專利名稱：微滴噴涂裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微滴噴涂裝置，尤其涉及一種噴墨打印頭。


圖1示出了公開于WO91/17051中的一種噴墨打印頭，這種打印頭包括一主體，該主體設(shè)有一陣列式開口加頂蓋的通道，這些通道被一蓋所封閉。每個(gè)通道都在其兩端與相應(yīng)的供墨腔連接，而其中部則與形成于蓋上的噴嘴相連接。通道壁由壓電材料制成，當(dāng)其受到電場作用時(shí)，將會彎曲并使墨滴從相應(yīng)的噴嘴中噴出。
本發(fā)明的最佳形式提供一種結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低的上述類型的裝置，這也是本發(fā)明的目的。
本發(fā)明的第一方面包括微滴噴涂裝置，其包括一設(shè)有在一側(cè)開口的至少一個(gè)通道的主體，該通道在各端與一供給腔聯(lián)通，其中所述供給腔用于供給液滴流體；致動裝置，其與各個(gè)通道相連接以產(chǎn)生液滴的噴射；一蓋，用于封閉至少一條通道的開口側(cè)，該蓋內(nèi)設(shè)置有至少一個(gè)開口，用于液滴從所述通道經(jīng)該開口噴出；和一基板，該基板與所述蓋一起限定供給腔，該供給腔與至少一條通道的各個(gè)端聯(lián)通。
在這種結(jié)構(gòu)中，與供墨腔以“活性體”形式制成的情況，例如在WO91/17051中所公開的結(jié)構(gòu)形式相比，由基板和蓋限定的供墨腔不要求很嚴(yán)格的公差。此外，與主體-打印頭中的“活性”部件所用的材料相比，基板可由較便宜的材料制成。
本發(fā)明的第二方面涉及噴墨打印頭的控制裝置并包括液滴噴涂裝置，其包括一設(shè)有在一側(cè)開口的至少一個(gè)腔的主體；每個(gè)腔都與一用于液滴噴射的開口及一用于供給液滴流體的總管聯(lián)通；致動裝置，該裝置與各個(gè)腔相連接，以根據(jù)電信號產(chǎn)生液滴的噴射；一蓋，封閉至少一個(gè)腔的開口側(cè)；所述總管至少部分地由一基板限定而成，所述基板還至少部分地限定另一腔；控制裝置，用于向定位于所述另一腔內(nèi)的致動裝置傳送電信號。
這樣，控制裝置(一般為集成電路)本身就與打印頭形成一體的結(jié)構(gòu)，從而增加緊湊性，并減少集成電路暴露于周圍環(huán)境中的程度。
本發(fā)明的第三方面在于液滴噴涂裝置，其包括第一和第二通道，每個(gè)通道的一端分別與一單個(gè)用于供給液滴流體的公共供給腔聯(lián)通，第一和第二通道的各另一端分別與相應(yīng)的另一供給腔聯(lián)通，該供給腔用于供給液滴流體；所述第一和第二通道各包括一用于噴射液滴的開口；致動裝置，其與各個(gè)通道相連接，以產(chǎn)生液滴噴射。
這樣安排可以得到一緊湊的結(jié)構(gòu)，其中液滴流體從這單個(gè)公共供液腔流出，通過第一和第二通道之每個(gè)，并分別流出到另外的供液腔中。該流動也可以在相反的方向上進(jìn)行。這種流通可以用于許多已知的目的中，比如去除污垢和氣泡、冷卻通道等。
根據(jù)第四方面，本發(fā)明在于液滴噴涂裝置，其包括一設(shè)有在一側(cè)開口的至少一個(gè)腔的主體；每個(gè)腔都與一液滴流體的供應(yīng)裝置和一用于液滴噴射的開口聯(lián)通；致動裝置，其與各個(gè)腔相連接，以根據(jù)電信號產(chǎn)生液滴的噴射；一主體的支承件，該支承件封閉所述腔的開口側(cè)，并且在支承件上至少有一條線路和至少一個(gè)開口，其中線路用于將電信號傳送到相應(yīng)的致動裝置，開口用于液滴從相應(yīng)腔的噴射。
已經(jīng)發(fā)現(xiàn)這種結(jié)構(gòu)特別適于加工該支承件不僅在加工過程中是活性主體的一支承件，而且有利的是，將驅(qū)動芯片安裝在導(dǎo)電線路上，并且該支承件也為每個(gè)與主體上的每個(gè)腔相聯(lián)通的噴嘴提供了位置。相關(guān)的方法也包括在本發(fā)明中。
