專利名稱：彩色濾光器用玻璃基板的再生方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及彩色濾光器用玻璃基板的再生方法及再生裝置，詳細(xì)地說，涉及針對彩色濾光器或至少形成一種顏色的著色層的中間產(chǎn)品、在遮光層或著色層等效果不良時(shí)使用、并用于有效地使用玻璃基板的彩色濾光器用玻璃基板的再生方法及再生裝置。
背景技術(shù)：
近年來，彩色液晶顯示裝置作為可全色顯示的顯示裝置，快速地使用于個(gè)人計(jì)算機(jī)等的OA機(jī)器、電視等的AV機(jī)器或PA機(jī)器等中。而且，彩色液晶顯示裝置廣泛使用了彩色濾光器。
彩色濾光器具有如下的結(jié)構(gòu)在由玻璃等制成的透明基板上，由金屬鉻、氧化鉻·金屬鉻(以下稱低反射鉻)或樹脂黑(以下稱黑色保護(hù)層)等構(gòu)成的遮光層形成為規(guī)定的圖案，作為黑底，在形成該遮光層的玻璃基板上按規(guī)定的圖案形成透明的著色層，在其上順序?qū)訅和该鲗?dǎo)電膜及定向膜。另外，在著色層和透明導(dǎo)電膜之間有時(shí)也形成透明保護(hù)膜。
但是，在黑底上形成著色層的工序中，有時(shí)產(chǎn)生固態(tài)成分(微粒)的軌跡、氣泡、色斑、顫動、污垢等水平方向的缺陷以及突起等垂直方向的缺陷，使彩色濾光器的成品率降低。即，由于修復(fù)產(chǎn)生的缺陷極其困難，所以含有缺陷的彩色濾光器幾乎全部廢棄。因此，除了材料費(fèi)及藥劑費(fèi)的損失、工序損失以外，廢棄處理費(fèi)用也會加到生產(chǎn)成本中。而且，對于由鉻或氧化鉻等構(gòu)成黑底的彩色濾光器來說，若將其掩填處理，經(jīng)過一段時(shí)間變化，有可能使環(huán)境惡化。另外，上述這樣的缺陷，在用由黑色保護(hù)層形成黑底時(shí)，也有可能在其形成過程中產(chǎn)生。而且，也有可能在透明保護(hù)膜、透明導(dǎo)電膜或定向膜中產(chǎn)生缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于以上實(shí)際情況而開發(fā)的，其目的在于提供一種彩色濾光器用玻璃基板的再生方法，針對彩色濾光器或至少形成一種顏色的著色層的中間產(chǎn)品，典型地在遮光層或著色層等效果不良時(shí)使用，從而有效地使用玻璃基板。
即，本發(fā)明的第一要點(diǎn)是，本發(fā)明的彩色濾光器用玻璃基板的再生方法是針對在透明玻璃基板上依次形成至少由鉻構(gòu)成的遮光層和著色層的彩色濾光器、或至少形成一種顏色的著色層的中間制品使用的方法，其特征在于包括利用40～100重量％的濃流酸或發(fā)煙硫酸除去著色層的除去工序。
本發(fā)明的第二要點(diǎn)是，本發(fā)明的彩色濾光器用玻璃基板的再生方法是針對在透明玻璃基板上依次形成至少由黑色保護(hù)層構(gòu)成的遮光層和著色層的彩色濾光器、或至少形成一種顏色的著色層(包括由黑色保護(hù)層形成的著色層)的中間制品使用的方法，其特征在于包括利用40～100重量％的濃流酸或發(fā)煙硫酸除去著色層的除去工序。


圖1是本發(fā)明的再生裝置的一個(gè)例子的示意圖。
符號說明1酸液處理槽，2硫酸稀釋冷卻槽，3淋浴·超聲波水洗槽，4氧化劑溶液槽，5洗劑洗液槽，6淋浴·超聲波水洗槽，7超聲波·超純水水洗槽，8超聲波·超純水水洗槽，9自動玻璃基板提起機(jī)構(gòu)，10溫超純水槽，11清潔干燥器。
具體實(shí)施例方式
以下，基于附圖詳細(xì)說明本發(fā)明。成為本發(fā)明再生方法的對象的彩色濾光器，是以透明玻璃為基板的眾所周知的彩色濾光器。作為透明玻璃基板來說，為了防止鈉的溶出，使用涂布了氧化硅的鈉玻璃或無堿玻璃。另外，在以下的說明中，將透明玻璃簡略記為基板。
