專(zhuān)利名稱(chēng)：基板加工系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)形成有多個(gè)單位顯示面板的母板(mother board，也稱(chēng)為粘貼基板、 粘貼母板)進(jìn)行分割，逐個(gè)取出單位顯示面板的基板加工系統(tǒng)。具體地講，本發(fā)明的基板加 工系統(tǒng)用于液晶顯示面板等制造工序中。
背景技術(shù)：
制造液晶顯示面板用的母板是將圖案形成有多個(gè)彩色濾光片(color filter)的 一側(cè)的第一基板(也稱(chēng)為CF側(cè)基板)、和圖案形成有多個(gè)TFT及端子區(qū)域的一側(cè)的第二基 板(也稱(chēng)為T(mén)FT側(cè)基板)，隔著封入了液晶的密封部件進(jìn)行粘貼而形成的。此時(shí)，第二基板 被粘貼成為使其形成有TFT及端子區(qū)域的基板面成為與第一基板的接合面。第二基板的端子區(qū)域由于是在TFT和外部設(shè)備之間連接信號(hào)線的區(qū)域，所以需要 露出。因此，在將母板分割為每個(gè)單位顯示面板時(shí)，把與端子區(qū)域相對(duì)的第一基板(CF側(cè)基 板)的部位作為邊角料去除。具體地講，沿著與連接有TFT的一側(cè)為相反側(cè)的端子區(qū)域的 外側(cè)端分割第二基板側(cè)，在從端子區(qū)域的外側(cè)端向內(nèi)側(cè)進(jìn)去安裝信號(hào)線所需要的寬度(端 子寬度)的位置處分割第一基板。由此，把與端子區(qū)域相對(duì)的第一基板的部位作為邊角料 去除。通常在將母板分割為每個(gè)單位顯示面板的工序中，采用使用切刀輪的分割方法。 在這種情況下，分別針對(duì)構(gòu)成母板的兩張基板(CF側(cè)基板和TFT側(cè)基板)，將切刀輪壓靠在 各基板的預(yù)定分割位置上，由此在各個(gè)基板上刻出劃線槽。然后，沿著劃線槽施力進(jìn)行切斷 (機(jī)械切斷)或者施加加熱蒸汽進(jìn)行切斷(蒸汽切斷)，由此將母板徹底分割為每個(gè)單位顯 示面板。并且，利用搬出機(jī)器人(基板搬出裝置)將分割后的一個(gè)一個(gè)的單位顯示面板輸 送到后續(xù)工序。已經(jīng)公開(kāi)了對(duì)母板的上下兩面同時(shí)進(jìn)行這些一系列的基板加工，不需將基板翻轉(zhuǎn) 即可進(jìn)行加工的基板加工系統(tǒng)(基板分割系統(tǒng))和基板加工方法(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1、專(zhuān)利文 獻(xiàn)2)。根據(jù)這些文獻(xiàn)，利用上下一對(duì)的切刀輪從上下方向同時(shí)對(duì)母板的兩面進(jìn)行劃線。然 后，利用蒸汽切斷裝置或者滾輪切斷裝置同時(shí)對(duì)兩面進(jìn)行切斷，分割為每個(gè)單位顯示面板。 將這樣形成的單位顯示面板逐個(gè)取出并輸送到后續(xù)工序。另外還公開(kāi)了如下內(nèi)容(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)3)，在從母板取出液晶顯示面板的搬運(yùn)臂 (基板搬出裝置)的緣部設(shè)置蒸汽發(fā)生器和推壓裝置，由此進(jìn)行二次切斷。根據(jù)該文獻(xiàn)還公 開(kāi)了如下內(nèi)容，在針對(duì)上下兩面的劃線以及一次切斷(蒸汽切斷)之后，在通過(guò)搬運(yùn)臂將液 晶顯示面板取出之前，使搬運(yùn)臂的蒸汽發(fā)生器和推壓裝置進(jìn)行動(dòng)作，使周邊的虛設(shè)(dummy) 玻璃同時(shí)從液晶顯示面板在上下兩面完全分離。另一方面，在該文獻(xiàn)中沒(méi)有提及這種二次切斷是否能夠適用于端面不齊的端子區(qū) 域。在液晶顯示面板中，近年來(lái)越來(lái)越要求大畫(huà)面化，為此也要求單位顯示面板的大 面積化。并且，在將一個(gè)母板分割來(lái)形成多個(gè)單位顯示面板時(shí)，基板的一部分作為邊角料被廢棄，所以也要求減少被廢棄的邊角料的量，有效利用母板。因此，當(dāng)在母板上形成彩色濾 光片(CF)、TFT、端子區(qū)域時(shí)，需要考慮基板布局使形成于鄰接的單位顯示面板之間的邊角 料區(qū)域達(dá)到最小。圖18、圖19是表示抑制了邊角料產(chǎn)生量的液晶顯示面板用母板的基板布局示例 的圖(平面圖、主視圖、右視圖)。母板采用將第一基板Gl (CF側(cè)基板)和第一基板G2 (TFT 側(cè)基板)粘貼的構(gòu)造。在這些示例中，在母板上配置有合計(jì)8個(gè)單位顯示面板U。其中，圖 18(a)中的母板被配置為在鄰接的兩條邊的周緣形成有端子區(qū)域T的二端子面板。圖18(b) 中的母板被配置為在三條邊的周緣形成有端子區(qū)域T的三端子面板。圖18(c)中的母板被 配置為在一條邊的周緣形成有端子區(qū)域T的單端子面板。并且，圖19中的母板被配置為在 四條邊的周緣形成有端子區(qū)域T的四端子面板。形成有端子區(qū)域T的邊的數(shù)量根據(jù)單位顯 示面板U中包含的像素?cái)?shù)而選擇。在上述的基板布局中，第二基板G2 (TFT側(cè)基板)被配置為使各個(gè)單位顯示面板U 相互直接相接，以便與鄰接的單位顯示面板U之間不會(huì)產(chǎn)生邊角料。因此，針對(duì)第二基板 G2，只有母板的外周部分產(chǎn)生邊角料。另一方面，第一基板(CF側(cè)基板)在母板U的外周部 分和與第二基板G2的端子區(qū)域T相對(duì)的區(qū)域都產(chǎn)生邊角料。在圖18、圖19中利用陰影線 表示成為邊角料的部分。在此，分析圖18所示的單端子面板、二端子面板、以及三端子面板。圖20是表示 鄰接的單位顯示面板的局部截面的示意圖。在這些基板布局中將單位顯示面板U1、U2配置 成為，在至少一對(duì)鄰接的單位顯示面板Ul、U2之間，使一個(gè)單位顯示面板Ul中的端子區(qū)域 T的外側(cè)端面Ll (只是第二基板G2的端面)、與另一個(gè)單位顯示面板U2中未設(shè)置端子區(qū)域 T的非端子面L2(第一基板Gl和第二基板G2是同一端面)相接。另外，在圖18中利用標(biāo) 記“〇”表示處于這種關(guān)系的單位顯示面板的邊界的具體示例(具體情況將在后面敘述，在 本說(shuō)明書(shū)中稱(chēng)為特定邊界)。在分割母板時(shí)，在上述的單位顯示面板Ul與單位顯示面板U2的邊界(特定邊界) 處加工三個(gè)劃線槽，由此形成兩個(gè)切割面。即，沿著單位顯示面板U2側(cè)的非端子面L2，針對(duì) 第二基板G2和第一基板G1，以使各個(gè)基板的端面對(duì)齊的方式形成劃線槽(第二劃線槽、第 三劃線槽)。把通過(guò)該劃線槽而形成的一個(gè)切割面稱(chēng)為全切割面Ca。全切割面Ca是將單 位顯示面板Ul和單位顯示面板U2完全分離的面。在距離全切割面Ca為端子寬度Wa(圖 18)的位置(第一基板Gl中與單位顯示面板Ul的端子區(qū)域T的內(nèi)側(cè)端相對(duì)的位置)，只在 第一基板Gl側(cè)形成有劃線槽(第一劃線槽)。把通過(guò)該劃線槽而形成的切割面稱(chēng)為端子切 割面Cb。端子切割面Cb是為了露出端子區(qū)域T的端子面而被分割的切割面。并且，在全切 割面Ca與端子切割面Cb之間的第一基板Gl產(chǎn)生邊角料E。圖21是表示對(duì)圖20所示的單位顯示面板Ul、單位顯示面板U2、邊角料E進(jìn)行劃 線加工和切斷處理后的三種分離狀態(tài)的圖。在圖21(a)中，表示邊角料E從單位顯示面板U1、U2完全分離，單位顯示面板U1、 U2都直接成為合格品的分離狀態(tài)。被分離成為這種狀態(tài)的單位顯示面板Ul、U2被直接輸 送到后續(xù)工序中。圖21(b)表示邊角料E只從單位顯示面板Ul完全分離，而未從單位顯示面板U2 分離而附著在全切割面Ca側(cè)的狀態(tài)。此時(shí)，單位顯示面板Ul作為合格品被直接輸送到后續(xù)工序中，而單位顯示面板U2在進(jìn)行將邊角料E分離的追加切斷處理使其成為合格品后被 輸送到后續(xù)工序中。