液滴噴射裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種液滴噴射裝置，該裝置包括一列流體腔室，每個流體腔室均由一對通過一定腔室壁間距相互分隔開的相對的可致動的腔室壁限定，并與用于噴射液滴的噴嘴流體連通，所述相對的可致動的腔室壁包括壓電材料并在被施加電場時以V型構(gòu)造的剪切模式變形，其中所述腔室壁的頂部和底部以相反方式變形；蓋件，該蓋件接合至所述可致動的腔室壁的邊緣，從而密封所述腔室的頂部，該蓋件具有蓋件厚度，所述噴嘴形成在所述蓋件中；其中，所述蓋件的厚度小于150μm，并且其中所述蓋件基本由聚合物形成。
【專利說明】液滴噴射裝置
[0001]本申請是申請日為:2007年4月3日、申請?zhí)枮?200780011767.2 (PCT/GB2007/001228)、發(fā)明名稱為“液滴沉積裝置”的發(fā)明專利申請的分案申請。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及一種用于液滴沉積裝置的部件，更具體地涉及一種用于液滴沉積裝置的蓋件。本發(fā)明尤其適合用于按需噴墨印刷領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0003]一種已知的噴墨打印頭構(gòu)造使用壓電致動元件在流體噴射腔室內(nèi)產(chǎn)生并操縱壓力波。為了可靠運(yùn)行并保持足夠的液滴噴射速度，必須在該腔室中產(chǎn)生最小壓力，通常大約為I巴。應(yīng)理解，為了產(chǎn)生這樣的壓力，腔室必須展現(xiàn)適當(dāng)?shù)膭偠?或者說順性不足)。因此，流體腔室的順性是腔室設(shè)計的一個重要標(biāo)準(zhǔn)，之前已經(jīng)提出了大量的技術(shù)方案將流體噴射腔室的順性保持為最小。
[0004]例如，EP0712355描述了一種提供低順性粘接接合的粘結(jié)工藝。W002/98666提出了一種噴嘴板，其具有復(fù)合結(jié)構(gòu)以提高剛度同時仍然允許精確的噴嘴成形。
[0005]在已知的壓電致動器構(gòu)造中，在一塊壓電材料的表面中并排形成一列細(xì)長通道。然后將一蓋板附接至該表面以封閉通道，還附接噴嘴板，在噴嘴板中形成有用于流體噴射的孔口。該噴嘴板可覆蓋在蓋板上，此時孔口貫通噴嘴板和蓋板形成通到下方的通道。該構(gòu)造因噴嘴形成于通道的側(cè)面而被稱為“側(cè)噴射”。還公知在所謂的“端部噴射”構(gòu)造中將噴嘴板附接于通道的端部。
[0006]EP-A-0277703和EP-A-0278590描述了一特別優(yōu)選的打印頭布置，其中在腔室壁的相對兩側(cè)的電極之間施加電場，導(dǎo)致壓電壁以剪切模式變形并對通道內(nèi)的墨加壓。在該布置中，位移通常約為50納米，且可以理解的是，由于通道的順性而引起的通道尺寸的相應(yīng)變化將導(dǎo)致加壓的快速損失，性能相應(yīng)地下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，令人驚訝的是在某些布置中，可以容忍腔室中的順性，甚至該順性可能是有利的。
[0008]在第一方面中，本發(fā)明提供一種液滴沉積裝置，該裝置包括一排流體腔室，每個流體腔室由一對相對的腔室壁限定，并與用于噴射液滴的噴嘴流體連通；以及柔順的蓋件，該蓋件接合至所述腔室壁的端部，從而密封所述腔室的一側(cè)，其中蓋件厚度與腔室壁間距之比小于等于1:1。
[0009]優(yōu)選的是，所述蓋件的楊氏模量小于等于100X 109N/m2。
[0010]該構(gòu)造提供一種柔順的蓋件，并與以最大化通道剛度為共同目標(biāo)的先前教導(dǎo)成鮮明對比。
[0011]優(yōu)選的是，噴嘴形成在所述蓋件中。該布置提供的優(yōu)點(diǎn)在于噴嘴與通道直接連通，而不是通過蓋板孔。這又導(dǎo)致流體從腔室向噴嘴的流動阻力降低，已發(fā)現(xiàn)減小的阻力會補(bǔ)償由于通道順性增大導(dǎo)致的任何性能損失。