如上所述，在基板上形成黑底和規(guī)定圖案的著色層。黑底的材料通常是金屬鉻、低反射鉻或黑色保護(hù)層。在黑色保護(hù)層的情況下，將分散有黑色材料的光聚合性組合物涂布在基板上后，進(jìn)行加熱干燥、圖像曝光、顯像及熱固化處理，形成黑底。
作為光聚合性組合物來說，通常使用丙烯酸或環(huán)氧類紫外線感光樹脂等。作為黑色材料來說，通常使用碳黑。著色層由紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)三原色構(gòu)成，作為其形成方法來說，除現(xiàn)在成為主流的顏料分散法外，還有染色法等。
在顏料分散法中，在基板的黑底形成面上涂布分別分散有紅、綠、藍(lán)材料的各光聚合性組合物后，進(jìn)行加熱干燥、圖像曝光、顯像及熱固化的各種處理，依次形成各種顏色的像素圖像。作為光聚合性組合物來說，通常使用丙烯酸或環(huán)氧類的紫外線感光樹脂等。作為色材料來說，可使用包括偶氮類、酞菁類、蒽醌類、靛藍(lán)類、金屬絡(luò)合物類的稠環(huán)類顏料等。
在染色法中，在基板的黑底形成面上，涂布可染性的透明感光性樹脂，用規(guī)定的分光特性的染料進(jìn)行染色。而且，用紅、綠、藍(lán)這三種顏色重復(fù)進(jìn)行該工序，依次形成各種顏色的像素圖像。另外，為了防止染色層間的混色，設(shè)置了中間層，用鞣酸等處理染色層的表面。
作為可染性的透明感光性樹脂來說，可使用明膠、酪朊、魚膠等天然蛋白質(zhì)、聚乙烯醇、聚丙烯酸酯等合成高分子等。作為染料來說，可使用酸性染料、反應(yīng)性染料。另外，作為彩色濾光器的制造方法來說，除了上述的2種方法以外，還有印刷法或電泳法等。
對于上述那樣的彩色濾光器，例如在黑色保護(hù)層和/或著色層不良時(shí)，使用本發(fā)明的再生方法。本發(fā)明的再生方法包括利用40～100重量％的濃硫酸或發(fā)煙硫酸除去黑色保護(hù)層和/或著色層的除去工序。而且，在本發(fā)明特別優(yōu)選的實(shí)施方式中，包括在上述的除去工序之后利用氧化劑溶液除去殘?jiān)臍堅(jiān)スば?。?dāng)然，本發(fā)明的再生方法即使對于在著色層上形成了保護(hù)膜的彩色濾光器也可適用。
首先，在本發(fā)明中，將彩色濾光器或至少形成了一種顏色的著色層(包括利用黑色保護(hù)層產(chǎn)生的著色層)的中間品浸漬濃流酸或發(fā)煙硫酸中，除去黑色保護(hù)層和/或著色層。濃流酸的濃度優(yōu)選為50～100重量％，更優(yōu)選為70～100重量％。另外，發(fā)煙硫酸是100％硫酸和無水硫酸(SO3)的混合物。在本發(fā)明中，作為無水硫酸(SO3)濃度換算值(SO3/H2SO4)，通常使用濃度為100.1～125重量％、優(yōu)選為100.1～105重量％的發(fā)煙硫酸。上述各濃流酸的液溫通常在25℃以上、優(yōu)選為75±5℃。浸漬時(shí)間通常為10～30分鐘。而且，優(yōu)選利用適當(dāng)?shù)姆椒?，按照將接觸于上述各層的濃流酸或發(fā)煙硫酸相交換的方式進(jìn)行液循環(huán)。通過液循環(huán)縮短除去黑色保護(hù)層和/或著色層的除去時(shí)間。
通過上述處理，在遮光層由金屬鉻或低反射鉻構(gòu)成的彩色濾光器的情況下，只除去著色層。在遮光層由黑色保護(hù)層形成的彩色濾光器的情況下，將黑色保護(hù)層與著色層一起除去。在由黑色保護(hù)層構(gòu)成的遮光層形成于基板上的階段的彩色濾光器中間品的情況下，除去遮光層。這些除去作用，通過依賴于硫酸的著色層以及黑色保護(hù)層等的脫水反應(yīng)和氧化反應(yīng)的協(xié)同效果而達(dá)到。而且，上述反應(yīng)不會引起金屬鉻和低反射鉻膜的損傷。具體來講，使殘留于基板上的遮光層的表面粗糙度用中心線平均粗糙度(Ra)來表示維持在3.0～7.0nm的范圍。
