顯示裝置的制造方法
【專利摘要】一種顯示裝置的制造方法，準(zhǔn)備第1基板，該第1基板在第1玻璃基板上的第1區(qū)域形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第1顯示元件部，并且在第1玻璃基板上的從第1區(qū)域離開(kāi)的第2區(qū)域形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第2顯示元件部；準(zhǔn)備第2基板，該第2基板在第2玻璃基板上形成島狀的第1剝離輔助層并且形成從第1剝離輔助層離開(kāi)的島狀的第2剝離輔助層之后，在第1剝離輔助層上形成第1濾色器層，并且在第2剝離輔助層上形成第2濾色器層；粘接第1顯示元件部與第1濾色器層，并且粘接第2顯示元件部與第2濾色器層；向第2基板照射激光而從第1剝離輔助層以及第2剝離輔助層將第2玻璃基板剝離；在第1區(qū)域與第2區(qū)域之間割斷第1基板。
【專利說(shuō)明】顯示裝置的制造方法
[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用
[0002]本申請(qǐng)基于2012年10月3日提交的日本專利申請(qǐng)N0.2012-221177并主張其優(yōu)先權(quán)利益，其全部?jī)?nèi)容以引用的方式包含于此。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明的實(shí)施方式涉及顯示裝置的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0004]有機(jī)電致發(fā)光(EL)顯示裝置、液晶顯示裝置等平面顯示裝置利用輕量、薄型、低功耗等特征，使用于OA設(shè)備、信息終端、表、電視等各種領(lǐng)域中。其中，使用了薄膜晶體管(TFT)的顯示裝置由于其響應(yīng)性高，因此多用于便攜終端、計(jì)算機(jī)等對(duì)較多的信息進(jìn)行顯示的顯不器。
[0005]近年來(lái)，便攜電話、PDA (personal digitalassistant)等的便攜信息終端設(shè)備中，不僅是從性能方面、而且從設(shè)計(jì)性、便攜性等觀點(diǎn)出發(fā)，對(duì)更薄且更輕的顯示裝置的需求不斷提高。例如，提出了實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的薄型化構(gòu)造的顯示裝置。作為實(shí)現(xiàn)薄型化以及輕量化的方法，有如下技術(shù):代替玻璃基板而將聚酰亞胺等耐熱性比較高的樹(shù)脂層形成在玻璃基板上，在樹(shù)脂層上形成TFT等之后進(jìn)行單元化，最終從玻璃基板剝離樹(shù)脂層。
[0006]但是，在這樣的工序中，使用母(基樣)玻璃基板將許多面板一起組裝之后，在切分為單個(gè)面板時(shí)，需要將樹(shù)脂層與所貼合的雙方的母玻璃基板一起割斷，難以取出用于安裝將圖像對(duì)面板進(jìn)行顯示所需要的信號(hào)供給源的電極。因此，要求提高生產(chǎn)率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]根據(jù)本實(shí)施方式，提供一種顯示裝置的制造方法，準(zhǔn)備第I基板，該第I基板在第I玻璃基板上的第I區(qū)域形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第I顯示元件部，并且在從上述第I玻璃基板上的上述第I區(qū)域離開(kāi)的第2區(qū)域形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第2顯示元件部；準(zhǔn)備第2基板，該第2基板在第2玻璃基板上形成島狀的第I剝離輔助層并且形成從上述第I剝離輔助層離開(kāi)的島狀的第2剝離輔助層之后，在上述第I剝離輔助層上形成第I濾色器層，并且在上述第2剝離輔助層上形成第2濾色器層；粘接上述第I顯示元件部與上述第I濾色器層，并且粘接上述第2顯示元件部與上述第2濾色器層；向上述第2基板照射激光而從上述第I剝離輔助層以及上述第2剝離輔助層剝離上述第2玻璃基板；在上述第I區(qū)域與上述第2區(qū)域之間割斷上述第I基板。
[0008]此外，根據(jù)本實(shí)施方式，提供一種顯示裝置的制造方法，準(zhǔn)備第I基板，該第一基板在第I玻璃基板上形成島狀的第I剝離輔助層并且形成從上述第I剝離輔助層離開(kāi)的島狀的第2剝離輔助層之后，在上述第I剝離輔助層上形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第I顯示元件部，并且在上述第2剝離輔助層上形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第2顯示元件部；準(zhǔn)備第2基板，該第2基板在第2玻璃基板上形成島狀的第3剝離輔助層并且形成從上述第3剝離輔助層離開(kāi)的島狀的第4剝離輔助層之后，在上述第3剝離輔助層上形成第I濾色器層，并且在上述第4剝離輔助層上形成第2濾色器層；粘接上述第I顯示元件部與上述第I濾色器層，并且粘接上述第2顯示元件部與上述第2濾色器層；向上述第2基板照射激光而從上述第3剝離輔助層以及上述第4剝離輔助層剝離上述第2玻璃基板；向上述第I基板照射激光而從上述第I剝離輔助層以及上述第2剝離輔助層將上述第I玻璃基板剝離。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是概略地表示本實(shí)施方式的顯示裝置的截面構(gòu)造的圖。