[0012]本發(fā)明的第二方面提供一種液滴沉積裝置，該裝置包括:一列流體腔室，每個流體腔室均由一對相對的腔室壁限定，并與用于噴射液滴的噴嘴流體連通；和蓋件，該蓋件接合至所述腔室壁的邊緣，從而密封所述腔室的一側(cè)；其中蓋件厚度與腔室壁間距之比小于等于1:5，并且其中該蓋件的楊氏模量小于等于100X 109N/m2。
[0013]通過對“側(cè)噴射”和“端部噴射”的打印頭實(shí)施的實(shí)驗(yàn)，令人驚奇地發(fā)現(xiàn)可利用小于150 μ m的蓋厚度而不會明顯影響噴射性能。已知的致動器通常使用900 μ m左右的厚度以保證在現(xiàn)有技術(shù)中教導(dǎo)的必要順性不足。
[0014]因此，本發(fā)明第三方面提供一種液滴沉積裝置，該裝置包括:一列流體腔室，每個流體腔室均由一對相對的腔室壁限定，并與用于噴射液滴的噴嘴流體連通；和蓋件，該蓋件接合至所述腔室壁的邊緣，從而密封所述腔室的一側(cè)；其中該蓋件的厚度小于150 μ m。
[0015]優(yōu)選的是，蓋件厚度小于100 μ m,再優(yōu)選地小于75 μ m,更優(yōu)選地小于50 μ m,進(jìn)一步優(yōu)選地小于25 μ m。
[0016]優(yōu)選的是,蓋件厚度大于6 μ m，再優(yōu)選地大于8 μ m，更優(yōu)選地大于10 μ m。
[0017]本發(fā)明的第四方面提供一種液滴沉積裝置，該裝置包括:至少一個流體腔室；柔順的蓋件，該蓋件界定所述至少一個腔室，并帶有至少一個噴嘴；所述腔室在電致動時容量發(fā)生變化，從而致使流體通過所述噴嘴從所述腔室噴射；其中所述蓋件的厚度等于或者接近一值，該值產(chǎn)生流體噴射所必需的最小致動電壓。
[0018]與引起流體噴射所必需的最小致動電壓的厚度相比，所述蓋件的厚度大于該厚度的程度優(yōu)選不超過75 μ m,再優(yōu)選地不超過50 μ m,更優(yōu)選地不超過25 μ m。
[0019]通過根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)實(shí)現(xiàn)最小致動電壓，借助于制造工藝的簡單變化可提高壓電材料的壽命，因而可提高打印頭的壽命。實(shí)際上，所使用的柔順材料本身就可簡化制造工藝。
[0020]在某些實(shí)施方式中，蓋件的最小厚度與使用的材料關(guān)系密切，并且與該材料能夠獲得的厚度關(guān)系密切。于是，在某些實(shí)施方式中，與引起流體噴射所必需的最小致動電壓的厚度相比，所述蓋件的厚度低于該厚度的程度優(yōu)選不小于50 μ m,再優(yōu)選地不小于20 μ m,更優(yōu)選地不小于10 μ m。
[0021]所述腔室優(yōu)選包括壓電元件以在致動時實(shí)現(xiàn)容量變化，并且雖然優(yōu)選的是該致動元件不同于該蓋件，但是該蓋件也可以布置成致動元件。
[0022]在流體連續(xù)流動通過通道的情況下可發(fā)現(xiàn)本發(fā)明更進(jìn)一步的優(yōu)點(diǎn)。通過省去蓋板，通過通道的流動穿過緊鄰的噴嘴入口，從而噴嘴攜帶灰塵或氣泡的可能性降低。此外，在貫通相對薄的構(gòu)件形成噴嘴的情況下，對于指定的噴嘴直徑，噴嘴從入口到出口的長度縮短。當(dāng)在噴嘴出口吸入氣泡時，那么這些氣泡更有可能被通過通道的流動去除。
[0023]在使用金屬蓋件或者金屬復(fù)合物蓋件的實(shí)施方式中，可構(gòu)想低于ΙΟμπι，甚至低于5 μ m的厚度。
[0024]優(yōu)選的是，所述蓋件延伸過所述腔室的端部以界定流體歧管區(qū)域，這種單件式構(gòu)造在簡化構(gòu)造方面提供了明顯優(yōu)勢。
