專利名稱：：可變形鏡及采用可變形鏡的激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及修正激光束等的光波波陣面畸變、特別是像散的可變形鏡，以及采用可變形鏡的激光(laser)加工裝置。
背景技術(shù)：
：可變形鏡用于修正光波的波陣面畸變，在各種各樣的光學(xué)制品中使用。例如，在天體望遠(yuǎn)鏡中，修正由大氣的晃動(dòng)等引起的波陣面畸變(像差)，用于改善像的質(zhì)量(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。另外，在CD(光盤)及DVD(數(shù)字視盤)等的光學(xué)拾波器(pickup)中，用于修正由光盤面的傾斜及起伏等產(chǎn)生的像差(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。進(jìn)而，在激光(laser)加工機(jī)中，為了能夠獲得圓度高、點(diǎn)(spot)直徑小的激光束(laserbeam),用于修正由透鏡(lens)及反射鏡等的畸變引起的激光束(laserbeam)的波陣面畸變(例如參照專利文獻(xiàn)l)。在可變形鏡中，有整體型鏡(例如，參照專利文獻(xiàn)1)和分離型鏡(例如，參照專利文獻(xiàn)3)，其中的任何一種，通過使多個(gè)驅(qū)動(dòng)元件、例如壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)驅(qū)動(dòng)，使鏡面形狀發(fā)生變化。另夕卜，也有的報(bào)導(dǎo)使用借助靜電力進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)元件(例如參照專利文獻(xiàn)2)。這些可變形鏡由于具有多個(gè)驅(qū)動(dòng)元件，所以，變形的自由度高，如果驅(qū)動(dòng)元件的數(shù)目足夠多的話，則可以制成任意形狀的反射面，可以修正任意形狀的波陣面畸變。還報(bào)導(dǎo)過一種可變形鏡，該可變形鏡，為了調(diào)整激光束(laserbeam)的焦距等，借助一個(gè)驅(qū)動(dòng)元件從背面向外周部受到保持的板狀反射鏡施加力(參照專利文獻(xiàn)4)。專利文獻(xiàn)l特開平7-66463號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開平2005-122878號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3特開平5-136509號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4特開平9-293915號(hào)公報(bào)具有多個(gè)驅(qū)動(dòng)元件的可變形鏡，由于施加變形力的方式的自由度高，所以，可以制成任意形狀的反射面，具有對(duì)波陣面畸變的修正的自由度高的優(yōu)點(diǎn)。但是，驅(qū)動(dòng)元件多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。在分離型鏡的情況下，由于需要多個(gè)鏡，所以，部件數(shù)目多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。由于需要多個(gè)部件，有必要進(jìn)行精密地制造，所以，具有多個(gè)驅(qū)動(dòng)元件的可變形鏡的價(jià)格昂貴。根據(jù)用途的不同，存在這樣的情況，即，對(duì)波陣面畸變的修正自由度沒有必要很高，只要能夠修正像散即可。例如，在利用激光束(laserbeam)進(jìn)行的切斷、開孔、焊接等加工中，在構(gòu)成一直到激光(laser)振蕩器或加工點(diǎn)的傳送光路的反射鏡或透鏡(lens)中，在切削、磨削、研磨等制造工序中，容易發(fā)生由于像散等原因引起的制造誤差。在將垂直于光軸的一個(gè)軸的方向作為X方向，將垂直于光軸和X方向兩者的方向作為Y方向的情況下，當(dāng)在X方向和Y方向存在焦距不同的誤差時(shí)，多數(shù)情況下會(huì)發(fā)生像散、使激光(laser)加工中的質(zhì)量降低。如果可以對(duì)像散進(jìn)行修正，則可以提高激光(laser)加工中的品質(zhì)。利用一個(gè)驅(qū)動(dòng)元件施加力的可變形鏡，只是改變焦距等，迄今為止，還沒有以修正光波的像散為目的的采用一個(gè)驅(qū)動(dòng)元件的可變形鏡。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是獲得能夠修正像散的可變形鏡。根據(jù)本發(fā)明的可變形鏡，其特征在于，所述可變形鏡包括在一側(cè)具有反射面的反射鏡；在兩個(gè)部位處固定到該反射鏡的背面上的第一軸構(gòu)件；具有固定到前述反射鏡的背面上的兩個(gè)腿、且跨越前述第一軸構(gòu)件的第二軸構(gòu)件；使該第二軸構(gòu)件與前述第一軸構(gòu)件之間的距離變化的距離變更機(jī)構(gòu)，連接固定前述第一軸構(gòu)件的部位的線段與連接固定前述第二軸構(gòu)件的前述腿的部位的線段相互交叉。另外，其特征在于，所述可變形鏡包括在一側(cè)具有反射面的反射鏡；在兩個(gè)部位處固定到該反射鏡的背面上的第一軸構(gòu)件；一端固定到該第一軸構(gòu)件上、另一端固定到前述反射鏡的背面的第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)，連接固定前述第一軸構(gòu)件的部位的線段與連接固定前述第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)的部位的線段相互交叉。根據(jù)本發(fā)明的可變形鏡，由于其特征在于，所述可變形鏡包括在一側(cè)具有反射面的反射鏡；在兩個(gè)部位處固定到該反射鏡的背面上的第一軸構(gòu)件；具有固定到前述反射鏡的背面上的兩個(gè)腿、且跨越前述第一軸構(gòu)件的第二軸構(gòu)件；使該第二軸構(gòu)件與前述第一軸構(gòu)件之間的距離變化的距離變更機(jī)構(gòu)，連接固定前述第一軸構(gòu)件的部位的線段與連接固定前述第二軸構(gòu)件的前述腿的部位的線段相互交叉，所以，具有能夠修正反射鏡反射的光的像散的效果。另外，由于其特征在于，所述可變形鏡包括在一側(cè)具有反射面的反射鏡；在兩個(gè)部位處固定到該反射鏡的背面上的第一軸構(gòu)件；一端固定到該第一軸構(gòu)件上、另一端固定到前述反射鏡的背面的第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)，連接固定前述第一軸構(gòu)件的部位的線段與連接固定前述第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)的部位的線段相互交叉，所以，具有能夠修正反射鏡反射的光的像散的效果。