圖21(c)表示邊角料E只從單位顯示面板U2完全分離，而未從單位顯示面板Ul 分離而附著在端子切割面Cb側(cè)的狀態(tài)。此時(shí)，單位顯示面板U2作為合格品被直接輸送到 后續(xù)工序中，而單位顯示面板Ul在進(jìn)行將邊角料E分離的追加切斷處理使其成為合格品后 被輸送到后續(xù)工序中。在實(shí)際的制造工序中，雖然調(diào)整基板加工系統(tǒng)使其盡可能地加工成為邊角料E完 全分離的狀態(tài)(圖21 (a))，但是依舊會(huì)不定期地產(chǎn)生邊角料E附著在全切割面Ca上的狀態(tài) (圖21(b))、或者邊角料E附著在端子切割面Cb上的狀態(tài)(圖21 (C))的情況。因此，無(wú)論 是邊角料E附著在全切割面Ca上的狀態(tài)還是附著在端子切割面Cb上的狀態(tài)，都需要進(jìn)行 追加切斷處理使其成為合格品。關(guān)于這種情況時(shí)的切斷處理(二次切斷)，可以考慮適用利用蒸汽發(fā)生器和推壓 裝置同時(shí)在兩面將端面完全分離的方法(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)3)。但是，由于是適用于形成有臺(tái) 階的端子區(qū)域，所以很難直接采用。例如，在針對(duì)邊角料E附著在端子切割面Cb上的狀態(tài) (圖21 (C))適用該方法時(shí)，不能利用推壓裝置按壓邊角料E，也不能直接向邊角料E噴霧加 熱蒸汽，所以很難完全分離。因此，另外需要準(zhǔn)備對(duì)應(yīng)各個(gè)附著狀態(tài)的兩種切斷機(jī)構(gòu)，判定屬于兩種附著狀態(tài) 的哪種狀態(tài)，并根據(jù)邊角料E的附著狀態(tài)來(lái)選擇切斷機(jī)構(gòu)，進(jìn)行追加的切斷處理。另外還公開(kāi)了如下的分割方法(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)4)，使邊角料E始終附著在全切割 面Ca上(圖21 (b))、或者使邊角料E始終附著在端子切割Cb面上(圖21 (c))，在后面的 工序中，使用單一種類(lèi)的切斷機(jī)構(gòu)將邊角料E可靠地分離。根據(jù)該文獻(xiàn)記載的分割方法，在利用切刀輪(或者激光)進(jìn)行劃線加工時(shí)，首先對(duì) 第一基板Gl (CF側(cè)基板)進(jìn)行加工，然后進(jìn)行上下翻轉(zhuǎn)，對(duì)第二基板G2(TFT側(cè)基板)進(jìn)行加 工。此時(shí)，例如如圖22所示，以較強(qiáng)的按壓力Pl進(jìn)行對(duì)第一基板Gl的端子切割面Cb的劃 線。并且，以比Pl弱的按壓力P2進(jìn)行針對(duì)第一基板Gl的全切割面Ca的劃線。再以較強(qiáng) 的按壓力Pl進(jìn)行針對(duì)第二基板G2的全切割面Ca的劃線。通過(guò)這樣區(qū)分強(qiáng)弱進(jìn)行劃線，能 夠調(diào)整劃線槽的深度，在邊角料E始終附著在全切割面Ca側(cè)的狀態(tài)下進(jìn)行切斷。其結(jié)果， 只需準(zhǔn)備一種切斷機(jī)構(gòu)，即可高效地去除邊角料E。同樣，當(dāng)在使邊角料E始終附著在端子切割面Cb側(cè)的狀態(tài)下進(jìn)行切斷的情況下， 例如如圖23所示，以較強(qiáng)的按壓力Pl進(jìn)行針對(duì)第一基板Gl的全切割面Ca的劃線，另一方 面以比Pl弱的按壓力P2進(jìn)行針對(duì)第一基板Gl的端子切割面Cb的劃線加工。并且，以較 強(qiáng)的按壓力Pl進(jìn)行針對(duì)第二基板G2的全切割面Ca的劃線。在這種情況下同樣，只需準(zhǔn)備 一種切斷機(jī)構(gòu)，即可高效地去除邊角料E。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 :W02005/087458號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 :W02002/057192號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)3 日本特開(kāi)2007-183550號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)4 日本特開(kāi)2008-56507號(hào)公報(bào)伴隨母板的大面積化，在劃線加工的中途很難將母板上下翻轉(zhuǎn)。尤其是在各個(gè)基 板的板厚Wt (參照?qǐng)D18)薄至Imm以下時(shí)(例如0. 05 0. 7mm)，基板容易開(kāi)裂，所以期望5避免基板翻轉(zhuǎn)。因此，專(zhuān)利文獻(xiàn)4記載的在加工中途將第一基板(CF側(cè)基板)和第二基板 (TFT側(cè)基板)翻轉(zhuǎn)來(lái)加工兩側(cè)基板的方法很難實(shí)現(xiàn)。由此，需要采用如不需要將基板翻轉(zhuǎn) 的專(zhuān)利文獻(xiàn)1 專(zhuān)利文獻(xiàn)3記載的、從上下方向進(jìn)行基板加工的上下基板加工系統(tǒng)。在采用上下基板加工系統(tǒng)的情況下，在從母板取出單位顯示面板時(shí)，由于基板支 承裝置和輸送裝置位于母板的下側(cè)，所以通常單位顯示面板是利用吸附墊朝母板上側(cè)拉開(kāi) 而取出的(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1 專(zhuān)利文獻(xiàn)3)?？墒?，伴隨單位顯示面板的大面積化，要求相比以往進(jìn)一步縮小作為端子區(qū)域露 出的部分的寬度即端子寬度Wa(參照?qǐng)D18)。具體地講，以前端子寬度Wa約是10mm，現(xiàn)在 要求縮小到Imm 3mm左右。在變成這種基板布局的情況下，為了可靠地分離邊角料，可以 考慮采用專(zhuān)利文獻(xiàn)4記載的在調(diào)整了劃線槽的深度的狀態(tài)下進(jìn)行分割的分割方法(圖22、 圖23)，之后再去除不需要的邊角料。但是，在端子寬度Wa變小時(shí)，存在采用這種分割方法 也不能成為合格品的情況。S卩，在邊角料E附著在端子切割面Cb側(cè)的狀態(tài)下(參照?qǐng)D23)，邊角料E與單位 顯示面板成為一體，以整體呈長(zhǎng)方體的狀態(tài)被切取，用于只把持邊角料E的突出部分消失。 并且，在端子寬度Wa變?yōu)镮mm 3mm時(shí)，很難利用吸附墊只將邊角料E拉開(kāi)(參照專(zhuān)利文 獻(xiàn)2)。因此，一旦邊角料E附著在端子切割面Cb側(cè)，就很難將邊角料E從端子切割面Cb分 離，不得不作為不合格品廢棄。另一方面，在邊角料E附著在全切割面Ca側(cè)的狀態(tài)下(圖22)，在端子寬度Wa變 小的情況下，邊角料E的一部分雖然僅有Imm也還是突出的，所以能夠只把持該部分。并且， 由于只針對(duì)邊角料E施加進(jìn)行分離所需要的剪切力或彎曲力矩，所以通過(guò)之后進(jìn)行的追加 的切斷處理，能夠?qū)⑦吔橇螮從全切割面Ca分離。根據(jù)以上所述，如果由大面積的母板加工縮小了端子區(qū)域的端子寬度Wa的單位 顯示面板，則期望使用不需要將基板翻轉(zhuǎn)的上下基板加工系統(tǒng)，同時(shí)期望采用使邊角料E 不會(huì)始終附著在端子切割面Cb側(cè)(即使附著時(shí)也是附著在全切割面Ca側(cè))的基板加工方 法(圖2 ?？墒?，在采用這種方法時(shí)會(huì)產(chǎn)生其他的問(wèn)題。在邊角料E附著在全切割面Ca側(cè)的 狀態(tài)下，如圖22(中間的圖)所示，邊角料E向全切割面Ca的外側(cè)突出。此時(shí)，如果相比右 側(cè)的單位顯示面板U2(圖中利用陰影線表示的單位顯示面板)，先將左側(cè)的單位顯示面板 Ul (圖中利用單點(diǎn)劃線表示的單位顯示面板)取出，在想要將單位顯示面板Ul向第一基板 Gl側(cè)拉開(kāi)時(shí)，單位顯示面板Ul的端子區(qū)域與邊角料E沖突而按壓邊角料E。