專利名稱：液滴噴出方法、及液滴噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使用了將液狀體作為液滴噴出的液滴噴出頭的液滴噴出 方法、及具備液滴噴出頭的液滴噴出裝置。
背景技術(shù)：
10 以往開始知道具有將液狀體作為液滴噴出的液滴噴出頭，且通過將液
狀體的液滴噴出而使其著附于描繪對(duì)象物上的任意的位置，在描繪對(duì)象物 的任意的位置配置液狀體的液滴噴出裝置。通過使用這樣的液滴噴出裝 置，能夠?qū)⒉噬壕аb置的濾色片膜等之類的含有功能膜的材料的液態(tài)材 料以任意的量精度良好地涂敷于任意的位置。通過干燥涂敷的液態(tài)材料，
15 能夠形成任意的厚度及形狀的功能膜。
從液滴噴出頭噴出的液狀體的一次噴出的噴出量根據(jù)該液狀體的粘 度等而變動(dòng)。然而，供給于液滴噴出頭的液狀體由于制造批號(hào)的差異或能 夠供給地貯存于液滴噴出頭的狀態(tài)下的經(jīng)時(shí)變化等，可能未必一定維持恒 定的特性。
20 在專利文獻(xiàn)l中，公開了通過正確測(cè)定實(shí)際的噴出重量，根據(jù)該測(cè)定
值，調(diào)節(jié)噴出量，使其成為正確的值，從而能夠?qū)嵤┱_的液滴噴出的液 滴噴出系統(tǒng)、液滴噴出頭的噴出量測(cè)定方法、及液滴噴出頭的噴出量適當(dāng) 化方法。
專利文獻(xiàn)1特開2004—209429號(hào)公報(bào)
25 然而，需要實(shí)施用于正確測(cè)定噴出重量的噴出重量測(cè)定工序，在噴出
重量測(cè)定工序期間，向描繪對(duì)象物噴出液狀體的描繪噴出工序中止，因此， 存在用于利用液滴噴出的描繪所需的時(shí)間增加的問題。

發(fā)明內(nèi)容
30 本發(fā)明是為了解決上述問題的至少一部分而做成的，能夠通過以下的
方式或適用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。本適用例的液滴噴出方法，其特征在于，包括描繪噴出工 序，其從液滴噴出頭噴繪液狀體，并且，通過使作為使所述液狀體著附的 對(duì)象的基材、和所述液滴噴出頭相對(duì)移動(dòng)，在所述基材上配置所述液狀體； 5材料供給去除工序，其用于對(duì)具備所述液滴噴出頭的液滴噴出裝置實(shí)施所 述基材的材料供給去除；重量測(cè)定工序，其包括所述液滴噴出頭實(shí)施用于 實(shí)施從該液滴噴出頭噴出的所述液狀體的重量測(cè)定的重量測(cè)定噴出的重 量測(cè)定噴出工序，并測(cè)定重量測(cè)定噴出的所述液狀體的重量，在實(shí)施所述 材料供給去除工序的期間，大致并行而實(shí)施所述重量測(cè)定噴出工序。 10 根據(jù)該液滴噴出方法可知，在不需要液滴噴出頭實(shí)施噴出的材料供給
去除工序的期間，實(shí)施需要液滴噴出頭實(shí)施噴出的重量測(cè)定噴出工序。通 過在液滴噴出頭的所謂的中止時(shí)間，實(shí)施重量測(cè)定噴出工序，不重新產(chǎn)生 用于重量測(cè)定噴出工序的時(shí)間，因此，能夠抑制用于利用液滴噴出的描繪 的作業(yè)時(shí)間的增加。
15 還有，材料供給去除工序除了實(shí)際上卸載已處理的基材，或?qū)嶋H上安
裝接下來(lái)要處理的基材的實(shí)際上實(shí)施材料供給去除的工序之外，還包括安 裝的基材的對(duì)位工序、或?yàn)榱瞬牧瞎┙o去除，使用于載置基材的載物臺(tái)移 動(dòng)的工序等。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選還包括丟棄噴出工 20 序，其使所述液滴噴出頭實(shí)施用于維持所述液滴噴出頭的狀態(tài)的丟棄噴 出；噴出檢查工序，其包括所述液滴噴出頭實(shí)施用于檢測(cè)所述液滴噴出頭 的噴出狀態(tài)的檢查噴出的檢查噴出工序、和獲得檢查噴出而著附的液狀體 的狀態(tài)的信息的狀態(tài)信息獲得工序，并檢查所述液滴噴出頭的噴出狀態(tài)， 在實(shí)施所述材料供給去除工序的期間，實(shí)施所述丟棄噴出工序及所述檢查 25 噴出工序。
根據(jù)該液滴噴出方法可知，在不需要液滴噴出頭實(shí)施噴出的材料供給 去除工序的期間，實(shí)施需要液滴噴出頭實(shí)施噴出的檢查噴出工序。通過在 液滴噴出頭的所謂的中止時(shí)間，實(shí)施檢查噴出，不重新產(chǎn)生用于檢查噴出 工序的時(shí)間，因此，能夠抑制用于利用液滴噴出的描繪的作業(yè)時(shí)間的增加。 30另外，若在材料供給去除工序的期間，液滴噴出頭中止，則可能導(dǎo)致發(fā)生
噴出口的干燥等不妥善情況。通過在材料供給去除工序期間實(shí)施丟棄噴出 工序，能夠抑制噴出口的千燥等，能夠維持液滴噴出頭的適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選在具有多個(gè)所述液 滴噴出頭的組中包含的一臺(tái)所述液滴噴出頭實(shí)施所述重量測(cè)定噴出，包含 5 于該組的進(jìn)行所述重量測(cè)定噴出的所述液滴噴出頭以外的所述液滴噴出 頭并行于包含于所述組的一臺(tái)所述液滴噴出頭進(jìn)行的所述重量測(cè)定噴出， 實(shí)施所述丟棄噴出。
根據(jù)該液滴噴出方法可知，在一組液滴噴出頭中的一個(gè)液滴噴出頭實(shí) 施重量測(cè)定噴出的期間，其他液滴噴出頭實(shí)施丟棄噴出，由此抑制噴出口 10的干燥等，能夠維持液滴噴出頭的適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選將所述狀態(tài)信息獲 得工序、和所述重量測(cè)定噴出工序相互錯(cuò)開實(shí)施各自的工序的時(shí)刻而實(shí) 施。
在重量測(cè)定噴出工序中，需要使液滴噴出頭、和接受噴出的液狀體的 15 裝置對(duì)置。作為狀態(tài)信息獲得工序中，需要使?fàn)顟B(tài)信息獲得工序和測(cè)定對(duì) 象對(duì)置。若將液滴噴出頭、接受液狀體的裝置、狀態(tài)信息獲得裝置、和測(cè) 定對(duì)象配置為能夠同時(shí)實(shí)施兩個(gè)工序的狀態(tài)，則限制各裝置分別配置的位 置的位置關(guān)系，因此，用于噴出液狀體的裝置變得大型的可能性變高。
根據(jù)該液滴噴出方法可知，通過錯(cuò)開實(shí)施重量測(cè)定噴出工序、和狀態(tài) 20 信息獲得工序的時(shí)間，不需要以能夠同時(shí)實(shí)施兩個(gè)工序的方式配置各裝 置，因此，保持各裝置的配置的自由度，故能夠抑制用于噴出液滴的裝置 變得大型化的情況。
另外，也可以使液滴噴出頭、接受液狀體的裝置、狀態(tài)信息獲得裝置、 和測(cè)定對(duì)象的任一個(gè)一體地移動(dòng)，能夠削減移動(dòng)用裝置。 25 [適用例5]在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選大致并行于所述狀
態(tài)信息獲得工序，實(shí)施所述重量測(cè)定噴出工序。
根據(jù)該液滴噴出方法可知，在實(shí)施重量測(cè)定噴出工序、和狀態(tài)信息獲 得工序的任一方的期間，能夠?qū)嵤┝硪环?。由此，?shí)施重量測(cè)定噴出工序 所需的時(shí)間、和實(shí)施狀態(tài)信息獲得工序所需的時(shí)間的任一方幾乎不對(duì)利用 30 液滴噴出的描繪所需的時(shí)間產(chǎn)生影響，能夠抑制利用液滴噴出的描繪所需
的時(shí)間的增加。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選在所述重量測(cè)定工 序中測(cè)定的所述液狀體的重量的測(cè)定值的相對(duì)于基準(zhǔn)值的差異超過規(guī)定 值的情況下，實(shí)施確認(rèn)檢査。 5 根據(jù)該液滴噴出方法可知，通過確認(rèn)檢査，能夠驗(yàn)證重量測(cè)定工序中
的測(cè)定結(jié)果。通過驗(yàn)證測(cè)定結(jié)果；能夠抑制由于臨時(shí)發(fā)生的噴出量的變動(dòng) 被測(cè)定出，從而導(dǎo)致對(duì)應(yīng)于該臨時(shí)的變動(dòng)，實(shí)施無(wú)用的應(yīng)對(duì)處置的情況。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選所述確認(rèn)檢査為所 述重量測(cè)定工序。
10 根據(jù)該液滴噴出方法可知，臨時(shí)發(fā)生的噴出量的變動(dòng)在再次實(shí)施的重
量測(cè)定中被測(cè)定出的可能性也小，因此，通過實(shí)施再次重量測(cè)定，能夠驗(yàn) 證重量測(cè)定工序中的測(cè)定結(jié)果。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選所述確認(rèn)檢查為所
述噴出檢查工序。
15 根據(jù)該液滴噴出方法可知，通過實(shí)施噴出檢查工序，驗(yàn)證包括噴出不
良等的噴出狀態(tài)，能夠驗(yàn)證成為噴出重量的變動(dòng)的要因的噴出狀態(tài)的變動(dòng) 的有無(wú)。另外，能夠驗(yàn)證成為噴出重量的變動(dòng)的要因的噴出狀態(tài)的變動(dòng)的 種類。作為噴出狀態(tài)的變動(dòng)的種類，例如，可以舉出噴出口的堵塞引起的 噴出不良(噴不出)或噴出量過多或噴出量過少等。
20 [適用例9]在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選在所述重量測(cè)定工
序中測(cè)定的所述液狀體的重量的測(cè)定值的相對(duì)于基準(zhǔn)值的差異超過第一 值，并且為第二值以下的情況下，實(shí)施所述液滴噴出頭中的噴出條件的修 正。
根據(jù)該液滴噴出方法可知，僅通過實(shí)施噴出條件的修正，就能夠消除 25 噴出重量的變動(dòng)。由于能夠在短時(shí)間內(nèi)實(shí)施噴出條件的修正，因此，與為 了消除噴出重量的變動(dòng)而使用其他方法的情況相比，能夠縮短用于應(yīng)對(duì)噴 出重量的變動(dòng)的時(shí)間。第一值例如為噴出重量的容許誤差，第二值例如為 能夠通過噴出條件改變的噴出重量的可變量。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選所述液滴噴出頭的 30 驅(qū)動(dòng)源為壓電元件，所述噴出條件之一是向所述液滴噴出頭施加的驅(qū)動(dòng)電
壓，所述修正包括驅(qū)動(dòng)電壓值的修正或驅(qū)動(dòng)電壓波形的修正。
根據(jù)液滴噴出方法可知，通過調(diào)節(jié)施加于液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)電壓或驅(qū) 動(dòng)電壓波形，能夠修正噴出重量的變動(dòng)。將壓電元件作為驅(qū)動(dòng)源的液滴噴 出頭通過選擇適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)電壓或驅(qū)動(dòng)電壓波形來(lái)實(shí)現(xiàn)噴出量的設(shè)定值，因 5 此，通過調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓或驅(qū)動(dòng)電壓波形，能夠修正噴出重量的變動(dòng)。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選在實(shí)施一次所述材 料供給去除工序的期間，實(shí)施利用一臺(tái)所述液滴噴出頭的所述重量測(cè)定噴 出工序。
在用多個(gè)液滴噴出頭實(shí)施重量測(cè)定噴出工序的情況下，重量測(cè)定噴出
10工序所需的時(shí)間的總計(jì)增加，因此，該時(shí)間的總計(jì)超過材料供給去除工序 所需的時(shí)間的可能性增加。超過材料供給去除工序所需的時(shí)間的時(shí)間成為 用于描繪的作業(yè)時(shí)間的增加要因。根據(jù)該液滴噴出方法可知，在一次材料 供給去除工序期間實(shí)施重量測(cè)定噴出工序的液滴噴出頭為一臺(tái)，重量測(cè)定 噴出工序所需的時(shí)間最短，因此，能夠使重量測(cè)定噴出工序所需的時(shí)間成
15為用于描繪的作業(yè)時(shí)間的增大要因的可能性最小。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選規(guī)定包含多個(gè)所述 液滴噴出頭的頭組，所述液滴噴出方法包括頭組重量測(cè)定工序，其使在 所述頭組中包含的所有的所述液滴噴出頭分別依次實(shí)施一次所述重量測(cè) 定噴出工序，并實(shí)施各自的所述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的重量測(cè)
20 定；重量測(cè)定中止工序，其在不并行實(shí)施所述重量測(cè)定噴出工序的情況下， 實(shí)施規(guī)定的次數(shù)的所述材料供給去除工序。
根據(jù)該液滴噴出方法可知，通過設(shè)置重量測(cè)定中止工序，能夠抑制重 量測(cè)定工序所需的能量。重量測(cè)定工序只要隔著一定的起動(dòng)時(shí)間來(lái)實(shí)施就 能夠發(fā)揮充分的驗(yàn)證功能。例如，將多個(gè)液滴噴出頭作為一組，對(duì)該組的
25 各液滴噴出頭，實(shí)施各一次的重量測(cè)定工序，在規(guī)定的起動(dòng)時(shí)間后，對(duì)于 該組的各液滴噴出頭，實(shí)施各一次的重量測(cè)定工序，即使是這樣的方法， 也能夠發(fā)揮驗(yàn)證效果。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選根據(jù)所述重量測(cè)定 噴出工序的實(shí)施狀態(tài)，發(fā)出收容通過所述重量測(cè)定噴出噴出的所述液狀體
30的重量測(cè)定接受器的更換指示。
根據(jù)該液滴噴出方法可知，能夠依照重量測(cè)定噴出工序的實(shí)施狀態(tài)， 掌握著附于重量測(cè)定接受器而蓄積的液狀體的量，因此，能夠依照該蓄積 的液狀體的量，效率良好地實(shí)施重量測(cè)定接受器的更換。還有，每次重量 測(cè)定噴出工序時(shí)清空重量測(cè)定接受器導(dǎo)致每一次都需要更換時(shí)間，從而不 5是有效的。另外，在使用具有不需要將重量測(cè)定接受器清空的程度的容量 的重量測(cè)定接受器的情況下，與重量測(cè)定接受器或具備該重量測(cè)定接受器 的重量測(cè)定單元等使用需要將重量測(cè)定接受器清空的大小的重量測(cè)定接 受器的情況相比變大，用于噴出液狀體的裝置變得大型。從而，重量測(cè)定 接受器形成為需要適當(dāng)清空的程度的大小是有效的。
10 [適用例14]在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選累計(jì)所述重量測(cè)定
噴出工序中測(cè)定的所述重量測(cè)定噴出的噴出次數(shù)，在該噴出次數(shù)的累計(jì)超 過規(guī)定的數(shù)值的時(shí)刻，發(fā)出所述重量測(cè)定接受器的更換指示。
根據(jù)該液滴噴出方法可知，根據(jù)在重量測(cè)定噴出工序中噴出的噴出次 數(shù)的累計(jì)，指示重量測(cè)定接受器的更換。在重量測(cè)定噴出工序中噴出的液
15狀體的液滴除了噴出不良(不噴出)的情況之外，都著附于重量測(cè)定接受 器。因此，著附于重量測(cè)定接受器的液狀體的液滴的數(shù)量與在重量測(cè)定噴 出工序中噴出的噴出次數(shù)大致相等。通過在重量測(cè)定噴出工序中噴出的噴 出次數(shù)的累計(jì)，指示重量測(cè)定接受器的更換，由此能夠有效地實(shí)施重量測(cè) 定接受器的更換。還有，重量測(cè)定接受器內(nèi)的液狀體的溶劑蒸發(fā)，因此，
20 在重量測(cè)定噴出工序中噴出的噴出次數(shù)的累計(jì)優(yōu)選換算為噴出的噴出次 數(shù)的液狀體中包含的溶質(zhì)的重量的累計(jì)來(lái)使用。在上述適用例的液滴噴出方法中，優(yōu)選累計(jì)所述重量測(cè)定 工序中測(cè)定的所述液狀體的重量，在該重量的累計(jì)超過規(guī)定的數(shù)值的時(shí) 亥U,發(fā)出所述重量測(cè)定接受器的更換指示。
25 根據(jù)該液滴噴出方法可知，通過在重量測(cè)定工序中測(cè)定的重量的累
計(jì)，指示重量測(cè)定接受器的更換。在重量測(cè)定工序中測(cè)定的重量的累計(jì)是 在重量測(cè)定接受器中累計(jì)的液狀體的重量。通過在重量測(cè)定工序中測(cè)定的 重量的累計(jì)，指示重量測(cè)定接受器的更換，由此能夠有效地實(shí)施重量測(cè)定 接受器的更換。還有，重量測(cè)定接受器內(nèi)的液狀體的溶劑蒸發(fā)，因此，在
30 重量測(cè)定噴出工序中噴出的噴出次數(shù)的累計(jì)優(yōu)選換算為噴出的噴出次數(shù)
的液狀體中包含的溶質(zhì)的重量的累計(jì)來(lái)使用。在本適用例的液滴噴出裝置，其特征在于，具備液滴噴 出頭，其噴出液狀體；載物臺(tái)，其用于載置作為使噴出的所述液狀體著附 的對(duì)象的基材；載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭和所述載物臺(tái)在主 5掃描方向上相對(duì)移動(dòng)；重量測(cè)定單元，其測(cè)定從所述液滴噴出頭噴出的所 述液'狀體的重量；重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭和所述重 量測(cè)定單元在主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)；重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所 述液滴噴出頭和所述重量測(cè)定單元在與所述主掃描方向大致正交的副掃 描方向上相對(duì)移動(dòng)；重量測(cè)定控制部，其控制所述液滴噴出頭、所述重量
