專利名稱：濾光器組件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及組裝了各種濾光器的光通信用的濾光器組件及其制造方法。
背景技術(shù)：
在使用了光纖的光信息通信系統(tǒng)中，由于光纖產(chǎn)生的放射、吸收等光發(fā)生衰減。作為把該衰減了的光進行放大的系統(tǒng)使用光纖放大器。光纖放大器由于能夠不必把光信號變換為電信號而輸出放大，因此在光通信網(wǎng)中成為不可缺少的系統(tǒng)。圖8A示出系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的一個例子。光纖放大器由光隔離器53，摻雜了鉺的光纖51，在激勵用的激光束中使用的泵浦激光器54，輸出監(jiān)視用光電二極管52，調(diào)整增益的濾光器55構(gòu)成。泵浦激光器54的波長在單模光纖中使用1.48μm的波長。
摻雜了鉺的光纖51如圖8B的特性A所示，在放大增益方面具有頻率依賴性。因此，需要把具有作為特性A相反特性的特性B的濾光器55插入到光輸出放大后的傳輸路徑中，如特性C那樣使放大增益平坦。把該濾光器55稱為增益平坦化濾光器。通常，濾光器55插入在光纖之間，作為一體化的組件使用。圖8C示出該組件的構(gòu)造。光纖56，準(zhǔn)直用以及聚光用的透鏡57，增益平坦濾光器58在調(diào)整了其光軸以后安裝并且密封到金屬箱體59中。
在上述那樣使用了透鏡的以往型的光路連接方法或者濾光器插入方法中，需要透鏡自身的尺寸和在聚焦中所必需的光路-透鏡間距離。為此不能夠把組件總體減小到某種規(guī)定以上的程度。
另外，光路的連接必須沿著各個光路非常正確地連接，在使用了透鏡的組件中由于在光路的調(diào)整方面花費成本和時間，因此生產(chǎn)性差。
作為上述課題的一個解決方法提出特許第3175814號公報。圖9A、圖9B示出其結(jié)構(gòu)圖。這是與在硅基板上制作的埋入型光波導(dǎo)交差那樣，形成濾光器插入槽插入多層膜濾光器，并且一體化了的反射型波分復(fù)用合分波器的例子。
在硅基板31上的包層材料32上作為波導(dǎo)在一個面形成導(dǎo)行光的通路，形成濾光器插入槽36使得與波導(dǎo)交差。由此，不需要進行輸入用波導(dǎo)33以及輸出用波導(dǎo)35、34的光軸調(diào)整。進而，如果把多層膜濾光器(以下稱為濾光器)37的橫向?qū)挾扔洖閃，膜厚記為Df，彎曲的曲率半徑記為R，濾光器插入槽36的寬度記為Dg，則像滿足R＜W2/8(Dg-Df)的關(guān)系那樣，設(shè)定濾光器插入槽36的寬度Dg，濾光器37的彎曲的曲率半徑R。由此，提出能夠利用濾光器37的彎曲，可靠地固定在濾光器插入槽36中的構(gòu)造。即，提出通過埋入型光波導(dǎo)制作光的導(dǎo)行路徑，在該導(dǎo)行路徑中插入各種濾光器，構(gòu)成為一體的組件構(gòu)造。
但是，由于在該方式中，濾光器37必須具有一定以上曲率的彎曲，如果在安裝時偏移，則對于濾光器37的入射角的偏移很大。進而，在光的導(dǎo)行路徑中使用了埋入型波導(dǎo)的情況下，在濾光器插入槽36中，在波導(dǎo)35、33與多層膜濾光器37之間必然地形成由于彎曲引起的間隙。光通過該間隙從波導(dǎo)35、33擴散、損失。另外，機械地保持具有彎曲的部件并且插入到微小槽中是非常困難的，在制造方面也十分不利。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供制作與在平面基板上存在的光通路交差的濾光器插入槽，在該濾光器插入槽中插入濾光器，粘合在平面基板上地用覆蓋層覆蓋光通路的光濾光器組件。


