專利名稱：器件轉(zhuǎn)移方法和顯示器裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種器件轉(zhuǎn)移方法和一種顯示器裝置。更具體地，本發(fā)明涉及一種器件轉(zhuǎn)移方法和一種顯示器裝置，通過該方法或在裝置中，器件可精確地被轉(zhuǎn)移。
背景技術(shù)：
在通過矩陣方式排列發(fā)光器件來裝配圖像顯示器裝置的情況下，通常采用的是當(dāng)在液晶顯示器(LCD)和等離子體顯示面板(PDP)的情況下直接在襯底上形成器件，或者在發(fā)光二極管顯示器(LED顯示器)的情況下，排列單獨(dú)的發(fā)光二極管(LED)的封裝。例如，在LCD和PDP的這種圖像顯示器裝置中，不可能進(jìn)行器件分離，因此，通常從制造工藝開始就在圖像顯示器裝置上以對應(yīng)于要求的像素間距的間隔形成單個器件。
另一方面，在LED顯示器的情況下，在劃片之后取出LED芯片，并通過倒裝芯片的凸起連接或布線焊接，將LED芯片單獨(dú)地連接到外部電極，由此完成封裝。在此情況下，在進(jìn)行封裝之前或在進(jìn)行封裝之后，將器件排列在圖像顯示器裝置的像素間距處，并且在形成器件時，該像素間距不依賴所述器件的間距。
由于作為發(fā)光器件的LED(發(fā)光二極管)昂貴，因此通過從一個晶片中生產(chǎn)大量的LED芯片就能夠降低利用LED的圖像顯示器裝置的成本。即，當(dāng)將LED芯片的尺寸從大約300平方微米的常規(guī)尺寸改變?yōu)閹资椒轿⒚椎某叽绮⒂纱诉B接減小的LED芯片以便制造出圖像顯示器裝置，由此就能降低此圖像顯示器裝置的制造成本。
同時，關(guān)于通過將在器件形成的襯底上形成的多個器件重新布置在裝置襯底上來制造所要求的裝置的制造步驟，已經(jīng)實(shí)行了一種器件排列方法，其中將器件轉(zhuǎn)移到設(shè)置在臨時支撐所述器件的器件支撐襯底上的粘結(jié)層上，所述器件被轉(zhuǎn)移到用作最終的布置的裝置襯底上，對所述器件進(jìn)行布置。
在從所述器件支撐襯底向所述裝置襯底上轉(zhuǎn)移所述器件時，一個將膠粘劑滴在所述器件上的方法臨時地將器件固定在所述器件支撐襯底上，此后，采用在其上粘結(jié)該裝置的襯底。在此情況下，將所述器件支撐襯底和該裝置襯底彼此粘結(jié)，然后將所述器件支撐襯底和該裝置襯底彼此剝離；在此工藝中，由于其間由該粘結(jié)劑產(chǎn)生的強(qiáng)粘結(jié)，因此就很難使所述器件支撐襯底和該裝置襯底彼此剝離。特別地，在疊層襯底具有大面積的情況下，在進(jìn)行剝離時，就很有可能損壞該襯底。此外，由于在將所述器件嵌入該粘結(jié)層的條件下該粘結(jié)層硬化(固化)，因此就難于將所述器件轉(zhuǎn)移到該裝置襯底之上，此后也難于再次將器件轉(zhuǎn)移到相同的裝置襯底之上。
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種器件轉(zhuǎn)移方法和一種顯示器裝置，通過該方法或在該裝置中，將在襯底上排列的器件轉(zhuǎn)移到另一個襯底之上，能夠在轉(zhuǎn)移所述器件之后輕易地剝離該襯底，減少損壞該襯底的幾率，并且在轉(zhuǎn)移所述器件之后將附加地器件再次轉(zhuǎn)移到相同的襯底之上。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種器件轉(zhuǎn)移方法，包括步驟將在第一襯底上排列的器件嵌入到在第二襯底上設(shè)置的壓敏粘結(jié)層中；以及從第一襯底剝離所述器件，以使所述器件保持在被嵌入到壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下。
由于通過將器件嵌入壓敏粘結(jié)層中而保持與第二襯底相關(guān)的器件排列，因此就能夠?qū)⑺銎骷度氲皆搲好粽辰Y(jié)層中，由此將所述器件裝配到第二襯底之上，而不依賴于所述器件的形狀。此外，由于通過使第一襯底和第二襯底彼此更加靠近就可以將在第一襯底上排列的多個器件集中嵌入到該壓敏粘結(jié)層中，因此就能夠同時將多個器件裝配到第二襯底之上，同時保持在第一襯底上的所述器件的相互排列狀況。由于在硬化該壓敏粘結(jié)層之前，就從臨時粘結(jié)層剝離所述器件，因此就減少了用于彼此分離第一襯底和第二襯底所需的力，以致可以降低損壞第一襯底或第二襯底的幾率。
此外，在將所述器件保持嵌入到該壓敏粘結(jié)層中之后，硬化該壓敏粘結(jié)層，就能夠在硬化該壓敏粘結(jié)層之前以嵌入所述器件的條件下進(jìn)一步將器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層中。除此之外，在硬化該壓敏粘結(jié)層之后在該壓敏粘結(jié)層上形成第一電布線時，將第三襯底粘結(jié)到其上由該壓敏粘結(jié)層形成的第一電布線的側(cè)面之上，將第二襯底和該壓敏粘結(jié)層彼此剝離，為該壓敏粘結(jié)層提供到達(dá)所述器件的開口，該開口填充有導(dǎo)電材料，并且在該壓敏粘結(jié)層上形成第二電布線，就能夠?qū)⒃撾姴季€連接到所述器件，同時維持所述器件的排列，并容易地將本發(fā)明的器件轉(zhuǎn)移方法用于例如制造顯示器裝置或電子裝置。
此外，當(dāng)使所述器件與在第一襯底上設(shè)置的臨時粘結(jié)層接觸以便臨時地將所述器件粘結(jié)到該臨時粘結(jié)層、并因此在第一襯底上排列所述器件，在將所述器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層中之前，就能夠按照在第一襯底上排列所述器件所需的次數(shù)再次排列所述器件，因此在排列所述器件之后不產(chǎn)生紊亂地轉(zhuǎn)移所述器件。
