǎn)來看，優(yōu) 選蒸鍍法。
如此完成的元件基板601，具有將必需量的各液狀體IOOR、 IOOG、 100B均勻地賦予在對(duì)應(yīng)的發(fā)光層形成區(qū)域A上且干燥 成膜后的膜厚大 致恒定的各發(fā)光層617R、 617G、 617B。
上述實(shí)施方式2的效果如下所示。
(1) 關(guān)于上述實(shí)施方式2的發(fā)光元件部603的制造方法，在液狀體 IOOR、 IOOG、 IOOB的噴出工序中，使用上述實(shí)施方式1的液狀體的噴出 方法，以液滴的形式向發(fā)光層形成區(qū)域A噴出各液狀體IOOR、 IOOG、 IOOB。因此，減輕由液滴噴頭20的各噴嘴列22a、 22b的噴出特性偏差引 起的噴出不均，得到干燥，成膜后的膜厚大致恒定的各發(fā)光層617R、617G、 617B。
(2) 如果使用上述實(shí)施方式2的發(fā)光元件部603的制造方法，制造 有機(jī)EL顯示裝置600，各發(fā)光層617R、 617G、 617B的膜厚大致恒定， 所以各發(fā)光層617R、 617G、 617B的電阻大致恒定。由此，當(dāng)利用電路元 件部602向發(fā)光元件部603施加驅(qū)動(dòng)電壓使其發(fā)光時(shí)，由各發(fā)光層617R、 617G、 617B的電阻不均引起的發(fā)光不均或亮度不均等得到減輕。BP，可 以制造發(fā)光不均或亮度不均等少且具有良好的顯示質(zhì)量的有機(jī)EL顯示裝
置600。
除了上述實(shí)施方式之外，可以進(jìn)行各種變形。以下舉出變形例進(jìn)行說明。
(變形例1)在上述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法的實(shí)施例1 4 中，在與膜形成區(qū)域2有關(guān)的相鄰噴嘴22中應(yīng)用的波形選擇可以因噴出 的異種液狀體而不同。由此，能夠抑制由異種液狀體的噴出對(duì)噴嘴列的噴 出特性偏差所引起的在主掃描方向上的線條狀噴出不均的強(qiáng)調(diào)。
(變形例2)在上述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法中，在每個(gè)鎖存 期內(nèi)生成的驅(qū)動(dòng)波形的數(shù)量并不限于此。鑒于使得生成控制信號(hào)LAT以 及溝道信號(hào)CH的頭驅(qū)動(dòng)部124的電路結(jié)構(gòu)，可以在每個(gè)鎖存期內(nèi)生成時(shí) 間不同的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)波形?；蛘?，只要是可以進(jìn)行高頻驅(qū)動(dòng)的液滴噴頭20 的結(jié)構(gòu)，就還可以將在每個(gè)鎖存期內(nèi)生成的驅(qū)動(dòng)波形增加至4個(gè)以上。由 此，可以增加單位時(shí)間的液滴噴出數(shù)量，高效地向膜形成區(qū)域賦予必須量 的液狀體。
(變形例3)在上述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法中，驅(qū)動(dòng)波形的 生成并不限于周期性的。例如，還可以非周期性地生成驅(qū)動(dòng)波形。由此， 每個(gè)噴出時(shí)間的噴出條件不同，所以在主掃描方向上，液滴的噴出量的變 動(dòng)狀態(tài)生成變化。由此，可以向由噴嘴間的噴出特性偏差引起的噴出量的 變動(dòng)中附加主掃描方向上的噴出量的變動(dòng)，使噴出量的不均二維分散。即， 向主掃描方向上的一維線條狀噴出不均不明顯。
(變形例4)在上述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法中，多個(gè)驅(qū)動(dòng)波 形并不限于相同的形狀、大小。例如，在系統(tǒng)編號(hào)1 3的驅(qū)動(dòng)波形中， 可以使驅(qū)動(dòng)電壓不同。由此，可以通過波形選擇使液滴的噴出量生成變動(dòng)。 即，可以使每次液滴噴出時(shí)的噴出量分散。
(變形例5)在上述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法中，可以與作為 被噴出物的玻璃基板1上的膜形成區(qū)域2的配置相對(duì)應(yīng)，組合實(shí)施例l 4的液狀體的噴出方法。例如，以在一個(gè)玻璃基板1中不同大小的膜形成 區(qū)域2按大小區(qū)分配置的情況、或?qū)⒛ば纬蓞^(qū)域2的條紋方向分成X方 向和Y方向進(jìn)行配置的情況等為應(yīng)用例而舉出。即，根據(jù)與膜形成區(qū)域2 有關(guān)的噴嘴22的數(shù)量，采用最佳的液狀體的噴出方法，可以以穩(wěn)定的噴
