專利名稱:膠印印刷方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種借助印刷而在基板上形成電極圖案時(shí)為了對(duì)印刷對(duì)象以高印刷精度進(jìn)行精細(xì)的印刷而使用的膠印印刷方法以及裝置。本申請(qǐng)基于2009年9月9日在日本提出的特愿2009-208717號(hào)而主張優(yōu)先權(quán),并在此引用其內(nèi)容。
背景技術(shù):
作為印刷技術(shù)的一種而具有膠印印刷,其中,使用凹版的膠印印刷作為下述方法而被廣泛認(rèn)知從上過(guò)墨的凹版將墨暫時(shí)轉(zhuǎn)印到(接收)轉(zhuǎn)動(dòng)的橡皮輥,然后進(jìn)行從橡皮輥向印刷對(duì)象的墨的再轉(zhuǎn)印(印刷),從而能夠?qū)⑸鲜霭及娴挠∷D案再現(xiàn)性良好地印刷到印刷對(duì)象的表面。此外,近年來(lái),作為將液晶顯示器等的電極圖案(導(dǎo)電圖案)形成于所需要的基板上的方法,提出有下述方法取代基于金屬蒸鍍膜的蝕刻等的微細(xì)加工而使用將導(dǎo)電膏用作印刷油墨的印刷技術(shù),例如凹版膠印印刷技術(shù)而在基板上印刷而形成電極圖案(例如參照專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2)。在基板上形成上述液晶顯示器等的電極圖案時(shí),作為電極的寬度,要求例如微細(xì)到ΙΟμπι左右。進(jìn)而,當(dāng)在基板上重疊形成多個(gè)電極圖案時(shí),代替版而進(jìn)行電極圖案的重疊印刷,如果印刷位置發(fā)生錯(cuò)位則電極圖案就會(huì)走樣。因此,雖然精度根據(jù)印刷對(duì)象而多少有些差異,但在電極寬度為IOym左右的微細(xì)的電極圖案中,需要將重疊錯(cuò)位抑制為數(shù)μπι。 因此,在向基板上的電極圖案的印刷時(shí),要求比在紙等上印刷文字或圖像的通常的凹版膠印印刷還要高的印刷精度。以往,作為為了提高凹版膠印印刷的印刷精度而提出來(lái)的方法之一,有例如下述的方法。使用該方法的膠印印刷機(jī)具備在上表面保持作為凹版及印刷對(duì)象的工件的移動(dòng)載置臺(tái);配置于移動(dòng)載置臺(tái)的上方的轉(zhuǎn)印用的橡皮輥(轉(zhuǎn)動(dòng)橡皮布);獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)移動(dòng)載置臺(tái)及橡皮輥的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);以及分別獨(dú)立地控制移動(dòng)載置臺(tái)用及橡皮輥用的各驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的數(shù)值控制控制器。而且,使保持凹版及工件的移動(dòng)載置臺(tái)的移動(dòng)、及橡皮輥的轉(zhuǎn)動(dòng)分別獨(dú)立地動(dòng)作,且由操作者以手輸入方式微調(diào)橡皮輥的周速,從而能夠提高從凹版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印 (接收)、以及從橡皮輥向工件的再轉(zhuǎn)印(印刷)的精度(例如參照專利文獻(xiàn)3)。此外,作為為了提高膠印印刷的印刷精度的其他的方法,還有例如下述的方法。使用該方法的膠印印刷機(jī)具有具有圓筒狀抵接部(支承輥)的滾筒(橡皮輥)、以及具有平面狀抵接部的本體,所述平面狀抵接部支承平板狀的板狀體并且與圓筒狀抵接部抵接。而且, 一邊使圓筒狀抵接部與平面狀抵接部抵接,一邊使?jié)L筒與板狀體相對(duì)地并進(jìn)移動(dòng),同時(shí)使墨在滾筒與作為板狀體的版(主板)及成為印刷對(duì)象的基板(工件板)之間轉(zhuǎn)移。提出有在該印刷機(jī)中,設(shè)置用來(lái)調(diào)節(jié)圓筒狀抵接部與平面狀抵接部之間的接觸力的接觸力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的方案。在具有上述構(gòu)成的印刷機(jī)中,借助接觸力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)來(lái)調(diào)節(jié)圓筒狀抵接部與平面狀抵接部的接觸力而使接觸力變化。如此一來(lái),圓筒狀抵接部的接觸部分以仿形于平面狀抵接部的平面形狀的方式變形的程度發(fā)生變化,從而該圓筒狀抵接部的接觸部分的曲率半徑發(fā)生變化,外觀上的直徑發(fā)生增減。因此,即使在并進(jìn)移動(dòng)量相同的情況下,也能夠使?jié)L筒的旋轉(zhuǎn)角度變化。其結(jié)果,能夠高精度地進(jìn)行滾筒相對(duì)于作為支承于本體的板狀體的版或基板的角度位置即印刷位置的對(duì)位(例如參照專利文獻(xiàn)4)。另外,作為使膠印印刷的印刷精度提高的條件之一,能夠舉出以下例子令為了進(jìn)行轉(zhuǎn)印(接收)處理而使橡皮輥與版接觸時(shí)、及為了進(jìn)行再轉(zhuǎn)印(印刷)處理而使橡皮輥與成為印刷對(duì)象的基板接觸時(shí)的印壓均一。但是,橡皮輥的周壁的表面部由橡膠等的具備所需的彈性的材料形成。因此,如果施加所需的壓力使橡皮輥按壓于版或作為印刷對(duì)象的基板, 則接觸部分就會(huì)沿著版或基板的表面而變形,其結(jié)果,對(duì)于在上述轉(zhuǎn)印(接收)處理時(shí)從版將墨暫時(shí)吸附、然后在再轉(zhuǎn)印(印刷)處理時(shí)使吸附的墨轉(zhuǎn)移到基板時(shí)的橡皮輥的墨吸附、 轉(zhuǎn)移特性而言,會(huì)依存于橡皮輥的表面部中的與版或作為印刷對(duì)象的基板接觸的部分的變形量。另外,關(guān)于在積層滾筒的外圓周形成積層體的裝置,以往曾經(jīng)提出下述方案令用來(lái)對(duì)卷繞于積層滾筒的外圓周部的片材上進(jìn)行印刷的印刷部的位置對(duì)應(yīng)于積層滾筒的外圓周部的厚度的變化而沿著厚度方向移動(dòng)。作為上述的與厚度的變化的對(duì)應(yīng),除了將預(yù)先設(shè)定的每一層的厚度重疊積層的層數(shù)的方法外,還示出下述方法使用配置在與印刷部的移動(dòng)方向平行且通過(guò)積層滾筒的旋轉(zhuǎn)中心的直線上的距離測(cè)定傳感器,實(shí)時(shí)地測(cè)量與積層滾筒的外圓周部的距離變化(例如參照專利文獻(xiàn)5)。專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1 日本專利第2797567號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本專利第3904433號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開(kāi)2000-272079號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本特開(kāi)2006-142764號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5 日本特開(kāi)2005-1834 號(hào)公報(bào)。如上所述,對(duì)于在膠印印刷中使用的橡皮輥,周壁的表面由橡膠等具備所需的彈性的材料所形成,所以如果按壓在版或作為印刷對(duì)象的基板上,則接觸部分就會(huì)沿著版或基板的表面而變形。因此會(huì)有下述可能使墨從版向橡皮輥轉(zhuǎn)印時(shí)、以及使墨從橡皮輥向基板再轉(zhuǎn)印時(shí)的墨的附著情況,分別根據(jù)版與橡皮輥的接觸壓力(印壓)、以及橡皮輥與基板的接觸壓力(印壓)而變化。其結(jié)果,在進(jìn)行例如精細(xì)的電極圖案的印刷時(shí),有可能印刷成細(xì)線的電極的粗細(xì)不保持為一定。進(jìn)而,如果施加所需的壓力使橡皮輥按壓在版或作為印刷對(duì)象的基板上而橡皮輥的與版或基板的接觸部分沿著版或基板的表面而變形,則在該接觸部分處輥徑變化,伴隨著輥徑的變化,橡皮輥的周速也會(huì)產(chǎn)生變化。另一方面,作為印刷對(duì)象的基板難以制造為其厚度全部相同。因此,在每個(gè)基板上厚度尺寸上都會(huì)產(chǎn)生稍微的偏差。此外,在用來(lái)進(jìn)行重疊印刷的多個(gè)版彼此之間,也會(huì)在各個(gè)版的厚度上產(chǎn)生稍微的偏差。如果因?yàn)樽鳛橛∷?duì)象的各個(gè)基板的厚度的偏差,在各基板與橡皮輥的接觸壓力上產(chǎn)生差異,則即使是使用相同的版,也會(huì)有印刷于各個(gè)基板的電極圖案的印刷成細(xì)線的電極的粗細(xì)并不均一的可能性。而且,印刷于各基板的印刷圖案未必都一定,有再現(xiàn)性降低的可能性。進(jìn)而,如果因?yàn)橛脕?lái)進(jìn)行重疊印刷的多個(gè)版彼此的厚度尺寸的偏差而在各個(gè)版與橡皮輥的接觸壓力上產(chǎn)生差異,則有可能借助使用多個(gè)版的重疊印刷而在一個(gè)基板上形成的電極圖案的為細(xì)線的電極的粗細(xì)并不均一、有可能發(fā)生重疊錯(cuò)位。而且,版會(huì)由于用于印刷而漸漸磨耗(消耗),因此每當(dāng)使用所需的印刷次數(shù)或印刷時(shí)間就所需進(jìn)行更換。此時(shí),如果在更換前的版與更換后的新版之間存在厚度尺寸上的偏差,則可能在與橡皮輥的接觸壓力上產(chǎn)生差異。其結(jié)果,有可能在版的更換前后,印刷于基板上的電極圖案的作為細(xì)線的電極的粗細(xì)發(fā)生變化、印刷于基板的印刷圖案發(fā)生變化, 無(wú)法得到再現(xiàn)性。特別地,在為了形成如電極圖案的精細(xì)的印刷圖案而要求很高的印刷精度時(shí),由于版與橡皮輥的接觸壓力的變化、及橡皮輥與各基板的接觸壓力的變化,印刷出的細(xì)線的粗細(xì)會(huì)發(fā)生微細(xì)的變化、由于伴隨著橡皮輥的微小的輥徑的變化的周速的變化而導(dǎo)致印刷位置的錯(cuò)位,因而有可能成為達(dá)成要求的印刷精度時(shí)的妨礙。另外,專利文獻(xiàn)3中公開(kāi)的方法中,公開(kāi)了調(diào)整橡皮輥的周速的想法,但是需要以手輸入方式來(lái)調(diào)整橡皮輥的周速。而且,因?yàn)槭怯刹僮髡咭阅恳暦绞接捎∷⒔Y(jié)果來(lái)判斷是否得到適當(dāng)?shù)南鹌ぽ伒闹芩?,所以難以進(jìn)行定量的評(píng)價(jià)。專利文獻(xiàn)4中公開(kāi)了下述想法調(diào)節(jié)滾筒(橡皮輥)的圓筒狀抵接部與設(shè)于用來(lái)支承版或基板的本體上的平面狀抵接部之間的接觸力(接觸壓力),從而高精度地進(jìn)行印刷位置的對(duì)位。然而,并未公開(kāi)任何讓滾筒相對(duì)于版的接觸壓力、滾筒相對(duì)于厚度尺寸未必都一定的各基板的接觸壓力保持一定的想法。因此,在專利文獻(xiàn)4中公開(kāi)的方法時(shí),并無(wú)法消除如前所述的滾筒與版或基板的接觸壓力產(chǎn)生差異的可能性。而且,也無(wú)法消除下述問(wèn)題因?yàn)闈L筒與版或基板接觸時(shí)接觸壓力產(chǎn)生差異,在滾筒與版或各基板的接觸部分的輥徑的變化量上產(chǎn)生差異,該接觸部分的周速產(chǎn)生變化,從而對(duì)于各基板的印刷精度、再現(xiàn)性降低。 進(jìn)而,為了進(jìn)行印刷位置的對(duì)位而對(duì)與設(shè)于用來(lái)支承版或基板的本體上的平面狀抵接部之間的接觸力(接觸壓力)進(jìn)行操作的作法,從欲使由膠印印刷所產(chǎn)生的印刷圖案均一的本來(lái)的目的來(lái)看并不妥當(dāng)。另外,在使橡皮輥從上方依次與版及作為印刷對(duì)象的基板接觸而進(jìn)行膠印印刷時(shí),即便令與版或作為印刷對(duì)象的基板接觸的橡皮輥的高度保持一定,從橡皮輥施加到版或作為印刷對(duì)象的基板的印壓也未必均一。作為印壓不均一的主要原因,能夠列舉出以下情形有時(shí)版及基板的厚度尺寸并不相同;有時(shí)基板的厚度在每個(gè)批次中不相同;有時(shí)即使是同一批次,基板的厚度尺寸也未必均一;版隨著印刷處理而消耗時(shí)或在變更印刷圖案時(shí)要更換版,但更換前后的版的厚度尺寸有時(shí)存在差異;即使在同一張版或同一個(gè)印刷對(duì)象的面內(nèi),有時(shí)厚度尺寸也未必均一;以及,由于加工精度的關(guān)系而橡皮輥的旋轉(zhuǎn)中心有時(shí)偏心等。作為用于使橡皮輥與版或作為印刷對(duì)象的基板的印壓均一的對(duì)策,考慮在使橡皮輥與版或作為印刷對(duì)象的基板接觸時(shí),利用載荷傳感器等直接測(cè)量印壓,并依據(jù)印壓的測(cè)量值的大小來(lái)對(duì)橡皮輥的升降動(dòng)作進(jìn)行反饋控制,從而使印壓保持一定。但是,此方法中測(cè)量時(shí)間比較長(zhǎng),所以印刷速度的高速化會(huì)受到限制。進(jìn)而,專利文獻(xiàn)4中公開(kāi)的印刷機(jī)中,為了能夠高精度地進(jìn)行印刷位置的對(duì)位,借助接觸力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)來(lái)調(diào)節(jié)支承輥與支承軌道的接觸力,結(jié)果,印壓會(huì)不穩(wěn)定。因此,在進(jìn)行例如精細(xì)的電極圖案的印刷時(shí),會(huì)難以將形成為細(xì)線的電極的粗細(xì)印刷得很均一。專利文獻(xiàn)4中公開(kāi)的方法為,使用配置在與印刷部的移動(dòng)方向平行且通過(guò)積層滾筒的旋轉(zhuǎn)中心的直線上的距離測(cè)定傳感器來(lái)測(cè)量與積層滾筒的外圓周部的距離變化,從而實(shí)時(shí)地測(cè)量積層滾筒的外圓周部的厚度變化,在將上述方法用于檢測(cè)膠印印刷裝置中的與橡皮輥接觸的平板狀的版或基板等印刷對(duì)象的厚度變化時(shí),必須將距離測(cè)定傳感器設(shè)置在橡皮輥與平板狀的版或印刷對(duì)象的接觸點(diǎn)。因此,必須使平板狀的版或印刷對(duì)象從橡皮輥向輥軸方向的外側(cè)露出,并對(duì)應(yīng)于該露出部分而配設(shè)距離測(cè)定傳感器。然而,使用從橡皮輥向輥軸方向的外側(cè)露出的版或印刷對(duì)象的作法并不切實(shí)際。而且,即便使平板狀的版或印刷對(duì)象從橡皮輥向輥軸方向的外側(cè)露出而測(cè)量該露出部分的厚度變化,也無(wú)法從該測(cè)量結(jié)果檢測(cè)出平板狀的版或印刷對(duì)象的與橡皮輥實(shí)際接觸的部分的輥軸方向的厚度變化。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種膠印印刷方法及裝置,即使如基板那樣印刷對(duì)象未必為一定的厚度尺寸,也能夠?qū)Ω饔∷?duì)象以高再現(xiàn)性印刷出細(xì)線的粗細(xì)均一且沒(méi)有印得太淡而不清楚或印得太濃而有暈影的印刷圖案,能夠提高印刷精度,并且即使在用于重疊印刷的多個(gè)版彼此未必為一定的厚度尺寸的情況下,或是更換版時(shí)更換前與更換后的版彼此未必為一定的厚度尺寸的情況下,也能以高再現(xiàn)性印刷出細(xì)線不會(huì)印得太淡而不清楚或印得太濃而有暈影的印刷圖案,能夠提高印刷精度,從而能夠高精度地進(jìn)行如電極圖案這樣的精細(xì)的印刷,并且即使在重疊印刷時(shí)也能夠?qū)⒅丿B錯(cuò)位抑制為微米等級(jí)。另外,本發(fā)明提供一種膠印印刷方法及裝置,即使在版及基板等的印刷對(duì)象的厚度尺寸不相同、印刷對(duì)象的厚度每一批次不同、以及就算是同一批次基板的厚度尺寸也未必均一時(shí),進(jìn)而即便由于加工精度的關(guān)系而橡皮輥的旋轉(zhuǎn)中心偏心,也能夠在使橡皮輥與版接觸的期間、以及使橡皮輥與印刷對(duì)象接觸的期間使印壓分別保持均一,能夠提高從版經(jīng)由橡皮輥而印刷到印刷對(duì)象的印刷圖案的印刷精度,從而能夠高精度地進(jìn)行如電極圖案這樣的精細(xì)的印刷,并且利于以高速進(jìn)行印刷的情況。本發(fā)明的第一發(fā)明為一種膠印印刷方法,令借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥從上方與版載置臺(tái)上所保持的版接觸,所述版載置臺(tái)在設(shè)置于臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn),接著,使上述橡皮輥從上方與在上述導(dǎo)軌上行進(jìn)的印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,控制基于上述升降用致動(dòng)器的橡皮輥的升降,使得上述橡皮輥與上述版載置臺(tái)上所保持的版接觸期間的接觸壓力、及上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸期間的接觸壓力分別以既定的值保持一定。本發(fā)明的第二發(fā)明是一種膠印印刷方法,令借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥從上方與版載置臺(tái)上所保持的版接觸,所述版載置臺(tái)在設(shè)置于臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn),接著,使上述橡皮輥從上方與在上述導(dǎo)軌上行進(jìn)的印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,控制基于上述升降用致動(dòng)器的橡皮輥的升降,使得上述橡皮輥與上述版載置臺(tái)上所保持的版接觸開(kāi)始時(shí)的接觸壓力為既定值,然后控制基于上述升降用致動(dòng)器的橡皮輥的升降,使得在上述橡皮輥與上述版載置臺(tái)上所保持的版接觸的期間將該橡皮輥的高度保持一定,并且在令上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸開(kāi)始時(shí)的接觸壓力為既定值,然后在上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸的期間,將該橡皮輥的高度保持一定。