在第二襯底上設(shè)置的該壓敏粘結(jié)層的粘著性比在第一襯底上設(shè)置的該臨時粘結(jié)層的粘著性更大時或改變該壓敏粘結(jié)層或該臨時粘結(jié)層的粘著性以致該壓敏粘結(jié)層的粘著性比該壓敏粘結(jié)層的粘著性將比該臨時粘結(jié)層的粘著性更大時，由于在該壓敏粘結(jié)層和該臨時粘結(jié)層之間的粘著性差異，就能夠僅僅通過將所述器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層并使第一襯底和第二襯底彼此遠(yuǎn)離，在所述器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層中的條件下從該臨時粘結(jié)層剝離所述器件，并簡化或便利操作步驟。
此外，當(dāng)執(zhí)行嵌入所述器件進(jìn)入該壓敏粘結(jié)層的操作直至其被部分嵌入的程度時，可以避免該壓敏粘結(jié)層和該臨時粘結(jié)層的直接接觸，就可以降低用于分離第一襯底和第二襯底所需的力，并可以減少損壞第一襯底或第二襯底的幾率。此外，該壓敏粘結(jié)層由絕緣材料形成時，可以采用該壓敏粘結(jié)層作為絕緣層，而在完成所述器件的轉(zhuǎn)移之后不用去除該壓敏粘結(jié)層，并且就可以減少用于制造電子設(shè)備等的步驟的數(shù)量。
此外，為了解決上述問題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種器件轉(zhuǎn)移方法，包括步驟在將一方面的器件的嵌入到該壓敏粘結(jié)層中的條件下，進(jìn)一步將在第一襯底上排列的其它方面的器件嵌入到在第二襯底上設(shè)置的壓敏粘結(jié)層中；以及從第一襯底剝離該其它方面的器件，以使將該其它方面的器件保持在被嵌入到該壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下。
在一方面的器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層的條件下，通過進(jìn)一步將其它方面的器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層中，即使在第一襯底的面積小，并且多次將在第一襯底上設(shè)置的所述器件轉(zhuǎn)移到第二襯底上的情況下，也能夠加大第二襯底，因此甚至在制造具有大表面積的顯示器裝置的情況下，也能夠采用本發(fā)明的器件轉(zhuǎn)移方法。
在此情況下，當(dāng)一方面的器件與其它方面的器件具有不同特性時，而這些器件不能形成在同一生長襯底上，也能夠在第二襯底上排列并保持這些器件。在此情況下，當(dāng)在第二襯底上排列用于發(fā)射不同顏色光例如紅、綠和藍(lán)的發(fā)光二極管作為不同特性的器件時，也能夠獲得多彩色顯示器的顯示器裝置。此外，一方面的器件和其它方面的器件以嵌入狀態(tài)在該襯底上的不同區(qū)域受到保持時，甚至在第一襯底上允許排列所述器件的區(qū)域受到限制的情況下，也能夠加大第二襯底的面積，將器件附加地嵌入到該壓敏粘結(jié)層仍沒有嵌入所述器件的區(qū)域中，由此將所述器件排列在大面積的襯底之上。具體地，提供了一種用于制造具有大屏幕的顯示器裝置的器件轉(zhuǎn)移方法。
除此之外，為了解決上述問題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種通過一種方法獲得的顯示器裝置，該方法包括步驟將在第一襯底上排列的器件嵌入到在第二襯底上設(shè)置的壓敏粘結(jié)層中；從該第一襯底剝離所述器件，以將所述器件保持在被嵌入到該壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下，并在此條件下硬化該壓敏粘結(jié)層；在該壓敏粘結(jié)層上形成第一電布線，將第三襯底粘結(jié)到該壓敏粘結(jié)層的形成第一電布線的側(cè)面上，并且第二襯底和該壓敏粘結(jié)層彼此剝離；以及提供給該壓敏粘結(jié)層到達(dá)所述器件的開口，用導(dǎo)電材料填充該開口，并在該壓敏粘結(jié)層上形成第二電布線。
通過利用包括將所述器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層的步驟的所述器件轉(zhuǎn)移方法就獲得了該顯示器裝置，能夠易于實(shí)施所述器件的排列并形成該電布線。當(dāng)通過第一電布線和第二電布線將電壓施加到所述器件而通過簡單的矩陣驅(qū)動來進(jìn)行顯示時，能夠以與現(xiàn)有的簡單矩陣驅(qū)動型顯示器裝置的情況下相同方式來顯示圖像。
此外，為了解決上述問題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種通過一種方法獲得的顯示器裝置，該方法包括步驟將在第一襯底上排列的一方面的器件嵌入到在第二襯底上設(shè)置的壓敏粘結(jié)層中，并從第一襯底剝離該一方面的器件，以使該一方面的器件保持在被嵌入到該壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下；進(jìn)一步將在第一襯底上排列的其它方面的器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層中，并在一方面的器件被嵌入到該壓敏粘結(jié)層中的條件下，從第一襯底剝離該其它方面的器件，以使該其它方面的器件保持在被嵌入到該壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下；在一方面的器件和其它方面的器件保持在被嵌入到該壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)的條件下，硬化該壓敏粘結(jié)層；在該壓敏粘結(jié)層上形成第一電布線，將第三襯底粘結(jié)到該壓敏層的形成第一電布線的側(cè)面之上，并使第二襯底和該壓敏粘結(jié)層彼此剝離；以及提供給該壓敏粘結(jié)層到達(dá)所述一方面的器件和其它方面的器件的開口，用導(dǎo)電材料填充該開口，并在該壓敏粘結(jié)層上形成第二電布線。
通過利用包括將所述器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層中的步驟的所述器件轉(zhuǎn)移方法獲得該顯示器裝置，就能夠?qū)嵤┧銎骷呐帕胁⑿纬呻姴季€。在一方面的器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層中的條件下，進(jìn)一步將其它方面的器件嵌入到該壓敏粘結(jié)層中，就能夠加大第二襯底，因此獲得具有大顯示面積的顯示器裝置。