圖1A是示出本發(fā)明實施方案1中的濾光器組件的構(gòu)造的平面圖。
圖1B是示出本發(fā)明實施方案1中的濾光器組件的側(cè)面圖。
圖1C是示出本發(fā)明實施方案1中的濾光器組件的剖面圖。
圖2A～圖2D是示出本發(fā)明實施方案1中的濾光器組件的構(gòu)造中的濾光器插入槽形狀的剖面圖。
圖3A是示出本發(fā)明實施方案2的濾光器組件的構(gòu)造的一個例子的平面圖。
圖3B是示出本發(fā)明實施方案2的濾光器組件的側(cè)面圖。
圖3C是示出本發(fā)明實施方案2的濾光器組件的剖面圖。
圖4A～圖4G是本發(fā)明實施方案3的濾光器組件的制造方法的說明圖。
圖5A～圖5G是本發(fā)明實施方案4的濾光器組件的制造方法的說明圖。
圖6A～圖6F是本發(fā)明實施方案5的濾光器組件的制造方法的說明圖。
圖7A～圖7F是本發(fā)明實施方案6的濾光器組件的制造方法的說明圖。
圖8A是以往例的光放大器系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
圖8B是以往例的光放大器系統(tǒng)的特性圖。
圖8C是以往的濾光器組件的剖面圖。
圖9A是以往的濾光器的安裝方法的說明圖。
圖9B是圖9A的主要部分的放大圖。
具體實施例方式
以下，參照

本發(fā)明的實施方案。另外，在構(gòu)成相同結(jié)構(gòu)的部分中標(biāo)注相同的標(biāo)號并且省略詳細(xì)的說明。
實施方案1圖1A示出本發(fā)明實施方案1的2芯濾光器組件的俯視圖，圖1B示出其側(cè)面圖，圖1C示出其剖面圖。濾光器2插入在濾光器插入槽(以下稱為槽)1中用光學(xué)粘接劑6粘合，在形成于平面基板5的主面的V形槽10與覆蓋層3所形成的空間中設(shè)置形成光路的光纖4。
在制作濾光器組件時，光路不一定要與平面基板5一體化，由此拓寬能夠應(yīng)用的組件的通用性。另外，在使用光纖4那樣沒有與平面基板5構(gòu)成一體的部件的情況下，為了把光纖4固定在平面基板5上，制作精巧的V形槽10，把其作為固定光纖4時的導(dǎo)向器。如果制作濾光器插入槽1使得與V形槽10交差，則能夠不打亂光纖4的光軸而容易地進行濾光器2的插入、連接。進而，由于構(gòu)造非常簡單因此能夠使組件的體積小，提高生產(chǎn)性。
濾光器2例如是在玻璃或者聚酰亞胺等樹脂基板上疊層了多層SiO2或者Ta2O5等的電介質(zhì)薄膜而形成的。
覆蓋層3和平面基板5例如是玻璃或者硅等。它們最好與該等光纖4的線膨脹系數(shù)接近，而在它們的固定中使用樹脂類的粘接劑(未圖示)的情況下，能夠用粘接劑的彈性緩和由于線膨脹系數(shù)差引起的應(yīng)力。另外，在粘接劑中使用光硬化性的材料的情況下最好是透射光的材料。
為了防止來自光纖4的端面的光發(fā)散，光粘接劑6使用具有與在光纖4中使用的材料相同折射率的材料。在光纖4中使用石英玻璃類的情況下，光粘接劑6的折射率最好也使用盡可能接近石英玻璃的折射率1.44的材料。
形成用于在平面基板5上安裝、固定光纖4的V形槽10。通過把V形槽10的深度和角度加工成預(yù)定的值，由覆蓋層3和平面基板5夾住光纖4，沒有位移地進行安裝。另外，V形槽10不僅在平面基板5，還可以形成在覆蓋層3上。例如，如果把平面基板5和覆蓋層3的V形槽10的頂角記為α，把進行安裝的光纖4的半徑記為r，把V形槽10的深度記為d，則通過設(shè)定d＝r/sin(α/2)光纖4的中心恰好位于覆蓋層3和平面基板5的表面。通常，由于作為玻璃類光纖的光路的包層直徑是125μm，因此通過把V形槽10的頂角取為90度，把深度取為大約180μm，通過覆蓋層3和平面基板5夾持，能夠可靠地固定光纖4。另外，形成在覆蓋層3和平面基板5上的V形槽10的深度和角度沒有必要一定是相同形狀。按照在平面基板5的V形槽10中安裝光纖4時的光纖4從平面基板5的主面的突出量以上，設(shè)定形成在覆蓋層3上的V形槽10的角度和深度。由此，通過覆蓋層3和平面基板5可靠地安裝、固定光纖。
