專利名稱:截止濾光片的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種截止濾光片，其包括藍(lán)玻璃基板，以及分別設(shè)于藍(lán)玻璃基板兩側(cè)的紅外光截止膜堆和紫外光截止膜堆，紅外光截止膜堆以第一折射率的第一高折射膜層以及具有第二折射率的第二低折射膜層交互堆棧形成，紫外光截止膜堆以具有第三折射率的第三高折射膜層以及具有第四折射率的第四低折射膜層交互堆棧形成，其中，第一折射率大于第二折射率，第三折射率大于第四折射率，紅外光截止膜堆和紫外光截止膜堆通過(guò)磁控濺射的方式沉積附著到藍(lán)玻璃基板。本實(shí)用新型通過(guò)紅外光截止膜堆及藍(lán)玻璃基板截止紅外光，通過(guò)紫外光截止膜堆截止紫外光，再通過(guò)磁控濺射的方式將紅外光截止膜堆和紫外光截止膜堆沉積附著到藍(lán)玻璃基板，以減小截止濾光片的厚度。
【專利說(shuō)明】
截止濾光片
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本實(shí)用新型屬于濾光片領(lǐng)域，尤其設(shè)及一種截止濾光片。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來(lái)隨著智能手機(jī)和平板電腦的快速增長(zhǎng)。尤其是iPhone的帶動(dòng)，引爆了全球 鏡頭的需求，帶動(dòng)照相手機(jī)鏡頭及NB模塊出貨大幅成長(zhǎng)，手機(jī)照相功能成為必備功能，高像 素智能手機(jī)、高端數(shù)碼相機(jī)的像素逐漸提高。像素越高，他對(duì)攝像系統(tǒng)的工藝技術(shù)就提出更 高的要求，蘋果從iPhone4/4S開始引入了"藍(lán)玻璃濾光片"從而大幅提升了拍照品質(zhì)。此后 小米2、魅族MX2等配備了 800萬(wàn)或W上像素的高端手機(jī)都開始流行內(nèi)嵌藍(lán)玻璃濾光片的背 照式攝像頭。目前采用藍(lán)玻璃濾光片成為提高成像質(zhì)量的主要手段。
[0003] 任何物體在大于絕對(duì)零度(-273°C)的環(huán)境下都會(huì)對(duì)外發(fā)射紅外線，而攝像頭采用 的都是CCD(Qiarge-coupled Device,電荷禪合元件）或CMOS(Complementary Metal Oxide Semi conductor,互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)傳感器，CCD和CMOS傳感器可W靈敏地捕捉到所有 可見光和部分紅外光。不同波長(zhǎng)的光線，折射率不一致，根據(jù)光的折射原理和定律可得知， 當(dāng)運(yùn)些光線同時(shí)進(jìn)入攝像機(jī)鏡頭，被鏡頭透鏡折射后，可見光和紅外光就會(huì)在不同的祀面 成像，人眼主要感受可見光所成的實(shí)像，但是紅外光線所成虛像必然會(huì)影響圖像的顏色和 質(zhì)量，因此，現(xiàn)有技術(shù)中提供有用于截止紅外光的截止濾光片。
[0004] 此外，紫外光會(huì)引起色差、球差，會(huì)使成像的色彩飽和度降低，影響成像質(zhì)量，并且 紫外光會(huì)使高分子有機(jī)材料老化，影響物資的耐用性，縮短產(chǎn)品的使用壽命和精度，運(yùn)對(duì)于 在太空運(yùn)行的衛(wèi)星來(lái)講截止紫外光顯的就更加重要，所W在高尖端領(lǐng)域紫外光也必須加 W消除。
[0005] 目前市場(chǎng)上的截止濾光片主要是針對(duì)紅外光線進(jìn)行截止，且截止濾光片的紅外光 截止膜堆的鍛膜方式主要采用的是真空蒸發(fā)鍛膜，運(yùn)種鍛膜主要是通過(guò)加熱待形成薄膜的 原材料，使其W原子或者分子的形式氣化逸出，形成蒸氣流入射到基底玻璃上形成膜層的 方法，運(yùn)種方式成膜因?yàn)槿肷浞肿觿?dòng)能低，所形成的膜層附著力較差，膜層結(jié)晶度差，運(yùn)樣 的膜層較容易吸收可見光，降低產(chǎn)品的透過(guò)率，需要的膜層總數(shù)60-80層，運(yùn)樣膜層厚度大， 設(shè)計(jì)和制備難度大，成本高。因此，亟需提供一種膜層較薄、并兼具有截止紅外光、紫外光的 截止濾光片。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006] 本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種截止濾光片，其旨在 解決膜層較厚、且不能兼具截止紅外光和紫外光的問(wèn)題。
