專利名稱：基板氣浮式載臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型主要是關(guān)于一種基板氣浮式載臺(tái)，尤指一種可避免于工作件脫離時(shí)，產(chǎn)生靜電的氣浮式載臺(tái)。
一般如步進(jìn)式曝光機(jī)、顯微鏡、光學(xué)式檢測(cè)設(shè)備、加熱板、冷板等裝置，大都會(huì)設(shè)置一用以承載工作件的載臺(tái)，請(qǐng)配合參看圖5，由圖中可看到，現(xiàn)有的載臺(tái)50主要是為一頂面呈光滑平面的臺(tái)體，于載臺(tái)50上設(shè)置有多數(shù)個(gè)真空抽孔52，并設(shè)置一與各真空抽孔52連通的真空泵60及一注氣泵62，另設(shè)有多數(shù)個(gè)貫穿載臺(tái)50的頂針30，并且以一升降機(jī)構(gòu)32來(lái)帶動(dòng)各頂針30相對(duì)載臺(tái)50升降移動(dòng)。
在操作時(shí)，請(qǐng)配合參看圖5、圖6，各頂針30是預(yù)先伸出載臺(tái)50，將工作件40置放于各頂針30上后，以升降機(jī)構(gòu)32帶動(dòng)各頂針30下降，讓工作件40與載臺(tái)50頂面接觸，而被承托于載臺(tái)50上，然后啟動(dòng)真空泵60，并關(guān)閉注氣泵62，使載臺(tái)50上的各真空抽孔52呈現(xiàn)真空狀態(tài)，而對(duì)工作件40產(chǎn)生一份真空吸附的效果，使工作件40得以穩(wěn)固地附著于載臺(tái)50上，以進(jìn)行預(yù)定的工作。
待工作完成后，則關(guān)閉真空泵60，并開啟注氣泵62，以便將微量的特定氣體，一般為氮?dú)?N2)，注入各真空抽孔52以解除載臺(tái)50的真空吸附狀態(tài)，然后再啟動(dòng)升機(jī)構(gòu)32，而透過(guò)各頂針30將工作件40托離載臺(tái)50。
此種現(xiàn)有的載臺(tái)50，因載臺(tái)50與工作件40間是呈完整面積的接觸，并且工作件40因真空吸附而與載臺(tái)50緊密貼合，故當(dāng)以頂針30將工作件40托離載臺(tái)50時(shí)，瞬間的脫離，很容易會(huì)于載臺(tái)50與工作件40間產(chǎn)生大量的靜電，如圖7所示，如此工作件40很容易會(huì)因靜電的產(chǎn)生而遭到破壞，尤其是此種真空吸附載臺(tái)50大都是用于承載如LCD基板、玻璃基板、彩色濾光片、晶圓、PCB內(nèi)層板等對(duì)電敏感度高的工作件40，在操作過(guò)程中所產(chǎn)生的靜電，很容易導(dǎo)致工作件40的破壞、受損，而導(dǎo)致廠商的損失，并提高整體的制造成本。
又為避免靜電產(chǎn)生，有人會(huì)以照射離子風(fēng)或軟X射線的方式來(lái)中和電荷，以避免在工作件40離開載臺(tái)50時(shí)靜電的產(chǎn)生，然而如此雖可避免工作件40的損壞，但卻會(huì)增加所需的設(shè)備成本。
另外，當(dāng)注入氮?dú)鈦?lái)解附載臺(tái)50的真空吸附狀態(tài)時(shí)，若氮?dú)庾⑷氲乃俣冗^(guò)快，很容易會(huì)導(dǎo)致氣壓的不平衡及不穩(wěn)定，使工作件40因快速脫離載臺(tái)50而碎裂。
因此，本創(chuàng)作人有監(jiān)于現(xiàn)有氣浮式載臺(tái)結(jié)構(gòu)及使用上的缺點(diǎn)，特經(jīng)過(guò)不斷的試驗(yàn)與改良，終于發(fā)展出一種能改進(jìn)現(xiàn)有缺點(diǎn)的本實(shí)用新型。
本實(shí)用新型的主要目的，在于提供一種基板氣浮式載臺(tái)，其主要是于載臺(tái)中央凹設(shè)有一凹部，而于載臺(tái)周緣凸設(shè)形成有一承托緣，于載臺(tái)上設(shè)置有多數(shù)個(gè)貫穿凹部及承托緣的真空抽孔，并設(shè)置有多數(shù)個(gè)貫穿至凹部的注氣孔，又各真空抽孔是連接至一真空泵，而各注氣孔則是連接至一注氣泵，如此可由凹部的形成，來(lái)縮減載臺(tái)與工作件間的接觸面積，來(lái)達(dá)到減少工作件脫離載臺(tái)時(shí)靜電產(chǎn)生的目的。
