專利名稱：將標(biāo)尺固定在支架上的方法、標(biāo)尺和具有這種標(biāo)尺的支架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于將標(biāo)尺固定在支架上的方法。
背景技術(shù)：
為了測(cè)量?jī)蓚€(gè)機(jī)器部件的相對(duì)位置在一個(gè)機(jī)器部件上固定標(biāo)尺并且在另一相互運(yùn)動(dòng)的機(jī)器部件上固定掃描單元。在測(cè)量位置時(shí)由掃描單元掃描標(biāo)尺刻度。
在將標(biāo)尺固定在支架上時(shí)區(qū)分兩種基本原理。對(duì)于第一基本原理使標(biāo)尺這樣固定在支架上，使得標(biāo)尺在溫度變化時(shí)可以相對(duì)于支架自由伸展。在這里固定通過可以在測(cè)量方向上偏轉(zhuǎn)的固定部件或者通過彈性粘接層實(shí)現(xiàn)。
對(duì)于第二基本原理使標(biāo)尺剛性地固定在支架上。在此支架和標(biāo)尺可以由具有相同膨脹率的材料制成。如果支架與標(biāo)尺由不同的材料制成，使支架的溫度特性強(qiáng)加在標(biāo)尺上。對(duì)于第二基本原理固定通過可靠硬化的薄粘接層或通過粘接實(shí)現(xiàn)。
對(duì)于高精度的位置測(cè)量最好使用由具有可忽略的膨脹率的玻璃或玻璃陶瓷制成的標(biāo)尺。這些標(biāo)尺能夠良好地運(yùn)行，因此在這里采用粘接在對(duì)應(yīng)表面上，如同在DE 101 53 147 A1中所述的那樣。
在粘接標(biāo)尺時(shí)的問題是，連接易于受到污物或形成氣泡的干擾。此外要求連接表面高度平面性，這需要高的費(fèi)用。這些問題對(duì)于相對(duì)大面積的標(biāo)尺更嚴(yán)重。因此已經(jīng)不使用標(biāo)尺的粘接。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種克服了上述問題的方法。
這個(gè)目的通過按照權(quán)利要求1的方法得以實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明的另一目的是，給出一個(gè)支架，它具有穩(wěn)定固定在其上的標(biāo)尺。
這個(gè)目的通過按照權(quán)利要求7的支架得以實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明還涉及具有權(quán)利要求18特征的標(biāo)尺。
在從屬權(quán)利要求中給出本發(fā)明的有利擴(kuò)展結(jié)構(gòu)。
通過本發(fā)明通過施加盡可能大的表面力作為固定力，充分利用粘接可實(shí)現(xiàn)的優(yōu)點(diǎn)，但是同時(shí)通過形成多個(gè)相互分開的粘接面避免粘接的缺陷。
通過按照本發(fā)明的分開粘接面限制局部地由于污物或用于滑痕引起的結(jié)合連接分離。這種分離一般通過中斷粘連接不會(huì)繼續(xù)發(fā)展。
此外實(shí)現(xiàn)良好的標(biāo)尺平面性，因?yàn)橥ㄟ^至少一個(gè)向外導(dǎo)引的通道可以排出干擾介質(zhì)。


借助于附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。附圖中圖1示出第一標(biāo)尺和用于固定標(biāo)尺的第一支架，圖2示出按照?qǐng)D1的固定在支架上的標(biāo)尺，圖3示出按照?qǐng)D2的標(biāo)尺和支架的縱向截面圖，圖4示出第二支架和第二標(biāo)尺，圖5示出按照?qǐng)D4的固定在支架上的標(biāo)尺，圖6示出第三支架和第三標(biāo)尺的俯視圖，圖7示出按照?qǐng)D6的固定在支架上的標(biāo)尺的截面圖，圖8示出兩個(gè)并排示出的第三標(biāo)尺結(jié)構(gòu)變化的橫截面圖，圖9示出按照?qǐng)D8的兩個(gè)變化的俯視圖，圖10示出第四支架和第四標(biāo)尺，圖11示出第四支架和第四標(biāo)尺的俯視圖，圖12示出圖11的A-A橫截面，