[0007] 本實(shí)用新型是運(yùn)樣實(shí)現(xiàn)的：
[000引一種截止濾光片，包括藍(lán)玻璃基板，W及分別設(shè)于藍(lán)玻璃基板兩側(cè)的紅外光截止 膜堆和紫外光截止膜堆，所述紅外光截止膜堆W第一折射率的第一高折射膜層W及具有第 二折射率的第二低折射膜層交互堆找形成，所述紫外光截止膜堆W具有第=折射率的第= 高折射膜層W及具有第四折射率的第四低折射膜層交互堆找形成，其中，所述第一折射率 大于所述第二折射率，所述第=折射率大于所述第四折射率，所述紅外光截止膜堆和所述 紫外光截止膜堆通過(guò)磁控瓣射的方式沉積附著到所述藍(lán)玻璃基板。
[0009] 可選地，各所述第一高折射膜層的厚度逐層遞變，各所述第二低折射膜層的厚度 與所述第一高折射膜層的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層遞變。
[0010] 可選地，各所述第一高折射膜層的厚度在80 .加m-122.3nm范圍內(nèi)逐層遞變，各所 述第二低折射膜層的厚度在117.2nm-177.3nm范圍內(nèi)與所述第一高折射膜層的遞變規(guī)律對(duì) 應(yīng)地逐層遞變。
[0011] 可選地，所述第一高折射膜層的層數(shù)為10-15,所述第二低折射膜層的層數(shù)與所述 第一高折射膜層的層數(shù)相對(duì)應(yīng)。
[0012] 可選地，各所述第=高折射膜層的厚度逐層遞變，各所述第四低折射膜層的厚度 與所述第=高折射膜層的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層遞變。
[0013] 可選地，各所述第S高折射膜層的厚度在10.6nm-41.5nm范圍內(nèi)逐層遞變，各所述 第四低折射膜層的厚度在15.4nm-60.1 nm范圍內(nèi)與所述第S高折射膜層的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地 逐層遞變。
[0014] 可選地，所述第=高折射膜層的層數(shù)為10-15,所述第四低折射膜層的層數(shù)與所述 第=高折射膜層的層數(shù)相對(duì)應(yīng)。
[0015] 可選地，所述第一高折射膜層是由師205、Ti02、PbTe任一種制成的第一高折射膜 層，所述第二低折射膜層是由Si02制成的第二低折射膜層，所述第=高折射膜層是由Ce02、 Ti02其中之一制成的第=高折射膜層，所述第四低折射膜層是由Si02制成的第四低折射膜 層。
[0016] 可選地，所述紅外光截止膜堆和/或所述紫外光截止膜堆在背離所述藍(lán)玻璃基板 的一側(cè)附著有增透膜。
[0017] 可選地，所述增透膜包括第五高折射膜層W及第六低折射膜層交互堆找形成，所 述第五高折射膜層是由師205制成的第五高折射膜層，所述第六低折射膜層是由Si02制成 的第六低折射膜層。
[0018] 基于本實(shí)用新型的結(jié)果，首先，該截止濾光片通過(guò)紅外光截止膜堆及藍(lán)玻璃基板 截止紅外光，而通過(guò)紫外光截止膜堆截止紫外光，因此，該截止濾光片既能夠截止紅外光也 能夠截止紫外光。其次，本實(shí)用新型實(shí)施例中的紅外光截止膜堆和紫外光截止膜堆均采用 磁控瓣射的方式進(jìn)行沉積附著，其中，在磁控瓣射時(shí)，高能入離子轟擊祀材表面，使祀材的 分子發(fā)生瓣射，從祀材中瓣射出來(lái)的分子動(dòng)能高，成膜分子會(huì)快速沉積附著到待沉積附著 對(duì)象，與此同時(shí)，在成膜分子沉積附著到待沉積附著對(duì)象時(shí)，成膜分子的動(dòng)能會(huì)轉(zhuǎn)化為熱 能，加熱了待沉積附著對(duì)象，加快待沉積附著對(duì)象中的分子運(yùn)動(dòng)，使成膜分子與待沉積附 著對(duì)象之間能夠緊密配合，提高附著力W及結(jié)晶效果，并減小截止濾光片的厚度。此外，成 膜分子與待沉積附著對(duì)象之間能夠緊密配合還可降低膜層對(duì)光線的吸收，并使截止濾光片 的透光性更好。
【附圖說(shuō)明】