本發(fā)明的第五方面涉及一個(gè)具有導(dǎo)電線路的基片，沿著每條線路有許多位置，一集成電路可以連接在這些位置上；該多個(gè)位置沿著每條線路彼此間相互隔開配置，對于每條線路，設(shè)有一與集成電路芯片連接處相鄰的位置，該位置位于該集成電路芯片的覆蓋區(qū)域之外。
萬一一個(gè)安裝好的集成電路-特別是打印頭驅(qū)動芯片被檢驗(yàn)出是不合格的，該方法可以使一個(gè)替代芯片連接到基片上的線路上，而不用去除不合格的芯片，對基片的潛在傷害被消除了。從而有利于加工制造方面。一個(gè)相關(guān)的方法也被包括在本發(fā)明中。
前述最佳實(shí)施例被描述在從屬權(quán)利要求中(其作為簡明的內(nèi)容，通過引用而被結(jié)合)和下面的說明書中。
現(xiàn)在參照附圖，以例子的方式描述本發(fā)明。
圖1示出了公開于WO91/17051中的現(xiàn)有技術(shù)的噴墨打印頭；圖2是沿圖1中剖面線A-A的剖視圖；圖3示出了結(jié)合有本發(fā)明第一方面的打印頭；圖4示出了結(jié)合有本發(fā)明第二方面的打印頭；
圖5是根據(jù)本發(fā)明之“頁寬”打印頭的部件分解立體圖；圖6是圖5中的打印頭沿垂直于方向“W”截取的組裝剖視圖；圖7示出了一個(gè)微滴噴射口的細(xì)節(jié)；圖8和圖9示出了安裝一驅(qū)動芯片的不同方法。
圖1示出了公開于WO91/17051中的現(xiàn)有技術(shù)的噴墨打印頭1，它由一壓電材料層3制成，較合適的壓電材料是鈦酸鉛鋯(PZT)，在壓電材料層3的上表面形成有一陣列式開口加頂蓋的油墨通道7。如圖2所示，該陣列中的連續(xù)通道被側(cè)壁13所分隔，其中側(cè)壁13由壓電材料制成，并在該層的厚度方向上被極性化(如箭頭P所示)。在相對的面向通道的表面17上設(shè)置有電極15，電壓通過連接件34作用到電極15上。正如已知的，例如EP-A-0364136中披露的，在一壁兩側(cè)的電極間施加一電場可以使該壁產(chǎn)生剪切式彎曲而進(jìn)入側(cè)邊通道，并在該通道中產(chǎn)生一壓力脈沖。
該通道由蓋25封閉，在該蓋上形成有噴嘴27，每個(gè)噴嘴27與相應(yīng)的通道在其中部相聯(lián)通。微滴從噴嘴的噴射是相應(yīng)于前述的壓力脈沖而產(chǎn)生的，這在本領(lǐng)域內(nèi)是公知的。在圖2中由箭頭S表示的液滴流體到通道內(nèi)的供給是通過兩個(gè)管道33進(jìn)行的，管道33以一深度切入到層3的底面35上，以使其在兩相反端與各通道7相聯(lián)通。一個(gè)基蓋板37被粘接到底面35上，以封閉這兩個(gè)管道。
圖3示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的打印頭的一個(gè)實(shí)施例。
在一傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)中，形成側(cè)壁13的開口加頂蓋的油墨通道7形成于由壓電材料制成的主體40內(nèi)。通過形成于每個(gè)側(cè)壁13上朝向通道的相對表面上的電極15，可以施加電場來使該壁產(chǎn)生剪切式彎曲，并使液滴從一個(gè)側(cè)邊通道中排出。該開口加頂蓋的通道7由一蓋25所封閉，在該蓋25上形成有將電壓輸送到相應(yīng)電極15上的導(dǎo)電線路49。線路和電極可以通過在WO92/22429中描述的焊接接點(diǎn)連接在一起。蓋上還為每一通道設(shè)置了噴嘴27，其中噴嘴27與每個(gè)通道的中間位置聯(lián)通并使液滴通過噴嘴27排出。導(dǎo)電線路和相連的焊接接點(diǎn)也可以被造型和/或移動來適應(yīng)這樣一個(gè)噴嘴。