本實(shí)用新型的另一目的，在于提供一種基板氣浮式載臺(tái)，其主要是于載臺(tái)上設(shè)置有一與凹部連通的氣壓感測(cè)裝置，由該氣壓感測(cè)裝置，可偵測(cè)氮?dú)庾⑷霑r(shí)凹部中氣壓的平衡性及穩(wěn)定性，以控制氮?dú)庾⑷氲乃俣龋苊獾獨(dú)庾⑷氲乃俣冗^(guò)快或過(guò)慢，而防止工作件因氣壓不平衡而碎裂。
本實(shí)用新型一種基板氣浮式載臺(tái)，其特征在于，其主要是設(shè)置有一臺(tái)體，于臺(tái)體頂面中央凹設(shè)形成有一凹部，而于臺(tái)體頂面周緣形成有一承托緣，又于臺(tái)體上設(shè)置有多數(shù)個(gè)與凹部連通的真空抽孔及注氣孔，并設(shè)置有一與各真空抽孔連通的一真空泵，以及一與各注氣孔連接的注氣泵，另外于臺(tái)體底部設(shè)置有一可相對(duì)臺(tái)體升降移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)，于升降機(jī)構(gòu)上設(shè)置有多數(shù)個(gè)貫穿臺(tái)體的頂針，而于臺(tái)體上則設(shè)置有多數(shù)個(gè)貫穿承托緣，供各頂針由其中貫穿的頂針孔。
其中于臺(tái)體上設(shè)置有多數(shù)個(gè)貫穿至承托緣頂面的真空抽孔，并且各位于承托緣上的真空抽孔是與真空泵及注氣泵同時(shí)連接。
其載臺(tái)另包含有一與臺(tái)體上凹部連通的氣壓感測(cè)器。
其中載臺(tái)上的凹部是貫穿臺(tái)體，而于載臺(tái)底部固設(shè)有一用以封閉凹部的透光板，并于載臺(tái)的承托緣與透光板上分別設(shè)置有多數(shù)個(gè)可供頂針貫穿其中的頂針孔。
其中于載臺(tái)的承托緣頂面周緣凸設(shè)形成有一護(hù)緣。
其中與凹部連通的真空抽孔及注氣孔是于臺(tái)體橫向貫穿承托緣而與凹部連通。
其中于臺(tái)體上另設(shè)置有數(shù)個(gè)貫穿至承托緣頂面的真空抽孔，并各貫穿承托緣頂面的真空抽孔是同時(shí)與真空泵與注氣浦相連通。
其中凹部是未貫穿臺(tái)體，而各真空抽孔及注氣孔是由載臺(tái)底緣縱向延伸而與凹部連通。
為使審查員能進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)、特征及其他目的，
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明如后，其中


圖1是本實(shí)用新型的上視示意圖。
圖2是本實(shí)用新型的剖面示意圖。
圖3是本實(shí)用新型操作時(shí)的剖面示意圖。
圖4是本實(shí)用新型另一實(shí)施例的剖面示意圖。
圖5是習(xí)用氣浮式載臺(tái)的剖面示意圖。
圖6是習(xí)用載臺(tái)操作實(shí)施的剖面示意圖。
圖7是工作件脫離習(xí)用載臺(tái)時(shí)產(chǎn)生靜電的剖面示意圖。
本實(shí)用新型主要是提供一種基板氣浮式載臺(tái)，請(qǐng)配合參看
圖1、圖2，由圖中可看到，本實(shí)用新型的載臺(tái)10主要是于一臺(tái)體頂面中央凹設(shè)形成有一凹部12，而于載臺(tái)10頂面周緣形成有一承托緣14，又于載臺(tái)10上設(shè)置有多數(shù)個(gè)與凹部12連通的真空抽孔122及注氣孔124，并且各真空抽孔122是連接至一真空泵20，而各注氣孔124則連接至一注氣泵22，其中凹部12是未貫穿載臺(tái)10，而各真空抽孔122及注氣孔124是由載臺(tái)10底緣縱向延伸而與凹部12連通。
另于載臺(tái)10上亦可設(shè)置有多數(shù)個(gè)貫穿至承托緣14頂面的真空抽孔142，并且各位于承托緣14上的真空抽孔142是與真空泵20及注氣泵22同時(shí)連接，另外配合頂針30的設(shè)置，亦可于載臺(tái)10上設(shè)置有多數(shù)個(gè)貫穿承托緣14的頂針孔144，供頂針30由頂針孔144穿過(guò)；另設(shè)置有一與載臺(tái)10上凹部12連通的氣壓感測(cè)器16(已有技術(shù))。