10 測(cè)定單元、所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)、和所述重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)， 所述重量測(cè)定控制部通過控制所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述重量測(cè) 定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以使所述液滴噴出頭位于面向所述重量測(cè)定單元的位 置的方式，使所述液滴噴出頭和所述重量測(cè)定單元相對(duì)移動(dòng)，在包含實(shí)施 對(duì)載物臺(tái)的所述基材的材料供給去除的時(shí)間、及為了該材料供給去除而所
5述載物臺(tái)利用所述載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)移動(dòng)的時(shí)間的材料供給去除時(shí)間 的期間，通過控制所述液滴噴出頭，實(shí)施用于實(shí)施噴出的所述液狀體的重 量測(cè)定的重量測(cè)定噴出。
根據(jù)該液滴噴出裝置可知，在不需要液滴噴出頭實(shí)施噴出的材料供給 去除工序的期間，實(shí)施需要液滴噴出頭實(shí)施噴出的重量測(cè)定噴出。通過在
20 液滴噴出頭的所謂的中止時(shí)間，實(shí)施重量測(cè)定噴出，不重新產(chǎn)生用于重量 測(cè)定噴出的時(shí)間，因此，能夠抑制用于利用液滴噴出的描繪的作業(yè)時(shí)間的 增加。
還有，材料供給去除時(shí)間除了實(shí)際上卸載已處理的基材，或?qū)嶋H上安 裝接下來(lái)要處理的基材的實(shí)際上實(shí)施材料供給去除的時(shí)間、或?yàn)榱瞬牧瞎?25給去除，使用于載置基材的載物臺(tái)移動(dòng)的時(shí)間之外，還包括安裝的基材的 對(duì)位的時(shí)間等。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選還具備丟棄噴出 接受器，其接受通過為了維持所述液滴噴出頭的狀態(tài)而所述液滴噴出頭實(shí) 施的丟棄噴出噴出的所述液狀體；噴出檢查裝置，其包含使通過為了檢 30 查所述液滴噴出頭的噴出狀態(tài)而實(shí)施于所述液滴噴出頭的檢查噴出噴出
的所述液狀體著附的檢查噴出著附片、和獲得著附于該檢查噴出著附片上 的所述液狀體的狀態(tài)信息的狀態(tài)觀測(cè)裝置；噴出檢查控制部，其控制所述 液滴噴出頭和所述狀態(tài)觀測(cè)裝置，所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述液滴 噴出頭、和所述噴出接受器及所述檢査噴出著附片在所述主掃描方向上相 5 對(duì)移動(dòng)，所述重量測(cè)定控制部通過控制所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述 重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以使所述液滴噴出頭位于面向所述丟棄噴出接 受器或所述檢査噴出著附片的位置的方式，使所述液滴噴出頭、和所述噴 出接受器及所述檢查噴出著附片相對(duì)移動(dòng)，通過控制所述重量測(cè)定單元移 動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以使所述狀態(tài)觀測(cè)裝置位于面向
10所述檢查噴出著附片的位置的方式，使所述狀態(tài)觀測(cè)裝置和所述檢查噴出 著附片相對(duì)移動(dòng)，所述噴出檢査控制部在所述材料供給去除時(shí)間的期間， 以實(shí)施所述丟棄噴出及所述檢查噴出的方式控制所述液滴噴出頭，所述噴 出檢查控制部又以獲得著附于所述狀態(tài)觀測(cè)裝置面向的所述檢查噴出著 附片上的所述液狀體的狀態(tài)信息的方式，控制所述狀態(tài)觀測(cè)裝置。
15 根據(jù)該液滴噴出裝置可知，在不需要液滴噴出頭實(shí)施噴出的材料供給
去除工序的期間，實(shí)施需要液滴噴出頭實(shí)施噴出的檢查噴出。通過在液滴 噴出頭的所謂的中止時(shí)間，實(shí)施檢查噴出，不重新產(chǎn)生用于檢查噴出的時(shí) 間，因此，能夠抑制用于利用液滴噴出的描繪的作業(yè)時(shí)間的增加。另外， 若在材料供給去除時(shí)間的期間，液滴噴出頭中止，則可能導(dǎo)致發(fā)生噴出口
20的干燥等不妥善情況。通過在材料供給去除時(shí)間的期間實(shí)施丟棄噴出，能 夠抑制噴出口的干燥等，能夠維持液滴噴出頭的適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選所述重量測(cè)定控制 部以使在具有多個(gè)所述液滴噴出頭的組中包含的一臺(tái)所述液滴噴出頭實(shí) 施所述重量測(cè)定噴出的方式進(jìn)行控制，以使在該組中包含的進(jìn)行所述重量
25測(cè)定噴出的所述液滴噴出頭以外的所述液滴噴出頭并行于利用所述組中 包含的一臺(tái)所述液滴噴出頭的所述重量測(cè)定噴出，實(shí)施所述丟棄噴出的方 式進(jìn)行控制。
根據(jù)該液滴噴出裝置可知，在一組液滴噴出頭中的一個(gè)液滴噴出頭實(shí) 施重量測(cè)定噴出的期間，其他液滴噴出頭實(shí)施丟棄噴出，由此抑制噴出口 30的干燥等，能夠維持液滴噴出頭的適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選所述噴出檢查控制 部及所述重量測(cè)定控制部以將分別實(shí)施利用所述狀態(tài)觀測(cè)裝置的所述狀 態(tài)信息的獲得、和利用所述液滴噴出頭的所述重量測(cè)定噴出的實(shí)施的時(shí)刻 相互錯(cuò)開而實(shí)施的方式，控制所述狀態(tài)觀測(cè)裝置及所述液滴噴出頭。 5 在實(shí)施重量測(cè)定噴出的情況下，需要使液滴噴出頭和重量測(cè)定單元對(duì)
置。在獲得狀態(tài)信息時(shí)，需要使?fàn)?態(tài)觀測(cè)裝置和檢查噴出著附片對(duì)置。為 了將液滴噴出頭、重量測(cè)定單元、狀態(tài)觀測(cè)裝置、和檢查噴出著附片形成 為能夠同時(shí)實(shí)施重量測(cè)定噴出和狀態(tài)信息的結(jié)構(gòu)，分別配置各裝置的位置 的位置關(guān)系被限制，因此，液滴噴出裝置變得大型的可能性變高。 10 根據(jù)該液滴噴出裝置可知，通過錯(cuò)開實(shí)施重量測(cè)定噴出和狀態(tài)信息的
獲得的時(shí)間，不需要能夠同時(shí)實(shí)施重量測(cè)定噴出和狀態(tài)信息地配置各裝 置，從而保持各裝置的配置的自由度，因此，能夠抑制液滴噴出裝置變得 大型的情況。
另外，也能夠使液滴噴出頭、重量測(cè)定單元、狀態(tài)觀測(cè)裝置、和檢査
15噴出著附片一體地移動(dòng)，因此，能夠削減移動(dòng)用裝置。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選還具備檢查單元 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭或所述狀態(tài)觀測(cè)裝置、和所述檢查噴出著 附片在所述主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，所述噴出檢查控制部控制所述檢查單 元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以使所述液滴噴出頭位于面
20 向所述檢查噴出著附片的位置的方式，使所述液滴噴出頭和所述檢查噴出 著附片相對(duì)移動(dòng)，以使所述狀態(tài)觀測(cè)裝置位于面向所述檢査噴出著附片的 位置的方式，使?fàn)顟B(tài)觀測(cè)裝置和所述檢查噴出著附片相對(duì)移動(dòng)，所述噴出 檢查控制部及所述重量測(cè)定控制部以大致并行實(shí)施利用所述狀態(tài)觀測(cè)裝 置的所述狀態(tài)信息的獲得、和利用所述液滴噴出頭的所述重量測(cè)定噴出的
25 實(shí)施的方式，控制所述狀態(tài)觀測(cè)裝置及所述液滴噴出頭。
根據(jù)該液滴噴出裝置可知，通過使用檢查單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及重量測(cè)定單 元移動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠分別獨(dú)立實(shí)施狀態(tài)觀測(cè)裝置和檢查噴出著附片的主掃描 方向的相對(duì)移動(dòng)、和液滴噴出頭和重量測(cè)定單元的主掃描方向的相對(duì)移 動(dòng)。即，能夠并行實(shí)施使液滴噴出頭和重量測(cè)定單元對(duì)置的操作、和使?fàn)?br> 30態(tài)觀測(cè)裝置和檢查噴出著附片對(duì)置的操作。由此，能夠分別獨(dú)立實(shí)施重量
測(cè)定噴出和狀態(tài)信息獲得，在實(shí)施重量測(cè)定噴出和狀態(tài)信息獲得的任一方 的期間，也能夠?qū)嵤┝硪环?。因此，用于?shí)施重量測(cè)定噴出所需的時(shí)間、 和用于實(shí)施狀態(tài)信息獲得所需的時(shí)間的任一方對(duì)利用液滴噴出的描繪所 需的時(shí)間幾乎不產(chǎn)生影響，能夠抑制利用液滴噴出的描繪所需的時(shí)間的增 5加。在上述適用例的液滴噴出裝置中7優(yōu)選還具備:檢查單元 副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭或所述狀態(tài)觀測(cè)裝置、和所述檢查噴出 著附片在所述副掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，所述噴出檢査控制部通過控制所述 檢査單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述檢査單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以使所述液滴噴出頭位于
10面向所述丟棄噴出接受器或所述檢査噴出著附片的位置的方式，使所述液 滴噴出頭和所述檢査噴出著附片相對(duì)移動(dòng)，以使所述狀態(tài)觀測(cè)裝置位于面 向所述檢查噴出著附片的位置的方式，使所述狀態(tài)觀測(cè)裝置和所述檢查噴 出著附片相對(duì)移動(dòng)。
根據(jù)該液滴噴出裝置可知，通過使用檢査單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)及重量測(cè)定
15 單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠分別獨(dú)立實(shí)施狀態(tài)觀測(cè)裝置和檢查噴出著附片的副 掃描方向上的相對(duì)移動(dòng)、和液滴噴出頭和重量測(cè)定單元的副掃描方向上的 相對(duì)移動(dòng)。由此，與僅使用重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)的情況相比，對(duì)于狀 態(tài)觀測(cè)裝置和檢查噴出著附片的副掃描方向上的相對(duì)移動(dòng)、和液滴噴出頭 和重量測(cè)定單元的副掃描方向上的相對(duì)移動(dòng)兩者，能夠更容易地分別獨(dú)立
20 實(shí)施重量測(cè)定噴出和狀態(tài)信息獲得。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選在利用所述重量測(cè) 定單元測(cè)定從所述液滴噴出頭所述重量測(cè)定噴出的所述液狀體的重量得 到的測(cè)定值的、相對(duì)于基準(zhǔn)值的差異超過規(guī)定值的情況下，實(shí)施確認(rèn)檢査。 根據(jù)該液滴噴出裝置可知，通過確認(rèn)檢查，能夠驗(yàn)證重量測(cè)定的測(cè)定
25結(jié)果。通過驗(yàn)證測(cè)定結(jié)果，能夠抑制由于臨時(shí)發(fā)生的噴出量的變動(dòng)在重量 測(cè)定中被測(cè)定出，從而導(dǎo)致對(duì)應(yīng)于該臨時(shí)的變動(dòng)，實(shí)施無(wú)用的應(yīng)對(duì)處置的 情況。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選所述確認(rèn)檢查是利 用所述重量測(cè)定單元的重量測(cè)定。 30 根據(jù)該液滴噴出裝置可知，臨時(shí)發(fā)生的噴出量的變動(dòng)在再次實(shí)施的重
量測(cè)定中被測(cè)定出的可能性也小，因此，通過實(shí)施再次重量測(cè)定，能夠驗(yàn) 證重量測(cè)定中的測(cè)定結(jié)果。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選所述確認(rèn)檢查是利 用所述噴出檢査裝置的所述液滴噴出頭的噴出狀態(tài)的檢査。 5 根據(jù)該液滴噴出裝置可知，通過實(shí)施噴出檢查，驗(yàn)證包括噴出不良等
的噴出狀態(tài)，能夠驗(yàn)證成為噴出重量的變動(dòng)的要因的噴出狀態(tài)的變動(dòng)的有 無(wú)。另外，能夠驗(yàn)證成為噴出重量的變動(dòng)的要因的噴出狀態(tài)的變動(dòng)的種類。 作為噴出狀態(tài)的變動(dòng)的種類，例如，可以舉出噴出口的堵塞引起的噴出不 良(不噴出)或噴出量過多或噴出量過少等。
10 [適用例25]在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選還具備噴出條件
設(shè)定部，其設(shè)定所述液滴噴出頭的噴出條件，在利用所述重量測(cè)定單元測(cè) 定從所述液滴噴出頭所述重量測(cè)定噴出的所述液狀體的重量得到的測(cè)定 值的、相對(duì)于基準(zhǔn)值的差異超過第一值，并且為第二值以下的情況下，所 述噴出條件設(shè)定部實(shí)施所述液滴噴出頭中的噴出條件的修正。
15 根據(jù)該液滴噴出裝置可知，僅通過使用噴出條件設(shè)定部，實(shí)施噴出條
件的修正，就能夠消除噴出重量的變動(dòng)。由于能夠在短時(shí)間內(nèi)實(shí)施基于噴 出條件設(shè)定部的噴出條件的修正，因此，與為了消除噴出重量的變動(dòng)而使 用其他方法的情況相比，能夠縮短用于應(yīng)對(duì)噴出重量的變動(dòng)的時(shí)間。第一 值例如為噴出重量的容許誤差，第二值例如為能夠通過噴出條件改變的噴
20 出重量的可變量。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選所述噴出條件之一 為施加于所述液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)電壓，所述修正包括驅(qū)動(dòng)電壓值的修正或 驅(qū)動(dòng)電壓波形的修正。
根據(jù)該液滴噴出裝置可知，通過調(diào)節(jié)施加于液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)電壓或
25 驅(qū)動(dòng)電壓波形，能夠修正噴出重量的變動(dòng)。將壓電元件作為驅(qū)動(dòng)源的液滴 噴出頭通過選擇適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)電壓或驅(qū)動(dòng)電壓波形來(lái)實(shí)現(xiàn)噴出量的設(shè)定值， 因此，通過調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓或驅(qū)動(dòng)電壓波形，能夠修正噴出重量的變動(dòng)。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選在一次所述材料供
給去除時(shí)間的期間，實(shí)施利用一臺(tái)所述液滴噴出頭的所述重量測(cè)定噴出。
30 在用多個(gè)液滴噴出頭實(shí)施重量測(cè)定噴出工序的情況下，重量測(cè)定噴出
工序所需的時(shí)間的總計(jì)增加，因此，該時(shí)間的總計(jì)超過材料供給去除時(shí)間 的可能性增加。超過材料供給去除時(shí)間的時(shí)間成為用于描繪的作業(yè)時(shí)間的 增加要因。根據(jù)該液滴噴出裝置可知，在一次材料供給去除工序期間實(shí)施 重量測(cè)定噴出工序的液滴噴出頭為一臺(tái)，重量測(cè)定噴出所需的時(shí)間最短， 5因此，能夠使重量測(cè)定噴出所需的時(shí)間成為用于描繪的作業(yè)時(shí)間的增大要 因的可能性最小。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選預(yù)先規(guī)定包含多個(gè) 所述液滴噴出頭的頭組，所述重量測(cè)定控制部以伴隨多次所述材料供給去 除的實(shí)施，使包含于所述頭組的所有的所述液滴噴出頭依次實(shí)施各自一次
10 的所述重量測(cè)定噴出，實(shí)施各自的所述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的重 量測(cè)定的方式，控制所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述液滴噴出頭，并且， 以在伴隨并行于第一液滴噴出頭的所述重量測(cè)定噴出而進(jìn)行的實(shí)施的所 述材料供給去除、和然后伴隨并行于該第一液滴噴出頭的所述重量測(cè)定噴 出而進(jìn)行的實(shí)施的所述材料供給去除的期間，實(shí)施多次不伴隨并行于所述
