專(zhuān)利名稱(chēng)：包括液體分配元件的陣列的分配器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明通常涉及流體分配器領(lǐng)域，具體地講，涉及根據(jù)需要從連續(xù)液體流噴射一定量的液體的穿流式液滴分配器。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)上，通過(guò)稱(chēng)為“按需滴墨”和“連續(xù)”噴墨印刷的兩種技術(shù)中的一種來(lái)實(shí)現(xiàn)噴墨印刷。在這兩種技術(shù)中均通過(guò)形成在印刷頭中的溝槽來(lái)供應(yīng)諸如油墨(墨水)的液體。每個(gè)溝槽包括噴嘴，從該噴嘴選擇性地?cái)D出小滴并沉積在記錄表面上。按需滴墨印刷僅提供墨滴(常稱(chēng)為“印刷墨滴”)以作用于印刷介質(zhì)上。致動(dòng)器的選擇性的啟動(dòng)使得落到印刷介質(zhì)上的墨滴形成并噴射。通過(guò)控制各個(gè)墨滴的形成來(lái)實(shí)現(xiàn)印刷圖像的形成。通常，在按需滴墨印刷中使用兩種致動(dòng)器中的一種:熱致動(dòng)器和壓電致動(dòng)器。對(duì)于熱致動(dòng)器，設(shè)置在與噴嘴相鄰的便利位置處的加熱器對(duì)油墨進(jìn)行加熱。這使得一定量的油墨相變?yōu)闅鈶B(tài)蒸汽泡，從而使得內(nèi)部油墨壓力充分升高以排出油墨小滴。對(duì)于壓電致動(dòng)器，對(duì)壓電材料施加電場(chǎng)，該壓電材料具有使得與噴嘴相鄰的液室壁移位的特性，從而生成泵作用以排出油墨小滴。連續(xù)噴墨印刷使用加壓的液體源，其生成墨滴流，選擇一些墨滴接觸印刷介質(zhì)(常稱(chēng)為“印刷墨滴”)，而選擇其他墨滴收集并循環(huán)使用或丟棄(常稱(chēng)為“非印刷墨滴”)。例如，當(dāng)不需要印刷時(shí)，將墨滴偏轉(zhuǎn)至捕獲機(jī)構(gòu)(通常稱(chēng)為捕集器、攔截器或隔條)中，并循環(huán)使用或丟棄。當(dāng)需要印刷時(shí)，不使墨滴偏轉(zhuǎn)，而是允許其落到印刷介質(zhì)上。另選地，可允許偏轉(zhuǎn)的墨滴落在印刷介質(zhì)上，而將未偏振的墨滴收集在捕獲機(jī)構(gòu)中。結(jié)合按需滴墨印刷和連續(xù)印刷兩方面的印刷系統(tǒng)也是已知的。這些系統(tǒng)常稱(chēng)為穿流式液滴分配器，與按需滴墨印刷系統(tǒng)相比，其液滴噴射頻率增大，同時(shí)沒(méi)有連續(xù)印刷系統(tǒng)那樣的復(fù)雜。因此，不斷需要努力提高穿流式液滴分配器的可靠性和性能。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一方面，液體分配器包括設(shè)置在基底上的液體分配元件的陣列。每個(gè)液體分配元件包括設(shè)置在所述基底上的液體分配溝槽。所述液體分配溝槽包括設(shè)置在與所述基底相對(duì)的壁上的排放開(kāi)口。分流構(gòu)件與所述液體分配溝槽相關(guān)聯(lián)。液體返回溝槽設(shè)置在所述基底上，與所述液體分配溝槽流體連通。液體供應(yīng)溝槽設(shè)置在所述基底上，與所述液體分配溝槽流體連通。液體供應(yīng)通道穿過(guò)所述基底延伸，與所述液體供應(yīng)溝槽流體連通。液體返回通道穿過(guò)所述基底延伸，與所述液體返回溝槽流體連通。液體供應(yīng)源提供液體，所述液體從每個(gè)液體供應(yīng)溝槽通過(guò)每個(gè)液體分配元件流到每個(gè)液體返回溝槽。每個(gè)分流構(gòu)件被選擇性地啟動(dòng)，以使流過(guò)相關(guān)聯(lián)的液體分配溝槽的一部分液體通過(guò)相關(guān)聯(lián)的液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，以分配液滴。


在下面對(duì)本發(fā)明示例實(shí)施例的詳細(xì)描述中，將參照附圖，其中:圖1A和圖1B是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的示例實(shí)施例的示意性橫截面圖；圖2A和圖2B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性平面圖和示意性橫截面圖；圖2C和圖2D是圖2A所示液體分配器的示意性橫截面圖，示出根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另外的示例實(shí)施例；圖3A和圖3B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性平面圖和示意性橫截面圖；圖4A和圖4B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性平面圖和示意性橫截面圖；圖5A和圖5B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性平面圖和示意性橫截面圖；圖6A和圖6B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性平面圖和示意性橫截面圖；圖7A和圖7B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性平面圖和示意性橫截面圖；圖8A和圖SB分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性平面圖和示意性橫截面圖；圖9A和圖9B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性平面圖和示意性橫截面圖；圖1OA和圖1OB分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性平面圖和示意性橫截面圖；圖1lA和圖1lB分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖12A和圖12B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖13A和圖13B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖14A和圖14B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖15A和圖15B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖16A和圖16B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖17A和圖17B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖18A和圖18B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖19A和圖19B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖20A和圖20B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖21A和圖21B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖22A和圖22B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖23A和圖23B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖24A和圖24B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖25A和圖25B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖26A和圖26B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖27A和圖27B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖28A和圖28B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖29A和圖29B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖30A和圖30B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖31A和圖31B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖32A和圖32B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意性平面圖；圖33A和圖33B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和不意圖；圖34A和圖34B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和不意圖；圖35A和圖35B分別是根據(jù)本發(fā)明的液體分配器的另一示例實(shí)施例的示意性橫截面圖和示意圖。
具體實(shí)施例方式當(dāng)前的描述將具體涉及形成根據(jù)本發(fā)明的設(shè)備的部件的元件或者更直接地與所述設(shè)備協(xié)作的元件。將理解，未具體示出或描述的元件可采取本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的各種形式。在下面的描述和附圖中，只要可能就使用相同的標(biāo)號(hào)來(lái)指代相同的元件。為了清晰起見(jiàn)，示意性地示出本發(fā)明的示例實(shí)施例，而未按比例。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將能夠容易地確定本發(fā)明示例實(shí)施例的元件的具體尺寸和相互連接。如本文所述，本發(fā)明的示例實(shí)施例提供一種液體分配器(常稱(chēng)為印刷頭)，其尤其可用于從印刷頭朝著印刷介質(zhì)噴射墨滴的數(shù)控噴墨印刷裝置中。然而，出現(xiàn)了類(lèi)似于噴墨印刷頭的許多使用液體分配器的其他應(yīng)用，其噴出不同于油墨的液體，所述液體需要以高空間精度精細(xì)計(jì)量并沉積。因此，如本文所述，術(shù)語(yǔ)“液體”和“油墨”可互換使用，是指能夠由下述液體分配器的示例實(shí)施例噴射的任何材料，不僅是噴墨油墨。參照?qǐng)D1A和圖1B，示出根據(jù)本發(fā)明的液體分配器10的示例實(shí)施例。液體分配器10包括液體供應(yīng)溝槽11，該液體供應(yīng)溝槽11通過(guò)液體分配溝槽12與液體返回溝槽13流體連通。液體分配溝槽12包括分流構(gòu)件20。液體供應(yīng)溝槽11包括出口 21，而液體返回溝槽13包括入口 38。液體分配溝槽12包括由上游邊緣18和下游邊緣19限定的排放開(kāi)口 26，其直接向大氣環(huán)境開(kāi)放。排放開(kāi)口 26不同于傳統(tǒng)噴嘴，因?yàn)榕欧砰_(kāi)口 26的面積不決定噴射液滴的大小。相反，分流構(gòu)件20的致動(dòng)決定噴射液滴15的大小(體積)。通常，所形成的液滴的大小與通過(guò)分流構(gòu)件20的致動(dòng)而移位的液體量成比例。