專利名稱：電致發(fā)光基板的制造方法及制造裝置與電子裝置的制作方法
本申請(qǐng)屬分案申請(qǐng)，其母案的申請(qǐng)?zhí)枮?2141207.3，最早的在先申請(qǐng)?zhí)枮镴P01-203807，最早的優(yōu)先權(quán)日為2001年7月4日。本發(fā)明涉及濾色片的制造方法及制造裝置、液晶顯示裝置的制造方法及制造裝置、電致發(fā)光發(fā)光層配置基板的制造方法及制造裝置、電致發(fā)光裝置的制造方法及制造裝置。另外，本發(fā)明涉及利用噴頭對(duì)基板一邊進(jìn)行掃描，一邊將噴出物噴射到該基體材料上的噴頭的掃描方法及噴頭的掃描裝置。另外，本發(fā)明涉及在基板上形成膜的成膜方法及成膜裝置。另外，本發(fā)明涉及電光裝置及其制造方法、以及電子裝置。近年來，液晶顯示裝置、電致發(fā)光裝置等顯示裝置被廣泛地用于移動(dòng)電話機(jī)、便攜型計(jì)算機(jī)等電子裝置的顯示部中。另外，多半使用這樣的顯示裝置使電子裝置的顯示部進(jìn)行全色顯示。
例如，通過使由液晶層調(diào)制的光通過濾色片，進(jìn)行液晶顯示裝置的全色顯示。通過將R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))色的呈點(diǎn)狀的各色濾色元按照條形排列、三角形排列或鑲嵌形排列等規(guī)定的排列方法，配置在由玻璃、塑料等構(gòu)成的基板的表面上，形成這樣的濾色片。
另外，能通過這樣的方法進(jìn)行電致發(fā)光裝置的全色顯示例如將R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))色的呈點(diǎn)狀的各色發(fā)光層按照條形排列、三角形排列或鑲嵌形排列等規(guī)定的排列方法，配置在由玻璃、塑料等構(gòu)成的基板的表面上，形成電致發(fā)光基板，用一對(duì)電極夾持該電致發(fā)光基板的發(fā)光層，形成多個(gè)顯示點(diǎn)，對(duì)每個(gè)顯示點(diǎn)控制加在這些電極上的電流或電壓，使顯示點(diǎn)發(fā)出所希望顏色的光。
迄今，在對(duì)濾色片的R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))各色濾色元進(jìn)行構(gòu)圖的情況下，或者在對(duì)電致發(fā)光基板的R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))色的各發(fā)光層進(jìn)行構(gòu)圖的情況下，能采用光刻法?？墒牵谠摴饪谭ㄖ?，需要對(duì)每個(gè)顯示點(diǎn)使用不同圖形的掩模，進(jìn)行曝光、顯影、清洗等繁雜的工序，同時(shí)由于消耗大量的各色材料及光致抗蝕劑，所以存在成本增高等問題。
為了解決該問題，提出了采用噴墨法呈點(diǎn)狀地噴射濾色材料或發(fā)光層形成材料等，形成濾色元或發(fā)光層等方法。該噴墨法例如能用備有壓電體薄膜元件的噴墨頭進(jìn)行。
在該噴墨法中，將像素形成用的油墨存儲(chǔ)在噴墨頭的加壓室中，利用上述的壓電體元件的振動(dòng)引起的加壓室的體積變化，噴射該油墨，因此，在濾色片的基板上形成像素。如果采用該噴墨法，則能提高濾色片等的生產(chǎn)效率。另外，在該噴墨法中由于能控制墨量的高度，所以能有效地制造高精細(xì)的濾色片。
在圖25及圖26中示出了通過采用噴墨法呈點(diǎn)狀地噴射濾色材料或發(fā)光層形成材料等，形成呈點(diǎn)狀排列的濾色元或發(fā)光層等的方法之一例。
使用備有將圖25(c)所示的多個(gè)噴嘴304排列成列狀的噴嘴列305的噴墨頭306，按照噴墨法，如圖25(a)所示，在由玻璃、塑料等構(gòu)成的大面積的基板(所謂的母板)301的表面上形成的多個(gè)面板區(qū)域302的內(nèi)部區(qū)域中，如圖25(b)所示，形成呈點(diǎn)狀排列的多個(gè)濾色元303。
在此情況下，如圖25(b)所示，例如使噴墨頭306沿著箭噴頭A1及箭噴頭A2所示的方向，對(duì)一個(gè)面板區(qū)域302進(jìn)行多次主掃描，在圖25(b)所示的情況下為兩次主掃描，同時(shí)在這些主掃描之間有選擇地從多個(gè)噴嘴304噴墨、例如噴射濾色材料，在所希望的位置形成濾色元303。
這里，通過使R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))各色呈條形排列、三角形排列或鑲嵌形排列等形態(tài)排列，形成濾色元303。因此，用圖25(b)所示的噴墨頭306形成濾色元303按如下方法進(jìn)行對(duì)應(yīng)于R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三種顏色，預(yù)先準(zhǔn)備三種只噴射R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))中的一種顏色的噴墨頭306，對(duì)應(yīng)于三種顏色依次反復(fù)使用這些噴墨頭306，能在一塊母板301上形成R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三色排列。
可是，在噴墨頭306中，一般說來，構(gòu)成噴嘴列305的多個(gè)噴嘴304的噴墨量有離散。例如，如圖26(a)所示，噴墨頭306往往有下述的噴墨特性Q對(duì)應(yīng)于噴嘴列305的兩端部的位置的噴射量多，其中央部次多，它們的中間部的噴射量少。另外，在圖26(a)中示出了噴嘴304的個(gè)數(shù)為180個(gè)的情況。
如果考慮這樣的噴墨量的離散，則如圖25(b)所示，在由噴墨頭306形成了濾色元303的情況下，如圖26(b)所示，在與位于噴墨頭306的兩端部的噴嘴對(duì)應(yīng)的濾色元303的形成區(qū)域P1或與位于中央部的噴嘴對(duì)應(yīng)的濾色元303的形成區(qū)域P2中，形成濃度大的條紋，存在濾色片的平面光透射特性或反射特性不均勻的問題。另外，根據(jù)不同情況，有時(shí)在形成區(qū)域P1及P2兩個(gè)區(qū)域中形成濃度大的條紋。
另外，在采用這樣的噴墨法制造濾色片的情況下，要求準(zhǔn)確地移動(dòng)噴墨頭，以便噴墨頭的噴嘴準(zhǔn)確地在像素的、即顯示點(diǎn)的形成區(qū)域上通過，而且在適當(dāng)?shù)奈恢脟娔？墒?，現(xiàn)狀是未必找到充分地解決該問題的途徑。
下面具體地說明該問題。即，通過噴墨形成濾色元或發(fā)光層時(shí)、即形成像素時(shí)，為了防止應(yīng)進(jìn)入一個(gè)像素形成區(qū)域的油墨漏到了相鄰的另一像素形成區(qū)域中而發(fā)生混色，有必要使噴嘴從像素形成區(qū)域的正上方通過，使墨滴盡可能附著在像素的中心。假設(shè)噴嘴不在像素形成區(qū)域的正上方時(shí)，不能從噴嘴噴墨。
這是一種理想情況，另一方面，噴頭換行方向(即，副掃描方向)的像素的相互排列間隔(即，濾色元間距或像素間距)、以及副掃描方向的噴嘴的相互排列間隔(即，噴嘴間距)通常不一致。在該狀態(tài)下，使噴墨頭只進(jìn)行主掃描時(shí)，出現(xiàn)不通過像素形成區(qū)域的正上方的噴嘴、即出現(xiàn)不能使用的噴嘴，存在噴嘴的使用效率(即，掃描效率)低的問題。迄今對(duì)該問題未必找到充分的解決途徑。本發(fā)明就是鑒于上述的問題而完成的，目的在于制造濾色片或電致發(fā)光基板時(shí)噴墨頭進(jìn)行掃描時(shí)，通過使該噴墨頭的全部噴嘴能準(zhǔn)確地通過形成像素的區(qū)域，提高噴嘴的使用效率(即，描繪效率)。
另外，本發(fā)明的目的在于通過使噴墨頭準(zhǔn)確地相對(duì)于對(duì)象物移動(dòng)，能將油墨噴射到對(duì)象物上的適當(dāng)位置，由此防止每個(gè)像素的色離散，使液晶顯示裝置的彩色顯示特性、發(fā)光層的發(fā)光特性等光學(xué)構(gòu)件的光學(xué)特性實(shí)現(xiàn)平面上的均勻化。
本發(fā)明人等為了達(dá)到上述目的而銳意研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)通過使多個(gè)噴墨頭中相鄰的噴墨頭位于各自最端部的噴嘴即互相最接近的噴嘴之間的相互間隔(W)、以及使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))沿噴頭掃描方向及噴頭換行方向(即，縱橫方向)進(jìn)行主掃描及副掃描時(shí)換行方向的副掃描移動(dòng)間距(P)特別指定為噴嘴的恒定的排列間距(D)的實(shí)際上的整數(shù)倍，能達(dá)到上述目的，完成本發(fā)明。即，按照本發(fā)明，提供以下的濾色片的制造方法及制造裝置、液晶顯示裝置的制造方法及制造裝置、電致發(fā)光基板的制造方法及制造裝置、電致發(fā)光裝置的制造方法及制造裝置、成膜方法及成膜裝置、電光裝置及其制造方法、以及電子裝置。
(1)本發(fā)明的濾色片的制造方法的特征在于包括使按照規(guī)定的間距排列了多個(gè)噴嘴的多個(gè)噴頭沿著噴頭掃描方向移動(dòng)，對(duì)基板進(jìn)行主掃描的工序；沿著與上述噴頭掃描方向交叉的噴頭換行方向按照規(guī)定的移動(dòng)間距移動(dòng)，對(duì)上述基板進(jìn)行副掃描的工序；以及從上述多個(gè)噴嘴將濾色材料噴射到上述基板上的濾色元形成區(qū)域的工序，上述多個(gè)噴頭中相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上滿足以下關(guān)系式W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))上述噴頭的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上滿足以下關(guān)系式P＝nD(式中，n為1以上的整數(shù))利用該結(jié)構(gòu)，在噴頭的一次主掃描中，不管是否從形成像素的區(qū)域附近通過，都能減少將濾色材料噴射到相鄰像素上的可能性。另外，在全部主掃描中，能減少或沒有不能噴射濾色材料的噴嘴，因此，能提高噴嘴的使用效率(即，描繪效率)。另外，能與噴頭的掃描次數(shù)相關(guān)地、有效地配置濾色元。
另外，由噴頭只噴射幾乎是必要數(shù)量的濾色材料，能形成所希望的區(qū)域內(nèi)的濾色元，因此，不需要經(jīng)過采用光刻法時(shí)的那樣的曝光、顯影、清洗等復(fù)雜的工序，另外，能減少制造上必要的濾色材料的使用量。
(2)在上述構(gòu)成的濾色片的制造方法中，能使上述噴頭相對(duì)于上述噴頭換行方向以0°＜θ＜180°的角度排列，上述相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式W＝mDcos θ(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭沿上述噴頭換行方向的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式P＝nDcosθ(式中，n為1以上的整數(shù))如果采用該結(jié)構(gòu)，則由于能使噴嘴排列間距實(shí)際上為副掃描方向的各濾色元間的間隔(即，濾色元間距)的整數(shù)倍，所以能有效地使用液滴材料噴頭(噴墨頭)內(nèi)的全部噴嘴，配置濾色元。
(3)在上述構(gòu)成的濾色片的制造方法中，位于上述噴頭的端部的上述噴嘴最好不將上述濾色材料噴射到上述基板上的上述濾色元形成區(qū)域。
如果采用該結(jié)構(gòu)，則即使在使用濾色材料的噴射分布特性變化大的液滴材料噴頭(噴墨頭)的情況下，也能從液滴材料噴頭(噴墨頭)噴射適當(dāng)數(shù)量的油墨，因此，能在基板的濾色元形成區(qū)域、即像素形成區(qū)域中配置具有均勻的平面形狀及厚度的濾色元，因此，能防止每個(gè)像素的色離散。
(4)在上述構(gòu)成的濾色片的制造方法中，能由多種顏色的液態(tài)材料構(gòu)成上述濾色材料，而且，上述多個(gè)噴頭各自包括的上述多個(gè)噴嘴噴射上述多種顏色中的一部分顏色。
假設(shè)全部噴頭只噴射一部分液態(tài)材料，則需要使用另外的機(jī)械或更換液態(tài)材料，來適應(yīng)剩余種類的顏色。與此不同，如果采用上述的結(jié)構(gòu)，則能使每個(gè)噴頭同時(shí)噴射不同顏色的液態(tài)材料，因此，能提高將濾色元配置在基板的濾色元形成區(qū)域、即像素形成區(qū)域時(shí)的噴嘴的使用效率、即描繪效率。
這里，作為多種顏色，一般使用R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))三種顏色的油墨，但當(dāng)然也能使用例如C(深藍(lán))、M(深紅)及Y(黃)等顏色的油墨。
(5)在上述構(gòu)成的濾色片的制造方法中，能由多種顏色的液態(tài)材料構(gòu)成上述濾色材料，而且，上述多個(gè)噴頭各自包括的上述多個(gè)噴嘴噴射上述多種顏色中的各種顏色。
假設(shè)噴嘴只噴射一部分液態(tài)材料，在全部噴頭噴射相同種類的液態(tài)材料的情況下，需要使用另外的機(jī)械或更換液態(tài)材料，來適應(yīng)剩余的顏色。與此不同，如果采用上述的結(jié)構(gòu)，則能使每個(gè)噴嘴同時(shí)噴射多種顏色中的各種顏色的液態(tài)材料，因此，在將濾色元配置在基板的濾色元形成區(qū)域、即像素形成區(qū)域時(shí)能提高描繪效率。
這里，作為多種顏色，一般使用R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))三種顏色的油墨，但當(dāng)然也能使用例如C(深藍(lán))、M(深紅)及Y(黃)等顏色的油墨。
(6)其次，本發(fā)明的濾色片的制造裝置的特征在于有噴射液滴狀的濾色材料的多個(gè)噴嘴；按照恒定的排列間隔(D)排列了上述多個(gè)噴嘴的多個(gè)噴頭；使上述噴頭沿著噴頭掃描方向移動(dòng)的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置；以及使上述噴頭沿著與上述噴頭掃描方向交叉的噴頭換行方向按照規(guī)定的移動(dòng)間距(P)移動(dòng)的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置，上述多個(gè)噴頭中相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))上述噴頭的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式P＝nD(式中，n為1以上的整數(shù))利用該結(jié)構(gòu)，在噴頭的一次主掃描中，不管是否從形成像素的區(qū)域附近通過，都能減少將濾色材料噴射到相鄰像素上的可能性。另外，在全部主掃描中，能減少或沒有不能噴墨的噴嘴，因此，能提高噴嘴的使用效率(即，描繪效率)。另外，能與噴頭的掃描次數(shù)相關(guān)地、有效地配置濾色元。
(7)在上述構(gòu)成的濾色片的制造裝置中，能使上述噴頭相對(duì)于上述噴頭換行方向以0°＜θ＜180°的角度排列，上述相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式W＝mDcosθ(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭沿上述噴頭換行方向的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式P＝nDcosθ(式中，n為1以上的整數(shù))如果采用該結(jié)構(gòu)，則由于能使噴嘴排列間距實(shí)際上為副掃描方向的各濾色元間的間隔(即，濾色元間距)的整數(shù)倍，所以能有效地使用液滴材料噴頭(噴墨頭)內(nèi)的全部噴嘴，配置濾色元。
(8)其次，本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法是一種包括形成濾色片的工序的液晶顯示裝置的制造方法，其特征在于利用以上所述的濾色片的制造方法，形成濾色片。如果采用該濾色片的制造方法，則能有效地制造備有光學(xué)特性優(yōu)異的濾色片、彩色顯示特性在平面上均勻化的液晶顯示裝置。
(9)其次，本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造裝置是一種制造備有濾色片的液晶顯示裝置的液晶顯示裝置的制造裝置，其特征在于備有以上所述的濾色片的制造裝置。如果采用該濾色片的制造裝置，則能有效地制造備有光學(xué)特性優(yōu)異的濾色片、彩色顯示特性在平面上均勻化的液晶顯示裝置。
(10)其次，本發(fā)明的電致發(fā)光基板的制造方法的特征在于包括使按照規(guī)定的間距排列了多個(gè)噴嘴的多個(gè)噴頭沿著噴頭掃描方向移動(dòng)，對(duì)基板進(jìn)行主掃描的工序；沿著與上述噴頭掃描方向交叉的噴頭換行方向按照規(guī)定的移動(dòng)間距移動(dòng)，對(duì)上述基板進(jìn)行副掃描的工序；以及從上述多個(gè)噴嘴將功能層形成材料噴射到上述基板上的功能層形成區(qū)域的工序，上述多個(gè)噴頭中相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上滿足以下關(guān)系式W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))上述噴頭的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上滿足以下關(guān)系式P＝nD(式中，n為1以上的整數(shù))利用該結(jié)構(gòu)，在噴頭的一次主掃描中，不管是否從形成功能層的區(qū)域附近通過，都能減少將功能層形成材料噴射到相鄰功能層上的可能性。另外，在全部主掃描中，能減少或沒有不能噴射功能層形成材料的噴嘴，因此，能提高噴嘴的使用效率(即，描繪效率)。另外，能與噴頭的掃描次數(shù)相關(guān)地、有效地配置功能層。
另外，由噴頭只噴射幾乎是必要數(shù)量的功能層形成材料，能形成所希望的區(qū)域內(nèi)的功能層，因此，不需要經(jīng)過采用光刻法時(shí)的那樣的曝光、顯影、清洗等復(fù)雜的工序，另外，能減少制造上必要的功能層形成材料的使用量。
(11)在上述構(gòu)成的電致發(fā)光基板的制造方法中，能使上述噴頭相對(duì)于上述噴頭換行方向以0°＜θ＜180°的角度排列，上述相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式W＝mDcosθ(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭沿上述噴頭換行方向的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式P＝nDcosθ(式中，n為1以上的整數(shù))如果采用該結(jié)構(gòu)，則由于能使噴嘴排列間距實(shí)際上為副掃描方向的各功能層間的間隔(即，功能層間距)的整數(shù)倍，所以能有效地使用液滴材料噴頭(噴墨頭)內(nèi)的全部噴嘴，配置功能層。
