晶圓打印作業(yè)設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型是一種晶圓打印作業(yè)設(shè)備，在臺配置有打印裝置及承載轉(zhuǎn)位裝置，該打印裝置設(shè)有至少一執(zhí)行晶圓打印作業(yè)的打印器，該承載轉(zhuǎn)位裝置位于打印裝置的上方，并設(shè)有復(fù)數(shù)個承載器，該復(fù)數(shù)個承載器包含第一、二承載器，第一承載器承置打印面朝下的晶圓，并在相對應(yīng)打印器的位置設(shè)有通孔，第二承載器位于第一承載器的通孔處，并設(shè)有承置晶圓的支撐件，該支撐件遮蔽通孔的局部，并使通孔未被遮蔽的部位形成一可供打印器對晶圓打印的作業(yè)區(qū)，承載轉(zhuǎn)位裝置設(shè)有具至少一驅(qū)動器的驅(qū)動機構(gòu)，并以驅(qū)動器驅(qū)動至少一承載器帶動已局部完成打印的晶圓作升降位移及旋轉(zhuǎn)換位，使晶圓已打印部位位于支撐件，并令未打印部位位于作業(yè)區(qū)而接續(xù)供打印器進(jìn)行打印作業(yè)。
【專利說明】晶圓打印作業(yè)設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種可防止晶圓的非打印面受損，并使晶圓打印面的各部位接續(xù)位于作業(yè)區(qū)，以供打印器朝上對晶圓打印，進(jìn)而易于打印及提升晶圓品質(zhì)的晶圓打印作業(yè)設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓半導(dǎo)體制程，先在晶圓上規(guī)劃出數(shù)量繁多的晶片，為確保晶圓合格率及避免后段封裝制程的成本浪費，于切割晶圓的前，會對晶圓進(jìn)行測試作業(yè)，以檢測晶圓上的各晶片是否受損，于檢測作業(yè)完畢后，將復(fù)數(shù)個晶圓收置于晶舟盒中，并運送至打印作業(yè)設(shè)備，打印作業(yè)設(shè)備依檢測結(jié)果在晶圓上打印標(biāo)記，而標(biāo)示出次級品晶片或不良品晶片等，以利后續(xù)晶圓切割作業(yè)及分類作業(yè)；然請參閱圖1，目前晶圓11的正面111具有精密電路，而反面112則供打印標(biāo)記，于執(zhí)行晶圓打印作業(yè)時，將晶圓11的正面111朝向下方，并放置于打印作業(yè)設(shè)備的承置座12上，令晶圓11待打印的反面112朝向上方，打印作業(yè)設(shè)備再利用位于承置座12上方的激光打印器13朝下對晶圓11的反面112進(jìn)行打印標(biāo)記作業(yè)；惟此一打印作業(yè)設(shè)備對于正、反面111、112均可碰觸的晶圓11，尚可進(jìn)行打印標(biāo)記作業(yè)，但晶圓的設(shè)計日趨精密，部份型式的晶圓于正面配置精密電路后，即必須避免正面碰觸到其他物件，以防止精密電路受損，若將晶圓的正面朝下放置于承置座12，令晶圓的背面朝上，以供激光打印器13由上朝下對晶圓的反面進(jìn)行打印，即會使晶圓的正面受損，故此一型式的晶圓并無法應(yīng)用該打印作業(yè)設(shè)備進(jìn)行打印作業(yè)，該打印作業(yè)設(shè)備的使用范圍受限，再者，若將激光打印器13配置于承置座12的下方,并令承置座12承置正面朝上的晶圓，該承置座12勢必要開設(shè)通孔，方可供位于下方的激光打印器13朝上對晶圓的反面進(jìn)行打印作業(yè)，但晶圓為一圓形片體，當(dāng)晶圓放置于承置座12時，因通孔處并無任何支撐設(shè)計，即會產(chǎn)生彎曲變形，導(dǎo)致激光打印器13朝上對彎曲變形的晶圓的反面進(jìn)行打印作業(yè)，以致影響打印品質(zhì)，故欲使激光打印器13朝上對晶圓的反面進(jìn)行打印作業(yè)時，即必須考量如何支撐晶圓而防止變形，以及支撐設(shè)計必須回避激光打印器13，使激光打印器13順利朝上對晶圓的反面各部位進(jìn)行打印作業(yè)，因此，如何提供一種可使正面朝上的晶圓保持水平放置于承置座，并使激光打印器朝上對晶圓的反面進(jìn)行打印作業(yè)，而防止晶圓的正面受損及提升打印品質(zhì)的設(shè)計，即為業(yè)者研發(fā)的標(biāo)的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型的目的在于:提供一種晶圓打印作業(yè)設(shè)備，可使正面朝上的晶圓保持水平放置于承置座，并使激光打印器朝上對晶圓的反面進(jìn)行打印作業(yè)，而防止晶圓的正面受損及提升打印品質(zhì)。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:
[0005]—種晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，包含:
[0006]機臺；[0007]打印裝置:配置于機臺，并設(shè)有至少一執(zhí)行晶圓打印作業(yè)的打印器；
[0008]承載轉(zhuǎn)位裝置:裝配于機臺，并位于打印裝置的上方，該承載轉(zhuǎn)位裝置設(shè)有復(fù)數(shù)個承載器，該復(fù)數(shù)個承載器包含第一、二承載器，該第一承載器承置打印面朝下的晶圓，并在相對應(yīng)打印器的位置設(shè)有通孔，該第二承載器位于第一承載器的通孔處，并設(shè)有承置晶圓的支撐件，該支撐件遮蔽通孔的局部，并令該通孔未遮蔽的部位形成供打印器朝上對晶圓打印的作業(yè)區(qū)，該承載轉(zhuǎn)位裝置設(shè)有具有至少一驅(qū)動器的驅(qū)動機構(gòu)，該驅(qū)動機構(gòu)以驅(qū)動器驅(qū)動至少一承載器帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，使晶圓的待打印部位對應(yīng)于該作業(yè)區(qū)以供打印。
[0009]在較佳的技術(shù)方案中，還可增加如下技術(shù)特征:
[0010]該承載轉(zhuǎn)位裝置于機臺設(shè)有多層式的調(diào)整平臺，該調(diào)整平臺于相對應(yīng)打印器的位置開設(shè)有穿孔，并承置第一、二承載器，以帶動第一、二承載器作X — Y方向位移調(diào)整，另該承載轉(zhuǎn)位裝置的第二承載器于支撐件的底面固設(shè)有復(fù)數(shù)支立桿，用來架置于調(diào)整平臺。
[0011]該承載轉(zhuǎn)位裝置的第一承載器包含轉(zhuǎn)動座及承置件，該轉(zhuǎn)動座于相對應(yīng)打印器的位置開設(shè)有第一通孔，該承置件裝配于轉(zhuǎn)動座的上方，并承置晶圓，在相對應(yīng)轉(zhuǎn)動座的第一通孔位置開設(shè)有第二通孔。
[0012]該承載轉(zhuǎn)位裝置的驅(qū)動機構(gòu)設(shè)有第一驅(qū)動器及第二驅(qū)動器，該第一驅(qū)動器用來驅(qū)動第一承載器的轉(zhuǎn)動座轉(zhuǎn)動，第二驅(qū)動器裝配于轉(zhuǎn)動座與承置件間，而帶動承置件作Z方向位移。
[0013]該承載轉(zhuǎn)位裝置的第一承載器的承置件及第二承載器的支撐件分別設(shè)有至少一定位晶圓的定位件。
[0014]該承載轉(zhuǎn)位裝置于第二承載器的支撐件下方裝配有至少一作Z方向位移的頂置件，用來頂置晶圓。
[0015]該承載轉(zhuǎn)位裝置于第二承載器的支撐件開設(shè)有至少一透孔，在支撐件的下方設(shè)置有壓缸，壓缸驅(qū)動頂置件于支撐件的透孔作Z方向位移伸縮作動。
[0016]該承載轉(zhuǎn)位裝置設(shè)有具有至少一調(diào)整器的微調(diào)機構(gòu)，用來調(diào)整至少一承載器的Θ水平角度。
[0017]該承載轉(zhuǎn)位裝置的微調(diào)機構(gòu)設(shè)有第一、二調(diào)整器，第一調(diào)整器用來驅(qū)動第一承載器及晶圓作較大角度旋轉(zhuǎn)的粗定位調(diào)整，第二調(diào)整器用來驅(qū)動第二承載器的支撐件及晶圓作較小角度旋轉(zhuǎn)的細(xì)定位調(diào)整。
[0018]該微調(diào)機構(gòu)的第二調(diào)整器在第二承載器的支撐件下方配置有馬達(dá)，馬達(dá)帶動一具有滾輪的擺動桿旋轉(zhuǎn)，在支撐件的底面設(shè)有具有導(dǎo)槽的固定件，該導(dǎo)槽可供擺動桿的滾輪嵌置且沿該導(dǎo)槽位移。