排放開(kāi)口 26的上游邊緣18也至少部分地限定液體供應(yīng)溝槽11的出口 21，而排放開(kāi)口 26的下游邊緣19也至少部分地限定液體返回溝槽13的入口 38。由本發(fā)明的液體分配器10噴射的液體不需要經(jīng)過(guò)通常面積較小的傳統(tǒng)噴嘴，這有助于降低排放開(kāi)口 26被顆粒污物污染或阻塞的可能性。利用較大的排放開(kāi)口 26 (相比于傳統(tǒng)噴嘴)還減少了在液滴未被噴射時(shí)的時(shí)間段內(nèi)至少部分地由噴嘴中的蒸發(fā)引起的潛在問(wèn)題。較大的排放開(kāi)口 26還降低了在液滴噴射過(guò)程中由于生成尾長(zhǎng)較短的液滴而形成跟隨液滴的可能性。例如設(shè)置在基底39上或基底39中的與液體分配溝槽12相關(guān)聯(lián)的分流構(gòu)件20能夠被選擇性地致動(dòng)，以將一部分液體25朝向液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26并使其通過(guò)液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26分流，以便形成液滴15并噴射液滴15。分流構(gòu)件20可包括加熱器，或者可利用熱來(lái)致動(dòng)。如圖1A和圖1B所示，分流構(gòu)件20包括加熱器，所述加熱器使流過(guò)液體分配溝槽12的一部分液體汽化，以使得另一部分液體朝著排放開(kāi)口 26分流。這種類(lèi)型的加熱器通常成為“氣泡噴射”加熱器。另選地，分流構(gòu)件20可包括加熱器，例如雙層或三層熱微型致動(dòng)器，其在致動(dòng)過(guò)程中能夠選擇性地進(jìn)出液體分配溝槽12，以使流過(guò)液體分配溝槽12的一部分液體朝著排放開(kāi)口 26分流。這些類(lèi)型的致動(dòng)器是已知的，在下列共同轉(zhuǎn)讓的美國(guó)專(zhuān)利的至少一個(gè)或多個(gè)中有所描述:US6，464，341B1 ；US6, 588，884B1 ；US6,598,960B1 ；US6,721, 020B1 ；US6,817, 702B2 ；US7,073, 890B2 ；US6, 869, 169B2 ；US7, 188，931B2。如圖1A和圖1B所示，液體供應(yīng)溝槽11、液體分配溝槽12和液體返回溝槽13部分地由基底39的多個(gè)部分限定。基底39的這些部分也可稱(chēng)為液體供應(yīng)溝槽11、液體分配溝槽12和液體返回溝槽13的一個(gè)或多個(gè)的壁。壁40限定排放開(kāi)口 26，還部分地限定液體供應(yīng)溝槽11、液體分配溝槽12和液體返回溝槽13?；?9的多個(gè)部分還限定液體供應(yīng)通道42和液體返回通道44。同樣，基底39的這些部分可稱(chēng)為液體供應(yīng)通道42和液體返回通道44的壁。如圖1A和圖1B所示，液體供應(yīng)通道42和液體返回通道44垂直于液體供應(yīng)溝槽
11、液體分配溝槽12和液體返回溝槽13。
液體供應(yīng)源24與液體分配器10流體連通地連接。液體供應(yīng)源24向液體分配器10提供液體25。在操作過(guò)程中，通過(guò)調(diào)節(jié)壓力供應(yīng)源16 (例如，泵)加壓的液體25以連續(xù)方式從液體供應(yīng)源24流過(guò)液體供應(yīng)通道42、流過(guò)液體供應(yīng)溝槽11、流過(guò)液體分配溝槽12、流過(guò)液體返回溝槽13、流過(guò)液體返回通道44、并流回液體供應(yīng)源24 (由箭頭27表示)。當(dāng)想要液體25的墨滴15時(shí)，分流構(gòu)件20被致動(dòng)以使得液體分配溝槽12中的一部分液體25朝著排放開(kāi)口 26并通過(guò)其噴射。通常，調(diào)節(jié)壓力供應(yīng)源16流體連通地設(shè)置在液體供應(yīng)源24和液體供應(yīng)溝槽11之間，并提供高于大氣壓的正壓?？蛇x地，在液體分配器10的液體輸送系統(tǒng)中可包括調(diào)節(jié)真空供應(yīng)源17(例如，泵)，以便更好地控制液體流過(guò)液體分配器10。通常，調(diào)節(jié)真空供應(yīng)源17流體連通地設(shè)置在液體返回溝槽13和液體供應(yīng)源24之間，并提供低于大氣壓的真空(負(fù)壓)?？蛇x地，液體返回溝槽13或液體返回通道44可包括多孔構(gòu)件22 (例如，過(guò)濾器)，其除了提供對(duì)流過(guò)液體分配器10的液體的顆粒過(guò)濾之外，還幫助適應(yīng)與分流構(gòu)件20的致動(dòng)以及朝著排放開(kāi)口 26并通過(guò)排放開(kāi)口 26偏轉(zhuǎn)的一部分液體25相關(guān)的液體返回溝槽13中的液體流動(dòng)和壓力變化。這降低了在分流構(gòu)件20致動(dòng)過(guò)程中液體溢出液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26的可能性。當(dāng)液體分配器10中包括多孔構(gòu)件22時(shí)，還降低了將空氣抽吸到液體返回通道44中的可能性。多孔構(gòu)件22通常在用于加工液體分配器10的制造工藝期間一體地形成在液體返回溝槽13中。另選地，多孔構(gòu)件22可由金屬或聚合材料制成，并插入液體返回溝槽13中或附連到限定液體返回溝槽13的一個(gè)或多個(gè)壁。如圖1A和圖1B所示，多孔構(gòu)件22設(shè)置在液體返回溝槽13中的液體返回溝槽13和液體返回通道44相交的區(qū)域中。因此，可以說(shuō)液體返回通道44包括多孔構(gòu)件22或者液體返回溝槽13包括多孔構(gòu)件22。另選地，多孔構(gòu)件22可設(shè)置在液體返回通道44中的如圖1A和圖1B所示位置的下游。無(wú)論多孔構(gòu)件22 —體地形成還是單獨(dú)加工，多孔構(gòu)件22的孔可具有基本上均勻的孔尺寸。另選地，多孔構(gòu)件22的孔的孔尺寸可具有梯度，從而能夠更有效地適應(yīng)流過(guò)液體分配器10的液體(例如，當(dāng)從液體行進(jìn)方向上看時(shí)，多孔構(gòu)件22的上游部分的孔尺寸較大(另選地，孔尺寸較小)，而多孔構(gòu)件22的下游部分處的尺寸減小(另選地，增大))。多孔構(gòu)件22的孔的具體構(gòu)造通常取決于預(yù)期的特定應(yīng)用。下面更詳細(xì)地討論本發(fā)明這一方面的示例實(shí)施例。通常，多孔構(gòu)件22的位置根據(jù)預(yù)期的特定應(yīng)用而變化。如圖1A和圖1B所示，多孔構(gòu)件22與液體25在液體分配溝槽12中的流動(dòng)方向27平行地設(shè)置在液體返回溝槽13中，使得多孔構(gòu)件22的開(kāi)口(孔)的中心軸線基本上垂直于液體分配溝槽中的液體流27。多孔構(gòu)件22設(shè)置在液體返回溝槽13中，位于與液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26間隔開(kāi)的位置處。多孔構(gòu)件22還設(shè)置在液體返回溝槽13中，位于與液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26的下游邊緣19相鄰的位置處。如上所述，由于大氣壓與上述調(diào)節(jié)真空供應(yīng)源17所提供的負(fù)壓之差小于多孔構(gòu)件22的彎液面壓力，所以降低了空氣被抽吸到液體返回通道44中的可能性。另外,液體返回溝槽13包括通風(fēng)口(vent) 23，其使液體返回溝槽13向大氣環(huán)境開(kāi)放。通風(fēng)口 23有助于適應(yīng)與分流構(gòu)件20的致動(dòng)以及朝著排放開(kāi)口 26并通過(guò)排放開(kāi)口 26偏轉(zhuǎn)的一部分液體25相關(guān)的液體返回溝槽13中的液體流動(dòng)和壓力變化。這降低了在分流構(gòu)件20致動(dòng)過(guò)程中液體溢出液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26的可能性。在液體溢出排放開(kāi)口 26的情況下，通風(fēng)口 23還用作為任何溢出的液體提供返回液體返回溝槽13的路徑的排放口。因此，術(shù)語(yǔ)“通風(fēng)口 ”和“排放口 ”在本文中可互換使用。液體分配器10通常利用已知的半導(dǎo)體制造技術(shù)(例如，CMOS電路制造技術(shù)、微機(jī)電結(jié)構(gòu)(MEMS)制造技術(shù)或其組合)由半導(dǎo)體材料(例如，娃)形成。另選地，液體分配器10可利用本領(lǐng)域已知的任何制造技術(shù)由任何材料形成。本發(fā)明的液體分配器與傳統(tǒng)按需滴墨印刷頭類(lèi)似，僅在需要時(shí)形成墨滴，從而無(wú)需引水槽，也無(wú)需墨滴偏轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)以將形成的一些墨滴引導(dǎo)向引水槽，而將其他墨滴引導(dǎo)向印刷接收介質(zhì)。本發(fā)明的液體分配器使用液體供應(yīng)源向印刷頭供應(yīng)加壓的液體(例如，油墨)。供應(yīng)的油墨壓力用作噴射墨滴的主要原動(dòng)力，以使得大多數(shù)墨滴動(dòng)力由油墨供應(yīng)源提供，而非由噴嘴處的墨滴噴射致動(dòng)器提供。參照?qǐng)D2A-2D并返回參照?qǐng)D1A和圖1B，示出液體分配器10的另外的示例實(shí)施例。在圖2A，液體分配器10的平面圖中，壁46和壁48限定在垂直于液體流27 (示出于圖2B中)的方向上看時(shí)液體分配溝槽12的寬度，以及在垂直于液體流27 (示出于圖2B中)的方向上看時(shí)液體供應(yīng)溝槽11和液體返回溝槽13的寬度。另外，圖2A還示出相對(duì)于液體分配溝槽12的長(zhǎng)度和寬度，排放開(kāi)口 26的在沿著液體流27 (示出于圖2B中)的方向上看時(shí)長(zhǎng)度以及在垂直于液體流27 (示出于圖2B中)的方向上看時(shí)的寬度。在圖2B-2D中，示出分流構(gòu)件20相對(duì)于液體供應(yīng)溝槽11的出口 21和排放開(kāi)口 26的上游邊緣18的位置。在圖2B中，分流構(gòu)件20的上游邊緣50位于液體供應(yīng)溝槽11的出口 21和排放開(kāi)口 26的上游邊緣18處。分流構(gòu)件20的下游邊緣52位于排放開(kāi)口 26的下游邊緣19和液體返回溝槽13的入口 38的上游。在圖2C中，分流構(gòu)件20的上游邊緣50位于液體分配溝槽12中，在液體供應(yīng)溝槽11的出口 21和排放開(kāi)口 26的上游邊緣18下游。分流構(gòu)件20的下游邊緣52位于排放開(kāi)口 26的下游邊緣19和液體返回溝槽13的入口 38的上游。在圖2D中，分流構(gòu)件的上游邊緣50位于液體供應(yīng)溝槽11中，在液體供應(yīng)溝槽11的出口 21和排放開(kāi)口 26的上游邊緣18的上游。分流構(gòu)件20的下游邊緣52位于排放開(kāi)口 26的下游邊緣19和液體返回溝槽13的入口 38的上游。根據(jù)預(yù)期應(yīng)用，分流構(gòu)件20與出口 21和入口 38的相對(duì)位置可用于控制或調(diào)節(jié)噴射液滴15的特性(例如，軌跡角度、體積或速度)。參照?qǐng)D3A-7B并返回參照?qǐng)D1A和圖2A-2D，示出液體分配器10的另外的示例實(shí)施例。如圖2B-2D、圖3B、圖4B、圖5B、圖6B和圖7B所示，限定排放開(kāi)口 26的壁40包括表面54。表面54可以是內(nèi)表面54A或外表面54B。