專利名稱：用于處理面板的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于處理面板的系統(tǒng)和方法，更具體地，涉及用于處理面板的系統(tǒng)和方法，其中剝離裝置具有改進的吸取效率，可以減少用于去除清潔劑的設(shè)備，從而減少生產(chǎn)線長度并提高空間利用率。
背景技術(shù)：
通常，諸如用于平板顯示器的平板之類的面板、半導(dǎo)體晶片、液晶顯示器、光掩模玻璃等可以通過例如光致抗蝕劑涂覆工序、曝光工序、顯影工序、蝕刻工序、剝離工序、清潔工序、干燥工序等一系列生產(chǎn)流水線進行處理。
圖1示出了現(xiàn)有的用于進行剝離工序的面板生產(chǎn)流水線。如圖所示，面板從盒1卸下，并傳送到裝載機2。裝載機2將面板供給到剝離槽3。
對供給到剝離槽3的面板進行剝離工序，然后將面板供給到剝離劑中和單元4，使得剝離劑可以通過有機溶液，比如異丙醇(IPA)、二甲亞礬(DMSO)等進行中和。如果剝離劑沒有被中和，剝離劑可能會與隨后的清潔工序中的去離子水發(fā)生反應(yīng)，從而破壞面板的薄膜表面。也就是說，剝離劑的中和可以防止面板的薄膜表面受到破壞。
在中和處理之后，通過旋轉(zhuǎn)器5將面板傳送到第一清潔單元6，使得殘留在面板表面的有機溶液可以通過去離子水清除掉。
也就是說，通過傳送帶將面板傳送到第一清潔單元6，并將去離子水噴灑到面板的表面上，從而進行清潔工序。
然后，再通過旋轉(zhuǎn)器7將面板傳送到第二清潔單元8。第二清潔單元8具有兩個與第一清潔單元6相同的淋濕槽。
優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)器5和7安裝成空態(tài)(dummy state)，以便以 形狀傳送面板，從而提供有效的空間利用。
已經(jīng)通過第二清潔單元8的面板在通過水刀9和氣刀10時進行干燥工序。
然后，將面板傳送到卸載機11，并通過機器人傳送到盒，從而堆積在那里。
但是，使用中和劑進行中和增加了制造成本。
而且，雖然剝離生產(chǎn)流水線形成為 形狀，但考慮用于較大尺寸面板的趨勢，在減小設(shè)備空間方面還存在局限性。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明致力于解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題。
因此，本發(fā)明的一個目的在于提供一種用于處理面板的系統(tǒng)和方法，其可以有效地去除對剝離劑的需求，從而降低制造成本。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種用于處理面板的系統(tǒng)和方法，其可以通過將剝離生產(chǎn)流水線布置成直線形狀來使空間利用率最大化。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種面板處理系統(tǒng)，包括用于從盒裝載面板到生產(chǎn)流水線的裝載機；I型面板生產(chǎn)流水線，用于(a)對面板進行剝離工序，(b)通過噴灑去離子水到已剝離的面板上來清潔面板，并去除水，(c)干燥已清潔的面板；用于從面板生產(chǎn)流水線卸載面板G的卸載機。


所包含的附圖用于進一步理解本發(fā)明，并構(gòu)成本申請的一部分。這些附圖用于說明本發(fā)明的實施例，并與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。其中圖1為現(xiàn)有的面板處理系統(tǒng)的示意圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的面板處理系統(tǒng)的圖；圖3為圖2所示吸取單元的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的側(cè)面剖視圖；圖4為圖3所示吸取模塊的透視圖；
圖5為根據(jù)本發(fā)明另一實施例的面板處理系統(tǒng)的示意圖；圖6為根據(jù)本發(fā)明又一實施例的面板處理系統(tǒng)的示意圖；圖7為根據(jù)本發(fā)明再一實施例的面板處理系統(tǒng)的示意圖；圖8為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的面板處理工藝的流程圖。
