專利名稱：Lcd檢查用探針卡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種LCD檢查用探針卡，且特別是涉及一種通過(guò)縮小測(cè)針板的插入厚度，而使支撐上述測(cè)針板的硅材料的導(dǎo)向板的厚度縮小，而在節(jié)省制造費(fèi)用的同時(shí)，促進(jìn)探針卡的薄型化；尤其是通過(guò)穩(wěn)定地保護(hù)接觸電路圖案的測(cè)針板的各連接末端，而可以提升LCD的性能檢查效率性的LCD檢查用探針卡。
此種作為檢查L(zhǎng)CD的電特性用的裝置所具備的部件就是探針卡。
公知所使用的探針卡，其測(cè)針具備有金屬線的形態(tài)，由于此測(cè)針是經(jīng)由環(huán)氧樹脂接著固定而構(gòu)成的，因此測(cè)針外徑的縮小是有限度的，而產(chǎn)生無(wú)法與最近朝高度集成化的圖案趨勢(shì)相對(duì)應(yīng)的問(wèn)題點(diǎn)。
即，安裝有測(cè)針的測(cè)針座安裝面會(huì)受到限制，由于LCD的高集成化會(huì)使連接端子的數(shù)量變得非常多而并變得非常密，因此具有金屬線的測(cè)針，要使其緊密的排列成適當(dāng)數(shù)量是不可能的。
為此，已也許多能夠縮小測(cè)針外徑的結(jié)構(gòu)與改善支撐測(cè)針的結(jié)構(gòu)的方案被提出了，另一方面，即使對(duì)本申請(qǐng)人而言，在之前也申請(qǐng)了日本專利申請(qǐng)第2001-32117號(hào)與第2001-32118號(hào)專利案。
在本申請(qǐng)人之前申請(qǐng)的發(fā)明中，已提出一種測(cè)針，此種測(cè)針是以使用芯片加工技術(shù)的薄板狀的板形成的，同時(shí)，具有可以使外徑大幅度縮小的結(jié)構(gòu)。
即，通過(guò)在薄板狀的硅板上圖案化出多數(shù)個(gè)具有所需要形狀的測(cè)針的結(jié)構(gòu)，而同時(shí)制作出多數(shù)個(gè)測(cè)針。
然而，在本申請(qǐng)人的發(fā)明中，因?yàn)槠渲饕康臑榭s小這種測(cè)針的外徑，所以會(huì)產(chǎn)生所謂測(cè)針板與支撐多數(shù)測(cè)針的結(jié)構(gòu)變得更為復(fù)雜的問(wèn)題點(diǎn)。而且，也會(huì)有起因于復(fù)雜的結(jié)構(gòu)與制造工藝所造成制造成本上升的不經(jīng)濟(jì)問(wèn)題。
為此，最近本發(fā)明人通過(guò)以2001年8月29日提出申請(qǐng)的專利申請(qǐng)第2001-52433號(hào)專利案中，提出一種將LCD的圖案與電路基板圖案間同時(shí)連接，通過(guò)使測(cè)針板的LCD側(cè)的連接端子與基板側(cè)連接端子之間的長(zhǎng)度最大限度的縮小而促進(jìn)小型化與集成化，通過(guò)將支撐測(cè)針板的導(dǎo)向板簡(jiǎn)便的安裝在測(cè)針座上，而可以進(jìn)行更簡(jiǎn)便的制作及組裝的結(jié)構(gòu)。
即如圖6所示，組裝座1、基板座2、測(cè)針座3以及電路基板4的結(jié)構(gòu)與現(xiàn)在大致相同。
在這種結(jié)構(gòu)中，在測(cè)針座3的底部具備有導(dǎo)向板5，在上述導(dǎo)向板5中形成有在寬度方向以一定的間隔設(shè)置向上敞開并以一定深度向下凹，同時(shí)能夠使測(cè)針座3前端部的末端以具有一定長(zhǎng)度而能夠垂直貫通的測(cè)針插入槽5a。