在通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向上看時(shí),排放開(kāi)口 26的下游邊緣19垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54。排放開(kāi)口 26的下游邊緣19可包括其他特征。例如，如圖2A和圖5A所示，在垂直于壁40的表面54的方向上看時(shí)，排放開(kāi)口 26的下游邊緣19的中心部分是筆直的。當(dāng)下游邊緣19的中心部分筆直時(shí)，下游邊緣19的拐角56可以是圓的，以提供機(jī)械穩(wěn)定性并減少壁40中由應(yīng)力引起的開(kāi)裂。然而，據(jù)信，更優(yōu)選的是如圖3A和圖6A所示，在垂直于壁40的表面54的方向上看時(shí)，將排放開(kāi)口 26的下游邊緣19構(gòu)造為包括曲率半徑，以便改善液體分配器10的液滴噴射性能。沿著曲線的弧在不同的位置處曲率半徑可不同。從這種意義上講，所述曲率半徑可包括多個(gè)曲率半徑。在垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，排放開(kāi)口 26沿著穿過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向包括中心線58。在垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，液體分配溝槽12沿著穿過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向包括中心線60。在本發(fā)明的一些示例實(shí)施例中，液體分配溝槽12和排放開(kāi)口 26共享此中心線58、60。據(jù)信，還更優(yōu)選的是將排放開(kāi)口 26的下游邊緣19構(gòu)造為使得其朝著排放開(kāi)口 26的中心線58呈錐形，如圖4A和圖7A所示，以便改善液體分配器10的液滴噴射性能。在垂直于壁40的表面54的方向上看時(shí)，錐形的頂點(diǎn)62可包括曲率半徑，以提供機(jī)械穩(wěn)定性并減少壁40中由應(yīng)力引起的開(kāi)裂。在一些示例實(shí)施例中，排放開(kāi)口 26的總體形狀相對(duì)于排放開(kāi)口 26的中心線58對(duì)稱(chēng)。在其他示例實(shí)施例中，液體分配溝槽12的總體形狀相對(duì)于液體分配溝槽12的中心線60對(duì)稱(chēng)。然而，據(jù)信，當(dāng)液體分配溝槽12的總體形狀和排放開(kāi)口 26的總體形狀相對(duì)于共享的中心線58、60對(duì)稱(chēng)時(shí)可實(shí)現(xiàn)最佳液滴噴射性能。液體分配溝槽12包括與通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向垂直的寬度64。排放開(kāi)口 26還包括與通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向垂直的寬度66。排放開(kāi)口26的寬度66小于液體分配溝槽12的寬度64。在本文所述本發(fā)明的示例實(shí)施例中，在相對(duì)于分流構(gòu)件20的下游位置處液體分配溝槽12的寬度64較大。另外，液體返回溝槽13比液體分配溝槽12在液體分配溝槽12的上游邊緣18處的寬度寬。液體返回溝槽13也比液體供應(yīng)溝槽11在其出口 21處的寬度寬。這一特征有助于控制液體在排放開(kāi)口 26中的彎液面高度，以減少或者甚至防止液體溢出。然而，排放開(kāi)口 26的寬度66可變化。例如在圖2A、圖3A和圖4A所示的示例實(shí)施例中，排放開(kāi)口 26的寬度66沿著排放開(kāi)口 26的長(zhǎng)度保持恒定，直到遇到排放開(kāi)口的下游邊緣19為止。在圖5A、圖6A和圖7A所示的示例實(shí)施例中，與分流構(gòu)件20附近的位置處排放開(kāi)口 26的寬度66相比，在相對(duì)于分流構(gòu)件20的下游位置且相對(duì)于排放開(kāi)口的下游邊緣19的上游位置處，排放開(kāi)口 26的寬度66較大。據(jù)信，這種構(gòu)造有助于實(shí)現(xiàn)最佳液滴噴射性能。盡管如上面參照?qǐng)D2A-2D所述，分流構(gòu)件20的位置可變化，但在本發(fā)明的一些示例實(shí)施例中，在從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，分流構(gòu)件20可設(shè)置為與排放開(kāi)口 26的下游邊緣19間隔開(kāi)一定距離，所述距離介于大于或等于液體分配溝槽12的寬度64的0.5x和小于或等于液體分配溝槽12的寬度64的2.5x的范圍之間。同樣，據(jù)信，此分流構(gòu)件20的位置有助于實(shí)現(xiàn)最佳液滴噴射性能。返回參照?qǐng)D1A、圖2A-2D和圖3A-7B，將描述從液體分配器噴射液體的方法。提供包括液體供應(yīng)溝槽、液體分配溝槽和液體返回溝槽的液體分配器。液體分配溝槽包括壁。所述壁包括表面。所述壁的一部分限定排放開(kāi)口，所述排放開(kāi)口包括相對(duì)于通過(guò)液體分配溝槽的液體流的方向的下游邊緣。所述下游邊緣垂直于液體分配溝槽的所述壁的所述表面。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體。通過(guò)選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，使得液滴從液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射。選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口的分流可包括:對(duì)流過(guò)液體分配溝槽的一部分液體施加熱。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體可包括:提供充分加壓的液體，以使得液體以連續(xù)方式從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽。另外，提供液體分配器可包括:提供包括上述任一個(gè)或彼此組合的任意多個(gè)示例實(shí)施例的液體分配器。參照?qǐng)D8A-10B并返回參照?qǐng)D1B和圖2A-2D，示出液體分配器10的另外的示例實(shí)施例。如圖8B、圖9B和圖1OB所示，限定排放開(kāi)口 26的壁40包括表面54。表面54可以是內(nèi)表面54A或外表面54B。在通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向上看時(shí)，排放開(kāi)口26的下游邊緣19相對(duì)于液體分配溝槽12的壁40的表面54傾斜(成角度)。排放開(kāi)口 26的下游邊緣19可包括其他特征。例如，如圖8A所示，當(dāng)從垂直于壁40的表面54的方向上看時(shí)，排放開(kāi)口 26的下游邊緣19的中心部分為筆直的。當(dāng)下游邊緣19的中心部分筆直時(shí)，下游邊緣19的拐角56可以是圓的(可倒角)，以提供機(jī)械穩(wěn)定性并減少壁40中由應(yīng)力引起的開(kāi)裂。然而，據(jù)信，更優(yōu)選的是如圖9A所示，在垂直于壁40的表面54的方向上看時(shí)，將排放開(kāi)口 26的下游邊緣19的中心部分構(gòu)造為包括曲率半徑，以便改善液體分配器10的液滴噴射性能。沿著曲線的弧在不同的位置處曲率半徑可不同。從這種意義上講，所述曲率半徑可包括多個(gè)曲率半徑。從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，排放開(kāi)口 26沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向包括中心線58。從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，液體分配溝槽12沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向包括中心線60。在本發(fā)明的一些示例實(shí)施例中，液體分配溝槽12和排放開(kāi)口 26共享此中心線58、60。據(jù)信，還更優(yōu)選的是將排放開(kāi)口 26的下游邊緣19構(gòu)造為使得其朝著排放開(kāi)口 26的中心線58呈錐形，如圖1OA所示，以便改善液體分配器10的液滴噴射性能。從垂直于壁40的表面54的方向上看時(shí)，錐形的頂點(diǎn)62可包括曲率半徑。在一些示例實(shí)施例中，排放開(kāi)口 26的總體形狀相對(duì)于排放開(kāi)口 26的中心線58對(duì)稱(chēng)。在其他示例實(shí)施例中，液體分配溝槽12的總體形狀相對(duì)于液體分配溝槽12的中心線60對(duì)稱(chēng)。然而，據(jù)信，當(dāng)液體分配溝槽12的總體形狀和排放開(kāi)口 26的總體形狀相對(duì)于共享的中心線58、60對(duì)稱(chēng)時(shí)可實(shí)現(xiàn)最佳液滴噴射性能。液體分配溝槽12包括與通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向垂直的寬度64。排放開(kāi)口 26也包括與通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向垂直的寬度66。排放開(kāi)口26的寬度66小于液體分配溝槽12的寬度64。在本文所述本發(fā)明的示例實(shí)施例中，在相對(duì)于分流構(gòu)件20的下游位置處液體分配溝槽12的寬度64較大。另外，液體返回溝槽13比液體分配溝槽12在液體分配溝槽12的上游邊緣18處的寬度寬。液體返回溝槽13也比液體供應(yīng)溝槽11在其出口 21處的寬度寬。這一特征有助于控制液體在排放開(kāi)口 26中的彎液面高度，以減少或者甚至防止液體溢出。在圖8A、圖9A和IOA所示的示例實(shí)施例中，與分流構(gòu)件20附近的位置處排放開(kāi)口26的寬度66相比，在相對(duì)于分流構(gòu)件20的下游位置且相對(duì)于排放開(kāi)口的下游邊緣19的上游位置處，排放開(kāi)口 26的寬度66較大。據(jù)信，這種構(gòu)造有助于實(shí)現(xiàn)最佳液滴噴射性能。然而，包括排放開(kāi)口 26的傾斜的下游邊緣19的替代示例實(shí)施例可包括這樣的排放開(kāi)口 26，其寬度66沿著排放開(kāi)口 26的長(zhǎng)度保持恒定，直到遇到排放開(kāi)口的下游邊緣19。這些替代示例實(shí)施例類(lèi)似于上面參照?qǐng)D2A、3A和圖4A所描述的那些，不同的是下游邊緣19相對(duì)于壁的表面54傾斜。盡管如上面參照?qǐng)D2A-2D所述，分流構(gòu)件20的位置可變化，但在本發(fā)明的一些示例實(shí)施例中，在從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，分流構(gòu)件20可設(shè)置為與排放開(kāi)口 26的下游邊緣19間隔開(kāi)一定距離，所述距離介于大于或等于液體分配溝槽12的寬度64的0.5x且小于或等于液體分配溝槽12的寬度64的2.5x的范圍之間。同樣，據(jù)信，此分流構(gòu)件20位置有助于實(shí)現(xiàn)最佳液滴噴射性能。返回參照?qǐng)D1B、圖2A-2D和圖8A-10B，將描述從液體分配器噴射液體的另一方法。提供包括液體供應(yīng)溝槽、液體分配溝槽和液體返回溝槽的液體分配器。液體分配溝槽包括壁。