專利名稱：高透明度觸摸屏的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及觸摸傳感器。
背景技術(shù)：
觸摸屏為計(jì)算機(jī)或者其它數(shù)據(jù)處理設(shè)備提供簡單的、直觀的界面。并且用戶能通過觸摸屏幕上的圖標(biāo)或在屏幕上寫或畫來通過觸摸屏傳送信息，而不是使用鍵盤來輸入數(shù)據(jù)。觸摸屏用于多種信息處理用途中，并已發(fā)現(xiàn)其在還包括計(jì)算機(jī)控制的顯示器的交互系統(tǒng)中尤其有用。觸摸屏用于諸如移動(dòng)電話、個(gè)人數(shù)據(jù)助理(PDA)、手持或便攜計(jì)算機(jī)，以及公眾場所放置的信息亭、自動(dòng)柜員機(jī)和電子銷售終端之類的用途中。
已經(jīng)發(fā)展了多種技術(shù)來檢測觸摸，包括電容式、電阻式、聲音和紅外技術(shù)。電阻式技術(shù)一般地通過檢測兩個(gè)透明導(dǎo)電層之間的接觸而引起的電信號變化來探測觸摸。通過施加來自與一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電層相連的控制器的驅(qū)動(dòng)信號，可以激勵(lì)電阻式觸摸傳感器。施加到電阻式觸摸傳感器表面上的觸摸使第一彈性的導(dǎo)電層偏轉(zhuǎn)，從而使該第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層相接觸。第一和第二導(dǎo)電層之間的接觸引起檢測到的電信號的變化。并按照導(dǎo)電層之間的接觸點(diǎn)的函數(shù)來確定觸摸的位置。
在電容式觸摸傳感器表面上的觸摸改變了觸摸位置處的觸摸傳感器電路的阻抗，并且使所施加的電信號發(fā)生變化。例如，可以將AC信號施加到位于電容式觸摸傳感器的透明導(dǎo)電層的四角處的電極上。手指觸摸觸摸傳感器的表面使觸摸傳感器電容性接地。電容式連接的電路改變了阻抗，這會(huì)引起檢測到的電信號的變化。在各個(gè)電極處檢測電信號的變化，將各個(gè)電極處的信號的相對變化均用于確定觸摸位置。
電阻式和電容式觸摸傳感器都利用了由透明金屬氧化物構(gòu)成的薄膜電極。金屬氧物膜的光學(xué)和電學(xué)特性密切相關(guān)。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，一種觸摸傳感器包括與透明絕緣層相連的透明導(dǎo)電層。該透明導(dǎo)電層包括希望的根據(jù)隨機(jī)圖案設(shè)置的多個(gè)空隙。設(shè)置該空隙以保持透明導(dǎo)電層的電連續(xù)性。
本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例涉及一種用于制造高透明度觸摸傳感器的方法。將透明導(dǎo)電層設(shè)置在基片上。根據(jù)隨機(jī)圖案在透明導(dǎo)電層中形成空隙。
以上對于本發(fā)明的概述無意描述本發(fā)明的每個(gè)實(shí)施例或每種實(shí)現(xiàn)方式。通過結(jié)合相應(yīng)附圖參照以下詳細(xì)的描述和權(quán)利要求，將會(huì)明白和理解本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和成就，以及更完整地理解本發(fā)明。


圖1A表示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的高透明度電阻式觸摸傳感器；圖1B表示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的高透明度電容式觸摸傳感器；圖1C表示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的包括以隨機(jī)圖案設(shè)置的空隙的透明導(dǎo)電層；圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的使用高透明度觸摸傳感器的觸摸檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖；圖3是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于制造高透明度觸摸傳感器的方法的流程圖；盡管本發(fā)明具有多種修改和可選形式，但是已經(jīng)在附圖中通過舉例的方式表示了其特征并且將更詳細(xì)地描述。然而，應(yīng)當(dāng)理解，其本意并不在于將本發(fā)明限定為所描述的特定實(shí)施例。相反，其本意在于覆蓋落入如所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明范圍的所有修改、等同物和變型。