而且，插入導(dǎo)向板5的測(cè)針插入槽5a中的測(cè)針板6是圖案化由一端向下延長(zhǎng)成“L”字形，且延長(zhǎng)的末端較測(cè)針座3的前端部向前方突出的具有升降彈力的LCD連接末端6a與另一端的上部延長(zhǎng)到電路基板4底部為止，且延長(zhǎng)的末端部彈性的接觸電路基板4的電路圖案的基板連接末端6b所構(gòu)成的薄板狀硅板而形成之。
然而，在這種結(jié)構(gòu)中，導(dǎo)向板5的厚度會(huì)過(guò)度的變厚，為了使兩片導(dǎo)向板5通過(guò)接合而形成堆棧層的結(jié)構(gòu)，因而產(chǎn)生作業(yè)變得太繁雜等不便利問(wèn)題。
尤其是在導(dǎo)向板5上形成測(cè)針插入槽5a時(shí)，因?yàn)榧庸ど疃?約500μm)形成過(guò)深，所以存在著所謂通過(guò)顯微鏡所確認(rèn)加工性是不準(zhǔn)確的問(wèn)題。
即通過(guò)顯微鏡所看到的深度為170～300μm的程度，因?yàn)樵谏鲜鼋Y(jié)構(gòu)中是形成約500μm的深度，所以在加工測(cè)針插入槽5d狀態(tài)下，無(wú)法準(zhǔn)確地核對(duì)其加工程度。
于是，測(cè)針插入槽5a的設(shè)置面的狀態(tài)并不能準(zhǔn)確地辨認(rèn)，因而測(cè)使測(cè)針板6的插入狀態(tài)變得不均勻而造成組裝狀態(tài)不良。
而且，在已申請(qǐng)發(fā)明中，由于測(cè)針板6的LCD連接末端6a與基板連接末端6b側(cè)的導(dǎo)向板5的兩側(cè)末端具有朝向外側(cè)完全開放的狀態(tài)，所以會(huì)產(chǎn)生所謂測(cè)針板6的各連接末端6a、6b發(fā)生撓曲變形而使發(fā)生接觸不良等問(wèn)題。
本發(fā)明的目的為提供一種通過(guò)將測(cè)針插入槽的兩側(cè)前端部封閉，而可防止LCD影像連接末端與基板連接末端的撓曲變形的LCD檢查用探針卡。
尤其是，本發(fā)明提供一種通過(guò)節(jié)省材料費(fèi)使商品制造單價(jià)降低，而可以適用于更經(jīng)濟(jì)的LCD的高集成化圖案的LCD檢查用探針卡，該卡可為將這種目的達(dá)到，因此，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，是由組裝座；連接固定于上述組裝座底面的一側(cè)的基板座；與上述基板座相對(duì)應(yīng)而連接固定于上組裝座底面的另一側(cè)的測(cè)針座；連接在上述基板座的底面，且上表面接著有驅(qū)動(dòng)IC的電路基板；具備有接著在上述測(cè)針座的底面，且在上表面中單一方向均勻地形成向上敞開而向下凹陷的多數(shù)個(gè)長(zhǎng)孔狀測(cè)針插入槽、形成于與測(cè)針插入槽同一水平線上兩側(cè)的外側(cè)端面上的校準(zhǔn)槽、且測(cè)針插入槽的前端部側(cè)的一末端向下貫通的導(dǎo)向板具備有向下插入上述導(dǎo)向板的測(cè)針插入槽中且兩側(cè)形成能夠上下?lián)锨冃?，一?cè)的末端部向下延長(zhǎng)而通過(guò)上述導(dǎo)向板的前端部向下貫通所形成的導(dǎo)向孔并較上述導(dǎo)向板的底面向下突出而形成的LCD連接末端、另一側(cè)的末端部從上述導(dǎo)向板的上面向上突出而形成的基板連接末端、在上述測(cè)針座的后端部側(cè)上部表面向上突出于密接上述測(cè)針座的側(cè)面的勾搭突起的測(cè)針板所構(gòu)成。