[0010]圖2是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的制造方法的圖，并且是用于說(shuō)明準(zhǔn)備第I母基板的工序的圖。
[0011]圖3是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的制造方法的圖，并且是用于說(shuō)明準(zhǔn)備第2母基板的工序的圖。
[0012]圖4是圖3所示的第2母基板的概略俯視圖。
[0013]圖5是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的制造方法的圖，并且是用于說(shuō)明將第I母基板與第2母基板貼合的工序的圖。
[0014]圖6是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的制造方法的圖，并且是用于說(shuō)明將第2母基板的玻璃基板剝離的工序的圖。
[0015]圖7是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的制造方法的圖，并且是用于說(shuō)明將第I母基板割斷的工序的圖。
[0016]圖8是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的制造方法的圖，并且是向被割斷的芯片安裝信號(hào)供給源的工序的圖。
[0017]圖9是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的制造方法的圖，并且是用于說(shuō)明將第I母基板的玻璃基板剝離的工序的圖。
[0018]圖10是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的其他的制造方法的圖，并且是用于說(shuō)明準(zhǔn)備第I母基板的工序的圖。
[0019]圖11是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的其他的制造方法的圖，并且是用于說(shuō)明將第I母基板與第2母基板貼合的工序的圖。
[0020]圖12是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的其他的制造方法的圖，并且是用于說(shuō)明將第2母基板的玻璃基板剝離的工序的圖。
[0021]圖13是用于說(shuō)明圖1所示的顯示裝置的其他的制造方法的圖，并且是用于說(shuō)明將第I母基板的玻璃基板剝離的工序的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]根據(jù)本實(shí)施方式，提供一種顯示裝置的制造方法，準(zhǔn)備第I基板，該第I基板在第I玻璃基板上的第I區(qū)域形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第I顯示元件部，并且在從上述第I玻璃基板上的上述第I區(qū)域離開(kāi)的第2區(qū)域形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第2顯示元件部；準(zhǔn)備第2基板，該第2基板在第2玻璃基板上形成島狀的第I剝離輔助層并且形成從上述第I剝離輔助層離開(kāi)的島狀的第2剝離輔助層之后，在上述第I剝離輔助層上形成第I濾色器層，并且在上述第2剝離輔助層上形成第2濾色器層；粘接上述第I顯示元件部與上述第I濾色器層，并且粘接上述第2顯示元件部與上述第2濾色器層；向上述第2基板照射激光而從上述第I剝離輔助層以及上述第2剝離輔助層剝離上述第2玻璃基板；在上述第I區(qū)域與上述第2區(qū)域之間割斷上述第I基板。
[0023]此外，根據(jù)本實(shí)施方式，提供一種顯示裝置的制造方法，準(zhǔn)備第I基板，該第一基板在第I玻璃基板上形成島狀的第I剝離輔助層并且形成從上述第I剝離輔助層離開(kāi)的島狀的第2剝離輔助層之后，在上述第I剝離輔助層上形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第I顯示元件部，并且在上述第2剝離輔助層上形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第2顯示元件部；準(zhǔn)備第2基板，該第2基板在第2玻璃基板上形成島狀的第3剝離輔助層并且形成從上述第3剝離輔助層離開(kāi)的島狀的第4剝離輔助層之后，在上述第3剝離輔助層上形成第I濾色器層，并且在上述第4剝離輔助層上形成第2濾色器層；粘接上述第I顯示元件部與上述第I濾色器層，并且粘接上述第2顯示元件部與上述第2濾色器層；向上述第2基板照射激光而從上述第3剝離輔助層以及上述第4剝離輔助層剝離上述第2玻璃基板；向上述第I基板照射激光而從上述第I剝離輔助層以及上述第2剝離輔助層將上述第I玻璃基板剝離。