進(jìn)而,本發(fā)明的第三發(fā)明是一種膠印印刷裝置,具有在設(shè)置于臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn)的版載置臺(tái)及印刷對(duì)象載置臺(tái),令借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥從上方依次與上述版載置臺(tái)上所保持的版、及上述印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,具有用來(lái)檢測(cè)借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥相對(duì)于上述版及印刷對(duì)象的接觸壓力的壓力傳感器,并且具有控制器,該控制器具有以下功能對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得在上述橡皮輥與上述版之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間、以及在上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象之間進(jìn)行再轉(zhuǎn)印的期間,從上述壓力傳感器輸入的上述接觸壓力分別以既定值保持一定。進(jìn)而,本發(fā)明的第四發(fā)明是一種膠印印刷裝置,具有在設(shè)置于臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn)的版載置臺(tái)及印刷對(duì)象載置臺(tái),令借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥從上方依次與上述版載置臺(tái)上所保持的版、及上述印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,具有用來(lái)檢測(cè)借助上述升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥的高度的高度傳感器、及用來(lái)檢測(cè)上述橡皮輥相對(duì)于上述版及印刷對(duì)象的接觸壓力的壓力傳感器,并且具有控制器,該控制器具有以下功能對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得在上述橡皮輥與上述版之間開(kāi)始轉(zhuǎn)印時(shí)從上述壓力傳感器輸入的接觸壓力為既定值,且在上述橡皮輥與上述版之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間,基于來(lái)自上述高度傳感器的輸入而對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得在從上述壓力傳感器輸入的接觸壓力變?yōu)榧榷ㄖ禃r(shí)的上述橡皮輥的高度被保持的功能;以及對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得在上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象之間開(kāi)始再轉(zhuǎn)印時(shí)從上述壓力傳感器輸入的接觸壓力成為既定值,且在上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象之間進(jìn)行再轉(zhuǎn)印的期間,基于來(lái)自上述高度傳感器的輸入而對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得從上述壓力傳感器輸入的接觸壓力變?yōu)榧榷ㄖ禃r(shí)的上述橡皮輥的高度被保持的功能。此外,在上述膠印印刷裝置中,期望控制器具有以下功能在橡皮輥與版之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間、以及在橡皮輥與印刷對(duì)象之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間,基于來(lái)自上述高度傳感器的輸入而對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得從壓力傳感器輸入的接觸壓力分別變?yōu)榧榷ㄖ禃r(shí)的上述橡皮輥的高度被保持,此時(shí)在橡皮輥產(chǎn)生有偏心時(shí),基于上述橡皮輥的偏心量而對(duì)應(yīng)保持上述橡皮輥的高度進(jìn)行修正。本發(fā)明的第五發(fā)明是一種膠印印刷方法,在借助旋轉(zhuǎn)用驅(qū)動(dòng)馬達(dá)使借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下,使上述橡皮輥從上方與在臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn)的移動(dòng)載置臺(tái)上所保持的版接觸,接著使上述橡皮輥從上方與在上述導(dǎo)軌上行進(jìn)的移動(dòng)載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,在上述版載置臺(tái)上的版或印刷對(duì)象載置臺(tái)上的印刷對(duì)象進(jìn)入橡皮輥的正下方位置之前,沿著轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向預(yù)先測(cè)量上述版載置臺(tái)上的版或印刷對(duì)象載置臺(tái)上的印刷對(duì)象的表面的以臺(tái)座上表面為基準(zhǔn)的高度,接著,在使上述橡皮輥與上述版或印刷對(duì)象接觸時(shí),將上述橡皮輥的旋轉(zhuǎn)中心的在上述臺(tái)座上的高度控制為下述高度從預(yù)先測(cè)量的上述版或印刷對(duì)象的表面的高度與橡皮輥的半徑的和減去既定的目標(biāo)輥按壓量而算出的高度。此外,本發(fā)明的第六發(fā)明是一種膠印印刷裝置,在借助旋轉(zhuǎn)用驅(qū)動(dòng)馬達(dá)使借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下,使上述橡皮輥從上方依次與在臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn)的個(gè)別的或公共的移動(dòng)載置臺(tái)上所保持的版及印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,在比上述橡皮輥還靠轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向的上游側(cè)位置處,設(shè)有用來(lái)測(cè)量與版載置臺(tái)上的版或印刷對(duì)象載置臺(tái)上的印刷對(duì)象的表面之間的距離的距離測(cè)定傳感器,并且具有控制器,該控制器具有以下功能基于從上述距離測(cè)定傳感器輸入的信號(hào),將版載置臺(tái)上的版或印刷對(duì)象載置臺(tái)上的印刷對(duì)象的位于上述距離測(cè)定傳感器的正下方的部分的以臺(tái)座上表面為基準(zhǔn)的表面高度算出并暫時(shí)存儲(chǔ)起來(lái)的功能;以及對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得在上述的部分被配置到上述橡皮輥的旋轉(zhuǎn)中心的正下方而與橡皮輥接觸的時(shí)刻,使上述橡皮輥的旋轉(zhuǎn)中心的上述臺(tái)座上的高度與下述高度一致的功能,所述高度是從上述版載置臺(tái)上的版或印刷對(duì)象載置臺(tái)上的印刷對(duì)象的表面中的上述部分的預(yù)先測(cè)量的表面的高度與橡皮輥的半徑的和減去既定的目標(biāo)輥按壓量而算出的高度。根據(jù)本發(fā)明,能夠?qū)崿F(xiàn)如以下所述的良好的效果
(1)根據(jù)本發(fā)明的第一及第三發(fā)明,能夠令使橡皮輥與版接觸而進(jìn)行油墨的轉(zhuǎn)印時(shí)的接觸壓力、以及使橡皮輥與印刷對(duì)象接觸而進(jìn)行再轉(zhuǎn)印時(shí)的接觸壓力,分別以既定的接觸壓力保持均一,所以能夠?qū)⑹瓜鹌ぽ伵c版接觸時(shí)的接觸部分的變形量、以及使橡皮輥與印刷對(duì)象接觸時(shí)的接觸部分的變形量分別保持均一。因此,能夠使印刷出來(lái)的細(xì)線的粗細(xì)均一,并且能夠?qū)⑦M(jìn)行從上述版到橡皮輥的轉(zhuǎn)印時(shí)的橡皮輥的周速、及進(jìn)行從橡皮輥到印刷對(duì)象的油墨的再轉(zhuǎn)印時(shí)的橡皮輥的周速分別保持均一。因而,能夠提高從版經(jīng)由橡皮輥而印刷到印刷對(duì)象的印刷圖案的再現(xiàn)性,能夠?qū)⑷珉姌O圖案這樣的精細(xì)的印刷圖案正確地印刷到印刷對(duì)象。(2)此外,即使印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象的厚度尺寸有偏差,也能夠事先防止對(duì)各印刷對(duì)象進(jìn)行再轉(zhuǎn)印時(shí)的橡皮輥的接觸壓力及周速的偏差。因此,能夠事先防止在各印刷對(duì)象上發(fā)生的印刷精度及再現(xiàn)性的偏差。(3)此外,即使用于進(jìn)行重疊印刷的多個(gè)版、或更換版時(shí)的更換前與更換后的版的厚度尺寸有偏差,也能夠事先防止橡皮輥相對(duì)于各版的接觸壓力及周速的偏差。因此,能夠事先防止因上述版的厚度尺寸的偏差而發(fā)生的印刷精度及再現(xiàn)性的偏差。(4)進(jìn)而,因?yàn)槟軌驅(qū)τ∷?duì)象進(jìn)行正確且再現(xiàn)性高的印刷,所以即使是對(duì)于印刷對(duì)象進(jìn)行如電極圖案這樣的精細(xì)的印刷圖案的重疊印刷,也能夠抑制重疊錯(cuò)位。因而,有利于將重疊錯(cuò)位抑制于微米等級(jí)。(5)根據(jù)本發(fā)明的第二及第四發(fā)明,使橡皮輥與版及印刷對(duì)象接觸并分別將接觸壓力暫時(shí)控制為既定的接觸壓力,然后保持使橡皮輥的接觸壓力成為既定的接觸壓力的時(shí)刻的橡皮輥的高度,由此能夠在使橡皮輥與版接觸時(shí)的接觸部分的變形量、及使橡皮輥與印刷對(duì)象接觸時(shí)的接觸部分的變形量都均一的狀態(tài)下使橡皮輥與版及印刷對(duì)象接觸。因而,能夠得到與上述(1) (2) (3) (4) 一樣的效果。(6)通過(guò)令控制器具有下述功能在橡皮輥與版之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間、以及在橡皮輥與印刷對(duì)象之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間,基于來(lái)自高度傳感器的輸入而對(duì)升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,以保持從壓力傳感器輸入的接觸壓力分別變?yōu)榧榷ㄖ禃r(shí)的橡皮輥的高度,此時(shí),在橡皮輥產(chǎn)生偏心時(shí),基于橡皮輥的偏心量而對(duì)應(yīng)保持上述橡皮輥的高度進(jìn)行修正的功能,從而,即使橡皮輥偏心,也能夠?qū)⑾鹌ぽ伵c版或印刷對(duì)象接觸的部分的變形量保持為使橡皮輥與版或印刷對(duì)象接觸并將接觸壓力分別暫時(shí)控制在既定的接觸壓力的狀態(tài)下的變形量, 能夠在該狀態(tài)下在橡皮輥與版或印刷對(duì)象之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印或再轉(zhuǎn)印。因而,如上所述即使橡皮輥偏心,也能夠提高印刷精度。(7)根據(jù)本發(fā)明的第五及第六發(fā)明,能夠在使橡皮輥與版接觸而進(jìn)行轉(zhuǎn)印(接收) 處理的期間、以及使橡皮輥與印刷對(duì)象接觸而進(jìn)行再轉(zhuǎn)印(印刷)處理的期間,使橡皮輥總是以既定的目標(biāo)輥按壓量按壓于版或印刷對(duì)象。因此,能夠使從橡皮輥向版或印刷對(duì)象作用的印壓保持均一。(8)因此,能夠提高從版經(jīng)由橡皮輥而印刷到印刷對(duì)象的印刷圖案的印刷精度,從而能夠高精度地進(jìn)行如電極圖案這樣的精細(xì)的印刷。(9)進(jìn)而,以令橡皮輥相對(duì)于版或基板的按壓量為目標(biāo)輥按壓量的方式進(jìn)行的橡皮輥的高度的控制基于下述高度的測(cè)量結(jié)果而進(jìn)行,即在版載置臺(tái)上的版或基板載置臺(tái)上的基板配置在比橡皮輥的旋轉(zhuǎn)中心還要靠轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向的上游側(cè)的時(shí)刻預(yù)先測(cè)量的版或基板的表面的高度的測(cè)量結(jié)果。因此,能夠防止響應(yīng)時(shí)間的延遲。因而,有利于一邊使印壓均等地進(jìn)行控制一邊以高速進(jìn)行印刷。
圖1是表示本發(fā)明的膠印印刷方法及裝置的實(shí)施方式的概略側(cè)視圖。圖2是放大表示圖1的膠印印刷裝置中的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的剖視圖。圖3是圖2的A-A箭頭方向視圖。圖4是表示圖1的膠印印刷裝置所具備的控制器的控制構(gòu)成的概要圖。圖5是通過(guò)圖1的膠印印刷裝置的控制器來(lái)控制橡皮輥的高度時(shí)的控制框圖。圖6是通過(guò)圖1的膠印印刷裝置的控制器而將橡皮輥的接觸壓力控制為一定時(shí)的控制框圖。圖7A是表示通過(guò)圖1的膠印印刷裝置進(jìn)行膠印印刷時(shí)的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的概要圖,表示轉(zhuǎn)印前的初始狀態(tài)。圖7B是表示通過(guò)圖1的膠印印刷裝置進(jìn)行膠印印刷時(shí)的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的概要圖,表示使橡皮輥的旋轉(zhuǎn)與版載置臺(tái)的行進(jìn)同步地開(kāi)始動(dòng)作的狀態(tài)。圖7C是表示通過(guò)圖1的膠印印刷裝置進(jìn)行膠印印刷時(shí)的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的概要圖,表示使橡皮輥與版接觸的狀態(tài)。圖8A是表示圖1的膠印印刷裝置的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的接在圖7C后的動(dòng)作的概要圖,表示將橡皮輥與版的接觸壓力控制在既定壓力的狀態(tài)。圖8B是表示圖1的膠印印刷裝置的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的接在圖7C后的
10CN 102548763 A動(dòng)作的概要圖,表示使橡皮輥的相對(duì)于版的接觸壓力保持在既定壓力的狀態(tài)。圖9A是表示圖1的膠印印刷裝置的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的接在圖8B后的動(dòng)作的概要圖,表示使橡皮輥上升到退避高度的狀態(tài)。圖9B是表示圖1的膠印印刷裝置的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的接在圖8B后的動(dòng)作的概要圖,表示轉(zhuǎn)印完成的狀態(tài)。圖IOA是表示圖1的膠印印刷裝置的上墨裝置的概略側(cè)視圖,表示對(duì)于版的上墨開(kāi)始前的狀態(tài)。圖IOB是表示圖1的膠印印刷裝置的上墨裝置的概略側(cè)視圖,表示使墨壓入刮板及墨刮取刮板與版接觸而開(kāi)始上墨的狀態(tài)。圖IOC是表示圖1的膠印印刷裝置的上墨裝置的墨壓入刮板及墨刮取刮板的概略側(cè)視圖。圖IlA是表示圖1的膠印印刷裝置的上墨裝置的概略側(cè)視圖,表示使保持著已經(jīng)將墨轉(zhuǎn)印到橡皮輥的版的版載置臺(tái)行進(jìn)到版載置臺(tái)待機(jī)區(qū)的狀態(tài)。圖IlB是表示圖1的膠印印刷裝置的上墨裝置的概略側(cè)視圖,表示通過(guò)墨返回刮板使版上的墨團(tuán)回到版的導(dǎo)軌長(zhǎng)度方向的另一端附近的端邊部的狀態(tài)。圖12是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的、膠印印刷裝置的進(jìn)行基于控制器的令橡皮輥的壓力保持為一定的控制完成時(shí)的令橡皮輥的高度保持的輥高度保持控制時(shí)的控制框圖。圖13是表示進(jìn)行圖12的輥高度保持控制時(shí)的轉(zhuǎn)印動(dòng)作的圖。圖14是表示本發(fā)明的膠印印刷方法及裝置的另一實(shí)施方式的概略側(cè)視圖。圖15是放大表示圖1的膠印印刷裝置中的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部而示出的局部剖視圖。圖16是圖15的Al-Al箭頭方向視圖。圖17是圖16的B-B箭頭方向視圖。圖18是放大表示橡皮輥的與版或印刷對(duì)象的接觸部分而示出的側(cè)視圖。圖19是表示圖14的膠印印刷裝置所具備的控制器的控制構(gòu)成的概要圖。圖20是表示控制器所具備的表面高度暫時(shí)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)平臺(tái)的概要的圖。圖21是表示基于圖14的膠印印刷裝置的控制器的橡皮輥不與版或基板接觸的狀態(tài)下控制橡皮輥的高度時(shí)的控制框圖。圖22是基于圖14的膠印印刷裝置的控制器的橡皮輥以目標(biāo)輥按壓量按壓于版或基板時(shí)的控制框圖。第23A圖是表示通過(guò)圖14的膠印印刷裝置進(jìn)行膠印印刷時(shí)的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的概要圖,表示轉(zhuǎn)印前的初始狀態(tài)。圖2 是表示通過(guò)圖14的膠印印刷裝置進(jìn)行膠印印刷時(shí)的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的概要圖,表示使橡皮輥的旋轉(zhuǎn)與版載置臺(tái)的行進(jìn)同步地開(kāi)始動(dòng)作的狀態(tài)。圖23C是表示通過(guò)圖14的膠印印刷裝置進(jìn)行膠印印刷時(shí)的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的概要圖,表示使橡皮輥與版接觸的狀態(tài)。圖24A是表示圖14的膠印印刷裝置的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的接在圖23C 后的動(dòng)作的概要圖,表示將橡皮輥的高度控制為使得橡皮輥以既定的目標(biāo)輥按壓量按壓轉(zhuǎn)印范圍的狀態(tài)。
圖24B是表示圖14的膠印印刷裝置的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的接在圖23C 后的動(dòng)作的概要圖,表示使橡皮輥上升到退避高度的狀態(tài)。圖24C是表示圖14的膠印印刷裝置的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序的接在圖23C 后的動(dòng)作的概要圖,表示轉(zhuǎn)印完成的狀態(tài)。