[0019]如此，該承載轉(zhuǎn)位裝置可防止晶圓的非打印面受損，并確保晶圓水平擺置，以及使晶圓打印面的各部位接續(xù)位于作業(yè)區(qū)，供打印器朝上對晶圓打印，達(dá)到易于打印及提升晶圓品質(zhì)的實用效益，具體來說:
[0020]本實用新型提供一種晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其于機臺配置有打印裝置及承載轉(zhuǎn)位裝置，該打印裝置設(shè)有至少一執(zhí)行晶圓打印作業(yè)的打印器，該承載轉(zhuǎn)位裝置位于打印裝置的上方，并設(shè)有復(fù)數(shù)個承載器，該復(fù)數(shù)個承載器包含第一、二承載器，第一承載器承置打印面朝下的晶圓，并在相對應(yīng)打印器的位置設(shè)有通孔，第二承載器位于第一承載器的通孔處，并設(shè)有承置晶圓的支撐件，該支撐件遮蔽通孔的局部，并使通孔未被遮蔽的部位形成一可供打印器對晶圓打印的作業(yè)區(qū)，另承載轉(zhuǎn)位裝置設(shè)有具至少一驅(qū)動器的驅(qū)動機構(gòu)，并以驅(qū)動器驅(qū)動至少一承載器帶動已局部完成打印的晶圓作升降位移及旋轉(zhuǎn)換位，使晶圓已打印部位位于支撐件，并令未打印部位位于作業(yè)區(qū)而接續(xù)供打印器進(jìn)行打印作業(yè)；如此，該承載轉(zhuǎn)位裝置可旋轉(zhuǎn)晶圓，并使晶圓打印面的各部位換位接續(xù)位于作業(yè)區(qū)，供打印器朝上對晶圓打印，達(dá)到易于打印的實用效益。
[0021]本實用新型提供一種晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其中，該承載轉(zhuǎn)位裝置以第一、二承載器承載非打印面朝上的晶圓，使打印裝置的打印器由下方朝上方對晶圓的打印面進(jìn)行打印作業(yè)，可防止晶圓具精密電路的非打印面碰觸到其他物件而受損，達(dá)到降低晶圓損壞率的實用效益。
[0022]本實用新型提供一種晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其中，該承載轉(zhuǎn)位裝置以第一、二承載器承載晶圓，并以第二承載器的支撐件支持晶圓的局部，以晶圓防止彎曲變形，而確保晶圓位于作業(yè)區(qū)的待打印部位水平擺置，以供打印裝置的打印器準(zhǔn)確進(jìn)行打印作業(yè)，達(dá)到提升打印品質(zhì)的實用效益。
[0023]本實用新型提供一種晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其中，該承載轉(zhuǎn)位裝置以第一、二承載器承載晶圓，使打印裝置的打印器由下方朝上方對晶圓的打印面進(jìn)行打印作業(yè)，而可適用于正反面均可碰觸的晶圓及僅反面可碰觸的晶圓，達(dá)到適用不同型式的晶圓而提升打印使用效能的實用效益。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1是現(xiàn)有打印作業(yè)設(shè)備對晶圓進(jìn)行打印作業(yè)的不意圖；
[0025]圖2是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備的示意圖；
[0026]圖3是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備的剖視圖；
[0027]圖4是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備配置晶圓供料裝置、移料裝置及取像裝置的示意圖；
[0028]圖5是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備的使用示意圖(一)；
[0029]圖6是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備的使用示意圖(二)；
