專利名稱：電光裝置用基板和有源矩陣基板以及電光裝置用基板的檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電光裝置用基板和有源矩陣基板以及電光裝置用基板的檢查方法。
背景技術(shù)：
迄今為止，已知有在一對(duì)基板的間隙中夾持液晶而構(gòu)成的液晶顯示裝置。作為這樣的液晶顯示裝置，使用有源矩陣基板作為一對(duì)基板中的一方的液晶顯示裝置已實(shí)現(xiàn)了實(shí)用化。在該有源矩陣基板中，在玻璃基板等的上表面上形成了多條數(shù)據(jù)線和與各數(shù)據(jù)線正交的多條柵線。而且，與各數(shù)據(jù)線和柵線的交叉點(diǎn)對(duì)應(yīng)地形成了像素電極。各像素電極通過薄膜晶體管與各數(shù)據(jù)線和柵線連接。
在此，數(shù)據(jù)線和柵線分別以與顯示像素?cái)?shù)對(duì)應(yīng)的條數(shù)被形成。例如，在能進(jìn)行彩色顯示的液晶顯示裝置中，已知有具備480條柵線和640×3條(對(duì)應(yīng)于RGB各色)數(shù)據(jù)線的裝置及具備1024條柵線和1280×3條數(shù)據(jù)線的裝置。這樣，在有源矩陣基板中，必須形成龐大的數(shù)目的布線，但在各數(shù)據(jù)線和柵線中不能有斷線或布線狹窄部(與其它部分相比，布線變窄的部分)等的缺陷。
但是，因?yàn)橛性淳仃嚮宓母鞣N制造工序中的種種原因之故，目前的情況是不能避免以某種比例發(fā)生布線的缺陷。因此，存在下述的要求能可靠地發(fā)現(xiàn)具有柵線或數(shù)據(jù)線的缺陷的有源矩陣基板，此外，打算準(zhǔn)確地掌握斷線部位，以便防止基于相同的原因的斷線等的缺陷的再次發(fā)生。
在實(shí)開昭63-70596號(hào)公報(bào)中公開了用于響應(yīng)這樣的要求的斷線檢查方法。
在該斷線檢查方法中，首先，對(duì)于在基板上以條狀被形成的多條柵線，連接鄰接的柵線(或數(shù)據(jù)線)的端部相互間，如第1條柵線與第2條柵線的左端部相互間、第2條柵線與第3條柵線的右端部相互間、第3條柵線與第4條柵線的左端部相互間、第4條柵線與第5條柵線而的右端部相互間、…等等。通過這樣做，形成串聯(lián)地連接各柵線構(gòu)成的1條布線。然后，例如通過研究預(yù)定的電流是否流過該布線，來判定在某一條柵線中是否存在缺陷。
但是，在該斷線檢查方法中，雖然能夠檢查柵線的某一條是否斷線，但不能具體地查明哪條柵線中存在缺陷。因而，在使用該檢查方法的情況下，不能判定柵線的斷線部位的位置，追蹤使缺陷產(chǎn)生的原因，或進(jìn)行類推。因此，存在不能采取防止斷線的再次發(fā)生的有效對(duì)策的問題。
此外，在上述斷線檢查方法中，還可以考慮通過使恒定的電流i流過串聯(lián)地連接的布線、并測定在其兩端部的電位差來判斷缺陷的有無。具體地說，首先，預(yù)先測定在哪一條布線中也不存在缺陷的情況的電壓。如果將每一條布線(例如柵線)的電阻值設(shè)為RL，將布線的總條數(shù)(例如柵線的總條數(shù))設(shè)為N，則用iNRL來表示該電壓。其次，測定作為檢查對(duì)象的布線的兩端部的電位差。在此，在某一條布線中存在缺陷的情況下，用i(RB+NRL)來表示該被測定的電壓。RB是布線狹窄部等的缺陷部位的電阻值。然后，求出這些電壓的差，即，iNRL-i(RB+NRL)。然后，在該結(jié)果被檢測出的電壓值比預(yù)定值小的情況下，判定為在某一條布線中存在斷線。
但是，在采用該方法的情況下，在NRL＞＞RB時(shí)，由于從上述的式求出的電壓≈0，故不能進(jìn)行缺陷的檢測。即，在上述的方法中，存在下述問題在布線數(shù)多的情況(即，電阻NRL大的情況)或布線只是變細(xì)而沒有完全斷線的情況(即，s在布線的一部分中存在狹窄部的狀態(tài)下，電阻RB較小的情況)下，缺陷的檢測變得困難。
因此，為了解決上述的問題，提出了用以下示出的方法來檢測斷線或布線狹窄部的方法。關(guān)于該方法，參照圖6進(jìn)行說明。在圖6中示出的有源矩陣基板S2中，例如在柵線(G1～G6)的左端一側(cè)，設(shè)置了作為柵電極驅(qū)動(dòng)電路的Y移位寄存器31和緩沖級(jí)33，在右端一側(cè)，設(shè)置了Y移位寄存器32和緩沖級(jí)34。
在該檢查方法中，首先，在使Y移位寄存器32一側(cè)的緩沖級(jí)34的最終級(jí)的輸出電平全部為低電平之后，對(duì)Y移位寄存器31輸入選擇脈沖。具體地說，將Y移位寄存器31一側(cè)的緩沖級(jí)33的最終級(jí)的倒相器的輸出信號(hào)依次排他地從低電平切換為高電平。其結(jié)果，在柵線G1、G2、…、G6中依次流過電流i1、i2、…、i6。通過在緩沖級(jí)34的附近測定這些電流值，對(duì)于柵線逐條地檢查斷線的有無。
在此，如果電流i1、i2、…、i6的電流值為預(yù)定值以上，則可判斷為在該柵線中沒有斷線。與此不同，在被測定的電流值比預(yù)定值低的情況下，可判斷為在該柵線中存在某種缺陷。
但是，在使用由最高工藝溫度約為400～600℃的低溫工藝制成的多晶硅來形成Y移位寄存器31和32的情況下，可知該Y移位寄存器31和32被靜電破壞而成為功能不全的危險(xiǎn)性高。再者，也有由于粒子等的影響而產(chǎn)生圖形不良、由此在Y移位寄存器31和32中產(chǎn)生功能不全的情況。
因而，例如在Y移位寄存器31和32的至少一方中產(chǎn)生不良情況、緩沖級(jí)33和34的全部被固定于高電平的情況下，在上述的斷線檢查方法中不能依次選擇柵線(G1～G6)而流過電流。因而，在上述的斷線檢查方法中，存在不能始終穩(wěn)定地進(jìn)行斷線檢查操作的擔(dān)心。
再者，在上述的斷線檢查方法中，必須依次選擇龐大的條數(shù)的布線的每一條來檢測出斷線的有無。因而，也存在在檢查中所需要的時(shí)間變長的問題。
發(fā)明的公開本發(fā)明是鑒于上述的情況而進(jìn)行的，其目的在于提供這樣一種電光裝置用基板和有源矩陣基板以及電光裝置用基板的檢查方法，其中，能迅速且可靠地確定缺陷部位，而且，能始終穩(wěn)定地進(jìn)行缺陷檢查。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種以具備多條布線、多個(gè)開關(guān)元件和通電裝置為特征的電光裝置用基板。在此，多個(gè)開關(guān)元件的每一個(gè)被插到鄰接的上述各布線之間。此外，多個(gè)開關(guān)元件的每一個(gè)屬于第1組或第2組的某一組，相鄰的開關(guān)元件屬于不同的組，能以上述各組為單位來切換屬于該組的開關(guān)元件的通斷。此外，上述通電裝置使電流流過由通過多個(gè)開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓。