但是根據(jù)本發(fā)明，液滴流體從腔42輸送到每個(gè)通道7的端部，其中腔42在兩側(cè)被一基板44所限定，而在第三側(cè)由蓋25限定，并且在第四側(cè)與通道7的端部相聯(lián)通。很明顯，在這種結(jié)構(gòu)中，通道和腔之間的分界面僅僅由通道的深度決定。由于主體40的高度和基板之相鄰部件(基架46)的厚度的變化可以通過蓋25的彎曲(在圖3的實(shí)施例中向上或向下)來調(diào)整，因此可以自由公差完成加工制造。
基板44不必用與主體相同的材料制成，最好用一種較便宜的非活性材料制成，但是要能熱力配合到主體的壓電材料上，并且其要具有良好的熱傳導(dǎo)性，從而帶走在活性打印頭主體和驅(qū)動芯片中產(chǎn)生的熱量。如圖3中所示，腔42可以比主體40深，以增加其橫截面積和單個(gè)腔所能夠供給的通道數(shù)目。但是，基架46的水平面可以被降低到腔42的底部，從而在基板上形成一矩形截面的空腔，這樣就更易于制造?；?6的寬度可以比主體40的寬度寬或比其窄地調(diào)整。
主體40通常包括一陣列通道，這在EP-A-0278590中已是公知的，腔42被用作這些通道中至少一些通道的共用總管?？卓?8用于使液滴流體從一容器例如墨盒等容器進(jìn)入到腔42中。
基板44可以是一種包括蓋25和連接其上的活性主體40的結(jié)構(gòu)件，而且其形成有凸起部分(未示出)，該凸起部分用于固定到一打印機(jī)或其他類似裝置的機(jī)架上。
應(yīng)用于在WO92/22429中所公開的噴墨打印頭上的本發(fā)明之第二方面在圖4中示出。該圖示出了一個(gè)沿開口加頂蓋的油墨通道7的剖視圖，其中油墨通道7形成于由壓電材料制成的主體50上并由一基片62所封閉。電極15以傳統(tǒng)的方式在每個(gè)分隔通道的側(cè)壁13上延伸，并在通道的開口頂部54與形成于基片62上的導(dǎo)電線路56相聯(lián)接。
有利的是，位于朝向通道的壁表面上的兩個(gè)電極之間限定了一個(gè)給定通道，這兩個(gè)電極與一公共線路相聯(lián)接。每個(gè)線路與微型芯片64形式的一個(gè)驅(qū)動電路相連，其中微型芯片安裝在基片上的線路56上，打印數(shù)據(jù)、電力等都被通過另外的線路66和連接件70傳送到芯片。一個(gè)形成于噴嘴板52上的噴嘴27位于通道的一端，其用于液滴噴射，同時(shí)一根總管58位于通道的另一端，其用于液滴流體的供應(yīng)。
根據(jù)本發(fā)明，總管58由基板60和主體50一起組合限定而成。該基板還與基片62一起限定了另一個(gè)腔68，在腔68中放置有驅(qū)動電路64。應(yīng)該理解這種集成結(jié)構(gòu)具有保護(hù)驅(qū)動芯片的特殊優(yōu)點(diǎn)。盡管不排除使用壓電材料來制造基板，實(shí)際上主體50和基板60可以制成一體的結(jié)構(gòu)，但基板60最好用一種便宜的非活性材料制成。
圖5和圖6是結(jié)合上面提到的第一和第二方面并在方向“W”延伸的“頁寬”打印頭的部件分解立體圖和剖視圖，其中方向“W”與介質(zhì)進(jìn)給方向P垂直。在圖6的剖視圖中，兩個(gè)壓電主體82a，82b中的每一個(gè)都具有如上所述的通道和電極，并由基片86封閉，在基片86上形成有用于液滴噴射的開口96a、96b。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，在每個(gè)主體上的通道兩端的各個(gè)供給腔，即位于主體82a兩端的供給腔88和90以及位于主體82b兩端的供給腔90和92，都被限定在基片86和基板80之間。各個(gè)通道電極與如圖4所述的位于基片86上的導(dǎo)電線路(未示出)相連接。這些導(dǎo)電線路還攜帶有各被安置的驅(qū)動芯片84a和84b，根據(jù)本發(fā)明的第二方面，由基板80限定了另外的腔94a、94b。可以理解另外的腔94a、94b與供給腔88和92密封隔開。