另外，以對于光纖4具有規(guī)定的角度θ形成在平面基板5上所形成的槽1。這是為了防止從光纖4入射的光向濾光器2的反射。雖然依賴于被導(dǎo)行的光的波長，但是例如在用單模光纖導(dǎo)行波長1.48μm的光的情況下，傾角θ最好是5～10度左右。如果傾角θ小于5度，則反射的影響強烈，如果超過10度，則由于折射難以進行光軸設(shè)定，同時，在濾光器2的特性方面產(chǎn)生惡劣影響。
本實施方案中，在一條光路中制作槽插入濾光器。因此，簡化光路的光軸調(diào)整，而且由于不需要使用透鏡，因此還簡化構(gòu)造。其結(jié)果，使濾光器組件總體小型化。
另外，如果使用把封閉導(dǎo)行光纖4的光的芯子部分?jǐn)U大一部分的芯子直徑擴大光纖，則將進一步降低光纖4與濾光器2的耦合損失。
本實施方案的濾光器組件是形成槽1使得與光路4交差，插入濾光器2的構(gòu)造。因此光纖4由槽1分?jǐn)?，?jīng)過濾光器2在光纖4的端面之間存在槽1的寬度的間隙G。在光纖4的端面中的光點尺寸W相同的情況下，經(jīng)過了間隙長度G的光纖4的端面之間的功率傳輸系數(shù)Tg如果把多膜濾光器2的折射率記為n，則以Tg＝〔1+(λ×G/(2×π×n×W2))2〕-1表示。λ表示波長。根據(jù)該式可知，透射損失與波長和間隙長度G的增加成比例增加，另外透射損失與光點尺寸的二次方的倒數(shù)成比例急劇地減少。
從這一點出發(fā)，在槽1的壁面露出的光纖4的端面的光點尺寸越大對于透射損失的降低越有利。作為芯子直徑擴大光纖提出各種方式，其代表性的有TEC(Thermally Expanded Core)光纖。該光纖是通過把包層部分的一部分加熱，把控制芯子部分的折射率的GeO2等摻雜元素擴散到包層的一部分中，實質(zhì)上擴大了芯子直徑的特殊光纖。通過使用該光纖，加大來自光纖4的端面的光點尺寸。在本發(fā)明的濾光器組件中使用芯子直徑擴大光纖的情況下，加工、形成槽1使得在光路4中與芯子直徑擴大部分的最大部分交差。
槽1的形狀能夠適用圖2A～圖2D所示的各種形狀。圖2A的槽1的底部做成兩方槽壁側(cè)淺，在底部中央殘留平坦部分，并且具有該底部中央側(cè)加深構(gòu)成的角度θ1的形狀。圖2B是從槽1底部開始，一方的槽壁側(cè)到平面基板5的主面具有一定的角度θ2的情況，圖2C是從在槽1的一方的槽壁側(cè)的底部形成一部分平坦部分，從平坦部分到另一方的槽壁側(cè)具有一定角度θ3的情況。另外，圖2D是把槽1的底部形成為半圓形的情況。
這些槽1例如使用預(yù)先把其前端成形為槽形狀的金剛石砂輪形成。由于通過把金剛石砂輪的頂端形狀復(fù)制到槽形狀上形成，因此加工后的槽形狀極大地依賴金剛石砂輪的成形精度。在砂輪寬度為0.1mm以下的情況下，受能夠使用的金剛石粒子直徑的制約難以進行加工，但在砂輪寬度超過0.1mm的情況下能夠比較容易地進行形狀加工。
槽1如圖2A～圖2D所示那樣，對于一方的壁側(cè)面，把另一方的壁側(cè)面的傾斜淺加工成異形。其理由是為了在插入濾光器2以后防止濾光器2的傾斜。另外，在以先安裝的覆蓋層3的端面為基準(zhǔn)面形成槽1的情況下，在加工過程中向把加工用的金剛石砂輪按壓在作為基準(zhǔn)面的覆蓋層3一側(cè)的方向作用力。在為了防止由于這時的金剛石砂輪的蛇行引起的槽1的加工精度惡化方面這樣的加工是有效的。
