專利名稱：基板檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種使用透射照明來進行基板檢查的基板檢查裝置。
本申請主張關于2005年5月12日申請的日本專利申請第2005-139515號的優(yōu)先權，并在此引用其內容。
背景技術：
在液晶顯示器等平板顯示器的制造工序中，使用了通過檢查玻璃基板上的外觀來檢查有無缺陷等的基板檢查裝置。為了不損傷玻璃基板，在基板檢查裝置中具有懸浮臺，該懸浮臺用于在通過空氣使玻璃基板懸浮的狀態(tài)下搬送該玻璃基板。為了對基板進行透射照明，在該懸浮臺上以與玻璃基板的搬送方向正交的方式設有貫穿上下方向的間隙?；鍣z查裝置通過該間隙從下方向玻璃基板照射照明光，以照明玻璃基板，并使用配置于玻璃基板的上方的顯微鏡來觀察玻璃基板。
這里，在玻璃基板通過設于懸浮臺的間隙的上方的期間，由于通過空氣噴射而形成的浮力降低，因此產生玻璃基板發(fā)生撓曲、顯微鏡的焦點偏移等不良情況。此外，在懸浮臺上搬送來的玻璃基板的末端通過間隙的上方時，由于浮力因該間隙而降低，因此玻璃基板的末端被間隙邊緣勾住，因此難以進行玻璃基板的搬送。當為了消除這種不良情況而縮小間隙的寬度時，則無法將透射照明光源配置于間隙中，從而導致透射照明光源遠離玻璃基板，由于當使間隙的寬度減小時通過間隙的照明光的光量會減少，因此照明光的數(shù)值孔徑變小，從而導致觀察圖像變暗。
因此，在現(xiàn)有的基板檢查裝置中，在間隙中配設空氣軸承，通過空氣軸承對通過間隙上方的玻璃基板同時進行空氣的噴射和抽吸，以使在間隙上的玻璃基板高精度地維持在預定的高度(例如，參照日本專利公報特開2002-181714號)。
但是，若如現(xiàn)有的基板檢查裝置那樣在間隙中配設空氣軸承的話，則噴出空氣的壓縮機和抽吸空氣的真空泵需要與懸浮臺分開，因此存在裝置的結構變得復雜的問題。即使設置空氣軸承，也需要用于使透射照明光通過的間隙，但若增大配置該透射照明光源的間隙的寬度，則產生與上述相同的問題，若減小間隙，則照明光的一部分會被空氣軸承阻礙，其結果導致有時光量不足。

發(fā)明內容
本發(fā)明是鑒于上述情況而提出的，其主要目的是提供一種基板檢查裝置，該基板檢查裝置結構簡單，并且可以防止通過懸浮臺的間隙上方的基板變形，能夠高精度地進行基板的檢查。
本發(fā)明的基板檢查裝置包括懸浮臺，其用于使基板懸?。挥^察單元，其用于對在所述懸浮臺上進行搬送的所述基板的上表面進行觀察；透射照明光源，其用于對所述基板從所述基板的下表面照射照明光；照明光通過部，其形成于所述懸浮臺，并由所述照明光可以通過的間隙構成；以及透射部件，其嵌入在所述照明光通過部中，并可以使所述照明光透射。
本發(fā)明的基板檢查裝置通過懸浮臺來搬送基板，在對基板照射照明光的同時進行基板的觀察。為了使照明光透射，以覆蓋形成于懸浮臺的間隙的至少一部分的方式插入有透射部件。由此，從懸浮臺噴出的空氣進入到透射部件和基板之間并形成空氣層，通過該空氣層在照明光通過部中也可維持使基板懸浮的狀態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明的基板檢查裝置，由于在照明光通過部中插入有透射部件，所以通過從懸浮臺噴出的空氣在透射部件與基板之間形成空氣層，從而，通過該空氣層在照明光通過部中也可以使基板懸浮。因此，可以保持基板在照明光通過部中的高度大致恒定，從而能夠通過觀察單元高精度地進行基板的檢查。