上述的除去作用通過進(jìn)行以下的反應(yīng)加以判斷。即，可以說，著色層、黑色保護(hù)層及保護(hù)膜的有機(jī)物，利用濃流酸或發(fā)煙硫酸，以水的形式奪走分子中的氫和氧，從而使碳化、分解的反應(yīng)占支配地位。
其結(jié)果是，著色層等被分解、除去。因此，在濃流酸和不良著色層的接觸處理中，作為分解殘留物的碳化物慢慢地懸濁在濃流酸中。硫酸的濃度越高、并且液溫越高則著色層的分解·除去效果越大。但是，在上述的反應(yīng)中，不會損傷金屬鉻或低反射鉻膜。而且，即使硝酸與硫酸一起使用，其效果從后述比較例的結(jié)果來看，也未見到。
在本發(fā)明的再生方法中，利用濃流酸或發(fā)煙硫酸處理后，除去附著在基板上的硫酸。此時(shí)，為了緩和因硫酸的稀釋熱造成的基板的溫度激劇上升，浸漬在收存有比所使用的硫酸或發(fā)煙硫酸濃度低的硫酸的硫酸稀釋冷卻槽內(nèi)，可以稀釋并除去附著在基板上的濃流酸或發(fā)煙硫酸。作為稀釋用的硫酸來說，在使用40～100重量％的濃流酸的情況下，通常使用20～35重量％的稀硫酸，在使用發(fā)煙硫酸的情況下，通常使用40～60重量％的濃硫酸。然后，進(jìn)行淋浴水洗、超聲波流水洗凈，從而將附著硫酸或固態(tài)物除去。通常在淋浴水洗時(shí)使用純水。
接著，將上述處理后的基板浸漬在氧化劑溶液中，除去在上述處理中沒有除去的殘?jiān)?。此時(shí)，氧化劑溶液的液溫通常為25℃以上，優(yōu)選為75±5℃。浸漬時(shí)間通常為20～40分鐘。而且，為了縮短處理時(shí)間，優(yōu)選利用適當(dāng)?shù)姆椒?，進(jìn)行氧化劑溶液的循環(huán)。通過該處理，例如，在10萬勒克斯的照度下觀察，非常少的殘?jiān)惨蜓趸纸舛ァ?br> 作為氧化劑溶液來說，可使用以過氧化氫為主的各種氧化劑。但是，在過氧化氫的情況下，伴隨該分解而發(fā)生的原子狀態(tài)氧(發(fā)生期的氧)的壽命短，在短時(shí)間內(nèi)相互結(jié)合，成為對殘?jiān)某缀鯖]有效果的氧分子。因而，為了利用過氧化氫經(jīng)濟(jì)地有效地除去殘?jiān)?，需要有效地活用原子狀態(tài)氧，控制過氧化氫的濃度和其分解速度的pH值非常重要。因此，在本發(fā)明中，適合使用含有過氧化氫為0.1～20重量％和氫氧化銨為0.1～20重量％的過氧化氫-氫氧化銨類溶液的氧化劑溶液。
本發(fā)明所用的氧化劑溶液并不限定于過氧化氫-氫氧化銨類溶液，也可使用具有與其同等以上的氧化電位的其他氧化劑溶液。例如，在黑底由黑色保護(hù)層形成時(shí)，適合使用過錳酸鹽或鉻酸鹽等酸性或中性水溶液或臭氧水。另外，在黑底是鉻或低反射鉻時(shí)，適合使用臭氧水。即，本發(fā)明所使用的氧化劑溶液根據(jù)再生對象的不同而不同，只要不會對基板、鉻、低反射鉻造成損傷，就不限制其種類。
在本發(fā)明的再生方法中，在進(jìn)行氧化劑溶液處理后，進(jìn)行淋浴水洗、超聲波流水洗凈，從而將附著的氧化劑溶液或固態(tài)物除去，而且，浸漬于水溶性溶劑中，將附著的油脂類、其他附著物除去。通常，在淋浴水洗中使用純水，作為水溶性洗劑液來說，使用含有陰離子和非離子表面活性劑的水溶液等。浸漬溫度通常為50～90℃，優(yōu)選為65～75℃，浸漬時(shí)間通常在10分鐘以上，優(yōu)選為15～25分鐘。