具體實(shí)施例方式
在對所示實(shí)施例的以下描述中，參照了構(gòu)成說明書一部分的附圖，并且在附圖中通過舉例表示了可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解，在不背離本發(fā)明范圍的情況下，可以利用這些實(shí)施例并且這些實(shí)施例可以進(jìn)行結(jié)構(gòu)上的變化。
本發(fā)明涉及利用透明導(dǎo)電元件來增強(qiáng)通過觸摸傳感器的光透射率的方法和系統(tǒng)。例如，電阻式和電容式觸摸檢測方法典型地包括用作該觸摸傳感器器件的有源元件的透明導(dǎo)體。最廣泛用于這些用途的透明導(dǎo)電氧化物是氧化銦錫(ITO)，然而其它金屬氧化物，例如氧化錫銻(ATO)和氧化錫(TO)等也是可以使用的。還可以使用金屬/金屬氧化物疊層，例如在金屬氧化物層的頂部或者基片與金屬氧化物層之間采用非常薄的金屬層。還可以使用諸如導(dǎo)電聚合物等有機(jī)導(dǎo)體。
通過保持選定的材料厚度，可以在沉積過程中實(shí)現(xiàn)希望的透明導(dǎo)電層的薄膜電阻。然而，沉積較薄的金屬氧化物層來獲得高薄膜電阻和高光透射率可能會(huì)存在關(guān)于保持均勻?qū)雍穸鹊碾y題。本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例涉及觸摸檢測設(shè)備以及制造具有高透明度和高薄膜電阻的觸摸檢測設(shè)備的方法。
圖1A表示了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的電阻式觸摸傳感器100。圖1A所示的電阻式觸摸傳感器100包括構(gòu)成傳感器100的觸摸表面的頂部基片140。頂部基片140優(yōu)選由尺寸穩(wěn)定且耐磨損和耐化學(xué)制品的材料形成。在一種結(jié)構(gòu)中，將包括諸如聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)等的聚酯材料的基層142用作頂部基片140的組成部分。該頂部基片140可選的是包括一個(gè)或多個(gè)諸如硬膜等的附加層141、143，從而提高頂部層的結(jié)構(gòu)特性和抗劃傷性，以及包括抗反射或者防眩涂層，以便提高通過該觸摸傳感器的可視性。
觸摸傳感器100包括由間隙130分開的第一和第二導(dǎo)電層110、120。第一導(dǎo)電層110設(shè)置在頂層140上，其可選的是包括多個(gè)層，例如如上所述的硬膜層和/或抗反射或者防眩涂層。襯底層150由諸如塑料或玻璃等的適當(dāng)透明材料構(gòu)成，其支撐第二導(dǎo)電層120?？梢栽陂g隙層130內(nèi)放置一個(gè)或多個(gè)間隔物160，從而保持導(dǎo)電層110、120之間的適當(dāng)間隔。可以通過在頂層140和襯底150上沉積諸如ITO、ATO、TO或者其它透明導(dǎo)電材料之類的透明導(dǎo)電金屬氧化物層，來形成導(dǎo)電層110、120。
由控制器電路(未示出)產(chǎn)生并且施加到電阻式觸摸傳感器的一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電層110、120上的電驅(qū)動(dòng)信號，可以激勵(lì)電阻式觸摸傳感器100。施加到觸摸傳感器100表面上的觸摸使第一導(dǎo)電層110向第二導(dǎo)電層120偏折，從而導(dǎo)致導(dǎo)電層110、120之間的接觸。并按照導(dǎo)電層110、120之間的接觸點(diǎn)的函數(shù)來確定觸摸的位置?？刂破骺梢允沟谝缓偷诙?dǎo)體110、120之間的電信號交替，從而確定觸摸的x和y坐標(biāo)。可選擇的是，例如可以從全部的四個(gè)角來驅(qū)動(dòng)一個(gè)導(dǎo)體，而另一個(gè)導(dǎo)體保持在地電平或者其它恒定電勢。
圖1B表示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的電容式觸摸傳感器101。在本實(shí)例中，在諸如玻璃或塑料之類的適當(dāng)材料的透明基片170上形成導(dǎo)電層175。如先前討論的，可以由諸如ITO、ATO或TO之類的透明金屬氧化物形成透明導(dǎo)電層。