[0019] 為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使 用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例， 對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可W根據(jù)運(yùn)些附圖獲得 其他的附圖。
[0020] 圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的截止濾光片的膜層結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021] 圖2是紅外光、紫外光和可見光在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的截止濾光片的光線傳 播結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022] 圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的截止濾光片與現(xiàn)有的截止濾光片的透光率對(duì)比 圖。
[0023] 附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明：
[0024]

【具體實(shí)施方式】
[0025] 下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始 至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參 考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對(duì)本實(shí)用新型 的限制。
[00%]在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)"長(zhǎng)度"、"寬度"、"上"、"下前"、 。后'、"左V'右'、"豎直"、"水甲V'頂V'底'"內(nèi)"、"外"等指示的方位或位置關(guān)系為基于附 圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示 所指的裝置或元件必須具有特定的方位、W特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本 實(shí)用新型的限制。
[0027] 此外，術(shù)語(yǔ)"第一"、"第二"僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性 或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可W明示或者 隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本實(shí)用新型的描述中，"多個(gè)"的含義是兩個(gè)或兩個(gè) W上，除非另有明確具體的限定。
[0028] 在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)"安裝"、"相連"、"連接"、"固 定"等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可W是固定連接，也可W是可拆卸連接，或成一體;可W是 機(jī)械連接，也可W是電連接;可W是直接相連，也可W通過(guò)中間媒介間接相連，可W是兩個(gè) 元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可W根據(jù) 具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0029] 本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種截止濾光片。
[0030]如圖I所示，該截止濾光片包括藍(lán)玻璃基板10, W及分別設(shè)于藍(lán)玻璃基板10兩側(cè)的 紅外光截止膜堆20和紫外光截止膜堆30，其中，紅外光截止膜堆20用于截止紅外光，紫外光 截止膜堆30用于截止紫外光。藍(lán)玻璃基板10由藍(lán)玻璃制成，并具有提升藍(lán)光穿透率并降低 紅外光穿透率的特性，也即是藍(lán)玻璃基板10也起到了截止部分紅外光的作用，有利于提高 截止濾光片的紅外光截止性能。而紅外光截止膜堆20W具有第一折射率的第一高折射膜層 21W及具有第二折射率的第二低折射膜層22交互堆找形成，紫外光截止膜堆30W具有第= 折射率的第=高折射膜層31W及具有第四折射率的第四低折射膜層32交互堆找形成，其 中，第一折射率大于第二折射率，第=折射率大于第四折射率，紅外光截止膜堆20和紫外光 截止膜堆30通過(guò)磁控瓣射的方式沉積到藍(lán)玻璃基板10。