在此情況下，當(dāng)一方面的器件和其它方面的器件具有不同特性，不能形成在同一生長的襯底上時，也能夠在第二襯底上排列并保持這些器件。當(dāng)排列用于發(fā)射不同顏色的發(fā)光二極管時，也能夠獲得用于彩色顯示器的顯示器裝置。此外，當(dāng)在襯底上的不同區(qū)域中以嵌入狀態(tài)來保持一方面的器件和其它方面的器件時，即使第一襯底上允許排列器件的區(qū)域受到限制的情況下，也能夠加大第二襯底的面積，以便附加地將器件嵌入到壓敏粘結(jié)層的還沒有嵌入器件的區(qū)域中，由此在具有大面積的襯底上排列各器件。
當(dāng)通過第一電布線和第二電布線將電壓施加到器件上、通過簡單的矩陣驅(qū)動來進(jìn)行顯示時，能夠以與現(xiàn)有的簡單矩陣驅(qū)動型顯示器裝置的情況相同的方式來顯示圖像。此外，當(dāng)一方面的器件或其它方面的器件是顯示器件或驅(qū)動電路器件、并且通過驅(qū)動電路器件將電壓施加到顯示器件、通過有源矩陣驅(qū)動來進(jìn)行顯示時，就能夠以與現(xiàn)有的有源矩陣驅(qū)動型顯示器裝置的情況向的方式來顯示圖像。


圖1是示出了器件轉(zhuǎn)移方法的步驟的剖面圖，說明其中在臨時支撐襯底上已經(jīng)排列了器件的方式。
圖2是一剖面圖，示出了其中已經(jīng)設(shè)置了平行于臨時支撐襯底的其上提供有壓敏粘結(jié)層的轉(zhuǎn)移襯底的方式的步驟。
圖3是一剖面圖，示出了其中為將器件嵌入到壓敏粘結(jié)層中，臨時支撐襯底和轉(zhuǎn)移襯底已經(jīng)彼此靠近的方式的步驟。
圖4是一剖面圖，示出了其中從臨時支撐襯底剝離器件并且在被嵌入壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下保持器件的方式的步驟。
圖5是一剖面圖，示出了其中在壓敏粘結(jié)層上已經(jīng)形成了電布線的步驟。
圖6是一剖面圖，示出了其中已經(jīng)將其上提供有粘結(jié)層的支撐襯底粘結(jié)到器件和電布線的方式的步驟。
圖7是一剖面圖，示出了已經(jīng)壓敏粘結(jié)層和轉(zhuǎn)移襯底已經(jīng)剝離的條件下的步驟。
圖8是一剖面圖，示出了已經(jīng)在壓敏粘結(jié)層中開出接觸通孔的條件的步驟。
圖9是一剖面圖；示出了在壓敏粘結(jié)層上已經(jīng)層疊了金屬以便充滿接觸通孔且已經(jīng)形成了電布線的條件下的步驟。
圖10是一剖面圖，示出了本發(fā)明的第二實(shí)施例中的已經(jīng)將臨時支撐襯底和轉(zhuǎn)移襯底彼此靠近到將器件部分嵌入到壓敏粘結(jié)層中的程度的條件下的步驟。
圖11是一剖面圖，示出了其中在器件部分嵌入到壓敏粘結(jié)層中的條件下，器件已經(jīng)從臨時支撐襯底上剝離的方式的步驟。
圖12是一剖面圖，示出了其中將從壓敏粘結(jié)層中部分突出的器件更深地嵌入到壓敏粘結(jié)層中的方式的步驟。
圖13為一剖面圖，示出了說明本發(fā)明的第三實(shí)施例中的其中將具有不同特性的器件再次嵌入到壓敏粘結(jié)層中的方式的步驟。
圖14A-14C是說明本發(fā)明的第四實(shí)施例中的方式的步驟剖面圖，其中，在所述器件已經(jīng)嵌入到壓敏粘結(jié)層中的條件下，進(jìn)一步將器件再次嵌入到壓敏粘結(jié)層中還沒有器件嵌入的區(qū)域中。
具體實(shí)施例方式
第一實(shí)施例現(xiàn)在，以下將參照附圖詳細(xì)地說明根據(jù)本發(fā)明的器件轉(zhuǎn)移方法和顯示器裝置。順便提及，本發(fā)明不限于以下的描述，并且在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍之內(nèi)，可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行修改。
如圖1中所示，在臨時支撐襯底1上形成臨時粘結(jié)層2，并且在臨時粘結(jié)層2上排列發(fā)光二極管的器件3。臨時支撐襯底1是具有所需粗糙度的襯底，并且可以采用各種襯底例如半導(dǎo)體襯底、石英玻璃襯底、塑料襯底和金屬襯底作為臨時支撐襯底1。臨時粘結(jié)層2由具有粘著性的材料形成，通過該粘著性可以將器件3保持到這種程度以致在處理臨時支撐襯底1時在臨時支撐襯底1上的器件3的位置不會改變。此外，例如，臨時粘結(jié)層2由硅樹脂層組成，且可以通過粘結(jié)一個片來形成粘結(jié)層或通過旋涂等提供粘結(jié)層或類似方式來形成。
所述器件3是由例如氮化鎵的基于氮化物半導(dǎo)體材料組成的發(fā)光二極管，例如，其具有雙異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)，其中有源層3b被夾在p覆層(p-clad)3p和n覆層3n之間。此外，在此示出的器件3是粗糙平板形的形狀，并通過其中在平行于藍(lán)寶石襯底的初始表面的平面上延伸所述器件3的有源層和覆層的方法來形成，在該藍(lán)寶石襯底上生長有源層和覆層，并且通過選擇性生長等，層疊氮化鎵晶體層等。雖然在圖中示出了一個示例，其中p覆層3p出現(xiàn)在器件3的臨時支撐襯底2側(cè)面，但是器件3也可以這樣設(shè)置以致n覆層3n位于臨時粘結(jié)層2的側(cè)面上。除此之外，盡管附圖中進(jìn)行了省略，但在p覆層3p的表面上形成用于減少此后將說明的電布線和器件3之間的接觸電阻的p電極，并且類似地，在n覆層3n的表面上形成n電極。
此外，器件3可以不必具有雙異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)或不必是發(fā)光二極管，并且可以是以微小尺寸加工的電子電路器件。器件3的形狀不必是粗糙平板形的形狀，并且可以是任何各種形狀，例如六角錐體形狀；然而，為了足夠地保持器件3與臨時粘結(jié)層2的緊密接觸，就需要用于與臨時粘結(jié)層2接觸的器件3的表面是平坦的。除此之外，雖然圖中示出了器件3是以規(guī)則間隔的方式被排列在臨時粘結(jié)層2上，但器件3不必以規(guī)則間隔的方式進(jìn)行排列。