此外，本發(fā)明提供一種上述的電光裝置用基板的檢查方法。該檢查方法是電光裝置用基板的檢查方法，該電光裝置用基板具有多條布線和分別插在鄰接的上述各布線間的多個(gè)開關(guān)元件，其特征在于將上述多個(gè)開關(guān)元件分成第1組和第2組，以使鄰接的開關(guān)元件屬于不同的組，該電光裝置用基板的檢查方法具有第1布線檢查過程，在使屬于上述第1組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無；第2布線檢查過程，在使屬于上述第2組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無；以及缺陷判定過程，根據(jù)上述第1布線檢查過程的判定結(jié)果和上述第2布線檢查過程的判定結(jié)果判定具有缺陷的布線。
按照這樣的電光裝置用基板的檢查方法，因?yàn)槟芘卸ㄓ舌徑拥?條布線構(gòu)成的布線對(duì)中的缺陷的有無，故可高速地檢測出各布線的缺陷的有無。此外，由于能判定由利用屬于第1組的開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的布線對(duì)中的缺陷的有無和由利用屬于第2組的開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的布線對(duì)中的缺陷的有無，故可根據(jù)各判定結(jié)果比較詳細(xì)地確定具有缺陷的布線。
此外，本發(fā)明提供一種電光裝置用基板，其特征在于，具備分別具有第1端部和第2端部的多條布線；多個(gè)第1開關(guān)元件，該多個(gè)第1開關(guān)元件是分別插在鄰接的上述各布線間的上述第1端部附近的多個(gè)第1開關(guān)元件，分別屬于第1組或第2組的某一組，相鄰的開關(guān)元件屬于不同的組，能以上述各組為單位進(jìn)行屬于該組的開關(guān)元件的通斷切換；多個(gè)第2開關(guān)元件，該多個(gè)第2開關(guān)元件是分別插在鄰接的上述各布線間的上述第2端部附近的多個(gè)第2開關(guān)元件，分別屬于第3組或第4組的某一組，相鄰的開關(guān)元件屬于不同的組，能以上述各組為單位進(jìn)行屬于該組的開關(guān)元件的通斷切換；第1通電裝置，使電流流過由通過上述多個(gè)第1開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓；以及第2通電裝置，使電流流過由通過上述多個(gè)第2開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓。
此外，本發(fā)明提供一種電光裝置用基板的檢查方法。該檢查方法將上述多個(gè)第1開關(guān)元件分成第1組和第2組，以使鄰接的第1開關(guān)元件屬于不同的組，具有執(zhí)行第1過程和第2過程中的一方的檢查過程。第1過程由下述的第1布線檢查過程和第2布線檢查過程構(gòu)成第1布線檢查過程，在使屬于上述第1組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使用上述第2通電裝置使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無；第2布線檢查過程，在使屬于上述第2組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使用上述第2通電裝置使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無。此外，第2過程由下述的第1布線檢查過程和第2布線檢查過程構(gòu)成第1布線檢查過程，在使屬于上述第3組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使用上述第1通電裝置使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無；第2布線檢查過程，在使屬于上述第4組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使用上述第1通電裝置使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無。此外，該檢查方法具有缺陷判定過程，根據(jù)上述第1布線檢查過程的判定結(jié)果和上述第2布線檢查過程的判定結(jié)果判定具有缺陷的布線。
按照這樣的電光裝置用基板的檢查方法，因?yàn)榧词沟?通電裝置和第2通電裝置的某一方的功能不良，也可使用另一方進(jìn)行檢查，故具有能始終進(jìn)行穩(wěn)定的檢查的優(yōu)點(diǎn)。
此外，在上述電光裝置用基板中，上述第1通電裝置和第2通電裝置的每一個(gè)可以是可作為上述多個(gè)布線的驅(qū)動(dòng)裝置使用的電路。即，可將各通電裝置作成包含依次對(duì)指令各布線的驅(qū)動(dòng)的數(shù)據(jù)進(jìn)行移位的移位寄存器和多個(gè)3態(tài)緩沖器的結(jié)構(gòu)，其中該多個(gè)3態(tài)緩沖器是分別與上述移位寄存器的各級(jí)對(duì)應(yīng)的多個(gè)3態(tài)緩沖器，各自的輸出端與上述各布線的端部連接。如果這樣做，則由于沒有必要另外設(shè)置布線檢查用的電路，故可降低制造成本。
此外，本發(fā)明提供一種電光裝置用基板，其特征在于，具備多條布線，交替地配置多條第1布線的每一條和多條第2布線的每一條而構(gòu)成；多個(gè)開關(guān)元件，插在上述多條第1布線的每一條與在一側(cè)與該各第1布線鄰接的各第2布線之間；以及通電裝置，使電流流過由通過上述多個(gè)開關(guān)元件的每一個(gè)串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓。
此外，本發(fā)明提供一種電光裝置用基板的檢查方法。該檢查方法的特征在于具有下述的布線檢查過程在使上述多個(gè)開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無。
按照這樣的電光裝置用基板的檢查方法，由于可判定在由相互串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)的某一個(gè)中存在缺陷，故具有能迅速且詳細(xì)地進(jìn)行布線的檢查的優(yōu)點(diǎn)。
附圖的簡單說明圖1是示出作為本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的電光裝置用基板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是示出作為該實(shí)施形態(tài)的電光裝置用基板的檢查順序的流程圖。
圖3是示出作為該實(shí)施形態(tài)的電光裝置用基板的檢查方法的圖。
圖4(a)是示出使用了作為該實(shí)施形態(tài)的電光裝置用基板的電光裝置的結(jié)構(gòu)的平面圖，(b)是(a)中的A-A’線的剖面圖。
圖5是示出作為本發(fā)明的變形例的電光裝置用基板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖6是示出應(yīng)用了現(xiàn)有的檢查方法的電光裝置用基板的一例的圖。
用于實(shí)施發(fā)明的最佳形態(tài)以下，參照


