專利名稱:檢測或補正位置系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種檢測或補正位置系統(tǒng)，其包含有：一基座；一視覺測量單元，其設于該基座，該視覺測量單元設有一定位標記；以及一控制單元，其電性連接該視覺測量單元；其中，該基座承載一待測物，該待測物設有多個待測點；該檢測或補正位置系統(tǒng)執(zhí)行一校正程序或一檢測程序；于執(zhí)行該校正程序時，在該待測物設定至少一預定位置，該視覺測量單元依序移動至各該預定位置，當該視覺測量單元移動至每一該預定位置時，該視覺測量單元擷取一影像信息，并將該影像信息傳送給該控制單元，該控制單元計算該影像信息中的該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，從而產生對應該預定位置的一補正值，并予以補正及記錄。
【專利說明】
檢測或補正位置系統(tǒng)
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種檢測或補正位置系統(tǒng)及其方法，尤指一種能夠縮短測量時間與提升測量精準度的方法與系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]電磁感應式觸摸板及薄膜晶體管液晶顯示器(Thinfilm transistor liquidcrystal display，以下簡稱TFT-LCD)已廣泛地應用于人們的日常生活中，但是TFT-LCD于制造過程中需進行測量，以確認TFT-1XD能夠進行后續(xù)的制造過程。
[0003]但是，TFT-LCD測量不可避免會有龍門、探針頭或懸臂，或是移動過程中產生有形變，從而造成機構偏移量，使得探針頭尋址時的位置產生異常。進而導致測量的不準確性。
[0004]若以人工方式進行探針頭定位，則要對TFT-LCD的各晶體管一一進行定位，方能達到準確性的要求，但人工方式又往往會耗費大量的工時，故如何在一較短時間內提升測量的精準性就有可討論的空間。
【實用新型內容】
[0005]有鑒于上述課題，本實用新型的目的在于提供一種檢測或補正位置系統(tǒng)，其將待測物分為多個預定位置，視覺測量單元測量少量的預定位置，并于每次測量后即進行補正動作，以縮短測量時間，并提升測量的精準度。
[0006]為了達到上述目的，本實用新型提供了一種檢測或補正位置系統(tǒng)，其包含有:
[0007]一基座；
[0008]—視覺測量單元，其設于該基座，該視覺測量單元設有一定位標記；以及
[0009]—控制單元，其電性連接該視覺測量單元；
[0010]其中，該基座承載一待測物，該待測物設有多個待測點；該檢測或補正位置系統(tǒng)執(zhí)行一校正程序或一檢測程序;于執(zhí)行該校正程序時，在該待測物設定至少一預定位置，該視覺測量單元依序移動至各該預定位置，當該視覺測量單元移動至每一該預定位置時，該視覺測量單元擷取一影像信息并將該影像信息傳送給該控制單元，該控制單元計算該影像信息中的該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，從而產生對應該預定位置的一補正值，并予以補正及記錄;于執(zhí)行該檢測程序時，該控制單元根據該補正值控制該視覺測量單元的位置。
[0011]于一實施例中，該控制單元具有一演算模塊、一補償模塊與一記錄模塊，該演算單元接收該影像信息，以計算出該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，并將該距離傳送給該補償模塊，以產生該補正值，該補償模塊將該補正值傳送給該視覺測量單元與該記錄模塊，該記錄模塊儲存該補正值。
[0012]于一實施例中，該待測物為一待測基板或一待測面板，當該待測物為待測基板時，該待測點為一晶體管；當該待測物為待測面板時，該待測點為一像素。
[0013]于一實施例中，檢測或補正位置系統(tǒng)還包含一第一移動機構、一第二移動機構、一第三移動機構與一載臺，該第一移動機構設于該基座并可相對于該待測物于第一方向移動，該第二移動機構設于該第一移動機構，該第二移動機構可相對于該待測物于第二方向移動，該第三移動機構設于該第二移動機構，該第三移動機構可相對于該待測物于第三方向移動，該第三移動機構、該第二移動機構與該第一移動機構電性連接該控制單元;該載臺設于該基座，該載臺供設置該待測物。
