專利名稱：液滴排出裝置以及液滴排出裝置的控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在共用的移動(dòng)軸上通過功能液滴排出頭進(jìn)行向工件的描繪和對功能 液滴排出頭進(jìn)行檢查的液滴排出裝置以及液滴排出裝置的控制方法。
背景技術(shù)：
以往，作為這種液滴排出裝置，已知一種在工件的供給/去除期間實(shí)施功能液滴 排出頭的排出檢查的裝置(參照專利文獻(xiàn)1)。該液滴排出裝置具有使設(shè)置在工件設(shè)置臺上的工件沿X軸方向移動(dòng)的X軸工作 臺；以跨過X軸工作臺的方式配置的Y軸工作臺；搭載在Y軸工作臺上且具有多個(gè)功能液滴 排出頭的兩組滑架單元。在X軸工作臺上，除了工件設(shè)置臺外，還自由移動(dòng)地搭載有接受來 自功能液滴排出頭的檢查排出的目標(biāo)單元、接受來自功能液滴排出頭的舍棄排出(沖洗) 的定期沖洗盒，另外，在Y軸工作臺的導(dǎo)軌部分上，垂下地設(shè)有對被檢查排出到檢查片的附 著墨點(diǎn)進(jìn)行圖像識別的攝像單元。在X軸工作臺以及Y軸工作臺交叉的區(qū)域，設(shè)有排出功能液并進(jìn)行描繪的描繪區(qū) 域，在從描繪區(qū)域向X軸方向分離的區(qū)域，設(shè)定有工件的校準(zhǔn)位置以及對工件進(jìn)行供給/去 除的校準(zhǔn)位置。經(jīng)由設(shè)置臺使工件移動(dòng)到校準(zhǔn)位置，則定期沖洗盒移動(dòng)到功能液滴排出頭 (滑架單元)的正下方，位于設(shè)置臺和定期沖洗盒之間的目標(biāo)單元移動(dòng)到攝像單元的正下 方。該狀態(tài)下，實(shí)施工件的供給/去除以及校準(zhǔn)(供給/去除工作動(dòng)作)，另外，在實(shí)施工件 的供給/去除動(dòng)作期間，實(shí)施從功能液滴排出頭向定期沖洗盒的舍棄排出(維護(hù)動(dòng)作)以 及基于攝像單元所進(jìn)行的圖像識別(排出檢查)。專利文獻(xiàn)1 日本特開2009-6212號公報(bào)但是，在這樣的液滴排出裝置中，由于在工件設(shè)置臺以及定期沖洗盒之間配置有 目標(biāo)單元，所以，檢查排出，通過將檢查數(shù)據(jù)包括在描繪數(shù)據(jù)中就能夠與描繪動(dòng)作連續(xù)地實(shí) 施，但是，存在圖像識別(排出檢查)僅能在工件的供給/去除動(dòng)作期間實(shí)施的限制。因此， 在排出檢查比供給/去除工件動(dòng)作的時(shí)間長的情況下，會(huì)影響工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍(Takt Time)。相反，為了維持生產(chǎn)節(jié)拍，則存在檢查內(nèi)容受時(shí)間限制的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一目的在于提供一種不影響工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍且不受時(shí)間的限制、 能夠?qū)嵤┕δ芤旱闻懦鲱^的排出檢查的液滴排出裝置以及液滴排出裝置的控制方法，第二 目的在于提供一種能夠縮短工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍并能夠使功能液滴排出頭的排出檢查時(shí) 間充分的液滴排出裝置以及液滴排出裝置的控制方法?！磫闻_設(shè)置臺〉本發(fā)明的液滴排出裝置，在描繪區(qū)域中，邊使工件移動(dòng)邊驅(qū)動(dòng)功能液滴排出頭從 而對工件實(shí)施描繪，在從描繪區(qū)域向工件的移動(dòng)方向分離的檢查區(qū)域，實(shí)施所述功能液滴 排出頭的排出檢查，該液滴排出裝置的特征在于，具有設(shè)置工件的設(shè)置臺；相對于設(shè)置臺配置在檢查區(qū)域側(cè)并接受來自功能液滴排出頭的舍棄排出的沖洗單元；相對于沖洗單元配 置在檢查區(qū)域側(cè)并搭載有接受來自功能液滴排出頭的檢查排出的檢查片的檢查臺；配置在 檢查區(qū)域并對向檢查片的檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的圖像識別機(jī)構(gòu)；和使設(shè)置臺、沖洗 單元以及檢查臺在共用的移動(dòng)軸上移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該共用的移動(dòng)軸在描繪區(qū)域以及檢查 區(qū)域間延伸，移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使檢查臺相對于設(shè)置臺以及沖洗單元單獨(dú)移動(dòng)。通過該構(gòu)成，設(shè)置臺、沖洗單元以及檢查臺從描繪區(qū)域側(cè)起以該順序能夠移動(dòng)地 配置于在描繪區(qū)域以及檢查區(qū)域間延伸的移動(dòng)軸上，圖像識別機(jī)構(gòu)配置在檢查區(qū)域。另外， 檢查臺構(gòu)成為能夠相對于設(shè)置臺以及沖洗單元單獨(dú)移動(dòng)。因此，在描繪區(qū)域中向檢查臺進(jìn) 行了檢查排出后，使檢查工作面對圖像識別機(jī)構(gòu)，實(shí)施功能液滴排出頭的排出檢查(圖像 識別)，但能夠與該排出檢查并行地，使設(shè)置臺面對描繪區(qū)域，實(shí)施描繪。另外，在工件的供 給/去除時(shí)，使功能液滴排出頭相對地面對沖洗單元并實(shí)施舍棄排出(維護(hù))，但該供給/ 去除工件所需要的時(shí)間也能夠利用功能液滴排出頭的排出檢查時(shí)間。因此，能夠不影響工 件處理的生產(chǎn)節(jié)拍也不受時(shí)間的限制地實(shí)施功能液滴排出頭的排出檢查。該情況下，優(yōu)選地，移移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為能夠使沖洗單元相對于設(shè)置臺以及檢查臺 單獨(dú)移動(dòng)。根據(jù)該構(gòu)成，在工件的供給/去除時(shí)，能夠使功能液滴排出頭相對地面對沖洗單 元并實(shí)施舍棄排出。因此，在進(jìn)行工件的供給/去除時(shí)，能夠?qū)⒐δ芤旱闻懦鲱^維持在良好 的狀態(tài)。另外，優(yōu)選地，從描繪區(qū)域觀察，在檢查區(qū)域的前方，設(shè)有用于對檢查臺進(jìn)行維護(hù) 的副維護(hù)區(qū)域，移動(dòng)軸穿過檢查區(qū)域延伸到副維護(hù)區(qū)域，該液滴排出裝置還具有覆蓋描繪 區(qū)域以及檢查區(qū)域的主腔；和覆蓋副維護(hù)區(qū)域的副腔。根據(jù)該構(gòu)成，能夠使搭載有檢查片的檢查臺從主腔向副腔移動(dòng)，并實(shí)施檢查片的 更換等維護(hù)操作。由此，能夠不影響主腔中的描繪動(dòng)作地實(shí)施檢查臺的維護(hù)。另一方面，優(yōu)選地，功能液滴排出頭的檢查包括對功能液滴排出頭中的各排出噴 嘴的排出不良進(jìn)行檢查的排出不良檢查和對來自各排出噴嘴的功能液的排出量進(jìn)行檢查 的排出量檢查，該液滴排出裝置還具有對功能液滴排出頭、圖像識別機(jī)構(gòu)以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn) 行控制的控制機(jī)構(gòu)，控制機(jī)構(gòu)對檢查片實(shí)施用于排出不良檢查的第一檢查排出以及用于排 出量檢查的第二檢查排出，并且，實(shí)施針對第一檢查排出的排出結(jié)果的圖像識別以及針對 第二檢查排出的排出結(jié)果的圖像識別。本發(fā)明中，能夠在描繪動(dòng)作中實(shí)施功能液滴排出頭的排出檢查。即，能夠充分確保 用于排出檢查的時(shí)間。因此，除了功能液滴排出頭的排出不良檢查外，還能夠?qū)嵤┡懦隽繖z 查，通過將該檢查結(jié)果反映到描繪動(dòng)作，能夠提高描繪品質(zhì)以及工件的成品率。同樣，優(yōu)選地，功能液滴排出頭的檢查包括對功能液滴排出頭中的各排出噴嘴的 排出不良進(jìn)行檢查的排出不良檢查和對來自各排出噴嘴的功能液的排出量進(jìn)行檢查的排 出量檢查，檢查臺具有第一檢查臺和第二檢查臺，第一檢查臺搭載有接受用于排出不良檢 查的第一檢查排出的第一檢查片，第二檢查臺搭載有接受用于排出量檢查的第二檢查排出 的第二檢查片，圖像識別機(jī)構(gòu)具有對向第一檢查臺的第一檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的 第一圖像識別單元；和對向第二檢查臺的第二檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的第二圖像識別 單元。