(12)在上述構(gòu)成的電致發(fā)光基板的制造方法中，能使位于上述噴頭的端部的上述噴嘴不將上述功能層形成材料噴射到上述基板上的上述功能層形成區(qū)域。
如果采用該結(jié)構(gòu)，則即使在使用功能層形成材料、即液態(tài)材料的噴射分布特性變化大的液滴材料噴頭(噴墨頭)的情況下，也能從該液滴材料噴頭(噴墨頭)噴射適當(dāng)數(shù)量的液態(tài)材料，因此，能在基板的功能層形成區(qū)域、即像素形成區(qū)域中配置具有均勻的平面形狀及厚度的功能層，因此，能防止每個(gè)像素、即每個(gè)功能層的色離散。另外，在能這樣防止色離散的顏色中，也包括用分光透射率、分光反射率(Yxy)等藍(lán)色系列表示的顏色。
(13)在上述構(gòu)成的電致發(fā)光基板的制造方法中，上述功能層形成材料最好是發(fā)光層形成材料。
(14)在上述構(gòu)成的電致發(fā)光基板的制造方法中，上述功能層形成材料最好是空穴注入輸運(yùn)層形成材料。
(15)在上述構(gòu)成的電致發(fā)光基板的制造方法中，上述功能層形成材料最好包括從由發(fā)光層形成材料及空穴注入輸運(yùn)層形成材料構(gòu)成的組中選擇的材料。
(16)在上述構(gòu)成的電致發(fā)光基板的制造方法中，上述發(fā)光層形成材料最好包含發(fā)光顏色不同的多種材料，各上述噴頭從各自的上述噴嘴噴射上述發(fā)光顏色不同的多種材料中各自對(duì)應(yīng)的一種材料。假設(shè)全部噴頭只噴射一部分發(fā)光層形成材料，則需要使用另外的機(jī)械或更換發(fā)光層形成材料，來適應(yīng)剩余種類的顏色。與此不同，如果采用上述的結(jié)構(gòu)，則能使每個(gè)噴頭同時(shí)噴射不同顏色的發(fā)光層形成材料，因此，能提高將發(fā)光層配置在基板的發(fā)光層形成區(qū)域、即像素形成區(qū)域時(shí)的描繪效率、即噴嘴的使用效率、即描繪效率。
這里，作為多種顏色，一般使用R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))三種顏色的油墨，但當(dāng)然也能使用例如C(深藍(lán))、M(深紅)及Y(黃)等顏色的發(fā)光層形成材料。
(17)在上述構(gòu)成的電致發(fā)光基板的制造方法中，上述發(fā)光層形成材料最好包含發(fā)光顏色不同的多種材料，上述多個(gè)噴嘴中的各個(gè)噴嘴噴射上述發(fā)光顏色不同的多種材料中各自對(duì)應(yīng)的一種材料。
假設(shè)噴嘴只噴射一部分發(fā)光層形成材料，在全部噴頭噴射相同種類的發(fā)光層形成材料的情況下，需要使用另外的機(jī)械或更換發(fā)光層形成材料，來適應(yīng)剩余的顏色。與此不同，如果采用上述的結(jié)構(gòu)，則能使每個(gè)噴嘴同時(shí)噴射多種顏色中的各種顏色的發(fā)光層形成材料，因此，將發(fā)光層配置在基板的發(fā)光層形成區(qū)域、即像素形成區(qū)域時(shí)能提高描繪效率。
這里，作為多種顏色，一般使用R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))三種顏色的發(fā)光層形成材料，但當(dāng)然也能使用例如C(深藍(lán))、M(深紅)及Y(黃)等顏色。
(18)其次，本發(fā)明的電致發(fā)光基板的制造裝置的特征在于有噴射液滴狀的功能層形成材料的多個(gè)噴嘴；按照恒定的排列間隔(D)排列了上述多個(gè)噴嘴的多個(gè)噴頭；使上述噴頭沿著噴頭掃描方向移動(dòng)的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置；以及使上述噴頭沿著與上述噴頭掃描方向交叉的噴頭換行方向按照規(guī)定的移動(dòng)間距(P)移動(dòng)的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置，上述多個(gè)噴頭中相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上滿足以下關(guān)系式W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))
另外，上述噴頭的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上滿足以下關(guān)系式P＝nD(式中，n為1以上的整數(shù))利用該結(jié)構(gòu)，在噴頭的一次主掃描中，不管是否從形成功能層的區(qū)域附近、即從形成像素的區(qū)域附近通過，都能減少將功能層形成材料噴射到相鄰功能層、即相鄰像素上的可能性。另外，在全部主掃描中，能減少或沒有不能噴射功能層形成材料的噴嘴，因此，能提高噴嘴的使用效率(即，描繪效率)。另外，能與噴頭的掃描次數(shù)相關(guān)地、有效地配置功能層。
另外，由噴頭只噴射幾乎是必要數(shù)量的功能層形成材料，能形成所希望的區(qū)域內(nèi)的功能層，因此，不需要經(jīng)過采用光刻法時(shí)的那樣的曝光、顯影、清洗等復(fù)雜的工序，另外，能減少制造上必要的濾色材料的使用量。
(19)在上述構(gòu)成的電致發(fā)光基板的制造裝置中，能使上述噴頭相對(duì)于上述噴頭換行方向以0°＜θ＜180°的角度排列，上述相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式W＝mDcosθ(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭沿上述噴頭換行方向的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式P＝nDcosθ(式中，n為1以上的整數(shù))如果采用該結(jié)構(gòu)，則由于能使噴嘴排列間距實(shí)際上為副掃描方向的各功能層間的間隔(即，功能層間距)的整數(shù)倍，所以能有效地使用液滴材料噴頭(噴墨頭)內(nèi)的全部噴嘴，配置功能層。
(20)其次，本發(fā)明的電致發(fā)光裝置的制造方法是一種包括形成功能層的工序的電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于利用以上所述的電致發(fā)光基板的制造方法，形成功能層。如果采用該電致發(fā)光裝置的制造方法，則能有效地制造備有光學(xué)特性優(yōu)異的電致發(fā)光基板、顯示特性在平面上均勻化的電致發(fā)光裝置。
(21)其次，本發(fā)明的電致發(fā)光裝置的制造裝置是一種制造備有電致發(fā)光基板的電致發(fā)光裝置的電致發(fā)光裝置的制造裝置，其特征在于備有以上所述的電致發(fā)光基板的制造裝置。如果采用該電致發(fā)光裝置的制造裝置，則能有效地制造備有光學(xué)特性優(yōu)異的電致發(fā)光基板、顯示特性在平面上均勻化的電致發(fā)光裝置。
(22)其次，本發(fā)明的噴頭掃描方法的特征在于包括使按照規(guī)定的間距排列了多個(gè)噴嘴的多個(gè)噴頭沿著噴頭掃描方向移動(dòng)，對(duì)基板進(jìn)行主掃描的工序；沿著與上述噴頭掃描方向交叉的噴頭換行方向按照規(guī)定的移動(dòng)間距移動(dòng)，對(duì)上述基板進(jìn)行副掃描的工序；以及從上述多個(gè)噴嘴將噴出材料噴射到上述基板上的工序，上述多個(gè)噴頭中相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上滿足以下關(guān)系式W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上滿足以下關(guān)系式P＝nD(式中，n為1以上的整數(shù))利用該結(jié)構(gòu)，在噴頭的一次主掃描中，不管是否從形成要素的區(qū)域附近通過，都能減少將噴出物噴射到相鄰要素上的可能性。另外，在全部主掃描中，能減少或沒有不能噴射噴出物的噴嘴，因此，能提高噴嘴的使用效率(即，描繪效率)。另外，能與噴頭的掃描次數(shù)相關(guān)地、有效地配置噴出物。
另外，由噴頭只噴射幾乎是必要數(shù)量的噴出物，能形成所希望的區(qū)域內(nèi)的要素，因此，不需要經(jīng)過采用光刻法時(shí)的那樣的曝光、顯影、清洗等復(fù)雜的工序，另外，能減少制造上必要的噴出物的使用量。上述構(gòu)成的噴頭的掃描方法能用于在基體材料上進(jìn)行微細(xì)的構(gòu)圖的全部工業(yè)技術(shù)中，例如作為其應(yīng)用范圍的一例，可以考慮各種半導(dǎo)體元件(例如，薄膜晶體管、薄膜二極管等)布線圖形、以及絕緣膜的形成等。
另外，根據(jù)所形成的要素，能對(duì)噴出物進(jìn)行各種選擇，例如，除了上述的濾色材料、功能層形成材料以外，作為其一例可以考慮二氧化硅玻璃前體、金屬化合物等導(dǎo)電性材料、電介質(zhì)材料、或半導(dǎo)體材料等。
(23)在上述構(gòu)成的噴頭掃描方法中，能使上述噴頭相對(duì)于上述噴頭換行方向以0°＜θ＜180°的角度排列，上述相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式W＝mDcosθ(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭沿上述噴頭換行方向的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式P＝nDcosθ(式中，n為1以上的整數(shù))如果采用該結(jié)構(gòu)，則由于能使噴嘴排列間距實(shí)際上為副掃描方向的各要素間的間隔的整數(shù)倍，所以能有效地使用液滴材料噴頭(噴墨頭)內(nèi)的全部噴嘴，配置噴出物。
(24)在上述構(gòu)成的噴頭掃描方法中，能使位于上述噴頭的端部的上述噴嘴不將上述噴出材料噴射到上述基板上的噴出物附著區(qū)域。
如果采用該結(jié)構(gòu)，則即使在使用噴出物的噴射分布特性變化大的液滴材料噴頭(噴墨頭)的情況下，也能從該液滴材料噴頭(噴墨頭)噴射適當(dāng)數(shù)量的噴出物，即能噴射噴出材料，因此，能在基板的要素形成區(qū)域、即像素形成區(qū)域中配置具有均勻的平面形狀及厚度的要素，因此，能防止每個(gè)要素的特性離散。
(25)在上述構(gòu)成的噴頭掃描方法中，上述噴出材料最好包含特性不同的多種材料，各上述噴頭從各自的上述噴嘴噴射上述特性不同的多種材料中各自對(duì)應(yīng)的一種材料。假設(shè)全部噴頭只噴射一種噴出材料，則需要使用另外的機(jī)械或更換油墨，來適應(yīng)剩余種類的顏色。與此不同，如果采用上述的結(jié)構(gòu)，則能使每個(gè)噴頭同時(shí)噴射特性不同的噴出材料，因此，能提高將要素配置在基板的要素形成區(qū)域、即像素形成區(qū)域時(shí)的描繪效率、即噴嘴的使用效率、即描繪效率。
(26)在上述構(gòu)成的噴頭掃描方法中，上述噴出材料最好包含特性不同的多種材料，上述多個(gè)噴嘴中的各個(gè)噴嘴噴射上述特性不同的多種材料中各自對(duì)應(yīng)的一種材料。假設(shè)噴嘴只噴射一種噴出材料，在全部噴頭噴射相同種類的噴出材料的情況下，需要使用另外的機(jī)械或更換噴出材料，來適應(yīng)剩余種類的顏色。與此不同，如果采用上述的結(jié)構(gòu)，則能從多個(gè)噴嘴同時(shí)噴射特性不同的噴出材料，因此，在將要素配置在基板的要素形成區(qū)域時(shí)能提高描繪效率。
(27)其次，本發(fā)明的的噴頭掃描裝置的特征在于有噴射液滴狀的濾色材料的多個(gè)噴嘴；按照恒定的排列間隔(D)排列了多個(gè)噴嘴的多個(gè)噴頭；使上述噴頭沿著噴頭掃描方向移動(dòng)的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置；以及使上述噴頭沿著與上述噴頭掃描方向交叉的噴頭換行方向按照規(guī)定的移動(dòng)間距(P)移動(dòng)的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置，上述多個(gè)噴頭中相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上滿足以下關(guān)系式W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))上述噴頭的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)實(shí)際上滿足以下關(guān)系式P＝nD(式中，n為1以上的整數(shù))利用該結(jié)構(gòu)，在噴頭的一次主掃描中，不管是否從形成要素的區(qū)域附近通過，都能減少將噴出物、即油墨噴射到相鄰要素上的可能性。另外，在全部主掃描中，能減少或沒有不能噴射噴出材料的噴嘴，因此，能提高噴嘴的使用效率(即，描繪效率)。另外，能與噴頭的掃描次數(shù)相關(guān)地、有效地配置要素。
另外，由噴頭只噴射幾乎是必要數(shù)量的噴出材料，能形成所希望的區(qū)域內(nèi)的要素，因此，不需要經(jīng)過采用光刻法時(shí)的那樣的曝光、顯影、清洗等復(fù)雜的工序，另外，能減少制造上必要的噴出材料的使用量。
(28)在上述構(gòu)成的噴頭掃描裝置中，能使上述噴頭相對(duì)于上述噴頭換行方向以0°＜θ＜180°的角度排列，上述相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式W＝mDcosθ(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭沿上述噴頭換行方向的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)實(shí)際上能滿足以下關(guān)系式P＝nDcosθ(式中，n為1以上的整數(shù))如果采用該結(jié)構(gòu)，則由于能使噴嘴排列間距實(shí)際上為副掃描方向的各要素間的間隔的整數(shù)倍，所以能有效地使用液滴材料噴頭(噴墨頭)內(nèi)的全部噴嘴，配置各要素。
(29)其次，本發(fā)明的成膜方法的特征在于包括使按照規(guī)定的間距排列了多個(gè)噴嘴的多個(gè)噴頭沿著噴頭掃描方向移動(dòng)，對(duì)基板進(jìn)行主掃描的工序；沿著與上述噴頭掃描方向交叉的噴頭換行方向按照規(guī)定的移動(dòng)間距移動(dòng)，對(duì)上述基板進(jìn)行副掃描的工序；以及從上述多個(gè)噴嘴將膜材料噴射到上述基板上的膜形成區(qū)域的工序，上述多個(gè)噴頭中相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)滿足以下關(guān)系式W≈mD(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)滿足以下關(guān)系式P≈nD(式中，n為1以上的整數(shù))利用該結(jié)構(gòu)，在噴頭的一次主掃描中，不管是否從應(yīng)噴射膜材料的區(qū)域(以下稱噴射目標(biāo)區(qū)域)附近通過，都能減少將膜材料噴射到相鄰的噴射目標(biāo)區(qū)域上的可能性。另外，在全部主掃描中，能減少或沒有不能噴射膜材料的噴嘴，因此，能提高噴嘴的使用效率(即，描繪效率)。另外，能與噴頭的掃描次數(shù)相關(guān)地、有效地形成膜。
另外，由噴頭只噴射幾乎是必要數(shù)量的膜材料，能在所希望的區(qū)域內(nèi)形成膜，因此，不需要經(jīng)過采用光刻法時(shí)的那樣的曝光、顯影、清洗等復(fù)雜的工序，另外，能減少制造上必要的膜材料的使用量。
(30)在上述構(gòu)成的成膜方法中，能使上述噴頭相對(duì)于上述噴頭換行方向以0°＜θ＜180°的角度排列，上述相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)能滿足以下關(guān)系式W≈mDcosθ(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭沿上述噴頭換行方向的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)能滿足以下關(guān)系式P≈nDcosθ(式中，n為1以上的整數(shù))如果采用該結(jié)構(gòu)，則由于能使噴嘴排列間距實(shí)際上為副掃描方向的各噴射目標(biāo)區(qū)域之間的間隔的整數(shù)倍，所以能有效地使用液滴材料噴頭(噴墨頭)內(nèi)的全部噴嘴，噴射膜材料。
(31)在上述構(gòu)成的成膜方法中，能使位于上述噴頭的端部的上述噴嘴不將上述膜材料噴射到上述基板上的膜形成區(qū)域。
如果采用該結(jié)構(gòu)，則即使在使用膜材料的噴射分布特性變化大的液滴材料噴頭(噴墨頭)的情況下，也能從該液滴材料噴頭(噴墨頭)噴射適當(dāng)數(shù)量的膜材料、即液態(tài)材料，因此，能在基板上的膜形成區(qū)域中形成具有均勻的平面形狀及厚度的膜，因此，能防止膜的特性隨位置的離散。
(32)在上述構(gòu)成的成膜方法中，上述膜材料最好包含特性不同的多種膜材料，各上述噴頭從各自的上述噴嘴噴射上述特性不同的多種膜材料中各自對(duì)應(yīng)的一種材料。假設(shè)全部噴頭只噴射一種膜材料，則需要使用另外的機(jī)械或更換膜材料，來適應(yīng)剩余種類膜材料的顏色。與此不同，如果采用上述的結(jié)構(gòu)，則能使每個(gè)噴頭同時(shí)噴出不同種類的膜材料，因此，能提高將膜材料噴射到基板的膜形成區(qū)域時(shí)的噴嘴的使用效率、即描繪效率。
(33)在上述構(gòu)成的成膜方法中，上述膜材料最好包含特性不同的多種材料，上述多個(gè)噴嘴中的各個(gè)噴嘴噴射上述特性不同的多種材料中各自對(duì)應(yīng)的一種材料。假設(shè)噴嘴只噴射一種膜材料，在全部噴頭噴射種類相同的膜材料的情況下，需要使用另外的機(jī)械或更換膜材料，來適應(yīng)剩余種類的顏色。與此不同，如果采用上述的結(jié)構(gòu)，則能同時(shí)噴射多種膜材料中的各種膜材料，因此，能提高將膜材料噴射到基板上的膜形成區(qū)域時(shí)的描繪效率。
(34)其次，本發(fā)明的成膜裝置的特征在于有噴射液滴狀的膜材料的多個(gè)噴嘴；按照恒定的排列間隔(D)排列了上述多個(gè)噴嘴的多個(gè)噴頭；使上述噴頭沿著噴頭掃描方向移動(dòng)的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置；以及使上述噴頭沿著與上述噴頭掃描方向交叉的噴頭換行方向按照規(guī)定的移動(dòng)間距(P)移動(dòng)的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置，上述多個(gè)噴頭中相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)滿足以下關(guān)系式W≈mD(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴的恒定的排列間距(D)滿足以下關(guān)系式P≈nD(式中，n為1以上的整數(shù))利用該結(jié)構(gòu)，在噴頭的一次主掃描中，不管是否從應(yīng)噴射膜材料的區(qū)域(以下稱噴射目標(biāo)區(qū)域)附近通過，都能減少將膜材料噴射到相鄰的噴射目標(biāo)區(qū)域上的可能性。另外，在全部主掃描中，能減少或沒有不能噴射膜材料的噴嘴，因此，能提高噴嘴的使用效率(即，描繪效率)。另外，能與噴頭的掃描次數(shù)相關(guān)地、有效地形成膜。