[0014]于一實施例中，該視覺測量單元還具有一探針模塊，該探針模塊設于該第三移動機構。
[0015]于一實施例中，該視覺測量單元還具有一視覺擷取模塊，該視覺擷取模塊設于該第三移動機構。
[0016]于一實施例中，檢測或補正位置系統(tǒng)還具有一視覺倍增模塊，該視覺倍增模塊設于該第三移動機構。
[0017]綜合上述，本實用新型提供的檢測或補正位置系統(tǒng)使視覺測量單元測量少量的待測物的預定位置，從而于每次測量后即可立即執(zhí)行補正的動作，以縮短測量時間，并提升測量的精準性。
【附圖說明】

[0018]圖1為一待測物的不意圖；
[0019]圖2為本實用新型提供的檢測或補正位置系統(tǒng)的示意圖；
[0020]圖3為本實用新型提供的檢測或補正位置系統(tǒng)的示意圖；
[0021 ]圖4為本實用新型提供的檢測或補正位置方法的流程示意圖；
[0022]圖5為定位標記與待測點的示意圖；
[0023]圖6為定位標記與鄰近該定位標記的待測點的示意圖；
[0024]圖7為定位標記位于待測物的預定位置的上方的示意圖。
[0025]附圖標記說明:1_待測物；10-待測點；11-預定位置;2-視覺測量單元;20-基座；21-第一移動機構；22-第二移動機構；23-視覺撤取模塊;230-定位標記;24-探針模塊;25-第二移動機構;26-載臺；27-對位視覺擷取模塊;3-控制單元;30-演算模塊;31-補償模塊；32-記錄模塊;SI?S6-步驟。
【具體實施方式】
[0026]以下通過特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，所屬技術領域中具有通常知識者可由本說明書所揭示的內容，輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點與功效。
[0027]如圖2與圖3所示，本實用新型提供了一種檢測或補正位置系統(tǒng)，其執(zhí)行一檢測程序或一校正程序，該檢測或補正位置系統(tǒng)包含有一基座20、一視覺測量單元2、一移動單元、一載臺26與一控制單元3。
[0028]載臺26設于基座20。載臺26供設置一待測物I。如圖1至圖3所示，待測物I具有多個待測點10，待測點10以DmXDn矩陣排列，m、n為常數，m、n可依實際待測物I的尺寸而變更，故不限定。待測物I設定有多個預定位置11，各預定位置11具有一待測點10。該待測物I為一待測基板或一待測面板，當該待測物I為待測基板時，該待測點10為一晶體管；當該待測物I為待測面板時，該待測點10為一像素。
[0029]視覺測量單元2具有一視覺擷取模塊23、一探針模塊24與至少一對位視覺擷取模塊27，該視覺擷取模塊23與該探針模塊24的間隔距離為現有已知技術，故不于此多論述，特先陳明。
[0030]移動單元具有一第一移動機構21、一第二移動機構25與一第三移動機構22。
[0031]第一移動機構21滑設于基座20的頂端，并相對于待測物I于第一方向移動。
[0032]第二移動機構25設于第一移動機構21，并相對于待測物I于第二方向移動。
[0033]第三移動機構22設于第二移動機構25，并相對于待測物I于第三方向移動。
[0034]視覺擷取模塊23設于第三移動機構22，如圖5所示，視覺擷取模塊23具有一定位標記230 ο探針模塊24設于第三移動機構22。
[0035]舉例而言，上述第一移動機構21、第二移動機構25與第三移動機構能夠進行上述第一方向移動、第二方向移動或第三方向移動，直至視覺擷取模塊23移動至預定位置11或探針模塊23移動至預定位置11。
[0036]視覺擷取模塊23擷取一影像信息，該影像信息包含有定位標記230與鄰近該定位標記230的待測點10，如圖6所示。探針模塊24對待測點10進行測量，因探針模塊24非本案的重點，故不再進一步論述，特先陳明。
[0037]因探針模塊24可依據實際需求，從而決定是否要設置探針模塊24。若未設置探針模塊24，可以用一視覺倍增模塊替換探針模塊24，該視覺倍增模塊配合視覺擷取模塊23，以供工作人員操作，并放大待測點11的影像，以進行人工目視檢查。
[0038]對位視覺擷取模塊27設于載臺26的至少一側，于本實施例中，對位視覺擷取模塊27設于載臺26的兩側。對位視覺擷取模塊25擷取位于載臺26的待測物I的影像，擷取該影像系確認待測物I位于載臺26所設定的位置，若由該影像中判定待測物I有偏位的情況，可對待測物I進行調整。以避免待測物I偏位。
