專利名稱：防護(hù)膠膜組件收納容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于用以收容.保管.運(yùn)送在制造半導(dǎo)體裝置、印刷電路板、或液晶顯示器等時(shí)被當(dāng)做除塵器使用的平版印刷用防護(hù)膠膜組件的防護(hù)膠膜組件收納容器。
背景技術(shù)：
LSI等半導(dǎo)體裝置或液晶顯示器等制造時(shí)，是利用對(duì)半導(dǎo)體晶圓或液晶用玻璃原板照射光來(lái)形成圖案，然而，此時(shí)所使用的光罩或標(biāo)線片(以下簡(jiǎn)稱為光罩)若附著著灰塵，則該灰塵會(huì)阻隔光、或使光轉(zhuǎn)向，而有轉(zhuǎn)印的圖案受損的問(wèn)題。
因此，相關(guān)作業(yè)通常是在無(wú)塵室內(nèi)進(jìn)行，然而，仍然難以隨時(shí)都保持光罩的清凈。因此，采用在光罩表面貼附防護(hù)膠膜組件當(dāng)做除塵器使用的方法。
此時(shí)，因?yàn)楫愇锊粫?huì)直接附著于光罩的表面而附著于防護(hù)膠膜組件，在平版印刷時(shí)，只要使焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)光罩的圖案，則防護(hù)膠膜組件上的異物不會(huì)影響轉(zhuǎn)印。
然而，防護(hù)膠膜組件雖然具有防止異物從貼附于屏蔽時(shí)所形成的封閉空間的外部侵入內(nèi)部的效果，當(dāng)防護(hù)膠膜組件本身附著著異物且該異物位于封閉空間的內(nèi)部時(shí)，則無(wú)法防止異物附著于光罩表面。因此，不但要求防護(hù)膠膜組件本身必須具有高清凈性，對(duì)于保管及運(yùn)送所使用的防護(hù)膠膜組件收納容器亦強(qiáng)烈要求其具有可維持清凈性的性能。
如上面所述，強(qiáng)烈要求防護(hù)膠膜組件收納容器應(yīng)具有在防護(hù)膠膜組件的保管及運(yùn)送時(shí)可維持防護(hù)膠膜組件的清凈性的性能，因此，盡量減少灰塵發(fā)生源的要素極為重要。
灰塵發(fā)生源的要素包括構(gòu)成防護(hù)膠膜組件收納容器的構(gòu)件的材質(zhì)、電性特性、清凈度、構(gòu)成防護(hù)膠膜組件收納容器的構(gòu)件間的接觸、防護(hù)膠膜組件收納容器及防護(hù)膠膜組件的接觸、以及外力對(duì)防護(hù)膠膜組件收納容器所造成的摩擦等。
因此，構(gòu)成防護(hù)膠膜組件收納容器的材料的材質(zhì)、強(qiáng)度、電性特性、及防護(hù)膠膜組件的固定方法等各種要素均必須考慮。
一般的半導(dǎo)體用防護(hù)膠膜組件收納容器是由用以載置防護(hù)膠膜組件的容器本體、及用以保持防護(hù)膠膜組件且邊緣部與容器本體互相嵌合固定的蓋體所構(gòu)成，其材質(zhì)均為樹(shù)脂，蓋體具有透明性。
將防護(hù)膠膜組件固定于半導(dǎo)體用防護(hù)膠膜組件收納容器的方法有如下所示的方法。
其一，以蓋體內(nèi)壁壓迫防護(hù)膠膜框架的上端面的方法(參照專利文獻(xiàn)1)。
專利文獻(xiàn)1所示的以蓋體內(nèi)壁壓迫防護(hù)膠膜框架的上端面的方法，具有可以單純的構(gòu)件構(gòu)成確實(shí)地保持防護(hù)膠膜框架的優(yōu)點(diǎn)，然而，因?yàn)橐话愕姆雷o(hù)膠膜組件收納容器是由樹(shù)脂所制成，對(duì)于來(lái)自容器外部的力的承受能力較弱，當(dāng)防護(hù)膠膜組件收納容器整體因?yàn)橥饬Χl(fā)生扭曲時(shí)等，強(qiáng)大的力作用于防護(hù)膠膜框架，而可能成為灰塵發(fā)生的原因或出現(xiàn)變形。