圖2為表示采用本發(fā)明的導(dǎo)向板一部分的斜視圖。
圖3為表示采用本發(fā)明測(cè)針板斜視圖。
圖4A、圖4B為表示采用本發(fā)明的測(cè)針板的基板連接末端的側(cè)斷面圖。
圖5為采用本發(fā)明的使用狀態(tài)圖。
圖6為現(xiàn)有LCD檢查用探針卡的側(cè)斷面圖。符號(hào)說(shuō)明10組裝座20基板座31測(cè)針座40電路基板50導(dǎo)向板51測(cè)針插入槽52導(dǎo)向孔53校準(zhǔn)槽54緩沖部件 60測(cè)針板70LCD(液晶顯示器)
本發(fā)明的特征在于通過(guò)使導(dǎo)向板具有與公知芯片同一材料的硅板，同時(shí)使其薄型化，在上述硅板中經(jīng)圖案化而得到測(cè)針插入槽，且此測(cè)針插入槽的深度形成可用顯微鏡進(jìn)行辨認(rèn)的程度，而可以檢查測(cè)針插入槽的加工程度，并防止插入測(cè)針插入槽的測(cè)針板的兩末端側(cè)的連接末端撓曲變形。
本發(fā)明如

圖1所示，在組裝座10與該組裝座10底面的一側(cè)連接固定基板座20，并在與基板座20對(duì)應(yīng)另一側(cè)具備有測(cè)針座30而形成與公知類似的結(jié)構(gòu)。
這時(shí)，基板座20與測(cè)針座30是由絕緣材料所構(gòu)成，尤其是測(cè)針座30較基板座20更進(jìn)一步要求其剛性，所以也可以使用非絕緣材料，但這時(shí)在測(cè)針座30的底面接著使用絕緣性薄膜是較理想的。
這種結(jié)構(gòu)與本申請(qǐng)人的已提案發(fā)明中的探針卡是大致相類似的。
但是，本發(fā)明與前申請(qǐng)發(fā)明的不同點(diǎn)在于通過(guò)將硅材料的導(dǎo)向板50薄型化，可促進(jìn)整體上的薄型化，同時(shí)防止測(cè)針座60的變形。
以下，詳細(xì)加以說(shuō)明，在本發(fā)明中的組裝座10具有像已提案的發(fā)明那樣整體支撐探針卡的結(jié)構(gòu)，而基板座20是由絕緣材料構(gòu)成，并連接固定在組裝座10底面。
測(cè)針座30與基板座20同樣的是由絕緣材料構(gòu)成，而連接固定在組裝座10的底面的與基板座20對(duì)應(yīng)的另一側(cè)。
另外，測(cè)針座30從基板座20更向下延長(zhǎng)，同時(shí)形成較基板座20厚的厚度，而且在基板座20的底面接著有具備驅(qū)動(dòng)IC(圖中未示出)的電路基板40。
因此，電路基板40的一端接著于基板座20的底面，同時(shí)在電路基板40的底面形成與印刷電路電性連接的電路圖案。
另一方面，電路基板40使用可撓性基板是更理想的。
導(dǎo)向板50接著在測(cè)針座30的底面，同時(shí)，位于在基板座的正下方。
上述導(dǎo)向板50，如圖2所示，具備有向?qū)挾确较蛞砸欢ㄩg隔設(shè)置在向上開放并以規(guī)定深度向下凹陷所形成的多數(shù)測(cè)針插入槽51。
這時(shí)，測(cè)針插入槽51的厚度為能夠通過(guò)顯微鏡確認(rèn)加工特性而形成200μm～300μm的厚度，若能形成300μm的厚度是較理想的。
另外，測(cè)針插入槽51，如圖2所示，特別是在位于測(cè)針座30的前端側(cè)的末端部設(shè)置有垂直貫通的導(dǎo)向孔52。
尤其是導(dǎo)向板50的測(cè)針插入槽51加工成兩端封閉的狀態(tài)，而在兩側(cè)形成外側(cè)端部，此結(jié)構(gòu)與前申請(qǐng)發(fā)明的結(jié)構(gòu)是不同的。