[0030]圖7是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備的使用示意圖(三)；
[0031]圖8是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備的使用示意圖(四)；
[0032]圖9是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備的使用示意圖(五)；
[0033]圖10是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備的使用示意圖(六)；
[0034]圖11是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備的使用示意圖(七)；
[0035]圖12是本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備的使用示意圖(八)。
[0036]附圖標(biāo)記說明:晶圓11 ;正面111 ;反面112 ;承置座12 ;激光打印器13 ;打印裝置20 ;激光打印器21 ;承載轉(zhuǎn)位裝置30 ;調(diào)整平臺31;;穿孔311 ;第一承載器32 ;轉(zhuǎn)動座321 ；第一通孔3211 ;承置件322 ;第二通孔3221 ;第二承載器33 ;支撐件331 ；;立桿3311 ;透孔3312 ;驅(qū)動機構(gòu)34 ;馬達(dá)341 ;主動輪342 ;被動輪343 ;連結(jié)件3431 ;皮帶344 ;壓缸345 ;壓缸351 ;頂置件352 ;馬達(dá)361 ;擺動桿362 ;滾輪363 ;固定件364 ;導(dǎo)槽365 ;晶圓供料裝置40 ;晶舟盒41 ;移料裝置50 ;承架51 ;托料件52 ;第一移動器53 ;第二移動器54 ;第三移動器55 ;取像裝置60 ;取像器61 ;晶圓70 ;第一打印區(qū)A ;第二打印區(qū)B?！揪唧w實施方式】
[0037]為使貴審查委員對本實用新型作更進(jìn)一步的了解，茲舉一較佳實施例并配合圖式,詳述如后:
[0038]請參閱圖2、圖3，本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備包含機臺、打印裝置20及承載轉(zhuǎn)位裝置30，該打印裝置20裝配于機臺，并設(shè)有至少一執(zhí)行晶圓打印作業(yè)的打印器，于本實施例中，設(shè)有復(fù)數(shù)個激光打印器21，用來由下方朝上方對晶圓執(zhí)行打印作業(yè)；該承載轉(zhuǎn)位裝置30裝配于機臺，并位于打印裝置20的上方，承載轉(zhuǎn)位裝置30設(shè)有復(fù)數(shù)個承載器，復(fù)數(shù)個承載器包含第一、二承載器，第一、二承載器可裝配于機臺的固定平板上，也或裝配于一調(diào)整平臺，于本實施例中，于機臺設(shè)有多層式的調(diào)整平臺31，該調(diào)整平臺31于相對應(yīng)打印器21的位置開設(shè)有穿孔311，并承置第一、二承載器32、33，以帶動第一、二承載器32、33作X — Y方向位移調(diào)整，由于多層式的調(diào)整平臺31為現(xiàn)有技術(shù)，故不再贅述，另該第一承載器32于相對應(yīng)打印器21的位置設(shè)有通孔，并承置打印面朝下的晶圓，于本實施例中，第一承載器32包含轉(zhuǎn)動座321及承置件322，轉(zhuǎn)動座321于相對應(yīng)打印器21的位置開設(shè)有第一通孔3211，另于轉(zhuǎn)動座321的上方設(shè)有承置件322，該承置件322承置打印面朝下的晶圓，并開設(shè)有相通轉(zhuǎn)動座321的第一通孔3211的第二通孔3221，更進(jìn)一步，于承置件322設(shè)有至少一定位晶圓的定位件，于本實施例中，于承置件322的頂面開設(shè)復(fù)數(shù)個吸孔(圖未示出)，用來吸附晶圓定位，第二承載器33位于第一承載器32的通孔處，并設(shè)有承置晶圓的支撐件，支撐件可架置于機臺或調(diào)整平臺31上，支撐件遮蔽通孔的局部，并使通孔未遮蔽的部位形成一作業(yè)區(qū)，以供打印器21對晶圓的打印面執(