所述壁包括表面。所述壁的一部分限定排放開(kāi)口，所述排放開(kāi)口包括相對(duì)于通過(guò)液體分配溝槽的液體流的方向的下游邊緣。所述下游邊緣相對(duì)于液體分配溝槽的所述壁的所述表面傾斜。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體。通過(guò)選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，使得液滴從液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射。選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口被分流可包括:對(duì)流過(guò)液體分配溝槽的一部分液體施加熱。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體可包括:提供充分加壓的液體，以使得液體以連續(xù)方式從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽。另外，提供液體分配器可包括:提供包括上述任一個(gè)或彼此組合的任意多個(gè)示例實(shí)施例的液體分配器。返回參照?qǐng)D1A-10B，將討論根據(jù)本發(fā)明的液體分配器10的另一示例實(shí)施例。如圖2B-2D、圖3B、圖4B、圖5B、圖6B、圖7B、圖8B、圖9B和圖1OB所示，限定排放開(kāi)口 26的壁40包括表面54。表面54可以是壁40的內(nèi)表面54A或壁40的外表面54B。在通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向上看時(shí)，排放開(kāi)口 26的上游邊緣18包括在垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)的曲率半徑。據(jù)信，提供具有曲率半徑的上游邊緣18有助于強(qiáng)化壁40，由此降低操作過(guò)程中壁疲勞或壁開(kāi)裂的可能性。排放開(kāi)口 26的上游邊緣18可包括其他特征。例如，如圖2B-2D、圖3B、圖4B、圖5B、圖6B和圖7B所示，排放開(kāi)口 26的上游邊緣18可垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54。另選地，如圖8B、圖9B和圖1OB所示，排放開(kāi)口 26的上游邊緣18可相對(duì)于液體分配溝槽12的壁40的表面54傾斜。如圖1A、圖2A、圖4A、圖5A、圖6A、圖7A、圖8A、圖9A和圖1OA所示，在從方向垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，上游邊緣18包括圓形形狀。然而，在從方向垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，上游邊緣18的替代示例實(shí)施例(例如，圖3A所示的示例實(shí)施例)可包括長(zhǎng)方形形狀。上游邊緣18的拐角57可以是圓形的以提供機(jī)械穩(wěn)定性。從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，排放開(kāi)口 26沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向包括中心線58。在包括設(shè)置有曲率半徑的上游邊緣18的一些示例實(shí)施例中，排放開(kāi)口 26的總體形狀相對(duì)于排放開(kāi)口 26的中心線58對(duì)稱(chēng)。如上面參照?qǐng)D2A-2D所述，分流構(gòu)件20的位置可變化。在包括設(shè)置有曲率半徑的上游邊緣18的液體分配器10的示例實(shí)施例中，分流構(gòu)件20的位置也可變化。例如，如圖2B所示，在從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，分流構(gòu)件20的上游邊緣50 (前緣)可與排放開(kāi)口 26的上游邊緣18的曲率半徑的中心68對(duì)齊。另選地，如圖2C和圖2D所示，在從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，分流構(gòu)件20上游邊緣50 (前緣)和排放開(kāi)口 26的上游邊緣18的曲率半徑的中心68可相對(duì)于彼此偏移。例如，分流構(gòu)件20的上游邊緣50可位于液體分配溝槽12中，在排放開(kāi)口 26的上游邊緣18的曲率半徑的中心68的下游。另選地，分流構(gòu)件20的上游邊緣50可位于液體供應(yīng)溝槽11中，在排放開(kāi)口 26的上游邊緣18的曲率半徑的中心68的上游。返回參照?qǐng)D1A-10B，將描述從液體分配器噴射液體的另一方法。提供包括液體供應(yīng)溝槽、液體分配溝槽和液體返回溝槽的液體分配器。液體分配溝槽包括壁。所述壁包括表面。所述壁的一部分限定排放開(kāi)口，所述排放開(kāi)口包括相對(duì)于通過(guò)液體分配溝槽的液體流的方向的上游邊緣。從垂直于所述壁的所述表面的方向上看時(shí)，所述上游邊緣包括曲率半徑。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體。通過(guò)選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，使得液滴從液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射。選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口被分流可包括:對(duì)流過(guò)液體分配溝槽的一部分液體施加熱。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體可包括:提供充分加壓的液體，以使得液體以連續(xù)方式從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽。另外，提供液體分配器可包括:提供包括上述任一個(gè)或彼此組合的任意多個(gè)示例實(shí)施例的液體分配器。參照?qǐng)D11A-18B并返回參照?qǐng)D1A和圖1B，示出包括本發(fā)明另一方面的液體分配器10的示例實(shí)施例。如圖1A和圖18B所示,液體返回通道44的尺寸大于液體供應(yīng)通道42的尺寸。據(jù)信，這一特征有助于適應(yīng)液體返回溝槽13中的液體流動(dòng)和壓力變化，從而降低液體溢出液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26的可能性。如圖11A-18B所示，液體返回通道44包括多個(gè)單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C。液體返回通道44的總(合計(jì))尺寸仍大于液體供應(yīng)通道42的尺寸，但單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C的尺寸和形狀近似等于液體供應(yīng)通道42的尺寸和形狀。據(jù)信，這一特征不僅適應(yīng)液體返回溝槽13中的液體流動(dòng)和壓力變化，以降低液體溢出液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26的可能性，而且還有利于液體分配器10的制造并改善從分流構(gòu)件20向流過(guò)單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C的液體的熱消散。如上所述，壁40的一部分限定排放開(kāi)口 26。在液體流27的方向上看時(shí)，壁40的另一部分限定位于壁40中排放開(kāi)口 26的下游的排放口 23。排放口 23 (也稱(chēng)為通風(fēng)口)是壁40中的適當(dāng)成形的通孔。在上面參照?qǐng)D11A-18B描述的排放口 23的示例實(shí)施例中，從垂直于壁40的方向上看時(shí)，排放口 23包括曲率半徑。壁40包括表面54,其可為壁40的內(nèi)表面54A或壁40的外表面54B。如上所述，從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，排放開(kāi)口 26沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向包括中心線58。排放開(kāi)口 26的總體形狀相對(duì)于排放開(kāi)口 26的中心線58對(duì)稱(chēng)。從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，排放口 23沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向還包括中心線70。在本發(fā)明的一些示例實(shí)施例中，排放開(kāi)口 26和排放口 23共享此中心線58、70。在本發(fā)明這一方面的一些示例實(shí)施例中，排放口 23的總體形狀相對(duì)于液體分配溝槽12的中心線70對(duì)稱(chēng)。然而，據(jù)信，當(dāng)排放開(kāi)口 26的形狀和排放口 23的形狀相對(duì)于共享的中心線58、70對(duì)稱(chēng)時(shí)可實(shí)現(xiàn)最佳液滴噴射性能。排放口 23可包括單個(gè)通孔(開(kāi)口)，如圖11A-17B所示。另選地，排放口 23可在壁40中包括多個(gè)分立的通孔(開(kāi)口)，如圖18A和圖18B所示，從垂直于壁40的方向上看時(shí)，排放口 23的全部或一部分可為圓形形狀，如圖11A-18B所示。從垂直于壁40的方向上看時(shí)排放口 23的形狀可在通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向上伸長(zhǎng)，如圖11A-18B所示。當(dāng)液體返回通道44以這樣的方式構(gòu)造時(shí)，排放口 23的伸長(zhǎng)可跨越一個(gè)以上單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C。從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向上看時(shí)，排放口 23的寬度78可沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向變化，如圖15A-16B所示。另選地，從垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54的方向看時(shí)，排放口 23的寬度78可沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向保持恒定，如圖11A-14B、圖18A和圖18B所示。排放口 23可包括其他特征。例如，如圖11A、圖12A、圖13A、圖14A、圖15A、圖16A和圖18A所示，排放口 23的壁74可垂直于液體分配溝槽12的壁40的表面54。另選地，如圖17A所示，排放口 23的壁74可相對(duì)于液體分配溝槽12的壁40的表面54傾斜。如圖11B、圖12B、圖13B、圖14B、圖15B、圖16B、圖17B和圖18B所示，排放口 23的上游邊緣72可包括曲率半徑。在一些示例實(shí)施例，例如，圖13B和圖14B所示那些實(shí)施例中，此曲率半徑為第一曲率半徑，而排放口 23的下游邊緣73包括不同于第一曲率半徑的第二曲率半徑。在其他示例實(shí)施例，例如，圖1lB和圖17B所示那些實(shí)施例中，第二曲率半徑與第一曲率半徑相同。