專利名稱：基板貼合設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種基板處理設(shè)備，特別是一種基板貼合設(shè)備。
背景技術(shù)：
液晶顯示面板的制程主要包括將兩個(gè)玻璃基板在真空環(huán)境中進(jìn)行貼合的步驟，以使兩個(gè)玻璃基板組成可以灌注液晶的收容空間。
因?yàn)樵谡婵召N合制程之前，其中一個(gè)玻璃基板上已形成有電路結(jié)構(gòu)，在真空貼合制程中，靜電防護(hù)就具有關(guān)鍵作用，如果不能及時(shí)消除靜電累積，極有可能因靜電放電而破壞玻璃基板上的電路，造成產(chǎn)品不良。
現(xiàn)有技術(shù)揭露一種具有靜電消除功能的基板貼合設(shè)備如圖1所示，該基板貼合設(shè)備包括第一靜電吸盤10、第二靜電吸盤20和離子發(fā)生器13與23。該第一靜電吸盤10包括第一吸盤主體11、設(shè)置在該第一吸盤主體11內(nèi)的第一電極12和與該第一電極12連接的第一電源14，該第二靜電吸盤20設(shè)置在該第一靜電吸盤10下側(cè)，包括第二吸盤主體21、設(shè)置在該第二吸盤主體21內(nèi)的第二電極22和與該第二電極22連接的第二電源24。該第一電源14和第二電源24均為高壓直流電源，其一端分別與該第一電極12和第二電極22連接，另一端均接地。當(dāng)該第一電源14和第二電源24施加電壓在該第一電極12和第二電極22上時(shí)，該第一電極12和第二電極22產(chǎn)生電荷累積，累積的電荷產(chǎn)生靜電吸引力，從而使第一靜電吸盤10可以通過靜電感應(yīng)吸附第一基板15，第二靜電吸盤20可以通過靜電感應(yīng)吸附第二基板25，并對該兩個(gè)基板15、25進(jìn)行貼合。離子發(fā)生器13、23分別對應(yīng)該第一基板15、第二基板25，其可以產(chǎn)生正、負(fù)離子，以中和第一基板15、第二基板25所產(chǎn)生的靜電，避免靜電累積過度造成對基板15、25的破壞。
但是，上述基板貼合設(shè)備采用的離子發(fā)生器13、23是用將正、負(fù)離子吹過基板15、25的形式來消除靜電，該種動態(tài)方式可能導(dǎo)致環(huán)境中的異物跟隨正、負(fù)離子流一起通過基板15、25，造成對基板15、25的污染，這對潔凈度要求極高的液晶顯示面板來說很為不利。

實(shí)用新型內(nèi)容為克服現(xiàn)有技術(shù)的基板貼合設(shè)備消除靜電時(shí)容易造成對基板污染的問題，本實(shí)用新型提供一種可消除靜電累積且同時(shí)避免對基板造成污染的基板貼合設(shè)備。
本實(shí)用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是提供一種基板貼合設(shè)備，其包括第一靜電吸盤、第二靜電吸盤和控制器，該第二靜電吸盤設(shè)置在該第一靜電吸盤下側(cè)，該控制器連接在該第二靜電吸盤，控制該第二靜電吸盤交替產(chǎn)生正電壓和負(fù)電壓。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，由于本實(shí)用新型的基板貼合設(shè)備采用一控制器連接在該第二靜電吸盤上，該控制器可以在貼合后的基板脫離第二靜電吸盤前，交替產(chǎn)生正電壓和負(fù)電壓，該正電壓和負(fù)電壓所產(chǎn)生的正、負(fù)電荷可以中和基板上的靜電，消除靜電累積；同時(shí)，因?yàn)榈诙o電吸盤上正、負(fù)電荷的產(chǎn)生和交替改變并不引起空氣的流動，可以避免因氣體流動造成對基板的污染。

圖1是一種現(xiàn)有技術(shù)基板貼合設(shè)備的剖面示意圖。
圖2是本實(shí)用新型基板貼合設(shè)備的剖面圖。
圖3至圖5是本實(shí)用新型基板貼合設(shè)備貼合兩個(gè)基板的過程示意圖。
具體實(shí)施方式如圖2所示，是本實(shí)用新型基板貼合設(shè)備的剖面圖。該基板貼合設(shè)備100包括第一靜電吸盤30、第二靜電吸盤40和控制器45。
該第一靜電吸盤30包括第一吸盤主體31、設(shè)置在該第一吸盤主體31內(nèi)的第一電極32和與該第一電極32連接的第一電源34。該第二靜電吸盤40設(shè)置在該第一靜電吸盤30下側(cè)，包括第二吸盤主體41、設(shè)置在該第二吸盤主體41內(nèi)的第二電極42和與該第二電極42連接的第二電源44，該第二吸盤主體41上設(shè)置多個(gè)支撐柱43，該支撐柱43可相對于第二吸盤主體41做升降移動。該控制器45與該第二靜電吸盤40的第二電源44相連。