具體實施例方式
現(xiàn)在將詳細參照本發(fā)明的優(yōu)選實施例，即附圖所示的實例。所有附圖將盡可能使用相同的參考標號表示相同或類似的部件。
圖2示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的面板處理系統(tǒng)的圖。
如該圖所示，本發(fā)明的面板處理系統(tǒng)形成為具有減少了長度的獨立型(即I型)線，該線設(shè)計成在減少的長度內(nèi)足以處理面板。
該面板處理系統(tǒng)包括用于從盒20裝載面板(圖3中的G)到生產(chǎn)流水線的裝載機；I型面板生產(chǎn)流水線21，用于(a)對面板G進行剝離工序，(b)通過噴灑去離子水到已剝離的面板G上來清潔面板，并去除水，(c)干燥已清潔的面板；用于從面板生產(chǎn)流水線21卸載面板G的卸載機。
在上述面板處理系統(tǒng)中，面板G堆積在設(shè)置在生產(chǎn)流水線一側(cè)的盒20中。諸如機器人的傳送設(shè)備將面板G從盒20逐個地傳送到裝載機22。
面板生產(chǎn)流水線21包括用于通過將剝離劑應(yīng)用到由裝載機22傳送的面板G上來進行剝離工序的剝離單元24；用于噴灑去離子水到剝離過的面板G的表面上、并吸干水的吸取單元28；用于清潔已通過吸取單元28的面板G的清潔單元30；和用于對清潔后的面板G進行干燥的干燥單元36。
更具體地，剝離單元24通過將剝離劑應(yīng)用到從裝載機22傳送的面板上來進行剝離工序。優(yōu)選地，剝離單元24形成兩個槽25和26，以便可以提供多個強力噴嘴來去除殘留在穿過這些槽的面板G的表面上的光致抗蝕劑。
如上所述，當(dāng)面板穿過吸取單元28時，可以通過向面板噴灑去離子水并在吸取單元28中吸干去離子水，來去除剝離單元24中使用的和殘留在面板G表面上的剝離劑，并去除任何雜質(zhì)。
如圖3所示，優(yōu)選地，吸取單元28包括水噴灑部分和剝離劑吸取部分。
也就是，吸取單元28包括槽40；設(shè)置在槽40中的氣幕48，以防止清潔劑從槽40中泄漏；一對噴嘴50和52，用于噴灑清潔劑到面板G上來去除附著在面板G上的任何雜質(zhì)；置于噴嘴50和52之間的吸取模塊54，用于使用壓力差吸除面板上的清潔劑。
在吸取單元中，面板G裝載在傳送帶46上，通過形成在槽40上的入口42引入到槽40中。在吸取單元清潔過的面板G通過形成在槽40上的出口離開槽40。
噴嘴50和52設(shè)計成慣用結(jié)構(gòu)，并設(shè)置在面板G之上，以將清潔劑噴灑到面板G的上表面上。
憑借由噴灑清潔劑產(chǎn)生的沖擊能量，可以從面板G去除附著在面板G上的雜質(zhì)和/或剝離劑，并由吸取模塊54排水。
噴嘴50和52彼此相對布置，并向彼此傾斜。因此，從噴嘴50和52噴灑的清潔劑局部地集中在面板上，這樣可以通過吸取模塊54有效地去除面板上的流體。
優(yōu)選地，吸取模塊54橫過穿過槽40的傳送帶46設(shè)置，從而可以從面板G的整個區(qū)域吸取清潔劑。
也就是，如圖4所示，吸取模塊54包括主體59；通過允許流體壓縮和流通而形成低壓的流體通道60；吸入口62，該吸入口62形成在主體59的底部，從而與流體通道60連通，并利用流體通道60和吸入口62之間的壓差產(chǎn)生的吸入力從面板G吸取清潔劑。
主體59形成為矩形六面體，其中流體通道60通過比如模塑工藝沿縱向方向形成。
形成在主體59的底部上的吸入口62沿縱向方向形成。吸入口62具有與流體通道60相連通的上部和開口朝向主體59外側(cè)的下部。
因此，當(dāng)流體穿過流體通道60時，在流體通道60內(nèi)部由于流體流過形成低壓狀態(tài)，并且吸入口62具有相當(dāng)高的壓力，從而產(chǎn)生吸入力，以從面板G吸取清潔劑。
在這一點上，從噴嘴50和52到吸取模塊54的距離可以適當(dāng)?shù)卣{(diào)整，從而不會由于剝離劑和清潔劑之間的反應(yīng)而破壞面板的薄膜。
再參照圖2，將已穿過吸取單元28的面板G傳送到清潔單元30。
清潔單元30可以形成兩個清潔槽32和34，每個槽具有強力噴嘴(未示出)。