圖l是用于說明本發(fā)明的實(shí)施形式l中的可變形鏡的概念的圖示。圖2是說明本發(fā)明的實(shí)施形式1中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。圖3是說明本發(fā)明的實(shí)施形式2中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。圖4是說明本發(fā)明的實(shí)施形式3中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。圖5是說明本發(fā)明的實(shí)施形式4中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。圖6是說明本發(fā)明的實(shí)施形式5中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。圖7是用于說明本發(fā)明的實(shí)施形式5中的可變形鏡的概念的圖示。圖8是說明本發(fā)明的實(shí)施形式6中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。圖9是本發(fā)明的實(shí)施形式7中的激光(laser)加工裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖10是不進(jìn)行本發(fā)明的實(shí)施形式7中的像散的修正時(shí)，利用激光(laser)加工裝置進(jìn)行開孔加工的被加工物的表面的照片。圖11是通過本發(fā)明的實(shí)施形式7的可變形鏡的變形進(jìn)行像散的修正時(shí)、利用激光(laser)加工裝置進(jìn)行開孔加工的被加工物的表面的照片。符號(hào)說明1:圓形反射鏡(反射鏡)1A:鏡面(反射面)1B:背面1C:背面1B的外周圓與X軸的交點(diǎn)(X軸交點(diǎn))1D:背面1B的外周圓與Y軸的交點(diǎn)(Y軸交點(diǎn))2:壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)(距離變更才幾構(gòu))3:變形力發(fā)生機(jī)構(gòu)4:X軸構(gòu)件4A:X軸背面板4B:X軸腿4C:X軸腿底面4D:切口4E:X軸背面板中心4F:螺玟孑L(threadedscrewhole)5:Y軸構(gòu)件5A:Y軸背面板5B:Y軸腿5C:Y軸腿底面5E:Y軸背面板中心5F:螺玟孑L(threadedscrewhole)5G:貫通孔6:鏡保持器(mirrorholder)7:螺紋(screw)部件(距離變更機(jī)構(gòu))8:螺栓(screw)(距離變更機(jī)構(gòu))9:結(jié)構(gòu)構(gòu)件(第一軸構(gòu)件)9A:背面板9B:腿9C:腿底面9D:Y軸上的端部50:激光(laser)振蕩器51:激光束(laserbeam)52:反射鏡(可變形鏡)53:檢流計(jì)(galvanometer)54:電掃描鏡(galvnoscannermirror)55:聚光透鏡(lens)56:-故加工物57:能夠掃描的范圍58:工作臺(tái)(table)59:工作臺(tái)(table)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A:負(fù)荷B:負(fù)荷具體實(shí)施方式實(shí)施形式1.在圖l中，表示說明本發(fā)明的實(shí)施形式1中的可變形鏡的概念的圖示。作為反射鏡的圓形發(fā)射鏡1，其作為對(duì)光進(jìn)行反射的反射面的鏡面1A和背面1B是圓形的相互平行的平面。在背面IB上定義X軸和Y軸，所述X軸是通過外周圓的中心的第一軸，所述Y軸是與X軸成直角地在外周圓的中心交叉的第二軸。在作為背面IB的外周圓與X軸的交點(diǎn)的兩個(gè)部位處的X軸交點(diǎn)1C附近，在對(duì)背面IB垂直地沿推壓方向施加負(fù)荷A。另一方面，在作為背面IB的外周圓與Y軸的交點(diǎn)的兩個(gè)部位的Y軸交點(diǎn)ID附近，對(duì)背面IB垂直地沿牽引方向施加負(fù)荷B。這樣，鏡面1A變形，圓形反射鏡l的鏡面1A變成如下所述的馬鞍形，即，在平行于X軸的直線上為中央凹入的凹形，在平行于Y軸的直線上為中央凸出的凸形。另外，負(fù)荷A和負(fù)荷B的大小相同，X軸上的凹形的曲線形狀和Y軸上的凸形的曲線形狀，方向相反，形狀相同。當(dāng)使由圓形反射鏡l反射的光的焦距短的方向與Y軸相一致時(shí)，在Y軸上是凸面，反射的光的焦距變長，在X軸上是凹面，反射的光的焦距變短。這意味著減少X軸與Y軸的焦距差。即，如果恰當(dāng)?shù)卣{(diào)整馬鞍形的變形程度的話，可以使X軸和Y軸的焦距相同，修正像散。圓形反射鏡l的變形程度，相對(duì)于幾十個(gè)毫米直徑的圓形反射鏡l而言，估計(jì)在0.110jwn左右。另外，即使在變形的程度比估計(jì)的大或小的情況下，也可以應(yīng)用本發(fā)明。另外，也可以使X軸變形成凸的形狀，使Y軸變形成凹的形狀。說明實(shí)施形式1中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖示于圖2。該實(shí)施形式l中的可變形鏡，利用可以借助反壓電效應(yīng)(inversepiezoelectriceffect)外加電壓正確地控制長度的一個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2，可以在圖1所示的兩個(gè)部位處的X軸交點(diǎn)1C附近產(chǎn)生推壓圓形反射鏡l的方向的負(fù)荷A，在兩個(gè)部位處的Y軸交點(diǎn)ID附近產(chǎn)生牽引圓形反射鏡l的方向的負(fù)荷B。在圓形反射鏡1的背面?zhèn)染哂凶冃瘟Πl(fā)生機(jī)構(gòu)3，該變形力發(fā)生機(jī)構(gòu)3產(chǎn)生使圓形反射鏡1的鏡面1A變形成馬鞍形的力。變形力發(fā)生機(jī)構(gòu)3由以下部分構(gòu)成X軸構(gòu)件4，該X軸構(gòu)件4是在對(duì)應(yīng)于圖1中的X軸上的X軸交點(diǎn)IC附近的位置的兩個(gè)部位處固定到圓形反射鏡1的背面IB上的第一軸構(gòu)件；Y軸構(gòu)件5，該Y軸構(gòu)件5是在對(duì)應(yīng)于Y軸上的Y軸交點(diǎn)ID附近的位置的兩個(gè)部位處固定到圓形反射鏡1的背面1B上、且跨越X軸構(gòu)件4配置的第二軸構(gòu)件；壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2，該壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2是配置在X軸構(gòu)件4與Y軸構(gòu)件5之間、使它們之間的距離變化的距離變更機(jī)構(gòu)。