專(zhuān)利名稱(chēng)：超支化聚酯微光學(xué)光刻膠的連續(xù)生產(chǎn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種超支化聚酯微光學(xué)光刻膠的連續(xù)生產(chǎn)裝置。
背影技術(shù)已有的光刻膠生產(chǎn)技術(shù)包括樹(shù)脂的合成、光刻膠的配制及過(guò)濾。這些過(guò)程是分散的由不同的生產(chǎn)車(chē)間或不同的生產(chǎn)廠家來(lái)完成。由于生產(chǎn)批次的不同及不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)質(zhì)量控制指標(biāo)及工藝的差別，使最終的光刻膠不同生產(chǎn)批次的質(zhì)量指標(biāo)有較大的差別。
超支化聚合物的合成，目前均采用單一的常壓反應(yīng)釜進(jìn)行，這一合成工藝對(duì)以用起始核，通過(guò)逐步發(fā)散增長(zhǎng)的方法制備超支化聚合物而言，就存在分步加料的問(wèn)題，導(dǎo)致生長(zhǎng)周期長(zhǎng)，同時(shí)，每步加料計(jì)量誤差(稱(chēng)量、混合過(guò)程的誤差和損失)的累積會(huì)對(duì)合成產(chǎn)物的支化度，分子量及殘留單體量均會(huì)產(chǎn)生較大的影響。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有光刻膠生產(chǎn)過(guò)程需在不同的生產(chǎn)車(chē)間或生產(chǎn)廠家來(lái)完成，而使最終的光刻膠不同生產(chǎn)批次的質(zhì)量指標(biāo)有較大的差別。提供一種包括超支化聚合物合成、純化及光刻膠配制、過(guò)濾等過(guò)程的連續(xù)生產(chǎn)裝置。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是該裝置包括反應(yīng)釜、洗滌塔、干燥塔、液體固體混合加熱器、混合罐、過(guò)濾器、廢氣處理罐、液體計(jì)量槽、泵及管線(xiàn)，所述反應(yīng)釜頂部進(jìn)口處通過(guò)管線(xiàn)分別連接液體計(jì)量槽，頂部出口通過(guò)管線(xiàn)與廢氣處理罐連接，反應(yīng)釜下部經(jīng)管線(xiàn)與氮?dú)馄肯噙B，底部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵與洗滌塔的進(jìn)口連接，洗滌塔底部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵連接干燥塔，干燥塔底部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵與過(guò)濾器進(jìn)口相連，液體固體混合加熱器的出口經(jīng)管線(xiàn)連接混合罐，另外，混合罐還通過(guò)管線(xiàn)連接液體計(jì)量槽。
所述廢氣處理罐用塘瓷進(jìn)行內(nèi)襯。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn)和效果超支化聚酯微光學(xué)光刻膠連續(xù)生產(chǎn)裝置，使超支化聚合物合成和微光學(xué)光刻膠的生產(chǎn)有機(jī)地結(jié)合在一起，使用該裝置能完成超支化聚合物合成、洗滌、干燥和光刻膠的生產(chǎn)，最終得到的是可直接進(jìn)入市場(chǎng)的微光學(xué)光刻膠。由于從反應(yīng)開(kāi)始到最終得到合格的光刻膠，反應(yīng)步驟較多，特別是通過(guò)發(fā)散法合成超支化堿溶性感光聚合物，由于反復(fù)括鏈，如果采用常規(guī)的反應(yīng)裝置，既耗時(shí)，同時(shí)每次加料誤差的累積造成最終合成聚合物的性能發(fā)生變化。本實(shí)用新型所用連續(xù)生產(chǎn)裝置，經(jīng)過(guò)高度優(yōu)化組合，每一個(gè)操作單元之間緊密相連，構(gòu)成一個(gè)連續(xù)的整體，第一步完成之后，緊接著進(jìn)行下一步操作，節(jié)省了大量時(shí)間，使設(shè)備發(fā)揮最大的使用效率，同時(shí)，減少了批與批之間的性能差別，保證了產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。