具體實(shí)施例方式以下,參照附圖來(lái)說(shuō)明實(shí)施本發(fā)明的方式。圖1至圖IlB表示本發(fā)明的膠印印刷方法及裝置的一實(shí)施方式,具有以下的構(gòu)成。S卩,在水平的臺(tái)座1的上側(cè),設(shè)有沿一方向(X軸方向)延伸的導(dǎo)軌2,例如為一組兩根的導(dǎo)軌2。在導(dǎo)軌2上,依次從導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向的一端側(cè)(圖1中的左側(cè))配置有將凹版等的版3保持于其上面部的版載置臺(tái)4、以及將作為印刷對(duì)象的基板5保持于其上面部的作為印刷對(duì)象載置臺(tái)的基板載置臺(tái)6。這些載置臺(tái)4、6被安裝為分別能夠經(jīng)由獨(dú)立的導(dǎo)塊 2a而相對(duì)于導(dǎo)軌2滑動(dòng),并且通過(guò)線性馬達(dá)等的獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)裝置7而能夠沿著導(dǎo)軌2獨(dú)立地移動(dòng)(行進(jìn))。另外,版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6各自的沿著導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向的位置即以既定的點(diǎn)為基準(zhǔn)的沿著X軸方向的絕對(duì)位置,能夠通過(guò)與導(dǎo)軌2平行地設(shè)在臺(tái)座1上的公共的線性尺8來(lái)進(jìn)行檢測(cè)。在臺(tái)座1上的與導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向中間部對(duì)應(yīng)的部位,設(shè)有轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9。轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9具有橡皮輥10,在導(dǎo)軌2的上方配置為沿與導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向正交的方向(Y軸方向)延伸,能夠被驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng);編碼器12,用來(lái)檢測(cè)橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)速度以及圓周方向的角度姿態(tài);升降用致動(dòng)器13(圖中是表示為起重器的形式),為用來(lái)使橡皮輥 10升降的起重器或滾珠絲杠機(jī)構(gòu)等;高度傳感器14,用來(lái)檢測(cè)橡皮輥10的高度;以及壓力傳感器15。升降用致動(dòng)器13使橡皮輥10在下述退避高度(退避位置)Ha與下述接觸高度 (接觸位置)Hb之間移動(dòng),所述退避高度(退避位置)Ha是橡皮輥10的周壁面的下端部配置于比各載置臺(tái)4、6的上表面高出所需尺寸的位置的位置,所述接觸高度(接觸位置)Hb是橡皮輥10的周壁面的下端部配置在與各載置臺(tái)4、6的上表面對(duì)應(yīng)的高度的位置。此外,壓力傳感器15為,當(dāng)借助升降用致動(dòng)器13而下降到接觸高度Hb的橡皮輥10與配置在其下方的狀態(tài)的版載置臺(tái)4上所保持的版3或基板載置臺(tái)6上所保持的基板5接觸并且將橡皮輥 10向下方施力推壓時(shí),檢測(cè)兩者間的接觸壓力。另外,在臺(tái)座1上的與導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向一端部對(duì)應(yīng)的部位,設(shè)有用來(lái)使版載置臺(tái) 4移動(dòng)到導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向一端部并在該處待機(jī)的版載置臺(tái)待機(jī)區(qū)16。而且,在臺(tái)座1上的版載置臺(tái)待機(jī)區(qū)16與轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9之間,設(shè)有用來(lái)對(duì)版載置臺(tái)4的上面部上所保持的版 3進(jìn)行上墨的上墨裝置17。在臺(tái)座1上的與導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向另一端部對(duì)應(yīng)的部位,設(shè)有基板設(shè)置區(qū)18,用來(lái)在使基板載置臺(tái)6移動(dòng)到導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向另一端部并在該處待機(jī)的狀態(tài)下,對(duì)于基板載置臺(tái)6的上面部進(jìn)行用于進(jìn)行新的印刷處理的基板5的安裝、以及印刷處理后的基板5的拆下。另外,具有控制器19,其基于從線性尺8輸入的關(guān)于版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6在導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向的位置的檢測(cè)信號(hào)、以及從轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的編碼器12及高度傳感器14及壓力傳感器15輸入的信號(hào),對(duì)版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6的各自的驅(qū)動(dòng)裝置7、以及轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的橡皮輥10的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11和升降用致動(dòng)器13發(fā)出指令。而且,本發(fā)明的膠印印刷裝置由以上所述的各部件所構(gòu)成。詳細(xì)而言,在轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9中,如圖1至圖3所示,在導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向中間部的兩方的外側(cè),具有所需的高度的支柱部件21沿導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向(X軸方向)隔著所需的間隔地各設(shè)置兩根。另外,以橫切導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向中間部的上方的方式配置的梁部件22將各支柱部件21的頂部彼此連結(jié)起來(lái)而與支柱部件21 —起構(gòu)成門形的框架20。在框架20 中,在分別沿著X軸方向而配設(shè)于導(dǎo)軌2的外側(cè)的兩根支柱部件21彼此之間,經(jīng)由沿上下方向延伸的線性導(dǎo)件26而能夠沿上下方向移動(dòng)地安裝有輥殼體M的兩端部,所述輥殼體 24經(jīng)由軸承25而將橡皮輥10的兩端的旋轉(zhuǎn)軸23保持為旋轉(zhuǎn)自如。另外,在輥殼體對(duì)的沿橡皮輥10的軸心方向隔著所需間隔的兩個(gè)部位、例如與橡皮輥10的軸心方向兩端部大致對(duì)應(yīng)的兩個(gè)部位、以及分別與各部位對(duì)應(yīng)的框架20的梁部件22的兩個(gè)部位之間,分別以直列的方式夾裝有升降用致動(dòng)器13及壓力傳感器15。此外,在輥殼體M的兩端部的所需的部位與框架20的分別與其對(duì)應(yīng)的支柱部件 21的所需部位之間,設(shè)有例如為上下方向的線性尺的高度傳感器14而作為橡皮輥10的高度傳感器14。而且,通過(guò)各高度傳感器14檢測(cè)輥殼體M的上下方向位置,從而能夠間接地進(jìn)行輥殼體M所保持的橡皮輥10的高度的檢測(cè)。由此,伴隨著各升降用致動(dòng)器13的同步驅(qū)動(dòng),使橡皮輥10與輥殼體M —體地沿著線性導(dǎo)件26沿上下方向移動(dòng),能夠?qū)⑾鹌ぽ?0 配置到由高度傳感器14檢測(cè)的既定的退避高度Ha或接觸高度Hb。因而,在將橡皮輥10抬起到退避高度Ha的狀態(tài)下,能夠使沿著導(dǎo)軌2移動(dòng)的版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6通過(guò)橡皮輥10的下方而不會(huì)與橡皮輥10干涉。此外,在版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6配置于橡皮輥10的正下方的狀態(tài)下,通過(guò)各升降用致動(dòng)器13使橡皮輥10與輥殼體M —體地下降到接觸高度Hb,能夠使橡皮輥10的周壁面從上方抵接于版載置臺(tái)4的上面部所保持的版3或基板載置臺(tái)6的上面部所保持的基板5。此時(shí),通過(guò)與各升降用致動(dòng)器13直列地設(shè)置的各壓力傳感器15能夠檢測(cè)出橡皮輥10相對(duì)于版載置臺(tái)4上的版3或基板載置臺(tái)6上的基板5的接觸壓力作為各升降用致動(dòng)器13與輥殼體M —體地對(duì)橡皮輥10向下方施加的力的反作用力。在輥殼體對(duì)的一側(cè),朝向內(nèi)方地安裝有驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11。而且,將驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11的未圖標(biāo)的輸出軸與橡皮輥10的一側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸23連接,所述橡皮輥10的一側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸23由輥殼體M的長(zhǎng)度方向的一側(cè)的軸承25保持為能夠旋轉(zhuǎn)自如,從而能夠利用驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11的運(yùn)轉(zhuǎn)來(lái)驅(qū)動(dòng)橡皮輥10轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)而,在驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11的未圖示的輸出軸上安裝有編碼器12。利用編碼器12能夠檢測(cè)出借助驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11的運(yùn)轉(zhuǎn)而驅(qū)動(dòng)橡皮輥10轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)速度、及橡皮輥 10的旋轉(zhuǎn)角度(以圓周方向的某一個(gè)位置為基準(zhǔn)的角度)??刂破?9如圖4所示的其控制構(gòu)成那樣,具有載置臺(tái)行進(jìn)控制部19a、輥位置控制兼壓力控制部1%、及輥旋轉(zhuǎn)控制部19c。載置臺(tái)行進(jìn)控制部19a基于從設(shè)于臺(tái)座1上的線性尺8輸入的版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6的各自的載置臺(tái)位置檢測(cè)信號(hào)Si,向版載置臺(tái) 4及基板載置臺(tái)6的各自的驅(qū)動(dòng)裝置7發(fā)出指令,從而控制各載置臺(tái)4、6的位置、移動(dòng)方向 (行進(jìn)方向)及移動(dòng)速度(行進(jìn)速度)。輥位置控制兼壓力控制部19b基于從轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9中的各高度傳感器14輸入的橡皮輥10的高度的檢測(cè)信號(hào)S2、以及從各壓力傳感器15輸入的橡皮輥10相對(duì)于版3或基板5的接觸壓力的檢測(cè)信號(hào)S3而向橡皮輥10的各升降用致動(dòng)器13發(fā)出指令,從而控制橡皮輥10的高度、及橡皮輥10相對(duì)于版3或基板5的接觸壓力。 輥旋轉(zhuǎn)控制部19c基于從橡皮輥10的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11上所安裝的編碼器12輸入的橡皮輥10 的旋轉(zhuǎn)速度及旋轉(zhuǎn)角度的檢測(cè)信號(hào),向橡皮輥10的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11發(fā)出指令,從而控制橡皮輥 10的旋轉(zhuǎn)速度及旋轉(zhuǎn)角度。此外,能夠與載置臺(tái)行進(jìn)控制部19a同步地控制輥位置控制兼壓力控制部19b及輥旋轉(zhuǎn)控制部19c。另外,控制器19作為其控制功能而包括下述功能進(jìn)行輥高度控制的功能,用于根據(jù)需要而進(jìn)行將橡皮輥10配置到退避高度Ha或接觸高度Hb的某一高度;以及進(jìn)行接觸壓力一定控制的功能,在使橡皮輥10與版3接觸而進(jìn)行轉(zhuǎn)印(接收)時(shí)使橡皮輥10相對(duì)于版3的接觸壓力保持一定,且在使橡皮輥10與基板5接觸而進(jìn)行再轉(zhuǎn)印(印刷)時(shí)使橡皮輥 10相對(duì)于基板5的接觸壓力保持一定。對(duì)于基于控制器19的輥高度控制,參照?qǐng)D5所示的控制框圖來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。另外, 在圖5中,為了方便而省略轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的框架20及橡皮輥10的輥殼體M的記載,并且對(duì)附設(shè)在橡皮輥10上的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11、編碼器12、升降用致動(dòng)器13、作為高度傳感器的線性尺14、壓力傳感器15的形狀及配置做了一些變更。另外,也省略橡皮輥10的一側(cè)的升降用致動(dòng)器13的控制系統(tǒng)的記載(圖6及12中也同樣)。如果輸入關(guān)于由臺(tái)座1上的線性尺8 (參照?qǐng)D2、圖4)檢測(cè)到的版載置臺(tái)4的X軸方向的位置、及基板載置臺(tái)6的X軸方向的位置的載置臺(tái)位置檢測(cè)信號(hào)Si,則控制器19基于各載置臺(tái)位置檢測(cè)信號(hào)Sl而進(jìn)行基于預(yù)先設(shè)定的所需的數(shù)據(jù)平臺(tái)函數(shù)的數(shù)據(jù)平臺(tái)函數(shù)處理27,判斷應(yīng)將橡皮輥10配置到退避高度Ha或接觸高度Hb的哪一高度,并輸出退避高度Ha或接觸高度Hb的高度目標(biāo)值h。接著,控制器19將高度目標(biāo)值h、以及基于從轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的高度傳感器14輸入的檢測(cè)信號(hào)的橡皮輥10的高度當(dāng)前值hi輸入至減法器觀, 求出高度當(dāng)前值hi相對(duì)于高度目標(biāo)值h的高度偏差Δ h,然后為了使此高度偏差Δ h變?yōu)?0而進(jìn)行基于PID控制等的反饋控制理論的反饋處理四從而求出驅(qū)動(dòng)指令Cl,將該驅(qū)動(dòng)指令Cl發(fā)給橡皮輥10的升降用致動(dòng)器13。通過(guò)這樣地使升降用致動(dòng)器13根據(jù)驅(qū)動(dòng)指令Cl而動(dòng)作,能夠?qū)?yīng)于版載置臺(tái)4 或基板載置臺(tái)6的X軸方向的位置,如后所述地,在為了在橡皮輥10與版3或基板5之間進(jìn)行墨的轉(zhuǎn)印而使橡皮輥10與版3或基板5接觸時(shí),使橡皮輥10配置在接觸高度Hb,在此外的其他時(shí)候,使橡皮輥10配置在退避高度Ha。此外,對(duì)于基于控制器19的橡皮輥10的接觸壓力一定控制,參照?qǐng)D6所示的控制框圖進(jìn)行說(shuō)明。S卩,使墨從版3向橡皮輥10轉(zhuǎn)印(接收)時(shí),需要令上墨到版3的墨吸附到橡皮輥 10的表面。另一方面,令墨從橡皮輥10再轉(zhuǎn)印到作為印刷對(duì)象的基板5時(shí),則需要使吸附到橡皮輥10的表面的墨離開(kāi)橡皮輥10的表面然后吸附到基板5的表面。因此,從版3到橡皮輥10的墨的轉(zhuǎn)印特性、與從橡皮輥10到基板5的墨的轉(zhuǎn)印特性未必會(huì)相同。而且,為了提高膠印印刷整體的轉(zhuǎn)印性能,使橡皮輥10與版3接觸時(shí)期望的接觸壓力、以及使橡皮輥10與基板5接觸時(shí)期望的接觸壓力也未必會(huì)相同。因此,在進(jìn)行橡皮輥10的接觸壓力一定控制時(shí),預(yù)先在壓力決定模塊30對(duì)應(yīng)于要使橡皮輥10接觸的對(duì)象是版3或基板5的哪一個(gè)而分別地設(shè)定期望的某一接觸壓力的目標(biāo)值P。然后,將此壓力目標(biāo)值P、以及從轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的壓力傳感器15輸入的橡皮輥10 相對(duì)于版載置臺(tái)4上所保持的版3、或基板載置臺(tái)6上所保持的基板5的接觸壓力的當(dāng)前值Pl輸入至減法器31,求出接觸壓力當(dāng)前值pi相對(duì)于壓力目標(biāo)值ρ的壓力偏差Δ ρ。然后,為了使此壓力偏差Δ ρ變?yōu)?而進(jìn)行基于PID控制等的反饋控制理論的反饋處理32而求出驅(qū)動(dòng)指令C2,將該驅(qū)動(dòng)指令C2發(fā)給橡皮輥10的升降用致動(dòng)器13。通過(guò)使升降用致動(dòng)器13基于驅(qū)動(dòng)指令C2而動(dòng)作,能夠如后述那樣,在使墨的轉(zhuǎn)印在橡皮輥10與版3或基板 5之間進(jìn)行時(shí),使橡皮輥10以對(duì)應(yīng)于期望的壓力目標(biāo)值ρ的一定的接觸壓力與版3或基板 5接觸。