此時(shí)，如果邊 角料E牢牢地附著在單位顯示面板U2側(cè)的全切割面Ca上，則有可能損傷端子區(qū)域。如前面所述，在上下基板加工系統(tǒng)中，通常單位顯示面板是通過(guò)吸附墊向母板上 側(cè)拉開(kāi)而被取出的，所以產(chǎn)生這種問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一目的在于，提供一種能夠穩(wěn)定且可靠地取出在翻轉(zhuǎn)困難的大面積母 板上形成的單位顯示面板的基板加工系統(tǒng)。并且，本發(fā)明的第二目的在于，提供一種基板加工系統(tǒng)，即使單位顯示面板的端子 區(qū)域的端子寬度窄時(shí)，也完全不會(huì)產(chǎn)生覆蓋端子區(qū)域的部分的邊角料附著在端子切割面?zhèn)鹊牟缓细衿?，使邊角料完全分離，或者在萬(wàn)一未能完全分離的情況下，也能夠事后可靠的去 除邊角料使其成為合格品。并且，本發(fā)明的第三目的在于，提供一種能夠取出配置于母板上的單位顯示面板 而且不會(huì)損傷端子區(qū)域的基板加工系統(tǒng)。本發(fā)明的基板加工系統(tǒng)在對(duì)母板進(jìn)行分割而取出單位顯示面板時(shí)，假設(shè)即使不能 將邊角料區(qū)域從單位顯示面板完全分離，也能夠通過(guò)追加的切斷處理將邊角料區(qū)域可靠地 分離。在本發(fā)明中，加工對(duì)象的母板具有第一基板和第二基板粘貼而成的構(gòu)造。并且，形 狀分別相同而且呈方形的多個(gè)單位顯示面板相互鄰接地并排形成于母板上。方形的各個(gè)單位顯示面板通過(guò)在四條邊的周緣中的一條邊的周緣、或者相鄰的兩 條邊的周緣或者三條邊的周緣處，形成第二基板側(cè)比第一基板側(cè)突出的臺(tái)階，來(lái)設(shè)置端子 區(qū)域。并且，在沒(méi)有設(shè)置端子區(qū)域的其余的周緣處，形成有第一基板和第二基板為同一端面 的非端子面。并且，在第一基板的與端子區(qū)域相對(duì)的部位設(shè)有將從單位顯示面板切除的邊 角料區(qū)域。另外，各個(gè)單位顯示面板被配置為在與鄰接的單位顯示面板的至少一個(gè)的邊界 處，一個(gè)單位顯示面板的端子區(qū)域和另一個(gè)單位顯示面板的非端子面對(duì)接。把這種邊界稱(chēng) 為“特定邊界”，以便與其他形式的邊界區(qū)分。本發(fā)明的基板加工系統(tǒng)在將按照上述布局配置了單位顯示面板的母板支承為使 第二基板在上側(cè)、第一基板在下側(cè)的狀態(tài)下，按照每個(gè)單位顯示面板來(lái)分割母板并逐個(gè)取 出單位顯示面板，該基板加工系統(tǒng)包括以下所示的(a) (e)的構(gòu)成部分(a)劃線裝置，其具有朝向第一基板的第一切刀輪和支承輥、及朝向第二基板的第 二切刀輪，將第一切刀輪和第二切刀輪進(jìn)行組合，或者將支承輥和第二切刀輪進(jìn)行組合，從 兩側(cè)壓靠第一基板和第二基板而進(jìn)行劃線加工；(b)劃線裝置控制部，其對(duì)劃線裝置進(jìn)行如下控制，在對(duì)特定邊界(一個(gè)單位顯示 面板的端子區(qū)域和另一個(gè)單位顯示面板的非端子面對(duì)接的邊界)進(jìn)行劃線加工時(shí)，在端子 區(qū)域?qū)觽?cè)的單位顯示面板的第一基板與端子區(qū)域相對(duì)的部位的內(nèi)側(cè)端形成第一劃線槽， 在非端子面對(duì)接側(cè)的單位顯示面板的第二基板側(cè)的非端子面上形成第二劃線槽，在第一基 板側(cè)的非端子面上形成比所述第一劃線槽及所述第二劃線槽淺的第三劃線槽；(c)面板搬出裝置，其具有吸附部件，吸附經(jīng)劃線加工的單位顯示面板的第二基 板，將該單位顯示面板從母板上取出；(d)面板搬出裝置控制部，在取出隔著所述特定邊界對(duì)接的一對(duì)單位顯示面板時(shí)， 相比于非端子面對(duì)接側(cè)的單位顯示面板，優(yōu)先取出端子區(qū)域?qū)觽?cè)的單位顯示面板；以及(e)輔助切斷裝置，其安裝在面板搬出裝置上，并具有鉤部和推壓裝置，在邊角料 區(qū)域隔著第三劃線槽附著在從母板取出的單位顯示面板的第一基板側(cè)的端部的情況下，將 所述鉤部掛在邊角料區(qū)域上，同時(shí)按壓所述推壓裝置，施加使第三劃線槽擴(kuò)展的方向的彎 曲力矩，由此將邊角料區(qū)域分割下來(lái)。根據(jù)本發(fā)明，首先劃線裝置控制部控制劃線裝置，由此進(jìn)行母板的劃線加工。在該 劃線加工中，在對(duì)一個(gè)單位顯示面板的端子區(qū)域與另一個(gè)單位顯示面板的非端子面對(duì)接的 邊界(特定邊界)進(jìn)行劃線加工時(shí)，在端子區(qū)域?qū)觽?cè)的單位顯示面板的第一基板與端子區(qū)域相對(duì)的部位的內(nèi)側(cè)端形成第一劃線槽。并且，在非端子面對(duì)接側(cè)的單位顯示面板的第 二基板側(cè)的非端子面形成第二劃線槽。并且，在第一基板側(cè)的非端子面形成比第一劃線槽 及第二劃線槽淺的第三劃線槽。這樣，通過(guò)對(duì)加工的劃線槽的深度設(shè)置差異，在邊角料區(qū)域 未能完全分離時(shí)，也能夠使邊角料區(qū)域附著在全切割面?zhèn)?第三劃線槽的位置)，并在之后 的切斷處理中容易且可靠地分離邊角料區(qū)域。即，在邊角料區(qū)域未能完全分離的情況下， 邊角料區(qū)域也絕對(duì)不會(huì)附著在即使通過(guò)追加進(jìn)行的切斷處理也難以分離的端子切割面?zhèn)?(第一劃線槽的位置)。接著，面板搬出裝置控制部控制面板搬出裝置，由此使吸附部件吸附經(jīng)劃線加工 的單位顯示面板的第二基板，將該單位顯示面板從母板上取出。此時(shí)，在取出隔著特定邊界 對(duì)接的一對(duì)單位顯示面板時(shí)，使端子區(qū)域?qū)觽?cè)的單位顯示面板比非端子面對(duì)接側(cè)的單位 顯示面板優(yōu)先取出。該優(yōu)先順序適用于形成在母板上的全部單位顯示面板。由于配置為包 含端子區(qū)域的第二基板側(cè)位于上面，所以通過(guò)先將端子區(qū)域?qū)觽?cè)的單位顯示面板向上方 拉開(kāi)，能夠避免與邊角料區(qū)域撞擊，可以沒(méi)有問(wèn)題地取出單位顯示面板。此時(shí)，邊角料區(qū)域附著在鄰接的單位顯示面板的全切割面?zhèn)?第三劃線槽的位 置)，或者通過(guò)分離時(shí)的振動(dòng)/沖擊而從兩側(cè)的單位顯示面板完全分離。然后，使安裝在面板搬出裝置上的輔助切斷裝置的鉤部和推壓裝置進(jìn)行動(dòng)作。在 從母板取出單位顯示面板時(shí)，在邊角料區(qū)域附著在單位顯示面板的第一基板側(cè)的端部(第 三劃線槽的位置)的情況下，將鉤部掛在該邊角料區(qū)域上，同時(shí)按壓推壓裝置，施加使第三 劃線槽擴(kuò)展的彎曲力矩，由此將邊角料區(qū)域從單位顯示面板分割下來(lái)。由此，將邊角料區(qū)域 完全切除。根據(jù)本發(fā)明的基板加工系統(tǒng)，即使是面積較大的母板，也能夠穩(wěn)定而且可靠地取 出單位顯示面板，而不需要使基板翻轉(zhuǎn)。另外，即使在單位顯示面板的端子區(qū)域的端子寬度變窄時(shí)，覆蓋端子區(qū)域的部分 的邊角料區(qū)域也不會(huì)附著在端子切割面?zhèn)?，能夠從單位顯示面板可靠地去除邊角料區(qū)域。另外，在進(jìn)行取出時(shí)能夠使配置在母板上的全部單位顯示面板不與邊角料區(qū)域沖 突，不會(huì)損傷端子區(qū)域。(用于解決課題的其他方案及效果)在上述發(fā)明中也可以是，劃線裝置控制部進(jìn)行如下的劃線控制通過(guò)第一切刀輪 與第二切刀輪的組合，先形成第一劃線槽和第二劃線槽，接著通過(guò)支承輥與第二切刀輪的 組合，形成第三劃線槽。S卩，在第一次的劃線加工中先形成需要強(qiáng)力劃線的第一劃線槽(第一基板的端子 切割面)和第二劃線槽(第二基板的全切割面)。在第一次的劃線加工中，不會(huì)在基板上產(chǎn) 生應(yīng)力，所以上述劃線槽都形成得比較深。