另外，由噴頭只噴射幾乎是必要數(shù)量的膜材料，能在所希望的區(qū)域內(nèi)形成膜，因此，不需要經(jīng)過采用光刻法時(shí)的那樣的曝光、顯影、清洗等復(fù)雜的工序，另外，能減少制造上必要的膜材料的使用量。
(35)在上述構(gòu)成的成膜裝置中，能使上述噴頭相對(duì)于上述噴頭換行方向以0°＜θ＜180°的角度排列，上述相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔(W)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)能滿足以下關(guān)系式W ≈mDcosθ(式中，m為2以上的整數(shù))另外，上述噴頭沿上述噴頭換行方向的副掃描移動(dòng)間距(P)及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距(Dcosθ)能滿足以下關(guān)系式P≈nDcosθ(式中，n為1以上的整數(shù))如果采用該結(jié)構(gòu)，則由于能使噴嘴排列間距實(shí)際上為副掃描方向的各噴射目標(biāo)區(qū)域之間的間隔的整數(shù)倍，所以能有效地使用液滴材料噴頭(噴墨頭)內(nèi)的全部噴嘴，噴射膜材料。
(36)本發(fā)明的電光裝置的制造方法的特征在于采用上述(26)的結(jié)構(gòu)的成膜方法。
(37)本發(fā)明的電光裝置的特征在于采用上述(33)的結(jié)構(gòu)的電光裝置的制造方法進(jìn)行制造。
(38)本發(fā)明的電子裝置的特征在于包括上述(34)的結(jié)構(gòu)的電光裝置。
(39)本發(fā)明的電子裝置的特征在于包括采用上述(8)的結(jié)構(gòu)的液晶顯示裝置的制造方法制造的液晶顯示裝置。
(40)本發(fā)明的一種電子裝置的特征在于包括采用上述(17)的結(jié)構(gòu)的電致發(fā)光裝置的制造方法制造的電致發(fā)光裝置。

圖1是表示本發(fā)明的濾色片的制造方法的一個(gè)實(shí)施例的主要工序的平面圖。
圖2是本發(fā)明的濾色片的制造方法的另一實(shí)施例，是表示將噴墨頭(液滴材料噴頭)22相對(duì)于噴頭換行方向Y傾斜角度θ設(shè)置排列時(shí)的實(shí)施例的平面圖。
圖3是表示本發(fā)明的濾色片的制造裝置中使用的打印頭(墨滴材料噴射機(jī)構(gòu))的一例的斜視圖。
圖4是表示本發(fā)明的濾色片的制造裝置中使用的打印頭(墨滴材料噴射機(jī)構(gòu))的另一例的平面圖。
圖5是表示利用本發(fā)明的濾色片的制造方法及其裝置獲得的濾色片的平面形狀的平面圖，特別是(a)表示切取濾色片之前的母板總體，(b)表示被切取的一個(gè)濾色片。
圖6利用濾色片的剖面結(jié)構(gòu)的變化表示本發(fā)明的濾色片的制造方法的主要工序，表示剖面結(jié)構(gòu)的各圖表示沿圖5(b)中的VII-VII線的濾色片的剖面結(jié)構(gòu)的變化。特別是(a)表示噴射濾色材料之前的狀態(tài)，(b)表示噴射濾色材料之后的狀態(tài)，(c)表示配置了濾色元的狀態(tài)，(d)表示再形成了保護(hù)膜后的狀態(tài)。
圖7是表示濾色片中的R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))三種顏色的顯示點(diǎn)排列例的平面圖。
圖8是表示本發(fā)明的濾色片的制造裝置、液晶顯示裝置的制造裝置及電致發(fā)光裝置的制造裝置的構(gòu)成各制造裝置的主要部分的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)的一個(gè)實(shí)施例的斜視圖。
圖9是將圖8所示的裝置的主要部分放大表示的斜視圖。
圖10是將圖9所示的裝置的主要部分即噴墨頭(液滴材料噴頭)放大表示的斜視圖。
圖11是表示噴墨頭(液滴材料噴頭)的變例的斜視圖。
圖12是表示噴墨頭(液滴材料噴頭)的另一變例的平面圖。
圖13是表示噴墨頭(液滴材料噴頭)的再一變例的平面圖。
圖14是表示噴墨頭(液滴材料噴頭)的再一變例的平面圖。
圖15是表示噴墨頭(液滴材料噴頭)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的一例的圖，(a)是將該內(nèi)部結(jié)構(gòu)剖開一部分表示的斜視圖，(b)是表示沿(a)中的J-J線的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖16是表示噴墨頭(液滴材料噴頭)的再一變例的平面圖。
圖17是表示圖8所示的噴墨頭(液滴材料噴頭)裝置中使用的電氣控制系統(tǒng)的框圖。
圖18表示由圖17所示的控制系統(tǒng)執(zhí)行的控制流程的流程圖。
圖19是表示噴墨頭(液滴材料噴頭)的再一變例的斜視圖。
圖20是表示本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法的一個(gè)實(shí)施例的工序圖。
圖21是用分解狀態(tài)表示利用本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法制造的液晶顯示裝置的一例的斜視圖。
圖22是沿圖21中的X-X線表示液晶顯示裝置的剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖23是表示本發(fā)明的電致發(fā)光裝置的制造方法的一個(gè)實(shí)施例的工序圖。
圖24是對(duì)應(yīng)于圖23所示的工序圖的電致發(fā)光裝置的剖面圖。
圖25是表示現(xiàn)有的濾色片的制造方法的一例的平面圖。
圖26是說明現(xiàn)有的濾色片的特性用的圖。
圖27是表示作為本發(fā)明的電子裝置的一例的數(shù)碼相機(jī)的斜視圖。
圖28(A)～(C)表示本發(fā)明的電子裝置的應(yīng)用例，(A)是移動(dòng)電話機(jī)，(B)是手表，(C)是便攜式信息裝置。(濾色片的制造方法的實(shí)施例)以下，參照附圖具體地說明本發(fā)明的實(shí)施例。圖1表示本發(fā)明的濾色片的制造方法的一個(gè)實(shí)施例的噴墨頭(液滴材料噴頭)22的使用方法。在該實(shí)施例中，如圖1(a)所示，使用將一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22以規(guī)定的相鄰間隔排列而成的打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a。各個(gè)噴墨頭(液滴材料噴頭)22有按照恒定的排列間距D排列成列狀的多個(gè)噴嘴27。
打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿著作為恒定方向的噴頭掃描方向(圖1(a)中作為縱向的X方向)，對(duì)基板2進(jìn)行主掃描，同時(shí)沿著與該噴頭掃描方向X交叉的噴頭換行方向(圖1(a)中作為橫向的Y方向)按照規(guī)定的移動(dòng)間距P，對(duì)基板2進(jìn)行副掃描。
各個(gè)噴墨頭(液滴材料噴頭)22從多個(gè)噴嘴27中的各個(gè)噴嘴作為油墨噴射濾色材料，該噴射的濾色材料有選擇地被供給基板2上的多個(gè)濾色元形成區(qū)域7、即像素形成區(qū)域中。另外，根據(jù)需要，多次反復(fù)進(jìn)行噴墨頭(液滴材料噴頭)22的主掃描及副掃描，使濾色材料以規(guī)定的形狀及規(guī)定的厚度附著在基板2的濾色元形成區(qū)域7中。因此，在基板2上形成規(guī)定的形狀及規(guī)定的厚度的濾色元3、從而形成像素。
如本實(shí)施例所示，在使用相當(dāng)于R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三原色的濾色元3進(jìn)行彩色顯示的情況下，一個(gè)濾色元3形成一個(gè)顯示點(diǎn)，R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三色顯示點(diǎn)構(gòu)成一個(gè)單元，形成一個(gè)像素。
在本實(shí)施例中，假設(shè)噴嘴27的恒定的排列間距為“D”，相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)22各自設(shè)置的多個(gè)噴嘴27中位于最端部、互相最接近的噴嘴之間的間隔為“W”時(shí)，設(shè)定W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))即，在相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)22之間相鄰的噴嘴27之間的間隔W按照噴嘴27的排列間距D的整數(shù)倍的大小構(gòu)成。
另外，同時(shí)如圖1(b)所示，假設(shè)打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿噴頭換行方向Y的副掃描移動(dòng)間距為“P”，噴嘴27的恒定的排列間距為“D”時(shí)，設(shè)定P＝nD (式中，n為1以上的整數(shù))即，噴墨頭(液滴材料噴頭)22的副掃描的移動(dòng)間距P按照噴嘴27的排列間距D的整數(shù)倍構(gòu)成。
通過在相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)之間的噴嘴間隔W、副掃描移動(dòng)間距P、以及噴嘴的排列間距D之間設(shè)定上述的關(guān)系，在打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a的主掃描及副掃描時(shí)，能使噴嘴27準(zhǔn)確地與全部濾色元形成區(qū)域7相向，在它們上方通過，因此，能提高描繪效率，而且能在適當(dāng)?shù)奈恢脟娔?。而且由此能形成均勻平面形狀及均勻厚度的濾色元3、從而在基板2上形成像素。
圖2表示本發(fā)明的濾色片的制造方法的另一實(shí)施例的噴墨頭(液滴材料噴頭)22的使用方法。在該實(shí)施例中，一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22相對(duì)于噴頭換行方向Y分別傾斜角度θ排列。但θ是大于0°而小于180°的角度。
如果設(shè)噴嘴27的恒定的排列間距為“D”，則噴嘴27沿噴頭換行方向Y的排列間距為“Dcosθ”。另外，假設(shè)互相相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)22各自設(shè)置的多個(gè)噴嘴27中位于最端部、互相最接近的噴嘴之間的間隔為“W”時(shí)，設(shè)定W＝mDcosθ(式中，m為2以上的整數(shù))即，在相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)22之間相鄰的噴嘴27之間的噴頭換行方向的間隔W按照噴嘴27沿噴頭換行方向的排列間距Dcosθ的整數(shù)倍構(gòu)成。
另外，同時(shí)使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿噴頭換行方向Y的副掃描移動(dòng)間距P(參照?qǐng)D1(b))為噴嘴27沿噴頭換行方向Y的排列間距Dcosθ的整數(shù)倍，即P＝nDcosθ(式中，n為1以上的整數(shù))利用該結(jié)構(gòu)，即使在濾色元3(參照?qǐng)D1(a))之間的間隔(即，濾色元間距)和噴嘴排列間距D不同的情況下，也能設(shè)定得使噴墨頭(液滴材料噴頭)22的全部噴嘴27準(zhǔn)確地通過像素形成區(qū)域，因此，能使用全部噴嘴27將墨噴射到基板2上的適當(dāng)位置。而且由此能提高濾色片的像素形成效率、即描繪效率。
另外，在圖1或圖2所示的打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a中，一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22各自位于兩端部的一個(gè)以上的噴嘴27，例如兩端部各自一個(gè)噴嘴27也可以構(gòu)成得不將濾色材料噴射到基板2上的濾色元形成區(qū)域7中。
如果這樣做，則即使在噴墨頭(液滴材料噴頭)22沿噴嘴列28的墨噴射分布特性變化大的情況下，也能從該噴墨頭(液滴材料噴頭)22噴出適當(dāng)數(shù)量的墨，能在基板2內(nèi)的各自的濾色元形成區(qū)域7中配置具有均勻的平面形狀及厚度的濾色元。
假設(shè)，在使用沿圖26(a)所示的噴嘴列305的全部180個(gè)噴嘴304的情況下，由從端部的噴嘴304噴出的材料形成的濾色元303的厚度變厚，透射率或反射率下降，其結(jié)果是，在通過濾色片觀察的像中，有可能形成沿主掃描方向延伸的帶狀部分。
與此不同，如上所述，例如在圖1及圖2中，如果構(gòu)成得使兩端部的各自10個(gè)噴嘴27不噴射濾色材料，則噴嘴27的個(gè)數(shù)等同于(180-10-10)個(gè)＝160個(gè)進(jìn)行噴墨，各濾色元3變成具有均勻的平面形狀及厚度的濾色元，因此，所獲得的濾色片形成為光學(xué)上均勻的濾色片。
另外，在使用圖1或圖2所示的打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a在基板2上形成濾色元3的情況下，由R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))三種油墨構(gòu)成濾色材料時(shí)，能將一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22區(qū)分成三種，以便分別排列的全部多個(gè)噴嘴27只噴出R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三種油墨中的一種，形成對(duì)應(yīng)的一種顏色的濾色元3。
在此情況下，在打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a內(nèi)以規(guī)定的相鄰間隔排列一個(gè)以上的各個(gè)噴墨頭(液滴材料噴頭)22，同時(shí)通過由該打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a掃描基板2，在一次主掃描中能在基板2上同時(shí)形成對(duì)應(yīng)于R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))各色的濾色元3。因此，能提高像素形成效率、即描繪效率。
另外，在由R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三種油墨構(gòu)成濾色材料的情況下，能采用這樣的結(jié)構(gòu)在多個(gè)噴墨頭(液滴材料噴頭)22中的至少一個(gè)的內(nèi)部形成多個(gè)、例如三個(gè)獨(dú)立的流路，將R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三種油墨中的每一種不同的油墨分別導(dǎo)入這些流路的每一流路中。
在此情況下，能從同一噴墨頭(液滴材料噴頭)22內(nèi)的噴嘴27噴射不同顏色的油墨，采用該方法在一次主掃描中也能同時(shí)噴射R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))各色，能在基板2上同時(shí)形成對(duì)應(yīng)于各色的濾色元3。采用該方法也能提高像素形成效率、即描繪效率。
(濾色片的制造裝置的實(shí)施例)在圖1中，本發(fā)明的濾色片的制造裝置是制造將規(guī)定形狀及規(guī)定厚度的濾色元3，從而將像素配置在基板2上構(gòu)成的濾色片1的裝置。
圖1、圖8及圖9表示本發(fā)明的濾色片的制造裝置的一個(gè)實(shí)施例。這里所示的濾色片的控制裝置備有有多個(gè)噴嘴27的打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a(參照?qǐng)D1)；將濾色材料供給多個(gè)噴嘴27的濾色材料供給裝置(圖中未示出)；使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行主掃描的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19(參照?qǐng)D2及圖3)；使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行副掃描的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21(參照?qǐng)D2及圖3)；控制噴嘴27的工作的噴嘴噴射控制裝置(圖中未示出)；控制主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19的工作的主掃描控制裝置(圖中未示出)；以及控制副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21的工作的副掃描控制裝置(圖中未示出)。
在上述結(jié)構(gòu)中，將多個(gè)噴嘴27按照恒定的排列間距D排列成列狀的一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22，再將這樣的一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22按照規(guī)定的相鄰間隔排列起來形成打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a。另外，濾色材料供給裝置(圖中未示出)將濾色材料供給構(gòu)成打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a的多個(gè)噴嘴27。從這些噴嘴27將被供給的該濾色材料有選擇地噴射到基板2上的濾色元形成區(qū)域7中、從而噴射到像素形成區(qū)域中，形成濾色元3、從而形成像素。
主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿著作為恒定方向的噴頭掃描方向(即，圖1中的縱向X)移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行掃描。另外，副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿著噴頭換行方向Y按照規(guī)定的移動(dòng)間距P(參照?qǐng)D1(b))移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行副掃描。另外，圖中未示出的上述的噴嘴噴射控制裝置控制從多個(gè)噴嘴27噴射的濾色材料的噴射量及噴射時(shí)間。