控制器(未示出)與導(dǎo)電層175相連，并且向?qū)щ妼?75提供電驅(qū)動(dòng)信號?？蛇x擇的是，可以在導(dǎo)電層175上絲網(wǎng)印刷電阻圖案，從而使觸摸傳感器控制器在觸摸傳感器101表面上提供的電場線性化。在本實(shí)例中，介電層180與導(dǎo)電層175相連。該介電層180可以包括例如包含一層或多層的數(shù)層，以保護(hù)該觸摸傳感器和/或減少眩光。
圖1A和1B表示了包括透明層的電阻式和電容式觸摸傳感器的實(shí)例。采用透明導(dǎo)電層的觸摸傳感器的其它結(jié)構(gòu)也是可能的，同時(shí)也認(rèn)為是在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
金屬氧化物對空氣界面的高折射率使得從顯示器透射通過透明觸摸傳感器的光明顯減少。而且，金屬氧化物透明導(dǎo)體優(yōu)選地趨于吸收光譜的藍(lán)色區(qū)域的可見光，從而產(chǎn)生黃色的表觀，特別是在較厚的層中。高溫退火可以改進(jìn)金屬氧化物的光學(xué)特性，但是還可能會(huì)產(chǎn)生比希望的低的薄膜電阻，或者由于存在其它層或材料的溫度敏感性可能不會(huì)造成上述問題(例如使用聚合物基片)。
根據(jù)本發(fā)明的各種實(shí)施例設(shè)置的觸摸傳感器來提高觸摸傳感器的光透射率是這樣達(dá)到的即，通過去除該觸摸傳感器上一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電層的選定區(qū)域。去除導(dǎo)電材料提高了通過觸摸傳感器的光透射率。
此外，在沉積過程中通過保持選定材料的厚度可以實(shí)現(xiàn)希望得到的金屬氧化物層的薄膜電阻。然而，沉積較薄的金屬氧化物層來獲得高薄膜電阻，可能存在有關(guān)保持均勻?qū)雍穸鹊膯栴}。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，最初可以沉積較厚的材料層，從而減輕可能與薄層沉積有關(guān)的均勻度問題。通過去除導(dǎo)電層上的選定區(qū)域來將較厚層的薄膜電阻提高到希望得到的值，這也提高了通過該導(dǎo)電層的光透射率。
圖1C表示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例設(shè)置的導(dǎo)電層。如圖1C所示的導(dǎo)電層可以用于形成圖1B所示的電容式觸摸傳感器101的導(dǎo)電層175。
圖1A所示的電阻式觸摸傳感器100的導(dǎo)電層110、120中的一層或兩層導(dǎo)電層可以如圖1C所示那樣配置。
圖1C所示的導(dǎo)電層190包括在導(dǎo)電層190上隨機(jī)設(shè)置的多個(gè)空隙195、196。該空隙195、196可以構(gòu)成穿過導(dǎo)電材料的孔195，或者它們可以形成凹坑196，其中導(dǎo)電材料僅被凹坑196部分穿透?？障犊蛇x擇的是穿入或者穿過鄰接導(dǎo)電層的層?？障?95、196的隨機(jī)圖案生成了隨機(jī)屏幕，從而形成較少的或不形成莫爾干涉圖案。
圖1C中表示為基本上為圓形的空隙195、196可以是任意的形狀。在一個(gè)實(shí)例中，各個(gè)空隙195、196均限定了小于10000μm2的區(qū)域。選擇空隙195、196的密度，以保持導(dǎo)電層190的物理和電連續(xù)性，并且獲得希望的薄膜電阻，例如對于電阻式觸摸傳感器而言，獲得范圍在約100到2000歐姆每平方(ohms/square)的薄膜電阻，或者對于電容式觸摸傳感器而言，獲得范圍在200到10000歐姆每平方(ohms/square)的薄膜電阻，然而按照需要也可以實(shí)現(xiàn)其它的薄膜電阻。還可以選擇空隙的尺寸和密度，從而當(dāng)通過包括透明導(dǎo)電膜的觸摸屏觀看顯示器時(shí)實(shí)現(xiàn)希望得到的可視特性，例如均勻的表觀，該透明導(dǎo)電膜包含這種空隙。
結(jié)合圖1所述的觸摸傳感器可以用于包括控制器的觸摸檢測系統(tǒng)。該控制器向觸摸傳感器提供激勵(lì)信號，并解析來自觸摸傳感器的信號，以確定觸摸位置。觸摸傳感器和控制器可以一起與處理器和/或顯示器組合。