以矩陣方式在臨時粘結(jié)層2上排列器件3，即在平面的列方向和行方向上重復(fù)排列器件3，因此還在垂直于圖中的紙表面的方向上以規(guī)則間隔的方式排列多個器件3。由于器件3是作為顯示器件的發(fā)光二極管，因此當(dāng)通過簡單的矩陣驅(qū)動來進(jìn)行驅(qū)動時，以矩陣排列的器件3就能夠顯示圖像。
隨后，如圖2中所示，轉(zhuǎn)移襯底4平行于臨時支撐襯底1設(shè)置，其上提供有壓敏粘結(jié)層5。作為轉(zhuǎn)移襯底4，可以采用各種襯底，例如半導(dǎo)體襯底、石英玻璃襯底、塑料襯底和金屬襯底。壓敏粘結(jié)層5由能夠通過外部因素如熱處理來進(jìn)行硬化(固化)的可塑性樹脂，并且通過旋涂等提供樹脂來形成。壓敏粘結(jié)層5具有這樣的厚度，以致可以將器件3嵌入到例如整體地嵌入到壓敏粘結(jié)層5中。此外，為了利用壓敏粘結(jié)層5作為顯示器裝置的絕緣層，而在后續(xù)步驟中不用將其去除，在形成壓敏粘結(jié)層5中，就需要采用絕緣材料。
接著，如圖3中所示，將轉(zhuǎn)移襯底4和臨時支撐襯底1彼此靠近，同時維持平行，由此將在臨時支撐襯底1上保持的器件3嵌入到壓敏粘結(jié)層5中。在此情況下，如圖3中所示，將器件3嵌入到壓敏粘結(jié)層5中直到臨時粘結(jié)層2與壓敏粘結(jié)層5進(jìn)行接觸，以致使與臨時粘結(jié)層2接觸的器件3的表面基本上到達(dá)與壓敏粘結(jié)層5的表面齊平。
由于通過將器件3嵌入到壓敏粘結(jié)層5中來保持器件3相對于轉(zhuǎn)移襯底4的排列，因此就能夠與器件3的形狀無關(guān)地將器件3嵌入到壓敏粘結(jié)層5中，由此將器件3裝配到轉(zhuǎn)移襯底4上。此外，由于通過使臨時支撐襯底1和轉(zhuǎn)移襯底4彼此靠近、可以將在臨時粘結(jié)層2上排列的多個器件3全體地嵌入到壓敏粘結(jié)層5中，因此就可以將多個器件3同時裝配到轉(zhuǎn)移襯底4之上，同時維持在臨時粘結(jié)層2上的器件3的初始排列條件。
隨后，如圖4中所示，保持所述器件3嵌入在壓敏粘結(jié)層5中，從臨時粘結(jié)層2上剝離器件3，以保持在轉(zhuǎn)移襯底4上的器件3的位置。在此情況下，選擇用于構(gòu)成壓敏粘結(jié)層5和臨時粘結(jié)層2的材料，以致用于保持嵌入的器件3的壓敏粘結(jié)層5的粘著性要大于用于保持器件3的臨時粘結(jié)層2的粘著性，通過簡單地使臨時粘結(jié)層2和轉(zhuǎn)移襯底4彼此離開，就能夠從臨時粘結(jié)層2剝離器件3并在器件3被嵌入到壓敏粘結(jié)層5的狀態(tài)下保持器件3。同樣地，可采用一種方法，其中如此選擇用于構(gòu)成臨時粘結(jié)層2或壓敏粘結(jié)層5的材料以致通過環(huán)境變化例如加熱或用光輻照來改變它的粘著性，并且在將器件3嵌入到壓敏粘結(jié)層5中之后，進(jìn)行環(huán)境變化以致壓敏粘結(jié)層5的粘著性將大于臨時粘結(jié)層2的粘著性。
由于在硬化(固化)壓敏粘結(jié)層5之前從臨時粘結(jié)層2上剝離器件3，因此就降低了用于使臨時支撐襯底1和轉(zhuǎn)移襯底4彼此遠(yuǎn)離所需的力，并且減少了在將器件3從臨時粘結(jié)層2剝離時損壞臨時支撐襯底1和轉(zhuǎn)移襯底4的幾率。具體地，在制造具有大屏幕的顯示器裝置的情況下，就必須加大轉(zhuǎn)移襯底4的面積，因此減少損壞轉(zhuǎn)移襯底4或臨時支撐襯底1的幾率，就能夠降低制造成本。
接著，如圖5中所示，在器件3保持嵌入到壓敏粘結(jié)層5中的條件下，提供用于硬化(固化)壓敏粘結(jié)層5的外部因數(shù)例如熱處理等，以便硬化(固化)壓敏粘結(jié)層5，在壓敏粘結(jié)層5和器件3上形成電布線6。由于器件3和壓敏粘結(jié)層5彼此齊平，因此可以通過常規(guī)使用的方法來形成電布線6，例如在壓敏粘結(jié)層5上提供掩膜并濺射金屬的方法，以及在器件3和壓敏粘結(jié)層5上形成金屬層、然后進(jìn)行光刻和蝕刻的方法。由于每個器件3的暴露表面是在p覆層3p上形成的p電極，因此電布線6就與器件3的p覆層3p連接。除此之外，以垂直于圖中的紙表面方向延伸的條形來形成電布線6，并且電布線6作為以矩陣排列的器件3的掃描線。
隨后，如圖6中所示，將其上提供有粘結(jié)層8的支撐襯底7粘結(jié)到壓敏粘結(jié)層5，以致其上提供有電布線6的壓敏粘結(jié)層5的表面與粘結(jié)層8保持接觸。在此情況下，由于在壓敏粘結(jié)層5上形成的多個電布線6與粘結(jié)層8保持接觸，因此選擇絕緣材料用于形成粘結(jié)層8。在粘結(jié)支撐襯底7之后，用激光進(jìn)行輻照，如圖7中所示，從壓敏粘結(jié)層5剝離轉(zhuǎn)移襯底4。如附圖中所示，通過將轉(zhuǎn)移襯底4和壓敏粘結(jié)層5彼此剝離，就獲得了一種條件，其中在支撐襯底7上形成粘結(jié)層8、在粘結(jié)層8上層疊硬化(固化)的壓敏粘結(jié)層5，并且在粘結(jié)層8和壓敏粘結(jié)層5之間在保持粘結(jié)層8上形成的電布線6及在壓敏粘結(jié)層5中嵌入的多個器件3。在此情況下，由于器件3未從硬化的壓敏粘結(jié)層5上露出，因此就不能形成與所述器件3的n覆層3n接觸的電布線。
如圖8中所示，因此，硬化的壓敏粘結(jié)層5就通過干法蝕刻等方法為其提供接觸通孔9，接觸通孔9是到達(dá)所述器件3的n覆層3n的開口。利用由此在壓敏粘結(jié)層5中開出的接觸通孔9，就從壓敏粘結(jié)層5中暴露出器件3的n覆層3n，由此就可以形成電布線。
接著，如圖9中所示，用金屬填充接觸通孔9，在壓敏粘結(jié)層5上形成電布線10。可以通過常規(guī)使用的方法，例如在壓敏粘結(jié)層5上提供掩膜并濺射金屬的方法，以及在器件3和壓敏粘結(jié)層5上形成金屬層、然后進(jìn)行光刻和蝕刻的方法，形成電布線10。由于通過接觸通孔9暴露的每個器件3的表面是在n覆層3n上形成的n電極，因此電布線10就與器件3的n覆層3n接觸。此外，電布線10形成為以平行于圖中的紙表面的方向延伸的條形，并作為以矩陣排列的器件3的信號線。