在本實(shí)施例的濾色片的制造裝置中，使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿著作為恒定方向的噴頭掃描方向(即，圖1(a)中的縱向X)移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行主掃描。而且，與此同時(shí)，使其沿著噴頭換行方向Y按照規(guī)定的移動(dòng)間距P移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行副掃描。
在這些主掃描及副掃描期間，從一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22中排列的多個(gè)噴嘴27將濾色材料有選擇地噴射到基板2上的濾色元形成區(qū)域7中、從而噴射到像素形成區(qū)域中。另外，根據(jù)需要，多次反復(fù)進(jìn)行上述的主掃描及副掃描，使濾色材料以規(guī)定形狀及規(guī)定厚度附著在基板2上的濾色元形成區(qū)域7中、從而附著在像素形成區(qū)域中。因此，將規(guī)定形狀及規(guī)定厚度的濾色元3、從而將像素配置在基板2上。
另外，在本實(shí)施例的濾色片的制造裝置中，在圖1中，噴墨頭(液滴材料噴頭)22各自位于最端部的、同時(shí)最接近的噴嘴之間的相互間隔W為噴嘴27的排列間距D的整數(shù)倍，即W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))而且同時(shí)，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿噴頭換行方向Y的副掃描移動(dòng)間距為P為噴嘴27的恒定的排列間距D的整數(shù)倍，即P＝nD(式中，n為1以上的整數(shù))圖3表示本發(fā)明的濾色片的制造裝置中的打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a的一例。在該例中，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a有6個(gè)噴墨頭(液滴材料噴頭)22，在各個(gè)噴墨頭(液滴材料噴頭)22中形成由多個(gè)、例如12個(gè)噴嘴27形成的直線狀的噴嘴列28。噴嘴27的配置間距P3例如為141微米，噴嘴27的直徑D1例如為28微米，濾色元(從而，像素)的形成間距例如為141微米。
另外，如上所述，如圖2所示，噴墨頭(液滴材料噴頭)22能相對(duì)于噴頭換行方向Y分別傾斜θ角度設(shè)置排列。該角度θ是大于0°、而小于180°的角度。而且在此情況下，相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)22的相鄰的最端部的噴嘴27的相互間隔W為噴嘴27沿噴頭換行方向Y的排列間距Dcosθ的整數(shù)倍，即W＝mDcosθ(式中，m為2以上的整數(shù))而且同時(shí)，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿噴頭換行方向Y的副掃描移動(dòng)間距P(參照?qǐng)D1)為噴嘴27沿噴頭換行方向Y的排列間距Dcosθ的整數(shù)倍，即P＝nDcosθ(式中，n為1以上的整數(shù))圖4表示本發(fā)明的濾色片的制造裝置中的打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a的另一例。在該例中，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a有6個(gè)噴墨頭(液滴材料噴頭)22，在各個(gè)噴墨頭(液滴材料噴頭)22中設(shè)置由多個(gè)、例如12個(gè)噴嘴27形成的噴嘴列28。噴墨頭(液滴材料噴出噴頭)22以傾斜角度θ設(shè)置，該傾斜角度θ被設(shè)定為例如57.9°另外，噴嘴27的排列間距例如為141微米，噴嘴27的直徑例如為28微米，濾色元(從而，像素)的形成間距例如為75微米。
(濾色片的一例)以下，說明用本發(fā)明的濾色片的制造方法及其制造裝置制造的濾色片。圖5是表示該濾色片的平面形狀的平面圖，特別是(a)表示切取各個(gè)濾色片之前的母板總體，(b)表示被切取的一個(gè)濾色片。
圖6按照工序順序表示濾色片的制造工序，各圖相當(dāng)于沿圖5(b)中的VII-VII線的濾色片的剖面結(jié)構(gòu)的一部分。特別是在圖6中，(a)表示噴射濾色材料之前的狀態(tài)，(b)表示噴射濾色材料之后的狀態(tài)，(c)表示配置了濾色元的狀態(tài)，(d)表示再形成了保護(hù)膜后的狀態(tài)。
在圖5中，濾色片1這樣形成將多個(gè)濾色元3呈點(diǎn)狀圖形(在圖5(b)中，呈點(diǎn)陣狀)配置在由玻璃、塑料等構(gòu)成的長(zhǎng)方形的基板2的表面上，如圖6(d)所示，再將保護(hù)層4層疊在它上面。另外，圖5(b)表示將保護(hù)層4除去后的狀態(tài)的濾色片1。
如圖6(d)所示，在由間壁6劃分成的區(qū)域中形成濾色元3。利用沒有透光性的樹脂材料按照從圖6(a)中的箭噴頭B看將該間壁6形成為呈網(wǎng)格狀的圖形。利用該間壁6形成呈點(diǎn)陣狀排列的多個(gè)長(zhǎng)方形區(qū)域，通過用色材料埋在這些區(qū)域內(nèi)，形成濾色元3。
另外，這些濾色元3分別由R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))中的某一種顏色的濾色材料形成，按照規(guī)定的形態(tài)排列這些各色濾色元3。作為該排列，可以是圖7(a)～圖7(c)所示的條形排列、鑲嵌形排列及三角形排列等中的任意一種。
條形排列是矩陣的縱列全部呈同一種顏色的排列。鑲嵌形排列是在縱橫直線上排列的任意的三個(gè)濾色元呈R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三種顏色的排列。而三角形排列是使濾色元的配置有很大差異，任意相鄰的三個(gè)濾色元都呈R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三種顏色的排列。
在圖5(b)中，濾色片1的大小T 0例如為1.8英寸。另外，一個(gè)濾色元3的大小，例如為橫×縱＝L0×L1＝30微米×100微米。另外，各濾色元3之間的間隔(所謂的元之間的間距)P4例如為75微米。
另外，濾色片1的副掃描方向的間距最好為濾色元3的排列間距的整數(shù)倍。通過這樣構(gòu)成，能更有效地形成濾色元3。
在將這樣的濾色片1作為全色顯示用的光學(xué)要素使用的情況下，將R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三個(gè)濾色元3作為一個(gè)單元形成一個(gè)像素，有選擇地按一個(gè)像素內(nèi)的R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))中的任意一種或它們的組合使光通過，能進(jìn)行全色顯示。這時(shí)，由沒有透光性的樹脂材料形成的間壁6具有作為黑矩陣的功能。
例如，通過從圖5(a)所示的大面積的母基板12切取，能形成上述的濾色片1。具體地說，首先，在母基板12內(nèi)構(gòu)成的多個(gè)濾色片形成區(qū)域11的各自的表面上形成一個(gè)濾色片1部分的圖形，在這些濾色片形成區(qū)域11的周邊形成切斷用的溝槽，再通過沿這些溝槽切斷母基板12，能形成一個(gè)個(gè)濾色片1。
(濾色片的制造方法及其制造裝置的實(shí)施例)以下，以制造圖5(b)所示的濾色片1的情況為例，更具體地說明本發(fā)明的濾色片的制造方法及其制造裝置。另外，在圖6(a)中，利用沒有透光性的樹脂材料在母基板12的表面上形成從箭噴頭B的方向看呈網(wǎng)格狀圖形的間壁6。呈網(wǎng)格狀圖形的網(wǎng)格孔部分7是形成濾色元3的區(qū)域。從箭噴頭B的方向看時(shí)，由該間壁6形成的各個(gè)濾色元形成區(qū)域7的平面尺寸例如為橫×縱＝30微米×100微米左右。
間壁6同時(shí)具有阻止供給濾色元形成區(qū)域7的濾色材料的流動(dòng)功能及黑矩陣的功能。另外，用任意的構(gòu)圖法、例如光刻法形成間壁6，再根據(jù)需要，用加熱器加熱烘烤。
形成間壁6后，在圖6(b)中，通過將濾色材料的液滴8供給濾色元形成區(qū)域7，將濾色材料13充填在各濾色元形成區(qū)域7中。另外，在圖6(b)中，示出了使用R(紅)色的濾色材料13R、G(綠)色的濾色材料13G、和B(藍(lán))色的濾色材料13B的情況。
如果規(guī)定量的濾色材料13被充填在各濾色元形成區(qū)域7中，便利用加熱器將母基板12加熱到例如70℃左右，使濾色材料13中的溶劑蒸發(fā)。通過該蒸發(fā)，如圖6(c)所示，濾色材料13的體積減少。在體積急劇減少的情況下，在作為濾色片能獲得足夠的膜厚之前，反復(fù)進(jìn)行濾色材料13的液滴8的供給和該液滴8的加熱。通過以上的處理，最后只留下濾色材料13的固態(tài)部分而形成膜，因此，能形成所希望的各色濾色元3。
如上形成了濾色元3后，為了使這些濾色元3完全干燥，用規(guī)定的溫度進(jìn)行規(guī)定時(shí)間的加熱處理。然后，例如用旋轉(zhuǎn)涂敷法、輥涂法、割裂法等適當(dāng)?shù)姆椒ㄐ纬杀Ｗo(hù)膜4。形成該保護(hù)膜4主要是為了保護(hù)濾色元3等、以及使濾色片1的表面平坦化。
圖8表示進(jìn)行圖6(b)所示的濾色材料13的供給處理用的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)的一個(gè)實(shí)施例。該噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16是將R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))中的一種顏色、例如R色的濾色材料作為墨滴，噴射并附著在母基板12(參照?qǐng)D5(a))內(nèi)的各濾色片形成區(qū)域11內(nèi)的規(guī)定位置用的裝置。也能分別準(zhǔn)備G色的濾色材料及B色的濾色材料用的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)，它們的結(jié)構(gòu)與圖8所示的結(jié)構(gòu)相同。
在圖8中，噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16備有具有以規(guī)定的相鄰間隔排列一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22而成的打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a(參照?qǐng)D1)的噴頭單元26；控制打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a的位置的噴頭位置控制裝置17；控制母基板12的位置的基板位置控制裝置18；使噴墨頭(液滴材料噴頭)22對(duì)母基板12進(jìn)行主掃描移動(dòng)的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19；使噴墨頭(液滴材料噴頭)22對(duì)母基板12進(jìn)行副掃描移動(dòng)的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21；將母基板12供給噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16內(nèi)的規(guī)定的作業(yè)位置的基板供給裝置23；以及進(jìn)行噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16的全部控制的控制裝置24。
噴頭位置控制裝置17、基板位置控制裝置18、主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19、以及副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21等各裝置被設(shè)置在基座9上。另外，根據(jù)需要，用蓋14覆蓋這些裝置。
如圖10所示，噴墨頭(液滴材料噴頭)22例如有通過將多個(gè)噴嘴27排列成列狀而形成的噴嘴列28。噴嘴27的個(gè)數(shù)例如為180個(gè)，噴嘴27的孔徑D1例如為28微米，噴嘴27之間的噴嘴間距P3例如為141微米。另外，相對(duì)于圖5(a)及圖5(b)中的濾色片1及母基板12的噴頭掃描方向(即，主掃描方向)X及與其正交的副掃描方向Y，分別對(duì)應(yīng)于圖10中的X方向及Y方向。
另外，如圖11所示，也可以將噴嘴列28沿著噴頭掃描方向X設(shè)置兩列，利用載于同一主掃描線上的兩個(gè)噴嘴27，將濾色材料供給一個(gè)濾色元形成區(qū)域7。這時(shí)，噴嘴27的排列間距P3能設(shè)定為141微米左右。
另外，如圖12所示，也可以沿著噴頭掃描方向X設(shè)置兩列噴嘴列28，另外將多個(gè)噴嘴27設(shè)置成鋸齒狀，通過這些噴嘴27，將濾色材料供給濾色元形成區(qū)域7(參照?qǐng)D1(a))。另外，在此情況下如果使噴嘴27的排列間距D為141微米，則沿主掃描方向X延伸的多條掃描線之間的實(shí)際的間距P5為其一半即70.5微米。
另外，如圖13所示，沿噴頭掃描方向X設(shè)置多組相鄰的一對(duì)噴嘴列28，同時(shí)上述一對(duì)噴嘴列28中包括的多個(gè)噴嘴27排列成鋸齒狀，構(gòu)成噴墨頭(液滴材料噴頭)22，也可以用這些噴嘴27將濾色材料供給濾色元形成區(qū)域7。另外，在圖13中，畫出了兩組具有配置成鋸齒狀的噴嘴27的一對(duì)噴嘴列28。另外，雖然噴嘴27的排列間距D為141微米，但沿X方向延伸的主掃描線上的實(shí)際的間距P5為其一半即70.5微米。
另外，如圖14所示，也可以沿噴頭掃描方向X，各錯(cuò)開1/3間距設(shè)置3列噴嘴列28，將濾色材料供給濾色元形成區(qū)域7。在此情況下，雖然噴嘴27的排列間距D為141微米，但沿X方向延伸的主掃描線上的實(shí)際的間距P5為其三分之一即47微米。
如圖1所示，噴墨頭(液滴材料噴頭)22構(gòu)成為使該噴嘴列28位于與噴頭掃描方向X正交的方向，另外，隨著情況的不同，如圖2所示，設(shè)置成相對(duì)于與噴頭掃描方向X正交的方向傾斜規(guī)定的角度θ。該噴墨頭(液滴材料噴頭)22在沿噴頭掃描方向X平移期間，有選擇地從多個(gè)噴嘴27噴射濾色材料、即油墨，使濾色材料附著在母基板12(參照?qǐng)D5(a))內(nèi)的濾色元形成區(qū)域7(參照?qǐng)D6(a))中。另外，噴墨頭(液滴材料噴頭)22通過沿副掃描方向Y平移規(guī)定距離，能使噴墨頭(液滴材料噴頭)22的主掃描位置錯(cuò)開規(guī)定的間隔。噴墨頭(液滴材料噴頭)22例如有圖15(a)及圖15(b)所示的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。具體地說，噴墨頭(液滴材料噴頭)22例如有不銹鋼制的噴嘴板29；與其相向的振動(dòng)板31；以及將它們互相結(jié)合起來的多個(gè)隔離構(gòu)件32。在噴嘴板29和振動(dòng)板31之間，利用隔離構(gòu)件32形成多個(gè)墨室33和儲(chǔ)液器34。多個(gè)墨室33和儲(chǔ)液器34通過通路38互相連通。在振動(dòng)板31的適當(dāng)位置形成供墨孔36，供墨裝置37連接在該墨供給孔36上。該供墨裝置37將R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))中的一種顏色、例如R色的濾色材料M供給供墨孔36。被供給的濾色材料M被充填在儲(chǔ)液器34中，再通過通路38充填到墨室33中。
從墨室33呈射流狀噴射濾色材料M用的噴嘴27被設(shè)置在噴嘴板29上。另外，墨加壓體39對(duì)應(yīng)于墨室33被安裝在振動(dòng)板31上形成墨室33的面的背面。如圖15(b)所示，該墨加壓體39有壓電元件41、以及夾持它的一對(duì)電極42a及42b。壓電元件41通過向電極42a及42b通電，朝向箭噴頭C所示的外側(cè)突出而發(fā)生彎曲變形，從而增大墨室33的容積。于是，與增大的容積部分相當(dāng)?shù)臑V色材料M從儲(chǔ)液器34通過通路38流入墨室33。
其次，一旦解除向壓電元件41的通電，該壓電元件41和振動(dòng)板31都返回原來的形狀。因此，墨室33也返回原來的容積，所以處于墨室33內(nèi)部的濾色材料M的壓力上升，濾色材料M變成液滴8，從噴嘴27朝向母基板12(參照?qǐng)D5(a))噴射。另外，為了防止液滴8的行跡彎曲和噴嘴27的堵塞等，在噴嘴27的周邊部設(shè)有例如由Ni-四氟乙烯共析鍍層構(gòu)成的疏墨層43。
在圖9中，噴頭位置控制裝置17有使噴墨頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a在平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的α電動(dòng)機(jī)44；使噴墨頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a繞平行于副掃描方向Y的軸線擺動(dòng)旋轉(zhuǎn)的β電動(dòng)機(jī)46；使噴墨頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a繞平行于噴頭掃描方向X的軸線擺動(dòng)旋轉(zhuǎn)的γ電動(dòng)機(jī)47；以及使噴墨頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿上下方向平移的Z電動(dòng)機(jī)48。
如圖9所示，圖8所示的基板位置控制裝置18有承載母基板12的工作臺(tái)49；以及使該工作臺(tái)49沿箭噴頭θ在平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的θ電動(dòng)機(jī)51。另外，如圖9所示，圖8所示的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19有沿主掃描方向X延伸的導(dǎo)軌52；以及內(nèi)部裝有脈沖驅(qū)動(dòng)的線性電動(dòng)機(jī)的滑塊53。內(nèi)部安裝的線性電動(dòng)機(jī)工作時(shí)，滑塊53沿導(dǎo)軌52朝向主掃描方向X平移。
另外，如圖9所示，圖8所示的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21有沿副掃描方向Y延伸的導(dǎo)軌54；以及內(nèi)置脈沖驅(qū)動(dòng)的線性電動(dòng)機(jī)的滑塊56。內(nèi)置的線性電動(dòng)機(jī)工作時(shí)，滑塊56沿導(dǎo)軌54朝向副掃描方向Y平移。