此時(shí),在利用與橡皮輥10的軸心方向兩端部大致對(duì)應(yīng)地設(shè)置的兩個(gè)升降用致動(dòng)器13對(duì)橡皮輥10的軸心方向兩端部向下方施力的狀態(tài)下,利用設(shè)置于各升降用致動(dòng)器13 的壓力傳感器15監(jiān)視接觸壓力當(dāng)前值pl,以與上述同樣的處理順序分別地進(jìn)行兩個(gè)升降用致動(dòng)器13的控制,從而能夠?qū)崿F(xiàn)橡皮輥10相對(duì)于版3或基板5的接觸面內(nèi)的壓力的均一化。在如上所述地利用具有橡皮輥10的高度控制的功能以及接觸壓力一定控制的功能的控制器19來(lái)實(shí)施基于本發(fā)明的膠印印刷裝置的膠印印刷時(shí),在轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9中進(jìn)行從版3到橡皮輥10的墨的轉(zhuǎn)印(接收)時(shí)的轉(zhuǎn)印動(dòng)作以圖7A至圖9B所示的順序進(jìn)行。另外,在上述的圖中,令轉(zhuǎn)印時(shí)的橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)方向?yàn)轫槙r(shí)針?lè)较?,令版載置臺(tái)4的轉(zhuǎn)印用行進(jìn)方向?yàn)閺膶?dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向另一端側(cè)朝向一端側(cè)的方向(向左)。進(jìn)行從版3到橡皮輥10的轉(zhuǎn)印動(dòng)作時(shí),預(yù)先利用圖5所示的橡皮輥10的高度控制的功能使橡皮輥10如圖7A所示地配置到退避高度Ha。另外,此時(shí),使橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)停止。另外,在通過(guò)上墨裝置17預(yù)先對(duì)版載置臺(tái)4上所保持的版3進(jìn)行了上墨的狀態(tài)下, 使版載置臺(tái)4配置到轉(zhuǎn)印開(kāi)始位置XO處令其暫時(shí)停止,所述轉(zhuǎn)印開(kāi)始位置XO預(yù)先設(shè)定在比橡皮輥10的正下方更靠轉(zhuǎn)印用的行進(jìn)方向的上游側(cè)。另外,圖中,以版載置臺(tái)4的導(dǎo)軌 2長(zhǎng)度方向的另一端附近的端部(圖中的右端部)為基準(zhǔn)來(lái)決定載置臺(tái)位置。接著,如圖7B所示,在使橡皮輥10配置于退避高度Ha的狀態(tài)下,通過(guò)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11 的運(yùn)轉(zhuǎn)使橡皮輥10旋轉(zhuǎn)。并且,通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置7 (參照?qǐng)D2)的運(yùn)轉(zhuǎn)而使停止在轉(zhuǎn)印開(kāi)始位置)(a的版載置臺(tái)4向轉(zhuǎn)印用行進(jìn)方向行進(jìn)。此時(shí),如后所述地進(jìn)行使接觸壓力保持一定的控制而設(shè)定橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)速度、及版載置臺(tái)4的行進(jìn)速度,以便令橡皮輥10以預(yù)先設(shè)定的既定壓力以按壓的方式與版3接觸從而令橡皮輥10的基于與版3的接觸部分發(fā)生變形時(shí)的橡皮輥10的變形部分的輥徑的周速與版載置臺(tái)4的行進(jìn)速度一致。而且,基于隨著使橡皮輥10與版3接觸而發(fā)生變形的部分的輥徑,在接下來(lái)的工序中進(jìn)行相位同步控制,使得令橡皮輥10與版載置臺(tái)4上所保持的版3接觸而開(kāi)始轉(zhuǎn)印時(shí)的以橡皮輥10與版3的接觸部位為起始點(diǎn)的橡皮輥10的圓周方向位置與版載置臺(tái)4的X軸方向位置一致。接著,如圖7C所示,在朝向轉(zhuǎn)印用行進(jìn)方向行進(jìn)的版載置臺(tái)4到達(dá)向橡皮輥10的正下方進(jìn)入了既定量的滾筒接觸位置Xl的時(shí)刻,控制器19利用圖5所示的橡皮輥10的高度控制的功能,向各升降用致動(dòng)器13發(fā)出高度控制用的驅(qū)動(dòng)指令Cl,使橡皮輥10下降到事先設(shè)定的接觸高度Hb,使橡皮輥10的外周面的下端部與版載置臺(tái)4上所保持的版3接觸。 另外,在利用上墨裝置17如后所述地對(duì)版載置臺(tái)4上所保持的版3進(jìn)行上墨時(shí),在版3的導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向一端附近的端邊部會(huì)形成墨團(tuán),所以以橡皮輥10不會(huì)接觸到此墨團(tuán)的方式來(lái)設(shè)定橡皮輥10相對(duì)于版3的接觸位置。如上所述,如果令橡皮輥10的周壁面與版載置臺(tái)4上的版3接觸,則利用轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9中與橡皮輥10的各升降用致動(dòng)器13直列設(shè)置的各壓力傳感器15來(lái)檢測(cè)出橡皮輥 10相對(duì)于版3的接觸壓力的壓力當(dāng)前值pi。由上述各壓力傳感器15所檢測(cè)到的配置于接觸高度Hb的橡皮輥10相對(duì)于版3 的接觸壓力的壓力當(dāng)前值Pl的檢測(cè)信號(hào)被輸入至控制器19。在控制器19中,將其功能從圖5所示的橡皮輥10的高度控制切換至圖6所示的接觸壓力一定控制,發(fā)出壓力控制用的驅(qū)動(dòng)指令C2給橡皮輥10的各升降用致動(dòng)器13。其結(jié)果,將壓力傳感器15所檢測(cè)到的橡皮輥10相對(duì)于版3的接觸壓力的壓力當(dāng)前值pi如圖8A所示地保持為以預(yù)先設(shè)定的既定的接觸壓力的目標(biāo)值P而固定不變。另外,此時(shí),能夠一邊將橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)速度與基于版載置臺(tái)4的行進(jìn)的版3的移動(dòng)速度維持為相互同步一邊令兩者減速,直到橡皮輥10相對(duì)于版3的接觸壓力成為穩(wěn)定的值。然后,如圖8B所示,在旋轉(zhuǎn)的橡皮輥10與行進(jìn)的版載置臺(tái)4上的版3接觸而進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間,控制器19控制各橡皮輥10的升降用致動(dòng)器13 (參照?qǐng)D6)使得由各壓力傳感器15所檢測(cè)出的橡皮輥10相對(duì)于版3的接觸壓力的壓力當(dāng)前值pi以既定的接觸壓力目標(biāo)值P保持一定。由此,在橡皮輥10中使與版3的接觸部分產(chǎn)生的變形量保持于某一定量。從橡皮輥10到版3的轉(zhuǎn)印完成后,如圖9A所示,如果版載置臺(tái)4到達(dá)設(shè)定于完全通過(guò)橡皮輥10的正下方之前的滾筒分離位置X2,則在橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)及版載置臺(tái)4的行進(jìn)仍繼續(xù)進(jìn)行的狀態(tài)下,控制器19利用圖5所示的橡皮輥的高度控制的功能而發(fā)出高度控制用的驅(qū)動(dòng)指令Cl給各升降用致動(dòng)器13,使橡皮輥10上升至退避高度Ha。另外,如上所述地,使橡皮輥10上升而使其與版3分離后,能夠解除橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)速度與版載置臺(tái)4 的行進(jìn)速度的同步控制。然后,如圖9B所示,當(dāng)版載置臺(tái)4行進(jìn)到轉(zhuǎn)印完成位置X3時(shí),控制器19使上升至退避高度Ha的橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)停止,恢復(fù)到與圖7A所示相同的初始狀態(tài)。在轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9中,以上述圖7A至9B所示的順序進(jìn)行從版3到橡皮輥10的墨的轉(zhuǎn)印(接收)后,進(jìn)行從橡皮輥10到作為印刷對(duì)象的基板5的墨的再轉(zhuǎn)印(印刷),此時(shí),取代保持著版3的版載置臺(tái)4而使用保持著作為印刷對(duì)象的基板5的基板載置臺(tái)6。然后,通過(guò)控制器19讓轉(zhuǎn)印動(dòng)作以與圖7A至9B所示相同的順序進(jìn)行,從而能夠進(jìn)行從橡皮輥10到基板5的墨的再轉(zhuǎn)印(印刷)。另外,通過(guò)控制器19的圖6所示的接觸壓力一定控制的功能,與圖8A,8B所示時(shí)一樣,使橡皮輥10以一定的接觸壓力與基板5接觸時(shí),如前所述,在壓力決定模塊30中, 與令橡皮輥10與版3接觸時(shí)的接觸壓力的壓力目標(biāo)值ρ分別地設(shè)定令橡皮輥10與基板5 接觸時(shí)的接觸壓力的壓力目標(biāo)值P。因此,使橡皮輥10以一定的接觸壓力與基板5接觸時(shí)的橡皮輥10的接觸部分的變形量未必與使橡皮輥10與版3接觸時(shí)的接觸部分的變形量一致。因此,進(jìn)行從橡皮輥10到基板5的墨的再轉(zhuǎn)印(印刷)時(shí),要預(yù)先測(cè)量由于對(duì)于版 3及基板5的接觸壓力的不同而產(chǎn)生的橡皮輥10的變形量的不同。然后,考慮由于該變形量的不同所導(dǎo)致的周速的變化,在圖7B到9A的期間,修正設(shè)定橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)速度、及基板載置臺(tái)6的行進(jìn)速度,使得在進(jìn)行接觸壓力一定控制而使橡皮輥10以預(yù)先設(shè)定的既定的接觸壓力與基板5接觸時(shí),橡皮輥10的基于與基板5的接觸部分產(chǎn)生的變形部分的輥徑的周速與基板載置臺(tái)6的行進(jìn)速度一致。由此,在橡皮輥10與基板載置臺(tái)6上所保持的基板 5接觸時(shí),與圖8A,8B所示時(shí)同樣地進(jìn)行接觸壓力一定控制。因此,即使作為印刷對(duì)象的各基板5的厚度尺寸有變化,也能夠使橡皮輥10與各基板5接觸時(shí)的壓力均一。因而,橡皮輥10與各基板5接觸時(shí)的接觸部分的變形量每次都相同。因此,能夠提高從橡皮輥10再轉(zhuǎn)印到各基板5的印刷圖案的再現(xiàn)性,因而,即使印刷到各基板5的印刷圖案為如精細(xì)的電極圖案這樣的具有細(xì)線的印刷圖案時(shí),也能夠以均一的粗細(xì)以及高再現(xiàn)性來(lái)印刷出細(xì)線。但是,由于橡皮輥10的制作精度等原因,其軸心與兩端部的旋轉(zhuǎn)軸23的軸心未必完全一致,此時(shí),橡皮輥10有時(shí)會(huì)因?yàn)樯鲜銎亩鴪A周位置根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度而不均一??刂破?9將橡皮輥10相對(duì)于版3或基板5的接觸壓力控制成一定,所以即使橡皮輥10如上所述地發(fā)生了偏心,也能夠使橡皮輥10相對(duì)于版3或基板5的接觸部分的變形量都很均一。 然而,即使進(jìn)行上述接觸壓力一定控制,仍不能防止因?yàn)槠亩鶕?jù)橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)角度而周速變化的情況。另一方面,橡皮輥10的周速是將旋轉(zhuǎn)角度乘以從軸心到版3或基板5 的距離即旋轉(zhuǎn)半徑而得到的。因此,橡皮輥10發(fā)生偏心時(shí),預(yù)先在將厚度已知的未圖示的檢查用基板保持在基板載置臺(tái)6上的狀態(tài)下,一邊進(jìn)行基于來(lái)自版3的轉(zhuǎn)印時(shí)的接觸壓力以及到基板5的再轉(zhuǎn)印時(shí)的接觸壓力的接觸壓力一定控制,一邊使橡皮輥10旋轉(zhuǎn)而與上述檢查用基板接觸,并將此時(shí)作為高度傳感器的線性尺14所檢測(cè)到的橡皮輥10的高度的變化與橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)角度變化一起進(jìn)行存儲(chǔ)。然后,求出存儲(chǔ)的橡皮輥10的高度與已知的上述檢查用基板的高度的差,能夠從橡皮輥10在某一旋轉(zhuǎn)角度時(shí)的自版3的轉(zhuǎn)印時(shí)的接觸壓力以及向基板5的再轉(zhuǎn)印時(shí)的接觸壓力,得到各情況下的接觸部分的旋轉(zhuǎn)半徑。因而,針對(duì)存在偏心的橡皮輥10,制成對(duì)于每個(gè)橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)角度而存儲(chǔ)其旋轉(zhuǎn)半徑的修正用的數(shù)據(jù)平臺(tái),并根據(jù)此數(shù)據(jù)平臺(tái)對(duì)橡皮輥10的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11發(fā)出指令,進(jìn)行使驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11的旋轉(zhuǎn)速度對(duì)應(yīng)于橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)角度而適當(dāng)變化的修正,從而能夠使橡皮輥10的周速保持一定?;蛘?,也能夠使驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11的旋轉(zhuǎn)速度保持一定,且對(duì)應(yīng)于存在偏心的橡皮輥10 的周速的變化而對(duì)版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6的行進(jìn)速度進(jìn)行修正,從而使橡皮輥10的周速與版載置臺(tái)4上的版3或基板載置臺(tái)6上的基板5的移動(dòng)速度同步。另外,也能夠通過(guò)定期地測(cè)量更新偏心的橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)半徑數(shù)據(jù),而應(yīng)對(duì)橡皮輥10的磨耗等的隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)而產(chǎn)生的變化。上墨裝置17如圖1、10A至IOC及IlAUlB所示,在比沿著導(dǎo)軌2而移動(dòng)的版載置臺(tái)4的上表面略靠上方的退避高度,從導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向一端側(cè)起依次具有墨返回刮板 33、墨壓入刮板34、及墨刮取刮板35。各刮板33、34、35都具有能夠使其下端部下降到與版載置臺(tái)4上所保持的版3相接的位置的未圖標(biāo)的致動(dòng)器。墨返回刮板33以其下端側(cè)位于比上端側(cè)更靠導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向一端側(cè)附近的位置的方式傾斜。此外,墨壓入刮板34及墨刮取刮板35都是以其下端側(cè)位于比上端側(cè)更靠導(dǎo)軌2 的長(zhǎng)度方向另一端側(cè)附近的位置的方式傾斜。而且,墨壓入刮板34相對(duì)于水平面的傾斜角度比墨刮取刮板35小。由此,即使在使用導(dǎo)電膏這樣的粘性大的墨來(lái)做為墨時(shí),也能夠利用相對(duì)于水平面的傾斜角度比較小的墨壓入刮板34來(lái)提高向版3的墨的充填性。此外,利用墨壓入刮板34暫時(shí)向版3強(qiáng)制地壓入,結(jié)果墨壓入刮板34通過(guò)后從版3凸起的墨的多余部分利用相對(duì)于水平面的傾斜角度較大而提高刮取性能的墨刮取刮板35而被刮取,因此能夠?qū)⑦m當(dāng)量的墨上墨到版3。在通過(guò)上墨裝置17進(jìn)行對(duì)版的上墨時(shí),如圖IOA所示, 在配置于臺(tái)座1的版載置臺(tái)待機(jī)區(qū)16的版載置臺(tái)4的上面部上安裝版3,且讓所需量的墨團(tuán)36、例如由導(dǎo)電性膏這樣的墨作為墨團(tuán)36而載置在版3的表面的導(dǎo)軌2的另一端側(cè)的端部。在該狀態(tài)下,如圖IOA中的雙點(diǎn)劃線所示,使版載置臺(tái)4沿著導(dǎo)軌2向?qū)к?的長(zhǎng)度方向另一端側(cè)移動(dòng),并通過(guò)上墨裝置17而向轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9側(cè)移動(dòng)。此時(shí),首先使墨壓入刮板 34在版3中的導(dǎo)軌2的另一端側(cè)的端部快要到達(dá)其正下方之前下降至與版3接觸的位置, 接著如圖IOB所示,使墨刮取刮板35在版3中的導(dǎo)軌2的另一端側(cè)的端部快要到達(dá)其正下方之前下降至與版3接觸的位置。結(jié)果,如圖IOC所示,借助伴隨著版載置臺(tái)4的向?qū)к?2的長(zhǎng)度方向另一端側(cè)的移動(dòng)而相對(duì)地在版3的表面上滑動(dòng)的墨壓入刮板34,將載置在版 3的表面上的導(dǎo)軌2的另一端側(cè)的端部上的墨團(tuán)36的墨壓入于版3。然后,通過(guò)與墨壓入刮板34同樣地相對(duì)地在版3的表面上滑動(dòng)的墨刮取刮板35刮取壓入于版3的墨的多余部分,從而進(jìn)行對(duì)板3的上墨。上過(guò)墨的版3通過(guò)版載置臺(tái)4的移動(dòng)而被向轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9側(cè)輸送。另外,墨壓入刮板34及墨刮取刮板35在版3中的導(dǎo)軌2的一端側(cè)的端部快要通過(guò)其正下方之前離開(kāi)版3而上升到退避位置。其結(jié)果,能夠使相對(duì)于版3滑動(dòng)的墨壓入刮板34及墨刮取刮板35的形成在導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向一端側(cè)的墨團(tuán)36如圖IlA所示集中在通過(guò)了上墨裝置17后的版3的表面的導(dǎo)軌2的一端側(cè)的端部。進(jìn)而在該狀態(tài)下將保持著為載置有墨團(tuán)36的狀態(tài)的版3的版載置臺(tái)4輸送至轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9,從而能夠進(jìn)行從版3到橡皮輥10的墨的轉(zhuǎn)印。