[0025]以這樣的方式，同一部件在致動時起保持通道中的壓力的作用，而且還可因其順性而在歧管區(qū)域起衰減器的作用。這一衰減因此可緊鄰殘余聲波占優(yōu)勢的腔室設(shè)置。蓋件可設(shè)置成離開該腔室更遠(yuǎn)，即蓋件的跨度可設(shè)置成更大，從而可相應(yīng)實(shí)現(xiàn)更大的衰減。這能有效地緩沖例如在墨供應(yīng)中產(chǎn)生的壓力脈沖。
[0026]因此，本發(fā)明的再一方面提供一種液滴沉積裝置，該裝置包括:一系列流體腔室，每個流體腔室均與用于噴射液滴的噴嘴流體連通；和柔順的蓋件，該柔順的蓋件布置成界定所述腔室，其中該柔順的蓋件還遠(yuǎn)離所述腔室延伸而界定流體歧管區(qū)域。
[0027]本發(fā)明的實(shí)施方式將采用由不同材料形成的蓋件。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于由于不需要高剛度，因而可采用楊氏模量相對較低的材料。聚合物或塑料材料有利于簡化制造。噴嘴能夠相對容易地通過激光燒蝕或通過光刻法形成在這種材料中。更優(yōu)選的材料是聚酰亞胺和SU-8光刻膠。SU-8特別有利，因?yàn)槠涫侨芙饪商幚淼?，并且能通過旋轉(zhuǎn)涂敷而形成厚度僅為幾微米的層。PEEK (聚醚醚酮)由于其高耐熱性及化學(xué)降解性和優(yōu)異的機(jī)械性能，也同樣可被使用。
[0028]因此，本發(fā)明的再一方面提供一種制造液滴沉積裝置用的部件的方法，該方法包括:設(shè)置其上形成有多個腔室壁的柔順的基底部件；在該柔順的基底上形成導(dǎo)電印制線以提供至形成在所述腔室壁上的電極的電連接。
[0029]在實(shí)施方式中，該柔順的基底可以是柔性電路板，且在其上形成的導(dǎo)電印制線有利地用于將腔室壁連接至驅(qū)動電路。
[0030]本發(fā)明的又一方面提供一種液滴沉積裝置，該裝置包括:與用于噴射液滴的噴嘴流體連通的至少一個流體腔室；和柔順的蓋件，該蓋件界定所述至少一個腔室；所述腔室在致動時容量發(fā)生變化，從而致使流體從所述腔室通過所述噴嘴噴射；其中所述蓋件整體由聚合物形成。
[0031 ] 優(yōu)選的是所述蓋件的厚度小于100 μ m，再優(yōu)選地小于50 μ m，更優(yōu)選地小于20 μ m0
【專利附圖】

【附圖說明】
[0032]以下將參照附圖以實(shí)施例方式描述本發(fā)明，其中:
[0033]圖1和圖2表示現(xiàn)有技術(shù)中的“端部噴射”構(gòu)造。
[0034]圖3和圖4表示現(xiàn)有技術(shù)中的“側(cè)噴射”構(gòu)造。
[0035]圖5、圖6和圖9示出了本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0036]圖7a、7b和圖8示出了根據(jù)本發(fā)明一些方面的致動器的致動電壓蓋件厚度的變化。
[0037]圖10a、10b示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的脈沖響應(yīng)特性。
[0038]圖11示出了根據(jù)本發(fā)明一些方面的致動器的致動電壓隨蓋件厚度及楊氏模量的變化。
【具體實(shí)施方式】
[0039]圖1以立體分解圖示出了結(jié)合有以剪切模式操作的壓電壁致動器的噴墨打印頭。該噴墨打印頭包括安裝在電路板12上的由壓電材料制成的基底10，僅示出了電路板12的顯示出連接印制線14的部分。在基底中形成多個細(xì)長的通道29。在組裝期間粘結(jié)到基底10的蓋件16示出為位于其組裝位置上方。在該打印頭的基底附近還示出了噴嘴板18，該噴嘴板中形成有多個噴嘴(未示出)。噴嘴板18通常是在外表面上涂覆有低能表面涂層20的聚合物片。
[0040]圖1所示的蓋件16由與基底部件10熱匹配的材料形成。一種方案是采用與基底所采用的類似的壓電陶瓷，這樣當(dāng)將蓋件粘結(jié)到基底時會使粘結(jié)層的界面中產(chǎn)生的應(yīng)力最小化。在蓋件中形成窗口 32，其提供用于將液態(tài)墨供應(yīng)到通道29中的供應(yīng)歧管。蓋件從窗口開始到通道前緣的前部在粘結(jié)到通道壁的頂部時決定有效通道長度，該有效通道長度控制噴射墨滴的容量。