圖1是表示本發(fā)明實施方式的基板檢查裝置的結構的圖。
圖2是放大了懸浮臺的照明光通過部的附近的圖，是說明通過高度調整小螺釘(ビス)來固定散射板的分解圖。
圖3是從下方觀察散射板的立體圖。
圖4是表示在照明光通過部中插入有散射板的狀態(tài)的圖。
圖5是表示設有鼓風單元的顯微鏡的圖。
圖6是說明通過墊片固定散射板的分解圖。
圖7是說明通過墊片和真空吸附來固定散射板的分解圖。
圖8是表示透射照明光源與散射板一體地設置于照明光通過部時的圖。
具體實施例方式
參照附圖對用于實施本發(fā)明的最佳方式進行詳細說明。
(第一實施方式)如圖1所示，基板檢查裝置1具有基座部2，在基座部2的上部配置有懸浮臺3、和沿懸浮臺3搬送玻璃基板W的搬送部4。在圖1中，搬送部4鋪設于基座部2的上表面，并且設置成可以沿在X方向上延伸的導軌33移動。在搬送部4上還設置有多個吸附盤35，所述吸附盤35通過從下方與玻璃基板W的外緣部抵接來進行吸附保持。該搬送部4通過吸附盤35來吸附保持懸浮在懸浮臺3上的玻璃基板W的外緣部，并沿搬送方向強制搬送該玻璃基板W，所述搬送方向是從懸浮臺3的近前側的一端部朝向另一端部的方向(以下稱為X方向)。此外，在基座部2上，在沿X方向從一端部到另一端部之間固定有檢查部5。檢查部5包括門形框架6，其配設在與X方向正交的Y方向上，并跨過懸浮臺3以及搬送部4；顯微鏡(觀察單元)7，其可移動地設置在門形框架6的梁部6A上；透射照明光源8，其設置于顯微鏡7的下方，并與顯微鏡7聯(lián)動地移動。另外，在圖1中，透射照明光源8位于懸浮臺3的外側，但在檢查時，該透射照明光源8移動到顯微鏡7的與物鏡對置的光軸下方。
在懸浮臺3上形成有與X方向平行的多個平行的凹部10。在懸浮臺3的除凹部10之外的上表面3A上等間隔地貫穿設置有多個用于噴出空氣的孔11。在多個孔11的下方，對應于每一條形成有空間，該空間與未圖示的空氣壓縮機連接。并且，在從懸浮臺3的一端側到另一端側的中途，形成有照明光通過部15，該照明光通過部15是用于使來自透射照明光源8的照明光通過的間隙。該照明光通過部15形成為與Y方向平行，并且沿上下方向貫穿懸浮臺3。如圖2所示，在夾著照明光通過部15對置的懸浮臺3的側部12上，突出設置有支承部16。
在照明光通過部15中，從上方嵌入有作為可使照明光透射的透射部件的散射板20，散射板20通過固定部件21固定在懸浮臺3上。散射板20在使來自透射照明光源8的照明光散射的同時使其透射，散射板例如可以由毛玻璃或白色的丙稀板等制成。散射板20在X方向的寬度與形成于懸浮臺3的照明光通過部15在X方向的寬度大致相等，散射板20在Y方向的長度與懸浮臺3在Y方向的長度大致相等。因此，散射板20與配置于上游側和下游側的各懸浮臺3的側部12嵌合，并且散射板20的沿Y方向的邊緣部載置在支承部16上，散射板20的上表面與各懸浮臺3的上表面大致在同一個面上。散射板20通過固定部件21(固定單元)固定在懸浮臺3的預定位置上。
此外，如果通過在透射照明光源8上設置使光散射透射的部件來使照明光均勻化，則也可以不設置散射板20，而代替該散射板20使用由玻璃或塑料等透明材料構成的透明部件。
如圖3所示，為了不遮擋透射照明光，固定部件21通過粘貼在散射板20的下表面的外緣部來與散射板20連接。固定部件21之間的間隔與凹部10之間的間隔一致。固定部件21具有可以沿懸浮臺3的凹部10的寬度方向插入到凹部10中的形狀，固定部件21的高度形成為從凹部10的底面起低于懸浮臺3的上表面3A。如圖2所示，在固定部件21上設有用于插入緊固部件22的插入孔23。并且，3個高度調整用螺孔24形成為包圍插入孔23。通過這些調整用螺孔24和旋合在調整用螺孔24中的高度調整小螺釘25，構成了用于調整散射板20的高度和水平度的調整單元。