然后,使保持著進(jìn)行了對(duì)于橡皮輥10的墨的轉(zhuǎn)印后的版3的版載置臺(tái)4從轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9側(cè)向?qū)к?的長(zhǎng)度方向一端側(cè)移動(dòng)而通過(guò)上墨裝置17回到版載置臺(tái)待機(jī)區(qū)16。此時(shí),如圖IlB所示,使配置于上述退避位置的墨返回刮板33下降到與伴隨著版載置臺(tái)4的移動(dòng)而向?qū)к?的長(zhǎng)度方向一端側(cè)移動(dòng)的版3的表面相接的位置,相對(duì)地從版3的表面的導(dǎo)軌2的一端側(cè)的端部滑動(dòng)到導(dǎo)軌2的另一端側(cè)的端部。其結(jié)果,能夠令借助墨壓入刮板 34及墨刮取刮板35而聚集于版3的表面的導(dǎo)軌2 —端側(cè)的端部的墨團(tuán)36回到版3的表面的導(dǎo)軌2的另一端側(cè)的端部,成為與圖IOA所示同樣的初始狀態(tài)。另外,在圖1所示的膠印印刷裝置中,版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6在其上部分別具有能夠進(jìn)行沿導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向(X軸方向)及與導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向正交的方向(Y軸方向) 的水平移動(dòng)、以及相對(duì)于導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向的偏轉(zhuǎn)角度(θ )的旋轉(zhuǎn)的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)如及6&而且,能夠?qū)?及作為印刷對(duì)象的基板5分別安裝在各對(duì)準(zhǔn)臺(tái)如及6a的上面部。此外,在臺(tái)座1的長(zhǎng)度方向的不會(huì)與轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9、版載置臺(tái)待機(jī)區(qū)16、上墨裝置 17及基板設(shè)置區(qū)18干涉的所需部位,例如轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9與基板設(shè)置區(qū)18之間的部位,設(shè)有對(duì)準(zhǔn)區(qū)37。因此,能夠在對(duì)準(zhǔn)區(qū)37中對(duì)于版載置臺(tái)4的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)如上所保持的版3、及基板載置臺(tái)6的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)6a上所保持的基板5,利用公共的對(duì)準(zhǔn)傳感器38對(duì)相對(duì)于分別對(duì)應(yīng)的載置臺(tái)4、6的相對(duì)位置進(jìn)行傳感器反饋對(duì)準(zhǔn)修正。
具體而言,在對(duì)準(zhǔn)區(qū)37設(shè)有能夠供版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6通過(guò)其下方的支承臺(tái)座39。另外,在支承臺(tái)座39的與版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6的對(duì)角對(duì)應(yīng)的兩個(gè)部位或與四個(gè)角部對(duì)應(yīng)的四個(gè)部位,分別朝向下方地設(shè)有作為對(duì)準(zhǔn)傳感器38的精密攝影機(jī)38。在針對(duì)版載置臺(tái)4上所保持的版3獲取初始對(duì)準(zhǔn)時(shí),預(yù)先在使用的版3的對(duì)角或四個(gè)角部標(biāo)示未圖標(biāo)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。接著,使在版載置臺(tái)待機(jī)機(jī)區(qū)16安裝有版3的版載置臺(tái) 4向?qū)?zhǔn)區(qū)37移動(dòng),并使其在對(duì)準(zhǔn)區(qū)37中預(yù)先設(shè)定的既定的對(duì)準(zhǔn)位置處停止。然后,在該狀態(tài)下,通過(guò)支承臺(tái)座39上的各精密攝影機(jī)38來(lái)檢測(cè)版3的對(duì)角或四個(gè)角部的未圖標(biāo)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,然后進(jìn)行基于版載置臺(tái)4的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)如的在X-Y方向的水平移動(dòng)以及旋轉(zhuǎn)的位置修正,從而使各對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記成為既定的配置,從而能夠使版3相對(duì)于版載置臺(tái)4的相對(duì)位置總是為相同的配置。在對(duì)基板載置臺(tái)6上所保持的基板5獲取初始對(duì)準(zhǔn)時(shí),預(yù)先在使用的基板5的對(duì)角或四個(gè)角部標(biāo)示未圖標(biāo)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。接著,使在基板設(shè)置區(qū)18安裝有新的作為印刷對(duì)象的基板5的基板載置臺(tái)6向?qū)?zhǔn)區(qū)37移動(dòng),并使其在上述既定的對(duì)準(zhǔn)位置處停止。然后, 在該狀態(tài)下,通過(guò)支承臺(tái)座39上的各精密攝影機(jī)38來(lái)檢測(cè)基板5的對(duì)角或四個(gè)角部的未圖標(biāo)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,然后進(jìn)行基于基板載置臺(tái)6的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)6a的在X-Y方向的水平移動(dòng)以及旋轉(zhuǎn)的位置修正而使各對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記成為既定的配置,從而能夠使基板5相對(duì)于基板載置臺(tái)6的相對(duì)位置總是為相同的配置。因此,相對(duì)于在對(duì)準(zhǔn)區(qū)37取得了初始對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)時(shí)的版載置臺(tái)4上的版3的位置,能夠使在對(duì)準(zhǔn)區(qū)37取得了初始對(duì)準(zhǔn)的基板載置臺(tái)6上的基板5的相對(duì)的配置總是為相同的配置。另外,在對(duì)于基板載置臺(tái)6上所保持的作為印刷對(duì)象的基板5進(jìn)行重疊印刷時(shí),對(duì)于作為印刷對(duì)象的各基板5的第一層印刷圖案的配置并不特別要求嚴(yán)密的再現(xiàn)性、且防止印刷圖案的重疊錯(cuò)位較為重要,此時(shí),也能夠取代預(yù)先在基板5的對(duì)角或四個(gè)角部標(biāo)示對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,而在對(duì)基板5進(jìn)行第一次的印刷時(shí)通過(guò)印刷來(lái)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的標(biāo)示。因此,在此情況下,對(duì)于基板載置臺(tái)6上所保持的基板5進(jìn)行第一次的印刷之前,并不所需針對(duì)基板5進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。另外,如圖4中的雙點(diǎn)劃線所示,能夠在控制器19中設(shè)置刮板升降控制部19d來(lái)進(jìn)行基于上墨裝置17中的未圖標(biāo)的致動(dòng)器的各刮板33、34、35 (參照?qǐng)D1、圖IOA至IOC及圖11AU1B)的升降控制,并且在控制器19中設(shè)置對(duì)準(zhǔn)臺(tái)控制部19e,來(lái)進(jìn)行基于對(duì)準(zhǔn)區(qū)37 中的精密攝影機(jī)38的版3或基板5的未圖標(biāo)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的檢測(cè)(參照?qǐng)D1)、以及基于根據(jù)檢測(cè)到的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的版載置臺(tái)4的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)如的控制的版3的位置修正、或者基于基板載置臺(tái)6的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)6a的控制的基板5的位置修正。在此情況下,刮板控制部19d及對(duì)準(zhǔn)臺(tái)控制部19e能夠與載置臺(tái)行進(jìn)控制部19a同步地進(jìn)行控制。另外,通過(guò)分別在版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6上設(shè)置對(duì)準(zhǔn)臺(tái)^、6a,在橡皮輥10存在偏心的情況下,也能夠取代如前所述的對(duì)橡皮輥10的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行修正、 或是對(duì)版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6的行進(jìn)速度進(jìn)行修正,而是取得橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)角度與版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6的行進(jìn)位置的同步,并利用版載置臺(tái)4的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)如或基板載置臺(tái)6的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)6a的在X方向的動(dòng)作來(lái)補(bǔ)償因偏心而產(chǎn)生的橡皮輥10的圓周方向位置與版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6的行進(jìn)位置的偏差。
根據(jù)具有以上構(gòu)成的本發(fā)明的膠印印刷裝置,能夠?qū)⒗棉D(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9使橡皮輥 10與版3接觸而進(jìn)行墨的轉(zhuǎn)印時(shí)的接觸壓力保持一定。因此,即使為了進(jìn)行重疊印刷而使用不同的版3時(shí)、或更換版3時(shí),也能夠令橡皮輥10與版3接觸時(shí)的變形量均一,因而能夠令從版3向橡皮輥10轉(zhuǎn)印墨時(shí)的墨的附著情況每次都均一。另外,能夠?qū)⒗棉D(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9使橡皮輥10與作為印刷對(duì)象的基板5接觸而進(jìn)行墨的再轉(zhuǎn)印時(shí)的壓力控制為對(duì)于各基板5都均一。因此,能夠使橡皮輥10與基板5接觸時(shí)的接觸部分的變形量每次都相同,因而,能夠令從橡皮輥10將墨再轉(zhuǎn)印到基板5時(shí)的墨的附著情況每次都均一。因此,即使是印刷圖案為精細(xì)的電極圖案這樣的以細(xì)線形成電極時(shí),也能夠事先防止在各基板5上印刷成細(xì)線的電極的粗細(xì)的變化,因而,能以均一的粗細(xì)將電極印刷至各基板5。而且,即使在作為印刷對(duì)象的基板5的厚度尺寸存在偏差的情況下,也能夠令與各基板5接觸的橡皮輥10的接觸部分的變形量均一。因此,能夠防止從橡皮輥10將墨再轉(zhuǎn)印到各基板5時(shí)的橡皮輥10的周速的偏差,能夠事先使橡皮輥10的周速與基板載置臺(tái)6 上所保持的基板5的移動(dòng)速度同步。因而,能夠防止產(chǎn)生于各基板5的印刷精度及再現(xiàn)性的偏差。同樣地,即使用來(lái)進(jìn)行重疊印刷的各版3的厚度尺寸上存在偏差,或是在更換版3 時(shí)更換前的版3與更換后的版3的厚度尺寸存在偏差,也能夠令與各版3接觸的橡皮輥10 的接觸部分的變形量均一。因此,能夠事先防止從這些版3將墨轉(zhuǎn)印到橡皮輥10時(shí)的橡皮輥10的周速的偏差,能夠使橡皮輥10的周速與版載置臺(tái)4上所保持的版3的移動(dòng)速度同步。因而,能夠正確且高再現(xiàn)性地對(duì)基板5印刷如電極圖案這樣的精細(xì)的印刷圖案,而且即使在對(duì)基板5進(jìn)行如電極圖案這樣的精細(xì)的印刷圖案的重疊印刷時(shí),也能夠抑制重疊錯(cuò)位,能夠形成為有利于將重疊錯(cuò)位抑制為微米等級(jí)的構(gòu)成。進(jìn)而,由于能夠在公共的對(duì)準(zhǔn)區(qū)37實(shí)現(xiàn)使版載置臺(tái)4上所保持的版3相對(duì)于版載置臺(tái)4的相對(duì)位置、以及使基板載置臺(tái)6上所保持的基板5相對(duì)于基板載置臺(tái)6的相對(duì)位置一致的對(duì)準(zhǔn),因此能夠使沿著相同的導(dǎo)軌2行進(jìn)的版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6所分別保持的版3及基板5沿著導(dǎo)軌2以相同的角度配置、以相同的軌跡移動(dòng)。因此,能夠更加提高將形成于版3的印刷圖案印刷到基板5時(shí)的再現(xiàn)性。接著,圖12及13是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的圖。在這些實(shí)施方式中,在與圖 1至IlB所示的相同的構(gòu)成中,控制器19除了具備如圖5所示的控制框圖的橡皮輥10的輥高度控制的功能、以及如圖6所示的控制框圖的橡皮輥10的接觸壓力一定控制的功能外, 還具有如圖12所示的控制框圖那樣的輥高度保持控制的功能,其用來(lái)保持基于接觸壓力一定控制的功能而令橡皮輥10相對(duì)于版3或基板5的接觸壓力一定的控制結(jié)束時(shí)的高度。具體而言,基于控制器19的輥高度保持中,如圖12所示,將在基于上述圖6所示的接觸壓力一定控制的功能而使橡皮輥10相對(duì)于版3或基板5的接觸壓力一定的控制結(jié)束的時(shí)刻由轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的高度傳感器14所檢測(cè)到的橡皮輥10的高度、即既定接觸壓力高度He,設(shè)為輥高度保持目標(biāo)值h0。然后,將輥高度保持目標(biāo)值h0、及在上述接觸壓力一定控制結(jié)束后基于從高度傳感器14輸入的檢測(cè)信號(hào)的橡皮輥10的高度當(dāng)前值hi輸入至減法器40,求出高度當(dāng)前值hi相對(duì)于輥高度保持目標(biāo)值h0的高度偏差Δ h。然后,為了使此高度偏差Δ h變?yōu)?而進(jìn)行基于PID控制等的反饋控制理論的反饋處理41而求出驅(qū)動(dòng)指令C3,將該驅(qū)動(dòng)指令C3發(fā)給橡皮輥10的升降用致動(dòng)器13。從而能夠在進(jìn)行上述接觸壓力一定控制而使橡皮輥10以既定的接觸壓力與版3或基板5暫時(shí)接觸后,將橡皮輥10的高度保持一定。因而,能夠令橡皮輥10以上述既定的接觸壓力與版3或基板5接觸的時(shí)刻的接觸部分的變形量保持一定,從而能夠防止由于輥徑的變化所導(dǎo)致的周速的變化。另外,本實(shí)施方式中的控制器19中,如圖12所示,為了在橡皮輥10因?yàn)橹谱骶鹊仍蚨嬖谄臅r(shí)也能夠在上述接觸壓力一定控制結(jié)束的時(shí)刻令橡皮輥10以既定的接觸壓力與版3或基板5接觸時(shí)的接觸部分的變形量保持一定,具有以下的構(gòu)成。即,基于安裝于橡皮輥10的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11的編碼器12的檢測(cè)信號(hào)r,進(jìn)行基于預(yù)先測(cè)量橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)角度與圓周位置的不均一性而求出的修正數(shù)據(jù)平臺(tái)的數(shù)據(jù)平臺(tái)函數(shù)處理42,由此求出對(duì)應(yīng)于橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)角度的圓周位置的偏心修正值rl。另外,利用另外的減法器43,在借助偏心修正值rl預(yù)先對(duì)上述接觸壓力一定控制結(jié)束的時(shí)刻的輥高度保持目標(biāo)值h0進(jìn)行修正后,求出高度當(dāng)前值hi相對(duì)于該修正后的輥高度保持目標(biāo)值h0'的高度偏差A(yù)h。然后,進(jìn)行用來(lái)使此高度偏差Δ h變?yōu)?的反饋處理41而求出驅(qū)動(dòng)指令C3。使用具有圖12所示的輥高度保持控制功能的控制器19時(shí)的轉(zhuǎn)印動(dòng)作順序如以下所述。首先,利用圖5所示的控制器19的輥高度控制的功能,對(duì)橡皮輥10及版載置臺(tái)4進(jìn)行與圖7A至7C所示同樣的動(dòng)作,使橡皮輥10從退避高度Ha下降到接觸高度Hb,使橡皮輥 10的周壁面與版載置臺(tái)4上的版3接觸。然后,通過(guò)圖6所示的接觸壓力一定控制的功能, 與圖8A所示同樣地使壓力傳感器15所檢測(cè)到的橡皮輥10相對(duì)于版3的接觸壓力的壓力當(dāng)前值Pl與預(yù)先設(shè)定的既定的接觸壓力的壓力目標(biāo)值P—致。然后,將控制器19的功能切換到圖13所示的、將在進(jìn)行了上述壓力一定控制的時(shí)刻由高度傳感器14所檢測(cè)到的橡皮輥10的高度設(shè)為輥高度保持目標(biāo)值h0的圖12所示的輥高度控制的功能。然后,在旋轉(zhuǎn)的橡皮輥10與行進(jìn)的版載置臺(tái)4上的版3接觸而進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間,控制各橡皮輥10的各升降用致動(dòng)器13 (參照?qǐng)D12),使得由高度傳感器14檢測(cè)到的橡皮輥10的高度保持為輥高度保持目標(biāo)值h0。