15重量測(cè)定噴出而進(jìn)行的實(shí)施的所述材料供給去除的方式，控制所述重量測(cè) 定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述液滴噴出頭。
根據(jù)該液滴噴出裝置可知，實(shí)施不伴隨并行實(shí)施重量測(cè)定噴出的情況 的材料供給去除。即，能夠減少實(shí)施朝向基材噴出液狀體的作業(yè)的一定時(shí) 間中的重量測(cè)定的次數(shù)。由此，能夠抑制重量測(cè)定所需的能量。重量測(cè)定
20只要隔著一定的起動(dòng)時(shí)間來(lái)實(shí)施就能夠發(fā)揮充分的驗(yàn)證功能。例如，將多 個(gè)液滴噴出頭作為一組，對(duì)該組的各液滴噴出頭，實(shí)施各一次的重量測(cè)定， 在規(guī)定的起動(dòng)時(shí)間后，對(duì)于該組的各液滴噴出頭，實(shí)施各一次的重量測(cè)定， 即使是這樣的方法，也能夠發(fā)揮驗(yàn)證效果。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選還具備重量測(cè)定
25接受器，其收容通過所述重量測(cè)定噴出噴出的所述液狀體；接受器管理部， 其算出所述重量測(cè)定接受器的更換時(shí)期，發(fā)出更換指示信息，所述接受器 管理部根據(jù)所述重量測(cè)定噴出的實(shí)施狀態(tài)，算出所述更換時(shí)期。
根據(jù)該液滴噴出裝置可知，接受器管理部依照重量測(cè)定噴出的實(shí)施狀 態(tài)，算出重量測(cè)定接受器的更換時(shí)期，依次該更換時(shí)期，發(fā)出更換指示信
30息。能夠依照重量測(cè)定噴出的實(shí)施狀態(tài)，掌握著附于重量測(cè)定接受器而蓄
積的液狀體的量，因此，能夠依照接受器管理部的更換指示信息，有效地 實(shí)施重量測(cè)定接受器的更換。還有，每次實(shí)施重量測(cè)定噴出時(shí)清空重量測(cè) 定接受器導(dǎo)致每一次都需要更換時(shí)間，從而不是有效的。另外，在使用具 有不需要將重量測(cè)定接受器清空的程度的容量的重量測(cè)定接受器的情況 5下，與重量測(cè)定接受器或具備該重量測(cè)定接受器的重量測(cè)定單元等使用需 要將重量測(cè)定接受器清空的大小的重量測(cè)定接受器的情況相比，液滴噴出 裝置變大。從而，重量測(cè)定接受器形成為需要適當(dāng)清空的程度的大小是有 效的。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選所述接受器管理部 io累計(jì)所述重量測(cè)定噴出的噴出次數(shù)，將該噴出次數(shù)的累計(jì)超過規(guī)定的數(shù)值 的時(shí)刻作為所述更換時(shí)期。
根據(jù)該液滴噴出裝置可知，根據(jù)在重量測(cè)定噴出中噴出的噴出次數(shù)的 累計(jì)，發(fā)出指示重量測(cè)定接受器的更換的更換指示信息。在重量測(cè)定噴出 中噴出的液狀體的液滴除了噴出不良(不噴出)的情況之外，都著附于重
15量測(cè)定接受器。因此，著附于重量測(cè)定接受器的液狀體的液滴的數(shù)量與在
重量測(cè)定噴出中噴出的噴出次數(shù)大致相等。通過在重量測(cè)定噴出中噴出的 噴出次數(shù)的累計(jì)，指示重量測(cè)定接受器的更換，由此能夠有效地實(shí)施重量 測(cè)定接受器的更換。還有，重量測(cè)定接受器內(nèi)的液狀體的溶劑蒸發(fā)，因此， 在重量測(cè)定噴出中噴出的噴出次數(shù)的累計(jì)優(yōu)選換算為噴出的噴出次數(shù)的
20 液狀體中包含的溶質(zhì)的重量的累計(jì)來(lái)使用。在上述適用例的液滴噴出裝置中，優(yōu)選所述接受器管理部
累計(jì)在所述重量測(cè)定中測(cè)定的所述液狀體的重量，將該重量的累計(jì)超過規(guī) 定的數(shù)值的時(shí)刻作為所述更換時(shí)期。
根據(jù)該液滴噴出裝置可知，通過在重量測(cè)定中測(cè)定的重量的累計(jì)，指
25 示重量測(cè)定接受器的更換。在重量測(cè)定中測(cè)定的重量的累計(jì)是在重量測(cè)定 接受器中累計(jì)的液狀體的重量。通過在重量測(cè)定中測(cè)定的重量的累計(jì)，指 示重量測(cè)定接受器的更換，由此能夠有效地實(shí)施重量測(cè)定接受器的更換。 還有，重量測(cè)定接受器內(nèi)的液狀體的溶劑蒸發(fā)，因此，在重量測(cè)定噴出中 噴出的噴出次數(shù)的累計(jì)優(yōu)選換算為噴出的噴出次數(shù)的液狀體中包含的溶
30 質(zhì)的重量的累計(jì)來(lái)使用。在本適用例的液滴噴出裝置的噴出重量測(cè)定方法中，其從 所述液滴噴出頭噴出液狀體，并且，通過使作為使所述液狀體著附的基材、 和所述液滴噴出頭相對(duì)移動(dòng)，在所述基材上配置所述液狀體，其特征在于， 包括重量測(cè)定噴出工序，其使所述液滴噴出頭實(shí)施用于實(shí)施噴出的所述 5 液狀體的重量測(cè)定的重量測(cè)定噴出，在對(duì)所述液滴噴出裝置實(shí)施用于實(shí)施 所述基材的材料供給去除的材料供給^去除工序的期間，實(shí)施所述重量測(cè)定 噴出工序。
根據(jù)該液滴噴出裝置的噴出重量測(cè)定方法可知，在不需要液滴噴出頭 實(shí)施噴出的材料供給去除工序的期間，實(shí)施需要液滴噴出頭實(shí)施噴出的重 10 量測(cè)定噴出工序。通過在液滴噴出頭的所謂的中止時(shí)間，實(shí)施重量測(cè)定噴 出工序，不重新產(chǎn)生用于重量測(cè)定噴出工序的時(shí)間，因此，能夠抑制用于 利用液滴噴出的描繪的作業(yè)時(shí)間的增加。
還有，材料供給去除工序除了如實(shí)際上卸載已處理的基材，或?qū)嶋H上 安裝接下來(lái)要處理的基材的實(shí)際上實(shí)施材料供給去除的工序之外，還包括 15安裝的基材的對(duì)位工序、或?yàn)榱瞬牧瞎┙o去除，使用于載置基材的載物臺(tái) 移動(dòng)的工序等。本適用例的液滴噴出裝置的噴出重量測(cè)定裝置，其特征在 于，所述液滴噴出裝置具備液滴噴出頭，其噴出液狀體；載物臺(tái)，其用
于載置作為使噴出的所述液狀體著附的對(duì)象的基材；載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其 20 使所述液滴噴出頭和所述載物臺(tái)在主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)；重量測(cè)定單 元，其測(cè)定從所述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的重量；重量測(cè)定單元移 動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭和所述重量測(cè)定單元在主掃描方向上相對(duì)移 動(dòng)；重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭和所述重量測(cè)定單元 在與所述主掃描方向大致正交的副掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，具備重量測(cè)定 25 控制部，其控制所述液滴噴出頭、所述重量測(cè)定單元、所述重量測(cè)定單元 移動(dòng)機(jī)構(gòu)、和所述重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述重量測(cè)定控制部通過控 制所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以使所述 液滴噴出頭位于面向所述重量測(cè)定單元的位置的方式，使所述液滴噴出頭 和所述重量測(cè)定單元相對(duì)移動(dòng)，在包含實(shí)施對(duì)載物臺(tái)的所述基材的材料供
30 給去除的時(shí)間、及為了該材料供給去除而所述載物臺(tái)利用所述載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)移動(dòng)的時(shí)間的材料供給去除時(shí)間的期間，通過控制所述液滴噴出 頭，實(shí)施用于實(shí)施噴出的所述液狀體的重量測(cè)定的重量測(cè)定噴出。
根據(jù)該液滴噴出裝置的噴出重量測(cè)定裝置可知，在不需要液滴噴出頭 實(shí)施噴出的材料供給去除時(shí)間的期間，實(shí)施需要液滴噴出頭實(shí)施噴出的重 5 量測(cè)定噴出。通過在液滴噴出頭的所謂的中止時(shí)間，實(shí)施重量測(cè)定噴出， 不重新產(chǎn)生用于重量測(cè)定噴出的時(shí)間，因此，能夠抑制用于利用液滴噴出 的描繪的作業(yè)時(shí)間的增加。
還有，材料供給去除時(shí)間除了實(shí)際上卸載已處理的基材，或?qū)嶋H上安 裝接下來(lái)要處理的基材的實(shí)際上實(shí)施材料供給去除的時(shí)間、或?yàn)榱瞬牧瞎?10給去除，使用于載置基材的載物臺(tái)移動(dòng)的時(shí)間之外，還包括用于安裝的基 材的對(duì)位的時(shí)間等。


圖1是表示液滴噴出裝置的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。 15 圖2是表示液滴噴出裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。
圖3是表示液滴噴出裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。
圖4是表示液滴噴出頭的概要的外觀立體圖。 圖5是表示頭單元的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。 圖6是表示液滴噴出裝置的電結(jié)構(gòu)的電結(jié)構(gòu)方框圖。 20 圖7是表示檢査描繪單元的整體結(jié)構(gòu)的外觀立體圖。
圖8 (a)是包括重量測(cè)定單元的部分及沖洗(7，、乂、;yy夕、')單元的 部分的重量測(cè)定塊的俯視圖，(b)是重量測(cè)定塊的側(cè)面圖。
圖9是表示檢査攝像機(jī)、液滴噴出頭、重量測(cè)定時(shí)沖洗盒及定期沖洗 盒的位置關(guān)系的示意圖。 25 圖10是表示校準(zhǔn)攝像機(jī)、工件載置臺(tái)、定期沖洗盒、重量測(cè)定時(shí)沖
洗盒、和頭組的液滴噴出頭的位置關(guān)系的示意圖。
圖11是表示頭單元和重量測(cè)定裝置的位置關(guān)系的側(cè)面圖。 圖12是表示液滴噴出頭和重量測(cè)定裝置的位置關(guān)系的俯視圖。 圖13 (a)是表示頭單元和重量測(cè)定裝置的位置關(guān)系的側(cè)面圖，(b) 30 是表示液滴噴出頭和重量測(cè)定裝置的位置關(guān)系的俯視圖。
圖14是表示描繪工序的流程圖。
圖中l(wèi)一液滴噴出裝置；2 —噴出單元；3 —工件單元；4一檢查單元; 化一噴出檢査塊；6—噴出裝置控制部；ll一X軸工作臺(tái)；12 — Y軸工作 臺(tái)；14一沖洗板單元；17—液滴噴出頭；18 —噴出檢查單元；19一重量測(cè)
5 定單元；21—工件載置臺(tái)；22—X軸第一滑塊；23—X軸第二滑塊；24 — X軸共用支撐基座；26—X軸線性馬達(dá)；44一CPU; 54—頭單元；55 —頭 組；91一重量測(cè)定裝置；93 —定期沖洗盒；94一受液容器；95、 95a、 95b 一重量測(cè)定時(shí)沖洗盒；99一電子天平；161—檢查描繪單元；162 —攝像單 元；163 —檢查攝像機(jī)；171—檢查片；W—工件。
10
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖，說(shuō)明液滴噴出方法、及液滴噴出裝置的一實(shí)施方式。 本實(shí)施方式的液滴噴出裝置例如組入平板顯示器的制造生產(chǎn)線，使用導(dǎo)入 了含有顏料的功能液或含有發(fā)光性樹脂的功能液的液滴噴出頭，形成液晶
15顯示裝置的濾色片或有機(jī)EL裝置的發(fā)光元件等。 <液滴噴出法>
首先，對(duì)在濾色片等的形成中使用的液滴噴出法進(jìn)行說(shuō)明。作為液滴 噴出法的噴出技術(shù)，可以舉出帶電控制方式、加壓振動(dòng)方式、機(jī)電變換方 式、電熱變換方式、靜電吸引方式等。帶電控制方式中用帶電電極向材料
20 賦予電荷，用偏轉(zhuǎn)電極控制材料的飛翔方向，將其從噴出嘴噴出。另外，
加壓振動(dòng)方式中向材料施加30kg/ci^左右的超高壓，向噴出嘴前端側(cè)噴出 材料，在不施加控制電壓的情況下，使材料前進(jìn)，將其從噴出嘴噴出，若 施加控制電壓，則在材料間引起靜電排斥，材料飛散，不從噴出嘴噴出。 另外，機(jī)電變換方式中利用壓電元件(壓電元件)受到脈沖電信號(hào)而變形
25的性質(zhì)，通過壓電元件的變形，向貯存材料的空間通過撓曲物質(zhì)賦予壓力，
將材料從該空間擠出，從噴出嘴噴出。
另外，電熱變換方式中通過在貯存材料的空間內(nèi)設(shè)置加熱器，使材料 急劇地氣化，產(chǎn)生氣泡(泡)，利用閥的壓力，噴出空間內(nèi)的材料。靜電 吸引方式中向貯存材料的空間內(nèi)施加微小壓力，在噴出嘴形成材料的彎月
30 面，在該狀態(tài)下施加靜電引力后，引出材料。另外，此外，還可以適用利
用基于電場(chǎng)的流體的粘性變化的方式、或用放電火花使其飛行的方式等技 術(shù)。液滴噴出法具有材料的使用上沒有浪費(fèi)，而且，能夠?qū)⑾Ｍ牧康?材料準(zhǔn)確地配置于希望的位置的優(yōu)點(diǎn)。其中，壓電方式由于向液態(tài)材料不 施加熱量，因此具有對(duì)材料的組成等不產(chǎn)生影響，通過調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電壓， 5 能夠容易地調(diào)節(jié)液滴的大小的優(yōu)點(diǎn)。在本實(shí)施方式中，由于液態(tài)材料選擇 的自由虔「高，且液滴的控制性良好，因此，使用上述壓電方式。 <液滴噴出裝置>
其次，參照?qǐng)Dl,說(shuō)明液滴噴出裝置的整體結(jié)構(gòu)。圖1是表示液滴噴 出裝置的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。 10 如圖1所示，液滴噴出裝置1具備具有液滴噴出頭17 (參照?qǐng)D4)
的噴出單元2;工件單元3;功能液供給部(省略圖示)；檢查單元4;維 護(hù)單元5;噴出裝置控制部6 (參照?qǐng)D6)。
噴出單元2具有20個(gè)將液狀體即功能液作為液滴噴出的液滴噴出頭
17。工件單元3具有載置將從液滴噴出頭17噴出的液滴的噴出對(duì)象即工 15件W的工件載置臺(tái)21。功能液供給部具有貯存功能液的貯存罐(省略圖
示)，進(jìn)行向液滴噴出頭17的功能液的供給。檢查單元4具有用于檢查
來(lái)自液滴噴出頭17的噴出狀態(tài)的、噴出檢查單元18及重量測(cè)定單元19， 在重量測(cè)定單元19并設(shè)沖洗單元14。維護(hù)單元5具有進(jìn)行液滴噴出頭 17的維護(hù)的吸引單元15及擦拭單元16。噴出裝置控制部6總括控制這些
20 機(jī)構(gòu)部等。后述的重量測(cè)定處理、描繪處理、噴出檢查處理、及維護(hù)處理 等基于利用噴出裝置控制部6的控制來(lái)進(jìn)行。噴出裝置控制部6想到那個(gè) 魚重量測(cè)定控制部、或噴出檢查控制部。
液滴噴出裝置1具備支撐于石平臺(tái)的X軸支撐基座1A，各單元等 配設(shè)于X軸支撐基座1A上。X軸工作臺(tái)ll在作為主掃描方向的X軸方
25 向上延伸，配設(shè)于X軸支撐基座1A上，使工件載置臺(tái)21沿X軸方向(主 掃描方向)移動(dòng)。Y軸工作臺(tái)12配設(shè)于以經(jīng)由多根支柱7A橫跨X軸工 作臺(tái)11的方式跨設(shè)的一對(duì)Y軸支撐基座7上，在作為副掃描方向的Y軸 方向上延伸。噴出單元2具備10個(gè)分別具有12個(gè)的液滴噴出頭17的滑 架單元51。 10個(gè)滑架單元51分別吊設(shè)于10個(gè)橋板52。橋板52通過Y
30軸滑塊(省略圖示)在Y軸方向上滑動(dòng)移動(dòng)自如地支撐于Y軸工作臺(tái)12。
Y軸工作臺(tái)12使橋板52 (滑架單元51)在Y軸方向(副掃描方向)上移動(dòng)。
通過同步于X軸工作臺(tái)11及Y軸工作臺(tái)12的驅(qū)動(dòng)，將液滴噴出頭 17噴出驅(qū)動(dòng)，噴出功能液滴，對(duì)于在工件載置臺(tái)21上載置的工件W描繪 5任意的描繪圖案。
噴出檢查單元18具有檢査描繪單元161、和攝像單元162 (參照?qǐng)D 2)。檢查描繪單元161構(gòu)成為使重量測(cè)定單元19及沖洗單元14 一體地移 動(dòng)。 一體地設(shè)置了檢查描繪單元161、重量測(cè)定單元19、和沖洗單元14 的塊(block)標(biāo)記為噴出檢查塊4a。攝像單元162具有兩個(gè)檢査攝像 io 機(jī)163、 163 (參照?qǐng)D2)、和將檢查攝像機(jī)163支撐為在Y軸方向上滑動(dòng) 自如的攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)164 (參照?qǐng)D2)。攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)164固定于Y軸 支撐基座7。兩個(gè)檢查攝像機(jī)163、 163利用攝像機(jī)移動(dòng)馬達(dá)(在圖2中省 略圖示)，分別獨(dú)立在Y軸方向上移動(dòng)。