因此，清潔工序僅使用兩個具有噴嘴的清潔槽就可以處理，其中噴嘴具有改進的機械功率。
干燥單元36可以包括氣刀。也就是，氣刀使用高壓噴灑壓縮空氣，以去除面板上殘留的水滴和雜質(zhì)。
如上所述，在干燥單元36中干燥的面板G由卸載機38排出到外側(cè)。
面板G經(jīng)過諸如剝離、吸取、清潔和干燥等一系列工序。
下面描述面板處理工藝。
也就是，如圖2至4和8所示，面板處理工藝包括如下步驟提供具有薄膜的面板G(S100)；通過傳送面板G到剝離槽進行剝離工序，并使面板G與殘留的光致抗蝕劑發(fā)生反應(yīng)(S200)；通過噴灑去離子水到面板G上來去除殘留在面板G上的剝離劑，并吸除水(S220)；清潔面板G(S240)；干燥及卸載面板G(S300)。
在提供面板的步驟(S100)中，面板從放置在線一側(cè)的盒20中出來。從盒20出來的面板通過例如機器人傳送到裝載機22。
在進行剝離工序的步驟(S200)中，通過剝離工序去除殘留在面板表面的光致抗蝕劑。
也就是，從裝載機22傳送到剝離單元24的面板經(jīng)過槽25和26的第一和第二剝離工序。
在這一點上，剝離劑從剝離單元噴灑出來，從而與殘留在面板G上的光致抗蝕劑發(fā)生反應(yīng)。結(jié)果，可以從面板G分離光致抗蝕劑，從而允許在面板G上保持預(yù)定的模式。
在步驟S220，從面板去除剝離劑。
也就是，將在剝離單元24中處理的面板裝載到傳送帶46上，然后通過形成在槽40上的入口42導(dǎo)入到槽40中。
然后，面板G穿過一對噴嘴50和52設(shè)置的部分。在這一點上，清潔劑從噴嘴50和52噴灑到面板G的上表面上。剝離劑和任何雜質(zhì)通過由噴灑清潔劑產(chǎn)生的沖擊能量從面板G去除。
在這一點上，吸取模塊54設(shè)置在噴嘴50和52之間，從而可以快速地從面板G吸取流體。
更詳細地，由于流體流過形成在吸取模塊54的主體59中的流體通道60，在吸入口62周圍形成低壓。
在這一點上，吸入口62具有與流體通道60連通的上部，和開口朝向主體59外側(cè)的下部。
因此，當(dāng)流體穿過流體通道60時，在流體通道60內(nèi)部由于流體流過而形成低壓狀態(tài)，并且吸入口62具有相當(dāng)高的壓力，從而產(chǎn)生吸入力以從面板G吸取清潔劑。
在這一點上，由于去離子水與剝離劑之間的反應(yīng)可能破壞面板的薄膜，因此從噴嘴50和52到吸取模塊54的距離可以適當(dāng)?shù)卣{(diào)整，使得流體可以快速地被吸干，從而可以提供穩(wěn)定的面板處理。
然后，將面板G傳送到清潔單元30，經(jīng)過步驟S240，然后執(zhí)行用于干燥和卸載的步驟S300。即，清潔步驟中清潔的面板G穿過干燥單元36的氣刀。在這一點上，任何殘留在面板上的水和雜質(zhì)都可以通過從氣刀噴灑的壓縮空氣去除。
同時，圖5示出了本發(fā)明另一優(yōu)選實施例。
如該圖所示，本實施例的面板處理系統(tǒng)類似于前述實施例，除了該面板生產(chǎn)流水線上還具有傳送單元71。
也就是，在面板生產(chǎn)流水線上設(shè)置有軌道72。傳送單元71可滑動地設(shè)置在軌道72上，并且面板裝載在傳送單元71中。通過傳送單元71的往復(fù)滑動，面板可以移動到預(yù)定位置。
也就是，帶有面板的傳送單元71到達設(shè)置在面板生產(chǎn)流水線21的側(cè)面的裝載機73上，并將面板傳送給裝載機73。
裝載在裝載機73上的面板G被傳送到面板生產(chǎn)流水線21的剝離單元74，以便經(jīng)過剝離工序去除殘留在面板G上的光致抗蝕劑。
經(jīng)過剝離單元74的面板G穿過吸取單元75，從而初步去除剝離劑。接著將面板G最后在清潔單元76中清潔。
已經(jīng)過清潔單元76的面板G在穿過干燥單元77的氣刀時被干燥。
然后，將面板傳送到卸載機79，并由例如機器人堆積在盒70中。
上述面板處理系統(tǒng)可以布置成如圖6所示。即，盒80布置在面板生產(chǎn)流水線82的側(cè)部上或者布置在其上設(shè)置有傳送單元86的軌道84上。
圖7示出了本發(fā)明再一實施例。具有改進的吸取效率的面板處理系統(tǒng)具有減少系統(tǒng)安裝面積的優(yōu)點。利用該優(yōu)點，該系統(tǒng)可以安裝為直列型。