現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖2，圖2表示了使用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的高透明度刻蝕觸摸傳感器100的觸摸檢測系統(tǒng)的實(shí)施例。圖2所示的觸摸檢測系統(tǒng)200包括與控制器230通信連接的觸摸傳感器210。在典型的結(jié)構(gòu)中，觸摸傳感器210與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)240的顯示器220組合使用，從而在用戶與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)之間提供了視覺和/或觸覺交互?？梢詫⒂|摸傳感器21O和顯示器220設(shè)置為這樣即，可以通過觸摸傳感器210看到顯示器220。
觸摸傳感器210能夠?qū)崿F(xiàn)為與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)240的顯示器220分開，但又相互作用的設(shè)備?？蛇x擇的是，觸摸傳感器210能夠?qū)崿F(xiàn)為單一系統(tǒng)的一部分，所述單一系統(tǒng)包括顯示設(shè)備或結(jié)合觸摸傳感器210的其它類型的顯示器技術(shù)，所述顯示設(shè)備是諸如發(fā)光二極管顯示器、陰極射線管顯示器、等離子顯示器、液晶顯示器、電致發(fā)光顯示器、靜態(tài)圖形等的設(shè)備。還應(yīng)當(dāng)理解，觸摸傳感器210可以實(shí)現(xiàn)為限定成僅包括觸摸傳感器210和控制器230的系統(tǒng)的組件，該觸摸傳感器和控制器可以共同實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的觸摸系統(tǒng)。
在圖2所示的示例性結(jié)構(gòu)中，通過控制器230實(shí)現(xiàn)觸摸傳感器210與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)240之間的通信。該控制器230典型地被配置成執(zhí)行對施加到觸摸傳感器210上的觸摸提供檢測的固件/軟件?？刂破?30可選擇地設(shè)置成計(jì)算機(jī)系統(tǒng)240的組件。
圖3的流程圖表示了用于制造根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的高透明度觸摸傳感器的方法。根據(jù)這種方法，包括提供基片的步驟310。在基片上設(shè)置透明導(dǎo)電層的步驟320。在透明導(dǎo)電層中根據(jù)隨機(jī)圖案形成空隙的步驟330。選擇空隙的密度以保持導(dǎo)電層的電連續(xù)性。
在一個(gè)實(shí)施例中，透明導(dǎo)電層由諸如ITO、ATO或TO等的導(dǎo)電氧化物構(gòu)成。空隙可以構(gòu)成通過導(dǎo)電層的孔或者可以形成凹坑，在凹坑中導(dǎo)電層僅被空隙部分穿透。該空隙基本上為如圖1C所示的圓形，但是可以是任意形狀。在一個(gè)實(shí)例中，各個(gè)空隙限定了小于約10,000μm2的區(qū)域。
這樣形成空隙即，使得其密度和排列能保持導(dǎo)電層的物理和電學(xué)連續(xù)性，并且可以用于實(shí)現(xiàn)希望得到的薄膜電阻。在一個(gè)實(shí)例中，沉積低薄膜電阻薄膜，并且去除該薄膜的選定區(qū)域以獲得希望得到的薄膜電阻。出于非限定性實(shí)例的原因，可以沉積薄膜電阻在約5到10歐姆每平方(ohms/square)范圍內(nèi)的導(dǎo)電膜。在導(dǎo)電膜中形成空隙以獲得希望得到的薄膜電阻，例如獲得范圍在約300到500歐姆每平方(ohms/square)的薄膜電阻。在一些用途中，可以選擇空隙的尺寸、密度和排列，以使得觸摸傳感器的表面具有可接受的均勻表觀。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，通過激光消蝕以隨機(jī)圖案形成空隙?？梢灾苯酉g導(dǎo)電層，或者通過在導(dǎo)電層與基片之間或者在導(dǎo)電層頂面放置“吹除”層來增強(qiáng)或輔助消蝕。該“吹除”層由適于吸收激光輻射的材料構(gòu)成，從而有助于形成空隙。適當(dāng)?shù)南g輔助或增強(qiáng)層包括金屬和其它材料，例如美國專利號為No.6485839專利中公開的。
