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      光波導路模塊的制作方法

      文檔序號:2764074閱讀:159來源:國知局
      專利名稱:光波導路模塊的制作方法
      技術領域
      本發(fā)明涉及具有設置在基片上的光波導路的光波導路模塊。
      背景技術
      在用光纖或平面光波導路等的光波導路的光路中,存在著希望使沿各光波導路傳輸?shù)男盘柟獾墓鈴姸缺3趾愣ǖ?,將信號光的光強度控制在適當值的情形。在這種情形中,在光路中監(jiān)視信號光的光強度,或者進一步,根據(jù)監(jiān)視的結果控制光強度。
      在上述信號光的光強度的監(jiān)視器中,至今,都用在光波導路上設置光耦合器分離出一部分信號光的方法。在該方法中,通過在光波導路上的預定位置上設置光耦合器分離出約百分之幾的信號光,通過用光檢測器監(jiān)視分離出來的光的光強度,對沿該光波導路傳輸?shù)男盘柟獾墓鈴姸冗M行監(jiān)視。
      但是,在這樣地使用光耦合器的情形中,除了構成光路的光學部件的數(shù)量增加外,還存在著因為需要熔接它們,所以使光路的構成和制造步驟復雜化那樣的問題。
      對此,提出了不用光耦合器,通過反射取出一部分信號光,監(jiān)視光強度的方法。在這種監(jiān)視方法中,例如,在平面波導型光路中的光波導路上的預定位置上,沿光波導路傳輸?shù)男盘柟獾囊徊糠直环瓷涞綄廨S只傾斜預定角度的方向上作為用于監(jiān)視的反射光。而且,通過用設置在形成光波導路的基片上的光檢測器檢測該反射光,對信號光進行監(jiān)視。
      但是,在這種光信號的監(jiān)視方法中,使反射光以傾斜角度入射到設置在基片上的光檢測器的光入射面上。這時,由于透過光入射面的光的偏振依賴性,產(chǎn)生在光檢測器中的反射光的受光靈敏度隨信號光的偏振狀態(tài)而變化那樣的問題。在這種情形中,如果特定沿光波導路傳輸?shù)男盘柟獾钠駹顟B(tài),則不能夠正確地監(jiān)視信號光的光強度。

      發(fā)明內容
      本發(fā)明就是為了解決以上的問題而提出的,本發(fā)明的目的是提供與信號光的偏振狀態(tài)無關,可以正確地監(jiān)視光強度的光波導路模塊。
      為了達到這種目的,根據(jù)本發(fā)明的光波導路模塊的特征是備有(1)通過包含基片、和設置在基片上的光波導路地構成的,為了橫切光波導路的預定部位,而具有對與光波導路的光軸正交的垂直軸傾斜預定的傾斜角θ(0°<θ)地形成的溝的光路、(2)在光路的溝的內側包含沿光波導路傳輸?shù)男盘柟馔ㄟ^的部位地設置的,以預定發(fā)射率反射一部分信號光的反射濾波器、和(3)檢測由反射濾波器反射信號光產(chǎn)生的反射光的光檢測器,(4)光檢測器是為了使反射光以預定角度入射到它的光入射面地設置的。
      在上述光波導路模塊中,形成不用光耦合器分離光波導路,而用設置在設在光波導路上的斜溝上的反射濾波器反射一部分信號光,可以根據(jù)該反射光監(jiān)視信號光的光強度的構成。因此,能夠使光路的構成和制造步驟簡單化。
      又,形成來自反射濾波器的反射光以預定角度入射到光檢測器的光入射面的構成。這時,因為減少了透過光入射面的光的偏振依賴性,所以能夠使在光檢測器中的反射光的受光靈敏度與信號光的偏振狀態(tài)無關大致恒定。因此,可以與信號光的偏振狀態(tài)無關地正確地監(jiān)視光強度。
      此外,關于反射光對光檢測器的光入射面的入射角度,最好設定在,例如,對光入射面大致正交的角度,或處于包含90°的預定角度范圍內的角度等,能夠充分減少透過光入射面的光的偏振依賴性的角度上。又,作為設置在光路上的光波導路,例如,能夠用在基片上形成的平面光波導路型的光波導路或固定在基片上的光纖等。


      圖1是表示光波導路模塊的第1實施方式的構成的平面圖。
      圖2是表示部分放大沿圖1所示的光波導路模塊的光軸的截面構造的截面圖。
      圖3是表示光波導路模塊的構成的一個例子的截面圖。
      圖4A~圖4C是表示在光檢測器中的受光靈敏度的偏振依賴性的曲線圖。
      圖5A~圖5C是表示在光檢測器中的受光靈敏度的偏振依賴性的曲線圖。
      圖6A~圖6C是表示在光入射面上的光透過率隨AR涂層的膜厚變化的曲線圖。
      圖7A~圖7C是表示在光入射面上的光透過率的偏振依賴性隨AR涂層的膜厚變化的曲線圖。
      圖8是表示光波導路模塊的構成的其它例子的截面圖。
      圖9是表示光波導路模塊的第2實施方式的構成的平面圖。
      圖10是表示部分放大沿圖9所示的光波導路模塊的光軸的截面構造的截面圖。
      圖11是表示光波導路模塊的第3實施方式的構成的平面圖。
      圖12是表示部分放大沿圖11所示的光波導路模塊的光軸的截面構造的截面圖。
      圖13是表示部分放大沿光波導路模塊的第4實施方式的光軸的截面構造的截面圖。
      圖14A和圖14B是表示圖13所示的光波導路模塊中的副安裝基片和光檢測器陣列的構成的圖,A是從下游側看的側面圖,B是上面圖。
      圖15A和圖15B是表示在作為光波導路用A平面波導型的光波導路和B光纖的情形中與光路的光軸垂直的截面構造的截面圖。
      圖16是表示部分放大沿光波導路模塊的其它實施方式的光軸的截面構造的截面圖。
      圖17A和圖17B是表示光檢測器陣列的第1構成例的圖,A是上面圖,B是側面截面圖。
      圖18A和圖18B是表示光檢測器陣列的第2構成例的圖,A是上面圖,B是側面截面圖。
      圖19A和圖19B是表示光檢測器陣列的第3構成例的圖,A是上面圖,B是側面截面圖。
      具體實施例方式
      下面,我們與附圖一起詳細說明根據(jù)本發(fā)明的光波導路模塊的優(yōu)先實施方式。此外,在附圖的說明中在相同的要素上附加相同的標號,并省略重復的說明。又,附圖的尺度比例不一定與說明的一致。
      圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的光波導路模塊的第1實施方式的構成的平面圖。該光波導路模塊備有具有基片10和設置在基片10上的8條(8個溝道)的光波導路21~28構成的光路1。在本實施方式中,作為光波導路21~28,可以用在基片10上形成的平面波導型的光波導路。
