平板狀橡皮布以及利用該橡皮布的轉(zhuǎn)印方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種平板狀橡皮布以及利用該橡皮布的轉(zhuǎn)印方法，該平板狀橡皮布通過與板狀體抵接被轉(zhuǎn)印圖案或者向板狀體轉(zhuǎn)印圖案，該平板狀橡皮布，具有：擔(dān)載層，具有與板狀體相向的一個(gè)主面，在一個(gè)主面的圖案擔(dān)載區(qū)域擔(dān)載圖案，基體材料，用于支撐擔(dān)載層的另一主面；擔(dān)載層具有槽部，該槽部朝向板狀體開口，并與包圍擔(dān)載層的周邊空間連接；在擔(dān)載層的一個(gè)主面中的除了圖案擔(dān)載區(qū)域之外的非圖案擔(dān)載區(qū)域設(shè)置有槽部。
【專利說明】
平板狀橡皮布以及利用該橡皮布的轉(zhuǎn)印方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種使板狀體和平板狀橡皮布抵接，來在板狀體以及平板狀橡皮布之間轉(zhuǎn)印圖案的轉(zhuǎn)印技術(shù)，尤其涉及平板狀橡皮布。
【背景技術(shù)】
[0002]為了在半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用玻璃基板、等離子顯示器用玻璃基板、磁盤或者光盤用的玻璃或者陶瓷基板、有機(jī)EL用玻璃基板、太陽能電池用玻璃基板或者硅基板、其它柔性基板以及印刷基板等電子設(shè)備用基板上形成圖案層，提出利用了平板狀的橡皮布的印刷技術(shù)(例如，專利文獻(xiàn)I)。
[0003]在該印刷技術(shù)中，將具有與要在基板形成的圖案(所希望的圖案)相反的圖案、SP反轉(zhuǎn)圖案的凸版，按壓接觸于涂敷有油墨(涂敷材料)的橡皮布，從而對(duì)橡皮布上的墨層進(jìn)行圖案化，來在橡皮布上形成具有上述所希望的圖案的圖案層(第一轉(zhuǎn)印處理)。然后，將該橡皮布按壓接觸于基板，從而將上述圖案層轉(zhuǎn)印至基板(第二轉(zhuǎn)印處理)。這樣，在基板印刷所希望的圖案。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-311463號(hào)公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本特開2012-201007號(hào)公報(bào)
[0008]在上述第一轉(zhuǎn)印處理以及第二轉(zhuǎn)印處理中，都使板狀體(凸版、基板)的一個(gè)主面和平板狀橡皮布的一個(gè)主面抵接，來轉(zhuǎn)印圖案。在采用該轉(zhuǎn)印方法時(shí)產(chǎn)生的問題之一為，因氣泡混入板狀體和平板狀橡皮布之間而產(chǎn)生轉(zhuǎn)印不良。為了解決該問題，例如提出減小板狀體和平板狀橡皮布之間抵接的抵接速度的方案。但是，這會(huì)成為降低轉(zhuǎn)印處理的生產(chǎn)率的主要原因中的一個(gè)。另外，難以完全排除氣泡的混入。因此，希望提供一種從板狀體和平板狀橡皮布之間放掉上述氣泡的技術(shù)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于，在使板狀體和平板狀橡皮布抵接來轉(zhuǎn)印圖案的轉(zhuǎn)印技術(shù)中，排除混入板狀體和平板狀橡皮布之間的氣泡來轉(zhuǎn)印高品質(zhì)的圖案。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的第一技術(shù)方案，提供一種平板狀橡皮布，通過與板狀體抵接而被轉(zhuǎn)印圖案或者向板狀體轉(zhuǎn)印圖案，該平板狀橡皮布的特征在于，具有:擔(dān)載層，具有與板狀體相向的一個(gè)主面，在一個(gè)主面的圖案擔(dān)載區(qū)域擔(dān)載圖案，基體材料，用于支撐擔(dān)載層的另一主面;擔(dān)載層具有槽部，該槽部朝向板狀體開口并與包圍擔(dān)載層的周邊空間連接;在擔(dān)載層的一個(gè)主面中的除了圖案擔(dān)載區(qū)域之外的非圖案擔(dān)載區(qū)域設(shè)置有槽部。
[0011]另外，根據(jù)本發(fā)明的第二技術(shù)方案，提供一種平板狀橡皮布，通過與板狀體抵接而被轉(zhuǎn)印圖案或者向板狀體轉(zhuǎn)印圖案，該平板狀橡皮布的特征在于，具有:擔(dān)載層，具有與板狀體相向的一個(gè)主面，在一個(gè)主面擔(dān)載圖案，基體材料，用于支撐擔(dān)載層的另一主面;擔(dān)載層具有多孔性。
[0012]而且，根據(jù)本發(fā)明的第三技術(shù)方案，提供一種利用上述平板狀橡皮布的轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，包括:保持工序，使板狀體的一個(gè)主面和上述平板狀橡皮布的擔(dān)載層的一個(gè)主面相向來進(jìn)行保持;轉(zhuǎn)印工序，使板狀體的一個(gè)主面和擔(dān)載層的一個(gè)主面彼此抵接，來轉(zhuǎn)印圖案。
[0013]如上所述，根據(jù)本發(fā)明，將氣泡排除結(jié)構(gòu)(設(shè)置于擔(dān)載層的槽部或具有多孔性的擔(dān)載層)設(shè)置于平板狀橡皮布，混入板狀體和平板狀橡皮布之間的氣泡，被上述氣泡排除結(jié)構(gòu)排除。因此，能夠良好地轉(zhuǎn)印圖案，從而能夠轉(zhuǎn)印高品質(zhì)的圖案。
【附圖說明】
[0014]圖1是示意性地示出利用本發(fā)明的第一實(shí)施方式的平板狀橡皮布進(jìn)行轉(zhuǎn)印處理的轉(zhuǎn)印裝置的側(cè)視圖。
[0015]圖2是示出轉(zhuǎn)印裝置的主要部分的結(jié)構(gòu)的圖。