本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。
<電光裝置用基板的結(jié)構(gòu)>
圖1是示出與本發(fā)明有關(guān)的電光裝置用基板S1的結(jié)構(gòu)的圖。在該電光裝置用基板S1中，多條柵線在水平方向上延伸而被形成，多條數(shù)據(jù)線在垂直方向上延伸而被形成。再有，在圖1中，為了方便起見，示出了形成了6條柵線G1～G6和6條數(shù)據(jù)線D1～D6的電光裝置用基板S1。但是，在實(shí)際的電光裝置中，以柵線是480條、數(shù)據(jù)線是640×3條(對(duì)應(yīng)于RGB各色)、或柵線是1024條、數(shù)據(jù)線是1280×3條那樣的條數(shù)來形成。
在各柵線G1～G6和數(shù)據(jù)線D1～D6的交叉部分處分別形成了薄膜晶體管(TFT)。各薄膜晶體管的柵與柵線連接。各薄膜晶體管的源與數(shù)據(jù)線連接。此外，各薄膜晶體管的漏與像素電極連接。在這樣的結(jié)構(gòu)中，根據(jù)供給柵線的電壓對(duì)各薄膜晶體管進(jìn)行通斷控制。而且，在各薄膜晶體管成為導(dǎo)通狀態(tài)的期間內(nèi)，將施加到數(shù)據(jù)線上的電壓供給各像素電極。
在該實(shí)施形態(tài)中，上述TFT由將多晶硅層作為溝道層的所謂的多晶硅TFT來構(gòu)成，利用同一工藝與構(gòu)成外圍電路的晶體管(開關(guān)元件)一起同時(shí)被形成。
在相鄰的各柵線G1～G6間，在其兩端部附近，設(shè)置了多個(gè)開關(guān)元件。各開關(guān)元件用于切換相互鄰接的各柵線之間的導(dǎo)通和切斷。這些開關(guān)元件例如用薄膜晶體管(TFT)來形成。再有，以下，將在柵線G1與G2間、柵線G3與G4間和柵線G5與G6間被設(shè)置的各薄膜晶體管中的在各柵線的左側(cè)的端部附近被設(shè)置的薄膜晶體管T1a、T1b和T1c總稱為第1左側(cè)晶體管列(T1a、T1b、T1c)，將在各柵線的右側(cè)的端部附近被設(shè)置的薄膜晶體管T3a、T3b和T3c總稱為第1右側(cè)晶體管列(T3a、T3b、T3c)。另一方面，將在柵線G2與G3間和柵線G4與G5間被設(shè)置的各薄膜晶體管中的在各柵線的左側(cè)的端部附近被設(shè)置的薄膜晶體管T2a和T2b總稱為第2左側(cè)晶體管列(T2a、T2b)，將在各柵線的右側(cè)的端部附近被設(shè)置的薄膜晶體管T4a和T4b總稱為第2右側(cè)晶體管列(T4a、T4b)。
第1左側(cè)晶體管列(T1a、T1b、T1c)和第2左側(cè)晶體管列(T2a、T2b)的各柵與基板上被設(shè)置的測試端子連接。而且，構(gòu)成這些晶體管列的薄膜晶體管根據(jù)從該測試端子被輸入的信號(hào)，切換通斷。具體地說，以各晶體管列為單位，切換屬于該晶體管列的薄膜晶體管的通斷。
同樣，第1右側(cè)晶體管列(T3a、T3b、T3c)和第2右側(cè)晶體管列(T4a、T4b)的各柵也與基板上被設(shè)置的測試端子連接。而且，構(gòu)成這些晶體管列的薄膜晶體管根據(jù)從該測試端子被輸入的信號(hào)，切換通斷。具體地說，以各晶體管列為單位，切換屬于該晶體管列的薄膜晶體管的通斷。
此外，將Y移位寄存器1通過緩沖級(jí)3連接到各柵線G1～G6左側(cè)的一端。另一方面，將Y移位寄存器2通過緩沖級(jí)4連接到各柵線G1～G6右側(cè)的一端。
在上述緩沖級(jí)3的最終級(jí)中形成了3態(tài)緩沖器組5。從未圖示的高位裝置將信號(hào)DRV-L供給構(gòu)成3態(tài)緩沖器組5的各3態(tài)緩沖器51～56。此外，在緩沖級(jí)4的最終級(jí)中形成了3態(tài)緩沖器組6。從未圖示的高位裝置將信號(hào)DRV-R供給構(gòu)成該3態(tài)緩沖器組6的各3態(tài)緩沖器61～66。構(gòu)成上述3態(tài)緩沖器組5和3態(tài)緩沖器組6的各3態(tài)緩沖器在從高位裝置被供給的信號(hào)DRV-L或DRV-R為高電平時(shí)，將前級(jí)的倒相器的輸出信號(hào)進(jìn)行電平反轉(zhuǎn)，輸出到柵線上。此外，在由高位裝置供給的信號(hào)DRV-L或DRV-R為低電平時(shí)，各3態(tài)緩沖器的輸出部成為高阻抗?fàn)顟B(tài)。再有，所謂上述的高位裝置，例如是通過在基板上被形成的測試端子能對(duì)各3態(tài)緩沖器供給信號(hào)DRV-L或DRV-R的測試裝置。
另一方面，數(shù)據(jù)線D1、D3和D5的一端(在圖1中，是上側(cè)的一端)通過薄膜晶體管T6a、T6b、T6c與數(shù)據(jù)輸入線SRC2連接。此外，數(shù)據(jù)線D2、D4和D6的一端(在圖1中，是上側(cè)的一端)通過薄膜晶體管T5a、T5b、T5c與數(shù)據(jù)輸入線SRC1連接。這些薄膜晶體管的柵與X移位寄存器7連接。根據(jù)從X移位寄存器7被供給的信號(hào)，對(duì)各薄膜晶體管進(jìn)行通斷控制。而且，由此，能切換數(shù)據(jù)線D1、D3和D5與數(shù)據(jù)輸入線SRC2之間的導(dǎo)通或切斷，另一方面，能切換數(shù)據(jù)線D2、D4和D6與數(shù)據(jù)輸入線SRC1之間的導(dǎo)通或切斷。即，可將從未圖示的高位裝置供給數(shù)據(jù)輸入線SRC1和SRC2的電壓施加到數(shù)據(jù)線D1～D6上。
此外，在數(shù)據(jù)線D1～D6的另一端一側(cè)(在圖1中，是下端一側(cè))設(shè)置了切換鄰接的各數(shù)據(jù)線之間的導(dǎo)通、切斷用的薄膜晶體管。以下，將設(shè)置在數(shù)據(jù)線D1和D2之間的薄膜晶體管T7a、設(shè)置在數(shù)據(jù)線D3和D4之間的薄膜晶體管T7b、設(shè)置在數(shù)據(jù)線D5和D6之間的薄膜晶體管T7c總稱為第1晶體管列(T7a、T7b、T7c)。另一方面，將設(shè)置在數(shù)據(jù)線D2和D3之間的薄膜晶體管T8a和設(shè)置在數(shù)據(jù)線D4和D5之間的薄膜晶體管T8b總稱為第2晶體管列(T8a、T8b)。
第1晶體管列(T7a、T7b、T7c)和第2晶體管列(T8a、T8b)的各柵與基板上被設(shè)置的測試端子連接。而且，構(gòu)成各晶體管列的薄膜晶體管根據(jù)從該測試端子被輸入的信號(hào)，切換通斷。具體地說，以各晶體管列為單位，切換屬于該晶體管列的薄膜晶體管的通斷。
以上是與本發(fā)明有關(guān)的電光裝置用基板的結(jié)構(gòu)。
<電光裝置用基板的檢查順序>
其次，參照圖2中示出的流程圖和圖3(a)和(b)，說明判定柵線G1～G6的缺陷的有無和斷線部位的順序。
首先，檢查Y移位寄存器1或2的功能(步驟ST1)，判定各Y移位寄存器的功能的良否(步驟ST2)。該Y移位寄存器的檢查按照例如以下的順序來進(jìn)行。首先，從基板上被設(shè)置的測試端子對(duì)Y移位寄存器1的數(shù)據(jù)輸入端子輸入某個(gè)數(shù)據(jù)，由Y移位寄存器1對(duì)該數(shù)據(jù)進(jìn)行移位。然后，通過經(jīng)其它測試端子檢測并調(diào)查從Y移位寄存器1的最終級(jí)輸出的數(shù)據(jù)，判定Y移位寄存器1的功能的良否。對(duì)于Y移位寄存器2也進(jìn)行同樣的檢查，判定各Y移位寄存器的功能的良否。