[0024]以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)施方式。另外，在各圖中，對(duì)發(fā)揮相同或類似的功能的構(gòu)成要素賦予相同的參照符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。
[0025]圖1是概略地表示本實(shí)施方式的顯示裝置的截面構(gòu)造的圖。這里，作為片狀的顯示裝置的一例，對(duì)有機(jī)EL顯示裝置的截面構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。
[0026]圖示的有機(jī)EL顯示裝置I采用主動(dòng)矩陣驅(qū)動(dòng)方式，具備陣列基板AR和對(duì)置基板CT0陣列基板AR使用樹(shù)脂基板10而形成。陣列基板AR在樹(shù)脂基板10的內(nèi)面IOA側(cè)具備開(kāi)關(guān)元件SWl至SW3、有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3等。
[0027]樹(shù)脂基板10是絕緣基板，例如由以聚酰亞胺(PI)為主成分的材料形成。該樹(shù)脂基板10例如具有5至30 μ m的厚度。作為形成樹(shù)脂基板10的材料，優(yōu)選使用聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚酰胺等耐熱性高的材料。
[0028]樹(shù)脂基板10的內(nèi)面IOA被第I絕緣膜11覆蓋。該第I絕緣膜11作為抑制離子性的雜質(zhì)從樹(shù)脂基板10浸入、水分等經(jīng)由樹(shù)脂基板10而浸入的內(nèi)面阻擋膜來(lái)發(fā)揮功能。這樣的第I絕緣膜11由硅氮化物(SiN)、硅氧化物(SiO)、硅氮氧化物(SiON)等無(wú)機(jī)類材料形成，由單層體或?qū)盈B體構(gòu)成。另外，第I絕緣膜11也可以由滿足阻擋性能且能夠確保透明性的其他材料形成。此外，在位于樹(shù)脂基板10的內(nèi)面IOA側(cè)的其他絕緣膜作為內(nèi)面阻擋膜來(lái)發(fā)揮功能的情況下，也可以省略該第I絕緣膜11。
[0029]開(kāi)關(guān)元件SWl至SW3形成在第I絕緣膜11之上。這些開(kāi)關(guān)元件SWl至SW3例如是分別具備半導(dǎo)體層SC的薄膜晶體管(TFT)。開(kāi)關(guān)元件SWl至SW3都是相同的構(gòu)造，這里，著眼于開(kāi)關(guān)元件SWl而更具體說(shuō)明其構(gòu)造。
[0030]在圖示的例中，開(kāi)關(guān)元件SWl是頂柵(top gate)型，但也可以是底柵(bottomgate)型。半導(dǎo)體層SC例如可以是非晶硅或多晶硅，但也可以是由包含銦(In)、鎵(Ga)、鋅(Zn)中的至少一個(gè)的氧化物形成的氧化物半導(dǎo)體。氧化物半導(dǎo)體能夠通過(guò)比非晶硅或多晶硅更低溫的工序來(lái)形成。特別地，IGZO等的氧化物半導(dǎo)體還能夠?qū)⒅圃斐鼍邆浞蔷Ч璋雽?dǎo)體層的薄膜晶體管的制造裝置原樣使用，因此在壓低制造設(shè)備的投資成本方面也優(yōu)選。
[0031]半導(dǎo)體層SC形成在第I絕緣膜11之上，被第2絕緣膜12覆蓋。第2絕緣膜12還配置在第I絕緣膜11之上。在第2絕緣膜12之上，形成有開(kāi)關(guān)元件SWl的柵電極WG。柵電極WG被第3絕緣膜13覆蓋。第3絕緣膜13還配置在第2絕緣膜12之上。
[0032]在第3絕緣膜13之上形成有開(kāi)關(guān)元件SWl的源電極WS以及漏電極WD。源電極WS以及漏電極WD分別與半導(dǎo)體層SC接觸。這些源電極WS以及漏電極WD被第4絕緣膜14覆蓋。第4絕緣膜14還配置在第3絕緣膜13之上。
[0033]有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3形成在第4絕緣膜14之上。圖示的例中，有機(jī)EL元件OLEDl與開(kāi)關(guān)元件SWl電連接，有機(jī)EL元件0LED2與開(kāi)關(guān)元件SW2電連接，有機(jī)EL元件0LED3與開(kāi)關(guān)元件SW3電連接。