[0016]圖3A是示出轉(zhuǎn)印輥部的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0017]圖3B是示出轉(zhuǎn)印輥部和升降手單元之間的位置關(guān)系的圖。
[0018]圖4是示出通過圖1的轉(zhuǎn)印裝置進(jìn)行的轉(zhuǎn)印處理的流程圖。
[0019]圖5A至圖5C是示意性地示出轉(zhuǎn)印處理的過程中的各部的位置的圖。
[0020]圖6A至圖6C是示意性地示出轉(zhuǎn)印處理的過程中的各部的位置的圖。
[0021]圖7是示意性地示出第一轉(zhuǎn)印處理中的氣泡排出動(dòng)作的圖。
[0022]圖8是示意性地示出通過第一轉(zhuǎn)印處理形成而擔(dān)載于橡皮布的圖案擔(dān)載區(qū)域的圖案的一例的圖。
[0023]圖9是示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式的平板狀橡皮布的立體圖。
[0024]圖10是示意性地示出第二實(shí)施方式的第一轉(zhuǎn)印處理中的氣泡排出動(dòng)作的圖。
[0025]圖11是示出用于構(gòu)成圖案的圖案要素的變形例的圖。
[0026]附圖標(biāo)記的說明
[0027]1:轉(zhuǎn)印裝置；
[0028]AB:氣泡；
[0029]BL:平板狀橡皮布；
[0030]BLa:玻璃基板(基體材料)；
[0031]8讓、81^:硅酮橡膠層(擔(dān)載層)；
[0032]BLc:槽部；
[0033]BLd:(硅酮橡膠層的)上表面；
[0034]BLe:(娃酮橡膠層的)下表面；
[0035]CL:涂敷層；
[0036]NR:非圖案擔(dān)載區(qū)域；
[0037]PEl?PE7:圖案要素；
[0038]PP:版(板狀體)；
[0039]PR:圖案擔(dān)載區(qū)域；
[0040]PTl:圖案；
[0041 ] PT2:凸圖案；
[0042]SB:基板(板狀體)。
【具體實(shí)施方式】
[0043]圖1是示意性地示出利用本發(fā)明的第一實(shí)施方式的平板狀橡皮布進(jìn)行轉(zhuǎn)印處理的轉(zhuǎn)印裝置的側(cè)視圖。另外，圖2是示出該轉(zhuǎn)印裝置的主要部分的結(jié)構(gòu)的圖。為了統(tǒng)一表示各圖中的方向，如圖1所示那樣，設(shè)定XYZ正交坐標(biāo)軸。在此，XY平面表示水平面，Z軸表示鉛垂軸。更詳細(xì)地說，+Z方向表示鉛垂朝上方向。
[0044]該轉(zhuǎn)印裝置I的結(jié)構(gòu)為:在未圖示的主框架安裝有上載物臺(tái)部2、下載物臺(tái)部3以及轉(zhuǎn)印輥部4。另外，除了上述結(jié)構(gòu)之外，轉(zhuǎn)印裝置I還具有控制單元9，該控制單元9根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的處理程序，對(duì)裝置各部分進(jìn)行控制來執(zhí)行規(guī)定的動(dòng)作。
[0045]首先，對(duì)轉(zhuǎn)印裝置I的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。此外，對(duì)于上載物臺(tái)部2以及下載物臺(tái)部3的詳細(xì)部分的結(jié)構(gòu)，例如能夠利用日本特開2014-144628號(hào)公報(bào)中記載的結(jié)構(gòu)，在此僅說明概要內(nèi)容。
[0046]轉(zhuǎn)印裝置I是如下裝置，S卩，通過使被下載物臺(tái)部3保持的橡皮布BL和被上載物臺(tái)部2保持的版PP或者基板SB彼此抵接，進(jìn)行圖案形成。通過該轉(zhuǎn)印裝置I進(jìn)行的圖案形成過程的更具體的內(nèi)容，如下。
[0047]首先，將包含圖案形成材料的涂敷液均勻地涂敷于橡皮布BL，來在橡皮布BL形成涂敷層CL(圖2)。在該實(shí)施方式中，作為上述橡皮布BL，例如如圖2所示那樣，使用在玻璃基板BLa的上表面層疊硅酮橡膠層BLb而成的平板狀橡皮布。此外，在第一實(shí)施方式中，在橡皮布BL的硅酮橡膠層BLb設(shè)置有兩個(gè)槽部BLc，但是對(duì)于槽部BLc的結(jié)構(gòu)以及作用效果，在后面進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0048]使具有與要形成的圖案PTI (參照圖8)對(duì)應(yīng)地制作的凸圖案PT2的版PP，與具有涂敷層CL的橡皮布BL抵接，從而對(duì)擔(dān)載于橡皮布BL的涂敷層CL進(jìn)行圖案化。這樣，橡皮布BL通過與版PP抵接來接受圖案的轉(zhuǎn)印，在硅酮橡膠層BLb的上表面BLd擔(dān)載凸圖案PT2的反轉(zhuǎn)圖案、即要形成的圖案PTl(圖8)(第一轉(zhuǎn)印處理)。另外，通過使擔(dān)載有這樣進(jìn)行圖案化而成的圖案PTl的橡皮布BL和基板SB抵接，將擔(dān)載于橡皮布BL的硅酮橡膠層BLb的上表面的圖案PTl轉(zhuǎn)印至基板SB(第二轉(zhuǎn)印處理)。由此，在基板SB印刷所希望的圖案PTl。
[0049]這樣，該轉(zhuǎn)印裝置I能夠用于上述第一轉(zhuǎn)印處理以及第二轉(zhuǎn)印處理這兩者，但是也可以以僅負(fù)責(zé)上述處理中的一個(gè)的方式被使用。下面，以第一轉(zhuǎn)印處理為前提，對(duì)裝置的結(jié)構(gòu)以及動(dòng)作進(jìn)行說明，但是通過將版PP換成基板SB，第二轉(zhuǎn)印處理的動(dòng)作也被說明。