根據(jù)該構(gòu)成，通過第一檢查臺(第一檢查片)接受用于排出不良檢查的第一檢查 排出，并且通過第二檢查臺(第一檢查片)接受用于排出量檢查的第二檢查排出，因此，排 出不良檢查以及排出量檢查的排出模式不會(huì)相互受到制約。另外，同時(shí)，能夠使用于排出檢 查的控制系統(tǒng)單純化。另外，優(yōu)選地，相對于第一檢查片的更換頻率，第二檢查片的更換頻率被設(shè)定得較 高，在移動(dòng)軸上，從設(shè)置臺側(cè)起以第一檢查臺以及第二檢查臺的順序配置，移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成 為，能夠使第一檢查臺以及第二檢查臺分別移動(dòng)。根據(jù)該構(gòu)成，第一檢查片以及第二檢查片的更換頻率各不相同，因此，能夠單獨(dú)地 對檢查片的收卷定時(shí)以及更換定時(shí)等進(jìn)行調(diào)整。另外，更換頻率高的第二檢查臺相對于移 動(dòng)軸配置在最外端，所以，在更換第二檢查片時(shí)，第一檢查臺不會(huì)成為妨礙。本發(fā)明的液滴排出裝置的控制方法，該液滴排出裝置具有邊使工件移動(dòng)邊驅(qū)動(dòng) 功能液滴排出頭而對工件進(jìn)行描繪的描繪區(qū)域；和設(shè)定在從描繪區(qū)域向工件的移動(dòng)方向分 離的位置，并進(jìn)行功能液滴排出頭的排出檢查的檢查區(qū)域，在共用的移動(dòng)軸上搭載有設(shè)置 工件的設(shè)置臺以及接受從功能液滴排出頭的檢查排出的檢查臺，并且在檢查區(qū)域配置有對 向檢查臺的檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的圖像識別機(jī)構(gòu)，該共用的移動(dòng)軸在描繪區(qū)域以及 檢查區(qū)域間延伸，該控制方法的特征在于在即將對工件進(jìn)行描繪之前，在描繪區(qū)域?qū)z查 臺實(shí)施檢查排出，然后，在描繪區(qū)域?qū)ぜM(jìn)行描繪的期間，使檢查臺移動(dòng)至檢查區(qū)域，實(shí) 施由圖像識別機(jī)構(gòu)進(jìn)行的檢查排出結(jié)果的圖像識別。根據(jù)該構(gòu)成，由于在向工件的描繪中實(shí)施功能液滴排出頭的排出檢查(圖像識 別)，所以，能夠使用于排出檢查的時(shí)間充分。因此，能夠不影響工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍也不受 時(shí)間的限制地實(shí)施功能液滴排出頭的排出檢查?！措p臺設(shè)置臺〉本發(fā)明的其他的液滴排出裝置，其在描繪區(qū)域，邊使工件移動(dòng)邊驅(qū)動(dòng)功能液滴排 出頭而對工件實(shí)施描繪工作，在從述描繪區(qū)域向工件的移動(dòng)方向兩外側(cè)分離的兩個(gè)工件供 給/去除區(qū)域中，交替地實(shí)施工件的供給/去除，在向各工件供給/去除區(qū)域的移動(dòng)方向外 側(cè)分離的兩個(gè)檢查區(qū)域，交替地實(shí)施基于圖像識別的功能液滴排出頭的排出檢查，該液滴 排出裝置特征在于具有設(shè)置工件的一對設(shè)置臺；配設(shè)在各設(shè)置臺的外側(cè)并接受來自功 能液滴排出頭的檢查排出的一對檢查臺；配設(shè)在各檢查區(qū)域并對檢查臺的檢查排出結(jié)果進(jìn) 行圖像識別的一對圖像識別機(jī)構(gòu)；和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使一方的設(shè)置臺在描繪區(qū)域以及一方的工 件供給/去除區(qū)域間自由移動(dòng)，并且使另一方的設(shè)置臺在描繪區(qū)域以及另一方的工件供給 /去除區(qū)域間自由移動(dòng)；使一方的檢查臺在描繪區(qū)域以及一方的檢查區(qū)域間移動(dòng)，并且使 另一方的檢查臺在描繪區(qū)域以及另一方的檢查區(qū)域間移動(dòng)。該情況下，優(yōu)選地，該液滴排出裝置還具有對功能液滴排出頭、一對圖像識別機(jī)構(gòu) 以及一對移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制的控制機(jī)構(gòu)，該控制機(jī)構(gòu)，使一對設(shè)置臺在描繪區(qū)域和各工件 供給/去除區(qū)域之間交替地移動(dòng)，并交替地實(shí)施描繪工作，并且，使一對檢查臺在描繪區(qū)域 和各檢查區(qū)域之間交替地移動(dòng)，并交替地實(shí)施與描繪工作并行的檢查排出以及排出檢查。根據(jù)該構(gòu)成，使一對設(shè)置臺在描繪區(qū)域以及工件供給/去除區(qū)域間移動(dòng)，并交替 地實(shí)施描繪動(dòng)作，并且使一對檢查臺在描繪區(qū)域以及檢查區(qū)域間移動(dòng)，并交替實(shí)施與該描 繪動(dòng)作并行的檢查排出以及排出檢查。由此，能夠交替連續(xù)地實(shí)施向工件的描繪動(dòng)作和功能液滴排出頭的排出檢查。另外，在向一方的檢查臺的檢查排出后，只要使其直接移動(dòng)到檢 查區(qū)域，就能夠在一方的設(shè)置臺中向工件實(shí)施描繪期間，實(shí)施基于一方的圖像識別機(jī)構(gòu)所 進(jìn)行的排出檢查。而且，只要使排出檢查的時(shí)間充分，即使在連續(xù)的另一方的設(shè)置臺中進(jìn)行 向工件的描繪動(dòng)作期間，也能夠作為排出檢查的時(shí)間活用。因此，能夠縮短相對于向工件的 描繪動(dòng)作的生產(chǎn)節(jié)拍，并且使排出檢查的時(shí)間充分。另外，優(yōu)選地，移動(dòng)機(jī)構(gòu)使一對設(shè)置臺以及一對檢查臺在共用的移動(dòng)軸上移動(dòng)。根據(jù)該構(gòu)成，能夠使一對設(shè)置臺以及一對檢查臺中的移動(dòng)系統(tǒng)的構(gòu)造單純化。此 外，移動(dòng)機(jī)構(gòu)優(yōu)選使用線性電機(jī)。另外，優(yōu)選地，控制機(jī)構(gòu)，在描繪區(qū)域使各設(shè)置臺在移動(dòng)方向上多次往復(fù)移動(dòng)并實(shí) 施描繪工作，與往復(fù)移動(dòng)的最初的往動(dòng)動(dòng)作同步，使檢查臺從檢查區(qū)域移動(dòng)至描繪區(qū)域并 實(shí)施檢查排出。該情況下，優(yōu)選地，控制機(jī)構(gòu)，在實(shí)施了檢查排出后，使檢查臺從描繪區(qū)域移動(dòng)至 檢查區(qū)域并實(shí)施排出檢查。通過這些構(gòu)成，能夠不影響描繪動(dòng)作地實(shí)施檢查排出，并且，能夠進(jìn)行反映了實(shí)際 的描繪狀況的檢查排出。另外，與描繪動(dòng)作的初期進(jìn)行檢查排出的時(shí)間相應(yīng)地，能夠得到足 夠的排出檢查的時(shí)間。而且，優(yōu)選地，控制機(jī)構(gòu)使排出檢查在伴隨著檢查排出的描繪工作結(jié)束前結(jié)束。根據(jù)該構(gòu)成，由于能夠?qū)⑴懦鰴z查的檢查結(jié)果反映到下一次的描繪動(dòng)作，所以能 夠提高成品率。同樣，優(yōu)選地，控制機(jī)構(gòu)使排出檢查在伴隨著檢查排出的描繪工作的下一次的描 繪工作結(jié)束前結(jié)束。根據(jù)該構(gòu)成，不會(huì)影響工件處理(描繪動(dòng)作)的生產(chǎn)節(jié)拍，能夠進(jìn)行需要時(shí)間的高 精度的排出檢查。另一方面，優(yōu)選地，該液滴排出裝置還具有配置在各工件供給/去除區(qū)域并進(jìn)行 工件的供給/去除的一對工件供給/去除機(jī)構(gòu)，控制機(jī)構(gòu)對一對工件供給/去除機(jī)構(gòu)進(jìn)行 控制，對于移動(dòng)來到各工件供給/去除區(qū)域的各設(shè)置臺，實(shí)施工件的供給/去除。根據(jù)該構(gòu)成，能夠連續(xù)地進(jìn)行相對于設(shè)置臺的工件的供給/去除。即，能夠交替連 續(xù)地進(jìn)行向工件的描繪動(dòng)作和工件的供給/去除，能夠使工件處理(描繪動(dòng)作)高效地進(jìn) 行。另外，優(yōu)選地，該液滴排出裝置還具有配置在一對設(shè)置臺間并接受來自功能液滴 排出頭的舍棄排出的單一的沖洗單元，移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使沖洗單元在兩個(gè)工件供給/ 去除區(qū)域間移動(dòng)。根據(jù)該構(gòu)成，在上述的排出檢查結(jié)果為NG的情況下等，即使發(fā)生暫時(shí)使描繪動(dòng)作 停止的情況，也能夠?qū)嵤墓δ芤旱闻懦鲱^的舍棄排出，能夠維持功能液滴排出頭的排出 性能。另外，能夠活用沖洗單元，并實(shí)施經(jīng)常在描繪開始時(shí)進(jìn)行的舍棄排出(描繪前沖洗)。同樣，優(yōu)選地，該液滴排出裝置還具有配置在一方的檢查臺的移動(dòng)方向外側(cè)并接 受來自功能液滴排出頭的舍棄排出的單一的沖洗單元，移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使沖洗單元 在一方的檢查區(qū)域和描繪區(qū)域間移動(dòng)。根據(jù)該構(gòu)成，沖洗單元位于工件的移動(dòng)方向最外端。由此，能夠與描繪動(dòng)作無關(guān)地進(jìn)行沖洗單元的維護(hù)。同樣，優(yōu)選地，該液滴排出裝置還具有添加設(shè)置在各設(shè)置臺的移動(dòng)方向內(nèi)側(cè)并接 受來自功能液滴排出頭的舍棄排出的一對沖洗單元，移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使各沖洗單元 與各設(shè)置臺一體地移動(dòng)。根據(jù)該構(gòu)成，在上述的排出檢查結(jié)果為NG的情況下等，即使發(fā)生暫時(shí)使描繪動(dòng)作 停止的情況，也能夠?qū)嵤墓δ芤旱闻懦鲱^的舍棄排出，能夠維持功能液滴排出頭的排出 性能。另外，能夠活用沖洗單元，并實(shí)施經(jīng)常在描繪開始時(shí)進(jìn)行的舍棄排出(描繪前沖洗)。 而且，能夠使各沖洗臺以及各設(shè)置臺的移動(dòng)系統(tǒng)單純化。此外，沖洗單元可以為搭載在設(shè)置 臺上的形態(tài)，也可以為連結(jié)的形態(tài)。另外，優(yōu)選地，該液滴排出裝置還具有配設(shè)在一對設(shè)置臺間并對從功能液滴排出 頭排出的功能液的重量進(jìn)行測定的單一的重量測定臺，移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使重量測定 臺在兩個(gè)工件供給/去除區(qū)域間移動(dòng)。根據(jù)該構(gòu)成，在功能液滴排出頭的更換(滑架更換)時(shí)等需要進(jìn)行排出功能液的 重量測定的情況下，在移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，能夠?qū)嵤┲亓繙y定，使生產(chǎn)效率提高。而且，優(yōu)選地，該液滴排出裝置還具有配設(shè)在一方的檢查臺的移動(dòng)方向外側(cè)并對 從功能液滴排出頭排出的功能液的重量進(jìn)行測定的單一的重量測定臺，移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為， 能夠使重量測定臺在一方的檢查區(qū)域和描繪區(qū)域間移動(dòng)。根據(jù)該構(gòu)成，重量測定臺位于工件的移動(dòng)方向最外端。由此，能夠與描繪動(dòng)作無關(guān) 地進(jìn)行重量測定臺的維護(hù)。