      沿預定的光傳輸方向(圖1中的箭頭方向),從平面波導型光路1的輸入端11向著輸出端12,相互平行并且等間隔地形成各條光波導路21~28。又,在平面波導型光路1的光傳輸方向上的預定部位上設置橫切光波導路21~28的溝3。
      在該溝3中,在它的內側,設置用于以預定的反射率反射沿各光波導路21~28傳輸?shù)男盘柟獾囊徊糠值姆瓷錇V波器4。在本實施方式中,用充填樹脂5密封該溝3的內側。又,在溝3的上游側位置,在平面波導型光路1的上面?zhèn)仍O置副安裝基片70和光檢測器陣列60。該光檢測器陣列60具有分別與平面波導型光路1中的8條光波導路21~28對應的8個光檢測器611~618。
      此外,在圖1中,關于光檢測器611~618,用虛線畫出各個受光面的形狀。又,關于副安裝基片70,為了表示光檢測器陣列60和光檢測器611~618等的構成,只用一點虛線畫出它的設置位置。又,例如通過焊接固定平面波導型光路1和副安裝基片70,或者,副安裝基片70和光檢測器陣列60。
      圖2是沿光波導路2n(n=1~8)的光軸方向(平面波導型光路1的光傳輸方向)表示圖1所示的光波導路模塊的截面構造的截面圖。此外,在該圖2中,放大表示包含溝3、反射濾波器4和光檢測器陣列60的部分。
      在平面波導型光路1中的光波導路2n,如圖2所示,是通過在基片10上形成下部包層22、芯子20和上部包層21構成的。對于該光波導路2n,在預定部位橫切光波導路2n的溝3是與芯子20相當,在至少包含沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟馔ㄟ^的部位的深度d,對于與光波導路2n的光軸正交(與基片10正交)的垂直軸,傾斜預定的傾斜角θ(0°<θ)地形成的。在本實施形態(tài)中,將溝3的深度d設定得比直到下部包層22的光波導路2n的厚度大。
      在溝3的內側,插入反射濾波器4。為了至少包含以對于光軸與溝3大致相同的角度θ,沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟馔ㄟ^的部位地設置反射濾波器4。該反射濾波器4最好由電介質多層膜濾波器構成,為了以一定的反射率反射沿光波導路2n傳輸?shù)念A定波長(在預定波長帶內)的信號光的一部分地構成。
      在平面波導型光路1的上部包層21的上面?zhèn)龋O置副安裝基片70。該副安裝基片70是用于載置光檢測器陣列60的載置部件,它的一方的面成為載置具有分別與各光波導路2n對應的光檢測器60n(n=1~8)的光檢測器陣列60的光檢測器載置面71。為了使由反射濾波器4反射沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾囊徊糠之a(chǎn)生的反射光入射到各個對應的光檢測器61n的受光單元62,而將光檢測器陣列60配置在光檢測器載置面71上。
      通過作為與光檢測器載置面71鄰接的面的基片固定面72,將副安裝基片70固定在平面波導型光路1的上面。又,基片固定面72是為了與光檢測器載置面71構成比90°大的角度而形成的。因此,光檢測器載置面71對平面波導型光路1的上面傾斜角度α(0°<α<90°)。參照來自反射濾波器4的反射光的光路設定該角度α。
      在圖2所示的構成例中,作為光檢測器陣列60的光檢測器61n可以用表面入射型的光二極管,在與副安裝基片70的反對側設置了光檢測器61n的受光單元62的光檢測器陣列60的表面成為對于來自反射濾波器4的反射光的入射面63。
      光檢測器載置面71和平面波導型光路1的上面所成的角度α是,如圖2所示,為了使來自反射濾波器4的反射光以預定角度(圖2中所示的角度φ)入射到光檢測器61n的光入射面63而設定的。這時,光檢測器陣列60的光入射面63和平面波導型光路1的上面所成的角度成為上述的角度α。
      又,在光檢測器61n的光入射面63上設置作為防止處于與沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾牟ㄩL帶對應的預定波長帶內的光的反射的涂膜的防止反射膜(AR膜)。
      用充填樹脂5密封包含反射濾波器4的溝3的內側。本實施方式中的充填樹脂5由密封溝3的內側的內部充填樹脂單元51和密封包含溝3上部的平面波導型光路1的上面?zhèn)鹊念A定范圍的上部充填樹脂單元52構成。用同一樹脂材料一體地形成這些內部充填樹脂單元51和上部充填樹脂單元52。
      在以上的構成中,如果沿光波導路2n傳輸過來的信號光經(jīng)過上游側端面31射出到溝3內的內部充填樹脂單元51,則由對光軸傾斜的反射濾波器4以預定的反射率使一部分信號光反射到平面波導型光路1的斜上方。又,除此以外的信號光成分透過內部充填樹脂單元51和反射濾波器4,經(jīng)過下游側端面32再次入射到光波導路2n。
      另一方面,由反射濾波器4反射的反射光經(jīng)過內部充填樹脂單元51、光波導路2n和上部充填樹脂單元52到達光檢測器陣列60,從光入射面63以預定的入射角φ入射到光檢測器61n。而且,從由光檢測器61n的受光單元62檢測出的反射光的光強度,對沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾墓鈴姸冗M行監(jiān)視。
      現(xiàn)在我們說明本實施方式的光波導路模塊的效果。
      在圖1和圖2所示的光波導路模塊中,形成不用光耦合器分離光波導路,而是由設置在設在光波導路2n上的斜溝3中的反射濾波器4反射一部分信號光,可以根據(jù)該反射光監(jiān)視信號光的光強度的構成。因此,能夠使光路的構成和制造步驟簡單化。
      又,形成來自反射濾波器4的反射光以預定角度入射到光檢測器陣列60的光檢測器61n的光入射面63的構成。這時,因為減少了透過光入射面63的光的偏振依賴性,所以能夠使在光檢測器61n中的反射光的受光靈敏度與信號光的偏振狀態(tài)無關大致恒定。因此,可以與信號光的偏振狀態(tài)無關地正確地監(jiān)視光強度。
      這里,關于反射光對于光檢測器61n的光入射面63的入射角度φ,需要將它設定在能夠充分減少透過光入射面63的光的偏振依賴性的角度上。具體地說,例如,最好設定在對光入射面63大致正交的角度上?;蛘撸詈迷O定在處于包含90°的預定角度范圍內的角度上。此外,作為光檢測器陣列的光檢測器,也可以用里面入射型的光檢測器。這時,將光檢測器的受光單元設置在與光入射面相反一側的面上。
