專(zhuān)利名稱(chēng)：異物檢測(cè)裝置及方法、液滴噴出裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
在此說(shuō)明的實(shí)施方式整體上涉及異物檢測(cè)裝置、異物檢測(cè)方法、液滴噴出裝置和液滴噴出方法。
背景技術(shù)：
已知有對(duì)液體中存在的異物進(jìn)行檢測(cè)的技術(shù)。例如已提出有一種在液滴噴出裝置中檢測(cè)噴出的液體中是否有氣泡等異物的技木。在這種技術(shù)中，例如，根據(jù)因存在氣泡而發(fā)生的振動(dòng)能級(jí)的衰減或殘余振動(dòng)波形來(lái)判別有無(wú)氣泡。但是，這種技術(shù)很難對(duì)細(xì)管路中等這種小區(qū)域中存在的氣泡等異物進(jìn)行檢測(cè)。因此，期望開(kāi)發(fā)ー種能夠高精度地檢測(cè)細(xì)管路中等這種小區(qū)域中存在的氣泡等異物的技木。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施方式提供ー種能提高異物檢測(cè)精度的異物檢測(cè)裝置、異物檢測(cè)方法、液滴噴出裝置和液滴噴出方法。實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置包括信號(hào)發(fā)生部、發(fā)信部、接收部、保存信息的保存部、和檢測(cè)部。所述信號(hào)發(fā)生部產(chǎn)生電信號(hào)。所述發(fā)信部對(duì)所述電信號(hào)進(jìn)行變換，使液體中產(chǎn)生壓カ波。所述接收部接收來(lái)自所述液體的反射波并變換成電信號(hào)。所述保存部保存與所述液體中未含有異物的狀態(tài)有關(guān)的信息。所述檢測(cè)部根據(jù)對(duì)所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于所保存的所述信息的電信號(hào)之差，檢測(cè)有無(wú)所述異物和所述異物大小的至少任ー種。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提高異物的檢測(cè)精度。


圖1是用于例示第一實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置和液滴噴出裝置的示意圖。圖2是用于例示檢測(cè)定時(shí)的示意曲線(xiàn)圖。圖3A和圖加是用于例示關(guān)于氣泡B的信息的提取的示意曲線(xiàn)圖，圖3A是用于例示有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)Sl和沒(méi)有氣泡B時(shí)的電信號(hào)S2的圖，圖;3B是用于例示含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號(hào)的圖。圖4是用于例示氣泡B的直徑尺寸與散射截面積之間的關(guān)系的曲線(xiàn)圖。
圖5是用于例示第二實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置和液滴噴出裝置的示意圖。圖6是用于例示第三實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)方法的流程圖。圖7是用于例示第四實(shí)施方式涉及的液滴噴出方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖，關(guān)于實(shí)施方式進(jìn)行例示。再有，各附圖中，在相同的結(jié)構(gòu)要素上標(biāo)記同一符號(hào)，并省略詳細(xì)說(shuō)明。再有，以下，作為一例，例示了將異物檢測(cè)裝置設(shè)置在液滴噴出裝置中的情況以及在液滴噴出方法中適用了異物檢測(cè)方法的情況。但是，異物檢測(cè)裝置和異物檢測(cè)方法的適用對(duì)象不限定于此，可以廣泛地適用于對(duì)液體中含有的氣泡等異物的檢測(cè)。圖1是用于例示第一實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置和液滴噴出裝置的示意圖。液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方式有“熱式”和“壓電式”，所述“熱式”是由加熱產(chǎn)生氣泡， 利用膜態(tài)沸騰現(xiàn)象來(lái)使液體噴出，所述“壓電式”是利用壓電元件的彎曲位移來(lái)使液體噴出，作為一例，在此以壓電式為例進(jìn)行說(shuō)明。在液滴噴出裝置100中設(shè)置有壓電部101、噴嘴主體102、撓性膜103、噴嘴部104、 衰減部105、蓋106和異物檢測(cè)裝置1。