如圖4所示，在將散射板20固定到懸浮臺3時，將散射板20從懸浮臺3的上方嵌入到照明光通過部15中，然后將固定部件21嵌入到凹部10中，在該狀態(tài)下，將由無頭螺釘構成的高度調整小螺釘25旋合到高度調整用螺孔24中。然后，通過使高度調整小螺釘25的旋入量變化，來進行調整，使得散射板20的上表面比懸浮臺3的上表面3A低、且與上表面3A平行，并且從懸浮臺3的上表面3A到散射板20的高低差小于等于1mm。理想的是調整成與上表面3A大致在一個面上，以便使玻璃基板W能夠順利通過。若散射板20高于上表面3A，則可能會與玻璃基板W產生干涉；若從懸浮臺3的上表面3A到散射板20的高低差大于1mm，則難以形成用于使玻璃基板W懸浮的足夠的空氣層。在調整散射板20的高度后，在保持其位置的同時將緊固部件22插入到固定部件21的插入孔23中，然后將該緊固部件22旋合到形成于懸浮臺3的凹部10的螺孔13中，由此將散射板20固定在懸浮臺3上。此外，緊固部件22和高度調整小螺釘25使用頭頂部比懸浮臺3的上表面3A低的部件，以使它們不會從懸浮臺3的上表面3A突出。
配置在散射板20下方的透射照明光源8可移動地安裝在與Y方向平行鋪設的導軌31上。配置在散射板20上方的顯微鏡7可移動地安裝在導軌32上，該導軌32與Y方向平行地鋪設于門形框架6的梁部6A。由未圖示的控制裝置對顯微鏡7的物鏡和透射照明光源8進行位置控制，以使它們的光軸始終一致。
此外，作為該基板檢查裝置1的檢查對象，是可通過透射照明進行觀察的基板即可，其材質并不限定于玻璃，也可以是塑料等。另外，檢查對象的形狀除了板狀外也可以是薄膜狀等。
接下來，對本實施方式的作用進行說明。
首先，在使搬送部4在懸浮臺3的一端部側(基板搬入?yún)^(qū)域)待機的狀態(tài)下，開始從懸浮臺3的孔11中噴出空氣。當通過機器人或其他的懸浮臺(未圖示)等將玻璃基板W搬入到懸浮臺3上時，玻璃基板W在通過其與懸浮臺3之間的空氣層而懸浮的狀態(tài)下，通過未圖示的定位機構碼放在基準位置上。當在該狀態(tài)下使吸附盤35上升并使其與玻璃基板W抵接、并且開始真空吸附時，玻璃基板W就被保持在搬送部4上。然后，當通過未圖示的線性電動機等驅動單元使搬送部4沿導軌32向另一端部移動時，玻璃基板W以通過空氣而懸浮的狀態(tài)在懸浮臺3上被搬送。
當玻璃基板W的端部接近照明光通過部15時，從懸浮臺3噴出的空氣進入到玻璃基板W和散射板20之間，從而形成空氣層。在現(xiàn)有的基板檢查裝置中，空氣從照明光通過部逸失，使得無法產生浮力。但是，通過在散射板20和玻璃基板W之間形成空氣層，作用于玻璃基板W的浮力在照明光通過部15中也可維持，因此，玻璃基板W在保持高度大致恒定的狀態(tài)下通過照明光通過部15的上方。此外，由于固定部件21的上表面構成為與懸浮臺3的上表面3A大致在一個面上、或者略微低于上表面3A，因此，固定部件21封閉凹部10的端部開口，防止空氣逸失到照明光通過部15中。由此，從懸浮臺3的各孔11噴出的空氣的一部分流入到散射板20和固定部件21的上表面，通過散射板20和玻璃基板W之間的空氣層，玻璃基板W從散射板20的上表面浮起在恒定高度。這里，當使顯微鏡7和透射照明光源8同步移動時，來自透射照明光源8的點照明光被導入到照明光通過部15，并通過散射板20而散射成為散射光，從而從下方對玻璃基板W進行均勻地照明。