      又,在圖1所示的光波導路模塊中,具有以預定角度將反射光入射到光檢測器61n的光入射面63的構成,用在平面波導型光路1的上面?zhèn)仍O置作為載置部件的副安裝基片70,由對平面波導型光路1的上面傾斜角度α(0°<α<90°)的光檢測器載置面71保持包含光檢測器61n的光檢測器陣列60的構成。
      通過用這樣的載置部件,為了使對平面波導型光路1傾斜一定角度地射出的反射光的光路和光檢測器61n的光入射面63形成上述的預定角度,能夠在對平面波導型光路1的上面傾斜的狀態(tài)中設置包含光檢測器61n的光檢測器陣列60。
      又,在本光波導路模塊中,多個溝道地設置平面波導型光路1中的光波導路2n、和對應的光檢測器陣列60中的光檢測器61n。在這種構成中,在鄰接的溝道間的串擾成為問題的情形中,當令平面波導型光路1中鄰接的光波導路2n間的間隔為P(請參照圖1),從反射濾波器4到光檢測器陣列60的光入射面63的光程長為L(請參照圖2)時,最好設定滿足條件L/P<4的間隔P和光程長L?;蛘哌M一步,最好設定滿足條件L/P<2的間隔P和光程長L。如果根據(jù)這種構成,則能夠減少鄰接的溝道間的串擾。作為滿足上述條件L/P<4的構成例,是光波導路間隔P=250μm、反射光的光程長L=500μm的構成。
      此外,作為在基片上設置光波導路并且形成有用于插入反射濾波器的溝的光路,在圖1和圖2中表示了用平面波導型的光波導路2n的平面波導型光路1,但是也可以用具有除此以外的構成的光路。例如,將作為光波導路的光纖固定在基片上構成的光路、或并用平面波導型的光波導路和光纖構成的光路等。
      我們進一步具體地說明圖1和圖2所示的光波導路模塊的構成和效果。
      圖3是表示光波導路模塊的構成的一個例子的截面圖。在該構成例中,在設置在平面波導型光路的上面?zhèn)鹊母卑惭b基片上,與光路平行地配置光檢測器。在這種構成中,來自反射濾波器的反射光入射到光檢測器的光入射面的角度φ,如圖3所示,成為從90°很大偏離地傾斜的角度。這時,在透過光入射面的光的透過特性中,產(chǎn)生與入射角φ有關的偏振依賴性。
      即,由于到光入射面的入射角φ從90°很大偏離,在作為透過光入射面的光中的偏振狀態(tài)不同的光成分的s波和p波中,在光入射面的透過率成為不同的值。而且,由于該透過率的偏振依賴性,光檢測器中的對于來自反射濾波器的反射光的受光靈敏度與光的偏振狀態(tài)有關地變化。
      圖4A~圖4C和圖5A~圖5C是表示在光檢測器中的受光靈敏度的偏振依賴性的曲線圖。在這些圖4A~圖4C和圖5A~圖5C的曲線圖中,橫軸表示入射光的波長(μm),縱軸表示光檢測器中的對s波或p波的受光靈敏度(dB)。又,在各曲線圖中,實線表示對s波的受光靈敏度,虛線表示對p波的受光靈敏度。
      這里,假定在光檢測器的光入射面上設置由SiON膜構成的AR涂層的構成,對改變AR涂層的膜厚t和折射率n時的偏振受光靈敏度的變化進行模擬。又,將到光檢測器的光入射面的光入射角設定為15°。
      此外,光檢測器的折射率通常與光波導路等的折射率有很大不同。對此,如果需要時設置AR涂層,則能夠抑制反射光入射到光檢測器時產(chǎn)生的多余的反射,能夠抑制因此而產(chǎn)生的偏振依賴性。
      圖4A~圖4C所示的曲線圖表示當改變AR涂層的膜厚t時的偏振受光靈敏度的變化。又,關于折射率n,令n=1.80是恒定的。
      圖4A是表示作為對波長1.53μm~1.63μm的光的受光靈敏度的偏振依賴性成為最小的最佳條件,令AR涂層的膜厚t=270nm,折射率n=1.80時的偏振受光靈敏度的波長依賴性的曲線圖。在該最佳條件下,受光靈敏度的偏振依賴性在上述的波長帶中變得比較小。
      對此,圖4B是表示當使膜厚t為比最佳條件小15nm的255nm時的偏振受光靈敏度的波長依賴性的曲線圖。又,圖4C是表示當使膜厚t為比最佳條件大15nm的285nm時的偏振受光靈敏度的波長依賴性的曲線圖。這樣,我們看到隨著AR涂層的膜厚t偏離最佳條件,受光靈敏度的偏振依賴性變大。
      圖5A~圖5C所示的曲線圖表示當改變AR涂層的折射率n時的偏振受光靈敏度的變化。又,關于膜厚t,令t=270nm是恒定的。
      圖5A,與圖4A同樣,是表示作為對波長1.53μm~1.63μm的光的受光靈敏度的偏振依賴性成為最小的最佳條件,令AR涂層的膜厚t=270nm,折射率n=1.80時的偏振受光靈敏度的波長依賴性的曲線圖。在該最佳條件下,受光靈敏度的偏振依賴性在上述的波長帶中變得比較小。
      對此,圖5B是表示當使折射率n為比最佳條件小0.05的1.75時的偏振受光靈敏度的波長依賴性的曲線圖。又,圖5C是表示當使折射率n為比最佳條件大0.05的1.85時的偏振受光靈敏度的波長依賴性的曲線圖。這樣,我們看到隨著AR涂層的折射率n偏離最佳條件,與膜厚t的情形相同,受光靈敏度的偏振依賴性變大。
      如以上的圖4A~圖4C和圖5A~圖5C的各曲線圖所示,在到光檢測器的光入射面的入射角從90°很大偏離的構成中,由于偏離AR涂層的膜厚t和折射率n的最佳條件,透過光入射面的光的偏振依賴性急劇增大,在光檢測器中的受光靈敏度的偏振依賴性增大。而且,這樣在光檢測器中的受光靈敏度的偏振依賴性增大,又,對于AR涂層的膜厚t和折射率n等的各條件受光靈敏度變得不穩(wěn)定,沿各光波導路傳輸?shù)男盘柟獾墓鈴姸群陀晒鈾z測器檢測出的反射光的光強度的相關性與信號光的偏振狀態(tài)有關地變化,不能夠正確地監(jiān)視信號光的光強度。
      對此,在圖1和圖2所示的光波導路模塊中,為了不是與光路1平行地原封不動地而是使來自反射濾波器4的反射光以預定角度入射到光檢測器61n的光入射面63地,設置配置在平面波導型光路的上面?zhèn)鹊墓鈾z測器陣列60。因此,減少了透過光入射面63的光的偏振依賴性,能夠減少在光檢測器61n中的反射光的受光靈敏度的偏振依賴性。
      圖6A~圖6C是表示在光入射面上的光透過率隨AR涂層的膜厚變化的曲線圖。在圖6A~圖6C曲線圖中,橫軸表示AR涂層的膜厚(μm),縱軸表示在光入射面上的光透過率(dB)。