將維護(hù)單元5具備的吸引單元15及擦拭單元16從X軸工作臺(tái)11卸 15載，并將其配設(shè)于利用Y軸工作臺(tái)12使滑架單元51能夠移動(dòng)的位置上配 設(shè)的臺(tái)架8上。吸引單元15具有多個(gè)分割吸引單元141，吸引液滴噴出頭 17，從液滴噴出頭17的噴出嘴78 (參照?qǐng)D4)強(qiáng)制排出功能液。擦拭單 元16具有將清洗液噴霧的擦拭單元151，擦拭吸引后的液滴噴出頭17的 噴嘴形成面76a (參照?qǐng)D4)。這樣，吸引單元15及擦拭單元16進(jìn)行液滴 20噴出頭17的維護(hù)，實(shí)現(xiàn)液滴噴出頭17的功能維持或功能恢復(fù)。 其次，除了圖1之外，參照?qǐng)D2及圖3，說(shuō)明液滴噴出裝置l的各構(gòu) 成要件。圖2及圖3是表示液滴噴出裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。圖2是在 X軸方向上延伸的側(cè)面的側(cè)面圖，圖3是在Y軸方向上延伸的側(cè)面的側(cè)面 圖。
25 如圖l、圖2、或圖3所示，X軸工作臺(tái)ll具備X軸第一滑塊22;
X軸第二滑塊23;左右一對(duì)X軸線性馬達(dá)26; —對(duì)X軸共用支撐基座24。 在X軸第一滑塊22安裝有工件載置臺(tái)21 。
在X軸第一滑塊22上安裝有工件載置臺(tái)21 。 X軸第一滑塊22在X 軸方向上滑動(dòng)自如地支撐于在X軸方向上延伸的X軸共用支撐基座24上。 30在X軸第二滑塊23安裝有一體地設(shè)置有檢查描繪單元161、重量測(cè)定單
元19、和沖洗單元14的噴出檢查塊4a。 X軸第二滑塊23在X軸方向上 滑動(dòng)自如地支撐于在X軸方向上延伸的X軸共用支撐基座24上。X軸線 性馬達(dá)26并列設(shè)置于X軸共用支撐基座24，通過使X軸第一滑塊22或 X軸第二滑塊23沿X軸共用支撐基座24移動(dòng)，使工件載置臺(tái)21 (載置 5 于工件載置臺(tái)21的工件W)或噴出檢査塊4a沿X軸方向移動(dòng)。X軸第一 滑塊22和X軸第二滑塊23能夠利用'X軸線性馬達(dá)26分別驅(qū)動(dòng)。X軸線 性馬達(dá)26、 X軸共用支撐基座24、和X軸第一滑塊22相對(duì)于載物臺(tái)移動(dòng) 機(jī)構(gòu)。X軸線性馬達(dá)26、 X軸共用支撐基座24、和X軸第二滑塊23相對(duì) 于重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)。X軸方向相當(dāng)于主掃描方向，Y軸方向相當(dāng)于 io 副掃描方向。
工件載置臺(tái)21具有吸附設(shè)置工件W的吸附工作臺(tái)31、和支撐吸附 工作臺(tái)31，將設(shè)置于吸附工作臺(tái)31的工件W的位置向e軸方向進(jìn)行e修 正的e工作臺(tái)32。圖1及圖2中的工件載置臺(tái)21的位置成為用于進(jìn)行工 件W的材料供給去除的材料供給去除位置，在將未處理的工件W導(dǎo)入(材
15 料供給)吸附工作臺(tái)31時(shí)或回收已處理的工件W時(shí)，使吸附工作臺(tái)31 移動(dòng)至該位置。在該材料供給去除位置，利用機(jī)器人臂(省略圖示)，進(jìn) 行對(duì)吸附工作臺(tái)31進(jìn)行的工件W送入 送出(載置更換)。另外，在吸 附工作臺(tái)31組入有使進(jìn)行了材料供給的工件W靠向X軸方向及Y軸方 向，將其預(yù)排列的機(jī)構(gòu)(省略圖示)。材料供給于吸附工作臺(tái)31的未處理
20的工件W的排列使用e工作臺(tái)32，在材料供給去除位置實(shí)施。在工件載 置臺(tái)21的與Y軸方向平行的一對(duì)邊添加設(shè)置有描繪前沖洗單元111的一 對(duì)描繪前沖洗盒121。
圖像識(shí)別單元80具有兩臺(tái)校準(zhǔn)攝像機(jī)81、 81、和攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu) 82。攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)82沿Y軸方向延伸，并橫跨X軸工作臺(tái)11地配設(shè)
25在X軸支撐基座1A上。校準(zhǔn)攝像機(jī)81通過攝像機(jī)固定器(省略圖示)， 在Y軸方向上滑動(dòng)自如地支撐于攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)82上。支撐于攝像機(jī)移 動(dòng)機(jī)構(gòu)82的校準(zhǔn)攝像機(jī)81從上側(cè)面向X軸工作臺(tái)11，能夠識(shí)別在X軸 工作臺(tái)11上的工件載置臺(tái)21載置的工件W的各基準(zhǔn)標(biāo)記(排列標(biāo)記)(省 略圖示)。兩臺(tái)校準(zhǔn)攝像機(jī)81、 81通過攝像機(jī)移動(dòng)馬達(dá)(省略圖示)，分
30 別獨(dú)立在Y軸方向上移動(dòng)。
各校準(zhǔn)攝像機(jī)81連動(dòng)于工件載置臺(tái)21的沿X軸方向的移動(dòng)，利用攝
像機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)82沿Y軸方向移動(dòng)，同時(shí)，拍攝供給了材料的上述機(jī)器人 臂的各種工件W的排列標(biāo)記，實(shí)施各工件W的位置識(shí)別。還有，基于該 校準(zhǔn)攝像機(jī)81的攝像結(jié)果，實(shí)施利用e工作臺(tái)32的工件W的e修正。 5 Y軸工作臺(tái)12具備IO組Y軸滑塊(省略圖示)、和一對(duì)Y軸線性
馬達(dá)(省略圖示)。 一對(duì)Y軸線性馬達(dá)分別設(shè)置于上^E—對(duì)Y軸支撐基座 7、 7上，在Y軸方向上延伸。20個(gè)(10組)Y軸滑塊以各10個(gè)滑動(dòng)移 動(dòng)自如地分別支撐于一對(duì)Y軸支撐基座7、 7。分別支撐于一對(duì)Y軸支撐 基座7、 7的各一個(gè)Y軸滑塊構(gòu)成的一組Y軸滑塊通過兩端支撐來(lái)支撐固 io定有構(gòu)成噴出單元2的滑架單元51的橋板52。分別固定構(gòu)成噴出單元2
的io個(gè)各滑架單元5i的io個(gè)橋板52通過用兩端^:撐來(lái)支撐10個(gè)橋板
52的10組Y軸滑塊，設(shè)置于一對(duì)Y軸支撐基座7、 7上。
若(同步)驅(qū)動(dòng)一對(duì)Y軸線性馬達(dá)，則各Y軸滑塊被一對(duì)Y軸支撐
基座7、 7引導(dǎo)，同時(shí)沿Y軸方向平行移動(dòng)。由此，橋板52沿Y軸方向 15移動(dòng)，吊設(shè)于橋板52的滑架單元51沿Y軸方向移動(dòng)。還有，在這種情況
下，通過控制Y軸線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)，能夠獨(dú)立地個(gè)別移動(dòng)滑架單元51，
也能夠使10個(gè)滑架單元51 —體地移動(dòng)。
滑架單元51具備(參照?qǐng)D5):頭單元54，該頭單元54具有12個(gè)
液滴噴出頭17、和按6個(gè)分為兩組來(lái)支撐12個(gè)液滴噴出頭17的子承載器 2053。另外，滑架單元51具備能夠進(jìn)行9修正地支撐頭單元54的9旋轉(zhuǎn)
機(jī)構(gòu)61 ， 通過e旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)61將頭單元54支撐于橋板52的吊設(shè)部件62。 <液滴噴出頭的結(jié)構(gòu)>
其次，參照?qǐng)D4，說(shuō)明液滴噴出頭17。圖4是表示液滴噴出頭的概要 的外觀立體圖。
25 如圖4所示，該液滴噴出頭17是雙聯(lián)式，具備具有雙聯(lián)式連接針
72、 72的液體導(dǎo)入部71;連接于液體導(dǎo)入部71的方形頭主體74;從液體 導(dǎo)入部71和頭主體74之間向側(cè)方突出的頭基板73。頭主體74具有與 液體導(dǎo)入部71連接的泵部75、和與泵部75連接的噴嘴形成板76。在噴 嘴形成板76形成有向噴嘴形成面76a開口的噴出嘴78。在液滴噴出頭17
30中，每一列中形成有由180個(gè)噴出嘴78構(gòu)成的噴嘴列78b。在泵部75設(shè)
置有壓電元件，通過驅(qū)動(dòng)該壓電元件，將從液體導(dǎo)入部71供給過來(lái)的功
能液從噴出嘴78噴出。對(duì)應(yīng)于一個(gè)噴出嘴78，設(shè)置有一個(gè)壓電元件，能 夠分別按噴出嘴78每一個(gè)獨(dú)立噴出功能液。在頭基板73設(shè)置有一對(duì)連接 器77、 77。該連接器77通過FFC電纜等，與連接于噴出裝置控制部6的 5中繼基板連接，由此，液滴噴出頭17與噴出裝置控制部6連接。
在將液滴噴出頭17安裝于液滴噴出裝置1的狀態(tài)下，噴嘴列78b在Y 軸方向上延伸。分別構(gòu)成兩列噴嘴列78b的噴出嘴78之間在Y軸方向上 相互錯(cuò)開一半噴嘴間距的位置。在X軸方向的相同位置，從構(gòu)成各自的噴 嘴列78b的噴出嘴78噴出的液滴在設(shè)計(jì)方面，在Y軸方向上以等間隔排 io列而著附于一直線上。
<頭單元>
其次，參照?qǐng)D5，說(shuō)明頭單元54。圖5是表示頭單元的概略結(jié)構(gòu)的俯 視圖。圖5所示的X軸及Y軸在頭單元54安裝于液滴噴出裝置1的狀態(tài) 下，與圖1所示的X軸及Y軸一致。如圖5所示，頭單元54具有子承
15 載器53、搭載于子承載器53的12個(gè)液滴噴出頭17。液滴噴出頭17固定 于子承載器53，頭主體74活動(dòng)嵌入在子承載器53形成的孔(省略圖示) 中，噴嘴形成面76a從子承載器53的面突出。圖5是從噴嘴形成面76a 側(cè)觀察的圖。12個(gè)液滴噴出頭17在Y軸方向上分開而形成兩組分別具有 各6個(gè)液滴噴出頭17的頭組55。各自的液滴噴出頭17的噴嘴列78b在Y
20 軸方向上延伸。
一個(gè)頭組55具有的六個(gè)液滴噴出頭17定位如下，即相對(duì)于在Y軸 方向上相互相鄰的液滴噴出頭17的一方的液滴噴出頭17的一端的噴出嘴 78，另一方的液滴噴出頭17的一端的噴出嘴78位于錯(cuò)開一半噴嘴間距的 位置。假設(shè)具有頭組55的六個(gè)液滴噴出頭17中，使所有的噴出嘴78的X
25 軸方向的位置相同的情況下，噴出嘴78在Y軸方向上以一半噴嘴間距的 等間隔排列。即，在X軸方向的相同位置，從構(gòu)成各自的液滴噴出頭17 具有的各自的噴嘴列78b的噴出嘴78噴出的液滴在設(shè)計(jì)方面，在Y軸方 向上以等間隔排列而著附于一直線上。間該直線標(biāo)記為噴嘴組線。液滴噴 出頭17在Y軸方向殺死你過相互重疊，因此，在X軸方向上以階梯狀排
30 列而構(gòu)成頭組55。
頭單元54具有的兩個(gè)頭組55在Y軸方向上空開一個(gè)頭組55量的間 隔而配置。即，若從一個(gè)頭單元54的噴出嘴78—滴一滴地噴出，在X軸 方向上成為相同的位置地著附，則空開噴嘴組線一條的長(zhǎng)度的量的間隔， 形成兩條噴嘴組線。通過使頭單元54在Y軸方向上移動(dòng)一個(gè)頭組55的量， 5同樣地形成兩條噴嘴組線，形成噴嘴組線四條相連的直線。該直線在設(shè)計(jì) 方面，構(gòu)威噴嘴列78b的噴出嘴78的數(shù)量的48倍的數(shù)量的點(diǎn)以構(gòu)成噴嘴 列78b的噴出嘴78的噴嘴間距的一半的間隔(噴嘴間距)相連。
在相鄰的頭單元54中，各自頭組55也可以位處如下，即相互在Y 軸方向上空開一個(gè)頭組55的間隔而配置。從而，通過夾著相當(dāng)于噴嘴組 io線的長(zhǎng)度的Y軸方向的移動(dòng)，分別向噴出單元2具有的各噴出嘴78—滴 一滴地噴出功能液，能夠形成在Y軸方向上延伸的一直線。該噴出單元2 具有的所有120個(gè)液滴噴出頭17通過各兩次的噴出內(nèi)描繪的線的長(zhǎng)度對(duì) 應(yīng)于在工件載置臺(tái)21能夠搭載的最大尺寸的工件W的寬度。
還有，在不使用噴嘴列78b的一端側(cè)的噴出嘴78的情況下，不使用 15的噴出嘴78將液滴噴出頭17配置為在Y軸方向上與使用噴出嘴78重疊。
<液滴噴出裝置的電結(jié)構(gòu)>
其次，參照?qǐng)D6，說(shuō)明用于驅(qū)動(dòng)具有上述結(jié)構(gòu)的液滴噴出裝置1的電 結(jié)構(gòu)。圖6是表示液滴噴出裝置的電結(jié)構(gòu)的電結(jié)構(gòu)方框圖。液滴噴出裝置 1通過控制裝置65進(jìn)行數(shù)據(jù)的輸入、或起動(dòng)開始或停止等控制指令的輸入
20而進(jìn)行控制?？刂蒲b置65具有進(jìn)行運(yùn)算處理的主計(jì)算機(jī)66、和用于對(duì) 液滴噴出裝置l進(jìn)行信息的輸入輸出的輸入輸出裝置68，并經(jīng)由接口(I/F) 67與噴出裝置控制部6連接。輸入輸出裝置68是能夠輸入信息的鍵盤、 通過記錄介質(zhì)輸入輸出信息的外部輸入輸出裝置、保存通過外部輸入輸出 裝置輸入的信息的記錄部、監(jiān)視器裝置等。
25 液滴噴出裝置1的噴出裝置控制部6具有接口(I/F)47、CPU(Centml
Processing Unit) 44、 ROM (Read Only Memory) 45、 RAM (Random Access Memory) 46、和硬盤48。另夕卜，具有頭驅(qū)動(dòng)器2d、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)器40d、 供液驅(qū)動(dòng)器60d、維護(hù)驅(qū)動(dòng)器5d、檢査驅(qū)動(dòng)器4d、檢測(cè)部接口 (I/F) 43。 這些經(jīng)由數(shù)據(jù)總線49相互電連接。
30 接口 (I/F) 47與控制裝置65進(jìn)行數(shù)據(jù)的接收授予，CPU44基于來(lái)自
控制裝置65的指令進(jìn)行各種運(yùn)算處理，輸出控制液滴噴出裝置1的各部
的動(dòng)作的控制信號(hào)。RAM46按照來(lái)自CPU44的指令，臨時(shí)保存從控制裝 置65接受的控制命令或印刷數(shù)據(jù)。ROM45存儲(chǔ)CPU44進(jìn)行各種運(yùn)算處 理的程序等。硬盤48保存從控制裝置65接受的控制命令或印刷數(shù)據(jù)，或 5存儲(chǔ)CPU44用于進(jìn)行各種運(yùn)算處理的程序等。
在頭驅(qū)動(dòng)器2d連接構(gòu)成噴出單元2的液滴噴出頭17。頭驅(qū)動(dòng)器2d按 照來(lái)自CPU44的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)液滴噴出頭17，判處功能液的液滴。在 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)器40d連接包括Y軸工作臺(tái)12的頭移動(dòng)馬達(dá)、X軸工作臺(tái) 11的X軸線性馬達(dá)26、具有各種驅(qū)動(dòng)源的各驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41。各
io種驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是如上所述的用移動(dòng)校準(zhǔn)攝像機(jī)81的攝像機(jī)移動(dòng)馬達(dá)或e旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)61的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)等。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)器40d按照來(lái)自CPU44的控制信 號(hào)，驅(qū)動(dòng)上述馬達(dá)等，使液滴噴出頭17和工件W相對(duì)移動(dòng)，使工件W的 任意的位置和液滴噴出頭17對(duì)置，連動(dòng)于頭驅(qū)動(dòng)器2d,使功能液的液滴 著附于工件W上的任意的位置。
15 在維護(hù)驅(qū)動(dòng)器5d連接維護(hù)單元5的吸引單元15、擦拭單元16、和沖
洗單元14。維護(hù)驅(qū)動(dòng)器5d按照來(lái)自CPU44的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)吸引單元 15、擦拭單元16、或沖洗單元14，實(shí)施液滴噴出頭17的維護(hù)作業(yè)。
在檢查驅(qū)動(dòng)器4d連接檢查單元4的噴出檢査單元18、重量測(cè)定單元 19。檢查驅(qū)動(dòng)器4d按照來(lái)自CPU44的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)噴出檢查單元18
20 或重量測(cè)定單元19，實(shí)施噴出重量或噴出與否或著附位置精度等液滴噴出 頭17的噴出狀態(tài)的檢査。
在供液驅(qū)動(dòng)器60d連接供液?jiǎn)卧?0。供液驅(qū)動(dòng)器60d按照來(lái)自CPU44 的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)供液?jiǎn)卧?0，向液滴噴出頭17供給功能液。在檢測(cè)部 接口 43連接包含各種傳感器的檢測(cè)部42。由檢測(cè)部42的各傳感器檢測(cè)的
25檢測(cè)信息經(jīng)由檢測(cè)部接口 43傳遞于CPU44。 <噴出檢查單元>
其次，參照?qǐng)D7，說(shuō)明噴出檢查單元18。如參照?qǐng)Dl的說(shuō)明所述，噴 出檢查單元18具有檢查描繪單元161、和攝像單元162。檢查描繪單元 16構(gòu)成為一體地移動(dòng)重量測(cè)定單元19及沖洗單元14。圖7是表示檢查 30 描繪單元的整體結(jié)構(gòu)的外觀立體圖。
噴出檢查單元18用于檢查是否從構(gòu)成噴出單元2的所有液滴噴出頭
17 (的噴出嘴78)適當(dāng)?shù)貒姵龉δ芤骸z查描繪單元161構(gòu)成為接受從構(gòu) 成噴出單元2的所有頭單元54具備的所有液滴噴出頭17的所有噴出嘴78 檢查噴出的功能液。攝像單元162拍攝在檢査描繪單元161描繪的檢查圖 5案(著附點(diǎn)的圖案)而進(jìn)行檢査。如上所述，檢查描繪單元161搭載于X 軸工作臺(tái)ll。攝像單元162在Y軸工作臺(tái)12的正下方，固定于Y軸支撐 基座7，固定設(shè)置于檢查位置，兩個(gè)檢查攝像機(jī)163、 163能夠分別獨(dú)立在 Y軸方向上移動(dòng)。