在操作時(shí)，請(qǐng)配合參看圖2、圖3，將以?shī)A具抓取工作件40而將工作件40置放于各穿出頂針孔144的頂針30上，然后啟動(dòng)升降機(jī)構(gòu)32，使各頂針30相對(duì)載臺(tái)10下降，并讓工作件40與載臺(tái)10接觸，此時(shí)因于載臺(tái)10頂面凹設(shè)有一凹部12而形成有一承托緣14，故工作件40僅會(huì)以其周緣部位與載臺(tái)10的承托緣14接觸，而為承托緣14所支撐。
然后啟動(dòng)真空泵20，透過(guò)各與凹部12連通的真空抽孔122，使載臺(tái)10的凹部12內(nèi)形成一真空室，并讓各貫穿承托緣14的真空抽孔142亦呈真空狀態(tài)，而將工作件40吸附于載臺(tái)10上，在此同時(shí)啟動(dòng)注氣泵22，將微量的氣體(一般為氮?dú)?由注氣孔124注入凹部12，使載臺(tái)10凹部12內(nèi)仍存在有一定的氣壓而能穩(wěn)固地?fù)瓮泄ぷ骷?0，使工作件40能保持良好的水平狀態(tài)，避免工作作40因真空的凹部12而產(chǎn)生下陷等不良的現(xiàn)象。
其中載臺(tái)10凹部12中氣壓的控制，可透過(guò)氣壓感測(cè)器16來(lái)加以測(cè)量，來(lái)控制氣體注入的量及速度，另外亦可由氣體的注入時(shí)間、真空抽取時(shí)間或工作件40距離偵測(cè)等方式來(lái)達(dá)成，以便讓工作件40能保持在一定的水平狀態(tài)，以利工作件40的加工作業(yè)。
待工作件40加工完成后，則關(guān)閉真空泵20，并開啟注氣泵22，以便將氣體由注氣孔124注入凹部12，并同時(shí)注入真空吸孔142，來(lái)解除載臺(tái)10的真空吸附狀態(tài)，此時(shí)亦可透過(guò)氣壓感測(cè)器16來(lái)控制氣體注入的速度，避免氣體注入速度過(guò)快或過(guò)慢，而發(fā)生氣壓不平衡及不穩(wěn)定的狀況，以防止工作件40因此而發(fā)生碎裂等不良現(xiàn)象；同時(shí)因工作件40與載臺(tái)10間僅于工作件40周緣相對(duì)于承托緣14的部位與載臺(tái)10接觸，因此可縮小工作件40與載臺(tái)40間的接觸面積，避免載臺(tái)10在破真空作業(yè)，而工作件40為頂針30頂離載臺(tái)40時(shí)，于載臺(tái)10與工作件40間產(chǎn)生靜電，而導(dǎo)致工作件40的損壞。
又當(dāng)為配合需進(jìn)行顯微鏡檢查等透光性作業(yè)的工作件40時(shí)，請(qǐng)配合參看圖4，載臺(tái)10上的凹部12是貫穿臺(tái)體的穿槽，并于載臺(tái)10底部固設(shè)有一具透光性的透光板18，以封閉載臺(tái)10呈穿透狀的凹部12，于載臺(tái)10的承托緣14與透光板18上則分別設(shè)置有多數(shù)個(gè)可供頂針30貫穿其中的頂針孔144、182，另于載臺(tái)10的承托緣14周緣再凸設(shè)形成有一護(hù)緣15，使工作件40能被限制于護(hù)緣15的范圍之內(nèi)。
又于載臺(tái)10上設(shè)置有多數(shù)個(gè)橫向貫穿承托緣14而與凹部12連通的真空抽孔122及注氣孔124，各真空抽孔122及注氣孔124分別連通至一真空泵20及一注氣泵22，另外于載臺(tái)10上亦可設(shè)置有貫穿至承托緣14頂面的真空抽孔142，而各真空抽孔142則是同時(shí)與真空泵20與注氣泵22相連通，以此提供一種可減少與工作件40間接觸面積，且具透光性的載臺(tái)20，來(lái)配合需進(jìn)行透光性加工程序工作件40的承載，以擴(kuò)大載臺(tái)10的適用范圍。
本實(shí)用新型主要是于載臺(tái)10頂面凹設(shè)形成有一凹部12，并設(shè)置有多數(shù)個(gè)連通至凹部12的真空抽孔122及注氣孔124，借此可減少工作件40與載臺(tái)10間的接觸面積，避免工作件40在脫離載臺(tái)10時(shí)產(chǎn)生靜電，來(lái)防止工作件40因此而損壞，而不需另行設(shè)置離子風(fēng)裝置或軟X射線裝置等其他習(xí)用消除靜電的結(jié)構(gòu)，可節(jié)省所需的設(shè)備成本。
另外本實(shí)用新型于載臺(tái)10上設(shè)置有一與凹部12連通的氣壓感測(cè)器16，借此可控制載臺(tái)10抽真空及破真空作業(yè)時(shí)，氣壓的穩(wěn)定性及平衡性，避免工作件40因氣壓的不穩(wěn)定而發(fā)生破裂等不良現(xiàn)象，而能提高氣浮式載臺(tái)10的整體使用效能。