顯微鏡7從CCD(Charged CoupledDevice電荷耦合器件)取入通過散射光照明了的玻璃基板W的表面的放大圖像，并在與CCD連接的監(jiān)視器(未圖示)中進行顯示。當在玻璃基板W上存在異物等缺陷時，通過放大圖像來發(fā)現(xiàn)這樣的異物，并采取必要的處置。若結束了通過檢查部5對玻璃基板W上的觀察對象的檢查，則在使搬送部4返回到一端部側后，解除真空吸附。解除了真空吸附的玻璃基板W由機器人從基板檢查裝置1搬出，并送往下一工序。
根據(jù)本實施方式，通過用使照明光透射的透明或者半透明的板材來封閉形成于懸浮臺3的間隙，來使從懸浮臺3噴出的空氣流入到玻璃基板W和散射板20之間，從而形成空氣層，其中，上述間隙是作為使透射照明光通過的照明光通過部15而形成的，因此通過該空氣層即使在照明光通過部15也能夠將玻璃基板W維持在恒定的高度上。由此，可以防止玻璃基板W的變形等，并且可以將玻璃基板W保持在大致恒定的高度上。因此，可以準確地進行玻璃基板W的檢查。這里，散射板20能夠通過固定部件21相對于懸浮臺3高精度地進行位置調整，所以玻璃基板W和散射板20不會接觸。并且，由于調整散射板20的高度，并且還將散射板20無間隙地嵌入到照明光通過部15的上部，所以可以防止空氣的泄漏，從而能夠可靠地形成玻璃基板W的懸浮所需要的空氣層。
此外，在現(xiàn)有的基板檢查裝置中，散射板配置在透射照明光源的附近，散射光形成在離開玻璃基板W的位置，因此視野變暗，但是根據(jù)本實施方式，由于散射板20配置在玻璃基板W的附近，所以能夠對玻璃基板W進行明亮且均勻地照明。
另外，如圖5所示，還可以在具有CCD 40的顯微鏡7的側部安裝鼓風單元42。鼓風單元42與未圖示的空氣壓縮機等連接，用于向下方噴出空氣。在玻璃基板的檢查開始之前，當驅動鼓風單元42使其向散射板20的上表面噴出空氣時，能夠在不損傷散射板20的表面的情況下吹走堆積在散射板20上的灰塵等，能夠減少在玻璃基板W的下方的散射板20上產生的假缺陷，從而能夠提高檢查精度。另外，利用鼓風單元42對散射板20進行鼓風的時間也可以是在檢查結束之后。不論什么時間，優(yōu)選的是定期地進行鼓風。另外，該鼓風單元42通過使鼓風的射出方向與顯微鏡7的物鏡的焦點位置一致，在判斷成通過顯微鏡7所檢測到的玻璃基板W的缺陷為堆積在該玻璃基板W上的假缺陷時，能夠驅動鼓風單元42以除去假缺陷。
(第二實施方式)本發(fā)明的第二實施方式與第一實施方式的不同點只在于散射板的固定方法不同。因此，省略與第一實施方式重復的說明。
如圖6所示，保持散射板20的固定部件51(固定單元)與懸浮臺3的凹部10的間隔一致地固定在散射板20的背面外緣部。該固定部件51的外形與第一實施方式的固定部件21相同。
在固定散射板20時，在懸浮臺3的凹部10中鋪設墊片52，以接近嵌合的狀態(tài)從墊片52的上方插入固定部件51。在墊片52上形成有切口52A，以避開與緊固部件22產生干涉。墊片52準備有形狀相同但是厚度不同的多種墊片。在固定散射板20時，逐個地更換所準備的多種墊片52以進行調整，使得散射板20的上表面低于懸浮臺3的上表面3A且與上表面3A平行，并且從懸浮臺3的上表面3A到散射板20的高低差小于等于1mm。理想的是，調整成使散射板20的上表面與上表面3A大致在同一個面上，以使玻璃基板W可以順利通過。