[0034]這些有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3的發(fā)光色都是白色。此外，有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3都構(gòu)成為朝向?qū)χ没錍T 一側(cè)放射光的頂發(fā)射型。這樣的有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3都為相同構(gòu)造。
[0035]有機(jī)EL元件OLEDl具備形成在第4絕緣膜14之上的陽(yáng)極PEl。該陽(yáng)極PEl與開(kāi)關(guān)元件SWl的漏電極WD接觸，并與開(kāi)關(guān)元件SWl電連接。同樣，有機(jī)EL元件0LED2具備與開(kāi)關(guān)元件SW2電連接的陽(yáng)極PE2，有機(jī)EL元件0LED3具備與開(kāi)關(guān)元件SW3電連接的陽(yáng)極PE3。這些陽(yáng)極PEl至PE3既可以由例如銦錫氧化物(ΙΤ0)、銦鋅氧化物(IZO)等的透明的導(dǎo)電材料形成，也可以由招(Al)、鎂(Mg)、銀(Ag)、鈦(Ti)或它們的合金等的金屬材料形成。在頂發(fā)射型的情況下，陽(yáng)極PEl至PE3優(yōu)選由反射性高的金屬材料形成。
[0036]有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3還具備有機(jī)發(fā)光層ORG以及陰極CE。有機(jī)發(fā)光層ORG分別位于陽(yáng)極PEl至PE3之上。此外，有機(jī)發(fā)光層ORG遍及有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3而不間斷地連續(xù)形成。陰極CE位于有機(jī)發(fā)光層ORG之上。此外，陰極CE遍及有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3而不間斷地連續(xù)形成。這樣的陰極CE例如由ΙΤ0、IZO等的透明的導(dǎo)電材料形成。
[0037]也就是說(shuō)，有機(jī)EL元件OLEDl由陽(yáng)極PE1、有機(jī)發(fā)光層ORG以及陰極CE構(gòu)成。同樣，有機(jī)EL元件0LED2由陽(yáng)極PE2、有機(jī)發(fā)光層ORG以及陰極CE構(gòu)成，此外有機(jī)EL元件0LED3由陽(yáng)極PE3、有機(jī)發(fā)光層ORG以及陰極CE構(gòu)成。
[0038]另外，有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3中，在陽(yáng)極PEl至PE3各自與有機(jī)發(fā)光層ORG之間，還可以?shī)A著空穴注入層、空穴輸送層，并且在有機(jī)發(fā)光層ORG與陰極CE之間還可以?shī)A著電子注入層、電子輸送層。
[0039]有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3分別被肋部15劃分。肋部15形成在第4絕緣膜14之上，覆蓋陽(yáng)極PEl至PE3各自的邊緣。另外，關(guān)于該肋部15沒(méi)有詳述，但例如在第4絕緣膜14之上形成為柵格狀或條狀。這樣的肋部15被有機(jī)發(fā)光層ORG覆蓋。也就是說(shuō)，有機(jī)發(fā)光層ORG不僅在陽(yáng)極PEl至PE3之上，而且還在肋部15之上延伸。
[0040]對(duì)置基板CT使用透明的樹(shù)脂基板30而形成。對(duì)置基板CT在樹(shù)脂基板30的內(nèi)面30A側(cè)具備第I濾色器31、第2濾色器32以及第3濾色器33等。
[0041]樹(shù)脂基板30是透明的絕緣基板，例如由以聚酰亞胺(PI)為主成分的材料形成。該樹(shù)脂基板30例如具有5至30 μ m的厚度。作為形成樹(shù)脂基板30的材料，能夠采用與樹(shù)脂基板10相同的材料。特別地，由于該樹(shù)脂基板30將從頂發(fā)射型的有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3出射的光透射，因此優(yōu)選由透明性高的材料形成。
[0042]第I濾色器31與有機(jī)EL元件OLEDl對(duì)置，透射白色中的藍(lán)色波長(zhǎng)的光。第2濾色器32與有機(jī)EL元件0LED2對(duì)置，透射白色中的綠色波長(zhǎng)的光。第3濾色器33與有機(jī)EL元件0LED3對(duì)置，透射白色中的紅色波長(zhǎng)的光。第I濾色器31與第2濾色器32的邊界、第2濾色器32與第3濾色器33的邊界、以及第I濾色器31與第3濾色器33的邊界位于肋部15的上方。
[0043]這樣的陣列基板AR與對(duì)置基板CT通過(guò)透明的粘接劑40粘接。也就是說(shuō)，在有機(jī)EL元件OLEDl與第I濾色器31之間、有機(jī)EL元件0LED2與第2濾色器32之間、以及有機(jī)EL元件0LED3與第3濾色器33之間，分別夾著粘接劑40。另外，在陰極CE與粘接劑40之間，可以配置隔離水分、氧、氫等的污染物質(zhì)、保護(hù)有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3的阻擋膜(密封膜)。