[0041]W095/04658公開了圖1和圖2中的打印頭的制造方法，并指出接合基底和蓋件的粘結(jié)劑優(yōu)選形成為具有低順性，這樣就可明顯抑制致動器壁在固定至蓋件16之處的轉(zhuǎn)動和剪切。應(yīng)理解的是，為抑制這類運(yùn)動，蓋件本身必須顯著剛硬。
[0042]圖2示出了在組裝之后平行于通道穿過圖1的布置剖取的剖視圖。每個通道均包括前部和后部，前部相對較深以提供被具有共面的均勻頂面的對向致動器壁22分開的多個墨通道20，后部相對較淺以提供用于連接印制線的部位23。前部和后部由通道中的“退刀”部連接，該“退刀”部的半徑由用于形成通道的切削盤的半徑?jīng)Q定。通過膠粘層將噴嘴板18附接到打印頭主體上，隨后利用紫外準(zhǔn)分子激光燒蝕在噴嘴板中形成噴嘴30，圖2中示出了這之后的噴嘴板18。圖1和2的布置因噴嘴位于通道的端部而通常稱為“端部噴射”布置。
[0043]在操作中，通道壁以剪切模式變形并在歧管27附近產(chǎn)生聲波。這些波沿著通道的長度傳播到噴嘴30，在該處引起液滴噴射。
[0044]希望以這種“端部噴射”構(gòu)造堆疊若干相同的致動器結(jié)構(gòu)以形成平行的多排噴嘴。根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)，通過減小蓋件16的厚度可將蓋件的順性降低到公知極限以下。這就允許致動器更加靠近地堆疊，從而在打印方向上增大噴嘴的密度，因而提高打印頭的打印速度。
[0045]圖3和圖4取自W003/022585，圖3示出了現(xiàn)有技術(shù)的可選打印頭構(gòu)造，其被稱為“側(cè)噴射”。在壓電構(gòu)件28中形成的沿排列方向細(xì)長的一列通道被具有孔29的蓋件26封閉。噴嘴板附接于蓋件，噴嘴30與孔29連通。在這種布置中，公知具有雙端部通道，墨從歧管區(qū)域32供應(yīng)并從位于通道28中途的噴嘴30噴射。這樣，流體從通道的側(cè)面噴射。在入口歧管32和兩個出口歧管34之間(在該圖中只有一個可見)建立連續(xù)流動。
[0046]通常利用金剛砂圓鋸在一塊壓電陶瓷特別是PZT中鋸出通道。PZT被極化成與通道的縱向垂直并平行于通道界定壁的表面。以適當(dāng)?shù)姆椒ㄔ诒诘膬蓚?cè)上形成電極，并通過電連接器將這些電極連接到驅(qū)動器芯片(未示出)。當(dāng)在壁的相對兩側(cè)的電極之間施加電場時，壁以剪切形式變形從而向通道中的墨施加壓力。這一壓力變化導(dǎo)致在通道中產(chǎn)生聲壓力波，正是這些壓力波導(dǎo)致液滴噴射，即所謂的聲噴射。
[0047]圖4是根據(jù)圖3中的原理操作的打印頭的立體剖視圖。噴嘴板24粘結(jié)于蓋件26，該蓋件進(jìn)一步粘結(jié)至細(xì)長的壓電構(gòu)件28的形成有噴射通道的上表面。蓋件具有連接噴嘴30 (圖4中未示出)和噴射通道的直邊緣端口 29。墨從形成于基底部件36中的歧管32、34流過通道。歧管32起流體入口作用，流體甚至在打印過程中流過兩個壓電構(gòu)件28的通道，歧管34起流體出口作用。盡管描述了帶有單個入口和兩個出口的兩列通道，但是能夠使流體連續(xù)流過通道列的多種可選構(gòu)造也是可行的，例如可僅利用單列通道。
[0048]如W003/022585中指出的，盡管蓋件為噴嘴阻塞的一個成因，但是其用于為噴嘴提供結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。該文獻(xiàn)同樣教導(dǎo)了孤立使用噴嘴板往往會引起剛度不足而不能在致動時無撓曲地保持腔室中的壓力。
[0049]圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的一個方面的布置?；?02設(shè)有兩排壓電通道504。位于基板中的孔506提供往返歧管區(qū)域508的墨通道。通道和歧管區(qū)域在頂部被蓋件510封閉。可看出蓋件相對較薄，由聚酰亞胺制成。噴嘴512形成于蓋板中，與通道504直接連通。形成聲波的致動方法如以上所述。在掃描方向與蓋件平面平行的情況下，由打印頭的掃描弓I起的加速有利地不會傾向于使柔順的蓋件變形。