圖1是第一實(shí)施方式的液滴排出裝置的俯視示意圖。圖2是功能液滴排出頭的外觀立體圖。圖3是用于說明第一實(shí)施方式的液滴排出裝置所進(jìn)行的一系列的動(dòng)作的說明圖。圖4是第一變型例的液滴排出裝置的俯視示意圖。圖5是第二變型例的液滴排出裝置的俯視示意圖。圖6是用于說明第二變型例的液滴排出裝置所進(jìn)行的一系列的動(dòng)作的說明圖。圖7是第二實(shí)施方式的液滴排出裝置的俯視示意圖。圖8是用于說明第二實(shí)施方式的液滴排出裝置的一系列的動(dòng)作的說明圖。圖9是第一變型例的液滴排出裝置的俯視示意圖。圖10是第二變型例的液滴排出裝置的俯視示意圖。符號說明1液滴排出裝置 2移動(dòng)機(jī)構(gòu) 8功能液滴排出頭13沖洗單元 14檢查臺 1 第一檢查臺14b第二檢查臺 15圖像識別單元 1 第一圖像識別單元1 第二圖像識別單元 16重量測定臺 17工件供給/去除機(jī)械手21描繪區(qū)域 22主維修區(qū)域 23檢查區(qū)域 W工件M工件供給/去除區(qū)域 32設(shè)置臺 81副腔 82主腔S檢查片 Sl第一檢查片 S2第二檢查片
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的液滴排出裝置以及其控制方法進(jìn)行說 明。該液滴排出裝置被組裝入平板顯示器的生產(chǎn)線，例如，使用噴墨方式的功能液滴排出 頭，該功能液滴排出頭導(dǎo)入有特殊的墨或發(fā)光性的樹脂液即功能液，形成成為濾色鏡或有 機(jī)EL裝置的各像素的發(fā)光元件等，并且與此并行地，實(shí)施功能液滴排出頭的功能維持/功 能恢復(fù)(保守)。<第一實(shí)施方式單臺設(shè)置臺>如圖1所示，液滴排出裝置1具有在描繪時(shí)沿成為主掃描方向的X軸方向延伸， 使工件W沿X軸方向移動(dòng)的X軸工作臺2 ；以跨越X軸工作臺2的方式架設(shè)，且在描繪時(shí)成 為副掃描方向的Y軸方向上延伸的Y軸工作臺3 ；和自由移動(dòng)地吊設(shè)在Y軸工作臺3上，分 別搭載有多個(gè)(12個(gè))功能液滴排出頭8的13個(gè)滑架單元4。液滴排出裝置1，與X軸工 作臺2以及Y軸工作臺3的驅(qū)動(dòng)同步地，選擇性地對功能液滴排出頭8進(jìn)行排出驅(qū)動(dòng)，由 此，在工件W上基于預(yù)定的描繪圖案進(jìn)行描繪。此外，滑架單元4在各圖中僅示出了四個(gè)， 另外，功能液滴排出頭8在各圖中對于一個(gè)滑架單元4僅示出了一個(gè)。另外，液滴排出裝置1具有對功能液滴排出頭8進(jìn)行維護(hù)的維護(hù)裝置5，其具有 吸引單元11、刮拭單元12以及沖洗單元13 ；和進(jìn)行功能液滴排出頭8的排出檢查的排出檢 查裝置6，其具有檢查臺14以及圖像識別單元15 (圖像識別機(jī)構(gòu))。吸引單元11以及刮拭 單元12配置在后述的維護(hù)區(qū)域22上，沖洗單元13以及檢查臺14自由移動(dòng)地配置在描繪 區(qū)域21和后述的檢查區(qū)域23之間，而且，圖像識別單元15配置在檢查區(qū)域23。而且，液滴排出裝置1具有對這些構(gòu)成裝置進(jìn)行統(tǒng)一控制的控制裝置(省略圖 示)，且具有收置這些構(gòu)成裝置的腔7。腔7具有預(yù)制形式的清潔棚(clean booth)的形態(tài)， 其內(nèi)部進(jìn)行常時(shí)換氣，從而將內(nèi)部氣氛調(diào)和到一定的溫度等。在X軸工作臺2以及Y軸工作臺3的交叉區(qū)域，設(shè)定有對工件W進(jìn)行描繪處理的 描繪區(qū)域21，在從描繪區(qū)域21向Y軸方向離開的Y軸工作臺3的移動(dòng)區(qū)域中，設(shè)定有配置 有吸引單元11以及刮拭單元12的維護(hù)區(qū)域22。另外，在從描繪區(qū)域21向X軸方向離開的 X軸工作臺2的一方的移動(dòng)區(qū)域中，設(shè)定有配置有上述的排出檢查裝置6的檢查區(qū)域23，在 另一方的移動(dòng)區(qū)域中，設(shè)定有用于對工件W進(jìn)行供給/去除的工件供給/去除區(qū)域M。X軸工作臺2具有沿X軸方向延伸的一對X軸導(dǎo)軌31 (移動(dòng)軸)；搭載在一對X 軸導(dǎo)軌31上并對工件W進(jìn)行吸附設(shè)置的設(shè)置臺32 ；使設(shè)置臺32沿X軸導(dǎo)軌31移動(dòng)的設(shè) 置臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)33 ；使沖洗單元13沿X軸導(dǎo)軌31移動(dòng)的沖洗移動(dòng)機(jī)構(gòu)34 ；和使檢查臺14沿 X軸導(dǎo)軌31移動(dòng)的檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35。設(shè)置臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)33、沖洗移動(dòng)機(jī)構(gòu)34以及檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35由具有與這些機(jī)構(gòu) 對應(yīng)的三個(gè)滑塊的線性電機(jī)構(gòu)成，設(shè)置臺32、沖洗單元13以及檢查臺14構(gòu)成為能夠單獨(dú)在 X軸導(dǎo)軌31上移動(dòng)。另外，一對X軸導(dǎo)軌31以縱切工件供給/去除區(qū)域M、描繪區(qū)域21 以及檢查區(qū)域23的方式延伸。此外，在本實(shí)施方式中，技術(shù)方案所述的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，由設(shè)置臺 移動(dòng)機(jī)構(gòu)33、沖洗移動(dòng)機(jī)構(gòu)34以及檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35構(gòu)成。另外，還可以使設(shè)置臺32以 及沖洗單元13通過單個(gè)的滑塊一體移動(dòng)(省略圖示)。Y軸工作臺3具有跨過X軸工作臺2而在Y軸方向上延伸的一對Y軸導(dǎo)軌41 ；以架設(shè)的方式搭載在一對X軸導(dǎo)軌31上，且分別吊設(shè)各滑架單元4的多個(gè)橋接板(省略圖 示)；和經(jīng)由各橋接板使多個(gè)滑架單元4沿Y軸導(dǎo)軌41移動(dòng)的滑架移動(dòng)機(jī)構(gòu)42?；芤?動(dòng)機(jī)構(gòu)42由具有與多個(gè)滑架單元4 (多個(gè)橋接板)對應(yīng)的多個(gè)滑塊的線性電機(jī)構(gòu)成，構(gòu)成 為能夠使各滑架單元4單獨(dú)移動(dòng)(還可以使13個(gè)滑架單元4 一體移動(dòng))。另外，一對Y軸 導(dǎo)軌41橫切描繪區(qū)域21地延伸到維護(hù)區(qū)域22，Y軸工作臺3，在描繪時(shí)對功能液滴排出頭 8 (滑架單元4)進(jìn)行副掃描，除此以外，在維護(hù)時(shí)使滑架單元4面對維護(hù)區(qū)域22。各滑架單元4具有排出頭單元(省略圖示)，該排出頭單元由R · G · B · C · M · Y6 色各兩個(gè)(合計(jì)12個(gè))功能液滴排出頭8和將12個(gè)功能液滴排出頭8按每六個(gè)分成一 組并對該兩組進(jìn)行支承的排出頭支板構(gòu)成。另外，各滑架單元4具有能夠θ旋轉(zhuǎn)地支承 排出頭單元的θ旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；和經(jīng)由θ旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使排出頭單元支承在橋接板上的吊設(shè)部件 (都省略圖示)。此外，滑架單元4的個(gè)數(shù)以及搭載在各滑架單元4上的功能液滴排出頭8 的個(gè)數(shù)為任意的。如圖2所示，功能液滴排出頭8具有具有雙聯(lián)式連接針M的功能液導(dǎo)入部51 ； 與功能液導(dǎo)入部51相連的雙聯(lián)式排出頭基板52 ；和與排出頭基板52相連且對功能液進(jìn)行 排出的排出頭主體53。功能液導(dǎo)入部51接受來自圖外的功能液供給裝置的功能液的供給。 另外，排出頭主體53具有由壓電式噴墨元件元件等構(gòu)成的雙聯(lián)式泵部55 ；和具有形成了多 個(gè)排出噴嘴57的噴嘴面58的噴嘴板56。形成在噴嘴板56上的多個(gè)排出噴嘴57以等間隔 并列，將噴嘴列59形成為兩列。而且，兩列的噴嘴列59相互平行，且位置錯(cuò)開半個(gè)噴嘴間距 地并列設(shè)置。功能液滴排出頭8，通過將來自控制裝置的驅(qū)動(dòng)波形經(jīng)由排出頭基板52施加 在各泵部陽(壓電元件)，從而從各排出噴嘴57排出功能液。此外，在用于對后述的墨點(diǎn)遺 漏以及飛行偏曲進(jìn)行檢查的第一檢查排出中，以噴嘴列59為單位對功能液進(jìn)行檢查排出， 在用于對排出量進(jìn)行測定的第二檢查排出中，邊使排出位置錯(cuò)開，邊以噴嘴列59為單位進(jìn) 行多次功能液的排出。配置在維護(hù)區(qū)域22中的吸引單元11由與多個(gè)滑架單元4相同數(shù)量的單個(gè)吸引單 元Ila構(gòu)成。各單個(gè)吸引單元Ila具有具有與12個(gè)功能液滴排出頭8對應(yīng)的12個(gè)排出 頭罩的罩單元；與罩單元相連的吸引機(jī)構(gòu)；和使罩單元升降的升降機(jī)構(gòu)(都省略圖示)。單 個(gè)吸引單元Ila使罩單元在保管用/功能液吸引用的密接位置、沖洗用的分離位置和排出 頭單元的更換或罩單元的消耗品更換用的更換位置之間分三個(gè)階段升降。刮拭單元12配置在描繪區(qū)域21以及吸引單元11之間，具有將刮拭片卷繞成卷 狀的抽出卷軸；將從抽出卷軸被抽出的刮拭片進(jìn)行收卷的收卷卷軸；和架設(shè)在兩卷軸間的 將刮拭片向功能液滴排出頭8推壓的推壓輥(都省略圖示)。