這樣，借助在四個(gè)點(diǎn)施加力的簡單的結(jié)構(gòu)的變形力發(fā)生機(jī)構(gòu)3，可以使圓形反射鏡l變形成馬鞍形。X軸構(gòu)件4由以下部分構(gòu)成呈與圓形反射鏡l基本上相同的直徑的圓形且具有規(guī)定厚度的X軸背面板4A,以及，從X軸背面板4A的位于圓形反射鏡1一側(cè)的面上垂直于X軸背面板4A豎立的棱柱狀的兩個(gè)X軸腿4B。由于兩個(gè)X軸腿4B的長度相同，所以，在固定在圓形反射鏡l上的狀態(tài)下，X軸背面板4A與圓形反射鏡1平行。X軸腿4B的垂直于長度方向的截面形狀基本上為正方形，沿長度方向具有相同的截面形狀。將X軸腿4B的底面稱為X軸腿底面4C。兩個(gè)X軸腿4B位于X軸背面板4A的端部，連接兩個(gè)X軸腿底面4C的中心的線段通過X軸背面板4A的中心。在此，連接兩個(gè)X軸腿底面4C的中心的直線成為X軸。在通過X軸背面板4A的中心、與X軸正交的Y軸和外周圓的交點(diǎn)附近，設(shè)置用于使Y軸構(gòu)件5通過的切口4D。X軸背面板4A和X軸腿4B可以形成一體，也可以作為分立的部件形成并接合起來。進(jìn)而，也可以通過利用同一材料通過切削等形成X軸構(gòu)件4和圓形反射鏡1。關(guān)于Y軸構(gòu)件5，情況也一樣。X軸腿底面4C是相對(duì)于X軸腿4B垂直的平面，基本上呈正方形的形狀。兩個(gè)X軸腿底面4C,借助螺紋(screw)緊固、釬焊(brazing)、粘結(jié)劑粘結(jié)等適當(dāng)?shù)姆椒?，利用拉力以固定面不剝離的方式固定到圓形反射鏡1的背面1B上。即使在其它部位的固定方法中，也要注意同樣的要點(diǎn)。Y軸構(gòu)件5和X軸構(gòu)件4具有相同的形狀，由Y軸背面板5A和兩個(gè)Y軸腿5B構(gòu)成。Y軸構(gòu)件5的兩個(gè)Y軸腿底面5C固定到圓形反射鏡1的背面1B上。Y軸構(gòu)件5的形狀與X軸構(gòu)件4的不同之處在于以下兩點(diǎn)。(1)Y軸腿5B的長度比X軸腿4B長。(2)在Y軸背面板5A上沒有切口。將連接兩個(gè)Y軸腿底面5C的中心的直線稱為Y軸。另外，由于連接X軸背面板4A的兩個(gè)切口4D的中心的直線與X軸正交，所以，由分別每次一個(gè)地進(jìn)入這兩個(gè)切口4D的兩個(gè)Y軸腿5B規(guī)定的Y軸與X軸正交。這里，關(guān)于X軸背面板4A和Y軸背面板5A，按以下的方式定義第一面和第二面。使第一面作為位于與圓形反射鏡1側(cè)相反側(cè)的面。第二面為位于第一面的背面?zhèn)鹊拿妗弘娭聞?dòng)器(PiezoActuator)2的每一端分別固定到X軸背面板4A的第一面的X軸背面板中心4E(圖中未示出)與Y軸背面板5A的第二面的Y軸背面板中心5E上。由于X軸背面板中心4E和Y軸背面板中心5E均處于通過圓形反射鏡l的中心且垂直于圓形反射鏡1的直線上，所以，壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2也處于該直線上。即，壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2在垂直于圓形反射鏡1的直線上使其兩端的距離變化。令X軸腿4B與Y軸腿5B的長度差與使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度處于其能夠變化的范圍內(nèi)的大致中間處時(shí)的長度相同。在向壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2施加規(guī)定的電壓、壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度與X軸腿4B和Y軸腿5B的長度差相同的狀態(tài)下，將X軸腿底面4C與Y軸腿底面5C固定到圓形反射鏡1的背面1B上。這樣，當(dāng)將壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度加長時(shí)，鏡面1A呈馬鞍形變形，在X軸上變凹，在Y軸上變凸，當(dāng)縮短壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度時(shí)，鏡面IA呈馬鞍形變形，在X軸上變凸，在Y軸上變凹。適當(dāng)?shù)卣{(diào)整X軸腿4B的截面形狀及大小和X軸背面板4A的厚度，以便獲得不會(huì)由施加的力引起破損的強(qiáng)度。另外，調(diào)整X軸腿底面4C的形狀及面積，以便能夠向圓形反射鏡l的背面1B上固定，并且恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行馬鞍形變形，并且，固定面不會(huì)被固定面上的拉力剝離。關(guān)于Y軸背面板5A和Y軸腿5B，也要注意到同樣的要點(diǎn)來進(jìn)行調(diào)整。圓形反射鏡1、X軸構(gòu)件4及Y軸構(gòu)件5的剛性使得能夠發(fā)生適度的變形。如果使X軸構(gòu)件4和Y軸構(gòu)件5的剛性比圓形反射鏡1小的話，則圓形反射鏡l相對(duì)于由距離變更機(jī)構(gòu)引起的距離變化的變形比小，容易進(jìn)行圓形反射鏡l的精密的變形控制?？勺冃午R也包括變形力發(fā)生機(jī)構(gòu)3，形狀呈圓柱形，可相對(duì)于鏡保持器(mirrorholder)6旋轉(zhuǎn)地容納在圓筒形的鏡保持器(mirrorholder)6(圖中未示出)內(nèi)。因此，能夠以任意的旋轉(zhuǎn)角設(shè)置可變形鏡，可以精度更好地修正像散。另外，在Y軸背面板5A上，設(shè)置用于使輸送驅(qū)動(dòng)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的電力用的配線通過的孔(圖中未示出)。其次，以利用可變形鏡修正激光加工裝置的激光束的像散的情況為例，說明其動(dòng)作。圖中未示出激光加工裝置的結(jié)構(gòu)，但是，在從激光振蕩器到加工點(diǎn)的傳送光路的途中設(shè)置可變形鏡。另外，在應(yīng)用于激光加工裝置之外的情況下，也可以借助同樣的動(dòng)作修正像散。在有像散的情況下，激光束的形狀變成橢圓。使圓柱形的可變形鏡在鏡保持器6中旋轉(zhuǎn)，使可變形鏡的X軸或者Y軸與激光束的形狀的直徑長的方向或者直徑短的方向相一致。使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度伸長的方向或者縮短的方向變化規(guī)定的量。當(dāng)變化規(guī)定的量時(shí)，如果激光束的形狀從橢圓變成接近于正圓的話，則原樣地使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度向相同的方向變化，設(shè)定成激光束的形狀最接近于正圓的長度。