在這種外側(cè)端部的外側(cè)面分別在與各測(cè)針插入槽51的同一水平線上垂直設(shè)置有可清楚的知道測(cè)針插入槽51位置的校準(zhǔn)槽53則是更理想的。
另外，在導(dǎo)向板50的LCD圖案?jìng)?cè)前端部的底部具備有如圖2所示的緩沖部件54，該緩沖部件54從導(dǎo)向板50的底面更微細(xì)的進(jìn)一步向下延長(zhǎng)形成是理想的。
作為上述緩沖部件54的材料是采用陶瓷線，當(dāng)然也可以使用鎢金屬線。
另一方面，導(dǎo)向板50，如公知一樣，可以只使用兩片厚度與測(cè)針插入槽51的深度相同的硅板結(jié)合而形成之，但是以一片具有同一厚度的硅板來(lái)制作是最容易的。
測(cè)針板60插入形成于導(dǎo)向板50上的測(cè)針插入槽51中，而形成分別電性連接LCD側(cè)電路圖案與基板側(cè)電路圖案的結(jié)構(gòu)。
測(cè)針板60，如圖3所示，是形成兩側(cè)能夠撓曲，而在兩側(cè)末端部分別形成LCD連接末端61與基板連接末端62的結(jié)構(gòu)。
LCD連接末端61是使測(cè)針板60的一末端向下延長(zhǎng)，通過(guò)在導(dǎo)向板60的前端部側(cè)貫通測(cè)針插入槽51的導(dǎo)向孔52，并從導(dǎo)向板50的底部進(jìn)一步向下突出而具備的端子接線部位。
于是，各連接末端61、62側(cè)的兩側(cè)端部插入設(shè)置在測(cè)針插入槽51中，且兩側(cè)端部與中央部相比較，使其厚度變薄而形成能夠上下?lián)锨冃蔚暮穸仁禽^理想的。
于是，在測(cè)針插入槽51中插入的中央部的厚度形成與測(cè)針插入槽51相同的厚度。
另一方面，測(cè)針板60一體形成有向上突出而使測(cè)針座30的基板座20側(cè)的末端緊密連接的上端部，可在測(cè)針座30的側(cè)端面下部緊密連接的勾搭突起63。
尤其是測(cè)針板60的基板連接末端可以形成如圖4A所示的結(jié)構(gòu)。但如圖4B所示，通過(guò)使從向上突出的部位向?qū)?yīng)的底部向下延長(zhǎng)，則可以進(jìn)一步的防止測(cè)針插入槽51內(nèi)的剖面積擴(kuò)張與撓曲。
而且，如圖1所示，與測(cè)針座30的測(cè)針板60緊密連接的底面，在其一部份形成凹陷，在測(cè)針板60制造時(shí)，在移除連接測(cè)針板60之間的連接接點(diǎn)64后，而在留下來(lái)的部分位置在于上述凹陷空間31內(nèi)填充環(huán)氧樹脂時(shí)，可以固定出堅(jiān)固的測(cè)針板60。
由上述構(gòu)成的探針卡，在導(dǎo)向板50中由上部分別使測(cè)針板60向下插入測(cè)針插入槽50中，在這種組裝狀態(tài)下，從導(dǎo)向板50的上部利用環(huán)氧樹脂接合測(cè)針座30。
這時(shí)，測(cè)針座30在與其上側(cè)的組裝座10的一側(cè)緊密結(jié)合的狀態(tài)下、在另一側(cè)中結(jié)合基板座、同時(shí)在基板座20的底面上接著電路基板40。
因此，若使插入測(cè)針板60的導(dǎo)向板50接合在測(cè)針座30上，則在電路基板40上所形成的電路圖案會(huì)成為各自連接測(cè)針座60的基板連接末端62的狀態(tài)。