然后，進(jìn)行流水浸漬、淋浴洗凈，將洗劑液或固態(tài)成分除去，進(jìn)行超聲波·超純水洗凈、溫水洗凈、干燥等各種處理。通常，流水浸漬、淋浴洗凈及溫水洗凈使用純水。超聲波·超純水洗凈可以根據(jù)需要進(jìn)行多次，溫水洗凈通常在70～80℃進(jìn)行。在將基板從溫水洗凈槽慢慢地提起時(shí)，可以進(jìn)行預(yù)干燥，通過該操作，能夠防止此后的固態(tài)成分的附著。而且，在此以后，通常在50℃以上、優(yōu)選在70±5℃的清潔干燥器內(nèi)進(jìn)行再生基板的最終干燥。
在本發(fā)明的再生方法中，可以使用圖1所示的再生裝置。
圖1所示的再生裝置，按順序配置有利用硫酸的酸液處理槽(1)、硫酸稀釋冷卻槽(2)、構(gòu)成第一洗凈槽的淋浴·超聲波水洗槽(3)、氧化劑溶液處理槽(4)、構(gòu)成第二洗凈槽兼用作第一洗凈槽的淋浴·超聲波水洗槽(3)、洗劑洗凈槽(5)及淋浴·超聲波水洗槽(6)、二個(gè)超聲波·超純水洗凈槽(7)、(8)、具有自動玻璃基板提起機(jī)構(gòu)(9)的溫超純水槽(10)，同時(shí)還具備干凈干燥機(jī)(11)。
而且，彩色濾光器或其中間品(未圖示)，利用帶有保持工具的移送裝置(未圖示)依次移送至上述各槽中施行處理，最終用清潔干燥器(11)進(jìn)行處理，從而作為再生基板進(jìn)行回收。通常，保持工具由聚四氟乙稀等構(gòu)成，被處理的彩色濾光器在該保持工具上為20～30枚。在移送裝置中使用例如信息處理機(jī)，圖1所示的再生裝置由連動移動彩色濾光器或其中間品的半自動裝置構(gòu)成。
酸液處理槽(1)收存有濃流酸或發(fā)煙硫酸，具有浸漬彩色濾光器或其中間品的功能，例如由硬質(zhì)氯乙烯、聚四氟乙烯等構(gòu)成。優(yōu)選將熱交換器(1b)和循環(huán)泵(2b)連接于酸液處理槽(1)，利用這些設(shè)備，將槽內(nèi)的液溫保持為一定值，同時(shí)按照交換與彩色濾光器的不良著色層等接觸的濃流酸的方式進(jìn)行液循環(huán)。
硫酸稀釋冷卻槽(2)具有將附著在基板上的濃流酸或發(fā)煙硫酸除去的功能，由硬質(zhì)氯乙烯等構(gòu)成。優(yōu)選在硫酸稀釋冷卻槽(2)設(shè)置保持工具的振動裝置(未圖示)，以便可快速地?cái)U(kuò)散并除去附著在基板上的濃流酸。
淋浴·超聲波水洗槽(3)具有除去附著在基板上的硫酸成分或固態(tài)物的功能，其結(jié)構(gòu)是具有通常的淋浴和超聲波洗凈裝置且可收存純水的結(jié)構(gòu)。洗劑洗凈槽(5)具有除去附著在基板上的附著油脂類及其他附著物的功能，其結(jié)構(gòu)是可收存含有陰離子和非離子表面活性劑的水溶液的結(jié)構(gòu)。
氧化劑溶液槽(4)具有將酸液處理槽(1)未能除去的微量殘?jiān)サ墓δ?，例如由硬質(zhì)氯乙烯、聚四氟化乙烯等構(gòu)成。氧化劑溶液槽(4)中具備攪拌機(jī)(3b)和內(nèi)置型加熱器(4b)，可使氧化劑溶液的溫度保持為一定值。
洗劑洗凈槽(5)，優(yōu)選連接熱交換器(1b)和循環(huán)泵(2b)，利用這些設(shè)備，在使槽內(nèi)的液溫保持為一定值的同時(shí)，使液體循環(huán)。也可以使用攪拌機(jī)代替循環(huán)泵(2b)。
淋浴·超聲波水洗槽(6)與淋浴·超聲波水洗槽(3)是相同的機(jī)構(gòu)，具有將基板上附著的洗劑液或固態(tài)附著物除去的功能。超聲波·超純水洗凈槽(7)、(8)具有更有效地除去附著在基板上的固態(tài)物和可溶成分的功能，同時(shí)，其結(jié)構(gòu)是具有通常的超聲波洗凈裝置且可收存超純水的結(jié)構(gòu)。