在當(dāng)使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度變化規(guī)定的量時(shí)、激光束的形狀的扁平的程度變大的情況下，4吏壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度向相反的方向變化，設(shè)定成激光束的形狀最接近正圓的長度。在激光加工時(shí)，通常監(jiān)視激光束的形狀，在偏離正圓的情況下，使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度變化，進(jìn)行修正，使之最接近正圓。另外，所謂接近于正圓，指的是處于從最接近正圓的狀態(tài)能夠允許的范圍內(nèi)的狀態(tài)。為了說明能夠?qū)弘娭聞?dòng)器(PiezoActuator)2的長度從初始狀態(tài)向長的或者短的兩個(gè)方向調(diào)整的效果，對(duì)于使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度只能從初始狀態(tài)向長的方向或者短的方向中的一個(gè)方向變化的情況的動(dòng)作進(jìn)行說明。使圓柱形的可變形鏡在鏡保持器6中旋轉(zhuǎn)，使激光束形狀的直徑長的方向或者直徑短的方向與可變形鏡的X軸或者Y軸相一致。當(dāng)使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度在可以變化的方向上變化規(guī)定的量時(shí)，如果激光束的形狀從橢圓接近正圓的話，則原樣^使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度向相同的方向變化。在當(dāng)使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度變化規(guī)定的量時(shí)、激光束形狀的扁平程度變大的情況下，在使可變形鏡在鏡保持器6內(nèi)旋轉(zhuǎn)90度之后，使長度變化。一面監(jiān)視激光束的形狀，一面使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度變化，設(shè)定成激光束形狀最接近正圓的長度。由于可以使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度從初始狀態(tài)向長或短的兩個(gè)方向變化，所以，與只能在長或者短的一個(gè)方向上變化的情況相比，用于像散修正的可變形鏡的操作變得簡單。為了使壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度能夠從初始狀態(tài)向長或者短的兩個(gè)方向變化，可以在圓形反射鏡1上接裝壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2及變形力發(fā)生機(jī)構(gòu)3，將壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2通電，在處于可調(diào)整范圍的大致中間的長度的狀態(tài)下，將圓形反射鏡1的鏡面1A加工成平面。通過利用壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2，即使在像散的大小隨著時(shí)間變化的情況下，也可以連續(xù)地控制壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2，修正像散。在像散幾乎不隨著時(shí)間變化的情況下，也可以利用螺栓等代替壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2，只要能夠進(jìn)行長度調(diào)整、并且能夠保持其長度的距離變更機(jī)構(gòu)的話，可以利用任何機(jī)構(gòu)修正像散。在上面的描述中利用一個(gè)距離變更機(jī)構(gòu)，但也可以利用兩個(gè)以上的距離變更機(jī)構(gòu)。這里，雖然可變形鏡為圓形，但也可以不是圓形。另外，圓形的可變形鏡，由于能夠使可變形鏡的形狀變形的兩個(gè)軸中任何一個(gè)與焦距最大或者最小的方向相一致，所以，具有能夠容易地旋轉(zhuǎn)可變形鏡的優(yōu)點(diǎn)。雖然使可變形鏡變形的兩個(gè)軸正交，但也可以不必使之正交。即使在變形的兩個(gè)軸不正交的情況下，變形成為凹入最大的部位與成為凸出最大的部位的角度差大致為90度，將從變形成凹入最大的部位通過的直線作為X軸，將從變形成凸出最大的部位通過的直線作為Y軸，使X軸或Y軸中的任何一個(gè)與光的形狀的長度長或者短的方向相一致，通過使可變形鏡變形，可以修正像散。使連接第一軸構(gòu)件的兩個(gè)固定部位的線段與連接第二軸構(gòu)件的兩個(gè)固定部位的線段的交點(diǎn)位于該線段的中間點(diǎn)，不過，也可以在至少其中一個(gè)線段中，在中間點(diǎn)的位置處沒有交點(diǎn)。另外，在連接第一軸構(gòu)件的固定部位的線段中交點(diǎn)不在中間點(diǎn)的情況下，作用到該線段兩端的力以使交點(diǎn)兩側(cè)的轉(zhuǎn)矩相同的方式成為與離開交點(diǎn)的距離的倒數(shù)成比例的大小。關(guān)于第二軸構(gòu)件的固定部位，也是一樣的。由于力的平衡，作用到第一軸構(gòu)件的兩個(gè)固定部位處的力總和與作用到第二軸構(gòu)件的兩個(gè)固定部位處的力的總和相同。由于將作用到第一軸構(gòu)件的固定部位及第二軸構(gòu)件的固定部位處的力垂直地作用到反射鏡上，所以，發(fā)生不需要的變形的可能性很小。另外，為了不發(fā)生不需要的變形，如果使反射鏡及變形力發(fā)生機(jī)構(gòu)的剛性足夠大的話，也可以使作用到第一軸構(gòu)件的固定部位及第二軸構(gòu)件的固定部位上的力不垂直于反射鏡。另外，為了使可變形鏡發(fā)生所希望的變形，如果不垂直的力的成分起作用的話，也可以向不垂直的頭見定方向施加力。由于將壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2配置在與圓形反射鏡1垂直且通過X軸和Y軸的交點(diǎn)的直線上，所以，能夠減小對(duì)于使可變形鏡變形成所希望的形狀沒有必要或者成為障礙的力。在能夠借助任何一種手段減少對(duì)于使可變形鏡變形成所希望的形狀沒有必要或者造成障礙的力、或者使之無害化的情況下，通過壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2使距離變化的、其兩端的兩個(gè)點(diǎn)的直線，也可以不垂直于反射鏡，或者不通過X軸與Y軸的交點(diǎn)。作為第一軸構(gòu)件及第二軸構(gòu)件，使用在背面板上具有兩個(gè)腿的形狀的構(gòu)件，但是，也可以是除此之外的形狀。