利用通過上述方法進(jìn)行的器件3的轉(zhuǎn)移和電布線6和電布線10的形成，就獲得了器件3的排列，其中在支撐襯底7上形成粘結(jié)層8、在粘結(jié)層8上層疊硬化的壓敏粘結(jié)層5、在粘結(jié)層8上形成的電布線6及在壓敏粘結(jié)層5中嵌入的多個器件3保持在粘結(jié)層8和壓敏粘結(jié)層5之間、在壓敏粘結(jié)層5中形成用金屬填充的接觸通孔9以及在壓敏粘結(jié)層5上形成的電布線10。在支撐襯底7上以矩陣排列的器件3是發(fā)光二極管，電布線6是與器件3的p覆層3p連接的條形掃描線，并且電布線10是與器件3的n覆層3n連接的條形信號線；因此，利用圖9中所示的器件的排列，就能夠獲得顯示器裝置，當(dāng)通過簡單的矩陣驅(qū)動時該顯示器裝置就能夠顯示圖像。
在根據(jù)本發(fā)明的器件轉(zhuǎn)移方法中，以下將說明將所述器件3排列在臨時支撐襯底1上設(shè)置的臨時粘結(jié)層2上的方法以獲得圖1中所示的條件的一個例子。
所述器件3構(gòu)成為發(fā)光二極管，每個發(fā)光二極管由基于氮化物半導(dǎo)體例如氮化鎵的材料形成并在藍(lán)寶石襯底上以矩陣方式排列。通過一種方法來形成器件3，在該方法中所述藍(lán)寶石襯底上生長有源層和覆層，在平行于藍(lán)寶石襯底的初始表面的平面上擴(kuò)展所述器件的有源層和覆層，并通過選擇生長等來層疊氮化鎵晶體層等。
在藍(lán)寶石襯底上器件3以一個接一個被分離的狀態(tài)形成；例如，可通過RIE(反應(yīng)離子蝕刻)等方法個別地分離器件3。雖然在本例子中，器件3具有粗糙平板狀的形狀，但可以采用具有相對于藍(lán)寶石襯底的初始表面傾斜的傾斜晶體層的器件。例如，當(dāng)器件3是由具有平行于相對于藍(lán)寶石襯底的初始表面傾斜的平面的晶體表面的有源層和覆層構(gòu)成的器件時，器件也可以按照通過用樹脂覆蓋器件得到的芯片形式被轉(zhuǎn)移。
接著，在將器件3粘結(jié)到臨時粘結(jié)層2的條件下，從藍(lán)寶石襯底分離器件3。在從藍(lán)寶石襯底分離器件3的過程中，從藍(lán)寶石層的背面用激光束例如準(zhǔn)分子激光器和YAG激光器進(jìn)行輻照，以便在器件3和藍(lán)寶石襯底之間的界面處產(chǎn)生激光燒蝕。激光燒蝕指一種現(xiàn)象，其中吸收輻照光束的固定材料被光化學(xué)激發(fā)或熱激發(fā)，且在它的表面或在它的內(nèi)部、在原子或分子中的鍵斷裂；激光燒蝕出現(xiàn)最初的現(xiàn)象，其中部分或整個部分的固定材料經(jīng)歷相變例如熔化、蒸發(fā)和氣化。激光燒蝕在器件3和藍(lán)寶石襯底之間的界面處將GaN基材料分解為金屬Ga和氮?dú)?，?dǎo)致產(chǎn)生氣體。這樣能夠相當(dāng)容易地分離所述器件3。作為輻照的激光束，特別考慮準(zhǔn)分子激光器在較短波長區(qū)域的高輸出，優(yōu)選地使用該種激光器。利用準(zhǔn)分子激光器就能夠瞬間處理并快速地剝離器件3。
對于通過上述激光燒蝕從作為生長襯底的藍(lán)寶石襯底被剝離的并被排列在臨時支撐襯底1上的器件3，即使所述器件3在所述生長襯底上的彼此排列極其緊密，通過用激光束輻照器件3并從生長襯底剝離輻照的器件，也能以擴(kuò)大的間隔將器件3排列在臨時支撐襯底1上。
對于通過采用器件轉(zhuǎn)移方法獲得的顯示器裝置，其中將器件3嵌入到壓敏粘結(jié)層5中，其能夠?qū)嵤┢骷?的排列并形成電布線6和電布線10。將電壓經(jīng)過電布線6和電布線10施加到器件3上，通過簡單的矩陣驅(qū)動來進(jìn)行顯示，就能夠用與現(xiàn)有的簡單矩陣驅(qū)動型顯示器裝置的情況相同的方式來顯示圖像。
第二實(shí)施例隨后，以下將參照

本發(fā)明的另一個實(shí)施例。本實(shí)施例是一種不同于上述第一實(shí)施例的器件轉(zhuǎn)移方法，其中改變了將器件嵌入到壓敏粘結(jié)層的步驟。其它步驟與第一實(shí)施例中的相同，因此省略對其它步驟的說明。
在臨時支撐襯底21上提供的臨時粘結(jié)層22上排列器件23，將其上提供有壓敏粘結(jié)層25的轉(zhuǎn)移襯底24設(shè)置為平行于臨時支撐襯底21，然后將臨時支撐襯底21和轉(zhuǎn)移襯底22彼此更加靠近。在第一實(shí)施例中，將臨時支撐襯底和轉(zhuǎn)移襯底彼此更加靠近，直至臨時粘結(jié)層與壓敏粘結(jié)層接觸，由此將器件嵌入到壓敏粘結(jié)層中，以到達(dá)這種程度，即器件和壓敏粘結(jié)層的表面變得彼此齊平。在本實(shí)施例中，如圖10中所示，臨時支撐襯底21和轉(zhuǎn)移襯底22彼此更加靠近，直到獲得一種條件，其中臨時粘結(jié)層22和壓敏粘結(jié)層25彼此不接觸并且其中器件23部分嵌入到壓敏粘結(jié)層25中。
在器件23部分嵌入到壓敏粘結(jié)層25中之后，如圖11中所示，從臨時粘結(jié)層22中剝離器件23，并且伴隨著器件23嵌入在壓敏粘結(jié)層22中，在轉(zhuǎn)移襯底24上保持器件23的位置。在此情況下，如此選擇用于構(gòu)成壓敏粘結(jié)層25和臨時粘結(jié)層22的材料，以致用于保持嵌入的器件23的壓敏粘結(jié)層22的粘著性大于用于保持器件23的臨時粘結(jié)層22的粘著性，因此，只通過使臨時支撐襯底21和轉(zhuǎn)移襯底24彼此遠(yuǎn)離，就能夠從臨時粘結(jié)層22中剝離器件23并且在壓敏粘結(jié)層25中以嵌入的狀態(tài)保持器件23。同樣地，還可采用一種方法，其中如此選擇用于構(gòu)成臨時粘結(jié)層22或壓敏粘結(jié)層25的材料，以致它的粘著性可以通過環(huán)境變化例如加熱或用光輻照來進(jìn)行改變，并且，在將器件23嵌入到壓敏粘結(jié)層25之后，實(shí)現(xiàn)環(huán)境的改變，以致壓敏粘結(jié)層25的粘著性就會變得大于臨時粘結(jié)層22的粘著性。