該實(shí)施例結(jié)合了本發(fā)明的第三方面設(shè)置有導(dǎo)電線路和開口96a、96b并用于封閉通道的的基片86作為主體82a和82b的支承件，其中導(dǎo)電線路用于將電信號傳送到位于通道內(nèi)的致動裝置上，開口96a、96b用于液滴噴射。如圖5所示，主體82和驅(qū)動芯片84是對齊的并固定在基片86上，基片86可以被制成在制造過程中易于操作的尺寸。
如圖5所示，主體82可以對接在一起以形成一個(gè)單獨(dú)的鄰接的頁寬通道陣列-這在WO91/17051中已經(jīng)公開，因此在這里不再詳細(xì)說明，在這種情況下，基片86用于在接合過程中和接合工藝之后支承各主體?？梢栽诮M裝之前對這些主體進(jìn)行測試，從而減少制成的打印頭不合格的可能性。
基片適于用加強(qiáng)材料制成，例如氮化鋁、INVAR或特殊的玻璃AF45等，它們具有與主體的壓電材料相似的熱膨脹特性。很容易理解，主體和基片間的熱配合要求降低了，這是因?yàn)樵谶B續(xù)接合的主體間存在間隙(該縫隙最好用上面提到WO91/17051中提到的膠粘劑填充)，在這種情況下，可以被使用一種不很好的熱配合材料，例如鋁。
圖7示出了在基片86上形成液滴噴射開口96a的細(xì)節(jié)。當(dāng)開口96a本身形成為一錐形時(shí)，最好在安裝于開口上方的噴嘴板98中也形成一錐形結(jié)構(gòu)。這種噴嘴板可以用易于熔化的材料制成，例如聚酰亞胺、聚碳酸酯和聚酯等均可以用于該目的。
另外，噴嘴制造可以在完成打印頭其它部分的制造之后獨(dú)立地進(jìn)行該噴嘴可以在將活性主體82a組裝到基片86上之前從后部切除形成，也可以在活性主體安裝上后從前部切除形成。這兩種技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)中都是已知的。前一方法具有噴嘴板可以被替換或者在組裝的早期就發(fā)現(xiàn)整個(gè)組件不合格的優(yōu)點(diǎn)，從而將不合格件的費(fèi)用降到最小。后一方法便于當(dāng)將主體組裝到基片上時(shí)，對齊噴嘴和主體的通道。
圖5和圖6的結(jié)構(gòu)具有形成于一塊噴嘴板上的兩行噴嘴，其中噴嘴板經(jīng)過基片86上的開口96a、96b延伸，并且在基片的整個(gè)長度上延伸。在將相應(yīng)的兩排主體82a、82b和驅(qū)動芯片84a、84b安裝到基片86上，并適當(dāng)測試之后，如EP-A-0376606中所述，然后再安裝基板80，從而形成總管腔88、90和92。根據(jù)本發(fā)明的第四方面，腔90向形成于主體82a、82b上的通道的末端供墨，同時(shí)腔88和92分別向主體82a、82b上的通道的另一末端供墨。通過用短劃線88′、90′和92′所示的通道，油墨從打印頭外部供應(yīng)到各腔中。很顯然，這得到了一個(gè)特別緊湊的結(jié)構(gòu)，在這種結(jié)構(gòu)中，油墨可以從公共總管90經(jīng)每個(gè)主體上的通道(如為了去除殘留污垢或氣泡)，從腔88和92流出而循環(huán)流動。
圖8示出了驅(qū)動芯片84a安裝到基片86上的部分細(xì)節(jié)，其中基片86具有輸出線路120、122，其將驅(qū)動芯片輸出端132、134相連于驅(qū)動主體上激勵電極，和具有一與驅(qū)動芯片輸入終端130相連的輸入線路110?？梢岳斫庖粋€(gè)驅(qū)動芯片可以具有許多這樣的輸入和輸出端，通常輸出端至少是輸入端的兩倍。84a表示一驅(qū)動芯片放置在基片上的第一位置。但是，如果在該位置的驅(qū)動芯片被發(fā)現(xiàn)是不合格的，即在如上的測試過程中發(fā)現(xiàn)驅(qū)動芯片是不合格的，那么就可將一個(gè)替代的芯片安裝在短劃線所示的位置84a′處。如果有必要，不合格芯片與線路120和122的連接可以通過在點(diǎn)136切斷線路來處理-激光非常適用于這個(gè)目的。這種方法有利于頁寬打印頭的制造，如圖5所示，其可以具有數(shù)十個(gè)驅(qū)動芯片。