另外，在這種情況下，一對(duì)切刀輪不是以上下直 線相對(duì)的狀態(tài)進(jìn)行壓靠，而是在離開(kāi)相當(dāng)于端子寬度的長(zhǎng)度的位置處進(jìn)行壓靠，因?yàn)槎俗?寬度比較短，所以幾乎沒(méi)有影響。接著，在第二次的劃線加工中，進(jìn)行第三劃線槽(第一基板的全切割面)的劃線。 在單位顯示面板的情況下，用于粘貼上下基板的密封部件位于形成劃線槽的位置的附近。 當(dāng)通過(guò)第一次劃線在基板上形成了劃線槽時(shí)，由于該密封部件的存在，在夾在該劃線槽和 密封部件之間的區(qū)域中產(chǎn)生壓縮應(yīng)力。并且，第二次的劃線加工是在產(chǎn)生了該壓縮應(yīng)力的區(qū)域形成第三劃線槽。因此，第三劃線槽是在受到了壓縮應(yīng)力的狀態(tài)下進(jìn)行劃線的，很難形 成較深的劃線槽，但是由于第三劃線槽原本就是預(yù)定為比第一、第二劃線槽較淺劃線的劃 線槽，所以能夠?qū)崿F(xiàn)使第一、第二、第三劃線槽成為理想槽深的加工。在上述發(fā)明中也可以是，在形成第三劃線槽時(shí)，支承輥壓靠于之前形成的第二劃 線槽的鄰接位置。由此，不會(huì)損傷之前形成的第二劃線槽，能夠利用支承輥支承第二基板側(cè)來(lái)形成 第三劃線槽。在上述發(fā)明中也可以是，還具有被設(shè)于劃線裝置和面板搬出裝置之間的主切斷裝 置，其在由輔助切斷裝置進(jìn)行切斷處理之前，預(yù)先對(duì)經(jīng)劃線加工的母板進(jìn)行切斷處理。能夠利用主切斷裝置預(yù)先使劃線槽深深地伸展，通過(guò)與輔助切斷裝置一起使用， 能夠更可靠地將邊角料區(qū)域完全分割下來(lái)。在上述發(fā)明中也可以是，主切斷裝置由蒸汽切斷裝置和滾輪切斷裝置構(gòu)成。利用這些裝置，能夠使針對(duì)正交的兩個(gè)方向的劃線槽進(jìn)行切斷的裝置形成為緊湊 式結(jié)構(gòu)。


圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板加工系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是圖1所示的基板加工系統(tǒng)的A向立體圖。圖3是圖1所示的基板加工系統(tǒng)的俯視圖。圖4是圖3的B-B，剖面圖。圖5是圖3的C-C’剖面圖。圖6是圖3的D-D，剖面圖。圖7是圖3的E-E，剖面圖。圖8是圖3的F-F，剖面圖。圖9是表示圖1所示的基板加工系統(tǒng)的控制系統(tǒng)的框圖。圖10是表示劃線加工的基本步驟的流程圖。圖11是表示劃線加工的加工工序的示意圖。圖12是表示沿Y方向?qū)δ赴暹M(jìn)行劃線時(shí)的加工步驟的圖。圖13是表示沿X方向?qū)δ赴暹M(jìn)行劃線時(shí)的加工步驟的圖。圖14是表示沿Y方向?qū)δ赴暹M(jìn)行劃線時(shí)的加工步驟的流程圖。圖15是表示搬出機(jī)器人從母板中取出單位顯示面板的順序的圖。圖16是表示在從母板中取出的單位顯示面板上附著的邊角料的狀態(tài)的圖。圖17是表示輔助切斷裝置的切斷動(dòng)作的圖。圖18是表示母板的基板布局的圖(單端子面板、二端子面板、三端子面板)。圖19是表示母板的基板布局的圖(四端子面板)。圖20是表示鄰接的單位顯示面板之間的局部截面的圖。圖21是表示鄰接的單位顯示面板之間的三種分離狀態(tài)的圖。圖22是表示以往的母板的端子加工的圖。圖23是表示以往的母板的端子加工的圖。9
標(biāo)號(hào)說(shuō)明1基板加工系統(tǒng)；20基板支承裝置；30劃線裝置；50卡緊裝置；60上部劃線機(jī)構(gòu)； 70下部劃線機(jī)構(gòu)；80搬出機(jī)器人；85輔助切斷裝置；87鉤部；88推壓裝置；90母板；100蒸 汽切斷裝置；110滾輪切斷裝置；120基板搬出裝置；Ca全切割面；Cb端子切割面；Gl第一 基板(CF側(cè)基板)；G2第二基板(TFT側(cè)基板)；E邊角料區(qū)域；T端子區(qū)域；Ul單位顯示面 板(端子切割面面對(duì)邊界)；U2單位顯示面板(全切割面面對(duì)邊界)；Wl第一切刀輪；W2第 二切刀輪；W3支承輪。
具體實(shí)施例方式根據(jù)附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板加工系統(tǒng)。該基板加工系統(tǒng)在液晶 顯示面板的制造工序中使用，用于將從前面工序搬運(yùn)來(lái)的母板分割為每個(gè)單位顯示面板， 將分割后的單位顯示面板逐個(gè)取出并輸送到后面工序中。(基板加工系統(tǒng))首先，說(shuō)明基板加工系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)。圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板加工系統(tǒng)1的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2 是圖1所示的A向立體圖(后面敘述的臺(tái)架10除外)。圖3是基板加工系統(tǒng)1的俯視圖 (后面敘述的框架11、支柱14除外)。圖4是圖3中的B-B’剖面圖，圖5是圖3的C-C’剖 面圖，圖6是圖3的D-D’剖面圖，圖7是圖3的E-E’剖面圖，圖8是圖3的F-F’剖面圖。在此，說(shuō)明對(duì)沿X方向排列2列、沿Y方向排列4列單位顯示面板而構(gòu)成的母板90 進(jìn)行加工的情況。另外，在圖中示出了在說(shuō)明中使用的XYZ方向。首先，說(shuō)明系統(tǒng)的整體構(gòu)造?；寮庸は到y(tǒng)1從基板搬入側(cè)IL朝向基板搬出側(cè)IR沿Y方向輸送母板90，并在 輸送途中進(jìn)行劃線加工和切斷處理。母板90 (粘貼基板)被放置為第二基板G2 (TFT側(cè)基板)在上側(cè)，第一基板Gl (CF 側(cè)基板)在下側(cè)?；寮庸は到y(tǒng)1利用中空的臺(tái)架10、主框架11、支柱14構(gòu)成骨架結(jié)構(gòu)。在臺(tái)架10 的上方配置有用于支承母板90的基板支承裝置20?；逯С醒b置20由第一基板支承部 20A和第二基板支承部20B構(gòu)成。在第一基板支承部20A與第二基板支承部20B的中間位 置配置有劃線裝置30。如圖4(圖3的B-B’截面)所示，第一基板支承部20A由沿X方向排列的5臺(tái)支 承單元21構(gòu)成。第二基板支承部20B也是相同的結(jié)構(gòu)。各個(gè)支承單元21分別在接近劃線 裝置30的一側(cè)被固定在臺(tái)架10上。同步帶在各個(gè)支承單元21的上表面循環(huán)移動(dòng)，并與后 面敘述的卡緊裝置50聯(lián)動(dòng)來(lái)輸送母板90。劃線裝置30設(shè)有上部導(dǎo)軌31和下部導(dǎo)軌32，在上部導(dǎo)軌31安裝有被安裝為能夠 沿X方向移動(dòng)的上部劃線機(jī)構(gòu)60，在下部導(dǎo)軌32安裝有被安裝為能夠沿X方向移動(dòng)的下部 劃線機(jī)構(gòu)70。如圖5(a)(圖3中的C-C’截面)所示，上部劃線機(jī)構(gòu)60由升降機(jī)構(gòu)61、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 62、和X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63構(gòu)成。在升降機(jī)構(gòu)61上沿Y方向并排安裝有第二切刀輪W2和支承 輥W3 (參照?qǐng)D5 (b))，第二切刀輪W2和支承輥W3獨(dú)立升降。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)62將第二切刀輪W2的刀口方向以及支承輥W3的按壓方向在Y方向和X方向間切換。X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)63調(diào)整第 二切刀輪W2及支承輥W3的X方向的位置。