[0044]根據(jù)這樣的有機(jī)EL顯示裝置1，在有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3各自發(fā)光時(shí)，各自的放射光(白色光)經(jīng)由第I濾色器31、第2濾色器32或第3濾色器33中的某一個(gè)而出射至外部。此時(shí)，從有機(jī)EL元件OLEDl放射的白色光之中，藍(lán)色波長(zhǎng)的光透射第I濾色器31。此外，從有機(jī)EL元件0LED2放射的白色光之中，綠色波長(zhǎng)的光透射第2濾色器32。此外，從有機(jī)EL元件0LED3放射的白色光之中，紅色波長(zhǎng)的光透射第3濾色器33。由此，實(shí)現(xiàn)彩色顯不O
[0045]接著，對(duì)本實(shí)施方式中的有機(jī)EL顯示裝置I的制造方法的一例進(jìn)行說(shuō)明。
[0046]首先，如圖2所示，準(zhǔn)備第I母基板Ml。即，在由無(wú)堿玻璃構(gòu)成的玻璃基板100之上，使用涂覆機(jī)(slit coater)等成膜裝置將聚酰亞胺前驅(qū)體化合物以5?30 μ m的厚度成膜之后，通過(guò)進(jìn)行加熱處理使其硬化，形成透明的剝離輔助層110。該剝離輔助層110遍及第I區(qū)域Al、第2區(qū)域A2、以及第3區(qū)域A3而連續(xù)延伸。剝離輔助層110相當(dāng)于上述的樹(shù)脂基板10。
[0047]并且，在剝離輔助層110之上的第I區(qū)域Al形成顯示元件部121，在剝離輔助層110之上的第2區(qū)域A2形成顯示元件部122，在剝離輔助層110之上的第3區(qū)域A3形成顯示元件部123。第I區(qū)域Al、第2區(qū)域A2以及第3區(qū)域A3相互離開(kāi)。此外，在剝離輔助層110上，形成用于安裝驅(qū)動(dòng)IC芯片、撓性印刷電路基板等信號(hào)供給源的安裝部131至133。顯示元件部121至123都為相同構(gòu)造，分別由配置成矩陣狀的多個(gè)有機(jī)EL元件構(gòu)成。此外，安裝部131至133都為相同構(gòu)造。
[0048]顯示元件部121至123分別如以下這樣形成。即，如圖1所示，在剝離輔助層110之上形成第I絕緣膜11，在第I絕緣膜11之上形成開(kāi)關(guān)元件SWl至SW3、第2絕緣膜12、第3絕緣膜13、第4絕緣膜14等。同時(shí)，還形成各種布線。布線使用鋁(Al)、鑰(Mo)、鎢(Ta)、銅(Cu)、鈦(Ti)等一般的布線材料來(lái)形成。并且，在第4絕緣膜14之上形成有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3。S卩，在第4絕緣膜14之上形成陽(yáng)極(透明電極)PEl至PE3之后形成肋部15，然后依次形成有機(jī)發(fā)光層ORG以及陰極(反射電極)CE。然后，根據(jù)需要在有機(jī)EL元件OLEDl至0LED3之上形成密封膜。
[0049]接著，如圖3及圖4所示，準(zhǔn)備第2母基板M2。即，在由無(wú)堿玻璃構(gòu)成的玻璃基板200之上，使用涂覆機(jī)等的成膜裝置將聚酰亞胺前驅(qū)體化合物以5?30 μ m的厚度成膜之后，通過(guò)進(jìn)行加熱處理使其硬化，然后利用光刻工序進(jìn)行構(gòu)圖，由此形成透明的剝離輔助層211至213。這些剝離輔助層211至213分別相當(dāng)于上述的樹(shù)脂基板30。剝離輔助層211至213形成為分別與第I區(qū)域Al、第2區(qū)域A2以及第3區(qū)域A3對(duì)置，并且相互離開(kāi)。也就是說(shuō)，剝離輔助層211至213分別以島狀形成在玻璃基板200之上。換言之，剝離輔助層211至213被構(gòu)圖為與作為最終產(chǎn)品的有機(jī)EL顯示裝置的樹(shù)脂基板30相同的尺寸。
[0050]這樣構(gòu)圖的剝離輔助層211及213各自的端面與用切削機(jī)等利器切斷的端面和通過(guò)激光照射而切斷的端面的形狀不同，形成為錐狀。例如，剝離輔助層211的端面是相對(duì)于玻璃基板200的主面不垂直、寬度隨著從玻璃基板200離開(kāi)而變窄的錐狀。
[0051]并且，在剝離輔助層211之上形成濾色器層221，在剝離輔助層212之上形成濾色器層222，在剝離輔助層213上形成濾色器層223。濾色器層221至223都是相同構(gòu)造，分別由第I濾色器31、第2濾色器32、第3濾色器33構(gòu)成。第I濾色器31、第2濾色器32以及第3濾色器33都形成為條狀，按該順序重復(fù)排列。在濾色器層221至223各自的表面，涂敷有粘接劑40。