由于所述器件23在臨時粘結(jié)層22和壓敏粘結(jié)層25彼此不接觸的條件下、從臨時粘結(jié)層22中剝離，因此，就減少了用于使臨時支撐襯底21和轉(zhuǎn)移襯底24彼此遠(yuǎn)離所需的力，并且降低了在將器件23從臨時粘結(jié)層22剝離時損壞臨時支撐襯底或轉(zhuǎn)移襯底24的幾率。特別地，在制造具有大屏幕的顯示器裝置的情況下，就需要加大轉(zhuǎn)移襯底24的面積，因此降低轉(zhuǎn)移襯底24或臨時支撐襯底21的損壞幾率就導(dǎo)致了制造成本的下降。
接著，如圖12中所示，通過利用輥軸等，將在壓敏粘結(jié)層25中部分嵌入且部分從壓敏粘結(jié)層25突出的器件23更深地嵌入到壓敏粘結(jié)層25中，因此所述器件23被嵌入所述壓敏粘結(jié)層25中直到器件23和壓敏粘結(jié)層25的表面基本上變得彼此齊平，且器件23保持在壓敏粘結(jié)層25中。
此后，與第一實(shí)施例的相同方式，在壓敏粘結(jié)層25中保持嵌入的器件23的條件下，使用用于硬化(固化)壓敏粘結(jié)層25的外部因素例如熱處理等，以硬化(固化)壓敏粘結(jié)層25，在壓敏粘結(jié)層25和器件23上形成電布線，并且將其上提供有粘結(jié)層的支撐襯底粘結(jié)到壓敏粘結(jié)層25，以致使壓敏粘結(jié)層25的提供有電布線的側(cè)面與所述粘結(jié)層接觸。由此粘結(jié)所述支撐襯底之后，進(jìn)行激光束的輻照，由此從壓敏粘結(jié)層25剝離轉(zhuǎn)移襯底24。
隨后，通過干法蝕刻等，對已硬化的壓敏粘結(jié)層設(shè)置接觸通孔，該通孔為到達(dá)所述器件23的開口，然后用金屬填充接觸通孔，并且在壓敏粘結(jié)層25上形成電布線。利用器件23和電布線的排列和電連接結(jié)構(gòu)，就能夠獲得與第一實(shí)施例相同方式、用于通過簡單的矩陣驅(qū)動來顯示圖像的顯示器裝置。
第三實(shí)施例接著，下面將參照

本發(fā)明的再一個實(shí)施例。本實(shí)施例是一種不同于上述第一實(shí)施例的器件轉(zhuǎn)移方法，其中的不同在于將器件多次重復(fù)地嵌入到壓敏粘結(jié)層中的步驟。其它步驟與第一實(shí)施例中的相同，因此，省略對它的說明。
圖13說明了在本實(shí)施例中將器件33R嵌入到壓敏粘結(jié)層35的步驟。器件33R是用于發(fā)射紅顏色的光的發(fā)光二極管。在臨時支撐襯底上形成的臨時粘結(jié)層上排列器件33R，將其上提供有壓敏粘結(jié)層35的轉(zhuǎn)移襯底34設(shè)置為平行于臨時支撐襯底，然后將臨時支撐襯底和轉(zhuǎn)移襯底34更加彼此靠近，由此將器件33R嵌入到壓敏粘結(jié)層35中。如圖13(A)中所示，從臨時粘結(jié)層中剝離器件33R，以隨著器件33R嵌入壓敏粘結(jié)層35中，在轉(zhuǎn)移襯底34上保持器件33R的位置。
此后，如圖13(B)中所示，通過再次按照如圖1-4中所示的步驟，在鄰近器件33R的位置處，嵌入用于發(fā)射綠色光的光的發(fā)光二極管的器件33G，此后，在鄰近期間33G的位置處，進(jìn)一步嵌入用于發(fā)射藍(lán)色光的光的發(fā)光二極管的器件33B。
由此，將多種器件嵌入到壓敏粘結(jié)層35之后，在器件33R、33G、33B保持嵌入到壓敏粘結(jié)層35中的條件下，提供用于硬化(固化)壓敏粘結(jié)層35的外部因素例如熱處理等，以硬化(固化)壓敏粘結(jié)層35，在壓敏粘結(jié)層35和器件33上形成電布線，并且將其上提供有粘結(jié)層的支撐襯底粘結(jié)到壓敏粘結(jié)層35，以與第一實(shí)施例中的相同方式，使壓敏粘結(jié)層35上的提供有電布線的表面與粘結(jié)層接觸。由此粘結(jié)支撐襯底之后，用激光束進(jìn)行照射，由此從壓敏粘結(jié)層35剝離轉(zhuǎn)移襯底34。
隨后，通過干法蝕刻等，對已硬化的壓敏粘結(jié)層35設(shè)置接觸通孔，該通孔為到達(dá)器件33的開口，然后用金屬填充接觸通孔，并且在壓敏粘結(jié)層35上形成電布線。利用器件33R、33G、33B和電布線的排列和電連接結(jié)構(gòu)，就能夠獲得顯示器裝置，其中每個像素由用于發(fā)射紅顏色、綠顏色和藍(lán)顏色的光的器件組成。
通常，具有不同特性的器件難于形成在相同生長的襯底上；因此難于將具有不同特性的器件排列在臨時支撐襯底上，并且此后難于將器件33嵌入到壓敏粘結(jié)層35中。在壓敏粘結(jié)層35的硬化之前，重復(fù)進(jìn)行將在臨時支撐襯底上排列的器件33嵌入到壓敏粘結(jié)層35中的方法，易于將具有不同特性的器件33排列到轉(zhuǎn)移襯底34的同一平面上。此外，在將器件33R嵌入到壓敏粘結(jié)層35中的條件下，將不同于器件33R的器件33G嵌入到壓敏粘結(jié)層35中的方法確保調(diào)整在臨時支撐襯底上排列的器件33G和在壓敏粘結(jié)層35中嵌入的器件33R之間的位置關(guān)系，這種排列就能夠防止由于器件33G和器件33R之間的干涉所引起的紊亂。
不僅可以采用發(fā)光二極管，而且還可以采用光接收器件、驅(qū)動電路器件等作為器件33；因此，就很容易地在同一平面上以混合狀態(tài)排列顯示器裝置和光接收器件以及在同一平面上以混合狀態(tài)排列顯示器裝置和驅(qū)動電路器件。
在每個像素中混合地出現(xiàn)顯示器裝置和驅(qū)動電路器件的條件下轉(zhuǎn)移所述器件并形成所述電布線的方法能夠獲得有源矩陣驅(qū)動型的顯示器裝置，其中將電信號傳送到驅(qū)動電路器件并根據(jù)驅(qū)動電路器件來控制像素上的光發(fā)射。
第四實(shí)施例接著，下面將參照

本發(fā)明的再一個實(shí)施例。本實(shí)施例是一種不同于上述第一實(shí)施例的器件轉(zhuǎn)移方法，其中不同在于將器件多次重復(fù)地嵌入到壓敏粘結(jié)層中的步驟。其它步驟與第一實(shí)施例中的相同，因此，省略對其說明。