并且，在進(jìn)行X方向的劃線加工時(shí)，X軸驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)63驅(qū)動(dòng)第二切刀輪W2和支承輥W3。升降機(jī)構(gòu)61及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)62能夠選擇將第二切刀輪W2或者支承輥W3中的任意一 方壓靠在基板上，并且能夠使移動(dòng)方向朝向Y方向或者X方向。支承輥W3與后面敘述的第 一切刀輪Wl是成對(duì)使用的，在利用第一切刀輪Wl只對(duì)下側(cè)基板(第一基板)進(jìn)行劃線時(shí)， 支承輥W3被用來(lái)按壓上側(cè)基板(第二基板)面。下部劃線機(jī)構(gòu)70由升降機(jī)構(gòu)71、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)72、和X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)73構(gòu)成。在升降 機(jī)構(gòu)71上安裝有第一切刀輪W1，并使第一切刀輪Wl升降。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)72將第一切刀輪Wl 刀口方向在Y方向和X方向間切換。X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)73調(diào)整第一切刀輪Wl在X方向上的位 置。并且，在進(jìn)行X方向的劃線加工時(shí)，X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)73驅(qū)動(dòng)第一切刀輪Wl。關(guān)于劃線加工的具體步驟將在后面進(jìn)行說(shuō)明。在基板支承裝置20的基板搬入側(cè)IL側(cè)，按照?qǐng)D1或圖2所示配置有卡緊母板90 的基板搬入側(cè)的端部(母板90的后端)的卡緊裝置50?？ňo裝置50由一對(duì)卡具51 (51L、 51R)、使卡具51升降的升降機(jī)構(gòu)55(55L、55R)、和移動(dòng)基座57構(gòu)成，在將母板90卡緊的狀 態(tài)下沿Y方向移動(dòng)。該卡緊裝置50由線性電機(jī)機(jī)構(gòu)58驅(qū)動(dòng)。并且，該卡緊裝置50在支承 單元21的間隙中及下方移動(dòng)，能夠在將母板90卡緊的狀態(tài)下使母板90的后端通過(guò)劃線裝 置30。卡具51L和卡具51R將分別形成于母板90的左列的單位顯示面板和右列的單位顯 示面板卡緊，在沿Y方向?qū)⒒逯醒敕指詈?，卡?1L和卡具51R也能夠按照各列來(lái)支承被 左右分割的母板90并沿Y方向輸送。在基板支承裝置20的基板搬出側(cè)1R，按照?qǐng)D6 (圖3中的D-D’截面)所示配置有 蒸汽切斷裝置100，蒸汽切斷裝置100具有從上方向被輸送過(guò)來(lái)的母板90吹送加熱蒸汽的 上部蒸汽單元101、和從下方向母板90吹送加熱蒸汽的下部蒸汽單元102。實(shí)施劃線加工 后的母板90從蒸汽切斷裝置100吹送的加熱蒸汽之間通過(guò)，由此母板90膨脹，并實(shí)施主要 是針對(duì)母板的X方向的主動(dòng)切斷處理。蒸汽切斷裝置100能夠借助線性電機(jī)機(jī)構(gòu)130向Y 方向移動(dòng)。在蒸汽切斷裝置100的基板搬出側(cè)IR的位置，按照?qǐng)D7 (圖3中的E_E’截面)所 示配置有滾輪切斷裝置110，滾輪切斷裝置110使切斷滾輪111 113沿著形成于基板上的 Y方向的劃線槽的鄰接位置按壓被輸送過(guò)來(lái)的母板90，施加針對(duì)基板的Y方向的切斷壓力 (彎曲力矩)來(lái)主動(dòng)進(jìn)行切斷處理。滾輪切斷裝置110能夠借助線性電機(jī)130向Y方向移 動(dòng)。使切斷滾輪111 113的按壓位置偏離劃線槽的正上方，這是為了不對(duì)切割面造成損 傷。另外，在X方向和Y方向都能夠形成蒸汽切斷裝置，但是在這種情況下，需要另外安裝 沿著Y方向的蒸汽單元，所以與在Y方向使用滾輪切斷裝置時(shí)相比，系統(tǒng)的設(shè)置空間增大。蒸汽切斷裝置100及滾輪切斷裝置110是按照每個(gè)單位顯示面板，將通過(guò)劃線裝 置30對(duì)每個(gè)單位顯示面板進(jìn)行劃線加工后的母板完全分割的裝置，在通過(guò)這些裝置的階 段，單位顯示面板通常是在被完全分離為一個(gè)一個(gè)的單位顯示面板，并且邊角料區(qū)域也被 完全分離的狀態(tài)下被送出。但是，實(shí)際上一部分的單位顯示面板有可能在邊角料區(qū)域未被 分離的狀態(tài)下被送出。因此，為了防備這種情況，在后面的基板搬出裝置中設(shè)置追加的切斷 裝置(輔助切斷裝置)。
在滾輪切斷裝置110的基板搬出側(cè)IR的位置，按照?qǐng)D8 (圖3中的F-F’截面)所 示配置有基板搬出裝置120，用于從母板90逐個(gè)取出單位顯示面板并輸送到后續(xù)工序中。 在基板搬出裝置120設(shè)有上部導(dǎo)軌121，在上部導(dǎo)軌121上安裝有能夠沿X方向移動(dòng)的搬出 機(jī)器人80。基板搬出裝置120能夠借助線性電機(jī)130(圖1)向Y方向移動(dòng)。搬出機(jī)器人80具有安裝了吸附墊82的平板83 ；使平板83在XY面上旋轉(zhuǎn)的旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)84 ；使平板83沿Z方向升降的升降機(jī)構(gòu)85 ；和X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)86。并且，搬出機(jī)器人 80吸附從母板90分割形成的一個(gè)單位顯示面板向上方拉開(kāi)。然后，搬出機(jī)器人80進(jìn)行以 下動(dòng)作，使向上方拉開(kāi)的單位顯示面板旋轉(zhuǎn)并沿X軸方向移動(dòng)，再借助線性電機(jī)130向Y方 向移動(dòng)并逐個(gè)搬出。關(guān)于逐個(gè)取出母板90中包含的多個(gè)單位顯示面板時(shí)的具體步驟，將在 后面進(jìn)行說(shuō)明。搬出的單位顯示面板被轉(zhuǎn)交給后續(xù)工序(未圖示)，進(jìn)行后面的加工。在搬出機(jī)器人80的平板83上還設(shè)置有作為輔助切斷裝置140的鉤部87和推壓裝 置88，以便在正搬出的單位顯示面板上附著有邊角料E時(shí)，去除該邊角料E。鉤部87能夠以 被固定在平板83上的支承軸為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，在通過(guò)吸附墊82將單位顯示面板拉離母板 時(shí)，鉤部87繞到單位顯示面板的下表面?zhèn)龋c附著在單位顯示面板端部的邊角料接觸。在 鉤部87與邊角料接觸時(shí)，推壓裝置88從上向下進(jìn)行按壓。關(guān)于由鉤部87和推壓裝置88 進(jìn)行的邊角料E的切斷處理的具體步驟，將在后面進(jìn)行說(shuō)明。(控制系統(tǒng))下面說(shuō)明基板加工系統(tǒng)的控制系統(tǒng)。圖9是表示基板加工系統(tǒng)1的控制系統(tǒng)的概 略結(jié)構(gòu)的框圖?？刂撇?50由具有CPU、存儲(chǔ)器、輸入裝置、輸出裝置的硬件和用于實(shí)現(xiàn)各種 處理的程序(軟件)構(gòu)成的計(jì)算機(jī)裝置構(gòu)成。在按照控制對(duì)象對(duì)控制部150進(jìn)行分類(lèi)時(shí)，控制部150包括輸送控制部151、劃線 裝置控制部152、切斷裝置控制部153、以及面板搬出裝置控制部154。輸送控制部151進(jìn)行如下控制，通過(guò)控制基板支承裝置20和卡緊裝置50，使母板 90從基板搬入側(cè)IL向基板搬出側(cè)IR移動(dòng)。具體地講，進(jìn)行將卡緊裝置50的卡具51安裝在搬入的母板90上，從母板90的后 方進(jìn)行推壓而輸送的控制。