此種現(xiàn)象在1邊長(zhǎng)度超過(guò)400mm的大型液晶用防護(hù)膠膜組件時(shí)更為明顯。
其它方法方面，例如在容器本體增設(shè)肋部構(gòu)造來(lái)提高剛性的方法(參照專利文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)2所示的在容器本體增設(shè)肋部構(gòu)造來(lái)提高剛性的方法，具有可減少烈日下的貨車運(yùn)送或空運(yùn)等運(yùn)送中的外氣溫度變化所導(dǎo)致的熱變形的優(yōu)點(diǎn)，然而，使用上，很難將作業(yè)者手持容器的單側(cè)邊緣時(shí)所導(dǎo)致的扭曲抑制于不會(huì)影響到防護(hù)膠膜組件的程度。
其它固定方法尚有利用推壓體固定用以保護(hù)涂布于防護(hù)膠膜組件的粘著材的保護(hù)膜來(lái)間接固定防護(hù)膠膜框架的方法(參照專利文獻(xiàn)3)。
專利文獻(xiàn)2所示的利用推壓體固定用以保護(hù)涂布于防護(hù)膠膜組件的粘著材的保護(hù)膜來(lái)間接固定防護(hù)膠膜框架的方法，可以在不接觸防護(hù)膠膜框架本體的狀態(tài)下夾鉗保護(hù)膜，故具有來(lái)自防護(hù)膠膜組件收納容器外部的力對(duì)防護(hù)膠膜框架較沒(méi)有影響的優(yōu)點(diǎn)，然而，為了容易從粘著材剝離，保護(hù)膜通常會(huì)涂布著脫模劑，故運(yùn)送中的振動(dòng)可能導(dǎo)致防護(hù)膠膜框架脫離保護(hù)膜。
為了防止上述情形而使用重剝離類型之物做為保護(hù)膜的脫模劑時(shí)，從粘著劑剝離保護(hù)膜時(shí)可能導(dǎo)致粘著劑的變形，在將防護(hù)膠膜組件貼附于屏蔽時(shí)則可能出現(xiàn)該變形部位無(wú)法貼附于屏蔽的情形，而發(fā)生出現(xiàn)空氣程的問(wèn)題。
專利文獻(xiàn)1日本實(shí)公平6-45965號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2000-173887號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本特開(kāi)平11-052553號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容有鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在提供保管、運(yùn)送、操作中可使異物不會(huì)附著于收納的防護(hù)膠膜組件且可防止防護(hù)膠膜組件的污損并維持質(zhì)量的照相平版印刷用防護(hù)膠膜組件收納容器。
以解決上述課題為目的的本發(fā)明，是由用以載置防護(hù)膠膜組件的容器本體、及覆蓋防護(hù)膠膜組件且邊緣部與容器本體互相嵌合固定的蓋體所構(gòu)成的防護(hù)膠膜組件收納容器，其特征為，將框架保持銷插入設(shè)于防護(hù)膠膜框架外側(cè)面的孔來(lái)保持防護(hù)膠膜組件。前述容器本體為樹(shù)脂、前述容器本體接合著金屬構(gòu)件、對(duì)保持防護(hù)膠膜組件的前述框架保持銷進(jìn)行定位的定位構(gòu)件及組裝于容器本體的前述金屬構(gòu)件是以機(jī)械方式進(jìn)行連結(jié)、以及保持防護(hù)膠膜組件的前述框架保持銷與防護(hù)膠膜框架的接觸部設(shè)置著彈性體時(shí)為佳，前述容器本體及前述蓋體的材質(zhì)為樹(shù)脂且具有表面電阻值為1×1012Ω/□以下的防靜電性能更佳。