zhí)行打印作業(yè)，于本實施例中，該第二承載器33于承置件322的第二通孔3221內(nèi)設(shè)有呈半圓形的支撐件331，支撐件331的底面固設(shè)有復(fù)數(shù)個立桿3311，用來架置于調(diào)整平臺31上，支撐件331遮蔽第二通孔3221的局部，并使第二通孔3221未被遮蔽的部位形成一作業(yè)區(qū)，以供打印器21由下向上對晶圓打印面的局部執(zhí)行打印作業(yè)，另于支撐件331設(shè)有至少一定位晶圓的定位件，于本實施例中，于支撐件331的頂面開設(shè)復(fù)數(shù)個吸孔(圖未示出)，用來吸附晶圓定位，另承載轉(zhuǎn)位裝置30設(shè)有具至少一驅(qū)動器的驅(qū)動機構(gòu)34，驅(qū)動機構(gòu)34以驅(qū)動器驅(qū)動至少一承載器帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，使晶圓打印面的待打印部位對應(yīng)于作業(yè)區(qū)以供打印，更進(jìn)一步，驅(qū)動機構(gòu)34設(shè)有第一驅(qū)動器，用來帶動至少一承載器作水平角度旋轉(zhuǎn)，并設(shè)有第二驅(qū)動器，用來帶動至少一承載器作Z方向位移，于本實施例中，于調(diào)整平臺31設(shè)有第一驅(qū)動器，第一驅(qū)動器包含馬達(dá)341及一由馬達(dá)341驅(qū)動的皮帶輪組，皮帶輪組的主動輪342連結(jié)馬達(dá)341，并以被動輪343經(jīng)連結(jié)件3431連結(jié)第一承載器32的轉(zhuǎn)動座321，再于主動輪342與被動輪343間套置有傳動的皮帶344，使馬達(dá)341經(jīng)由皮帶輪組帶動轉(zhuǎn)動座321及承置件322同步旋轉(zhuǎn)，承置件322帶動承載的晶圓旋轉(zhuǎn)(如旋轉(zhuǎn)180度)，而變換晶圓的打印面的不同部位對應(yīng)于第一承載器32的作業(yè)區(qū)，另驅(qū)動機構(gòu)34于轉(zhuǎn)動座321與承置件322間設(shè)有復(fù)數(shù)個可為壓缸345的第二驅(qū)動器，復(fù)數(shù)個壓缸345用來帶動承置件322作Z方向位移，又該承載轉(zhuǎn)位裝置30于第二承載器33的支撐件331下方裝配有至少一作Z方向位移的頂置件，用來凸伸于第二承載器33的上方承置晶圓，再將晶圓放置于支撐件331上，于本實施例中，于第二承載器33的支撐件331開設(shè)有復(fù)數(shù)個透孔3312，于調(diào)整平臺31設(shè)置有復(fù)數(shù)個壓缸351，各壓缸351驅(qū)動復(fù)數(shù)支頂置件352于支撐件331的復(fù)數(shù)個透孔3312作Z方向位移伸縮作動，又該承載轉(zhuǎn)位裝置30設(shè)有具至少一調(diào)整器的微調(diào)機構(gòu)，用來調(diào)整至少一承載器的Θ水平角度，更進(jìn)一步，承載轉(zhuǎn)位裝置30設(shè)有具第一、二調(diào)整器的微調(diào)機構(gòu)，其第一調(diào)整器用來驅(qū)動第一承載器32作較大角度的旋轉(zhuǎn)，而帶動晶圓作較大角度(如45度)的粗定位調(diào)整，又第一調(diào)整器可獨立配置，也或由驅(qū)動機構(gòu)34的第一驅(qū)動器取代的，于本實施例中，第一調(diào)整器由驅(qū)動機構(gòu)34的第一驅(qū)動器取代的，使第一驅(qū)動器帶動第一承載器32作較大角度的旋轉(zhuǎn)，其第二調(diào)整器用來驅(qū)動第二承載器33的支撐件331作較小角度的旋轉(zhuǎn)，而帶動晶圓作較小角度(如10度)的細(xì)定位調(diào)整，于本實施例中，第二調(diào)整器于調(diào)整平臺31設(shè)置有馬達(dá)361，馬達(dá)361帶動一具滾輪363的擺動桿362旋轉(zhuǎn)，另于第二承載器33的支撐件331底面設(shè)有具導(dǎo)槽365的固定件364，其導(dǎo)槽365可供擺動桿362的滾輪363嵌置且沿其位移，使馬達(dá)361經(jīng)由擺動桿362及固定件364而帶動支撐件331作較小角度的旋轉(zhuǎn)。