出量向各膜形成區(qū)域2賦予必須量的液狀體。
(變形例6)在上述實(shí)施方式1的彩色濾光片10的制造方法中，三 種顏色的著色層3R、 3G、 3B的配置并不限于條紋方式。即便是斜向排列 同種顏色的著色層3的鑲嵌方式、在三角形的頂點(diǎn)位置配置各種顏色的著 色層3的A (delta)方式，也可以應(yīng)用上述液狀體的噴出方法。另外，著 色層3并不限于三種顏色，還可以是添加了R、 G、 B以外的顏色的多種 顏色。
(變形例7)上述實(shí)施方式2的發(fā)光元件部603的制造方法并不限于 形成三種顏色的發(fā)光層Lu。例如，還可以是白色或紅色等單色的結(jié)構(gòu)。 由此，可以提供具有單色的有機(jī)EL元件的照明裝置或感光裝置。
(變形例8)可以應(yīng)用上述實(shí)施方式1的液狀體的噴出方法的器件的 制造方法，并不限于彩色濾光片的制造方法或有機(jī)EL元件的制造方法。 例如，可以用于向基板上的膜形成區(qū)域噴出含有導(dǎo)電材料的液狀體以形成 具有固定圖案的配線的金屬配線的制造方法、向基板上的膜形成區(qū)域噴出 含有取向膜形成材料的液狀體以形成取向膜的取向膜的制造方法等。
權(quán)利要求
1.一種液狀體的噴出方法，其包括噴出工序，即與對(duì)向配置多個(gè)噴嘴和具有膜形成區(qū)域的被噴出物并使之相對(duì)移動(dòng)的掃描同步，向設(shè)置在每個(gè)所述噴嘴上的能量生成機(jī)構(gòu)施加分時(shí)生成的多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形的一部分，從所述多個(gè)噴嘴以液滴的形式將含有功能性材料的液狀體噴出到所述膜形成區(qū)域，在所述噴出工序中，在所述掃描過程中，向由所述多個(gè)噴嘴構(gòu)成的噴嘴列中的、與所述膜形成區(qū)域相關(guān)的相鄰噴嘴的所述能量生成機(jī)構(gòu)，施加所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形中互不相同的噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形，并且改變所施加的所述不同的噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合至少一次以上。
2. 如權(quán)利要求l所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 在所述噴出工序中，多次進(jìn)行所述掃描，從所述多個(gè)噴嘴向所述膜形成區(qū)域噴出所述液滴，使每一次所述掃描時(shí)施加給與所述膜形成區(qū)域有關(guān) 的相鄰噴嘴的所述能量生成機(jī)構(gòu)的所述不同噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合 不同。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 所述被噴出物具有至少排列在所述掃描的方向上的多個(gè)所述膜形成區(qū)域，在所述噴出工序中，使得施加給所述相鄰噴嘴的所述能量生成機(jī)構(gòu)的 所述不同噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合，對(duì)于噴出的異種所述液狀體的每種 而言是不同的。
4. 如權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法，其特征在于，所述被噴出物具有至少排列在所述掃描的方向上的多個(gè)所述膜形成 區(qū)域，在所述噴出工序中，使得施加給所述相鄰噴嘴的所述能量生成機(jī)構(gòu)的 所述不同噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合，對(duì)于各所述膜形成區(qū)域而言是不同 的。