此時(shí)，通過(guò)使位于基板支承裝置20的各個(gè)支承單元21上表面 的同步帶聯(lián)動(dòng)，由此進(jìn)行能夠穩(wěn)定地輸送面積較大的基板的控制。并且，在沿Y方向加工多個(gè)劃線槽時(shí)，通過(guò)使母板90前進(jìn)、后退，進(jìn)行使反復(fù)多次 Y方向的劃線加工的控制。劃線裝置控制部152進(jìn)行如下控制，使上部劃線機(jī)構(gòu)60和下部劃線機(jī)構(gòu)70同時(shí) 動(dòng)作，在兩面同時(shí)對(duì)基板進(jìn)行劃線、或者只在一面對(duì)基板進(jìn)行劃線。尤其在對(duì)特定邊界(圖 18中利用標(biāo)記“〇”示出的邊界)進(jìn)行劃線加工時(shí)，進(jìn)行如下所述的劃線加工的控制，使在 端子區(qū)域?qū)觽?cè)的單位顯示面板的第一基板的與端子區(qū)域相對(duì)的部位的內(nèi)側(cè)端形成第一 劃線槽，在非端子面對(duì)接側(cè)的單位顯示面板的第二基板側(cè)的非端子面形成第二劃線槽，在 第一基板側(cè)的非端子面形成比所述第一劃線槽及所述第二劃線槽淺的第三劃線槽。關(guān)于這樣對(duì)槽深度區(qū)別深淺的控制的具體方法有以下方法，通過(guò)控制針對(duì)各個(gè)劃 線槽的劃線次數(shù)來(lái)調(diào)整槽深度(較深的槽需要增加劃線次數(shù))，或者通過(guò)控制劃線的壓靠 力來(lái)調(diào)整槽深度。在此，作為調(diào)整槽深度的不同的控制方法，進(jìn)行規(guī)定劃線順序的控制。具體地講是進(jìn)行下述的劃線控制，通過(guò)第一切刀輪與第二切刀輪的組合，先形成第一劃線槽和第二劃 線槽，然后通過(guò)支承輥與第二切刀輪的組合，形成第三劃線槽。即，在壓縮應(yīng)力未作用于基 板的第一次的劃線加工中，先將第一劃線槽和第二劃線槽加工成為較深的劃線槽。然后，在 由于形成劃線槽而產(chǎn)生了壓縮應(yīng)力的狀態(tài)下進(jìn)行第二次的劃線加工，形成比第一次的劃線 槽淺的第三劃線槽。如此進(jìn)行使第三劃線槽的深度比第一、第二劃線槽淺的控制。切斷裝置控制部153進(jìn)行如下控制，使蒸汽切斷裝置100及滾輪切斷裝置110進(jìn) 行動(dòng)作，對(duì)形成于母板90的X方向及Y方向的劃線槽進(jìn)行切斷處理。面板搬出裝置控制部154首先進(jìn)行如下控制，使面板搬出裝置120的搬出機(jī)器人 80進(jìn)行動(dòng)作，使吸附墊82吸附實(shí)施劃線加工后的單位顯示面板的第二基板，將該單位顯示 面板從母板上取出。此時(shí)，在取出隔著特定邊界對(duì)接的一對(duì)單位顯示面板時(shí)，控制從母板取 出單位顯示面板的順序，使端子區(qū)域?qū)觽?cè)的單位顯示面板比非端子面對(duì)接側(cè)的單位顯示 面板優(yōu)先取出。具體地講，根據(jù)配置于母板90的單位顯示面板的布局來(lái)規(guī)定優(yōu)先順序，并 據(jù)此預(yù)先輸入設(shè)定取出的順序，由此搬出機(jī)器人80按照設(shè)定順序來(lái)取出單位顯示面板。并且，面板搬出裝置控制部巧4其次進(jìn)行如下控制，使設(shè)于搬出機(jī)器人80的輔助 切斷裝置140(鉤部87、推壓裝置88)進(jìn)行動(dòng)作，在邊角料附著在單位顯示面板端部時(shí)，去除 該邊角料。下面說(shuō)明由基板加工系統(tǒng)1進(jìn)行的處理。在本發(fā)明中是進(jìn)行劃線加工、切斷處理、 基板取出、輔助切斷處理的各個(gè)處理。下面依次說(shuō)明這些處理。(劃線加工)對(duì)使用基板加工系統(tǒng)1進(jìn)行的針對(duì)母板90的劃線加工的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。劃線加 工是在劃線裝置30(圖5)中進(jìn)行的。在從母板90取出單位顯示面板的工序中，當(dāng)在母板中包含的特定邊界(圖18中 利用標(biāo)記“〇”示出的邊界)處邊角料未能完全分離的情況下，使邊角料附著在全切割面Ca 側(cè)，而不是端子切割面Cb側(cè)。為此，在進(jìn)行劃線加工時(shí)，期望附著邊角料的第一基板的全切 割面Ca側(cè)形成為比不期望附著邊角料的端子切割面Cb側(cè)淺的劃線槽。圖10是表示進(jìn)行這種劃線加工時(shí)的基本加工步驟的流程圖，圖11是表示加工工 序的示意圖。如圖11(a)所示，在母板90上的鄰接的兩個(gè)單位顯示面板Ul、U2的邊界部分，形 成有夾在全切割面Ca和端子切割面Cb之間的端子區(qū)域T。端子區(qū)域T的寬度約是Imm 3mm。利用切刀輪上下同時(shí)對(duì)該部分進(jìn)行劃線加工，進(jìn)行露出端子區(qū)域T的粘貼面(第一基 板Gl與第二基板G2的接合面)的加工。在從母板90取出單位顯示面板Ul時(shí)，搬運(yùn)機(jī)器人80吸附上側(cè)的基板面，所以將 第二基板G2 (TFT側(cè)基板)配置在上側(cè)，將第一基板Gl (CF側(cè)基板)配置在下側(cè)。這是為了 在吸附單位顯示面板Ul并從單位顯示面板U2拉開(kāi)時(shí)，使端子區(qū)域T (第二基板G2側(cè))來(lái) 到邊角料區(qū)域E (第一基板Gl側(cè))的上側(cè)，使邊角料區(qū)域E留在單位顯示面板U2的全切割 面Ca上，而不會(huì)附著在端子切割面Cb上。如圖11(b)所示，首先將上部劃線機(jī)構(gòu)60的第二切刀輪W2對(duì)準(zhǔn)第二基板G2的全 切割面Ca。并且，將劃線機(jī)構(gòu)70的第一切刀輪Wl對(duì)準(zhǔn)第一基板Gl的端子切割面Cb。并 且，以壓靠力Pl同時(shí)對(duì)雙方進(jìn)行第一次劃線，在第一基板Gl的端子切割面Cb形成第一劃13線槽M1，在第二基板G2的全切割面Ca形成第二劃線槽M2 (SlOl)。此時(shí)，在進(jìn)行加工的區(qū) 域附近沒(méi)有產(chǎn)生應(yīng)力，所以能夠使第一、第二劃線槽M1、M2深度伸展。在通過(guò)第一次劃線形成劃線槽Ml、M2后，在之后的劃線槽Ml、M2的附近區(qū)域中，其 兩側(cè)被密封部件Si、S2固定，同時(shí)劃線槽Ml、M2擴(kuò)展，其結(jié)果在附近產(chǎn)生壓縮應(yīng)力。然后，如圖11 (c)所示，將劃線機(jī)構(gòu)70的第一切刀輪Wl對(duì)準(zhǔn)全切割面Ca的位置。 并且，將劃線機(jī)構(gòu)60的支承輥W3對(duì)準(zhǔn)第二基板G2。此時(shí)，支承輥W3以離開(kāi)之前形成了劃 線槽M2的全切割面Ca的位置的方式橫向移動(dòng)，以免劃線槽M2出現(xiàn)損傷。然后，以與第一 次的壓靠力Pl相同或者比其弱的壓靠力P2進(jìn)行第二次的劃線加工，在第一基板Gl的全切 割面Ca形成第三劃線槽M3 (S102)。此時(shí)，在第一基板Gl的全切割面Ca中，在克服壓縮應(yīng)力的同時(shí)進(jìn)行劃線加工，所 以劃線槽的伸展受到阻礙，劃線槽M3形成得比較淺。由于原本就預(yù)定為劃線槽M3比端子 切割面Cb的劃線槽Ml淺，所以能夠形成理想深度的劃線槽。然后，在后面工序中進(jìn)行蒸汽切斷(圖6)及滾輪切斷(圖7)的切斷處理，如圖 11(d)所示，邊角料區(qū)域E不是附著在第一基板的端子切割面Cb側(cè)，而是以附著在第一基板 Gl的全切割面Ca側(cè)的狀態(tài)下被分離。另外，邊角料區(qū)域E當(dāng)然也可以被完全分離。另外，在邊角料區(qū)域E附著在全切割面Ca上的情況下，在后面的工序中，通過(guò)利用 鉤部87及推壓裝置88進(jìn)行追加的切斷處理，邊角料區(qū)域E能夠從全切割面Ca可靠地分離。以上說(shuō)明了對(duì)一個(gè)端子區(qū)域(特定邊界)獨(dú)立進(jìn)行劃線加工的情況。實(shí)際上在母 板90中縱橫排列了多個(gè)單位顯示面板。在各個(gè)單位顯示面板的周?chē)粌H包括具有夾在端 子切割面Cb和全切割面Ca之間的端子區(qū)域T的特定邊界，也包括其他形狀的邊界。