刮拭單元12邊經(jīng)由推壓輥將 刮拭片向功能液滴排出頭8推壓邊使刮拭片移動(dòng)，進(jìn)一步使整體沿X軸方向移動(dòng)，對各滑架 單元4的功能液滴排出頭8的噴嘴面58進(jìn)行擦拭。沖洗單元13相對于設(shè)置臺32配置在檢查區(qū)域23側(cè)，其通過沖洗移動(dòng)機(jī)構(gòu)34相 對于X軸導(dǎo)軌31自由滑動(dòng)地被支承。沖洗單元13具有接受從功能液滴排出頭8排出的 功能液的沖洗盒；和對積存在沖洗盒內(nèi)的功能液進(jìn)行吸引并將其排出的吸引排出機(jī)構(gòu)(都 省略圖示)。沖洗單元13，在進(jìn)行工件W的供給/去除時(shí)，接受來自功能液滴排出頭8的舍 棄排出(沖洗)，使功能液滴排出頭8的功能液排出穩(wěn)定。此外，雖在圖示中省略，但在設(shè)置臺32的X軸方向兩端部配置有一對描繪前沖洗單元，從向去往移動(dòng)以及返回移動(dòng)的描繪動(dòng)作過渡的移動(dòng)中的功能液滴排出頭8接受沖 洗。排出檢查裝置6，如上所述，配置在檢查區(qū)域23 (原始位置)，該檢查區(qū)域23設(shè)定 在從描繪區(qū)域21向X軸方向離開的X軸工作臺2的一方的區(qū)域中，排出檢查裝置6由檢查 臺14以及圖像識別單元15構(gòu)成。在進(jìn)行排出檢查時(shí)，檢查臺14，在移動(dòng)到滑架單元4(功 能液滴排出頭8)的正下方并接受檢查排出后，移動(dòng)到圖像識別單元15的正下方供圖像識 別使用。檢查臺14相對于沖洗單元13配置在檢查區(qū)域23側(cè)，通過檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35被 滑動(dòng)自由地支承在X軸導(dǎo)軌31上。檢查臺14具有對卷繞呈卷狀的檢查片S進(jìn)行吸附載 置的檢查工作面61 ；在檢查工作面61上抽出檢查片S的抽出機(jī)構(gòu)62 ；和對檢查后的檢查片 S進(jìn)行收卷的收卷機(jī)構(gòu)63。檢查臺14在使由抽出機(jī)構(gòu)62抽出的檢查片S吸附在檢查工作 面61上的狀態(tài)下，接受來自功能液滴排出頭8的檢查排出。而且，檢查臺14，通過收卷機(jī)構(gòu) 63對通過附著墨點(diǎn)完全覆蓋的檢查后的檢查片S進(jìn)行收卷，并且將新的檢查片S抽出到檢 查工作面61。另外，在被抽出到檢查工作面61上的檢查片S上，設(shè)定有用于實(shí)施排出不良 檢查的接受第一檢查排出的第一檢查排出區(qū)域64和用于實(shí)施排出量檢查的接受第二檢查 排出的第二檢查排出區(qū)域65。圖像識別單元15具有從上方面對檢查臺14的照相機(jī)71 ；支承照相機(jī)71的照相 機(jī)基臺72 ；以跨過X軸工作臺2的方式架設(shè)，且自由滑動(dòng)地將照相機(jī)臺72支承在Y軸方向 上的照相機(jī)框架73 ；和經(jīng)由照相機(jī)基臺72使照相機(jī)71沿照相機(jī)框架73在Y軸方向上移 動(dòng)的照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(省略圖示)。照相機(jī)框架73由配置在X軸工作臺2的兩側(cè)方的多根 支柱74和被支承在支柱74上且沿Y軸方向延伸的一對照相機(jī)導(dǎo)向部75構(gòu)成，整體形成為 門型。圖像識別單元15邊經(jīng)由照相機(jī)基臺72使照相機(jī)71沿Y軸方向移動(dòng)，邊以每數(shù)個(gè)點(diǎn) 對向檢查片S檢查排出的附著墨點(diǎn)連續(xù)地進(jìn)行圖像識別。此外，照相機(jī)71可以設(shè)置多臺， 該情況下，能夠縮短圖像識別時(shí)間。這里，基于向第一檢查排出區(qū)域64的第一檢查排出結(jié)果所進(jìn)行的排出不良檢查 和基于向第二檢查排出區(qū)域65的第二檢查排出結(jié)果所進(jìn)行的排出量檢查進(jìn)行說明。排出 不良檢查是用于對功能液滴排出頭8中的各排出噴嘴57的排出不良進(jìn)行檢查的過程，首 先，從全部排出噴嘴57使功能液滴向檢查片S排出(第一檢查排出)。然后，通過圖像識別 單元15對第一檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別。識別了的圖像通過控制裝置被進(jìn)行圖像處理， 并檢查墨點(diǎn)遺漏以及飛行偏曲。在該檢查結(jié)果中，在輕度NG的情況下，在沖洗單元13進(jìn)行 沖洗從而實(shí)現(xiàn)功能恢復(fù)，在成為重度的NG的情況下，通過吸引單元11以及刮拭單元12進(jìn) 行功能液吸引以及刮拭從而實(shí)現(xiàn)功能恢復(fù)。另一方面，排出量檢查是用于對來自各排出噴嘴57的功能液的排出量進(jìn)行檢查 的過程，邊驅(qū)動(dòng)檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35，邊通過同一噴嘴列59向檢查片S排出數(shù)次功能液(第 二檢查排出)。而且，通過圖像識別單元15對第二檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別，經(jīng)過圖像處 理根據(jù)附著墨點(diǎn)的面積算出各排出噴嘴57的平均的排出量。而且，基于算出的功能液排出 量，功能液滴排出頭8的驅(qū)動(dòng)電壓被校正這樣，由于第一檢查排出在比第二檢查排出狹窄的區(qū)域也能夠進(jìn)行檢查排出，所 以，第一檢查排出區(qū)域64在主掃描方向(X軸方向)上被設(shè)定得比第二檢查排出區(qū)域65窄。此外，第二排出檢查無需每次向工件W進(jìn)行描繪都進(jìn)行，只要定期進(jìn)行即可。該情況下，僅 在進(jìn)行第二檢查排出的情況下，設(shè)定第二檢查排出區(qū)域65，在不進(jìn)行第二檢查排出的情況 下，將檢查片S整個(gè)面設(shè)定為第一檢查排出區(qū)域64 (省略圖示)。下面，參照圖3，對液滴排出裝置1中的一系列動(dòng)作，以向工件W的描繪以及功能液 滴排出頭8的排出檢查為中心進(jìn)行說明。此外，這里，作為功能液滴排出頭8的排出檢查， 對僅進(jìn)行排出不良檢查的情況進(jìn)行說明。將工件W設(shè)置在校準(zhǔn)狀態(tài)的設(shè)置臺32位于工件 供給/去除區(qū)域M，檢查臺14位于描繪區(qū)域21中的滑架單元4的正下方。使檢查臺14、 沖洗單元13以及設(shè)置臺32從該狀態(tài)沿X軸方向(檢查區(qū)域23側(cè))移動(dòng)，首先對檢查片S 進(jìn)行第一檢查排出。檢查臺14向檢查區(qū)域23移動(dòng)，設(shè)置臺32向描繪區(qū)域21移動(dòng)。沖洗 單元13通過滑架單元4的正下方，設(shè)置臺32的端部到達(dá)滑架單元4的正下方，然后開始向 工件W的描繪。在第一檢查排出后的檢查臺14到達(dá)圖像識別單元15的正下方后，停止檢查臺14 的移動(dòng)。接下來，驅(qū)動(dòng)圖像識別單元15并對第一檢查排出的附著墨點(diǎn)進(jìn)行圖像識別，從而 對排出不良進(jìn)行檢查。另一方面，在描繪區(qū)域21中，使工件W在主掃描方向(X軸方向)上 往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且使滑架單元4適當(dāng)?shù)卦诟睊呙璺较?Y軸方向)上移動(dòng)，對工件W基于預(yù)定的 排出圖案進(jìn)行描繪。即，在描繪區(qū)域21中，在向工件W實(shí)施描繪期間，在檢查區(qū)域23中，實(shí) 施以附著墨點(diǎn)作為圖像識別的中心的排出不良的檢查。向工件W的描繪結(jié)束后，設(shè)置臺32移動(dòng)到工件供給/去除區(qū)域24，同時(shí)，沖洗單元 13移動(dòng)到滑架單元4的正下方。這里，實(shí)施新舊工件W的供給/去除，且實(shí)施被功給的工 件W的校準(zhǔn)。與此并行地，從滑架單元4對沖洗單元13進(jìn)行沖洗，功能液滴排出頭8的彎 液面被良好維持。而且，其間排出檢查結(jié)束后的檢查臺14再次移動(dòng)到描繪區(qū)域21，準(zhǔn)備下 一次的檢查排出。通過重復(fù)以上的工序，在對向工件W的描繪期間以及工件W的供給/去 除期間進(jìn)行功能液滴排出頭8的排出檢查。此外，由于設(shè)定為在工件W的描繪期間進(jìn)行排 出檢查，所以，在排出檢查的結(jié)果為NG的情況下，中止工件W的描繪，實(shí)施滑架單元4 (功能 液滴排出頭8)的功能恢復(fù)和工件W的更換(供給/去除)。在這樣的構(gòu)成中，設(shè)置臺32、沖洗單元13以及檢查臺14構(gòu)成為，在X軸導(dǎo)軌31 上從描繪區(qū)域21側(cè)起以該順序分別能夠移動(dòng)，圖像識別單元15配置在檢查區(qū)域23中。由 此，不受時(shí)間的制約，能夠在描繪區(qū)域21中的描繪時(shí)以及工件供給/去除區(qū)域M中的工件 W的供給/去除以及校準(zhǔn)時(shí)，實(shí)施功能液滴排出頭8的排出檢查。<第一變型例單臺設(shè)置臺〉下面，參照圖4，對本發(fā)明的第一變型例的液滴排出裝置1進(jìn)行說明。此外，為了避 免重復(fù)的記載，以與第一實(shí)施方式不同的部分為主進(jìn)行說明。在該液滴排出裝置1中，除了 排出不良檢查外，還實(shí)施上述的排出量檢查。因此，檢查臺14中的檢查片S的消耗極大，作 為卷紙需要頻繁更換檢查片S。因此，從描繪區(qū)域21觀察，在檢查區(qū)域23的前方設(shè)定有副 維修區(qū)域25，能夠使檢查臺14移動(dòng)到該副維修區(qū)域25中。而且，在上述的腔7中，通過副 腔81覆蓋副維修區(qū)域25，通過主腔82覆蓋其他的部分。由此，能夠不使描繪動(dòng)作停止地進(jìn) 行檢查臺14中的檢查片S更換。另外，伴隨著副維修區(qū)域25的設(shè)定，使X軸導(dǎo)軌31延伸 設(shè)置到副維修區(qū)域25。