圖14A-14C說明了在本實(shí)施例中將器件43嵌入到壓敏粘結(jié)層45的步驟。器件43排列在臨時支撐襯底上形成的臨時粘結(jié)層上，將轉(zhuǎn)移襯底44，其上提供有壓敏粘結(jié)層45，設(shè)置為平行于臨時支撐襯底，然后將臨時支撐襯底和轉(zhuǎn)移襯底44彼此更加靠近，由此將器件43嵌入到壓敏粘結(jié)層45中。如圖14A中所示，從臨時粘結(jié)層中剝離器件43，以隨著器件43嵌入在壓敏粘結(jié)層45中，在轉(zhuǎn)移襯底44上保持所述器件43的位置。在此情況下，嵌入器件43的區(qū)域就是轉(zhuǎn)移襯底44上的整個區(qū)域的一部分，因此留下一個仍沒有嵌入器件43的壓敏粘結(jié)層45的區(qū)域。
隨后，如圖14B和14C中所示，進(jìn)一步將器件43附加地嵌入到仍沒有嵌入器件43的壓敏粘結(jié)層45的區(qū)域中。在將多批次的所述器件43嵌入到壓敏粘結(jié)層45中之后，在器件43保持嵌入到壓敏粘結(jié)層45中的條件下，提供用于硬化(固化)壓敏粘結(jié)層45的外部因素例如熱處理等，以硬化(固化)壓敏粘結(jié)層45，在壓敏粘結(jié)層45和器件43上形成電布線，并且將其上提供有粘結(jié)層的支撐襯底粘結(jié)到壓敏粘結(jié)層45，以與第一實(shí)施例中的相同方式，使壓敏粘結(jié)層45上提供有電布線的表面與粘結(jié)層接觸。由此粘結(jié)支撐襯底之后，用激光束進(jìn)行照射，由此轉(zhuǎn)移襯底44從壓敏粘結(jié)層45上剝離。
隨后，通過干法蝕刻等，在已硬化的壓敏粘結(jié)層45上設(shè)置接觸通孔，該通孔為到達(dá)器件43的開口，然后用金屬填充接觸通孔，并且在壓敏粘結(jié)層45上形成電布線。利用器件43和電布線的排列和電連接結(jié)構(gòu)，就可以獲得能夠通過簡單的矩陣驅(qū)動來顯示圖像的顯示器裝置。
在將器件43嵌入到壓敏粘結(jié)層45的條件下，進(jìn)一步將器件43附加地嵌入并保持在仍沒有嵌入器件43的轉(zhuǎn)移襯底44上的區(qū)域中的方法，即使在臨時支撐襯底上排列器件43的區(qū)域受到限制的情況下，加大轉(zhuǎn)移襯底44的面積、由此能夠在具有大面積的襯底上排列器件。特別地，這就提供了一種用于制造具有大屏幕顯示器裝置的情況下的器件轉(zhuǎn)移方法。
工業(yè)實(shí)用性由于所述器件在硬化(固化)壓敏粘結(jié)層之前從臨時粘結(jié)層上剝離，因此使臨時支撐襯底和轉(zhuǎn)移襯底彼此遠(yuǎn)離的力就小，并且減少了在從臨時粘結(jié)層剝離器件時損壞臨時支撐襯底或轉(zhuǎn)移襯底的幾率。特別地，在制造具有大屏幕顯示器裝置的情況下，就需要加大轉(zhuǎn)移襯底的面積，由此損壞轉(zhuǎn)移襯底或臨時支撐襯底的幾率的減少就能夠降低制造成本。
將不同特性的器件在硬化(固化)壓敏粘結(jié)層之前嵌入到壓敏粘結(jié)層中，能夠在轉(zhuǎn)移襯底上排列并保持這些不能在同一生長襯底上形成的器件，并且還能夠通過排列用于發(fā)射不同顏色的光的發(fā)光二極管來獲得彩色顯示器的顯示器裝置。此外，不僅能夠采用發(fā)光二極管，而且還可以采用發(fā)光二極管和驅(qū)動電路作為器件。
通過在每個像素中混合地出現(xiàn)顯示器裝置和驅(qū)動電路的條件下實(shí)施器件的轉(zhuǎn)移和電布線的形成，還可以獲得有源矩陣驅(qū)動型顯示器裝置，其中將電信號傳送到驅(qū)動電路器件，并且通過驅(qū)動電路器件來控制像素上的光發(fā)射。
在所述器件被嵌入到壓敏粘結(jié)層中的條件下、進(jìn)一步將器件附加地嵌入并保持在沒有嵌入器件的轉(zhuǎn)移襯底上的區(qū)域中，即使在臨時支撐襯底上排列器件的區(qū)域的受到限制的情況下加大轉(zhuǎn)移襯底的面積，由此能夠在具有大面積的襯底上排列器件。特別地，這就提供了一種用于制造具有大屏幕顯示器裝置的情況的器件轉(zhuǎn)移方法。
權(quán)利要求
1.一種器件轉(zhuǎn)移方法，包括步驟將在第一襯底上排列的器件嵌入到在第二襯底上設(shè)置的壓敏粘結(jié)層中；以及將所述器件從所述第一襯底上剝離，以使所述器件保持在被嵌入所述壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的器件轉(zhuǎn)移方法，包括步驟當(dāng)所述器件保持在嵌入所述壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下后，硬化所述壓敏粘結(jié)層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的器件轉(zhuǎn)移方法，包括步驟在硬化所述壓敏粘結(jié)層之后，在所述壓敏粘結(jié)層上形成第一電布線。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的器件轉(zhuǎn)移方法，包括步驟在所述壓敏粘結(jié)層上形成所述第一電布線之后，將第三襯底粘結(jié)到所述壓敏粘結(jié)層的形成所述第一電布線的側(cè)面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的器件轉(zhuǎn)移方法，包括步驟在將所述第三襯底粘結(jié)到所述壓敏粘結(jié)層的形成所述第一電布線的側(cè)面上后，使所述第二襯底與所述壓敏粘結(jié)層彼此剝離。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的器件轉(zhuǎn)移方法，其中在所述第二襯底和所述壓敏粘結(jié)層彼此剝離之后，為所述壓敏粘結(jié)層提供到達(dá)所述器件的開口。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的器件轉(zhuǎn)移方法，包括步驟用導(dǎo)電材料填充所述開口，并且在所述壓敏粘結(jié)層上形成第二電布線。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的器件轉(zhuǎn)移方法，還包括步驟使所述器件與用于臨時粘結(jié)所述器件到所述臨時粘結(jié)層的所述第一襯底上設(shè)置的臨時粘結(jié)層接觸，由此在將所述器件嵌入到所述壓敏粘結(jié)層之前，在所述第一襯底上排列所述器件。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的器件轉(zhuǎn)移方法，其中在所述第二襯底上提供的所述壓敏粘結(jié)層的粘著性大于在所述第一襯底上提供的所述臨時粘結(jié)層的粘著性。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的器件轉(zhuǎn)移方法，其中改變所述壓敏粘結(jié)層或所述臨時粘結(jié)層的粘著性，使得所述壓敏粘結(jié)層的粘著性將大于所述臨時粘結(jié)層的粘著性。