[0039]請參閱圖4，本實用新型晶圓打印作業(yè)設(shè)備可視作業(yè)所需而于機臺配置有晶圓供料裝置40、移料裝置50及取像裝置60，該晶圓供料裝置40具有至少一容置晶圓的晶舟盒41，該移料裝置50位于晶圓供料裝置40與承載轉(zhuǎn)位裝置30間，并在一承架51上裝配有托料件52，用來托持移載晶圓，以及于承架51設(shè)有一可帶動托料件52作X方向位移的第一移動器53，另于機臺設(shè)有可帶動承架51及托料件52作Z軸向位移的第二移動器54，以及于機臺設(shè)有可帶動承架51及托料件52作Θ水平角度旋轉(zhuǎn)的第三移動器55，進(jìn)而可利用第一、二、三移動器53、54、55驅(qū)動托料件52作X — Z方向位移及Θ水平角度旋轉(zhuǎn)，以在晶圓供料裝置40與承載轉(zhuǎn)位裝置30間移載晶圓，該取像裝置60設(shè)有復(fù)數(shù)個可為CCD的取像器61，用來取像晶圓，并將取像資料傳輸至中央控制裝置(圖未示出)，由中央控制控制裝置判別晶圓的擺放位置及待打印部位。
[0040]請參閱圖4、圖5，在使用時，移料裝置50利用第一、二、三移動器53、54、55驅(qū)動托料件52作X — Z方向位移及Θ角度旋轉(zhuǎn)，而在晶圓供料裝置40的晶舟盒41內(nèi)取出待打印且非打印面朝上的晶圓70，并將待打印晶圓70移載至承載轉(zhuǎn)位裝置30的第一、二承載器32,33上方，承載轉(zhuǎn)位裝置30利用復(fù)數(shù)個壓缸351驅(qū)動復(fù)數(shù)支頂置件352作Z方向上升位移，且凸伸出支撐件331的復(fù)數(shù)個透孔3312，使復(fù)數(shù)支頂置件352頂置托料件52移載的待打印晶圓70，該移料裝置50的第一移動器53再驅(qū)動托料件52作X方向反向位移離開晶圓70。
[0041]請參閱圖6，承載轉(zhuǎn)位裝置30以復(fù)數(shù)個壓缸351驅(qū)動復(fù)數(shù)支頂置件352作Z方向下降位移而退位至支撐件331下方，并將打印面朝下的晶圓70放置于承置件322及支撐件331上，而可利用承置件322支撐晶圓70的周緣，以及利用支撐件331支撐晶圓70 —半的第二打印區(qū)B，并令晶圓70另一半的第一打印區(qū)A位于承置件322的作業(yè)區(qū)，又為使激光打印器21精確對晶圓70的待打印位置執(zhí)行打印作業(yè)，該取像裝置60以取像器61取像承載轉(zhuǎn)位裝置30上的晶圓70，并將取像資料傳輸至中央控制裝置(圖未示出)，中央控制裝置可利用晶圓70上的三點靶位或周緣的缺槽，也或晶圓70的經(jīng)、緯線作為基準(zhǔn)，而判斷晶圓70是否正確擺置。
[0042]請參閱圖7、圖8、圖9，若晶圓70擺置偏移，承載轉(zhuǎn)位裝置30可利用調(diào)整平臺31帶動第一、二承載器32、33及晶圓70同步作X — Y方向位移調(diào)整，并利用壓缸345帶動承置件322及其上的晶圓70作Z方向上升位移，使晶圓70脫離支撐件331，再以馬達(dá)341經(jīng)皮帶輪組的主動輪342、被動輪343及皮帶344而帶動轉(zhuǎn)動座321旋轉(zhuǎn)較大角度，轉(zhuǎn)動座321經(jīng)由承置件322同步帶動晶圓70作較大角度(如45度)旋轉(zhuǎn)的粗定位調(diào)整，在晶圓70作粗定位調(diào)整后，再以壓缸345帶動承置件322及晶圓70作Z方向下降位移，使晶圓70擺置于支撐件331上，由于已大幅縮小晶圓70的偏移角度，接著利用第二調(diào)整器的馬達(dá)361帶動擺動桿362旋轉(zhuǎn)，由于馬達(dá)361與第一承載器32呈偏心配置，擺動桿362以滾輪363沿支撐件331底面的固定件364的導(dǎo)槽365位移，并經(jīng)由固定件364帶動支撐件331及其上的晶圓70作較小角度(如6度)旋轉(zhuǎn)的細(xì)定位調(diào)整，因此，可使晶圓70作粗、細(xì)定位調(diào)整而擺置于預(yù)設(shè)水平角度，于調(diào)整定位完畢后，第一、二承載器32、33可分別利