壓電部101例如可以是將驅(qū)動(dòng)電極101a、部件101b、驅(qū)動(dòng)電極101c、部件101d、驅(qū)動(dòng)電極IOle依次層疊后整體燒結(jié)而成的。整體燒結(jié)后的壓電部101強(qiáng)度變高，而且也容易處理。部件IOlb和部件IOld可以是由壓電材料形成的部件。作為壓電材料，可以例示壓電陶瓷(例如鋯鈦酸鉛)等。驅(qū)動(dòng)電極101a、驅(qū)動(dòng)電極IOlc和驅(qū)動(dòng)電極IOle可以是由銅合金等形成的電極。如后所述，壓電部101成為用于使液體噴出的加壓源，但也具有異物檢測(cè)裝置1的發(fā)信部和接收部的功能。再有，異物檢測(cè)裝置1中設(shè)置的信號(hào)發(fā)生部2，也具有輸出用于驅(qū)動(dòng)壓電部101作為加壓源的電信號(hào)的功能。噴嘴主體102中設(shè)置有收納要噴出的液體的液室10加。將液室10 設(shè)置成貫通噴嘴主體102的兩端部間。液室10 可以是例如具有當(dāng)量直徑尺寸為d的截面的液室。在此，在液室10 的截面形狀是圓形的情況下，當(dāng)量直徑尺寸d是其直徑尺寸，在液室10 的截面形狀是例如多角形等的情況下，當(dāng)量直徑尺寸d是變換成具有相同截面積的圓形截面后的直徑尺寸。再有，關(guān)于當(dāng)量直徑尺寸d以后詳細(xì)敘述。此外，與液室10 連通有未圖示的流路，通過(guò)未圖示的流路向液室10 內(nèi)供給液體。噴嘴主體102可以由例如不銹鋼或鎳合金等形成。在噴嘴主體102的一個(gè)端部設(shè)置有撓性膜103。將撓性膜103設(shè)置成覆蓋液室 102a的開(kāi)ロ部。此外，在撓性膜103的與設(shè)置在噴嘴主體102上的ー側(cè)相反的一側(cè)的面上，設(shè)置有壓電部101。該情況下，可以將壓電部101設(shè)置成與液室10 的開(kāi)ロ部對(duì)置，使得由壓電部101的彎曲位移產(chǎn)生的壓カ波容易傳播到液室10 內(nèi)的液體。再有，在本實(shí)施方式中，壓電部101成為向噴嘴主體102的設(shè)置在一個(gè)端部側(cè)的液室10 內(nèi)的液體施加壓カ的加壓部。撓性膜103可以由例如不銹鋼等形成。在噴嘴主體102的另ー個(gè)端部上設(shè)置有噴嘴部104。噴嘴部104呈板狀，設(shè)置有貫通厚度方向的噴嘴孔10如。噴嘴孔10 的一端向液室10 開(kāi)ロ，另一端向液滴噴出裝置 100的外部開(kāi)ロ。噴嘴部104可以由例如不銹鋼或鎳合金等形成。在撓性膜103上，包圍壓電部101的周?chē)O(shè)置有衰減部105。在壓電部101中產(chǎn)生所謂的主振動(dòng)，與此同時(shí)也產(chǎn)生寄生振動(dòng)等無(wú)用的振動(dòng)。因此，通過(guò)設(shè)置衰減部105，使寄生振動(dòng)等衰減，以降低寄生振動(dòng)等對(duì)主振動(dòng)的壞影響。衰減部105可以由例如硅橡膠等形成。蓋106具備一端開(kāi)ロ的凹部106a。并且，將蓋106設(shè)置在撓性膜103上，使得在凹部106a的內(nèi)部收納壓電部101和衰減部105。此外，在蓋106上適當(dāng)?shù)卦O(shè)置有用于穿過(guò)壓電部101的配線(xiàn)的未圖示的孔等。蓋106可以由例如樹(shù)脂或金屬等形成。異物檢測(cè)裝置1中設(shè)置有信號(hào)發(fā)生部2、切換部3、保存部4和檢測(cè)部5。如前所述，在本實(shí)施方式中，壓電部101發(fā)揮對(duì)電信號(hào)進(jìn)行變換并使液體中產(chǎn)生壓カ波的發(fā)信部和接收反射波并變換成電信號(hào)的接收部的功能。再有，反射波中含有基于后述的機(jī)械系統(tǒng)振動(dòng)的波、“由氣泡產(chǎn)生的壓カ波”、和通過(guò)碰到液室10 的壁面或噴嘴部104等而產(chǎn)生的壓カ波，這些以后詳細(xì)敘述。信號(hào)發(fā)生部2產(chǎn)生用于檢測(cè)氣泡B等異物的電信號(hào)。即，產(chǎn)生用于使壓電部101 產(chǎn)生具有規(guī)定頻率的壓カ波的電信號(hào)。該情況下，信號(hào)發(fā)生部2可以產(chǎn)生具有滿(mǎn)足后述(3) 式或式的頻率f的電信號(hào)。再有，也可以按照頻率的范圍，設(shè)置多個(gè)信號(hào)發(fā)生部和頻率范圍切換部。再有，如前所述，信號(hào)發(fā)生部2也具有輸出用于驅(qū)動(dòng)壓電部101作為加壓源的電信號(hào)的功能。切換部3進(jìn)行電信號(hào)的轉(zhuǎn)換。