其結(jié)果，在判定為Y移位寄存器1和2都為不合格的情況下，因?yàn)槟芘袛酁樵撾姽庋b置用基板S1為不合格品，故用不著進(jìn)行柵線G1～G6等的缺陷的有無的檢查，直接結(jié)束檢查(步驟ST3和ST4)。
另一方面，在步驟ST2中，在判定為某一方的Y移位寄存器、或兩方的Y移位寄存器為合格品的情況下，轉(zhuǎn)移到柵線G1～G6的斷線的有無的檢查。再有，即使在判定為某一方的Y移位寄存器為不合格品的情況下，也能使用另一方的Y移位寄存器來顯示圖像。因而，在該時(shí)刻，將該電光裝置用基板本身作為大致的合格品，進(jìn)行以后的檢查。
柵線G1～G6的缺陷的有無的檢查可分為第1柵線斷線檢查過程和第2柵線斷線檢查過程。以下，對(duì)這些檢查過程的每一個(gè)，說明檢查的內(nèi)容。再有，在此，在上述步驟ST2中，設(shè)定判斷為Y移位寄存器1為工作不良的情況(步驟ST9)。
(1)第1柵線斷線檢查過程首先，對(duì)第1左側(cè)晶體管列(T1a、T1b、T1c)的各柵，從基板上的測試端子輸入使各薄膜晶體管成為導(dǎo)通狀態(tài)的信號(hào)。另一方面，預(yù)先使第2左側(cè)晶體管列(T2a、T2b)、第1右側(cè)晶體管列(T3a、T3b、T3c)和第2右側(cè)晶體管列(T4a、T4b)處于關(guān)斷狀態(tài)。此外，對(duì)與Y移位寄存器1連接的緩沖級(jí)3內(nèi)的各3態(tài)緩沖器51～56供給低電平的信號(hào)DRV-L，使各3態(tài)緩沖器51～56的輸出部處于高阻抗?fàn)顟B(tài)。
其結(jié)果，如圖3(a)中所示，在各柵線的左端的端部，柵線G1與G2之間、柵線G3與G4之間和柵線G5與G6之間被導(dǎo)通。
其次，通過由Y移位寄存器2依次對(duì)1比特的數(shù)據(jù)“1”進(jìn)行移位，相對(duì)于被導(dǎo)通的各柵線，分別依次使電流流過。即，如果Y移位寄存器2的6級(jí)的輸出狀態(tài)成為“100000”，則從3態(tài)緩沖器61輸出高電平的信號(hào)，從其它3態(tài)緩沖器輸出低電平的信號(hào)。其結(jié)果，在柵線G1和G2的任一條都沒有斷線的情況下，電流i12經(jīng)柵線G1→薄膜晶體管T1a→柵線G2這樣的路徑流動(dòng)。其次，如果使Y移位寄存器2進(jìn)行移位工作，Y移位寄存器2的6級(jí)的輸出狀態(tài)成為“001000”，則從3態(tài)緩沖器63輸出高電平的信號(hào)，從其它3態(tài)緩沖器輸出低電平的信號(hào)。其結(jié)果，在柵線G3和G4的任一條都沒有斷線的情況下，電流i34經(jīng)柵線G3→薄膜晶體管T1b→柵線G4這樣的路徑流動(dòng)。再者，如果通過使Y移位寄存器2進(jìn)行移位工作，Y移位寄存器2的6級(jí)的輸出狀態(tài)成為“000010”，則從3態(tài)緩沖器65輸出高電平的信號(hào)，從其它3態(tài)緩沖器輸出低電平的信號(hào)。其結(jié)果，在柵線G5和G6的任一個(gè)都沒有斷線的情況下，電流i56經(jīng)柵線G5→薄膜晶體管T1c→柵線G6這樣的路徑流動(dòng)。這樣，分別依次電流使流過被導(dǎo)通的一對(duì)柵線之間。
另一方面，與該工序并行地，依次測定上述電流i12、i34及i56的電流值。通過例如用電流計(jì)測定包含各3態(tài)緩沖器的電源電流的電光裝置用基板整體的電源電流，求出與Y移位寄存器2的6級(jí)的輸出狀態(tài)為“000000”時(shí)的電源電流的差分，可實(shí)施這些各電流值的測定。
再有，可在3態(tài)緩沖器61～66的輸出端子上形成電流測定用的焊區(qū)(pad)，將探針與該焊區(qū)接觸，求出2個(gè)焊區(qū)間的電壓、即2條柵線的電壓降。具體地說，如下所述。首先，在被導(dǎo)通的一對(duì)柵線的任一條中都沒有斷線或布線狹窄部的情況下被檢測的電壓為2iRL。在此，i是流過一對(duì)柵線的電流的電流值，RL是每一條柵線的電阻值。另一方面，在某一條柵線中存在布線狹窄部的情況下，被測定的電壓用i(RB+2RL)來表示。RB是在布線狹窄部等的缺陷部位的電阻值。然后，求出這些電壓的差、即2iRL-i(RB+2RL)。然后，通過將該值與預(yù)定值比較，判定在柵線中是否存在斷線或布線狹窄部。在此，在上述的現(xiàn)有的技術(shù)中示出的布線檢查方法、即連接全部柵線、形成1條布線來測定該布線的兩端的電位差的方法中，在布線數(shù)多的情況下存在缺陷的檢測變得困難的問題。與此不同，按照本實(shí)施形態(tài)，由于成為求被導(dǎo)通的2條柵線的電壓降，故有即使在布線多的情況下也能可靠地檢測出各布線的缺陷的優(yōu)點(diǎn)。
再有，以下，求出流過各柵線的電流的電流值，根據(jù)該電流值來判定布線的缺陷的有無，以此來進(jìn)行說明。
那么，通過比較這樣測定的各電流值和預(yù)先求出的預(yù)定值，來判定各柵線中的斷線的有無(步驟ST10)。即，例如如果被測定的電流值超過預(yù)定值，則判定為該柵線間沒有斷線，在低于預(yù)定值的情況下，判定為在某一條柵線中存在斷線。再有，上述預(yù)定值是根據(jù)實(shí)驗(yàn)等的結(jié)果預(yù)先求出的值。
在圖3(a)中示出的例子中，實(shí)線的箭頭示出了超過上述預(yù)定值的電流流動(dòng)的情況。與此不同，空白的箭頭示出了低于上述預(yù)定值的電流流動(dòng)，或電流完全沒有流動(dòng)的情況。在圖3(a)中示出的例子中，由于只有電流i12超過預(yù)定值，故可判定為在柵線G1和G2中沒有斷線。另一方面，由于電流i34低于預(yù)定值，故在該階段中，可判定為柵線G3和G4的一方或兩方中存在斷線或布線狹窄部等的缺陷。同樣，由于電流i56也低于預(yù)定值，故可判定為柵線G5和G6的一方或兩方中存在斷線。
但是，在該時(shí)刻，不能確定被判定為存在斷線的1對(duì)柵線(柵線G3和G4以及柵線G5和G6)中的哪一條柵線中產(chǎn)生了斷線。為了明確這一點(diǎn)，在上述順序后，執(zhí)行以下示出的第2柵線斷線檢查過程。因而，在第1柵線斷線檢查過程中，在流過全部的柵線間的電流的電流值超過預(yù)定值的情況下，因?yàn)榭膳卸樵谌康臇啪€中沒有斷線，故可省略以下示出的第2柵線斷線檢查過程。此時(shí)，電流值測定用的工作量與上述圖6中示出的現(xiàn)有的斷線檢查方法比較，大致為一半就夠了。
(2)第2柵線斷線檢查過程接著，對(duì)第2左側(cè)晶體管列(T2a、T2b)的各柵，從測試端子輸入使各薄膜晶體管成為導(dǎo)通狀態(tài)的信號(hào)。另一方面，預(yù)先使第1左側(cè)晶體管列(T1a、T1b、T1c)、第1右側(cè)晶體管列(T3a、T3b、T3c)和第2右側(cè)晶體管列(T4a、T4b)處于關(guān)斷狀態(tài)。此外，使緩沖級(jí)3內(nèi)的各3態(tài)緩沖器51～56的輸出部處于高阻抗?fàn)顟B(tài)。