如圖7所示，檢查描繪單元161具備檢查片171、檢查臺(tái)172、片 io 輸送機(jī)構(gòu)173、片輸送支撐機(jī)構(gòu)174、單元基座175、真空傳感器(省略圖 示)。檢查片171是用于使從液滴噴出頭17檢查噴出的功能液的液滴著附 的帶狀片，在Y軸方向上延伸。檢查臺(tái)172在Y軸方向上延伸，在檢査 臺(tái)172上搭載檢査片171。移動(dòng)檢査片171，以將非檢査完畢部分向片輸 送機(jī)構(gòu)173送入，且將檢查片171的檢查完畢部分從檢查臺(tái)172送出。片 15輸送機(jī)構(gòu)173支撐于片輸送支撐機(jī)構(gòu)174，片輸送支撐機(jī)構(gòu)174支撐于單 元基座175。真空傳感器檢測(cè)在檢査臺(tái)172上載置的檢査片171的設(shè)置不 良。
如參照?qǐng)D2的說(shuō)明所述，攝像單元162具有兩個(gè)檢査攝像機(jī)163、 163、和將檢查攝像機(jī)163支撐為在Y軸方向上滑動(dòng)自如的攝像機(jī)移動(dòng)機(jī)
20 構(gòu)164。檢查攝像機(jī)163圖像識(shí)別被檢查片171檢查噴出的著附點(diǎn)，以從 上側(cè)面向X軸工作臺(tái)11的姿勢(shì)，通過固定于Y軸支撐基座7的攝像機(jī)移 動(dòng)機(jī)構(gòu)164，在Y軸方向上滑動(dòng)自如地支撐于Y軸支撐基座7。
檢查描繪單元161在吸附工作臺(tái)31向材料供給去除位置移動(dòng)時(shí)，能 夠使檢查片171向面向攝像單元162的檢查攝像機(jī)163的位置移動(dòng)，位于
25 該位置。即，攝像單元162能夠在工件W的載置更換中及排列中，實(shí)施 檢查圖案的攝像。基于兩個(gè)檢查攝像機(jī)163的攝像結(jié)果發(fā)送至噴出裝置控 制部6，進(jìn)行圖像識(shí)別，基于該圖像識(shí)別，判斷各液滴噴出頭17的噴出嘴 78是否正常地噴出功能液(是否有噴嘴堵塞)。另外，判斷著附的液滴的 相對(duì)位置是否為規(guī)定的位置。這樣判斷也在工件載置更換中及排列中進(jìn)
30行。檢查片171相當(dāng)于檢查噴出著附片，攝像單元162相當(dāng)于狀態(tài)觀測(cè)裝 置，噴出檢查單元18相當(dāng)于噴出檢查裝置。
<重量測(cè)定單元>
其次，參照?qǐng)D8說(shuō)明重量測(cè)定單元19及沖洗單元14。圖8是包括重 量測(cè)定單元的部分及沖洗單元的部分的重量測(cè)定方框圖。圖8 (a)是重量 5測(cè)定塊的俯視圖，圖8 (b)是重量測(cè)定塊的側(cè)面圖。如上所述， 一體地設(shè) 置有重量測(cè)定單元19、沖洗單元14、及檢查描繪單元-161的噴出檢查塊 4a構(gòu)成為一體地移動(dòng)。
如圖8所示，重量測(cè)定塊91A具備四個(gè)重量測(cè)定裝置91、和支撐 框92。支撐框92支撐四個(gè)重量測(cè)定裝置91，支撐框92固定于X軸第二 io 滑塊23，重量測(cè)定塊91A搭載于X軸第二滑塊23。噴出檢查塊4a具有 五個(gè)重量測(cè)定塊91A，總計(jì)20個(gè)重量測(cè)定裝置91在Y軸方向上排列，搭 載于X軸第二滑塊23。 一個(gè)重量測(cè)定裝置91對(duì)應(yīng)于一個(gè)頭組55，排列的 兩個(gè)重量測(cè)定裝置91對(duì)應(yīng)于頭單元54。
重量測(cè)定裝置91具有定期沖洗盒93、受液容器94、電子天平99 15 (在圖8 (a)中隱藏于受液容器94的下方)、重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95、功 能液吸收部件97、壓板98、收容這些的箱96。定期沖洗盒93、重量測(cè)定 時(shí)沖洗盒95、功能液吸收部件97、和壓板98包含于沖洗單元14。沖洗單 元14包括在分別形成于20個(gè)重量測(cè)定裝置91的各自20個(gè)定期沖洗盒 93、重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95。受液容器94、和電子天平99包含于重量測(cè)定 20 單元19。重量測(cè)定單元19包括在分別形成于20個(gè)重量測(cè)定裝置91的 各自20個(gè)受液容器94、和電子天平99。
受液容器94是僅與構(gòu)成頭組55的6個(gè)液滴噴出頭17中的任意的一 個(gè)液滴噴出頭17對(duì)置，能夠接受從該液滴噴出頭17噴出功能液的大小。 受液容器94搭載于電子天平99上，電子天平99通過測(cè)定受液容器94的 25 重量，測(cè)定著附于受液容器94內(nèi)的功能液的重量。由于接受從液滴噴出 頭17噴出的功能液而增加的受液容器94的重量是從液滴噴出頭17噴出 而著附于受液容器94內(nèi)的功能液的重量。
噴出裝置控制部6的CPU44將測(cè)定的功能液的重量累計(jì)計(jì)算而存儲(chǔ)于 RAM46，在累計(jì)計(jì)算重量達(dá)到一定量的情況下，發(fā)出受液容器94的交換 30指示信息。該情況下的噴出裝置控制部6相當(dāng)于接受器管理部，受液容器
94相當(dāng)于重量測(cè)定接受器。
在重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95中，重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a、和重量測(cè)定時(shí)沖 洗盒95b在X軸方向上夾著受液容器94而配置。在構(gòu)成頭組55的6個(gè)液 滴噴出頭17中一個(gè)液滴噴出頭17面向受液容器94時(shí)，構(gòu)成頭組55的其 5 他5個(gè)液滴噴出頭17位于面向重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a或重量測(cè)定時(shí)沖洗 "盒95b的任一個(gè)的位置。在重量測(cè)定對(duì)象的液滴噴出頭17面向受液容器 94，實(shí)施用于重量測(cè)定的噴出時(shí)，測(cè)定對(duì)象以外的液滴噴出頭17面向重 量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a或重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95b，實(shí)施丟棄噴出。
用一個(gè)重量測(cè)定裝置91對(duì)頭組55的6個(gè)液滴噴出頭17進(jìn)行重量測(cè) io 定，因此，在一個(gè)液滴噴出頭17進(jìn)行重量測(cè)定噴出時(shí)，其他5個(gè)液滴噴 出頭17等待該重量測(cè)定噴出結(jié)束，但可以使該"等待"狀態(tài)的液滴噴出 頭17進(jìn)行丟棄噴出。因此，在"等待"的狀態(tài)的期間抑制噴出嘴78干燥， 能夠在"等待"狀態(tài)后良好地進(jìn)行重量測(cè)定噴出，能夠得到適當(dāng)?shù)臏y(cè)定結(jié) 果。
5 定期沖洗盒93接受在定期沖洗時(shí)丟棄噴出的功能液。
在重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95及定期沖洗盒93內(nèi)，以用一對(duì)壓板98壓緊 兩長(zhǎng)邊部的狀態(tài)敷設(shè)有功能液吸收部件97。還有，受液容器94形成為相 對(duì)于液滴噴出頭17，能夠以噴嘴列單位接受功能液的大小。
電子天平99測(cè)定向受液容器94噴出的功能液的重量，將測(cè)定結(jié)果向 20噴出裝置控制部6輸出。噴出裝置控制部6基于從電子天平99輸入的測(cè) 定結(jié)果，控制從頭驅(qū)動(dòng)器2d向液滴噴出頭17施加的驅(qū)動(dòng)電力(電壓值)。 艮P，在重量測(cè)定結(jié)果為目標(biāo)范圍內(nèi)的情況下，不需要變更電壓值，進(jìn)行對(duì) 其次的工件W的描繪。另一方面，在重量測(cè)定結(jié)果為目標(biāo)范圍以外的情 況下，基于預(yù)先求出的施加電壓值和重量測(cè)定值的分解能數(shù)據(jù)，變更電壓 25值，用變更后的電壓值再次進(jìn)行重量測(cè)定。該重量測(cè)定及電壓值變更在重 量測(cè)定結(jié)果成為目標(biāo)的范圍內(nèi)為止反復(fù)進(jìn)行。該情況下的噴出裝置控制部 6相當(dāng)于噴出條件設(shè)定部。 <沖洗盒的結(jié)構(gòu)>
其次，參照?qǐng)D9，說(shuō)明重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95、定期沖洗盒93的形狀、 30及對(duì)檢査攝像機(jī)163及液滴噴出頭17 (頭組55)的位置關(guān)系。圖9是表
示檢查攝像機(jī)、液滴噴出頭、重量測(cè)定時(shí)沖洗盒及定期沖洗盒的位置關(guān)系 的示意圖。
在兩處重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95中，形成于定期沖洗盒93側(cè)的重量測(cè)定
時(shí)沖洗盒95a、和定期沖洗盒93在利用檢査攝像機(jī)163獲得著附于檢査片 5171上的液滴的圖像時(shí)使用。這些形成為如下大小，S卩即使在檢查攝像 機(jī)163面向襝查片171的X軸方向上的任意位置的情況下，也能夠同時(shí)接 受構(gòu)成頭組55的6個(gè)液滴噴出頭17的丟棄噴出。如上所述，重量測(cè)定時(shí) 沖洗盒95a、和定期沖洗盒93包含于沖洗單元14，檢査片171配備于檢 '査描繪單元161。沖洗單元14和檢查描繪單元161構(gòu)成噴出檢查塊4a， io相互的位置關(guān)系固定，使其一體地移動(dòng)。從而，重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a、 定期沖洗盒93、檢查片171 —體地移動(dòng)。檢查攝像機(jī)163和液滴噴出頭 17 (頭組55)的X軸方向的位置關(guān)系也固定。
圖9 (a)所示的噴出檢查塊4a位于使檢查攝像機(jī)163面向檢查片171 的X軸方向上的最面向定期沖洗盒93側(cè)的一端的位置。若噴出檢查塊4a 15位于該位置，則頭組55的液滴噴出頭17與重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a或定期 沖洗盒93對(duì)置，從液滴噴出頭17噴出的功能液著附于重量測(cè)定時(shí)沖洗盒 95a或定期沖洗盒93。
圖9 (b)所示的噴出檢查塊4a位于使檢查攝像機(jī)163面向檢查片171 的X軸方向上的最面向材料供給去除位置側(cè)的一端的位置。若噴出檢查塊 20 4a位于該位置，則頭組55的液滴噴出頭17與定期沖洗盒93對(duì)置，從液 滴噴出頭17噴出的功能液著附于定期沖洗盒93。
其次，對(duì)實(shí)施工件W的校準(zhǔn)作業(yè)時(shí)的工件載置臺(tái)21、定期沖洗盒93 及重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95、和頭組55的液滴噴出頭17的位置關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。 圖10是表示校準(zhǔn)攝像機(jī)、工件載置臺(tái)、定期沖洗盒、重量測(cè)定時(shí)沖洗盒、 25和頭罩的液滴噴出頭的位置關(guān)系的示意圖。
在圖10 (a)中，在工件載置臺(tái)21上，以在工件載置臺(tái)21的中央設(shè) 置工件W的狀態(tài)，設(shè)置有校準(zhǔn)標(biāo)記M從液滴噴出頭17最遠(yuǎn)離的工件Wl 。 工件載置臺(tái)21利用X軸第一滑塊22在X軸方向上移動(dòng)，該工件Wl的 校準(zhǔn)標(biāo)記M面向校準(zhǔn)攝像機(jī)81，位于能夠進(jìn)行利用校準(zhǔn)攝像機(jī)81的校準(zhǔn) 30標(biāo)記M的圖像識(shí)別的位置。該情況下的工件載置臺(tái)21的位置是實(shí)施工件
W的校準(zhǔn)作業(yè)的狀態(tài)下的工件載置臺(tái)21的位置中最靠向頭組55側(cè)的位 置。即使工件載置臺(tái)21位于該位置，在利用噴出檢查塊4a使噴出檢查塊 4a最大限度接近工件載置臺(tái)21的狀態(tài)下，頭組55的液滴噴出頭17的正 下方也面向重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95的從定期沖洗盒93遠(yuǎn)的一側(cè)的最遠(yuǎn)部 5分。S卩，即使限制噴出檢查塊4a的X軸方向的位置的工件載置臺(tái)21的位 置位于最靠向頭組55側(cè)的位置，也使液滴噴出頭17的一個(gè)面向受液容器 94，實(shí)施重量測(cè)定，利用重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95，能夠接受來(lái)自頭組55的 其他5個(gè)液滴噴出頭17的丟棄噴出。
噴出檢查塊4a的向材料供給去除位置側(cè)的移動(dòng)通過工件載置臺(tái)21的
io位置來(lái)限制，但向與材料供給去除位置相反一側(cè)的移動(dòng)沒有限制，因此， 噴出檢查塊4a能夠位于圖10 (b)所示的位置。在圖10 (b)所示的位置 下，頭組55的液滴噴出頭17與定期沖洗盒93面向，從液滴噴出頭17噴 出的功能液著附于定期沖冼盒93。
這樣，定期沖洗盒93能夠接受在工件W的載置更換時(shí)等描繪處理中
15 止時(shí)進(jìn)行的、頭組55的6個(gè)所有液滴噴出頭17的丟棄噴出(沖洗)。定 期沖洗盒93設(shè)置于從受液容器94遠(yuǎn)離的位置，因此，從液滴噴出頭17 丟棄噴出的功能液滴進(jìn)入受液容器94的可能性極小。由此，能夠抑制受 液容器94的更換的次數(shù)。
其次，參照?qǐng)D11及圖12，對(duì)實(shí)施重量測(cè)定的一系列動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
20圖11是表示頭單元和重量測(cè)定裝置的位置關(guān)系的側(cè)面圖。圖12是表示液 滴噴出頭和重量測(cè)定裝置的位置關(guān)系的俯視圖。
如圖11 (a)及圖12 (a)所示，在開始重量測(cè)定時(shí)，利用X軸線性 馬達(dá)26使X軸第二滑塊23沿X軸方向移動(dòng)，并且，利用Y軸線性馬達(dá) 使構(gòu)成噴出單元2的10個(gè)頭單元54沿Y軸方向移動(dòng)。通過該操作，使固
25 定于X軸第二滑塊23的各重量測(cè)定裝置91的各受液容器94面向頭單元 54的各頭組55的第一個(gè)液滴噴出頭17a。
其次，朝向各受液容器94，從各頭組55的第一個(gè)液滴噴出頭17a的 所有噴嘴開始，實(shí)施重量測(cè)定噴出。此時(shí)，各頭組55的第二個(gè)到第六個(gè) 的液滴噴出頭17b 17f與重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95對(duì)置，朝向重量測(cè)定時(shí)沖
30 洗盒95實(shí)施丟棄噴出。
若液滴噴出頭17a的重量測(cè)定噴出結(jié)束，則使重量測(cè)定裝置91沿X 軸方向移動(dòng)，如圖11 (b)所示，使各受液容器94向在重量測(cè)定裝置91 的移動(dòng)軌跡上設(shè)置的防風(fēng)部件101的正下方移動(dòng)。在該狀態(tài)下，利用電子 天平99，進(jìn)行著附于受液容器94的噴出液滴的重量的測(cè)定。通過使重量 5 測(cè)定裝置91位于防風(fēng)部件101的正下方，由防風(fēng)部件101遮斷氣流(例 如，腔室中的下降流或湍流等)，因此，電子天平99能夠在不受到氣流的 影響的情況下，正確地進(jìn)行重量測(cè)定。
在液滴噴出頭17a的噴出液滴的重量測(cè)定后，使第二個(gè)液滴噴出頭17b 面向受液容器94，同樣地進(jìn)行重量測(cè)定噴出。以下，相同地，對(duì)于各頭組 io55的6個(gè)液滴噴出頭17，測(cè)定依次噴出的液滴的重量。最后，如圖12 (b) 所示，使第六個(gè)液滴噴出頭17f面向受液容器94，實(shí)施重量測(cè)定噴出，測(cè) 定噴出的液滴的重量。
其次，參照?qǐng)D13，對(duì)工件載置臺(tái)21位于材料供給去除位置，實(shí)施了 對(duì)工件載置臺(tái)21的工件W的材料供給去除時(shí)的描繪處理中止?fàn)顟B(tài)下的液 15滴噴出頭17的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖13 (a)是表示頭單元和重量測(cè)定裝置的 位置關(guān)系的側(cè)面圖，圖13 (b)是表示液滴噴出頭和重量測(cè)定裝置的位置 關(guān)系的俯視圖。在工件W的材料供給等描繪處理中止時(shí)，利用X軸線性 馬達(dá)26使X軸第二滑塊23沿X軸方向移動(dòng)，由此，使固定于X軸第二 滑塊23的重量測(cè)定裝置91的各定期沖洗盒93面向頭組55的6個(gè)液滴噴 20出頭17。還有，所有液滴噴出頭17朝向各定期沖洗盒93，實(shí)施丟棄噴出。 <描繪>
其次，參照?qǐng)D14，說(shuō)明利用液滴噴出裝置1，在工件W的規(guī)定的位置 配置功能液的描繪工序。圖14是表示描繪工序的流程圖。
圖14的步驟Sl、 S2、 S3、 S4、 S5的各步驟利用與液滴噴出裝置1的 25材料供給去除有關(guān)的各裝置實(shí)施，從步驟S21到步驟S34的各步驟利用噴 出單元2或檢查單元4等來(lái)實(shí)施。液滴噴出裝置1的各裝置構(gòu)成為能夠并 行實(shí)施圖14的步驟Sl、 S2、 S3、 S4、 S5的各步驟、和步驟S21到步驟 S34的各步驟。