主腔82構(gòu)成為覆蓋描繪區(qū)域21、檢查區(qū)域23以及維護(hù)區(qū)域22，在X軸方向的副腔81側(cè)的側(cè)壁上，設(shè)置有插通X軸導(dǎo)軌31并供檢查臺14通過的主腔開口 83 ；和對主腔 開口 83的X軸工作臺2以外的部分進(jìn)行開閉的開閉門84。另外，主腔82構(gòu)成為能夠通過 圖外的主腔調(diào)整機(jī)構(gòu)對內(nèi)部氣氛進(jìn)行調(diào)整。此外，內(nèi)部氣氛的調(diào)整是使用配置在主腔82內(nèi) 的各種傳感器，對內(nèi)置在主腔調(diào)整機(jī)構(gòu)中的加熱器、冷卻器、風(fēng)扇等進(jìn)行控制。另外，優(yōu)選， 邊對主腔82內(nèi)進(jìn)行常時(shí)換氣邊進(jìn)行內(nèi)部氣氛的調(diào)整。副腔81主要是在更換檢查臺14的檢查片S時(shí)使用的，構(gòu)成為對移動(dòng)到X軸工作 臺2的端部的檢查臺14進(jìn)行收置。副腔81，在主腔82側(cè)的側(cè)壁插通有X軸導(dǎo)軌31，且開 有供檢查臺14通過的副腔開口 85。另外，副腔81構(gòu)成為能夠通過圖外的副腔調(diào)整機(jī)構(gòu)對 內(nèi)部氣氛進(jìn)行調(diào)整。此外，內(nèi)部氣氛的調(diào)整與主腔82的情況相同。在本實(shí)施方式的液滴排出裝置1的動(dòng)作中，實(shí)施用于檢查排出不良的第一檢查排 出和隨后的用于檢查功能液的排出量的第二檢查排出。具體地，實(shí)施第一檢查排出，接著對 同一檢查片S實(shí)施第二檢查排出。而且，第一、第二檢查排出后的檢查臺14到達(dá)圖像識別 單元15的正下方后，使檢查臺14的移動(dòng)停止，驅(qū)動(dòng)圖像識別單元15并對第一、第二檢查排 出的附著墨點(diǎn)進(jìn)行圖像識別，檢查排出不良，并檢查排出量。此外，先進(jìn)行第一檢查排出以 及第二檢查排出中的哪個(gè)都可以。該情況下，副腔81在進(jìn)行檢查片S的更換時(shí)打開開閉門84對移動(dòng)來的檢查臺14 進(jìn)行收置，關(guān)閉開閉門84后，對內(nèi)部氣氛進(jìn)行大氣置換。而且，操作者在副腔81內(nèi)更換檢 查片S后，將副腔81的內(nèi)部氣氛置換成與主腔82的內(nèi)部分相同的氮?dú)饣蚋稍锟諝?。然后?打開開閉門84，將檢查臺14移動(dòng)到主腔82供檢查排出。由此，由于能夠在副腔81內(nèi)進(jìn)行檢查臺14的檢查片S更換，所以，在該更換操作 時(shí)，無需使液滴排出裝置1停止。另外，因人的操作而產(chǎn)生的大氣的攪亂以及塵埃等不會(huì)影 響主腔82內(nèi)的描繪區(qū)域21中的處理。此外，可以使主腔調(diào)整機(jī)構(gòu)以及副腔調(diào)整機(jī)構(gòu)作為 共用(兼用)的腔調(diào)整機(jī)構(gòu)，并可以對與此連接的管道(或配管)進(jìn)行適當(dāng)?shù)牧髀非袚Q。<第二變型例單臺設(shè)置臺〉下面，參照圖5，對本發(fā)明的第二變型例的液滴排出裝置1進(jìn)行說明。該液滴排出 裝置1中的檢查臺14由搭載第一檢查片Sl且接受第一檢查排出的第一檢查臺Ha和搭載 第二檢查片S2并接受第二檢查排出的第二檢查臺14b構(gòu)成，第一檢查臺14a以及第二檢查 臺14b經(jīng)由X軸導(dǎo)軌31能夠收置在副腔81中。另外，檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35由使第一檢查臺Ha在X軸導(dǎo)軌31上移動(dòng)的第一檢查 臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)3 和使第二檢查臺14b在X軸導(dǎo)軌31上移動(dòng)的第二檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)3 構(gòu) 成。即，第一檢查臺14a以及第二檢查臺14b構(gòu)成為通過第一檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35a以及第 二檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)3 能夠分別沿X軸導(dǎo)軌31單獨(dú)移動(dòng)。此外，由于第一檢查臺14a以及 第二檢查臺14b與上述的檢查臺14為同一構(gòu)造，這里省略說明。該情況下，接受上述的第一檢查排出的第一檢查排出區(qū)域64設(shè)在第一檢查臺1 的第一檢查片Sl整個(gè)面上，接受第二檢查排出的第二檢查排出區(qū)域65設(shè)在第二檢查臺14b 的第二檢查片S2整個(gè)面上。而且，如上所述，第一檢查臺1 所接受的第一檢查排出(排 出不良檢查)，與第二檢查臺14b所接受的第二檢查排出(排出量檢查)相比，能夠在狹窄 的區(qū)域內(nèi)實(shí)施，即該情況下，第一檢查片Sl以及第二檢查片S2的更換頻率不同，第二檢查 片S2的更換頻率被設(shè)定成比第一檢查片Sl的更換頻率高。因此，通過對第一檢查片Sl以及第二檢查片S2的收卷定時(shí)以及更換定時(shí)進(jìn)行單獨(dú)管理，能夠節(jié)省兩檢查片S1、S2不至于浪費(fèi)。另一方面，圖像識別單元15由對第一檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的第一圖像識 別單元1 和對第二檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的第二圖像識別單元1 構(gòu)成。此外，由 于第一圖像識別單元15a以及第二圖像識別單元1 與上述的圖像識別單元15為同一構(gòu) 造，所以這里省略說明。第一圖像識別單元15a，與第一檢查臺1 對應(yīng)地，以跨過X軸工 作臺2的方式配置在檢查區(qū)域23的端部。同樣，第二圖像識別單元15b，與第二檢查臺14b 對應(yīng)地，以跨過X軸臺面2的方式配置在第一圖像識別單元15a的副腔81側(cè)。S卩，第一圖 像識別單元15a以及第二圖像識別單元15b，在X軸工作臺2的端部，以該順序從描繪區(qū)域 21側(cè)起配置。如圖6所示，在由本實(shí)施方式的液滴排出裝置1進(jìn)行的一系列的動(dòng)作中，獨(dú)立實(shí)施 排出不良檢查以及排出量檢查。具體地，設(shè)置有工件W的設(shè)置臺32位于工件供給/去除區(qū) 域M，第二檢查臺14b位于滑架單元4的正下方，第一檢查臺1 位于設(shè)置臺32以及第二 檢查臺14b之間。該狀態(tài)下，使各構(gòu)成裝置32、Ha、14b在X軸方向(檢查區(qū)域23側(cè))上 移動(dòng)，首先，對第二檢查片S2實(shí)施第二檢查排出。第二檢查臺14b，在第二檢查排出后向檢 查區(qū)域23移動(dòng)，第一檢查臺14a向描繪區(qū)域21移動(dòng)并接受第一檢查排出。沖洗單元13通 過滑架單元4的正下方，并在設(shè)置臺32的端部到達(dá)滑架單元4的正下方后，開始向工件W 的描繪。在第二檢查排出后的第二檢查臺14b到達(dá)第二圖像識別單元15b的正下方后，使 第二檢查臺14b的移動(dòng)停止。接下來，驅(qū)動(dòng)第二圖像識別單元1 從而對第二檢查排出的 附著墨點(diǎn)進(jìn)行圖像識別，檢查排出量。與其并行地，在第一檢查排出后的第一檢查臺Ha到 達(dá)第一圖像識別單元1 的正下方后，使第一檢查臺1 的移動(dòng)停止，驅(qū)動(dòng)第一圖像識別單 元1 并對第一檢查排出的附著墨點(diǎn)進(jìn)行圖像識別，檢查排出不良。另一方面，在描繪區(qū)域 21中，使工件W以及滑架單元4相對地進(jìn)行主掃描以及副掃描，對工件W基于預(yù)定的排出圖 案進(jìn)行描繪。在向工件W的描繪結(jié)束后，使設(shè)置臺32向工件供給/去除區(qū)域M移動(dòng)，并實(shí) 施工件W的供給/去除以及工件W的校準(zhǔn)。另外，與此并行地，實(shí)施向滑架單元4的沖洗單 元13的沖洗。而且，使排出檢查結(jié)束后的第一檢查臺Ha再次向描繪區(qū)域21附近移動(dòng)并 成為待機(jī)狀態(tài)。該情況下，副腔81在第一檢查片Sl (第二檢查片S2)的更換時(shí)，打開開閉門84并 對移動(dòng)來的第二檢查臺14b或第一檢查臺14a以及第二檢查臺14b進(jìn)行收置，關(guān)閉開閉門 84后，對內(nèi)部氣氛進(jìn)行大氣置換。而且，操作者在副腔81內(nèi)對第一檢查片Sl (第二檢查片 S2)進(jìn)行更換后，將副腔81的內(nèi)部氣氛置換成與主腔82的內(nèi)部氣氛相同的氮?dú)饣蚋稍锟?氣。然后，打開開閉門84，將第一檢查臺14a以及第二檢查臺14b向主腔82移動(dòng)供檢查排 出ο由此，由于能夠在副腔81內(nèi)，對第一檢查臺14a以及第二檢查臺14b的各第一、第 二檢查片S1、S2進(jìn)行更換，所以，在進(jìn)行第一、第二檢查片S1、S2的更換時(shí)，無需停止液滴排 出裝置1。另外，因人的操作發(fā)生的大氣的攪亂、塵埃等也不會(huì)影響主腔82內(nèi)的描繪區(qū)域 21的處理。<第二實(shí)施方式雙臺設(shè)置臺>