由此，如圖3(b)中所示，在各柵線的左端一側(cè)，可使在柵線G2與G3之間和柵線G4與G5之間導(dǎo)通。接著，與上述第1柵線斷線檢查過程相同，通過由Y移位寄存器2依次對(duì)1比特的數(shù)據(jù)“1”進(jìn)行移位，相對(duì)于被導(dǎo)通的一對(duì)的各柵線，分別依次使電流流過。即，如果Y移位寄存器2的6級(jí)的輸出狀態(tài)成為“010000”，則在柵線G2和G3的任一條都沒有斷線的情況下，電流i23經(jīng)柵線G2→薄膜晶體管T2a→柵線G3這樣的路徑流動(dòng)。其次，如果使Y移位寄存器2進(jìn)行移位工作，Y移位寄存器2的6級(jí)的輸出狀態(tài)成為“000100”，則電流i45經(jīng)柵線G4→薄膜晶體管T1b→柵線G5這樣的路徑流動(dòng)。
然后，測定該電流i23和i45的電流值?？衫门c在上述第1柵線斷線檢查過程中已說明的相同的方法來實(shí)施該測定。其次，將該測定結(jié)果與上述的預(yù)定值比較。其結(jié)果，在被測定的電流值超過預(yù)定值的情況下，判定為該柵線間沒有斷線。另一方面，在被測定的電流值低于預(yù)定值的情況下，判定為在一對(duì)柵線中的一方或兩方中存在斷線。即，在圖3(b)中示出的例子中，由于i23和i45都低于預(yù)定值，故判定為在柵線G2和G3的的一方或兩方和在柵線G4和G5的一方或兩方中存在斷線的可能性。
在此，通過綜合地考慮該判定結(jié)果及上述的第1柵線斷線檢查過程的判定結(jié)果，可確定在哪一條柵線中產(chǎn)生了缺陷。即，在第2柵線斷線檢查過程中，雖然判定為在柵線G2和G3的一方或兩方中存在缺陷，但在第1柵線斷線檢查過程中，判定為在柵線G2中沒有缺陷。如果考慮這些判定結(jié)果，則結(jié)果是，可確定在柵線G3中存在缺陷。
再有，關(guān)于柵線G4、G5和G6，由于電流i34、i45和i56都低于預(yù)定值，故不能確定在哪一條柵線中存在缺陷。但是，可判定為在柵線G4～G5中存在連續(xù)或斷續(xù)的缺陷部位。
以上已說明的檢查的結(jié)果，在判定為在某一條柵線中存在缺陷的情況下，將該電光裝置用基板判定為不合格品，結(jié)束檢查(步驟ST10、ST3和ST4)。另一方面，在判定為在哪一條柵線中也沒有斷線的情況下，將該電光裝置用基板判定為合格品(步驟ST11和ST17)。在此，在上述步驟ST1中，判定了Y移位寄存器1的功能為不合格。因而，在實(shí)際上將該電光裝置用基板S1用于電光裝置的情況下，利用Y移位寄存器2來驅(qū)動(dòng)各柵線(步驟ST12)。此時(shí)，使構(gòu)成作為功能不全的Y移位寄存器1一側(cè)的3態(tài)緩沖器組5的各3態(tài)緩沖器51～56處于高阻抗?fàn)顟B(tài)。
此外，根據(jù)以上已說明的檢查(步驟ST9)的結(jié)果，通過檢驗(yàn)柵線G3～G6附近的布線形成工序等，可追蹤斷線發(fā)生的原因、或進(jìn)行推測。因而，可采取防止柵線的斷線等的再次發(fā)生的對(duì)策。此外，由于可在短時(shí)間內(nèi)可靠地檢測出柵線中的斷線的有無，故能可靠地避免將具有斷線等的缺陷的電光裝置用基板供給電光裝置的組裝線。
但是，在圖2中的步驟ST2中，在判定為在Y移位寄存器2中產(chǎn)生了某種工作不良的情況下，使用Y移位寄存器1進(jìn)行上述的步驟ST9中的一系列的檢查工序(步驟ST13)。即，首先，對(duì)緩沖級(jí)4內(nèi)的各3態(tài)緩沖器61～66供給低電平的信號(hào)DRV-R，使各3態(tài)緩沖器61～66的輸出部處于高阻抗?fàn)顟B(tài)。然后，在第1柵線斷線檢查過程中，對(duì)第1右側(cè)晶體管列(T3a、T3b、T3c)的各柵從測試端子供給使各薄膜晶體管成為導(dǎo)通狀態(tài)的信號(hào)。另一方面，預(yù)先使第1左側(cè)晶體管列(T1a、T1b、T1c)、第2左側(cè)晶體管列(T2a、T2b)和第2右側(cè)晶體管列(T4a、T4b)處于關(guān)斷狀態(tài)。其結(jié)果，在各柵線的右側(cè)的端部，柵線G1與G2之間、柵線G3與G4之間和柵線G5與G6之間被導(dǎo)通。
在該狀態(tài)下，使Y移位寄存器1工作，分別使電流流過被導(dǎo)通的一對(duì)柵線。然后，通過測定該電流值，比較被測定的電流值與上述的預(yù)定值，判定各柵線的斷線的有無。
另一方面，在第2柵線斷線檢查過程中，對(duì)第2右側(cè)晶體管列(T4a、T4b)的各柵從測試端子供給使各薄膜晶體管成為導(dǎo)通狀態(tài)的信號(hào)。另一方面，預(yù)先使第1左側(cè)晶體管列(T1a、T1b、T1c)、第2左側(cè)晶體管列(T2a、T2b)和第1右側(cè)晶體管列(T3a、T3b、T3c)處于關(guān)斷狀態(tài)。其結(jié)果，柵線G2與G3之間和柵線G4與G5之間在各柵線的右側(cè)的端部附近被導(dǎo)通。在該狀態(tài)下，使Y移位寄存器1工作，分別使電流流過被導(dǎo)通的一對(duì)柵線。然后，通過比較該電流值與預(yù)定值，判斷各柵線的斷線的有無(步驟ST14)。
再有，在此，在步驟ST2中，判斷為Y移位寄存器2為不合格。因而，上述檢查的結(jié)果，在判斷為哪一條布線中也沒有缺陷的情況下，該電光裝置用基板的柵線由Y移位寄存器1來驅(qū)動(dòng)(步驟ST16)。
此外，在圖2中的步驟ST2中，在判定為Y移位寄存器1和2都是合格品的情況下，使用Y移位寄存器1或2的某一方或兩方來進(jìn)行與上述步驟ST9中的一系列的檢查工序同樣的工序(步驟ST5)。其結(jié)果，在判斷為哪一條布線中也沒有缺陷的情況下，該電光裝置用基板的柵線由Y移位寄存器1或2的一方或兩方來驅(qū)動(dòng)(步驟ST8)。
如以上所說明的那樣，按照與本發(fā)明有關(guān)的電光裝置用基板S1，即使在例如左右一方的Y移位寄存器或緩沖級(jí)受到靜電破壞、或因圖形不良等而成為功能不全的情況下，如果一方的移位寄存器或緩沖級(jí)處于正常工作的狀態(tài)，則可進(jìn)行斷線檢查。此外，由于可獨(dú)立地使緩沖級(jí)內(nèi)的各3態(tài)緩沖器處于高阻抗?fàn)顟B(tài)，故即使假定移位寄存器的一方為功能不全，通過使功能不全的移位寄存器一側(cè)的3態(tài)緩沖器組處于高阻抗?fàn)顟B(tài)，可進(jìn)行象以往那樣的驅(qū)動(dòng)。因而，可提高電光裝置的合格品率。
其次，說明數(shù)據(jù)線D1～D6的缺陷的檢查順序。
在原理上說，利用大致與柵線的檢查同樣的順序來進(jìn)行數(shù)據(jù)線D1～D6的檢查。以下，關(guān)于數(shù)據(jù)線D1～D6的斷線檢查，分為第1數(shù)據(jù)線斷線檢查過程和第2數(shù)據(jù)線斷線檢查過程來說明。