根據(jù)本實施方式，可以通過散射板20封閉照明光通過部15的間隙，從而可獲得與第一實施方式相同的效果。此外，僅通過更換墊片52就能夠調整散射板20的高度。
(第三實施方式)本發(fā)明的第三實施方式與第一、第二實施方式的不同點只在于，散射板的固定方法不同。因此，省略與第一、第二實施方式重復的說明。
如圖7所示，在本實施方式中，在懸浮臺3側設有通過空氣吸附來固定散射板20的固定單元。即，在懸浮臺3的支承部16上形成有多個沿上下方向貫穿的孔61。各孔61與固定在支承部16的下方的各連接器62連接，各連接器62通過配管63連接在一起。配管63與未圖示的真空泵連接。另外，在孔61的上側開口的周緣部配置有作為調整單元兼用作吸附部的墊片64。在墊片64的中央形成有與孔61連通的通孔。與第二實施方式一樣，墊片64準備有厚度不同的多種墊片。為了不損傷散射板20，墊片64例如可以由具有彈性的硅等的樹脂來制成。在固定散射板20時，可以逐個地更換所準備的多種墊片64以進行調整，使得散射板20的上表面低于懸浮臺3的上表面3A且與上表面3A平行，并且從懸浮臺3的上表面3A到散射板20的高低差小于等于1mm，然后通過孔61進行真空吸附。理想的是，在散射板20的上表面與上表面3A大致在同一個面上之后就進行真空吸附，以使玻璃基板W可以順利通過。
根據(jù)本實施方式，通過孔61將散射板20真空吸附在支承部16上，由此可以封閉作為照明光通過部15的間隙，從而可獲得與第一實施方式相同的效果。另外，由于通過真空吸附來固定散射板20，所以在需要進行高度調整的情況下，通過暫時停止真空吸附能夠簡單地更換墊片64。因此，不需要進行螺釘在固定部件51的裝卸，可以在更短的時間內實施調整作業(yè)。
本發(fā)明不僅限于上述各實施方式，其可以廣泛應用。
例如，也可以用透明的玻璃板來覆蓋照明光通過部15，將散射板固定于透射照明光源8。此時，在照明光通過部15中，由于在玻璃基板W和玻璃板之間形成有空氣層，所以能夠保持玻璃基板W的高度大致恒定。而且，因為是玻璃板，所以能夠在透射照明光沒有衰減的情況下對玻璃基板W進行明亮的照明。這樣，即使在用玻璃板封閉作為照明光通過部15而形成的間隙的情況下，由于在懸浮臺3的上表面3A和玻璃基板W之間形成有空氣層，所以能夠保持照明光通過部15中的玻璃基板W的高度大致恒定。
另外，如圖8所示，也可以使用透射照明光源70。該透射照明光源70具有外殼71、將熒光燈或LED排列成直線狀的線照明光源72、散射板73。外殼71的寬度與照明光通過部15在X方向的寬度大致相等，外殼71的長度與懸浮臺在Y方向的長度大致相等。線照明光源72沿Y方向延伸，并收容在外殼71內。散射板73是使來自線照明光源72的線照明光散射、并同時使其透射的透射部件，散射板73固定成覆蓋外殼71的上表面。透射照明光源70通過升降機構74安裝在基座部2上。升降機構74例如由空氣驅動的缸構成，其一旦進行了高度調整則將保持該位置。透射照明光源70定位成散射板73的上表面低于懸浮臺3的上表面3A且與上表面3A平行，并且從懸浮臺3的上表面3A到散射板20的高低差小于等于1mm。該線照明光源72配置在顯微鏡7的物鏡的移動軌跡上，在檢查時，僅顯微鏡7沿Y方向移動(參照圖1)來進行檢查。根據(jù)這樣的結構，可以獲得與第一實施方式相同的效果。此外，還可以使用能切換成透明狀態(tài)或者散射狀態(tài)的透射型液晶散射板來代替散射板20。