[0050]圖6是圖5的布置沿通道剖取的視圖。可以看出雖然基底602與通道間距相比較厚，但蓋件610的厚度小于通道間距。在致動時，壁元件614如虛線所示以V型構(gòu)造變形。這種致動方法在EP0277703中有詳細(xì)描述，這里不作詳述，僅指出由于壁的頂部和底部以相反方式變形，所引起的施加到蓋件上的應(yīng)力減小。
[0051]圖7a、7b示出了圖5和6中所示的致動器的操作電壓對蓋件厚度的曲線圖。圖7a繪出了致動器初始具有100 μ m厚的聚酰亞胺蓋件的結(jié)果，在根據(jù)傳統(tǒng)技術(shù)優(yōu)化后，該致動器以6m/s的速度操作,每次液滴(sub-drop)輸送4pl,這需要22.6V的驅(qū)動電壓。從該起點(diǎn)開始，蓋件厚度變化并且所需電壓重新優(yōu)化以在該厚度保持6m/s的噴射速度。圖7b示出由合金42 (鎳/鐵合金)制造的蓋件的等同曲線圖。
[0052]從這兩個曲線圖中可見，雖然數(shù)值針對不同蓋件材料發(fā)生變化，但是曲線形式相同，即實(shí)現(xiàn)可靠噴射所必需的操作電壓在相應(yīng)最優(yōu)厚度值處最小。
[0053]曲線圖的形式由蓋件厚度對效率的兩種相反影響決定。第一種影響是蓋件厚度減小導(dǎo)致流過噴嘴的阻力減小，從而提高噴射效率。第二種影響是蓋件厚度減小降低通道的順性，從而降低噴射效率。這兩種影響的組合產(chǎn)生了就致動電壓而言最佳的厚度。在顯著低于該厚度的值處，低通道順性占優(yōu)勢，效率銳減。在大于該厚度的值處，噴嘴阻力上升顯著，效率同樣下降。
[0054]圖8是圖5和圖6所示的致動器的最優(yōu)操作電壓對蓋件厚度的曲線圖。圖8顯示即使當(dāng)針對給定蓋件厚度而優(yōu)化其他致動器參數(shù)以提供最小操作電壓時，該曲線圖再次在最優(yōu)蓋件厚度T*處呈現(xiàn)出最小電壓(盡管不太好限定)。
[0055]因此存在優(yōu)選的厚度值范圍。因?yàn)榍€圖的不對稱性，小于最優(yōu)厚度的10%甚至20 %的厚度是有利的，而超過最優(yōu)厚度25 %甚至50 %的厚度也會在優(yōu)選范圍之內(nèi)。
[0056]圖9示出了本發(fā)明的呈端部噴射構(gòu)造的實(shí)施方式。這里PZT制成的主體710形成有通道720。柔順的蓋件722封閉通道的頂部，噴嘴板724粘結(jié)至該組件的端部。在所述主體中設(shè)有孔726，用于將墨供應(yīng)到歧管區(qū)域728。該布置因此可視為是圖2中所示的更傳統(tǒng)的端部噴射構(gòu)造的倒置型式，其中柔順構(gòu)件722有效形成基底，其上設(shè)置通道和歧管結(jié)構(gòu)。驅(qū)動電子器件730可以設(shè)在柔順構(gòu)件722上，其可以是柔順的電路板，帶有印制線以與通道電極電連接。
[0057]圖10a、10b示出了端部噴射致動器的模擬響應(yīng)曲線。圖1Oa示出使用厚壓電蓋件的脈沖響應(yīng)曲線，而圖1Ob示出厚度為50 μ m的聚酰亞胺蓋件的等同脈沖響應(yīng)。
[0058]可以看出盡管對于聚酰亞胺蓋件來說，曲線向著更長的采樣時間偏移，電壓向上偏移，但是曲線形式基本相同，特別是接近0.3μ s左右的正常操作區(qū)域。
[0059]在組裝好的打印頭中，通道的長度決定了聲波沿通道傳播的時間，因而限制相繼噴射之間的時間，也就是打印頭的操作頻率。為了以期望的頻率驅(qū)動打印頭，通道長度因此必須保持在固定范圍內(nèi)。通道寬度和噴嘴間距緊密相關(guān)，從而與打印頭可實(shí)現(xiàn)的分辨率緊密相關(guān)。于是，由于通道的長度和寬度由操作參數(shù)和制造參數(shù)決定，因而可假定它們?yōu)楹愣ā?br> [0060]因此，蓋件的順性實(shí)際上由蓋件的厚度和楊氏模量決定。