      圖6A~圖6C所示的曲線圖表示以90°角將波長1.55μm的光入射到光入射面時的光透過率隨膜厚的變化。這里,令在平面波導型光路和光檢測器之間的充填樹脂的折射率為1.52。又,關于AR涂層的折射率n,分別令(A)n=1.70、(B)n=1.80、(C)n=1.90。
      如這些曲線圖所示,在各曲線圖中盡管與AR涂層的膜厚有關,光的透過率變化,但是在光的入射角為90°的構成中,對于s波和p波的光透過率一致。即,原理上不產(chǎn)生光檢測器中的受光靈敏度的偏振依賴性。所以,為了減少受光靈敏度的偏振依賴性,最好將光到光檢測器的入射角設定在大致正交的角度,或者,處于包含90°的預定角度范圍內的預定角度上。
      這里,當光到光檢測器的入射角φ為90°時,來自光入射面的反射返回光成為問題。這時,最好將到光檢測器的入射角設定在能夠充分減少反射回光,并且能夠忽視光透過率的偏振依賴性的角度范圍內。
      圖7A~圖7C是表示在光入射面上的光透過率的偏振依賴性隨AR涂層的膜厚變化的曲線圖。在圖7A~圖7C曲線圖中,橫軸表示AR涂層的膜厚(μm),縱軸表示作為光透過率的偏振依賴性的s波和p波的透過率之差(dB)。
      圖7A~圖7C所示的曲線圖表示以80°角將波長1.55μm的光入射到光入射面時的偏振依賴性隨膜厚的變化。這里,關于AR涂層的折射率n,分別令(A)n=1.75、(B)n=1.80、(C)n=1.85。
      又,如這些曲線圖所示,當令入射角為80°時,盡管成為從90°偏離若干的角度,但是與AR涂層的膜厚t和折射率n無關,光的透過率的偏振依賴性及其變化小。因此,作為能夠充分減少反射返回光,并且能夠忽視光透過率的偏振依賴性的角度范圍內的到光檢測器的入射角,80°或其前后的角度是適合的。但是當反射返回光不成為問題時,也可以使入射角為90°前后的角度,或者,也可以將入射角適當?shù)卦O定在80°~90°的范圍內。
      此外,在圖1所示的光波導路模塊的構成中,作為將沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾囊徊糠址瓷涞焦鈾z測器61n的反射濾波器4,最好用通過補償各正交偏振波間的反射率之差,以各偏振狀態(tài)的信號光成分大致相等的反射率進行反射的反射濾波器。因此,由反射濾波器產(chǎn)生的信號光的反射率與沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾钠駹顟B(tài)無關成為大致恒定。例如可以通過調整構成電介質多層膜濾波器的各層電介質材料及其組合、各層的膜厚,設定對于這樣的各偏振狀態(tài)的信號光成分的反射率。
      又,在圖1所示的光波導路模塊中,通過用充填樹脂5密封溝3的內側和上側的預定范圍,將樹脂充填到反射濾波器4和光檢測器陣列60之間的空間中。因此,溝3的端面和反射濾波器4、光檢測器陣列60的光入射面63等不與外面的大氣接觸,能夠防止由于端面等的污染引起的長期的穩(wěn)定性惡化。
      這時,如果作為充填樹脂5,用具有與光波導路2n的芯子大致相同的折射率的樹脂材料,則能夠抑制在光波導路2n和充填樹脂5的界面等上的多余的反射。但是,關于這種充填樹脂5,也可以是如果不要則不設置的構成,或者,也可以是只在溝3的內側充填樹脂的構成。
      又,作為使來自反射濾波器的反射光以預定角度入射到光檢測器的光入射面的構成,如圖8所示,也可以用在副安裝基片上傾斜地設置光檢測器的構成。但是,當考慮反射濾波器和光檢測器之間的距離時,最好是用具有圖2所示的構造的副安裝基片70的構成。
      即,在如圖8所示在副安裝基片上傾斜地設置光檢測器的構成中,在反射濾波器中的信號光的反射位置和在光檢測器的反射光的檢測位置之間的距離變長。這時,從反射濾波器到光檢測器之間的反射光的寬度變大,由光檢測器產(chǎn)生的反射光的受光靈敏度和鄰接的溝道之間的串擾等的檢測特性惡化。
      例如,令副安裝基片的厚度a=125μm(請參照圖8)、從平面波導型光路中的芯子中心到上面的厚度(上部包層的厚度)b=30μm、反射濾波器的傾斜角θ=15°。這時,如圖3所示當平行地配置光檢測器時,反射位置·檢測位置間的距離成為710μm。另一方面,如圖8所示當傾斜地配置光檢測器時,反射位置·檢測位置間的距離成為1310μm與平行配置的情形比較變長了,由光檢測器產(chǎn)生的反射光的檢測特性惡化。具體地說,在圖8所示的構成中,由光檢測器產(chǎn)生的反射光的受光靈敏度約惡化10dB。又,在鄰接的溝道之間的串擾約惡化3dB。
      對此,如果根據(jù)如圖2所示用副安裝基片70傾斜地設置光檢測器陣列60的構成,則在同樣的條件下,反射位置·檢測位置間的距離成為610μm。與在副安裝基片上平行配置的情形比較距離變短。所以除了減少受光靈敏度的偏振依賴性外,也能夠提高受光靈敏度和串擾等的反射光的檢測特性。但是,如果在由反射位置·檢測位置間的距離引起的檢測特性惡化不成為問題的情形中,則也可以用如圖8所示的構成。
      圖9是表示光波導路模塊的第2實施方式的構成的平面圖。該光波導路模塊,與第1實施方式相同,備有具有基片10和在基片10上形成的8條平面波導型的光波導路21~28構成的平面波導型光路1。
      沿預定的光傳輸方向(圖9中的箭頭方向),從平面波導型光路1的輸入端11向著輸出端12,相互平行并且等間隔地形成各條光波導路21~28。又,在平面波導型光路1的光傳輸方向上的預定部位上設置橫切光波導路21~28的溝3。
      在該溝3中,在它的內側,設置用于以預定的反射率反射沿各光波導路21~28傳輸?shù)男盘柟獾囊徊糠值姆瓷錇V波器4。在本實施方式中,用充填樹脂5密封該溝3的內側。又,在溝3的上游側位置,在平面波導型光路1的上面?zhèn)仍O置副安裝基片75,并且在充填樹脂5和副安裝基片75的上方,設置光檢測器陣列65。該光檢測器陣列65具有分別與平面波導型光路1中的8條光波導路21~28對應的8個光檢測器661~668。
      此外,在圖9中,關于光檢測器661~668,用虛線畫出各個受光面的形狀。又,在副安裝基片75的上面,如圖9中模式地所示,形成用于讀出來自光檢測器661~668的光檢測信號的配線和電極等。
      圖10是沿光波導路2n(n=1~8)的光軸方向表示圖9所示的光波導路模塊的截面構造的截面圖。此外,在該圖10中,放大表示包含溝3、反射濾波器4和光檢測器陣列65的部分。又,在圖10所示的構成中,關于包含由下部包層22、芯子20和上部包層21構成的光波導路2n的平面波導型光路1、溝3、反射濾波器4和充填樹脂5,都與圖2所示的構成相同。