在圖14的步驟S1中，向位于液滴噴出裝置1的材料供給去除位置的 30工件載置臺(tái)21供給工件W。工件W的材料供給通過材料供給機(jī)器人等來(lái)
實(shí)施。
其次，在步驟S2中，實(shí)施載置于工件載置臺(tái)21的工件W的校準(zhǔn)。 工件W的校準(zhǔn)通過圖像識(shí)別單元80的校準(zhǔn)攝像機(jī)81 ，獲得在工件W形 成的校準(zhǔn)標(biāo)記M的圖像，基于圖像結(jié)果，利用0工作臺(tái)32，實(shí)施工件W
5 的e修正而實(shí)施。
其次，步驟S3中，使工件載置臺(tái)21沿X軸方向^動(dòng)。工件載置臺(tái) 21通過利用X軸線性馬達(dá)26驅(qū)動(dòng)X軸第一滑塊22，使在材料供給去除 位置校準(zhǔn)的工件W位于開始接下來(lái)的描繪噴出工序的開始位置。
對(duì)于位于開始位置地移動(dòng)的工件W，開始步驟S21。在步驟S21中， io從噴出單元2的液滴噴出頭17朝向工件W實(shí)施描繪噴出。更具體來(lái)說(shuō)， 通過利用X軸工作臺(tái)11 (利用X軸線性馬達(dá)26驅(qū)動(dòng)X軸第一滑塊22) 的工件W的移動(dòng)、及利用Y軸工作臺(tái)12的液滴噴出頭17 (噴出單元2 的頭單元54)的移動(dòng)，使液滴噴出頭17與工件W的任意位置對(duì)置。與此 同時(shí)，噴出驅(qū)動(dòng)液滴噴出頭17，朝向工件W噴出功能液滴，由此，對(duì)于 15在工件載置臺(tái)21上載置的工件W，描繪由功能液構(gòu)成的任意描繪圖案。 在步驟S21之后的步驟S4中，使工件載置臺(tái)21沿X軸方向移動(dòng)。工 件載置臺(tái)21通過利用X軸線性馬達(dá)26驅(qū)動(dòng)X軸第一滑塊22，位于材料 供給去除位置地移動(dòng)。該移動(dòng)從描繪噴出的最后的相對(duì)移動(dòng)開始沒有X軸 第一滑塊22 (工件載置臺(tái)21)停止的情況，作為描繪噴出的最后的相對(duì) 20 移動(dòng)的延長(zhǎng)來(lái)實(shí)施。
其次，在步驟S5中，從工件載置臺(tái)21除去形成有描繪圖案的工件W。 工件W的除去通過材料除去機(jī)器人等來(lái)實(shí)施。
在步驟S5之后，進(jìn)入步驟S1，重復(fù)步驟S1、 S2、 S3、 S21、 S4、 S5。 步驟S4、 S5、 Sl、 S2、 S3相當(dāng)于材料供給去除工序。如上所述，步驟S4、 25S5、 Sl、 S2、 S3通過使用X軸線性馬達(dá)26或圖像識(shí)別單元80或6工作 臺(tái)32或材料供給機(jī)器人等來(lái)實(shí)施。
在步驟S21之后的與步驟S4大致同時(shí)開始的步驟S22中，由噴出單 元2的液滴噴出頭17實(shí)施用于噴出檢查的檢查噴出。更具體來(lái)說(shuō)，通過 在步驟S4中使工件載置臺(tái)21在材料供給去除位置的方向上移動(dòng)，能夠使 30噴出檢査塊4a移動(dòng)至面向噴出單元2的液滴噴出頭17的位置，。噴出檢
查塊4a固定于X軸第二滑塊23，利用X軸線性馬達(dá)26驅(qū)動(dòng)X軸第二滑 塊23，由此沿X軸方向移動(dòng)。工件載置臺(tái)21通過利用X軸線性馬達(dá)26 驅(qū)動(dòng)X軸第一滑塊22而移動(dòng)，因此，能夠使噴出檢查塊4a和工件載置臺(tái) 21分別獨(dú)立移動(dòng)。從而，用于檢査噴出的噴出檢查塊4a的移動(dòng)可以大致 5并行于工件載置臺(tái)21的用于描繪噴出的最后的相對(duì)移動(dòng)而實(shí)施。在本實(shí)
"施方式中，大致同步于工件載置臺(tái)21的用于描繪噴出的最后的相對(duì)移動(dòng)， 開始用于檢査噴出的噴出檢查塊4a的移動(dòng)。gp，在步驟S21的描繪噴出 結(jié)束之前，開始步驟S22的用于實(shí)施檢査噴出的噴出檢查塊4a的移動(dòng)。 在移動(dòng)中的噴出檢査塊4a中的檢查描繪單元161的檢查片171分別與
io 噴出單元2的液滴噴出頭17對(duì)置的時(shí)刻，從液滴噴出頭17朝向檢查片 171，實(shí)施檢査噴出。各自的液滴噴出頭17的噴出時(shí)序規(guī)定如下，g卩分 別從噴出單元2的液滴噴出頭17噴出，著附于檢查片171的功能液的液 滴在檢查片171上形成沿Y軸方向延伸的一直線。噴出檢查塊4a移動(dòng)至， 著附于檢査片171的功能液的液滴形成的一直線位于利用噴出檢查單元
15 18的檢查攝像機(jī)163能夠攝像的位置。在檢查片171與噴出單元2的液滴 噴出頭17對(duì)置的時(shí)刻，從該液滴噴出頭17朝向檢查片171，實(shí)施檢查噴 出的工序相當(dāng)于檢查噴出工序。在結(jié)束描繪噴出之前，開始用于實(shí)施檢査 噴出的噴出檢查塊4a的移動(dòng)，因此，液滴噴出頭17大致連續(xù)于描繪噴出， 實(shí)施檢查噴出。從而，在描繪噴出和檢査噴出之間，液滴噴出頭17的狀
20態(tài)的變化基本上沒有，因此，在檢查噴出中，再現(xiàn)與描繪噴出相同的噴出。 其次，在步驟S23中，利用檢查攝像機(jī)163，獲得著附于檢査片171 的功能液的液滴的圖像。圖像是關(guān)于各自的液滴得到的，從該圖像得到各 自的液滴的大小或著附位置的信息。另外，并行于利用檢査攝像機(jī)163的 圖像獲得，液滴噴出頭17實(shí)施用于將液滴噴出頭17內(nèi)的功能液的狀態(tài)維
25 持為恒定的狀態(tài)的丟棄噴出。如參照?qǐng)D9的說(shuō)明所述，在檢查攝像機(jī)163 位于面向檢査片171的位置的狀態(tài)下，噴出單元2的液滴噴出頭17與重 量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a或定期沖洗盒93對(duì)置。因此，從液滴噴出頭17噴出 的功能液著附于重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a或定期沖洗盒93。
其次，在步驟S24中，移動(dòng)檢查單元4，重量測(cè)定單元19與液滴噴出
30頭17對(duì)置地將重量測(cè)定單元19 (檢查單元4)進(jìn)行對(duì)位。更具體來(lái)說(shuō)，
如參照?qǐng)D11及圖12的說(shuō)明所述，利用X軸線性馬達(dá)26，使X軸第二滑 塊23沿X軸方向移動(dòng)。與此同時(shí)，利用Y軸線性馬達(dá)和Y軸滑塊，使構(gòu) 成噴出單元2的10個(gè)頭單元54沿Y軸工作臺(tái)12，在Y軸方向上移動(dòng)。 由此，使固定于X軸第二滑塊23的各重量測(cè)定裝置91的各受液容器94 5 面向各頭組55中的一個(gè)液滴噴出頭17。 X軸線性馬達(dá)26、 X軸共用支撐 基座'24、和X軸第二滑塊23相當(dāng)于重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)，Y軸線性馬 達(dá)、Y軸滑塊、和Y軸工作臺(tái)12相當(dāng)于重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
其次，在步驟S25中，從各頭組55中面向受液容器94的一個(gè)液滴噴 出頭17朝向受液容器94，由液滴噴出頭17的所有噴嘴實(shí)施重量測(cè)定噴出。 o著附于受液容器94的功能液的重量利用電子天平99來(lái)測(cè)定。著附于受液 容器94的電子天平99測(cè)定的功能液的重量是噴出重量。
此時(shí)，如參照?qǐng)D11及圖12所示，各頭組55中沒有面向受液容器94 的各5個(gè)液滴噴出頭17與重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95對(duì)置，朝向重量測(cè)定時(shí)沖 洗盒95實(shí)施丟棄噴出。 15 其次，在步驟S26中，將測(cè)定的噴出重量與噴出重量的標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比
較，求出噴出重量的誤差，將該誤差與誤差的標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，判斷測(cè)定 的噴出重量的誤差是否適合標(biāo)準(zhǔn)值。
在噴出重量的誤差適合標(biāo)準(zhǔn)值的情況下(在步驟S26中為是)，進(jìn)入 步驟S27。
20 在步驟S26之后的步驟S27中，對(duì)于各頭組55分別具有的6個(gè)液滴
噴出頭17的全部，判斷重量測(cè)定是否結(jié)束。
對(duì)于各頭組55分別具有的6個(gè)液滴噴出頭17的全部，在重量測(cè)定結(jié) 束的情況下(在步驟S27中為是)，進(jìn)入步驟S28。
在步驟S28中，不實(shí)施重量測(cè)定，實(shí)施描繪。在不實(shí)施重量測(cè)定的描
25 繪的期間，通過實(shí)驗(yàn)等預(yù)先求出來(lái)規(guī)定能夠維持恒定的噴出狀態(tài)的期間或 維持恒定的噴出狀態(tài)而能夠描繪的工件W的描繪片數(shù)等。在規(guī)定的不實(shí) 施重量測(cè)定的描繪的期間中，實(shí)施步驟S28后，進(jìn)入步驟S21，將重新載 置于工件載置臺(tái)21上的工件W作為描繪對(duì)象，實(shí)施步驟S21到步驟S27、 及步驟S29到步驟S34。
30 對(duì)于各頭組55分別具有的6個(gè)液滴噴出頭17的全部，在重量測(cè)定沒
有結(jié)束的情況下(在步驟S27中為否)，進(jìn)入步驟S21，將重新載置于工
件載置臺(tái)21上的工件W作為描繪對(duì)象，重復(fù)步驟S21到步驟S27。此時(shí)， 在步驟S24中，在各頭組55分別具有的6個(gè)液滴噴出頭17中，使受液容 器94面向重量測(cè)定沒有結(jié)束的液滴噴出頭17。其次，將面向受液容器94 5的液滴噴出頭17作為測(cè)定對(duì)象，實(shí)施步驟S25到步驟S27。
在步驟S26中，在噴出重量的誤差不適合標(biāo)準(zhǔn)值的情況下(在步驟S 中為否)，進(jìn)入步驟S29。
在步驟S26之后的步驟S29中，判斷測(cè)定的噴出重量的值的相對(duì)于標(biāo) 準(zhǔn)值的誤差是否為規(guī)定值以下。噴出重量的誤差的規(guī)定值例如通過調(diào)節(jié)液 io滴噴出頭17的驅(qū)動(dòng)條件，預(yù)先求出能夠修正的誤差量。
在步驟S29中，在測(cè)定的噴出重量的值相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)值的誤差為規(guī)定值 以下的情況下(在步驟S29中為是)，進(jìn)入步驟S30。
在步驟S30中，根據(jù)測(cè)定的噴出重量的值相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)值的誤差，調(diào)節(jié) 下個(gè)作為測(cè)定對(duì)象的液滴噴出頭i7施加的驅(qū)動(dòng)電壓。 15 在步驟S30之后，進(jìn)入步驟S25。重復(fù)步驟S25到步驟S29。
在步驟S29中，在測(cè)定的噴出重量的值相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)值的誤差超過規(guī)定 值的情況下(在步驟S29中為否)，進(jìn)入步驟S31。
在步驟S31中，與上述步驟S25相同地，從在各頭組55中面向受液 容器94的一個(gè)液滴噴出頭17朝向各受液容器94，由液滴噴出頭17的所 20有噴嘴，實(shí)施重量測(cè)定噴出。著附于受液容器94的功能液的重量利用電 子天平99來(lái)測(cè)定。
各頭組55中的沒有面向受液容器94的各5個(gè)液滴噴出頭17朝向重 量測(cè)定時(shí)沖洗盒95，實(shí)施丟棄噴出。
以下，與步驟S26、步驟S29、步驟S30的各步驟相同地，實(shí)施步驟 25S32、步驟S33、步驟S34的各步驟。
噴出重量有時(shí)臨時(shí)變動(dòng)而立刻返回適當(dāng)狀態(tài)的情況。從步驟S31到步 驟S34的各步驟是用于驗(yàn)證在步驟S29中，判斷為測(cè)定的噴出重量的值相
對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)值的誤差超過規(guī)定值的情況是否為臨時(shí)變動(dòng)而引起的情況的步 驟。通過實(shí)施步驟S32、步驟S33、步驟S34的各步驟，能夠返回自步驟
30S21的各步驟。
在步驟S33中，在測(cè)定的噴出重量的值相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)值的誤差超過的規(guī)
定值的情況下(在步驟S33中為否)，進(jìn)入步驟S35。
在步驟S35中，實(shí)施調(diào)節(jié)處置。作為調(diào)節(jié)處置，可以舉出利用吸引單 元15的功能液的強(qiáng)制排出或利用擦拭單元16的噴嘴形成面76a的擦拭等 5維護(hù)作業(yè)?；蛘咴谝旱螄姵鲱^17自身的劣化進(jìn)展的情況下，將液滴噴出 頭17更換為新的液滴噴出頭。
在圖14中，成為實(shí)施步驟S35，結(jié)束描繪工序的工序順序，但調(diào)節(jié)處 置為使用液滴噴出裝置1具備的維護(hù)單元5的維護(hù)作業(yè)等的情況下，臨時(shí) 終端描繪工序，實(shí)施維護(hù)作業(yè)等，在該維護(hù)作業(yè)等結(jié)束后，接著實(shí)施描繪
io工序。在需要液滴噴出頭17的更換等處置的情況下，暫時(shí)結(jié)束描繪工序。 如上所述，步驟S22與步驟S4大致同時(shí)開始。步驟S22及連續(xù)于步 驟S22實(shí)施的步驟S23到步驟S34在實(shí)施相當(dāng)于材料供給去除工序的步驟 S4、 S5、 Sl、 S2、 S3的期間，并行于步驟S4、 S5、 Sl、 S2、 S3而實(shí)施。 根據(jù)本實(shí)施方式可知，得到以下所述的效果。
15 (1)在不需要實(shí)施液滴噴出頭17實(shí)施噴出的材料供給去除工序(步
驟S4、 S5、 Sl、 S2、 S3)的期間，實(shí)施需要實(shí)施液滴噴出頭實(shí)施噴出的 重量測(cè)定噴出工序(步驟S25)。通過在液滴噴出頭的所謂的中止時(shí)間，實(shí) 施重量測(cè)定噴出工序，不重新產(chǎn)生用于重量測(cè)定噴出工序的時(shí)間，因此， 能夠抑制用于利用液滴噴出的描繪的作業(yè)時(shí)間的增加。
20 (2)在液滴噴出裝置1中，X軸工作臺(tái)11具備X軸第一滑塊22、
X軸第二滑塊23、左右一對(duì)X軸線性馬達(dá)26、和一對(duì)X軸共用支撐基座 24。在X軸第一滑塊22固定有工件載置臺(tái)21，在X軸第二滑塊23固定 有沖洗單元14、噴出檢查單元18的檢查描繪單元161及重量測(cè)定單元19。 工件載置臺(tái)21、沖洗單元14、檢査描繪單元161、及重量測(cè)定單元19位
25 于同一軌道上，因此，為了使這些各單元等和頭組55對(duì)置，僅使這些各 單元等沿同一軌道移動(dòng)即可。由此，朝向載置于工件載置臺(tái)21的工件W 的描繪噴出、和利用噴出檢查單元18的噴出檢查或里也能夠重量測(cè)定單 元19的重量測(cè)定的轉(zhuǎn)移時(shí)間與在描繪噴出、噴出檢查或重量測(cè)定的轉(zhuǎn)移 時(shí)，需要改變移動(dòng)方向，實(shí)施各裝置相互的相對(duì)移動(dòng)的情況相比，能夠縮
30短。因此，即使在定期實(shí)施重量測(cè)定或噴出檢查的情況下，也能夠在短時(shí)
間內(nèi)實(shí)施重量測(cè)定處理、描繪處理、和噴出檢查處理的相互間的轉(zhuǎn)移，因 此，能夠在整體上縮短節(jié)奏時(shí)間。
(3)重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95中重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a和重量測(cè)定時(shí)沖 洗盒95b在X軸方向上夾著受液容器94而配置。頭組55的6個(gè)液滴噴出 5 頭17中一個(gè)液滴噴出頭17與受液容器94對(duì)置，實(shí)施重量測(cè)定噴出時(shí)， 其他5個(gè)液滴噴出頭17與重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a或重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95b 對(duì)置，能夠?qū)嵤﹣G棄噴出。尤其，液滴噴出頭17能夠抑制在"等待"狀 態(tài)的期間噴出嘴78干燥，能夠在"等待"狀態(tài)后良好地進(jìn)行重量測(cè)定噴 出。
io (4)噴出檢查塊4a中一體地設(shè)置有重量測(cè)定單元19、沖洗單元14
及檢查描繪單元161，因此，除了X軸線性馬達(dá)26、和X軸共用支撐基 座24之外，使用X軸第二滑塊23，沿X軸方向一體地移動(dòng)。分別使沖洗 單元14、及檢查描繪單元161沿X軸方向移動(dòng)，因此，與分別個(gè)別地設(shè) 置細(xì)孔的結(jié)構(gòu)相比，能夠小型化用于移動(dòng)的裝置。
15 (5)液滴噴出裝置1使工件載置臺(tái)21位于在工件載置臺(tái)21不與液
滴噴出頭17對(duì)置的位置設(shè)定的材料供給去除位置，實(shí)施工件W的材料供 給去除。由此，在實(shí)施工件W的材料供給去除的狀態(tài)下，能夠使重量測(cè) 定單元19與液滴噴出頭17對(duì)置，因此，在材料供給去除的期間，能夠?qū)?施重量測(cè)定。
20 (6)重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a及定期沖洗盒93形成為，在檢查攝像機(jī)