依據(jù)本發(fā)明，可在極力避免接觸到接觸部的情形下，確實(shí)地握持防護(hù)膠膜框架，而降低發(fā)生灰塵的可能性，而且，在剛性提高的容器本體設(shè)置框架保持銷，故具有可降低外力對(duì)防護(hù)膠膜組件的影響的效果。此外，依據(jù)容器本體為樹(shù)脂且容器本體接合著金屬構(gòu)件的實(shí)施形態(tài)，可補(bǔ)足具有質(zhì)輕的優(yōu)點(diǎn)的樹(shù)脂的容易變形的缺點(diǎn)，而只要使必要部分具有針對(duì)外力的形狀保持機(jī)能即可。
其次，依據(jù)對(duì)保持防護(hù)膠膜組件的框架保持銷進(jìn)行定位的構(gòu)件、及組裝于容器本體的金屬構(gòu)件以機(jī)械方式進(jìn)行連結(jié)的實(shí)施形態(tài)，保管、運(yùn)送、操作中亦可使防護(hù)膠膜組件的位置保持于一定的位置，故可減少灰塵發(fā)生及變形。
此外，依據(jù)保持防護(hù)膠膜組件的框架保持銷與防護(hù)膠膜框架的接觸部設(shè)置著彈性體的實(shí)施形態(tài)，保管、輸送、操作中，可降低振動(dòng)對(duì)防護(hù)膠膜組件的影響。
依據(jù)容器本體及蓋體的材質(zhì)為樹(shù)脂且具有表面電阻值為1×1012Ω/□以下的防靜電性能的實(shí)施形態(tài)，具有可防止大型液晶防護(hù)膠膜組件收納容器特別容易發(fā)生的包裝袋摩擦所導(dǎo)致的靜電問(wèn)題等的異物附著防止效果。


圖1是本發(fā)明的防護(hù)膠膜組件收納容器的一實(shí)施形態(tài)的剖面說(shuō)明圖。
圖2是本發(fā)明的防護(hù)膠膜組件收納容器的一實(shí)施形態(tài)的框架保持部的部分放大圖。
圖3是本發(fā)明的防護(hù)膠膜組件收納容器的一實(shí)施形態(tài)的容器本體的表面的說(shuō)明圖，(a)是表面說(shuō)明圖，(b)是容器本體的剖面說(shuō)明圖。
圖4是本發(fā)明的防護(hù)膠膜組件收納容器的一實(shí)施形態(tài)的容器本體的背面的說(shuō)明圖，(a)是容器本體的剖面說(shuō)明圖，(b)是背面說(shuō)明圖。
圖5是傳統(tǒng)的防護(hù)膠膜組件收納容器的說(shuō)明圖。
主要組件符號(hào)說(shuō)明1容器本體2蓋體3框架保持銷4銷固定構(gòu)件5補(bǔ)強(qiáng)金屬構(gòu)件6防護(hù)膠膜框架7防護(hù)膠膜膜片8彈性體9連結(jié)用螺絲10 框架夾具孔具體實(shí)施方式
以下，參照附圖針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明，然而，本發(fā)明并未受限于此。
圖1是本發(fā)明的防護(hù)膠膜組件收納容器的一實(shí)施形態(tài)的剖面說(shuō)明圖，圖2是其一部分的放大圖。
圖3是本發(fā)明的防護(hù)膠膜組件收納容器的一實(shí)施形態(tài)的容器本體表面說(shuō)明圖，圖4是容器本體背面說(shuō)明圖。
圖1中，本發(fā)明的防護(hù)膠膜組件收納容器是由容器本體1、蓋體2、框架保持銷3、銷固定構(gòu)件4、以及補(bǔ)強(qiáng)金屬構(gòu)件5所構(gòu)成。