例如，在向壓電部101發(fā)送來(lái)自信號(hào)發(fā)生部2的電信號(hào)的時(shí)候，使得向檢測(cè)部5側(cè)發(fā)送該電信號(hào)。另ー方面，在向檢測(cè)部5側(cè)發(fā)送來(lái)自壓電部 101的電信號(hào)的時(shí)候，使得不向信號(hào)發(fā)生部2側(cè)發(fā)送該電信號(hào)。保存部4保存成為基準(zhǔn)的信息。例如，可以保存與液體中未含有氣泡B等異物的狀態(tài)有關(guān)的信息。與未含有氣泡B等異物的狀態(tài)有關(guān)的信息，可以保存預(yù)先收集到的該信息。此外，也可以逐次保存從噴出狀態(tài)等判斷并推斷為是沒(méi)有氣泡B等異物的狀態(tài)的信息。檢測(cè)部5根據(jù)由壓電部101收集到的信息、即后述的關(guān)于反射波的信息和來(lái)自保存部4的信息，檢測(cè)有無(wú)氣泡B等異物和氣泡B等異物大小的至少任ー種。即，檢測(cè)部5根據(jù)對(duì)反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于所保存的信息的電信號(hào)之差，檢測(cè)有無(wú)氣泡B 等異物和氣泡B等異物大小的至少任ー種。該情況下，檢測(cè)部5可以如后所述地根據(jù)對(duì)反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于保存部4中所保存的信息的電信號(hào)之差的平方，來(lái)檢測(cè)異物大小。此外，檢測(cè)部5還可以根據(jù)對(duì)反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于保存部4中所保存的信息的電信號(hào)之差，求取散射截面積σ sc，從預(yù)先求取的氣泡B等異物大小與散射截面積ο sc之間的關(guān)系，來(lái)檢測(cè)氣泡B等異物大小。此外，檢測(cè)部5可以將關(guān)于有無(wú)氣泡B等異物的檢測(cè)結(jié)果或氣泡B等異物大小的檢測(cè)結(jié)果，向外部設(shè)備等輸出。再有，關(guān)于有無(wú)氣泡B等異物的檢測(cè)和氣泡B等大小的檢測(cè)的詳細(xì)內(nèi)容以后敘述。下面，關(guān)于異物檢測(cè)裝置1的作用進(jìn)行例示。在此，作為一例，以異物是氣泡B的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。圖2是用于例示檢測(cè)定時(shí)的示意曲線(xiàn)圖。如圖2所示，在對(duì)圖1的壓電部101施加了規(guī)定的電信號(hào)A吋，壓電部101動(dòng)作，向液室10 中補(bǔ)充液體，在電信號(hào)A下降期間，進(jìn)行所述液體從噴嘴孔10 中噴出的動(dòng)作。 實(shí)際上，所述液體從噴嘴孔10 中噴出的動(dòng)作延遲了補(bǔ)充到液室10 中的所述液體被壓迫為止的那段時(shí)間。在所述液體噴出結(jié)束后，通過(guò)也作為接收部的壓電部101檢測(cè)如S所示的電信號(hào)。在對(duì)壓電部101施加了所述規(guī)定的電信號(hào)A吋，在液體中產(chǎn)生壓力波。并且，在施加電信號(hào)A后，利用撓性膜103等產(chǎn)生的機(jī)械系統(tǒng)振動(dòng)、后述的“氣泡產(chǎn)生的壓カ波”、和通過(guò)碰到液室10 的壁面或噴嘴部104等而產(chǎn)生的壓カ波等，通過(guò)也作為接收部的壓電部 101檢測(cè)如圖2中的S所示的電信號(hào)。因此就根據(jù)電信號(hào)S來(lái)進(jìn)行有無(wú)氣泡B的檢測(cè)或氣泡B大小的檢測(cè)。再有，電信號(hào)S中還含有“氣泡產(chǎn)生的壓カ波”以外的信息，但可以通過(guò)在檢測(cè)部 5中求取與未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào)之差，來(lái)去棹“氣泡產(chǎn)生的壓カ波”以外的信息。首先，為了進(jìn)行關(guān)于氣泡B的檢測(cè)，在信號(hào)發(fā)生部2中產(chǎn)生具有規(guī)定頻率f的電信號(hào)。該電信號(hào)是用于使壓電部101產(chǎn)生具有規(guī)定頻率的壓カ波的信號(hào)。此外，在按照頻率的范圍設(shè)置了多個(gè)信號(hào)發(fā)生部和頻率范圍切換部的情況下，進(jìn)行頻率范圍的切換，使得能夠產(chǎn)生具有適當(dāng)頻率的電信號(hào)。再有，關(guān)于頻率f的詳細(xì)內(nèi)容以后敘述。從信號(hào)發(fā)生部2輸出的電信號(hào)，經(jīng)切換部3輸入到壓電部101中。