在這種情況下，也可以不針對(duì)一個(gè)邊界來(lái)進(jìn)行加工，而是在多個(gè)邊界之間交替地 進(jìn)行加工，實(shí)現(xiàn)均衡的加工。圖12是針對(duì)沿X方向排列2列、沿Y方向排列4列作為二端子面板的單位顯示面 板的母板90，沿Y方向進(jìn)行劃線的示例。另外，圖13是沿X方向進(jìn)行劃線的示例。首先，針對(duì)先加工的Y方向的劃線進(jìn)行說(shuō)明。在Y方向的劃線中，母板90的后端 被卡緊裝置50卡緊，由此在劃線加工后不會(huì)沿X方向分離。針對(duì)Y方向，如圖12所示，針對(duì)母板90的包括沿著中央部分的端子區(qū)域T的邊界、 包括左端附近的端子區(qū)域IY的邊界、和包括右端附近的全切割面Tk的邊界這三個(gè)邊界進(jìn)行 劃線加工。其中，中央的邊界是特定邊界。因此，針對(duì)中央的特定邊界的端子切割面和全切 割面，需要考慮加工順序。圖14是表示Y方向的加工順序的流程圖。在這種情況下，針對(duì)中央的端子區(qū)域T (特定邊界)進(jìn)行第一次劃線(設(shè)為Y1)。 即，對(duì)第一基板Gl的端子切割面和第二基板G2的全切割面進(jìn)行劃線(S201)。結(jié)果，形成了 第一劃線槽Ml、第二劃線槽M2。然后，針對(duì)左端附近的端子區(qū)域IY進(jìn)行第二次劃線(設(shè)為 Y2)(S202)。然后，針對(duì)右端附近的全切割面Tk進(jìn)行第三次劃線(設(shè)為T(mén)O) (S203)。另外， S202和S203也可以調(diào)換。并且，最后針對(duì)中央的端子區(qū)域T(特定邊界)的第一基板Gl的 全切割面，進(jìn)行第四次劃線(設(shè)為W)。此時(shí)，利用支承輥W3按壓第二基板G2的全切割面 的旁邊(在圖中取代箭頭利用十字標(biāo)記來(lái)表示位置)，同時(shí)進(jìn)行劃線。結(jié)果，形成了第三劃 線槽M3。如前面所述，第三劃線槽M3是在被施加了壓縮應(yīng)力的狀態(tài)下形成的，所以比第一劃線槽Ml、第二劃線槽M2淺。這樣，在針對(duì)中央的端子區(qū)域T (特定邊界)的劃線加工之后，先進(jìn)行左端附近的 端子區(qū)域IY和右端附近的全切割面Tk的劃線，然后再次進(jìn)行針對(duì)中央的端子區(qū)域T (特定 邊界)的劃線加工，如此交替地進(jìn)行加工。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)均衡的加工。在通過(guò)以上的步驟結(jié)束Y方向的劃線后，接著進(jìn)行X方向的劃線。針對(duì)X方向，如圖13所示，母板90的包括位于前端附近的全切割面Tf的邊界、包 括位于基板中央的端子區(qū)域T的三個(gè)特定邊界、以及包括位于后端附近的端子區(qū)域Tb的邊 界，被實(shí)施劃線加工。在這種情況下，針對(duì)X方向的三個(gè)端子區(qū)域T，與前面的處理相同，先對(duì)第一基板 Gl的端子切割面和第二基板G2的全切割面進(jìn)行較強(qiáng)的劃線，然后對(duì)第一基板Gl的全切 割面進(jìn)行比較輕微的劃線，就能夠可靠地取出單位顯示面板。具體地講，如圖13所示，按 照X2 (第一基板Gl的端子切割面和第二基板G2的全切割面)、X3 (第一基板Gl的全切割 面)、X4 (第一基板Gl的端子切割面和第二基板G2的全切割面)、X5 (第一基板Gl的全切 割面)、X6 (第一基板Gl的端子切割面和第二基板G2的全切割面)、X7 (第一基板Gl的全 切割面)的順序進(jìn)行加工。另外，在進(jìn)行X3、X5、X7的加工時(shí)，利用支承輥按壓第二基板G2 的全切割面的旁邊來(lái)進(jìn)行劃線。(切斷處理)下面說(shuō)明母板90的切斷處理。利用劃線裝置30進(jìn)行劃線加工的結(jié)果是，母板90 沿著各個(gè)單位顯示面板的周緣形成了劃線槽。在基板的板厚比較薄的情況下，只通過(guò)劃線 加工即可將各個(gè)單位顯示面板完全分割，在不屬于這種情況時(shí)，需要施加切斷處理，使劃線 槽伸展。并且，在板厚比較薄的情況下，為了能夠可靠地完全分割，也優(yōu)選施加切斷處理。在 本實(shí)施方式中，為了將各個(gè)單位顯示面板可靠地分割，通過(guò)蒸汽切斷裝置100進(jìn)行X方向的 切斷，通過(guò)滾輪切斷裝置110進(jìn)行Y方向的切斷。具體地講，首先使實(shí)施劃線加工后的母板90通過(guò)蒸汽切斷裝置100的上部蒸汽單 元101與下部蒸汽單元102的間隙，并吹送加熱蒸汽。其結(jié)果，主要是X方向的劃線槽得到 伸展。然后，母板90被輸送到滾輪切斷裝置110，利用切斷滾輪111 113按壓Y方向的三 個(gè)劃線槽的鄰接位置。由此來(lái)施加彎曲力矩，使Y方向的劃線槽得到伸展。(單位顯示面板的取出)下面，針對(duì)從母板90取出單位顯示面板的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。單位顯示面板的取出是 通過(guò)基板搬出裝置120的搬出機(jī)器人80進(jìn)行的。如前面所述，搬出機(jī)器人80吸附從母板90分割的一個(gè)單位顯示面板并向上方拉 出，使單位顯示面板旋轉(zhuǎn)，同時(shí)向X軸方向移動(dòng)，再向Y方向移動(dòng)并將單位顯示面板搬出，被 搬出的單位顯示面板的取出順序非常重要。針對(duì)圖11所示的從具有特定邊界的母板90取出單位顯示面板時(shí)的取出順序進(jìn)行 說(shuō)明。在從具有特定邊界的母板90逐個(gè)取出單位顯示面板時(shí)，在隔著特定邊界而鄰接 的兩個(gè)單位顯示面板中必須相比于全切割面Ca為邊界的單位顯示面板U2，先取出端子切 割面Cb為邊界的單位顯示面板U1。這種優(yōu)先順序需要在母板90中包含的全部單位顯示 面板之間滿(mǎn)足。如果沒(méi)有遵守這種取出順序，則邊角料區(qū)域E有可能附著在端子切割面Cb側(cè)。圖15是表示針對(duì)沿X方向排列2列、沿Y方向排列4列單位顯示面板的母板的、 單位顯示面板的取出順序的圖，圖15(a)表示二端子面板的情況，圖15(b)表示三端子面板 的情況，圖15(c)表示單端子面板的情況。針對(duì)圖15(a)所示的二端子面板進(jìn)行說(shuō)明。單位顯示面板(1)在與鄰接的單位顯 示面板O)、(3)的特定邊界處(在圖中利用標(biāo)記〇示出)，單位顯示面板(1)的端子切割 面Cb成為邊界。因此，首先需要取出單位顯示面板(1)。在單位顯示面板(1)被取出的狀態(tài)下，單位顯示面板( 在與鄰接的單位顯示面 板的特定邊界處，端子切割面Cb成為邊界。并且，單位顯示面板C3)在與鄰接的單位 顯示面板G)、(5)的特定邊界處，端子切割面Cb成為邊界。此時(shí)，只要取出單位顯示面板 (2), (3)的任意一方即可，但由于從接近母板的前端的一側(cè)取出時(shí)能夠以單向輸送完成，所 以先取出單位顯示面板O)。在單位顯示面板(1)、(2)被取出的狀態(tài)下，單位顯示面板C3)在與鄰接的單位顯 示面板(4)、(5)的特定邊界處，端子切割面Cb成為邊界。因此，接著取出單位顯示面板(3)。 以后與此相同，按照?qǐng)D15中賦予給各個(gè)單位顯示面板的序號(hào)從小到大的順序(1)、(2廣·· (8)取出單位顯示面板，就可以針對(duì)全部特定邊界，優(yōu)先取出端子切割面Cb側(cè)的單位顯示 面板。圖16是表示邊角料在取出的各個(gè)單位顯示面板⑴ ⑶中的附著方式的圖(主 視圖、俯視圖、右視圖)。在圖中，邊角料區(qū)域有可能附著在利用陰影線示出的區(qū)域中。無(wú)論哪個(gè)單位顯示面板，雖然邊角料有可能附著在全切割面Ca上，但是都能夠以 在端子切割面Cb上沒(méi)有附著邊角料的狀態(tài)被取出。因此，即使邊角料附著在單位顯示面板 上，也能夠通過(guò)之后的使用鉤部87和推壓裝置88進(jìn)行的輔助切斷處理，將邊角料可靠地去 除。以上雖然是針對(duì)二端子面板的說(shuō)明，但對(duì)于三端子面板(圖15(b))和單端子面 板(圖15(c))也同樣適用。