[0031 ]首先，該截止濾光片通過(guò)紅外光截止膜堆20及藍(lán)玻璃基板10截止紅外光，而通過(guò) 紫外光截止膜堆30截止紫外光，因此，該截止濾光片既能夠截止紅外光也能夠截止紫外光。 其次，本實(shí)用新型實(shí)施例中的紅外光截止膜堆20和紫外光截止膜堆30均采用磁控瓣射的方 式進(jìn)行沉積附著，其中，在磁控瓣射時(shí)，高能入離子轟擊祀材表面，使祀材的分子發(fā)生瓣射， 從祀材中瓣射出來(lái)的分子動(dòng)能高，成膜分子會(huì)快速沉積附著到待沉積附著對(duì)象，與此同時(shí)， 在成膜分子沉積附著到待沉積附著對(duì)象時(shí)，成膜分子的動(dòng)能會(huì)轉(zhuǎn)化為熱能，加熱了待沉積 附著對(duì)象，加快待沉積附著對(duì)象中的分子運(yùn)動(dòng)，使得成膜分子與待沉積附著對(duì)象之間能夠 緊密配合，提高附著力W及結(jié)晶效果，并減小截止濾光片的厚度。此外，成膜分子與待沉積 附著對(duì)象之間能夠緊密配合還可降低膜層對(duì)光線的吸收，并使截止濾光片的透光性更好。
[0032] 在此需要說(shuō)明的是，紅外光截止膜堆20中第一高折射膜層21和第二低折射膜層22 的厚度至少是滿足反射紅外光其中一個(gè)波長(zhǎng)，而紫外光截止膜堆30中第=高折射膜層31和 第四低折射膜層32的厚度至少是滿足反射紫外光其中一個(gè)波段長(zhǎng)。
[0033] 紅外光截止膜堆20成型后，紅外光截止膜堆20中的第一高折射膜層21與第二低折 射膜層22隨之成型，其中，通常情況下，紅外光截止膜堆20中所有的第一高折射膜層21的厚 度都是一樣的，而第二低折射膜層22的厚度也是一樣的，運(yùn)樣，紅外光截止膜堆20就能夠截 止波長(zhǎng)在特定區(qū)間內(nèi)的紅外光。
[0034] 在本實(shí)用新型實(shí)施例中，為擴(kuò)大紅外光截止膜堆20能夠截止紅外光的波長(zhǎng)區(qū)間， 各第一高折射膜層21的厚度逐層遞變，其中，遞變包括遞增或遞減。各第二低折射膜層22的 厚度與第一高折射膜層21的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層遞變，運(yùn)樣，由于厚度的不同，每對(duì)第一高 折射膜層21和第二低折射膜層22就能夠截止波長(zhǎng)在特定區(qū)間內(nèi)的紅外光，且每對(duì)第一高 折射膜層21和第二低折射膜層22截止紅外光的波長(zhǎng)區(qū)間不相同。
[0035] 具體地，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，各第一高折射膜層21的厚度在80.8nm-122.3nm 范圍內(nèi)逐層遞變，各第二低折射膜層22的厚度在117.化m-177.3nm范圍內(nèi)與第一高折射膜 層21的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層遞變，也即是，第一高折射膜層21的厚度為80. Snm，對(duì)應(yīng)的第二 低折射膜層22的厚度為117.化m;而第一高折射膜層21的厚度為122.3nm，對(duì)應(yīng)的第二低折 射膜層22的厚度為177.3皿;第一高折射膜層21的厚度取80.8皿-122.3皿的中間值101.5皿 時(shí)，則對(duì)應(yīng)的第二低折射膜層22的厚度為147.25nm。根據(jù)光學(xué)理論對(duì)光波的劃分，將光波的 波長(zhǎng)范圍為76化m-1150nm的劃分為紅外光，因此，紅外光截止膜堆20需要盡可能將波長(zhǎng)為 760nm-1150nm的光波進(jìn)行截止。而根據(jù)干設(shè)定律，在15°入射角的情況下，各第一高折射膜 層21和第二低折射膜層22的厚度盡量滿足反射光線的光程差S = V2,相位差為0,運(yùn)樣相鄰 兩束光線到達(dá)同一反射界面時(shí)正好是波峰與波峰疊加，則該波長(zhǎng)的反射光獲得最強(qiáng)烈的反 射，入射光在每一膜層上都獲得強(qiáng)烈的反射，經(jīng)過(guò)若干層的反射之后，入射光就幾乎全部被 反射回去，從而實(shí)現(xiàn)了截止紅外光波的目的。