[0061]圖11表示圖5和圖6中所示的致動器的最優(yōu)操作電壓對蓋件的厚度和楊氏模量的曲線圖。楊氏模量的五組數(shù)據(jù)分別對應(yīng)于聚酰亞胺(4.8GPa)、鋁(70GPa)、PZT (IlOGPa)和鎳(230GPa)，這些都是蓋板構(gòu)造中經(jīng)常使用的材料。圖11示出即使楊氏模量改變時，獲得最小致動電壓的蓋件厚度也仍然大致恒定地保持在10至15微米之間。在已知的打印頭致動器中，蓋件厚度為900微米，因而在5至150微米之間的厚度都會在最小化致動電壓方面展現(xiàn)顯著的改進(jìn)。
[0062]盡管這里參照聚酰亞胺和SU-8作為蓋件的合適材料，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解可以使用能形成薄膜的多種聚合物、金屬和合金?？梢杂欣夭捎萌嵝噪娐钒宀牧希貏e是其中在制造過程中形成電印制線的情況下。
【權(quán)利要求】
1.一種液滴噴射裝置，該裝置包括: 一列流體腔室，每個流體腔室均由一對通過一定腔室壁間距相互分隔開的相對的可致動的腔室壁限定，并與用于從所述流體腔室噴射液滴的噴嘴流體連通，所述相對的可致動的腔室壁包括壓電材料并在被施加電場時以V型構(gòu)造的剪切模式變形，其中所述腔室壁的頂部和底部以相反方式變形； 蓋件，該蓋件接合至所述可致動的腔室壁的邊緣，從而密封所述腔室的頂部，該蓋件具有蓋件厚度，所述噴嘴形成在所述蓋件中； 其中，所述蓋件的厚度小于150 μ m，并且其中所述蓋件基本由聚合物形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述蓋件遠(yuǎn)離所述腔室延伸而界定流體歧管區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中各腔室均設(shè)有流體入口和流體出口，使得在使用過程中流體能夠沿著各腔室的長度流動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，還包括用于在使用所述裝置的過程中提供通過各腔室的恒定流體流動的部件。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的裝置，還包括與各腔室的所述流體入口連通的入口歧管，以及與各腔室的所述流體出口連通的相對的出口歧管。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中所述蓋件遠(yuǎn)離所述腔室延伸而界定所述入口歧管并遠(yuǎn)離所述腔室延伸而界定所述出口歧管。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述蓋件的厚度小于100μ m。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述蓋件的楊氏模量小于lOOGPa。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的裝置，其中所述蓋件由聚酰亞胺形成。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的裝置，其中所述蓋件由聚醚醚酮形成。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的裝置，其中所述蓋件由光刻膠材料形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述光刻膠材料為SU-8。
【文檔編號】B41J2/14GK103522760SQ201310472552
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2007年4月3日 優(yōu)先權(quán)日:2006年4月3日
【發(fā)明者】保羅·雷蒙德·特魯里, 斯蒂芬·坦普爾 申請人:Xaar科技有限公司