另外，如圖2A所示，槽1的底面通過從兩方的槽壁到底面帶有錐度，防止所插入的濾光器2搖擺，防止以對于光軸不同的角度固定濾光器2。
另外，如圖2B所示，通過把槽1的剖面做成V形，在與圖2A的槽相同作用的基礎(chǔ)上，即使在對于槽1插入了極端薄的濾光器2時，只要插入到深處，就能夠牢固地固定。即，拓寬了相對于槽1的濾光器2的厚度允許范圍。
另外，如圖2C所示，通過把槽1的底面做成半圓形，在與圖2A的槽相同作用的基礎(chǔ)上，在制作槽1時能夠使加工簡便。進而，由于底面是曲面，因此對于槽1能夠在槽寬度的范圍內(nèi)自由地設(shè)定豎立濾光器2的角度。
另外，圖2D所示，槽1成為底部從一方的槽壁面到另一方的槽壁面具有錐形面的形狀。由此，在與圖2A的槽相同作用的基礎(chǔ)上，在一方的槽壁面上由于沒有切割成錐形，因此能夠使濾光器2與該面相吻合進行固定。進而，即使在進行槽加工之前安裝光纖4和覆蓋層3，但如果是這樣形狀的槽加工，則在加工時在刀刃碰到覆蓋層3后刀刃會退避，能夠從覆蓋層的端面沒有偏移地制作槽1。
在實施方案1中，光纖是2芯的情況，而對于一條光路也可以制作濾光器組件。反之，對于多條光路交差的點或者并排配置多條光路的點，可以在光路中交差那樣設(shè)置濾光器插入槽，在槽中插入濾光器。如果這樣做，則對于多條光路能夠共同具有濾光器的效果，能夠制作更多功能的濾光器組件。
實施方案2圖3A示出實施方案2的濾光器組件的俯視圖，圖3B示出側(cè)面圖，圖3C示出剖面圖。實施方案2與實施方案1的不同之點是在圖1A中為了防止由濾光器插入槽1引起的散射、反射而附加微小角θ，但是在圖3A中不設(shè)置該微小角θ。代替該角度，在圖3B的側(cè)面圖中在槽1中設(shè)置微小角θ。因此，為了防止加工精度惡化，槽構(gòu)造最好是圖2B或者圖2C那樣的構(gòu)造。除此以外，具有與實施方案1相同的構(gòu)造，具有相同的效果。對于因設(shè)置了2條以上的光路而能制作多功能的濾光器組件這一點也相同。
實施方案3以下，敘述制作濾光器組件的構(gòu)造的方法。圖4A～圖4G是順序示出制作本發(fā)明的濾光器組件的順序的剖面圖。
作為第1工序，在平面基板5上只按照所需要的條數(shù)精巧地制作用于在圖4A所示的平面基板5上如圖4B所示那樣固定形成光路的光纖4的V形槽10。接著作為第2工序，制作對于濾光器2的厚度充分寬的濾光器插入槽1使得與該精巧的V形槽10交差。這時，如實施方案1或者實施方案2所示，槽1形成為對于光路從直角偏移微小角度θ。具體地講雖然是5～10度左右，但是根據(jù)所使用的光波長而改變。通過在以所需要的任意的角度制作的槽1的壁面上使濾光器2相吻合，能夠以所設(shè)計的任意角度固定濾光器2。槽1制作由圖2A～圖2D所示的構(gòu)造中最佳的形狀。
槽1的加工例如通過以立方晶氮化硼或者金剛石作為磨料，使用成形為槽形狀的砂輪研磨加工形成，或者使用噴射等粉末加工。在平面基板5的材料中使用了硅的情況下，也可以使用濕法刻蝕或者干法刻蝕。在把槽1的剖面形狀加工成異形的情況下，由于成形砂輪的形狀的自由度高因此是有利的。
作為第3工序，如圖4C所示，在V形槽10中設(shè)置光纖4。這時，考慮到安裝精度，光纖4的安裝部分最好是去除了被覆層的包層部分。這時，設(shè)定V形槽10的角度以及深度使得光纖4成為與平面基板5的主面相同的高度。另外，通過在光纖4中使用芯子直徑擴大光纖，擴大光纖4的端面的光點尺寸，能夠降低光纖4之間的透射損失或者耦合損失。這時，設(shè)置成光纖4的芯子直徑在槽1的部分中成為最大。