圖9示出了本發(fā)明這一方面的另一實(shí)施例，其中，輸入信號通過由線路110等構(gòu)成的總線傳送。利用另外的線路150，也可以得到線路110等和芯片輸入終端130間的連接，其中線路150位于線路110等的頂端，并且用一鈍化層145與其分隔。如果驅(qū)動芯片(集成電路片)84a被檢驗(yàn)出是不合格的，那么可以將一替代芯片連接到位置84a′處，如圖9中的短劃線所示，其與第一芯片84a分隔配置(在第一芯片84a的覆蓋區(qū)域之外)。由線路110′、鈍化層145′和另外的線路150′構(gòu)成的第二總線用于傳送輸入信號。另一個(gè)鈍化層140位于第二總線之下，并使之與輸出線路120、122…分隔開，其中，輸出線路120、122…具有與芯片84的輸出終端132、134…和替代芯片84′的輸出終端132′、134′相連的位置。在替代芯片84′被連接之前，利用激光沿著線136切除，可使不合格芯片與輸出線路120、122…電分離。
前述實(shí)施例特別涉及使用壓電材料的液滴噴涂裝置，其中壓電材料以剪切模式運(yùn)作來作為致動機(jī)構(gòu)。這種裝置在前面所述的WO91/17051、EP-A-0346136和US-A-5227813中已經(jīng)討論過了。但是上面略述的原理與其他致動機(jī)構(gòu)是等同的，都包括壓電和熱力(氣泡噴墨)特性，特別是在未審查的UK專利申請第9721555.2號中所披露的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.微滴噴涂裝置，包括第一和第二通道，每個(gè)通道的一端與一單個(gè)用于供給液滴流體的公共供給腔聯(lián)通，第一和第二通道的各另一端與相應(yīng)的另一供給腔聯(lián)通，該供給腔用于供給液滴流體；所述第一和第二通道各包括一個(gè)用于噴射液滴的開口；還包括致動裝置，該裝置與各個(gè)通道相連接，以產(chǎn)生液滴噴射。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，第一和第二油墨通道的縱軸線是共線的。
3.根據(jù)根據(jù)權(quán)利要求2述的裝置，其特征在于，還包括許多第一和第二油墨通道，每個(gè)通道都包括各自若干用于噴射液滴的開口，所述多個(gè)第一油墨通道上的若干開口以在第一排列方向上延伸的第一線性排列的方式設(shè)置，多個(gè)第二油墨通道上的若干開口以在第二排列方向上延伸的第二線性排列的方式設(shè)置，其中，第一和第二線性排列方向是平行的。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述許多第一和第二油墨通道和所述單個(gè)用于供給液滴流體的公共腔聯(lián)通，該單個(gè)公共腔與所述第一和第二排列方向平行地延伸。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的裝置，其特征在于，包括一主體，該主體制有在一側(cè)開口的通道；一封閉通道之開口側(cè)并在其上形成有所述開口的蓋；以及一與蓋一起限定供給腔的基板。
6.微滴噴涂裝置，包括一設(shè)有在一側(cè)開口的至少一個(gè)通道的主體；在各端與一供給腔聯(lián)通的通道，所述供給腔用于供給液滴流體；致動裝置，其與各個(gè)通道相連接以產(chǎn)生液滴的噴射；一蓋，用于封閉至少一個(gè)通道的開口，該蓋內(nèi)設(shè)置有至少一個(gè)開口，用于液滴從所述通道經(jīng)該開口噴出；和一基板，該基板與所述的蓋一起限定供給腔，該供給腔與至少一條通道的各個(gè)端聯(lián)通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，致動裝置包括在主體中。