(1)第1數(shù)據(jù)線斷線檢查過程首先，對(duì)第1晶體管列(T7a、T7b、T7c)的各柵，從測試端子供給使各薄膜晶體管成為導(dǎo)通狀態(tài)的信號(hào)。另一方面，預(yù)先使第2晶體管列(T8a、T8b、T8c)處于關(guān)斷狀態(tài)。其結(jié)果，數(shù)據(jù)線D1與D2之間、數(shù)據(jù)線D3與D4之間和數(shù)據(jù)線D5與D6之間在各數(shù)據(jù)線的一端處被導(dǎo)通。另一方面，預(yù)先對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線SRC2施加高電平的電壓，對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)線SRC1施加低電平的電壓。其次，通過由X移位寄存器7依次對(duì)2比特的數(shù)據(jù)“11”進(jìn)行移位，相對(duì)于被導(dǎo)通的各柵線，依次使電流流過。即，如果X移位寄存器7的6級(jí)的輸出狀態(tài)成為“110000”，則數(shù)據(jù)線D1與數(shù)據(jù)信號(hào)線SRC2導(dǎo)通，同時(shí)，數(shù)據(jù)線D2與數(shù)據(jù)信號(hào)線SRC1導(dǎo)通。其結(jié)果，在數(shù)據(jù)線D1和D2的哪一條中都沒有斷線的情況下，電流i12經(jīng)數(shù)據(jù)線D1→薄膜晶體管T7a→數(shù)據(jù)線D2這樣的路徑流動(dòng)。接著，使X移位寄存器7工作，X移位寄存器7的6級(jí)的輸出狀態(tài)為“001100”。由此，數(shù)據(jù)線D3與數(shù)據(jù)信號(hào)線SRC2導(dǎo)通，同時(shí)，數(shù)據(jù)線D4與數(shù)據(jù)信號(hào)線SRC1導(dǎo)通。其結(jié)果，在數(shù)據(jù)線D3和D4的哪一條中都沒有斷線的情況下，電流i34經(jīng)數(shù)據(jù)線D3→薄膜晶體管T7b→數(shù)據(jù)線D4這樣的路徑流動(dòng)。同樣，通過使X移位寄存器7的6級(jí)的輸出狀態(tài)成為“000011”，電流i56在數(shù)據(jù)線D5與D6之間流動(dòng)。這樣，可使電流依次流過由第1晶體管列(T7a、T7b、T7c)導(dǎo)通的一對(duì)數(shù)據(jù)線之間。另一方面，與上述工序并行地，測定上述的電流i12、i34和i56的電流值。然后，通過比較該被測定的電流值與預(yù)先求出的預(yù)定值，可判定被導(dǎo)通的一對(duì)數(shù)據(jù)線中的斷線的有無。
(2)第2數(shù)據(jù)線斷線檢查過程其次，對(duì)第2晶體管列(T8a、T8b)的各柵，從測試端子供給使各薄膜晶體管成為導(dǎo)通狀態(tài)的信號(hào)。另一方面，預(yù)先使第1晶體管列(T7a、T7b、T7c)處于關(guān)斷狀態(tài)。其結(jié)果，數(shù)據(jù)線D2與D3之間和數(shù)據(jù)線D4與D5之間在各數(shù)據(jù)線的下側(cè)的一端處被導(dǎo)通。接著，使用X移位寄存器7，使與數(shù)據(jù)線D2連接的薄膜晶體管T5a和與數(shù)據(jù)線D3連接的薄膜晶體管T5b導(dǎo)通。其結(jié)果，可使電流i23在數(shù)據(jù)線D2與D3之間流過。以后，通過按照同樣的順序，使電流i45在數(shù)據(jù)線D4與D5之間流過。測定該電流i23和i45的電流值，通過與上述預(yù)定值比較，判定被導(dǎo)通的一對(duì)數(shù)據(jù)線中的斷線的有無。
然后，綜合地考慮上述的第1數(shù)據(jù)線檢查過程和第2數(shù)據(jù)線檢查過程的結(jié)果，可確定存在缺陷的數(shù)據(jù)線。當(dāng)然，在第1數(shù)據(jù)線斷線檢查過程中已了解在全部數(shù)據(jù)線中沒有斷線部位或狹窄部的情況下，沒有必要進(jìn)行第2數(shù)據(jù)線斷線檢查過程。
再有，關(guān)于綜合考慮了第1斷線檢查過程和第2斷線檢查過程中的判定和雙方的檢查過程的判定結(jié)果的最終的判定，也可利用微型計(jì)算機(jī)等自動(dòng)地進(jìn)行。
此外，可將斷線檢查的檢查結(jié)果存儲(chǔ)在硬盤等的存儲(chǔ)裝置中，或利用打印機(jī)打印并輸出該結(jié)果。如果這樣做，則可把斷線結(jié)果作為研究斷線發(fā)生的原因等用的資料充分地利用。
此外，在本實(shí)施形態(tài)中，為了簡化起見，說明了分別各設(shè)置6條柵線和數(shù)據(jù)線的情況。與此不同，在實(shí)際的電光裝置中，已知設(shè)置了480條柵線、640×3條(對(duì)應(yīng)于RGB各色)數(shù)據(jù)線的裝置、或設(shè)置了1024條柵線、1280×3條數(shù)據(jù)線的裝置。即使是這樣的結(jié)構(gòu)的電光裝置，當(dāng)然也可按照上述順序進(jìn)行各柵線和數(shù)據(jù)線的斷線檢查。
<電光裝置的整體結(jié)構(gòu)>
其次，參照圖4，說明使用了上述的電光裝置用基板的電光裝置的結(jié)構(gòu)。在此，圖4(a)是示出電光裝置的結(jié)構(gòu)的平面圖，圖4(b)是圖4(a)中的A-A’線的剖面圖。
如這些圖中所示，在電光裝置100中，利用密封材料104，在保持一定的間隙的情況下，將與上述實(shí)施形態(tài)有關(guān)的電光裝置用基板S1與對(duì)置基板102粘貼在一起。在對(duì)置基板102的與電光裝置用基板S1相對(duì)的表面上形成了對(duì)置電極108等。而且，在兩基板的間隙中夾持了作為電光材料的液晶105。再有，實(shí)際上在密封材料104中有切口部分。而且，在通過該切口部分封入了液晶105后，利用密封材料進(jìn)行密封。其中，在圖4(a)和(b)中省略了切口部分和密封材料。此外，如上所述，與多條柵線和多條數(shù)據(jù)線的交叉部分相對(duì)應(yīng)，設(shè)置了薄膜晶體管(在圖4(a)和(b)中未圖示)。將像素電極118連接到該薄膜晶體管的漏上。如圖4(a)中所示，與各柵線和數(shù)據(jù)線的交叉部分相對(duì)應(yīng)，以矩陣狀配置了各像素電極118。此外，在圖4(a)中的區(qū)域107中，形成了多個(gè)連接端子。各連接端子的一端與上述的Y移位寄存器1和2以及X移位寄存器7等連接。另一方面，各連接端子的另一端與外部裝置的輸出端子連接。由此，將來自外部裝置的信號(hào)和電源供給電光裝置100的各部分。
<變形例>
與上述實(shí)施形態(tài)有關(guān)的電光裝置用基板S1作成在多條柵線的兩端分別連接Y移位寄存器1和2、在鄰接的全部柵線間設(shè)置了薄膜晶體管的結(jié)構(gòu)。但是，電光裝置的結(jié)構(gòu)不限于此。以下，參照圖5，說明與本發(fā)明的變形例有關(guān)的電光裝置用基板S3及其檢查方法。
如該圖中所示，該電光裝置用基板S3具備多條柵線G1～G6和Y移位寄存器1。再有，在圖5中，為方便起見，只圖示了6條柵線，但在實(shí)際的電光裝置中，不用說，設(shè)置了條數(shù)更多的柵線。此外，在圖5中，為方便起見，只圖示了柵線G1～G6和Y移位寄存器1，但實(shí)際上，與上述實(shí)施形態(tài)同樣，設(shè)置了多條數(shù)據(jù)線和X移位寄存器。