5. 如權(quán)利要求4所述的液狀體的噴出方法，其特征在于， 在所述噴出工序中，對(duì)于各所述膜形成區(qū)域而言，從所述相鄰噴嘴的 每一個(gè)沿著所述掃描的方向噴出多個(gè)所述液滴，使每一次所述液滴噴出時(shí) 施加給所述相鄰噴嘴的所述能量生成機(jī)構(gòu)的所述不同噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波 形的組合不同。
6. 如權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法，其特征在于，在所述噴出工序中，按照使施加所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形中的一部分的所述 能量生成機(jī)構(gòu)的數(shù)量在每個(gè)所述驅(qū)動(dòng)波形時(shí)大致相同的方式，設(shè)定所述不 同噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形的組合。
7. 如權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法，其特征在于，向所述能量生成機(jī)構(gòu)施加以規(guī)定的周期生成的所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形當(dāng) 中的一部分。
8. 如權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法，其特征在于，向所述能量生成機(jī)構(gòu)施加在一個(gè)周期內(nèi)生成的所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形中 的一部分。
9. 如權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法，其特征在于，向所述能量生成機(jī)構(gòu)施加非周期性生成的所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形中的一 部分。
10. —種彩色濾光片的制造方法，所述彩色濾光片在基板上被劃分形 成的多個(gè)膜形成區(qū)域內(nèi)具有至少三種顏色的著色層，其中該制造方法具 有使用權(quán)利要求1 9中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法將含有著色 材料的至少三種顏色的液狀體噴出到所述多個(gè)膜形成區(qū)域的噴出工序；和 硬化被噴出的所述液狀體，以形成所述至少三種顏色的著色層的硬化工序。
11. 一種有機(jī)EL元件的制造方法，所述有機(jī)EL元件在基板上被劃 分形成的多個(gè)膜形成區(qū)域內(nèi)至少具有發(fā)光層，其中該制造方法具有使用權(quán)利要求1 9中任意一項(xiàng)所述的液狀體的噴出方法將含有發(fā)光 層形成材料的液狀體噴出到所述多個(gè)膜形成區(qū)域的噴出工序；和 硬化被噴出的所述液狀體，以形成所述發(fā)光層的硬化工序。
全文摘要
本發(fā)明提供可以減輕由多個(gè)噴嘴的噴出特性偏差引起的噴出不均的液狀體的噴出方法、以及應(yīng)用了該液狀體的噴出方法的彩色濾光片的制造法方法、有機(jī)EL元件的制造方法。液狀體的噴出方法包括噴出工序，即與對(duì)向配置多個(gè)噴嘴和具有膜形成區(qū)域(2)的被噴出物并使之相對(duì)移動(dòng)的掃描同步，向設(shè)置在每個(gè)噴嘴上的能量生成機(jī)構(gòu)施加分時(shí)生成的多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形的一部分，從多個(gè)噴嘴以液滴的形式將含有功能性材料的液狀體噴出到膜形成區(qū)域。在噴出工序中，在所述掃描中，向由多個(gè)噴嘴構(gòu)成的噴嘴列(22a)中的與膜形成區(qū)域(2)有關(guān)的相鄰噴嘴的能量生成機(jī)構(gòu)，施加多個(gè)驅(qū)動(dòng)波形中互不相同的噴出時(shí)間的驅(qū)動(dòng)波形，并且改變所施加的驅(qū)動(dòng)波形的組合至少一次以上。
文檔編號(hào)B41J2/015GK101352961SQ200810134168
公開日2009年1月28日 申請(qǐng)日期2008年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月24日
發(fā)明者宮阪洋一 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社