另外，由于基板連接末端62側(cè)的導(dǎo)向板50的末端部是封閉的狀態(tài)，所以，當(dāng)導(dǎo)向板50與測(cè)針座30結(jié)合時(shí)，測(cè)針板60的基板連接末端62正確地連接至電路基板40的圖案上，在與測(cè)針板50的測(cè)針插入槽51在同一水平線上的外側(cè)面形成的校準(zhǔn)槽53可觀察到并正確地設(shè)定結(jié)合位置。
而且，在使用這種方法組裝的探針卡對(duì)LCD的電氣特性進(jìn)行檢查時(shí)，如圖5所示，測(cè)針板60的LCD連接末端61正確地連接至LCD70的電路圖案上，在探針卡50的LCD70側(cè)前端部的最外側(cè)面，也如上述那樣，通過(guò)與測(cè)針插入槽51在同一水平線上所形成的校準(zhǔn)槽53而能夠連接正確的位置。
尤其是在導(dǎo)向板50的前端部側(cè)的外側(cè)面的底部所具備的緩沖部材54在LCD70制造時(shí)，因?yàn)樵趫D案?jìng)?cè)制造不良而形成勾搭突起71的情況下，可以防止與硅材料的導(dǎo)向板50直接接觸，而能夠防止因?qū)虬?0的破損所產(chǎn)生的探針卡的損傷。
另外，在LCD70的勾搭突起71形成過(guò)大的情況下，會(huì)隔斷LCD接線端部61與LCD的電路圖案間的連接，而同時(shí)也具有對(duì)LCD70進(jìn)行產(chǎn)品不良檢測(cè)的功能。
而且，本發(fā)明的最顯著的特征是通過(guò)使在導(dǎo)向板50中所形成的測(cè)針插入槽51的深度形成用顯微鏡可辨認(rèn)測(cè)針插入槽51的加工性的深度，而能夠進(jìn)行正確檢查。
即在前申請(qǐng)發(fā)明中是通過(guò)使測(cè)針插入槽在形成約500μm程度的深度，而無(wú)法正確進(jìn)行加工狀態(tài)之檢查，即使在使測(cè)針板插入的狀態(tài)下，也會(huì)有測(cè)針板的插入狀態(tài)無(wú)法均勻的排列的事例。這是因?yàn)榛咫娐芳癓CD電路圖案與個(gè)接線端間的接觸不良所產(chǎn)生的問(wèn)題，但在本發(fā)明中通過(guò)使測(cè)針插入槽51的加工性準(zhǔn)確地進(jìn)行檢查，因此就可使這種電路圖案的接觸不良防止于未然。
因此，通過(guò)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，可通過(guò)防止探針卡的損傷，而進(jìn)一步的延長(zhǎng)使用壽命，同時(shí)通過(guò)穩(wěn)定的維持LCD的電特性，可使檢查的可靠性大幅度提高。
如上所述，本發(fā)明由于具有通過(guò)使探針卡50與插入該探針卡50上的測(cè)針板60的厚度薄型化，因此，在促使整體薄型化的同時(shí)，可以節(jié)省材料費(fèi)用而進(jìn)行經(jīng)濟(jì)的制作，并且通過(guò)使測(cè)針插入槽51的兩側(cè)端部形成封閉的結(jié)構(gòu)，所以能夠防止測(cè)針板60的兩側(cè)末端所形成的連接末端61、62撓曲變形，而達(dá)到可與電路圖案穩(wěn)定連接的效果。
而且，本發(fā)明通過(guò)使測(cè)針插入槽51的深度形成能夠以顯微鏡進(jìn)行加工狀態(tài)的確認(rèn)的程度，因?yàn)榭墒箿y(cè)針板60的均勻排列并安定的連接電連接部位，而可以達(dá)到所謂使檢查可靠性進(jìn)一步提高的效果。
尤其是本發(fā)明通過(guò)事先預(yù)防探針卡與LCD電路圖案相連接時(shí)，與硅材料導(dǎo)向板50的直接接觸，因此可防止損傷防止，對(duì)產(chǎn)品可靠性與作業(yè)效率性可以達(dá)到大幅度提高的效果。
權(quán)利要求