由此,將橡皮輥10中與版3的接觸部分所發(fā)生的變形量保持為一定量。從橡皮輥10到版3的墨的轉(zhuǎn)印完成后,能夠與圖9A,9B所示同樣地使轉(zhuǎn)印動(dòng)作結(jié)束ο此外,從橡皮輥10到基板5的墨的再轉(zhuǎn)印能夠取代保持著版3的版載置臺(tái)4而對(duì)于保持著基板5的基板載置臺(tái)6進(jìn)行與上述同樣的轉(zhuǎn)印動(dòng)作來(lái)進(jìn)行。因而,根據(jù)本實(shí)施方式,與上述實(shí)施方式同樣,能夠使橡皮輥10與版3接觸時(shí)的接觸壓力均一。因而,即使在為了進(jìn)行重疊印刷而使用不同的版3時(shí)或是更換版3時(shí),也能夠使橡皮輥10與版3接觸時(shí)的變形量保持均一。并且,由于能夠使橡皮輥10與基板5接觸時(shí)的接觸壓力均一,所以能夠使橡皮輥10與各基板5接觸時(shí)的接觸部分的變形量每次都相同。因此,即使是印刷圖案如精細(xì)的電極圖案這樣地以細(xì)線形成電極時(shí),也能夠事先防止在各基板5上作為細(xì)線而被印刷的電極的粗細(xì)的變化。因而,能以均一的粗細(xì)將電極印刷至各基板5,并且能夠正確且高再現(xiàn)性地對(duì)各基板5印刷如電極圖案這樣的精細(xì)的印刷圖案。因而,在本實(shí)施方式中,也能夠得到與上述實(shí)施方式一樣的效果。本發(fā)明并非只限定于上述實(shí)施方式。能夠例如令橡皮輥10的升降用致動(dòng)器13為滾珠絲杠機(jī)構(gòu),使橡皮輥10的高度傳感器14為配備于上述滾珠絲杠機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(伺服馬達(dá))的編碼器等,能夠適當(dāng)?shù)刈兏鹌ぽ?0的升降用致動(dòng)器13及高度傳感器14的配置及形式。此外,只要能檢測(cè)出借助升降用致動(dòng)器13使橡皮輥10壓接于版3或作為印刷對(duì)象的基板5時(shí)的壓力,也能夠適當(dāng)?shù)刈兏鼔毫鞲衅?5的配置及形式。在上述各實(shí)施方式中,示出了利用設(shè)于與橡皮輥10的軸心方向的兩端部對(duì)應(yīng)的部位的兩個(gè)升降用致動(dòng)器13來(lái)對(duì)橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)軸部分施加使其與版3或基板5接觸的力的情況,但對(duì)于橡皮輥10施加向下的力的部位能夠變更為任意的部位,只要是橡皮輥10 上未安裝有橡皮布(未圖示)的部分即可。能夠形成為例如將圓筒形狀的軸心方向的兩端部分向下壓的構(gòu)成、或是將橡皮輥10上的橡皮布(未圖示)的安裝面積設(shè)為輥半周量以下的區(qū)域而對(duì)未安裝橡皮布的圓筒面的任意的部分施加向下的壓力的構(gòu)成。另外,也能夠?qū)?duì)橡皮輥10向下施力的部位設(shè)為三個(gè)以上從而提高作用于橡皮輥10的壓力的軸心方向的分布的均一性。也能夠根據(jù)從版3到橡皮輥10的墨的轉(zhuǎn)印特性、及從橡皮輥10到作為印刷對(duì)象的基板5的墨的轉(zhuǎn)印特性而將橡皮輥10與版3及基板5的接觸壓力設(shè)為相同。在上述各實(shí)施方式中,說(shuō)明了利用轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9進(jìn)行轉(zhuǎn)印動(dòng)作時(shí)以版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6的導(dǎo)軌2長(zhǎng)度方向的另一端附近的端部(圖中的右端部)為基準(zhǔn)而決定載置臺(tái)位置的情況,但是用于決定各載置臺(tái)4、6的載置臺(tái)位置的基準(zhǔn)能夠設(shè)定在各載置臺(tái)4、6的任意的部位。上墨裝置17只要是設(shè)計(jì)成能適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行向版載置臺(tái)4所保持的版3的上墨即可, 能夠使用IOA至圖IOC及圖1A、11B所示以外的任意形式的上墨裝置17。從自動(dòng)地實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)的觀點(diǎn)來(lái)說(shuō)期望設(shè)置對(duì)準(zhǔn)區(qū)37,但如果能夠利用別的機(jī)構(gòu)來(lái)獲得版載置臺(tái)4上所保持的版3及基板載置臺(tái)6上所保持的基板5的對(duì)準(zhǔn),則也能夠省略對(duì)準(zhǔn)區(qū)37。以下,參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的另一實(shí)施方式。圖14至24C表示本發(fā)明的膠印印刷方法及裝置的另一實(shí)施方式,具有以下的構(gòu)成。另外,以下的記載中,對(duì)于具有與在上述圖1至13中說(shuō)明過(guò)的部件同樣的構(gòu)成的部件, 標(biāo)注與在上述圖1至13中說(shuō)明過(guò)的部件相同的符號(hào)而省咯其說(shuō)明。在本實(shí)施方式中,在利用轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9分別進(jìn)行從版載置臺(tái)4上所保持的版3向橡皮輥10的轉(zhuǎn)印(接收)處理、及從橡皮輥10向基板載置臺(tái)6上所保持的基板5的再轉(zhuǎn)印 (印刷)處理時(shí),在令各載置臺(tái)4、6沿著由旋轉(zhuǎn)用驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)(旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng))的橡皮輥10的周壁面的下端部的移動(dòng)方向而行進(jìn)時(shí)的行進(jìn)方向(圖中以箭頭a表示,以下簡(jiǎn)稱為轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向)的朝向上游側(cè)而離開(kāi)橡皮輥10所需距離的位置的所需高度處,朝向下方地設(shè)有距離測(cè)定傳感器116。利用此距離測(cè)定傳感器116能夠測(cè)量直到通過(guò)其下方的版載置臺(tái)4上所保持的版3、或基板載置臺(tái)6上所保持的基板5的表面的距離。進(jìn)而,在本實(shí)施方式中,控制器19根據(jù)從線性尺8輸入的版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6的導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向(X軸方向)上的位置的檢測(cè)信號(hào)、從轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的編碼器12及高度傳感器14及壓力傳感器15輸入的信號(hào)、以及從距離測(cè)定傳感器116輸入的信號(hào),向版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6的各自的驅(qū)動(dòng)裝置7、以及轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的橡皮輥10的驅(qū)動(dòng)馬達(dá) 11及升降用致動(dòng)器13發(fā)出指令。
另外,通過(guò)利用高度傳感器14檢測(cè)輥殼體M的上下方向位置,能夠間接地進(jìn)行保持于輥殼體M的橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心的以臺(tái)座1的上表面為基準(zhǔn)的高度(以下,稱為輥高度)Zr的檢測(cè)。由此,能夠在利用各升降用致動(dòng)器13的同步的動(dòng)作使橡皮輥10與輥殼體 24 一體地沿著線性導(dǎo)件沈上升而將橡皮輥10配置成由高度傳感器14所檢測(cè)到的輥高度 Zr與既定的退避高度Ha —致的狀態(tài)下,使保持著版3的版載置臺(tái)4及保持著基板5的基板載置臺(tái)6不會(huì)與橡皮輥10干涉而沿著導(dǎo)軌2通過(guò)橡皮輥10的下方。當(dāng)版載置臺(tái)4上所保持的版3或基板載置臺(tái)6上所保持的基板5配置于橡皮輥10 的正下方時(shí),能夠通過(guò)各升降用致動(dòng)器13的同步的動(dòng)作與輥殼體M —體地使橡皮輥10下降到下述位置由高度傳感器14檢測(cè)到的橡皮輥10的輥高度ττ比橡皮輥10的周壁面的下端部與版載置臺(tái)4上的版3或基板載置臺(tái)6上的基板5的表面相接時(shí)的輥旋轉(zhuǎn)中心的高度還要低與作為目標(biāo)的輥按壓量(作為目標(biāo)的橡皮輥10的表面部的壓潰量)dm相當(dāng)?shù)某叽缌?。即,如圖18所示,使橡皮輥10按壓于各載置臺(tái)4、6上的版3或基板5而能夠產(chǎn)生下述印壓,所述印壓與用來(lái)令橡皮輥10的周壁的表面部變形到目標(biāo)輥按壓量dm所需的壓力對(duì)應(yīng)。進(jìn)而,此時(shí),通過(guò)與各升降用致動(dòng)器13直列設(shè)置的各壓力傳感器15能夠測(cè)量橡皮輥10 對(duì)于版載置臺(tái)4上的版3或基板載置臺(tái)6上的基板5的上述印壓而作為各升降用致動(dòng)器13 與輥殼體M —體地對(duì)橡皮輥10向下方施力的力的反作用力。距離測(cè)定傳感器116朝向下方地配置在轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9中從橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心向轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a的上游側(cè)離開(kāi)所需距離dx的部位、且為版載置臺(tái)4上所保持的版3或基板載置臺(tái)6上所保持的基板5的寬度方向兩端部附近的部位的正上方的所需高度的兩個(gè)部位。各距離測(cè)定傳感器116經(jīng)由所需的固定部,例如在轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的框架20的位于轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a的上游側(cè)的兩根支柱部件21、橫向延伸的安裝部件125而固定。由此,各距離測(cè)定傳感器116的以臺(tái)座1的上表面為基準(zhǔn)的傳感器高度ZO為已知的固定值。此外,利用各距離測(cè)定傳感器116,在轉(zhuǎn)印時(shí)沿著載置臺(tái)行進(jìn)方向a行進(jìn)的保持著版 3的版載置臺(tái)4或保持著基板5的基板載置臺(tái)6進(jìn)入橡皮輥10的正下方之前的階段,能夠測(cè)量出從各距離測(cè)定傳感器116到位于其正下方的版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6上所保持的版3或基板5的表面的上下方向的距離ds??刂破?9如圖19所示的控制構(gòu)成那樣,具有載置臺(tái)行進(jìn)控制部19a、輥位置控制部11%、及輥旋轉(zhuǎn)控制部19c。載置臺(tái)行進(jìn)控制部19a基于從設(shè)于臺(tái)座1上的線性尺8輸入的版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6的各自的載置臺(tái)位置檢測(cè)信號(hào)Sl而向版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6的各自的驅(qū)動(dòng)裝置7發(fā)出指令,從而控制各載置臺(tái)4、6的位置、移動(dòng)方向(行進(jìn)方向)及移動(dòng)速度(行進(jìn)速度)。輥位置控制部11%基于從轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9中的各高度傳感器14 輸入的橡皮輥10的輥高度ττ的檢測(cè)信號(hào)、以及從各距離測(cè)定傳感器116輸入的從各距離測(cè)定傳感器116到位于其正下方的版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6上保持的版3或基板5的距離ds的檢測(cè)信號(hào),向橡皮輥10的各升降用致動(dòng)器13發(fā)出指令,從而控制橡皮輥10的輥高度Zr。輥旋轉(zhuǎn)控制部19c基于從安裝于橡皮輥10的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11的編碼器12輸入的橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)速度及旋轉(zhuǎn)角度的檢測(cè)信號(hào),向橡皮輥10的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11發(fā)出指令,從而控制橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)速度及旋轉(zhuǎn)角度。此外,能夠與載置臺(tái)行進(jìn)控制部19a同步地控制輥位置控制部119b及輥旋轉(zhuǎn)控制部19c。在此,對(duì)于利用控制器19來(lái)進(jìn)行橡皮輥10的高度控制所需的輥高度ττ相關(guān)的控
23制目標(biāo)值的導(dǎo)出方法進(jìn)行說(shuō)明。如果從各距離測(cè)定傳感器116到位于其正下方的版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6上所保持的版3或基板5的表面的上下方向的距離ds的檢測(cè)信號(hào)從各距離測(cè)定傳感器116輸入到控制器19,則在控制器19中,從作為已知的固定值的以臺(tái)座1的上表面為基準(zhǔn)的各距離測(cè)定傳感器116的傳感器高度ZO減掉距離ds從而算出在該時(shí)刻的版3或基板5中的位于各距離測(cè)定傳感器116的正下方的部分的以臺(tái)座1的上表面為基準(zhǔn)的表面高度h (Zs=ZO-ds) ο但是,各距離測(cè)定傳感器116設(shè)置在相對(duì)于橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心向轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a的上游側(cè)沿水平方向分離距離dx的位置。因此,對(duì)于基于來(lái)自各距離測(cè)定傳感器116的信號(hào)而算出了以臺(tái)座1的上表面為基準(zhǔn)的表面高度^的版3或基板5的部分、即位于各距離測(cè)定傳感器16的正下方的部分,對(duì)于其到達(dá)橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心的正下方位置,在各載置臺(tái)4、6的向轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a的行進(jìn)速度為ν時(shí),會(huì)產(chǎn)生dx/v的時(shí)間延遲。因此,在控制器19中,如果以既定的測(cè)量周期而如上所述地基于從各距離測(cè)定傳感器116輸入的距離ds的測(cè)量信號(hào)而算出版3或基板5的在該時(shí)刻位于各距離測(cè)定傳感器116的正下方的部分的以臺(tái)座1的上表面為基準(zhǔn)的表面高度^,則將該值與距橡皮輥 10的旋轉(zhuǎn)中心的水平方向距離(χ)相關(guān)連而依次存儲(chǔ)于如圖20所示的表面高度暫時(shí)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)平臺(tái)。此時(shí),在以上述測(cè)量周期剛測(cè)量后被新存儲(chǔ)的版3或基板5的表面高度^的測(cè)量值的值,如圖20的數(shù)據(jù)平臺(tái)中的最下行所示,作為上述距橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心的水平方向距離(χ)的最大值,與對(duì)應(yīng)于橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心和各距離測(cè)定傳感器116的水平方向距離dx的值(例如,在圖20時(shí)為20mm)相關(guān)連而被存儲(chǔ)。然后,以上述既定的測(cè)量周期進(jìn)行了版3或基板5的表面高度^的算出的部位會(huì)隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)而向轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a移動(dòng)。因此,在控制器19中,在每一個(gè)如后述的為了進(jìn)行橡皮輥10的輥高度ττ的控制所需的控制周期中,將圖20的數(shù)據(jù)平臺(tái)右列的(χ) 的值減去(控制周期)X (各載置臺(tái)4、6行進(jìn)速度ν)的值,從而依次更新圖20的數(shù)據(jù)平臺(tái)右列的(χ)的值。因此,圖20的數(shù)據(jù)平臺(tái)右列的距輥旋轉(zhuǎn)中心的距離的值(X)為0時(shí)的數(shù)據(jù)平臺(tái)左列的版3或基板5的表面高度^的值表示在該時(shí)刻版3或基板5位于橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心的正下方的部分的表面高度L另外,在將上述控制周期設(shè)定為比上述測(cè)量周期短的時(shí)間間隔等、上述控制周期與上述測(cè)量周期不一致時(shí),如圖20所示,有時(shí)表面高度暫時(shí)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)平臺(tái)中的數(shù)據(jù)平臺(tái)右列的值不為0。此時(shí),在控制器19中,取圖7的數(shù)據(jù)平臺(tái)右列的距輥旋轉(zhuǎn)中心的距離(χ)的值為隔著0的兩行的數(shù)據(jù)平臺(tái)左列的值的內(nèi)分,來(lái)算出在該時(shí)刻版3或基板5的位于橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心的正下方的部分的表面高度1^。