接著作為第4工序，如圖4D所示，在平面基板5的主面上整個面地涂覆光粘接劑6，進而，如圖4E所示在充填了光粘接劑6的槽1中插入濾光器2。這時，設(shè)定濾光器2的大小使得所插入的濾光器2的上部一定突出平面基板5的主面。另外，在第2工序中所形成的槽1的內(nèi)部也充填光粘接劑6。光粘接劑6通過使用與所使用的光纖4的芯子材料的折射率相同的材料，降低光纖之間的耦合損失。另外，在光粘接劑6的硬化方面，有使用紫外線等的光的方法，加熱的方法等。在縮短制造時間方面使用光的方法有利。
接著作為第5工序，如圖4F所示，使覆蓋層3從槽1突出的濾光器2的兩側(cè)移動，從兩側(cè)夾持固定。這時，通過沿著槽1的側(cè)面安裝覆蓋層3的一個側(cè)面，沿著槽1的一個側(cè)面安裝、固定濾光器2。由此，由于不需要同時把兩片覆蓋層3對位，因此使濾光器組件的制作簡便。另外，當(dāng)以某個角度固定濾光器2時，如果固定一方的覆蓋層則能夠容易地調(diào)整該角度。進而起到防止用另一方的覆蓋層3夾持時濾光器2斷裂的作用。所夾持的部分是濾光器2的突出部分，而為了用覆蓋層3夾持，濾光器2的突出量在濾光器2的強度方面，希望至少是覆蓋層3的厚度的1/2以上。另外，在濾光器2中發(fā)生彎曲的情況下突出量加長，通過擴大用覆蓋層3夾持的面積校正彎曲。另外，如果濾光器2的形成基板中使用玻璃等則由于彈性系數(shù)大，因此在防止由應(yīng)力產(chǎn)生的斷裂方面有效。
最后作為第6工序如圖4G所示，從覆蓋層3和平面基板5的一側(cè)或兩側(cè)照射紫外線等光或加熱硬化完成。這樣，通過在粘接劑6中使用光硬化性粘接劑或者熱硬化性粘接劑，在固定覆蓋層3時由于能夠不加入機械壓力而粘合，因此光纖4的光軸難以偏移。另外，縮短安裝了所需要的時間。
實施方案4
圖5A～圖5G中示出在把光纖4固定在平面基板5以后，在平面基板5上制作濾光器插入槽1，插入濾光器2的順序。
作為第1工序，如圖5A所示，僅按照所需要的條數(shù)精巧地制作用于在平面基板5的主面上固定光纖4的V形槽10。這時，設(shè)定V形槽10的角度以及深度使得光纖4成為與平面基板5的主面相同的高度。
作為第2工序，如圖5B所示，在V形槽10中設(shè)置光纖4。另外，通過在光纖4中使用芯子直徑擴大光纖，擴大光纖4的端面的光點尺寸，能夠降低光纖4之間的透射損失或者耦合損失，是非常有效的。這時，設(shè)置成光纖4的芯子直徑在要制作槽1的部分中成為最大。
作為第3工序，如圖5C所示，制作對于光纖4僅從直角錯開微小角θ，對于濾波器2的厚度充分寬的槽1。這種情況下，同時分割光纖4。為了增大切斷、分割了的光纖4的端面的表面粗糙度，在用機械加工形成的情況下，所使用的磨料最好盡可能小。在本發(fā)明中使用金剛石砂輪，形成槽1。通過在金剛石磨料中選擇#3000以上(平均粒徑5μm以下)的材料，可以得到幾乎接近于鏡面的光纖4的端面。
圖5D～圖5G所示的以下的工序由于與實施方案3相同因此省略。
實施方案5圖6A～圖6F中示出把光纖4固定在一個槽端面上，插入了濾光器2以后對接另一方光纖4的順序。
作為第1工序、如圖6A所示，僅按照所需要的條數(shù)精巧地制作用于在平面基板5的主面上固定光纖4的V形槽10。這時，設(shè)定V形槽10的角度以及深度使得光纖4成為與平面基板5的主面相同的高度。
作為第2工序，如圖6B所示，制作對于濾光器2的厚度充分寬的濾光器插入槽1，使得與V形槽10交差。這時，如實施方案1或2所示，對于光路僅從直角錯開微小角θ，從圖2A～圖2D所示的構(gòu)造中選擇最佳的形狀制作槽1。