163面向檢査片171的X軸方向的任意位置的狀態(tài)下，也使構(gòu)承頭組55 的6個(gè)液滴噴出頭17與重量測(cè)定時(shí)沖洗盒95a或定期沖洗盒93對(duì)置的大 小。由此，在利用檢查攝像機(jī)163的檢查片171上著附的液滴的圖像獲得 時(shí)，能夠同時(shí)實(shí)施構(gòu)成頭組55的6個(gè)液滴噴出頭17的丟棄噴出。
25 以上，參照附圖的同時(shí)，說(shuō)明了適合的實(shí)施方式，但適合的實(shí)施方式
不限于所述實(shí)施方式。當(dāng)然可以在不脫離宗旨的范圍內(nèi)施加各種變更，還 能夠如下所述地實(shí)施。
(變形例1)，在所述實(shí)施方式中，具有檢查片171 (檢查噴出著附片) 的檢查描繪單元161構(gòu)成為，與重量測(cè)定單元19及沖洗單元14在X軸方
30向(主掃描方向)上一體地移動(dòng)。但是，使檢査噴出著附片和重量測(cè)定單
元在主掃描方向上一體地移動(dòng)不是必須的。也可以為使檢查噴出著附片、 和重量測(cè)定單元分別個(gè)別地沿主掃描方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。通過這樣構(gòu)成，在 檢查噴出著附片與狀態(tài)觀測(cè)裝置對(duì)置時(shí)，能夠使重量測(cè)定單元和液滴噴出 頭對(duì)置。使檢査噴出著附片個(gè)別地沿主掃描方向移動(dòng)的裝置相當(dāng)于檢查單 5 元移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
在所述實(shí)施方式中，在利用攝像單元162的檢查攝像機(jī)163'(狀態(tài)觀 測(cè)裝置)，獲得著附于檢查片171 (檢查噴出著附片)的功能液的液滴的圖 像的步驟(狀態(tài)信息獲得工序)后，從液滴噴出頭17朝向重量測(cè)定單元 19的受液容器94實(shí)施重量測(cè)定噴出(重量測(cè)定噴出工序)。但是，通過構(gòu) io成為使檢查噴出著附片、和重量測(cè)定單元分別個(gè)別地沿主掃描方向移動(dòng)， 在檢查噴出著附片與狀態(tài)觀測(cè)裝置對(duì)置的狀態(tài)下，能夠使重量測(cè)定單元和 液滴噴出頭對(duì)置，能夠大致并行實(shí)施狀態(tài)信息獲得工序、和重量測(cè)定噴出 工序。
(變形例2)在所述實(shí)施方式中，僅有液滴噴出頭17能夠沿Y軸方
15 向移動(dòng)，噴出檢查塊4a—體地設(shè)置有重量測(cè)定單元19、沖洗單元14、及 檢查描繪單元161， Y軸方向的位置相互固定。另外，具有檢查攝像機(jī)163 的攝像單元162的Y軸方向的位置也固定。但是，設(shè)置使檢查描繪單元 161的檢查片171、攝像單元162、或重量測(cè)定單元19沿Y軸方向移動(dòng)的 Y軸方向移動(dòng)裝置也可。Y軸方向移動(dòng)裝置相當(dāng)于檢查單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
20 在所述實(shí)施方式中，僅有液滴噴出頭17能夠沿Y軸方向移動(dòng)，因此，
上述裝置間的Y軸方向的相對(duì)移動(dòng)通過液滴噴出頭17的沿Y軸方向的移 動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。例如，若構(gòu)成頭組55的6個(gè)液滴噴出頭17的一個(gè)與受液容器 94對(duì)置，則頭組55的Y軸方向的位置未必與檢査描繪單元161的檢査片 171的適當(dāng)?shù)奈恢脤?duì)置，因此，對(duì)于使液滴噴出頭17對(duì)置的裝置每一個(gè)，
25 需要進(jìn)行液滴噴出頭17的沿Y軸方向的移動(dòng)。通過設(shè)置Y軸方向移動(dòng)裝 置，能夠進(jìn)行檢査描繪單元161的檢査片171、攝像單元162、及重量測(cè) 定單元19的相互間的相對(duì)移動(dòng)，因此，能夠?qū)嵤┫嗷ラg的Y軸方向的對(duì) 位。由此，能夠減少用于對(duì)這些裝置進(jìn)行的液滴噴出頭17的對(duì)位的液滴 噴出頭17的沿Y軸方向的移動(dòng)及對(duì)位的必要次數(shù)。
30 (變形例3)在所述實(shí)施方式中，重量測(cè)定對(duì)于各液滴噴出頭17每一
個(gè)實(shí)施，但不需要用液滴噴出頭17的單位測(cè)定噴出重量。可以按液滴噴 出頭具備的噴嘴列每一個(gè)測(cè)定，也可以按各噴嘴每一個(gè)測(cè)定。
(變形例4)在所述實(shí)施方式中，作為應(yīng)對(duì)噴出重量的偏離的方法，
對(duì)通過調(diào)節(jié)施加于液滴噴出頭17的驅(qū)動(dòng)電壓來(lái)將噴出量調(diào)節(jié)為適當(dāng)?shù)闹?br> 5的方法進(jìn)行了說(shuō)明，但應(yīng)對(duì)噴出重量的偏離的方法可以為其他方法。例如， 將噴出在與來(lái)自該噴出重量不適當(dāng)?shù)囊旱螄姵鲱^的噴出液滴著附的位置 鄰接的位置著附的液滴的液滴噴出頭與噴出重量不適當(dāng)?shù)囊旱螄姵鲱^加 起來(lái)調(diào)節(jié)，使其成為適當(dāng)?shù)膰姵鲋亓?，由此修正也可?br> (變形例5)在所述實(shí)施方式中，在每次實(shí)施一次工件W的更換時(shí)實(shí) io 施一次噴出檢查，但不需要工件W的每次更換時(shí)實(shí)施噴出檢查。例如，
在實(shí)施各一次的構(gòu)成頭組的全部液滴噴出頭的重量測(cè)定的期間，實(shí)施一次 噴出檢查也可。
(變形例6)在所述實(shí)施方式中，將與構(gòu)成頭組55的6個(gè)液滴噴出頭 17的重量測(cè)定在連續(xù)的6次材料供給去除工序的期間中實(shí)施，但不需要每 15次進(jìn)行材料供給去除工序時(shí)實(shí)施與液滴噴出頭17有關(guān)的重量測(cè)定。例如， 像在兩次材料供給去除工序中實(shí)施一次重量測(cè)定一樣，在伴隨一系列的重 量測(cè)定的材料供給去除工序的期間，不實(shí)施重量測(cè)定，實(shí)施材料供給去除 工序也可。
(變形例7)在所述實(shí)施方式中，在材料供給去除工序的期間實(shí)施了 20噴出檢査工序的狀態(tài)信息獲得工序，但不需要在材料供給去除工序的期間 實(shí)施狀態(tài)信息獲得工序。在材料供給去除工序的期間僅實(shí)施使用液滴噴出 頭的檢査噴出，狀態(tài)信息獲得工序并行于描繪噴出等而實(shí)施也可。
(變形例8)在所述實(shí)施方式中，作為接受器管理部的噴出裝置控制 部6的CPU44將測(cè)定的功能液的重量累計(jì)計(jì)算而存儲(chǔ)于RAM46，累計(jì)計(jì) 25算重量達(dá)到一定量的情況下，發(fā)出受液容器94 (重量測(cè)定接受器)的交換 指示信息。但是，不一定將接受器管理部測(cè)定的功能液的重量累計(jì)計(jì)算而 發(fā)出重量測(cè)定接受器的交換指示信息。接受器管理部將液滴噴出頭重量測(cè) 定噴出的噴出次數(shù)累計(jì)計(jì)算而存儲(chǔ)，在噴出次數(shù)達(dá)到一定量的情況下，發(fā) 出重量測(cè)定接受器的交換指示信息也可。重量測(cè)定噴出每一次的噴出次數(shù) 30是恒定的，重量測(cè)定噴出的次數(shù)是發(fā)出重量測(cè)定噴出的指令的次數(shù)，容易
計(jì)數(shù)，因此，能夠容易地累計(jì)計(jì)算及存儲(chǔ)噴出次數(shù)的累計(jì)，因此，與累計(jì) 計(jì)算測(cè)定的重量的情況相比，接受器管理部中的信息處理減少也可。
(變形例9)在所述實(shí)施方式中，在液滴噴出頭17實(shí)施重量測(cè)定噴出
的期間，構(gòu)成該液滴噴出頭17屬于的頭組55的其他液滴噴出頭17實(shí)施 5 丟棄噴出。但是，在該液滴噴出頭17實(shí)施重量測(cè)定噴出的期間愛你，這 些液滴噴出頭17不一定實(shí)施丟棄噴出。在一個(gè)液滴噴出頭17實(shí)施重量測(cè) 定噴出的期間，在其他液滴噴出頭17中，只要基本上沒有噴出嘴的干燥 等不妥善情況發(fā)生大的可能性，就可以單單中止其他液滴噴出頭17。
(變形例IO)在所述實(shí)施方式中，在一次材料供給去除時(shí)間的期間，
io—個(gè)液滴噴出頭17實(shí)施重量測(cè)定噴出，實(shí)施一個(gè)液滴噴出頭17噴出的液 滴的重量測(cè)定，但在一次材料供給去除時(shí)間的期間，不需要僅對(duì)一個(gè)液滴 噴出頭17實(shí)施重量測(cè)定。在一次材料供給去除時(shí)間的期間，只要能夠?qū)?多個(gè)液滴噴出頭實(shí)施重量測(cè)定，就可以對(duì)多個(gè)液滴噴出頭實(shí)施重量測(cè)定。 (變形例11)在所述實(shí)施方式中，對(duì)于各頭組55分別具有的6個(gè)液
15滴噴出頭17全部，設(shè)置了在每次重量測(cè)定結(jié)束時(shí)，在不實(shí)施重量測(cè)定的 情況下實(shí)施描繪的期間，但不需要一定設(shè)置在不實(shí)施重量測(cè)定的情況下實(shí) 施描繪的期間。在實(shí)施工件W的更換時(shí)，每次實(shí)施重量測(cè)定也可。
(變形例12)在所述實(shí)施方式中，在測(cè)定的噴出重量的值的相對(duì)于標(biāo) 準(zhǔn)值的誤差超過規(guī)定值的情況下，為了驗(yàn)證測(cè)定結(jié)果，實(shí)施了再次重量測(cè)
20 定，但不需要為了驗(yàn)證測(cè)定結(jié)果而實(shí)施的一定是重量測(cè)定。為了驗(yàn)證測(cè)定 結(jié)果而實(shí)施的可以是使用了噴出檢査單元18的噴出檢查等。
(變形例13)在所述實(shí)施方式中，液滴噴出頭17、和工件載置臺(tái)21 的X軸方向的相對(duì)移動(dòng)通過使也沿X軸方向移動(dòng)來(lái)實(shí)施。液滴噴出頭17、 和檢査描繪單元161、重量測(cè)定單元19、或沖洗單元14的X軸方向的相
25 對(duì)移動(dòng)通過使由檢查描繪單元16、重量測(cè)定單元19、和沖洗單元14構(gòu) 成的噴出檢查塊4a沿X軸方向移動(dòng)來(lái)實(shí)施。攝像單元162和檢查描繪單 元161的X軸方向的相對(duì)移動(dòng)通過使檢查描繪單元161沿X軸方向移動(dòng) 來(lái)實(shí)施。但是，不需要一定通過使工件載置臺(tái)21、或噴出檢查塊4a沿X 軸方向移動(dòng)來(lái)實(shí)施這些的X軸方向的相對(duì)移動(dòng)。通過使液滴噴出頭17或
30攝像單元162沿X軸方向移動(dòng)，形成為實(shí)施上述X軸方向的相對(duì)移動(dòng)的
結(jié)構(gòu)也可。
另外，在所述實(shí)施方式中，液滴噴出頭17、工件載置臺(tái)21、檢查描
繪單元161、重量測(cè)定單元19、或沖洗單元14的Y軸方向的相對(duì)移動(dòng)通 過使具有液滴噴出頭17的噴出單元2沿Y軸方向移動(dòng)來(lái)實(shí)施。也可以形
5成為該相對(duì)移動(dòng)通過使噴出檢查塊4a沿Y軸方向移動(dòng)來(lái)實(shí)施的結(jié)構(gòu)。
進(jìn)而，也可以形成為將上述X軸方向及Y軸方向的相對(duì)移動(dòng)通過使工 件載置臺(tái)21、噴出檢查塊4a、液滴噴出頭17、或攝像單元162沿X軸方 向及Y軸方向移動(dòng)來(lái)實(shí)施的結(jié)構(gòu)。
(變形例14)在所述實(shí)施方式中，與步驟S4大致同時(shí)開始步驟S22， io 步驟S22及連續(xù)于其實(shí)施的步驟S23到步驟S34在實(shí)施相當(dāng)于材料供給去 除工序的步驟S4、 S5、 Sl、 S2、 S3的期間，并行于步驟S4、 S5、 Sl、 S2、 S3而實(shí)施。但是，在實(shí)施測(cè)定的噴出重量的值的相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)值的誤差超過 規(guī)定值的情況下實(shí)施的步驟S29到步驟S34、或用于驗(yàn)證而實(shí)施的步驟S31 到步驟S34的情況下，除了用于實(shí)施步驟S22到步驟S28的時(shí)間之外，需
15 要用于實(shí)施步驟S29到步驟S34或步驟S31到步驟S34的時(shí)間。在這些時(shí) 伺的總計(jì)超過材料供給去除工序的時(shí)間的情況下，在有必要實(shí)施步驟S29 到步驟S34或步驟S31到步驟S34時(shí)，暫時(shí)停止描繪噴出也可。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出方法，其特征在于，包括描繪噴出工序，其從液滴噴出頭噴出液狀體，并且，通過使作為所述液狀體著附的對(duì)象的基材、和所述液滴噴出頭相對(duì)移動(dòng)，在所述基材上配置所述液狀體；材料供給去除工序，其用于對(duì)具備所述液滴噴出頭的液滴噴出裝置實(shí)施所述基材的材料供給去除；重量測(cè)定工序，其包括所述液滴噴出頭實(shí)施用于實(shí)施從該液滴噴出頭噴出的所述液狀體的重量測(cè)定的重量測(cè)定噴出的重量測(cè)定噴出工序，并測(cè)定重量測(cè)定噴出的所述液狀體的重量，在實(shí)施所述材料供給去除工序的期間，大致并行地實(shí)施所述重量測(cè)定噴出工序。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出方法，其特征在于，還包括丟棄噴出工序，其使所述液滴噴出頭實(shí)施用于維持所述液滴噴出頭的狀態(tài)的丟棄噴出；噴出檢查工序，其包括檢查噴出工序和狀態(tài)信息獲得工序，并檢查所 述液滴噴出頭的噴出狀態(tài)，所述檢查噴出工序使所述液滴噴出頭實(shí)施用于 檢查所述液滴噴出頭的噴出狀態(tài)的檢査噴出，所述狀態(tài)信息獲得工序獲得 20檢查噴出而著附的液狀體的狀態(tài)的信息，在實(shí)施所述材料供給去除工序的期間，實(shí)施所述丟棄噴出工序及所述 檢查噴出工序。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的液滴噴出方法，其特征在于， 在具有多個(gè)所述液滴噴出頭的組中所包含的一臺(tái)所述液滴噴出頭實(shí)25 施所述重量測(cè)定噴出，包含于該組的除進(jìn)行所述重量測(cè)定噴出的所述液滴噴出頭以外的所述液滴噴出頭與包含于所述組中的一臺(tái)所述液滴噴出頭 進(jìn)行的所述重量測(cè)定噴出并行地實(shí)施所述丟棄噴出。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的液滴噴出方法，其特征在于， 將所述狀態(tài)信息獲得工序、和所述重量測(cè)定噴出工序以相互錯(cuò)開實(shí)施30各自的工序的時(shí)刻的方式進(jìn)行實(shí)施。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2或2所述的液滴噴出方法，其特征在于， 與所述狀態(tài)信息獲得工序大致平行地實(shí)施所述重量測(cè)定噴出工序。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征在于，在所述重量測(cè)定工序中測(cè)定的所述液狀體的重量的測(cè)定值的相對(duì)于5基準(zhǔn)值的差異超過規(guī)定值的情況下，實(shí)施確認(rèn)檢査。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的液滴噴出方法，其特征在于， 所述確認(rèn)檢査為所述重量測(cè)定工序。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的液滴噴出方法，其特征在于， 所述確認(rèn)檢查為所述噴出檢查工序。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征在于，在所述重量測(cè)定工序中測(cè)定的所述液狀體的重量的測(cè)定值的相對(duì)于 基準(zhǔn)值的差異超過第一值且在第二值以下的情況下，實(shí)施所述液滴噴出頭 中的噴出條件的修正。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的液滴噴出方法，其特征在于， 所述液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)源為壓電元件，所述噴出條件之一是向所述液滴噴出頭施加的驅(qū)動(dòng)電壓，所述修正包括驅(qū)動(dòng)電壓值的修正或驅(qū)動(dòng)電壓波 形的修正。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1 10中任一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征在于， 在實(shí)施一次所述材料供給去除工序的期間，實(shí)施利用一臺(tái)所述液滴噴出頭進(jìn)行的所述重量測(cè)定噴出工序。
12. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的液滴噴出方法，其特征在于， 規(guī)定包含多個(gè)所述液滴噴出頭的頭組，所述液滴噴出方法包括頭組重量測(cè)定工序，其使在所述頭組中包含的所有的所述液滴噴出頭分別依次實(shí)施一次所述重量測(cè)定噴出工序，并實(shí) 施各個(gè)所述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的重量測(cè)定；重量測(cè)定中止工序，其在不并行實(shí)施所述重量測(cè)定噴出工序的情況 下，實(shí)施規(guī)定的次數(shù)的所述材料供給去除工序。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1 12中任一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征在于， 根據(jù)所述重量測(cè)定噴出工序的實(shí)施狀態(tài)，發(fā)出收容由所述重量測(cè)定噴出噴出的所述液狀體的重量測(cè)定接受器的更換指示。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的液滴噴出方法，其特征在于， 對(duì)在所述重量測(cè)定噴出工序中的所述重量測(cè)定噴出的噴出次數(shù)進(jìn)行累計(jì)，在該噴出次數(shù)的累計(jì)超過規(guī)定的數(shù)值的時(shí)刻，發(fā)出所述重量測(cè)定接受器的更換指示。 5