具體而言,根據(jù)例如圖20的數(shù)據(jù)平臺(tái),使用距輥旋轉(zhuǎn)中心的距離為-Imm且表面高度為IOmm的數(shù)據(jù)、以及距輥旋轉(zhuǎn)中心的距離為2mm且表面高度為Ilmm的數(shù)據(jù)。然后,通過(guò)兩者的內(nèi)分(10X2/3+11X1/3),來(lái)算出版3或基板5的位于橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心的正下方的部分的表面高度&的值為10. 3mm。另外,在圖20所示的表面高度暫時(shí)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)平臺(tái)中,右列的距輥旋轉(zhuǎn)中心的距離(χ)的值為負(fù)值時(shí)除了最接近0的值之外為不所需的數(shù)據(jù),因此順次開(kāi)放存儲(chǔ)器即可?;蛘撸軌蚴褂铆h(huán)形緩沖而依次將不所需的數(shù)據(jù)覆寫掉。如上所述,如果求出版3或基板5的位于橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心的正下方的部分的表面高度^,則控制器19將該值加上從橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心到周壁面的下端部的半徑r, 再減去與為了得到希望的印壓所需的橡皮輥10的表面部的壓潰量相當(dāng)?shù)哪繕?biāo)輥按壓量dm 的值,從而算出輥高度ττ的控制目標(biāo)值ZrO (ZrO=Zs+r-dm)。圖21及22中表示基于控制器19的輥高度控制功能的控制框圖。圖21表示并未使橡皮輥10與版3或基板5接觸時(shí)的高度控制的功能,圖22表示在使橡皮輥10與版3接觸而進(jìn)行轉(zhuǎn)印(接收)處理時(shí)、以及使橡皮輥10與基板5接觸而進(jìn)行再轉(zhuǎn)印(印刷)處理時(shí)使印壓均一時(shí)的高度控制的功能。另外,圖21及22中,為了方便起見(jiàn)而省略轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9 的框架20及橡皮輥10的輥殼體M的記載、以及橡皮輥10的單側(cè)的升降用致動(dòng)器13的控制系統(tǒng)的記載。并且,附設(shè)于橡皮輥10的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11、編碼器12、升降用致動(dòng)器13、高度傳感器14、壓力傳感器15的形狀及配置進(jìn)行了變更。基于控制器19的未使橡皮輥10與版3或基板5接觸時(shí)的輥高度控制的功能如以下所述。即,如圖21所示,如果輸入利用臺(tái)座1上的線性尺8(參照?qǐng)D16、17)檢測(cè)到的與版載置臺(tái)4的X軸方向的位置、及基板載置臺(tái)6的X軸方向的位置有關(guān)的載置臺(tái)位置檢測(cè)信號(hào)Si,則控制器19基于各載置臺(tái)位置檢測(cè)信號(hào)Sl進(jìn)行基于預(yù)先設(shè)定的所需數(shù)據(jù)平臺(tái)函數(shù)的數(shù)據(jù)平臺(tái)函數(shù)處理27,從而判斷應(yīng)將橡皮輥10配置到退避高度Ha或者橡皮輥10與版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6上所保持的版3或基板5接觸的接觸高度Hb的哪一高度,并輸出退避高度Ha或接觸附近高度Hb的高度目標(biāo)值h。接著,將高度目標(biāo)值h、以及基于從轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的高度傳感器14輸入的檢測(cè)信號(hào)的橡皮輥10的高度當(dāng)前值hi輸入至減法器觀, 求出高度當(dāng)前值hi相對(duì)于高度目標(biāo)值h的高度偏差Δ h,然后為了使此高度偏差Δ h變?yōu)?0而進(jìn)行基于PID控制等的反饋控制理論的反饋處理四從而求出驅(qū)動(dòng)指令Cl,將該驅(qū)動(dòng)指令Cl向橡皮輥10的升降用致動(dòng)器13發(fā)出。這樣一來(lái),使升降用致動(dòng)器13基于驅(qū)動(dòng)指令Cl而動(dòng)作,從而能夠?qū)?yīng)于版載置臺(tái) 4或基板載置臺(tái)6的X軸方向的位置而如后所述那樣,在令橡皮輥10與版3或基板5的接觸開(kāi)始時(shí)使橡皮輥10配置在接觸高度Hb,在此外的其他時(shí)候使橡皮輥10配置在退避高度
Ha0另外,關(guān)于基于控制器19的使橡皮輥10相對(duì)于版3或基板5的印壓均一時(shí)的高度控制的功能,則參照?qǐng)D22說(shuō)明如下。S卩,如果如前所述地利用控制器19算出輥高度ττ的控制目標(biāo)值 &0ar0=h+r-dnl),則控制器19與圖21的高度目標(biāo)值h同樣地將該值輸入至減法器28, 求出基于從轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的高度傳感器14輸入的檢測(cè)信號(hào)的橡皮輥10的高度當(dāng)前值hi 相對(duì)于輥高度控制目標(biāo)值的高度偏差Δ h,然后,為了使此高度偏差Δ h變?yōu)?而進(jìn)行基于PID控制等的反饋控制理論的反饋處理四而求出驅(qū)動(dòng)指令Cl,將該驅(qū)動(dòng)指令Cl向橡皮輥10的升降用致動(dòng)器13發(fā)送。通過(guò)這樣地使升降用致動(dòng)器13基于驅(qū)動(dòng)指令Cl而動(dòng)作,能夠在將版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6上所保持的版3或基板5配置到橡皮輥10的正下方時(shí),使橡皮輥10配置為其輥高度ττ與控制目標(biāo)值ZrO —致,由此,使橡皮輥10以目標(biāo)輥按壓量dm向配置于其正下方的版3或基板5按壓,從而產(chǎn)生期望的印壓。其中,要使墨從版3向橡皮輥10轉(zhuǎn)印(接收)時(shí),需要令上墨到版3的墨吸附于橡皮輥10的表面,另一方面,在令墨從橡皮輥10再轉(zhuǎn)印到作為印刷對(duì)象的基板5時(shí),需要令吸附于橡皮輥10的表面的墨從橡皮輥10的表面離開(kāi)然后吸附于基板5的表面。因此,從版3到橡皮輥10的墨的轉(zhuǎn)印特性與從橡皮輥10到基板5的墨的轉(zhuǎn)印特性未必會(huì)相同。而且,為了提高膠印印刷整體的轉(zhuǎn)印性能,使橡皮輥10與版3接觸時(shí)期望的接觸壓力以及使橡皮輥10與基板5接觸時(shí)期望的接觸壓力也未必相同。因此,在控制器19中,根據(jù)橡皮輥10與之接觸的對(duì)象是版3或基板5的哪一個(gè)而各自地分別設(shè)定與期望的某一接觸壓力對(duì)應(yīng)的目標(biāo)輥按壓量dm。由此,就能夠使輸入至減法器觀的輥高度的控制目標(biāo)值ZrO本身變化,從而得到對(duì)應(yīng)于版3或基板5的目標(biāo)輥按壓量dm ο另外,在由于加工精度而在橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心存在偏心時(shí),由于此偏心的緣故,橡皮輥10旋轉(zhuǎn)時(shí)從其旋轉(zhuǎn)中心到周壁面的下端部的輥半徑!·的尺寸會(huì)變動(dòng)。因此,在控制器19中,根據(jù)安裝于橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)用驅(qū)動(dòng)馬達(dá)11的編碼器12的檢測(cè)信號(hào)P而進(jìn)行基于預(yù)先測(cè)量橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)角度及圓周位置的不均一性而求出的上述修正數(shù)據(jù)平臺(tái)的數(shù)據(jù)平臺(tái)函數(shù)處理30,從而求出與橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)角度對(duì)應(yīng)的圓周位置的偏心修正值 rl。另外,在另外的減法器31中,在依據(jù)偏心修正值rl預(yù)先對(duì)使橡皮輥10以目標(biāo)輥按壓量dm按壓至配置于其正下方的版3或基板5而產(chǎn)生期望的印壓的時(shí)刻的輥高度的控制目標(biāo)值ZrO進(jìn)行修正后,求出高度當(dāng)前值hi相對(duì)于該修正后的輥高度的控制目標(biāo)值的高度偏差Δ h,然后,進(jìn)行用來(lái)使此高度偏差Δ h變?yōu)?的反饋處理四而求出驅(qū)動(dòng)指令Cl。此外,如上所述地進(jìn)行輥高度ττ的控制,使橡皮輥10以目標(biāo)輥按壓量dm對(duì)配置于其正下方的版3或基板5進(jìn)行按壓而產(chǎn)生期望的印壓,此時(shí),基于由設(shè)于版3或基板5的寬度方向兩端部附近的對(duì)應(yīng)的兩個(gè)部位的各距離測(cè)定傳感器116檢測(cè)到的檢測(cè)信號(hào),以與上述一樣的順序,分別地進(jìn)行與橡皮輥10的軸心方向兩端部大致對(duì)應(yīng)地設(shè)置的兩個(gè)升降用制動(dòng)器13的控制,從而能夠?qū)崿F(xiàn)橡皮輥10相對(duì)于版3或基板5的印壓的沿著輥軸方向的壓力分布的均等化。另外,本發(fā)明的膠印印刷裝置由于進(jìn)行膠印印刷的需要而如圖14所示,在臺(tái)座1 上的與導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向一端部對(duì)應(yīng)的部位具有版載置臺(tái)待機(jī)區(qū)16,其設(shè)計(jì)為能夠供版載置臺(tái)4移動(dòng)到導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向一端部并在該處待機(jī),以及能夠進(jìn)行版載置臺(tái)4上所保持的版3的更換。并且,在版載置臺(tái)待機(jī)區(qū)16與轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9之間的部位,具有用來(lái)對(duì)版載置臺(tái)4上所保持的版3進(jìn)行上墨的上墨裝置17。此外,在臺(tái)座1上的與導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向另一端部對(duì)應(yīng)的部位,具有基板設(shè)置區(qū)18,其用來(lái)在使基板載置臺(tái)6移動(dòng)到導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向另一端部并在該處待機(jī)的狀態(tài)下相對(duì)于基板載置臺(tái)6進(jìn)行新的基板5的安裝、以及印刷后的基板5的取出。進(jìn)而,在圖14所示的膠印印刷裝置中,版載置臺(tái)4及基板載置臺(tái)6在上部分別具備能夠進(jìn)行在導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向(X軸方向)及與導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向正交的方向(Y軸方向) 的水平移動(dòng)、以及相對(duì)于導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向的偏轉(zhuǎn)角度(Θ )的旋轉(zhuǎn)的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)如及6&而且,能夠?qū)?及作為印刷對(duì)象的基板5分別安裝于各對(duì)準(zhǔn)臺(tái)如及6a的上面部。此外,在臺(tái)座1上的轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9與基板設(shè)置區(qū)18之間,設(shè)有對(duì)準(zhǔn)區(qū)37。并且,能夠在對(duì)準(zhǔn)區(qū)37中利用精密攝影機(jī)等的公共的對(duì)準(zhǔn)傳感器38,對(duì)于版載置臺(tái)4的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)如上所保持的版3、及基板載置臺(tái)6的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)6a上所保持的基板5而分別進(jìn)行初始對(duì)準(zhǔn)。如圖19中的雙點(diǎn)劃線所示,能夠在控制器19中設(shè)置用來(lái)控制上墨裝置32的上墨動(dòng)作的上墨裝置控制部119d。并且,能夠在控制器19中設(shè)置對(duì)準(zhǔn)臺(tái)控制部19e,其用于對(duì)實(shí)現(xiàn)進(jìn)行基于對(duì)準(zhǔn)區(qū)34中的各載置臺(tái)4、6的對(duì)準(zhǔn)臺(tái)^、6a的版3或基板5的初始對(duì)準(zhǔn)的動(dòng)作進(jìn)行控制。此時(shí),能夠使上墨裝置控制部119d及對(duì)準(zhǔn)臺(tái)控制部19e與載置臺(tái)行進(jìn)控制部19a同步地進(jìn)行控制。在使用配備有具備如以上所述的橡皮輥10的高度控制功能的控制器19的本發(fā)明的膠印印刷裝置來(lái)進(jìn)行膠印印刷時(shí),在轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9中從版3到橡皮輥10的墨的轉(zhuǎn)印(接收)處理的轉(zhuǎn)印動(dòng)作的順序以圖23A至24C所示的順序進(jìn)行。另外,在上述的圖中,令轉(zhuǎn)印時(shí)的橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)方向?yàn)轫槙r(shí)針?lè)较?,令版載置臺(tái)4的轉(zhuǎn)印用行進(jìn)方向?yàn)閺膶?dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向另一端側(cè)向一端側(cè)的朝向(向左)。在進(jìn)行從版3到橡皮輥10的轉(zhuǎn)印動(dòng)作時(shí),預(yù)先利用圖8所示的橡皮輥10的高度控制的功能,如圖23A所示那樣使橡皮輥10配置到退避高度Ha。另外,此時(shí),令橡皮輥10 的旋轉(zhuǎn)停止。另外,在利用上墨裝置17 (參照?qǐng)D1)預(yù)先將墨施加到版載置臺(tái)4上所保持的版3上的狀態(tài)下,使版載置臺(tái)4配置并停留在轉(zhuǎn)印開(kāi)始位置,所述轉(zhuǎn)印開(kāi)始位置預(yù)先設(shè)定在比橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心的正下方還要靠轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a的上游側(cè)。另外,在圖中,以版載置臺(tái)4的導(dǎo)軌2長(zhǎng)度方向的另一端附近的端部(圖中的右端部)為基準(zhǔn)來(lái)決定載置臺(tái)位置。接著,如圖2 所示,在使橡皮輥10配置在退避高度Ha的狀態(tài)下,通過(guò)驅(qū)動(dòng)馬達(dá) 11的運(yùn)轉(zhuǎn)使橡皮輥10旋轉(zhuǎn)。并且,通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置7 (參照?qǐng)D16、17)的運(yùn)轉(zhuǎn)使停止在轉(zhuǎn)印開(kāi)始位置XO的版載置臺(tái)4向轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a行進(jìn)。此時(shí),令基于如后所述地使橡皮輥10以預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)輥按壓量dm按壓版3并接觸而導(dǎo)致橡皮輥10的與版3的接觸部分發(fā)生變形時(shí)的變形狀態(tài)下的輥徑的周速與版載置臺(tái)4的行進(jìn)速度同步,而且,對(duì)于基于橡皮輥10與版3的接觸部分的變形狀態(tài)下的輥徑的圓周位置,以令橡皮輥10與版3的接觸位置為既定位置的方式進(jìn)行相位同步控制。接著,在向轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a行進(jìn)的版載置臺(tái)4上的版3到達(dá)各距離測(cè)定傳感器116的正下方的時(shí)刻,開(kāi)始基于距離測(cè)定傳感器116的既定的測(cè)量周期下的版3的表面的高度的測(cè)量。然后,如圖23C所示,在版載置臺(tái)4上的版3向橡皮輥10的正下方進(jìn)入既定量的時(shí)刻,控制器19利用圖21所示的橡皮輥10的高度控制功能而向各升降用致動(dòng)器13發(fā)出高度控制用的驅(qū)動(dòng)指令Cl,使橡皮輥10下降到事先設(shè)定的接觸高度Hb,使橡皮輥10的外周面的下端部與版載置臺(tái)4上所保持的版3接觸。另外,在借助上墨裝置32對(duì)版載置臺(tái)4 上所保持的版3進(jìn)行上墨而在版3的導(dǎo)軌2的長(zhǎng)度方向一端附近的端邊部形成墨團(tuán)時(shí),設(shè)定橡皮輥10相對(duì)于版3的接觸位置使得橡皮輥10不與此墨團(tuán)接觸。如上所述地使橡皮輥10的周壁面與版載置臺(tái)4上的版3接觸后,控制器19將其功能切換到圖22所示的橡皮輥10的高度控制的功能。由此,如圖24A所示,令橡皮輥10以目標(biāo)輥按壓量dm按壓版3。然后,基于通過(guò)距離測(cè)定傳感器116而預(yù)先測(cè)量的版3的表面高度h的變化,保持橡皮輥10以目標(biāo)輥按壓量dm與版3接觸的狀態(tài)。進(jìn)而,此時(shí),即使為橡皮輥10存在偏心的情況,也一邊修正該偏心一邊保持橡皮輥10以目標(biāo)輥按壓量dm與版3接觸的狀態(tài)。因此,在橡皮輥10與版3接觸的期間保持該目標(biāo)按壓量。其結(jié)果,橡皮輥10相對(duì)于版3的印壓保持均一。從版3到橡皮輥10的轉(zhuǎn)印完成后,如圖24B所示,在版載置臺(tái)4到達(dá)設(shè)定于完全通過(guò)橡皮輥10的正下方之前的所要的滾筒分離位置的時(shí)刻,控制器19再將其功能切換到圖21所示的橡皮輥10的高度控制的功能,從而在橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)及版載置臺(tái)4的行進(jìn)仍繼續(xù)的狀態(tài)下,發(fā)出高度控制用的驅(qū)動(dòng)指令Cl給各升降用致動(dòng)器13,使橡皮輥10上升至退避高度Ha。