      在平面波導型光路1的上部包層21的上面?zhèn)?,設置副安裝基片75。該副安裝基片75是用于載置光檢測器陣列65的載置部件,它的一方的面成為載置具有分別與各光波導路2n對應的光檢測器66n(n=1~8)的光檢測器陣列65的光檢測器載置面76。為了使由反射濾波器4反射沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾囊徊糠之a(chǎn)生的反射光入射到各個對應的光檢測器66n的受光單元67,而將光檢測器陣列65配置在光檢測器載置面76和上部充填樹脂單元52的上面上。
      經(jīng)由與光檢測器載置面76對置的面,與光路1平行地將副安裝基片75固定在平面波導型光路1的上面。因此,形成與副安裝基片75相同與光路1平行地配置載置在光檢測器載置面76上的光檢測器陣列65的構成。
      在圖10所示的構成例中,作為光檢測器陣列65的光檢測器66n可以用里面入射型的光二極管,在光檢測器載置面75和上部充填樹脂單元52一側,與設置了光檢測器66n的受光單元67的表面對置的光檢測器陣列65的里面成為對于來自反射濾波器4的反射光的光入射面68。
      又,在光檢測器66n的光入射面68上設置作為防止處于與沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾牟ㄩL帶對應的預定波長帶內的光反射的涂層的防止反射膜(AR膜)。
      又,與副安裝基片75的光檢測器載置面76鄰接的下游側側面對平面波導型光路1的上面以預定角度傾斜地形成,并且在它的面上設置反射鏡77。該反射鏡77是將來自反射濾波器4的反射光的光路變更為以預定角度入射到光檢測器66n的光入射面68的光路的光路變更部件。
      在以上的構成中,當沿光波導路2n傳輸過來的信號光經(jīng)過上游側端面31射出到溝3內的內部充填樹脂單元51時,由對光軸傾斜的反射濾波器4以預定的反射率使一部分信號光反射到平面波導型光路1的斜上方。又,除此以外的信號光成分透過內部充填樹脂單元51和反射濾波器4,經(jīng)過下游側端面32再次入射到光波導路2n。
      另一方面,由反射濾波器4反射的反射光,在經(jīng)過內部充填樹脂單元51、光波導路2n和上部充填樹脂單元52后,由于被在副安裝基片75的面上形成的反射鏡77反射而變更光路。被反射鏡77變更光路的反射光通過上部充填樹脂單元52到達光檢測器陣列65,從光入射面68以預定的入射角φ入射到光檢測器66n。而且,從由光檢測器66n的受光單元67檢測出的反射光的光強度,對沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾墓鈴姸冗M行監(jiān)視。
      現(xiàn)在我們說明本實施方式的光波導路模塊的效果。
      在圖9和圖10所示的光波導路模塊中,與圖1和圖2所示的光波導路模塊相同,形成不用光耦合器分離光波導路,而是由設置在設在光波導路2n上的傾斜的溝3中的反射濾波器4反射一部分信號光,可以根據(jù)該反射光監(jiān)視信號光的光強度的構成。因此,能夠使光路的構成和制造步驟簡單化。
      又,形成來自反射濾波器4的反射光以預定角度入射到光檢測器陣列65的光檢測器66n的光入射面68的構成。這時,因為減少了透過光入射面68的光的偏振依賴性,所以能夠使在光檢測器66n中的反射光的受光靈敏度與信號光的偏振狀態(tài)無關大致恒定。因此,可以與信號光的偏振狀態(tài)無關地正確地監(jiān)視光強度。此外,關于反射光對于光檢測器66n的光入射面68的入射角度φ的設定,與以上關于第1實施方式的述說相同。又,作為光檢測器陣列的光檢測器,也可以用表面入射型的光檢測器。
      又,在圖9所示的光波導路模塊中,作為使反射光以預定角度入射到光檢測器66n的光入射面68的構成,可以用在副安裝基片75的預定面上形成作為變更光路部件的反射鏡77,來自反射濾波器4的反射光被反射鏡77反射,變更光路的構成。
      通過用這種光路變更部件變更反射光的光路自身,能夠實現(xiàn)不在平面波導型光路1的上面傾斜地設置包含光檢測器66n的光檢測器陣列65,而由反射光的光路、光檢測器66n的光入射面68形成預定角度的構成。
      又,在用光路變更部件的構成中,能夠縮短從反射濾波器4到光檢測器66n的距離。因此,能夠提高光檢測器66n中的受光靈敏度和串擾等的檢測特性。
      例如,令副安裝基片的厚度a=125μm(請參照圖8)、從平面波導型光路中的芯子中心到上面的厚度(上部包層的厚度)b=30μm、反射濾波器的傾斜角θ=15°,又,入射角φ為90°(反射鏡77與平面波導型光路1的上面形成的角度約為30°)。這時,如果根據(jù)如圖10所示設置作為光路變更部件的反射鏡77的構成,則反射濾波器4中的信號光的反射位置和光檢測器66n中的反射光的檢測位置之間的距離成為430μm,與圖3和圖8所示的構成比較距離變短。所以除了減少受光靈敏度的偏振依賴性外,也能夠提高受光靈敏度和串擾等的反射光的檢測特性。
      此外,關于設置在副安裝基片75的預定面上的反射鏡77,最好是實施與光的入射角度相應的全反射涂敷的全反射鏡。這時,能夠進一步減少入射到光檢測器66n的反射光的偏振依賴性。又,作為光路變更部件,也可以用在作為載置部件的副安裝基片的面上形成的反射鏡以外的部件。
      圖11是表示光波導路模塊的第3實施方式的構成的平面圖。該光波導路模塊,與第1實施方式相同,備有具有基片10和在基片10上形成的8條平面波導型的光波導路21~28構成的平面波導型光路1。
      沿預定的光傳輸方向(圖11中的箭頭方向),從平面波導型光路1的輸入端11向著輸出端12,相互平行并且等間隔地形成各條光波導路21~28。又,在平面波導型光路1的光傳輸方向上的預定部位上設置橫切光波導路21~28的溝3。
      在該溝3中,在它的內側,設置用于以預定的反射率反射沿各光波導路21~28傳輸?shù)男盘柟獾囊徊糠值姆瓷錇V波器4。在本實施方式中,用充填樹脂5密封該溝3的內側。又,在溝3的上游側位置,在平面波導型光路1的上面?zhèn)仍O置光檢測器陣列80。該光檢測器陣列80具有分別與平面波導型光路1中的8條光波導路21~28對應的8個光檢測器811~818。
      此外,在圖11中,關于光檢測器811~818,用虛線畫出各個受光面的形狀。