8.根據(jù)權(quán)利要求5至7中任何一項(xiàng)權(quán)利要求所述的裝置，其特征在于，主體和基板是制成一體的。
9.根據(jù)權(quán)利要求5至8中任何一項(xiàng)權(quán)利要求所述的裝置，其特征在于，主體安裝在基板上并由其支撐。
10.根據(jù)權(quán)利要求5至9中任何一項(xiàng)權(quán)利要求所述的裝置，其特征在于，基板至少部分地限定了另一腔，用于將電信號傳遞到致動裝置的控制裝置被置于該另一腔中。
11.微滴噴涂裝置，包括一設(shè)有在一側(cè)開口的至少一個(gè)腔的主體，每個(gè)腔都與一用于液滴噴射的開口及一用于供給液滴流體的總管聯(lián)通；致動裝置，該裝置與各個(gè)腔相連接，以根據(jù)電信號產(chǎn)生液滴的噴射；一蓋，封閉至少一個(gè)腔的開口側(cè)；所述總管至少部分地由一基板限定，所述基板還至少部分地形成另一腔；控制裝置，用于向定位于該另一腔中的致動裝置傳送電信號。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于，該致動裝置被包括在主體中。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的裝置，其特征在于，主體和基板是做成一體的。
14.根據(jù)權(quán)利要求11到13中任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，用于液滴噴射的開口形成于所述蓋中。
15.根據(jù)權(quán)利要求11到14中任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，總管由所述蓋封閉。
16.根據(jù)權(quán)利要求11至15中任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，另一腔由所述蓋封閉。
17.根據(jù)權(quán)利要求11至16中任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，控制裝置安裝在所述蓋上。
18.根據(jù)權(quán)利要求5、6或14及其從屬權(quán)利要求中的任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，蓋具有至少一個(gè)位于其上的線路，用于將信號傳送給各致動裝置。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的裝置，其特征在于，蓋形成一用于主體的支承件。
20.微滴噴涂裝置，包括一設(shè)有在一側(cè)開口的至少一個(gè)腔的主體，每個(gè)腔都與一液滴流體供應(yīng)裝置和一用于液滴噴射的開口聯(lián)通；致動裝置，該裝置與各個(gè)腔相連接，以根據(jù)電信號產(chǎn)生液滴的噴射；一個(gè)所述主體的支承件，該支承件封閉所述腔的開口側(cè)并在其上具有至少一條線路，該線路用于將電信號傳送到相應(yīng)的致動裝置，該支承件還具有形成在其上的至少一個(gè)開口，該開口用于液滴從各腔的噴射。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的裝置，其特征在于，一個(gè)噴嘴板安裝在裝有主體的支承件的相反表面上，在該噴嘴板上形成有一噴嘴，該噴嘴與支承件的開口聯(lián)通以用于液滴的噴射。