11.根據(jù)權(quán)利要求1的器件轉(zhuǎn)移方法，其中將嵌入所述壓敏粘結(jié)層的操作執(zhí)行到所述器件被部分嵌入的程度。
12.根據(jù)權(quán)利要求1的器件轉(zhuǎn)移方法，其中所述壓敏粘結(jié)層由絕緣材料形成。
13.一種器件轉(zhuǎn)移方法，包括步驟在將一方面的器件嵌入到所述壓敏粘結(jié)層中的條件下，將在第一襯底上排列的其它方面的器件嵌入到在第二襯底上設(shè)置的壓敏粘結(jié)層中；以及所述其它方面的器件從所述第一襯底上剝離，以使所述其它方面的器件保持在被嵌入所述壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的器件轉(zhuǎn)移方法，其中所述一方面的器件和所述其它方面的器件具有不同特性。
15.根據(jù)權(quán)利要求13的器件轉(zhuǎn)移方法，其中所述一方面的器件和所述其它方面的器件在所述被嵌入狀態(tài)下、被保持在所述襯底上的不同區(qū)域。
16.一種通過一種方法獲得的顯示器裝置，該方法包括步驟將在第一襯底上排列的器件嵌入到在第二襯底上設(shè)置的壓敏粘結(jié)層中；將所述器件從所述第一襯底上剝離，以使所述器件保持在被嵌入所述壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下，并且在此條件下硬化所述壓敏粘結(jié)層；在所述壓敏粘結(jié)層上形成第一電布線，將第三襯底粘結(jié)到所述壓敏粘結(jié)層的形成所述第一電布線的側(cè)面上，并且使所述第二襯底和所述壓敏粘結(jié)層彼此剝離；以及為所述壓敏粘結(jié)層提供到達(dá)所述器件的開口，用導(dǎo)電材料填充所述開口，并在所述壓敏粘結(jié)層上形成第二電布線。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的顯示器裝置，其中通過所述第一電布線和所述第二電布線將電壓施加到所述器件上，通過簡單的矩陣驅(qū)動來進(jìn)行顯示。
18.一種通過一種方法獲得的顯示器裝置，該方法包括步驟將在第一襯底上排列的一方面的器件嵌入到在第二襯底上設(shè)置的壓敏粘結(jié)層中，并從所述第一襯底剝離所述一方面的器件，以使所述一方面的器件保持在被嵌入所述壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下；進(jìn)一步將在所述第一襯底上排列的其它方面的器件嵌入到所述壓敏粘結(jié)層中，并從所述第一襯底剝離所述其它方面的器件，以使在所述壓敏粘結(jié)層中嵌入所述一方面的器件的條件下、所述其它方面的器件保持在被嵌入所述壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下；在所述一方面的器件和所述其它方面的器件保持被嵌入所述壓敏粘結(jié)層中的狀態(tài)下的條件下，硬化所述壓敏粘結(jié)層；在所述壓敏粘結(jié)層上形成第一電布線，將第三襯底粘結(jié)到所述壓敏粘結(jié)層上形成所述第一電布線的側(cè)面上，并使所述第二襯底和所述壓敏粘結(jié)層彼此剝離；以及為所述壓敏粘結(jié)層提供到達(dá)所述一方面的器件或所述其它方面的器件的開口，用導(dǎo)電材料填充所述開口，并在所述壓敏粘結(jié)層上形成第二電布線。
19.根據(jù)權(quán)利要求18的顯示器裝置，其中所述一方面的器件和所述其它方面的器件具有不同特性。
20.根據(jù)權(quán)利要求18的顯示器裝置，其中所述一方面的器件和所述其它方面的器件在所述被嵌入狀態(tài)下、保持在所述第二襯底上的不同區(qū)域。
21.根據(jù)權(quán)利要求18的顯示器裝置，其中通過所述第一電布線和所述第二電布線將電壓施加到所述一方面的器件或所述其它方面的器件上，通過簡單的矩陣驅(qū)動來進(jìn)行顯示。
22.根據(jù)權(quán)利要求18的顯示器裝置，其中所述一方面的器件或所述其它方面的器件是顯示器裝置或驅(qū)動電路器件。
23.根據(jù)權(quán)利要求22的顯示器裝置，其中通過所述驅(qū)動電路器件將電壓施加到所述顯示器裝置，通過有源矩陣驅(qū)動來進(jìn)行顯示。
全文摘要
本發(fā)明提供一種元件轉(zhuǎn)移方法和一種顯示裝置，其能夠通過在元件轉(zhuǎn)移后可輕易地將該襯底揭起，將排列在襯底上的元件轉(zhuǎn)移到另一個襯底，因此降低損傷該襯底的幾率并且在元件轉(zhuǎn)移后又能將元件轉(zhuǎn)移到同一襯底之上。在該轉(zhuǎn)移襯底上形成的粘結(jié)層中埋入并保持排列在臨時支撐襯底上的多個元件，并將各元件從臨時支撐襯底上剝離。在硬化該粘結(jié)層之前，附加地埋入另外的元件，以可以在大面積的該轉(zhuǎn)移襯底上排列各元件。而且，當(dāng)在該粘結(jié)層中附加埋入的元件具有與預(yù)先埋入的元件具有不同的特性時，能夠容易地獲得彩色顯示器的顯示裝置和有驅(qū)動電路等的顯示裝置。
文檔編號G02F1/1343GK1698077SQ20048000019
公開日2005年11月16日 申請日期2004年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月6日
發(fā)明者土居正人, 友田勝寬, 渡辺秋彥, 大畑豐治 申請人:索尼株式會社