在滑塊53或滑塊56內(nèi)，脈沖驅(qū)動(dòng)的線性電動(dòng)機(jī)根據(jù)供給電動(dòng)機(jī)的脈沖信號(hào)，能精確地進(jìn)行輸出軸的旋轉(zhuǎn)角度控制，因此，能高度精確地控制支撐在滑塊53上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22在噴頭掃描方向X上的位置、以及工作臺(tái)49在副掃描方向Y上的位置等。
另外，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a和工作臺(tái)49的位置控制不只是使用脈沖電動(dòng)機(jī)進(jìn)行的位置控制，也可以采用使用伺服電動(dòng)機(jī)的反饋控制、或其他任意的控制方法。
圖8所示的基板供給裝置23有收容母基板12的基板收容部57；以及輸送母基板12的機(jī)械手58。機(jī)械手58有設(shè)置在地板、地面等設(shè)置面上的基座59；相對(duì)于基座59升降移動(dòng)的升降軸61；以升降軸61為中心旋轉(zhuǎn)的第一臂62；相對(duì)于第一臂62旋轉(zhuǎn)的第二臂63；以及設(shè)置在第二臂63的前端下面的吸附墊64。吸附墊64利用空氣吸引等，能吸附母基板12。
在圖8中，壓蓋裝置76及清洗裝置77配置在由主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19驅(qū)動(dòng)進(jìn)行主掃描移動(dòng)的打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a的軌跡下方、且在副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21的一側(cè)位置上。另外，電子天平78配置在另一側(cè)位置上。清洗裝置77是用來清洗噴墨頭(液滴材料噴頭)22的裝置。電子天平78是對(duì)每個(gè)噴嘴測(cè)定從噴墨頭(液滴材料噴頭)22內(nèi)的各個(gè)噴嘴27(參照?qǐng)D10)噴射的墨滴的重量的裝置。而且，壓蓋裝置76是用來防止噴墨頭(液滴材料噴頭)22處于等待狀態(tài)時(shí)噴嘴27(參照?qǐng)D10)干燥的裝置。
噴頭用攝像機(jī)81以與打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a一體移動(dòng)的關(guān)系配置在該打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a的附近。另外，支撐在被設(shè)置在基座9上的支撐裝置(圖中未示出)上的基板用攝像機(jī)82配置在能對(duì)母基板12進(jìn)行攝像的位置上。
圖8所示的控制裝置24有收容了處理機(jī)的計(jì)算機(jī)本體部66；作為輸入裝置的鍵盤67；以及作為顯示裝置的CRT(陰極射線管)顯示器68。如圖17所示，上述處理機(jī)有進(jìn)行運(yùn)算處理的CPU(中央處理裝置)69；以及存儲(chǔ)各種信息的作為信息存儲(chǔ)媒體的存儲(chǔ)器71。
如圖17所示，驅(qū)動(dòng)圖8所示的噴頭位置控制裝置17、基板位置控制裝置18、主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19、副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21、以及噴墨頭(液滴材料噴頭)22內(nèi)的壓電元件41(參照?qǐng)D15(b))的噴頭驅(qū)動(dòng)電路72的各裝置通過輸入輸出接口73及總線74連接在CPU69上。另外，基板供給裝置23、輸入裝置67、顯示器68、電子天平78、清洗裝置77及壓蓋裝置76等各裝置也通過輸入輸出接73及總線74連接在CPU69上。
存儲(chǔ)器71是包含RAM(隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)、ROM(只讀存儲(chǔ)器)等半導(dǎo)體存儲(chǔ)器、或硬盤、CD-ROM讀取裝置、盤型存儲(chǔ)媒體等外部存儲(chǔ)裝置等的概念，在功能上有以下存儲(chǔ)區(qū)記述了噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16的工作控制順序的存儲(chǔ)程序軟件的存儲(chǔ)區(qū)；將實(shí)現(xiàn)圖7所示的R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))的各種排列用的R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))中的一種顏色(例如，R1色)以母基板12(參照?qǐng)D15(a))內(nèi)的噴出位置作為坐標(biāo)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)起來用的存儲(chǔ)區(qū)；存儲(chǔ)沿圖9中的副掃描方向Y的母基板12的副掃描移動(dòng)量用的存儲(chǔ)區(qū)；具有作為CPU69用的工作區(qū)或臨時(shí)文件等的功能的區(qū)域；以及其他各種存儲(chǔ)區(qū)。
CPU69根據(jù)存儲(chǔ)器71內(nèi)存儲(chǔ)的程序軟件，進(jìn)行將濾色材料、即油墨噴射到母基板12的表面上規(guī)定的位置用的控制，作為具體的功能實(shí)現(xiàn)部，有進(jìn)行實(shí)現(xiàn)清洗處理用的運(yùn)算的清洗運(yùn)算部；進(jìn)行實(shí)現(xiàn)壓蓋處理用的運(yùn)算的壓蓋運(yùn)算部；進(jìn)行實(shí)現(xiàn)用電子天平78(參照?qǐng)D8)進(jìn)行的重量測(cè)定用的運(yùn)算的重量測(cè)定運(yùn)算部；以及進(jìn)行通過噴墨描繪濾色材料用的運(yùn)算的描繪運(yùn)算部。
描繪運(yùn)算部有將打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a設(shè)定描繪的初始位置用的描繪開始位置運(yùn)算部；運(yùn)算使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿噴頭掃描方向X以規(guī)定的速度進(jìn)行掃描移動(dòng)用的控制的主掃描控制運(yùn)算部；運(yùn)算使母基板12沿副掃描方向Y按照規(guī)定的副掃描移動(dòng)間距錯(cuò)開副掃描量用的控制的副掃描控制運(yùn)算部；以及進(jìn)行控制使噴墨頭(液滴材料噴頭)22內(nèi)的多個(gè)噴嘴27中的某一個(gè)工作，噴射油墨即濾色材料用的運(yùn)算的噴嘴噴出控制運(yùn)算部等各種功能運(yùn)算部。
另外，在采用不使用CPU的單獨(dú)的邏輯電路或電子電路實(shí)現(xiàn)上述的各種功能的一部分或全部，來代替使用CPU69以軟件實(shí)現(xiàn)上述的各種功能的一部分或全部的情況下，能代替CPU69或除了CPU69以外，使用這樣的電子電路等。
以下，根據(jù)圖18所示的流程圖說明如上構(gòu)成的圖8中的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16的工作。
操作人員將電源接通后，噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16一旦開始工作，首先，在步驟S1中進(jìn)行初始設(shè)定。具體地說，將噴頭單元26、基板供給裝置23、以及控制裝置24等設(shè)置成預(yù)定的初始狀態(tài)。
其次，如果到達(dá)重量測(cè)定時(shí)刻(在步驟S2中，是)，則由主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19將圖9所示的噴頭單元26移動(dòng)到圖8所示的電子天平78的位置(步驟S3)，用電子天平78對(duì)全部噴嘴27中的每一個(gè)測(cè)定從噴嘴27噴射的墨量(步驟S4)。然后，與噴嘴27的墨噴射特性一致地調(diào)節(jié)加在對(duì)應(yīng)于各噴嘴27的壓電元件41上的電壓(步驟S5)。
其次，如果到達(dá)清洗時(shí)刻(在步驟S6中，是)，則由主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19將噴頭單元26移動(dòng)到清洗裝置77的位置(步驟S7)，利用該清洗裝置77對(duì)噴墨頭(液滴材料噴頭)22進(jìn)行清洗(步驟S8)。
在未到達(dá)重量測(cè)定時(shí)刻或清洗時(shí)刻的情況下(在步驟S2及S6中，否)，或者在這些處理結(jié)束了的情況下，在步驟S9中，使圖8所示的基板供給裝置23工作，將母基板12供給工作臺(tái)49。具體地說，用吸附墊64吸引并保持基板收容部57內(nèi)的母基板12，其次，移動(dòng)升降軸61、第一臂62及第二臂63，將母基板12輸送到工作臺(tái)49上，再接觸到預(yù)先設(shè)置在工作臺(tái)49的適當(dāng)位置的定位銷50(參照?qǐng)D9)上。另外，為了防止工作臺(tái)49上的母基板12的位置偏移，最好利用空氣吸引等方法，將母基板12固定在工作臺(tái)49上。
其次，利用圖8所示的基板用攝像機(jī)82，一邊觀察母基板12，一邊以微小的角度單位旋轉(zhuǎn)圖9所示的θ電動(dòng)機(jī)51的輸出軸，借以使工作臺(tái)49以微小的角度單位在平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，對(duì)母基板12進(jìn)行定位(步驟S10)。其次，利用圖8所示的噴頭用攝像機(jī)81，一邊觀察母基板12，一邊通過運(yùn)算確定由噴墨頭(液滴材料噴頭)22開始描繪的位置(步驟S11)，然后，使主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19及副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21適當(dāng)?shù)毓ぷ?，使噴墨頭(液滴材料噴頭)22向描繪開始位置移動(dòng)(步驟S12)。
這時(shí)，最好如圖2所示設(shè)置打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a，以便多個(gè)噴嘴27、從而噴嘴列28相對(duì)于打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a的副掃描方向Y以角度θ傾斜。這是出于以下目的而采取的措施在通常的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16的情況下，作為相鄰的噴嘴27之間的間隔的噴嘴間距D和作為相鄰的濾色元3即濾色元形成區(qū)域7之間的間隔的元件間距多半不同，在使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿噴頭掃描方向X移動(dòng)時(shí)，在幾何學(xué)上使噴嘴間距D在副掃描方向Y上的尺寸分量與元件間距相等。
在圖18所示的步驟S12中，噴墨頭(液滴材料噴頭)22被置于描繪開始位置，然后，在圖18所示的步驟S13中，開始進(jìn)行沿噴頭掃描方向X的主掃描，同時(shí)開始噴墨。具體地說，圖9所示的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置19工作后，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿噴頭掃描方向X以恒定的速度進(jìn)行直線掃描移動(dòng)，在該移動(dòng)中，應(yīng)供墨的對(duì)應(yīng)于濾色元形成區(qū)域7的噴嘴27到達(dá)時(shí)，從該噴嘴27噴出濾色材料、即油墨。
另外，這時(shí)的噴墨量不是將濾色元形成區(qū)域7的全部容積掩埋的量，而是其總量的數(shù)分之一，具體地說，是總量的1/4的量。如后面所述，這是因?yàn)橐揽繌膰娮?7的一次噴墨不能將各濾色元形成區(qū)域7掩埋，最好通過數(shù)次重復(fù)噴墨、例如4次重復(fù)噴射，將容積全部掩埋。
如果打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a對(duì)母基板12的一行部分的主掃描結(jié)束(在步驟S14中，是)，便反轉(zhuǎn)移動(dòng)，返回初始位置(參照?qǐng)D1(a))(步驟S15)。然后，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a被副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21驅(qū)動(dòng)，沿副掃描方向Y移動(dòng)預(yù)定的副掃描移動(dòng)間距P(步驟S16)。
朝向圖1(b)所示的位置進(jìn)行副掃描移動(dòng)的打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a在步驟S13中反復(fù)進(jìn)行主掃描移動(dòng)及噴墨。另外，此后，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a一邊反復(fù)進(jìn)行副掃描移動(dòng)一邊反復(fù)進(jìn)行主掃描移動(dòng)及噴墨(步驟S13～步驟S16)，因此，母基板12的濾色元形成區(qū)域11的1列部分的油墨附著處理結(jié)束。
另外，在本實(shí)施例中，接受多次、例如4次噴墨處理，規(guī)定量即規(guī)定膜厚的油墨即濾色材料被全量供給該全部容積內(nèi)。
另外，噴嘴列28依次進(jìn)行副掃描移動(dòng)時(shí)，各位置的噴嘴列28與其他位置的噴嘴列28沿副掃描方向Y不重疊、但各位置之間的噴嘴列28沿副掃描方向Y連續(xù)地進(jìn)行副掃描移動(dòng)。因此，噴出的濾色材料的厚度均勻。
以上，如果圖5(a)所示的母基板12內(nèi)的濾色片形成區(qū)域11的1列部分的噴墨結(jié)束，則噴墨頭(液滴材料噴頭)22由副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21驅(qū)動(dòng)，而被輸送到下一列的濾色片形成區(qū)域11的初始位置(步驟S19)，對(duì)列的濾色片形成區(qū)域11反復(fù)進(jìn)行主掃描、副掃描及噴墨，在濾色元形成區(qū)域7內(nèi)形成濾色元(步驟S13～S16)。
此后，如果在母基板12內(nèi)的全部濾色片形成區(qū)域11內(nèi)形成了R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))的一種顏色、例如R1色的濾色元3(在步驟S17及S18中，是)，則在步驟20中利用基板供給裝置23或另外的輸送裝置，將處理后的母基板12排出到外部。
此后，只要操作人員未進(jìn)行處理結(jié)束的指示(在步驟S21中，否)，便返回步驟S2，對(duì)另一母基板12反復(fù)進(jìn)行R1色的噴墨附著作業(yè)。
如果有來自操作人員的作業(yè)結(jié)束的指示(在步驟S21中，是)，在圖8中CPU69將打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a輸送到壓蓋裝置76的位置，用該壓蓋裝置76對(duì)打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a進(jìn)行壓蓋處理(步驟S22)。
以上，構(gòu)成濾色片的R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三色中的第一色、例如R色的構(gòu)圖結(jié)束，此后，將母基板12輸送給以R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))中的第二色、例如G色為濾色材料的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16，進(jìn)行G色的構(gòu)圖，最后再輸送給以R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))中的第三色、例如B色為濾色材料的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16，進(jìn)行B色的構(gòu)圖。因此，能制造形成了多個(gè)具有條形排列等所希望的R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))色的點(diǎn)排列的濾色片1(參照?qǐng)D5(b))的母基板12。
另外，在為了將濾色片1用于液晶顯示裝置的彩色顯示的情況下，再在濾色片1的表面上層疊電極和取向膜等。在這樣的情況下，如果在層疊電極和取向膜等之前將母基板12切斷，切出一個(gè)個(gè)的濾色片1，則在以后的電極等的形成工序中非常麻煩。于是，在這樣的情況下，在母基板12上完成了濾色片1之后，不要立刻切斷母基板12，最好在電極形成和取向膜形成等必要的附加工序結(jié)束后再切斷母基板12。
如上所述，圖5(b)所示的濾色片1內(nèi)的各個(gè)濾色元3不是由噴墨頭(液滴材料噴頭)22沿X方向進(jìn)行一次主掃描形成的，而是每一個(gè)濾色元3由屬于不同的噴嘴組的多個(gè)噴嘴27重復(fù)n次、例如4次接受噴墨，以規(guī)定的膜厚而形成的。因此，假設(shè)在多個(gè)噴嘴27之間即使噴墨量存在離散的情況下，也能在多個(gè)濾色元3之間防止膜厚發(fā)生離散，因此，能使濾色片的光透射特性在平面上變得均勻。
另外，如上所述，形成噴墨頭(液滴材料噴頭)22的噴嘴列28的多個(gè)噴嘴27的噴墨量的分布變得不均勻，另外，特別是存在于噴嘴列28的兩端部的一個(gè)以上(例如，一端各10個(gè))的噴嘴27特別對(duì)應(yīng)于增大噴墨量，如圖16所示，形成噴墨頭(液滴材料噴頭)22的多個(gè)噴嘴27中存在于噴嘴列28的兩端部E的一個(gè)以上(例如10個(gè)左右)最好預(yù)先構(gòu)成為不使油墨噴出。例如，在噴嘴27的個(gè)數(shù)為180個(gè)的情況下，使施加電壓等帶有條件，以便兩端各10個(gè)、合計(jì)20個(gè)噴嘴27不噴墨，能用剩余的中央部的160個(gè)噴墨。
在以上的說明中，雖然在圖6中使用不透光性的樹脂材料作為間壁6，但也可以使用透光性的樹脂材料作為間壁6。在此情況下，也可以在濾色元3之間對(duì)應(yīng)的位置、例如間壁6的上面或間壁6的下面另外設(shè)置遮光性的金屬膜或樹脂材料作為黑掩模。