圖1是本實(shí)用新型裝置結(jié)構(gòu)示意圖具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型超支化聚脂微光學(xué)光刻膠連續(xù)生產(chǎn)裝置，包括反應(yīng)釜1、洗滌塔2、干燥塔8、液體固體混合加熱器4、混合罐5、過(guò)濾器6、廢氣處理罐7、液體計(jì)量槽、泵及管線(xiàn)，所述反應(yīng)釜1的頂部進(jìn)口處通過(guò)管線(xiàn)分別連接液體計(jì)量槽11、12、18，頂部出口通過(guò)管線(xiàn)與廢氣處理罐7連接，該廢氣處理罐用塘瓷進(jìn)行內(nèi)襯。所述反應(yīng)釜1下部經(jīng)管線(xiàn)與氮?dú)馄?0相連，底部出口經(jīng)管線(xiàn)和泵19連接干燥塔8；液體固體混合加熱器4是專(zhuān)用于配制光刻膠時(shí)，溶解固體組分如光引發(fā)劑等的裝置，所述液體固體混合加熱器4的出口經(jīng)管線(xiàn)及閥門(mén)14連接混合罐5，有一液體計(jì)量槽通過(guò)管線(xiàn)及三通閥分成兩路，一路與混合罐5的中上部連接，另一路連接液體固體混合加熱器4的出口管線(xiàn)。另外，還有一液體計(jì)量槽15通過(guò)管線(xiàn)連接混合罐5的頂部進(jìn)口處。所述干燥塔8底部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵20連接液體計(jì)量槽15的管線(xiàn)8。所述混合罐5的底部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵21與過(guò)濾器6相連。
權(quán)利要求1.一種超支化聚酯微光學(xué)光刻膠的連續(xù)生產(chǎn)裝置，該裝置包括反應(yīng)釜、洗滌塔、干燥塔、液體固體混合加熱器、混合罐、過(guò)濾器、廢氣處理罐、液體計(jì)量槽、泵及管線(xiàn)，其特征是所述反應(yīng)釜(1)頂部進(jìn)口處通過(guò)管線(xiàn)分別連接液體計(jì)量槽(11、12、13)，頂部出口通過(guò)管線(xiàn)與廢氣處理罐(7)連接，反應(yīng)釜(1)下部經(jīng)管線(xiàn)與氮?dú)馄?10)相連，底部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵與洗滌塔(2)的進(jìn)口連接，洗滌塔(2)部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵連接干燥塔(2)，干燥塔(2)底部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵與過(guò)濾器(6)進(jìn)口相連，液體固體混合加熱器(4)的出口經(jīng)管線(xiàn)連接混合罐(5)，另外，混合罐(5)還通過(guò)管線(xiàn)連接液體計(jì)量槽(15、16)。
2.據(jù)權(quán)利要求1所述的超支化聚酯微光學(xué)光刻膠的連續(xù)生產(chǎn)裝置，其特征是所述廢氣處理罐(7)用塘瓷進(jìn)行內(nèi)襯。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種超支化聚酯微光學(xué)光刻膠的連續(xù)生產(chǎn)裝置。該裝置包括反應(yīng)釜、洗滌塔、干燥塔、液體固體混合加熱器、混合罐、過(guò)濾器、廢氣處理罐、液體計(jì)量槽、泵及管線(xiàn)，所述反應(yīng)釜頂部進(jìn)口處通過(guò)管線(xiàn)分別連接液體計(jì)量槽，頂部出口通過(guò)管線(xiàn)與廢氣處理罐連接，反應(yīng)釜下部經(jīng)管線(xiàn)與氮?dú)馄肯噙B，底部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵與洗滌塔的進(jìn)口連接，洗滌塔底部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵連接干燥塔，干燥塔底部出口經(jīng)管線(xiàn)及泵與過(guò)濾器進(jìn)口相連，液體固體混合加熱器的出口經(jīng)管線(xiàn)連接混合罐，另外，混合罐還通過(guò)管線(xiàn)連接液體計(jì)量槽。該裝置使超支化聚合物合成和微光學(xué)光刻膠的生產(chǎn)有機(jī)地結(jié)合在一起，能完成超支化聚合物合成、洗滌、干燥和光刻膠的生產(chǎn)，最終得到的是可直接進(jìn)入市場(chǎng)的微光學(xué)光刻膠。
文檔編號(hào)G03F7/039GK2864746SQ20052006767
公開(kāi)日2007年1月31日 申請(qǐng)日期2005年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月14日
發(fā)明者馮宗財(cái), 汪德鳳, 莫辰希, 黃強(qiáng) 申請(qǐng)人:湛江師范學(xué)院