圖13示出圖12中B的放大圖，圖14示出圖11中C的放大圖，圖15示出第五支架和第五標(biāo)尺，圖16示出第五支架和第五標(biāo)尺的俯視圖，圖17示出圖16的A-A橫截面，圖18示出圖17B的放大圖，圖19示出圖16C的放大圖。
具體實(shí)施例方式
借助于圖1至3描述第一實(shí)施例。在此示出由玻璃或玻璃陶瓷(例如ZERODUR)制成的具有測(cè)量刻度21的標(biāo)尺11。測(cè)量刻度21是增量刻度，它為了位置測(cè)量可以在測(cè)量方向X上掃描。該測(cè)量刻度21可以是反射的振幅光柵或者相位光柵，它以公知的方式用于高精度干涉位置測(cè)量。所述標(biāo)尺11在其貝氏點(diǎn)處具有凸起31，它們作為支承面用于安置在支架51的對(duì)應(yīng)面41上。該支架51最好同樣由玻璃或玻璃陶瓷(例如ZERODUR)制成。
與支架51對(duì)應(yīng)面41對(duì)置的凸起31的表面61以及對(duì)應(yīng)面41是清潔且高度拋光的表面。所需的表面質(zhì)量通過機(jī)械磨削拋光或化學(xué)機(jī)械拋光實(shí)現(xiàn)。
在標(biāo)尺1上的凸起31最好通過已知的結(jié)構(gòu)工藝產(chǎn)生，通過使凸起31的部位被遮蓋并且腐蝕掉圍繞凸起31的材料。由此使凸起31一體地在標(biāo)尺11上構(gòu)成。
所述標(biāo)尺11與支架51的連接通過凸起31的表面61與支架51對(duì)應(yīng)面41的結(jié)合實(shí)現(xiàn)。按照本發(fā)明的結(jié)合的基礎(chǔ)是粘附，當(dāng)表面的距離進(jìn)入到原子結(jié)合力的作用半徑時(shí)，清潔的、能配合的且拋光的表面相互粘附。這種結(jié)合也稱為光學(xué)接觸或無粘接劑結(jié)合。因此這樣構(gòu)成凸起的表面61，使得這個(gè)表面具有一個(gè)可結(jié)合的表面61用于與支架51的對(duì)應(yīng)面41建立結(jié)合連接。
這種結(jié)合可以是直接結(jié)合(direc bonding或directcontacting)，它也稱為粘接。在直接結(jié)合時(shí)可以通過加熱作用提高結(jié)合效果，或者通過施加表面活化的措施。通過具有表面活化措施的直接結(jié)合在相對(duì)較低的溫度時(shí)也實(shí)現(xiàn)良好的結(jié)合強(qiáng)度。一種特別的表面活化措施是加入結(jié)晶的液體。這種結(jié)合工藝也稱為低溫結(jié)合技術(shù)(LTB)并且在通過互聯(lián)網(wǎng)了解到的SCHOTT公司CarrolClick、LeoGilroy和DaveVanderpool的論文“SCHOTT LowTemperature Bonding for Precision Optic”中描述，對(duì)于描述參閱該論文。對(duì)于LTB工藝所述標(biāo)尺11和支架51分別由膨脹率幾乎為零的玻璃陶瓷、尤其是ZERPDUR制成。
所述結(jié)合也可以是陽極的結(jié)合，其中在要被相互連接的標(biāo)尺11或支架51的表面61，41上涂覆一個(gè)金屬的導(dǎo)電輔助層、例如鋁作為凸起31與對(duì)應(yīng)面41之間的中間層。這個(gè)輔助層可以是蒸鍍層。對(duì)于陽極結(jié)合在輔助層與支架51之間施加一個(gè)電壓，由此使輔助層的離子漂移到支架51里面和/或使支架51的離子漂移到輔助層里面。所施加的電壓產(chǎn)生一個(gè)靜電吸引力，它在標(biāo)尺與支架之間起到原子接觸的作用。
為了多維位置測(cè)量經(jīng)常使用具有兩維測(cè)量刻度22的標(biāo)尺12。在此相對(duì)大尺寸的標(biāo)尺12(例如40cm×40cm)固定在機(jī)器部件52的表面42上。本發(fā)明有利地應(yīng)用于平版印刷設(shè)備，其中機(jī)器部件52由膨脹率幾乎為零的玻璃陶瓷(例如ZERODUR)制成，在該部件上固定標(biāo)尺12。在US 2004/026846 A1中描述了這種具有兩維測(cè)量刻度標(biāo)尺的機(jī)器。