用承置件322及支撐件331開設(shè)的真空吸孔吸附晶圓70定位；由于第二承載器33的支撐件331支撐晶圓70的第二打印區(qū)B，可防止晶圓70彎曲變形，使晶圓70保持水平擺置而提升打印作業(yè)的品質(zhì)，又該晶圓70的第二打印區(qū)B對應(yīng)于承置件322的作業(yè)區(qū)，該打印裝置20的激光打印器21即由下方朝向上方對晶圓70的第一打印區(qū)A進(jìn)行打印標(biāo)記作業(yè)，若晶圓70的待打印部位超過激光打印器21的打印范圍，則可利用調(diào)整平臺31帶動第一承載器32及第二承載器33作X — Y方向位移調(diào)整，以便激光打印器21執(zhí)行打印作業(yè)。
[0043]請參閱圖7、圖10、圖11，在晶圓70的第一打印區(qū)A打印完畢后，承載轉(zhuǎn)位裝置30利用壓缸345帶動承置件322及其上的晶圓70作Z方向上升位移，使晶圓70脫離支撐件331，再以馬達(dá)341經(jīng)皮帶輪組的主動輪342、被動輪343及皮帶344而帶動轉(zhuǎn)動座321旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)動座321經(jīng)由承置件322同步帶動晶圓70旋轉(zhuǎn)180度，而變換令晶圓70的第一打印區(qū)A對應(yīng)于支撐件331，并令晶圓70的第二打印區(qū)B對應(yīng)于承置件322的作業(yè)區(qū)，在晶圓70的第一打印區(qū)A及第二打印區(qū)B旋轉(zhuǎn)換位完畢后，再使壓缸345帶動承置件322及晶圓70作Z方向下降位移，使晶圓70擺置于支撐件331上，該取像裝置60的取像器61取像晶圓70，并將取像資料傳輸至中央控制裝置，中央控制裝置控制馬達(dá)341經(jīng)皮帶輪組的主動輪342、被動輪343及皮帶344而帶動轉(zhuǎn)動座321旋轉(zhuǎn)較大角度，轉(zhuǎn)動座321經(jīng)由承置件322同步帶動晶圓70作較大角度旋轉(zhuǎn)的粗定位調(diào)整，接著以第二調(diào)整器的馬達(dá)361帶動擺動桿362旋轉(zhuǎn)，擺動桿362以滾輪363沿支撐件331底面的固定件364的導(dǎo)槽365位移，而帶動支撐件331及其上的晶圓70作較小角度旋轉(zhuǎn)的細(xì)定位調(diào)整，于調(diào)整定位完畢后，該打印裝置20的激光打印器21即由下方朝向上方對晶圓70的第二打印區(qū)B進(jìn)行打印標(biāo)記作業(yè)。
[0044]請參閱圖4、圖12，在晶圓的第一打印區(qū)A及第二打印區(qū)B打印完畢后，承載轉(zhuǎn)位裝置30利用復(fù)數(shù)個壓缸351驅(qū)動復(fù)數(shù)支頂置件352作Z方向上升位移而頂升晶圓70，使晶圓70離開承置件322及支撐件331，移料裝置50利用第一移動器53驅(qū)動托料件52作X方向位移至晶圓70的下方，復(fù)數(shù)個壓缸351再驅(qū)動復(fù)數(shù)支頂置件352作Z方向下降位移，將晶圓70放置于托料件52上，移料裝置50再利用第一、二、三移動器53、54、55驅(qū)動托料件52作X — Z方向位移及Θ水平角度旋轉(zhuǎn)，將晶圓70移載在晶圓供料裝置40的晶舟盒41內(nèi)收置。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，包含: 機臺； 打印裝置:配置于機臺，并設(shè)有至少一執(zhí)行晶圓打印作業(yè)的打印器； 承載轉(zhuǎn)位裝置:裝配于機臺，并位于打印裝置的上方，該承載轉(zhuǎn)位裝置設(shè)有復(fù)數(shù)個承載器，該復(fù)數(shù)個承載器包含第一、二承載器，該第一承載器承置打印面朝下的晶圓，并在相對應(yīng)打印器的位置設(shè)有通孔，該第二承載器位于第一承載器的通孔處，并設(shè)有承置晶圓的支撐件，該支撐件遮蔽通孔的局部，并令該通孔未遮蔽的部位形成供打印器朝上對晶圓打印的作業(yè)區(qū)，該承載轉(zhuǎn)位裝置設(shè)有具有至少一驅(qū)動器的驅(qū)動機構(gòu)，該驅(qū)動機構(gòu)以驅(qū)動器驅(qū)動至少一承載器帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，使晶圓的待打印部位對應(yīng)于該作業(yè)區(qū)以供打印。