作為第3工序，如圖6C所示，在平面基板5的主面上整個面地涂覆光粘接劑6，僅把輸入輸出的某一方光纖4設(shè)置在V形槽10中。
作為第4工序，如圖6D所示，在槽1中插入濾光器2。而且，沿著V形槽10滑動插入另一方光纖4。而且設(shè)置成接觸到濾光器2，使得盡可能減少濾光器2-光纖4之間的間隙。通過這樣做，能夠大大地減少由于散射、漫反射、折射率的變化引起的光衰減。這時，通過在光纖4中使用芯子直徑擴大光纖，擴大光纖4的端面的光點尺寸，在降低光纖4之間的透射損失或者耦合損失方面有效。另外，設(shè)置成使得光纖4的芯子直徑在槽1的部分中成為最大。
圖6E、圖6F所示的以后的工序由于與實施方案3相同因此省略。
實施方案6圖7～圖7F示出在平面基板5中已經(jīng)埋入了光路2時的順序。
如圖7A所示，當(dāng)在玻璃基板5中埋入擴散玻璃波導(dǎo)或者聚合物波導(dǎo)那樣的光路20時，不需要制作V形槽10。如圖7B所示，制作對于光路僅從直角偏移微小角θ，對于濾光器2的厚度充分寬的槽1。接著如圖7C所示，在平面基板5的上表面涂覆粘接劑6，如圖7D所示插入濾光器2。這時，盡可能選擇該粘接材料6的折射率接近光路20的折射率的材料。在槽1中插入了濾光器2以后，如圖7E所示，使配置在平面基板5上的2個覆蓋層3移動夾住濾光器2。這時，固定濾光器2的角度成為規(guī)定的角度。如圖7F所示，以所要求的角度夾住濾光器2，通過光或者熱粘合。
通過使用精巧的V形槽10光軸不偏移地固定光路，能夠容易地進行在光路的連接中最重要也是最困難的光軸調(diào)整。另外，通過對于光軸從直角偏移微小角θ制作濾光器插入槽，能夠防止由于槽壁面等引起的反射、散射光侵入到光路中。所制作的濾光器插入槽通過對于所插入的濾光器選擇最適宜的形狀，能夠更精巧地進行濾光器-光路之間的連接。如此，能夠容易而且非常小地制作濾光器組件，解決難以正確地對準(zhǔn)光纖插入濾光器，以及難以小型化的問題。
權(quán)利要求
1.一種濾光器組件，其特征在于具備光路；具有光路，并具有與上述光路交差那樣形成的濾光器插入槽的平面基板；插入到上述濾光器插入槽中的濾光器；覆蓋上述光路，并且與上述平面基板粘合的覆蓋層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于上述光路具有交叉部分，上述濾光器插入槽與上述交差部分交差。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于上述光路是光纖。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于上述光路是芯子直徑擴大光纖。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光器組件，其特征在于與上述濾光器插入槽的壁面相面對的上述光路的端面是上述芯子直徑擴大光纖的芯子直徑擴大部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于上述濾光器插入槽的底部成為從兩方的槽壁面到底面具有錐形面的形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于上述濾光器插入槽的底部取為V形。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于上述濾光器插入槽的底部取為半圓形。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于上述濾光器插入槽的底部取為從一方的槽壁面到另一方的槽壁面具有錐形面的形狀。