在此可以要求，多個(gè)標(biāo)尺12必需兩維地相互間點(diǎn)陣式地固定在例如1m×2m的設(shè)備表面52上，用于覆蓋所需的約1m×2m的測(cè)量范圍。具有尤其光電掃描測(cè)量刻度22的標(biāo)尺12以所需的精度只能以約40cm×40cm的尺寸制成?，F(xiàn)在按照本發(fā)明可以將每個(gè)標(biāo)尺12固定在支架52上，如同在下面的附圖中所示的那樣。
對(duì)于這個(gè)固定采用上述的結(jié)合工藝。
在圖4和5中示例地示出具有兩維測(cè)量刻度22、也稱為十字光柵的標(biāo)尺12。在面對(duì)支架52的標(biāo)尺12的表面上構(gòu)成具有可結(jié)合表面62的凸起32。這些凸起32最好在空間上兩維分布地設(shè)置，或者在幾何形狀上均勻地分布在規(guī)則的光柵里面或者統(tǒng)計(jì)地分布。所述凸起32可以分別圓形地構(gòu)成，具有小于30mm的直徑，典型的為200μm至4mm并且具有最好小于標(biāo)尺12厚度的相互間距，其中相互間距是邊緣間距，在圖11和16中為4mm。凸起32的高度以有利的方式大于10nm，有利的數(shù)值尤其是20nm至50μm。凸起32表面62的平面性(波度)在約10mm直徑上小于500nm，典型的是在10mm直徑上為30nm。構(gòu)成結(jié)合面的凸起32的表面62仍然位于一個(gè)公共的平面里面。典型的標(biāo)尺12厚度值為1至15mm。凸起32的直徑越小并且相互間距越小，凸起32的高度也可以越小地實(shí)現(xiàn)。
所述凸起32的兩維空間分布能夠這樣實(shí)現(xiàn)，在凸起32之間存在敞開通道200，它們基于X-Y平面一直到標(biāo)尺12的邊緣。通過這個(gè)措施可以使表面活化措施在結(jié)合后易于從標(biāo)尺12與支架52之間的空間中逸出。此外可以使在標(biāo)尺12整個(gè)表面上的空氣夾雜物易于通過敞開通道200逸出，這將提高結(jié)合強(qiáng)度以及保證標(biāo)尺12的良好平面性。
所述凸起32形成一種榫舌并且這樣構(gòu)成，使形成敞開通道200的棱邊、即到位于旁邊的凹下的過渡倒圓角。由此可以使要被結(jié)合的表面62更加清潔并且必要時(shí)表面活化。另一優(yōu)點(diǎn)是，避免分離的作用點(diǎn)并且明顯減少材料破裂的危險(xiǎn)。
在維護(hù)時(shí)可以接觸結(jié)合連接，通過在支架52或標(biāo)尺12中的至少一個(gè)(未示出的)孔在標(biāo)尺12與支架52之間的中間空間中輸入介質(zhì)，例如壓力空氣并且由此建立一個(gè)壓力，它使標(biāo)尺12與支架52相互頂開。
尤其對(duì)于突出于支架53的標(biāo)尺13(在圖6和7中示例地示出)存在危險(xiǎn)，由于振動(dòng)激勵(lì)產(chǎn)生老化脫落并且存在標(biāo)尺13邊緣部位的再粘接。這個(gè)過程導(dǎo)致突出的標(biāo)尺部位短周期的長(zhǎng)度偏差的不可預(yù)計(jì)的變化。為了避免這一點(diǎn)，附加的措施是有利的?？梢跃哂幸粋€(gè)附加的保險(xiǎn)用于使標(biāo)尺11至15固定在支架51至55上。這些附加的保險(xiǎn)可以是彈簧、固定卡子、磁固定元件、靜電卡子或真空固定形式的固定部件或者可以使用例如油膜粘附固定或粘接工藝。這個(gè)附加的保險(xiǎn)至少在粘接連接的邊緣部位是有意義的，即在標(biāo)尺13和/或支架53的邊緣部位，即，在標(biāo)尺13與支架53搭接的邊緣部位。
下面借助于圖6至19描述為了補(bǔ)充粘接特別有利的粘接連接。在此通過獨(dú)立的粘接面63的預(yù)應(yīng)力、尤其在標(biāo)尺13與支架53的連接的邊緣區(qū)通過粘接劑7提高連接部件13與53之間的表面壓力。
通過粘接劑7的保險(xiǎn)排除例如在通過裝配工人錯(cuò)誤接觸時(shí)標(biāo)尺13脫開或丟失。
在此所述粘接層僅僅產(chǎn)生標(biāo)尺13的局部最小變形。位置和平面性仍然特別精確并且盡可能沒有由于粘連接引起的漂移。