另選地，如圖12B、圖15B和圖16B所示，下游邊緣73筆直，不具有曲率半徑。下游邊緣73的拐角76可以是圓的以提供機(jī)械穩(wěn)定性。返回參照?qǐng)D1A、圖1B和圖11A-18B，將描述從液體分配器噴射液體的另一方法。提供包括液體供應(yīng)溝槽、液體分配溝槽和液體返回溝槽的液體分配器。液體分配溝槽包括壁。所述壁包括表面。所述壁的一部分限定排放開(kāi)口。所述壁的另一部分限定排放口，所述排放口位于所述壁中排放開(kāi)口的下游。從垂直于所述壁的方向上看時(shí)，所述排放口包括曲率半徑。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體。通過(guò)選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口被分流，使得液滴從液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射。選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流可包括:對(duì)流過(guò)液體分配溝槽的一部分液體施加熱。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體可包括:提供充分加壓的液體，以使得液體以連續(xù)方式從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽。另外，提供液體分配器可包括:提供包括上述任一個(gè)或彼此組合的任意多個(gè)示例實(shí)施例的液體分配器。參照?qǐng)D19A-24B并返回參照?qǐng)D11A-18B、圖1A和圖1B，示出包括本發(fā)明另一方面的液體分配器10的示例實(shí)施例。如圖19A-24B和圖11A-18B所示,液體返回通道44包括多個(gè)單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C。液體返回通道44的總(合計(jì))尺寸仍大于液體供應(yīng)通道42的尺寸，但單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C的尺寸和形狀近似等于液體供應(yīng)通道42的尺寸和形狀。據(jù)信，這一特征不僅適應(yīng)液體返回溝槽13中的液體流動(dòng)和壓力變化，從而降低液體溢出液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26的可能性，而且還有利于液體分配器10的制造并改善從分流構(gòu)件20向流過(guò)單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C的液體的熱消散。在圖19A-24B中，每個(gè)“B”圖中移除了排放口 23以便能夠更清楚地看到單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C。液體分配溝槽12包括第一壁40。第一壁40的一部分限定排放開(kāi)口 26。液體分配溝槽12包括與第一壁40相對(duì)的第二壁80。液體分配溝槽12的第二壁80沿著液體供應(yīng)溝槽11的一部分并沿著液體返回溝槽13的一部分延伸。液體供應(yīng)通道42延伸穿過(guò)第二壁80，并與液體供應(yīng)溝槽11流體連通。多個(gè)液體返回通道44A、44B (以及44C，如圖24A和圖24B所示)延伸穿過(guò)第二壁80并與液體返回溝槽13流體連通。液體供應(yīng)源24 (示出于圖1A和圖1B中)提供從液體供應(yīng)通道42、通過(guò)液體供應(yīng)溝槽11、通過(guò)液體分配溝槽12、并通過(guò)液體返回溝槽13流向多個(gè)液體返回通道44A、44B (以及44C，如圖24A和圖24B所示)的液體。分流構(gòu)件20選擇性地使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26分流。如圖11A-24B所示，從垂直于液體分配溝槽12的第一壁40的方向看時(shí)，多個(gè)液體返回通道44A、44B (以及44C，如圖24A和圖24B所示)可相對(duì)于沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向設(shè)置的中心線70 (例如，示出于圖1lB和圖18B中)對(duì)齊。各個(gè)單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C的面積基本上等于其他液體返回通道44A、44B、44C的面積。液體供應(yīng)通道42的面積也基本上等于多個(gè)液體返回通道44A、44B、44C中的一個(gè)(或多個(gè))的面積。因此，液體返回通道44A、44B、44C的總(合計(jì))面積大于液體供應(yīng)通道42的面積。多個(gè)液體返回通道44A、44B、44C中的至少一個(gè)包括多孔構(gòu)件22。例如，如圖19A和圖19B所示，液體返回通道44A和44B均包括多孔構(gòu)件22。然而，如圖22A和圖22B所示，僅液體返回通道44B包括多孔構(gòu)件22。多孔構(gòu)件22中所包括的多個(gè)孔的特性可根據(jù)液體分配器10的具體應(yīng)用而改變。例如，如圖23A和圖23B所示，設(shè)置在液體返回通道44A和44B中的多孔構(gòu)件22中的多個(gè)孔的每一個(gè)具有基本上彼此相同的尺寸。在圖23A和圖23B中，液體供應(yīng)通道42包括多孔構(gòu)件22。另選地，多孔構(gòu)件22可包括多個(gè)孔，其中孔尺寸變化。例如，如圖20A和圖20B所示，設(shè)置在液體返回通道44A中的多孔構(gòu)件22的孔尺寸不同于設(shè)置在液體返回通道44B中的多孔構(gòu)件22的孔尺寸。在圖20A和圖20B中，設(shè)置在液體返回通道44A中的多孔構(gòu)件22的孔尺寸和設(shè)置在液體返回通道44B中的多孔構(gòu)件22的孔尺寸沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向單一變化?？壮叽缱兓沙霈F(xiàn)于單個(gè)多孔構(gòu)件22的孔中。如圖21A和圖21B所示，設(shè)置在液體返回通道44A中的多孔構(gòu)件22的孔尺寸在多孔構(gòu)件22內(nèi)變化。在圖21A和圖21B中，在設(shè)置在液體返回通道44B中的多孔構(gòu)件22內(nèi)孔尺寸沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向單一變化。當(dāng)多個(gè)液體返回通道中的兩個(gè)的至少每一個(gè)，例如，當(dāng)液體返回通道44A、44B或44C中的至少兩個(gè)包括多孔構(gòu)件22時(shí)，孔可具有如圖24A和圖24B所示的相同的孔尺寸，或者可具有不同的孔尺寸。另選地，每個(gè)多孔構(gòu)件22可包括不同于另一多孔構(gòu)件22的液體流阻抗。返回參照?qǐng)D1A、圖1B和圖11A-24B，將描述從液體分配器噴射液體的另一方法。提供包括液體供應(yīng)溝槽、液體分配溝槽和液體返回溝槽的液體分配器。液體分配溝槽包括第一壁。第一壁的一部分限定排放開(kāi)口。液體分配溝槽包括與第一壁相對(duì)的第二壁。液體分配溝槽的第二壁沿著液體供應(yīng)溝槽的一部分并沿著液體返回溝槽的一部分延伸。提供延伸穿過(guò)第二壁并與液體供應(yīng)溝槽流體連通的液體供應(yīng)通道。提供延伸穿過(guò)第二壁并與液體返回溝槽流體連通的多個(gè)液體返回通道。提供從液體供應(yīng)通道、通過(guò)液體供應(yīng)溝槽、通過(guò)液體分配溝槽、通過(guò)液體返回溝槽流向所述多個(gè)液體返回通道的液體。通過(guò)選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以分流一部分流動(dòng)液體使其通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口，使得從液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射液滴。選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流可包括:對(duì)流過(guò)液體分配溝槽的一部分液體施加熱。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體可包括:提供充分加壓的液體，以使得液體以連續(xù)方式從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽。另外，提供液體分配器可包括:提供包括上述任一個(gè)或彼此組合的任意多個(gè)示例實(shí)施例的液體分配器。參照?qǐng)D24A和圖24B并返回參照?qǐng)D1A和圖1B，示出包括本發(fā)明另一方面的液體分配器10的示例實(shí)施例。液體分配溝槽12包括第一壁40。第一壁40包括表面54 (內(nèi)表面54A或外表面54B)。第一壁40的一部分限定排放開(kāi)口 26。液體分配溝槽12包括與第一壁40相對(duì)的第二壁80。液體分配溝槽12的第二壁80沿著液體供應(yīng)溝槽11的一部分并沿著液體返回溝槽13的一部分延伸。液體供應(yīng)通道42延伸穿過(guò)第二壁80并與液體供應(yīng)溝槽11流體連通。多個(gè)液體返回通道44A、44B和44C延伸穿過(guò)第二壁80并與液體返回溝槽13流體連通。液體供應(yīng)源24 (示出于圖1A和圖1B中)提供從液體供應(yīng)通道42通過(guò)液體供應(yīng)溝槽11、通過(guò)液體分配溝槽12、通過(guò)液體返回溝槽13流向多個(gè)液體返回通道44A、44B和44C的液體。分流構(gòu)件20選擇性地將一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽12的排放開(kāi)口26分流。從垂直于液體分配溝槽12的第一壁40的表面54的方向看時(shí)，液體返回通道44A與液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26重疊。液體返回通道44A位于分流構(gòu)件20的下游并與分流構(gòu)件20間隔開(kāi)。液體返回通道44A包括多孔構(gòu)件。另外，如圖24A和圖24B所示,液體返回通道44A為第一液體返回通道,液體分配器10包括設(shè)置在第一液體返回通道44A的下游的第二液體返回通道(44B或44C)。第一液體返回通道44A和第二液體返回通道(44B或44C)中的至少一個(gè)包括多孔構(gòu)件。返回參照?qǐng)D1A、圖1B、圖24A和圖24B，將描述從液體分配器噴射液體的另一方法。提供包括液體供應(yīng)溝槽、液體分配溝槽和液體返回溝槽的液體分配器。液體分配溝槽包括第一壁。第一壁包括表面。第一壁的一部分限定排放開(kāi)口。液體分配溝槽包括與第一壁相對(duì)地設(shè)置的第二壁。液體分配溝槽的第二壁沿著液體供應(yīng)溝槽的一部分并沿著液體返回溝槽的一部分延伸。提供延伸穿過(guò)第二壁并與液體供應(yīng)溝槽流體連通的液體供應(yīng)通道。提供延伸穿過(guò)第二壁并與液體返回溝槽流體連通的液體返回通道。從垂直于液體分配溝槽的第一壁的所述表面的方向看時(shí)，液體返回通道與液體分配溝槽的排放開(kāi)口重疊。提供從液體供應(yīng)通道通過(guò)液體供應(yīng)溝槽、通過(guò)液體分配溝槽、通過(guò)液體返回溝槽流向液體返回通道的液體。