[0050]上載物臺(tái)部2具有上載物臺(tái)21，該上載物臺(tái)21的下表面為平坦的基板保持面21a。上載物臺(tái)21安裝在沿著Y方向延伸而成的梁構(gòu)件22的下部，通過梁構(gòu)件22，以使基板保持面21a成為水平姿勢的方式，保持上載物臺(tái)21。梁構(gòu)件22以能夠在鉛垂方向(Z方向)上自由升降的方式，保持于在Y方向上分離配置的一對(duì)載物臺(tái)升降機(jī)構(gòu)23、23。由此，上載物臺(tái)21能夠沿著Z方向移動(dòng)。
[0051]在該實(shí)施方式中，作為載物臺(tái)升降機(jī)構(gòu)23的一例，利用滾珠螺桿機(jī)構(gòu)，但是并不限定于此。載物臺(tái)升降機(jī)構(gòu)23具有:滾珠螺桿233，通過支撐構(gòu)件231、232能夠自由旋轉(zhuǎn)地支撐于主框架；馬達(dá)234，使所述滾珠螺桿233旋轉(zhuǎn)；螺母部235，安裝在滾珠螺桿233。滾珠螺桿233和馬達(dá)234通過聯(lián)軸器236相連接。通過設(shè)置于控制單元9的載物臺(tái)升降控制部91控制馬達(dá)234，根據(jù)來自載物臺(tái)升降控制部91的控制信號(hào)使馬達(dá)234旋轉(zhuǎn)，從而使上載物臺(tái)21進(jìn)行升降。
[0052]雖然圖中未出現(xiàn)，但是在上載物臺(tái)21的下表面(基板保持面21a)設(shè)置有吸附槽或者吸附孔，根據(jù)需要，從設(shè)置于控制單元9的吸附控制部92供給負(fù)壓。由此，上載物臺(tái)21能夠吸附保持與基板保持面21a抵接的基板SB的上表面?；灞３置?1a的平面尺寸稍微小于要保持的基板SB的尺寸。
[0053]通過這樣構(gòu)成的上載物臺(tái)部2，將版PP保持為水平姿勢。版PP以形成有凸圖案PT2的圖案形成面朝下的方式，被搬入轉(zhuǎn)印裝置I。另外，通過載物臺(tái)升降機(jī)構(gòu)23使上載物臺(tái)21進(jìn)行升降，將被在下面說明的下載物臺(tái)保持的橡皮布BL和版PP之間的間隔調(diào)整為規(guī)定的值。
[0054]下載物臺(tái)部3具有下載物臺(tái)31，該下載物臺(tái)31配置于上載物臺(tái)21的下方，而且在中央部設(shè)置有開口部311，該下載物臺(tái)31的上表面成為平坦且水平的橡皮布保持面31a。下載物臺(tái)31被多個(gè)支柱32支撐。下載物臺(tái)31的平面尺寸大于要保持的橡皮布BL的尺寸，另外，開口部311的開口尺寸大于版PP的平面尺寸。由此，橡皮布BL以僅周緣部與下載物臺(tái)31抵接而中央部的下表面被開放的狀態(tài)，保持在下載物臺(tái)31。在下載物臺(tái)31的上表面(橡皮布保持面)31a中的與橡皮布BL抵接的區(qū)域，設(shè)置有吸附槽312。根據(jù)需要，從控制單元9的吸附控制部92向吸附槽312供給負(fù)壓。由此，在下載物臺(tái)31上吸附保持橡皮布BL。橡皮布BL使硅酮橡膠層BLb朝上來保持為水平姿勢，其中，所述硅酮橡膠層BLb擔(dān)載有被版PP轉(zhuǎn)印圖案的涂敷層CL。
[0055]用于保持下載物臺(tái)31的支柱32，安裝在省略圖示的定位載物臺(tái)，設(shè)置于控制單元9的定位控制部93對(duì)定位載物臺(tái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，從而使下載物臺(tái)31在水平面(XY平面)內(nèi)移動(dòng)。由此，對(duì)被上載物臺(tái)21保持的版PP和被下載物臺(tái)31保持的橡皮布BL之間的水平方向的相對(duì)位置，進(jìn)行最優(yōu)化。
[0056]下載物臺(tái)部3還具有一對(duì)升降手單元33、34，所述一對(duì)升降手單元33、34，以在X方向上隔開間隔相面對(duì)的方式設(shè)置。升降手單元33和升降手單元34具有相對(duì)于YZ平面彼此對(duì)稱的形狀，但是它們結(jié)構(gòu)基本相同。
[0057]升降手單元33具有:多個(gè)(在此，作為一例為4個(gè))升降手331、332、333、334，以與下載物臺(tái)31的開口部311相面對(duì)的方式，沿著Y方向依次設(shè)置;驅(qū)動(dòng)部335，使上述升降手分別單獨(dú)地進(jìn)行升降。同樣地，升降手單元34具有:升降手341、342、343、344，以與下載物臺(tái)31的開口部311相面對(duì)的方式，沿著Y方向依次設(shè)置;驅(qū)動(dòng)部345，使上述升降手分別單獨(dú)地進(jìn)行升降。通過設(shè)置于控制單元9的手升降控制部94控制驅(qū)動(dòng)部335、345，根據(jù)來自手升降控制部94的控制信號(hào)，對(duì)各升降手的鉛垂方向的位置分別單獨(dú)地進(jìn)行控制。
[0058]各升降手定位于其上表面與下載物臺(tái)31的橡皮布保持面31a處于同一平面的位置，從而對(duì)以下表面開放的狀態(tài)被下載物臺(tái)31保持的橡皮布BL的中央部下表面進(jìn)行輔助性地支撐。由此，能夠抑制橡皮布BL的彎曲來將橡皮布BL支撐為平坦。另外，根據(jù)需要來向下方退避，從而避免與下面說明的轉(zhuǎn)印輥的移動(dòng)之間的干涉。
[0059]轉(zhuǎn)印輥部4具有:導(dǎo)軌41，在下載物臺(tái)31的下方固定于主框架，而且沿著Y方向延伸;滾珠螺桿機(jī)構(gòu)42，沿著導(dǎo)軌41設(shè)置;輥單元43，安裝在滾珠螺桿機(jī)構(gòu)42的螺母部425。