圖6示出在邊緣部位突出于支架53的標(biāo)尺13。標(biāo)尺13的一些圓形凸起33附加地配有粘接位置，其中一個(gè)粘接位置在圖7中以橫截面圖示出。為了區(qū)別只粘接的凸起32與附加的通過粘接劑7保險(xiǎn)的凸起33使它們配有不同的標(biāo)記符號(hào)并且在圖6中涂黑地表示通過粘接劑7保險(xiǎn)的凸起33。對(duì)于通過粘接劑7附加保險(xiǎn)的凸起33一個(gè)圓形粘接面73位于圓形粘接面63內(nèi)部，該粘接面通過槽形凹部83作為粘接劑停止與粘接面63分開。由此防止在加入粘接劑7時(shí)粘接劑進(jìn)入到粘接面63里面。
出于清晰的原因不再示出測(cè)量刻度。
比粘接面63更深的部位、即粘接面73和凹下83的加工例如以光刻的途徑實(shí)現(xiàn)。也可以設(shè)想使用機(jī)械加工，例如銑削或?qū)τ谙鄳?yīng)的材料使用激光加工。
所述粘接面73和粘接劑7的E模式應(yīng)該只保持必需的尺寸，用于使標(biāo)尺13在粘接劑固化以后由于拉力引起的、由于粘接劑7蠕動(dòng)引起彎曲變形保持所需的大小，但是盡可能小。
所述標(biāo)尺13的可忽略的短周期彎曲對(duì)于相同尺寸的粘接面73也可以通過在圖8和9中分別在右邊示出的粘接面63以及粘接面73的橢圓形狀實(shí)現(xiàn)。與結(jié)構(gòu)上的擴(kuò)展結(jié)構(gòu)無關(guān)重要的是，由粘接劑7在固化時(shí)施加的作用力以盡可能短的支承距離且盡可能圓周地承受，這通過包圍粘接面73的凸起或粘接面63保證。
用于粘接和粘接劑保險(xiǎn)的工作過程如下-使標(biāo)尺13與支架53接觸-在支架53上調(diào)整標(biāo)尺13，其中通過例如通過孔93使氣體、如空氣加入在標(biāo)尺13與支架53之間的中間空間實(shí)現(xiàn)調(diào)整并用于防止在這個(gè)狀態(tài)粘接-使標(biāo)尺13頂壓在支架53上并由此使標(biāo)尺13以調(diào)整的狀態(tài)粘接，其中頂壓可以通過在標(biāo)尺13與支架53之間的中間空間的真空(抽真空)實(shí)現(xiàn)-通過支架53中的孔93使粘接劑7加入到粘接面73。
為了避免在測(cè)量運(yùn)行中由于例如由于空氣濕度變化引起粘接劑蠕動(dòng)或膨脹而使標(biāo)尺13變形，可以將孔93在加入粘接劑7以后空氣密封地封閉。也可以通過孔93在完成粘接后將一種具有確定濕度的氣體(如氮?dú)饣蚝?導(dǎo)入到標(biāo)尺13與支架53之間的中間空間里面，用于防止粘接劑7老化。
在使用適合的粘接劑7時(shí)在維護(hù)時(shí)可以例如通過加熱粘接劑7或者通過借助于確定波長(zhǎng)的激光剝離或者通過化學(xué)試劑解除粘接劑保險(xiǎn)的粘連接。在通過加熱解除時(shí)可以使加熱棒插入孔93，用于局部加熱粘接面73。在通過使用化學(xué)溶劑解除時(shí)可以同樣通過孔93加入溶劑。也可以選擇或附加地通過孔93在標(biāo)尺13與支架53之間的中間空間中建立一個(gè)壓力，用于解除粘連接。
下面的按照?qǐng)D10至19的示例示出有利的變化，它們易于加入粘接劑7。
在按照?qǐng)D10至14的實(shí)施例中粘接劑7配量在標(biāo)尺14或支架54的邊緣上并且通過毛細(xì)力引入到粘接面74。在榫舌形凸起34的表面64與粘接面74之間的槽形或溝形凹下84防止與粘接面64粘接接觸。
通過粘接面64直接在配量通道附近以及在粘接劑部位內(nèi)部通過粘接面74構(gòu)成的支承是可靠的。所述凹下84防止粘接劑7與粘接面64接觸(防止由于引入粘接劑7而脫開)。
對(duì)于按照?qǐng)D15至19的實(shí)施例在支架55中加入空隙95，它用于使粘接劑7加入在粘接面75上。粘接劑7通過毛細(xì)力從空隙95開始引到粘接面75。由此避免在標(biāo)尺15的突出部位上的蠕動(dòng)的粘接點(diǎn)并且粘接劑7不會(huì)使突出的標(biāo)尺15向下拉。
對(duì)于所有的實(shí)施例所述支架55可以向著邊緣具有一個(gè)收縮部100。因此該支架55是軟的并且一起施加突出的標(biāo)尺15的變形。由此減少在邊緣部位脫開的危險(xiǎn)。在圖15中示出一個(gè)實(shí)施例。