第一軸構(gòu)件，只要壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的一端固定的部位相對(duì)于第一軸構(gòu)件的固定部位配置在規(guī)定的位置，可以是任何一種構(gòu)件。對(duì)第二軸構(gòu)件也是一樣的。反射鏡的反射面也可以是應(yīng)用于凸面或凹面等這樣的用途的規(guī)定形狀。上面所述，也同樣適用于其它實(shí)施形式。實(shí)施形式2.本實(shí)施形式2是使用螺紋(screw)部件代替壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)作為距離變更機(jī)構(gòu)、從而改變實(shí)施形式1的情況。在圖3中，表示說明實(shí)施形式2中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。下面只說明與實(shí)施形式1的情況中的圖2相比的不同之處。代替一個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator),具有在兩端切削成不同螺距(pitch)的陽螺紋(malescrew)的一個(gè)螺紋(screw)部件7。在X軸背面板4A的第一面的X軸背面板中心4E(圖中未示出)，設(shè)置螺紋孔(threadedscrewhole)4F,該螺紋孔4F具有螺紋配合到螺紋部件7的一側(cè)的螺紋上的陰螺紋(femalescrew),其中心與X軸背面板中心4E相一致。在Y軸背面板5A的第二面的Y軸背面板中心5E(圖中未示出)上，設(shè)置螺紋孔(threadedscrewhole)5F,該螺紋孔5F具有螺紋配合到螺紋部件7的另一側(cè)的螺紋(screw)上的陰螺紋(femalescrew),其中心與Y軸背面板中心5E相一致。將螺紋(screw)部件7擰入到X軸構(gòu)件4的螺紋孔(threadedscrewhole)4F內(nèi)，將螺紋(screw)部件7的相反側(cè)擰入到Y(jié)軸構(gòu)件5的螺紋孔(threadedscrewhole)5F內(nèi)，將螺紋(screw)部件7向規(guī)定的方向旋轉(zhuǎn)，X軸腿底面4C與Y軸腿底面5C處于同一平面上，并且進(jìn)行調(diào)整，使螺紋(screw)部件7處于能夠在兩個(gè)方向上進(jìn)行必要程度的旋轉(zhuǎn)的位置。適當(dāng)?shù)刂瞥蒟軸腿4B與Y軸腿5B的長度差、螺紋(screw)部件7的位于兩側(cè)的螺紋(screw)部分的長度、位于兩側(cè)的螺紋(screw)的螺距(pitch)之差、螺紋(screw)部件7的總長度等，以便能夠進(jìn)行上面所述的這種調(diào)整。在這種狀態(tài)下，將X軸腿底面4C與Y軸腿底面5C固定到圓形反射鏡l的背面IB上。下面說明其動(dòng)作。與實(shí)施形式l一樣，使激光束(laserbeam)形狀的直徑長的方向或者直徑短的方向與可變形鏡的X軸或者Y軸相一致。使螺紋(screw)部件7旋轉(zhuǎn)規(guī)定的量。如果激光束(laserbeam)的形狀從橢圓變成接近正圓的話，則原樣使螺紋(screw)部件7向相同的方向旋轉(zhuǎn)，設(shè)定成激光束(laserbeam)的形狀最接近正圓的長度。在當(dāng)使螺紋(screw)部件7旋轉(zhuǎn)規(guī)定的量時(shí)、激光束(laserbeam)形狀的扁平程度變大的情況下，使螺紋(screw)部件7向相反方向旋轉(zhuǎn)，使螺紋(screw)部件7旋轉(zhuǎn)到激光束(laserbeam)的形狀最接近正圓的位置上。這樣，即使在利用螺紋(screw)部件的情況下，通過使可變形鏡呈馬鞍形變形，也可以修正可變形鏡反射的光的像散。通過使用螺紋(screw)部件，可以簡化可變形鏡的變形力發(fā)生機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。另外，由于使用螺紋(screw)部件，所以，有必要應(yīng)用于對(duì)像散幾乎不隨時(shí)間變化的對(duì)象。螺紋(screw)部件7的兩側(cè)的螺紋(screw),只要有規(guī)定的螺距(pitch)差即可，也可以借助右螺紋(screw)和左螺紋(screw)產(chǎn)生螺距差。若螺距(pitch)的差小，則對(duì)可變形鏡的馬鞍形變形的精細(xì)調(diào)整變得容易。另外，也可以使用在兩側(cè)設(shè)置螺距(pitch)不同的螺紋孔(threadedscrewhole)的螺紋(screw)部件，在X軸構(gòu)件和Y軸構(gòu)件上設(shè)置棒狀部分，在棒狀部分上設(shè)置陽螺紋(malescrew),將其插入到螺紋(screw)部件的螺故孔(threadedscrewhole)內(nèi)。上面所述也適用于其它實(shí)施形式。實(shí)施形式3.該實(shí)施形式3是改變實(shí)施形式2、使用通常的螺紋作為距離變更機(jī)構(gòu)的情況。在圖4中，表示說明實(shí)施形式3中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。只說明與實(shí)施形式2的情況中的圖3不同之處。使用在一側(cè)切削出螺紋(screw)、在另一側(cè)上有頭的通常的螺栓(screw)8。在作為遠(yuǎn)離反射鏡的構(gòu)件的Y軸構(gòu)件5上，代替螺紋孔(threadedscrewhole)5F，在Y軸背面板5A的中心，設(shè)置直徑比螺栓(screw)8的直徑稍大、但比螺栓(screw)8的頭的直徑小的貫通孔5G。在將X軸腿底面4C和Y軸腿底面5C固定到圓形反射鏡1的背面IB上的狀態(tài)下，將螺栓(screw)8通過該貫通孔5G擰入螺紋1孑L(threadedscrewhole)4F，在所述螺紋孔(threadedscrewhole)4F中切削出與設(shè)置在X軸背面板4A的中心處的螺栓(screw)8的陽螺紋(malescrew)螺統(tǒng)配合的陰螺紋(femalescrew)。4吏螺栓(screw)8的頭的背面?zhèn)扰cY軸背面板5A接觸，進(jìn)而，當(dāng)擰入螺栓(screw)8時(shí)，圓形反射鏡l呈馬鞍形變形。當(dāng)螺栓(screw)8的頭的背面?zhèn)扰cY軸背面板5A不接觸時(shí)，由于不會(huì)發(fā)生使反射鏡進(jìn)行馬鞍形變形的力，所以，X軸只能在成為凸?fàn)畹姆较蛏线M(jìn)行馬鞍形變形。下面說明其動(dòng)作。與實(shí)施形式1同樣，使激光束(laserbeam)形狀的直徑長的方向或者直徑短的方向與可變形鏡的X軸或者Y軸相一致。使螺栓(screw)8旋轉(zhuǎn)規(guī)定的量。如果激光束(laserbeam)的形狀從橢圓接近正圓的話，則原樣使螺栓(screw)8向相同的方向旋轉(zhuǎn)。