也作為異物檢測(cè)裝置1的發(fā)信部的壓電部101，通過(guò)將輸入的電信號(hào)變換成彎曲位移來(lái)產(chǎn)生壓力波。產(chǎn)生的壓カ波經(jīng)撓性膜103，傳播到液室10 內(nèi)的液體中，通過(guò)碰到液室10 的壁面或噴嘴部104等，產(chǎn)生由散射(反射)產(chǎn)生的壓カ波。此外，在有氣泡B的情況下，通過(guò)壓カ波碰到氣泡B而產(chǎn)生由散射(反射)產(chǎn)生的壓カ波。另外，通過(guò)壓カ波碰到氣泡B， 而在氣泡B中產(chǎn)生體積變化，產(chǎn)生該體積變化所引起的壓カ波。再有，在氣泡B中的由散射產(chǎn)生的壓カ波和由體積變化所引起的壓カ波中，由體積變化引起的壓カ波的壓カ大到有位數(shù)上的差別。在本說(shuō)明書(shū)中，將通過(guò)碰到氣泡B而產(chǎn)生的由散射產(chǎn)生的壓カ波和因氣泡B的體積變化所引起的壓カ波，合并稱(chēng)為“由氣泡產(chǎn)生的壓カ波”。此外，將“由氣泡產(chǎn)生的壓カ波”、通過(guò)碰到液室10 的壁面或噴嘴部104等而產(chǎn)生的壓カ波、以及與所述撓性膜103等的機(jī)械系統(tǒng)振動(dòng)有關(guān)的波，合并稱(chēng)為“反射波”。因此，反射波中就會(huì)含有氣泡B的有無(wú)或大小等的關(guān)于氣泡B的信息。將產(chǎn)生的反射波入射到也作為異物檢測(cè)裝置1的接收部的壓電部101中，變換成與壓電部101的彎曲位移相應(yīng)的電信號(hào)?；诜瓷洳ǖ碾娦盘?hào)，經(jīng)切換部3輸入到檢測(cè)部5中。另ー方面，從保存部4中提供與未含有氣泡B的狀態(tài)有關(guān)的信息，并被變換成電信號(hào)。并且，在檢測(cè)部5中，通過(guò)求取基于反射波的電信號(hào)與未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào)之差，來(lái)提取關(guān)于氣泡B的信息。檢測(cè)部5根據(jù)提取到的關(guān)于氣泡B的信息，檢測(cè)有無(wú)氣泡B。例如，可以根據(jù)預(yù)先設(shè)定的閾值等進(jìn)行有無(wú)氣泡B的檢測(cè)。此外，檢測(cè)部5也可以根據(jù)提取到的關(guān)于氣泡B的信息來(lái)檢測(cè)氣泡B的大小。下面，關(guān)于有無(wú)氣泡B的檢測(cè)或氣泡B大小的檢測(cè)進(jìn)一步進(jìn)行例示。圖3A和圖加是用于例示關(guān)于氣泡B的信息的提取的示意曲線(xiàn)圖。圖3A是用于例示有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)Sl和沒(méi)有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)S2的示意曲線(xiàn)圖。圖加是用于例示含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號(hào)的示意曲線(xiàn)圖。如圖3A所示，在有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)Sl和未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào)S2中，波形是不同的。因此，通過(guò)求取有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)Sl與未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào) S2之差，就能夠提取出如圖加所示的含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號(hào)。再有，由于未含有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)和未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào)S2中，波形是同樣的，因此，若求取兩者之差，則大致等于0 (零)?？梢允褂眠@樣提取出的關(guān)于氣泡B的信息和預(yù)先設(shè)定的閾值等來(lái)檢測(cè)有無(wú)氣泡 B0圖4是用于例示氣泡B的半徑尺寸與散射截面積之間的關(guān)系的曲線(xiàn)圖。橫軸是氣泡B的半徑尺寸，縱軸是散射截面積ο sc，圖中的dl d5表示液室10 的當(dāng)量直徑尺寸。再有，dl是10mm，d2是4mm，d3是3mm，d4是2mm，d5是Imm的情況。在此，在氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σ sc之間的關(guān)系中，即使在散射截面積 as c 一定的情況下，有時(shí)也會(huì)存在多個(gè)與散射截面積Osc對(duì)應(yīng)的氣泡B的半徑尺寸。