[0052]接著，如圖5所示，將第I母基板Ml與第2母基板M2貼合。S卩，通過(guò)粘接劑40粘接顯示元件部121與濾色器層221，通過(guò)粘接劑40粘接顯示元件部122與濾色器層222，通過(guò)粘接劑40粘接顯示元件部123與濾色器層223。
[0053]接著，如圖6所示，對(duì)于第2母基板M2，從剝離輔助層211至213剝離玻璃基板200，除去玻璃基板200。S卩，對(duì)于第2母基板M2，從玻璃基板200 —側(cè)朝向剝離輔助層211至213照射激光，將玻璃基板200與剝離輔助層211至213分別分離。此時(shí)，作為光源，能夠在玻璃基板200與剝離輔助層211至213的界面上使用表現(xiàn)局部的能量的吸收的光源或熱源，這里使用了準(zhǔn)分子激光裝置。由此，在第I母基板Ml之上，殘留通過(guò)粘接劑40粘接的濾色器層221至223以及剝離輔助層211至213。
[0054]接著，如圖7所示，割斷第I母基板Ml。在圖示的例中，在第I區(qū)域Al與第2區(qū)域A2之間(更嚴(yán)格地講，安裝部131與顯示元件部122之間)、以及第2區(qū)域A2與第3區(qū)域A3之間(更嚴(yán)格地講，安裝部132與顯示元件部123之間)，分別割斷第I母基板Ml。此時(shí)，將玻璃基板100以及剝離輔助層110 —起割斷。這樣的第I母基板Ml的割斷例如通過(guò)從CW碳酸氣激光裝置照射激光來(lái)進(jìn)行。由此，分離為在第I區(qū)域Al具備顯示元件部121且具備安裝部131的芯片Cl、在第2區(qū)域A2具備顯示元件部122且具備安裝部132的芯片C2、以及在第3區(qū)域A3具備顯示元件部123且具備安裝部133的芯片C3。
[0055]接著，如圖8所示，針對(duì)分離后的芯片Cl，向安裝部131安裝信號(hào)供給源300。此時(shí)，由于留有玻璃基板100，因此能夠充分地確保對(duì)于在安裝信號(hào)供給源300時(shí)施加的按壓力的支承強(qiáng)度，能夠抑制芯片Cl的變形或安裝不良。雖然未圖示，在芯片C2的安裝部132以及芯片C3的安裝部133上也分別安裝信號(hào)供給源。
[0056]接著，如圖9所示，對(duì)于各芯片，從剝離輔助層110剝離玻璃基板100，除去玻璃基板100。即，從玻璃基板100 —側(cè)朝向剝離輔助層110照射激光，將玻璃基板100與剝離輔助層Iio分離。作為此時(shí)的光源，與圖6中說(shuō)明的同樣，使用了準(zhǔn)分子激光裝置。
[0057]由此，制造本實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置I。
[0058]根據(jù)上述的本實(shí)施方式，在第2母基板M2中，剝離輔助層211至213分別被構(gòu)圖為與作為最終產(chǎn)品的有機(jī)EL顯示裝置的樹(shù)脂基板30相同的尺寸。在這樣的剝離輔助層211至213之上形成濾色器層221至223，在與具有TFT陣列構(gòu)造的第I母基板Ml貼合之后，從第2母基板M2剝離玻璃基板200，由此能夠省略第2母基板M2的割斷工序。因此，能夠避免安裝部131至133的上方的位置上的割斷處理。因而，能夠提高生產(chǎn)率。
[0059]特別地，在形成剝離輔助層211至213時(shí)，使用濾色器工序或TFT陣列工序中的光刻技術(shù)，由此與基于湯姆遜刀具的開(kāi)孔加工相比，能夠以數(shù)百倍以上的精細(xì)度和精度進(jìn)行剝離輔助層211至213的構(gòu)圖。
[0060]此外，樹(shù)脂基板10 (或者剝離輔助層110或剝離輔助層111至113)由耐熱性優(yōu)良的聚酰亞胺形成，因此能夠保證形成在其上的TFT陣列(包括各種絕緣膜、開(kāi)關(guān)元件、布線等)、有機(jī)EL元件的尺寸精度。特別地，在使用了 5?30 μ m的厚度的樹(shù)脂基板10的結(jié)構(gòu)中，在制造TFT陣列時(shí)，能夠?qū)⒃谥鲃?dòng)矩陣型的液晶顯示面板的生產(chǎn)線中使用的裝置類幾乎不改造地進(jìn)行利用，因此能夠降低生產(chǎn)成本，并且容易實(shí)現(xiàn)液晶顯示面板的量產(chǎn)技術(shù)的沿襲等生產(chǎn)率的確保。
[0061]此外，由于是采用了樹(shù)脂基板10的結(jié)構(gòu)，因此與采用玻璃基板的顯示裝置相比，能夠?qū)崿F(xiàn)薄型化以及輕量化，并且柔軟性高、形狀的自由度高。此外，雖然樹(shù)脂基板10具有比較高的吸濕性，但由于樹(shù)脂基板10的內(nèi)面IOA被作為內(nèi)面阻擋膜的第I絕緣膜11覆蓋，因此能夠抑制水分經(jīng)由樹(shù)脂基板10浸入。由此，能夠抑制有機(jī)發(fā)光層ORG因水分而劣化，并且能夠抑制因發(fā)生黑斑而顯示質(zhì)量降低。
[0062]接著，對(duì)本實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置I的其他的制造方法進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明。另外，省略與上述的制造方法重復(fù)的說(shuō)明。