與傳統(tǒng)的防護(hù)膠膜組件收納容器相同，容器本體1的中央配設(shè)著用以載置防護(hù)膠膜組件的較高的載置臺(tái)，覆蓋以邊緣部與容器本體1互相嵌合固定的蓋體2而形成封閉空間。
容器本體及蓋體的材質(zhì)方面，考慮容器整體的輕量化，以樹(shù)脂為佳，然而，液晶用的大型防護(hù)膠膜組件時(shí)，尤其是樹(shù)脂的變形對(duì)制品會(huì)造成很大影響時(shí)，以減少容器本體1的反翹為目的，而在容器本體1的背面接合補(bǔ)強(qiáng)金屬構(gòu)件5。
為了防止防護(hù)膠膜組件帶電而成為灰塵附著的原因，容器本體1及蓋體2所使用的樹(shù)脂應(yīng)具有防靜電性能。防靜電性能以表面電阻值為1×1012Ω/□以下為佳。
樹(shù)脂的材質(zhì)方面，并無(wú)特別限制，可使用壓克力樹(shù)脂、聚乙烯對(duì)苯二甲酸酯樹(shù)脂、丙烯脂.丁二烯.苯乙烯樹(shù)脂、聚苯乙烯樹(shù)脂、聚碳酸酯樹(shù)脂、氯化乙烯樹(shù)脂、聚丙烯樹(shù)脂、聚乙烯樹(shù)脂、以及丙烯脂.乙烯.苯乙烯等。
防靜電的方式只要沒(méi)有發(fā)生灰塵的問(wèn)題，可以從對(duì)基底聚合物調(diào)合親水性聚合物的方式、導(dǎo)電膜的覆蓋、以及導(dǎo)電材料的精煉等所選取。
此外，金屬材料可以為鋁、不銹鋼、碳鋼、銅、黃銅等，考慮比重及彈性率的話，以鋁為佳。
如圖2的放大圖所示，防護(hù)膠膜框架6的固定是將框架保持銷3插入設(shè)于框架外側(cè)面的夾具孔10來(lái)實(shí)施。為了更柔和地握持防護(hù)膠膜框架，應(yīng)在框架保持銷3的前端設(shè)置彈性體8。
銷固定構(gòu)件4是用以實(shí)施框架保持銷3的定位的構(gòu)件，然而，因?yàn)槔寐萁z等與容器本體的背面的補(bǔ)強(qiáng)金屬構(gòu)件5進(jìn)行機(jī)械方式的連結(jié)，故即使有來(lái)自容器外部的力、或容器本體因?yàn)闊嶙冃味で鷷r(shí)，亦可維持框架保持銷的位置精度。
彈性體的材料方面，如腈橡膠、苯乙烯橡膠、硅橡膠、含氟橡膠、氯丁二烯橡膠、聚胺甲酸酯橡膠、4氟化乙烯樹(shù)脂、聚丙烯橡膠、以及乙烯丙烯橡膠等，以耐久性的觀點(diǎn)而言，以硅橡膠及4氟化乙烯橡膠為佳。以靜電對(duì)策而言，使相關(guān)材料具有防靜電機(jī)能更佳。
利用框架保持銷3固定防護(hù)膠膜框架6的部位至少需要3處以上，如圖3所示，最好為包括防護(hù)膠膜框架6的角部附近在內(nèi)的4處以上。
如圖4的容器本體的背面的平面圖所示，為了防止容器本體1的變形，在容器本體的背面設(shè)置補(bǔ)強(qiáng)金屬構(gòu)件5。補(bǔ)強(qiáng)金屬構(gòu)件5應(yīng)以機(jī)械方式連結(jié)于銷固定構(gòu)件4。雖然補(bǔ)強(qiáng)金屬構(gòu)件5的單體亦可獲得效果，然而，如圖所示，以縱橫連結(jié)的方式來(lái)設(shè)置，可以獲得更高的效果。
實(shí)施例以下，針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，然而，本發(fā)明并未受限于此。制作圖1～圖4所示的防護(hù)膠膜組件收納容器。