例如，如圖4所示，在當(dāng)量直徑尺寸是dl的情況下，假設(shè)散射截面積Os c為 “ α ”，則存在3個(gè)與之對(duì)應(yīng)的氣泡B的半徑尺寸。因此，在這樣的情況下，很難確定氣泡B的大小。該情況下，由于不能夠知道氣泡B的大小，因此，在氣泡B生長(zhǎng)到發(fā)生噴出異常 (發(fā)生不噴出、液量的均勻性變差、著液精度變差等)的大小之前，不能施行使其進(jìn)行排出動(dòng)作等的應(yīng)對(duì)。因此，不能夠?qū)姵霎惓５陌l(fā)生防患于未然。但是，如圖4所示，在氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σ s c之間的關(guān)系變?yōu)榫€(xiàn)性的部分中，可以根據(jù)散射截面積OS c來(lái)求取氣泡B的半徑尺寸。在此，可以利用以下(1) 式求取散射截面積σ s c。
權(quán)利要求
1.一種異物檢測(cè)裝置，包括 信號(hào)發(fā)生部，產(chǎn)生電信號(hào)；發(fā)信部，對(duì)來(lái)自所述信號(hào)發(fā)生部的電信號(hào)進(jìn)行變換，使液體中產(chǎn)生壓力波； 接收部，接收來(lái)自所述液體的反射波并變換成電信號(hào)； 保存部，保存與所述液體中未含有異物的狀態(tài)有關(guān)的信息；和檢測(cè)部，根據(jù)對(duì)所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于所保存的所述信息的電信號(hào)之差，檢測(cè)有無(wú)所述異物和所述異物大小的至少任一種。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)部根據(jù)對(duì)所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于所保存的所述信息的電信號(hào)之差的平方，檢測(cè)所述異物大
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)部根據(jù)對(duì)所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于所保存的所述信息的電信號(hào)之差，求取散射截面積，根據(jù)預(yù)先求取的異物大小與散射截面積之間的關(guān)系，檢測(cè)異物大小。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述信號(hào)發(fā)生部產(chǎn)生具有滿(mǎn)足下述式子的頻率的所述電信號(hào)，2nRo \ ρ在此，f是頻率，R0是最大氣泡尺寸，Po是液體的平衡壓力，P是液體的密度，Y是熱容比。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述發(fā)信部包含壓電材料，使所述液體中產(chǎn)生與來(lái)自所述信號(hào)發(fā)生部的電信號(hào)的頻率相應(yīng)的所述壓力波。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述接收部包含壓電材料，產(chǎn)生與來(lái)自所述液體的反射波相應(yīng)的電信號(hào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括切換部，所述切換部進(jìn)行來(lái)自所述信號(hào)發(fā)生部的電信號(hào)和來(lái)自所述接收部的電信號(hào)之間的切換。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括收納所述液體的收納部，所述收納部的當(dāng)量直徑尺寸滿(mǎn)足以下式子，
9.一種液滴噴出裝置，包括噴嘴主體，具有液室；加壓部，設(shè)置在所述噴嘴主體上，對(duì)所述液室內(nèi)的液體施加壓力；噴嘴部，設(shè)置在所述噴嘴主體上，具有噴嘴孔；和權(quán)利要求1至7中的任一項(xiàng)所述的異物檢測(cè)裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，其特征在于，將所述加壓部兼用作設(shè)置在所述異物檢測(cè)裝置中的發(fā)信部和接收部的至少任一個(gè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述加壓部根據(jù)來(lái)自所述異物檢測(cè)裝置中設(shè)置的信號(hào)發(fā)生部的電信號(hào)，對(duì)所述液室內(nèi)的液體施加壓力。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述液室的當(dāng)量直徑尺寸滿(mǎn)足以下式子，