如圖5中所示，各柵線的一端分別與Y移位寄存器1連接。此外，多個(gè)開關(guān)元件連接到與各柵線G1～G6的與Y移位寄存器1連接的一端相反一側(cè)的一端上。各開關(guān)元件例如是薄膜晶體管，用來切換被連接的2條柵線間的連接和切斷。具體地說，在柵線G1與G2之間設(shè)置了薄膜晶體管T12，在柵線G3與G4之間設(shè)置了薄膜晶體管T34，在柵線G4與G5之間設(shè)置了薄膜晶體管T45。即，如圖5中所示，從上開始數(shù)，在第奇數(shù)條柵線G1、G3、G5與第偶數(shù)條柵線G2、G4、G6之間設(shè)置了薄膜晶體管，其中，第偶數(shù)條柵線G2、G4、G6與這些各第奇數(shù)條柵線在一側(cè)(在圖5中是下側(cè))鄰接。各薄膜晶體管T12、T34、T56的柵分別與設(shè)置在基板上的測試端子連接，根據(jù)由該測試端子供給的信號(hào)切換通斷。
在以上示出的結(jié)構(gòu)的電光裝置S3中，用以下的順序來進(jìn)行柵線的斷線的有無的檢查。
首先，對(duì)各薄膜晶體管T12、T34、T56的柵施加預(yù)定的電壓，使各薄膜晶體管導(dǎo)通。其結(jié)果，在各柵線的右側(cè)的端部附近，可使柵線G1與G2之間、柵線G3與G4之間和柵線G5與G6之間導(dǎo)通。其次，通過由Y移位寄存器1依次對(duì)1比特的數(shù)據(jù)“1”，進(jìn)行移位，相對(duì)于被導(dǎo)通的各柵線，分別依次使電流流過。具體地說，首先，使Y移位寄存器1的6級(jí)的輸出狀態(tài)成為“100000”。其結(jié)果，在柵線G1和G2的任一條中都沒有斷線的情況下，電流i12經(jīng)柵線G1→薄膜晶體管T12→柵線G2這樣的路徑流動(dòng)。其次，使Y移位寄存器1工作，通過使Y移位寄存器1的6級(jí)的輸出狀態(tài)成為“001000”，使電流i34在柵線G3與G4之間流動(dòng)。以后，以同樣的方式，使電流i56在柵線G5與G6之間流動(dòng)。
然后，與上述工序并行地，依次測定上述電流i12、i34、i56的電流值。通過比較該被測定的各電流值與預(yù)先求出的預(yù)定值，可判定各柵線中的斷線的有無。
按照該變形例，如上述實(shí)施形態(tài)那樣，不能確定1條有缺陷的柵線。但是，可判定在一對(duì)柵線中的任一方中有缺陷。再者，由于沒有必要進(jìn)行上述實(shí)施形態(tài)中的第2柵線斷線檢查過程中的工序(即，將相互導(dǎo)通的柵線與另外的柵線調(diào)換來進(jìn)行檢查的工序)，故與上述實(shí)施形態(tài)比較具有能在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行檢查的優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求
1．一種電光裝置用基板，其特征在于，具備多條布線；多個(gè)開關(guān)元件，該多個(gè)開關(guān)元件是分別插在鄰接的上述各布線間的多個(gè)開關(guān)元件，分別屬于第1組或第2組的某一組，相鄰的開關(guān)元件屬于不同的組，能以上述各組為單位進(jìn)行屬于該組的開關(guān)元件的通斷切換；以及通電裝置，使電流流過由通過上述多個(gè)開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓。
2．一種電光裝置用基板，其特征在于，具備分別具有第1端部和第2端部的多條布線；多個(gè)第1開關(guān)元件，該多個(gè)第1開關(guān)元件是分別插在鄰接的上述各布線間的上述第1端部附近的多個(gè)第1開關(guān)元件，分別屬于第1組或第2組的某一組，相鄰的開關(guān)元件屬于不同的組，能以上述各組為單位進(jìn)行屬于該組的開關(guān)元件的通斷切換；多個(gè)第2開關(guān)元件，該多個(gè)第2開關(guān)元件是分別插在鄰接的上述各布線間的上述第2端部附近的多個(gè)第2開關(guān)元件，分別屬于第3組或第4組的某一組，相鄰的開關(guān)元件屬于不同的組，能以上述各組為單位進(jìn)行屬于該組的開關(guān)元件的通斷切換；第1通電裝置，使電流流過由通過上述多個(gè)第1開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓；以及第2通電裝置，使電流流過由通過上述多個(gè)第2開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓。
3．如權(quán)利要求2中所述的電光裝置用基板，其特征在于上述第1通電裝置和第2通電裝置的每一個(gè)是能作為上述多條布線的驅(qū)動(dòng)裝置使用的電路，上述第1通電裝置和第2通電裝置的每一個(gè)具有移位寄存器，依次對(duì)指令各布線的驅(qū)動(dòng)的數(shù)據(jù)進(jìn)行移位；以及多個(gè)3態(tài)緩沖器，該多個(gè)3態(tài)緩沖器是分別與上述移位寄存器的各級(jí)對(duì)應(yīng)的多個(gè)3態(tài)緩沖器，其各自的輸出端與上述各布線的端部連接。
4．一種有源矩陣基板，該有源矩陣基板具備多條選擇線；多條信號(hào)線；與各選擇線和信號(hào)線連接的開關(guān)元件；以及與各開關(guān)元件連接的像素電極，其特征在于，具備多個(gè)檢查用開關(guān)元件，該多個(gè)檢查用開關(guān)元件是分別插在鄰接的上述各信號(hào)線間的多個(gè)檢查用開關(guān)元件，分別屬于第1組或第2組的某一組，相鄰的檢查用開關(guān)元件屬于不同的組，能以上述各組為單位進(jìn)行屬于該組的檢查用開關(guān)元件的通斷切換；以及信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路，該信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路是能使用于上述各信號(hào)線的驅(qū)動(dòng)的信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路，使電流流過由通過上述多個(gè)檢查用開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條信號(hào)線構(gòu)成的多個(gè)信號(hào)線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)信號(hào)線對(duì)施加電壓。