在當(dāng)使螺栓(screw)8旋轉(zhuǎn)規(guī)定的量時(shí)、激光束(laserbeam)形狀的扁平程度變大的情況下，在使可變形鏡在鏡保持器(mirrorholder)6內(nèi)旋轉(zhuǎn)90度之后，使螺栓(screw)8在相同的方向上旋轉(zhuǎn)。一邊監(jiān)視激光束的形狀一邊旋轉(zhuǎn)螺栓8，將螺栓(screw)8—直擰入到激光束(laserbeam)的形狀最接近正圓的位置。這樣，即使在采用通常的螺栓(screw)的情況下，通過使可變形鏡呈馬鞍形變形，也可以修正可變形鏡反射的光的像散。實(shí)施形式4.本實(shí)施形式4是使用兩個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)的情況。在圖5中，表示說明實(shí)施形式4中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。圓形反射鏡1與實(shí)施形式1~3的情況相同。變形力發(fā)生機(jī)構(gòu)3由結(jié)構(gòu)構(gòu)件9和兩個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2構(gòu)成。結(jié)構(gòu)構(gòu)件9的形狀與實(shí)施形式1的情況中的X軸構(gòu)件4的形狀基本上相同，具有背面板9A和兩個(gè)腿9B。但是，沒有在實(shí)施形式1的情況下的X軸構(gòu)件4上的切口4D，在切口所處的位置處固定壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2。兩個(gè)腿9B的長度相同，等于壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度等于在能夠變化的范圍的大致中間時(shí)的長度。將腿9B的底面稱為腿底面9C。將連接兩個(gè)腿底面9C的中心直線稱作X軸，將與X軸在背面板9A的中心處正交的直線稱作Y軸。在位于Y軸上的背面板9A的兩側(cè)的端部9D處，分別固定一個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的一端。向壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2通電，在壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度變成與腿9B相同的狀態(tài)下，將壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的另一端和腿底面9C固定到圓形反射鏡l的背面1B上。另外，也可以令兩個(gè)腿部9B的長度與壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2最短時(shí)的長度相同，這樣，在與圓形反射鏡l的背面IB固定時(shí)，也可以不向壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2通電。但是，只能進(jìn)行在Y軸上中央部凹入的馬鞍形變形，有必要在對(duì)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2通電的狀態(tài)下，將鏡面1A研磨成平面。這里，結(jié)構(gòu)構(gòu)件9是第一軸構(gòu)件，壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2是第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)。在圓形反射鏡l的背面1B中，連接固定兩個(gè)腿9B的部位的線段和連接固定兩個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的一端的部位的線段相互交叉。下面說明其動(dòng)作。如果遵守令兩個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度相同的條件、調(diào)整長度的話，可以使可變形鏡呈馬鞍形變形。如果使可變形鏡的方向和發(fā)生像散的方向相一致，適度調(diào)整馬鞍形變形的程度的話，可以修正像散。這樣，通過利用兩個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2使可變形鏡呈馬鞍形變形，可以修正可變形鏡反射的光的像散。也可以代替壓電致動(dòng)器(PiezoActuator),而使用螺紋(screwJ部件等作為距離變更機(jī)構(gòu)。只要是一端固定到第一軸構(gòu)件上、另一端固定到反射鏡的背面且能夠變更其長度的距離變更機(jī)構(gòu)，則可以是任何一種纟幾構(gòu)。上面所述也適用于使用第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)的其它實(shí)施形式。實(shí)施形式5.該實(shí)施形式5是改變實(shí)施形式2的情況，使得可變形鏡不變成馬鞍形，而是變形成中央凹入的柱面狀。在圖6中，表示說明實(shí)施形式5中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。下面只說明與實(shí)施形式2的情況下的圖3的不同點(diǎn)。另外，圖7是用于說明實(shí)施形式5中的可變形鏡的概念的圖示。X軸腿4B的橫向?qū)挾乳L，在X軸上，在不是螺紋孔(threadedscrewhole)4F的部分上，全部設(shè)置X軸腿4B。因此，由于向基本上整個(gè)X軸上均勻地施加負(fù)荷A,所以，在平行于X軸的直線上，位移相同，可變形鏡不是馬鞍形，而是變形成如圖7所示的中央凸出的柱面狀。另外，不僅是如圖7所示的在平行于Y軸的直線上中央突出、在平行于X軸的直線上位移相同的變形，而且在平行于Y軸的直線上中央凹入、在平行于X軸的直線上位移相同的變形，也稱為變形成柱面狀。由于X軸腿4B橫向長，所以，在X軸上的螺紋孔(threadedscrewhole)4F之外的部位，X軸腿4B固定在圓形反射鏡l的背面1B上，在與連接X軸腿4B的兩端的線段的中央的與Y軸的交點(diǎn)附近，X軸構(gòu)件4也固定到圓形反射鏡1的背面1B上。在變形成在與Y軸的交點(diǎn)附近X軸構(gòu)件4不固定的馬鞍形的情況下，利用在Y軸腿5B的兩個(gè)部位的固定部位處作用的負(fù)荷B，在與Y軸的交點(diǎn)附近，與兩端相比，在X軸上位移變得最大。與此相對(duì)，X軸構(gòu)件4固定到X軸上的與Y軸的交點(diǎn)附近時(shí)，在該固定部位處幾乎不能發(fā)生位移，在X軸上及平行于X軸的直線上的位移，與位置無關(guān)，基本上相同。當(dāng)使由變形成柱面狀的圓形反射鏡l反射的光的焦距短的方向與Y軸相一致時(shí)，在Y軸上，由于是凸面，所以反射的光的焦距變長，在X軸上，由于是平面，所以反射的光的焦距不發(fā)生變化。