該第一電源34和第二電源44均為高壓直流電源。該第一電源34的一端與該第一電極32連接，另一端接地。該第二電源44的一端與該第二電極42連接，另一端連接于該控制器45后接地。該控制器45可以控制該第二電源44交替產(chǎn)生正電壓和負(fù)電壓。
以下結(jié)合圖3至圖5對本實(shí)用新型基板貼合設(shè)備100的作用方式進(jìn)行說明。
參照圖3，當(dāng)該第一電源34施加電壓在該第一電極32上時(shí)，該第一電極32產(chǎn)生電荷累積，累積的電荷產(chǎn)生靜電吸引力，從而使第一靜電吸盤30可以通過靜電感應(yīng)吸附第一基板36。當(dāng)該第二電源44施加電壓在該第二電極42上時(shí)，該第二電極42產(chǎn)生電荷累積，累積的電荷產(chǎn)生靜電吸引力，從而使第二靜電吸盤40可以通過靜電感應(yīng)吸附第二基板46，此時(shí)，該多個(gè)支撐柱43縮入該第二靜電吸盤40內(nèi)。
參照圖4，該第一靜電吸盤30和第二靜電吸盤40分別吸附第一基板36和第二基板46后，通過驅(qū)動裝置(圖未示)驅(qū)動該第一靜電吸盤30朝第二靜電吸盤40移動，最終使該基板36、46進(jìn)行貼合。
參照圖5，該兩個(gè)基板36、46貼合完畢后，該第一靜電吸盤30撤除對第一基板36的靜電吸附力，并上升至一定高度，以不妨礙下一步的操作。該第二靜電吸盤40撤除對第二基板46的靜電吸附力，并驅(qū)動多個(gè)支撐柱43突出該第二靜電吸盤40，抬起貼合后的兩個(gè)基板36、46，以方便機(jī)械手臂(圖未示)將貼合后的兩個(gè)基板36、46取出。因該兩個(gè)基板36、46被抬起之前會有部分靜電累積，為消除該部分靜電，可以在抬起貼合后的兩個(gè)基板36、46前，通過控制器45控制第二電源44交替產(chǎn)生正電壓和負(fù)電壓，該正電壓和負(fù)電壓所產(chǎn)生的正、負(fù)電荷即可中和基板36、46上的靜電，消除靜電累積。
因?yàn)楸緦?shí)用新型的基板貼合設(shè)備100采用控制器45連接在該第二靜電吸盤40上，該控制器45可以在貼合后的基板36、46脫離第二靜電吸盤40前，交替產(chǎn)生正電壓和負(fù)電壓，該正電壓和負(fù)電壓所產(chǎn)生的正、負(fù)電荷作用同現(xiàn)有技術(shù)的離子發(fā)生器所產(chǎn)生的正、負(fù)離子，可以中和基板36、46上的靜電，消除靜電累積；同時(shí)，因第二靜電吸盤40上正、負(fù)電荷的產(chǎn)生和交替改變并不引起空氣的流動，可以避免因?yàn)闅怏w流動造成對基板36、46的污染。
權(quán)利要求1.一種基板貼合設(shè)備，包括第一靜電吸盤和第二靜電吸盤，該第二靜電吸盤設(shè)置在該第一靜電吸盤下側(cè)，其特征在于該基板貼合設(shè)備進(jìn)一步包括一控制器，該控制器連接在該第二靜電吸盤，控制該第二靜電吸盤交替產(chǎn)生正電壓和負(fù)電壓。
2.如權(quán)利要求1所述的基板貼合設(shè)備，其特征在于該第一靜電吸盤包括第一吸盤主體、設(shè)置在該第一吸盤主體內(nèi)的第一電極和與該第一電極連接的第一電源。
3.如權(quán)利要求1所述的基板貼合設(shè)備，其特征在于該第二靜電吸盤包括第二吸盤主體、設(shè)置在該第二吸盤主體內(nèi)的第二電極和與該第二電極連接的第二電源，該控制器控制該第二電源交替產(chǎn)生正電壓和負(fù)電壓。
4.如權(quán)利要求3所述的基板貼合設(shè)備，其特征在于該第二吸盤主體上設(shè)置多個(gè)支撐柱，該支撐柱可相對于第二吸盤主體做升降移動。
5.如權(quán)利要求2所述的基板貼合設(shè)備，其特征在于該第一電源是高壓直流電源。
6.如權(quán)利要求3所述的基板貼合設(shè)備，其特征在于該第二電源是高壓直流電源。
7.如權(quán)利要求2所述的基板貼合設(shè)備，其特征在于該第一電源具有一個(gè)接地端。
8.如權(quán)利要求3所述的基板貼合設(shè)備，其特征在于該第二電源連接控制器后接地。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種基板貼合設(shè)備，其包括第一靜電吸盤、第二靜電吸盤和控制器，該第二靜電吸盤設(shè)置在該第一靜電吸盤下側(cè)，該控制器連接于該第二靜電吸盤，并控制該第二靜電吸盤交替產(chǎn)生正電壓和負(fù)電壓。
文檔編號G02F1/1341GK2715187SQ200420042620
公開日2005年8月3日 申請日期2004年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月14日
發(fā)明者江經(jīng)緯, 張彥中 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 群創(chuàng)光電股份有限公司