13.一種異物檢測(cè)方法，其特征在于，包括向液體中導(dǎo)入具有規(guī)定頻率的壓力波的工序；將來(lái)自所述液體的反射波變換成電信號(hào)的工序；通過(guò)求取對(duì)所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與未含有異物時(shí)的電信號(hào)之差，提取關(guān)于異物的信息的工序；和根據(jù)提取到的所述關(guān)于異物的信息，求取有無(wú)所述異物和所述異物大小的至少任一種的工序。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的異物檢測(cè)方法，其特征在于，在求取所述異物大小時(shí)，根據(jù)對(duì)所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與沒(méi)有所述異物時(shí)的電信號(hào)之差的平方，求取所述異物大小。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的異物檢測(cè)方法，其特征在于，在求取所述異物大小時(shí)，根據(jù)對(duì)所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與沒(méi)有所述異物時(shí)的電信號(hào)之差，求取散射截面積，根據(jù)預(yù)先求取的異物大小與散射截面積之間的關(guān)系，檢測(cè)異物大小。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的異物檢測(cè)方法，其特征在于，在向液體中導(dǎo)入所述壓力波的工序中，向液體中導(dǎo)入具有滿(mǎn)足下述式子的頻率的所述壓力波，
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的異物檢測(cè)方法，其特征在于，在向液體中導(dǎo)入所述壓力波的工序中，向液體中導(dǎo)入具有滿(mǎn)足下述式子的頻率的所述壓力波，
18.一種液滴噴出方法，其特征在于，包括對(duì)液體施加規(guī)定的壓力，使液體作為液滴從噴嘴孔噴出的工序；和使用權(quán)利要求13至17中的任一項(xiàng)所述的異物檢測(cè)方法，求取有無(wú)異物和異物大小的至少任一種的工序。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的液滴噴出方法，其特征在于，還包括根據(jù)求取的所述異物大小，進(jìn)行關(guān)于發(fā)生噴出異常的判定的工序。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的液滴噴出方法，其特征在于，在進(jìn)行關(guān)于發(fā)生所述噴出異常的判定的工序中，在因?yàn)榇嬖诖笥谝?guī)定閾值的異物而有產(chǎn)生噴出異常的危險(xiǎn)的情況下，將大于所述規(guī)定閾值的異物與所述液體一起從所述噴嘴孔中排出。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能提高異物檢測(cè)精度的異物檢測(cè)裝置、異物檢測(cè)方法、液滴噴出裝置和液滴噴出方法。本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置包括信號(hào)發(fā)生部、發(fā)信部、接收部、保存信息的保存部、和檢測(cè)部。所述信號(hào)發(fā)生部產(chǎn)生電信號(hào)。所述發(fā)信部對(duì)所述電信號(hào)進(jìn)行變換，使液體中產(chǎn)生壓力波。所述接收部接收來(lái)自所述液體的反射波并變換成電信號(hào)。所述保存部保存與所述液體中未含有異物的狀態(tài)有關(guān)的信息。所述檢測(cè)部根據(jù)對(duì)所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于所保存的所述信息的電信號(hào)之差，檢測(cè)有無(wú)所述異物和所述異物大小的至少任一種。
文檔編號(hào)B41J2/01GK102539522SQ201110409
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月9日
發(fā)明者佐藤?gòu)?qiáng) 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