[0060]圖3A是示出轉(zhuǎn)印輥部的結(jié)構(gòu)的立體圖，圖3B是示出轉(zhuǎn)印輥部和升降手單元之間的位置關(guān)系的圖。在轉(zhuǎn)印輥部4中，沿著導(dǎo)軌41設(shè)置有滾珠螺桿機(jī)構(gòu)42。更具體地說，通過設(shè)置于導(dǎo)軌41的兩端附近的支撐構(gòu)件421、422，支撐滾珠螺桿423，通過馬達(dá)424經(jīng)由聯(lián)軸器426而使?jié)L珠螺桿423旋轉(zhuǎn)。在滾珠螺桿423安裝有螺母部425。通過使馬達(dá)424旋轉(zhuǎn)，螺母部425沿著導(dǎo)軌41在Y方向上進(jìn)行水平移動(dòng)。
[0061 ]安裝于螺母部425的輥單元43具有呈輥狀的轉(zhuǎn)印輥431，該轉(zhuǎn)印輥431將X方向作為長度方向。轉(zhuǎn)印輥431被支撐構(gòu)件43支撐為，能夠圍繞與X方向平行的旋轉(zhuǎn)軸自由旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)印輥431的表面由彈性體，例如橡膠材料形成，X方向上的轉(zhuǎn)印輥431的長度，大于版PP的X方向長度。
[0062]另外，在螺母部425安裝有用于使轉(zhuǎn)印輥431升降的作為輥升降機(jī)構(gòu)的滾珠螺桿機(jī)構(gòu)。更具體地說，滾珠螺桿434以能夠自由旋轉(zhuǎn)的方式，支撐在從螺母部425向上方延伸的框架，而且在滾珠螺桿434安裝有螺母部435。滾珠螺桿434被支撐為將鉛垂方向作為軸向，而且通過聯(lián)軸器437與馬達(dá)436連接，被馬達(dá)436驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)。即，通過馬達(dá)436使?jié)L珠螺桿434旋轉(zhuǎn)，使螺母部435沿著鉛垂方向進(jìn)行升降移動(dòng)。上述滾珠螺桿434、螺母部435以及馬達(dá)436、聯(lián)軸器437—體來構(gòu)成滾珠螺桿機(jī)構(gòu)。
[0063]在從螺母部435延伸的臂部，安裝有支撐構(gòu)件432。此外，臂部和支撐構(gòu)件432也可以形成為一體。通過馬達(dá)436使?jié)L珠螺桿434旋轉(zhuǎn)，使轉(zhuǎn)印輥431與螺母部435—起進(jìn)行升降移動(dòng)。由此，轉(zhuǎn)印輥431以接近被下載物臺(tái)31保持的橡皮布BL的下表面，或者與被下載物臺(tái)31保持的橡皮布BL的下表面分離的方式進(jìn)行移動(dòng)。即，該滾珠螺桿機(jī)構(gòu)(滾珠螺桿434、螺母部435、馬達(dá)436以及聯(lián)軸器437)發(fā)揮輥升降機(jī)構(gòu)的功能。通過設(shè)置于控制單元9的輥升降控制部95控制馬達(dá)436。
[0064]通過馬達(dá)424的旋轉(zhuǎn)，使具有這樣的結(jié)構(gòu)的輥單元43在Y方向上移動(dòng)。通過設(shè)置于控制單元9的輥移動(dòng)控制部97，控制馬達(dá)424。當(dāng)根據(jù)來自輥移動(dòng)控制部97的控制信號(hào)使馬達(dá)424旋轉(zhuǎn)時(shí)，滾珠螺桿機(jī)構(gòu)42的螺母部425沿著導(dǎo)軌41在Y方向上移動(dòng)，隨著螺母部425移動(dòng)而使輥單元43移動(dòng)。結(jié)果，設(shè)置于輥單元43的轉(zhuǎn)印輥431，沿著橡皮布BL的下表面在Y方向上移動(dòng)。這樣，導(dǎo)軌41以及滾珠螺桿機(jī)構(gòu)42，發(fā)揮用于使轉(zhuǎn)印輥431在Y方向上移動(dòng)的輥移動(dòng)機(jī)構(gòu)的功能。
[0065]這樣，轉(zhuǎn)印輥431能夠通過輥升降機(jī)構(gòu)進(jìn)行Z方向的升降動(dòng)作，而且能夠通過輥移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行Y方向的移動(dòng)動(dòng)作。在轉(zhuǎn)印輥431(輥單元43)在Y方向上移動(dòng)時(shí)，如下述那樣避免設(shè)置于升降手單元33、34的各升降手331等和輥單元43之間的干涉。此外，下面，以設(shè)置于升降手單元33、34的一對(duì)升降手331、341和輥單元43之間的位置關(guān)系為例，進(jìn)行說明，但是其它升降手也同樣。
[0066]如圖3B所示，輥單元43以使轉(zhuǎn)印輥431沿著被下載物臺(tái)31保持的橡皮布BL的下表面的方式，在Y方向上移動(dòng)。在X方向上，相向配置的升降手331、341的前端彼此分離，使輥單元43的輥升降機(jī)構(gòu)(滾珠螺桿434、螺母部435以及馬達(dá)436)通過它們的間隙進(jìn)行移動(dòng)。因此，能夠從結(jié)構(gòu)上避免輥升降機(jī)構(gòu)和升降手331、341之間的干涉。
[0067]另一方面，在升降手331、341與橡皮布BL的下表面抵接或者接近的狀態(tài)下，可能產(chǎn)生上述升降手331、341和轉(zhuǎn)印輥431、支撐構(gòu)件432之間的接觸。針對(duì)該問題，如下對(duì)應(yīng)，即，使升降手331、341—體地下降，直到該升降手331、341的上表面位于支撐構(gòu)件432的下表面的下方的位置。即，與輥單元43在Y方向上的移動(dòng)動(dòng)作同步地，升降手單元33、34使各升降手331等依次向下方退避。由此，轉(zhuǎn)印輥431以及支撐構(gòu)件432會(huì)通過升降手331等的上部，從而避免輥單元43和升降手331等之間的干涉。
[0068]接著，對(duì)在上述那樣構(gòu)成的轉(zhuǎn)印裝置I中使用的平板狀橡皮布BL的結(jié)構(gòu)、以及使用該平板狀橡皮布BL的轉(zhuǎn)印處理，進(jìn)行說明。如上所述，在此，對(duì)通過使橡皮布BL與版PP抵接來在橡皮布BL轉(zhuǎn)印圖案PTl的第一轉(zhuǎn)印處理，進(jìn)行說明，但是通過將版PP換成基板SB，第二轉(zhuǎn)印處理的動(dòng)作也被說明。