      圖12是沿光波導路2n(n=1~8)的光軸方向表示圖11所示的光波導路模塊的截面構造的截面圖。此外,在該圖12中,放大表示包含溝3、反射濾波器4和光檢測器陣列80的部分。又,在圖12所示的構成中,關于由下部包層22、芯子20和上部包層21構成的光波導路2n的平面波導型光路1、溝3、反射濾波器4和充填樹脂5,都與圖2所示的構成相同。
      在平面波導型光路1的上部包層21的上面?zhèn)?,設置具有分別與各光波導路2n對應的光檢測器81n(n=1~8)的光檢測器陣列80。為了使由反射濾波器4反射沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾囊徊糠之a(chǎn)生的反射光入射到各個對應的光檢測器81n的受光單元82,而將光檢測器陣列80配置在平面波導型光路1的上面。
      在圖12所示的構成例中,作為光檢測器陣列80的光檢測器81n可以用里面入射型的光二極管,在作為與平面波導型光路1相反一側的光檢測器陣列80的表面上設置光檢測器81n的受光單元82。又,在光檢測器陣列80的下游側側面中,在平面波導型光路1一側中里面近旁的面部分,對平面波導型光路1的上面,傾斜地形成角度β(0°<β<90°),該面部分成為對于來自反射濾波器4的反射光的光入射面83。如圖12所示,為了使來自反射濾波器4的反射光以預定角度φ入射到光檢測器81n的光入射面83,而設定角度β。
      又,在光檢測器81n的光入射面83上設置作為防止處于與沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾牟ㄩL帶對應的預定波長帶內的光的反射的涂層的防止反射膜(AR膜)。
      在以上的構成中,當沿光波導路2n傳輸過來的信號光經(jīng)過上游側端面31射出到溝3內的內部充填樹脂單元51時,由對光軸傾斜的反射濾波器4以預定的反射率使信號光的一部分反射到平面波導型光路1的斜上方。又,除此以外的信號光成分透過內部充填樹脂單元51和反射濾波器4,經(jīng)過下游側端面32再次入射到光波導路2n。
      另一方面,由反射濾波器4反射的反射光,在經(jīng)過內部充填樹脂單元51、光波導路2n和上部充填樹脂單元52后,到達光檢測器陣列80,從光入射面83以預定的入射角φ入射到光檢測器81n。而且,從由光檢測器81n的受光單元82檢測出的反射光的光強度,對沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾墓鈴姸冗M行監(jiān)視。
      現(xiàn)在我們說明本實施方式的光波導路模塊的效果。
      在圖11和圖12所示的光波導路模塊中,與圖1和圖2所示的光波導路模塊相同,形成不用光耦合器分離光波導路,而是由設置在設在光波導路2n上的傾斜的溝3中的反射濾波器4反射一部分信號光,可以根據(jù)該反射光監(jiān)視信號光的光強度的構成。因此,能夠使光路的構成和制造步驟簡單化。
      又,具有來自反射濾波器4的反射光以預定角度入射到光檢測器陣列80的光檢測器81n的光入射面83的構成。這時,因為減少了透過光入射面83的光的偏振依賴性,所以能夠使在光檢測器81n中的反射光的受光靈敏度與信號光的偏振狀態(tài)無關大致恒定。因此,可以與信號光的偏振狀態(tài)無關地正確地監(jiān)視光強度。此外,關于反射光對于光檢測器81n的光入射面83的入射角度φ的設定,與以上關于第1實施方式的述說相同。
      又,在圖11所示的光波導路模塊中,作為使反射光以預定角度入射到光檢測器81n的光入射面83的構成,可以用將光檢測器陣列80設置在平面波導型光路1的上面,并且使該光入射面83對平面波導型光路1的上面傾斜角度β(0°<β<90°)的構成。
      這樣,通過使光檢測器81n的光入射面83傾斜的構成,能夠用較少的部件數(shù),實現(xiàn)反射光的光路和光檢測器81n的光入射面83形成預定角度的構成。由于減少了部件數(shù),能夠使它的制造步驟簡單化。
      又,在傾斜光入射面的構成中,能夠縮短從反射濾波器4到光檢測器81n的距離。因此,能夠提高光檢測器81n中的受光靈敏度和串擾等的檢測特性。
      例如,令從平面波導型光路中的芯子中心到上面的厚度(上部包層的厚度)b=30μm(請參照圖8)、光檢測器陣列80的厚度為200μm、反射濾波器的傾斜角θ=15°。這時,如果根據(jù)如圖12所示使光檢測器陣列80的光入射面83傾斜的構成,則反射濾波器4中的信號光的反射位置和光檢測器81n中的反射光的檢測位置之間的距離成為460μm,與圖3和圖8所示的構成比較距離變短。所以除了減少受光靈敏度的偏振依賴性外,也能夠提高受光靈敏度和串擾等的反射光的檢測特性。
      此外,關于光檢測器81n的受光單元82,最好將它設置在從反射光的光路看與光入射面83對置的位置上。因此,能夠高效率地檢測從光入射面83入射的來自反射濾波器4的反射光。
      圖13是沿光波導路2n(n=1~8)的光軸方向表示光波導路模塊的第4實施方式的截面構造的截面圖。此外,在該圖13中,放大表示包含溝3、反射濾波器4和光檢測器陣列85的部分。又,在圖13所示的構成中,關于由下部包層22、芯子20和上部包層21構成的光波導路2n的平面波導型光路1、溝3、反射濾波器4和充填樹脂5,都與圖2所示的構成相同。
      根據(jù)本實施方式的光波導路模塊具有與圖1和圖2所示的第1實施方式大致相同的構成。因此。關于本實施方式,省略平面圖的圖示。具體地說,根據(jù)本實施方式的光波導路模塊與第1實施方式比較在副安裝基片的構成等方面是不同的。
      在平面波導型光路1的上部包層21的上面?zhèn)?,設置副安裝基片90。該副安裝基片90是用于載置光檢測器陣列85的載置部件,它的一方的面成為載置具有分別與各光波導路2n對應的光檢測器86n(n=1~8)的光檢測器陣列85的光檢測器載置面91。為了使由反射濾波器4反射沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾囊徊糠之a(chǎn)生的反射光入射到各個對應的光檢測器86n的受光單元87,而將光檢測器陣列85配置在光檢測器載置面91上。
      經(jīng)過作為與光檢測器載置面91鄰接的下面的基片固定面92,將副安裝基片90固定在平面波導型光路1的上面。又,基片固定面92是為了與光檢測器載置面91構成比90°大的角度而形成的。因此,光檢測器載置面91對平面波導型光路1的上面傾斜角度α(0°<α<90°)。參照來自反射濾波器4的反射光的光路設定該角度α。