所述支架51至55的邊緣部位的收縮部100可以具有或沒有附加粘接劑固定地用于改善粘接穩(wěn)定性。
由凸起33至35構(gòu)成的包圍粘接面73至75的定位面63至65應(yīng)該圍繞粘接面73至75盡可能對(duì)稱地設(shè)置。由此同樣使刻度表面的變形保持微小。
所述榫舌形的凸起31至35通過直到外邊導(dǎo)引的通道200使否則平面的粘接面相互分開(使空氣從中間空間逸出；改善粘接特性)?？梢栽O(shè)想具有或沒有粘接劑停止凹下83，84，85的表面/榫舌/溝槽的不同混合。
為了使結(jié)合連接免受外部影響和隱藏，在建立結(jié)合連接以后可以使標(biāo)尺11至15與支架51至55之間的中間空間通過邊緣蠟封在標(biāo)尺11至15的圓周上密封。為此可以使用漆或粘接劑。通過使介質(zhì)進(jìn)入中間空間也可以實(shí)現(xiàn)保護(hù)，為此例如將具有確定特性的氣體加入到凸起31至35之間的空間、即加入到通道200里面并且通流這個(gè)通道。
在上面所示的示例中相互間隔的凸起31至35以榫舌的形狀一體地在標(biāo)尺11至15上構(gòu)成。也可以選擇或附加地使凸起31至35在支架51至55上構(gòu)成。所述凸起31至35也可以由涂覆在標(biāo)尺11至15或支架51至55上的且形成結(jié)構(gòu)的層構(gòu)成。
所述凸起31至35的形狀和布置不受所示實(shí)施例的限制。
對(duì)于至少接近正方形或圓形的標(biāo)尺所述凸起可以形成一個(gè)運(yùn)動(dòng)學(xué)確定的定位，通過在一個(gè)平面中只分布三個(gè)凸起。
本發(fā)明的所有結(jié)合工藝是共用的，要被連接的表面61至65；41至45相互間置于直到幾個(gè)原子間距，用于或者可以通過Vander-Waals力相互牽引(直接結(jié)合)，或者通過建立幾個(gè)原子層以中間連接的形式可以建立原子的連接(LTB陽極結(jié)合)。
在附圖中給出的尺寸以mm為單位并且只示例地表示數(shù)量級(jí)。
權(quán)利要求
1.一種通過在標(biāo)尺(11至15)與支架(51至55)之間建立結(jié)合連接使標(biāo)尺(11至15)固定在支架(51至55)上的方法，其特征在于，所述結(jié)合連接在標(biāo)尺(11至15)的多個(gè)相互間隔的表面區(qū)(61至65)上實(shí)現(xiàn)，這些表面區(qū)通過至少一個(gè)通道(200)相互分開。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述結(jié)合連接通過直接結(jié)合、低溫結(jié)合或陽極結(jié)合實(shí)現(xiàn)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述結(jié)合連接在以兩維光柵分布設(shè)置的且相互間隔的表面區(qū)(61至65)上實(shí)現(xiàn)。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述表面區(qū)(61至65)由凸起(31至35)構(gòu)成，它們具有小于標(biāo)尺(11至15)厚度的相互間距。
5.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，對(duì)于結(jié)合連接還附加地實(shí)施其它的連接。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，該其它的連接是通過在標(biāo)尺(13，14，15)與支架(53，54，55)之間加入粘接劑(7)的粘接連接。
7.具有標(biāo)尺的支架，其中標(biāo)尺(11至15)通過結(jié)合被固定在支架(51至55)上，其特征在于，所述結(jié)合在標(biāo)尺(11至15)的多個(gè)相互間隔的表面區(qū)(61至65)上實(shí)現(xiàn)，表面區(qū)通過至少一個(gè)通道(200)相互分開。