另外，作為濾色元3雖然使用了R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))等顏色，但不限于R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))，例如也可以使用C(深藍(lán))、M(深紅)、Y(黃)等顏色。在此情況下，可用具有C、M、Y等色的濾色材料代替R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))色的濾色材料。
在以上的說明中，雖然采用光刻法形成了間壁6，但與濾色片3一樣，也可以采用噴墨法形成。
(噴墨頭(液滴材料噴頭)的變例)圖19表示本發(fā)明的濾色片的制造方法及制造裝置的另一實(shí)施例中使用的噴墨頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22A。該噴墨頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22A與圖10所示的噴墨頭(液滴材料噴頭)22不同的地方在于在一個(gè)噴墨頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22A上形成噴射R色油墨的噴嘴列28R、噴射G色油墨的噴嘴列28G、以及噴射B色油墨的噴嘴列28B這樣三種噴嘴列，在這三種的每一種中設(shè)有圖15(a)及圖15(b)所示的噴墨系統(tǒng)，將R供墨裝置37R連接在對(duì)應(yīng)于R色噴嘴列28R的噴墨系統(tǒng)上，將G供墨裝置37G連接在對(duì)應(yīng)于G色噴嘴列28G的噴墨系統(tǒng)上，以及將B供墨裝置37B連接在對(duì)應(yīng)于B色噴嘴列28B的噴墨系統(tǒng)上。
(濾色片的制造方法及制造裝置的變例)另外，例如在以上說明的濾色片的制造方法及制造裝置的實(shí)施例中，如圖5(a)所示，雖然舉例示出了在母基板12中構(gòu)成多列濾色片形成區(qū)域11，用比這些濾色片形成區(qū)域11小的噴墨頭(液滴材料噴頭)22，在各濾色片形成區(qū)域11內(nèi)形成濾色元3的情況，但也可以使用其長(zhǎng)度比一個(gè)濾色片形成區(qū)域11的一邊長(zhǎng)、但比母基板12的一邊短的噴嘴列28，在一塊母基板12內(nèi)形成濾色元3。
另外，雖然舉例示出了在母基板12中構(gòu)成多列濾色片形成區(qū)域11的情況，但也可以在母基板12中構(gòu)成一列濾色片形成區(qū)域11。另外，也可以在該母基板12中構(gòu)成其大小與母基板12大致相同或比它小得多的一個(gè)濾色片形成區(qū)域11。
另外，在圖8及圖9所示的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16中，雖然使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿X方向移動(dòng)，對(duì)基板12進(jìn)行主掃描，利用副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21使基板12沿Y方向移動(dòng)，由打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a對(duì)基板12進(jìn)行副掃描，但也可以相反，通過使基板12沿Y方向移動(dòng)，進(jìn)行主掃描，通過使噴墨頭(液滴材料噴頭)22沿X方向移動(dòng)，進(jìn)行副掃描。
(液晶顯示裝置的制造方法)圖20用工序圖表示本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法的一個(gè)實(shí)施例。另外，圖21表示利用該制造方法制造的液晶顯示裝置的一例。另外，圖22表示沿圖21中的X-X線的液晶顯示裝置的剖面結(jié)構(gòu)。
另外，這里說明的液晶顯示裝置是用簡(jiǎn)單矩陣方式進(jìn)行全色顯示的半透射反射方式的液晶顯示裝置。
在圖21中，液晶顯示裝置101這樣形成將作為半導(dǎo)體芯片的驅(qū)動(dòng)用IC103a及103b安裝在液晶面板102上，將作為布線連接元件的FPC(柔性印刷電路)104連接在液晶面板102上，再將照明裝置106設(shè)置在液晶面板102的背面作為背光。
利用密封材料108使第一基板107a和第二基板107b貼合在一起形成液晶面板102。例如，利用絲網(wǎng)印刷等方法，使環(huán)氧類樹脂呈環(huán)狀附著在第一基板107a或第二基板107b的內(nèi)側(cè)表面上，形成密封材料108。另外，如圖22所示，在密封材料108內(nèi)部含有呈分散狀態(tài)的由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的球狀或圓筒狀的導(dǎo)通材料109。
如圖22所示，第一基板107a有由透明的玻璃或透明的塑料等形成的板狀的基體材料111a。在該基體材料111a的內(nèi)側(cè)表面(圖22中的上側(cè)表面)上形成反射膜112，在它上面層疊絕緣膜113，在絕緣膜113上形成第一電極114a，從箭噴頭D方向看，該第一電極114a呈條狀(參照?qǐng)D21)，再在第一電極114a上形成取向膜116a。另外，利用粘貼等方法將偏振片117a貼裝在基體材料111a的外側(cè)表面(圖22的下側(cè)表面)上。
在圖21中，為了容易明白地表示第一電極114a的排列情況，將這些條間隔描繪成比實(shí)際的寬度大，因此，描繪出的第一電極114a的條數(shù)少，但實(shí)際上在基體材料111a上能形成更多條的第一電極114a。
在圖22中，第二基板107b有由透明的玻璃或透明的塑料等形成的板狀的基體材料111b。在該基體材料111b的內(nèi)側(cè)表面(圖22中的下側(cè)表面)上形成濾色片118，在它上面形成第二電極114b，從箭噴頭D方向沿著與上述第一電極114a正交的方向看，該第二電極114b呈條狀(參照?qǐng)D21)，再在第二電極114b上形成取向膜116b。另外，利用粘貼等方法將偏振片117b安裝在基體材料111b的外側(cè)表面(圖22的上側(cè)表面)上。
在圖21中，為了容易明白地表示第二電極114b的排列情況，與第一電極114a的情況相同，將這些條間隔描繪得比實(shí)際的寬度大，因此，描繪出的第二電極114b的條數(shù)少，但實(shí)際上在基體材料111b上能形成更多條的第二電極114b。
在圖22中，液晶，例如STN(超扭曲向列)液晶被封入由第一基板107a、第二基板107b及密封材料108包圍的間隙(所謂的盒隙)內(nèi)。許多微小的球形襯墊119分散在第一基板107a或第二基板107b的內(nèi)側(cè)表面上，由于在盒隙內(nèi)存在這些襯墊119，所以能均勻地維持該盒隙的厚度。
第一電極114a與第二電極114b互相正交地配置，從圖22中的箭噴頭D的方向看，它們的交叉點(diǎn)排列成點(diǎn)陣狀。而且，該點(diǎn)陣狀的各交叉點(diǎn)構(gòu)成一個(gè)顯示點(diǎn)。從箭噴頭D方向看，將R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))的各色元排列成規(guī)定的圖形、例如條形排列、三角形排列、鑲嵌形排列等圖形，形成濾色片118。上述的一個(gè)顯示點(diǎn)對(duì)應(yīng)于這些R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))中的各一種顏色，而且R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))的三色顯示點(diǎn)成為一個(gè)單元，構(gòu)成一個(gè)像素。
通過有選擇地使排列成點(diǎn)陣狀的多個(gè)顯示點(diǎn)(從而使像素)發(fā)光，能在液晶面板102的第二基板107b的外側(cè)顯示文字、數(shù)字等的像。能這樣顯示像的區(qū)域是有效像素區(qū)域，在圖21及圖22中，用箭噴頭V表示的平面上的矩形區(qū)域成為該有效顯示區(qū)域V。
在圖22中，反射膜112例如由APC合金、Al(鋁)等光反射性材料形成，在對(duì)應(yīng)于作為第一電極114a與第二電極114b的交叉點(diǎn)的各顯示點(diǎn)的位置處形成開口121。結(jié)果，從圖22中的箭噴頭D方向看，開121與顯示點(diǎn)相同，排列成點(diǎn)陣狀。
第一電極114a及第二電極114b例如由作為透明材料的ITO形成。另外，通過使聚酰亞胺類樹脂附著成均勻厚度的膜狀，形成取向膜116a及116b。通過對(duì)這些取向膜116a及116b進(jìn)行摩擦處理，決定第一基板107a及第二基板107b的表面上的液晶分子的初始取向。
在圖21中，第一基板107a形成為比第二基板107b的面積大，用密封材料108使這些基板貼合在一起時(shí)，第一基板107a具有伸出到第二基板107b的外側(cè)的伸出部107c。而且，在該伸出部107c上以適當(dāng)?shù)臉?gòu)圖從第一電極114a延伸的引線114c；通過存在于密封材料108內(nèi)部的導(dǎo)通材料109(參照?qǐng)D22)，與第二基板107b上的第二電極114b導(dǎo)通的引線114d；連接在驅(qū)動(dòng)用IC103a的輸入用凸點(diǎn)(即，輸入用端子)上的金屬布線114e；以及連接在驅(qū)動(dòng)用IC103b的輸入用凸點(diǎn)上的金屬布線114f等各種布線。
從第一電極114a延伸的引線114c及與第二電極114b導(dǎo)通的引線114d用與這些電極的材料相同的ITO即導(dǎo)電性氧化物形成。另外，作為驅(qū)動(dòng)用IC103a及103b的輸入側(cè)布線的金屬布線114e及114f由電。阻值低的金屬材料、例如APC合金形成。APC合金是主要含Ag、附帶含有Pd及Cu的合金，例如是由Ag98％、Pd1％、Cu1％構(gòu)成的合金。
驅(qū)動(dòng)用IC103a及驅(qū)動(dòng)用IC103b利用ACF(各向異性導(dǎo)電膜)122粘接安裝在伸出部107c的表面上。即，在本實(shí)施例中，形成半導(dǎo)體芯片被直接安裝在基板上的結(jié)構(gòu)的所謂的COG(芯片鍵合在玻璃上)方式的液晶面板。在該COG方式的安裝結(jié)構(gòu)中，利用ACF122內(nèi)部含有的導(dǎo)電粒子，將驅(qū)動(dòng)用IC103a及103b的輸入側(cè)凸點(diǎn)和金屬布線114e及114f導(dǎo)電性地連接起來，將驅(qū)動(dòng)用IC103a及103b的輸出側(cè)凸點(diǎn)和引線114c及114d導(dǎo)電性地連接起來。
在圖21中，F(xiàn)PC104有柔性樹脂膜123、含有芯片部件124而構(gòu)成的電路126、以及金屬布線端子127。電路126利用焊接及其他導(dǎo)電性連接方法直接安裝在樹脂膜123的表面上。另外，金屬布線端子127由APC合金、Cr、Cu及其他導(dǎo)電材料形成。FPC104中形成了金屬布線端子127的部分利用ACF122連接在第一基板107a中形成了金屬布線114e及金屬布線114f的部分上。而且，利用ACF122內(nèi)部含有的導(dǎo)電粒子的作用，基板側(cè)的金屬布線114e及114f與FPC側(cè)的金屬布線端子127導(dǎo)通。
在FPC104的相反一側(cè)的邊端部形成外部連接端子131，該外部連接端子131連接在圖中未示出的外部電路上。而且，根據(jù)從該外部電路傳輸?shù)男盘?hào)，驅(qū)動(dòng)供驅(qū)動(dòng)用的IC103a及103b，將掃描信號(hào)供給第一電極114a及第二電極114b兩方中的一方，將數(shù)據(jù)信號(hào)供給另一方。由此，對(duì)有效顯示區(qū)域V內(nèi)呈點(diǎn)陣狀排列的每個(gè)顯示點(diǎn)施加的電壓分別進(jìn)行控制，其結(jié)果是，對(duì)各個(gè)顯示點(diǎn)控制液晶L的取向。
在圖21中，具有所謂背光功能的照明裝置106如圖22所示，有由丙烯酸樹脂等構(gòu)成的導(dǎo)光體132；設(shè)置在該導(dǎo)光體132的光出射面132b上的漫射片133；設(shè)置在導(dǎo)光體132的光出射面132b的相反一側(cè)的面上的反射片134；以及作為光源的LED(發(fā)光二極管)136。
LED136被支撐在LED基板137上，該LED基板137例如被安裝在與導(dǎo)光體132一體形成的支撐部(圖中未示出)上。通過將LED基板137安裝在支撐部的規(guī)定位置，能使LED136位于與作為導(dǎo)光體132的側(cè)邊端面的光取入面132a相向的位置。另外，符號(hào)138表示使加在液晶面板102上的沖擊得到緩沖用的緩沖材料。
LED136一旦發(fā)光，便從光取入面132a取入該光，并導(dǎo)入導(dǎo)光體132的內(nèi)部，在反射片134或?qū)Ч怏w132的壁面上一邊反射一邊傳播，在此期間從光出射面132b通過漫射片133，作為平面光出射到外部。
由于本實(shí)施例的液晶顯示裝置101按如上方式構(gòu)成，所以在太陽光、室內(nèi)光等外部光充分明亮的情況下，在圖22中，外部光從第二基板107b一側(cè)被取入液晶面板102的內(nèi)部，該光通過液晶L后，在反射膜112上反射，再供給液晶L。液晶L利用夾持它的電極114a及114b對(duì)R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))各色的每個(gè)顯示點(diǎn)進(jìn)行取向控制，因此，被供給液晶L的光對(duì)每個(gè)顯示點(diǎn)進(jìn)行調(diào)制，通過該調(diào)制，利用通過偏振片117b的光和不通過它的光，在液晶面板102的外部顯示文字、數(shù)字等的像。因此，能進(jìn)行反射型的顯示。
另一方面，在不能充分地獲得外部光的光量的情況下，LED136發(fā)光，平面光從導(dǎo)光體132的光出射面132b出射，該光通過反射膜112上所形成的開口121被供給液晶L。這時(shí)，與反射型的顯示相同，利用由所供給的光進(jìn)行取向控制的液晶L對(duì)每個(gè)顯示點(diǎn)進(jìn)行調(diào)制，因此，能向外部顯示像。由此進(jìn)行透射型的顯示。
上述構(gòu)成的液晶顯示裝置101能采用本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法及制造裝置制造，具體地說，能采用圖20中所示的制造方法制造。在該制造方法中，從工序P1到工序P6的一系列工序是形成第一基板107a的工序，從工序P11到工序P14的一系列工序是形成第二基板107b的工序。第一基板形成工序和第二基板形成工序通常能分別獨(dú)自地進(jìn)行。
首先，在第一基板形成工序中，利用光刻法等在由透光性玻璃、透光性塑料等形成的大面積的母原料基體材料的表面上形成液晶面板102的多個(gè)部分的反射膜112，再用眾所周知的成膜方法，在它上面形成絕緣膜113(工序P1)，其次，用光刻法等形成第一電極114a及布線114c、114d、114e、114f(工序P2)。
其次，通過涂敷、印刷等，在第一電極114a上形成取向膜116a(工序P3)，再通過對(duì)該取向膜116a進(jìn)行摩擦處理，決定液晶的初始取向(工序P4)。其次，例如通過絲網(wǎng)印刷等呈環(huán)狀地形成密封材料108(工序P5)，再將球狀的襯墊119分散在它上面(工序P6)。通過以上處理，形成液晶面板102的第一基板107a上的具有多個(gè)面板圖形部分的大面積的第一母基板。
與以上的第一基板形成工序不同，實(shí)施第二基板形成工序(圖20中的工序P11至工序P14)。首先，準(zhǔn)備由透光性玻璃、透光性塑料等形成的大面積的母原料基體材料，在其表面上形成液晶面板102的多個(gè)部分的濾色片118(工序P11)。采用圖6所示的制造方法進(jìn)行該濾色片的形成工序，該制造方法中的R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))各色濾色元的形成采用圖8所示的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16進(jìn)行。這些濾色片的制造方法及噴墨頭(液滴材料噴頭)的控制方法與已經(jīng)說明過的內(nèi)容相同。
如圖6(d)所示，在母基板12即母原料基體材料上形成了濾色片1、即濾色片118之后，接著，采用光刻法形成第二電極114b(工序P12)，再通過涂敷、印刷等形成取向膜116b(工序P13)，再對(duì)該取向膜116b進(jìn)行摩擦處理，決定液晶的初始取向(工序P14)。通過以上處理，形成液晶面板102的第二基板107b上的具有多個(gè)面板圖形部分的大面積的第二母基板。
以上形成了大面積的第一母基板及第二母基板后，將密封材料108夾在這些母基板之間并進(jìn)行對(duì)位后互相貼合在一起(工序P21)。因此，能形成含有液晶面板多個(gè)部分的面板部分、還有未封入液晶的狀態(tài)的空的面板結(jié)構(gòu)體。
其次，在完成了的空的面板結(jié)構(gòu)體的規(guī)定位置處形成劃線溝槽、即切斷用溝槽，再以該劃線溝槽為基準(zhǔn)，將面板結(jié)構(gòu)體裂開，即切斷(工序P22)。因此，形成各液晶面板部分的密封材料108的液晶注入用開口110(參照?qǐng)D21)向外部露出的狀態(tài)的呈所謂長(zhǎng)條形的空面板結(jié)構(gòu)體。
此后，通過露出的液晶注入用開口110將液晶L注入各液晶面板部分的內(nèi)部，再用樹脂等將各液晶注入口110封死(工序P23)。通常的液晶注入處理這樣進(jìn)行例如，將液晶存儲(chǔ)在存儲(chǔ)容器中，將存儲(chǔ)了該液晶的存儲(chǔ)容器和長(zhǎng)條形的空面板放入真空室等中，將該真空室等抽成真空狀態(tài)后，在該真空室內(nèi)部將長(zhǎng)條形的空面板浸漬在液晶中，然后，使真空室放氣至大氣壓。這時(shí)，由于空面板內(nèi)部呈真空狀態(tài)，所以被大氣壓加壓的液晶通過液晶注入用開口被導(dǎo)入面板內(nèi)部。由于液晶注入后液晶附著在液晶面板結(jié)構(gòu)體的周圍，所以在工序P24中對(duì)液晶注入后的長(zhǎng)條形面板進(jìn)行清洗處理。
然后，對(duì)液晶注入及清洗結(jié)束后的長(zhǎng)條形的母面板再在規(guī)定位置形成劃線溝槽，再以該劃線溝槽為基準(zhǔn)，切斷長(zhǎng)條形面板，逐個(gè)地切出多個(gè)液晶面板(工序P25)。如圖21所示，將驅(qū)動(dòng)用IC103a、103b安裝在這樣制作的各個(gè)液晶面板102上，安裝照明裝置106作為背光，再通過連接FPC104，完成了作為目標(biāo)的液晶顯示裝置101(工序P26)。
以上說明的液晶顯示裝置的制造方法及制造裝置，特別是在制造濾色片的階段中，能有效地利用該制造方法所具有特征，所以能更有效地使濾色片的光透射特性在平面上變得均勻。該情況意味著在圖22所示的液晶顯示裝置101中，能獲得沒有色斑的鮮明的彩色顯示。