綜上所述，本實(shí)用新型確可改進(jìn)現(xiàn)有載臺(tái)結(jié)構(gòu)及使用上的不足與缺點(diǎn)，實(shí)為一極具進(jìn)步性的創(chuàng)作，且本實(shí)用新型未見于刊物或公開使用，符合新型專利的申請(qǐng)條件，故依法提出申請(qǐng)。
權(quán)利要求1.一種基板氣浮式載臺(tái)，其特征在于，其主要是設(shè)置有一臺(tái)體，于臺(tái)體頂面中央凹設(shè)形成有一凹部，而于臺(tái)體頂面周緣形成有一承托緣，又于臺(tái)體上設(shè)置有多數(shù)個(gè)與凹部連通的真空抽孔及注氣孔，并設(shè)置有一與各真空抽孔連通的一真空泵，以及一與各注氣孔連接的注氣泵，另外于臺(tái)體底部設(shè)置有一可相對(duì)臺(tái)體升降移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)，于升降機(jī)構(gòu)上設(shè)置有多數(shù)個(gè)貫穿臺(tái)體的頂針，而于臺(tái)體上則設(shè)置有多數(shù)個(gè)貫穿承托緣，供各頂針由其中貫穿的頂針孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板氣浮式載臺(tái)，其特征在于，其中于臺(tái)體上設(shè)置有多數(shù)個(gè)貫穿至承托緣頂面的真空抽孔，并且各位于承托緣上的真空抽孔是與真空泵及注氣泵同時(shí)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板氣浮式載臺(tái)，其特征在于，其載臺(tái)另包含有一與臺(tái)體上凹部連通的氣壓感測(cè)器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板氣浮式載臺(tái)，其特征在于，其中載臺(tái)上的凹部是貫穿臺(tái)體，而于載臺(tái)底部固設(shè)有一用以封閉凹部的透光板，并于載臺(tái)的承托緣與透光板上分別設(shè)置有多數(shù)個(gè)可供頂針貫穿其中的頂針孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板氣浮式載臺(tái)，其特征在于，其中于載臺(tái)的承托緣頂面周緣凸設(shè)形成有一護(hù)緣。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板氣浮式載臺(tái)，其特征在于，其中與凹部連通的真空抽孔及注氣孔是于臺(tái)體橫向貫穿承托緣而與凹部連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板氣浮式載臺(tái)，其特征在于，其中于臺(tái)體上另設(shè)置有數(shù)個(gè)貫穿至承托緣頂面的真空抽孔，并各貫穿承托緣頂面的真空抽孔是同時(shí)與真空泵與注氣泵相連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板氣浮式載臺(tái)，其特征在于，其中凹部是未貫穿臺(tái)體，而各真空抽孔及注氣孔是由載臺(tái)底緣縱向延伸而與凹部連通。
專利摘要本實(shí)用新型是關(guān)于一種基板氣浮式載臺(tái),其主要是于臺(tái)體頂面凹設(shè)形成有一凹部,并設(shè)置有多數(shù)個(gè)連通至凹部的真空抽孔及注氣孔,另設(shè)置有一與凹部連通的氣壓感測(cè)器,借此,可減少工作件與載臺(tái)間的接觸面積,以防止工作件與載臺(tái)間靜電的產(chǎn)生,同時(shí)亦可透過(guò)氣壓感測(cè)器來(lái)檢測(cè)及控制,載臺(tái)抽真空及破真空作業(yè)時(shí)氣壓的穩(wěn)定性,而可借此達(dá)到提高氣浮式載臺(tái)整體使用效能的效果。
文檔編號(hào)G02B27/62GK2480870SQ0122322
公開日2002年3月6日 申請(qǐng)日期2001年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2001年5月9日
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