[0069]如圖2所示，平板狀橡皮布BL是在玻璃基板BLa的上表面的中央部層疊硅酮橡膠層BLb而成的。另外，在進(jìn)行第一轉(zhuǎn)印處理之前，在硅酮橡膠層BLb的上表面的中央部形成有涂敷層CL。這樣，硅酮橡膠層BLb的平面尺寸雖小于玻璃基板BLa的平面尺寸，但大于涂敷層CL的平面尺寸。并且，當(dāng)如后述那樣使平板狀橡皮布BL與版PP抵接時(shí)，在硅酮橡膠層BLb的上表面、即朝向版PP的凸圖案PT2的面BLd(圖8)中的、凸圖案PT2所抵接的區(qū)域，涂敷層CL被圖案化為凸圖案PT2的反轉(zhuǎn)圖案、即所希望的圖案PTl，并擔(dān)載于上述區(qū)域中。在本說明書中，將擔(dān)載有這樣形成的圖案PTl的區(qū)域稱為“圖案擔(dān)載區(qū)域PR”。另一方面，將硅酮橡膠層BLb的上表面BLd中的除了圖案擔(dān)載區(qū)域PR的區(qū)域，稱為“非圖案擔(dān)載區(qū)域NR”。
[0070]在本實(shí)施方式中，如圖2所示，沿著Y方向排列4個(gè)圖案擔(dān)載區(qū)域PR而成的區(qū)域行，以在X方向上彼此分離的方式，排列有3個(gè)，從而在硅酮橡膠層BLb以二維矩陣狀設(shè)定有12個(gè)圖案擔(dān)載區(qū)域PR。另外，在上述排列行之間的非圖案擔(dān)載區(qū)域NR設(shè)置有槽部BLc，該槽部BLc朝向版PP開口。更詳細(xì)地說，通過將在非圖案擔(dān)載區(qū)域NR沿著Y方向延伸的狹縫從硅酮橡膠層BLb的-Y側(cè)端面設(shè)置到+Y側(cè)端面，從而使槽部BLc與用于包圍硅酮橡膠層BLb的周邊空間連接。因此，即使如下面說明那樣在進(jìn)行第一轉(zhuǎn)印處理時(shí)，在橡皮布BL和版PP之間捕集到氣泡，氣泡也到達(dá)槽部BLc，并經(jīng)由槽部BLc從橡皮布BL和版PP之間排出。此外，在本實(shí)施方式中，使玻璃基板BLa的上表面中的、因形成狹縫而露出的區(qū)域，發(fā)揮槽部BLc的底面的功能，但是這并不是用于經(jīng)由槽部BLc排出氣泡的必須的結(jié)構(gòu)，例如也可以將槽部BLc的深度設(shè)定為小于硅酮橡膠層BLb的厚度(鉛垂方向Z上的高度)。
[0071]圖4是示出通過圖1的轉(zhuǎn)印裝置進(jìn)行的轉(zhuǎn)印處理的流程圖。另外，圖5A至圖5C以及圖6A至圖6C是示意性地示出轉(zhuǎn)印處理的過程中的各部的位置的圖。另外，圖7是示意性地示出第一轉(zhuǎn)印處理中的氣泡排出動(dòng)作的圖。而且，圖8是示意性地示出通過第一轉(zhuǎn)印處理形成而擔(dān)載于橡皮布的圖案擔(dān)載區(qū)域的圖案的一例的圖。此外，圖7中的(b-Ι)以及(b-2)分別示出沿著(a-Ι)中的A-A線剖切的剖視圖以及沿著(a-2)中的B-B線剖切的剖視圖。
[0072]在轉(zhuǎn)印處理中，首先，將具有凸圖案PT2的版PP搬入裝置并安裝于上載物臺(tái)21，其中，所述凸圖案PT2是使所希望的圖案PTl(圖8)反轉(zhuǎn)而成的(步驟S101)。上載物臺(tái)21以使形成有凸圖案PT2的圖案形成面朝下的方式，吸附保持版PP。接著，將橡皮布BL搬入裝置并安裝于下載物臺(tái)31，其中，所述橡皮布BL具有用于要被版PP進(jìn)行圖案化的涂敷層CL(步驟S102)。下載物臺(tái)31以使預(yù)先涂敷由涂敷層CL的硅酮橡膠層BLb朝上且與版PP相向的狀態(tài)，吸附保持橡皮布BL。
[0073]接著，將裝置各部定位于規(guī)定的初始位置(步驟S103)。圖5A表示各部的初始位置。以如下方式對(duì)上載物臺(tái)21以及下載物臺(tái)31進(jìn)行定位，S卩，版PP和橡皮布BL隔開規(guī)定的間隔平行地相向，而且在水平方向上，擔(dān)載于橡皮布BL的涂敷層CL和版PP的凸圖案PT2具有預(yù)先規(guī)定的位置關(guān)系。另外，升降手331等上升至其上表面與下載物臺(tái)31的上表面處于同一平面的位置，來與橡皮布BL的下表面抵接，從而將橡皮布BL支撐為水平姿勢。輥單元43定位于版PP的Y方向上的一端部的正下方位置，且定位于轉(zhuǎn)印輥431從橡皮布BL的下表面充分向下方退避的退避位置。
[0074]在該狀態(tài)下，轉(zhuǎn)印輥431上升來與橡皮布BL的下表面抵接。具體地說，構(gòu)成輥升降機(jī)構(gòu)的馬達(dá)436進(jìn)行動(dòng)作，來使轉(zhuǎn)印輥431以規(guī)定的第一速度Vl上升至接觸前位置，該接觸前位置是位于退避位置的上方、且比橡皮布BL的下表面稍微靠下方的位置(步驟S104)。此時(shí)的馬達(dá)控制設(shè)定為位置控制或者速度控制。在該時(shí)刻，轉(zhuǎn)印輥431的上端并不與橡皮布BL發(fā)生接觸。
[0075]當(dāng)轉(zhuǎn)印輥431到達(dá)接觸前位置時(shí)，對(duì)馬達(dá)436的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行減速，將轉(zhuǎn)印輥431的上升速度變更為小于第一速度Vl的第二速度V2(步驟S105)。由此，轉(zhuǎn)印輥431以低速進(jìn)一步上升，轉(zhuǎn)印棍431的上端與橡皮布BL的下表面發(fā)生接觸。