防護(hù)膠膜組件收納容器的構(gòu)成上，主要是由利用真空成型法以防靜電性ABS樹(shù)脂((股)TORAY制、商品名稱TOYOLACPAREL TP10、表面電阻值5×1011Ω/□)進(jìn)行成型所得到的容器本體1、及同樣利用真空成型法以防靜電性ABS樹(shù)脂((股)TORAY制、商品名稱TOYOLACPAREL TP10、表面電阻值5×1011Ω/□)進(jìn)行成型所得到的容器蓋體2所構(gòu)成。容器本體的背面設(shè)置著剖面為40×6mm的鋁合金制補(bǔ)強(qiáng)金屬構(gòu)件5，如圖4所示，縱橫交叉連結(jié)著5支補(bǔ)強(qiáng)金屬構(gòu)件5。
此外，設(shè)置于容器本體表面的銷固定構(gòu)件4及設(shè)置于容器本體背面的補(bǔ)強(qiáng)金屬構(gòu)件5是夾著容器本體以M4的螺絲進(jìn)行機(jī)械方式的連結(jié)。此外，銷固定構(gòu)件4及框架保持銷3的材質(zhì)是PPS，如圖3所示，防護(hù)膠膜框架6的角部附近的4處配設(shè)著框架保持銷3，該框架保持銷3的前端則設(shè)置著含氟橡膠制的彈性體8。
在外部尺寸為782×474×6mm的鋁合金制防護(hù)膠膜框架6的一端面涂布硅粘著劑(信越化學(xué)工業(yè)(股)制、商品名稱KR120)當(dāng)做防護(hù)膠膜膜片粘著劑，而在另一端面涂布硅粘著劑(信越化學(xué)工業(yè)(股)制、商品名稱KR120)當(dāng)做屏蔽粘著劑，對(duì)其加熱進(jìn)行烘焙，再將防護(hù)膠膜框架6貼附著利用旋涂法所得到的氟系聚合物(商品名稱CYTOP、旭硝子(股)制)的厚度約4μm的防護(hù)膠膜膜片7的防護(hù)膠膜組件收納于完成的防護(hù)膠膜組件收納容器，在東京-福岡間進(jìn)行往返空運(yùn)，檢測(cè)運(yùn)送前后的防護(hù)膠膜膜片上的異物增加數(shù)。
在等級(jí)100的無(wú)塵室內(nèi)從防護(hù)膠膜組件收納容器取出防護(hù)膠膜組件，并在暗房?jī)?nèi)照射40萬(wàn)勒克斯的光，調(diào)查防護(hù)膠膜膜片7表面的異物增加數(shù)，結(jié)果，防護(hù)膠膜膜片7上的異物并未增加，此外，構(gòu)成防護(hù)膠膜組件的構(gòu)件亦未觀察到變形或受損。此外，利用ION SYSTEM公司(美國(guó)加利福尼亞州)制的ION SYSTEM/MODEL775檢測(cè)到運(yùn)送后的防護(hù)膠膜膜片的帶電量為-0.1kV。
比較例制作圖5所示的傳統(tǒng)公知的以蓋體內(nèi)壁2壓迫防護(hù)膠膜框架6的上端面的構(gòu)成的防護(hù)膠膜組件收納容器。容器本體1及蓋體2的材質(zhì)為表面電阻值1018Ω/□以上的壓克力性樹(shù)脂。
在外部尺寸為782×474×6mm的鋁合金制防護(hù)膠膜框架6的一端面涂布硅粘著劑(信越化學(xué)工業(yè)(股)制、商品名稱KR120)當(dāng)做防護(hù)膠膜膜片粘著劑，而在另一端面涂布硅粘著劑(信越化學(xué)工業(yè)(股)制、商品名稱KR120)當(dāng)做屏蔽粘著劑，對(duì)其加熱進(jìn)行烘焙，再將防護(hù)膠膜框架6貼附著利用旋涂法所得到的氟系聚合物(商品名稱CYTOP、旭硝子(股)制)的厚度約4μm的防護(hù)膠膜膜片7的防護(hù)膠膜組件收納于此防護(hù)膠膜組件收納容器，在東京-福岡間進(jìn)行往返空運(yùn)，檢測(cè)運(yùn)送前后的防護(hù)膠膜膜片上的異物增加數(shù)。