具有自動玻璃基板提起機(jī)構(gòu)(9)的溫超純水槽(10)具有最終洗凈的功能，其結(jié)構(gòu)是收存超純水的結(jié)構(gòu)。優(yōu)選在溫超純水槽(10)中附帶有帶溫度控制加熱裝置(5b)。利用這些設(shè)備，在用自動玻璃基板提起機(jī)構(gòu)(9)慢慢地將基板提出水面時(shí)快速地干燥基板，可防止此后的固態(tài)成分的附著。
清潔干燥器(11)具有最終干燥的功能，由通常的密閉型干燥器構(gòu)成。
上述的再生裝置，作為所需要的藥液供給線，設(shè)置有濃流酸供給線(1a)、過氧化氫供給線(2a)、氫氧化銨水溶液供給線(3a)、洗劑供給線(4a)、純水供給線(5a)、超純水供給線(6a)等，并設(shè)置有廢水線(1c)、(2c)、(3c)。
另外，上述的再生裝置，以利用槽型設(shè)備為主，將收存于夾具(case)內(nèi)的多枚被處理物與夾具一起浸漬至各槽內(nèi)。但是，在本發(fā)明中，洗劑洗凈槽(5)以后的設(shè)備，不是單個(gè)分開的槽，使用通過搬送輥連續(xù)搬送被處理物的單一的長形的槽，洗劑洗凈槽(5)以后的各處理，也可以按照對每一枚被處理物進(jìn)行處理的方式(單枚方式)進(jìn)行。這種再生裝置，例如適合在縱向550mm、橫向650mm那樣的較大尺寸的被處理物的情況下使用。單枚方式所需要的設(shè)備，可以利用現(xiàn)有的眾所周知的相同設(shè)備。
實(shí)施例以下，利用實(shí)施例更加詳細(xì)地說明本發(fā)明，就本發(fā)明來說，只要不超出其要點(diǎn)，就不局限于以下的實(shí)施例。而且，測定再生后的玻璃基板的物理性質(zhì)使用以下的測定器。
(1)膜厚(黑底厚度)觸針式段差計(jì)(Tencor社制“α-step 500型”，針壓2.5mg，掃描速度10μm/s)。
(2)光學(xué)濃度麥克貝斯透過濃度計(jì)(サカタィンスク社制“TD-932型”)(3)反射率顯微分光光度計(jì)(大塚電子社制“MCPD-2000SC型”)(4)表面粗糙度(黑底面)激光式表面粗糙度計(jì)(ZYGO社制“NEW-VIEW100型”)(5)殘?jiān)爱愇锔街鴻z查高亮度鹵素光源裝置(山田光學(xué)工業(yè)制“YP-2501型”)實(shí)施例1～4和比較例1～2針對在透明玻璃基板上依次形成遮光層和著色層、且遮光層由金屬鉻或低反射鉻構(gòu)成的彩色濾光器，使用圖1所示的再生裝置，采用表1～表3所示的各再生條件，進(jìn)行只除去著色層保留遮光層的再生處理，其結(jié)果示于表4。其中，表3所示的再生條件，無論那一個(gè)，都是用于比較的條件，以特開平5-341118號公報(bào)中記載的方法為標(biāo)準(zhǔn)，在酸液處理槽(1)中收存硫酸和硝酸的混酸，然后實(shí)現(xiàn)。
表1<再生條件I(實(shí)施例)>

表2<再生條件II(實(shí)施例)>

表3<再生條件III(比較例)>

表4

注1巖井，若泉；液晶部品·材料ビジネス最前線，P68，1995年，(株)工業(yè)調(diào)查會由表4所示的結(jié)果可知，就除去著色層后基板上殘留的鉻遮光層的損傷來說，只要用膜厚、光學(xué)濃度、反射率及表面粗糙度進(jìn)行判斷，就會看到著色層除去前后以及與文獻(xiàn)值相比沒有差異。而且，完全看不到再生基板上的著色層的殘?jiān)?。與此相反，在比較例中看到了附著膜的殘留。
實(shí)施例5針對在透明玻璃基板上依次形成遮光層和著色層、且遮光層由金屬鉻構(gòu)成的彩色濾光器和遮光層由黑色保護(hù)層構(gòu)成的彩色濾光器，使用圖1所示的再生裝置，采用表2所示的再生條件II和只省略上述表2中的氧化劑溶液處理和其后的淋浴·超聲波水洗的再生條件II′，進(jìn)行10次再生處理，其中，對于遮光層由金屬鉻構(gòu)成的彩色濾光器來說，進(jìn)行只除去著色層的再生處理，而對于遮光層由黑色保護(hù)層構(gòu)成的彩色濾光器來說，進(jìn)行除去著色層和遮光層的再生處理。在各再生處理中，使用了500枚的彩色濾光器。而且，在10萬勒克斯照度下，目視觀察殘?jiān)挠袩o，從而判斷是否合格，調(diào)查各再生處理的合格率(％)。其結(jié)果示于表5。