另外，在本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法及制造裝置中，由于通過使用圖8所示的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16，用噴墨頭(液滴材料噴頭)22噴墨，形成濾色元3，所以不需要經(jīng)過采用光刻法那樣的復(fù)雜的工序，還不浪費(fèi)材料。
(電致發(fā)光基板的制造方法的實(shí)施形態(tài))其次，本發(fā)明的電致發(fā)光基板的制造方法除了使用功能層形成材料代替上述的濾色片的制造方法中的濾色材料以外，具有與該濾色片的制造方法基本上相同的結(jié)構(gòu)。說明該電致發(fā)光基板的制造方法的一個(gè)實(shí)施例如下。這里，功能層是包括空穴注入輸運(yùn)層或發(fā)光層的層，功能層形成材料是包括空穴注入輸運(yùn)層形成材料或發(fā)光層形成材料的材料。
例如，在圖1(a)中，以恒定的排列間距(D)將多個(gè)噴嘴27排列成列狀構(gòu)成一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22，并以規(guī)定的相鄰間隔將上述一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22排列起來形成打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a.。而且，使該打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿著作為恒定方向的噴頭掃描方向(圖1(a)中的縱向X)移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行主掃描。另外，與此同時(shí)，使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿著作為與噴頭掃描方向正交的方向的噴頭換行方向(圖1(a)中的橫向Y)按照規(guī)定的移動(dòng)間距(P)移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行副掃描。
在進(jìn)行上述的主掃描及副掃描期間，從一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22中排列的多個(gè)噴嘴27將功能層形成材料有選擇地噴射到基板2上的功能層形成區(qū)域(從而，顯示點(diǎn))上。另外，根據(jù)需要，多次反復(fù)進(jìn)行主掃描及副掃描，使功能層形成材料以規(guī)定形狀及規(guī)定厚度附著在基板2的功能層形成區(qū)域上。因此，在基板2上的各顯示點(diǎn)內(nèi)形成規(guī)定形狀及規(guī)定厚度的功能層。
在本實(shí)施例的電致發(fā)光基板的制造方法中，假設(shè)噴嘴27的恒定的排列間距為“D”，相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)22各自設(shè)置的多個(gè)噴嘴27中位于最端部、互相最接近的噴嘴之間的間隔為“W”時(shí)，設(shè)定W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))即，在相鄰的噴墨頭(液滴材料噴出噴頭)22之間相鄰的噴嘴27相互之間的間隔W按照噴嘴27的排列間距D的整數(shù)倍構(gòu)成。
另外，同時(shí)如圖1(b)所示，假設(shè)打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿噴頭換行方向Y的副掃描移動(dòng)間距為“P”，噴嘴27的恒定的排列間距為“D”時(shí)，設(shè)定P＝nD(式中，n為1以上的整數(shù))即，噴墨頭(液滴材料噴頭)22的副掃描的移動(dòng)間距P按照噴嘴27的排列間距D的整數(shù)倍構(gòu)成。
通過在相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)之間的噴嘴間隔W、副掃描移動(dòng)間距P、以及噴嘴的排列間距D之間設(shè)定上述的關(guān)系，在打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a的主掃描及副掃描時(shí)，能使噴嘴27準(zhǔn)確地與全部功能層形成區(qū)域相向，在它們上方通過，因此，能提高描繪效率，而且能在適當(dāng)?shù)奈恢脟娔?。因此，能形成均勻平面形狀及均勻厚度的功能層、從而在基?上形成像素。
另外，如圖2所示，一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22能相對(duì)于噴頭換行方向Y分別傾斜角度θ設(shè)置排列。這時(shí)，角度θ是大于0°而小于180°的角度。
另外，分別位于一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22的兩端部的一個(gè)以上的噴嘴27能構(gòu)成為不將功能層形成材料噴射到基板2上的功能層形成區(qū)域中。
另外，能由呈現(xiàn)R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))三種發(fā)光顏色的材料形成發(fā)光層形成材料。另外，一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22能取例如圖15所示的結(jié)構(gòu)。
(電致發(fā)光基板的制造裝置的實(shí)施例)本發(fā)明的電致發(fā)光基板的制造裝置基本上能與上述的濾色片的制造裝置同樣構(gòu)成。即，本發(fā)明的電致發(fā)光基板的制造裝置是制造將規(guī)定形狀及規(guī)定厚度的功能層配置在基板上構(gòu)成的電致發(fā)光基板的裝置。現(xiàn)說明該電致發(fā)光基板的制造裝置的一個(gè)實(shí)施例如下。這里，功能層是包括空穴注入輸運(yùn)層或發(fā)光層的層，功能層形成材料是包括空穴注入輸運(yùn)層形成材料或發(fā)光層形成材料的材料。
例如，在圖1中，本實(shí)施例的電致發(fā)光基板的制造裝置有以恒定的排列間距(D)將多個(gè)噴嘴27排列成列狀構(gòu)成一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22、并以規(guī)定的相鄰間隔將上述一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22排列起來構(gòu)成的打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a.。從多個(gè)噴嘴27將功能層形成材料有選擇地噴射到基板2上的功能層形成區(qū)域，因此，在基板2上形成功能層。
圖中未示出的功能層形成材料供給裝置連接在打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a內(nèi)的多個(gè)噴嘴27上，通過該功能層形成材料供給裝置的工作，將功能層形成材料供給噴嘴27。另外，圖中未示出的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置連接在打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a上，通過該主掃描驅(qū)動(dòng)裝置的工作，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿著作為恒定方向的噴頭掃描方向(即，圖1(a)中的縱向X)移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行主掃描。
另外，圖中未示出的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置連接在打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a上，通過該副掃描驅(qū)動(dòng)裝置的工作，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿著作為與噴頭掃描方向正交的方向的噴頭換行方向(即，圖1(a)中的橫向Y)按照規(guī)定的移動(dòng)間距(P)移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行副掃描。另外，噴嘴噴射控制裝置被連接在多個(gè)噴嘴27上，通過該噴嘴噴射控制裝置的工作，控制從噴嘴27噴射的功能層形成材料的噴射量及噴射時(shí)間。
上述的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置利用例如包括CPU構(gòu)成的主掃描控制裝置控制其工作。另外，上述的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置利用例如包括CPU構(gòu)成的副掃描控制裝置控制其工作。
打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿著作為恒定方向的噴頭掃描方向(即，圖1(a)中的縱向X)移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行主掃描。而且同時(shí)，打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿著噴頭換行方向Y按照規(guī)定的移動(dòng)間距(P)移動(dòng)，對(duì)基板2進(jìn)行副掃描。
在上述的主掃描及副掃描期間，從一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22中排列的多個(gè)噴嘴27將功能層形成材料有選擇地噴射到基板2上的功能層形成區(qū)域中。另外，根據(jù)需要，多次反復(fù)進(jìn)行主掃描及副掃描，使功能層形成材料以規(guī)定形狀及規(guī)定厚度附著在基板2上的功能層形成區(qū)域中。因此，在基板2上形成規(guī)定形狀及規(guī)定厚度的功能層。
在本實(shí)施例的電致發(fā)光基板的制造裝置中，假設(shè)噴嘴27的恒定的排列間距為“D”，相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)22各自設(shè)置的多個(gè)噴嘴27中位于最端部、互相最接近的噴嘴之間的間隔為“W”時(shí)，設(shè)定W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))即，在相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)22之間相鄰的噴嘴27相互之間的間隔W按照噴嘴27的排列間距D的整數(shù)倍構(gòu)成。
另外，同時(shí)如圖1(b)所示，假設(shè)打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿噴頭換行方向Y的副掃描移動(dòng)間距為“P”，噴嘴27的恒定的排列間距為“D”時(shí)，設(shè)定P＝nD(式中，n為1以上的整數(shù))即，噴墨頭(液滴材料噴頭)22的副掃描的移動(dòng)間距P按照噴嘴27的排列間距D的整數(shù)倍構(gòu)成。
通過在相鄰的噴墨頭(液滴材料噴頭)之間的噴嘴間隔W、副掃描移動(dòng)間距P、以及噴嘴的排列間距D之間設(shè)定上述的關(guān)系，在打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a的主掃描及副掃描時(shí)，能使噴嘴27準(zhǔn)確地與全部功能層形成區(qū)域相向，在它們上方通過，因此，能提高描繪效率，而且能在適當(dāng)?shù)奈恢脟娚涔δ軐有纬刹牧?。而且因此，能形成均勻平面形狀及均勻厚度的功能層、從而在基?上形成像素。
另外，如圖2所示，一個(gè)以上的噴墨頭(液滴材料噴頭)22能相對(duì)于噴頭換行方向Y分別傾斜角度θ設(shè)置排列。這時(shí)，角度θ是大于0°而小于180°的角度。
(電致發(fā)光基板的制造方法及制造裝置的變例)另外，例如在以上說明的電致發(fā)光基板的制造方法及制造裝置的實(shí)施例中，雖然舉例示出了母基板12有排列了多個(gè)面板單元11，用比這些面板單元11小的噴墨頭(液滴材料噴頭)22，在各面板單元11內(nèi)形成功能層的情況，但也可以使用其長(zhǎng)度比一個(gè)面板單元11的一邊長(zhǎng)、但比母基板12的一邊短的噴嘴列28，在一個(gè)母基板12內(nèi)形成功能層。
另外，雖然舉例示出了母基板12有列了多個(gè)面板單元11的情況，但有時(shí)也可以在該母基板12中構(gòu)成其大小與母基板12大致相同或比它小得多的一個(gè)面板單元11。
另外，在圖8及圖9所示的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16中，雖然使打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a沿X方向移動(dòng)，對(duì)基板12進(jìn)行主掃描，利用副掃描驅(qū)動(dòng)裝置21使基板12沿Y方向移動(dòng)，由打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a對(duì)基板12進(jìn)行副掃描，但也可以反過來，通過使基板12沿Y方向移動(dòng)，進(jìn)行主掃描，通過使噴墨頭(液滴材料噴頭)22沿X方向移動(dòng)，進(jìn)行副掃描。
(電致發(fā)光裝置的制造方法及制造裝置的實(shí)施例)本發(fā)明的電致發(fā)光裝置的制造方法及制造裝置的結(jié)構(gòu)基本上與上述的液晶顯示裝置的制造方法及制造裝置的情況相同。即，在本發(fā)明的電致發(fā)光裝置的制造方法的一個(gè)實(shí)施例中，采用上述的電致發(fā)光基板的制造方法制作電致發(fā)光基板，從所獲得的電致發(fā)光基板切出規(guī)定個(gè)數(shù)的面板單元。
另外，在被用于該面板單元的電致發(fā)光基板的基板(即，公用電極基板)上形成保護(hù)層和公用電極，同時(shí)在與上述的公用電極基板相向構(gòu)成一對(duì)基板的基板(即，顯示點(diǎn)電極基板)上形成與公用電極相向構(gòu)成一對(duì)電極的顯示點(diǎn)電極。
另外，本發(fā)明的電致發(fā)光裝置的制造裝置是制造有一塊基板、例如公用電極基板和與其相向的另一基板、例如顯示點(diǎn)電極基板的電致發(fā)光裝置的裝置。規(guī)定形狀及規(guī)定厚度的功能層被配置在公用電極基板上，由此能形成電致發(fā)光基板。另外，再在公用電極基板上形成保護(hù)層和公用電極。另外，在與公用電極基板相向的顯示點(diǎn)電極基板上形成與公用電極相向地構(gòu)成一對(duì)電極的顯示點(diǎn)電極。
(電致發(fā)光裝置的制造方法及制造裝置的另一實(shí)施例)圖23利用工序圖表示本發(fā)明的電致發(fā)光裝置的制造方法的一個(gè)實(shí)施例的工序圖。另外，圖24表示與圖23所示的工序圖中的各工序?qū)?yīng)的電致發(fā)光裝置的剖面結(jié)構(gòu)。如圖24(d)所示，電致發(fā)光裝置201這樣形成在透明基板204上形成像素電極202，從箭噴頭G方向看，在各像素電極202之間呈網(wǎng)格狀地形成圍堤205，在這些網(wǎng)格狀的凹部中形成空穴注入輸運(yùn)層(功能層)220，在各網(wǎng)格狀的凹部中形成R色發(fā)光層(功能層)203R、G色發(fā)光層(功能層)203G、以及B色發(fā)光層(功能層)203B，使得從箭噴頭G方向看，呈條形排列等規(guī)定的排列，再在它們上面形成對(duì)置電極213。
在利用TFD(薄膜二極管)元件等兩端型的有源元件驅(qū)動(dòng)上述像素電極202的情況下，從箭噴頭G方向看，呈條狀地形成上述對(duì)置電極213。另外，在利用TFT(Thin Film Transistor薄膜晶體管)等三端型的有源元件驅(qū)動(dòng)像素電極202的情況下，作為單一面電極形成上述對(duì)置電極213。
由各像素電極202和各對(duì)置電極213夾持的區(qū)域成為一個(gè)顯示點(diǎn)，R(紅)、G(綠)及B(藍(lán))三色顯示點(diǎn)成為一個(gè)單元，形成一個(gè)像素。通過控制流過各顯示點(diǎn)的電流，有選擇地使多個(gè)顯示點(diǎn)中所希望的顯示點(diǎn)發(fā)光，因此，能沿箭噴頭H方向顯示所希望的全色像。
例如，采用圖23所示的制造方法，能制造上述電致發(fā)光裝置201。即，如工序P51及圖24(a)所示，在透明基板204的表面上形成TFD元件和TFT元件等有源元件，再形成像素電極202。作為形成方法，例如能采用光刻法、真空蒸鍍法、濺射法、熔融膠法等。作為像素電極的材料，能采用ITO(氧化銦錫)、氧化錫、氧化銦和氧化鋅的復(fù)合氧化物等。
其次，如工序P52及圖24(a)所示，采用眾所周知的構(gòu)圖方法、例如光刻法形成間壁即圍堤205，利用該圍堤205將各透明電極202之間掩埋。因此，能提高對(duì)比度，防止功能層形成材料混色，防止從像素和像素之間漏光等。作為圍堤205的材料，如果是對(duì)功能層形成材料的溶劑具有耐久性的材料，則沒有特別限制，但最好是通過碳氟化合物氣體等離子體處理，能氟樹脂化的材料、例如有丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、感光性聚酰亞胺等有機(jī)材料。
其次，在涂敷空穴注入輸運(yùn)層形成材料(功能層形成材料)之前，對(duì)基板204連續(xù)進(jìn)行氧氣和碳氟化合物氣體等離子體的連續(xù)等離子體處理(工序P53)。因此，聚酰亞胺表面被疏水化，ITO表面被親水化，能進(jìn)行使噴墨液滴進(jìn)行微細(xì)的構(gòu)圖用的基板側(cè)的沾潤(rùn)性的控制。作為發(fā)生等離子體的裝置，可以是在真空中發(fā)生等離子體的裝置，也可以是在大氣中發(fā)生等離子體的裝置。
其次，如工序P54及圖24(a)所示，從圖8所示的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16的噴墨頭(液滴材料噴頭)22噴出空穴注入輸運(yùn)層形成材料(功能層形成材料)，在各像素電極202上進(jìn)行構(gòu)圖涂敷。具體的噴墨頭(液滴材料噴頭)的控制方法能采用上述的方法。該涂敷后，在真空(例如，1torr)中、室溫、20分鐘的條件下除去溶劑(工序P55)，然后，在大氣中用20℃(例如，在加熱板上)進(jìn)行10分鐘的加熱處理，形成與發(fā)光層形成材料(功能層形成材料)不相溶的空穴注入輸運(yùn)層(功能層)220(工序P56)。膜厚為40nm左右。