[0039]控制單元3電性連接該基座20與視覺測量單元2?？刂茊卧?具有一演算模塊30、一補償模塊31與一記錄模塊32。
[0040]演算單元30接收該影像信息，以計算出定位標記230與待測點10之間的距離，并將該距離傳送給補償模塊31，以產生一補正值，補償模塊31將該補正值傳送給視覺測量單元2與記錄模塊32，記錄模塊32儲存該補正值，視覺測量單元2依據該補正值，以進行一補正動作，該補正動作可視為一校正程序。該控制單元3根據補正值控制視覺測量單元2的位置，其可視為一檢測程序。
[0041]如圖1至圖4所示，本實用新型應于一種檢測或補正位置方法，該方法用于執(zhí)行一補正程序，該檢測或補正位置方法包含以下步驟:
[0042]SI，設定待測點于定位標記的位置，如圖5所示，視覺擷取模塊23設有定位標記230，如上所述與圖1所示，待測物I設有多個預定位置11，為了便于說明，故預定位置11以圖1的Dl至Dn或Dl至Dm表示。
[0043]若選擇D3、D6、D9至D3X，或者D2、D4、D6至D2XJ為常數。如前所述，已選定的各預定位置11之間具有預定距離，該預定距離可為多個預定位置11的距離總和，預定位置11的數量不限定，其由現場的工作人員設定。
[0044]舉例而言，選擇預定位置11時，應考慮移動單元于移動過程有可會產生機械誤差，視覺測量單元2原本預定移至D9，但因機械誤差量過大，有可能移動至D8或D10，所以該移動單元于移動上述的距離總和的機械誤差值小于一個待測點10的尺寸，以避免移動單元將視覺測量單元2移動至偏離已選定的預定位置11的位置。
[0045]設定待測點10于定位標記230的位置時，視覺擷取模塊23選定或隨機移動至一待測點10的上方，并選定該待測點1于該定位標記230的位置。如圖5所示，選定該晶體管(待測點10)于該定位標記230的位置。視覺擷取模塊23擷取該待測點10與定位標記230的影像信息，該影像信息傳送給控制單元3，以使控制單元3能設定待測點10于定位標記230的位置。
[0046]S2，移動視覺至預定位置，上述移動單元進行第一方向移動、第二方向移動或第三方向移動，以使視覺擷取模塊23移動至一預定位置11。
[0047]S3，選擇最近定位標記的待測點，如步驟S2所述，視覺擷取模塊23的定位標記230位于待測物I的預定位置11的上方，視覺擷取模塊23擷取一影像信息，該影像信息包含定位標記230與鄰近的定位標記230的待測點10，該影像信息傳送給一控制單元3，從而選出最鄰近定位標記230的待測點10。若更進一步說明，該影像信息應為定位標記230與所選擇的最鄰近定位標記230的待測點1的影像。
[0048]S4，計算定位標記與待測點之間的距離，控制單元3的演算模塊30依據影像信息，以計算出定位標記230與最鄰近的定位標記230的待測點10之間的距離，該距離傳送給補償模塊31，以產生一補正值，補償模塊31將補正值傳送給視覺測量單元2與記錄模塊32。
[0049]S5，執(zhí)行記錄及補正，視覺測量單元2依據補正值進行一補正動作，從而使視覺擷取模塊23的定位標記230位于待測物I的預定位置11的上方，記錄模塊記錄補正值，如圖7所不O
[0050]S6，是否至下一個預定位置，若為否，則至結束;若為是，則回至步驟S2，以產生另一補正值，控制單元3記錄另一補正值，視覺測量單元2進行另一補正動作。舉例而言，若以上述的D3、D6、D9至D3X說明，第一個預定位置11可為D3，則下一個預定位置可依序為D6、D9至 D3X。
[0051 ] 于上述的D3、D6、D9至D3X各產生一補正值。
[0052]如上所述的補正程序，若以執(zhí)行上述的補正程序，則可進一步選擇進行一檢測程序的步驟，該控制單元3根據該補正程序產生的補正值控制該視覺測量單元2的位置。
[0053]本實用新型應用于檢測或補正位置方法，其可進一步選擇進行一檢測程序，該檢測或補正位置方法的包含一下步驟有:
[0054]控制單元3根據一補正程序產生的補正值控制視覺測量單元2的位置。
[0055]當視覺測量單元2移動至預定位置11時，視覺測量單元2因受到上述的補正值補正，因此定位標記230會接近一待測點10，如圖7所示，以使探針模塊24測量最接近定位標記230的待測點10?；蛘咭砸曈X擷取模塊23配合視覺倍增模塊進行檢測程序。