通過(guò)選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以分流一部分流動(dòng)液體使其通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口，使得從液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射液滴。選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流可包括:對(duì)流過(guò)液體分配溝槽的一部分液體施加熱。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體可包括:提供充分加壓的液體，以使得液體以連續(xù)方式從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽。另外，提供液體分配器可包括:提供包括上述任一個(gè)或彼此組合的任意多個(gè)示例實(shí)施例的液體分配器。參照?qǐng)D25A-26B并返回參照?qǐng)D1A和圖1B，示出包括本發(fā)明另一方面的液體分配器10的不例實(shí)施例。液體分配溝槽12包括第一壁40。壁40包括表面54 (內(nèi)表面54A或外表面54B)。第一壁40的一部分限定排放開(kāi)口 26。液體分配溝槽12還包括與第一壁40相對(duì)地設(shè)置的第二壁80。液體分配溝槽12的第二壁80沿著液體供應(yīng)溝槽11的一部分并沿著液體返回溝槽13的一部分延伸。液體供應(yīng)通道42延伸穿過(guò)第二壁80并與液體供應(yīng)溝槽11流體連通。液體供應(yīng)通道42包括多孔構(gòu)件22。液體返回通道44延伸穿過(guò)第二壁80并與液體返回溝槽13流體連通。液體返回通道包括多孔構(gòu)件22。液體供應(yīng)源24提供從液體供應(yīng)通道42通過(guò)液體供應(yīng)溝槽11、通過(guò)液體分配溝槽12、并通過(guò)液體返回溝槽13流向液體返回通道的液體。分流構(gòu)件20選擇性地將一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26分流。如圖25A-26B所示，多孔構(gòu)件22設(shè)置在液體供應(yīng)溝槽11中，位于液體供應(yīng)溝槽11與液體供應(yīng)通道42相交的區(qū)域中。因此，可以說(shuō)液體供應(yīng)通道42包括多孔構(gòu)件22，或者液體供應(yīng)溝槽11包括多孔構(gòu)件22。當(dāng)參照在液體供應(yīng)溝槽11與液體供應(yīng)通道42相交處包括多孔構(gòu)件22的本發(fā)明的其他示例實(shí)施例時(shí)也可以這樣說(shuō)。另選地，多孔構(gòu)件22可設(shè)置在液體供應(yīng)通道42中如圖25A-26B所示位置的上游。另外，如圖25A-26B所示，多孔構(gòu)件22設(shè)置在液體返回溝槽13中，位于液體返回溝槽13與液體返回通道44相交的區(qū)域中。因此，可以說(shuō)液體返回通道44包括多孔構(gòu)件22，或者液體返回溝槽13包括多孔構(gòu)件22。當(dāng)參照在液體返回溝槽13與液體返回通道44相交處包括多孔構(gòu)件22的本發(fā)明的其他示例實(shí)施例時(shí)也可以這樣說(shuō)。另選地，多孔構(gòu)件22可設(shè)置在液體返回通道44中如圖25A-26B所示位置的下游。如圖25A和圖25B所示，多孔構(gòu)件22包括尺寸相同的孔。另選地，多孔構(gòu)件22包括彼此相比尺寸變化的孔。如圖26A和圖26B所示，沿著通過(guò)液體分配溝槽12的液體流27的方向孔尺寸單一變化。多孔構(gòu)件22的孔也可成形為提供不同的液體流阻抗。在25B-26B中，從每個(gè)“B”圖中移除了排放口 23以便能夠更清楚地看到液體返回通道44和多孔構(gòu)件22。返回參照?qǐng)D1A、圖1B和圖25A-26B,將描述從液體分配器噴射液體的另一方法。提供包括液體供應(yīng)溝槽、液體分配溝槽和液體返回溝槽的液體分配器。液體分配溝槽包括第一壁。第一壁的一部分限定排放開(kāi)口。液體分配溝槽包括與第一壁相對(duì)地設(shè)置的第二壁。液體分配溝槽的第二壁沿著液體供應(yīng)溝槽的一部分并沿著液體返回溝槽的一部分延伸。提供延伸穿過(guò)第二壁并與液體供應(yīng)溝槽流體連通的液體供應(yīng)通道。液體供應(yīng)通道包括多孔構(gòu)件。提供延伸穿過(guò)第二壁并與液體返回溝槽流體連通的液體返回通道。液體返回通道包括多孔構(gòu)件。提供從液體供應(yīng)通道，通過(guò)液體供應(yīng)溝槽，通過(guò)液體分配溝槽，通過(guò)液體返回溝槽流向液體返回通道的液體。通過(guò)選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使得一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，使得從液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射液滴。選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流可包括:對(duì)流過(guò)液體分配溝槽的一部分液體施加熱。提供從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽的液體可包括:提供充分加壓的液體，以使得液體以連續(xù)方式從液體供應(yīng)溝槽通過(guò)液體分配溝槽流向液體返回溝槽。另外，提供液體分配器可包括:提供包括上述任一個(gè)或彼此組合的任意多個(gè)示例實(shí)施例的液體分配器。參照?qǐng)D27A-32B并返回參照?qǐng)D1A和圖1B，示出包括本發(fā)明另一方面的液體分配器10的示例實(shí)施例。在圖27B-32B中，每個(gè)“B”圖中移除了排放口 23以便能夠更清楚地看到液體返回通道44和多孔構(gòu)件22。液體分配器10包括基底39以及設(shè)置在基底39上的液體分配元件82A、82B、82C的陣列(如圖27B、圖28B、圖29B、圖30B、圖31B和圖32B所示)。每個(gè)液體分配元件82A、82B、82C包括設(shè)置在基底39上的液體分配溝槽12。液體分配溝槽12包括位于與基底39相對(duì)的壁40中的排放開(kāi)口 26。分流構(gòu)件20與液體分配溝槽12相關(guān)聯(lián)。液體返回溝槽13設(shè)置在基底39上并與液體分配溝槽12流體連通。液體供應(yīng)溝槽11設(shè)置在基底39上并與液體分配溝槽12流體連通。液體供應(yīng)通道42延伸穿過(guò)基底39并與液體供應(yīng)溝槽11流體連通。液體返回通道44延伸穿過(guò)基底39并與液體返回溝槽13流體連通。液體返回通道44可為單個(gè)液體返回通道或多個(gè)單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C,如上所述。液體供應(yīng)源24 (示出于圖1A和圖1B中)提供從每個(gè)液體供應(yīng)溝槽11通過(guò)每個(gè)液體分配元件12流向各液體分配元件82A、82B、82C的每個(gè)液體返回溝槽13的液體25。各液體分配元件82A、82B、82C的每個(gè)分流構(gòu)件20被選擇性地啟動(dòng)，以通過(guò)相關(guān)聯(lián)的液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26將流過(guò)相關(guān)聯(lián)的液體分配溝槽12的一部分液體分流，以分配液體25的墨滴15。如上所述，各液體分配元件82A、82B、82C包括與液體供應(yīng)溝槽11流體連通的液體供應(yīng)通道42以及與液體返回溝槽流體連通的液體返回通道44。然而，供應(yīng)通道42與供應(yīng)溝槽11的關(guān)系以及返回通道44與返回溝槽13的關(guān)系不必為一對(duì)一的。因此，在本發(fā)明這一方面的替代示例實(shí)施例中，一個(gè)液體供應(yīng)通道42可與一個(gè)以上的液體供應(yīng)溝槽11流體連通。類(lèi)似地，在本發(fā)明這一方面的替代示例實(shí)施例中，一個(gè)液體返回通道44可與一個(gè)以上的液體返回溝槽13流體連通。從垂直于壁40的表面54A或54B的方向看時(shí)，液體供應(yīng)溝槽11包括寬度84。寬度84沿著液體流27的方向變化。通常，液體供應(yīng)溝槽11的下游部分比液體供應(yīng)溝槽11的上游部分窄。從液體流27的方向看時(shí)，液體供應(yīng)溝槽11在液體供應(yīng)溝槽11的出口 21的上游變窄(或“收縮”)。隨著液體從液體供應(yīng)通道42向液體分配溝槽12行進(jìn)，液體供應(yīng)溝槽11的壁46與壁48的壁-壁間距變得更靠近在一起。液體供應(yīng)溝槽11的出口 21的橫截面積小于與液體供應(yīng)通道42相鄰的液體供應(yīng)溝槽11的橫截面積。這是為了增大液體流過(guò)液體分配溝槽12的速度。另外，在包括液體分配元件陣列82的液體分配器10中，相鄰液體分配元件82A、82B、82C之間的間隔有限。在出口 21處變窄的液體供應(yīng)溝槽11允許液體分配溝槽12的下游部分比出口 21寬，以便控制排放開(kāi)口 26中的液體的彎液面高度，從而減少或者甚至防止液體溢出?，F(xiàn)在將參照?qǐng)D27A-32B中的選定圖來(lái)討論示例實(shí)施例。如圖27B、圖30B和圖3IB所示，第一液體供應(yīng)溝槽(例如，液體分配元件82A的液體供應(yīng)溝槽11)的上游部分可與第二液體供應(yīng)溝槽(例如，液體分配元件82B的液體供應(yīng)溝槽11)的上游部分共享壁86。如圖28B所示，共享的壁86可包括至少一個(gè)開(kāi)口 88，所述開(kāi)口在第一液體供應(yīng)溝槽(液體分配元件82A的液體供應(yīng)溝槽11)和第二液體供應(yīng)溝槽(液體分配元件82B的液體供應(yīng)溝槽11)之間提供流體連通。如圖29B和圖32B所示,共享的壁86可通過(guò)柱90(或者在一些示例實(shí)施例中，多個(gè)柱90)分割，以形成通過(guò)柱90彼此間隔開(kāi)的第一開(kāi)口 88A和第二開(kāi)口 88B。第一開(kāi)口 88A和第二開(kāi)口 88B在第一液體供應(yīng)溝槽(液體分配元件82A的液體供應(yīng)溝槽11)和第二液體供應(yīng)溝槽(液體分配元件82B的液體供應(yīng)溝槽11)之間提供流體連通。如圖27A-32B所示，可選地，液體供應(yīng)通道42可包括多孔構(gòu)件22。如圖27B所示，第一液體返回溝槽(例如,液體分配元件82A的液體返回溝槽13)的一部分可與第二液體返回溝槽(例如，液體分配元件82B的液體返回溝槽13)的一部分共享壁92。如圖28B和圖30B所示，共享的壁92可包括至少一個(gè)開(kāi)口 94，所述開(kāi)口在第一液體返回溝槽(液體分配元件82A的液體返回溝槽13)和第二液體返回溝槽(液體分配元件82B的液體返回溝槽13)之間提供流體連通。如圖29B、圖31B和圖32B所示，共享的壁92可通過(guò)多個(gè)柱96分割，以形成通過(guò)柱96彼此間隔開(kāi)的第一開(kāi)口 94A和第二開(kāi)口 94B以及第三開(kāi)口 94C和第四開(kāi)口 94D。在替代實(shí)施例中，可使用單個(gè)柱96來(lái)形成第一開(kāi)口 94A和第二開(kāi)口 94B。