[0063]首先，如圖10所示，準(zhǔn)備第I母基板Ml。即，在玻璃基板100之上，形成剝離輔助層111至113。這些剝離輔助層111至113分別相當(dāng)于上述的樹(shù)脂基板10。剝離輔助層111至113分別形成在第I陣列區(qū)域All、第2陣列區(qū)域A12、以及第3陣列區(qū)域A13，并且相互離開(kāi)。也就是說(shuō)，剝離輔助層111至113分別以島狀形成在玻璃基板100之上。
[0064]并且，在剝離輔助層111之上形成顯示元件部121以及安裝部131，在剝離輔助層112之上形成顯示元件部122以及安裝部132，在剝離輔助層113之上形成顯示元件部123以及安裝部133。
[0065]另一方面，準(zhǔn)備3及圖4所示的第2母基板M2。
[0066]接著，如圖11所示，將第I母基板Ml與第2母基板M2貼合。S卩，通過(guò)粘接劑40粘接顯示元件部121與濾色器層221，通過(guò)粘接劑40粘接顯示元件部122與濾色器層222，通過(guò)粘接劑40粘接顯示元件部123與濾色器層223。
[0067]接著，如圖12所示，對(duì)于第2母基板M2，從剝離輔助層211至213剝離玻璃基板200，除去玻璃基板200。即，從玻璃基板200 —側(cè)朝向剝離輔助層211至213照射激光，將玻璃基板200與剝離輔助層211至213分別分離。并且，在安裝部131安裝信號(hào)供給源301，在安裝部132安裝信號(hào)供給源302，在安裝部133安裝信號(hào)供給源303。此時(shí)，由于在第I母基板Ml中殘留有玻璃基板100，因此能夠充分確保對(duì)于分別安裝信號(hào)供給源301至303時(shí)施加的按壓力的支承強(qiáng)度，因此能夠抑制安裝不良。
[0068]接著，如圖13所示，對(duì)于第I母基板Ml，從剝離輔助層111至113剝離玻璃基板100，除去玻璃基板100。即，從玻璃基板100 —側(cè)朝向剝離輔助層111至113照射激光，將玻璃基板100與剝離輔助層111至113分別分離。
[0069]由此，制造本實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置I。
[0070]在這樣的制造方法中，與上述的制造方法相比，不需要割斷第I母基板Ml的工序。因此，能夠進(jìn)一步提聞生廣率。
[0071]如以上說(shuō)明的那樣，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠提供可提高生產(chǎn)率的顯示裝置的制造方法。
[0072]另外，在上述的本實(shí)施方式中，作為顯示裝置的一例，對(duì)有機(jī)EL顯示裝置進(jìn)行了說(shuō)明，但作為顯示裝置的其他的例，也可以是液晶顯示裝置。在該情況下，顯示元件部具備作為陽(yáng)極的替代的與開(kāi)關(guān)元件連接的像素電極、作為陰極的替代的共用電極、以及作為有機(jī)發(fā)光層的替代的包含液晶分子的液晶層來(lái)構(gòu)成，通過(guò)像素電極與共用電極之間的電場(chǎng)對(duì)液晶分子進(jìn)行開(kāi)關(guān)，由此對(duì)通過(guò)液晶層的光進(jìn)行調(diào)制。
[0073]此外，在上述的實(shí)施方式中，陣列基板AR使用樹(shù)脂基板10而形成，但也可以使用玻璃基板而形成。在該情況下，不需要如圖2中說(shuō)明那樣的剝離輔助層110，可以在玻璃基板100之上形成顯示元件部121至123、以及安裝部131至133。也就是說(shuō)，玻璃基板100相當(dāng)于構(gòu)成陣列基板AR的玻璃基板。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在圖7中說(shuō)明的第I母基板Ml的割斷時(shí)能夠不受作為樹(shù)脂層的剝離輔助層110的影響地進(jìn)行玻璃基板100的割斷，此外，也不需要圖9中說(shuō)明的玻璃基板100與剝離輔助層110的剝離工序。
[0074]此外，在上述的實(shí)施方式中，在玻璃基板100與剝離輔助層110的剝離、玻璃基板100與剝離輔助層111至113的剝離、玻璃基板200與剝離輔助層211至213的剝離中，采用了如上所述的激光燒蝕(Laser ablation)技術(shù),但也可以采用快速熱退火(Rapid thermalannealing)技術(shù)等的其他技術(shù)。