      在圖13所示的構成例中,作為光檢測器陣列85的光檢測器86n可以用表面入射型的光二極管,在與副安裝基片90的反對側設置了光檢測器86n的受光單元87的光檢測器陣列85的表面成為對于來自反射濾波器4的反射光的入射面88。而且,光檢測器載置面91和平面波導型光路1的上面形成的角度α,如圖13所示,為了使來自反射濾波器4的反射光以預定角度(圖13中所示的角度φ)入射到光檢測器86n的光入射面88,而設定光檢測器載置面91和平面波導型光路1的上面形成的角度α,又,在光檢測器86n的光入射面86上,設置作為防止處于與沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾牟ㄩL帶對應的預定波長帶內的光的反射的涂層的防止反射膜(AR膜)。
      圖14A和圖14B是表示圖13所示的光波導路模塊中的副安裝基片90和光檢測器陣列85的構成的圖,A是從下游側看的側面圖,B是上面圖。
      在本實施方式中,如圖13、圖14A和圖14B所示,與光檢測器載置面91鄰接,并且與基片固定面92和平面波導型光路1的上面平行的副安裝基片90的上面成為配線面93。而且,在該配線面93上和在載置了光檢測器陣列85的光檢測器載置面91上,設置從光檢測器載置面91向配線面93延伸(請參照圖13)的8條配線951~958。
      這些配線951~958中的各條配線,如圖14A所示,與在光檢測器陣列85的8個光檢測器861~868中的對應的光檢測器電連接。因此,形成可以將配線95n(n=1~8)用作為了讀出來自光檢測器86n的光檢測信號的信號線的構成。
      現(xiàn)在我們說明本實施方式的光波導路模塊的效果。
      在圖13、圖14A和圖14B所示的光波導路模塊中,除了圖1和圖2所示的光波導路模塊的構成外,將為了讀出來自光檢測器861~868的光檢測信號的立體的配線951~958設置在載置光檢測器陣列85的副安裝基片90上。
      通常,為了讀出來自作為光檢測器的光二極管的光檢測信號,需要在與設置在光二極管的陽極、配線基片和引線架等中的對應的配線之間實施導線環(huán),電連接電極和配線。這里,如圖1和圖2所示的光波導路模塊那樣,對平面波導型光路傾斜地設置光檢測器陣列,設置光檢測器陣列的電極的表面對于與平面波導型光路平行的配線基片等的配線面成為傾斜的。這時,要在電極和配線之間形成導線環(huán)是困難的。
      對此,在本實施方式的光波導路模塊中,將與平面波導型光路1的上面平行的副安裝基片90的上面作為配線面93,設置用于讀出來自從光檢測器載置面91向配線面93延伸的光檢測器861~868的光檢測信號的配線951~958。
      如果根據(jù)這種構成,則能夠將配線95n的光檢測器載置面91上的配線部分用于與光檢測器86n連接,并且能夠將與配線基片等平行的配線面93上的配線部分用于與外部配線的導線環(huán)。因此,在設置在光二極管的陽極、配線基片和引線架等中的對應的配線之間等可以良好地實施導線環(huán)。又,在它的制造過程中,使導線焊接等的作業(yè)變得容易。
      根據(jù)本實施方式的光波導路模塊不限于上述實施方式,可以具有種種變形。例如,在上述實施方式中,作為光路可以用平面波導型光路。作為這種光路,如上述那樣,不限于平面波導型光路,也可以用由光纖構成它的一部分或全部光路部分的光路。
      圖15A和圖15B是沿與光波導路的光軸垂直的方向表示各個光波導路模塊的截面構造的截面圖。圖15A表示在作為光波導路用平面波導型的光波導路的情形中的光路的截面構造。它和與圖1和圖2所示的光波導路模塊的光軸垂直的截面構造相當。又,圖15B表示在作為光波導路不用平面波導型的光波導路而用光纖的情形中的光路的截面構造。
      圖15A所示的光路,如通過圖2所述,由在基片10上形成下部包層22、芯子20和上部包層21的平面波導型的光波導路構成。
      另一方面,在圖15B所示的光路中,在基片10的上面?zhèn)?,相互平行并且等間隔地形成作為光纖配列部件其作用的V溝15。而且,通過將由芯子和包層構成的光纖25固定在這多條V溝15中的各條V溝中,構成在基片10上設置作為光波導路的光纖25的光路。又,在本構成例中,為了固定配置在V溝15中的光纖25,設置覆蓋基片10的上面和光纖25的用于固定光纖的樹脂26。
      這樣,作為形成用于插入反射濾波器的溝的光路,不限于如圖15A所示,用平面波導型的光波導路作為光波導路構成的光路,也可以如圖15B所示,用光纖作為光波導路構成的光路。
      又,在圖11和圖12所示實施方式中,表示了用里面入射型的光檢測器陣列80,以角度β傾斜地形成它的下游側側面的一部分作為光入射面83的構成。這樣,作為對于平面波導型光路的上面以預定角度傾斜光檢測器陣列的光入射面的構成,除了上述構成或用圖1和圖2所示的載置部件的構成以外,也可以具有種種構成。
      圖16是關于光波導路模塊的其它實施方式,表示沿它的光軸的截面構造的截面圖。根據(jù)本實施方式的光波導路模塊的構成,除了光檢測器陣列外,與圖12所示的構成相同。
      在平面波導型光路1的上部包層21的上面?zhèn)戎?,設置具有分別與各光波導路2n對應的光檢測器101n(n=1~8)的光檢測器陣列100。為了使由反射濾波器4反射沿光波導路2n傳輸?shù)男盘柟獾囊徊糠之a(chǎn)生的反射光入射到各個對應的光檢測器101n的受光單元102,而將光檢測器陣列100配置在平面波導型光路1的上面。
      在圖16所示的構成例中,用里面入射型的光二極管作為光檢測器陣列100的光檢測器101n,設置光檢測器101n的受光單元102的光檢測器陣列100的表面成為對于來自反射濾波器4的反射光的光入射面103。
      通過作為與光入射面103鄰接的面的檢測器固定面104,將光檢測器陣列100固定在平面波導型光路1的上面。又,檢測器固定面104是為了與光入射面103構成比90°大的角度而形成的。因此,光入射面103,對平面波導型光路1的上面,傾斜地形成角度β(0°<β<90°)。如圖16所示,為了使來自反射濾波器4的反射光以預定角度φ入射到光檢測器101n的光入射面103,而設定角度β。