1.一種LCD檢查用探針卡，其特征在于其具備由組裝座；基板座，連接固定在上述組裝座的底面一側(cè)；測(cè)針座，連接固定在與上述基板座對(duì)應(yīng)的上述組裝座底面的另一側(cè)；電路基板，接著在上述基板座的底面，且上表面接著有驅(qū)動(dòng)IC；導(dǎo)向板，具備有接著在上述測(cè)針座的底面，且上表面在單一方向均勻的形成向上敞開并向下凹陷的多數(shù)個(gè)長(zhǎng)孔測(cè)針插入槽，在與測(cè)針插入槽同一水平線上的兩側(cè)的外側(cè)端面上形成的校準(zhǔn)槽，且測(cè)針插入槽的前端側(cè)的一端部向下貫通；測(cè)針板，具備有向下插入至上述導(dǎo)向板的測(cè)針插入槽中，且兩側(cè)形成能夠上下?lián)锨冃危粋?cè)的末端部向下延長(zhǎng)而通過(guò)在上述導(dǎo)向板的前端部向下貫通所形成的導(dǎo)向孔并較上述導(dǎo)向板的底面向下突出而形成的LCD連接末端，另一側(cè)末端部從上述導(dǎo)向板的上面向上突出而形成的基板連接末端，在上述測(cè)針板的后端部側(cè)上部表面向上突出于密接上述測(cè)針板的側(cè)面的勾搭突起所構(gòu)成。
2.如權(quán)利要求1記述的LCD檢查用探針卡，其特征在于上述測(cè)針板與上述導(dǎo)向板緊密連接的底面的一部分形成向上凹陷，且上述測(cè)針板上的其一部分收容在所形成的連接點(diǎn)，并利用充電的環(huán)氧樹脂結(jié)合在一起。
3.如權(quán)利要求1記述的LCD用探針卡，其特征在于在上述導(dǎo)向板上，在前端側(cè)外周表面的下部具備有緩沖部件。
4.如權(quán)利要求3記述的LCD檢查用探針卡，其特征在于上述緩沖部件由鎢金屬線構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求3記述的LCD檢查用探針卡，其特征在于上述緩沖部件由陶瓷構(gòu)成。
6.如權(quán)利要求1記述的LCD檢查用探針卡，其特征在于上述導(dǎo)向板的測(cè)針插入槽以形成200μm～300μm的深度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種LCD檢查用探針卡，由組裝座；基板座；測(cè)針座；上表面接著有驅(qū)動(dòng)IC的電路基板；具備有接著在測(cè)針座的底面，在上表面中單一方向均勻地形成向上敞開并向下凹陷的多數(shù)個(gè)長(zhǎng)孔狀測(cè)針插入槽、形成于與測(cè)針插入槽同一水平線上兩側(cè)的外側(cè)端面上的校準(zhǔn)槽、且測(cè)針插入槽的前端部側(cè)的一末端向下貫通的導(dǎo)向板具備有向下插入上述導(dǎo)向板的測(cè)針插入槽中且兩側(cè)形成能夠上下?lián)锨冃?，一?cè)的末端部向下延長(zhǎng)而通過(guò)上述導(dǎo)向板的前端部向下貫通所形成的導(dǎo)向孔并較上述導(dǎo)向板的底面向下突出而形成的LCD連接末端、另一側(cè)的末端部從導(dǎo)向板的上面向上突出而形成的基板連接末端、從測(cè)針座的后端部側(cè)上部表面向上突出于密接測(cè)針座的側(cè)面的勾搭突起的測(cè)針板構(gòu)成。
文檔編號(hào)G02F1/13GK1417589SQ0214599
公開日2003年5月14日 申請(qǐng)日期2002年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月1日
發(fā)明者田泰云 申請(qǐng)人:尹秀