還可以構成這樣的結構在照明光通過部15中插入桿式透鏡，并使來自光源的照明光入射到該桿式透鏡的底面上，從而對玻璃基板W照射線照明光。在桿式透鏡上的與顯微鏡7的光軸對置的上表面上形成有狹縫狀的射出透射口，該桿式透鏡用于全反射所入射的照明光。通過將照明光通過部15的間隙設定成與直徑為大致相同的尺寸，以便將該桿式透鏡嵌入到照明光通過部15的間隙中，可以縮小照明光通過部15的間隙，能夠提高作用于玻璃基板W的浮力，根據(jù)這樣的結構，可以獲得與第一此外，如果將孔11的貫穿設置間隔以及照明光通過部15在X方向的寬度設定成使懸浮臺31的孔11在X方向上等間隔地配置，則即使沒有散射板20也可以保持玻璃基板W的高度大致恒定。
以上，對本發(fā)明的理想實施方式進行了說明，但是本發(fā)明并不僅限定于上述實施方式。在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內，可以進行結構的添加、省略、置換、以及其他的變更。本發(fā)明不限定于上述的說明，而僅由所附的權利要求范圍來限定。
權利要求
1.一種基板檢查裝置，其包括懸浮臺，其用于使基板懸?。挥^察單元，其用于對在所述懸浮臺上進行搬送的所述基板的上表面進行觀察；透射照明光源，其用于對所述基板從所述基板的下表面照射照明光；照明光通過部，其形成于所述懸浮臺，并由所述照明光可以通過的間隙構成；以及透射部件，其嵌入在所述照明光通過部中，并可以使所述照明光透射。
2.根據(jù)權利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述透射部件由可使所述照明光透射的透明材料構成。
3.根據(jù)權利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述透射部件是使所述照明光散射的散射板。
4.根據(jù)權利要求3所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述散射板是這樣的透射型液晶散射板，其可以切換成使所述照明光散射的狀態(tài)，或者使所述照明光透射的透射狀態(tài)。
5.根據(jù)權利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，還包括固定單元，其用于將所述透射部件固定在所述懸浮臺上；和調整單元，其設置在所述固定單元上，用于調整所述透射部件相對于所述懸浮臺的高度。
6.根據(jù)權利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述透射部件以封閉所述照明光通過部的間隙的方式嵌入，所述透射部件的上表面配置成小于等于所述懸浮臺的上表面的高度。
7.根據(jù)權利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，還包括鼓風單元，其安裝在所述觀察單元上，用于朝向所述透射部件吹射空氣。
全文摘要
本發(fā)明的基板檢查裝置包括懸浮臺，其用于使基板懸浮；觀察單元，其用于對在所述懸浮臺上進行搬送的所述基板的上表面進行觀察；透射照明光源，其用于對所述基板從所述基板的下表面照射照明光；照明光通過部，其形成于所述懸浮臺，并由所述照明光可以通過的間隙構成；以及透射部件，其嵌入在所述照明光通過部中，并可以使所述照明光透射。
文檔編號G02F1/13GK1862319SQ20061008018
公開日2006年11月15日 申請日期2006年5月10日 優(yōu)先權日2005年5月12日
發(fā)明者城崎修哉 申請人:奧林巴斯株式會社