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，該承載轉(zhuǎn)位裝置于機臺設(shè)有多層式的調(diào)整平臺，該調(diào)整平臺于相對應(yīng)打印器的位置開設(shè)有穿孔，并承置第一、二承載器，以帶動第一、二承載器作X — Y方向位移調(diào)整，另該承載轉(zhuǎn)位裝置的第二承載器于支撐件的底面固設(shè)有復(fù)數(shù)支立桿，用來架置于調(diào)整平臺。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，該承載轉(zhuǎn)位裝置的第一承載器包含轉(zhuǎn)動座及承置件，該轉(zhuǎn)動座于相對應(yīng)打印器的位置開設(shè)有第一通孔，該承置件裝配于轉(zhuǎn)動座的上方，并承置晶圓，在相對應(yīng)轉(zhuǎn)動座的第一通孔位置開設(shè)有第二通孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，該承載轉(zhuǎn)位裝置的驅(qū)動機構(gòu)設(shè)有第一驅(qū)動器及第二驅(qū)動器，該第一驅(qū)動器用來驅(qū)動第一承載器的轉(zhuǎn)動座轉(zhuǎn)動，第二驅(qū)動器裝配于轉(zhuǎn)動座與承置件間，而帶動承置件作Z方向位移。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，該承載轉(zhuǎn)位裝置的第一承載器的承置件及第二承載器的支撐件分別設(shè)有至少一定位晶圓的定位件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，該承載轉(zhuǎn)位裝置于第二承載器的支撐件下方裝配有至少一作Z方向位移的頂置件，用來頂置晶圓。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，該承載轉(zhuǎn)位裝置于第二承載器的支撐件開設(shè)有至少一透孔，在支撐件的下方設(shè)置有壓缸，壓缸驅(qū)動頂置件于支撐件的透孔作Z方向位移伸縮作動。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，該承載轉(zhuǎn)位裝置設(shè)有具有至少一調(diào)整器的微調(diào)機構(gòu)，用來調(diào)整至少一承載器的Θ水平角度。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，該承載轉(zhuǎn)位裝置的微調(diào)機構(gòu)設(shè)有第一、二調(diào)整器，第一調(diào)整器用來驅(qū)動第一承載器及晶圓作較大角度旋轉(zhuǎn)的粗定位調(diào)整，第二調(diào)整器用來驅(qū)動第二承載器的支撐件及晶圓作較小角度旋轉(zhuǎn)的細(xì)定位調(diào)整。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓打印作業(yè)設(shè)備，其特征在于，該微調(diào)機構(gòu)的第二調(diào)整器在第二承載器的支撐件下方配置有馬達(dá)，馬達(dá)帶動一具有滾輪的擺動桿旋轉(zhuǎn)，在支撐件的底面設(shè)有具有導(dǎo)槽的固定件，該導(dǎo)槽可供擺動桿的滾輪嵌置且沿該導(dǎo)槽位移。
【文檔編號】B41J3/407GK203580356SQ201320729198
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年11月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月18日
【發(fā)明者】鄭煒彥, 賴正鑫, 陳彥瑋 申請人:臺灣暹勁股份有限公司