5．一種有源矩陣基板，該有源矩陣基板具備分別具有第1端部和第2端部的多條選擇線；多條信號(hào)線；與各選擇線和信號(hào)線連接的開關(guān)元件；以及與各開關(guān)元件的一端連接的像素電極，其特征在于，具備多個(gè)第1開關(guān)元件，該多個(gè)第1開關(guān)元件是分別插在鄰接的上述各選擇線間的上述第1端部附近的多個(gè)第1開關(guān)元件，分別屬于第1組或第2組的某一組，相鄰的開關(guān)元件屬于不同的組，能以上述各組為單位進(jìn)行屬于該組的開關(guān)元件的通斷切換；多個(gè)第2開關(guān)元件，該多個(gè)第2開關(guān)元件是分別插在鄰接的上述各選擇線間的上述第2端部附近的多個(gè)第2開關(guān)元件，分別屬于第3組或第4組的某一組，相鄰的開關(guān)元件屬于不同的組，能以上述各組為單位進(jìn)行屬于該組的開關(guān)元件的通斷切換；第1選擇線驅(qū)動(dòng)電路，該第1選擇線驅(qū)動(dòng)電路是能在上述各選擇線的驅(qū)動(dòng)中使用的第1選擇線驅(qū)動(dòng)電路，使電流流過由通過上述多個(gè)第1開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條選擇線構(gòu)成的多個(gè)選擇線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)選擇線對(duì)施加電壓；以及第2選擇線驅(qū)動(dòng)電路，該第2選擇線驅(qū)動(dòng)電路是能在上述各選擇線的驅(qū)動(dòng)中使用的第2選擇線驅(qū)動(dòng)電路，使電流流過由通過上述多個(gè)第2開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條選擇線構(gòu)成的多個(gè)選擇線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)選擇線對(duì)施加電壓。
6．一種電光裝置用基板，其特征在于，具備多條布線，交替地配置多條第1布線的每一條和多條第2布線的每一條而構(gòu)成；多個(gè)開關(guān)元件，插在上述多條第1布線的每一條與在一側(cè)與該各第1布線鄰接的各第2布線之間；以及通電裝置，使電流流過由通過上述多個(gè)開關(guān)元件的每一個(gè)串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓。
7．一種電光裝置用基板的檢查方法，該電光裝置用基板具有多條布線和分別插在鄰接的上述各布線間的多個(gè)開關(guān)元件，其特征在于將上述多個(gè)開關(guān)元件分成第1組和第2組，以使鄰接的開關(guān)元件屬于不同的組，該電光裝置用基板的檢查方法具有第1布線檢查過程，在使屬于上述第1組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無；第2布線檢查過程，在使屬于上述第2組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無；以及缺陷判定過程，根據(jù)上述第1布線檢查過程的判定結(jié)果和上述第2布線檢查過程的判定結(jié)果判定具有缺陷的布線。
8．一種電光裝置用基板的檢查方法，該電光裝置用基板具備分別具有第1端部和第2端部的多條布線；分別插在鄰接的上述各布線間的上述第1端部附近的多個(gè)第1開關(guān)元件；分別插在鄰接的上述各布線間的上述第2端部附近的多個(gè)第2開關(guān)元件；與上述多條布線的第1端部連接的第1通電裝置；以及與上述多條布線的第2端部連接的第2通電裝置，其特征在于將上述多個(gè)第1開關(guān)元件分成第1組和第2組，以使鄰接的第1開關(guān)元件屬于不同的組，同時(shí)，將上述多個(gè)第2開關(guān)元件分成第3組和第4組，以使鄰接的第2開關(guān)元件屬于不同的組，該電光裝置用基板的檢查方法具有檢查過程，執(zhí)行下述的第1過程和第2過程中的某一方，該第1過程由下述的第1布線檢查過程和第2布線檢查過程構(gòu)成第1布線檢查過程，在使屬于上述第1組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使用上述第2通電裝置使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無；第2布線檢查過程，在使屬于上述第2組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使用上述第2通電裝置使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無，該第2過程由下述的第1布線檢查過程和第2布線檢查過程構(gòu)成第1布線檢查過程，在使屬于上述第3組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使用上述第1通電裝置使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無；第2布線檢查過程，在使屬于上述第4組的開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使用上述第1通電裝置使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無；以及缺陷判定過程，根據(jù)上述第1布線檢查過程的判定結(jié)果和上述第2布線檢查過程的判定結(jié)果判定具有缺陷的布線。
9．如權(quán)利要求7中所述的電光裝置用基板的檢查方法，其特征在于在上述檢查過程之前，具有判定上述第1通電裝置和第2通電裝置的功能是否良好的判定過程，在上述檢查過程中，在上述判定過程中判定為上述第1通電裝置為不合格的情況下，執(zhí)行上述第1過程，在上述判定過程中判定為上述第2通電裝置為不合格的情況下，執(zhí)行上述第2過程，在上述判定過程中判定為上述第1通電裝置和上述第2通電裝置這兩者為不合格的情況下，不執(zhí)行上述第1過程和第2過程的任一過程。
10．一種電光裝置用基板的檢查方法，該電光裝置用基板具備多條布線，交替地配置多條第1布線的每一條和多條第2布線的每一條而構(gòu)成；以及多個(gè)開關(guān)元件，插在上述多條第1布線的每一條與在一側(cè)與該第1布線鄰接的各第2布線之間，其特征在于具有下述的布線檢查過程在使上述多個(gè)開關(guān)元件導(dǎo)通的同時(shí)，使電流流過由通過該開關(guān)元件串聯(lián)連接的2條布線構(gòu)成的多個(gè)布線對(duì)，或?qū)υ摱鄠€(gè)布線對(duì)施加電壓，由此，判定該布線對(duì)中的缺陷的有無。
全文摘要
在第1柵線斷線檢查過程中,對(duì)第1左側(cè)晶體管列的各柵,供給使各薄膜晶體管成為導(dǎo)通狀態(tài)的信號(hào),測定流過由各薄膜晶體管導(dǎo)通的2條柵線的電流值。在第2柵線斷線檢查過程中,對(duì)第2左側(cè)晶體管列的各柵,供給使各薄膜晶體管成為導(dǎo)通狀態(tài)的信號(hào),測定流過由各薄膜晶體管導(dǎo)通的2條柵線的電流值。其次,根據(jù)第1柵線斷線檢查過程和第2柵線斷線檢查過程的檢查結(jié)果,判定是否在某一條柵線中存在缺陷。
文檔編號(hào)G09G3/20GK1287650SQ99801837
公開日2001年3月14日 申請日期1999年10月15日 優(yōu)先權(quán)日1998年10月16日
發(fā)明者小澤德郎 申請人:精工愛普生株式會(huì)社