也就是，可以將面板生產(chǎn)流水線21布置在檢驗線98或者具有其它處理設(shè)備的另一生產(chǎn)流水線的一側(cè)，使得面板可以在直列型生產(chǎn)流水線上進行處理。
如前面實施例，面板生產(chǎn)流水線21包括剝離單元92、吸取單元93、清潔單元94和干燥單元95。
面板通過布置在入口側(cè)上的裝載機91傳送，并進一步通過設(shè)置在出口側(cè)的卸載機96傳送到檢驗線98的裝載機97。
將面板傳送到另一生產(chǎn)流水線或者檢驗線，以進行預(yù)定工序，并由卸載機99卸載，堆積在盒90中。
根據(jù)本發(fā)明，該面板處理系統(tǒng)和方法具有如下優(yōu)點
1、可以僅僅使用去離子水去除剝離劑，而不用中和劑，從而降低了處理成本。
2、由于剝離線布置成直列型，因此可以適應(yīng)于大尺寸面板而最大化空間利用率。
3、面板生產(chǎn)流水線可以布置成各種類型，比如獨立型或者直列型，因此提高了設(shè)計的自由度。
顯然，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本發(fā)明進行各種修改和改變。因此，本發(fā)明意欲涵蓋本發(fā)明的修改和變化，只要這些修改和變化在附帶的權(quán)利要求和等價替換的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種面板處理系統(tǒng)，包括用于將面板從盒裝載到生產(chǎn)流水線的裝載機；I型面板生產(chǎn)流水線，用于(a)對面板進行剝離工序，(b)通過噴灑去離子水到已剝離的面板上來清潔面板，并去除面板上存在的殘留物，(c)干燥已清潔的面板；和用于從面板生產(chǎn)流水線卸載面板的卸載機。
2.如權(quán)利要求1所述的面板處理系統(tǒng)，其中該I型面板生產(chǎn)流水線布置成直列型，并在該直列型生產(chǎn)流水線上布置檢驗線或者另一生產(chǎn)流水線。
3.如權(quán)利要求1所述的面板處理系統(tǒng)，進一步包括用于從盒接收面板并將面板傳送到裝載機的傳送單元，所述傳送單元設(shè)置在I型面板生產(chǎn)流水線上。
4.如權(quán)利要求3所述的面板處理系統(tǒng)，其中盒布置為平行或垂直于面板傳送方向。
5.如權(quán)利要求1所述的面板處理系統(tǒng)，其中吸取單元包括一對將清潔劑噴灑到面板上的噴嘴，和設(shè)置在所述噴嘴之間用于從面板吸取流體的吸取模塊。
6.一種面板處理工藝，包括以下步驟提供具有薄膜的面板；通過噴灑剝離劑到面板上來進行剝離工序，以使剝離劑與殘留在面板上的光致抗蝕劑發(fā)生反應(yīng)；通過噴灑去離子水到面板上來去除殘留在面板上的剝離劑，并吸取面板上存在的殘留物；清潔該面板；和干燥及卸載該面板。
7.如權(quán)利要求6所述的面板處理工藝，其中在進行剝離工序的步驟中，面板穿過第一和第二剝離槽。
8.如權(quán)利要求6所述的面板處理工藝，其中去除剝離劑的步驟是由一對將清潔劑噴灑到面板上的噴嘴，和設(shè)置在所述噴嘴之間用于從面板吸取流體的吸取模塊執(zhí)行的。
9.如權(quán)利要求8所述的面板處理工藝，其中從噴嘴到吸取模塊的距離可以適當(dāng)?shù)卣{(diào)整，使得剝離劑和清潔劑之間的反應(yīng)不會破壞面板的薄膜。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種面板處理系統(tǒng)，包括用于從盒裝載面板到生產(chǎn)流水線的裝載機；I型面板生產(chǎn)流水線，用于(a)對面板進行剝離工序，(b)通過噴灑去離子水到已剝離的面板上來清潔面板，并去除水，(c)干燥已清潔的面板；用于從面板生產(chǎn)流水線卸載面板的卸載機。
文檔編號G03F1/82GK1690866SQ20051006625
公開日2005年11月2日 申請日期2005年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月28日
發(fā)明者樸庸碩 申請人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會社