在等級(jí)100的無(wú)塵室內(nèi)從防護(hù)膠膜組件收納容器取出防護(hù)膠膜組件，并在暗房?jī)?nèi)照射40萬(wàn)勒克斯的光，調(diào)查防護(hù)膠膜膜片7表面的異物增加數(shù)，結(jié)果，防護(hù)膠膜膜片7上的10μm以上的異物增加了48個(gè)，此外，在抵接防護(hù)膠膜膜片粘著劑的蓋體的部分觀察到運(yùn)送前沒(méi)有的壓痕。此外，利用ION SYSTEM/MODEL775檢測(cè)到運(yùn)送后的防護(hù)膠膜膜片的帶電量為-3.8kV，代表其帶電。
如以上所示，依據(jù)本發(fā)明，收納的防護(hù)膠膜組件在保管、運(yùn)送、操作中不會(huì)附著異物，而且，可防止防護(hù)膠膜組件的污損而維持質(zhì)量。
權(quán)利要求
1.一種防護(hù)膠膜組件收納容器，包括容器本體，用以載置防護(hù)膠膜組件；及蓋體，覆蓋防護(hù)膠膜組件，且其邊緣部與容器本體互相嵌合固定；其特征在于將框架保持銷插入設(shè)于防護(hù)膠膜框架外側(cè)面的孔來(lái)保持防護(hù)膠膜組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防護(hù)膠膜組件收納容器，其特征在于該容器本體是樹(shù)脂，該容器本體接合著金屬構(gòu)件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)膠膜組件收納容器，其特征在于對(duì)保持防護(hù)膠膜組件的該框架保持銷進(jìn)行定位的定位構(gòu)件、及組裝于容器本體的該金屬構(gòu)件是以機(jī)械方式進(jìn)行連結(jié)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)膠膜組件收納容器，其特征在于在保持防護(hù)膠膜組件的該框架保持銷與防護(hù)膠膜框架的接觸部設(shè)置著彈性體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)膠膜組件收納容器，其特征在于該容器本體及該蓋體的材質(zhì)為樹(shù)脂，該容器本體及該蓋體具有表面電阻值為1×1012Ω/□以下的防靜電性能。
全文摘要
本發(fā)明提供收納防護(hù)膠膜組件不會(huì)附著異物且可防止防護(hù)膠膜組件的污損而維持質(zhì)量的照相平版印刷用防護(hù)膠膜組件收納容器，其由用以載置防護(hù)膠膜組件的容器本體、及覆蓋防護(hù)膠膜組件且邊緣部與容器本體互相嵌合固定的蓋體所構(gòu)成的防護(hù)膠膜組件收納容器，將框架保持銷插入設(shè)于防護(hù)膠膜框架外側(cè)面的孔來(lái)保持防護(hù)膠膜組件。該容器本體為樹(shù)脂、該容器本體接合著金屬構(gòu)件、對(duì)保持防護(hù)膠膜組件的該框架保持銷進(jìn)行定位的定位構(gòu)件及組裝于容器本體的該金屬構(gòu)件是以機(jī)械方式進(jìn)行連結(jié)、以及保持防護(hù)膠膜組件的該框架保持銷與防護(hù)膠膜框架的接觸部設(shè)置著彈性體時(shí)為佳，此外，該容器本體及該蓋體的材質(zhì)為樹(shù)脂且具有表面電阻值為1×10
文檔編號(hào)G03F1/64GK1836988SQ20061005495
公開(kāi)日2006年9月27日 申請(qǐng)日期2006年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月22日
發(fā)明者野崎聰, 關(guān)原一敏 申請(qǐng)人:信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社