[0076]轉(zhuǎn)印輥431在與橡皮布BL的下表面抵接之后也繼續(xù)上升，由此如圖5B所示，橡皮布BL被轉(zhuǎn)印輥431推起，最終使橡皮布BL的上表面與版PP的下表面抵接。由此，擔(dān)載于橡皮布BL的上表面的涂敷層CL緊貼于版PP。而且，通過使轉(zhuǎn)印輥431推起橡皮布BL，將涂敷層CL按壓于版PP。此時(shí)，通過凸圖案PT2對(duì)涂敷層CL進(jìn)行圖案化，該凸圖案PT2的反轉(zhuǎn)圖案作為所希望的圖案PT I而轉(zhuǎn)印至橡皮布BL。
[0077]另外，開啟構(gòu)成輥移動(dòng)機(jī)構(gòu)的馬達(dá)424，使轉(zhuǎn)印輥431開始在Y方向上移動(dòng)(步驟S106)。由此，轉(zhuǎn)印輥431—邊與橡皮布BL的下表面抵接來進(jìn)行從動(dòng)旋轉(zhuǎn)，一邊在Y方向上移動(dòng)。
[0078]如圖5C以及圖6A所示，轉(zhuǎn)印輥431—邊將橡皮布BL按壓于版PP，一邊在Y方向上移動(dòng)，從而使橡皮布BL和版PP隔著涂敷層CL緊貼的區(qū)域，在Y方向上擴(kuò)大。這樣圖案PTl依次轉(zhuǎn)印至橡皮布BL的硅酮橡膠層BLb的上表面BLd(第一轉(zhuǎn)印處理)。轉(zhuǎn)印輥431上升至能夠用恒定的按壓力按壓橡皮布BL的按壓位置，且以該狀態(tài)在Y方向上移動(dòng)。
[0079]此時(shí)，為了避免與移動(dòng)的輥單元43之間發(fā)生干涉，隨著輥單元43移動(dòng)，升降手單元
33、34使升降手331(341)、332(342)、333(343)、334(344)依次下降。
[0080]如圖6B所示，輥單元43繼續(xù)移動(dòng)，直到轉(zhuǎn)印輥431到達(dá)版PP的另一端部的正下方的結(jié)束位置(步驟S107)。由此，使整個(gè)版PP與橡皮布BL抵接，向橡皮布BL轉(zhuǎn)印圖案PTl的動(dòng)作結(jié)束。在該時(shí)刻，輥單元43停止移動(dòng)，如圖6C所示，輥單元43與橡皮布BL分離來向下方退避(步驟S108)。將這樣緊貼的橡皮布BL和版PP—體地搬出(步驟S109)，結(jié)束通過該轉(zhuǎn)印裝置I進(jìn)行的轉(zhuǎn)印處理。
[0081]在這樣通過轉(zhuǎn)印裝置I進(jìn)行轉(zhuǎn)印處理的期間，如圖7的上層欄所示，有時(shí)在橡皮布BL和版PP之間捕集氣泡AB，產(chǎn)生所謂的“摻氣泡”這樣的問題。但是，在本實(shí)施方式中，由于在橡皮布BL的硅酮橡膠層BLb設(shè)置槽部BLc，因此即使產(chǎn)生該氣泡AB，該氣泡AB也會(huì)隨著時(shí)間經(jīng)過，而經(jīng)由槽部BLc向硅酮橡膠層BLb的周邊空間排出。因此，如圖7的下層欄所示，在從轉(zhuǎn)印處理結(jié)束起經(jīng)過一定時(shí)間Tl的時(shí)刻，全部氣泡AB被排出。結(jié)果，能夠?qū)鍼P的凸圖案PT2的反轉(zhuǎn)圖案良好地轉(zhuǎn)印至橡皮布BL，例如能夠如圖8所示那樣，將并列設(shè)置多個(gè)線狀圖案要素PEI而成的高品質(zhì)的圖案PT I，轉(zhuǎn)印至橡皮布BL的圖案擔(dān)載區(qū)域PR，其中，所述線狀圖案要素PEl在Y方向上具有寬度Wl且沿著X方向延伸。此外，圖8中的附圖標(biāo)記BLe表示硅酮橡膠層BLb的下表面，該下表面BLe被玻璃基板BLa支撐。
[0082]另外，槽部BLc避開圖案擔(dān)載區(qū)域PR而形成在硅酮橡膠層BLb的非圖案擔(dān)載區(qū)域NR，因此圖案PTl在不受到槽部BLc的影響的情況下，轉(zhuǎn)印至橡皮布BL。此外，就槽部BLc而言，能夠避開相當(dāng)于槽部BLc的區(qū)域來涂敷硅酮橡膠，來設(shè)置3個(gè)層狀的橡膠涂敷部，由此形成圖2或圖7所示的硅酮橡膠層BLb，從而使相鄰的橡膠涂敷部之間發(fā)揮槽部BLc的功能。這樣，能夠通過一次涂敷工序，形成具有槽部BLc的硅酮橡膠層BLb。當(dāng)然，也可以在玻璃基板BLa的上表面涂敷硅酮橡膠，而以整個(gè)面的形式形成層狀的橡膠涂敷部之后，在該橡膠涂敷部設(shè)置狹縫，來形成槽部BLc。這樣，在本實(shí)施方式中，能夠利用以往公知的涂敷技術(shù)，來價(jià)格低廉且穩(wěn)定地準(zhǔn)備平板狀橡皮布BL。
[0083]另外，如上述那樣，能夠利用以往的涂敷技術(shù)，簡單且高精度地形成槽部BLc，因此還能夠獲得如下作用效果?？紤]如下技術(shù)(下面，稱為“比較技術(shù)”)，即，在使版PP和橡皮布BL抵接來進(jìn)行轉(zhuǎn)印處理的情況下，在版PP的下表面中的未形成凸圖案PT2的區(qū)域設(shè)置槽部，經(jīng)由該槽部排出氣泡AB(參照專利文獻(xiàn)2)。但是，不僅利用所謂的照相制版技術(shù)形成凸圖案PT2，而且需要另外進(jìn)行用于設(shè)置槽部的工序，從而為了排出氣泡AB而需要追加成本。相對(duì)于此，在本實(shí)施方式中，如上述那樣，能夠在涂敷硅酮橡膠層BLb的同時(shí)，形成槽部BLc，與上述比較技術(shù)相比，能夠以低成本提供氣泡排出機(jī)構(gòu)。
[0084]另外，也可以同時(shí)將槽部與凸圖案PT2制作在版PP的下表面，但是此時(shí)，只能形成深度與凸圖案PT2的深度相同的槽部，槽部的形狀或尺寸等受到限制。相對(duì)于此，在本實(shí)施方式中，僅在橡皮布BL側(cè)設(shè)置槽部BLc，因此不存在上述限制，從而能夠形成與氣泡AB的大小或形狀等相對(duì)應(yīng)的槽部BLc。