其次，如工序P57及圖24(b)所示，用噴墨方法將R發(fā)光層形成材料(功能層形成材料)及G發(fā)光層形成材料(功能層形成材料)涂敷在各濾色元區(qū)域內(nèi)的空穴注入輸運(yùn)層220上。這里，也從圖8所示的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16的噴墨頭(液滴材料噴頭)22噴射各發(fā)光層形成材料(功能層形成材料)，還能用上述方法作為噴墨頭(液滴材料噴頭)的控制方法。如果采用噴墨方式，則能簡(jiǎn)便地且在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行微細(xì)的構(gòu)圖。另外，通過改變油墨組成物中的固態(tài)成分的濃度及噴射量，能改變膜厚。
發(fā)光層形成材料(功能層形成材料)涂敷后，在真空(例如，1torr)中、室溫、20分鐘的條件下除去溶劑(工序P58)，接著在氮?dú)夥罩?、?50℃進(jìn)行4小時(shí)左右的熱處理，進(jìn)行共軛化，形成R色發(fā)光層(功能層)203R及G色發(fā)光層(功能層)203G(工序P59)。膜厚為50nm左右。通過熱處理而共軛化了的發(fā)光層不溶于溶劑。
另外，也可以在形成發(fā)光層之前，對(duì)空穴注入輸運(yùn)層220進(jìn)行氧氣和碳氟化合物氣體等離子體的連續(xù)等離子體處理。因此，在空穴注入輸運(yùn)層220中形成氟化物層，由于離子化電位增高，所以空穴注入效率增加，能提供發(fā)光效率高的有機(jī)電致發(fā)光裝置。
其次，如工序P60及圖24(c)所示，重疊在各顯示點(diǎn)內(nèi)的R色發(fā)光層203R、G色發(fā)光層203G及空穴注入輸運(yùn)層220上形成B色發(fā)光層203B。因此，不止形成R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三原色，而且能將R色發(fā)光層203R、G色發(fā)光層203G和圍堤205的臺(tái)階掩埋而平坦化。因此，能可靠地防止上下電極之間的短路。通過調(diào)整B色發(fā)光層203B的膜厚，B色發(fā)光層203B在與R色發(fā)光層203R及G色發(fā)光層203G的疊層結(jié)構(gòu)中，起電子注入輸運(yùn)層的作用而不發(fā)B色光。
作為以上這樣的B色發(fā)光層203B的形成方法，例如作為濕式法也可以采用一般的旋轉(zhuǎn)涂敷法，還可以采用與R色發(fā)光層203R及G色發(fā)光層203G的形成方法同樣的噴墨法。然后，如工序P61及圖24(d)所示，通過形成對(duì)置電極213，能制造作為目標(biāo)的電致發(fā)光裝置201。在對(duì)置電極213是面電極的情況下，例如將Mg、Ag、Al、Li等作為材料，采用蒸鍍法、濺射法等成膜方法形成對(duì)置電極213。另外，在對(duì)置電極213是條形電極的情況下，能采用光刻法等構(gòu)圖方法形成成膜后的電極層。
如果采用以上說明的電致發(fā)光裝置的制造方法及制造裝置，則作為噴墨頭(液滴材料噴頭)的控制方法，能采用上述的控制方法。因此，假設(shè)在多個(gè)噴嘴27之間，即使在功能層形成材料噴射量存在離散的情況下，也能防止在多個(gè)顯示點(diǎn)之間產(chǎn)生膜厚的離散，因此，能使電致發(fā)光裝置的發(fā)光面的發(fā)光分布特性在平面上變得均勻。這意味著在圖24(d)所示的電致發(fā)光裝置201中，能獲得沒有色斑的鮮明的彩色顯示。
另外，在本發(fā)明的電致發(fā)光裝置的制造方法及制造裝置中，由于使用圖8所示的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16，通過使用打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))22a進(jìn)行功能層形成材料的噴射，形成R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))各色顯示點(diǎn)，所以不需要經(jīng)過采用光刻法那樣的復(fù)雜工序，還不浪費(fèi)材料。
(成膜方法及成膜裝置的實(shí)施例)本發(fā)明的成膜裝置能用圖8所示的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16構(gòu)成。另外，作為噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16中使用的噴墨頭(液滴材料噴頭)22，能使用圖1、圖2、圖3、圖4、圖10、圖11、圖12、圖13、圖14、圖15、圖16、或圖19所示的噴墨頭(液滴材料噴頭)。
但是，在本實(shí)施例的情況下，從這些噴墨頭(液滴材料噴頭)22等的噴嘴27噴射的墨是膜材料。根據(jù)想在基板上形成的膜的種類，適當(dāng)?shù)剡x擇該膜材料。另外，在噴墨頭(液滴材料噴頭)22對(duì)基板進(jìn)行主掃描及副掃描期間，通過適當(dāng)?shù)乜刂茋娚淠げ牧系膰娮?7，能自由地選擇膜的模樣、即圖形。
另外，使用圖17所示的控制電路、按照?qǐng)D18所示的控制程序，控制圖8所示的噴墨裝置(液滴材料噴射裝置)16，能實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的成膜方法。但，在此情況下，從噴墨頭(液滴材料噴頭)22噴射的油墨也是根據(jù)欲在基板上形成的膜的種類選擇的膜材料。
(電子裝置的實(shí)施例)以下，示出使用作為本發(fā)明的電光裝置的上述本發(fā)明的液晶顯示裝置的電子裝置的例子。這里，雖然示出了使用上述本發(fā)明的液晶顯示裝置的電子裝置，但不限定于此，本發(fā)明的電子裝置也可以是使用上述本發(fā)明的電致發(fā)光裝置、或用上述本發(fā)明的成膜方法制造的電光裝置的電子裝置(1)數(shù)碼相機(jī)現(xiàn)說明取景器中使用本發(fā)明的第四實(shí)施例的液晶顯示裝置1100的數(shù)碼相機(jī)。圖27是表示該數(shù)碼相機(jī)的結(jié)構(gòu)的斜視圖，另外還簡(jiǎn)易地示出了與外部裝置連接的方法。
通常的照相機(jī)利用被拍攝體的光像使膠片感光，與此不同，數(shù)碼相機(jī)2000是利用CCD(電荷耦合器件)等攝像元件，對(duì)被拍攝體的光像進(jìn)行光電變換，生成攝像信號(hào)的照相機(jī)。這里，在數(shù)碼相機(jī)2000的機(jī)殼2202的背面(圖27中為前面)上設(shè)有上述的液晶顯示裝置1100的液晶面板，根據(jù)由CCD產(chǎn)生的攝像信號(hào)，進(jìn)行顯示。因此，液晶顯示裝置1100具有作為顯示被拍攝體的取景器的功能。另外，在機(jī)殼2202的前面(圖27中為背面)上設(shè)有包括光學(xué)透鏡和CCD等的受光單元2204。
這里，攝影者確認(rèn)液晶顯示裝置1100中所顯示的被拍攝體像后，如果按下快門按鈕2206，則該時(shí)刻的CCD的攝像信號(hào)便被傳輸·存儲(chǔ)在電路基板2208的存儲(chǔ)器中。另外，在該數(shù)碼相機(jī)2000中，在機(jī)殼2202的側(cè)面設(shè)有視頻信號(hào)輸出端子2212、以及數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子2214。而且，如圖27所示，根據(jù)需要，電視監(jiān)視器2300連接在前者的視頻信號(hào)輸出端子2212上，另外，個(gè)人計(jì)算機(jī)2400連接在后者的數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子2214上。另外，通過規(guī)定的操作，存儲(chǔ)在電路基板2208的存儲(chǔ)器中的攝像信號(hào)被輸出給電視監(jiān)視器2300或個(gè)人計(jì)算機(jī)2400。
(2)移動(dòng)電話、其他電子裝置圖28(A)、(B)、以及(C)是表示作為本發(fā)明的電光裝置使用液晶顯示裝置的其他電子裝置的例子的外觀圖。圖28(A)是移動(dòng)電話機(jī)3000，在其前面上方備有液晶顯示裝置1100。圖28(B)是手表4000，在本體的前表面中央設(shè)有使用液晶顯示裝置1100的顯示部。圖28(C)是便攜式信息裝置5000，備有由液晶顯示裝置1100構(gòu)成的顯示部和輸入部5100。
這些電子裝置除了液晶顯示裝置1100以外，圖中雖然未示出，但包括顯示信息輸出源、顯示信息處理電路、時(shí)鐘發(fā)生電路等各種電路、以及將電力供給這些電路的由電源電路等構(gòu)成的顯示信號(hào)生成部。例如在便攜式信息裝置5000的情況下，根據(jù)從輸入部5100輸入的信息等，將由顯示信號(hào)生成部生成的顯示信號(hào)供給顯示部，能形成顯示圖像。
作為安裝本發(fā)明的液晶顯示裝置1100的電子裝置，不限于數(shù)碼相機(jī)、移動(dòng)電話機(jī)、手表、以及便攜式信息裝置，還能考慮電子筆記本、傳呼機(jī)、POS終端、IC卡、小型磁盤唱機(jī)、液晶投影儀、多媒體對(duì)應(yīng)的個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC)及工程工作站(EWS)、筆記本式個(gè)人計(jì)算機(jī)、文字處理器、電視機(jī)、取景器型或監(jiān)視器直視型磁帶錄像機(jī)、電子筆記本、臺(tái)式計(jì)算機(jī)、車輛導(dǎo)行裝置、備有觸摸面板的裝置、鐘表等各種電子裝置。
(其他實(shí)施例)本發(fā)明不限定于上述實(shí)施例，能用于在基體材料上進(jìn)行微細(xì)的構(gòu)圖的全部工業(yè)技術(shù)中。例如，能考慮各種半導(dǎo)體元件(例如，薄膜晶體管、薄膜二極管等)、布線圖形、以及絕緣膜的形成等作為其利用范圍的一例。
另外，在本發(fā)明中，作為噴出材料，可以根據(jù)形成的要素進(jìn)行種種選擇，例如，除了上述的濾色材料、功能層形成材料、膜形成材料以外，還可以考慮二氧化硅玻璃前體、金屬化合物等導(dǎo)電性材料、電介質(zhì)材料、或半導(dǎo)體材料等作為其一例。另外，采用本發(fā)明，例如還能在基板上或者在基板上設(shè)置的薄膜上形成金屬布線。
另外，在上述實(shí)施例中，為了與其他結(jié)構(gòu)要素相區(qū)別，雖然稱為“噴墨頭(液滴材料噴頭)”，但從該噴墨頭(液滴材料噴頭)噴射的噴出物不限定于油墨，不用說，例如是上述的功能層形成材料、二氧化硅玻璃前體、金屬化合物等導(dǎo)電性材料、電介質(zhì)材料、或半導(dǎo)體材料等。
另外，在上述的實(shí)施例中，雖然使用了利用壓電元件的彎曲變形噴墨(液態(tài)材料)結(jié)構(gòu)的噴墨頭(液滴材料噴頭)，但也可以使用其他任意結(jié)構(gòu)的噴墨頭(液滴材料噴頭)，例如使用利用了油墨(液態(tài)材料)的熱膨脹的熱噴墨方式的噴墨頭(液滴材料噴頭)。
另外，本發(fā)明不限于液晶裝置及電致發(fā)光裝置等電光裝置，也能適用于需要在基板上形成濾色片、金屬布線等各種膜的所謂的電光裝置。本發(fā)明能適用于例如無機(jī)電致發(fā)光裝置、等離子體顯示裝置(PDP/等離子體顯示器)、電泳顯示裝置(EPD/電泳顯示器)、場(chǎng)發(fā)射顯示裝置(FED/場(chǎng)發(fā)射顯示器)等電光裝置。
另外，雖然作為圖21所示的電光裝置的一例的液晶顯示裝置是簡(jiǎn)單矩陣方式的液晶顯示裝置，但本發(fā)明也能適用于將TFD(薄膜二極管)等兩端型開關(guān)元件作為有源元件使用的結(jié)構(gòu)的有源矩陣方式的電光裝置、或?qū)FT(薄膜晶體管)等三端型開關(guān)元件作為有源元件使用的結(jié)構(gòu)的有源矩陣方式的電光裝置。
如上所述，如果采用本發(fā)明，則打印頭(液滴材料噴射機(jī)構(gòu))掃描時(shí)，作為噴墨頭(液滴材料噴頭)的構(gòu)成要素的全部噴嘴能準(zhǔn)確地通過形成像素的區(qū)域。因此，描繪效率高，而且能準(zhǔn)確地使噴墨頭(液滴材料噴出噴頭)移動(dòng)，對(duì)對(duì)象物進(jìn)行掃描，以便在適當(dāng)?shù)奈恢脟娔?br> 另外，能防止每個(gè)像素的顏色離散，能使濾色片的光透射特性、液晶顯示裝置的彩色顯示特性、功能層的發(fā)光特性等光學(xué)構(gòu)件的光學(xué)特性在平面上均勻化。
權(quán)利要求
1.一種電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于包括使按照規(guī)定的間距排列了多個(gè)噴嘴的多個(gè)噴頭沿著噴頭掃描方向移動(dòng)，對(duì)基板進(jìn)行主掃描的工序；沿著與上述噴頭掃描方向交叉的噴頭換行方向按照規(guī)定的移動(dòng)間距移動(dòng)，對(duì)上述基板進(jìn)行副掃描的工序；以及從上述多個(gè)噴嘴將功能層形成材料噴射到上述基板上的功能層形成區(qū)域的工序，上述多個(gè)噴頭中相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔W及上述噴嘴的恒定的排列間距D實(shí)際上滿足以下關(guān)系式W＝mD 式中，m為2以上的整數(shù)，上述噴頭的副掃描移動(dòng)間距P及上述噴嘴的恒定的排列間距D實(shí)際上滿足以下關(guān)系式P＝nD 式中，n為1以上的整數(shù)。
2.如權(quán)利要求1所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于使上述噴頭相對(duì)于上述噴頭換行方向以0°＜θ＜180°的角度排列，上述相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔W及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距Dcosθ實(shí)際上滿足以下關(guān)系式W＝mDcosθ式中，m為2以上的整數(shù)，上述噴頭沿上述噴頭換行方向的副掃描移動(dòng)間距P及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距Dcosθ實(shí)際上滿足以下關(guān)系式P＝nDcosθ式中，n為1以上的整數(shù)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于位于上述噴頭的端部的上述噴嘴不將上述功能層形成材料噴射到上述基板上的上述功能層形成區(qū)域。
4.如權(quán)利要求1或2所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于上述功能層形成材料是發(fā)光層形成材料。
5.如權(quán)利要求1或2所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于上述功能層形成材料是空穴注入輸運(yùn)層形成材料。
6.如權(quán)利要求1或2所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于上述功能層形成材料包括從由發(fā)光層形成材料及空穴注入輸運(yùn)層形成材料構(gòu)成的組中選擇的材料。
7.如權(quán)利要求4所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于上述發(fā)光層形成材料包含發(fā)光顏色不同的多種材料，各上述噴頭從各自的上述噴嘴噴射上述發(fā)光顏色不同的多種材料中各自對(duì)應(yīng)的一種材料。
8.如權(quán)利要求4所述的電致發(fā)光基板的制造方法，其特征在于上述發(fā)光層形成材料包含發(fā)光顏色不同的多種材料，上述多個(gè)噴嘴中的各個(gè)噴嘴噴射上述發(fā)光顏色不同的多種材料中各自對(duì)應(yīng)的一種材料。
9.一種電致發(fā)光基板的制造裝置，其特征在于具有噴射液滴狀的功能層形成材料的多個(gè)噴嘴；按照恒定的排列間隔D排列了上述多個(gè)噴嘴的多個(gè)噴頭；使上述噴頭沿著噴頭掃描方向移動(dòng)的主掃描驅(qū)動(dòng)裝置；以及使上述噴頭沿著與上述噴頭掃描方向交叉的噴頭換行方向按照規(guī)定的移動(dòng)間距P移動(dòng)的副掃描驅(qū)動(dòng)裝置，上述多個(gè)噴頭中相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔W及上述噴嘴的恒定的排列間距D實(shí)際上滿足以下關(guān)系式W＝mD 式中，m為2以上的整數(shù)，上述噴頭的副掃描移動(dòng)間距P及上述噴嘴的恒定的排列間距D實(shí)際上滿足以下關(guān)系式P＝nD 式中，n為1以上的整數(shù)。
10.如權(quán)利要求9所述的電致發(fā)光基板的制造裝置，其特征在于使上述噴頭相對(duì)于上述噴頭換行方向以0°＜θ＜180°的角度排列，上述相鄰的噴頭位于各自最端部的上述噴嘴相互之間的間隔W及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距Dcosθ實(shí)際上滿足以下關(guān)系式W＝mDcosθ式中，m為2以上的整數(shù)，上述噴頭沿上述噴頭換行方向的副掃描移動(dòng)間距P及上述噴嘴沿上述噴頭換行方向的排列間距Dcosθ實(shí)際上滿足以下關(guān)系式P＝nDcosθ式中，n為1以上的整數(shù)。
11.一種包括形成功能層的工序的電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于利用權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的電致發(fā)光基板的制造方法，形成功能層。
12.一種制造備有電致發(fā)光基板的電致發(fā)光裝置的電致發(fā)光裝置的制造裝置，其特征在于備有權(quán)利要求9或10所述的電致發(fā)光基板的制造裝置。
13.一種電子裝置，其特征在于包括采用權(quán)利要求11所述的電致發(fā)光裝置的制造方法制造的電致發(fā)光裝置。
全文摘要
利用噴墨頭的掃描制造濾色片等光學(xué)構(gòu)件時(shí)，使得噴墨頭的全部噴嘴能準(zhǔn)確地通過像素的形成區(qū)域，提高來自噴嘴的噴墨位置的精度，提高噴嘴的使用效率(從而描繪效率)，防止每個(gè)像素的顏色離散，使光學(xué)構(gòu)件的光學(xué)特性在平面上均勻化。本發(fā)明的課題是一種利用備有噴嘴(27)的多個(gè)噴墨頭(22)對(duì)基板(2)進(jìn)行主掃描及副掃描的濾色片(1)的制造方法。假設(shè)多個(gè)噴墨頭(22)中相鄰的噴墨頭(22)位于各自最端部的噴嘴(27)之間的相互間隔為W，噴嘴(27)的恒定的排列間距為D時(shí)，W＝mD(式中，m為2以上的整數(shù))另外，假設(shè)噴頭22的副掃描移動(dòng)間距為P時(shí)，P＝nD(式中，n為1以上的整數(shù))。
文檔編號(hào)G02F1/1335GK1717134SQ20051008449
公開日2006年1月4日 申請(qǐng)日期2002年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月4日
發(fā)明者伊藤達(dá)也, 有賀久, 片上悟, 川瀨智己 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社