      在這種構成中,也與圖1和圖2所示的構成,或圖11和圖12所示的構成相同,因為能夠減少透過光入射面103的光的偏振依賴性,所以能夠使在光檢測器101n中的反射光的受光靈敏度與信號光的偏振狀態(tài)無關大致恒定。此外,圖16所示的構成也可以應用于作為光檢測器陣列用里面入射型的情形。
      又,在上述各實施方式中,作為平面波導型光路中的光波導路設置N條(N是多條,在圖1中為8條)光波導路,并且作為光檢測器,用具有分別與N條光波導路對應的N個光檢測器的光檢測器陣列。因此,可以與信號光的各個偏振狀態(tài)無關地正確地監(jiān)視沿N條光波導路中的各條光波導路傳輸?shù)腘條溝道的信號光的光強度。但是,在平面波導型光路中的光波導路為1條溝道的情形中,也同樣能夠適用上述光波導路模塊的構成。
      又,這樣,當作為光檢測器用具有多條溝道的光二極管的光檢測器陣列時,作為光檢測器陣列可以用種種構成的光檢測器陣列。
      圖17A和圖17B是表示光檢測器陣列的第1構成例的圖,A是上面圖,B是側面截面圖。在本構成例中,準備好多個具有各個單一受光單元111的光二極管110,使它們能夠相互調整位置地進行設置,形成光二極管陣列。或者,需要時,也可以將多個光二極管110分別個別地固定在副安裝基片115上,使它們能夠相互調整位置地進行設置,形成光二極管陣列。這種構成,雖然光二極管的位置精度等稍微差一些,但是具有材料費便宜等的優(yōu)點。
      圖18A和圖18B是表示光檢測器陣列的第2構成例的圖,A是上面圖,B是側面截面圖。在本構成例中,準備好多個具有各個單一受光單元121的光二極管120,使它們能夠相互調整位置地進行設置預先固定在同一個副安裝基片125上,形成光二極管陣列。這種構成在位置精度、作業(yè)性、材料費等方面達到很好的平衡。
      圖19A和圖19B是表示光檢測器陣列的第3構成例的圖,A是上面圖,B是側面截面圖。在本構成例中,用具有多個受光單元131形成一體的光二極管陣列130?;蛘?,需要時,也可以用將光二極管陣列130固定在副安裝基片135上的構成。在這種構成中,因為有同一個工藝過程進行制造,所以具有鄰接的光二極管之間的間隔等的位置精度高,又,作業(yè)性良好的優(yōu)點。
      根據(jù)本發(fā)明的光波導路模塊,如以上詳細說明的那樣,能夠用作可以與信號光的偏振狀態(tài)無關地正確地監(jiān)視光強度的光波導路模塊。即,如果根據(jù)具有通過由設置在橫切光波導路的傾斜的溝的內側中的反射濾波器反射信號光的一部分用于監(jiān)視光強度,并且以預定角度使來自反射濾波器的反射光入射到光檢測器的光入射面的構成的光波導路模塊,則能夠使光路的構成和制造步驟簡單化。又,因為減少了透過光入射面的光的偏振依賴性,所以能夠使在光檢測器中的反射光的受光靈敏度與信號光的偏振狀態(tài)無關大致恒定。因此,可以與信號光的偏振狀態(tài)無關地正確地監(jiān)視光強度。
      可以將這種光波導路模塊用作插入由光纖和平面波導型的光波導路構成的光路中的信號光強度監(jiān)視器。或者,也可以形成通過將它設置在光混頻器、光分頻器、光衰減器等的平面波導型光路的預定部位上,對光路中的信號光強度進行監(jiān)視的構成。
      權利要求
      1.一種光波導路模塊,其特征在于備有包含基片、和設置在上述基片上的光波導路而構成,并具有為了橫切上述光波導路的預定部位,對與上述光波導路的光軸正交的垂直軸傾斜預定的傾斜角θ(0°<θ)地形成的溝的光路、在上述光路的上述溝的內側包含沿上述光波導路傳輸?shù)男盘柟馔ㄟ^的部位地設置的、以預定反射率反射一部分上述信號光的反射濾波器、和檢測由上述反射濾波器反射上述信號光而產(chǎn)生的反射光的光檢測器;上述光檢測器是使上述反射光以預定角度入射到其光入射面地設置的。
      2.根據(jù)權利要求1所述的光波導路模塊,其特征在于上述光路是包含作為上述光波導路在上述基片上形成的平面光波導路型的光波導路而構成的平面光波導路型光路。
      3.根據(jù)權利要求1所述的光波導路模塊,其特征在于上述光路是包含作為上述光波導路固定在上述基片上的光纖而構成的光路。
      4.根據(jù)權利要求1所述的光波導路模塊,其特征在于備有設置在上述光路的上面?zhèn)龋瑢⑸鲜龉鈾z測器載置在該光檢測器載置面上的載置部件;上述載置部件,為了使上述反射光以預定角度入射到上述光檢測器的上述光入射面,而對上述光路的上面傾斜角度α(0°<α<90°)地設置上述光檢測器載置面。
      5.根據(jù)權利要求1所述的光波導路模塊,其特征在于進一步備有將上述反射光的光路變更到以預定角度入射到上述光檢測器的上述光入射面的光路的光路變更部件。
      6.根據(jù)權利要求5所述的光波導路模塊,其特征在于備有設置在上述光路的上面?zhèn)?,將上述光檢測器載置在該光檢測器載置面上的載置部件;上述光路變更部件是在上述載置部件的預定面上形成的反射鏡。
      7.根據(jù)權利要求6所述的光波導路模塊,其特征在于上述反射鏡是全反射鏡。
      8.根據(jù)權利要求1所述的光波導路模塊,其特征在于將上述光檢測器載置在上述光路的上面;并且為了以預定角度入射上述反射光,而將上述光檢測器的上述光入射面對上述光路的上面傾斜角度β(0°<β<90°)。
      9.根據(jù)權利要求8所述的光波導路模塊,其特征在于將上述光檢測器的受光單元設置在從上述反射光的光路看與上述光入射面對置的位置上。
      10.根據(jù)權利要求1所述的光波導路模塊,其特征在于上述光路作為上述光波導路具有N條(N是多數(shù))光波導路;并且作為上述光檢測器備有具有分別與上述N條光波導路對應的N個光檢測器的光檢測器陣列。
      11.根據(jù)權利要求1所述的光波導路模塊,其特征在于在上述光檢測器的上述光入射面上設置防止處于預定波長帶內的光的反射的涂膜。
      全文摘要
      提供了一種光波導路模塊。在平面波導型光路(1)中,在橫切光波導路(文檔編號G02B6/42GK1610853SQ0380179
      公開日2005年4月27日 申請日期2003年1月15日 優(yōu)先權日2002年1月15日
      發(fā)明者小宮健雄, 佐佐木隆, 藤村康, 勝山造, 山林直之 申請人:住友電氣工業(yè)株式會社
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