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的液滴噴出方法，其特征在于，對(duì)在所述重量測(cè)定工序中測(cè)定的所述液狀體的重量進(jìn)行累計(jì)，在該重量的累計(jì)超過規(guī)定的數(shù)值的時(shí)刻，發(fā)出所述重量測(cè)定接受器的更換指示。
16. —種液滴噴出裝置，其特征在于，具備 液滴噴出頭，其噴出液狀體；10 載物臺(tái)，其用于載置作為使噴出的所述液狀體著附的對(duì)象的基材；載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭和所述載物臺(tái)在主掃描方向上 相對(duì)移動(dòng)；重量測(cè)定單元，其測(cè)定從所述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的重量；重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭和所述重量測(cè)定單元在 15主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)；重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭和所述重量測(cè)定單元 在與所述主掃描方向大致正交的副掃描方向上相對(duì)移動(dòng)；重量測(cè)定控制部，其控制所述液滴噴出頭、所述重量測(cè)定單元、所述 重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)、和所述重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)， 20 所述重量測(cè)定控制部通過控制所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述重 量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述液滴噴出頭和所述重量測(cè)定單元相對(duì)移 動(dòng)，以使所述液滴噴出頭位于面向所述重量測(cè)定單元的位置，在材料供給去除時(shí)間的期間，通過控制所述液滴噴出頭，實(shí)施用于實(shí) 施噴出的所述液狀體的重量測(cè)定的重量測(cè)定噴出，并且 25 所述材料供給去除時(shí)間包含對(duì)所述載物臺(tái)實(shí)施所述基材的材料供給 去除的時(shí)間、及為了該材料供給去除而利用所述載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)移動(dòng) 所述載物臺(tái)的時(shí)間。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的液滴噴出裝置，其特征在于，還具備丟棄噴出接受器，其接受為了維持所述液滴噴出頭的狀態(tài)而 30 通過所述液滴噴出頭實(shí)施的丟棄噴出所噴出的所述液狀體；噴出檢査裝置，其包含檢查噴出著附片，使為了檢査所述液滴噴出 頭的噴出狀態(tài)而通過對(duì)所述液滴噴出頭實(shí)施的檢查噴出所噴出的所述液 狀體著附；和狀態(tài)觀測(cè)裝置，獲得著附于該檢査噴出著附片上的所述液狀體的狀態(tài)信息；噴出檢査控制部，其控制所述液滴噴出頭和所述狀態(tài)觀測(cè)裝置，所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述液滴噴出頭、和所述噴出接受器及 所述檢查噴出著附片在所述主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，所述重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述液滴噴出頭、和所述噴出接受器 及所述檢查噴出著附片在所述副掃描方向上相對(duì)移動(dòng)， 10 所述重量測(cè)定控制部通過控制所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述重 量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述液滴噴出頭、和所述噴出接受器及所述檢 查噴出著附片相對(duì)移動(dòng)，以使所述液滴噴出頭位于面向所述丟棄噴出接受 器或所述檢査噴出著附片的位置，并通過控制所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī) 15構(gòu)，使所述狀態(tài)觀測(cè)裝置和所述檢查噴出著附片相對(duì)移動(dòng)，以使所述狀態(tài) 觀測(cè)裝置位于面向所述檢查噴出著附片的位置，所述噴出檢查控制部以在所述材料供給去除時(shí)間的期間，實(shí)施所述丟 棄噴出及所述檢查噴出的方式來(lái)控制所述液滴噴出頭，所述噴出檢查控制部又以獲得著附于所述狀態(tài)觀測(cè)裝置面向的所述 20檢查噴出著附片上的所述液狀體的狀態(tài)信息的方式，控制所述狀態(tài)觀測(cè)裝 置。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 所述重量測(cè)定控制部控制包含在具有多個(gè)所述液滴噴出頭的組中的一臺(tái)所述液滴噴出頭來(lái)實(shí)施所述重量測(cè)定噴出，并控制在該組中包含的除 25 進(jìn)行所述重量測(cè)定噴出的所述液滴噴出頭以外的所述液滴噴出頭，與利用 所述組中包含的一臺(tái)所述液滴噴出頭進(jìn)行的所述重量測(cè)定噴出并行地實(shí) 施所述丟棄噴出。
19. 根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述噴出檢查控制部及所述重量測(cè)定控制部以將實(shí)施利用所述狀態(tài)觀測(cè)裝置獲得所述狀態(tài)信息、和利用所述液滴噴出頭實(shí)施所述重量測(cè)定噴 出的時(shí)刻相互錯(cuò)開而分別實(shí)施的方式，控制所述狀態(tài)觀測(cè)裝置及所述液滴 噴出頭。
20.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的液滴噴出裝置，其特征在于，還具備檢査單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭或所述狀態(tài)觀測(cè)裝 5置、和所述檢查噴出著附片在所述主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，所述噴出檢査控制部控制所述檢査單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述重量測(cè)定單 元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述液滴噴出頭和所述檢查噴出著附片相對(duì)移動(dòng)，以使所述液滴噴 出頭位于面向所述檢査噴出著附片的位置，并且 10 使?fàn)顟B(tài)觀測(cè)裝置和所述檢查噴出著附片相對(duì)移動(dòng)，以使所述狀態(tài)觀測(cè)裝置位于面向所述檢查噴出著附片的位置，所述噴出檢查控制部及所述重量測(cè)定控制部以大致并行實(shí)施利用所 述狀態(tài)觀測(cè)裝置獲得所述狀態(tài)信息、和利用所述液滴噴出頭實(shí)施所述重量 測(cè)定噴出的方式，控制所述狀態(tài)觀測(cè)裝置及所述液滴噴出頭。 15
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的液滴噴出裝置，其特征在于，還具備檢査單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭或所述狀態(tài)觀測(cè) 裝置、和所述檢査噴出著附片在所述副掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，所述噴出檢査控制部通過控制所述檢查單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述檢查單 元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，20 使所述液滴噴出頭和所述檢查噴出著附片相對(duì)移動(dòng)，以使所述液滴噴出頭位于面向所述丟棄噴出接受器或所述檢查噴出著附片的位置，并且使所述狀態(tài)觀測(cè)裝置和所述檢查噴出著附片相對(duì)移動(dòng)，以使所述狀態(tài) 觀測(cè)裝置位于面向所述檢查噴出著附片的位置。
22. 根據(jù)權(quán)利要求16 21中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在25 于，在利用所述重量測(cè)定單元測(cè)定從所述液滴噴出頭所述重量測(cè)定噴出 的所述液狀體的重量得到的測(cè)定值的、相對(duì)于基準(zhǔn)值的差異超過規(guī)定值的 情況下，實(shí)施確認(rèn)檢査。
23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的液滴噴出裝置，其特征在于，30 所述確認(rèn)檢査是利用所述重量測(cè)定單元進(jìn)行的重量測(cè)定。
24. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 所述確認(rèn)檢査是利用所述噴出檢查裝置進(jìn)行的所述液滴噴出頭的噴出狀態(tài)的檢查。
25. 根據(jù)權(quán)利要求16 21中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于，還具備噴出條件設(shè)定部，其設(shè)定所述液滴噴出頭的噴出條件， 在利用所述重量測(cè)定單元測(cè)定從所述液滴噴出頭所述重量測(cè)定噴出 的所述液狀體的重量得到的測(cè)定值相對(duì)于基準(zhǔn)值的差異超過第一值、且在 第二值以下的情況下，所述噴出條件設(shè)定部實(shí)施所述液滴噴出頭中的噴出 10 條件的修正。
26. 根據(jù)權(quán)利要求25所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 所述噴出條件之一為施加于所述液滴噴出頭的驅(qū)動(dòng)電壓，所述修正包括驅(qū)動(dòng)電壓值的修正或驅(qū)動(dòng)電壓波形的修正。
27. 根據(jù)權(quán)利要求16 26中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于，在一次所述材料供給去除時(shí)間的期間，實(shí)施利用一臺(tái)所述液滴噴出頭 進(jìn)行的所述重量測(cè)定噴出。
28. 根據(jù)權(quán)利要求27所述的液滴噴出裝置，其特征在于， 預(yù)先規(guī)定包含多個(gè)所述液滴噴出頭的頭組， 所述重量測(cè)定控制部以伴隨實(shí)施多次所述材料供給去除，包含于所述頭組的所有的所述液滴噴出頭依次各自實(shí)施一次所述重量測(cè)定噴出，并實(shí) 施各個(gè)所述液滴噴出頭噴出的所述液狀體的重量測(cè)定的方式，控制所述重 量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述液滴噴出頭，并且，以在伴隨并行實(shí)施第一液滴噴出頭的所述重量測(cè)定噴出的所述材料供給去除、和下次伴隨并行實(shí)施該第一液滴噴出頭的所述重量測(cè)定噴出的所述材料供給去除的期間，實(shí)施多次不伴隨并行實(shí)施所述重量測(cè)定噴出的 所述材料供給去除的方式，控制所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述液滴噴 出頭。
29. 根據(jù)權(quán)利要求16 28中任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在 于，還具備重量測(cè)定接受器，其收容由所述重量測(cè)定噴出噴出的所述液 狀體；接受器管理部，其算出所述重量測(cè)定接受器的更換時(shí)期，并發(fā)出更換 指示信息，5 所述接受器管理部根據(jù)所述重量測(cè)定噴出的實(shí)施狀態(tài)，算出所述更換時(shí)期。
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述接受器管理部對(duì)所述重量測(cè)定噴出的噴出次數(shù)進(jìn)行累計(jì)，并將該 噴出次數(shù)的累計(jì)超過規(guī)定的數(shù)值的時(shí)刻作為所述更換時(shí)期。io
31.根據(jù)權(quán)利要求29所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述接受器管理部對(duì)在所述重量測(cè)定中測(cè)定的所述液狀體的重量進(jìn) 行累計(jì)，并將該重量的累計(jì)超過規(guī)定的數(shù)值的時(shí)刻作為所述更換時(shí)期。
32. —種液滴噴出裝置的噴出重量測(cè)定方法，該液滴噴出裝置從液滴 噴出頭噴出液狀體，并且，通過使作為所述液狀體著附對(duì)象的基材、和所15述液滴噴出頭相對(duì)移動(dòng)，在所述基材上配置所述液狀體，其特征在于，包括重量測(cè)定噴出工序，其使所述液滴噴出頭實(shí)施用于實(shí)施噴出的所述液 狀體的重量測(cè)定的重量測(cè)定噴出，在對(duì)所述液滴噴出裝置實(shí)施用于實(shí)施所述基材的材料供給去除的材20料供給去除工序的期間，實(shí)施所述重量測(cè)定噴出工序。
33. —種液滴噴出裝置的噴出重量測(cè)定裝置，所述液滴噴出裝置具備液滴噴出頭，其噴出液狀體；載物臺(tái)，其用于載置作為使噴出的所述液狀 體著附的對(duì)象的基材；載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭和所述載物 臺(tái)在主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)；重量測(cè)定單元，其測(cè)定從所述液滴噴出頭噴 25出的所述液狀體的重量；重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述液滴噴出頭和 所述重量測(cè)定單元在主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)；重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)， 其使所述液滴噴出頭和所述重量測(cè)定單元在與所述主掃描方向大致正交 的副掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，所述液滴噴出裝置的噴出重量測(cè)定裝置的特征 在于，30 具備重量測(cè)定控制部，其控制所述液滴噴出頭、所述重量測(cè)定單元、所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)、和所述重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述重量測(cè)定控制部通過控制所述重量測(cè)定單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述重量測(cè)定單元副移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述液滴噴出頭和所述重量測(cè)定單元相對(duì)移動(dòng)，以使所述液滴噴出頭位于面向所述重量測(cè)定單元的位置，在材料供給去除時(shí)間的期間，通過控制所述液滴噴出頭，實(shí)施用于實(shí)施噴出的所述液狀體的重量測(cè)定的重量測(cè)定噴出，并且所述材料供給去除時(shí)間包含對(duì)所述載物臺(tái)實(shí)施所述基材的材料供給去除的時(shí)間、及為了該材料供給去除而利用所述載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)移動(dòng)所述載物臺(tái)的時(shí)間。
全文摘要
本發(fā)明提供液滴噴出方法、及液滴噴出裝置，其實(shí)施用于正確地測(cè)定噴出重量的噴出重量測(cè)定工序，并且，抑制實(shí)施噴出重量測(cè)定工序而導(dǎo)致的朝向描繪對(duì)象物噴出液狀體的描繪噴出工序中止的時(shí)間的增加，抑制利用液滴噴出的描繪所需的時(shí)間的增加。液滴噴出方法包括描繪噴出工序，其從液滴噴出頭噴繪液狀體，并且，通過使作為使液狀體著附的對(duì)象的基材、和液滴噴出頭相對(duì)移動(dòng)，在基材上配置液狀體；材料供給去除工序，其用于對(duì)具備液滴噴出頭的液滴噴出裝置實(shí)施基材的材料供給去除；重量測(cè)定噴出工序，其實(shí)施用于實(shí)施從該液滴噴出頭噴出的液狀體的重量測(cè)定的重量測(cè)定噴出，在實(shí)施材料供給去除工序的期間，大致并行而實(shí)施重量測(cè)定噴出工序。
文檔編號(hào)B41J29/393GK101352960SQ200810134170
公開日2009年1月28日 申請(qǐng)日期2008年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月23日
發(fā)明者小島健嗣 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社