第一開(kāi)口 94A和第二開(kāi)口 94B (以及第三開(kāi)口 94C和第四開(kāi)口 94D)在第一液體返回溝槽(液體分配元件82A的液體返回溝槽13)和第二液體返回溝槽(液體分配元件82B的液體返回溝槽13)之間提供流體連通。如圖27A-32B所示,在液體分配元件82A、82B的每一個(gè)中，液體返回通道44包括第一液體返回通道44A和第二液體返回通道44B。第一液體返回通道44A和第二液體返回通道44B與液體返回溝槽13流體連通。本發(fā)明這一方面的替代示例實(shí)施例包括使用單個(gè)液體返回通道或兩個(gè)以上的液體返回通道。液體返回通道44 (44A、44B)包括多孔構(gòu)件22。在本發(fā)明的一些不例實(shí)施例中，設(shè)置在與基底39相對(duì)的壁40中并位于排放開(kāi)口 26下游的排放口 23跨越多個(gè)液體分配元件82A、82B，而在本發(fā)明的其他示例實(shí)施例中，如上所述，排放口 23位于單個(gè)液體分配元件82的壁46、48之間。返回參照?qǐng)D1A、圖1B和圖27A-32B，將描述從液體分配器噴射液體的另一方法。提供設(shè)置在基底上的液體分配元件的陣列。每個(gè)液體分配元件包括設(shè)置在基底上的液體分配溝槽。液體分配溝槽包括設(shè)置在與基底相對(duì)的壁上的排放開(kāi)口。分流構(gòu)件與液體分配溝槽相關(guān)聯(lián)。液體返回溝槽設(shè)置在基底上并與液體分配溝槽流體連通。液體供應(yīng)溝槽設(shè)置在基底上并與液體分配溝槽流體連通。液體供應(yīng)通道延伸穿過(guò)基底并與液體供應(yīng)溝槽流體連通。液體返回通道延伸穿過(guò)基底并與液體返回溝槽流體連通。提供從液體供應(yīng)通道，通過(guò)液體供應(yīng)溝槽、通過(guò)液體分配溝槽、通過(guò)液體返回溝槽流向液體分配元件陣列的液體返回通道的液體。通過(guò)選擇性地致動(dòng)一個(gè)液體分配元件的分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)該液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，使得從所述液體分配元件中的液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射液滴。可通過(guò)選擇性地致動(dòng)另一液體分配元件的分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)所述另一液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，使得從所述另一液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射液滴。選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流可包括:對(duì)流過(guò)液體分配溝槽的一部分液體施加熱。提供從液體供應(yīng)通道通過(guò)液體供應(yīng)溝槽、通過(guò)液體分配溝槽、通過(guò)液體返回溝槽流向液體返回通道的液體可包括:提供充分加壓的液體，以使得液體以連續(xù)方式從液體供應(yīng)通道通過(guò)液體供應(yīng)溝槽、通過(guò)液體分配溝槽、通過(guò)液體返回溝槽流向液體返回通道。另外，提供液體分配器可包括:提供包括上述任一個(gè)或彼此組合的任意多個(gè)示例實(shí)施例的液體分配器。參照?qǐng)D33A-35B并返回參照?qǐng)D1A和圖1B，示出本發(fā)明另一方面的液體分配器10的示例實(shí)施例。圖33B、圖34B和圖35B提供沿著線X-X截取的液體分配器10的示圖，其中液體供應(yīng)通道42和液體返回通道44 (44A、44B)的位置疊加，以更清楚地示出其相對(duì)于液體歧管98的取向。液體分配器10包括設(shè)置在基底39上的液體分配元件82A、82B、82C、...82H的陣列(如圖33B、圖34B和圖35B所示)。各液體分配元件82A、82B、82C、...82H包括設(shè)置在基底39上的液體分配溝槽12。液體分配溝槽12包括位于與基底39相對(duì)的壁40中的排放開(kāi)口 26。分流構(gòu)件20與液體分配溝槽12相關(guān)聯(lián)。液體返回溝槽13設(shè)置在基底39上并與液體分配溝槽12流體連通。液體供應(yīng)溝槽11設(shè)置在基底39上并與液體分配溝槽12流體連通。液體供應(yīng)通道42延伸穿過(guò)基底39并與液體供應(yīng)溝槽11流體連通。液體返回通道44延伸穿過(guò)基底39并與液體返回溝槽13流體連通。液體返回通道44可為單個(gè)液體返回通道或多個(gè)單獨(dú)的液體返回通道44A、44B、44C、...44H，如上所述。液體歧管98包括液體供應(yīng)管道100和液體返回管道102。液體供應(yīng)管道100與各液體分配元件82A、82B、82C、...82H的每個(gè)液體供應(yīng)通道42流體連通。液體返回管道102與各液體分配元件82A、82B、82C、...82H的各液體返回通道44A、44B、44C、...44H流體連通。液體供應(yīng)源24 (示出于圖1A和圖1B中)提供從液體歧管98的液體供應(yīng)管道100通過(guò)各液體分配元件82A、82B、82C、...82H流向液體歧管98的液體返回管道102的液體25。每個(gè)分流構(gòu)件20被選擇性地啟動(dòng)，以通過(guò)相關(guān)聯(lián)的液體分配溝槽12的排放開(kāi)口 26將流過(guò)相關(guān)聯(lián)的液體分配溝槽12的一部分液體分流，以分配液體25的液滴15。液體供應(yīng)管道100包括液體進(jìn)口 116，同時(shí)液體返回管道102包括液體出口 118。液體供應(yīng)管道100的液體進(jìn)口 116和液體返回管道102的液體出口 118間隔開(kāi)第一距尚106。液體供應(yīng)通道42包括液體進(jìn)口 120，液體返回通道44包括液體出口 122。液體供應(yīng)通道42的液體進(jìn)口 120和液體返回通道44的液體出口 122間隔開(kāi)第二距離108。第一距離106大于第二距離108，以有助于液體分配器10與液體源24之間的流體連接。在液體流27通過(guò)液體分配元件82A、82B、82C、...82H之一的液體分配溝槽12的方向上，液體供應(yīng)管道100的液體進(jìn)口 116和液體返回管道102的液體出口 118彼此對(duì)齊。液體供應(yīng)管道100和液體返回管道102中的至少一個(gè)包括這樣的部分124,該部分被設(shè)置為提供與包括液體分配元件82A、82B、82C、...82H的基底39的表面128平行的液體流126。在一些示例實(shí)施例中，部分124是第一部分124，液體供應(yīng)管道100和液體返回管道102中的至少一個(gè)包括第二部分130，所述第二部分被設(shè)置為提供與包括液體分配元件82A、82B、82C、...82H的基底39的表面128垂直的液體流132。在其他示例實(shí)施例中，僅液體供應(yīng)管道100和液體返回管道102中的至少一個(gè)包括這樣的部分130，該部分被設(shè)置為提供與包括液體分配元件82A、82B、82C、...82H的基底39的表面128垂直的液體流132。包括液體分配元件82A、82B、82C、...82H的陣列的基底39可稱(chēng)為第一基底，而液體歧管98形成在結(jié)合到第一基底39的第二基底134中。
現(xiàn)在將參照?qǐng)D33A-35B中的選定圖來(lái)討論示例實(shí)施例。如圖34B所示，液體歧管98的液體供應(yīng)管道100由各液體分配元件82A、82B、82C、...82H的液體供應(yīng)通道42共用。另外，如圖34B所示，液體歧管98的液體返回管道102由各液體分配元件82A、82B、82C、...82H的液體返回通道44A、44B、44C、...44H共用。在其他示例實(shí)施例中，僅液體歧管98的液體返回管道102由各液體分配元件82A、82B、82C、...82H的液體返回通道44A、44B、44C、.44H 共用。如圖33B所不，液體歧管98的液體供應(yīng)管道100包括多個(gè)分隔物104,其將液體供應(yīng)管道100分成多段136。各段136通過(guò)對(duì)應(yīng)的液體供應(yīng)通道42與液體分配元件82A、82B、82C、...82H流體連通。在此示例實(shí)施例中，液體歧管98的液體供應(yīng)管道100包括各段136共用的區(qū)段138。沿著液體流27的方向看時(shí)，共用區(qū)段138位于分段的區(qū)段136的上游。在其他示例實(shí)施例中，液體供應(yīng)管道100分段，不包括共用區(qū)段。液體返回管道102也可自己分段，或者結(jié)合液體供應(yīng)管道100 —起分段。如圖33B所不，液體歧管98的液體返回管道102包括多個(gè)分隔物104,其將液體返回管道100分成多段136。各段136通過(guò)對(duì)應(yīng)的液體返回通道44或通道44A、44B、44C、...44H與液體分配元件82A、82B、82C、...82H流體連通。在此示例實(shí)施例中，液體歧管98的液體返回管道102包括各段136共用的區(qū)段140。沿著液體流27的方向看時(shí)，共用的區(qū)段138位于分段的區(qū)段136的下游。在其他示例實(shí)施 例，液體返回管道102的長(zhǎng)度分段，并且不包括共用區(qū)段。如圖35B所示,液體歧管98的液體供應(yīng)管道100包括設(shè)置在液體供應(yīng)管道100中的多個(gè)柱142，以提供附加機(jī)械支撐和穩(wěn)定性。液體歧管的液體返回管道102也包括設(shè)置在液體返回管道102中的多個(gè)柱142，也為了提供附加機(jī)械穩(wěn)定性和支撐。在其他示例實(shí)施例中，僅液體返回管道102包括柱。返回參照?qǐng)D1A、圖1B和圖33A-35B,將描述從液體分配器噴射液體的另一方法。提供設(shè)置在基底上的液體分配元件的陣列。每個(gè)液體分配元件包括設(shè)置在基底上的液體分配溝槽。液體分配溝槽包括設(shè)置在與基底相對(duì)的壁上的排放開(kāi)口。分流構(gòu)件與液體分配溝槽相關(guān)聯(lián)。液體返回溝槽設(shè)置在基底上并與液體分配溝槽流體連通。液體供應(yīng)溝槽設(shè)置在基底上并與液體分配溝槽流體連通。液體供應(yīng)通道延伸穿過(guò)基底并與液體供應(yīng)溝槽流體連通。液體返回通道延伸穿過(guò)基底并與液體返回溝槽流體連通。提供包括液體供應(yīng)管道和液體返回管道的液體歧管。液體供應(yīng)管道與每個(gè)液體分配元件的每個(gè)液體供應(yīng)通道流體連通。液體返回管道與每個(gè)液體分配元件的每個(gè)液體返回通道流體連通。液體從液體歧管的液體供應(yīng)管道通過(guò)每個(gè)液體分配元件流向液體歧管的液體返回管道。通過(guò)選擇性地致動(dòng)一個(gè)液體分配元件的分流構(gòu)件，以將一部分流動(dòng)液體通過(guò)該液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，使得從該液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射液滴?？