[0085]而且，在比較技術(shù)中，在版PP設(shè)置槽部的基礎(chǔ)上進(jìn)行反轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)印，因此與槽部相對(duì)應(yīng)的形狀的圖案要素，形成并擔(dān)載于橡皮布的非圖案區(qū)域。因此，需要在進(jìn)行第二轉(zhuǎn)印處理之前，從橡皮布除去該圖案要素，或者在進(jìn)行第二轉(zhuǎn)印處理之后，從基板除去該圖案要素，因此不可避免地引起生產(chǎn)率的惡化。相對(duì)于此，在本實(shí)施方式中，能夠不在橡皮布的非圖案區(qū)域形成圖案要素而直接進(jìn)行第二轉(zhuǎn)印處理，另外，基板SB上也不會(huì)轉(zhuǎn)印多余的圖案要素。此夕卜，這樣的作用效果在下面說明的第二實(shí)施方式中也是同樣的。
[0086]圖9是示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式的平板狀橡皮布的立體圖。另外，圖10是示意性地示出第二實(shí)施方式的第一轉(zhuǎn)印處理中的氣泡排出動(dòng)作的圖。此外，圖10中的(b-Ι)以及(b-2)分別表示沿著(a-1)中的C-C線剖切的剖視圖以及沿著(a-2)中的D-D線剖切的剖視圖。該第二實(shí)施方式與第一實(shí)施方式的較大的不同點(diǎn)在于，用于將在轉(zhuǎn)印處理中混入橡皮布BL和版PP之間的氣泡AB排出的氣泡排出機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。即，在第一實(shí)施方式中，設(shè)置于硅酮橡膠層BLb的槽部BLc發(fā)揮氣泡排出機(jī)構(gòu)的功能，而在第二實(shí)施方式中，在玻璃基板BLa的上表面設(shè)置多孔性的硅酮橡膠層BLf，該整個(gè)硅酮橡膠層BLf發(fā)揮用于擔(dān)載圖案PTl的功能，并且發(fā)揮氣泡排出機(jī)構(gòu)的功能。此外，在使用圖9所示的平板狀橡皮布BL的情況下，也能夠完全與第一實(shí)施方式同樣地進(jìn)行第一轉(zhuǎn)印處理，并且能夠排出在第一轉(zhuǎn)印處理中混入的氣泡。更詳細(xì)地說，即使例如圖10的上層欄所示那樣、在第一轉(zhuǎn)印處理中氣泡AB混入橡皮布BL和版PP之間，該氣泡AB也可以隨著時(shí)間經(jīng)過，而經(jīng)由在硅酮橡膠層BLf包含的孔向硅酮橡膠層BLf的周邊空間排出。因此，如圖10的下層欄所示，在從轉(zhuǎn)印處理結(jié)束起經(jīng)過一定時(shí)間T2的時(shí)刻，全部氣泡AB被排出。
[0087]這樣，在第二實(shí)施方式中，在硅酮橡膠層BLf形成有多個(gè)孔，氣泡AB經(jīng)由上述孔排出，因此不需要在橡皮布BL設(shè)置槽部BLc。因此，不僅在與第一實(shí)施方式同樣地具有非圖案擔(dān)載區(qū)域NR的情況下，而且在整個(gè)硅酮橡膠層BLf發(fā)揮圖案擔(dān)載區(qū)域PR的功能的情況下，也能夠有效地排出氣泡AB。其中，由于圖案PTl轉(zhuǎn)印至硅酮橡膠層BLf的上表面，因此若形成在硅酮橡膠層BLf的上表面附近的孔的尺寸大于圖案PTl，則使圖案PTl的轉(zhuǎn)印性能降低，可能引起圖案的品質(zhì)下降。因此，例如如圖8所示那樣，在將由寬度Wl的線狀圖案要素PEl構(gòu)成的圖案PTl轉(zhuǎn)印至橡皮布BL的情況下，需要調(diào)整用于在硅酮橡膠層BLf形成孔的發(fā)泡材料的成分或量等，以便孔的平均孔徑小于寬度Wl。例如在線狀圖案要素PEl的寬度Wl為Ιμπι左右的情況下，優(yōu)選采用如下多孔性的硅酮橡膠層BLf，即，具有平均孔徑為2?50nm的細(xì)孔、即所謂的“介孔”。
[0088]另外，在上述實(shí)施方式中，形成圖案PTl，該圖案PTl由沿著X方向延伸設(shè)置的多個(gè)線狀圖案要素PEl構(gòu)成，但是圖案PTl的結(jié)構(gòu)要素并不限定于此，例如也可以由具有圖11中的(a)?(f)所示的形狀的圖案要素PE2?PE7，構(gòu)成圖案PTl。其中，為了避免圖案PT I的轉(zhuǎn)印性能降低，在由圖11中的(a)?(f)所示的圖案要素PE2?PE7構(gòu)成圖案PTl的情況下，需要以使各細(xì)孔的平均孔徑小于W2?W7的方式，形成硅酮橡膠層BLf。另外，在圖案PTl具有多種圖案要素的情況下，也是同樣的。即，只要以使細(xì)孔的平均孔徑小于在硅酮橡膠層BLf的面內(nèi)方向(圖9以及圖11的XY面內(nèi)的方向)上最細(xì)的部分的寬度的方式，形成硅酮橡膠層BLfSP可，由此可獲得與第二實(shí)施方式同樣的作用效果。
[0089]此外，本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，在不脫離其宗旨的情況下，能夠進(jìn)行其它各種變更。例如，在上述實(shí)施方式中，作為用于支撐硅酮橡膠層BLb的下表面的基體材料，利用玻璃基板BLa，但是也可以利用由透氣性材料構(gòu)成的基體材料。例如也可以將使PET (聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯:polyethylene terephthalate)具有透氣性并形成為平板狀而成的材料，來作為基體材料。
[0090]并且，若在具有透氣性的PET基體材料的上表面，層疊形成具有槽部BLc的硅酮橡膠層BLb，則在橡皮布BL和版PP之間捕集的氣泡AB，不僅經(jīng)由槽部BLc向硅酮橡膠層BLb的周邊空間排出，而且還經(jīng)由槽部BLc以及PET基體材料排出。結(jié)果，能夠在比第一實(shí)施方式的時(shí)間Tl短的時(shí)間內(nèi)排出氣泡AB，從而能夠提高生產(chǎn)率。
[0091]另外，若在具有透氣性的PET基體材料的上表面，層疊形成多孔性的硅酮橡膠層BLf，則在橡皮布BL和版PP之間捕集的氣泡AB，不僅經(jīng)由硅酮橡膠層BLf向周邊空間排出，而且還經(jīng)由硅酮橡膠層BLf以及透氣性PET基體材料排出。結(jié)果，能夠在比第二實(shí)施方式的時(shí)間T2短的時(shí)間內(nèi)排出氣泡AB，從而能夠提高生產(chǎn)率。