另外,如上所述地令橡皮輥10上升而使其與版3分離后,能夠解除橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)速度與版載置臺(tái)4的行進(jìn)速度的同步控制。然后,如圖24C所示,當(dāng)版載置臺(tái)4行進(jìn)到轉(zhuǎn)印完成位置時(shí),控制器19使上升至退避高度Ha的橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)停止,回復(fù)到與圖23A所示者一樣的初始狀態(tài)。如上述那樣利用轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9使從版3到橡皮輥10的墨的轉(zhuǎn)印(接收)處理進(jìn)行完后,在進(jìn)行從橡皮輥10到作為印刷對(duì)象的基板5的墨的再轉(zhuǎn)印(印刷)處理時(shí),取代保持著版3的版載置臺(tái)4而使用保持著作為印刷對(duì)象的基板5的基板載置臺(tái)6,利用控制器19 以與圖23A至24C所示相同的順序進(jìn)行轉(zhuǎn)印動(dòng)作,從而能夠進(jìn)行從橡皮輥10到基板5的墨的再轉(zhuǎn)印(印刷)。如此,根據(jù)本發(fā)明的膠印印刷方法及裝置,能夠使橡皮輥10—直以與預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)輥按壓量d對(duì)應(yīng)的按壓量對(duì)版載置臺(tái)4上所保持的版3或基板載置臺(tái)6上所保持的基板5進(jìn)行按壓。因此,即使版3及基板5的厚度尺寸不相同,或是基板5的厚度每一批次互不相同,或是即使同一批次基板5的厚度尺寸也未分均一時(shí),甚至是由于加工精度的緣故而導(dǎo)致橡皮輥10存在偏心的情況下,也能夠在使橡皮輥10與版3接觸而進(jìn)行轉(zhuǎn)印(接收) 處理的期間、以及使橡皮輥10與基板5接觸而進(jìn)行再轉(zhuǎn)印(印刷)處理的期間,使印壓保持均一。因而,能夠提高從版3經(jīng)由橡皮輥10而印刷到作為印刷對(duì)象的基板5的印刷圖案的印刷精度,因而,能夠高精度地進(jìn)行如電極圖案這樣的精細(xì)的印刷。而且,在使版載置臺(tái)4上的版3或基板載置臺(tái)6上的基板5配置于比橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心更靠轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a的上游側(cè)的時(shí)刻,根據(jù)由各距離測(cè)定傳感器116所測(cè)量的版3或基板5的表面高度^的測(cè)量信號(hào),進(jìn)行為了使橡皮輥10相對(duì)于版3或基板 5的印壓保持均一而以令按壓量成為目標(biāo)輥按壓量dm的方式進(jìn)行的橡皮輥10的高度的控制。因此,能夠防止響應(yīng)時(shí)間的延遲,在均等地控制印壓同時(shí)以高速進(jìn)行印刷時(shí)很有利。另外,本發(fā)明并非只限定于上述實(shí)施方式。例如,距離測(cè)定傳感器116的設(shè)置部位 (距橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心的水平方向距離dx),只要是從橡皮輥10的旋轉(zhuǎn)中心向轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a上游側(cè)錯(cuò)開(kāi)的位置即可,能夠根據(jù)版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6的行進(jìn)速度、 橡皮輥10的升降用致動(dòng)器13的反應(yīng)速度等而適當(dāng)?shù)刈兏?。在圖14至24C所示的實(shí)施方式中,示出了經(jīng)由安裝部件125將距離測(cè)定傳感器 116固定于轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部9的框架20中的位于轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a的上游側(cè)的兩根支柱部件21的構(gòu)成,但也能夠?qū)⒕嚯x測(cè)定傳感器116固定于輥殼體22中的轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a的上游側(cè)端部。采用所述構(gòu)成時(shí),距離測(cè)定傳感器116的高度會(huì)隨著橡皮輥10的升降而變化。但是,如圖2 所示,輥中心高度ττ與傳感器高度的差dz為一定(固定值)。因此,在利用控制器19算出版3或基板5的位于距離測(cè)定傳感器16的正下方的部分的以臺(tái)座1的上表面為基準(zhǔn)的表面高度^時(shí),如果從距離測(cè)定傳感器116輸入從距離測(cè)定傳感器116到位于其正下方的版載置臺(tái)4或基板載置臺(tái)6上所保持的版3或基板5的表面的上下方向的距離ds的測(cè)量信號(hào),則將距離測(cè)量時(shí)的輥中心高度^ 減去成為上述固定值的輥中心高度ττ與傳感器高度的差dz,再減去距離ds,從而算出在該時(shí)刻的版3或基板5的位于各距離測(cè)定傳感器116的正下方的部分的以臺(tái)座1的上表面為基準(zhǔn)的表面高度 Zs (Zs=Zr-dz_ds)0此外,也可以依據(jù)版3或基板5的寬度尺寸而適當(dāng)?shù)刈兏骶嚯x測(cè)定傳感器116 的寬度方向的配置間隔。另外,也能夠?qū)⒃O(shè)于版3或基板5的寬度方向的距離測(cè)定傳感器116設(shè)為一個(gè)。在此情況下,能夠控制橡皮輥10的高度,使得隨著版3或基板5的沿著轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向a的方向上的表面高度的變化而變化而獲得目標(biāo)輥按壓量dm。此外,也可以在版3或基板5的寬度方向并排設(shè)置三個(gè)以上的距離測(cè)定傳感器 116。在此情況下,能夠取由各距離測(cè)定傳感器116所測(cè)量的版3或基板5的表面高度k 的平均值,或是求出左右方向的表面高度的傾向,再根據(jù)其控制橡皮輥10的高度以使印壓盡可能地均等。本發(fā)明的膠印印刷裝置也適用于對(duì)基板以外的印刷對(duì)象進(jìn)行印刷。此外,當(dāng)然也能夠在未脫離本發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。如以上的說(shuō)明那樣,根據(jù)本發(fā)明,能夠提供可高精度地進(jìn)行如電極圖案這樣的精細(xì)的印刷而且即使是進(jìn)行重疊印刷也能夠?qū)⒅丿B錯(cuò)位抑制為微米等級(jí)的膠印印刷方法及裝置。附圖標(biāo)記說(shuō)明
1臺(tái)座、2導(dǎo)軌、3版、4版載置臺(tái)(移動(dòng)載置臺(tái))、5基板(印刷對(duì)象)、6基板載置臺(tái) (印刷對(duì)象載置臺(tái)、移動(dòng)載置臺(tái))、10橡皮輥、13升降用致動(dòng)器、14高度傳感器、15壓力傳感器、19控制器、116距離測(cè)定傳感器。
權(quán)利要求
1.一種膠印印刷方法,令借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥從上方與版載置臺(tái)上所保持的版接觸,所述版載置臺(tái)在設(shè)置于臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn),接著,使上述橡皮輥從上方與在上述導(dǎo)軌上行進(jìn)的印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,控制基于上述升降用致動(dòng)器的橡皮輥的升降,使得上述橡皮輥與上述版載置臺(tái)上所保持的版接觸期間的接觸壓力、及上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸期間的接觸壓力分別以既定的值保持一定。
2.一種膠印印刷方法,令借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥從上方與版載置臺(tái)上所保持的版接觸,所述版載置臺(tái)在設(shè)置于臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn),接著,使上述橡皮輥從上方與在上述導(dǎo)軌上行進(jìn)的印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,控制基于上述升降用致動(dòng)器的橡皮輥的升降,使得上述橡皮輥與上述版載置臺(tái)上所保持的版接觸開(kāi)始時(shí)的接觸壓力為既定值,然后控制基于上述升降用致動(dòng)器的橡皮輥的升降,使得在上述橡皮輥與上述版載置臺(tái)上所保持的版接觸的期間將該橡皮輥的高度保持為一定,并且上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸開(kāi)始時(shí)的接觸壓力為既定值,然后在橡皮輥與上述印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸的期間,將該橡皮輥的高度保持為一定。
3.一種膠印印刷裝置,具有在設(shè)置于臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn)的版載置臺(tái)及印刷對(duì)象載置臺(tái),令借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥從上方依次與上述版載置臺(tái)上所保持的版、及上述印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,具有用來(lái)檢測(cè)借助上述升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥相對(duì)于上述版及印刷對(duì)象的接觸壓力的壓力傳感器,并且具有控制器,該控制器具有以下功能對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得在上述橡皮輥與上述版之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間、以及在上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象之間進(jìn)行再轉(zhuǎn)印的期間,分別從上述壓力傳感器輸入的上述接觸壓力以既定值保持一定。
4.一種膠印印刷裝置,具有在設(shè)置于臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn)的版載置臺(tái)及印刷對(duì)象載置臺(tái),令借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥從上方依次與上述版載置臺(tái)上所保持的版、及上述印刷對(duì)象載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,具有用來(lái)檢測(cè)借助上述升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥的高度的高度傳感器、及用來(lái)檢測(cè)上述橡皮輥相對(duì)于上述版及印刷對(duì)象的接觸壓力的壓力傳感器,并且具有控制器,該控制器具有以下功能對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得在上述橡皮輥與上述版之間開(kāi)始轉(zhuǎn)印時(shí)從上述壓力傳感器輸入的接觸壓力為既定值,且在上述橡皮輥與上述版之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間,基于來(lái)自上述高度傳感器的輸入而對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,以便保持從上述壓力傳感器輸入的接觸壓力變?yōu)榧榷ㄖ禃r(shí)的上述橡皮輥的高度的功能;以及對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得在上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象之間開(kāi)始再轉(zhuǎn)印時(shí)從上述壓力傳感器輸入的接觸壓力成為既定值,且在上述橡皮輥與上述印刷對(duì)象之間進(jìn)行再轉(zhuǎn)印的期間,基于來(lái)自上述高度傳感器的輸入而對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,以便保持從上述壓力傳感器輸入的接觸壓力為既定值時(shí)的上述橡皮輥的高度的功能。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的膠印印刷裝置,其特征在于,上述控制器具有以下功能在橡皮輥與版之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間、以及在橡皮輥與印刷對(duì)象之間進(jìn)行轉(zhuǎn)印的期間,基于來(lái)自上述高度傳感器的輸入而對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,以便保持從壓力傳感器輸入的接觸壓力分別變?yōu)榧榷ㄖ禃r(shí)的上述橡皮輥的高度,此時(shí), 在橡皮輥產(chǎn)生偏心時(shí),基于橡皮輥的偏心量而對(duì)應(yīng)保持上述橡皮輥的高度進(jìn)行修正。
6.一種膠印印刷方法,在借助旋轉(zhuǎn)用驅(qū)動(dòng)馬達(dá)使借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下,使上述橡皮輥從上方與在臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn)的移動(dòng)載置臺(tái)上所保持的版接觸,接著使上述橡皮輥從上方與在上述導(dǎo)軌上行進(jìn)的移動(dòng)載置臺(tái)上所保持的印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,在上述版載置臺(tái)上的版或印刷對(duì)象載置臺(tái)上的印刷對(duì)象進(jìn)入橡皮輥的正下方之前,沿著轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向預(yù)先測(cè)量上述版載置臺(tái)上的版或印刷對(duì)象載置臺(tái)上的印刷對(duì)象的表面的以臺(tái)座上表面為基準(zhǔn)的高度,接著,在使上述橡皮輥與上述版或印刷對(duì)象接觸時(shí),將上述橡皮輥的旋轉(zhuǎn)中心的在上述臺(tái)座上的高度控制為下述高度從預(yù)先測(cè)量的上述版或印刷對(duì)象的表面的高度與橡皮輥的半徑的和減去既定的目標(biāo)輥按壓量而算出的高度。
7.一種膠印印刷裝置,在借助旋轉(zhuǎn)用驅(qū)動(dòng)馬達(dá)使借助升降用致動(dòng)器而升降的橡皮輥旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下,使上述橡皮輥從上方依次與在臺(tái)座上的導(dǎo)軌上行進(jìn)的個(gè)別的或公共的移動(dòng)載置臺(tái)上所保持的版及印刷對(duì)象接觸,從而進(jìn)行從上述版向橡皮輥的轉(zhuǎn)印、以及從橡皮輥向印刷對(duì)象的再轉(zhuǎn)印,其中,在比上述橡皮輥還靠轉(zhuǎn)印時(shí)載置臺(tái)行進(jìn)方向的上游側(cè)處,設(shè)有用來(lái)測(cè)量與版載置臺(tái)上的版或印刷對(duì)象載置臺(tái)上的印刷對(duì)象的表面之間的距離的距離測(cè)定傳感器,并且具有控制器,該控制器具有以下功能基于從上述距離測(cè)定傳感器輸入的信號(hào),將版載置臺(tái)上的版或印刷對(duì)象載置臺(tái)上的印刷對(duì)象的位于上述距離測(cè)定傳感器的正下方的部分的以臺(tái)座上表面為基準(zhǔn)的表面高度算出并暫時(shí)存儲(chǔ)起來(lái)的功能;以及對(duì)上述升降用致動(dòng)器發(fā)出指令,使得在上述部分被配置到上述橡皮輥的旋轉(zhuǎn)中心的正下方而與橡皮輥接觸的時(shí)刻,使上述橡皮輥的旋轉(zhuǎn)中心的上述臺(tái)座上的高度與下述高度一致的功能,所述高度是從上述版載置臺(tái)上的版或印刷對(duì)象載置臺(tái)上的印刷對(duì)象的表面中的上述部分的預(yù)先測(cè)量的某表面的高度與橡皮輥的半徑的和減去既定的目標(biāo)輥按壓量而算出的高度。
全文摘要
在膠印印刷裝置中,將版載置臺(tái)(4)及基板載置臺(tái)(6)設(shè)置為能夠在設(shè)置于臺(tái)座(1)的導(dǎo)軌(2)上行進(jìn)。在導(dǎo)軌(2)的與長(zhǎng)度方向中間部對(duì)應(yīng)的部位設(shè)置轉(zhuǎn)印機(jī)構(gòu)部(9),其具有橡皮輥(10)、橡皮輥的升降用致動(dòng)器(13)、橡皮輥的高度傳感器(14)、檢測(cè)橡皮輥與版(3)及基板(5)的接觸壓力的壓力傳感器(15)。此外,控制器控制升降用致動(dòng)器(13)使得令橡皮輥(10)與版(3)及基板(5)接觸時(shí)由壓力傳感器(15)檢測(cè)到的接觸壓力為既定值。通過(guò)令從版(3)向橡皮輥(10)進(jìn)行轉(zhuǎn)印時(shí)的接觸壓力與從橡皮輥(10)向基板(5)進(jìn)行再轉(zhuǎn)印時(shí)的接觸壓力分別均一,令與版(3)及基板(5)的接觸部分的變形量均一并且令周速相等。其結(jié)果,能夠提高印刷精度。
文檔編號(hào)B41F17/14GK102548763SQ2010800397
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2010年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月9日
發(fā)明者中村惠子, 松尾研吾, 河口紀(jì)仁, 鈴木俊太郎 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Ihi