在另一實(shí)施例中，通過選擇蝕刻來形成空隙?？梢岳霉饪碳夹g(shù)、噴墨印刷或者其它構(gòu)圖方法在導(dǎo)電層上構(gòu)建抗蝕膜?？蛇x擇的是，可以通過印刷技術(shù)直接有選擇地沉積蝕刻劑。
根據(jù)又一實(shí)施例，在基片上隨機(jī)沉積具有適當(dāng)尺寸的微粒物。在基片上沉積導(dǎo)電材料，以使導(dǎo)電材料圍繞微粒物，從而形成了電連續(xù)導(dǎo)電層。從基片上去除微粒物，以將空隙留在導(dǎo)電層上?？梢员澄g刻該導(dǎo)電材料，從而使顆粒暴露以將其去除。
除了基片和導(dǎo)電層之外，用于制造根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的觸摸傳感器的方法還可以包括形成一個(gè)或多個(gè)介電層和/或保護(hù)層，這些介電層和/或保護(hù)層與透明導(dǎo)電層和基片相連。
制造電容式觸摸傳感器的方法可以進(jìn)一步包括在包含空隙的導(dǎo)電層上形成保護(hù)層。足夠薄的保護(hù)層可以符合由空隙生成的結(jié)構(gòu)，從而提供粗糙的表面。這種粗糙的保護(hù)層可以用于提供防眩特性，前提是空隙的深度足夠深，這樣使得所涂敷的保護(hù)層具有足以減少眩光的表面粗糙度。大約100nm的表面粗糙度足以減少眩光。如果導(dǎo)電層的厚度不足以形成足夠深的空隙，那么可以在導(dǎo)電層上或者導(dǎo)電層與基片之間設(shè)置附加的一層或多層。然后可以形成穿透導(dǎo)電層和(多個(gè))附加層的空隙，從而獲得希望得到的深度。
用于制造電阻式觸摸傳感器的方法可以進(jìn)一步包括形成通過間隙與第一透明導(dǎo)電層分開的第二透明導(dǎo)電層?？梢栽诘诙该鲗?dǎo)電層中形成隨機(jī)設(shè)置的空隙。
為了說明和描述的目的，已經(jīng)給出了對本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的前述描述。其本意并不是窮舉或者將本發(fā)明限制為所公開的明確形式。根據(jù)以上的教導(dǎo)，作出許多修改和變化都是可能的。其本意是本發(fā)明的范圍不是由上述詳細(xì)描述所限定，而是由所附權(quán)利要求而限定。
權(quán)利要求
1.一種觸摸傳感器，包括與透明絕緣層相連的透明導(dǎo)電層，所述透明導(dǎo)電層包括所需的根據(jù)隨機(jī)圖案設(shè)置的多個(gè)空隙，并且保持所述透明導(dǎo)電層的電連續(xù)性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，至少一些空隙構(gòu)成穿過所述透明導(dǎo)電層的孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，至少一些空隙沒有構(gòu)成穿過所述透明導(dǎo)電層的孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，每個(gè)空隙均具有小于約10000μm2的面積。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，所述空隙基本上為圓形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，所述包括空隙的透明導(dǎo)電層具有在約100到10000歐姆每平方范圍內(nèi)的薄膜電阻。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，所述觸摸傳感器包括電容式觸摸傳感器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，所述觸摸傳感器包括電阻式觸摸傳感器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，所述透明導(dǎo)電層包括ITO。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，所述透明導(dǎo)電層包括ATO。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，所述透明導(dǎo)電層包括TO。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，所述透明導(dǎo)電層包括導(dǎo)電聚合物。