[0056]舉例而言，若以上述的D3、D6、D9至D3X說明，假若于檢測時，視覺擷取模塊23或探針模塊24可能移動至D6與D9之間，所以控制單元選擇D6的補正值與D9的補正值，并通過一數學運算得出一新的補正值，該新的補正值提供給視覺測量單元2，以使視覺測量單元2進行一位置補正動作，待位置補正動作完成后，則可進行一檢測程序。
[0057]若更進一步說明，若視覺測量單元2于進行檢測程序，移動至非預定位置11時，控制單元3選擇位于該非預定位置11的前一預定位置11的補正值與后一預定位置11的補正值，并將兩個補正值通過一數學運算得出新的補正值，該新的補正值提供給視覺測量單元2，以使視覺測量單元2進行一位置補正動作，待位置補正動作完成后，則可進行一檢測程序。
[0058]如上所述的檢測程序，其可進一步選擇進行補正程序，該補正程序如上所述，故不于此贅述。
[0059]綜合上述，本實用新型提供的檢測或補正位置系統(tǒng)及其方法，其將待測物I分為多個預定位置11，視覺測量單元2只需測量所選定的預定位置11，預定位置11的數量可依實際數量而決定，因此可于較短的時間內，即可使視覺測量單元2進行補正。
[0060]另外，檢測或補正位置系統(tǒng)可選擇進行補正程序或檢測程序，其依據實據需求設定檢測或補正位置系統(tǒng)進行檢測程序與補正程序的順序或僅執(zhí)行其一。
[0061]以上所述的具體實施例僅用于例釋本實用新型的特點及功效，而非用于限定本實用新型的可實施范疇，于未脫離本實用新型上揭的精神與技術范疇下，任何運用本實用新型所揭示內容而完成的等效改變及修飾，均仍應為本案權利要求范圍所涵蓋。
【主權項】
1.一種檢測或補正位置系統(tǒng)，其特征在于，包含有: 一基座； 一視覺測量單元，其設于該基座，該視覺測量單元設有一定位標記；以及 一控制單元，其電性連接該視覺測量單元； 其中，該基座承載一待測物，該待測物設有多個待測點；該檢測或補正位置系統(tǒng)執(zhí)行一校正程序或一檢測程序;于執(zhí)行該校正程序時，在該待測物設定至少一預定位置，該視覺測量單元依序移動至各該預定位置，當該視覺測量單元移動至每一該預定位置時，該視覺測量單元擷取一影像信息并將該影像信息傳送給該控制單元，該控制單元計算該影像信息中的該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，從而產生對應該預定位置的一補正值，并予以補正及記錄;于執(zhí)行該檢測程序時，該控制單元根據該補正值控制該視覺測量單元的位置。2.根據權利要求1所述的檢測或補正位置系統(tǒng)，其特征在于，該待測物為一待測基板或一待測面板，當該待測物為待測基板時，該待測點為一晶體管；當該待測物為待測面板時，該待測點為一像素。3.根據權利要求1所述的檢測或補正位置系統(tǒng)，其特征在于，還包含一第一移動機構、一第二移動機構、一第三移動機構與一載臺，該第一移動機構設于該基座并可相對于該待測物于第一方向移動，該第二移動機構設于該第一移動機構，該第二移動機構可相對于該待測物于第二方向移動，該第三移動機構設于該第二移動機構，該第三移動機構可相對于該待測物于第三方向移動，該第三移動機構、該第二移動機構與該第一移動機構電性連接該控制單元;該載臺設于該基座，該載臺供設置該待測物。4.根據權利要求3所述的檢測或補正位置系統(tǒng)，其特征在于，該視覺測量單元還具有一探針模塊，該探針模塊設于該第三移動機構。5.根據權利要求3所述的檢測或補正位置系統(tǒng)，其特征在于，該視覺測量單元還具有一視覺擷取模塊，該視覺擷取模塊設于該第三移動機構。6.根據權利要求5所述的檢測或補正位置系統(tǒng)，其特征在于，還具有一視覺倍增模塊，該視覺倍增模塊設于該第三移動機構。7.根據權利要求1所述的檢測或補正位置系統(tǒng)，其特征在于，該控制單元具有一演算模塊、一補償模塊與一記錄模塊，該演算單元接收該影像信息，以計算出該定位標記與最鄰近該定位標記的該待測點之間的距離，并將該距離傳送給該補償模塊，以產生該補正值，該補償模塊將該補正值傳送給該視覺測量單元與該記錄模塊，該記錄模塊儲存該補正值。
【文檔編號】G02F1/13GK205720969SQ201620387434
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年4月29日
【發(fā)明人】李茂杉, 吳松霖
【申請人】均豪精密工業(yè)股份有限公司