再基于前述的紅外光截止膜堆20,厚度為 80.Snm的第一高折射膜層21配合厚度為117.2nm的第二低折射膜層22能夠很好地將760nm 波長(zhǎng)的紅外光反射，厚度為122.3nm的第一高折射膜層21配合厚度為177.3nm的第二低折射 膜層22能夠很好地將IlSOnm波長(zhǎng)的紅外光反射，而厚度為101.5nm的第一高折射膜層21配 合厚度為147.25nm的第二低折射膜層22則能夠很好地將955nm波長(zhǎng)的紅外光反射，其中， 955nm 是760nm-l 150nm的中間值。
[0036] 進(jìn)一步地，在本實(shí)用新型實(shí)施中，各第一高折射膜層21的厚度在80.8nm-122.3皿 范圍內(nèi)逐層等差遞變，各第二低折射膜層22的厚度在117.化m-177.3nm范圍內(nèi)與第一高折 射膜層21的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層等差遞變，且第一高折射膜層21的層數(shù)為10-15,第二低折 射膜層22的層數(shù)與第一高折射膜層21的層數(shù)相對(duì)應(yīng)，紅外光截止膜堆20的厚度控制在 1.9-2. lum。第一高折射膜層21和第二低折射膜層22的層數(shù)均為15,基于此，對(duì)于第一高折 射膜層21和第二低折射膜層22的等差遞變，等差原理計(jì)算即可，在此不展開細(xì)述。
[0037] 紫外光截止膜堆30成型后，紫外光截止膜堆30中的第=高折射膜層31與第四低折 射膜層隨之成型，其中，通常情況下，紫外光截止膜堆30中所有的第=高折射膜層31的厚度 都是一樣的，而第四低折射膜層32的厚度也是一樣的，運(yùn)樣，紫外光截止膜堆30就能夠截止 波長(zhǎng)在特定區(qū)間內(nèi)的紫外光。
[0038] 在本實(shí)用新型實(shí)施例中，為擴(kuò)大紫外光截止膜堆30能夠截止紫外光的波長(zhǎng)區(qū)間， 各第=高折射膜層31的厚度逐層遞變，各第四低折射膜層32的厚度與第=高折射膜層31的 遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層遞變，運(yùn)樣，由于厚度的不同，每對(duì)第=高折射膜層31和第四低折射膜 層32就能夠截止波長(zhǎng)在特定區(qū)間內(nèi)的紫外光，且每對(duì)第=高折射膜層31和第四低折射膜層 32截止紫外光的波長(zhǎng)區(qū)間不相同。
[0039] 具體地，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，各第S高折射膜層31的厚度在10.6nm-41.5皿范 圍內(nèi)逐層遞變，各第四低折射膜層32的厚度在15.4nm-60.1 nm范圍內(nèi)與第S高折射膜層31 的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層遞變，也即是，當(dāng)?shù)?高折射膜層31的厚度為10.6nm時(shí)，對(duì)應(yīng)的第四 低折射膜層32的厚度為15.4nm;而當(dāng)?shù)赟高折射膜層31的厚度為41.5nm時(shí)，對(duì)應(yīng)的第四低 折射膜層32的厚度為60.1皿;第S高折射膜層31的厚度取10.6皿-41.5皿的中間值26.05皿 時(shí)，則對(duì)應(yīng)的第四低折射膜層32的厚度為38.75nm。根據(jù)光學(xué)理論對(duì)光波的劃分，將光波的 波長(zhǎng)范圍為100nm-390nm的劃分為紫外光，因此，紫外光截止膜堆30需要盡可能將波長(zhǎng)為 l(K)nm-390nm的光波進(jìn)行截止。而根據(jù)干設(shè)定律，在15°入射角的情況下，各第一高折射膜層 21和第四低折射膜層32的厚度盡量滿足反射光線的光程差S = V4,相位差為n，運(yùn)樣相鄰兩 束光線到達(dá)同一反射界面時(shí)正好是波峰與波谷疊加，則該波長(zhǎng)的反射光最弱，入射光在經(jīng) 過(guò)若干層干設(shè)相消之后，反射光為0，入射光就幾乎全部被透射出去。由能量守恒定律進(jìn)入 膜層的光線:反射+投射+吸收=1，吸收損耗由成膜效果決定，在鍛膜完成后該數(shù)值已經(jīng)固 化，那么當(dāng)反射為0時(shí)，那么透射光必然最強(qiáng)。再基于前述的紫外光截止膜堆30,厚度為 10.6nm的第=高折射膜層31配合厚度為15.4nm的第四低折射膜層32能夠很好地將IOOnm波 長(zhǎng)的紫外光反射，厚度為41.5nm的第=高折射膜層31配合厚度為60.1 nm的第四低折射膜層 32能夠很好地將390nm波長(zhǎng)的紫外光反射，而厚度為26.05的第=高折射膜層31配合厚度為 38.75的第四低折射膜層32則能夠很好地將955nm波長(zhǎng)的紫外光反射，其中，245nm是IOOnm- 390nm的中間值。