8.如權(quán)利要求7所述的具有標(biāo)尺的支架，其特征在于，在標(biāo)尺(11至15)上和/或在支架(51至55)上構(gòu)成凸起(31至35)，它們形成相互間隔的表面區(qū)(61至65)。
9.如權(quán)利要求8所述的具有標(biāo)尺的支架，其特征在于，所述凸起(31至35)以兩維光柵的形式分布地設(shè)置。
10.如權(quán)利要求9所述的具有標(biāo)尺的支架，其特征在于，所述表面區(qū)(61至65)由凸起(31至35)構(gòu)成，它們具有小于標(biāo)尺(11至15)厚度的相互間距。
11.如權(quán)利要求7至10中任一項(xiàng)所述的具有標(biāo)尺的支架，其特征在于，對(duì)于結(jié)合連接還附加地設(shè)有其它的連接。
12.如權(quán)利要求11所述的具有標(biāo)尺的支架，其特征在于，該附加的連接是粘接連接，其中在標(biāo)尺(13，14，15)與支架(53，54，55)之間加入粘接劑(7)。
13.如權(quán)利要求12所述的具有標(biāo)尺的支架，其特征在于，所述凸起(33，34，35)通過槽形凹部(83，84，85)各與粘接面(73，74，75)分開。
14.如權(quán)利要求13所述的具有標(biāo)尺的支架，其特征在于，所述支架(53，54，55)使標(biāo)尺(13，1，4，15)直接接觸在凸起(33，34，35)上，粘接面(73，74，75)相對(duì)于凸起(33，34，35)回縮地設(shè)置，由此在標(biāo)尺(13，14，15)與支架(53，54，55)之間得到一個(gè)用于容納粘接劑(7)的間隙，并且槽形凹部(83，84，85)相對(duì)于粘接面(73，74，75)回縮地設(shè)置。
15.如權(quán)利要求12至14中任一項(xiàng)所述的具有標(biāo)尺的支架，其特征在于，在支架(53，55)中具有至少一個(gè)孔(93，95)用于使粘接劑(7)加入到粘接面(73，75)上。
16.如權(quán)利要求12至14中任一項(xiàng)所述的具有標(biāo)尺的支架，其特征在于，所述粘接面(74，75)一直導(dǎo)引到標(biāo)尺(14，15)和/或支架(54，55)的邊緣，并且這樣構(gòu)成，使得粘接劑(7)通過毛細(xì)力從邊緣到達(dá)離開邊緣的粘接面(74，75)。
17.如權(quán)利要求7至16中任一項(xiàng)所述的具有標(biāo)尺的支架，其特征在于，所述支架(55)向著其邊緣具有收縮部(100)。
18.標(biāo)尺，其具有用于固定在支架(5，50)上的固定面，其特征在于，所述固定面由相互間隔的凸起(3，30)構(gòu)成，其中所述凸起(3，30)分別具有一個(gè)可結(jié)合的表面(6，60)用于與支架(5，50)的對(duì)應(yīng)面(4，40)建立結(jié)合連接。
19.如權(quán)利要求18所述的標(biāo)尺，其特征在于，所述凸起(31至35)以兩維光柵的形式分布地設(shè)置。
20.如權(quán)利要求19所述的標(biāo)尺，其特征在于，所述表面區(qū)(61至65)由凸起(31至35)構(gòu)成，它們具有小于標(biāo)尺(11至15)厚度的相互間距。
全文摘要
按照本發(fā)明使一個(gè)標(biāo)尺(13)通過結(jié)合固定在支架(53)上。該結(jié)合連接由標(biāo)尺(13)的相互間隔的凸起的表面區(qū)(63)構(gòu)成。附加的措施、例如設(shè)置粘接面(73)保證穩(wěn)定且振動(dòng)固定的連接。
文檔編號(hào)G03F7/20GK1959540SQ200610144558
公開日2007年5月9日 申請(qǐng)日期2006年11月3日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月4日
發(fā)明者W·霍爾扎普菲爾, J·德雷舍爾, P·斯佩克巴徹, J·韋德曼, W·普徹, K·鮑爾 申請(qǐng)人:約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司