[0075]盡管說(shuō)明了特定的一些實(shí)施例，但是這些實(shí)施例只是作為例子給出的，并非用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。實(shí)際上，可以以各種其他形式來(lái)實(shí)施新的實(shí)施例；而且在不脫離本發(fā)明精神的情況下可以對(duì)這里說(shuō)明的實(shí)施例的形式進(jìn)行各種省略、替換和改變。所附權(quán)利要求書(shū)和它們的等價(jià)物包括這些形式或變形，且它們落在本發(fā)明的范圍和精神內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種顯示裝置的制造方法，具備如下步驟: 準(zhǔn)備第I基板，該第I基板在第I玻璃基板上的第I區(qū)域形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第I顯示元件部，并且在上述第I玻璃基板上的從上述第I區(qū)域離開(kāi)的第2區(qū)域形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第2顯示元件部； 準(zhǔn)備第2基板，該第2基板在第2玻璃基板上形成島狀的第I剝離輔助層并且形成從上述第I剝離輔助層離開(kāi)的島狀的第2剝離輔助層之后，在上述第I剝離輔助層上形成第I濾色器層，并且在上述第2剝離輔助層上形成第2濾色器層； 粘接上述第I顯示元件部與上述第I濾色器層，并且粘接上述第2顯示元件部與上述第2濾色器層； 向上述第2基板照射激光而從上述第I剝離輔助層以及上述第2剝離輔助層剝離上述第2玻璃基板； 在上述第I區(qū)域與上述第2區(qū)域之間割斷上述第I基板。
2.如權(quán)利要求1記載的顯示裝置的制造方法， 在準(zhǔn)備上述第I基板的工序中，在遍及上述第I玻璃基板上的上述第I區(qū)域以及上述第2區(qū)域而形成第3剝離輔助層之后，在上述第3剝離輔助層上形成上述第I顯示元件部以及上述第2顯示元件部。
3.如權(quán)利要求2記載的顯示裝置的制造方法， 在割斷上述第I基板之后，向上述第I區(qū)域的上述第I基板照射激光而從上述第3剝離輔助層將上述第I玻璃基板剝離，并向上述第2區(qū)域的上述第I基板照射激光而從上述第3剝離輔助層將上述第I玻璃基板剝離。
4.如權(quán)利要求2記載的顯示裝置的制造方法， 上述第I顯示元件部以及上述第2顯示元件部在上述第3剝離輔助層與上述顯示元件之間包括內(nèi)面阻擋膜。
5.如權(quán)利要求1記載的顯示裝置的制造方法， 上述第I剝離輔助層以及上述第2剝離輔助層是透明的。
6.如權(quán)利要求1記載的顯示裝置的制造方法， 上述第I剝離輔助層以及上述第2剝離輔助層由以聚酰亞胺為主成分的材料形成。
7.如權(quán)利要求1記載的顯示裝置的制造方法， 上述第I剝離輔助層以及上述第2剝離輔助層各自的端面是錐狀。
8.一種顯示裝置的制造方法， 準(zhǔn)備第I基板，該第一基板在第I玻璃基板上形成島狀的第I剝離輔助層并且形成從上述第I剝離輔助層離開(kāi)的島狀的第2剝離輔助層之后，在上述第I剝離輔助層上形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第I顯示元件部，并且在上述第2剝離輔助層上形成由多個(gè)顯示元件構(gòu)成的第2顯示元件部； 準(zhǔn)備第2基板，該第2基板在第2玻璃基板上形成島狀的第3剝離輔助層并且形成從上述第3剝離輔助層離開(kāi)的島狀的第4剝離輔助層之后，在上述第3剝離輔助層上形成第I濾色器層，并且在上述第4剝離輔助層上形成第2濾色器層； 粘接上述第I顯示元件部與上述第I濾色器層，并且粘接上述第2顯示元件部與上述第2濾色器層；向上述第2基板照射激光而從上述第3剝離輔助層以及上述第4剝離輔助層將上述第2玻璃基板剝離； 向上述第I基板照射激光而從上述第I剝離輔助層以及上述第2剝離輔助層將上述第I剝離基板剝離。
9.權(quán)利要求8記載的顯示裝置的制造方法， 在準(zhǔn)備上述第I基板的工序中，在上述第I剝離輔助層上形成第I安裝部，并且在上述第2剝離輔助層上形成第2安裝部。
10.如權(quán)利要求9記載的顯示裝置的制造方法， 在剝離上述第I玻璃基板之前，向上述第I安裝部安裝第I信號(hào)供給源，并且向上述第2安裝部安裝第2信號(hào)供給源。
11.如權(quán)利要求8記載的顯示裝置的制造方法， 上述第I顯示元件部在上述第I剝離輔助層與上述顯示元件之間包括內(nèi)面阻擋膜。
12.如權(quán)利要求8記載的顯示裝置的制造方法， 上述第I剝離輔助層、上述第2剝離輔助層、上述第3剝離輔助層以及上述第4剝離輔助層是透明的。
13.如權(quán)利要求8記載的顯示裝置的制造方法， 上述第I剝離輔助層、上述第2剝離輔助層、上述第3剝離輔助層以及上述第4剝離輔助層由以聚酰亞胺為主成分的材料形成。`
14.如權(quán)利要求8記載的顯示裝置的制造方法， 向上述第I基板以及上述第2基板照射激光的光源是準(zhǔn)分子激光裝置。
【文檔編號(hào)】G09F9/33GK103714754SQ201310461786
【公開(kāi)日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月3日
【發(fā)明者】川田靖 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日本顯示器