22.根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的裝置，其特征在于，支承件是剛性的。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的裝置，其特征在于，支承件由金屬和/或陶瓷制成。
24.根據(jù)權(quán)利要求20至23中任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，致動裝置被包括在主體上。
25.根據(jù)權(quán)利要求5至24中任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，主體由壓電材料制成。
26.根據(jù)權(quán)利要求20或其從屬權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，包括許多用于從若干相應(yīng)腔噴射液滴的開口，該許多開口以沿至少一個(gè)基板寬度方向延伸并垂直于基片相對該裝置運(yùn)動方向的線性排列方式配置，該支承件在基片的整個(gè)寬度上延伸。
27.根據(jù)權(quán)利要求20或其從屬權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，包括許多用于從若干相應(yīng)腔噴射液滴的開口，該許多開口以至少一個(gè)在一排列方向延伸的線性排列方式配置，其中，每個(gè)腔作為一通道形成，該通道具有一縱向通道軸線，該通道軸線垂直于該排列方向延伸。
28.根據(jù)權(quán)利要求25所述的裝置，其特征在于，一排通道形成于所述主體內(nèi)，該排連續(xù)的通道限定了位于其間的側(cè)壁，所述側(cè)壁由壓電材料制成。
29.制造噴涂裝置的方法，該方法包括下列步驟提供一支承件，在該支承件上形成有至少一孔口和至少一個(gè)導(dǎo)電線路；在該支承件上安裝一主體，該主體上形成有至少一個(gè)具有一開口側(cè)的腔，該主體還具有與該腔連接并響應(yīng)于電信號的致動裝置；該主體被安裝成使該腔與至少一個(gè)所述孔口對齊，而致動裝置與該導(dǎo)電線路對齊；與該導(dǎo)電線路對齊地安裝一驅(qū)動芯片，該芯片用于將電信號傳送給致動裝置，從而產(chǎn)生液滴從該腔經(jīng)該孔口的噴射。
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的方法，其特征在于，將一噴嘴板安裝在裝有主體的支承件之相反表面上，在將主體安裝到支承件上之前，在噴嘴板上形成噴嘴。
31.一種電氣部件，其包括一個(gè)具有導(dǎo)電線路的基片，沿著每條線路設(shè)有多個(gè)可以連接集成電路的位置；這些位置沿線路相互間隔配置，從而對于每一線路，一個(gè)鄰近一集成電路片連接處的位置位于該集成電路片的覆蓋區(qū)域之外。
32.改變一個(gè)電路功能的方法，其中的電路包括一具有導(dǎo)電線路的基片，并且第一集成電路安裝在一連接到線路上的相應(yīng)電路小片上，該方法包括下列步驟將一具有不同于第一集成電路功能的第二集成電路連接到線路上，連接的位置位于第一集成電路小片的覆蓋區(qū)域之外的線路上，并且將第一集成電路與所述線路為電絕緣。
全文摘要
微滴噴射裝置包括第一和第二通道(82a、82b),每個(gè)通道的一端分別與一單個(gè)用于供給液滴流體的公共供給腔(40)聯(lián)通,第一和第二通道的各自另一端分別與相應(yīng)的另一供給腔(88、92)聯(lián)通,該供給腔用于供給液滴流體;所述第一和第二通道各包括一用于噴射液滴的開口(96a、96b);致動裝置,其與各個(gè)通道相聯(lián)通,以產(chǎn)生液體噴射。
文檔編號B41J2/16GK1257447SQ988053
公開日2000年6月21日 申請日期1998年5月22日 優(yōu)先權(quán)日1997年5月23日
發(fā)明者S·特姆普勒 申請人:薩爾技術(shù)有限公司