這意味著，使Y軸的焦距接近于X軸的焦距，減少焦距之差。即，如果恰當(dāng)?shù)卣{(diào)整柱面狀的變形程度的話，則可以使X軸與Y軸的焦距相同，修正像散。在本實(shí)施形式5中，不使可變形鏡變形成馬鞍形，而是使之變形成柱面狀，在這一點(diǎn)上與實(shí)施形式2不同，但與實(shí)施形式2—樣地動(dòng)作。這樣，通過使可變形鏡變形成柱面狀，可以修正可變形鏡反射的光的像散。另外，代替螺紋(screw)部件7，也可以使用壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)。X軸構(gòu)件4具有橫向長的兩個(gè)X軸腿4B，在除螺紋孔(threadedscrewhole)4F之外的基本上整個(gè)X軸上，施加相同方向的力，但是，也可以只令其中的任何一個(gè)X軸腿4B在橫向長，增加X軸腿4B的數(shù)目，在X軸上的三個(gè)以上的部位處，將X軸構(gòu)件4固定到反射鏡的背面上。另外，兩端以外的至少一個(gè)部位，配置于連接兩端的X軸腿4B的線段的中央的與Y軸的交點(diǎn)附近，即，配置于在馬鞍形變形的情況下、在X軸上與兩端相比位移變得最大的位置附近，以便在X軸上幾乎不發(fā)生位移差。另外，在不要螺紋孔(threadedscrewhole)4F的情況下，也可以借助一個(gè)線狀X軸腿4B，在基本上整個(gè)X軸上，將X軸構(gòu)件4固定到反射鏡的背面上。上面所述，也適合于其它實(shí)施形式。實(shí)施形式6.本實(shí)施形式6是對(duì)實(shí)施形式4進(jìn)行改變的情況，以便利用兩個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator),使可變形鏡變形成柱面狀。圖8中表示說明實(shí)施形式6中的可變形鏡的結(jié)構(gòu)的裝配圖。下面只說明與實(shí)施形式4的情況下的圖5的不同之處。結(jié)構(gòu)構(gòu)件9的腿9B為三個(gè)，在X軸上的兩端以外，在中央的與Y軸的交點(diǎn)附近，腿9B固定在圓形反射鏡1的背面1B。另夕卜，腿9B的高度全部相同。由于有正中間的腿9B，所以，即使改變兩個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度，在平行于X軸的直線上，位移也基本上相同，可變形鏡變形成柱面狀。在該實(shí)施形式6中，通過改變兩個(gè)壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)2的長度，可以使可變形鏡變形成柱面狀，通過變形成柱面狀，可以修正可變形鏡反射的光的像散。實(shí)施形式7.該實(shí)施形式7是將實(shí)施形式16中所述的任何一種可變形鏡應(yīng)用于激光(laser)加工裝置的情況。在圖9中，表示激光(laser)加工裝置的結(jié)構(gòu)圖。由激光(laser)振蕩器50出射的激光束(laserbeam)51,由光路途中的反射鏡52等傳送，利用借助兩組檢流計(jì)(galvanometer)53及檢;危"H"(galvanometer)53的旋轉(zhuǎn)進(jìn)4亍4t轉(zhuǎn)馬區(qū)動(dòng)的電掃描鏡(galvnoscannermirror)54進(jìn)行二維掃描，利用聚光透鏡(lens)55定位、照射到被加工物56上。在被加工物56上用虛線圍起來的方形的范圍是能夠掃描的范圍57。被加工物56被載置在工作臺(tái)(table)58上，工作臺(tái)(table)58能夠被兩個(gè)工作臺(tái)(table)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)59在二維的規(guī)定范圍內(nèi)移動(dòng)。在圖10中，表示在不進(jìn)行像散修正的情況下，借助激光(laser)加工裝置進(jìn)行開孔加工的被加工物表面的照片。在圖中的上下方向上，一面使焦點(diǎn)位置沿著光軸方向等間隔地變化(一面使聚光透鏡(lens)55或者被加工物56沿著光軸方向等間隔地移動(dòng))，一面進(jìn)行開孔加工。由于只通過一次很難判斷加工精度的好壞，所以，在同一條件下實(shí)施多次。因此，在圖10中，具有多列開孔加工的孔。在圖10中，作為激光束(laserbeam)能夠允許的，只有從上面數(shù)的第四列一列。作為激光束(laserbeam)是否能夠允許，例如以所開的孔的正圓度為90%以上等規(guī)定的基準(zhǔn)進(jìn)行判斷。隨著焦點(diǎn)位置的變化，加工孔的形狀從縱向長的橢圓向橫向長的橢圓變化。加工孔的形狀表示在被加工物表面上的激光束點(diǎn)(laserbeamspot)的形狀。即，在該加工光學(xué)系統(tǒng)中發(fā)生不能忽略不計(jì)的像散。與該加工光學(xué)系統(tǒng)相對(duì)，使用實(shí)施形式1~6中任何一種可變形鏡作為反射鏡52,修正像散。以前述可變形鏡的X軸或者Y軸與圖10所示的加工孔的橢圓的長軸方向或者短軸方向相一致的方式設(shè)置可變形鏡，利用壓電致動(dòng)器(PiezoActuator)的驅(qū)動(dòng)電壓或者螺栓(screw)的旋轉(zhuǎn)量控制可變形鏡的變形量，以便使橢圓的加工孔接近正圓。圖ll表示，這樣修正像散之后，在與圖IO相同的條件下，進(jìn)行開孔加工，獲得的被加工物表面的孔的照片。在圖11中，作為激光束(laserbeam)能夠允許的情況，是從上起的第3~7列共5列。可以看出，像散減少，焦深擴(kuò)大。通過擴(kuò)大焦深，即使在被加工物的表面上有起伏，也可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的激光(laser)加工。另外，也可以將除反射鏡52之外的光路途中的鏡作為可變形鏡。在該實(shí)施形式7中，如圖9所示，利用使激光束(laserbeam)51、保持被加工物56的工作臺(tái)(table)58均進(jìn)行二維掃描的激光(laser)加工裝置，但是，使用可變形鏡的效果是對(duì)加工光學(xué)系統(tǒng)的像散的作用，與掃描方法無關(guān)。即，在激光束(laserbeam)51、聚光透鏡(lens)55、工作臺(tái)(table)58中任何一個(gè)進(jìn)行一維、二維或者三維掃描或者不進(jìn)行掃描的激光(laser)加工裝置中，獲得同樣的效果。激光束(laserbeam)可以是單脈沖(pulse)、多脈沖(pulse)或者連續(xù)振蕩的任何一種。加工內(nèi)容并不局限于開孔，也可以是切斷、變形、焊接、熱處理或者做標(biāo)記(marking)等，只要能夠利用激光(laser)加工即可。另外，在被加工物上，只要是能夠通過燃燒、熔融、升華或者變色等利用激光(laser)能夠發(fā)生的變化，可以使之發(fā)生任何變化。