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于沿著上述濾光器插入槽的任一方槽壁面固定上述濾光器。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于具備多個上述覆蓋層，用上述多個覆蓋層夾住上述濾光器從上述濾光器插入槽突出的部分。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的濾光器組件，其特征在于上述濾光器從上述濾光器插入槽突出的部分是上述覆蓋層的厚度的1/2或以上。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于上述光路與上述濾光器構(gòu)成的角度是5度-10度。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的濾光器組件，其特征在于在上述平面基板的主面上設(shè)有上述光路與上述濾光器構(gòu)成的角度。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的濾光器組件，其特征在于在與上述平面基板的主面垂直的方向上設(shè)有上述光路與上述濾光器構(gòu)成的角度。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于上述平面基板與上述覆蓋層的至少某一方具有載置上述光路的V形槽。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器組件，其特征在于使用光硬化型粘接劑和熱硬化型粘接劑的某一種粘合上述覆蓋層與上述平面基板。
18.一種濾光器組件的制造方法，其特征在于具備以與在平面基板上形成的光路交差式地形成濾光器插入槽的步驟；在上述濾光器插入槽中插入濾光器的步驟；使配置在上述平面基板上的覆蓋層移動，用上述覆蓋層支撐上述濾光器從上述濾光器插入槽突出的部分的步驟；把上述覆蓋層粘接在上述平面基板上的步驟。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的濾光器組件的制造方法，其特征在于還具備在平面基板上形成V形槽的步驟；在上述V形槽中形成光路的步驟。
20.一種濾光器組件的制造方法，其特征在于具備在平面基板上形成V形槽的步驟；以與上述V形槽交差式地形成濾光器插入槽的步驟；以在上述V形槽中各自的一端在上述濾光器插入槽中相一致地形成光路的步驟；在上述濾光器插入槽中插入濾光器的步驟；使配置在上述平面基板上的覆蓋層移動，用上述覆蓋層支撐上述濾光器從上述濾光器插入槽突出的部分的步驟；把上述覆蓋層粘接在上述平面基板上的步驟。
全文摘要
本發(fā)明是在光波導(dǎo)的路徑中插入安裝多層膜濾光器的濾光器組件，該濾光器組件在平面基板的主面上形成精密的V形槽使得光纖突出，在平面基板上安裝光纖，在與平面基板的主面的V形槽交差那樣形成的濾光器插入槽中插入了多層膜濾光器以后，用上部的兩片覆蓋層夾住，固定、安裝濾光器，而且提供減少輸入輸出光纖之間的光軸調(diào)整，所插入的濾光器的位移少的高精度的安裝方法。
文檔編號G02B6/12GK1489709SQ02804211
公開日2004年4月14日 申請日期2002年10月4日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月4日
發(fā)明者古用貴昭, 西原和成, 島村徹郎, 出川三喜夫, 喜夫, 成, 郎 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社