[0092]另外，在上述第一實(shí)施方式中，如圖2所示，在硅酮橡膠層BLb的非圖案擔(dān)載區(qū)域NR形成直線狀的兩個(gè)槽部BLc，但是槽部BLc的形狀或數(shù)量等可以是任意的。
[0093]另外，在上述實(shí)施方式中，作為用于擔(dān)載圖案PTl的擔(dān)載層，形成硅酮橡膠層BLb、BLf，但是擔(dān)載層的結(jié)構(gòu)材料并不限定于此，只要是能夠擔(dān)載涂敷層CL以及圖案PTl的材料即可，可以是任意的。
[0094]另外，在上述實(shí)施方式中，將本發(fā)明應(yīng)用于第一轉(zhuǎn)印處理中，但是本發(fā)明也能夠應(yīng)用于第二轉(zhuǎn)印處理中，其中，在所述第二轉(zhuǎn)印處理中，使用于擔(dān)載圖案PTl的平板狀橡皮布BL與基板SB抵接，從而將上述圖案PTl轉(zhuǎn)印至基板SB。
[0095]如上說明，在上述實(shí)施方式中，版PP或基板SB相當(dāng)于本發(fā)明的“板狀體”的一例。另外，玻璃基板BLa或PET基體材料相當(dāng)于本發(fā)明的“基體材料”的一例。另外，硅酮橡膠層BLb相當(dāng)于本發(fā)明的“擔(dān)載層”的一例，娃酮橡膠層BLb的上表面BLd以及下表面BLe分別相當(dāng)于本發(fā)明的“與板狀體相向的一個(gè)主面”以及“擔(dān)載層的另一主面”。另外，步驟S10US102相當(dāng)于本發(fā)明的“保持工序”的一例。而且，步驟S106相當(dāng)于本發(fā)明的“轉(zhuǎn)印工序”的一例。
[0096]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0097]本發(fā)明能夠優(yōu)選利用于轉(zhuǎn)印技術(shù)，所述轉(zhuǎn)印技術(shù)指，使板狀體和平板狀橡皮布抵接，來在板狀體以及平板狀橡皮布之間轉(zhuǎn)印圖案。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種平板狀橡皮布，通過與板狀體抵接而被轉(zhuǎn)印圖案或者向所述板狀體轉(zhuǎn)印圖案，該平板狀橡皮布的特征在于， 具有: 擔(dān)載層，具有與所述板狀體相向的一個(gè)主面，在所述一個(gè)主面的圖案擔(dān)載區(qū)域擔(dān)載所述圖案， 基體材料，用于支撐所述擔(dān)載層的另一主面； 所述擔(dān)載層具有槽部，該槽部朝向所述板狀體開口，并與包圍所述擔(dān)載層的周邊空間連接， 在所述擔(dān)載層的一個(gè)主面中的除了所述圖案擔(dān)載區(qū)域之外的非圖案擔(dān)載區(qū)域，設(shè)置有所述槽部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板狀橡皮布，其特征在于， 所述槽部的底面為所述基體材料。3.—種平板狀橡皮布，通過與板狀體抵接而被轉(zhuǎn)印圖案或者向所述板狀體轉(zhuǎn)印圖案，該平板狀橡皮布的特征在于， 具有: 擔(dān)載層，具有與所述板狀體相向的一個(gè)主面，在所述一個(gè)主面擔(dān)載所述圖案， 基體材料，用于支撐所述擔(dān)載層的另一主面； 所述擔(dān)載層具有多孔性。4.根據(jù)權(quán)利要求2或者3所述的平板狀橡皮布，其特征在于， 所述基體材料具有透氣性。5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的平板狀橡皮布，其特征在于， 所述擔(dān)載層為硅酮橡膠層。6.一種轉(zhuǎn)印方法，其特征在于， 包括: 保持工序，使板狀體的一個(gè)主面和權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的平板狀橡皮布的擔(dān)載層的一個(gè)主面相向，來進(jìn)行保持； 轉(zhuǎn)印工序，使所述板狀體的一個(gè)主面和所述擔(dān)載層的一個(gè)主面彼此抵接，來轉(zhuǎn)印圖案。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的轉(zhuǎn)印方法，其特征在于， 在所述板狀體的一個(gè)主面，設(shè)置有與所述圖案相對(duì)應(yīng)的凸圖案， 在所述擔(dān)載層的一個(gè)主面，形成有用于構(gòu)成所述圖案的涂敷材料的涂敷層， 在所述轉(zhuǎn)印工序中，將所述凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案形成在所述涂敷層，從而向所述平板狀橡皮布轉(zhuǎn)印圖案。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的轉(zhuǎn)印方法，其特征在于， 在所述擔(dān)載層的一個(gè)主面擔(dān)載所述圖案， 在所述轉(zhuǎn)印工序中，將所述圖案從所述擔(dān)載層的一個(gè)主面轉(zhuǎn)印至所述板狀體的一個(gè)主面。
【文檔編號(hào)】B41N10/02GK106064542SQ201610260676
【公開日】2016年11月2日
【申請日】2016年4月25日 公開號(hào)201610260676.3, CN 106064542 A, CN 106064542A, CN 201610260676, CN-A-106064542, CN106064542 A, CN106064542A, CN201610260676, CN201610260676.3
【發(fā)明人】增市干雄, 灘原壯一
【申請人】株式會(huì)社思可林集團(tuán)