[0040]進(jìn)一步地，在本實(shí)用新型實(shí)施中，各第S高折射膜層31的厚度在10.6nm-41.5皿范 圍內(nèi)逐層等差遞變，各第四低折射膜層32的厚度在15.4nm-60.1 nm范圍內(nèi)與第S高折射膜 層31的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層等差遞變，且第=高折射膜層31的層數(shù)為10-15,第四低折射膜 層32的層數(shù)與第四高折射膜層32的層數(shù)相對(duì)應(yīng)，紫外光截止膜堆30的厚度控制在1.9- 2. lum。在本實(shí)用新型實(shí)施例中，第=高折射膜層31和第四低折射膜層32的層數(shù)均為15,基 于此，對(duì)于第=高折射膜層31和第四低折射膜層32的等差遞變，等差原理計(jì)算即可，在此不 展開細(xì)述。
[0041 ]此外，由于干設(shè)截止濾光片有很強(qiáng)的角度依賴性，如果按光正入射設(shè)計(jì)，入射角度 改變會(huì)使膜層的光學(xué)性能隨之變化，入射角變大，中屯、波長(zhǎng)向短波方向偏移，透過(guò)率變低。 所W上述中，膜層是W15°的入射角作為設(shè)計(jì)基準(zhǔn)，很好的控制了紅外截止膜堆的中屯、波 長(zhǎng)，使得較大入射角的情況下紅外截止膜的短波漂移并未覆蓋到可見光到紅外光的過(guò)渡 區(qū)，運(yùn)樣可W保證在30° W上入射角條件下截止濾光片整體基本上沒有光譜漂移現(xiàn)象。如圖 2所示，是紅外光、紫外光和可見光在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的截止濾光片的光線傳播結(jié)構(gòu) 示意圖，其中，I是紅外光的光線傳播路線示意，n是紫外光的光線傳播路線示意，虹是可見 光的光線傳播路線示意。
[0042] 本實(shí)用新型實(shí)施例中，第一高折射膜層21是由師205制成的第一高折射膜層21， 第二低折射膜層22是由Si02制成的第二低折射膜層22,第=高折射膜層31是由Ce02制成的 第=高折射膜層31，第四低折射膜層32是由Si02制成的第四低折射膜層32。在其他實(shí)施中， 第一高折射膜層21可是由Ti02、PbTe其中一種制成的第一高折射膜層21，第S高折射膜層 31是由Ti02制成的第=高折射膜層31。
[0043] 上述中，在藍(lán)玻璃基板10的兩側(cè)分別附著紅外光截止膜堆20和紫外光截止膜堆 30,藍(lán)玻璃基板10兩側(cè)均受到相應(yīng)的應(yīng)力，避免該截止濾光片翅曲變形，確保截止濾光片的 曲率不會(huì)發(fā)生變化。
[0044] 本實(shí)用新型實(shí)施例中，如圖1所示，紅外光截止膜堆20和紫外光截止膜堆30均在背 離藍(lán)玻璃基板10的一側(cè)附著有增透膜40?；诖私Y(jié)構(gòu)，該截止濾光片不但可W截止紅外光、 紫外光，而且對(duì)可見光具有增透的作用，保證入射的可見光全部透射出截止濾光片。且對(duì)于 利用該截止濾光片的攝像設(shè)備，能夠提高攝像設(shè)備的影像的色彩飽和度、清晰度，使得該截 止濾光片可應(yīng)用與衛(wèi)星偵查、無(wú)人機(jī)攝像等對(duì)成像環(huán)境復(fù)雜的領(lǐng)域。具體地，在本實(shí)用新型 實(shí)施例中，增透膜40包括第五高折射膜層41W及第六低折射膜層42交互堆找形成，其中，第 五高折射膜層41是由Nb205制成的第五高折射膜層41，第六低折射膜層42是由Si02制成的 第六低折射膜層42。其中，第五高折射膜層41的厚度可為82.9nm-161.6nm，第六低折射膜層 42的厚度可為120.2nm-234.3nm。在本實(shí)用新型實(shí)施中，第五高折射膜層41的厚度為 161.6nm，第六低折射膜層42的厚度為234.3nm。