赏ㄟ^(guò)選擇性地致動(dòng)另一液體分配元件的分流構(gòu)件，以將一部分流動(dòng)液體通過(guò)所述另一液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，使得從所述另一液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射液滴。選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流可包括:對(duì)流過(guò)液體分配溝槽的一部分液體施加熱。提供從液體供應(yīng)通道通過(guò)液體供應(yīng)溝槽、通過(guò)液體分配溝槽、通過(guò)液體返回溝槽流向液體返回通道的液體可包括:提供充分加壓的液體，以使得液體以連續(xù)方式從液體供應(yīng)通道通過(guò)液體供應(yīng)溝槽、通過(guò)液體分配溝槽、通過(guò)液體返回溝槽流向液體返回通道。另外，提供液體分配器可包括:提供包括上述任一個(gè)或彼此組合的任意多個(gè)示例實(shí)施例的液體分配器。返回參照?qǐng)D1A-35B，壁46、48可以是沉積并形成在基底39上的單獨(dú)的材料層。另選地，壁46、48可由基底39的部分形成。壁40可設(shè)置在任一類(lèi)型的壁46、48上。盡管已分別描述了本發(fā)明的多個(gè)方面，應(yīng)該理解，各方面的組合也被認(rèn)為在本發(fā)明的范圍內(nèi)。因此，本發(fā)明的另外的示例實(shí)施例包括上述本發(fā)明的示例實(shí)施例的多個(gè)方面的任意組合。為了示出的本發(fā)明的示例實(shí)施例之間的連貫性，包含排放開(kāi)口 26的壁40被示出為在裝置的上側(cè)(例如，如圖1A所示)。液體分配器10不限于以這樣的取向操作。液體分配器10可取向?yàn)槭沟冒欧砰_(kāi)口 26的壁40在裝置的側(cè)面(例如，通過(guò)將使圖1A的液體分配器10順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度° )，或者在裝置的下側(cè)(例如，通過(guò)使圖1A的液體分配器10旋轉(zhuǎn)180° )。部件列表10液體分配器11液體供應(yīng)溝槽12液體分配溝槽13液體返回溝槽15 墨滴16調(diào)節(jié)壓力供應(yīng)源17調(diào)節(jié)真空供應(yīng)源18上游邊緣19下游邊緣20分流構(gòu)件21 出口22多孔構(gòu)件23通風(fēng)口 /排放口24液體供應(yīng)源25 液體26排放開(kāi)口27液體流方向/箭頭38 入口39 基底40 壁42液體供應(yīng)通道44液體返回通道44A液體返回通道44B液體返回通道44C液體返回通道46 壁48 壁
50上游邊緣52下游邊緣
54 表面54A內(nèi)表面54B外表面56 拐角58中心線60中心線62 頂點(diǎn)64 寬度66 寬度68 中心70中心線72上游邊緣73下游邊緣74 壁76 拐角78 寬度80 第二壁82A液體分配元件82B液體分配元件82C液體分配元件84 寬度86 壁88 開(kāi)口88A 開(kāi)口88B 開(kāi)口90 柱92 壁94 開(kāi)口94A 開(kāi)口94B 開(kāi) 口94C 開(kāi)口94D 開(kāi) 口96 柱98液體歧管100液體供應(yīng)管道102液體返回管道104分隔物
106 距離108 距離116 液體進(jìn)口118 液體出口120 液體進(jìn)口122 液體出口124 部分126液體流128 表面130 部分132液體流134 基底136 段138 區(qū)段140 區(qū)段142 柱
權(quán)利要求
1.一種液體分配器,包括: 設(shè)置在基底上的液體分配元件的陣列，每個(gè)液體分配元件包括: 設(shè)置在所述基底上的液體分配溝槽，所述液體分配溝槽包括設(shè)置在與所述基底相對(duì)的壁上的排放開(kāi)口； 與所述液體分配溝槽相關(guān)聯(lián)的分流構(gòu)件； 設(shè)置在所述基底上并與所述液體分配溝槽流體連通的液體返回溝槽； 設(shè)置在所述基底上并與所述液體分配溝槽流體連通的液體供應(yīng)溝槽； 延伸穿過(guò)所述基底并與所述液體供應(yīng)溝槽流體連通的液體供應(yīng)通道； 延伸穿過(guò)所述基底并與所述液體返回溝槽流體連通的液體返回通道； 液體供應(yīng)源，其提供從每個(gè)液體供應(yīng)溝槽通過(guò)每個(gè)液體分配元件流向每個(gè)液體返回溝槽的液體，每個(gè)分流構(gòu)件被選擇性地啟動(dòng)，以使流過(guò)相關(guān)聯(lián)的液體分配溝槽的一部分液體通過(guò)相關(guān)聯(lián)的液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，以分配液滴。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分配器，其特征在于，所述液體供應(yīng)溝槽從與液體流的方向垂直的方向看時(shí)的寬度沿著液體流的方向變化。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分配器，其特征在于，所述液體供應(yīng)溝槽的下游部分比所述液體供應(yīng)溝槽的上游部分窄。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分配器，其特征在于，第一液體供應(yīng)溝槽的上游部分與第二液體供應(yīng)溝槽的上游部分共享壁。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分配器，其特征在于，共享的壁包括至少一個(gè)開(kāi)口，所述開(kāi)口在所述第一液體供應(yīng)溝槽與所述第二液體供應(yīng)溝槽之間提供流體連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分配器，其特征在于，共享的壁包括通過(guò)柱彼此間隔開(kāi)的第一開(kāi)口和第二開(kāi)口。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分配器，其特征在于，所述液體供應(yīng)通道包括多孔構(gòu)件。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分配器，其特征在于，第一液體返回溝槽的一部分與第二液體返回溝槽的一部分共享壁。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的分配器，其特征在于，共享的壁包括至少一個(gè)開(kāi)口，所述開(kāi)口在所述第一液體返回溝槽與所述第二液體返回溝槽之間提供流體連通。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的分配器，其特征在于，共享的壁包括通過(guò)柱彼此間隔開(kāi)的第一開(kāi)口和第二開(kāi)口。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分配器，其特征在于，所述液體返回通道包括多孔構(gòu)件。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分配器，其特征在于，所述液體返回通道是第一液體返回通道，所述液體返回溝槽與第二液體返回通道流體連通。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分配器，其特征在于，還包括: 設(shè)置在與所述基底相對(duì)的所述壁中并位于所述排放開(kāi)口的下游的排放口，所述排放口跨越多個(gè)液體分配元件。
14.一種從液體分配器噴射液體的方法,包括: 提供設(shè)置在基底上的液體分配元件的 陣列，每個(gè)液體分配元件包括設(shè)置在所述基底上的液體分配溝槽、與所述液體分配溝槽相關(guān)聯(lián)的分流構(gòu)件、設(shè)置在所述基底上并與所述液體分配溝槽流體連通的液體返回溝槽、設(shè)置在所述基底上并與所述液體分配溝槽流體連通的液體供應(yīng)溝槽、延伸穿過(guò)所述基底并與所述液體供應(yīng)溝槽流體連通的液體供應(yīng)通道、延伸穿過(guò)所述基底并與所述液體返回溝槽流體連通的液體返回通道，所述液體分配溝槽包括設(shè)置在與所述基底相對(duì)的壁上的排放開(kāi)口； 提供從所述液體供應(yīng)通道通過(guò)所述液體供應(yīng)溝槽、通過(guò)所述液體分配溝槽、通過(guò)所述液體返回溝槽流向所述液體分配元件的陣列的所述液體返回通道的液體； 通過(guò)選擇性地致動(dòng)一個(gè)液體分配元件的分流構(gòu)件以將一部分流動(dòng)液體通過(guò)所述液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，使得從所述液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射液滴。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，通過(guò)選擇性地致動(dòng)分流構(gòu)件以將一部分流動(dòng)液體通過(guò)液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流包括:對(duì)流過(guò)液體分配溝槽的一部分液體施加熱。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，提供從所述液體供應(yīng)溝槽通過(guò)所述液體分配溝槽流向所述液體返回溝槽的液體包括:提供充分加壓的液體，以使液體以連續(xù)方式從所述液體供應(yīng)溝槽通過(guò)所述液體分配溝槽流向所述液體返回溝槽。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，還包括: 通過(guò)選擇性地致動(dòng)另一液體分配元件的分流構(gòu)件以使一部分流動(dòng)液體通過(guò)所述另一液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，使得從所述另一液體分配元件的液體分配溝槽的排放開(kāi)口噴射液滴。
全文摘要
一種液體分配器包括設(shè)置在基底上的液體分配元件的陣列。每個(gè)液體分配元件包括設(shè)置在基底上的液體分配溝槽。液體分配溝槽包括設(shè)置在與基底相對(duì)的壁上的排放開(kāi)口。分流構(gòu)件與液體分配溝槽相關(guān)聯(lián)。液體返回溝槽設(shè)置在基底上并與液體分配溝槽流體連通。液體供應(yīng)溝槽設(shè)置在基底上并與液體分配溝槽流體連通。液體供應(yīng)通道延伸穿過(guò)基底并與液體供應(yīng)溝槽流體連通。液體返回通道延伸穿過(guò)基底并與液體返回溝槽流體連通。液體供應(yīng)源提供從每個(gè)液體供應(yīng)溝槽通過(guò)每個(gè)液體分配元件流向每個(gè)液體返回溝槽的液體。每個(gè)分流構(gòu)件被選擇性地啟動(dòng)，以將流過(guò)相關(guān)聯(lián)的液體分配溝槽的一部分液體通過(guò)相關(guān)聯(lián)的液體分配溝槽的排放開(kāi)口分流，以分配液滴。
文檔編號(hào)B41J2/14GK103180146SQ201180051587
公開(kāi)日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2011年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月26日
發(fā)明者Y·謝, Q·楊 申請(qǐng)人:伊斯曼柯達(dá)公司