在將單脈沖(pulse)、多脈沖(pulse)或者連續(xù)振蕩激光束(laserbeam)定位照射到被加工物面上，使被加工物燃燒、熔融、升華或者變色，進(jìn)行切斷、開孔、變形、焊接、熱處理或者做標(biāo)記(marking)等加工的激光(laser)加工裝置中，如果是配備有具有能夠使反射面變形成馬鞍形或者柱面狀的可變形鏡的像散修正機(jī)構(gòu)的激光(laser)加工裝置的話，則可以修正激光束(laserream)的像散，提高加工精度。另外，在將單脈沖(pulse)、多脈沖(pulse)或者連續(xù)振蕩激光束(laserbeam)定位、照射到被加工物面上，使被加工物燃燒、熔融、升華或者變色，進(jìn)行切斷、開孔、變形、焊接、熱處理或者做標(biāo)記(marking)等加工的激光(laser)加工方法中，如果采用通過使傳送光路途中的反射鏡變形成反射面為馬鞍形或者柱面狀對(duì)激光束(laserbeam)的像散進(jìn)行修正的激光(laser)加工方法，可以修正激光束(laserbeam)的像散，可以提高加工精度。權(quán)利要求1.一種可變形鏡，其特征在于，所述可變形鏡包括在一側(cè)具有反射面的反射鏡、在兩個(gè)部位處固定到該反射鏡的背面上的第一軸構(gòu)件、具有固定到前述反射鏡的背面上的兩個(gè)腿且跨越前述第一軸構(gòu)件的第二軸構(gòu)件、使該第二軸構(gòu)件與前述第一軸構(gòu)件之間的距離變化的距離變更機(jī)構(gòu)，將固定前述第一軸構(gòu)件的部位連接起來的線段與將固定前述第二軸構(gòu)件的前述腿的部位連接起來的線段相互交叉。2.—種可變形鏡，其特征在于，所述可變形鏡包括在一側(cè)具有反射面的反射鏡、在兩個(gè)部位處固定到該反射鏡的背面上的第一軸構(gòu)件、一端固定到該第一軸構(gòu)件上且另一端固定到前述反射鏡的背面上的第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)，將固定前述第一軸構(gòu)件的部位連接起來的線段與將固定前述第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)的部位連接起來的線段相互交叉。3.—種可變形鏡，其特征在于，所述可變形鏡包括在一側(cè)具有反射面的反射鏡、呈線狀地固定到該反射鏡的背面上的第一軸構(gòu)件、具有固定到前述反射鏡的背面上的兩個(gè)腿且跨越前述第一軸構(gòu)件的第二軸構(gòu)件、使該第二軸構(gòu)件與前述第一軸構(gòu)件之間的距離變化的距離變更機(jī)構(gòu)，固定前述第一軸構(gòu)件的部位的線段與將固定前述第二軸構(gòu)件的前述腿的部位連接起來的線段相互交叉。4.一種可變形鏡，其特征在于，所述可變形鏡包括在一側(cè)具有反射面的反射鏡、呈線狀地固定到該反射鏡的背面上的笫一軸構(gòu)件、一端固定到該第一軸構(gòu)件上且另一端固定到前述反射鏡的背面上的第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)，固定前述第一軸構(gòu)件的部位的線段與將固定前述第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)的部位連接起來的線段相互交叉。5.如權(quán)利要求1所述的可變形鏡，其特征在于，在將固定前述第一軸構(gòu)件的部位連接起來的線段上、與將固定前述第二軸構(gòu)件的前述腿的部位連接起來的線段的交點(diǎn)附近，也將前述第一軸構(gòu)件固定在前述反射鏡的背面上。6.如權(quán)利要求2所述的可變形鏡，在將固定前述第一軸構(gòu)件的部位連接起來的線段上、與將固定前述第一及第二距離變更機(jī)構(gòu)的部位連接起來的線段的交點(diǎn)附近，也將前述第一軸構(gòu)件固定到前述反射鏡的背面上。7.如權(quán)利要求1~6中任何一項(xiàng)所述的可變形鏡，其特征在于，在前述距離變更機(jī)構(gòu)中采用壓電致動(dòng)器。8.如權(quán)利要求1~6中任何一項(xiàng)所述的可變形鏡，其特征在于，在前述距離變更機(jī)構(gòu)中采用螺栓。9.如權(quán)利要求1~6中任何一項(xiàng)所述的可變形鏡，其特征在于，在前述距離變更機(jī)構(gòu)中，采用在兩側(cè)設(shè)置螺距不同的螺栓的螺紋部件。10.—種激光加工裝置，具有將激光束起振的激光振蕩器和從前迷激光振蕩器向被加工物傳送激光束的加工光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，在前述加工光學(xué)系統(tǒng)中，具有如權(quán)利要求1~權(quán)利要求6中任何一項(xiàng)所述的可變形面鏡。11.一種激光加工裝置，具有將激光束起振的激光振蕩器和從前述激光振蕩器向被加工物傳送激光束的加工光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，在前述加工光學(xué)系統(tǒng)中，具有如權(quán)利要求7所述的可變形面鏡。12.—種激光加工裝置，具有將激光束起振的激光振蕩器和從前迷激光振蕩器向被加工物傳送激光束的加工光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，在前述加工光學(xué)系統(tǒng)中，具有如權(quán)利要求8所述的可變形面鏡。13.—種激光加工裝置，具有將激光束起振的激光振蕩器和從前述激光振蕩器向被加工物傳送激光束的加工光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，在前述加工光學(xué)系統(tǒng)中，具有如權(quán)利要求9所述的可變形面鏡。全文摘要本發(fā)明的課題是提供一種具有多個(gè)驅(qū)動(dòng)元件的可變形鏡，自由度高，但是，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。其特征在于，可變形鏡包括在一側(cè)具有反射面(1A)的反射鏡(1)，在兩個(gè)部位處固定到反射鏡(1)的背面上的第一軸構(gòu)件(4)，具有固定到反射鏡(1)的背面(1B)上的兩個(gè)腿(5B)、跨越前述第一軸構(gòu)件(4)的第二軸構(gòu)件(5)，使該第二軸構(gòu)件(5)與前述第一軸構(gòu)件(4)之間的距離變化的距離變更機(jī)構(gòu)(2)，連接固定第一軸構(gòu)件(4)的部位的線段與連接固定第二軸構(gòu)件(5)的前述腿(5B)的部位的線段相互交叉。文檔編號(hào)G02B27/00GK101290394SQ200710096579公開日2008年10月22日申請(qǐng)日期2007年4月16日優(yōu)先權(quán)日2007年4月16日發(fā)明者小林信高,竹野祥瑞申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社