[0045] 綜合上述，本實(shí)用新型實(shí)施例的透光率可參加圖3。
[0046] W上僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用W限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用 新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換或改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保 護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種截止濾光片，其特征在于，包括藍(lán)玻璃基板，以及分別設(shè)于藍(lán)玻璃基板兩側(cè)的紅 外光截止膜堆和紫外光截止膜堆，所述紅外光截止膜堆以第一折射率的第一高折射膜層以 及具有第二折射率的第二低折射膜層交互堆棧形成，所述紫外光截止膜堆以具有第三折射 率的第三高折射膜層以及具有第四折射率的第四低折射膜層交互堆棧形成，其中，所述第 一折射率大于所述第二折射率，所述第三折射率大于所述第四折射率，所述紅外光截止膜 堆和所述紫外光截止膜堆通過(guò)磁控濺射的方式沉積附著到所述藍(lán)玻璃基板。2. 如權(quán)利要求1所述的截止濾光片，其特征在于，各所述第一高折射膜層的厚度逐層遞 變，各所述第二低折射膜層的厚度與所述第一高折射膜層的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層遞變。3. 如權(quán)利要求2所述的截止濾光片，其特征在于，各所述第一高折射膜層的厚度在 80 · 8nm-122 · 3nm范圍內(nèi)逐層遞變，各所述第二低折射膜層的厚度在117 · 2nm-177 · 3nm范圍 內(nèi)與所述第一高折射膜層的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層遞變。4. 如權(quán)利要求3任意一項(xiàng)所述的截止濾光片，其特征在于，所述第一高折射膜層的層數(shù) 為10-15,所述第二低折射膜層的層數(shù)與所述第一高折射膜層的層數(shù)相對(duì)應(yīng)。5. 如權(quán)利要求1所述的截止濾光片，其特征在于，各所述第三高折射膜層的厚度逐層遞 變，各所述第四低折射膜層的厚度與所述第三高折射膜層的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層遞變。6. 如權(quán)利要求5所述的截止濾光片，其特征在于，各所述第三高折射膜層的厚度在 10.6nm-41.5nm范圍內(nèi)逐層遞變，各所述第四低折射膜層的厚度在15.4nm-60. lnm范圍內(nèi)與 所述第三高折射膜層的遞變規(guī)律對(duì)應(yīng)地逐層遞變。7. 如權(quán)利要求6中任意一項(xiàng)所述的截止濾光片，其特征在于，所述第三高折射膜層的層 數(shù)為10-15,所述第四低折射膜層的層數(shù)與所述第三高折射膜層的層數(shù)相對(duì)應(yīng)。8. 如權(quán)利要求1所述的截止濾光片，其特征在于，所述第一高折射膜層是由Nb205、 Ti02、PbTe任一種制成的第一高折射膜層，所述第二低折射膜層是由Si02制成的第二低折 射膜層，所述第三高折射膜層是由Ce02、Ti02其中之一制成的第三高折射膜層，所述第四低 折射膜層是由Si02制成的第四低折射膜層。9. 如權(quán)利要求1所述的截止濾光片，其特征在于，所述紅外光截止膜堆和/或所述紫外 光截止膜堆在背離所述藍(lán)玻璃基板的一側(cè)附著有增透膜。10. 如權(quán)利要求9所述的截止濾光片，其特征在于，所述增透膜包括第五高折射膜層以 及第六低折射膜層交互堆棧形成，所述第五高折射膜層是由Nb205制成的第五高折射膜層， 所述第六低折射膜層是由Si02制成的第六低折射膜層。
【文檔編號(hào)】G02B5/20GK205720755SQ201620370425
【公開日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年4月27日
【發(fā)明人】黃亮, 蔣蔚, 陳凱, 許東東, 黃受林, 黃海東
【申請(qǐng)人】深圳力合光電傳感股份有限公司