下面，參照圖7至圖10，對本發(fā)明的第二實(shí)施方式的液滴排出裝置1進(jìn)行說明。此 外，為了避免重復(fù)記載，以與第一實(shí)施方式不同的部分為主進(jìn)行說明。如圖7所示，液滴排 出裝置1具有一對設(shè)置臺32 ；在X軸方向延伸，主要經(jīng)由一對設(shè)置臺32使工件W在X軸 方向上交替移動(dòng)的X軸工作臺2 ；以跨過X軸工作臺面2的方式架設(shè)，且在Y軸方向上延伸 的Y軸工作臺3 ；和自由移動(dòng)地吊設(shè)在Y軸工作臺面3上，分別搭載多個(gè)(12個(gè))功能液滴 排出頭8的13個(gè)滑架單元4。此外，在本實(shí)施方式中，技術(shù)方案中所說的移動(dòng)機(jī)構(gòu)由X軸工 作臺2構(gòu)成。另外，液滴排出裝置1具有配置在維護(hù)區(qū)域22的吸引單元11以及刮拭單元12 ； 搭載在X軸工作臺2上的沖洗單元13、重量測定臺16以及一對檢查臺14 ；配置在各檢查區(qū) 域23a、2!3b上的一對圖像識別單元15 ；以面對后述的工件供給/去除區(qū)域M的方式設(shè)置 的一對工件供給/去除機(jī)械手17 (工件供給/去除機(jī)構(gòu))以及一對校準(zhǔn)單元18 ；對這些構(gòu) 成裝置進(jìn)行統(tǒng)一控制的控制裝置；和收置這些構(gòu)成裝置的腔7。此外，Y軸工作臺3、各滑架 單元4、功能液滴排出頭8、吸引單元11、刮拭單元12、沖洗單元13、檢查臺14和圖像識別單 元15為與第一實(shí)施方式相同的構(gòu)造，所以省略其說明。在X軸工作臺2以及Y軸工作臺3的交叉區(qū)域中，設(shè)定有對工件W進(jìn)行描繪動(dòng)作 的描繪區(qū)域21，在從描繪區(qū)域21向Y軸方向的外側(cè)一側(cè)離開的位置上設(shè)定有進(jìn)行功能液滴 排出頭8的維護(hù)的維護(hù)區(qū)域22。另外，在從描繪區(qū)域21向X軸方向離開的兩側(cè)，設(shè)定有進(jìn) 行工件W的供給/去除的兩個(gè)工件供給/去除區(qū)域M。而且，在從各工件供給/去除區(qū)域 24向X軸方向離開的兩側(cè)，設(shè)定有進(jìn)行功能液滴排出頭8的排出檢查的兩個(gè)檢查區(qū)域23。而且，兩個(gè)工件供給/去除區(qū)域M由一側(cè)(圖7中上側(cè))的第一工件供給/去除 區(qū)域Ma以及另一側(cè)(圖7中下側(cè))的第二工件供給/去除區(qū)域24b構(gòu)成。另外，兩個(gè)檢 查區(qū)域23由一側(cè)(圖7中上側(cè))的第一檢查區(qū)域23a以及另一側(cè)(圖7中下側(cè))的第二 檢查區(qū)域2 構(gòu)成。一對設(shè)置臺32由第一設(shè)置臺32a以及第二設(shè)置臺32b構(gòu)成，分別搭載在X軸工作 臺2上。各設(shè)置臺32a(32b)具有對工件W進(jìn)行吸附設(shè)置的吸附臺91和將吸附臺91在θ 方向上自由旋轉(zhuǎn)地支承的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)92。同樣，一對檢查臺14由第一檢查臺14a以及第二檢 查臺14b構(gòu)成。另外，一對圖像識別單元15由第一圖像識別單元15a以及第二圖像識別單 元1 構(gòu)成。而且，一對工件供給/去除機(jī)械手17由第一工件供給/去除機(jī)械手17a以及 第二工件供給/去除機(jī)械手17b構(gòu)成，一對校準(zhǔn)單元18由第一校準(zhǔn)單元18a以及第二校準(zhǔn) 單元18b構(gòu)成。X軸工作臺2具有一對X軸導(dǎo)軌31 ；使第一設(shè)置臺3 沿X軸導(dǎo)軌31移動(dòng)的第 一設(shè)置臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)33a ；使第二設(shè)置臺32b沿X軸導(dǎo)軌31移動(dòng)的第二設(shè)置臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)33b ； 使沖洗單元13以及重量測定臺16 —體并沿X軸導(dǎo)軌31移動(dòng)的共有工作臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)36 ； 使第一檢查臺Ha沿X軸導(dǎo)軌31移動(dòng)的第一檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35a;和使第二檢查臺14b沿 X軸導(dǎo)軌31移動(dòng)的第二檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35b。X軸工作臺2使第一設(shè)置臺3 在描繪區(qū)域21以及第一工件供給/去除區(qū)域M 間自由移動(dòng)，且使第二設(shè)置臺32b在描繪區(qū)域21以及第二工件供給/去除區(qū)域24b間自由 移動(dòng)。另外，X軸工作臺2使第一檢查臺1 在描繪區(qū)域21以及第一檢查區(qū)域23a間自由 移動(dòng)，且使第二檢查臺14b在描繪區(qū)域21以及第二檢查區(qū)域23b間自由移動(dòng)。
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第一、第二兩設(shè)置臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)33a、33b、共有工作臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)36和第一、第二兩檢 查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35a、35b由與這些機(jī)構(gòu)對應(yīng)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)(線性電機(jī))的滑塊構(gòu)成，第一、第二 兩設(shè)置臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)33a、33b、共有工作臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)36和第一、第二兩檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)35a、 3 構(gòu)成為能夠在X軸導(dǎo)軌31上單獨(dú)移動(dòng)。另外，一對X軸導(dǎo)軌31以及線性電機(jī)的定子 (省略圖示)遍及第一檢查區(qū)域23a、第一工件供給/去除區(qū)域Ma、描繪區(qū)域21、第二工件 供給/去除區(qū)域Mb以及第二檢查區(qū)域23b的范圍延伸。即，X軸工作臺2能夠使第一、第 二兩設(shè)置臺32a、32a、沖洗單元13、重量測定臺16以及第一、第二兩檢查臺14a、14b在共用 的移動(dòng)軸上單獨(dú)移動(dòng)。沖洗單元13配置在第一設(shè)置臺32a以及第二設(shè)置臺3 之間，構(gòu)成為能夠通過X 軸工作臺2在第一工件供給/去除區(qū)域Ma以及第二工件供給/去除區(qū)域Mb間移動(dòng)。重 量測定臺16配置在第一設(shè)置臺32a以及第二設(shè)置臺32b間，構(gòu)成為能夠通過X軸工作臺2 在第一工件供給/去除區(qū)域Ma以及第二工件供給/去除區(qū)域24b間移動(dòng)。各檢查臺14a、 14b相對于各設(shè)置臺3h、32b配置在X軸方向外側(cè)，接受來自功能液滴排出頭8的檢查排 出。重量測定臺16具有多個(gè)電子天秤和承接電子天秤的多塊承接皿(一起省略圖示)，對 功能液滴排出頭8所排出的功能液的重量進(jìn)行測定。電子天秤，在功能液滴排出頭8排出 功能液的前后對承接皿的重量進(jìn)行測定，從排出前后的承接皿的重量的差量能夠測定排出 的功能液的重量。而且，基于算出的功能液的平均排出量，功能液滴排出頭8的驅(qū)動(dòng)電壓被 校正。此外，沖洗單元13和重量測定臺16還可以被一體地單元化。此外，在上述的腔7中，被分隔成覆蓋描繪區(qū)域21以及第一、第二工件供給/去除 區(qū)域Ma、Mb的主腔82和分別覆蓋第一、第二檢查區(qū)域23a、23b的一對副腔81，可以在各 副腔81內(nèi)，進(jìn)行沖洗單元13以及重量測定臺16的維護(hù)(墨吸收件或承接皿的更換等)。 這樣，不會(huì)影響描繪，能夠?qū)嵤_洗單元13以及重量測定臺16的維護(hù)。各工件供給/去除機(jī)械手17a、17b從X軸工作臺2的外側(cè)面對各工件供給/去除 區(qū)域?qū)對13，對于移動(dòng)到各工件供給/去除區(qū)域?qū)?』仙的各設(shè)置臺32a、32b，將描繪后 的工件W從設(shè)置臺32去除，且將新工件W供給到各設(shè)置臺32a、32b。此外，該情況下的工件 供給/去除動(dòng)作包含工件W的更換(輸入、輸出)和設(shè)置的工件W的校準(zhǔn)。而且，該工件供 給/去除動(dòng)作在向另一方的設(shè)置臺3h、32b進(jìn)行描繪動(dòng)作期間實(shí)施。下面，參照示意地表示第一設(shè)置臺32a、第二設(shè)置臺32b、第一檢查臺14a、第二檢 查臺14b、沖洗單元13以及重量測定臺16的位置關(guān)系的圖8，對液滴排出裝置1中的一系 列的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，使工件W設(shè)置在校準(zhǔn)狀態(tài)的第一設(shè)置臺3 位于第一工件供給/ 去除區(qū)域?qū)?，第一檢查臺Ha位于第一檢查區(qū)域23a(該圖(a))。使第一設(shè)置臺32a以及 第一檢查臺Ha從該狀態(tài)向描繪區(qū)域21移動(dòng)，首先在第一設(shè)置臺3 的先行端部到達(dá)滑架 單元4的正下方(描繪區(qū)域21)后，開始對工件W進(jìn)行第一軌跡(path)(去往移動(dòng))的描 繪動(dòng)作(該圖(b))。然后，在第一檢查臺1 到達(dá)滑架單元4的正下方后，實(shí)施第一檢查排 出(該圖(c))。第一檢查臺14a，在結(jié)束檢查排出后，與第一設(shè)置臺32a的返回移動(dòng)同步地向第一 圖像識別單元15a的正下方移動(dòng)，并供通過第一圖像識別單元1 進(jìn)行排出檢查所用(該 圖(d))。另一方面，在描繪區(qū)域21中，邊使工件W在主掃描方向(X軸方向)上往復(fù)運(yùn)動(dòng)多 次，邊從功能液滴排出頭8向工件W基于預(yù)定的排出圖案進(jìn)行描繪動(dòng)作(該圖(d))。S卩，在