在這些情況下，成為問(wèn)題的特定邊界(標(biāo)記〇)只是鄰接的 一對(duì)單位顯示面板的邊界，所以如果不考慮基板的輸送，則可以在兩個(gè)單位顯示面板之間 確定優(yōu)先順序進(jìn)行取出。具體地講，相比各個(gè)相對(duì)的單位顯示面板O)，先取出單位顯示面 板(1)。在從接近母板的前端的一側(cè)單方向地進(jìn)行輸送并加工的情況下，期望前端側(cè)優(yōu)先， 所以與圖15(a)相同地，按照賦予給各個(gè)單位顯示面板的序號(hào)從小到大的順序(1)、(2)···、 (8)取出單位顯示面板。以上是把沿X方向排列2列、沿Y方向排列4列單位顯示面板的母板作為對(duì)象，但 對(duì)于除此之外的其他布局也相同，只要遵守針對(duì)隔著特定邊界的兩側(cè)的單位顯示面板的取 出順序的優(yōu)先順序即可。另外，在四端子面板(圖19)中不存在特定邊界。因此，這種情況時(shí)的取出順序不 成為問(wèn)題。因而可以從前端側(cè)開(kāi)始順序取出。(輔助切斷處理)下面說(shuō)明輔助切斷處理。圖17是表示輔助切斷裝置140(鉤部87及推壓裝置88)的切斷處理動(dòng)作的圖。輔 助切斷處理與搬出機(jī)器人80的基板搬出同時(shí)進(jìn)行。
如圖17(a)所示，在使鉤部87及推壓裝置88退避到上方的狀態(tài)下，利用吸附墊82 吸附單位顯示面板的第二基板G2 (TFT側(cè)基板)。然后，如圖17(b)所示，使鉤部87進(jìn)行動(dòng)作，使其與位于吸附面相反側(cè)即第一基板 Gl端部的邊角料E接觸，并利用下方的端面支承邊角料E。然后，如圖17(c)所示，使推壓裝置88進(jìn)行動(dòng)作，從上方按壓附著在第二基板G2 端部的邊角料E。這樣，通過(guò)施加使形成于邊角料E和第一基板Gl之間的第三劃線槽M3 (參照?qǐng)D 10)擴(kuò)展的彎曲力矩，能夠?qū)⑦吔橇螮可靠地分割。另外，關(guān)于輔助切斷處理不限于上述方法，也能夠采用其他方法。例如，在上述實(shí)施方式中，在搬出機(jī)器人80上設(shè)置了由鉤部87和推壓裝置88構(gòu) 成的輔助切斷裝置140，但也可以取而代之，在搬出機(jī)器人80的移動(dòng)范圍內(nèi)的合適位置另 外設(shè)置用于抵接邊角料E的下端面的傾斜板，使搬出機(jī)器人移動(dòng)到該位置，同時(shí)使邊角料E 所附著的單位顯示面板從傾斜板的下方下降而與邊角料E的部分抵接，由此能夠可靠地實(shí) 現(xiàn)分割。并且，還可以在搬出機(jī)器人80的附近另外設(shè)置機(jī)械手，利用該機(jī)械手把持邊角料 E的部分來(lái)進(jìn)行分割。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的基板加工方法能夠用于液晶面板用的母板的劃線加工。
權(quán)利要求
1.一種基板加工系統(tǒng)，作為加工對(duì)象的母板具有第一基板和第二基板粘貼而成的構(gòu)造， 各自形狀相同且呈方形的多個(gè)單位顯示面板相互鄰接地排列形成于所述母板上， 各個(gè)單位顯示面板通過(guò)在四邊的周緣中的一邊的周緣、或者相鄰的兩邊的周緣、或者 三邊的周緣處，形成第二基板側(cè)比第一基板側(cè)突出的臺(tái)階，而設(shè)置端子區(qū)域，在沒(méi)有設(shè)置端子區(qū)域的其余的周緣處，形成有第一基板和第二基板為同一端面的非 端子面，在第一基板的與所述端子區(qū)域相對(duì)的部位設(shè)有要從單位顯示面板切除的邊角料區(qū) 域，各個(gè)單位顯示面板還被配置為，在其與鄰接的單位顯示面板中的至少一個(gè)單位顯示面 板的邊界處，一個(gè)單位顯示面板的端子區(qū)域和另一個(gè)單位顯示面板的非端子面對(duì)接，在將所述母板支承為第二基板在上側(cè)、第一基板在下側(cè)的狀態(tài)下，按照每個(gè)單位顯示 面板來(lái)分割所述母板并逐個(gè)取出，其特征在于，所述基板加工系統(tǒng)具有劃線裝置，其具有朝向第一基板的第一切刀輪和支承輥、以及朝向第二基板的第二切 刀輪，將第一切刀輪和第二切刀輪進(jìn)行組合或者將支承輥和第二切刀輪進(jìn)行組合，從第一 基板和第二基板的兩側(cè)進(jìn)行壓靠而進(jìn)行劃線加工；劃線裝置控制部，其對(duì)所述劃線裝置進(jìn)行如下控制在對(duì)所述邊界進(jìn)行劃線加工時(shí)，在 端子區(qū)域?qū)觽?cè)的單位顯示面板的第一基板與端子區(qū)域相對(duì)的部位的內(nèi)側(cè)端形成第一劃 線槽，在非端子面對(duì)接側(cè)的單位顯示面板的第二基板側(cè)的非端子面上形成第二劃線槽，在 第一基板側(cè)的非端子面上形成比所述第一劃線槽及所述第二劃線槽淺的第三劃線槽；面板搬出裝置，其具有吸附部件，吸附經(jīng)劃線加工的單位顯示面板的第二基板，而將該 單位顯示面板從母板上取出；面板搬出裝置控制部，在取出隔著所述邊界對(duì)接的一對(duì)單位顯示面板時(shí)，相比于在非 端子面對(duì)接側(cè)的單位顯示面板，優(yōu)先取出端子區(qū)域?qū)觽?cè)的單位顯示面板；以及輔助切斷裝置，其安裝在所述面板搬出裝置上，并具有鉤部和推壓裝置，在邊角料區(qū)域 隔著第三劃線槽附著在從母板取出的單位顯示面板的第一基板側(cè)的端部上的情況下，將所 述鉤部掛在所述邊角料區(qū)域上，同時(shí)按壓所述推壓裝置，施加使第三劃線槽擴(kuò)展的方向的 彎曲力矩，由此分割所述邊角料區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板加工系統(tǒng)，其中，劃線裝置控制部進(jìn)行如下的劃線控制 通過(guò)第一切刀輪與第二切刀輪的組合，先形成第一劃線槽和第二劃線槽，接著通過(guò)支承輥 與第二切刀輪的組合，形成第三劃線槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板加工系統(tǒng)，其中，在形成第三劃線槽時(shí)，支承輥壓靠在之 前形成的第二劃線槽的鄰接位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的基板加工系統(tǒng)，其中，該基板加工系統(tǒng)還具有 設(shè)于劃線裝置和面板搬出裝置之間的主切斷裝置，該主切斷裝置在由劃線裝置進(jìn)行劃線加 工之后且在由安裝于面板搬出裝置上的輔助切斷裝置進(jìn)行切斷處理之前，預(yù)先進(jìn)行切斷處 理。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板加工系統(tǒng)，其中，主切斷裝置由蒸汽切斷裝置和滾輪切 斷裝置構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板加工系統(tǒng)，其能夠取出按照預(yù)定的布局在母板上配置的單位顯示面板，而且端子區(qū)域不會(huì)出現(xiàn)損傷。基板加工系統(tǒng)具有劃線裝置控制部，其進(jìn)行如下控制，在對(duì)包括端子區(qū)域的特定邊界進(jìn)行劃線加工時(shí)，調(diào)整形成于特定邊界的三個(gè)劃線槽的深度，使與端子區(qū)域相對(duì)的位置的邊角料區(qū)域留在特定位置；面板搬出裝置控制部，在從母板取出單位顯示面板時(shí)，按照預(yù)定的優(yōu)先順序來(lái)取出單位顯示面板，以使邊角料區(qū)域留在特定位置；和輔助切斷裝置，其對(duì)附著在特定位置的邊角料區(qū)域沿特定方向施加彎曲力矩而將其分割，由此在端子寬度窄時(shí)也能夠可靠地分離。
文檔編號(hào)G09F9/00GK102057314SQ200980121320
公開(kāi)日2011年5月11日 申請(qǐng)日期2009年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月18日
發(fā)明者前川和哉, 高松生芳 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司