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，所述透明絕緣層包括玻璃。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，其中，所述透明絕緣層包括PET。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器，進(jìn)一步包括與所述透明導(dǎo)電層相連的控制器，所述控制器根據(jù)與觸摸輸入有關(guān)的信號來確定觸摸輸入位置。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的觸摸傳感器，進(jìn)一步包括設(shè)置用于通過所述透明導(dǎo)電層觀看的顯示器。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的觸摸傳感器，其中，所述顯示器包括液晶顯示器。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的觸摸傳感器，進(jìn)一步包括與所述控制器和所述顯示器相連的處理器，所述處理器用于接收來自所述控制器的觸摸位置信息，并在顯示器上顯示信息。
19.一種用于制造觸摸傳感器的方法，包括將透明導(dǎo)電層放置在基片上；以及在所述透明導(dǎo)電層中形成空隙，其中，根據(jù)隨機(jī)圖案設(shè)置所述空隙。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，通過蝕刻形成所述空隙。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，通過消蝕形成所述空隙。
22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，設(shè)置所述空隙以保持所述透明導(dǎo)電層的電連續(xù)性。
23.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，形成所述空隙包括形成基本上為圓形的空隙。
24.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，所述空隙具有約為10000μm2的范圍內(nèi)的面積。
25.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，所述空隙構(gòu)成穿過所述導(dǎo)電層的孔。
26.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，所述空隙沒有穿透所述導(dǎo)電層。
27.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，形成所述空隙包括形成空隙以獲得選定的透明導(dǎo)電層的薄膜電阻。
28.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，所述選定的薄膜電阻在約100到10000歐姆每平方的范圍內(nèi)。
29.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，進(jìn)一步包括在所述透明導(dǎo)電層與所述基片之間放置輻射吸收層，并且利用所述輻射吸收層吸收的輻射來消蝕所述透明導(dǎo)電層以形成空隙。
30.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，在所述基片上放置透明導(dǎo)電層包括在所述基片上沉積微粒物且在所述微粒物周圍形成所述透明導(dǎo)電層，并且形成所述空隙包括去除所述微粒物。
全文摘要
一種觸摸傳感器，其采用一個(gè)或多個(gè)透明導(dǎo)體，所述導(dǎo)體包括隨機(jī)圖案的空隙。根據(jù)保持所述透明導(dǎo)電層電連續(xù)性的隨機(jī)圖案來設(shè)置這些空隙。通過沉積透明導(dǎo)體層并且在透明導(dǎo)體中形成空隙來制造觸摸傳感器?？梢酝ㄟ^形成空隙來獲得選定的導(dǎo)電層的薄膜電阻，以及提高通過觸摸傳感器的光透射率。
文檔編號G02B1/11GK1764895SQ200480007944
公開日2006年4月26日 申請日期2004年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月25日
發(fā)明者詹姆斯·T·理查德, 威廉·K·史密斯 申請人:3M創(chuàng)新有限公司