18描繪動(dòng)作中的第一軌跡的去往移動(dòng)(也可以為返回移動(dòng))時(shí)實(shí)施第一檢查排出，在成為第 二軌跡的返回移動(dòng)時(shí)，第一檢查臺14向第一檢查區(qū)域23移動(dòng)，開始排出檢查。在開始排出 檢查的時(shí)刻，描繪動(dòng)作繼續(xù)進(jìn)行，直到該描繪動(dòng)作結(jié)束(實(shí)質(zhì)上，直到第一設(shè)置臺32a回到 第一工件供給/去除區(qū)域Ma)，排出檢查才結(jié)束。另一方面，其間，在第二工件供給/去除 區(qū)域Mb中，通過第二工件供給/去除機(jī)械手17b以及第二校準(zhǔn)單元18b，相對于第二設(shè)置 臺32b進(jìn)行工件W的供給/去除(更換)和新工件W的校準(zhǔn)。第一設(shè)置臺3 在最終去往移動(dòng)動(dòng)作結(jié)束后，向第一工件供給/去除區(qū)域2 移 動(dòng)。與該第一設(shè)置臺32a向第一工件供給/去除區(qū)域Ma的移動(dòng)同步地，重量測定臺16、 沖洗單元13、第二設(shè)置臺32b以及第二檢查臺14b追隨第一設(shè)置臺32a向第一工件供給/ 去除區(qū)域2 移動(dòng)(該圖(e))。此外，重量測定臺16根據(jù)需要向滑架單元4的正下方移 動(dòng)，從功能液滴排出頭8接受重量測定排出，同樣，沖洗單元13也根據(jù)需要接受沖洗(該圖 (e))。在第一設(shè)置臺32a、沖洗單元13以及重量測定臺16移動(dòng)到第一工件供給/去除區(qū) 域2 后，這次，使第二設(shè)置臺32b以及第二檢查臺14b向描繪區(qū)域21移動(dòng)。首先，對第二 設(shè)置臺32b的工件W實(shí)施第一軌跡(去往移動(dòng))的描繪動(dòng)作(該圖(f))，然后，對第二檢查 臺14b實(shí)施檢查排出(該圖(g))。第二檢查臺14b在結(jié)束檢查排出后與第二設(shè)置臺32b的返回移動(dòng)同步地向第二圖 像識別單元1 的正下方移動(dòng)，供排出檢查(該圖(h))。另一方面，在描繪區(qū)域21中，邊使 工件W在主掃描方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng)多次，邊從功能液滴排出頭8向工件W以預(yù)定的排出圖案 進(jìn)行描繪動(dòng)作(該圖(h))。即，在描繪動(dòng)作中的第一軌跡的去往移動(dòng)時(shí)實(shí)施第一檢查排出， 在成為第二軌跡的返回移動(dòng)時(shí)，第一檢查臺14向第一檢查區(qū)域23移動(dòng)，開始排出檢查。在 排出檢查開始的時(shí)刻，描繪動(dòng)作繼續(xù)進(jìn)行，排出檢查直到該描繪動(dòng)作結(jié)束才會(huì)結(jié)束。另一方 面，其間，在第一工件供給/去除區(qū)域Ma中，通過第一工件供給/去除機(jī)械手17a以及第 二校準(zhǔn)單元18b對第一設(shè)置臺3 進(jìn)行工件W的供給/去除(更換)和新工件W的校準(zhǔn)。通過重復(fù)以上的工序，交替實(shí)施與向工件W進(jìn)行的描繪動(dòng)作并行的檢查排出以及 排出檢查。此外，由于在向工件W的描繪動(dòng)作中進(jìn)行排出檢查，所以，在排出檢查的結(jié)果為 NG的情況下，中止工件W的描繪動(dòng)作，實(shí)施滑架單元4 (功能液滴排出頭8)的功能恢復(fù)和工 件W的更換(工件供給/去除)。另外，在本實(shí)施方式中，使得在每次對工件W進(jìn)行描繪動(dòng)作時(shí)進(jìn)行檢查排出以及 排出檢查，但也可以在對每數(shù)張工件進(jìn)行描繪動(dòng)作時(shí)進(jìn)行排出檢查以及排出檢查。即，例 如，在對每兩張工件進(jìn)行描繪動(dòng)作時(shí)實(shí)施排出檢查的情況下，在通過第一圖像識別單元15a 實(shí)施排出檢查期間，使向設(shè)置在第一設(shè)置臺32a以及第二設(shè)置臺32b上的工件W的描繪動(dòng) 作結(jié)束。該情況下，能夠進(jìn)一步確保檢查時(shí)間，能夠?qū)嵤└艿呐懦鰴z查(省略圖示)。通過以上的構(gòu)成，對于一對設(shè)置臺32，交替實(shí)施描繪動(dòng)作，且使用一對檢查臺14， 交替實(shí)施與描繪動(dòng)作并行的檢查排出以及排出檢查，由此，能夠交替地連續(xù)實(shí)施向工件W 的描繪動(dòng)作和功能液滴排出頭8的排出檢查。另外，在實(shí)施向一側(cè)的設(shè)置臺32b(32a)中的 工件W的描繪期間，能夠?qū)嵤┗谝粋?cè)的圖像識別單元15a(15b)的排出檢查，因此，能夠縮 短對于向工件W的描繪動(dòng)作的生產(chǎn)節(jié)拍，且能夠使排出檢查的時(shí)間變得充分。<第一變型例雙臺設(shè)置臺>
下面，參照圖9，對本發(fā)明的第一變型例的液滴排出裝置1進(jìn)行說明。此外，為了避 免重復(fù)的記載，以不同的部分為主進(jìn)行說明。在該液滴排出裝置1中，沖洗單元13以及重 量測定臺16配置在第一檢查臺1 或第二檢查臺14b的移動(dòng)方向外側(cè)，第一檢查臺移動(dòng)機(jī) 構(gòu)3 或第二檢查臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)軸工作臺2)，將第一檢查臺1 或第二檢查臺14b和 沖洗單元13以及重量測定臺16作為一體，并使其在描繪區(qū)域21以及第一檢查區(qū)域23a或 第二檢查區(qū)域23b間移動(dòng)。此外，該情況下的描繪動(dòng)作、檢查排出以及排出檢查由于與上述 的第二實(shí)施方式相同，這里省略其說明。由此，由于沖洗單元13以及重量測定臺16被配置在第一(第二)檢查臺14a(14b) 的外側(cè)，所以，能夠在第一(第二)檢查區(qū)域23a (23b)，與描繪動(dòng)作無關(guān)地進(jìn)行檢查片S的 更換(維護(hù))以及對積存在沖洗單元13中的功能液進(jìn)行廢液處理(維護(hù))。<第二變型例雙臺設(shè)置臺>下面，參照圖10，對本發(fā)明的第二變型例的液滴排出裝置1進(jìn)行說明。在該液滴排 出裝置1中，重量測定臺16配置在第一檢查臺1 或第二檢查臺14b的移動(dòng)方向外側(cè)，且 一對沖洗單元13搭載(或連結(jié))在各設(shè)置臺32a(32b)的移動(dòng)方向內(nèi)側(cè)。該情況下，第一 設(shè)置臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)33a，使第一設(shè)置臺32a以及第一沖洗單元13a作為一體，另外，第二設(shè)置 臺移動(dòng)機(jī)構(gòu)33b，使第二設(shè)置臺32b以及第二沖洗單元1 成為一體，并能夠使其移動(dòng)。此 外，該情況下的描繪動(dòng)作、檢查排出以及排出檢查也與上述第二實(shí)施方式相同，所以這里省 略其說明。由此，重量測定臺16由于位于工件W的移動(dòng)方向最外端，所以，無需停止描繪動(dòng) 作，就能夠進(jìn)行重量測定臺16的維護(hù)。另外，即使發(fā)生暫時(shí)使描繪動(dòng)作停止的情況，也能夠 實(shí)施沖洗，能夠維持功能液滴排出頭8的排出性能。而且，由于各沖洗單元13a、13b以及各 設(shè)置臺3h、32b構(gòu)成為一體并能夠移動(dòng)，因此，能夠使各沖洗單元13a、13b以及各設(shè)置臺 32a、32b的移動(dòng)系統(tǒng)單純化。
權(quán)利要求
1.一種液滴排出裝置，其在描繪區(qū)域，邊使工件移動(dòng)邊驅(qū)動(dòng)功能液滴排出頭而對所述 工件實(shí)施描繪，在從所述描繪區(qū)域向所述工件的移動(dòng)方向分離的檢查區(qū)域，實(shí)施所述功能液滴排出頭 的排出檢查，該液滴排出裝置的特征在于，具有 設(shè)置所述工件的設(shè)置臺；相對于所述設(shè)置臺配置在所述檢查區(qū)域側(cè)并接受來自所述功能液滴排出頭的舍棄排 出的沖洗單元；相對于所述沖洗單元配置在所述檢查區(qū)域側(cè)并搭載有接受來自所述功能液滴排出頭 的檢查排出的檢查片的檢查臺；配置在所述檢查區(qū)域并對向所述檢查片的檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的圖像識別機(jī) 構(gòu)；和使所述設(shè)置臺、所述沖洗單元以及所述檢查臺在共用的移動(dòng)軸上移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該 共用的移動(dòng)軸在所述描繪區(qū)域以及所述檢查區(qū)域間延伸，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使所述檢查臺相對于所述設(shè)置臺以及所述沖洗單元單獨(dú)移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的液滴排出裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使所述 沖洗單元相對于所述設(shè)置臺以及所述檢查臺單獨(dú)移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的液滴排出裝置，其特征在于，從所述描繪區(qū)域觀察，在所述檢查 區(qū)域的前方，設(shè)有用于對所述檢查臺進(jìn)行維護(hù)的副維護(hù)區(qū)域，所述移動(dòng)軸穿過所述檢查區(qū)域延伸到所述副維護(hù)區(qū)域， 該液滴排出裝置還具有 覆蓋所述描繪區(qū)域以及所述檢查區(qū)域的主腔；和 覆蓋所述副維護(hù)區(qū)域的副腔。
4.如權(quán)利要求1所述的液滴排出裝置，其特征在于，所述功能液滴排出頭的檢查包括 對所述功能液滴排出頭中的各排出噴嘴的排出不良進(jìn)行檢查的排出不良檢查和對來自所 述各排出噴嘴的功能液的排出量進(jìn)行檢查的排出量檢查，該液滴排出裝置還具有對所述功能液滴排出頭、所述圖像識別機(jī)構(gòu)以及所述移動(dòng)機(jī)構(gòu) 進(jìn)行控制的控制機(jī)構(gòu)，所述控制機(jī)構(gòu)對所述檢查片實(shí)施用于所述排出不良檢查的第一檢查排出以及用于所 述排出量檢查的第二檢查排出，并且，實(shí)施針對第一檢查排出的排出結(jié)果的圖像識別以及針對第二檢查排出的排出結(jié)果的 圖像識別。