表5

發(fā)明效果根據(jù)以上所說明的本發(fā)明，由于能夠從在著色層的制造工序中產(chǎn)生缺陷時(shí)、目前幾乎作為不良品而廢棄處理的彩色濾光器中再生基板，而能夠再次使用，所以能夠消減彩色濾光器制造成本中的基板、藥劑等的材料費(fèi)和廢棄處理費(fèi)用，而且，在遮光層由金屬鉻或低反射鉻構(gòu)成的情況下，由于只除去著色層，所以可省略黑底之前的制造工序，從而能夠消減材料費(fèi)和工序費(fèi)。
權(quán)利要求
1.一種彩色濾光器用玻璃基板的再生方法，其為針對在透明玻璃基板上依次形成至少由鉻構(gòu)成的遮光層和著色層的彩色濾光器、或至少形成一種顏色的著色層的中間制品使用的方法，其特征在于包括利用40～100重量％的濃流酸或發(fā)煙硫酸除去著色層的除去工序。
2.如權(quán)利要求1所述的再生方法，其特征在于包括在著色層的除去工序之后利用氧化劑溶液除去殘?jiān)臍堅(jiān)スば颉?br> 3.如權(quán)利要求1或2所述的再生方法，其特征在于在著色層不良時(shí)使用。
4.如權(quán)利要求1或2所述的再生方法，其特征在于再生玻璃基板上殘留的遮光層的表面粗糙度，用中心線平均粗糙度(Ra)來表示，為3.0～7.0nm的范圍。
5.一種彩色濾光器用玻璃基板的再生方法，其為針對在透明玻璃基板上依次形成至少由黑色保護(hù)層構(gòu)成的遮光層和著色層的彩色濾光器、或至少形成一種顏色的著色層(包括由黑色保護(hù)層形成的著色層)的中間制品使用的方法，其特征在于包括利用40～100重量％的濃流酸或發(fā)煙硫酸除去著色層的除去工序。
6.如權(quán)利要求5所述的再生方法，其特征在于包括在著色層的除去工序之后利用氧化劑溶液除去殘?jiān)臍堅(jiān)スば颉?br> 7.如權(quán)利要求5或6所述的再生方法，其特征在于在黑色保護(hù)層和/或著色層不良時(shí)使用。
8.如權(quán)利要求1或5所述的再生方法，其特征在于氧化劑溶液是含有過氧化氫0.1～20重量％和氫氧化銨0.1～20重量％的水溶液。
9.如權(quán)利要求1或5所述的再生方法，其特征在于氧化劑溶液是含有過氧化氫1～4重量％和氫氧化銨1～3重量％的水溶液。
全文摘要
本發(fā)明提供一種彩色濾光器用玻璃基板的再生方法，針對于彩色濾光器或至少形成一種顏色的著色層的中間制品、典型地在遮光層或著色層不良時(shí)使用，從而有效地使用玻璃基板。(1)是針對在透明玻璃基板上依次形成至少由鉻構(gòu)成的遮光層和著色層的彩色濾光器、或至少形成一種顏色的著色層的中間制品使用的方法，其中，包括利用40～100重量％的濃硫酸或發(fā)煙硫酸除去著色層的除去工序，以及(2)是針對在透明玻璃基板上依次形成至少由黑色保護(hù)層構(gòu)成的遮光層和著色層的彩色濾光器、或至少形成一種顏色的著色層(包括由黑色保護(hù)層形成的著色層)的中間制品使用的方法，其中，包括利用40～100重量％的濃硫酸或發(fā)煙硫酸除去著色層的除去工序。
文檔編號G02F1/1333GK1469163SQ0310937
公開日2004年1月21日 申請日期2003年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月20日
發(fā)明者黑木龍己, 幸一也, 古賀隆生, 生 申請人:株式會社新菱