5.如權(quán)利要求1所述的液滴排出裝置，其特征在于，所述功能液滴排出頭的檢查包括 對所述功能液滴排出頭中的各排出噴嘴的排出不良進(jìn)行檢查的排出不良檢查和對來自所 述各排出噴嘴的功能液的排出量進(jìn)行檢查的排出量檢查，所述檢查臺具有第一檢查臺和第二檢查臺，所述第一檢查臺搭載有接受用于所述排出 不良檢查的第一檢查排出的第一檢查片，所述第二檢查臺搭載有接受用于所述排出量檢查 的第二檢查排出的第二檢查片，所述圖像識別機(jī)構(gòu)具有對向所述第一檢查臺的第一檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的第一圖像識別單元；和對向所述第二檢查臺的第二檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的第二圖像識 別單元。
6.如權(quán)利要求5所述的液滴排出裝置，其特征在于，相對于所述第一檢查片的更換頻 率，所述第二檢查片的更換頻率被設(shè)定得較高，在所述移動(dòng)軸上，從所述設(shè)置臺側(cè)起以所述第一檢查臺以及所述第二檢查臺的順序配置，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使所述第一檢查臺以及所述第二檢查臺分別移動(dòng)。
7.一種液滴排出裝置的控制方法，該液滴排出裝置具有邊使工件移動(dòng)邊驅(qū)動(dòng)功能液 滴排出頭而對所述工件進(jìn)行描繪的描繪區(qū)域；和設(shè)定在從所述描繪區(qū)域向所述工件的移動(dòng) 方向分離的位置，并進(jìn)行所述功能液滴排出頭的排出檢查的檢查區(qū)域，在共用的移動(dòng)軸上搭載有設(shè)置所述工件的設(shè)置臺以及接受從所述功能液滴排出頭的 檢查排出的檢查臺，并且在所述檢查區(qū)域配置有對向所述檢查臺的檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像 識別的圖像識別機(jī)構(gòu)，該共用的移動(dòng)軸在所述描繪區(qū)域以及所述檢查區(qū)域間延伸，該控制 方法的特征在于在即將對所述工件進(jìn)行描繪之前，在所述描繪區(qū)域?qū)λ鰴z查臺實(shí)施所述檢查排出， 然后，在所述描繪區(qū)域?qū)λ龉ぜM(jìn)行描繪的期間，使所述檢查臺移動(dòng)至所述檢查區(qū) 域，實(shí)施由所述圖像識別機(jī)構(gòu)進(jìn)行的所述檢查排出結(jié)果的圖像識別。
8.一種液滴排出裝置，其在描繪區(qū)域，邊使工件移動(dòng)邊驅(qū)動(dòng)功能液滴排出頭而對所述 工件實(shí)施描繪工作，在從所述描繪區(qū)域向所述工件的移動(dòng)方向兩外側(cè)分離的兩個(gè)工件供給/去除區(qū)域中， 交替地實(shí)施所述工件的供給/去除，在向所述各工件供給/去除區(qū)域的所述移動(dòng)方向外側(cè)分離的兩個(gè)檢查區(qū)域，交替地實(shí) 施基于圖像識別的所述功能液滴排出頭的排出檢查，該液滴排出裝置特征在于具有 設(shè)置所述工件的一對設(shè)置臺；配設(shè)在所述各設(shè)置臺的外側(cè)并接受來自所述功能液滴排出頭的檢查排出的一對檢查臺；配設(shè)在所述各檢查區(qū)域并對所述檢查臺的檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的一對圖像識 別機(jī)構(gòu)；和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使一方的所述設(shè)置臺在所述描繪區(qū)域以及一方的所述工件供給/去除區(qū)域 間自由移動(dòng)，并且使另一方的所述設(shè)置臺在所述描繪區(qū)域以及另一方的所述工件供給/去 除區(qū)域間自由移動(dòng)；使一方的所述檢查臺在所述描繪區(qū)域以及一方的所述檢查區(qū)域間移 動(dòng)，并且使另一方的所述檢查臺在所述描繪區(qū)域以及另一方的所述檢查區(qū)域間移動(dòng)。
9.如權(quán)利要求8所述的液滴排出裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述一對設(shè)置臺 以及所述一對檢查臺在共用的移動(dòng)軸上移動(dòng)。
10.如權(quán)利要求8所述的液滴排出裝置，其特征在于，該液滴排出裝置還具有對所述功能液滴排出頭、所述一對圖像識別機(jī)構(gòu)以及所述一對 移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制的控制機(jī)構(gòu)，所述控制機(jī)構(gòu)，使所述一對設(shè)置臺在所述描繪區(qū)域和所述各工件供給/去除區(qū)域之間 交替地移動(dòng)，并交替地實(shí)施所述描繪工作，并且，使所述一對檢查臺在所述描繪區(qū)域和所述各檢查區(qū)域之間交替地移動(dòng)，并交替地實(shí)施與所述描繪工作并行的所述檢查排出以及所述 排出檢查。
11.如權(quán)利要求10所述的液滴排出裝置，其特征在于，所述控制機(jī)構(gòu)，在所述描繪區(qū)域，使所述各設(shè)置臺在所述移動(dòng)方向上多次往復(fù)移動(dòng)并 實(shí)施所述描繪工作，與所述往復(fù)移動(dòng)的最初的往動(dòng)動(dòng)作同步，使所述檢查臺從所述檢查區(qū)域移動(dòng)至所述描 繪區(qū)域并實(shí)施所述檢查排出。
12.如權(quán)利要求11所述的液滴排出裝置，其特征在于，所述控制機(jī)構(gòu)，在實(shí)施了所述檢查排出后，使所述檢查臺從所述描繪區(qū)域移動(dòng)至所述 檢查區(qū)域并實(shí)施所述排出檢查。
13.如權(quán)利要求12所述的液滴排出裝置，其特征在于，所述控制機(jī)構(gòu)使所述排出檢查在伴隨著所述檢查排出的所述描繪工作結(jié)束前結(jié)束。
14.如權(quán)利要求12所述的液滴排出裝置，其特征在于，所述控制機(jī)構(gòu)使所述排出檢查在伴隨著所述檢查排出的所述描繪工作的下一次的所 述描繪工作結(jié)束前結(jié)束。
15.如權(quán)利要求10所述的液滴排出裝置，其特征在于，該液滴排出裝置還具有配置在所述各工件供給/去除區(qū)域并進(jìn)行所述工件的供給/去 除的一對工件供給/去除機(jī)構(gòu)，所述控制機(jī)構(gòu)對所述一對工件供給/去除機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，對于移動(dòng)來到所述各工件供 給/去除區(qū)域的所述各設(shè)置臺，實(shí)施所述工件的供給/去除。
16.如權(quán)利要求8所述的液滴排出裝置，其特征在于，該液滴排出裝置還具有配置在所述一對設(shè)置臺間并接受來自所述功能液滴排出頭的 舍棄排出的單一的沖洗單元，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使所述沖洗單元在所述兩個(gè)工件供給/去除區(qū)域間移動(dòng)。
17.如權(quán)利要求8所述的液滴排出裝置，其特征在于，該液滴排出裝置還具有配置在一方的所述檢查臺的所述移動(dòng)方向外側(cè)并接受來自所 述功能液滴排出頭的舍棄排出的單一的沖洗單元，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使所述沖洗單元在一方的所述檢查區(qū)域和所述描繪區(qū)域間 移動(dòng)。
18.如權(quán)利要求8所述的液滴排出裝置，其特征在于，該液滴排出裝置還具有添加設(shè)置在所述各設(shè)置臺的所述移動(dòng)方向內(nèi)側(cè)并接受來自所 述功能液滴排出頭的舍棄排出的一對沖洗單元，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使所述各沖洗單元與所述各設(shè)置臺一體地移動(dòng)。
19.如權(quán)利要求8所述的液滴排出裝置，其特征在于，該液滴排出裝置還具有配設(shè)在所述一對設(shè)置臺間并對從所述功能液滴排出頭排出的 功能液的重量進(jìn)行測定的單一的重量測定臺，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使所述重量測定臺在所述兩個(gè)工件供給/去除區(qū)域間移動(dòng)。
20.如權(quán)利要求8所述的液滴排出裝置，其特征在于，該液滴排出裝置還具有配設(shè)在一方的所述檢查臺的所述移動(dòng)方向外側(cè)并對從所述功 能液滴排出頭排出的功能液的重量進(jìn)行測定的單一的重量測定臺，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，能夠使所述重量測定臺在一方的所述檢查區(qū)域和所述描繪區(qū)域 間移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液滴排出裝置等，第一，能夠不影響工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍也不受時(shí)間限制地實(shí)施功能液滴排出頭的排出檢查，第二，能夠縮短工件處理的生產(chǎn)節(jié)拍且使功能液滴排出頭的排出檢查時(shí)間充分。其具有設(shè)置工件的設(shè)置臺；接受舍棄排出的沖洗單元；接受檢查排出的檢查臺；配置在對功能液滴排出頭進(jìn)行檢查的檢查區(qū)域，且對檢查排出結(jié)果進(jìn)行圖像識別的圖像識別單元；使設(shè)置臺、沖洗單元以及檢查臺在描繪的描繪區(qū)域以及檢查區(qū)域間移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成能夠相對于設(shè)置臺以及沖洗單元使檢查臺單獨(dú)移動(dòng)。
文檔編號B41J2/135GK102069639SQ2010105239
公開日2011年5月25日 申請日期2010年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月26日
發(fā)明者伊藤芳博 申請人:精工愛普生株式會(huì)社